JP2023519455A - フィルタ組立体及び濾過材 - Google Patents

Abstract

本開示内容は、ボウル及びヘッドを有するフィルタハウジングに関する。ボウルは、フィルタカートリッジの一部分を収容するよう構成されている。ボウルは、ボウルのリム周りに設けられた環状溝部を有する。ヘッドは、ボウルと嵌合するよう構成されている。ヘッドは、入口、出口、及び１対のレバーを有する。入口は、フィルタハウジング中への流体の流れを受け入れるようになっている。出口は、流体の流れをフィルタハウジングから放出するようになっている。１対のレバーは、ボウルをヘッド中に部分的に引き込むようになっている。各レバーは、環状溝部と嵌合するよう構成された第１のアーム、支承面を備えた第２のアーム、及び第１のアームと第２のアームとの間に設けられたピボットを有する。支承面に加わる力がボウルをヘッド中に押し込み、それによりシールが形成される。

Description

本開示内容（本発明）は、一般に、フィルタに関する。特に、本発明は、例えばフィルタハウジング及び／又は濾過材に関する。

〔関連出願の参照〕
本願は、２０２０年３月２７日に出願された米国特許仮出願第６３／０００，８４７号の優先権主張出願であり、この米国特許仮出願を参照により引用し、その記載内容全体を本明細書の一部とする。

フィルタ組立体は、種々の用途において、例えば、内燃エンジン、油圧又は空気圧システムなどにおける使用のために当該技術分野において知られている。これらフィルタ組立体は、燃料系、潤滑油系、油圧系、空気又は排ガス濾過システムなどにおいて液体及び／又は気体状の流体を濾過するために用いられる場合がある。種々の形式のフィルタ、例えばキャニスタ型のフィルタ、スピンオン式のフィルタなどが存在する。定期的なかかるフィルタ組立体の点検整備は、重要であり、と言うのは、これらフィルタ組立体中のフィルタエレメントが濾過中の流体の不純物によって詰まり気味になって交換を必要とする場合があるからである。

圧縮空気フィルタエレメントは、種々の等級の粒状物、凝集用及び蒸気除去フィルタエレメントを含む専用機能フィルタエレメントを含む別々の圧力容器である。フィルタエレメントは、典型的には、フィルタヘッド付き下側フィルタボウル内に収容され、かかるフィルタ付き下側フィルタボウルは、これら２つのコンポーネントを固定するための螺合インターフェースによって取り付けられている。フィルタハウジングは、フィルタエレメントの点検整備とフィルタエレメントの交換との間で長年にわたって使われる場合がある。特に、大型ユニットについて、ねじのフランクは、把持された金属表面の汚染物により互いに融着状態になる場合があり、かくして、ねじ山付き区分を弛めるために相当大きなねじ回し荷重を必要とする。この結果、場合によっては、摩損やねじ山の損傷が生じ、それによりフィルタユニットが役に立たなくなる。

様々な要因に応じて、流体濾過は、２つ以上のフィルタユニットを直列に並べて流体を濾過することによって改善される場合がある。さらに、フィルタユニット内の濾過材は、これら要因に応じて変化する場合がある。フィルタ及び濾過材に影響を及ぼす要因の例としては、流体の種類、濾過されるべき予想粒子負荷、流量、圧力レベル、フィルタユニット前後の圧力降下に対する許容度、製造業者の推奨条件、実験データなどが挙げられる。

他のフィルタハウジングへの取り付けを容易にするとともに濾過材の点検及び交換をしやすくするフィルタハウジングを提供することが望ましい。また、流体の流れに対する抵抗の大きさを最小限に抑えながら、粒子及び／又は同伴液滴を流動中の流体から除去するよう構成された濾過材を提供することが望ましい。本発明は、以下に詳細に説明するようにこれらの課題及び他の課題を解決する。

本発明の実施形態は、有利には、デブリを流体から濾過により除去する濾過システム、フィルタハウジング、及び濾過材を提供する。

本発明の実施形態は、ボウル及びヘッドを有するフィルタハウジングに関する。ボウルは、フィルタカートリッジの一部分を収容するよう構成されている。ボウルは、ボウルのリム周りに設けられた環状溝部を有する。ヘッドは、ボウルと嵌合するよう構成されている。ヘッドは、入口、出口、及び１対のレバーを有する。入口は、フィルタハウジング中への流体の流れを受け入れるようになっている。出口は、流体の流れをフィルタハウジングから放出するようになっている。１対のレバーは、ボウルをヘッド中に部分的に引き込むようになっている。各レバーは、環状溝部と嵌合するよう構成された第１のアーム、支承面を備えた第２のアーム、及び第１のアームと第２のアームとの間に設けられたピボットを有する。支承面に加わる力がボウルをヘッド中に押し込み、それによりシールが形成される。

別の実施形態は、同伴油滴を凝集させるための凝集用濾過材を生成する方法に関する。この方法では、凝集用濾過材の２４インチ（６０．９６ｃｍ）ロールを低圧プラズマシステム内に配置する。凝集用濾過材は、４０～５０ミルの厚さ及び１．５ミクロン未満の繊維サイズを有する。低圧プラズマシステムは、２０８ＶＡＣ及び５アンペアの電流で１０００ワットを供給するよう構成される。低圧プラズマシステムは、毎分１メートルの送り速度に構成される。プラズマ処理済み凝集用濾過材を２５０～１０００標準立方センチメートル（“ｓｃｃ”）／分の乾燥フッ化炭素ガスにさらす。

別の実施形態は、フィルタシステムであって、フィルタシステムは、フィルタハウジングを含み、フィルタハウジングは、フィルタカートリッジの一部分を収容するよう構成されたボウルを有し、ボウルは、第１の端部、第２の端部、及び第１の端部のところに又は該第１の端部に隣接して設けられている支承面を備えた溝部を有し、フィルタハウジングは、ボウルと嵌合するよう構成されたヘッドをさらに有し、ヘッドは、フィルタハウジング中への流体の流れを受け入れる入口、及びフィルタハウジングからの流体の流れを放出する出口を備え、フィルタハウジングはさらに、ヘッドをボウルに選択的に固定するよう構成されたレバーを有し、レバーは、ボウルがヘッドから取り外されるのを阻止するロック位置と、ボウルをヘッドから自由に取り外すことができるロック解除位置との間で動くことができることを特徴とするフィルタシステムに関する。

幾つかの観点では、レバーは、ロック位置にあるときにボウルの溝部の支承面に接触するよう構成されたカム面を有する。

幾つかの観点では、レバーのカム面は、ロック解除位置にあるときにボウルの溝部の支承面を離れるよう構成されている。

幾つかの観点では、溝部は、ボウルのリム周りに環状に設けられている。

幾つかの観点では、溝部は、ボウルから突き出た局在直線状溝部である。

幾つかの観点では、レバーは、ロック位置とロック解除位置との間で回転するよう構成されている。

幾つかの観点では、ロッドがヘッドから突き出たウィングに取り付けられるのが良く、レバーは、レバーがロック位置とロック解除位置との間でロッド回りに回転することができるようロッドを受け入れるボアを有する。

幾つかの観点では、レバーをヘッドに向かう方向にほぼ９０゜だけ上方に回転させることにより、レバーは、ロック位置に動く。

幾つかの観点では、レバーをボウルに向かう方向にほぼ９０゜だけ下方に回転させることにより、レバーは、ロック位置に動く。

幾つかの観点では、レバーのカム面によって溝部の支承面に力を加えることにより、ボウルは、ヘッド中に押し込められてシールが形成される。

幾つかの観点では、レバーのカム面と溝部の支承面との接触具合は、ボウルがロック位置にある間にヘッドから引き離されたときに締まる。

幾つかの観点では、ボウルは、ロック位置にあるときにヘッドをボウルとの間の流体の漏れを阻止するエラストマーＯリングを受け入れるよう構成されたＯリング受座をさらに有する。

幾つかの観点では、ヘッドの形状及びボウルの形状は、４５゜～７５゜楕円によって規定される。

幾つかの観点では、ヘッドの形状及びボウルの形状は、６０゜楕円によって規定される。

幾つかの観点では、入口及び出口は各々、それぞれの差し込み継手を含む。

幾つかの観点では、第２のフィルタハウジングがヘッドの出口の差し込み継手に解除可能に係合するよう構成されるのが良い。

かくして本発明の特定の実施形態についてかなり大雑把に概要説明したが、その目的は、本明細書における本発明の詳細な説明を良好に理解することができるようにすることにあり、しかも当該技術分野に対する本発明の貢献を良好に把握することができるようにすることにある。当然なことながら、以下に説明し、しかも本明細書に添付された特許請求の範囲に記載されている主題をなす本発明の内容の追加の実施形態が存在する。

この点に関し、本発明の少なくとも１つの実施形態を詳細に説明する前に、本発明は、その用途が以下の説明に記載され又は図面に示されたコンポーネントの構成の細部及びコンポーネントの配置に限定されないことは理解されるべきである。本発明は、説明してありかつ種々の仕方で具体化して実施される実施形態に加えて、各種実施形態が可能である。また、理解されるべきこととして、本明細書並びに要約書で用いられる語句及び用語は、説明の目的のためであって、本発明を限定するものとみなされてはならない。

したがって、当業者であれば理解されるように、本発明の基礎をなす技術的思想は、本発明の幾つかの目的を達成するための他の構造、方法及びシステムの設計のための基礎として容易に利用できる。したがって、特許請求の範囲に記載された発明は、かかる均等構成例を含むものとみなされることが重要であり、ただし、これら均等構成例が本発明の精神及び範囲から逸脱しないことを条件とする。

本発明の上述の特徴及び利点並びに他の特徴及び利点、並びにこれらの達成方法は、明らかになるであろうし、開示内容そのものは、添付の図と関連して行われる本発明の種々の実施形態の以下の説明を参照すると良好に理解されよう。

本発明の一実施形態に係るフィルタシステムの斜視図である。 本発明の一実施形態に従って互いに嵌め合わされた２つのフィルタヘッドの斜視図である。 本発明の一実施形態に係るフィルタボウルの斜視図である。 フィルタハウジングの一平面の断面図であり、本発明の一実施形態に従ってレバーがボウルをヘッドに固定している状態を示す図である。 図１のＡ－Ａ線矢視断面図であり、本発明の一実施形態に従って、第１のフィルタハウジングに入り、濾過され、そして第２のフィルタハウジング中に流れている流れを示す図である。 図１のＡ－Ａ線矢視断面図であり、本発明の一実施形態に従って、フィルタハウジングを通る流体の圧力を示す図である。 図１のＡ－Ａ線矢視断面図であり、本発明の一実施形態に従って、フィルタハウジングを通る流体の速度を示す図である。 図１のＡ－Ａ線矢視断面図であり、本発明の一実施形態に従って、フィルタハウジングを通る流線で表わされた流体の速度を示す図である。 図１のＢ－Ｂ線矢視断面図であり、本発明の一実施形態に従って、フィルタハウジングを通る流線で表わされた流体の速度を示す図である。 本発明の一実施形態に従って経時的なフィルタカートリッジ前後の圧力降下のグラフ図である。 本発明の別の実施形態に係るフィルタシステムの分解組立て斜視図である。 ロック形態における図１１に示されたフィルタシステムの斜視図である。 図１２のＣ－Ｃ線矢視断面図であり、フィルタシステムをロック形態で示す図である。 ロック解除形態にある図１１に示されたフィルタシステムの部分正面図である。 図１４に示されたフィルタシステムの断面図である。 図１１に示されたフィルタシステムの部分側面断面図である。 本発明の別の実施形態に従って互いに嵌合された２つのフィルタヘッドの斜視図である。 取り外し可能なキャップを備えたフィルタハウジングの断面図である。 本発明に係るフィルタカートリッジの具体化例の斜視図である。 本発明のフィルタカートリッジ用のフィルタアダプタの側面図である。

以下の詳細な説明では、添付の図面を参照し、添付の図面は、本明細書の一部をなすとともに本発明を実施できる特定の実施形態を例示として示している。これら実施形態は、当業者がこれら実施形態を実施することができるよう十分に細部にわたって説明されており、理解されるべきこととして、他の実施形態を利用することができ、そして構造的変更、論理的変更、加工上の変更、及び電気的変更を行うことができる。材料の任意の列挙又は要素の配置は、例示目的であるに過ぎず、網羅的であることが決して意図されてはいないことは理解されるべきである。説明する処理ステップの進行過程は、例示であるが、ステップの順序は、本明細書に説明した順序には限定されず、当該技術分野において知られているように変更することができ、ただし、ステップが必然的にある特定の順序で起こる場合を除く。

本発明の実施形態は、任意適当な濾過方式において有用であるといえる。例えば、ハウジング及びハウジングシステム並びに濾過材は、空気、水、燃料、油濾過などにおいて適当であるといえる。特定の実施例では、ハウジング及びハウジングシステム並びに濾過材は、空気圧システムにおいて圧縮空気を濾過するのに適しているといえる。圧縮空気フィルタエレメントは、１種類のフィルタだけの利用を意味する個別の点検箇所として利用される。性能の向上が必要とされる多くの用途において、フィルタハウジングは、多機能装置として互いに一続きにされる。代表的には、フィルタストリングは、特定のフィルタで始まり、次にコアレッサが続き、最終的に、蒸気除去フィルタが設けられる。先行の各ステージは、下流側のフィルタの機能を損なう汚染物を除去することによって下流側のフィルタの寿命を延ばす。フィルタを連続して接合するには、締結具（ナット、ボルト及びワッシャ）を用いて又は特殊クランプ（すなわち、衛生クランプ）を介してフィルタを機械的に接合するために支援ハードウェアを必要とする延長管類又は専用設計例の使用を必要とする場合に問題が生じる。

圧縮空気フィルタエレメントは、種々の等級の粒状物、凝集用及び蒸気除去フィルタエレメントを含む場合のある専用機能フィルタエレメントを収容した別々の圧力容器である。フィルタエレメントは、フィルタヘッド及び下側フィルタボウル内に収容される。フィルタボウルは、一般に、螺合インターフェースによって又は２つのコンポーネントを固定するためにインターフェースとなる部材との差し込み型取り付け具の使用によって取り付けられる。フィルタハウジングは、フィルタエレメントの点検整備とフィルタエレメントの交換との間で長年にわたって使われる場合がある。特に、大型ユニットについて、ねじのフランクは、把持された金属表面の汚染物により互いに融着状態になる場合があり、かくして、ねじ山付き区分を弛めるために相当大きなねじ回し荷重を必要とする。この結果、場合によっては、摩損やねじ山の損傷が生じ、それによりフィルタユニットが役に立たなくなる。ボウルを取り付ける差し込み型の手法は、相当長い時間にわたって接合された場合にシール及びロック部材が２つのコンポーネントを解除するために過度のねじ回し荷重を必要とする結束又は掴み作用をも受ける螺合設計例と比較して技術改良となっている。

本明細書において説明する実施形態は、以下の改良点、すなわち、モジュール化結合性、工具又はハードウェアを用いない手作業による点検整備可能性、楕円の形がフィルタハウジングを通る流体の流れを向上させてハウジング前後の圧力降下を１平方インチ当たり約１．５ポンド（“ｐｓｉ”）（１０．３キロパスカル“ｋＰａ”）から約３ｐｓｉ（２０．６ｋＰａ）までに減少させることのうちの１つ以上を含むことができる。

図１は、本発明の一実施形態に係るフィルタシステム１０の斜視図である。図１に示されているように、フィルタシステム１０は、フィルタユニット又はフィルタハウジング１２を含む。フィルタハウジング１２は、ヘッド１４及びフィルタカートリッジ１８を収容するよう構成されたボウル１６を有する。ヘッド１４は、ボウルに設けられている環状溝部２２に係合するよう構成されたレバー２０を有する。レバー２０は、さらに、把持面を提供して機械的利点をユーザに提供するよう構成されており、その結果、封止構造が得られるようボウル１６をヘッド１４中に緊密に引き込むことができるようになっている。レバー２０は、さらに、把持面を提供して機械的利点をユーザに提供し、その結果、ボウル１６をヘッド１４から引き抜くことができ、その結果、フィルタハウジング１２を点検整備することができるとともにフィルタカートリッジ１８を適宜交換することができるよう構成されている。

ヘッド１４は、入口２４及び出口２６を有する。入口２４は、フィルタハウジング１２中への流体の流れを可能にするよう構成されている。入口２４は、差し込み型継手及び国家パイプねじ標準（National Pipe Thread：“ＮＰＴ”）継手のうちの一方又は両方を有するのが良い。例えば、図示のように、入口２４は、４ラグ差し込み型継手を備えた外側ボス及びＮＰＴ継手を備えた内側ボアを有する。このように、入口２４は、ＮＰＴ継手により供給管に固定されても良く、あるいは、別のフィルタハウジング１２の出口２６又は合致用差し込み型継手により他の器具に固定できる。同様に、出口２６は、管又は別のフィルタハウジング１２の入口２４に固定可能に差し込み型継手及びＮＰＴ継手のうちの一方又は両方を有するのが良い。

図２は、本発明の一実施形態に従って互いに嵌め合わされ又は結合された２つのフィルタヘッド１４の斜視図である。図２に示されているように、ヘッド１４は、互いに固定されるのが良い。このようにすると、一連の濾過操作をフィルタシステム１０によって実施することができる。例えば、第１のフィルタハウジング１２は、粒子を流体の流れから濾過により除去するよう構成された第１のフィルタカートリッジ１８を有するのが良く、第２のフィルタハウジング１２が同伴液滴を流体の流れから凝集させるよう構成された第２のフィルタカートリッジ１８を有するのが良く、第３のフィルタハウジング１２が蒸気を流体の流れから濾過により除去するよう構成された第３のフィルタカートリッジ１８を有するのが良い。

図３は、本発明の一実施形態に係るフィルタボウル１６の斜視図である。図３に示されているように、ボウル１６は、図１に示されたレバー２０を受け入れる環状溝部２２を有する。加うるに、ボウル１６は、Ｏリング受座２３を有するのが良い。幾つかの実施形態では、ボウル１６は、円筒形ではなく楕円形であるのが良い。特定の実施例では、ボウル１６は、３０゜楕円によって規定されるのが良い。

図４は、フィルタハウジング１２の一平面の断面図であり、本発明の一実施形態にしたがってレバー２０がボウル１６をヘッド１４に固定している状態を示す図である。図４に示されているように、環状溝部２２に係合したアームは、ユーザによって扱われるアームと比べて比較的短く、それによりユーザにボウル１６を着座させて固定させる対応の機械的利点並びにボウル１６をヘッド１４から取り外す際の対応の機械的利点を提供する。

図５は、本発明の一実施形態に従って、第１のフィルタハウジング１２に入り、濾過され、そして第２のフィルタハウジング１２中に流れている流れを示すＡ‐Ａ線矢視断面図である。図５に示されているように、第１のフィルタハウジング１２は、第２のフィルタハウジング１２に直接固定されている。また、図５に示されているように、ヘッド１４は、ヘッド１４中への流体の流れを可能にするバッフル入口３２を備えたバッフル３０を有する。バッフル３０は、例えばＯリングによりフィルタカートリッジのトップリムに封着されている。このように、第１のフィルタハウジングに入る流体は、入口２４を経てヘッド１４中に入り、次に、フィルタカートリッジ１８中に流下し、ここで、流体は、濾過材を通過する際に濾過される。次に、濾過済み流体は、ボウル１６の内側に沿って上方に戻り、そして出口２６から流れ出、次いでプロセスは、第２のフィルタハウジング１２内で繰り返される。本明細書において説明するように、フィルタカートリッジを構成する濾過材の種類に応じて、種々の汚染物が優先的に流体の流れから除去される。

図６は、本発明の一実施形態に従ってフィルタハウジング１２を通る流体の圧力のＡ‐Ａ線矢視断面図である。図６に示されているように、ヘッド１４中に流れ込んだ流体は、バッフル３０に当たり、次に、下方に分散し、そしてフィルタカートリッジを通る。重要なこととして、出口２６を出る流体の圧力は、入口２４に入る流体の圧力と比較して圧力降下が極めて小さい。図示の実施例では、入口２４から出口２６までの圧力の変化（“ΔＰ”）は、約３００Ｐａである。従来型フィルタハウジングと比べてこの比較的僅かなΔＰは、ハウジング１２の楕円形状に起因して少なくとも部分的であるのが良く、それにより、フィルタハウジングを通る流体の流れが向上する。

図７は、本発明の一実施形態に従ってフィルタハウジングを通る流体の速度のＡ‐Ａ線矢視断面図である。この場合もまた図７に示されているように、ヘッド１４中に流れ込んだ流体は、バッフル３０に当たり、次に、下方に分散し、そしてフィルタカートリッジを通る。重要なこととして、出口２６を流体の速度は、入口２４に入る流体の速度と比較して極めて少ししか減少しなかった。

図８は、本発明の一実施形態に従って、フィルタハウジング１２を通る流線で表わされた流体の速度のＡ‐Ａ線矢視断面図である。図８に示されているように、ヘッド１４中に流入した流体は、バッフル３０に当たり、次に、下方に流れ、そしてフィルタカートリッジを通って流れる。ボウル１６に沿って上方に流れ、そして出口２６の下方に流れる流体は、上方にスムーズに流れて出口２６を通って流出し、これに対し、ボウル１６を上方に流れ、そして入口の下へ流れる流体は、フィルタカートリッジ１８の外部でフィルタハウジング１２周りに、そして出口２６の方へ差し向けられる。重要なこととして、ハウジング１２を通り、そして出口２６を出る流体の流れが組織化されるが、その場合の乱流はほとんどなく又は全く生じない。従来型フィルタハウジングと比べた場合のこの比較的滑らかな流体の流れは、ハウジング１２の楕円形状に起因して少なくとも部分的であると言って良く、それにより、フィルタハウジングを通る流体の流れが向上する。

図９は、本発明の一実施形態に従って、フィルタハウジング１２を通る流線で表わされた流体の速度を示すＢ‐Ｂ線矢視断面図である。図９に示されているように、ヘッド１４中に流入した流体は、バッフル３０に当たり、次に下方に流れ、そしてフィルタカートリッジを通って流れる。流体は、バッフル３０の外部でヘッド１４周りにこれを上方に流れ、次に出口２６を通って滑らかに外方に流れている状態で示されている。重要なこととして、ハウジング１２を通り、そして出口２６を出る流体の流れは、組織化され、その場合の乱流はほとんどなく又は全く生じない。従来型フィルタハウジングと比べた場合のこの比較的滑らかな流体の流れは、ハウジング１２の楕円形状に起因して少なくとも部分的であると言って良く、それにより、フィルタハウジングを通る流体の流れが向上する。

図１０は、本発明の一実施形態に従って互いに異なる型式の濾過材を含むフィルタカートリッジ１８前後の経時的な圧力降下のグラフ図である。本明細書において説明するように、フィルタカートリッジ１８は、任意適当な濾過材を利用し、当該濾過材は、濾過されるべき流体、濾過によって除去されるべきデブリ、流量などに基づいて選択されるのが良い。特定のフィルタの役目は、空気の流れ中の同伴油滴を捕捉して凝集させることにある。

圧縮空気の浄化は、クリーンな環境及び工業的製造、食品及び飲料の製造、及び医薬品製造の処理にとって必要である。空気圧縮機は、潤滑油と、配管系中に特有の回転部分又は固形汚染物に起因するデブリからの他の粒子とから成るエーロゾルを生じさせる。油エーロゾルは、除去するのが最も困難であり、と言うのは、油エーロゾルは、補足するには極めて微細な繊維を必要とするサブミクロンサイズの液滴の形態をしている場合があるからである。

一般的な用途では、圧縮機の下流側の圧縮空気は、一連のフィルタで処理され、これらフィルタは、粒子フィルタで始まるのが良く、次にコアレッサが位置し、そして幾つかの場合、油蒸気を除去するための吸着フィルタが配置されるのが良い。凝集フィルタは、サブミクロン粒子を微細繊維上に捕捉し、そして他の到来液滴と合体させ、ついには、ビーズが油と繊維との間の界面張力に打ち勝つのに足るほど大きくなるようにすることによって働く。ビーズの質量が増大すると、かかるビーズは、繊維から千切れて離れ、そして重力及び毛管力により垂直繊維マットの底部に沈降する。次に、集められた油は、マットから出て油溜め又は油回収回路中に入る。

多くの用途では、大きな細孔のドレン層が繊維マットの下流側の側部に被着されて液滴が垂直マットの上方部分内に堆積するときに油の収集及び排出を支援する。改良の必要性は、油エーロゾル粒子と繊維マット及び凝集用フィルタ性能との相互作用に基づいている。在庫油がマット内に集められているとき、細孔の開口部は、当該油によって占められた状態になり、それにより空気の流れに対する制約が大きくなる。マットが閉塞状態になると、その結果として、（ａ）禁止空気流を維持するためのエネルギー費用が増大するとともに（ｂ）細孔がより多く閉塞されているときに局在空気速度が増大し、それにより捕捉状態の液滴が繊維表面から千切れて離れ、そして空気流中に再同伴状態になる。本明細書において説明する濾過材は、繊維マットからの排出を加速するためにビーズ成長量を最小限に抑えるよう構成されており、後に残される閉塞状態の細孔を僅かにし、それにより制約された空気流量を減少させるとともに同伴を最小限に抑える。

閉塞状態が最小限である繊維マットから油を排出することによって凝集性能を向上させる目的を考慮すると、２つの考え方が存在する。１つは、油をはじく表面処理剤を繊維に施すことであり、これは、「疎油性」表面と呼ばれる場合があり、もう１つは、油吸着表面処理剤を施すことであり又は「親油性」表面処理剤を施すことである。

従来型凝集用繊維マットは、ガラス繊維から製造され、ガラス繊維は、厚さが１／８インチ（０．３２ｃｍ）から２インチ（５．０８ｃｍ）までの範囲にある深層マット中の２～１０ミクロンの直径を持つ繊維を利用している。一方、ダイマー及び他のモノマーと一緒にフッ化炭素を含む表面処理剤が市場で入手できる。押出しガラス繊維の表面は、滑らかであって高い表面エネルギーを備えており、かかる高い表面エネルギーは、専用被膜の結合を困難にするとともに通常は一時的であり、かかる表面は、流れによる浸食によって摩滅する。フッ化炭素は、好ましい処理剤であり、Ｃ８鎖を備えた状態が最も効果的である。残念ながら、規制機関によって、Ｃ８炭素は健康への影響に起因して禁止され、Ｃ６以下の炭素鎖は認可された。Ｃ６鎖状フッ化炭素は、油の撥油剤と同程度には効果的ではない。

凝集性フィルタに関する本発明では、凝集用濾過材には、表面の低圧プラズマ活性化の処理剤が施される。表面活性化は、一般に、表面に沿ってナノスケールの裂け目を生じさせる繊維表面の粗面化を意味している。疎油性処理剤は、プラズマ暴露からすぐ下流側でのＣ６フッ化炭素ガス暴露を用いることによって施された。加うるに、凝集用濾過材は、厚さが４０ミルから５０ミルまでの範囲にある凝集性マットを含むが、１．５ミクロン以下の範囲にある繊維サイズは、サブミクロン粒子を捕捉するための微細繊維により低空気流量制限のための大きな細孔容積を提供する。

疎油性処理を次のように実施した。オーロラ（Aurora）Ｒ２Ｒ（ロール・トゥ・ロール）低圧プラズマシステムは、２０８ＶＡＣ及び５アンペアの電流で１０００ワットを供給するよう構成されていた。凝集性濾過材の２４インチ（６０．９６ｃｍ）ロール（繊維サイズが１．５ミクロン以下である厚さ４０～５０ミルのもの）をプラズマ処理により１メートル／分の送り速度で送り、次にこれに、２５０～１０００標準立方センチメートル（“ｓｃｃ”）／分の乾燥フッ化炭素ガスを施した。

処理剤の湿潤性をスケール変更するために表面張力が漸減する一連の試薬を用いて湿潤性試験を凝集用濾過材に対して実施した。特にこの使用のために、標準３Ｍ（登録商標）キットを用いて湿潤性試験を実施した。様々なプラズマエネルギーによる一連の試行錯誤を実施して、高い撥油性（低湿潤性）値を得た。

一連の凝集性フィルタカートリッジ１８を製造し、１００時間にわたって試験したが、これら試験結果が図１０に示されている。図１０に示されているように、本発明の実施形態に係る凝集性濾過材を含むフィルタカートリッジ１８前後の圧力降下は、従来型濾過材を用いた場合よりも低かった。排出の開始は、非処理ウェブよりもそれほど早くは起こらなかったが、経時的な油の収集に起因した圧力上昇曲線は、非処理ウェブよりも平坦であった。これは、いったん湿潤が始まると、排出が非処理ウェブよりも速い速度で起こり、それにより競合品性能と比較してコアレッサの有効寿命を延ばしたということを意味していた。

従来型濾過材と比較した場合の本発明の実施形態に係る凝集性濾過材の性能の予期せぬ向上が一連の１００時間暴露試験中に観察された。捕捉フィルタシステムを用いて残留油を試験要素の下流側で収集し、すなわち、任意の同伴油ミストを高効率パッチで収集し、空気流の体積に比例した油の収集量を測定した。工業及び製品規格によれば、ある特定の油侵入レベルが許容され、従来型濾過材マットと比べて極めて低いレベルで見受けられた。しかしながら、本発明の実施形態に従って処理された凝集性濾過材に関し、本発明のキャッチフィルタシステムにおいて収集された下流側の油はゼロであった。かつて１００％の効率であるフィルタは存在しないが、フィルタエレメントに浸入することができた油の量は、検出方法のレベル未満であった。

図１１は、本発明の別の実施形態にかかるフィルタシステム１００の斜視図である。図１１に示されているように、フィルタシステム１００は、ヘッド１４０及びフィルタカートリッジ、例えば上述のフィルタカートリッジ１８を収容するよう構成されたボウル１６０を有するフィルタハウジング１２０を含む。ヘッド１４０は、ダイカストアルミニウムで形成されるのが良く、このヘッドは、ヘッドの開口端部１４２のところ又はその近くに１対のレバー２００を有する。１対のレバー２００は、ヘッド１４０をボウル１６０に解除可能に固定するよう構成されている。ボウル１６０は、ボウルの開口端部１６２のところで又はその近くでボウル１６０の外面に設けられ又はこれから突き出た１対の局在直線状溝部２２０を有する。組立時、ヘッド１４０の開口端部１４２は、ボウル１６０の開口端部１６２を受け入れる。環状Ｏリング受座２３０もまた、ボウル１６０の開口端部１６２のところ又はその近くでボウル１６０の外面に設けられるのが良い。Ｏリング受座２３０は、エラストマーＯリング２８０又は他のエラストマーワッシャを受け入れるよう構成され、その目的は、流体密シールを形成してハウジング１２０内の流体がヘッドとボウルの間から漏れ出るのを阻止することにある。さらに、ヘッド１４０の各レバー２００は、ボウル１６０の外面に設けられ又はこれから突き出たそれぞれの局在直線状溝部２２０に解除可能に係合するよう構成されており、その目的は、以下にさらに詳細に説明するように、選択的に、ヘッドをボウルにロックしたり、ヘッドをボウルからロック解除したりすることにある。

図１２及び図１３に示されているように、フィルタハウジング１２０は、ヘッド１４０がボウル１６０に固定されたロック形態にある。特に、各レバー２００は、ヘッド１４０に回転可能に結合され、ボウル１６０の開口端部１６２がヘッド１４０の開口端部１４２中に挿入されると、レバーがヘッドとボウルとのロック形態をとるためにヘッドに向かう方向に押される第１の位置までレバー２００を上方に回転させるのが良い。幾つかの具体化例では、各レバー２００は、ヘッド１４０から側方に突き出たウィング部分１４４に取り付けられたロッド１４２を受け入れるよう構成されているボア２０２を有し、その結果、レバーは、ロック形態とロック解除形態との間で選択的に動くようロッド回りに回転することができるようになっている。幾つかの具体化例では、レバー２００は、ユーザがレバーをつかんで操作するのを助けるための握り部分、例えば模様付き表面を有するのが良い。

レバー２００をヘッド１４０に向かって上方に回転させてこれがロック形態をとると、レバーの凸状カム面２０４は、押圧されて図１３に示されているように局在直線状溝部２２０の対応の凹状支承面２２４に接触する。その結果、レバー２００がヘッド１４０の一側部に上方に押し当てられると、レバー２００のカム面２０４は、それに対応して、ボウルの局在直線状溝部２２０の支承面２２４に緊密に押し付けられ、かくして、ロック形態においてヘッドをボウルにしっかりとクランプする。操作中、フィルタハウジングを通る流体の流れは、一般に、ほぼ１００ｐｓｉで働くが、フィルタハウジング１２０は、このロック形態では１，０００ｐｓｉを超えた場合でも流体の流れを取り扱うことができ、この場合、レバー２００のカム面２０４は、局在直線状溝部２２０の支承面２２４から離脱することはない。さらに、ボウル１６０の突出した局在直線状溝部２２０により、レバー２００は、支承面２２４中に直接押し入り、それにより、過剰の応力がボウルの周囲に広がるのを阻止する。

レバー２００のカム面２０４は、さらに、レバーをヘッドに向かって上方に回転させてロック形態を達成すると、封止構造が得られるようヘッド１４０中にボウル１６０をピタリと引き込むことができるよう機械的利点をユーザに提供することができる。レバー２００のカム面２０４はまた、ロック形態にあるときにボウル１６０がヘッド１４０から遠ざかるよう引かれ又は押された場合に各レバー２００がこれに対応してヘッド１４０にしっかりと引き付けられ、かくしてレバーのロック形態が対応の局在直線状溝部２２０から偶発的に離脱することがないようにするよう機械的利点をユーザに提供することができる。

幾つかの具体化例では、ドレン弁がボウル１６０の底部分内に設けられるのが良い。ボウルの底部分は、保守のためにドレン弁に接近することを目的として取り外し可能なキャップを有するのが良い。幾つかの観点によれば、ボウルのキャップ及び底部分は、相補差し込み型ロックを有するのが良く、かかる相補差し込み型ロックにより、ユーザは、キャップをボウルから容易かつ迅速に取り外すことができ、その目的は、ボウルの底部内のドレン弁への接近を得てドレン弁が詰まり状態になっている場合にドレン弁を清浄にすることができるようにすることにある。相補差し込み型ロックは、同様に、ドレン弁がいったん清浄にされると、ボウルの底部分へのキャップの迅速かつ容易な取り付けを可能にする。例えば、キャップに設けられたかかる差し込み型ロックを第1 の方向にひねると、キャップをボウルからロック解除することができる。キャップに設けられた差し込み型ロックを第２の方向にひねると、キャップをボウルに戻してロックすることができる。取り外し可能なキャップ１６６を備えたボウル１６０を有するフィルタハウジング１２０の一例が図１８に示されている。

図１４及び図１５を参照すると、ヘッド１４０に回転可能に取り付けられたレバー２００は、さらに、ボウルの対応の局在直線状溝部２２０を離れるよう構成されており、その結果、フィルタハウジング１２０は、ロック解除形態をとることができるようになっている。いったんロック解除されると、ボウルをヘッドから抜き出すことができ、その結果、フィルタハウジングを点検整備することができるとともにフィルタカートリッジを交換することができる。特に、レバー２００をヘッド１４０から遠ざかる方向に向かってロッド１４２回りに下方に回転させると、レバーの凸状カム面２０４は、これに対応して回転してボウル１６０から突き出た局在直線状溝部２２０の凹状支承面２２４に接触し、かくして、フィルタハウジングは、ロック解除形態をとる。このロック解除形態では、レバー２００は、局在直線状溝部２２０の支承面２２４に接触することはなく、かくして、ボウル１６０をヘッド１４０から容易かつ迅速に引き出すことができる。したがって、各レバーハンドル２００をほぼ９０゜だけ回転させることによってボウル１６０をヘッド１４０から離脱させ、かくして、フィルタボウルが解除される。取り付けなおす場合、ボウルをヘッド中に上方に押し込み、ついには、各丸み付き溝部２２０がレバーの対応のカム面２２４と整列するようになる。次に、レバーを上位置までほぼ９０゜だけ回転させて戻すことによってボウルをヘッドに固定する。

図１６を参照すると、ヘッド１４０は、流体の流れのための入口２４０及び出口２６０を有する。具体的にいえば、入口２４０は、フィルタハウジング１２０中への流体の流れを可能にするよう構成され、出口２６０は、フィルタハウジング１２０からの流体の流れを可能にするよう構成されている。エラストマーＯリング２８０又は他のエラストマーワッシャがＯリング受座２３０内に受け入れられ、それにより流体がフィルタハウジングから漏れ出るのを阻止するための流体密シールが形成されている。入口２４０は、差し込み型継手２４２及び入口ねじ山付き管継手２４４、例えば国家パイプねじ標準（ＮＰＴ）のうちの一方又は両方を有するのが良い。同様に、出口２６０は、差し込み型継手２６２及び出口ねじ山付き管継手２６４、例えばＮＰＴのうちの一方又は両方を有するのが良い。

幾つかの具体化例では、差し込み型継手は、１つ以上のラグ（出張り）を有するのが良い。例えば、入口２４０は、４ラグ差し込み型継手２４２、及び入口ねじ山付き管継手２４４を備えた内側ボア２４３を有するのが良い。このように、入口２４０は、管継手２４４を介して供給管に固定されても良く、又は合致差し込み型継手により別のフィルタハウジング１２０又は他の器具の出口２６０に固定されても良い。同様に、出口２６０は、４ラグ差し込み型継手２６２を有するのが良く、この４ラグ差し込み型継手２６２は、別のフィルタハウジングの入口の対応の差し込み型継手に係合するよう構成され、出口２６０は、ねじ山付き管に固定可能に出口ねじ山付き管継手２６４を備えた内側ボア２６３をさらに有する。幾つかの具体化例では、入口２４０のところの差し込み型継手２４２は、雌型継手であるのが良く、出口２６０のところの差し込み型継手２６２は、雄型継手であるのが良い。他の具体化例では、入口２４０のところの差し込み型継手２４２は、雄型継手であるのが良く、出口２６０のところの差し込み型継手２６２は、雌型継手であるのが良い。

さらに、図１６に示されているように、ヘッド１４０は、ヘッドの内側頂面から突き出たバッフル３００を有する。作用を説明すると、流体は、入口２４０を通ってフィルタハウジング１２０中に流入し、次に、ハウジング内に設けられたフィルタカートリッジを通って流れ、かくして流体を濾過し、その後、出口２６０を通ってハウジングを出る。換言すると、フィルタハウジングに入った流体は、入口２４０を経てヘッド１４０中に入り、次に、フィルタカートリッジ中に流下し、ここで流体は、これが濾過材を通過する際に濾過される。次に、濾過された流体は、ボウル１６０の内側に沿って上方に戻って流れ、そして出口２６０から流出する。上述したように、フィルタカートリッジを構成する濾過材の種類に応じて、種々の汚染物が優先的に流体の流れから除去される。ヘッド１４０中に流れ込んだ流体は、バッフル３０に当たり、次に、下方に分散し、そしてフィルタカートリッジを通る。

幾つかの具体化例では、図１９及び図２０に示されているフィルタカートリッジアダプタ１８８がフィルタカートリッジ１８０をフィルタヘッド内に固定するよう設けられるのが良い。例えば、アダプタは、フィルタヘッド内に嵌まってこれと嵌合するよう構成された二重Ｏリングシールを有するのが良い。他形式のアダプタが設けられても良く、かかるアダプタとしては、とりわけ溝部、スナップロック式フィンガ、又は種々の形状の楕円を有するアダプタが挙げられる。特に、二重Ｏリングシールは、フィルタカートリッジの頂部に嵌まってフィルタヘッドの内側に、すなわち、ヘッドの内側の空所内に締まり嵌め状態を形成するよう構成されている。

幾つかの具体化例では、ヘッド、ボウル、及びフィルタカートリッジは、円筒形の形をしているのが良い。他の具体化例では、例えば、図１４～図１７に示されたフィルタハウジング、ヘッド１４０、ボウル１６０、及びフィルタカートリッジは、楕円の形をしていても良い。特に、これらコンポーネントは、一定の比（楕円の短軸と長軸の比が６０゜の正弦に等しい）を有する６０゜楕円として形作られるのが良い。幾つかの具体化例では、ヘッド、ボウル及びフィルタカートリッジの楕円の形は、４５°から７５゜の範囲にあり、好ましくは６０゜であるのが良い。楕円形状のフィルタハウジングの長軸の細長い寸法に起因して、入口と出口との間の流体の流れの圧力降下は、最小限に抑えられる。さらに、形が楕円であることによっても、その結果として、フィルタハウジングを通る良好な流れ分布が得られ、かくして汚染物を捕捉するカートリッジの濾過材の利用性を向上させることができる。代表的には、多くの細孔を有する濾過材を通って流れる流体は、層状になり、と言うのは、織物／布を通る流れは、流体の流れを濾過材の微小細孔中に分割するからである。次に、流体が濾過材を出る時、流体は、再結合して乱流状態になる。フィルタハウジング１２０の楕円形状コンポーネントにより、これを通って出口２６０から出る流体の流れが組織化され、その場合の乱流は、ほとんどなく又は全くなく、かくして、結果的にスムーズな流れが得られる。さらに、楕円の形をしたフィルタハウジングはまた、入口のところの流体の速度を出口のところの流体速度とほぼ同一であるよう維持するのを助ける。

上述したように、２つ以上のフィルタハウジングを連結すると、結合されたフィルタハウジングのチェーンを形成し、それにより流体の濾過度を増大させることができる。例えば、図１７は、互いに直接連結された２つのフィルタヘッド１４０ａ，１４０ｂを示している。理解されるべきこととして、それぞれのフィルタボウルは、濾過作業中、各フィルタヘッドに取り付けられてこれにロックされることは理解されるべきである。図１７に示された実施例では、第１のフィルタヘッド１４０ａの雄型出口の差し込み型継手２６２ａは、第２のフィルタヘッド１４０ｂの雌型入口の相補差し込み型継手２４２ｂと解除可能に係合するよう構成されている。幾つかの観点によれば、フェイスシールＯリングが出口の雄型差し込み型継手の溝部付き受座部分に設けられるのが良く、その結果、雄型継手のフェースが係合の際に別のフィルタヘッドの雌型差し込み型継手の反対側のフェースに触れたときにＯリングシールは、連結状態のフィルタハウジング相互間における漏れを阻止するために圧縮状態になる。フィルタハウジングを互いに取り付けるこの差し込み方式は、相当な時間にわたりフィルタハウジングの相互封止状態を向上させる。

かくして、それぞれのボウルが各ヘッドに取り付けられると、第１のフィルタハウジングに入った流体は、入口を経てヘッド１４０中に入り、次に、フィルタカートリッジ中に流下し、ここで、流体は、これが濾過材を通過する際に濾過される。次に、濾過後の流体は、ボウルの内側に沿って上方に戻り、そして出口から流出し、次いで、このプロセスは、第２のフィルタハウジングで繰り返される。このように、一連の連続して行われるフィルタ操作をフィルタシステムによって実施することができる。幾つかの具体化例では、３つの別々のフィルタハウジングを、嵌合関係をなして互いに連結すると、フィルタハウジングのチェーンを形成することができ、かかるチェーンでは、第１のフィルタハウジングは、粒子を流体の流れから濾過により除去するよう構成された第１のフィルタカートリッジを有し、第２のフィルタハウジングは、流体の流れからの同伴液滴を凝集させるよう構成された第２のフィルタカートリッジを有し、第３のフィルタハウジングは、蒸気を流体の流れから濾過により除去するよう構成された第３のフィルタカートリッジを有する。

特定の観点であるとみなすことができる技術内容によってフィルタ組立体を説明したが、本発明は、開示した観点には限定されない。本発明の多くの特徴及び多くの利点が詳細な説明から明らかであり、かくして、本発明の真の精神及び範囲に属する本発明のかかる特徴及び利点を全て含むことは、特許請求の範囲の記載によって意図されている。さらに、開示内容を図示するとともに説明した構成及び作用そのものに限定することは望ましくなく、したがって、全ての適当な改造例及び均等例は、本発明の範囲に含まれるものと考えることができる。したがって、本開示は、例示としてみなされるべきであって、本発明を限定するものとみなされるべきではない。したがって、本開示は、特許請求の範囲に記載された本発明の精神及び範囲に含まれる種々の改造及び同様な構成を含むものであり、特許請求の範囲の記載については、かかる改造例及び同様な構造を全て含むようその最も広い解釈が与えられるべきである。

Claims (20)

1. フィルタシステムであって、
   フィルタハウジングを含み、前記フィルタハウジングは、
   フィルタカートリッジの一部分を収容するよう構成されたボウルを有し、前記ボウルは、第１の端部、第２の端部、及び前記第１の端部のところに又は該第１の端部に隣接して設けられている支承面を備えた溝部を有し、
   前記ボウルと嵌合するよう構成されたヘッドを有し、前記ヘッドは、前記フィルタハウジング中への流体の流れを受け入れる入口、及び前記フィルタハウジングからの前記流体の流れを放出する出口を備え、
   前記ヘッドを前記ボウルに選択的に固定するよう構成されたレバーを有し、前記レバーは、前記ボウルが前記ヘッドから取り外されるのを阻止するロック位置と、前記ボウルを前記ヘッドから自由に取り外すことができるロック解除位置との間で動くことができる、フィルタシステム。
2. 前記レバーは、前記ロック位置にあるときに前記ボウルの前記溝部の前記支承面に接触するよう構成されたカム面を有する、請求項１記載のフィルタシステム。
3. 前記レバーの前記カム面は、前記ロック解除位置にあるときに前記ボウルの前記溝部の前記支承面を離れるよう構成されている、請求項２記載のフィルタシステム。
4. 前記溝部は、前記ボウルのリム周りに環状に設けられている、請求項３記載のフィルタシステム。
5. 前記溝部は、前記ボウルから突き出た局在直線状溝部である、請求項３記載のフィルタシステム。
6. 前記レバーは、前記ロック位置と前記ロック解除位置との間で回転するよう構成されている、請求項３記載のフィルタシステム。
7. 前記ヘッドから突き出たウィングに取り付けられたロッドをさらに含み、前記レバーは、前記レバーが前記ロック位置と前記ロック解除位置との間で前記ロッド回りに回転することができるよう前記ロッドを受け入れるボアを有する、請求項６記載のフィルタシステム。
8. 前記レバーを前記ヘッドに向かう方向にほぼ９０゜だけ上方に回転させることにより、前記レバーは、前記ロック位置に動く、請求項６記載のフィルタシステム。
9. 前記レバーを前記ボウルに向かう方向にほぼ９０゜だけ下方に回転させることにより、前記レバーは、前記ロック位置に動く、請求項６記載のフィルタシステム。
10. 前記レバーの前記カム面によって前記溝部の前記支承面に力を加えることにより、前記ボウルは、前記ヘッド中に押し込められてシールが形成される、請求項３記載のフィルタシステム。
11. 前記レバーの前記カム面と前記溝部の前記支承面との接触具合は、前記ボウルが前記ロック位置にある間に前記ヘッドから引き離されたときに締まる、請求項３記載のフィルタシステム。
12. 前記ボウルは、前記ロック位置にあるときに前記ヘッドを前記ボウルとの間の流体の漏れを阻止するエラストマーＯリングを受け入れるよう構成されたＯリング受座をさらに有する、請求項１記載のフィルタシステム。
13. 前記ヘッドの形状及び前記ボウルの形状は、４５゜～７５゜楕円によって規定されている、請求項１記載のフィルタシステム。
14. 前記ヘッドの形状及び前記ボウルの形状は、６０゜楕円によって規定されている、請求項１記載のフィルタシステム。
15. 前記入口及び前記出口は各々、それぞれの差し込み継手を含む、請求項１記載のフィルタシステム。
16. 前記ヘッドの前記出口の前記差し込み継手に解除可能に係合するよう構成された第２のフィルタハウジングをさらに含む、請求項１５記載のフィルタシステム。
17. フィルタハウジングであって、
    フィルタカートリッジの一部分を収容するよう構成されたボウルを有し、前記ボウルは、前記ボウルのリム周りに設けられた環状溝部を有し、
    前記ボウルと嵌合するよう構成されたヘッドを有し、前記ヘッドは、
    前記フィルタハウジング中への流体の流れを受け入れる入口、
    前記フィルタハウジングからの前記流体の流れを放出する出口、及び
    前記ボウルを前記ヘッド中に部分的に引き込むための１対のレバーを有し、前記１対のレバーの各レバーは、前記環状溝部と嵌合するよう構成された第１のアーム、支承面を備えた第２のアーム、及び前記第１のアームと前記第２のアームとの間に設けられたピボットを有し、前記支承面に加わる力により前記ボウルは前記ヘッド中に押し込められてシールが形成される、フィルタハウジング。
18. 前記入口及び前記出口は、前記フィルタハウジングと第２のフィルタハウジングとの嵌合を容易にするよう構成された差し込み型継手である、請求項１７記載のフィルタハウジング。
19. 前記フィルタハウジングは、３０゜楕円によって規定されている、請求項１７記載のフィルタハウジング。
20. 同伴油滴を凝集させるための凝集用濾過材を生成する方法であって、前記方法は、
    凝集用濾過材の２４インチ（６０．９６ｃｍ）ロールを低圧プラズマシステム内に配置するステップを含み、前記凝集用濾過材は、４０～５０ミルの厚さ及び１．５ミクロン以下の繊維サイズを有し、
    ２０８ＶＡＣ及び５アンペアの電流で１０００ワットを供給するよう前記低圧プラズマシステムを構成するステップを含み、
    毎分１メートルの送り速度を定めるステップを含み、
    前記プラズマ処理済み凝集用濾過材を２５０～１０００標準立方センチメートル（“ｓｃｃ”）／分の乾燥フッ化炭素ガスにさらすステップを含む、方法。

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