JP2024012182A - イメージセンサ及びそれを含む電子装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】イメージセンサ及びそれを含む電子装置を提供する。【解決手段】当該イメージセンサは、第1カラム(column)ラインに連結される第1ピクセル、及び第2カラムラインに連結される第2ピクセルを含み、第1ピクセル及び第2ピクセルそれぞれは、フローティングディフュージョンノードを共有する第1フォトダイオード(PD)及び第2PDを含み、第1PDに基づいて、第1モード及び第2モードで動作し、第2PDに基づいて、第3モード及び第4モードで動作するピクセルアレイと、第1カラムライン及び第2カラムラインを通じて出力されるピクセル信号をアナログ・デジタル変換し、ピクセル信号をリードする第1相関二重サンプリング(CDS)回路、第2CDS回路及び第3CDS回路を含むアナログ・デジタル変換回路と、を含み、第1CDS回路は、第1カラムライン及び第2カラムラインに時分割的に連結される。【選択図】 図6

Description

本発明は、イメージセンサに関し、より詳しくは、拡張したダイナミックレンジ及び高画質のイメージを提供するイメージセンサ及びそれを含む電子装置に関する。
イメージセンサは、対象物の二次元的または三次元的イメージをキャプチャする装置である。イメージセンサは、対象物から反射される光の強度によって反応する光電変換素子を利用して、対象物のイメージを生成する。CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)技術が発展するにつれて、CMOSを利用したCMOSイメージセンサが広く使用されている。最近、イメージセンサが多様な装置に搭載されるにつれて、低照度及び高照度においてハイダイナミックレンジ(HDR)の特性及び信号対ノイズ比(SNR)の特性が向上するイメージセンサが要求されている。
本発明が解決しようとする課題は、駆動トランジスタを共有する複数の光電変換素子を含み、デュアルコンバージョンゲインモードを支援するピクセルを含むイメージセンサにおいて、高いダイナミックレンジ及び向上した信号対ノイズ比を有するイメージデータを生成するイメージセンサ、及び、それを含む電子装置を提供することである。
本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサは、第1カラム(column)ラインに連結される第1ピクセル、及び、第2カラムラインに連結される第2ピクセルを含み、前記第1ピクセル及び前記第2ピクセルそれぞれは、駆動トランジスタを共有する第1フォトダイオード(PD)及び第2PDを含み、前記第1PDに基づいて、第1モード及び第2モードで動作し、前記第2PDに基づいて、第3モード及び第4モードで動作する、ピクセルアレイと、前記第1カラムライン及び前記第2カラムラインを通じて出力されるピクセル信号をアナログ・デジタル変換し、前記ピクセル信号をリードする第1相関二重サンプリング(CDS)回路、第2CDS回路及び第3CDS回路を含むアナログ・デジタル変換回路と、を含み、前記第1CDS回路は、前記第1カラムライン及び前記第2カラムラインに時分割的に連結される。
本発明の技術的思想によるイメージセンサ及びイメージセンサの動作方法によれば、複数の光電変換素子が駆動トランジスタを共有するピクセル構造を有するイメージセンサにおいて、リードアウト回路のサイズ増加を最小化しながら、ローコンバージョンゲインモードにおいて完全な相関二重サンプリング(complete CDS)を支援することができる。これにより、ローコンバージョンゲインモードにおいてSNR(signal to noise)特性が向上し、画質が向上し、イメージセンサのHDR(high dynamic range)性能が向上し得る。
本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサを示すブロック図である。 本発明の例示的な実施形態による、ピクセル構造を示す回路図である。 本発明の例示的な実施形態による、ピクセル構造を示す回路図である。 本発明の例示的な実施形態による、ピクセルのスプリットフォトダイオード構造を説明する図面である。 本発明の例示的な実施形態による、ピクセルのスプリットフォトダイオード構造を説明する図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサに具備されるCDS回路を例示的に示す回路図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサに具備されるCDS回路を例示的に示す回路図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を概略的に示す図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を概略的に示す図面である。 図5A及び図5BのピクセルとCDS回路との動作を示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサの比較例によるイメージセンサにおいて、ピクセルのHCGモード及びLCGモードにおけるピクセル信号リードアウト方式を示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサのリードアウト方式、及び比較例によるリードアウト方式に対する照度別SNR特性を示す図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 図9Aのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 図10Aのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 図11A及び図11Bのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 図12A及び図12Bのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示す図面である。 図13Aのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサのスタック構造を示す図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサのスタック構造を示す図面である。 本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサを含む電子装置を概略的に示すブロック図である。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1は、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサを示すブロック図である。
イメージセンサ100は、イメージまたは光のセンシング機能を有する電子機器にも搭載される。例えば、イメージセンサ100は、カメラ、スマートフォン、ウェアラブル機器、モノのインターネット(Internet of Things:IoT)機器、集電機器、タブレットPC(Personal Computer)、PDA(Personal Digital Assistant)、PMP(Portable Multimedia Player)、ナビゲーション(navigation)、ドーロン(drone)、先進運転支援システム(Advanced Drivers Assistance System:ADAS)のような電子機器にも搭載される。また、イメージセンサ100は、車両、家具、製造設備、ドア、各種計測機器などに部品として備えられる電子機器にも搭載される。
図1を参照すれば、イメージセンサ100は、ピクセルアレイ110と、ロウドライバ120と、アナログ・デジタル変換回路130(以下、ADC回路という)と、ランプ信号生成器140と、タイミングコントローラ150と、イメージ信号プロセッサ160とを含むものでもある。ロウドライバ120、ADC回路130、ランプ信号生成器140、及びタイミングコントローラ150は、リードアウト回路とも称される。
ピクセルアレイ110は、複数のロウラインRLと、複数のカラムラインCLと、複数のロウラインRL及び複数のカラムラインCLと連結され、行列に配列された複数のピクセルPXとを含む。複数のピクセルPXは、APS(active pixel sensor)でもある。
実施形態において、同一カラム(column)に配置されたピクセルPXが、複数のカラムラインCLにも接続される。例えば、同一カラムに配置されたピクセルPXが、2本のカラムライン、例えば、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に交互に連結され得る。しかし、それに制限されるものではなく、同一カラムに配置されたピクセルPXが、同一カラムラインCLに連結されることも可能である。
ピクセルPXは、光電変換素子を利用して光を感知し、感知された光による電気信号であるイメージ信号を出力することができる。光電変換素子は、フォトダイオード(無機フォトダイオード)、有機フォトフィルム、ペロブスカイトフォトダイオード、フォトトランジスタ、フォトゲートまたは埋め込みフォトダイオード(pinned photodiode)のように、有機物質または無機物質で構成される光感知素子であってもよく、前記光感知素子を含んでもよい。以下、光電変換素子として、フォトダイオードを例として説明する。
複数のピクセルPXそれぞれの上部、または隣接したピクセルPXで構成されるピクセルグループそれぞれの上部に、集光のためのマイクロレンズが配置され得る。複数のピクセルPXそれぞれの上部には、特定スペクトル領域の光を透過させるためのカラーフィルタが配置され、複数のピクセルPXそれぞれは、対応するカラーフィルタに基づいて、マイクロレンズを通じて受信された光から特定スペクトル領域の光を感知することができる。例えば、ピクセルアレイ110は、レッド(red)スペクトル領域の光を電気信号に変換するためのレッドピクセル、グリーン(green)スペクトル領域の光を電気信号に変換するためのグリーンピクセル、及びブルー(blue)スペクトル領域の光を電気信号に変換するためのブルーピクセルを含んでもよい。しかし、それに制限されるものではなく、ピクセルアレイ110は、ホワイトピクセルを、さらに含むこともでき、あるいは、ピクセルアレイ110は、他の色相組み合わせによるピクセル、例えば、シアン(cyan)ピクセル、イエロー(yellow)ピクセル、グリーンピクセル、及びマゼンタ(magenta)ピクセルを含むこともできる。ピクセルPXは、ベイヤーパターンにも配列される。しかし、それに制限されるものではない。
本発明の実施形態によるピクセルアレイ110において、ピクセルPXは、複数のフォトダイオード、例えば、第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードがピクセルPXの回路の一部構成、例えば、リセットトランジスタRX(図2A)、駆動トランジスタDX(図2A)、及び選択トランジスタSX(図2A)を共有するピクセル構造を有することができる。フォトダイオードの受光面積は、互いに異なってもいる。例えば、第1フォトダイオードの受光面積が、第2フォトダイオードの受光面積よりも広い。第1フォトダイオードは、ラージフォトダイオードLPD(図2A)とも称され、第2フォトダイオードは、スモールフォトダイオードSPD(図2A)とも称される。また、ピクセルは、第2フォトダイオード、すなわち、スモールフォトダイオードSPDからオーバーフローされる電荷を保存する高容量キャパシタCLOF(図2A)を具備することもできる。
ラージフォトダイオードLPDの受光面積が広いので、同一受光条件でスモールフォトダイオードSPDより多い電荷(例えば、さらに多い電子-正孔の対)を生成することができる。例えば、ラージフォトダイオードLPDは、スモールフォトダイオードSPDより高い感度を有することができる。そのような特性に起因して、低照度である場合、ラージフォトダイオードLPDで生成された電荷に基づいたピクセル信号を利用し、高照度である場合、スモールフォトダイオードSPDで生成された電荷に基づいたピクセル信号を利用して、イメージ信号を生成することができる。以下、説明の便宜上、ピクセルPXが、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDを含むことを前提として説明する。しかし、それに限定されるものではなく、ピクセルPXは、受光面積が互いに同一、または、互いに異なる複数のフォトダイオードを含むこともできる。
ピクセルPXは、複数のモード(動作モード)によって順次に動作することができる。実施形態において、ピクセルPXは、第1フォトダイオードに基づいて、第1モード及び第2モードで動作し、第2フォトダイオードに基づいて、第3モード及び第4モードで動作することができる。第1モード及び第2モードは、コンバージョンゲインによって区分され、ここで、コンバージョンゲインは、フォトダイオード、例えば、第1フォトダイオードで生成された電荷が電気信号(例えば、ピクセル電圧)に変換される割合を示し、コンバージョンゲインは、フローティングディフュージョンノードに連結される寄生キャパシタのキャパシタンス(以下、簡単にフローティングディフュージョンノードのキャパシタンスと称する)によっても可変である。例えば、ピクセルPXは、デュアルコンバージョンゲインモードを支援し、第1モードは、第1フォトダイオードに基づいたローコンバージョンゲインモードであり、第2モードは、第1フォトダイオードに基づいたハイコンバージョンゲインモードでもある。第3モード及び第4モードは、ピクセルPXに具備される高容量キャパシタに保存された第2フォトダイオードのオーバーフローされた電荷による信号をリードアウト(または、リード)するか否かに基づいても区分される。ピクセルPXの構造及びモードについて、以下、図2Aないし図3B、及び、図5Aないし図6を参照して、詳細に後述する。
第1ないし第4モードによってリードアウトされる第1モードないし第4モードのピクセル信号は、互いに異なる照度区間に対応している。例えば、第2モードによる第2モードピクセル信号は、最も低い照度区間である第1照度区間に対応し、第1モードによる第1モードピクセル信号は、第1照度区間より高い照度区間である第2照度区間に対応し、第3モードによる第3モードピクセル信号、及び第4モードによる第4モードピクセル信号は、第2照度区間より高い照度区間である第3照度区間及び第4照度区間に対応する。第4照度区間は、最も高い照度区間でもある。第1ないし第4モードピクセル信号は、ピクセルアレイ110が1回露出された後にスキャンされる1つのフレーム区間内でも生成される。
ピクセルアレイ110の複数のピクセルそれぞれから出力される第1ないし第4モードピクセル信号それぞれに基づいて生成される少なくとも4つのデジタル信号、例えば、第1ないし第4モードデジタル信号が、1つのイメージにも合成され、合成されたイメージは、ハイダイナミックレンジを有することができる。
一部実施形態において、複数のピクセルPXそれぞれは、1回の露出を行う単一露出(single exposure)方式、または複数回の露出を行う多重露出(multiple exposure)方式で動作することができる。例えば、ピクセルPXは、1回の露出動作以後、第1フォトダイオード及び/又は第2フォトダイオードを通じてピクセル信号を生成する単一露出方式で動作することができる。他の例として、ピクセルPXは、第1露出動作に対応して、第1フォトダイオード及び/又は第2フォトダイオードを通じてピクセル信号を生成した後、第2露出動作に対応して、第1フォトダイオード及び/又は第2フォトダイオードを通じてピクセル信号をさらに生成する多重露出方式で動作することもできる。
ロウドライバ120は、ピクセルアレイ110を1つまたは複数のロウ単位で駆動する。ロウドライバ120は、タイミングコントローラ150から受信されるロウ制御信号(例えば、ロウアドレス)をデコーディングし、デコーディングされたロウ制御信号に応答して、ピクセルアレイ110の複数のピクセルロウのうち、リードアウトされる少なくとも1つのピクセルロウを選択することができる。
ロウドライバ120は、選択された2つ以上のピクセルロウに、ロウラインRLを通じて、制御信号、例えば、1つ以上の選択信号、伝送制御信号、コンバージョン制御信号、スイッチ制御信号などを提供することができる。ロウドライバ120から提供された選択信号によって選択されるピクセルロウに含まれるピクセルPXは、ピクセル信号、例えば、ピクセル電圧を出力する。ピクセルPXは、第1ないし第4モードによって順次に動作することができ、第1モード及び第2モードによって動作した後、第3モード及び第4モードによって動作することができる。ピクセルPXは、第1ないし第4モードそれぞれに対応する第1ないし第4モードピクセル信号を出力することができる。ロウドライバ120は、ピクセルPXが第1ないし第4モードで動作するように制御する制御信号を生成し、生成された制御信号をピクセルアレイ110に提供することができる。
実施形態において、ピクセルアレイ110の速いリードアウトのために、ロウドライバ120は、1つ以上のロウを同時に選択することができる。選択された2つ以上のロウに含まれ、同一カラムに配置される2つ以上のピクセルは、互いに異なるカラムラインCLに連結され得る。互いに異なるカラムラインCLに連結される2つ以上のピクセルがリードアウトされる期間が一部オーバーラップされもする。例えば、1つのロウに含まれるピクセルPXが第1モード及び第2モードで動作するとき、他のロウに含まれるピクセルPXは、第3モード及び第4モードで動作することができる。これにより、ピクセルアレイ110の複数のロウは、図11C、図12B、及び図13Bを参照して後述するように、ずれてリードアウト(staggered readout)される。
ランプ信号生成器140は、所定の勾配(例えば、動的に決定されるか、あるいは、事前に決定される勾配)で増加または減少するランプ信号RAMPを生成し、ランプ信号RAMPをADC回路130の複数のADC135それぞれに提供することができる。実施形態において、ランプ信号生成器140は、第1ランプ信号及び第2ランプ信号を生成し、第1ランプ信号をADC135の第1CDS回路131及び第2CDS回路132に提供し、第2ランプ信号をADC135の第3CDS回路133に提供することができる。実施形態において、ランプ信号生成器140は、第1ランプ信号、第2ランプ信号、及び第3ランプ信号を生成し、第1ないし第3ランプ信号を第1ないし第3CDS回路131、132、133に、それぞれ提供することができる。
ADC回路130は、ピクセルアレイ110から出力されるピクセル信号(例えば、アナログピクセル値のようなピクセル電圧)を、デジタル信号であるピクセル値に変換することができる。ADC回路130は、複数のADC135及びスイッチング回路SWCを含み、複数のADCそれぞれが、CDS方式によってピクセル信号をピクセル値に変換することができる。複数のカラムラインCLそれぞれを通じて受信されるピクセル信号は、複数のADC135のうち対応するADCにおいてピクセル値に変換される。
ADC135は、CDS回路、例えば、第2CDS回路(CDS2)132または第3CDS回路(CDS3)133、及びカウンタ134を含むものでもある。また、隣接した2本のカラムラインCL、例えば、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に対応する隣接した2つのADC回路135は、第1CDS回路(CDS1)131を共有することができる。すなわち、隣接した2本のカラムラインCLが、第1CDS回路131を共有することができる。
実施形態において、隣接した2本のカラムラインCLに対応する隣接した2つのADC回路135は、第1ないし第3CDS回路(CDS1、CDS2、CDS3)を共有することもできる。
スイッチング回路SWCは、複数のスイッチを含み、カラムラインCLの出力それぞれを、対応するADC135に提供することができる。このとき、隣接した2本のカラムラインの出力それぞれを、第1CDS回路131に時分割的に提供してもよく、隣接した2本のカラムラインの出力それぞれを、第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133に時分割的に提供してもよい。例えば、スイッチング回路SWCは、第1カラムラインCL1の出力及び第2カラムラインCL2の出力を、第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133に時分割的に提供することができる。これについて、図5Aないし図6を参照して、詳細に後述する。
このように、スイッチング回路SWCの動作によって、隣接した2本のカラムラインそれぞれが、隣接した2つのADC135が共有する第1CDS回路131に時分割的に連結されてもよく、隣接した2つのADC135が共有する第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133に時分割的に連結されてもよい。
CDS回路(例えば、第1ないし第3CDS回路131、132、133それぞれ)は、カラムラインCLを通じて受信されるピクセル信号をランプ信号RAMPと比較し、比較結果を出力することができる。CDS回路は、ランプ信号RAMPの電圧レベルと、ピクセル信号の電圧レベルとが同一であるとき、第1レベル(例えば、ロジックハイ)から第2レベル(例えば、ロジックロー)に遷移する比較結果信号を出力することができる。比較信号のレベルが遷移される時点は、ピクセル信号の電圧レベルによっても決定される。
CDS回路は、CDS方式によってピクセルPXから提供されるピクセル信号をサンプリング及びホールドし、特定ノイズのレベル、例えば、リセットレベルと信号レベルとを二重にサンプリングすることができる。CDS回路は、リセットレベルに対応する比較結果信号、及び、信号レベルに対応する比較結果信号を生成することができる。ここで、リセットレベルをリードアウトした後に信号レベルをリードアウトする方式を、完全CDS(complete CDS)方式とも称し、信号レベルをリードアウトした後にリセットレベルをリードアウトする方式を、不完全CDS(in-complete CDS)方式またはDRS(Delta Reset Sampling)方式とも称する。
1つのピクセルPXから、第1モードピクセル信号及び第2モードピクセル信号を、完全CDS方式によってリードアウトするために、第1モード及び第2モードそれぞれ、すなわち、第1フォトダイオードに基づいたローコンバージョンゲインモード及びハイコンバージョンゲインモードそれぞれに対応する2つのCDS回路が必要であり、2つのCDS回路のうち、第2モードに対応するCDS回路が第3モード及び第4モードにも対応する。あるいは、2つのCDS回路とは別途に、第3モード及び第4モードに対応するCDS回路が、もう1つ必要でもある。
前述のように、ずれたリードアウトによって、隣接した2本のカラムラインCLのうち1本のカラムラインを通じて、第1モードピクセル信号及び第2モードピクセル信号が出力されるとき、他の1本のカラムラインCLを通じて、第3モードピクセル信号及び第4モードピクセル信号が出力される。したがって、第1モードに対応する第1CDS回路131が、隣接した2つのADC135にも共有される。あるいは、第1モード及び第2モードにそれぞれ対応する第1CDS回路131、第2CDS回路132、並びに、第3モード及び第4モードに対応する第3CDS回路133が、隣接した2つのADC135にも共有される。
カウンタ(CNT)134は、第1ないし第3CDS回路131、132、133からそれぞれ出力される比較結果信号のレベルが遷移される時点をカウントすることができる。これにより、第1ないし第4モードそれぞれに対し、リセット値及び信号値が獲得され、信号値からリセット値が差し引かれた値がピクセル値としても生成される。
ADC回路130に提供される制御信号、例えば、スイッチ回路SWCに提供されるスイッチング信号、及び、第1ないし第3CDS回路131、132、133に提供されるオートゼロ信号は、タイミングコントローラ150から提供されるか、あるいは、タイミングコントローラ150の制御の下で、ロウドライバ120から提供される。
タイミングコントローラ150は、ロウドライバ120、ADC回路130、及びランプ信号生成器150それぞれにタイミング制御信号を出力し、ロウドライバ120、ADC回路130、及びランプ信号生成器150の動作及び動作タイミングを制御することができる。
イメージ信号プロセッサ160は、ADC回路130から出力されるイメージデータ、例えば、第1ないし第4モードピクセル信号それぞれに対応する第1ないし第4イメージデータに対して、多様な信号処理を行うことができる。例えば、イメージ信号プロセッサ160は、受信されるイメージデータに対して、画質補償、ビニング、ダウンサイジングなどの信号処理を行い、画質補償は、例えば、ブラックレベル補償、レンズシェーディング補償、クロストーク補償、及びバッドピクセル補正、などの信号処理を含むこともできる。
イメージ信号プロセッサ160から出力されるイメージデータIDTは、外部プロセッサへ伝送され得る。例えば、外部プロセッサは、イメージセンサ100が搭載される電子装置のホストプロセッサでもある。例えば、外部プロセッサは、モバイル端末のアプリケーションプロセッサでもある。イメージセンサ100は、設定されたインターフェース、例えば、MIPI(Mobile Industry Processor Interface)に基づいたデータ通信方式によって、イメージデータを外部プロセッサへ伝送することができる。外部プロセッサは、第1ないし第4イメージを併合し、HDRイメージを生成することができる。
図2A及び図2Bは、本発明の例示的な実施形態による、ピクセル構造を示す回路図である。図2A及び図2BのピクセルPXa、PXbは、図1のピクセルアレイ110のピクセルPXとしても適用される。
図2Aを参照すれば、ピクセルPXaは、複数のフォトダイオード、例えば、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDを含むものでもある。ピクセルPXaは、複数のトランジスタ、例えば、第1伝送トランジスタLTX、第2伝送トランジスタSTX、リセットトランジスタRX、駆動トランジスタDX、選択トランジスタSX、ゲイン制御トランジスタDRX(または、コンバージョンゲイン制御トランジスタともいう)、スイッチトランジスタSWT、及びキャパシタCLOFを含むものでもある。ピクセルPXaには、制御信号STS、LTS、RS、SEL、GCS、SWSが印加され、前記制御信号は、ロウドライバ120(図1)からも提供される。
ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDは、光の強度によって可変である光電荷(例えば、電子-正孔の対)を生成することができる。例えば、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDは、入射された光量に比例して、電荷、例えば、負の電荷である電子と、正の電荷である正孔とを生成することができる。ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDで生成された光電荷は、フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3のうち少なくとも1つに伝送されて、蓄積されもする。フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3それぞれには、寄生キャパシタ(図示せず)が形成されたり、実際のキャパシタ素子が連結されたりする。
第1伝送トランジスタLTGは、ラージフォトダイオードLPDと第1フローティングディフュージョンノードFD1との間に連結され、第1伝送制御信号LTSに応答して、ターンオンまたはターンオフされる。第1伝送トランジスタLTGは、ターンオンされ、ラージフォトダイオードLPDで生成された光電荷を第1フローティングディフュージョンノードFD1へ伝送することができる。
ピクセルPXaは、コンバージョンゲイン制御トランジスタDRXを含むこともできる。コンバージョンゲイン制御トランジスタDRXは、第1フローティングディフュージョンノードFD1と第2フローティングディフュージョンノードFD2にも連結される。コンバージョンゲイン制御トランジスタDRXは、ゲイン制御信号GCSに応答して、ターンオンまたはターンオフされる。コンバージョンゲイン制御トランジスタDRXは、ターンオンされ、第1フローティングディフュージョンノードFD1と第2フローティングディフュージョンノードFD2とを互いに連結することができる。第1フローティングディフュージョンノードFD1及び第2フローティングディフュージョンノードFD2が連結されれば(例えば、互いに直列連結されれば)、第1フローティングディフュージョンノードFD1のキャパシタンスが増加し、コンバージョンゲインは減少し得る。コンバージョンゲイン制御トランジスタDRXがターンオンされれば、ローコンバージョンゲインモード(以下、LCGモードという)で動作することができる。逆に、コンバージョンゲイン制御トランジスタDRXがターンオフされれば、ハイコンバージョンゲインモード(以下、HCGモードという)で動作することができる。
第2伝送トランジスタSTXは、スモールフォトダイオードSPDとフローティングディフュージョンノードFD2との間にも連結される。第2伝送トランジスタSTXは、第2伝送制御信号STSに応答して、ターンオンまたはターンオフされる。第2伝送トランジスタSTXはターンオンされ、スモールフォトダイオードSPDで生成された光電荷を第3フローティングディフュージョンノードFD3へ伝送することができる。
キャパシタCLOFの第1端子は、第3フローティングディフュージョンノードFD3に連結され、キャパシタCLOFの第2端子には、リセット電圧VRDが印加される。実施形態において、リセット電圧VRDは、ピクセル電源電圧VPIXとも同一である。キャパシタCLOFのキャパシタンスは、第1フローティングディフュージョンノードFD1及び第2フローティングディフュージョンノードFD2それぞれに生成される、寄生キャパシタのキャパシタンスよりも大きい。例えば、キャパシタCLOFは、高容量キャパシタでもある。スモールフォトダイオードSPDからオーバーフローされた電荷が、第3フローティングディフュージョンノードFD3を経てキャパシタCLOFに蓄積されもする。
スイッチトランジスタSWTは、第2フローティングディフュージョンノードFD2と第3フローティングディフュージョンノードFD3にも連結される。スイッチトランジスタSWTは、スイッチ制御信号SWSに応答して、ターンオンまたはターンオフされる。スイッチトランジスタSWTがターンオンされれば、第2及び第3フローティングディフュージョンノードFD2、FD3が互いに連結され、キャパシタCLOFは、第2フローティングディフュージョンノードFD2に形成された寄生キャパシタとも並列に連結される。これにより、第2フローティングディフュージョンノードFD2のキャパシタンスが増加し得る。
リセットトランジスタRXの第1端子は、第2フローティングディフュージョンノードFD2に連結され、第2端子には、リセット電圧VRDが印加される。リセットトランジスタRXは、リセット制御信号RSに応答して、ターンオン及びターンオフされる。リセットトランジスタRXがターンオンされるとき、ゲイン制御トランジスタDRXがターンオンされもする。第1フローティングディフュージョンノードFD1及び第2フローティングディフュージョンノードFD2にリセット電圧VRDが印加されることにより、第1フローティングディフュージョンノードFD1及び第2フローティングディフュージョンノードFD2が、リセットされる。すなわち、第1フローティングディフュージョンノードFD1及び第2フローティングディフュージョンノードFD2の寄生キャパシタに蓄積された電荷が、全体的、または少なくとも部分的に除去される。リセットトランジスタRXがターンオンされるとき、ゲイン制御トランジスタDRX及びスイッチトランジスタSWTがターンオンされもする。第1ないし第3フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3にリセット電圧VRDが印加されることにより、第1ないし第3フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3が、リセットされる。
駆動トランジスタDXの第1端子は、選択トランジスタSXに連結され、駆動トランジスタDXの第2端子には、ピクセル電源電圧VPIXが印加される。選択トランジスタSXの第1端子は、駆動トランジスタDXにも連結され、選択トランジスタSXの第2端子は、カラムラインCLにも連結される。選択トランジスタSXは、選択信号SELに応答して、ターンオンまたはターンオフされ、リードアウト動作において選択トランジスタSXがターンオンされれば、駆動トランジスタDXは、カラムラインCLに連結された電流ソースCSにより生成されるバイアス電流ILに基づいて、ソースフォロワとして動作することができ、駆動トランジスタDXは、第1フローティングディフュージョンノードFD1に蓄積された電荷に対応する電圧を、ピクセル信号として出力することができる。
本発明の例示的な実施形態によれば、ラージフォトダイオードLPDのリードアウト期間に、ゲイン制御トランジスタDRXがターンオンまたはターンオフされることにより、ピクセルPXは、第1モードまたは第2モードで動作することができる。ゲイン制御トランジスタDRXがターンオンされれば、第1フローティングディフュージョンノードFD1が、第2フローティングディフュージョンノードFD2と連結され、ピクセルPXは、LCGモードで動作することができる。ゲイン制御トランジスタDRXがターンオフされれば、第1フローティングディフュージョンノードFD1が、第2フローティングディフュージョンノードFD2との電気的連結が遮断され、ピクセルPXは、HCGモードで動作することができる。
スモールフォトダイオードSPDのリードアウト期間に、ゲイン制御トランジスタDRX及びスイッチトランジスタSWTがターンオンされもする。スモールフォトダイオードSPDのリードアウト期間に、スモールフォトダイオードSPDは、2回リードアウトされ得る。
このとき、キャパシタCLOFに蓄積されたオーバーフロー電荷による信号がリードアウトされるか否かに基づいて、ピクセルPXは、第3モードまたは第4モードで動作することができる。信号レベルがリードアウトされた後で、フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3がリセットされた後にリセットレベルがリードアウトされる場合、キャパシタCLOFに蓄積されたオーバーフロー電荷による信号がリードアウトされ得る。したがって、スモールフォトダイオードSPDのリードアウト期間に、リセットレベルがリードアウトされた後で、信号レベルがリードアウトされる場合、ピクセルPXは、第3モードで動作し、信号レベルがリードアウトされた後で、リセットレベルがリードアウトされる場合、ピクセルPX4は、第4モードで動作することができる。第3モードは、CDSモードとも称され、第4モードは、LOFIC(lateral overflow integration capacitor)モードとも称される。
図2Bを参照すれば、ピクセルPXbは、複数のフォトダイオード、例えば、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDを含むものでもある。ピクセルPXbは、複数のトランジスタ、例えば、第1伝送トランジスタLTX、第2伝送トランジスタSTX、リセットトランジスタRX、駆動トランジスタDX、選択トランジスタSX、ゲイン制御トランジスタDRX(または、コンバージョンゲイン制御トランジスタともいう)、スイッチトランジスタSWT及びキャパシタCLOFを含むものでもある。ピクセルPXbには、制御信号STS、LTS、RS、SEL、GCS、SWSが印加され、前記制御信号は、ロウドライバ120(図1)からも提供される。
図2BのピクセルPXbの構造及び動作は、図2AのピクセルPXaの構造及び動作と同様である。但し、図2BのピクセルPXbにおいて、第2伝送トランジスタSTXは、スモールフォトダイオードSPDと第2フローティングディフュージョンノードFD2との間にも連結されている。スモールフォトダイオードSPDのリードアウト期間に、スイッチトランジスタSWTがターンオンまたはターンオフされ、スイッチトランジスタSWTがターンオンされた状態で、キャパシタCLOFに蓄積されたオーバーフロー電荷による信号がリードアウトされ得る。したがって、スイッチトランジスタSWTがターンオン状態である場合、ピクセルPXbは、第4モードで動作し、スイッチトランジスタSWTがターンオフ状態である場合、ピクセルPXbは、第3モードで動作することができる。
図2Aに示された第1伝送トランジスタLTX、第2伝送トランジスタSTX、リセットトランジスタRX、駆動トランジスタDX、選択トランジスタSX、ゲイン制御トランジスタDRX、スイッチトランジスタSWTなどのそれぞれのトランジスタは、図2Bに示された対応するトランジスタと同一または相異なる電気的特性及び/又は物理的特性を有することができる。また、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDのように、図2Aに示されたそれぞれのフォトダイオードは、図2Bに示された対応するフォトダイオードと同一または相異なる電気的特性及び/又は物理的特性を有することができる。さらに、図2Aに示されたキャパシタCLOFは、図2Bに示されたキャパシタCLOFと同一または相異なる電気的特性及び/又は物理的特性を有することができる。実施形態がそれに限定されるものではない。
図3A及び図3Bは、本発明の例示的な実施形態による、ピクセルのスプリットフォトダイオード構造を説明する図面である。
図3Aを参照すれば、ピクセルアレイ110aは、X-Y平面上で行列に配列された複数のピクセルPXを含むものでもある。複数のピクセルPXそれぞれは、光電変換部及びピクセル回路部を含むこともできる。光電変換部は、ピクセル回路部に垂直にオーバーラップされもする。
光電変換部は、マイクロレンズ、カラーフィルタ、及びフォトダイオードを含むものでもある。一部実施形態において、光電変換部は、カラーフィルタ、保護層、及び絶縁構造を、さらに含んでもよい。マイクロレンズは、フォトダイオードの上部に配置され、外部から入射される光を集光して、光電変換素子に入射させるように構成され得る。
ピクセルPXは、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDを含むものでもある。ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDが形成される領域は、DTI(Deep Trench Isolation)構造のような孤立領域によって、互いに分離されている。各ピクセルPXのラージフォトダイオードLPDは、広い受光面積を有し、スモールフォトダイオードSPDは、狭い受光面積を有することができる。ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDのうちいずれか1つまたは両方の形状は、多角形状でもあるが、それに限定されるものではない。
図3Aに示されるように、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDは、四角形状を有することができる。図3Bに示されるように、ラージフォトダイオードLPDは、正八角形のような八角形状を有し、スモールフォトダイオードSPDは、四角形状を有することができる。しかし、それに制限されるものではなく、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDの形態は、多様に変形可能である。
ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDそれぞれの上部には、外部から入射される光を集光するマイクロレンズが配置され、マイクロレンズとフォトダイオードLPD、SPDとの間にカラーフィルタ、保護層、及び絶縁構造物が載置される。
フォトダイオードLPD、SPDの下部にピクセル回路部が形成され、ピクセル回路部は、フローティングディフュージョンノード、トランジスタのソース/ドレイン、及びゲート、負荷抵抗、ビアコンタクト、並びに、配線構造物を含むものでもある。
図4A及び図4Bは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサに具備されるCDS回路を例示的に示す回路図である。
図4A及び図4BのCDS回路CDSCa、CDSCbは、図1の第1ないし第3CDS回路131、132、133にも適用される。
図4Aを参照すれば、CDS回路CDSCaは、比較器11、第1オートゼロスイッチ及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2、並びに、第1キャパシタ及び第2キャパシタC1、C2を含むものでもある。
比較器11は、差動増幅器として具現され、例えば、OTA(Operational Transconductance Amplifier)としても具現される。第1オートゼロスイッチSAZ1は、比較器11の第1入力端INP及び第2出力端ONに連結され、第2オートゼロスイッチSAZ2は、比較器11の第2入力端INN及び第1出力端OPに連結されている。第1オートゼロスイッチ及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2は、オートゼロ信号AZに応答して、ターンオン及びターンオフされる。実施形態において、第1オートゼロスイッチ及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2は、トランジスタとしても具現される。
第1キャパシタC1の一端にランプ信号RAMPが印加され、他端は、比較器11の第1入力端INPにも連結される。第2キャパシタC2の一端にピクセル信号VPSが印加され、他端は、比較器11の第2入力端INNにも連結される。すなわち、ランプ信号RAMP及びピクセル信号VPSは、それぞれ第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2を通じて、比較器11の第1入力端INP及び第2入力端INNにそれぞれ提供される。このとき、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2は、カップリングキャパシタであって、ランプ信号RAMP及びピクセル信号VPSの直流成分を全体的、または、少なくとも部分的に遮断し、交流成分を比較器11の第1入力端INP及び第2入力端INNにそれぞれ提供することができる。
CDS回路CDSCaは、比較動作前に、ピクセル信号VPSとして提供されるリセットレベル(LCGモードにおけるリセットレベル、またはHCGモードにおけるリセットレベル)に基づいて、オートゼロ動作を行うことができる。第1及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2が、オートゼロ信号AZに応答して、ターンオンされ、比較器11の第1入力端INPと第2出力端ONとが連結され、第2入力端INNと第1出力端OPとが連結され得る。これにより、比較器11のオフセットが除去または減少し、比較器11のDC動作レベルが決定されもする。
第1オートゼロスイッチ及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2がターンオンされ、比較器11の第1入力端INP、第2入力端INN、第1出力端OP、及び第2出力端ONの電圧レベルが、同一にもなる。第1入力端INP、第2入力端INN、第1出力端OP、及び第2出力端ONの電圧レベルは、オートゼロ電圧とも称される。オートゼロ電圧は、ピクセル信号VPS、ランプ信号RAMP、及び、比較器11のオフセットによっても決定される。オートゼロ電圧が比較器11のDC動作レベルでもある。
オートゼロ動作後、比較動作時、第1オートゼロスイッチ及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2はターンオンされ、ランプ信号RAMP及びピクセル信号VPSの交流成分がオートゼロ電圧に加えられ、比較器11の第1入力端INP及び第2入力端INNにも印加される。比較動作時、オートゼロ動作時の電圧レベルにオフセットが加えられた電圧レベルを有するランプ信号RAMPが、第1キャパシタC1を通じて第1入力端INPに印加されることにより、第1入力端INPの電圧レベルが第2入力端INNの電圧レベルより高くなり、比較器11は、ロジックハイ信号を出力することができる。以後、ランプ信号RAMPが所定の勾配で減少するにつれて、第1入力端INPの電圧レベルが低くなる。第1入力端INPの電圧レベルが第2入力端INNの電圧レベル以下に低くなれば、比較器11は、ロジックロー信号を出力することができる。ランプ信号RAMPが減少し始めた時点から、比較器11がロジックロー信号を出力する時点までの期間が、カウンタ134(図1)によってピクセル信号(例えば、リセットレベルまたは信号レベル)に対応するデジタル値として生成される。
図4Bを参照すれば、CDS回路CDSCbは、比較器11、第1オートゼロスイッチ及び第2オートゼロスイッチSAZ1、SAZ2、第1キャパシタ及び第2キャパシタC1、C2、並びに、増幅器12を含むものでもある。
図4AのCDS回路CDSCaと比較すれば、CDS回路CDSCbは、増幅器12をさらに含むものでもある。増幅器12は、例えば、OTAとしても具現される。増幅器12は、インバータまたはバッファとして動作することができる。増幅器12は、比較器11から出力される比較結果信号を、増幅または反転増幅して、出力することができる。
図5A及び図5Bは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を概略的に示す図面である。
図5Aを参照すれば、第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133と、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2との間には、スイッチング回路SWCが配置され、スイッチング回路SWCに具備される複数のスイッチSW11、SW12、SW21、SW22、SW31、SW32が、時分割的に第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133を、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に連結することができる。
スイッチSW11、SW21、SW31は、スイッチング信号SS11、SS21、SS31に、それぞれ応答して、ターンオンまたはターンオフされ、スイッチSW12、SW22、SW32は、スイッチング信号SS12、SS22、SS32にそれぞれ応答し、てターンオンまたはターンオフされる。
スイッチSW11はターンオンされ、第1カラムラインCL1と第1CDS回路131とを連結し、スイッチSW21はターンオンされ、第1カラムラインCL1と第2CDS回路132とを連結し、スイッチSW31はターンオンされ、第1カラムラインCL1と第3CDS回路133とを連結することができる。スイッチSW11、SW21、及びSW31は、同時にターンオンされず、互いに異なる期間に時分割的にターンオンされる。これにより、第1ピクセルPX1から第1カラムラインCL1を通じて出力される第1ピクセル信号VPS1が、時分割的に第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133にも提供される。
スイッチSW12、SW22、SW32は、スイッチング信号SS12、SS22、SS32にそれぞれ応答して、ターンオンまたはターンオフされる。スイッチSW12は、ターンオンされ、第2カラムラインCL2と第1CDS回路131とを連結し、スイッチSW22は、ターンオンされ、第2カラムラインCL2と第2CDS回路132とを連結し、スイッチSW32は、ターンオンされ、第2カラムラインCL2と第3CDS回路133とを連結することができる。スイッチSW12、SW22、及びSW32は、同時にターンオンされず、時分割的にターンオンされる。これにより、第2ピクセルPX2から第2カラムラインCL2を通じて出力される第2ピクセル信号VPS2が、時分割的に第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133にも提供される。
ここで、スイッチSW11及びSW12は、同時にターンオンされず、互いに異なる期間にターンオンされ、第1CDS回路131を選択的に第1カラムラインCL1または第2カラムラインCL2に連結することができる。スイッチSW21及びSW22は、同時にターンオンされず、互いに異なる期間にターンオンされ、第2CDS回路132を選択的に第1カラムラインCL1または第2カラムラインCL2に連結することができる。スイッチSW31及びSW32は、同時にターンオンされず、互いに異なる期間にターンオンされ、第3CDS回路133を選択的に第1カラムラインCL1または第2カラムラインCL2に連結することができる。
そのような複数のスイッチSW11、SW12、SW21、SW22、SW31、SW32のスイッチング動作によって、第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133が、時分割的に第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に連結され、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に連結されたピクセル、例えば、第1ピクセルPX1及び第2ピクセルPX2をリードアウトすることができる。第1CDS回路131は、第1ピクセルPX1及び第2ピクセルPX2から、LCGモードのリセットレベルを示すピクセル信号に基づいて、LCGモードにおける比較結果信号R_LCGを生成し、第2CDS回路132は、第1ピクセルPX1及び第2ピクセルPX2から、HCGモードのリセットレベルを示すピクセル信号に基づいて、HCGモードにおける比較結果信号R_LCGを生成し、第3CDS回路133は、第1ピクセルPX1及び第2ピクセルPX2から、スモールフォトダイオードSPDによるレベルを示すピクセル信号に基づいて、スモールフォトダイオードSPDの読み出しモード(例えば、後述するSCモード及びSLOFモード)における比較結果信号R_SPDを生成することができる。
第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2が、第1CDS回路131、第2CDS回路132、及び第3CDS回路133を共有するので、図9Bを参照して後述するように、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に連結されるピクセル、例えば、第1ピクセルPX1及び第2ピクセルPX2のリードアウト期間が、一部オーバーラップされもする。第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2を通じて出力されるピクセル信号、例えば、第1ピクセル信号VPS1及び第2ピクセル信号VPS2は、キャパシタC12、C22、及びC32それぞれを通じて、第1比較器11_1の第2入力端INN1、第2比較器11_2の第2入力端INN2、及び第3比較器11_3の第3入力端INN3に時分割的に印加され得る。このとき、第1ランプ信号RAMP1がキャパシタC11、C21を通じて第1比較器11_1の第1入力端INP1及び第2比較器11_2の第1入力端INP2に印加され、第2ランプ信号RAMP2がキャパシタC31を通じて第3比較器11_3の第1入力端INP3に印加される。
図5Bを参照すれば、複数のスイッチSW11、SW12、SW21、SW32が、時分割的に第1CDS回路131及び第2CDS回路132を第1カラムラインCL1に連結し、第1CDS回路131及び第3CDS回路133を第2カラムラインCL2に連結することができる。
スイッチSW11及びSW12は、スイッチング信号SS11及びSS12に応答して、第1CDS回路131を第1カラムラインCL1または第2カラムラインCL2に連結することができる。ここで、スイッチSW11及びSW12は、同時にターンオンされず、選択的に、第1CDS回路131を第1カラムラインCL1または第2カラムラインCL2に連結することができる。
スイッチSW21はターンオンされ、第1カラムラインCL1と第2CDS回路132とを連結することができる。スイッチSW11及びSW21は、同時にターンオンされず、互いに異なる期間に時分割的にターンオンされる。これにより、第1ピクセルPX1から第1カラムラインCL1を通じて出力される第1ピクセル信号VPS1が、時分割的に第1CDS回路131及び第2CDS回路132にも提供される。
スイッチSW32はターンオンされ、第1カラムラインCL1と第2CDS回路132とを連結することができる。スイッチSW12及びSW32は、同時にターンオンされず、互いに異なる期間に、時分割的にターンオンされる。これにより、第2ピクセルPX2から第2カラムラインCL2を通じて出力される第2ピクセル信号VPS2が、時分割的に、第1CDS回路131及び第3CDS回路133にも提供される。
図6は、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との動作を示すタイミング図である。
図5A及び図6を共に参照して、ピクセルPX(図1)、例えば、第1ピクセルPX1のリードアウト動作について説明する。第1ピクセルPX1のリードアウト動作は、他のピクセルPXにも同様に適用可能である。
図6において、制御信号、例えば、スイッチング信号SS11ないしSS23、選択信号SEL、リセット信号RS、ゲイン制御信号GCS、スイッチ制御信号SWS、第1伝送制御信号LTS、第2伝送制御信号STS、第1オートゼロ信号AZ1、第2オートゼロ信号AZ2、及び第3オートゼロ信号AZ3の活性レベルが、ロジックハイ(第1レベル)であり、非活性レベルが、ロジックロー(第2レベル)であるものと仮定する。
第1ピクセルPX1のリードアウト期間は、一水平期間とも称され、一水平期間は、垂直同期信号によっても区分される。第1ピクセルPX1のリードアウト期間に、ロジックハイの選択信号SELに応答して、選択トランジスタSXがターンオンされる。これにより、第1ピクセルPX1が第1カラムラインCL1に連結され、第1ピクセルPX1がリードアウトされ得る。第1ピクセルPX1のリードアウト期間は、第1期間P1及び第2期間P2を含むものでもある。第1期間P1には、ラージフォトダイオードLPがリードアウトされ、第2期間P2には、スモールフォトダイオードSPがリードアウトされ得る。
第1期間P1は、第1ないし第4サブ期間S11、S12、S13及びS14を含むものでもある。第1サブ期間S11及び第4サブ期間S14に、第1ピクセルPX1は、ラージフォトダイオードLPDに基づいたLCGモードで動作することができる。活性レベルのスイッチング信号SS11に応答して、スイッチSW11がターンオンされ、第1ピクセル信号VPS1を、第1カラムラインCL1を通じて第1CDS回路131に提供することができる。第1サブ期間S11に、第1CDS回路131がLCGモードにおけるリセットレベルLCG RST(以下、LCGリセットレベルという)をリードアウトし、第4サブ期間S14に、第1CDS回路131がLCGモードにおける信号レベルLCG SIG(以下、LCG信号レベルという)をリードアウトすることができる。
第2サブ期間S12及び第3サブ期間S13に、第1ピクセルPX1は、ラージフォトダイオードLPDに基づいたHCGモードで動作することができる。活性レベルのスイッチング信号SS12に応答して、スイッチSW12がターンオンされ、第1ピクセル信号VPS1を、第1カラムラインCL1を通じて第2CDS回路132に提供することができる。第2サブ期間S12に、第2CDS回路132がHCGモードにおけるリセットレベルHCG RST(以下、HCGリセット信号という)をリードアウトし、第3サブ期間S13に、第2CDS回路132がHCGモードにおける信号レベルHCG SIG(以下、HCGイメージ信号という)をリードアウトすることができる。
第1サブ期間S11にロジックハイからロジックローに遷移されるリセット信号RSに応答して、リセットトランジスタRXがターンオン状態からターンオフ状態にも変更される。ゲイン制御トランジスタDRXは、ロジックハイのゲイン制御信号GCSに応答してターンオンされる。ピクセルPXは、LCGモードで動作し、LCGリセットレベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。
第1サブ期間S11に、スイッチSW11が活性レベルのスイッチング信号SS11に応答してターンオンされ、第1カラムラインCL1は、第1CDS回路131の第2入力端INN1に連結される。第1オートゼロ信号AZ1が活性レベルにトグリングされ、第1オートゼロ信号AZ1に応答して、第1CDS回路131の第1及び第2オートゼロスイッチSAZ11、SAZ12がターンオンされることにより、第1CDS回路131がオートゼロ動作を行うことができる。オートゼロ動作が行われるにつれて、第1CDS回路131の比較器11_1の第1入力端INP1及び第2入力端INN1の電圧レベルが第1オートゼロレベルと同一にもなる。
以後、第1入力端INP1の電圧レベルが第1ランプ信号RAMP1の変化によって増加した後、所定の勾配で減少し得る。第1CDS回路131の出力、すなわち、第1比較結果信号は、第1入力端INP1の電圧レベルが第2入力端INN1の電圧レベル以下となる時点にロジックハイからロジックローにも遷移される。このように、比較器11_1の比較動作によって、第1ピクセルPX1のLCGリセットレベルがリードアウトされ得る。
第2サブ期間S12に、スイッチSW11が非活性レベルのスイッチング信号SS11に応答してターンオフされ、スイッチSW12が活性レベルのスイッチング信号SS12に応答してターンオンされる。第1カラムラインCL1は、第2CDS回路132の第2入力端INN2に連結される。ゲイン制御信号GCSは、ロジックハイからロジックローに遷移され、ゲイン制御トランジスタDRXは、ゲイン制御信号GCSに応答してターンオフされる。ピクセルPXは、HCGモードで動作し、HCGリセットレベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。
第2オートゼロ信号AZ2が活性レベルにトグリングされ、第2オートゼロ信号AZ2に応答して、第2CDS回路132の第1及び第2オートゼロスイッチSAZ21、SAZ22がターンオンされることにより、第2CDS回路132がオートゼロ動作を行うことができる。オートゼロ動作が行われることにより、第2CDS回路132の比較器11_2の第1入力端INP2及び第2入力端INN2の電圧レベルが第2オートゼロレベルと同一にもなる。以後、比較器11_2の比較動作によって、第1ピクセルPXのHCGリセットレベルがリードアウトされ得る。
第3サブ期間S13に、第1カラムラインCL1は、第2CDS回路132の第2入力端INN2に連結される。第3サブ期間S13に、第1ピクセルPX1は、HCGモードで動作し、HCGイメージ信号がピクセル信号VPSとしても出力される。第3サブ期間S13に、第1伝送制御信号LTSが活性レベルにトグリングされ、第1伝送制御信号LTSに応答して、第1伝送制御トランジスタLTXがターンオンされる。ラージフォトダイオードLPDで生成された電荷が第1フローティングディフュージョンノードFD1へ伝送され、第1フローティングディフュージョンノードFD1、具体的には、第1フローティングディフュージョンノードFD1に連結される寄生キャパシタに蓄積されもする。第1フローティングディフュージョンノードFD1の電位に対応する第1ピクセル信号VPS1、すなわち、第1ピクセルPX1のHCG信号レベルが、第1カラムラインCL1を通じて第2CDS回路132の第2入力端INN2にも印加される。これにより、第2入力端INN2の電圧レベルが第2オートゼロレベルよりも低くなる。以後、比較器11_2の比較動作によって、第1ピクセルPX1のHCG信号レベルがリードアウトされ得る。カウンタ134(図1)は、HCG信号レベルに該当する値と、HCGリセットレベルに該当する値との差をHCGモードのピクセル値として算出することができる。
第4サブ期間S14に、スイッチSW12が非活性レベルのスイッチング信号SS12に応答してターンオフされ、スイッチSW11が活性レベルのスイッチング信号SS11に応答してターンオンされる。第1カラムラインCL1は、再び第1CDS回路131の第2入力端INN1にも連結される。ゲイン制御信号GCSは、ロジックローからロジックハイに遷移され、ゲイン制御トランジスタDRXは、ゲイン制御信号GCSに応答してターンオンされる。第1フローティングディフュージョンノードFD1と第2フローティングディフュージョンノードFD2とが連結され、第1ピクセルPX1は、LCGモードで動作し、LCG信号レベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。
第1伝送制御信号LTSが活性レベルにトグリングされ、第1伝送制御信号LTSに応答して、第1伝送制御トランジスタLTXがターンオンされる。ラージフォトダイオードLPDに残っていた電荷が第1フローティングディフュージョンノードFD1へ伝送され、第1フローティングディフュージョンノードFD1に蓄積されもする。
第1フローティングディフュージョンノードFD1の電位に対応する第1ピクセル信号VPS1、すなわち、第1ピクセルPX1のLCG信号レベルが、第1カラムラインCL1を通じて第2CDS回路132の第2入力端INN1にも印加される。第1CDS回路131の第2入力端INN1の電圧レベルが、第1サブ期間S11で決定された第1オートゼロレベルよりも低い。以後、比較器11_1の比較動作によって、第1ピクセルPX1のLCG信号レベルがリードアウトされ得る。カウンタ134(図1)は、LCG信号レベルに該当する値と、LCGリセットレベルに該当する値との差をLCGモードのピクセル値として算出することができる。
第2期間P2には、スモールフォトダイオードSPDがリードアウトされ得る。第2期間P2は、第5ないし第8サブ期間S21、S22、S23及びS24を含むものでもある。第5サブ期間S21及び第6サブ期間S22に、ピクセルPXは、スモールフォトダイオードSPDに基づいたCDSモード(以下、SCモードという)で動作し、第7サブ期間S23及び第8サブ期間S24に、ピクセルPXは、スモールフォトダイオードSPDに基づいたLOFICモード(以下、SLOFモードという)で動作することができる。
第2期間P2には、スイッチSW11が非活性レベルのスイッチング信号SS11に応答してターンオフされ、スイッチSW13が活性レベルのスイッチング信号SS13に応答してターンオンされる。第3CDS回路133が第1カラムラインCL1に連結され、第3CDS回路133が、SCモードにおけるリセットレベルSC RST及び信号レベルSC SIG(以下、SCリセット信号及びSCイメージ信号という)をリードアウトし、SLOFモードにおけるリセットレベルSLOF RST及び信号レベルSLOF SIG(以下、SLOFリセット信号及びSLOFイメージ信号という)をリードアウトすることができる。
第1カラムラインCL1を通じて出力される第1ピクセル信号VPS1は、キャパシタC32を通じて第3比較回路11_3の第2入力端INN3に提供され、第2ランプ信号RAMP2は、キャパシタC31を通じて第3比較回路11_3の第1入力端INP3にも提供される。
第5サブ期間S21に、ロジックローのリセット信号RSに応答して、リセットトランジスタRXはターンオフされ、ロジックハイのスイッチ制御信号SWSに応答して、スイッチトランジスタSWTがターンオンされる。これにより、第1フローティングディフュージョンノードFD1、第2フローティングディフュージョンノードFD2及び第3フローティングディフュージョンノードFD3が電気的に連結され、1つのフローティングディフュージョンノードを構成することができる。このように、第1ピクセルPX1は、SCモードで動作し、SCリセットレベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。
第3オートゼロ信号AZ3が活性レベルにトグリングされ、第3オートゼロ信号AZ3に応答して、第3CDS回路133の第1及び第2オートゼロスイッチSAZ31、SAZ32がターンオンされることにより、第3CDS回路133がオートゼロ動作を行うことができる。オートゼロ動作が行われるにつれて、第3CDS回路133の比較器11_3の第1入力端INP3及び第2入力端INN3の電圧レベルが第3オートゼロレベルと同一にもなる。以後、比較器11_3の比較動作によって、SCリセットレベルがリードアウトされ得る。
第6サブ期間S22に、第1ピクセルPX1は、SCモードで動作し、SC信号レベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。第2伝送制御信号STSが活性レベルにトグリングされ、第2伝送制御信号STSに応答して、第2伝送制御トランジスタSTXがターンオンされる。スモールフォトダイオードSPDで生成された電荷がフローティングディフュージョンノード、すなわち、電気的に連結された第1ないし第3フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3にも伝送される。フローティングディフュージョンノードの電位に対応する第1ピクセル信号VPS1、すなわち、第1ピクセルPX1のSC信号レベルが、第1カラムラインCL1を通じて第3CDS回路133の第2入力端INN3にも印加される。これにより、第2入力端INN3の電圧レベルが第3オートゼロレベルよりも低くなる。以後、比較器11_3の比較動作によって、第1ピクセルPX1のSC信号レベルがリードアウトされ得る。
第7サブ期間S23に、第1ピクセルPX1は、SLOFモードで動作し、SLOF信号レベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。第2伝送制御信号STSが活性レベルにトグリングされ、第2伝送制御信号STSに応答して、第2伝送制御トランジスタSTXがターンオンされる。スモールフォトダイオードSPDに残っていた電荷がフローティングディフュージョンノードにも伝送される。第1フローティングディフュージョンノードFD1の電位に対応する第1ピクセル信号VPS1、すなわち、第1ピクセルPX1のSLOF信号レベルが、第1カラムラインCL1を通じて第3CDS回路133の第2入力端INN3にも印加される。
第3オートゼロ信号AZ3が活性レベルにトグリングされ、第3オートゼロ信号AZ3に応答して、第3CDS回路133の第1及び第2オートゼロスイッチSAZ31、SAZ32がターンオンされることにより、第3CDS回路133がオートゼロ動作を行うことができる。オートゼロ動作が行われるにつれて、第3CDS回路133の比較器11_3の第1入力端INP3及び第2入力端INN3の電圧レベルが第4オートゼロレベルと同一にもなる。以後、比較器11_3の比較動作によって、SLOF信号レベルがリードアウトされ得る。
第8サブ期間S24に、第1ピクセルPX1は、SLOFモードで動作し、SLOFリセットレベルが第1ピクセル信号VPS1としても出力される。
リセット信号RSが活性レベルにトグリングされ、リセット信号RSに応答して、リセットトランジスタRXがターンオンされ、リセット電圧VRDをフローティングディフュージョンノード、すなわち、電気的に連結された第1ないし第3フローティングディフュージョンノードFD1、FD2、FD3に印加することができる。これにより、フローティングディフュージョンノードの電位が増加することになる。SLOFリセットレベルが第1ピクセル信号VPS1として出力され、第1ピクセル信号VPS1の変化によって、第2入力端INN3の電圧レベルが増加することになる。以後、比較器11_3の第1入力端INP3の電圧レベルと、第2入力端INN3の電圧レベルとの比較動作によって、第1ピクセルPX1のSLOF信号レベルがリードアウトされ得る。
一方、第2期間P2に、第3CDS回路133が第1カラムラインCL1を通じて第1ピクセルPX1に連結され、SCモード及びSLOFモードで動作する第1ピクセルPX1のピクセル信号VPSをリードアウトするとき、第1CDS回路131及び第2CDS回路132は、第2カラムラインCL2を通じて他のピクセル、例えば、第2ピクセルPX2に連結され、LCGモード及びHCGモードで動作する第2ピクセルPX2をリードアウトすることができる。
第5サブ期間S21及び第8サブ期間S24に、活性レベルを有するスイッチング信号SS21に応答して、スイッチSW12がターンオンされ、第2カラムラインCL2を第1CDS回路131の第2入力端INN1に連結することができる。LCGモードによる第2ピクセルPX2からの第2ピクセル信号VPS2が、第2カラムラインCL2を通じて第1CDS回路131にも提供される。第6サブ期間S22及び第7サブ期間S23に、活性レベルを有するスイッチング信号SS22に応答して、スイッチSW22がターンオンされ、第2カラムラインCL2を第2CDS回路132の第2入力端INN1に連結することができる。HCGモードによる第2ピクセルPX2からの第2ピクセル信号VPS2が、第2カラムラインCL2を通じて第2CDS回路132にも提供される。第2期間P2の第2ピクセルPX2の動作は、第1期間P1の第1ピクセルPX1の動作と同一であるところ、重複説明は省略する。
このように、第1ないし第3CDS回路131、132、133が2本のカラムラインに共有され、第1ピクセルPX1及び第2ピクセルPX2を時間上にずれてリードアウトすることができる。
前述のように、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、LCGモードでは第1CDS回路131が利用され、HCGモードでは第2CDS回路132が利用され、SCモード及びSLOFモードでは第3CDS回路133が利用される。第1ないし第3CDS回路131、132、133それぞれが特定モードに対応して動作するので、対応するモードによってカスタマイジング(customizing)される。例えば、第1ないし第3CDS回路131、132、133は、対応するモードによる入力信号をカバー可能に設計され、動作範囲が互いに異なっている。これにより、第1ないし第3CDS回路131、132、133それぞれに具備されるトランジスタのサイズが互いに異なっており、したがって、第1ないし第3CDS回路131、132、133のレイアウト面積が互いに異なっている。このように、第1ないし第3CDS回路131、132、133それぞれが特定モードに対応して動作するので、第1ないし第3CDS回路131、132、133の性能が向上し、第1ないし第3CDS回路131、132、133を含むADC回路130(図1)の回路サイズ(すなわち、レイアウト面積)が減少し得る。
また、ずれたリードアウトによって、第1ないし第3CDS回路131、132、133が隣接した2本のカラムラインに共有されるので、各カラムラインに第1ないし第3CDS回路131、132、133がそれぞれ具備される場合よりADC回路130の回路サイズが減少し得る。
図5Bに示されるように、第1カラムラインCL1に第1及び第2CDS回路131、132が連結され、第2カラムラインCL2に第1及び第3CDS回路131、133が連結される場合、第1カラムラインCL1に連結されたピクセル、例えば、第1ピクセルPX1のLCGピクセル信号のリードアウトは、第1CDS回路131が行い、HCGピクセル信号及びスモールフォトダイオードSPDのリードアウトは、第2CDS回路132が行うことができる。すなわち、第1期間P1には、図6に示されるように、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が第1ピクセルPX1のLCGピクセル信号及びHCGピクセル信号をリードアウトし、第2期間P2には、第2CDS回路CDS2が、第1ピクセルPX1のSCピクセル信号及びSLOFピクセル信号をリードアウトすることができる。第2期間P2に、第2ピクセルPX2のLCGピクセル信号のリードアウトは、第1CDS回路131が行い、HCGピクセル信号及びスモールフォトダイオードSPDのリードアウトは、第3CDS回路133が行うことができる。
このように、2本のカラムラインそれぞれに対し、対応するCDS回路、例えば、第2CDS回路132及び第3CDS回路133がリードアウト動作を行うが、第1CDS回路131が2本のカラムラインに共有され、第1CDS回路131が2本のカラムラインに連結されるピクセルPXのLCGピクセル信号をリードアウトすることができる。これにより、2本のカラムラインに連結されたピクセルPXが、ずれてリードアウトされ得る。
図5Bに示されたような、2本のカラムラインが第1ないし第3CDS回路131、132、133を共有する実施形態、及び図5Aに示されたような、2本のカラムラインが第1CDS回路131を共有する実施形態について、図9A及び図9Bを参照して後述する。
図7は、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサの比較例によるイメージセンサにおいて、ピクセルのHCGモード及びLCGモードにおけるピクセル信号リードアウト方式を示すタイミング図である。
図7を参照すれば、比較例によるイメージセンサにおいては、1つのCDS回路がピクセルPXをリードアウトすることができる。これにより、1つのCDS回路がHCGモード及びLCGモードに対応して動作することができる。
図6を参照して説明したように、リードアウト期間のうち第1期間P1に、ラージフォトダイオードLPDがリードアウトされ得る。第1期間P1は、第1ないし第4サブ期間S11、S12、S13、S14を含み、第1サブ期間S11に、HCGリセットレベルがリードアウトされ、第2サブ期間S12に、HCG信号レベルがリードアウトされ、第3サブ期間S13に、LCG信号レベルがリードアウトされ、第4サブ期間S14に、LCGリセットレベルがリードアウトされる。スモールフォトダイオードSPDがリードアウトされる第2期間P2の動作は、図6を参照して説明した本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサの第2期間P2の動作と同一であるところ、重複説明は省略する。
比較例において、1つのCDS回路がHCGピクセル信号とLCGピクセル信号の両方をリードアウトするので、HCGピクセル信号のリードアウト後、LCGピクセル信号をリードアウトするとき、リセットレベルではない信号レベルが先にリードアウトされた後、活性レベルのリセット信号RSに応答して、リセットトランジスタRXが第1及び第2フローティングディフュージョンノードFD1、FD2にリセット電圧VRDを印加し、第1及び第2フローティングディフュージョンノードFD1、FD2がリセットされ、以後、LCGリセットレベルがリードアウトされ得る。このように、不完全CDS(in-complete CDS)方式によりピクセル信号がリードアウトされる場合、CDS回路の比較動作を通じてリセットレベルが決定される前に、第1及び第2フローティングディフュージョンノードFD1、FD2がリセットされることにより、信号レベルとリセットレベルとの間に相関関係(correlation)がなくなる。ピクセル信号がピクセル値にアナログ・デジタル変換されるとき、ピクセルPXのkT/Cノイズが除去されず、SNR特性が良好でない。したがって、比較例によれば、LCGピクセル信号のリードアウト時、SNR特性が良好でない。
しかし、図5A及び図6を参照して説明したように、本発明の実施形態によるイメージセンサは、LCGモードで動作し、2本のカラムラインに共有される第1CDS回路を別途に具備し、HCGモード及びLCGモードで互いに異なるCDS回路が動作するところ、HCGモード及びLCGモードにおいて、ピクセルPXが完全CDS方式によりリードアウトされ得る。
図8は、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサのリードアウト方式、及び比較例によるリードアウト方式に対する照度別SNR特性を示す図面である。
図8を参照すれば、HCGモードが最も低い照度領域に対応し、LCGモードがHCGモードより高い照度領域に対応し、SLOFモードが最も高い照度領域に対応し、SCモードがSLOFモードより低い照度領域に対応する。
外部プロセッサ、例えば、アプリケーションプロセッサは、HCGモード、LCGモード、SCモード及びSLOFモードそれぞれで生成されたイメージデータを合成し、HDRイメージを生成することができる。
図7を参照して説明したように、比較例によるイメージセンサは、LCGモードで不完全CDS方式によりLCGピクセル信号をリードアウトし、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサは、図6を参照して説明したように、LCGモードで完全CDS方式によりLCGピクセル信号をリードアウトする。
不完全CDS方式によりLCGピクセル信号をリードアウトする場合、HCGモードとLCGモードとの間にSNR Dipが発生し得る。HCGモードとLCGモードとの間のSNR Dipは、HCGモードのアナログゲインが大きくなるほど、さらに増加し得る。
本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサは、図5及び図6を参照して説明したように、第1CDS回路131がLCGピクセル信号をリードアウトし、第2CDS回路132がHCGピクセル信号をリードアウトすることにより、LCGピクセル信号及びHCGピクセル信号の両方が完全CDS方式によりリードアウトされ得る。これにより、LCGピクセル信号のSNR特性が良好であり、HCGモードとLCGモードとの間にSNR Dipが減少し得る。LCGモードのSNR特性が向上することにより、HDRイメージの画質が向上し得る。また、HCGモードとLCGモードとの間のSNR Dipの減少により、HCGモードで高いアナログゲインを使用することが可能になる。したがって、量子化ノイズが減少し、HDR性能が改善され、低照度SNR改善によって見かけの感度が増加し得る。
図9Aは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示し、図9Bは、図9Aのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。
図9Aを参照すれば、ピクセルアレイ110aの第NピクセルPX、第N+1ピクセルPXN+1、第N+2ピクセルPXN+2、及び第N+3ピクセルPXN+3は、同一カラムに配置され(X軸方向において同一位置)、互いに異なるロウ、例えば、第NロウR、第N+1ロウRN+1、第N+2ロウRN+2、及び第N+3ロウRN+3にそれぞれ配置される。第NピクセルPX、第N+1ピクセルPXN+1、第N+2ピクセルPXN+2、及び第N+3ピクセルPXN+3は、第1コンタクトCT1を通じて、互いに異なるカラムラインCL1、CL2、CL3、CL4にも連結される。
第NピクセルPX、第N+1ピクセルPXN+1、第N+2ピクセルPXN+2、及び第N+3ピクセルPXN+3は、第2コンタクトCT2を通じて、複数のロウラインRL、RLN+1、RLN+2、及びRLN+3のうち対応するロウラインにも連結される。第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2は、第NロウラインRL及び第N+2ロウラインRLN+2を通じて、同一制御信号(例えば、選択信号、伝送制御信号、コンバージョン制御信号、スイッチ制御信号)を受信することができる。第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3は、第N+1ロウラインRLN+1及び第N+3ロウラインRLN+3を通じて、同一制御信号を受信することができる。ここで、各ピクセルに連結される第2コンタクトCT2及びロウラインは、それぞれ1つであるように図示されているが、これは、説明の便宜のためのものであり、各ピクセルに連結される第2コンタクトCT2及びロウラインは、複数でもあり、制御信号の個数によっても決定される。
第NピクセルPX、第N+1ピクセルPXN+1、第N+2ピクセルPXN+2、及び第N+3ピクセルPXN+3それぞれは、図2A及び図2Bを参照して説明したように、ラージフォトダイオードLPD及びスモールフォトダイオードSPDを含むものでもある。
CDS回路CDS11、CDS12、CDS13、CDS21、CDS22、CDS23は、ピクセルアレイ110aの両側面にも配置される。しかし、それに制限されるものではなく、CDS回路CDS11、CDS12、CDS13、CDS21、CDS22、CDS23は、ピクセルアレイ110aの一側面にも配置される。
CDS回路CDS11、CDS12、CDS13、CDS21、CDS22、CDS23は、スイッチング回路SWCa、SWCb(または、マルチプレクサという)を通じて、第1ないし第4カラムラインCL1、CL2、CL3、CL4にも連結される。CDS回路CDS11、CDS12、CDS13は、第1及び第2カラムラインCL1、CL2に連結され、CDS回路CDS21、CDS22、CDS23は、第3及び第4カラムラインCL3、CL4に連結される。スイッチング回路SWCa、SWCbは、図5Aを参照して説明したように、複数のスイッチを含み、ピクセルPX、PXN+1、PXN+2、PXN+3のリードアウト期間に、CDS回路CDS11、CDS12、CDS13を、時分割的に第1及び第2カラムラインCL1、CL2に連結し、CDS回路CDS21、CDS22、CDS23を、時分割的に第3及び第4カラムラインCL3、CL4に連結することができる。
図9Bを参照して後述する第1期間P1に、第1CDS回路CDS11、CDS21、及び、第2CDS回路CDS12、CDS22が、第1カラムラインCL1及び第3カラムラインCL3にもそれぞれ連結される。例えば、第NピクセルPXのLCGリセットレベルに対応するピクセル信号が出力される期間に、CDS回路CDS11が、第1カラムラインCL1に連結され、以後、第NピクセルPXのHCGリセットレベル及びHCG信号レベルに対応するピクセル信号が出力される期間に、CDS回路CDS12が、第1カラムラインCL1に連結され、以後、第NピクセルPXのLCG信号レベルに対応するピクセル信号が出力される期間に、CDS回路CDS11が、第1カラムラインCL1に再び連結される。このように、第1期間P1に、時分割的に、第1CDS回路CDS11、CDS21、及び第2CDS回路CDS12、CDS22が、第1カラムラインCL1及び第3カラムラインCL3にもそれぞれ連結される。
第2期間P2に、第3CDS回路CDS13、CDS23が、第1カラムラインCL1及び第3カラムラインCL3にもそれぞれ連結される。また、第2期間P2に、第1CDS回路CDS11、CDS21及び第2CDS回路CDS12、CDS22が第2カラムラインCL2及び第4カラムラインCL4にもそれぞれ連結される。以後、第3期間P3に、第3CDS回路CDS13、CDS23が第2カラムラインCL2及び第4カラムラインCL4にもそれぞれ連結される。
これにより、第1及び第2カラムラインCL1、CL2は、CDS回路CDS11、CDS12、CDS13を共有し、第3及び第4カラムラインCL3、CL4は、CDS回路CDS21、CDS22、CDS23を共有することができる。
第1CDS回路CDS11、CDS21は、LCGモードのピクセル信号をリードアウトし、第2CDS回路CDS12、CDS22は、HCGモードのピクセル信号をリードアウトし、第3CDS回路CDS13、CDS23は、SCモード及びSLOFモードのピクセル信号をリードアウトすることができる。すなわち、ピクセルアレイ110aの下部に位置した第1CDS回路CDS11、CDS21及び第2CDS回路CDS12、CDS22は、ラージフォトダイオードLPDによるピクセル信号をリードアウトし、ピクセルアレイ110aの上部に位置した第3CDS回路CDS13、CDS23は、スモールフォトダイオードSPDによるピクセル信号をリードアウトすることができる。
図9Bを参照すれば、第1リードアウト期間RD1に、第1カラムライン及び第3カラムラインCL1、CL3に連結されたピクセル、例えば、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2が、リードアウトされ得る。第2リードアウト期間RD2に、第2及び第4カラムラインCL2、CL4に連結されたピクセル、例えば、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3が、リードアウトされ得る。第1リードアウト期間RD1は、第1期間P1及び第2期間P2を含み、第2リードアウト期間RD2は、第2期間P2及び第3期間P3を含む。第1リードアウト期間RD1の一部及び第2リードアウト期間RD2の一部である第2期間P2が、オーバーラップされもする。
第1期間P1に、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2のLCGリセットレベルLCG_RST、HCGリセットレベルHCG_RST、HCG信号レベルHCG_SIG、及びLCG信号レベルLCG_SIGが、順次にリードアウトされ、第1CDS回路CDS11、CDS21が、LCGリセットレベルLCG_RST及びLCG信号レベルLCG_SIGをリードアウトすることができる。第2CDS回路CDS12、CDS22が、HCGリセットレベルHCG_RST及びHCG信号レベルHCG_SIGをリードアウトすることができる。
第2期間P2に、第3CDS回路CDS13、CDS23が、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2のSCリセットレベルSC_RST、SC信号レベルSC_SIG、SLOF信号レベルSLOF_SIG及びSLOFリセットレベルSLOF_RSTを順次にリードアウトすることができる。また、第2期間P2に、第1CDS回路CDS11、CDS21が、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3のLCGリセットレベルLCG_RST、HCGリセットレベルHCG_RST、HCG信号レベルHCG_SIG、及びLCG信号レベルLCG_SIGを、順次にリードアウトすることができる。
第3期間P3に、第3CDS回路CDS13、CDS23が、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3のSCリセットレベルSC_RST、SC信号レベルSC_SIG、SLOF信号レベルSLOF_SIG、及びSLOFリセットレベルSLOF_RSTを、順次にリードアウトすることができる。
図9Aに示されるように、第NロウR及び第N+2ロウRN+2に配置された第NピクセルPX、及び第N+2ピクセルPXN+2は、同一制御信号を受信し、第N+1ロウRN+1及び第N+3ロウRN+3に配置された第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3は、同一制御信号を受信する。したがって、図9Bに示されるように、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2が、同時にリードアウトされ、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3が、同時にリードアウトされる。第NピクセルPX及び第N+1ピクセルPXN+1にそれぞれ連結された第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2が、CDS回路CDS11、CDS12、CDS13を共有し、第N+2ピクセルPXN+2及び第N+3ピクセルPXN+3にそれぞれ連結された第3カラムラインCL3、及び第4カラムラインCL4が、CDS回路CDS21、CDS22、CDS23を共有するので、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2と、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3とがそれぞれ同時にリードアウトされ得る。また、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2がリードアウトされる時点と、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3がリードアウトされる時点とがずれたものになる。
図10Aは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示しており、図10Bは、図10Aのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。
図9Aを参照して説明した、ピクセルアレイ110a、CDS回路の配置、及びスイッチ回路SWCa、SWCbに係わる説明、並びに、図9Aのピクセルのリードアウト動作は、図10A及び図10Bにも同様に適用されるところ、重複説明は省略し、相違点を説明する。
図10Bを参照して後述する第1期間P1に、第1CDS回路CDS11、CDS21及び第2CDS回路CDS12、CDS22が、第1カラムラインCL1及び第3カラムラインCL3にもそれぞれ連結される。第2期間P2に、第2CDS回路CDS12、CDS22が、第1カラムラインCL1及び第3カラムラインCL3にも、それぞれ連結される。また、第2期間P2に、第1CDS回路CDS11、CDS21、及び第3CDS回路CDS13、CDS23が、第2カラムラインCL2及び第4カラムラインCL4にも、それぞれ連結される。第3期間P3に、第3CDS回路CDS13、CDS23が、第2カラムラインCL2及び第4カラムラインCL4にも、それぞれ連結される。
このように、第1カラムライン及び第2カラムラインCL1、CL2は、第1CDS回路CDS11を共有し、第3カラムライン及び第4カラムラインCL3、CL4は、第1CDS回路CDS21を共有することができる。第1CDS回路CDS11、CDS21は、第1期間P1に、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2のLCGモードのピクセル信号をリードアウトし、第2期間P2に、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3のLCGモードのピクセル信号をリードアウトすることができる。第2CDS回路CDS12、CDS22は、第1期間P1に、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2のHCGモードのピクセル信号をリードアウトし、第2期間P2に、第NピクセルPX及び第N+2ピクセルPXN+2のSCモードのピクセル信号及びSLOFモードのピクセル信号をリードアウトすることができる。第3CDS回路CDS13、CDS23は、第2期間P2に、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3のHCGモードのピクセル信号をリードアウトし、第3期間P3に、第N+1ピクセルPXN+1及び第N+3ピクセルPXN+3のSCモードのピクセル信号及びSLOFモードのピクセル信号をリードアウトすることができる。
すなわち、第2CDS回路CDS12及び第3CDS回路CDS13が、それぞれ第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に連結されたピクセル、例えば、第NピクセルPX及び第N+1ピクセルPXN+1をリードアウトするが、第1CDS回路CDS11が、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に共有されるので、第NピクセルPX及び第N+1ピクセルPXN+1のLCGピクセル信号をリードアウトすることができる。また、第2CDS回路CDS22及び第3CDS回路CDS23が、それぞれ第3カラムラインCL3及び第4カラムラインCL4に連結されたピクセル、例えば、第N+2ピクセルPXN+2及び第N+3ピクセルPXN+3をリードアウトするが、第1CDS回路CDS21が、第3カラムラインCL3及び第4カラムラインCL4に共有されるので、第3カラムラインCL3及び第4カラムラインCL4に連結された第N+2ピクセルPXN+2、及び第N+3ピクセルPXN+3のLCGピクセル信号を、リードアウトすることができる。
第1CDS回路CDS11が、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に共有されるので、すなわち、第1CDS回路CDS11が、第1カラムラインCL1及び第2カラムラインCL2に、時分割的に連結されるので、第NピクセルPX及び第N+1ピクセルPXN+1が、ずれてリードアウトされ得る。第1CDS回路CDS21が、第3カラムラインCL3及び第4カラムラインCL4に共有されるので、すなわち、第1CDS回路CDS21が第3カラムラインCL3及び第4カラムラインCL4に、時分割的に連結されるので、第N+2ピクセルPXN+2及び第N+3ピクセルPXN+3が、ずれてリードアウトされう得る。
図9A及び図10Aを参照して説明したように、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいては、隣接した2本のカラムライン、例えば、第1カラムライン及び第2カラムラインCL1、CL2、並びに、第3カラムライン及び第4カラムラインCL3、CL4が、LCGピクセル信号をリードアウトする第1CDS回路CDS11、CDS21を共有し、ピクセルを、ずれてリードアウトすることができる。これにより、CDS回路のレイアウト面積が、LCGピクセル信号をリードアウトするために、第1ないし第4カラムラインCL1、CL2、CL3、CL4それぞれに対応するCDS回路が具備される場合よりも減少する。
図11A及び図11Bは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示し、図11Cは、図11A及び図11Bのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。
図11Aを参照すれば、ADC回路130は、ピクセルアレイ110の一側面に配置され、第1CDS回路CDS1、第2CDS回路CDS2、及び第3CDS回路CDS3を含むものでもある。1つのピクセルピッチPPCごとに、第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3が、それぞれ配置され得る。
ピクセルアレイ110において、同一カラムに配置されたピクセルPXは、互いに隣接した2本のカラムラインCLに交互に連結され、スイッチ回路SWCは、ピクセルアレイ110とADC回路130との間に配置され、各2本のカラムラインを、時分割的に第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3に連結することができる。
図11Bを参照すれば、ADC回路130a、130bは、ピクセルアレイ110の対向する両側面に配置され、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、ピクセルアレイ110の一側面に配置され、第3CDS回路CDS3が、ピクセルアレイ110の他の側面に配置されている。スイッチ回路SWCaは、ピクセルアレイ110とADC回路130aとの間に配置され、各2本のカラムラインを、時分割的に第1及び第2CDS回路CDS1、CDS2に連結することができる。スイッチ回路SWbは、ピクセルアレイ110とADC回路130bとの間に配置され、各2本のカラムラインを時分割的に第3CDS回路CDS3に連結することができる。
図11Cを参照すれば、ピクセルアレイ110の複数のロウ、例えば、第Nないし第N+3ロウR、RN+1、RN+2、RN+3にそれぞれ配置されたピクセルが、ずれてリードアウトされ得る。
T1期間に、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、第NロウRに配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトし、T2期間に、第3CDS回路CDS3(または、第2CDS回路CDS2)が、第NロウRに配置されたピクセルPXから、SCモードのピクセル信号SC及びSLOFモードのピクセル信号SLをリードアウトすることができる。このとき、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2(または、第3CDS回路CDS3)が、第N+1ロウRN+1に配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。
T3期間に、第3CDS回路CDS3が、第N+1ロウRN+1に配置されたピクセルPXから、SCモードのピクセル信号SC及びSLOFモードのピクセル信号SLをリードアウトすることができる。このとき、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、第N+2ロウRN+2に配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。
このように、隣接した2本のカラムラインCLに第1CDS回路CDS1が共有されるか、あるいは、隣接した2本のカラムラインCLに第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3が共有されるので、複数のロウに配置されたピクセルPXがずれてリードアウトされ得る。また、2つのロウに配置されたピクセルが同時にリードアウトされることにより、フレームレートが増加し得る。
図12Aを参照すれば、ADC回路130aは、ピクセルアレイ110aの一側面に配置され、第1CDS回路CDS1、第2CDS回路CDS2、及び第3CDS回路CDS3を含むものでもある。1つのピクセルピッチPPCごとに、第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3が、それぞれ2対ずつ配置され得る。
ピクセルアレイ110aにおいて、同一カラムに配置されたピクセルPXは、互いに隣接した4本のカラムラインCLに、交互に連結され得る。スイッチ回路SWCは、ピクセルアレイ110aとADC回路130との間に配置され、各2本のカラムラインを、時分割的に第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3に連結することができる。
図12Bを参照すれば、ADC回路130a、130bは、ピクセルアレイ110aの対向する両側面に配置され、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、ピクセルアレイ110aの一側面に配置され、第3CDS回路CDS3が、ピクセルアレイ110aの他の側面に配置される。スイッチ回路SWCaは、ピクセルアレイ110aとADC回路130aとの間に配置され、各2本のカラムラインを、時分割的に第1及び第2CDS回路CDS1、CDS2に連結することができる。スイッチ回路SWbは、ピクセルアレイ110aとADC回路130bとの間に配置され、各2本のカラムラインを、時分割的に第3CDS回路CDS3に連結することができる。
図12Cを参照すれば、ピクセルアレイ110aの複数のロウ、例えば、第Nないし第N+3ロウR、RN+1、RN+2、RN+3にそれぞれ配置されたピクセルが、ずれてリードアウトされ得る。
T1期間に、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、第NロウR及び第N+2ロウRN+2に配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトし、T2期間に、第3CDS回路CDS3(または、第2CDS回路CDS2)が、第NロウR及び第N+2ロウRN+2に配置されたピクセルPXから、SCモードのピクセル信号SC及びSLOFモードのピクセル信号SLをリードアウトすることができる。このとき、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2(または、第3CDS回路CDS3)が、第N+1ロウRN+1及び第N+3ロウRN+3に配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。
T3期間に、第3CDS回路CDS3が、第N+1ロウRN+1及び第N+3ロウRN+3に配置されたピクセルPXから、SCモードのピクセル信号SC及びSLOFモードのピクセル信号SLをリードアウトすることができる。このとき、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、第N+4ロウRN+4及び第N+6ロウRN+6に配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。
このように、隣接した2本のカラムラインCLに第1CDS回路CDS1が共有されるか、あるいは、隣接した2本のカラムラインCLに第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3が共有されるので、複数のロウに配置されたピクセルPXが、ずれてリードアウトされ得る。また、4つのロウに配置されたピクセルが同時にリードアウトされることにより、フレームレートが増加し得る。
図13Aは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサにおいて、ピクセルとCDS回路との連結を例示的に示し、図13Bは、図13Aのピクセルのリードアウトを示すタイミング図である。
図13Aを参照すれば、ADC回路130は、ピクセルアレイ110bの一側面に配置され、第1CDS回路CDS1、第2CDS回路CDS2、及び第3CDS回路CDS3を含むものでもある。2つのピクセルピッチPPCごとに、第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3が、それぞれ配置され得る。
ピクセルアレイ110bにおいて、同一カラムに配置されたピクセルPXは、同一カラムラインCLにも連結される。スイッチ回路SWCは、ピクセルアレイ110bとADC回路130との間に配置され、各2本のカラムラインを、時分割的に第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3に連結することができる。
図13Bを参照すれば、ピクセルアレイ110bの複数のロウ、例えば、第Nないし第N+3ロウR、RN+1、RN+2、RN+3にそれぞれ配置されたピクセルが、ずれてリードアウトされ得る。
T1期間に、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、第NロウRの奇数番目のカラムに配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。T2期間に、第3CDS回路CDS3(または、第2CDS回路CDS2)が、第NロウRの奇数番目のカラムに配置されたピクセルPXから、SCモードのピクセル信号SC及びSLOFモードのピクセル信号SLをリードアウトすることができる。このとき、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2(または、第3CDS回路CDS3)が、第NロウRの偶数番目のカラムに配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。
T3期間に、第3CDS回路CDS3が、第NロウRの偶数番目のカラムに配置されたピクセルPXから、SCモードのピクセル信号SC及びSLOFモードのピクセル信号SLをリードアウトすることができる。このとき、第1CDS回路CDS1及び第2CDS回路CDS2が、第N+1ロウRN+1の奇数番目のカラムに配置されたピクセルPXから、LCGモードのピクセル信号L及びHCGモードのピクセル信号Hをリードアウトすることができる。
このように、隣接した2本のカラムラインCL(例えば、奇数番目のカラムライン及び偶数番目のカラムライン)に第1CDS回路CDS1が共有されるか、あるいは、隣接した2本のカラムラインCLに第1ないし第3CDS回路CDS1、CDS2、CDS3が共有されるので、複数のロウの奇数番目のカラムに配置されたピクセルPX及び偶数番目のカラムに配置されたピクセルPXが、ずれてリードアウトされ得る。
図14A及び図14Bは、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサのスタック構造を示す図面である。
図14Aを参照すれば、本発明の実施形態によるイメージセンサ1は、積層された複数のチップを含むものでもある。例えば、イメージセンサ1は、ピクセルアレイ領域またはセンシング領域SAを具備した上部チップ40、回路領域LCを具備した中間チップ50、及びメモリ領域MCを具備した下部チップ60を含む。実施形態において、下部チップ60は、ダミー領域DCを含むこともできる。ダミー領域DCには、ダミーセルが具備されてもよい。一部実施形態において、上部チップ40と中間チップ50とは、ウェーハレベルで互いに積層され、下部チップ60は、チップレベルで中間チップ50の下部にも付着される。
上部チップ40は、複数のピクセルPXが配置されたセンシング領域SAと、センシング領域SA周辺の第1パッド領域PA1と、を含むものでもある。第1パッド領域PA1には、複数の上部パッドPADが配置され得る。複数の上部パッドPADは、ビア(via)などを通じて中間チップ50の第2パッド領域PA2に配置されたパッドに連結され、回路領域LCの回路にも連結される。
中間チップ50は、アナログ回路及びデジタル回路が配置された回路領域LCと、回路領域LC周辺の第2パッド領域PA2と、を含むものでもある。回路領域LCの回路は、上部チップ40に配置されたピクセル回路を駆動するための回路、例えば、ロウドライバ120(図1)、ADC回路130(図1)、及びタイミングコントローラ150(図1)などを含んでもよい。
下部チップ60は、メモリ領域MCと、ダミー領域DCと、を含むものでもある。一部実施形態において、ダミー領域DCは、省略可能である。また、一部実施形態において、下部チップ60は、パッケージ構造を有することができる。例えば、メモリ領域MCとダミー領域DCそれぞれがチップとして製造され、密封材で共に密封されることにより、下部チップ60は、2つのチップを具備したパッケージ構造を有することができる。メモリ領域MCには、DRAM(dynamic random access memory)素子またはSRAM(static random access memory)素子のようなメモリ素子が配置されもする。しかし、メモリ領域MCに配置されたメモリ素子が、DRAM素子またはSRAM素子に限定されるものではない。ダミー領域DCには、メモリ素子が配置されないのである。ダミー領域DCは、データを保存する機能ではないチップ50、60を支持する機能を行うことができる。メモリ領域MCのメモリ素子は、バンプや貫通電極などを通じて、中間チップ50の回路領域LCの回路のうち、少なくとも一部と電気的に連結可能である。
図14Bを参照すれば、本実施形態のイメージセンサ2は、上部チップ70と、下部チップ80と、を含むものでもある。上部チップ70は、複数のピクセルPXが設けられるセンシング領域SA、複数のピクセルPXを駆動するための素子が設けられる回路領域LC、及びセンシング領域SAと回路領域LC周辺のパッド領域PAを含むものでもある。パッド領域PAには、複数の上部パッドPADが配置され、複数の上部パッドPADは、ビアなどを通じて下部チップ80に設けられたメモリ領域MCのメモリ素子とも連結される。下部チップ80は、メモリ領域MCとダミー領域DCとを含むものでもある。下部チップ80は、図14Aのイメージセンサ1の下部チップ60と実質的に同一であるので、下部チップ80に係わる詳細な説明は省略する。
図15は、本発明の例示的な実施形態による、イメージセンサを含む電子装置を概略的に示すブロック図である。
図15を参照すれば、電子装置1000は、イメージセンサ1100及びアプリケーションプロセッサ(AP)1200を含むものでもある。電子装置1000は、照度センサのような多様なセンサ及び通信モジュールなど、をさらに含んでもよい。
アプリケーションプロセッサ1200は、イメージセンサ1100の動作を制御する制御信号をイメージセンサ1100に提供することができる。制御信号の伝送は、例えば、I2Cに基づいたインターフェースに基づいて行われる。また、制御信号は、レンズシェーディング補正値、クロストーク係数、アナログゲイン、デジタルゲイン、フレームレート設定値のようなイメージセンサ1100の構成データを、さらに含むこともできる。
イメージセンサ1100は、受信された制御信号に基づいて、対象物を撮像し、イメージデータIDTを生成することができる。イメージデータIDTは、静止画及び動画を含むこともできる。イメージセンサ1100は、イメージデータIDTに対して、画質補償、ビニング、ダウンサイジングなどの信号処理を行い、画質補償は、例えば、ブラックレベル補償、レンズシェーディング補償、クロストーク補償、及びバッドピクセル補正などの信号処理を含むこともできる。
図1ないし図14Bを参照して説明したイメージセンサ100がイメージセンサ1100としても適用される。イメージセンサ1100のピクセルアレイ110(図1)に具備される複数のピクセルそれぞれは、第1フォトダイオード(例えば、ラージフォトダイオード)及び第2フォトダイオード(例えば、スモールフォトダイオード)を含み、第1フォトダイオードに基づいて、第1モード及び第2モード(例えば、LCGモード及びHCGモード)で動作し、第2フォトダイオードに基づいて、第3モード及び第4モード(例えば、SCモード及びSLOFモード)で動作することができる。
第1ないし第3CDS回路131、132、133(図1)が、隣接した2本のカラムラインに連結されたピクセルをリードアウトすることができ、前記2本のカラムラインが、LCGモードのピクセル信号をリードアウトする第1CDS回路131(図1)を共有するか、あるいは、第1ないし第3CDS回路131、132、133(図1)を共有することができる。
1つのCDS回路が、LCGモード、HCGモード、SCモード、及びSLOFモードのピクセル信号を全てリードアウトするものではなく、第1CDS回路131が、LCGモードのピクセル信号をリードアウトするところ、LCGモードのピクセル信号が、完全CDS方式によりリードアウトされるので、LCGモードのSNR特性が向上し得る。ずれたリードアウト方式によって、第1CDS回路131が2本のカラムラインに共有されるところ、カラムラインそれぞれに第1CDS回路131が連結される場合より、回路サイズ、すなわち、CDS回路のレイアウト面積が減少し得る。また、第1ないし第3CDS回路131、132、133(図1)が、隣接した2本のカラムラインに共有される場合、第1ないし第3CDS回路131、132、133(図1)それぞれが特定モードに対応して動作するので、対応するモードによってカスタマイジングされるため、第1ないし第3CDS回路131、132、133の性能が向上し、回路サイズが減少し得る。
イメージセンサ1100は、イメージデータIDT、または、信号処理されたイメージデータIDTを、アプリケーションプロセッサ1200へ伝送することができる。イメージセンサ1100は、第1ないし第4モードに対応する第1ないし第4モードイメージを含むイメージデータIDTをアプリケーションプロセッサ1200へ伝送することができる。
イメージデータIDTの伝送は、例えば、MIPI(Mobile Industry Processor Interface)に基づいたCSI(Camera Serial Interface)を利用して行われるが、実施形態が、それに制限されるものではない。
アプリケーションプロセッサ1200は、受信されたイメージデータIDTに対し、不良ピクセル補正(bad pixel correction)、3A調整(Auto-focus correction,Auto-white balance,Auto-exposure)、ノイズ除去(noise reduction)、シャープニング(sharpening)、ガンマ調整(gamma control)、リモザイク(remosaic)、デモザイク、解像度スケーリング(ビデオ/プレビュー)、などのイメージ処理を行うことができる。
また、アプリケーションプロセッサ1200は、第1ないし第4モードイメージをHDR処理し、高いダイナミックレンジを有するイメージを生成することができる。
前述の素子及び/又は機能ブロックのうちいずれか1つは、論理回路を含むハードウェアのような処理回路、ソフトウェアを実行するプロセッサのようなハードウェア/ソフトウェアの組み合わせ、または、それらの組み合わせによっても具現される。例えば、処理回路は、非制限的に、CPU(central processing unit)、ALU(arithmetic logic unit)、デジタル信号プロセッサ、マイクロコンピュータ、FPGA(field programmable gate array)、SoC(system-on-chip)、プログラマブル論理装置、マイクロプロセッサ、ASIC(application specific integrated circuit)などを含むこともできる。処理回路は、トランジスタ、抵抗器、及びキャパシタのうち、少なくとも1つのような電気構成要素を含むこともできる。処理回路は、ANDゲート、ORゲート、NANDゲート、及びNOTゲートのうち少なくとも1つを含む、ロジックゲートのような電気構成要素を含むこともできる。
以上のように、図面と明細書で例示的な実施形態が開示された。本明細書において、特定用語を使用して実施形態を説明したが、それは、単に本発明の技術的思想を説明するための目的で使用されたものであり、意味限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために使用されたものではない。したがって、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により決まらなければならない。
131 第1CDS回路
132 第2CDS回路
133 第3CDS回路
AZ1 第1オートゼロ信号
AZ2 第2オートゼロ信号
AZ3 第3オートゼロ信号
CL1 第1カラムライン
CL2 第2カラムライン
GCS ゲイン制御信号
LTS 第1伝送制御信号
PX1 第1ピクセル
PX2 第2ピクセル
RS リセット信号
SEL 選択信号
SS11,SS12,SS13,SS21,SS22,SS23 スイッチング信号
STS 第2伝送制御信号
SWS スイッチ制御信号

Claims (20)

  1. イメージセンサであって、
    ピクセルアレイであり、
    第1カラム(column)ラインに連結される第1ピクセル、及び、第2カラムラインに連結される第2ピクセルを含み、
    前記第1ピクセル及び前記第2ピクセルそれぞれは、駆動トランジスタを共有する第1フォトダイオード(PD)及び第2PDを含み、
    前記第1ピクセル及び前記第2ピクセルは、前記第1PDに基づいて、コンバージョンゲインによる第1モード及び第2モードで動作し、前記第2PDに基づいて、第3モード及び第4モードで動作する、
    ピクセルアレイと、
    アナログ・デジタル変換回路であり、
    前記第1カラムライン及び前記第2カラムラインを通じて出力されるピクセル信号をリード(read)する第1相関二重サンプリング(CDS)回路、第2CDS回路、及び第3CDS回路を含む、
    アナログ・デジタル変換回路と、
    を含み、
    前記第1CDS回路は、前記第1カラムライン及び前記第2カラムラインに時分割的に連結される、
    イメージセンサ。
  2. 前記第1CDS回路は、
    第1期間に、前記第1カラムラインを通じて出力される前記第1ピクセルの第1モードピクセル信号をリードし、
    前記第1期間以後の第2期間に、前記第2カラムラインを通じて出力される前記第2ピクセルの第1モードピクセル信号をリードする、
    ことを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  3. 前記第1モードピクセル信号は、リセットレベル及び信号レベルを含み、
    前記第1CDS回路は、前記リセットレベルをリードした後で、前記信号レベルをリードする、
    ことを特徴とする、請求項2に記載のイメージセンサ。
  4. 前記第2CDS回路は、
    前記第1期間に、前記第1カラムラインを通じて出力される前記第1ピクセルの第2モードピクセル信号をリードし、
    前記第2期間に、前記第2カラムラインを通じて出力される前記第2ピクセルの第2モードピクセル信号をリードする、
    ことを特徴とする、請求項2に記載のイメージセンサ。
  5. 前記第1期間は、第1サブ期間、第2サブ期間、第3サブ期間、及び第4サブ期間を含み、
    前記第1サブ期間に、前記第1CDS回路が前記第1モードピクセル信号のリセットレベルをリードし、
    前記第2サブ期間に、前記第2CDS回路が前記第2モードピクセル信号のリセットレベルをリードし、
    前記第3サブ期間に、前記第2CDS回路が前記第2モードピクセル信号の信号レベルをリードし、
    前記第4サブ期間に、前記第1CDS回路が前記第1モードピクセル信号の信号レベルをリードし、かつ、
    前記第1モードの第1コンバージョンゲインは、前記第2モードの第2コンバージョンゲインより低い、
    ことを特徴とする、請求項4に記載のイメージセンサ。
  6. 前記第3CDS回路は、
    前記第2期間に、前記第1カラムラインを通じて出力される前記第1ピクセルの第3モードピクセル信号及び第4モードピクセル信号をリードアウトする、
    ことを特徴とする、請求項2に記載のイメージセンサ。
  7. 前記第1CDS回路、前記第2CDS回路、及び前記第3CDS回路のうち少なくとも1つのレイアウト面積は、前記第1CDS回路、前記第2CDS回路、及び前記第3CDS回路のうち他の少なくとも1つと互いに異なっている、
    ことを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  8. 前記第1PDの受光面積は、前記第2PDの受光面積より大きい、
    ことを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  9. 前記第1ピクセル及び前記第2ピクセルそれぞれは、さらに、
    前記第1PD及び第1フローティングディフュージョンノード(FD)に連結される第1伝送トランジスタと、
    前記第1FD及び第2FDに連結されるゲイン制御トランジスタと、
    前記第2FDに連結され、一端に第1電源電圧が印加されるリセットトランジスタと、
    前記第2PD及び第3FDに連結される第2伝送トランジスタと、
    前記第2FD及び前記第3FDに連結されるスイッチングトランジスタと、
    前記第3FDに連結され、一端に前記第1電源電圧が印加されるキャパシタと、 を含む、ことを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  10. 前記キャパシタは、
    前記第2PDからオーバーフロー(overflow)される電荷を保存する、
    ことを特徴とする、請求項9に記載のイメージセンサ。
  11. 前記第1モードにおいては、前記ゲイン制御トランジスタがターンオンされ、前記スイッチングトランジスタ、及び前記リセットトランジスタはターンオフされ、
    前記第2モードにおいては、前記ゲイン制御トランジスタ、前記スイッチングトランジスタ、及び前記リセットトランジスタがターンオフされ、
    前記第3モードにおいては、前記ゲイン制御トランジスタ及び前記スイッチングトランジスタがターンオンされ、前記リセットトランジスタはターンオフされ、
    前記第4モードにおいては、前記ゲイン制御トランジスタ及び前記スイッチングトランジスタがターンオンされ、前記リセットトランジスタは1回トグリングされる、
    ことを特徴とする、請求項9に記載のイメージセンサ。
  12. 前記第1ピクセル及び前記第2ピクセルは、同一カラム及び隣接したロウに配置される、
    ことを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  13. 前記第1ピクセル及び前記第2ピクセルは、隣接したカラム及び同一ロウに配置される、
    ことを特徴とする、請求項1に記載のイメージセンサ。
  14. イメージセンサであって、
    ピクセルアレイであり、
    複数のピクセル、前記複数のピクセルに制御信号を提供する複数のロウライン、及び、前記複数のピクセルから生成される複数のピクセル信号を出力する複数のカラムラインを含み、
    前記複数のピクセルそれぞれが、駆動トランジスタを共有する第1フォトダイオード(PD)及び第2PDを含む、
    ピクセルアレイと、
    アナログ・デジタル変換器であり、
    前記複数のカラムラインを通じて出力される複数のピクセル信号をアナログ・デジタル変換し、
    前記複数のカラムラインのうち第1カラムライン及び第2カラムラインを通じて受信されるピクセル信号を受信して、リードする第1CDS回路、第2CDS回路、及び第3CDS回路を含む、
    アナログ・デジタル変換器と、
    スイッチング回路であり、
    第1期間に、前記第1カラムラインを前記第1CDS回路及び前記第2CDS回路に時分割的に連結し、前記第2カラムラインを前記第3CDS回路に連結し、
    第2期間に、前記第2カラムラインを前記第1CDS回路及び前記第2CDS回路に時分割的に連結し、前記第1カラムラインを前記第3CDS回路に連結する、
    スイッチング回路と、
    を含む、イメージセンサ。
  15. 前記複数のピクセルそれぞれは、
    前記第1PDに基づいて、コンバージョンゲインによる第1モード及び第2モード、並びに、前記第2PDに基づいて、リセットレベルと信号レベルの出力順序による第3モード及び第4モードで動作する、
    ことを特徴とする、請求項14に記載のイメージセンサ。
  16. 前記第1期間に、
    前記第1CDS回路が、前記第1カラムラインを通じて受信される第1ピクセルの第1モード信号をリードし、
    前記第2CDS回路が、前記第1カラムラインを通じて受信される前記第1ピクセルの第2モード信号をリードし、
    前記第3CDS回路が、前記第2カラムラインを通じて受信される第2ピクセルの第3モード信号及び第4モード信号をリードし、
    前記第2期間に、
    前記第1CDS回路が、前記第2カラムラインを通じて受信される第3ピクセルの第1モード信号をリードし、
    前記第2CDS回路が、前記第2カラムラインを通じて受信される前記第3ピクセルの第2モード信号をリードし、
    前記第3CDS回路が、前記第1カラムラインを通じて受信される前記第1ピクセルの第3モード信号及び第4モード信号をリードする、
    ことを特徴とする、請求項15に記載のイメージセンサ。
  17. 前記第1CDS回路及び前記第2CDS回路は、前記ピクセルアレイの第1側面に配置され、
    前記第3CDS回路は、前記ピクセルアレイの第2側面に配置され、
    前記第1側面及び前記第2側面は、前記第1カラムライン及び前記第2カラムラインが延びる方向に垂直な面である、
    ことを特徴とする、請求項14に記載のイメージセンサ。
  18. 電子装置であって、
    1回の露出に基づいて、第1モードイメージ、第2モードイメージ、第3モードイメージ、及び第4モードイメージを生成するイメージセンサと、
    アプリケーションプロセッサであり、
    前記イメージセンサから、前記第1モードイメージ、前記第2モードイメージ、前記第3モードイメージ、及び前記第4モードイメージそれぞれを受信し、
    前記第1モードイメージ、前記第2モードイメージ、前記第3モードイメージ、及び前記第4モードイメージを合成し、
    高いダイナミックレンジを有するイメージを生成する、
    アプリケーションプロセッサと、を含み、
    前記イメージセンサは、
    複数のピクセルを含むピクセルアレイであり、
    それぞれのピクセルが、駆動トランジスタを共有する第1フォトダイオード(PD)及び第2PDを含み、
    前記第1PDの受光面積が前記第2PDの受光面積より大きく、
    第1モード及び第2モードにおいて、前記第1PDからの電荷に基づいて生成される第1モード信号及び第2モード信号をピクセル信号として出力し、
    第3モード及び第4モードにおいて、前記第2PDからの電荷に基づいて生成される第3モード信号及び第4モード信号を前記ピクセル信号として出力する、 複数のピクセルを含むピクセルアレイと、
    前記複数のピクセルのうち、第1カラムラインに連結される第1ピクセル、及び、第2カラムラインに連結される第2ピクセルをそれぞれ時分割的にリードアウトする、第1相関二重サンプリング(CDS)回路、第2CDS回路、及び第3CDS回路と、
    を含む、電子装置。
  19. 前記第1CDS回路は、
    第1期間に、前記第1カラムラインを通じて出力される前記第1ピクセルの前記第1モード信号をリードし、
    第2期間に、前記第2カラムラインを通じて出力される前記第2ピクセルの前記第1モード信号をリードし、
    前記第1モードは、ローコンバージョンゲインモードである、
    ことを特徴とする、請求項18に記載の電子装置。
  20. 前記第1モード信号は、リセットレベル及び信号レベルを含み、
    前記第1CDS回路は、前記リセットレベルをリードした後で、前記信号レベルをリードする、
    ことを特徴とする、請求項19に記載の電子装置。
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