JP2023524217A - デジタルリソグラフィ用の画像安定化 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- デジタルリソグラフィ用の画像安定化のための方法であって、
インスキャン方向に対してある回転角で配置された空間光変調器(SLM)であって、複数のSLMピクセルを含む空間光変調器(SLM)を、画像投影システムに設けることと、
前記SLMから投影するためのマスクパターンをラスタ化することであって、前記マスクパターンが、前記複数のピクセルのうちSLMピクセルの第1のセットに対応する、ラスタ化することと、
コントローラにおいて、前記SLMと基板との間のクロススキャン振動を検出することであって、前記クロススキャン振動が、クロススキャンのずれを引き起こす、検出することと、
前記検出することに応答して、前記インスキャン方向における前記SLM内の前記マスクパターンをSLMピクセルの第2のセットにシフトして、前記クロススキャンのずれを補正することと
を含む、方法。 - 前記マスクパターンを基板に投影するために前記SLMに放射線を供給することをさらに含み、前記検出することに基づいて、前記SLMに前記放射線を供給するタイミングを遅延させることおよび加速することのうちの一方を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記クロススキャンのずれを前記回転角のタンジェントで除算することによって、前記SLMの軸に沿った前記マスクパターンのシフト量を決定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記回転角が、0.5度~26度である、請求項3に記載の方法。
- 前記SLMの前記角度が、約1度である、請求項4に記載の方法。
- プロセッサとメモリとを備える、デジタルリソグラフィ用のシステムであって、前記メモリが、画像安定化のためのコンピュータ読取り可能な命令を含み、前記方法が、
インスキャン方向に対してある回転角で配置された空間光変調器(SLM)であって、複数のSLMピクセルを含む空間光変調器(SLM)を、画像投影システムに設けることと、
前記SLMから投影するためのマスクパターンをラスタ化することであって、前記マスクパターンが、前記複数のピクセルのうちSLMピクセルの第1のセットに対応する、ラスタ化することと、
コントローラにおいて、前記SLMと基板との間のクロススキャン振動を検出することであって、前記クロススキャン振動が、クロススキャンのずれを引き起こす、検出することと、
前記検出することに応答して、前記インスキャン方向における前記SLM内の前記マスクパターンをSLMピクセルの第2のセットにシフトして、前記クロススキャンのずれを補正することと
を含む、システム。 - 前記方法が、前記マスクパターンを基板に投影するために前記SLMに放射線を供給することをさらに含み、前記検出することに基づいて、前記SLMに前記放射線を供給するタイミングを遅延させることおよび加速することのうちの一方を含む、請求項6に記載のシステム。
- 前記方法が、前記クロススキャンのずれを前記回転角のタンジェントで除算することによって、前記SLMの軸に沿った前記マスクパターンのシフト量を決定することをさらに含む、請求項6に記載のシステム。
- 前記回転角が、0.5度~26度である、請求項8に記載のシステム。
- 前記SLMの前記角度が、約1度である、請求項9に記載のシステム。
- デジタルリソグラフィ用の画像安定化のための方法のためのコンピュータ読取り可能な命令を含む、非一時的なコンピュータ読取り可能な媒体であって、前記方法が、
インスキャン方向に対してある回転角で配置された空間光変調器(SLM)であって、複数のSLMピクセルを含む空間光変調器(SLM)を、画像投影システムに設けることと、
前記SLMから投影するためのマスクパターンをラスタ化することであって、前記マスクパターンが、前記複数のピクセルのうちSLMピクセルの第1のセットに対応する、ラスタ化することと、
コントローラにおいて、前記SLMと基板との間のクロススキャン振動を検出することであって、前記クロススキャン振動が、クロススキャンのずれを引き起こす、検出することと、
前記検出することに応答して、前記インスキャン方向における前記SLM内の前記マスクパターンをSLMピクセルの第2のセットにシフトして、前記クロススキャンのずれを補正することと
を含む、非一時的なコンピュータ読取り可能な媒体。 - 前記方法が、前記マスクパターンを基板に投影するために前記SLMに放射線を供給することをさらに含み、前記検出することに基づいて、前記SLMに前記放射線を供給するタイミングを遅延させることおよび加速することのうちの一方を含む、請求項11に記載の非一時的なコンピュータ読取り可能な媒体。
- 前記方法が、前記クロススキャンのずれを前記回転角のタンジェントで除算することによって、前記SLMの軸に沿った前記マスクパターンのシフト量を決定することをさらに含む、請求項11に記載の非一時的なコンピュータ読取り可能な媒体。
- 前記回転角が、0.5度~26度である、請求項13に記載の非一時的なコンピュータ読取り可能な媒体。
- 前記SLMの前記角度が、約1度である、請求項14に記載の非一時的なコンピュータ読取り可能な媒体。
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