JP2024012418A - Light-emitting/receiving device and ranging apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-emitting/receiving device capable of accurately emitting and receiving light while suppressing light crosstalk between a plurality of light-receiving segments and a ranging apparatus capable of performing accurate ranging.
SOLUTION: A device has: a light-receiving element having a light-receiving surface for receiving reflected light reflected from an object and having a plurality of light-receiving segments arranged along the light-receiving surface and each detecting the reflected light; a shading wall having a plurality of first wall parts with a light-shading property against reflected light, each of which is provided in a region between adjacent light-receiving segments of the plurality of light-receiving segments on the light-receiving surface; and an optical member for changing a direction of travel of reflected light incident in a space between adjacent first wall parts among the plurality of first wall parts, wherein each of the plurality of first wall parts terminates within the region between the light-receiving segments.
SELECTED DRAWING: Figure 4
COPYRIGHT: (C)2024,JPO&INPIT

Description

本発明は、光の投光及び受光を行う投受光装置、並びに光学的な測距を行う測距装置に関する。 The present invention relates to a light emitting/receiving device that projects and receives light, and a distance measuring device that performs optical distance measurement.

従来から、光を対象物に照射し、当該対象物によって反射された光を検出することで、当該対象物までの距離を測定する測距装置が知られている。当該測距装置は、光を投光しかつ光を受光する投受光装置と、当該投受光装置による光の投受光結果に基づいて測距情報を生成する測距部と、を有する。例えば、特許文献１には、投光部、受光部及び距離計測手段を含む光学式レーダ装置が開示されている。 2. Description of the Related Art Distance measuring devices have been known that measure the distance to an object by irradiating light onto the object and detecting the light reflected by the object. The distance measuring device includes a light projecting/receiving device that projects light and receives light, and a distance measuring section that generates distance measurement information based on the results of light projection and reception by the light projecting/receiving device. For example, Patent Document 1 discloses an optical radar device including a light projecting section, a light receiving section, and distance measuring means.

特開2007-85832号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-85832

例えば、測距装置には、測距用の光を出射する光源と、対象物によって反射された光を受光する受光素子とが設けられている。また、例えば、独立して光を受光する複数の受光セグメントを有する受光素子を用いることで、複数の領域（複数の対象物や当該対象物における複数の表面領域など）の各々に対して一括して投受光を行うことができる。 For example, a distance measuring device is provided with a light source that emits distance measuring light and a light receiving element that receives light reflected by an object. In addition, for example, by using a light receiving element having multiple light receiving segments that receive light independently, it is possible to simultaneously receive light for each of multiple areas (multiple objects, multiple surface areas of the target object, etc.). It is possible to emit and receive light.

ここで、当該複数の領域の各々に対して正確に投受光及び測距を行うことを考慮すると、例えば、当該複数の受光セグメントのうちの１の受光セグメントには、当該複数の領域のうちの当該１の受光セグメントに対応する１の領域から戻ってきた光のみが受光されることが好ましい。 Here, considering that light is emitted and received accurately and distance measurement is performed for each of the plurality of areas, for example, one light receiving segment among the plurality of light receiving segments is It is preferable that only the light returned from one area corresponding to the one light receiving segment is received.

従って、例えば、１の受光セグメントに複数の領域から戻ってきた光が受光されないこと、及び１の受光セグメントに受光されるべき光が他の受光セグメントに受光されないことが好ましい。換言すれば、複数の受光セグメント間での光のクロストークが抑制されていることが好ましい。 Therefore, for example, it is preferable that light returned from a plurality of regions not be received by one light-receiving segment, and that light that should be received by one light-receiving segment not be received by other light-receiving segments. In other words, it is preferable that crosstalk of light between the plurality of light receiving segments be suppressed.

本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、複数の受光セグメント間の光のクロストークが抑制され、正確な投受光を行うことが可能な投受光装置及び正確な測距を行うことが可能な測距装置を提供することを目的の１つとしている。 The present invention has been made in view of the above points, and provides a light emitting/receiving device capable of suppressing crosstalk of light between a plurality of light receiving segments and performing accurate light emitting and receiving, and performing accurate distance measurement. One of the objectives is to provide a distance measuring device that is capable of

請求項１に記載の受光装置は、光が対象物によって反射された反射光を受光する受光面を有し、かつ受光面に沿って配列されて反射光を各々が検出する複数の受光セグメントを有する受光素子と、受光面において、複数の受光セグメントのうちの隣り合う受光セグメント間の領域に各々設けられ、反射光に対して遮光性を有する複数の第１の壁部を有する遮光壁と、複数の第１の壁部のうちの隣り合う第１の壁部の間の空間内に入射する反射光の進行方向を変化させる光学部材と、を有し、複数の第１の壁部の各々は、受光セグメント間の領域内で終端していることを特徴とする。 The light-receiving device according to claim 1 has a light-receiving surface that receives reflected light that is reflected by an object, and a plurality of light-receiving segments arranged along the light-receiving surface and each detecting the reflected light. a light-shielding wall having a plurality of first wall portions each provided in a region between adjacent light-receiving segments of the plurality of light-receiving segments on the light-receiving surface and having a light-shielding property against reflected light; an optical member that changes the traveling direction of reflected light entering a space between adjacent first walls of the plurality of first walls, each of the plurality of first walls is characterized in that it terminates within the region between the light-receiving segments.

また、請求項１１に記載の投受光装置は、請求項１乃至１０のいずれか１つに記載の受光装置と、対象物に向けて光を出射する光源と、を有することを特徴とする。 Furthermore, a light projecting and receiving device according to an eleventh aspect includes the light receiving device according to any one of claims 1 to 10, and a light source that emits light toward a target object.

また、請求項１２に記載の測距装置は、請求項１１に記載の投受光装置と、受光素子による反射光の受光結果に基づいて対象物までの距離を測定する測距部と、を有することを特徴とする。 Further, a distance measuring device according to claim 12 includes the light projecting and receiving device according to claim 11, and a distance measuring section that measures the distance to the object based on the result of receiving the reflected light by the light receiving element. It is characterized by

実施例１に係る測距装置の全体構成を示す図である。1 is a diagram showing the overall configuration of a distance measuring device according to a first embodiment. 実施例１に係る測距装置における光源の光出射面を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a light emitting surface of a light source in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における投光光の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of the configuration of projected light in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における受光素子及び遮光壁を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a light receiving element and a light shielding wall in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における反射光の集光光学系への進路を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a path of reflected light to a condensing optical system in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における集光光学系、受光素子及び遮光壁の配置例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of the arrangement of a condensing optical system, a light receiving element, and a light shielding wall in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の上面図である。FIG. 3 is a top view of a light receiving element and a light shielding wall in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a light receiving element and a light shielding wall in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a light receiving element and a light shielding wall in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１に係る測距装置における反射光の進路を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the course of reflected light in the distance measuring device according to the first embodiment. 実施例１の変形例１に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a light receiving element and a light shielding wall in a distance measuring device according to a first modification of the first embodiment. 実施例１の変形例２に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の上面図である。7 is a top view of a light-receiving element and a light-shielding wall in a distance measuring device according to a second modification of the first embodiment. FIG. 実施例１の変形例２に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の断面図である。7 is a cross-sectional view of a light receiving element and a light shielding wall in a distance measuring device according to a second modification of the first embodiment. FIG. 実施例２に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の上面図である。FIG. 7 is a top view of a light-receiving element and a light-shielding wall in a distance measuring device according to a second embodiment. 実施例２に係る測距装置における受光素子及び遮光壁の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a light receiving element and a light shielding wall in a distance measuring device according to a second embodiment.

以下に本発明の実施例について詳細に説明する。 Examples of the present invention will be described in detail below.

図１は、実施例１に係る測距装置１０の模式的な配置図である。測距装置１０は、所定の領域（以下、走査領域と称する）Ｒ０の光走査を行い、走査領域Ｒ０内に存在する対象物ＯＢまでの距離を測定する走査型の測距装置である。図１を用いて、測距装置１０について説明する。なお、図１には、走査領域Ｒ０及び対象物ＯＢを模式的に示している。 FIG. 1 is a schematic layout diagram of a distance measuring device 10 according to a first embodiment. The distance measuring device 10 is a scanning type distance measuring device that performs optical scanning of a predetermined area (hereinafter referred to as a scanning area) R0 and measures the distance to an object OB existing within the scanning area R0. The distance measuring device 10 will be explained using FIG. 1. Note that FIG. 1 schematically shows the scanning area R0 and the object OB.

まず、測距装置１０は、光（以下、１次光と称する）Ｌ１を生成及び出射する光源１１を有する。本実施例においては、光源１１は、１次光Ｌ１として赤外領域にピーク波長を有するレーザ光を生成し、これを断続的に出射する。 First, the distance measuring device 10 includes a light source 11 that generates and emits light (hereinafter referred to as primary light) L1. In this embodiment, the light source 11 generates a laser beam having a peak wavelength in the infrared region as the primary light L1, and emits it intermittently.

測距装置１０は、１次光Ｌ１を投光用に整形する整形光学系（又は投光光学系）１２を有する。整形光学系１２は、例えば、１次光Ｌ１を集光しつつその断面形状（ビーム形状）及び光路を定める少なくとも１つのレンズを含む。 The distance measuring device 10 includes a shaping optical system (or a light projection optical system) 12 that shapes the primary light L1 for projection. The shaping optical system 12 includes, for example, at least one lens that collects the primary light L1 and determines its cross-sectional shape (beam shape) and optical path.

測距装置１０は、１次光Ｌ１を方向可変に偏向しつつ投光光（以下、２次光Ｌ２と称する）として投光する偏向素子（第１の偏向素子）１３を有する。偏向素子１３は、周期的な動作を行って１次光Ｌ１の偏向方向を周期的に変化させる。偏向素子１３は、１次光Ｌ１の進行方向を屈曲させつつ出射し、またその屈曲方向を周期的に変化させる。偏向素子１３によって偏向された１次光Ｌ１は、２次光Ｌ２として、走査領域Ｒ０に向けて投光される。 The distance measuring device 10 includes a deflection element (first deflection element) 13 that projects the primary light L1 as projected light (hereinafter referred to as secondary light L2) while deflecting the primary light L1 in a variable direction. The deflection element 13 performs periodic operations to periodically change the deflection direction of the primary light L1. The deflection element 13 emits the primary light L1 while bending the traveling direction thereof, and periodically changes the bending direction. The primary light L1 deflected by the deflection element 13 is projected toward the scanning region R0 as the secondary light L2.

本実施例においては、偏向素子１３は、回動軸ＡＹの周りに回動し、１次光Ｌ１を反射させる少なくとも１つの回動ミラー１３Ａを有する。例えば、偏向素子１３は、ポリゴンミラーを含む。本実施例においては、偏向素子１３は、回動ミラー１３Ａが回動しつつ１次光Ｌ１を反射させることで、１次光Ｌ１の反射方向を周期的に変化させる。すなわち、本実施例においては、２次光Ｌ２は、偏向素子１３の回動ミラー１３Ａによって反射された１次光Ｌ１である。 In this embodiment, the deflection element 13 includes at least one rotating mirror 13A that rotates around a rotation axis AY and reflects the primary light L1. For example, deflection element 13 includes a polygon mirror. In this embodiment, the deflection element 13 periodically changes the direction of reflection of the primary light L1 by reflecting the primary light L1 while the rotating mirror 13A rotates. That is, in this embodiment, the secondary light L2 is the primary light L1 reflected by the rotating mirror 13A of the deflection element 13.

なお、走査領域Ｒ０は、偏向素子１３を経た１次光Ｌ１（２次光Ｌ２）が投光される仮想の３次元空間である。また、本実施例においては、光源１１は、回動ミラー１３Ａの回動軸ＡＹの軸方向に沿って延びるライン状の断面形状を有するレーザ光を１次光Ｌ１として出射する。 Note that the scanning region R0 is a virtual three-dimensional space onto which the primary light L1 (secondary light L2) that has passed through the deflection element 13 is projected. Further, in this embodiment, the light source 11 emits a laser beam having a linear cross-sectional shape extending along the axial direction of the rotation axis AY of the rotation mirror 13A as the primary light L1.

図１には、走査領域Ｒ０の外縁を破線で模式的に示した。また、図１には、１次光Ｌ１及び２次光Ｌ２の主光軸を実線で示し、１次光Ｌ１における回動軸ＡＹの軸方向に沿った端部の光路を破線で示した。 In FIG. 1, the outer edge of the scanning area R0 is schematically shown with a broken line. Further, in FIG. 1, the main optical axes of the primary light L1 and the secondary light L2 are shown as solid lines, and the optical path of the primary light L1 at the end along the axial direction of the rotation axis AY is shown as a broken line.

例えば、走査領域Ｒ０は、２次光Ｌ２の断面における長手方向（以下、第１の方向と称する）Ｄ１に沿った高さ方向の方向範囲と、偏向素子１３による１次光Ｌ１の偏向方向の可変範囲に対応する方向（以下、第２の方向と称する）Ｄ２に沿った幅方向の方向範囲と、２次光Ｌ２が所定の強度を維持できる距離方向の範囲（すなわち奥行範囲）と、を有する錐状の空間として定義されることができる。 For example, the scanning region R0 includes the direction range in the height direction along the longitudinal direction (hereinafter referred to as the first direction) D1 in the cross section of the secondary light L2 and the deflection direction of the primary light L1 by the deflection element 13. A direction range in the width direction along the direction D2 corresponding to the variable range (hereinafter referred to as the second direction), and a range in the distance direction (i.e. depth range) in which the secondary light L2 can maintain a predetermined intensity. can be defined as a cone-shaped space with

また、走査領域Ｒ０内における偏向素子１３から所定の距離だけ離れた仮想の平面を走査面Ｒ１としたとき、走査面Ｒ１は、第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に沿って広がる２次元的な領域として定義されることができる。２次光Ｌ２は、この走査面Ｒ１を走査するように、走査領域Ｒ０に向けて投光される。 Furthermore, when a virtual plane that is a predetermined distance away from the deflection element 13 in the scanning region R0 is defined as the scanning plane R1, the scanning plane R1 is a two-dimensional plane that extends along the first and second directions D1 and D2. can be defined as a specific area. The secondary light L2 is projected toward the scanning region R0 so as to scan the scanning surface R1.

また、図１に示すように、走査領域Ｒ０に対象物ＯＢ（すなわち２次光Ｌ２に対して反射性又は散乱性を有する物体又は物質）が存在する場合、２次光Ｌ２は、対象物ＯＢによって反射又は散乱される。対象物ＯＢによって反射された２次光Ｌ２は、その一部が、３次光（すなわち反射光又は戻り光）Ｌ３として、２次光Ｌ２とほぼ同一の光路を２次光Ｌ２とは反対の方向に向かって進み、偏向素子１３に戻って来る。 Further, as shown in FIG. 1, when the target object OB (that is, an object or substance that has reflective or scattering properties with respect to the secondary light L2) exists in the scanning region R0, the secondary light L2 is directed toward the target object OB. reflected or scattered by A part of the secondary light L2 reflected by the object OB travels along almost the same optical path as the secondary light L2, as a tertiary light (that is, reflected light or return light) L3, in the opposite direction to the secondary light L2. direction, and return to the deflection element 13.

測距装置１０は、３次光Ｌ３の光路上、本実施例においては偏向素子１３と投光光学系１２との間の１次光Ｌ１及び３次光Ｌ３に共通の光路上に設けられ、３次光Ｌ３を偏向する偏向素子（第２の偏向素子）１４を有する。例えば、偏向素子１４は、１次光Ｌ１を透過させかつ３次光Ｌ３を反射させることで１次光Ｌ１及び３次光Ｌ３を分離する光分離素子であり、本実施例においてはビームスプリッタである。 The distance measuring device 10 is provided on the optical path of the tertiary light L3, in this embodiment, on the optical path common to the primary light L1 and the tertiary light L3 between the deflection element 13 and the projection optical system 12, It has a deflection element (second deflection element) 14 that deflects the tertiary light L3. For example, the deflection element 14 is a light separation element that separates the primary light L1 and the tertiary light L3 by transmitting the primary light L1 and reflecting the tertiary light L3, and in this embodiment, it is a beam splitter. be.

本実施例においては、偏向素子１３は、動作することで１次光Ｌ１を方向可変に偏向する走査用の可動式偏向素子である。一方、偏向素子１４は、１次光Ｌ１及び３次光Ｌ３を分離するための固定式偏向素子である。 In this embodiment, the deflection element 13 is a movable deflection element for scanning that deflects the primary light L1 in a variable direction by operating. On the other hand, the deflection element 14 is a fixed deflection element for separating the primary light L1 and the tertiary light L3.

測距装置１０は、偏向素子１４によって偏向された３次光Ｌ３を集光する集光光学系（又は受光光学系）１５を有する。集光光学系１５は、例えば、少なくとも１つのレンズを含む。 The distance measuring device 10 includes a condensing optical system (or a light receiving optical system) 15 that condenses the tertiary light L3 deflected by the deflection element 14. The condensing optical system 15 includes, for example, at least one lens.

測距装置１０は、集光光学系１５によって集光された３次光Ｌ３の光路上に設けられ、３次光Ｌ３を受光する受光素子１６を有する。例えば、受光素子１６は、３次光Ｌ３を検出し、３次光Ｌ３に応じた電気信号を生成する。 The distance measuring device 10 includes a light receiving element 16 that is provided on the optical path of the tertiary light L3 collected by the focusing optical system 15 and receives the tertiary light L3. For example, the light receiving element 16 detects the tertiary light L3 and generates an electrical signal according to the tertiary light L3.

受光素子１６は、当該電気信号を３次光Ｌ３の検出結果（受光結果）として生成する。すなわち、測距装置１０は、受光素子１６によって生成された当該電気信号を走査領域Ｒ０の走査結果として生成する。 The light receiving element 16 generates the electrical signal as a detection result (light reception result) of the tertiary light L3. That is, the distance measuring device 10 generates the electrical signal generated by the light receiving element 16 as the scanning result of the scanning area R0.

測距装置１０は、受光素子１６に入射する光を制限するように設けられた遮光壁１７を有する。遮光壁１７は、３次光Ｌ３、すなわち２次光Ｌ２が走査領域Ｒ０（対象物ＯＢ）に投光されたことによって生成された光以外の受光素子１６への入射を抑制するように構成されている。受光素子１６及び遮光壁１７の詳細については、後述する。 The distance measuring device 10 has a light shielding wall 17 provided so as to limit light incident on the light receiving element 16. The light shielding wall 17 is configured to suppress incidence of light other than light generated by the tertiary light L3, that is, the secondary light L2 projected onto the scanning region R0 (object OB), from entering the light receiving element 16. ing. Details of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17 will be described later.

測距装置１０は、光源１１、偏向素子１３及び受光素子１６の駆動及びその制御を行う制御部２０を有する。例えば、本実施例においては、制御部２０は、光源１１の駆動及びその制御を行う光源制御部２１と、偏向素子１３の駆動及びその制御を行う偏向素子制御部２２と、を有する。 The distance measuring device 10 includes a control unit 20 that drives and controls the light source 11, the deflection element 13, and the light receiving element 16. For example, in this embodiment, the control section 20 includes a light source control section 21 that drives and controls the light source 11, and a deflection element control section 22 that drives and controls the deflection element 13.

また、制御部２０は、受光素子１６を駆動し、受光素子１６による３次光Ｌ３の受光結果に基づいて対象物ＯＢまでの距離を測定する測距部２３を有する。本実施例においては、測距部２３は、受光素子１６によって生成された電気信号から３次光Ｌ３を示すパルスを検出する。また、測距部２３は、２次光Ｌ２の投光タイミングと３次光Ｌ３の受光タイミングとの間の時間差に基づくタイムオブフライト法によって、対象物ＯＢ（又はその一部の表面領域）までの距離を測定する。また、測距部２３は、測定した距離情報を示すデータ（測距データ）を生成する。 The control unit 20 also includes a distance measuring unit 23 that drives the light receiving element 16 and measures the distance to the object OB based on the result of reception of the tertiary light L3 by the light receiving element 16. In this embodiment, the distance measuring section 23 detects a pulse indicating the tertiary light L3 from the electrical signal generated by the light receiving element 16. Further, the distance measuring unit 23 uses a time-of-flight method based on the time difference between the emission timing of the secondary light L2 and the reception timing of the tertiary light L3 to reach the object OB (or a part of its surface area). Measure the distance. Further, the distance measuring unit 23 generates data (distance measurement data) indicating the measured distance information.

また、本実施例においては、測距部２３は、走査領域Ｒ０（走査面Ｒ１）を複数の測距点（走査点）に区別し、当該複数の測距点の各々の測距結果（距離値）を画素として示す走査領域Ｒ０の画像（測距画像）を生成する。本実施例においては、測距部２３は、測距点と回動ミラー１３Ａの変位とを示す情報とを対応付け、走査領域Ｒ０の２次元マップ又は３次元マップを示す画像データを生成する。 Further, in this embodiment, the distance measuring unit 23 distinguishes the scanning area R0 (scanning surface R1) into a plurality of distance measuring points (scanning points), and obtains the distance measuring results (distances) of each of the plurality of distance measuring points. An image (distance measurement image) of the scanning area R0 is generated in which the value) is expressed as a pixel. In this embodiment, the distance measuring unit 23 associates the distance measuring point with information indicating the displacement of the rotating mirror 13A, and generates image data representing a two-dimensional map or a three-dimensional map of the scanning area R0.

また、測距部２３は、例えば、２次光Ｌ２の投光方向の変化周期、すなわち走査領域Ｒ０を走査する周期である走査周期を測距画像の生成周期とし、当該走査周期毎に１つの測距画像を生成する。 Further, the distance measuring unit 23 uses, for example, a period of change in the projection direction of the secondary light L2, that is, a scanning period that is a period of scanning the scanning area R0, as a generation period of the distance measuring image, and generates one image for each scanning period. Generate a ranging image.

なお、走査周期とは、例えば、測距装置１０が走査領域Ｒ０に対する光走査を周期的に行う場合において、回動ミラー１２Ａの所定の変位がその後に再度当該変位に戻るまでの期間をいう。また、測距部２３は、生成した複数の測距画像を時系列に沿って動画として表示する表示部（図示せず）を有していてもよい。 Note that the scanning period refers to, for example, a period until a predetermined displacement of the rotary mirror 12A returns to that displacement again when the distance measuring device 10 periodically performs optical scanning on the scanning region R0. Further, the distance measuring section 23 may include a display section (not shown) that displays the generated plurality of distance measuring images as a moving image in chronological order.

図２は、光源１１の光出射面１１Ｓを模式的に示す図である。また、図３は、走査面Ｒ１上の２次光Ｌ２の軌跡を模式的に示す図である。本実施例においては、図２に示すように、光源１１は、第１の方向Ｄ１を長手方向とするライン状又は楕円状のビーム形状を有するレーザ光を１次光Ｌ１として出射するレーザ素子１１Ａを有する。本実施例においては、レーザ素子１１Ａは、第１の方向Ｄ１を長手方向とし、第２の方向Ｄ２を短手方向とする断面形状を有するライン状のレーザ光を出射する。 FIG. 2 is a diagram schematically showing the light exit surface 11S of the light source 11. Moreover, FIG. 3 is a diagram schematically showing the locus of the secondary light L2 on the scanning surface R1. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the light source 11 includes a laser element 11A that emits a laser beam having a linear or elliptical beam shape whose longitudinal direction is the first direction D1 as the primary light L1. has. In this embodiment, the laser element 11A emits a line-shaped laser beam having a cross-sectional shape whose longitudinal direction is in the first direction D1 and whose transverse direction is in the second direction D2.

また、偏向素子１３は、１次光Ｌ１を第２の方向Ｄ２に沿って可変に偏向する。従って、図３に示すように、本実施例においては、測距装置１０は、第１の方向Ｄ１に延びるライン状の２次光Ｌ２の投光方向（出射方向）を第２の方向Ｄ２に沿って変化させることで走査面Ｒ１を走査する。 Moreover, the deflection element 13 variably deflects the primary light L1 along the second direction D2. Therefore, as shown in FIG. 3, in this embodiment, the distance measuring device 10 changes the projection direction (output direction) of the linear secondary light L2 extending in the first direction D1 to the second direction D2. The scanning surface R1 is scanned by changing the direction along the scanning surface R1.

図４は、受光素子１６及び遮光壁１７の斜視図である。まず、本実施例においては、受光素子１６は、方向ＤＡに沿って複数の受光セグメント１６Ａが配列された受光面１６Ｓを有する。本実施例においては、受光素子１６は、受光面１６Ｓに複数の受光セグメント１６Ａが１列に配列されている。本実施例においては、受光素子１６は、ライン状の受光面１６Ｓを有するラインセンサである。 FIG. 4 is a perspective view of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17. First, in this embodiment, the light receiving element 16 has a light receiving surface 16S on which a plurality of light receiving segments 16A are arranged along the direction DA. In this embodiment, the light receiving element 16 has a plurality of light receiving segments 16A arranged in a row on the light receiving surface 16S. In this embodiment, the light receiving element 16 is a line sensor having a linear light receiving surface 16S.

本実施例においては、受光セグメント１６Ａの各々は、互いに独立して３次光Ｌ３の受光動作を行う。また、受光セグメント１６Ａの各々は、少なくとも１つの光電変換素子によって光検出を行う検出素子を有する。 In this embodiment, each of the light receiving segments 16A performs a light receiving operation of the tertiary light L3 independently of each other. Furthermore, each of the light receiving segments 16A has a detection element that performs light detection using at least one photoelectric conversion element.

次に、本実施例においては、遮光壁１７は、受光素子１６の受光面１６Ｓから突出するように、受光面１６Ｓ上に形成されている。例えば、遮光壁１７の表面は、３次光Ｌ３に対して反射性又は散乱性を有する。本実施例においては、遮光壁１７の表面は、３次光Ｌ３に対して反射性及び散乱性を有する。 Next, in this embodiment, the light shielding wall 17 is formed on the light receiving surface 16S so as to protrude from the light receiving surface 16S of the light receiving element 16. For example, the surface of the light shielding wall 17 has a reflective property or a scattering property with respect to the tertiary light L3. In this embodiment, the surface of the light shielding wall 17 has reflective and scattering properties for the tertiary light L3.

また、本実施例においては、遮光壁１７は、受光素子１６の受光面１６Ｓにおける受光セグメント１６Ａの外縁の領域を取り囲むように形成されている。また、本実施例においては、遮光壁１７は、受光素子１６の受光面１６Ｓ上において複数の単位格子が配列されるように格子状に形成されている。 Further, in this embodiment, the light-shielding wall 17 is formed so as to surround the outer edge region of the light-receiving segment 16A on the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16. Further, in this embodiment, the light shielding wall 17 is formed in a lattice shape such that a plurality of unit lattices are arranged on the light receiving surface 16S of the light receiving element 16.

以下においては、受光素子１６の受光面１６Ｓ内における受光セグメント１６Ａが配列された方向を受光セグメント１６Ａの配列方向（又は受光面１６Ｓの長さ方向）ＤＡと称する場合がある。また、受光面１６Ｓ内における受光セグメント１６Ａの配列方向ＤＡに垂直な方向を受光セグメント１６Ａの側方向（又は受光面１６Ｓの幅方向）ＤＢと称する場合がある。本実施例においては、受光セグメント１６Ａの配列方向ＤＡは第１の方向Ｄ１に対応し、側方向ＤＢは第２の方向Ｄ２に対応する。 In the following, the direction in which the light-receiving segments 16A are arranged within the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16 may be referred to as the arrangement direction of the light-receiving segments 16A (or the length direction of the light-receiving surface 16S) DA. Further, a direction perpendicular to the arrangement direction DA of the light receiving segments 16A within the light receiving surface 16S may be referred to as a lateral direction of the light receiving segments 16A (or a width direction of the light receiving surface 16S) DB. In this embodiment, the arrangement direction DA of the light receiving segments 16A corresponds to the first direction D1, and the lateral direction DB corresponds to the second direction D2.

図５Ａは、対象物ＯＢに照射された２次光Ｌ２のスポット形状、及び対象物ＯＢによって反射された２次光Ｌ２である３次光Ｌ３の集光光学系１５への進路を模式的に示す図である。図５Ａに示すように、２次光Ｌ２が照射される対象物ＯＢの領域は、第１の方向Ｄ１を長手方向とするライン状の形状を有する。そして、集光光学系１５には、当該対象物ＯＢにおける２次光Ｌ２の被照射領域から、種々の入射角を有する光が３次光Ｌ３として入射することとなる。 FIG. 5A schematically shows the spot shape of the secondary light L2 irradiated on the object OB and the path of the tertiary light L3, which is the secondary light L2 reflected by the object OB, to the condensing optical system 15. FIG. As shown in FIG. 5A, the area of the object OB that is irradiated with the secondary light L2 has a linear shape whose longitudinal direction is the first direction D1. Then, light having various incident angles enters the condensing optical system 15 as tertiary light L3 from the area of the target object OB that is irradiated with the secondary light L2.

図５Ｂは、集光光学系１５と受光素子１６及び遮光壁１７との間の配置関係を模式的に示す図である。まず、受光素子１６の受光面１６Ｓは、平面状に形成され、集光光学系１５の光軸に垂直に延びるように配置されている。 FIG. 5B is a diagram schematically showing the arrangement relationship between the condensing optical system 15, the light receiving element 16, and the light shielding wall 17. First, the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16 is formed in a planar shape and is arranged to extend perpendicularly to the optical axis of the condensing optical system 15.

また、集光光学系１５に入射した３次光Ｌ３は、その集光光学系１５への入射角に応じて、複数の部分光（以下、部分３次光と称する）Ｌ３Ａに分割されることができる。これら部分３次光Ｌ３Ａの各々は、図５Ｂに示すように、受光セグメント１６Ａの各々によって受光される光となる。 Further, the tertiary light L3 incident on the condensing optical system 15 is divided into a plurality of partial lights (hereinafter referred to as partial tertiary lights) L3A according to the angle of incidence on the condensing optical system 15. Can be done. Each of these partial tertiary lights L3A becomes light that is received by each of the light receiving segments 16A, as shown in FIG. 5B.

例えば、複数の部分光Ｌ３Ａのうち、集光光学系１５の光軸に平行な方向に沿って進む部分光（すなわち３次光Ｌ３における入射角が０度の成分）Ｌ３ＡＡは、複数の受光セグメント１６Ａのうちの中央部に配置された受光セグメント１６ＡＡに入射し、この受光セグメント１６ＡＡによって受光及び検出される。 For example, among the plurality of partial lights L3A, the partial light L3AA that travels along a direction parallel to the optical axis of the condensing optical system 15 (i.e., the component with an incident angle of 0 degree in the tertiary light L3) is divided into a plurality of light-receiving segments. The light enters the light receiving segment 16AA located in the center of the light receiving segment 16A, and is received and detected by the light receiving segment 16AA.

このようにして、受光セグメント１６Ａ毎に受光された部分３次光Ｌ３Ａに対応する電気信号が受光セグメント１６Ａの各々によって生成される。そして、従って、走査領域Ｒ０における２次光Ｌ２が１度に投光される領域を、第１の方向Ｄ１に沿って、受光セグメント１６Ａの各々に対応する複数の部分領域に分けたとき、当該複数の部分領域に対する走査情報が一括して取得される。また、これを第２の方向Ｄ２に沿って繰り返し行うことで、走査領域Ｒ０の全体の走査情報が取得される。 In this way, an electric signal corresponding to the partial tertiary light L3A received by each light receiving segment 16A is generated by each light receiving segment 16A. Therefore, when the area where the secondary light L2 is projected at one time in the scanning area R0 is divided into a plurality of partial areas corresponding to each of the light receiving segments 16A along the first direction D1, the corresponding Scanning information for a plurality of partial areas is acquired at once. Furthermore, by repeating this process along the second direction D2, scanning information for the entire scanning area R0 is acquired.

また、本実施例においては、遮光壁１７は、受光面１６Ｓから、集光光学系１５に向かって、受光面１６Ｓに垂直な方向に沿って突出している。従って、遮光壁１７の壁面（側面）１７Ｓは、受光面１６Ｓに垂直な方向に延びている。 Further, in this embodiment, the light shielding wall 17 protrudes from the light receiving surface 16S toward the condensing optical system 15 along a direction perpendicular to the light receiving surface 16S. Therefore, the wall surface (side surface) 17S of the light shielding wall 17 extends in a direction perpendicular to the light receiving surface 16S.

また、本実施例においては、集光光学系１５は、受光素子１６の受光面１６Ｓから離間した位置（焦点位置）Ｐ１に３次光Ｌ３（反射光）が集光されるように配置されている。具体的には、例えば、集光光学系１５が少なくとも１つのレンズを有する場合について、当該レンズの位置を位置Ｐ０とした場合、そのレンズの焦点距離ＬＦだけ離れた位置Ｐ１よりも当該レンズから離れた位置に受光素子１６の受光面１６Ｓが配置されている。 Further, in this embodiment, the condensing optical system 15 is arranged so that the tertiary light L3 (reflected light) is condensed at a position (focal position) P1 spaced apart from the light receiving surface 16S of the light receiving element 16. There is. Specifically, for example, in the case where the condensing optical system 15 has at least one lens, if the position of the lens is set to the position P0, the position is further away from the lens than the position P1, which is distant by the focal length LF of the lens. The light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16 is arranged at the position shown in FIG.

本実施例においては、集光光学系１５は、遮光壁１７によって画定される受光面１６Ｓ上の空間内に３次光Ｌ３が集光されるように配置されている。従って、図５に示すように、３次光Ｌ３（部分３次光Ｌ３Ａの各々）は、完全には集光されていない状態で受光素子１６の受光セグメント１６Ａの各々に入射する。 In this embodiment, the condensing optical system 15 is arranged so that the tertiary light L3 is condensed in a space on the light receiving surface 16S defined by the light shielding wall 17. Therefore, as shown in FIG. 5, the tertiary light L3 (each of the partial tertiary lights L3A) enters each of the light receiving segments 16A of the light receiving element 16 without being completely focused.

図６は、受光素子１６及び遮光壁１７の上面図である。図６に示すように、受光素子１６においては、受光セグメント１６Ａが互いに離間して配列されている。従って、受光素子１６の受光面１６Ｓには、受光セグメント１６Ａが形成された領域（以下、セグメント領域と称する）Ａ０と、隣接する受光セグメント１６Ａ間の領域（以下、セグメント間領域と称する）Ａ１と、が形成される。 FIG. 6 is a top view of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17. As shown in FIG. 6, in the light receiving element 16, the light receiving segments 16A are arranged apart from each other. Therefore, the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16 has an area A0 in which the light-receiving segments 16A are formed (hereinafter referred to as a segment area), and an area A1 between adjacent light-receiving segments 16A (hereinafter referred to as an inter-segment area). , is formed.

また、遮光壁１７は、セグメント間領域Ａ１に形成された第１の壁部１７Ａと、セグメント領域Ａ０の全体を取り囲むように形成された第２の壁部１７Ｂとを有する。本実施例においては、第２の壁部１７Ｂは、他の受光セグメント１６Ａに隣接しない受光セグメント１６Ａの側面の領域に形成されている。また、本実施例においては、第１及び第２の壁部１７Ａ及び１７Ｂは、一体的に形成されている。 Further, the light shielding wall 17 includes a first wall portion 17A formed in the inter-segment region A1, and a second wall portion 17B formed so as to surround the entire segment region A0. In this embodiment, the second wall portion 17B is formed in a region of the side surface of the light receiving segment 16A that is not adjacent to other light receiving segments 16A. Further, in this embodiment, the first and second wall portions 17A and 17B are integrally formed.

図７及び図８の各々は、受光素子１６及び遮光壁１７の断面図である。図７及び図８は、それぞれ、図６の７－７線及び８－８線に沿った断面図である。図７は、受光セグメント１６Ａの配列方向ＤＡに沿った受光素子１６及び遮光壁１７の断面図である。また、図８は、受光セグメント１６Ａの側方向ＤＢに沿った受光素子１６及び遮光壁１７の断面図である。 7 and 8 are cross-sectional views of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17. 7 and 8 are cross-sectional views taken along lines 7-7 and 8-8 in FIG. 6, respectively. FIG. 7 is a sectional view of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17 along the arrangement direction DA of the light receiving segments 16A. Moreover, FIG. 8 is a sectional view of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17 along the lateral direction DB of the light receiving segment 16A.

まず、図７及び図８に示すように、受光素子１６は、基板３１と、基板３１上において並置された複数の光検出素子３２と、複数の光検出素子３２の上面全体を覆うように基板３１上に一体的に形成された透光板３３と、を有する。 First, as shown in FIGS. 7 and 8, the light receiving element 16 includes a substrate 31, a plurality of photodetecting elements 32 arranged in parallel on the substrate 31, and a substrate so as to cover the entire upper surface of the plurality of photodetecting elements 32. 31 and a transparent plate 33 integrally formed on the transparent plate 31.

光検出素子３２の各々は、３次光Ｌ３に対して光電変換を行う少なくとも１つの光電変換素子を有する。本実施例においては、光検出素子３２の各々は、ガイガーモードで動作する少なくとも１つのアバランシェフォトダイオードを含む。また、本実施例においては、透光板３３は、平板形状を有し、３次光Ｌ３に対して透光性を有する。 Each of the photodetecting elements 32 has at least one photoelectric conversion element that performs photoelectric conversion on the tertiary light L3. In this embodiment, each of the photodetecting elements 32 includes at least one avalanche photodiode operating in Geiger mode. Further, in this embodiment, the light-transmitting plate 33 has a flat plate shape and is transparent to the tertiary light L3.

本実施例においては、図７に示すように、１つの光検出素子３２と、透光板３３における当該１つの光検出素子３２上の部分とは、受光素子１６における１つの受光セグメント１６Ａを構成する。また、透光板３３の上面（遮光壁１７側の表面）は、受光素子１６における受光面１６Ｓを構成する。 In this embodiment, as shown in FIG. 7, one photodetection element 32 and a portion of the light-transmitting plate 33 above the one photodetection element 32 constitute one light-receiving segment 16A in the light-receiving element 16. do. Further, the upper surface of the light-transmitting plate 33 (the surface on the light-shielding wall 17 side) constitutes a light-receiving surface 16S in the light-receiving element 16.

また、遮光壁１７の第１及び第２の壁部１７Ａ及び１７Ｂは、透光板３３上に形成されている。本実施例においては、第１及び第２の壁部１７Ａは、透光板３３に接合されている。また、遮光壁１７の壁面１７Ｓ（図５参照）は、第１の壁部１７Ａにおけるセグメント領域Ａ０側に設けられた第１の壁面１７ＡＳと、第２の壁部１７Ｂにおけるセグメント領域Ａ０側に設けられた第２の壁面１８ＢＳと、を有する。 Further, the first and second wall portions 17A and 17B of the light shielding wall 17 are formed on the light transmitting plate 33. In this embodiment, the first and second wall portions 17A are joined to the light-transmitting plate 33. Further, the wall surface 17S (see FIG. 5) of the light shielding wall 17 includes a first wall surface 17AS provided on the segment area A0 side of the first wall portion 17A and a first wall surface 17AS provided on the segment area A0 side of the second wall portion 17B. and a second wall surface 18BS.

なお、例えば、図６乃至図８に示す例では、遮光壁１７の第１の壁部１７Ａは、セグメント間領域Ａ１の間隔（配列方向ＤＡにおける隣接する光検出素子３２間の距離）と同一又はこれよりも小さな厚さを有している。しかし、遮光壁１７の厚さはこれに限定されない。例えば、遮光壁１７は、セグメント間領域Ａ１の間隔よりも大きな厚さを有していてもよい。遮光壁１７は、わずかにセグメント領域Ａ０上に形成されることとなる。 Note that, for example, in the examples shown in FIGS. 6 to 8, the first wall portion 17A of the light shielding wall 17 is equal to or equal to the distance between the inter-segment areas A1 (the distance between adjacent photodetecting elements 32 in the arrangement direction DA). It has a thickness smaller than this. However, the thickness of the light shielding wall 17 is not limited to this. For example, the light shielding wall 17 may have a thickness greater than the interval between the inter-segment areas A1. The light shielding wall 17 will be formed slightly above the segment area A0.

図９は、遮光壁１７に入射した３次光Ｌ３の進路を模式的に示す図である。図９は、図７と同様の断面図である。まず、受光面１６Ｓにおける隣接する受光セグメント１６Ａ間の領域には、遮光壁１７の第１の壁部１７Ａが設けられている。 FIG. 9 is a diagram schematically showing the course of the tertiary light L3 that has entered the light shielding wall 17. FIG. 9 is a cross-sectional view similar to FIG. 7. First, a first wall portion 17A of the light shielding wall 17 is provided in a region between adjacent light receiving segments 16A on the light receiving surface 16S.

また、遮光壁１７によって画定された１つの空間内に入射した３次光Ｌ３（部分３次光Ｌ３Ａ）は、当該１つの空間に対応する１つの受光セグメント１６Ａに受光されるべき光である。遮光壁１７は、当該空間内に入射した３次光Ｌ３が他の空間に進むことを抑制する。従って、１つの受光セグメント１６Ａに受光されるべき部分３次光Ｌ３Ａが他の受光セグメント１６Ａに受光されること、すなわち受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークが抑制される。 Further, the tertiary light L3 (partial tertiary light L3A) that has entered one space defined by the light shielding wall 17 is light that should be received by one light receiving segment 16A corresponding to the one space. The light shielding wall 17 suppresses the tertiary light L3 that has entered the space from proceeding to other spaces. Therefore, partial tertiary light L3A to be received by one light receiving segment 16A is suppressed from being received by another light receiving segment 16A, that is, light crosstalk between light receiving segments 16A is suppressed.

また、本実施例においては、図９に示すように、遮光壁１７における第１の壁部１７Ａの第１の壁面１７ＡＳは、３次光Ｌ３を散乱させるように構成されている。本実施例においては、遮光壁１７の壁面１７Ｓの全てが光を散乱させるように構成されている。例えば、遮光壁１７は、その壁面１７Ｓに凹凸などの光散乱処理が施されている。 Further, in this embodiment, as shown in FIG. 9, the first wall surface 17AS of the first wall portion 17A in the light shielding wall 17 is configured to scatter the tertiary light L3. In this embodiment, the entire wall surface 17S of the light shielding wall 17 is configured to scatter light. For example, the light shielding wall 17 has a wall surface 17S subjected to a light scattering treatment such as unevenness.

従って、遮光壁１７の壁面１７Ｓに入射した３次光Ｌ３（部分３次光Ｌ３Ａ）は、図９に示すように、遮光壁１７によって散乱する。また、３次光Ｌ３は、遮光壁１７に入射する度に散乱される。 Therefore, the tertiary light L3 (partial tertiary light L3A) incident on the wall surface 17S of the light shielding wall 17 is scattered by the light shielding wall 17, as shown in FIG. Further, the tertiary light L3 is scattered every time it enters the light shielding wall 17.

これによって、３次光Ｌ３がセグメント領域Ａ０の全体に入射しやすくなる。従って、受光セグメント１６Ａ（光検出素子３２）の全体で３次光Ｌ３を受光することができる。これによって、３次光Ｌ３を確実に受光及び検出することができる。 This makes it easier for the tertiary light L3 to enter the entire segment area A0. Therefore, the entire light receiving segment 16A (photodetecting element 32) can receive the tertiary light L3. Thereby, the tertiary light L3 can be reliably received and detected.

また、本実施例においては、受光セグメント１６Ａの各々は、ガイガーモードで動作する少なくとも１つのアバランシェフォトダイオードを含む光検出素子３２を有する。従って、光検出素子３２における部分３次光Ｌ３が入射する領域が大きいほど、正確に光検出動作（フォトンカウンティング）を行うことができる。これに対し、遮光壁１７が光散乱性を有することで、受光セグメント１６Ａの全体に部分３次光Ｌ３を受光させることができる。従って、より正確に３次光Ｌ３を受光及び検出することができる。 Furthermore, in this embodiment, each of the light receiving segments 16A has a photodetecting element 32 including at least one avalanche photodiode operating in Geiger mode. Therefore, the larger the area on the photodetection element 32 into which the partial tertiary light L3 is incident, the more accurately the photodetection operation (photon counting) can be performed. On the other hand, since the light shielding wall 17 has light scattering properties, the entire light receiving segment 16A can receive the partial tertiary light L3. Therefore, the tertiary light L3 can be received and detected more accurately.

なお、本実施例においては、受光素子１６が一体的に形成された透光板３３を有し、遮光壁１７が透光板３３上に形成される場合について説明した。しかし、受光素子１６及び遮光壁１７の構成はこれに限定されない。 In this embodiment, a case has been described in which the light-receiving element 16 has an integrally formed light-transmitting plate 33 and the light-blocking wall 17 is formed on the light-transmitting plate 33. However, the configurations of the light receiving element 16 and the light shielding wall 17 are not limited to this.

図１０は、本実施例の変形例１に係る測距装置１０Ａにおける受光素子１６Ｍ及び遮光壁１８の断面図である。図１０は、受光素子１６Ｍ及び遮光壁１８における図７と同様の断面図である。測距装置１０Ａは、受光素子１６Ｍ及び遮光壁１８の構成を除いては、測距装置１０と同様の構成を有する。 FIG. 10 is a cross-sectional view of the light receiving element 16M and the light shielding wall 18 in the distance measuring device 10A according to the first modification of the present embodiment. FIG. 10 is a sectional view similar to FIG. 7 of the light receiving element 16M and the light shielding wall 18. The distance measuring device 10A has the same configuration as the distance measuring device 10 except for the configuration of the light receiving element 16M and the light shielding wall 18.

測距装置１０Ａにおいては、受光素子１６Ｍは、基板３１及び複数の光検出素子３２と、各々が光検出素子３２の上面上に形成された複数の透光板３４と、を有する。本変形例においては、１つの光検出素子３２及び当該光検出素子３２上の透光板３４が受光素子１６Ｍにおける１つの受光セグメント１６Ａを構成する。また、透光板３４の上面の各々が受光素子１６Ｍの受光面１６Ｓを構成する。 In the distance measuring device 10A, the light receiving element 16M includes a substrate 31, a plurality of photodetecting elements 32, and a plurality of transparent plates 34, each of which is formed on the upper surface of the photodetecting element 32. In this modification, one photodetection element 32 and the light-transmitting plate 34 on the photodetection element 32 constitute one light-receiving segment 16A in the light-receiving element 16M. Further, each of the upper surfaces of the light-transmitting plate 34 constitutes a light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16M.

また、本変形例においては、遮光壁１８は、受光素子１６Ｍの基板３１上に形成されている。具体的には、遮光壁１８の第１の壁部１８Ａは、受光素子１６Ｍの基板３１上における隣接する光検出素子３２間の領域（すなわちセグメント間領域）Ａ１に形成されている。また、第２の壁部１８Ｂは、基板３１上における光検出素子３２の最外部の領域において、光検出素子３２の全体を取り囲むように形成されている。 Further, in this modification, the light shielding wall 18 is formed on the substrate 31 of the light receiving element 16M. Specifically, the first wall portion 18A of the light shielding wall 18 is formed in a region A1 between adjacent photodetecting elements 32 (ie, an intersegment region) on the substrate 31 of the light receiving element 16M. Further, the second wall portion 18B is formed in the outermost region of the photodetecting element 32 on the substrate 31 so as to surround the entire photodetecting element 32.

なお、本変形例においては、遮光壁１８の第１及び第２の壁部１８Ａ及び１８Ｂは、基板３１の上面から、受光面１６Ｓを越えて形成されており、これによって受光面１６Ｓから突出している。 In this modification, the first and second wall portions 18A and 18B of the light shielding wall 18 are formed from the upper surface of the substrate 31 beyond the light receiving surface 16S, so that they protrude from the light receiving surface 16S. There is.

本変形例においては、光検出素子３２の側面間に遮光壁１８が設けられている。従って、例えば、１の受光セグメント１６Ａに向けて部分３次光Ｌ３Ａが透光板３４に入射した後に当該部分３次光Ｌ３Ａが当該１の受光セグメント１６Ａではない他の受光セグメント１６Ａに受光されることが抑制される。従って、受光セグメント１６Ａ間のクロストークの抑制効果が大きい。このように遮光壁１８が設けられていてもよい。 In this modification, a light shielding wall 18 is provided between the side surfaces of the photodetecting element 32. Therefore, for example, after the partial tertiary light L3A enters the light-transmitting plate 34 toward one light-receiving segment 16A, the partial tertiary light L3A is received by another light-receiving segment 16A other than the first light-receiving segment 16A. things are suppressed. Therefore, the effect of suppressing crosstalk between the light receiving segments 16A is large. The light shielding wall 18 may be provided in this manner.

図１１は、本実施例の変形例２に係る測距装置１０Ｂにおける受光素子１６及び遮光壁１９の上面図である。また、図１２は、受光素子１６及び遮光壁１９の断面図である。図１２は、図１１における１２－１２線に沿った断面図であり、受光セグメント１６Ａの側方向ＤＢにおける断面図である。測距装置１０Ｂは、遮光壁１９の構成を除いては、測距装置１０と同様の構成を有する。 FIG. 11 is a top view of the light receiving element 16 and the light shielding wall 19 in the distance measuring device 10B according to the second modification of the present embodiment. Further, FIG. 12 is a cross-sectional view of the light receiving element 16 and the light shielding wall 19. FIG. 12 is a sectional view taken along line 12-12 in FIG. 11, and is a sectional view of the light receiving segment 16A in the lateral direction DB. The distance measuring device 10B has the same configuration as the distance measuring device 10 except for the configuration of the light shielding wall 19.

測距装置１０Ｂにおいては、遮光壁１９は、第２の壁部１９Ａの受光セグメント１６Ａ側に設けられた第２の壁面１９ＡＳが受光面１６Ｓに対して傾斜している点を除いては、遮光壁１７と同様の構成を有する。 In the distance measuring device 10B, the light shielding wall 19 is light shielding except that the second wall surface 19AS provided on the light receiving segment 16A side of the second wall portion 19A is inclined with respect to the light receiving surface 16S. It has a similar configuration to wall 17.

本変形例においては、第２の壁部１９Ａの各々は、受光セグメント１６Ａ側に設けられ、受光面１６Ｓとのなす角度が９０°よりも大きい第２の壁面１９ＡＳを有する。本変形例においては、遮光壁１９の第２の壁部１９Ａは、対向する他の第２の壁部１９Ａとの距離が受光面１６Ｓから離れるに従って徐々に大きくなるように、受光面１６Ｓに対して傾斜する第２の壁面１９ＡＳを有する。 In this modification, each of the second wall portions 19A has a second wall surface 19AS that is provided on the light receiving segment 16A side and forms an angle of more than 90° with the light receiving surface 16S. In this modification, the second wall portion 19A of the light shielding wall 19 is arranged relative to the light receiving surface 16S such that the distance from the opposing second wall portion 19A gradually increases as the distance from the light receiving surface 16S increases. It has a second wall surface 19AS that slopes.

第２の壁部１９Ａがこのように構成されていることで、受光セグメント１６Ａに入射する部分３次光Ｌ３Ａの大部分が受光セグメント１６Ａに入射する前に遮光壁１９に入射しやすくなる。従って、部分３次光Ｌ３Ａを反射及び散乱させつつ受光セグメント１６Ａの全体に導くことができる。従って、受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークを抑制しつつ、受光セグメント１６Ａに正確に３次光Ｌ３を受光させることができる。 By configuring the second wall portion 19A in this manner, most of the partial tertiary light L3A that enters the light receiving segment 16A easily enters the light shielding wall 19 before entering the light receiving segment 16A. Therefore, the partial tertiary light L3A can be guided to the entire light receiving segment 16A while being reflected and scattered. Therefore, the light receiving segments 16A can accurately receive the tertiary light L3 while suppressing crosstalk of light between the light receiving segments 16A.

なお、本実施例及びその変形例においては、遮光壁１７乃至１９が受光セグメント１６Ａの領域を取り囲むように形成されている場合について説明した。しかし、遮光壁１７乃至１９の構成はこれに限定されない。 In this embodiment and its modifications, a case has been described in which the light shielding walls 17 to 19 are formed so as to surround the region of the light receiving segment 16A. However, the configuration of the light shielding walls 17 to 19 is not limited to this.

例えば、遮光壁１７は、セグメント間領域Ａ１に設けられた第１の壁部１７Ａを有することによって、受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークを抑制することができる。従って、例えば、遮光壁１７は、第２の壁部１７Ｂを有していなくてもよい。すなわち、遮光壁１７は、受光素子１６の受光面１６Ｓにおける隣接する他の受光セグメント１６Ａ間の領域Ａ１から突出していればよい。 For example, the light shielding wall 17 can suppress crosstalk of light between the light receiving segments 16A by having the first wall portion 17A provided in the inter-segment region A1. Therefore, for example, the light shielding wall 17 does not need to have the second wall portion 17B. That is, the light-shielding wall 17 only needs to protrude from the area A1 between the other adjacent light-receiving segments 16A on the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16.

また、本実施例においては、例えば、遮光壁１７が３次光Ｌ３、すなわち対象物ＯＢによって反射された１次光Ｌ１に対して反射性及び散乱性を有するように構成されている場合について説明した。しかし、遮光壁１７の構成はこれに限定されない。例えば、遮光壁１７は、１次光Ｌ１に対して吸収性を有していてもよい。例えば、遮光壁１７は、１次光Ｌ１に対して遮光性を有していればよい。 Further, in this embodiment, for example, a case will be described in which the light shielding wall 17 is configured to have reflective and scattering properties for the tertiary light L3, that is, the primary light L1 reflected by the object OB. did. However, the configuration of the light shielding wall 17 is not limited to this. For example, the light shielding wall 17 may have absorbency for the primary light L1. For example, the light shielding wall 17 only needs to have a light shielding property against the primary light L1.

また、本実施例及びその変形例においては、受光素子１６及び１６Ｍの受光セグメント１６Ａが第１の方向Ｄ１に沿って１列に配列される場合について説明した。しかし、受光素子１６及び１６Ｍの構成はこれに限定されない。 Further, in the present embodiment and its modification, the case where the light receiving segments 16A of the light receiving elements 16 and 16M are arranged in one row along the first direction D1 has been described. However, the configurations of the light receiving elements 16 and 16M are not limited to this.

例えば、受光素子１６は、複数の受光セグメント１６Ａが配列された受光面１６Ｓを有していればよい。また、集光光学系１５は、３次光Ｌ３を集光させつつこれらの受光セグメント１６Ａの各々に導くように構成されていればよい。 For example, the light receiving element 16 may have a light receiving surface 16S on which a plurality of light receiving segments 16A are arranged. Further, the condensing optical system 15 may be configured to condense the tertiary light L3 and guide it to each of these light receiving segments 16A.

換言すれば、例えば、測距装置１０は、３次光Ｌ３を受光し、複数の受光セグメント１６Ａが配列された受光面１６Ｓを有する受光素子１６と、３次光Ｌ３を集光させつつ受光セグメント１６Ａの各々に導く集光光学系１５と、受光素子１６の受光面１６Ｓ内の互いに隣接する受光セグメント１６Ａ間の領域Ａ１から突出し、１次光Ｌ１に対して遮光性を有する遮光壁１７と、を有していればよい。 In other words, for example, the distance measuring device 10 includes a light receiving element 16 that receives the tertiary light L3 and has a light receiving surface 16S on which a plurality of light receiving segments 16A are arranged, and a light receiving element 16 that receives the tertiary light L3 while condensing the tertiary light L3. 16A, a light-blocking wall 17 that protrudes from the region A1 between the mutually adjacent light-receiving segments 16A in the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16, and has a light-blocking property against the primary light L1; It is sufficient if it has the following.

これによって、受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークを抑制しつつ、一括で走査領域Ｒ０内の複数の領域に対する２次光Ｌ２の投受光を行うことができる。そして、これによって正確な測距動作を行うことが可能な測距装置１０を提供することができる。 Thereby, it is possible to simultaneously project and receive the secondary light L2 to a plurality of regions within the scanning region R0 while suppressing light crosstalk between the light receiving segments 16A. Thus, it is possible to provide the distance measuring device 10 that can perform accurate distance measuring operations.

なお、正確に受光動作を行うことを考慮すると、例えば、遮光壁１７の壁面１７Ｓは、１次光Ｌ１を反射又は散乱させるように構成されていることが好ましい。また、３次光Ｌ３以外の装置内の迷光などの受光を抑制することを考慮すると、遮光壁１７が第２の壁部１７Ｂを有すること、すなわち遮光壁１７が受光面１６Ｓにおける受光セグメント１６Ａの各々の外縁の領域を取り囲むように形成されていることが好ましい。 Note that, in consideration of accurately performing the light receiving operation, for example, the wall surface 17S of the light shielding wall 17 is preferably configured to reflect or scatter the primary light L1. Furthermore, in consideration of suppressing the reception of stray light in the device other than the tertiary light L3, the light shielding wall 17 has the second wall portion 17B, that is, the light shielding wall 17 has the light receiving segment 16A on the light receiving surface 16S. It is preferable that they be formed so as to surround each outer edge area.

また、受光面１６Ｓから離間した位置Ｐ１に３次光Ｌ３を集光させるように集光光学系１５を配置することで、受光セグメント１６Ａの全体に３次光Ｌ３を入射させることができる。これらの場合、例えば光検出素子３２としてガイガーモードで動作するアバランシェフォトダイオードのような検出面に入射する光の面積で光検出精度が異なる受光素子１６を用いる場合の効果が大きい。 Further, by arranging the condensing optical system 15 so as to condense the tertiary light L3 at a position P1 spaced apart from the light receiving surface 16S, the tertiary light L3 can be made incident on the entire light receiving segment 16A. In these cases, it is highly effective to use, as the photodetector 32, a photodetector 16, such as an avalanche photodiode operating in Geiger mode, whose photodetection accuracy differs depending on the area of light incident on the detection surface.

また、本実施例においては、光源１１がライン状の断面形状のレーザ光を１次光Ｌ１として出射する場合について説明した。しかし、光源１１の構成はこれに限定されない。例えば、光源１１は、任意の断面形状の光を１次光Ｌ１として出射すればよい。すなわち、光源１１は、１次光Ｌ１を出射するように構成されていればよい。 Further, in this embodiment, a case has been described in which the light source 11 emits a laser beam having a linear cross-sectional shape as the primary light L1. However, the configuration of the light source 11 is not limited to this. For example, the light source 11 may emit light having an arbitrary cross-sectional shape as the primary light L1. That is, the light source 11 only needs to be configured to emit the primary light L1.

このように、本実施例においては、測距装置１０は、１次光Ｌ１を出射する光源１１と、１次光Ｌ１を方向可変に偏向しつつ２次光Ｌ２として投光する偏向素子１３と、２次光Ｌ２が対象物ＯＢによって反射された３次光Ｌ３を受光し、複数の受光セグメント１６Ａが配列された受光面１６Ｓを有する受光素子１６と、３次光Ｌ３を集光させつつ受光セグメント１６Ａの各々に導く集光光学系１５と、受光素子１６の受光面１６Ｓ内の互いに隣接する受光セグメント１６Ａ間の領域Ａ１から突出し、１次光Ｌ１に対して遮光性を有する遮光壁１７と、受光素子１６による３次光Ｌ３の受光結果に基づいて対象物ＯＢまでの距離を測定する測距部２３と、を有する。 As described above, in this embodiment, the distance measuring device 10 includes a light source 11 that emits the primary light L1, and a deflection element 13 that deflects the primary light L1 in a variable direction and projects it as the secondary light L2. , receives the tertiary light L3 from which the secondary light L2 is reflected by the object OB, and receives the tertiary light L3 while condensing the tertiary light L3 with the light receiving element 16 having a light receiving surface 16S on which a plurality of light receiving segments 16A are arranged. a light-condensing optical system 15 that guides each of the segments 16A; a light-blocking wall 17 that protrudes from the region A1 between the mutually adjacent light-receiving segments 16A in the light-receiving surface 16S of the light-receiving element 16 and has a light-blocking property against the primary light L1; , and a distance measuring section 23 that measures the distance to the object OB based on the result of reception of the tertiary light L3 by the light receiving element 16.

従って、複数の受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークが抑制され、走査領域Ｒ０に対して正確な投受光を行うことで正確な測距を行うことが可能な測距装置１０を提供することができる。 Therefore, it is possible to provide a distance measuring device 10 that can suppress crosstalk of light between the plurality of light receiving segments 16A and perform accurate distance measurement by accurately transmitting and receiving light to the scanning region R0. can.

なお、本実施例においては、測距装置１０が偏向素子１３を有する場合について説明した。しかし、測距装置１０は、偏向素子１３を有していなくてもよい。すなわち、測距装置１０は、所定の方向に向けて１次光Ｌ１を出射し、対象物ＯＢによって反射された１次光Ｌ１を受光するように構成されていてもよい。この場合でも、受光素子１６の受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークを抑制することができ、正確な測距を行うことができる。すなわち、測距装置１０は、光源１１及び受光素子１６によって１次光Ｌ１の投受光を行うように構成されていればよい。 In this embodiment, the case where the distance measuring device 10 includes the deflection element 13 has been described. However, the distance measuring device 10 may not include the deflection element 13. That is, the distance measuring device 10 may be configured to emit the primary light L1 in a predetermined direction and receive the primary light L1 reflected by the object OB. Even in this case, crosstalk of light between the light receiving segments 16A of the light receiving element 16 can be suppressed, and accurate distance measurement can be performed. That is, the distance measuring device 10 may be configured to emit and receive the primary light L1 using the light source 11 and the light receiving element 16.

また、受光素子１６による３次光Ｌ３の受光結果は、測距以外の用途、例えば対象物ＯＢの検出用途などにも有効に利用することができる。従って、測距装置１０は、測距部２４を有していなくてもよい。この場合、例えば、測距装置１０における光源１１、受光素子１６、集光光学系１５及び遮光壁１７は、投受光装置として機能する。 Furthermore, the result of the reception of the tertiary light L3 by the light receiving element 16 can be effectively used for purposes other than distance measurement, for example, for detecting the object OB. Therefore, the distance measuring device 10 does not need to have the distance measuring section 24. In this case, for example, the light source 11, light receiving element 16, condensing optical system 15, and light shielding wall 17 in the distance measuring device 10 function as a light projecting and receiving device.

このように、本実施例においては、測距装置１０は、１次光Ｌ１を出射する光源１１と、１次光Ｌ１が対象物ＯＢによって反射された３次光Ｌ３を受光し、複数の受光セグメント１６Ａが配列された受光面１６Ｓを有する受光素子１６と、３次光Ｌ３を集光させつつ受光セグメント１６Ａの各々に導く集光光学系１５と、受光素子１６の受光面１６Ｓ内の互いに隣接する受光セグメント１６Ａ間の領域Ａ１から突出し、１次光Ｌ１に対して遮光性を有する遮光壁１７と、を有する。従って、受光素子１６における複数の受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークが抑制され、正確な投受光を行うことが可能な投受光装置を提供することができる。 As described above, in this embodiment, the distance measuring device 10 receives the light source 11 that emits the primary light L1, the tertiary light L3 that is the primary light L1 reflected by the object OB, and has a plurality of light receiving units. A light receiving element 16 having a light receiving surface 16S in which segments 16A are arranged, a condensing optical system 15 that focuses the tertiary light L3 and guides it to each of the light receiving segments 16A, and a light receiving surface 16S of the light receiving element 16 adjacent to each other. The light-shielding wall 17 protrudes from the area A1 between the light-receiving segments 16A and has a light-shielding property against the primary light L1. Therefore, crosstalk of light between the plurality of light receiving segments 16A in the light receiving element 16 is suppressed, and it is possible to provide a light projecting and receiving device that can accurately project and receive light.

図１３は、実施例２に係る測距装置４０における受光素子１６、遮光壁１７及び散乱板４１の上面図である。また、図１４は、受光素子１６、遮光壁１７及び散乱板４１の断面図である。図１４は、図１３における１４－１４線に沿った断面図である。 FIG. 13 is a top view of the light receiving element 16, the light shielding wall 17, and the scattering plate 41 in the distance measuring device 40 according to the second embodiment. Further, FIG. 14 is a cross-sectional view of the light receiving element 16, the light shielding wall 17, and the scattering plate 41. FIG. 14 is a sectional view taken along line 14-14 in FIG. 13.

測距装置４０は、遮光壁１７によって画定された受光面１６Ｓ上の空間の各々内に設けられ、３次光Ｌ３を散乱させる複数の散乱セグメント４１Ａからなる散乱板４１を有する点を除いては、測距装置１０と同様の構成を有する。 The distance measuring device 40 is provided in each of the spaces on the light-receiving surface 16S defined by the light-shielding wall 17, except that it has a scattering plate 41 composed of a plurality of scattering segments 41A that scatters the tertiary light L3. , has the same configuration as the distance measuring device 10.

本実施例においては、散乱板４１の散乱セグメント４１Ａの各々は、平板形状を有し、遮光壁１７の壁面１７Ｓに固定されている。また、本実施例においては、散乱セグメント４１Ａの各々は、遮光壁１７内における受光セグメント１６Ａへの３次光Ｌ３の光路の全体に配置されている。 In this embodiment, each of the scattering segments 41A of the scattering plate 41 has a flat plate shape and is fixed to the wall surface 17S of the light shielding wall 17. Further, in this embodiment, each of the scattering segments 41A is arranged on the entire optical path of the tertiary light L3 to the light receiving segment 16A within the light shielding wall 17.

従って、図１４に示すように、３次光Ｌ３は、散乱板４１によって散乱された後、受光素子１６の受光セグメント１６Ａに受光される。従って、遮光壁１７及び散乱板４１によって、受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークを抑制しつつ、受光セグメント１６Ａの全体に３次光Ｌ３を受光させることができる。従って、受光セグメント１６Ａの各々毎、及び受光素子１６全体の３次光Ｌ３の受光精度が向上する。 Therefore, as shown in FIG. 14, the tertiary light L3 is scattered by the scattering plate 41 and then received by the light receiving segment 16A of the light receiving element 16. Therefore, the light-shielding wall 17 and the scattering plate 41 can suppress the crosstalk of light between the light-receiving segments 16A, and allow the entire light-receiving segments 16A to receive the tertiary light L3. Therefore, the accuracy of receiving the tertiary light L3 for each of the light receiving segments 16A and for the entire light receiving element 16 is improved.

なお、本実施例においては、散乱板４１が遮光壁１７の壁面１７Ｓ、すなわち遮光壁１７の側壁面に形成される場合について説明した。しかし、散乱板４１は、遮光壁１７の端面上に形成されていてもよい。散乱板４１は、遮光壁１７によって画定される集光光学系１５と受光セグメント１６Ａの各々との間の３次光Ｌ３の光路上に設けられていればよい。例えば、散乱板４１は、遮光壁１７によって画定される受光面１６Ｓ上の空間内に設けられていればよい。 In this embodiment, a case has been described in which the scattering plate 41 is formed on the wall surface 17S of the light shielding wall 17, that is, on the side wall surface of the light shielding wall 17. However, the scattering plate 41 may be formed on the end surface of the light shielding wall 17. The scattering plate 41 may be provided on the optical path of the tertiary light L3 between the condensing optical system 15 defined by the light shielding wall 17 and each of the light receiving segments 16A. For example, the scattering plate 41 may be provided in a space above the light receiving surface 16S defined by the light shielding wall 17.

このように、測距装置４０は、遮光壁１７によって画定される集光光学系１５と受光セグメント１６Ａの各々との間の３次光Ｌ３の光路上に設けられ、３次光Ｌ３を散乱させる散乱板４１を有する。従って、受光素子１６における複数の受光セグメント１６Ａ間の光のクロストークが抑制され、正確な投受光を行うことが可能な投受光装置及び正確な測距を行うことが可能な測距装置４０を提供することができる。 In this way, the distance measuring device 40 is provided on the optical path of the tertiary light L3 between the condensing optical system 15 defined by the light shielding wall 17 and each of the light receiving segments 16A, and scatters the tertiary light L3. It has a scattering plate 41. Therefore, crosstalk of light between the plurality of light receiving segments 16A in the light receiving element 16 is suppressed, and the light emitting/receiving device that can accurately project and receive light and the distance measuring device 40 that can perform accurate distance measurement are provided. can be provided.

１０、１０Ａ、１０Ｂ、４０ 測距装置
１６、１６Ｍ 受光素子
１７、１８、１９ 遮光壁
４１ 散乱板 10, 10A, 10B, 40 Distance measuring device 16, 16M Light receiving element 17, 18, 19 Light shielding wall 41 Scattering plate

Claims (12)

光が対象物によって反射された反射光を受光する受光面を有し、かつ前記受光面に沿って配列されて前記反射光を各々が検出する複数の受光セグメントを有する受光素子と、
前記受光面において、前記複数の受光セグメントのうちの隣り合う受光セグメント間の領域に各々設けられ、前記反射光に対して遮光性を有する複数の第１の壁部を有する遮光壁と、
前記複数の第１の壁部のうちの隣り合う第１の壁部の間の空間内に入射する前記反射光の進行方向を変化させる光学部材と、を有し、
前記複数の第１の壁部の各々は、前記受光セグメント間の領域内で終端していることを特徴とする受光装置。 a light-receiving element having a light-receiving surface that receives reflected light that is reflected by an object, and having a plurality of light-receiving segments arranged along the light-receiving surface and each detecting the reflected light;
a light-shielding wall having a plurality of first walls each provided in a region between adjacent light-receiving segments of the plurality of light-receiving segments on the light-receiving surface and having a light-shielding property against the reflected light;
an optical member that changes the traveling direction of the reflected light that enters a space between adjacent first walls of the plurality of first walls,
The light receiving device, wherein each of the plurality of first walls terminates within a region between the light receiving segments. 前記光学部材は、前記複数の第１の壁部のうちの隣り合う第１の壁部の間の空間内に入射する前記反射光を散乱させる散乱板であることを特徴とする請求項１に記載の受光装置。 2. The optical member according to claim 1, wherein the optical member is a scattering plate that scatters the reflected light that enters a space between adjacent first walls of the plurality of first walls. The light receiving device described. 前記光学部材は、前記複数の第１の壁部のうち隣り合う第１の壁部の間の空間に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の受光装置。 The light receiving device according to claim 1 or 2, wherein the optical member is provided in a space between adjacent first wall portions among the plurality of first wall portions. 前記光学部材は、前記光学部材の一部が前記複数の第１の壁部の端面上に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の受光装置。 3. The light receiving device according to claim 1, wherein the optical member is partially provided on an end surface of the plurality of first walls. 前記複数の第１の壁部の各々の壁面は、前記反射光を反射又は散乱させるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載の受光装置。 5. The light receiving device according to claim 1, wherein each wall surface of the plurality of first wall portions is configured to reflect or scatter the reflected light. 前記遮光壁は、前記受光面における前記複数の受光セグメントの各々の外縁の領域を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載の受光装置。 The light receiving device according to any one of claims 1 to 5, wherein the light shielding wall is formed so as to surround an outer edge region of each of the plurality of light receiving segments on the light receiving surface. 前記遮光壁は、前記受光面において、前記複数の第１の壁部の各々と共に前記受光面における前記複数の受光セグメントの各々が形成された領域の全体を取り囲むように形成された第２の壁部と、を有し、
前記第２の壁部は、前記複数の受光セグメントの各々に面しておりかつ前記受光面とのなす角度が９０°よりも大きい壁面を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の受光装置。 The light-shielding wall is a second wall formed on the light-receiving surface so as to surround the entire area in which each of the plurality of light-receiving segments is formed on the light-receiving surface together with each of the plurality of first walls. and has a
7. The second wall has a wall surface that faces each of the plurality of light-receiving segments and forms an angle of more than 90° with the light-receiving surface. 1. The light receiving device according to item 1. 前記反射光を集光させつつ前記複数の受光セグメントの各々に導く集光光学系を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１つに記載の受光装置。 8. The light receiving device according to claim 1, further comprising a condensing optical system that condenses the reflected light and guides it to each of the plurality of light receiving segments. 前記集光光学系は、前記受光面の上方の位置に前記反射光が集光されるように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の受光装置。 9. The light receiving device according to claim 8, wherein the condensing optical system is arranged so that the reflected light is condensed at a position above the light receiving surface. 前記集光光学系は、少なくとも１つの光学素子を含み、
前記光学素子は、前記複数の受光セグメントを覆う位置に配置されていることを特徴とする請求項８または９のいずれか１つに記載の受光装置。 The condensing optical system includes at least one optical element,
10. The light receiving device according to claim 8, wherein the optical element is arranged at a position covering the plurality of light receiving segments. 請求項１乃至１０のいずれか１つに記載の受光装置と、
前記対象物に向けて光を出射する光源と、
を有することを特徴とする投受光装置。 A light receiving device according to any one of claims 1 to 10,
a light source that emits light toward the target;
A light emitting/receiving device characterized by having: 請求項１１に記載の投受光装置と、
前記受光素子による前記反射光の受光結果に基づいて前記対象物までの距離を測定する測距部と、を有することを特徴とする測距装置。 A light emitting/receiving device according to claim 11;
A distance measuring device comprising: a distance measuring section that measures a distance to the object based on a result of reception of the reflected light by the light receiving element.
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