JP2023507712A - 運搬機器 - Google Patents

Abstract

運搬面３を形成する少なくとも一つの運搬セグメント２と、少なくとも一つの第一の磁石グループＭＧａと少なくとも一つの第二の磁石グループＭＧｂに関して異なる磁極ピッチが規定された、この運搬面３内を少なくとも二次元的に動くことが可能な少なくとも一つの運搬ユニットとを備えた、より効率的な動作を可能にする平面モーターの形の運搬機器１を提示するために、この運搬セグメント２の第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１が、運搬面３に対する法線方向に、運搬ユニットの第一の磁石グループＭＧａから第一の平均コイル間隔を開けて配置され、第二のコイルグループの駆動コイルＡＳ２が、運搬面３に対する法線方向に、運搬ユニットの第二の磁石グループＭＧｂから、第一の平均コイル間隔に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔を開けて配置されており、この運搬ユニットでは、第一の磁石グループＭＧａの磁極ピッチが、第二の磁石グループＭＧｂの磁極ピッチよりも小さいと規定される。

Description

本発明は、運搬面を形成する少なくとも１つの運搬セグメントと、この運搬面内を少なくとも二次元的に移動可能な少なくとも１つの運搬ユニットとを備えた平面モーターの形の運搬機器に関し、この運搬セグメントには、複数の駆動コイルが配置され、この運搬ユニットには、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチで順番に配置された異なる磁化方向の複数の駆動磁石から成る少なくとも１つの第一の磁石グループと少なくとも１つの第二の磁石グループが配置され、この少なくとも１つの運搬ユニットでは、これらの少なくとも１つの第一の磁石グループと少なくとも１つの第二の磁石グループに関して異なる磁極ピッチが設けられ、この運搬セグメントには、運搬ユニットを移動させる第一の主移動方向を定義する、複数の駆動コイルから成る第一のコイルグループが配置されるとともに、運搬ユニットを移動させる第二の主移動方向を定義する、複数の駆動コイルから成る第二のコイルグループが配置されている。更に、本発明は、そのような平面モーターの形の運搬機器のための運搬ユニット及び平面モーターの形の運搬機器を動作させる方法に関する。

平面モーターは、基本的に従来技術により周知である。特許文献１は、例えば、そのような平面モーターの基本的な構造と機能形態を開示している。平面モーターは、主に運搬面を形成する固定子を有し、１つ又は複数の運搬ユニットが、その運搬面内を少なくとも二次元的に移動することができる。その固定子は、通常１つ又は複数の運搬セグメントから構成されている。運搬面内において運搬ユニットを移動させるために、固定子の（１つ又は複数の運搬セグメントの）磁界と運搬ユニットの磁界が協力して動作することによって、運搬ユニットに作用する駆動力を発生させている。所定の移動方向への運搬ユニットの動きを実現するためには、それらの磁界の中の少なくとも一方、即ち、固定子の磁界及び／又は運搬ユニットの磁界を運搬ユニットの動きに追随するように時間的に変化させなければならない。しかし、大抵は一方の磁界、通常は固定子の磁界だけが時間的に変化して、それぞれ（運搬ユニットにおける）他方の磁界は、一般的に一定である、即ち、時間的に変化しない。

時間的に変化する磁界は、例えば、運搬ユニットにも、固定子、特に、運搬セグメントにも配置できるコイル（電磁石）によって発生させることができる。それらのコイルは、多くの場合駆動コイルとも呼ばれる。時間的に変化しない、即ち、一定の磁界は、典型的には、永久磁石を用いて発生させている。多くの場合、それらの構成部品は駆動磁石と呼ばれる。それらも、平面モーターの実施構成に応じて、運搬ユニットにも、運搬セグメントにも配置することができる。より簡単な駆動のために、駆動コイルは、多くの場合、平面モーターの運搬セグメントに配置され、駆動磁石が運搬ユニットに配置されている。

駆動コイルは、可動磁界を所望の移動方向に発生させるために、通常は制御ユニットによって駆動される。運搬ユニットには、その可動磁界と協力して動作する駆動磁石が、少なくとも二次元に分散して配置されており、その結果、運搬ユニットに対する駆動力及び浮上力を発生させることができる。その駆動力によって、運搬ユニットを所望の移動方向に動かすことができ、その浮上力によって、運搬ユニットと運搬セグメントの間に空隙を作って維持することができるとともに、傾転力又は傾転モーメントを発生させることができる。平面モーターに関して特徴的な運搬ユニットの二次元の動きを実現可能にするためには、運搬セグメントと運搬ユニットの磁界の二次元の協力動作が必要であり、２つの磁界の中の一方を少なくとも２つの次元において、或いは２つの磁界を（それぞれ他方の次元に対して相補的に）少なくとも１つの次元において時間的に変化させなければならない。その場合、駆動コイルと駆動磁石は、有利には、運搬面によって設けられる軸に沿った一次元の動き以外に、運搬面内における運搬ユニットのより複雑な二次元の動きも可能であるように配置されている。

平面モーターは、例えば、製造プロセスにおける運搬機器として利用することができ、複雑な運動プロファイルによって非常に柔軟な運搬プロセスを実現することができる。特許文献２及び３には、例えば、運搬機器としての平面モーターのそのような用途が示されている。

そのような平面モーターの固定子は、駆動コイルの異なる配列を有することができるとともに、運搬ユニットにおける駆動磁石の配列も同じく非常に異なるようにすることができる。特許文献１には、例えば、複数の重なり合ったコイル面から成る固定子の複層構造を備えた平面モーターが開示されている。隣接するコイル面内の駆動コイルは、運搬ユニットが移動できる２つの直交する主移動方向を形成するために、互いに直交している。それにより、平均すると、コイル面は、運搬ユニットの駆動磁石から異なる間隔を有する。その結果、運搬ユニットに対して最大限に発生可能な駆動力が２つの主移動方向において異なることとなる。それらの間隔を均すために、運搬ユニットの駆動磁石からより遠く離れた方のコイル面における駆動コイルに、より近い方のコイル面の駆動コイルよりも大きなコイル電流を加えることが提案されている。

非特許文献１には、２つのコイル面の積層配列を備えた平面モーターが開示されている。運搬ユニットの磁石からの駆動コイルの間隔が異なることから生じる、２つの主移動方向における異なる駆動力性能を均すために、２つのコイル面に対して異なる強さの駆動コイルを使用することが提案されている。それにより、より下の方に在る駆動コイルが、より強力であり、より大きな磁界を発生させることができる。

特許文献４は、２つの異なる向きの駆動コイルグループが１つの平面内に交番して配置された平面モーターの形の運搬機器を開示している。運搬ユニットには、それぞれ複数の駆動磁石から成る２つの異なる向きの磁石グループが配置されており、それらの異なる向きの磁石グループは、異なる磁極ピッチを有することができる。

特許文献５及び６には、平面モーターの形の別の運搬機器が開示されている。しかし、その場合、駆動コイルが運搬ユニットに配置され、駆動磁石が固定子に配置されており、そのことは、それにより運搬ユニットへのエネルギー供給が、より負担がかかることになるので、不利である。

米国特許第９，２０２，７１９号明細書 欧州特許第３１７２１５６号明細書 欧州特許第３１７２１３４号明細書 国際特許公開第２０１３／１１２７５９号明細書 国際特許公開第２０１７／００５４５７号明細書 中国特許公開第１０１６０９２６５号明細書

Ｊ．Ｍ．Ｍ．， Ｒｏｖｅｒｓ， ｅｔ． ａｌ， ２０１３． Ｄｅｓｉｇｎ ａｎｄ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｏｆ ｔｈｅ Ｄｏｕｂｌｅ Ｌａｙｅｒ Ｐｌａｎａｒ Ｍｏｔｏｒ． Ｉｎ： Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｍａｃｈｉｎｅｓ ＆ Ｄｒｉｖｅｓ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ． Ｃｈｉｃａｇｏ， １２－１５．０５．２０１３． ＩＥＥＥ

本発明の課題は、平面モーターの形の運搬機器のより効率的な動作を実現可能にすることである。

この課題は、本発明に基づき、第一のコイルグループの駆動コイルが、運搬面に対する法線方向に、運搬ユニットの第一の磁石グループから第一の平均コイル間隔を開けて配置され、第二のコイルグループの駆動コイルが、運搬面に対する法線方向に、運搬ユニットの第二の磁石グループから、第一の平均コイル間隔に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔を開けて配置され、運搬ユニットでは、この少なくとも１つの第一の磁石グループの磁極ピッチが、この少なくとも１つの第二の磁石グループの磁極ピッチよりも小さいことによって解決される。磁極ピッチによって、磁石グループが発生する磁界の浸入度が主に影響を受けるので、より大きなコイル間隔を有する駆動コイルと協力して動作する磁石グループに対して、より大きな磁極ピッチを設けることによって、運搬機器のより効率的な動作を達成することができる。

有利には、本運搬機器には、少なくとも２つの運搬ユニットが配備され、これらの運搬ユニットには、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチで順番に配置された異なる磁化方向の複数の駆動磁石から成る少なくとも１つの第一の磁石グループと少なくとも１つの第二の磁石グループがそれぞれ配置され、各運搬ユニットの全ての磁石グループが、同じ磁極ピッチを有するとともに、これらの少なくとも２つの運搬ユニットの磁極ピッチが異なる。それによって、運搬セグメントの所与の制約条件に依存して、異なる課題又は運動プロセスに対して、異なる磁極ピッチを有する複数の異なる運搬ユニットを使用することができる。

この場合、第一のコイルグループの駆動コイルが、運搬面に対する法線方向に、運搬ユニットの第一の磁石グループから第一の平均コイル間隔を開けて配置され、第二のコイルグループの駆動コイルが、運搬面に対する法線方向に、運搬ユニットの第二の磁石グループから、第一の平均コイル間隔に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔を開けて配置され、運搬面において、より小さな磁極ピッチを有する運搬ユニットに対して、第一の移動パスが定められて、この移動パスに沿って、この運搬ユニットが移動可能であり、運搬面において、より大きな磁極ピッチを有する別の運搬ユニットに対して、第二の移動パスが定められて、この移動パスに沿って、この運搬ユニットが移動可能であり、第一の移動パスの移動パス長における第一の主移動方向の部分が、第二の主移動方向の部分よりも大きく、第二の移動パスの移動パス長における第一の主移動方向の部分が、第二の主移動方向の部分よりも小さいのが有利であるとすることができる。それによって、より小さな磁極ピッチを有する運搬ユニットが、主として、より小さなコイル間隔を有する駆動コイルによって動かされ、より大きな磁極ピッチを有する運搬ユニットが、主として、より大きなコイル間隔を有する駆動コイルによって動かされることが保証される。

この場合、少なくとも１つの運搬ユニットの少なくとも１つの磁石グループの駆動磁石の磁極ピッチが、それと協力して動作する駆動コイルの平均コイル間隔に依存して定められるのが特に有利である。それによって、磁極ピッチを実際のコイル間隔に適合させることができ、このことは、コイル間隔が通常予め与えられるので、有利である。

更に、少なくとも１つの運搬ユニットの少なくとも１つの磁石グループの駆動磁石の運搬面に対する法線方向における磁石の高さ及び／又は磁石の幅が、各磁石グループの磁極ピッチに依存して定められるのが有利であるとすることができる。それによって、磁極ピッチの増大により引き起こされる表面磁束密度の低下を補償することができる。

少なくとも１つの運搬ユニットの磁石グループが同じ大きさの磁石グループ面積及び／又は同じ磁石数の駆動磁石を有することと、この少なくとも１つの運搬ユニットが、正方形又は長方形の運搬ユニット基礎面を有することとの中の１つ以上が有利である。更に、少なくとも１つの運搬ユニットのそれぞれ少なくとも１つの磁石グループの駆動磁石は、有利には、同じ大きさの磁石幅を有し、この磁石グループの隣り合う駆動磁石は、互いに直に隣接する。

本課題は、更に、少なくとも２つの磁石グループの磁極ピッチが異なる運搬ユニットにおいて、少なくとも１つの磁石グループの駆動磁石の磁石の幅及び／又は運搬ユニットの下側に対する法線方向における磁石の高さが、各磁石グループの磁極ピッチに依存して定められることによって解決される。

更に、本課題は、請求項１１に基づく方法によって解決される。

以下において、本発明の有利な実施形態の例を模式的に本発明を限定しない形で図示する図面１ａ～４を参照して、本発明を詳しく説明する。

運搬機器の例の平面図 運搬機器の例の側面図 運搬機器の代替実施形態の側面図 磁極ピッチに関する駆動磁石の磁束密度のグラフ図 運搬ユニットにおける駆動磁石の考え得る配列を下から見た図 運搬ユニットにおける駆動磁石の考え得る配列を下から見た図 運搬ユニットにおける駆動磁石の考え得る配列を下から見た図 運搬ユニットにおける駆動磁石の考え得る配列を下から見た図 運搬ユニットにおける駆動磁石の考え得る配列を下から見た図 運搬ユニットにおける駆動磁石の考え得る配列を下から見た図 運搬ユニットの別の実施形態の平面図

図１ａ～１ｃには、平面モーターの形の運搬機器１の実施例が簡略化して図示されている。この場合、図１ａが、運搬機器１を平面図で図示し、図１ｂと１ｃが、運搬機器１を側面図で図示している。この運搬機器１は、固定子として、運搬面３を形成する少なくとも１つの運搬セグメント２と、この運搬面３内を少なくとも二次元的に、有利には、２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２に移動可能な少なくとも１つの運搬ユニットＴＥとを有する。この符号「ＴＥ」は、一般的に任意の運搬ユニットＴＥを表す。以下において、本発明の第一の実施構成を運搬ユニットＴＥ１．１に基づき説明し、代替実施構成を運搬ユニットＴＥ１．２と運搬ユニットＴＥ２に基づき説明する。本発明の範囲内において、運搬面３とは、運搬セグメント２の大きさと形状によって決定される、運搬セグメント２の平坦な表面であると理解する。図１ａには、簡略化のために、１つの運搬セグメント２だけが図示されているが、当然のことながら、例えば、図４に図示されている通り、より大きな運搬面３を形成するために、多数の運搬セグメント２を接して並べることもできる。それによって、運搬機器１は、モジュール式に構成することができ、形状と面積の大きさが異なる運搬面３を実現することができる。しかし、当然のことながら、このモジュール式構造は、任意選択であり、単一の構造グループの形の単一の運搬セグメント２だけを配備することもできる。この運搬セグメント２の運搬面３内において、当然のことながら、複数の運搬ユニットＴＥｉも、異なる運搬ユニットＴＥｉも同時に、互いに独立して動かすことができる。

図示された例では、運搬セグメント２には、第一の主移動方向Ｈ１を定義する、複数の駆動コイルＡＳ１から成る第一のコイルグループＳＧ１と、第二の主移動方向Ｈ２を定義する、複数の駆動コイルＡＳ２から成る第二のコイルグループＳＧ２とが配置されている。第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１は、ここでは、Ｘ軸に沿って延びる、運搬ユニットＴＥの移動に関する第一の主移動方向Ｈ１を形成するために、所定の方向に、ここでは、Ｘ方向に順番に配置されている。第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、ここでは、Ｙ軸に沿って延びる、運搬ユニットＴＥに関する第二の主移動方向Ｈ２を形成するために、所定の方向に、ここでは、Ｙ方向に順番に配置されている。有利には、第一と第二のコイルグループＳＧ１，ＳＧ２の駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２は、図１ａに図示されている通り、２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２が互いに直交するように、互いに相対的に配置されている。

第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１と第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、ここでは、それぞれ縦長の従来通り巻回されたコイルとして構成されている。第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１は、それぞれＹ方向への長手方向延伸部ＬＡＳ１と、それに対して相対的に短い、Ｘ方向への横方向延伸部ＱＡＳ１とを有し、その横方向延伸部ＱＡＳ１の方向に、ここでは、Ｘ方向に順番に配置されている。それにより、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１が順番に配置された方向は、運搬ユニットＴＥの移動に関する第一の主移動方向Ｈ１を定義する。第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１は、所謂「長いコイル」として構成されている。それは、その長手方向延伸部ＬＡＳ１が、各方向（ここでは、Ｙ方向）における運搬ユニットＴＥの延伸部よりも大きいこと、ここでは、例えば、運搬ユニットＴＥ１．２の運搬ユニット幅ＢＴＥよりも長いことを意味する。図示された例では、長手方向延伸部ＬＡＳ１は、Ｙ方向における運搬セグメント２の拡がりとほぼ同じ大きさである。それにより、基本的にＹ方向における如何なる場所でも、Ｘ方向、即ち、第一の主移動方向Ｈ１への運搬ユニットＴＥの動きが可能である。

第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、同じく、ここでは、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１の長手方向延伸部ＬＡＳ１よりも小さな長手方向延伸部ＬＡＳ２を有する。この第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２の長手方向延伸部ＬＡＳ２は、ここでは、Ｘ方向に延びる。また、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、ここでは、Ｙ方向において、それぞれ長手方向延伸部ＬＡＳ２に対して相対的に小さな横方向延伸部ＱＡＳ２を有する。横方向延伸部ＱＡＳ２は、ここでは、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１の横方向延伸部ＱＡＳ１とほぼ同じ大きさであるが、より大きくするか、或いはより小さくすることもできる。出来る限り効率的に力を発生させるために、有利には、駆動コイルＡＳｉの横方向延伸部ＱＡＳｉをそれぞれそれと協力して動作する磁石グループＭＧｉの磁極ピッチＴｉに適合させることができる。この場合、より大きな磁極ピッチＴｉを有する磁石グループＭＧｉと協力して動作する駆動コイルＡＳｉの横方向延伸部ＱＡＳｉが、より小さな磁極ピッチＴｉを有する磁石グループＭＧｉと協力して動作する駆動コイルＡＳｉの横方向延伸部ＱＡＳｉよりも大きいことが有利であると分かっている。第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、同じく、その横方向延伸部ＱＡＳ２の方向に、ここでは、Ｙ方向に順番に配置されている。それにより、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２が順番に配置されている方向は、運搬ユニットＴＥの移動に関する第二の主移動方向Ｈ２を定義する。

第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、所謂「短いコイル」として構成されている。それは、その長手方向延伸部ＬＡＳ２が、各方向（ここでは、Ｘ方向）における運搬ユニットＴＥの延伸部と、ここでは、例えば、運搬ユニットＴＥ１．２の運搬ユニット長ＬＴＥと同じ大きさであるか、或いはそれよりも小さいことを意味する。しかし、それにも関わらず運搬面３内全体において、第二の主移動方向Ｈ２への運搬ユニットＴＥの動きを可能にするために、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２が、Ｘ方向に複数の列で、ここでは、例えば、三列で並んで配置されている。しかし、全く同様に、その逆の配置も、即ち、第二の主移動方向Ｈ２に対して「長い」コイルを配置し、第一の主移動方向Ｈ１に対して「短い」コイルを配置することも可能である。２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２に対して、それぞれ「長い」コイルを使用することも、或いはそれぞれ「短い」コイルを使用することもできる。例えば、コストの節約に関して、２つのコイルグループＳＧ１，ＳＧ２に対して同形の駆動コイルＡＳ１＝ＡＳ２を使用するのが有利であるとすることができる。

しかし、当然のことながら、図示された実施構成は、単なる例であると理解すべきであり、当業者は、コイルグループＳＧ１，ＳＧ２のそれ以外の配列及び／又は駆動コイルのそれ以外の構造形態を設けることもできる。例えば、周知の手法により、所謂ＰＣＢコイルを使用することができる。この場合、「ＰＣＢ」とは、「Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ ｂｏａｒｄ」を表し、コイルが直に回路基板に統合されていることを意味する。両方の実施構成は、従来技術で周知であり、そのため、ここでは、詳しい説明は行わない。コイルグループＳＧ１，ＳＧ２の互いのそれ以外の相対的な配列及び／又は運搬セグメント２に対するそれ以外の相対的な配列も考えられるか、更に別の主移動方向Ｈｉを形成する駆動コイルＡＳｉから成る更に別のコイルグループＳＧｉを配備することができるか、或いはその両方である。しかし、最も一般的なケースでは、それぞれ複数の駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２から成る２つの異なる向きのコイルグループＳＧ１，ＳＧ２で十分であり、各コイルグループＳＧ１，ＳＧ２が１つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２を定義する。しかし、有利には、これらの少なくとも２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２は、図示されている通り、互いに直交する。

更に、複数の運搬セグメント２から構成される運搬面３のモジュール式構造に関して、運搬セグメント２が、それぞれ正方形又は長方形の運搬面３を有することも有利である。そして、これらの運搬セグメント２は、簡単に互いに接して並べることができ、その結果、例えば、図４に図示されている通り、運搬セグメント２のそれぞれの第一の主移動方向Ｈ１が、それぞれ隣接する運搬セグメント２の第一の主移動方向Ｈ１に対して平行に、或いは直角に延びる。それにより、運搬面３は、複数の運搬セグメント２から簡単かつ柔軟に構成することができる。この場合、隣接する運搬セグメント２が、必ずしも互いに一直線に並ぶ必要があるのではなく、ずらすことも可能である。

図示された運搬機器１を用いて、例えば、運搬セグメント２の運搬面３内において、２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２への運搬ユニットＴＥのほぼ制限されない動きが可能である。この場合、運搬ユニットＴＥは、例えば、それぞれＸ軸に沿ってのみ、或いはＹ軸に沿ってのみ動かすことができる。しかし、当然のことながら、運搬ユニットＴＥは、２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２に、例えば、図１ａの運搬ユニットＴＥ１．１で示される通り、運搬面３内に在るＸ座標とＹ座標による二次元の移動パスＢＰに沿って同時に動かすことができる。運搬セグメント２と各運搬ユニットＴＥの相応の構造的な実現形態において、周知の手法で、それ以外の四つの運動自由度（高さ方向Ｚにおける並進運動と三つの軸Ｘ，Ｙ，Ｚの周りの回転）を少なくとも限定的に使用することもできる。

この運搬機器１には、図１ａに示されている通り、運搬セグメント２の駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２を駆動することができる制御ユニット５も配備されている。この制御ユニット５は、例えば、上位の設備制御ユニット６と接続するか、或いはそれに統合することもできる。複数の運搬セグメント２が運搬機器１に配備されている場合、運搬セグメント２又は運搬セグメント２のグループ毎に、それぞれ（図示されていない）セグメント制御ユニットを配備することと、制御ユニット５に統合することもできるコイル制御ユニットを駆動コイルＡＳｉ毎に配備することとの中の１つ以上も可能である。この制御ユニット５及び／又は設備制御ユニット６によって、例えば、運搬機器１を統合可能な設備の所定の製造プロセスに応じて、運搬ユニットＴＥの移動パスＢＰを予め与えることができる。

前述した通り、この運搬機器１では、当然のことながら、複数の運搬ユニットＴＥを同時に、互いに独立して動かすことができる。そして、制御ユニット５及び／又は設備制御ユニット６は、例えば、運搬ユニットＴＥの互いの衝突及び／又は運搬されている物体との衝突を防止するために、運搬ユニットＴＥの移動進路を互いに同期させるか、或いは互いに同調させる役割を果たす。制御ユニット５では、個々の運搬ユニットＴＥの所望の移動パスを実現する制御プログラムが作動する。制御ユニット５又は設備制御ユニット６は、例えば、移動パスの計画を策定するプラニングモジュールと接続することもできる。このプラニングモジュールは、例えば、実際に構築する運搬機器１、特に、運搬面３を、例えば、仮想的に実装したコンピュータであるとすることができる。

この少なくとも１つの運搬ユニットＴＥには、少なくとも１つの第一の磁石グループＭＧａと少なくとも１つの第二の磁石グループＭＧｂが配置されており、これらの磁石グループには、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチＴａ，Ｔｂで順番に配置された、磁化方向の異なる複数の駆動磁石４が配備されている。そのために、運搬ユニットＴＥは、図１ｂで分かる通り、本体部分９を有し、その（運搬面３の方を向いた）下側には、駆動磁石４が配置されている。図１ａでは、駆動磁石４の配列を見ることができるように、本体部分９が、それぞれ大部分破断された形で図示されている。

図示された例では、それぞれ２つの第一の磁石グループＭＧａと２つの第二の磁石グループＭＧｂが運搬ユニットＴＥ１．１，ＴＥ１．２，ＴＥ２に配置されている。しかし、当然のことながら、三つ以上の第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂを配備することもできる。ここでは、第一の磁石グループＭＧａの配列方向がＸ方向と一致し、第二の磁石グループＭＧｂの配列方向がＹ方向と一致する。それにより、これらの配列方向は、主移動方向Ｈ１，Ｈ２と同様に互いに直交する。有利には、磁石グループＭＧａ，ＭＧｂの配列方向は、出来る限り効率的に電磁気的な力を発生できるように、主移動方向Ｈ１，Ｈ２に対して出来る限り平行に延びる。図示された例では、運搬ユニットＴＥ１．１における駆動磁石４の周知の一次元配列であるが、図３ｇと３ｈに基づき更に詳しく説明する通り、同じく周知の二次元配列も可能である。

運搬面３内において運搬ユニットＴＥを動かすために、第一と第二の駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２を制御ユニット５によって個々に駆動する（電流を流す）ことができる。そのために場合によっては必要となるパワーエレクトロニクス機器を制御ユニット５又は運搬セグメント２に配置することができる。第一の駆動コイルＡＳ１を相応に時間的にずらして駆動することによって、基本的な可動磁界を第一の主移動方向Ｈ１に発生させている。この第一の主移動方向Ｈ１における可動磁界は、各運搬ユニットＴＥを第一の主移動方向Ｈ１に動かすために、概ね第一の磁石グループＭＧａの駆動磁石４と電磁気的に協力して動作する。同様に、第二の駆動コイルＡＳ２を時間的にずらして駆動することによって、基本的な可動磁界を第二の主移動方向Ｈ２に発生させており、この可動磁界は、運搬ユニットＴＥを第二の主移動方向Ｈ２に動かすために、概ね第二磁石グループＭＧｂの駆動磁石４と電磁気的に協力して動作する。駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２の駆動に応じて、可動磁界の重なり合いが生じ、それによって、所望の通り、運搬ユニットＴＥを運搬面３内の所与の二次元の移動パスＢＰに沿って動かすことができる。

運搬面３内の主移動方向Ｈ１，Ｈ２におけるほぼ無制限の２つの並進運動自由度の外に、運搬面３に対する法線方向、ここでは、Ｚ軸の方向における運搬ユニットＴＥの限定的な並進運動も可能である。コイルグループＳＧ１，ＳＧ２の駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２とそれと協力して動作する第一及び第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂの配列及び構造的な実施形態に応じて、三つの空間軸Ｘ，Ｙ，Ｚの周りの運搬ユニットＴＥの限定的な回転も可能である。

前述した通り、磁石グループＭＧａ，ＭＧｂの互いに隣接する駆動磁石４は、異なる磁化方向を有し、所定の磁極ピッチＴａ，Ｔｂで互いに間隔を開けて配置されている。一般的に、磁極ピッチＴｉ内において、磁石グループＭＧｉにより生成される磁界の向きが１８０°交番する。この場合、所望の磁極ピッチＴｉで磁界を発生させるのに必要な駆動磁石４の間隔は、磁石グループＭＧｉ内の駆動磁石４の配列にも、特に、隣り合う駆動磁石４の間の生じるかもしれない隙間の隙間幅、隣り合う駆動磁石４の磁化方向（例えば、１８０°逆向き又はハルバッハ配列）及び駆動磁石４の磁石幅ＭＢｉにも依存する。周知のハルバッハ配列では、例えば、磁石グループＭＧｉのそれぞれ最も外側の駆動磁石４が、例えば、それぞれ間に在る駆動磁石４の磁石幅ＭＢｉの半分を有するのが有利であるとすることができる。これは、図１ａで運搬ユニットＴＥ１．１における斜線を付けられた駆動磁石４と斜線を付けられていない駆動磁石４によって示される通り、それぞれ磁石のＮ極とＳ極が交番し、それが隣り合う駆動磁石４の１８０°回転した配列に等しいことを意味することができる。隣接する駆動磁石４の磁化方向がそれぞれ駆動磁石４の長手軸の方向に９０°回転した周知のハルバッハ配列も有利であることが分かっている。この場合、「磁極ピッチＴａ，Ｔｂ」とは、それぞれ配列方向に隣り合う磁化方向（Ｎ極／Ｓ極）が逆である２つの駆動磁石４の間の間隔であると理解されたい。駆動磁石４が（配列方向に）同じ磁石幅ＭＢを有し、隣り合う駆動磁石４が１８０°回転した配向方向を有し、駆動磁石４が互いに直に隣接する（これは一般的なケースである）場合、磁極ピッチＴａ，Ｔｂが、それぞれの磁石幅ＭＢａ、ＭＢｂと一致する。

動作時に、運搬セグメント２の運搬面３と運搬ユニットＴＥの磁石グループＭＧａ，ＭＧｂの駆動磁石４の間には、図１ｂで明らかな通り、空隙Ｌが設けられる。有利には、運搬セグメント２に、有利には、磁気伝導性のカバー層を配備して、その下に在る駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２を外部の影響から遮蔽するとともに、ほぼ滑らかな運搬面３を形成することができる。このカバー層は、その下に在る駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２の配列を見ることができるように、図１ａでは部分的に破断された形で表示されている。同様に、当然のことながら、運搬ユニットＴＥにも、駆動磁石４を覆うカバー層を配備することができる。そして、空隙Ｌが、カバー層と各運搬ユニットＴＥｉの駆動磁石４の間に拡がる。この空隙Ｌを作るとともに、特に、維持するために、駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２と駆動磁石４が、動作時に、周知の手法で（主移動方向Ｈ１，Ｈ２への動きに必要な）駆動力を発生させるためだけでなく、ここでは、Ｚ方向に浮上力ＦＳを発生させるためにも協力して動作する。この浮上力ＦＳは、運搬ユニットＴＥの静止状態においても、空隙Ｌを発生させて、維持するために作用する。運搬セグメント２の図示されたほぼ水平の取付姿勢以外に、当然のことながら、傾いた面の形の傾斜した取付姿勢又はほぼ垂直の取付姿勢も考えられる。

この場合、運搬ユニットＴＥに作用する、重力ＦＧと場合によっては生じるプロセス力ＦＰ（例えば、運搬されている物体の重力）に対して逆向きの如何なる力も浮上力と呼ばれる。それにより、運搬面３内の二次元の動き以外に、高さ方向、即ち、運搬面３に対する法線方向における運搬ユニットＴＥの或る程度の動きも可能である。駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２の相応の駆動によって、限定された範囲内で空隙Ｌを増減することができ、それによって、図１ｂの運搬ユニットＴＥ２において、より大きな空隙Ｌと両方向矢印で示されている通り、運搬ユニットＴＥを高さ方向に、ここでは、Ｚ方向に動かすことができる。この場合、高さ方向において提供可能な動きの遊びスペースの大きさは、基本的に運搬機器１の構造的な実施形態に、特に、駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２と駆動磁石４の最大限に発生可能な磁界と、運搬ユニットＴＥの重量及び荷重とに依存する。運搬機器１の大きさと設計に応じて、高さ方向において提供可能な移動範囲は、例えば、数ｍｍから数ｃｍの範囲内であるとすることである。

図示された実施例では、図１ｂで明らかな通り、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１は、運搬面３に対する法線方向（ここでは、Ｚ方向）に、第一の磁石グループＭＧａから第一の平均コイル間隔Ｓ１を開けて配置され、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２は、運搬面３に対する法線方向に、第二の磁石グループＭＧｂから第一の平均コイル間隔Ｓ１に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔Ｓ２を開けて配置されている。それにより、Ｚ方向において、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１が、第一の磁石グループＭＧａの駆動磁石４に対して、第二の磁石グループＭＧａの駆動磁石４に対する第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２よりも近くに在る。図１ｂに図示された例では、２つのコイルグループＳＧ１，ＳＧ２が重なり合って配置されている。

この場合、平均コイル間隔Ｓ１，Ｓ２は、図１ｂで運搬ユニットＴＥ１．２により示される通り、各駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２のコイル中心からＺ方向に見る向きで計測される。これらの駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２は、各運搬ユニットＴＥと運搬セグメント２の間の擾乱性の磁気的な引力を防止するために、有利には、鉄心の無い形で実現されており、所謂「空芯コイル」とも呼ばれる。図１ａと１ｂに図示された例では、駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２は、ほぼ楕円形の従来通り巻回された縦長のコイルとして実現されており、それぞれコイル軸が運搬面３に対する法線方向を向いている。しかし、駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２は、所謂「ＰＣＢコイル」として実現することもできる。しかし、各コイルグループＳＧ１，ＳＧ２の駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２は、図１ｃに図示されている通り、例えば、第一の駆動コイルＡＳ１から成る複数の第一のコイル面ＳＥ１と第二の駆動コイルＡＳ２から成る複数の第二のコイル面ＳＥ２による層形態で、運搬面３に対する法線方向に重なり合った形で運搬セグメント２に配置することができる。更に、駆動コイルＡＳｉは、異なる巻線形態により、例えば、（図面に図示されている通り）集中的な巻線形態、さもなければ分散した巻線形態で実現することができる。これらの巻線形態は、従来技術で周知である。

図１ｃの左側の例では、四つの第一のコイル面ＳＥ１から成るコイルブロックと四つの第二のコイル面ＳＥ２から成るコイルブロックが重なり合った形で運搬セグメント２に配置されている。図１ｃの右側の図では、それぞれ四つの第一のコイル面ＳＥ１と四つの第二のコイル面ＳＥ２がＺ方向に交番する形で運搬セグメント２に配置されている。この場合、平均コイル間隔Ｓ１，Ｓ２は、それぞれＺ方向における運搬面３からのコイル面ＳＥ１，ＳＥ２の平均的な間隔であり、次の式が成り立ち、

ここで、Ｓ１．ｉ，Ｓ２．ｉは、第一と第二のコイル面ＳＥ１，ＳＥ２のコイル間隔であり、ｊ，ｋは、第一と第二のコイル面ＳＥ１，ＳＥ２の数である。

第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１は、同じ構造的な制約条件（駆動コイルＡＳ１の同一の幾何学的形状（長さ、幅、高さ）、同じ巻線数など）と同じエネルギー的な制約条件（同じ最大電流又は電圧など）において、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２と同じ（最大）磁界を発生させる。これまで、運搬ユニットＴＥにおける磁石グループＭＧａ，ＭＧｂは、ほぼ同形（駆動磁石４の同じ幾何学的形状（磁石の長さ、磁石の幅、磁石の高さ）、同じ数、同じ磁極ピッチ、同じ磁化方向、同じ磁界強度など）で実現されており、その結果、磁石グループＭＧａ，ＭＧｂは、ほぼ同じ大きさの磁界を発生させ、その磁界が、駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２が発生する磁界と協力して動作していた。しかしながら、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１が、第一の磁石グループＭＧａの駆動磁石４に対して、平均して第二の磁石グループＭＧｂの駆動磁石４に対する第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２よりも近くに在ることによって、そのことが、第一の主移動方向Ｈ１における電磁気的な力を発生させる効率を第二の主移動方向Ｈ２におけるよりも大きくしていた。それは、駆動力の発生にも、浮上力の発生にも関連する。それによって、周知の通り、第二の主移動方向Ｈ２よりも大きな効率が第一の主移動方向Ｈ１において得られていた。

そのため、冒頭で言及した通り、従来技術では、これまで、２つの主移動方向Ｈ１，Ｈ２の効率の違いを補償して、提供可能な電磁気力に関して、出来る限り同等の主移動方向を達成することを追求していた。これは、例えば、運搬面３からより遠く離れた駆動コイル（ここでは、ＡＳ２）に対して、より近くに在る駆動コイル（ここでは、ＡＳ１）よりも大きな電流を加えるか、或いは駆動磁石４からより遠く離れた駆動コイル（ここでは、ＡＳ２）が、より近くに在る駆動コイル（ここでは、ＡＳ１）よりも良い性能で構成されることによって達成されていた。しかし、これは、それによって、構造的な負担又は制御負担が比較的大きくなるので、不利である。

これを防止して、それにも関わらず、運搬機器１の出来る限り効率的な動作を可能にするために、本発明では、この少なくとも１つの運搬ユニットＴＥ（ここでは、ＴＥ１．１）において、この少なくとも１つの第一の磁石グループＭＧａとこの少なくとも１つの第二の磁石グループＭＧｂに対して異なる磁極ピッチＴａ≠Ｔｂとが設けられる。この場合、運搬セグメント２の第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１が、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２よりも小さな平均コイル間隔Ｓ１を有する、ここで述べた運搬機器１の実施構成では、この運搬ユニットＴＥ１．１の少なくとも１つ第一の磁石グループＭＧａの磁極ピッチＴａが、有利には、この運搬ユニットＴＥ１．１の少なくとも１つ第二の磁石グループＭＧｂの磁極ピッチＴｂよりも小さい。それに代わって、本発明では、少なくとも２つの運搬ユニットＴＥ（ここでは、ＴＥ１．２，ＴＥ２）が運搬機器１に配置され、これらの少なくとも２つの運搬ユニットＴＥ１．２，ＴＥ２の各々が、同じ磁極ピッチＴａ＝Ｔｂの磁石グループＭＧａ，ＭＧｂを有するとともに、これらの少なくとも２つの運搬ユニットＴＥ１．２，ＴＥ２の磁極ピッチＴａ，Ｔｂが異なると規定される。

それにより、本発明の運搬機器１では、これまで通り、駆動コイルＡＳ１，ＡＳ２が発生する磁界を運搬セグメント側で変化させるのではなく、以下において、詳しく説明する通り、運搬ユニットＴＥ１．１の各磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが発生する磁界を磁極ピッチの変化、ここでは、磁極ピッチＴｂ＞Ｔａによって調節している。一般的に、磁極ピッチＴｉの増大は、各駆動磁石４が発生する磁界が、運搬面３に対する法線方向に向かって、より一層運搬セグメント２に侵入できるようにする。

駆動磁石４の磁束密度Ｂは、駆動磁石４の表面に対する距離ｚ（図１ｂを参照）に応じて指数関数的に低下し、磁極ピッチＴｉは、

に基づき、間接的に間隔ｚに対して比例して作用し、ここで、Ｂ_０は、駆動磁石４の表面における表面磁束密度である。磁石幅ＭＢｉは、磁極ピッチＴｉに比例し、比例係数は、特に、隣り合う駆動磁石４の磁化方向と隣り合う駆動磁石４の間の間隔に依存する。磁石グループ４ｉの隣り合う駆動磁石４が互いに直に境界を接して（隙間が無く）、１８０°逆向きの磁化方向と同じ磁石幅ＭＢｉを有する場合、磁極ピッチＴｉを磁石幅ＭＢｉと同一視することができる（図１ａ）。それにより、磁極ピッチＴｉの変化は、磁石幅ＭＢｉの同様の変化も生じさせ、並びにその逆も成り立つ。その結果、駆動コイルＡＳｉの平均コイル間隔Ｓｉの増大によって生じる効率の低下は、それに対応する磁石グループ４ｉの磁極ピッチＴｉの増大によって、少なくとも部分的に補償することができる。

そのため、図１ａで明らかな通り、運搬ユニットＴＥ１．１では、（より小さな平均コイル間隔Ｓ１＜Ｓ２を有する駆動コイルＡＳ１と協力して動作する）２つの第一の磁石グループＭＧａの磁極ピッチＴａが、（より大きな平均コイル間隔Ｓ２＞Ｓ１を有する駆動コイルＡＳ２と協力して動作する）２つの第二の磁石グループＭＧｂの磁極ピッチＴｂよりも小さくなっている。

駆動磁石４の（運搬面３の方を向いた）表面における表面磁束密度Ｂ_０は、磁極ピッチＴｉと（ここでは、図１ｂでＺ方向における）磁石の高さＭＨｉの関数である。この場合、表面磁束密度Ｂ_０は、

となり、ここで、

は、駆動磁石４の材料パラメータとしての残留磁束密度に周知の通り比例し、既知であると見做すことができる、駆動磁石４の磁束密度である。このことから、表面磁束密度Ｂ_０が磁極ピッチＴｉの増大とともに低下するが、その低下が、磁石の高さＭＨｉの増大によって補償できることが分かる。しかし、通常は、駆動磁石４の磁石の高さＭＨｉは、構造的な理由及び重量に関する技術的な理由から、上限が有り、大抵は運搬ユニットＴＥの２つの磁石グループＭＧａ，ＭＧｂに関して一定である。そのため、以下において、（ここでは、磁石幅ＭＢｉと一致する）磁極ピッチＴｉだけが可変であることと、駆動磁石４の磁石の高さＭＨｉが予め与えられることとを出発点とする。

それにより、表面磁束密度Ｂ_０が、単に磁極ピッチＴｉ（又は磁石幅ＭＢｉ）だけの関数となる。表面磁束密度Ｂ_０（Ｔｉ）に関する式を磁束密度Ｂ（ｚ，Ｔｉ）に関する上記の式に代入して、ＳＨｉ∈（ｚｉ．１，ｚｉ．２）である、Ｚ方向における駆動コイルＡＳｉのコイルの高さＳＨｉに関して積分することによって、

に基づき、磁極ピッチＴｉに依存する、駆動コイルＡＳｉのコイルの高さＳＨｉに関する磁石グループＭＧｉの最大有効磁束密度が得られる。この磁極ピッチＴｉに基づく簡単な最適化は、図１ｂで第一の駆動コイルＡＳ１により図示されている通り、Ｚ方向に駆動磁石４から間隔ｚ１．ｉを開けて配置され、ｚ２．ｉにまで延びるコイルの高さＳＨｉを有する駆動コイルＡＳｉとの組み合わせに関して、駆動磁石４の磁束密度Ｂを最大化する（所定の制約条件において、磁石幅ＭＢｉに一致する）最適な磁極ピッチＴｉを提供する。ここで述べた関係は、図２にグラフで図示されている。

図２は、磁石幅ＭＢｉに比例する磁極ピッチＴｉに関する磁束密度Ｂの定性的な推移のグラフを図示している。このグラフから、運搬ユニットＴＥ１．１の第一の磁石グループＭＧａの駆動磁石４に関する最大磁束密度ＢＭＧａ＿ｍａｘが、最適な磁石幅ＭＢａ＿ｏｐｔ又は最適な磁極ピッチＴａ＿ｏｐｔにおいて達成され、第二の磁石グループＭＧｂの駆動磁石４に関する最大磁束密度ＢＭＧｂ＿ｍａｘが、それに対して相対的により大きい最適な磁石幅ＭＢｂ＿ｏｐｔ又は最適な磁極ピッチＴｂ＿ｏｐｔにおいて達成されることが分かる。それによって、有利には、運搬ユニットＴＥ１．１の第一の磁石グループＭＧａの磁極幅Ｔａを目的通り第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１の第一の平均コイル間隔Ｓ１に適合させるとともに、運搬ユニットＴＥ１．１の第二の磁石グループＭＧｂの磁極幅Ｔｂを目的通り第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２の第二の平均コイル間隔Ｓ２に適合させることができる。

図３ａ～３ｆには、運搬ユニットＴＥ１．１での駆動磁石４の一次元配列において如何にして異なる磁極ピッチＴａ＜Ｔｂを実現できるのかに関する異なる手法が図示されている。図３ｇと３ｈは、運搬ユニットＴＥ１．１での駆動磁石４の二次元配列における異なる磁極ピッチＴａ＜Ｔｂの考え得る実現形態を図示している。これらの図は、それぞれ下から見た図で運搬ユニットＴＥ１．１を図示している。図３ａ～３ｆの運搬ユニットＴＥ１．１では、それぞれ２つの第一の磁石グループＭＧａと２つの第二の磁石グループＭＧｂが配置されている。第一の磁石グループＭＧａは、それぞれ磁石グループ長ＬＭＧａと磁石グループ幅ＢＭＧａを有し、第二の磁石グループＭＧｂは、それぞれ磁石グループ長ＬＭＧｂと磁石グループ幅ＢＭＧｂを有する（代表して、図３ａにだけ表示されている）。運搬ユニットＴＥ１．１自体は、図３ｃに示されている通り、運搬ユニット長ＬＴＥと運搬ユニット幅ＢＴＥを有する。

磁石グループ幅ＢＭＧｉは、各磁石グループＭＧｉの個々の駆動磁石４が配置されている方向における拡がりである。磁石グループ長ＬＭＧｉは、各磁石グループＭＧｉの個々の駆動磁石４の長さ（＝縦長の延び）に等しい。磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが運搬ユニットＴＥ１．１の周縁にまで延びる場合、これは、有利には、運搬ユニット長ＬＴＥが、第一の磁石グループＭＧａの磁石グループ幅ＢＭＧａと第二の磁石グループＭＧｂの磁石グループ幅ＢＭＧｂの合計から成るケースである。即ち、運搬ユニットＴＥ１．１が、その運搬ユニット長ＬＴＥにより第一の主移動方向Ｈ１に動かされ、その運搬ユニット幅ＢＴＥにより第二の主移動方向Ｈ２に動かされる。Ｙ方向における２つの第一の磁石グループＭＧａのずれとＸ方向における２つの第二の磁石グループＭＧｂのずれによって、運搬ユニットＴＥ１．１の高さ軸の周りの回転モーメントを発生させることができ、それによって、高さ軸の周りに運搬ユニットＴＥ１．１を回転させることが可能である。運搬機器１を動作させるためには、基本的に単一の第一の磁石グループＭＧａと単一の第二の磁石グループＭＧｂでも十分である。しかし、当然のことながら、運搬ユニットＴＥ当たり、三つ以上の第一の磁石グループＭＧａと三つ以上の第二の磁石グループＭＧｂを配置することもできる。等しくない数の第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂも、例えば、２つの第一の磁石グループＭＧａと１つの第二の磁石グループＭＧｂも考えられる。

ここで、２つの磁石グループＭＧａ，ＭＧｂの異なる磁極ピッチＴａ＜Ｔｂを異なる手法で実現することができる。基本的に、磁石グループＭＧｉの駆動磁石４の磁石数、磁石グループＭＧｉの磁石グループ面積ＡＭＧｉ及び運搬ユニットＴＥ１．１の運搬ユニット形状の三つの特性を変えることができる。更に、隣り合う駆動磁石４の互いに相対的な曲がり度合及び隣り合う駆動磁石４の間隔も変えることができるが、ここでは、それに詳しく立ち入らない。図３ａによる運搬ユニットＴＥ１．１は、例えば、２つの磁石グループＭＧａ，ＭＧｂにおいて、同じ磁石数ＮＭａ＝ＮＭｂ＝６の駆動磁石４と、同じ磁石面積ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂとを有する。磁石グループＭＧｉの磁石グループ面積ＡＭＧｉが、ＡＭＧｉ＝ＬＭＧｉ×ＢＭＧｉとなる。異なる磁極ピッチＴａ＜Ｔｂのために、第二の磁石グループＭＧｂは、第一の磁石グループＭＧａよりも大きな磁石グループ幅ＢＭＧｂを有する。それにも関わらず、同じ磁石グループ面積ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂを達成するために、第一の磁石グループＭＧａの磁石グループ長ＬＭＧａが第二の磁石グループＭＧｂの磁石グループ長ＬＭＧｂよりも長くなっている。それによって、ここでは、Ｘ方向における運搬ユニット幅ＢＴＥに対して相対的に短い運搬ユニット長（ＬＴＥ＜ＢＴＥ）を有する運搬ユニットＴＥ１．１の長方形の運搬ユニット形状が得られている。

図３ｂ～３ｆは、別の実施形態を図示している。図３ｂの運搬ユニットＴＥ１．１は、正方形の運搬ユニット形状（ＬＴＥ＝ＢＴＥ）を有し、第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが同じ磁石数ＮＭａ＝ＮＭｂを有するが、磁石グループ面積が異なる（ＡＭＧａ≠ＡＭＧｂ）。図３ｃの運搬ユニットＴＥ１．１は、正方形の運搬ユニット形状（ＬＴＥ＝ＢＴＥ）を有し、第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが同じ磁石グループ面積（ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂ）を有するが、磁石数が異なる（ＮＭａ＝９、ＮＭｂ＝６）。図３ｄの運搬ユニットＴＥ１．１は、長方形の運搬ユニット形状（ＬＴＥ＜ＢＴＥ）を有し、第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが同じ磁石グループ面積（ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂ）を有するが、磁石数が異なる（ＮＭａ＝９、ＮＭｂ＝６）。図３ｅの運搬ユニットＴＥ１．１は、長方形の運搬ユニット形状（ＬＴＥ＜ＢＴＥ）を有し、第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが、異なる磁石グループ面積（ＡＭＧａ≠ＡＭＧｂ）と同じ磁石数（ＮＭａ＝ＮＭｂ＝６）を有する。図３ｆの運搬ユニットＴＥ１．１は、正方形の運搬ユニット形状（ＬＴＥ＝ＢＴＥ）を有し、第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが、異なる磁石グループ面積（ＡＭＧａ≠ＡＭＧｂ）と異なる磁石数（ＮＭａ＝１１、ＮＭｂ＝６）を有する。このことから、磁極ピッチが異なる（Ｔａ＜Ｔｂ）運搬ユニットＴＥ１．１の多くの異なる変化形態が実現可能であることが分かる。

図３ｇと図３ｈには、それぞれ所謂二次元配列の駆動磁石４を有する運搬ユニットＴＥ１．１が図示されている。この二次元配列では、磁化の向きが異なる駆動磁石４が格子状に配置されている。図示された例は、隣り合う駆動磁石の磁化の向きが互いに９０°回転したハルバッハ配列を示している。斜線を付けた駆動磁石４と斜線を付けていない駆動磁石４は、磁化の向き、即ち、磁石のＮ極とＳ極が逆である駆動磁石４を象徴している。それぞれ間に在る駆動磁石４は、矢印の表示で象徴されている通り、９０°回転した磁化方向を有する。このハルバッハ配列は、一方の側（有利には、運搬面３の方を向いた側）の磁束が、その逆側よりも大きくなるとの利点を有する。このハルバッハ配列は、従来技術で周知であり、そのため、ここでは、更なる詳述を省略する。

図３ｇ及び３ｈの運搬ユニットＴＥ１．１には、又もや少なくとも１つの第一の磁石グループＭＧａと少なくとも１つの第二の磁石グループＭＧｂが配置されており、これらの磁石グループには、それぞれ複数の駆動磁石４が配備されている。図３ｇの例では、最も上方の第一の磁石グループＭＧａにより示される通り、それぞれ所定の磁石数ＮＭａの駆動磁石４がＸ方向に順番に配置された新しい第一の磁石グループＭＧａがＹ方向に並んで配備されている。同様に、右外側の第二の磁石グループＭＧｂにより代表して示される通り、それぞれ所定の磁石数ＮＭｂの駆動磁石４がＹ方向に順番に配置された同じ数の第二の磁石グループＭＧｂがＸ方向に並んで配備されている。それにより、この二次元配列では、磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが、一次元配列の場合のように別個に在るのではなく、駆動磁石４が第一の磁石グループＭＧａの部分にも、第二の磁石グループＭＧｂの部分にもなっている。

ハルバッハ配列では、磁極ピッチＴａは、磁石のＮ極を有する駆動磁石４と磁石のＳ極を有する次の駆動磁石４の間で計測される。本発明では、第一の磁石グループＭＧａの磁極ピッチＴａが、第二の磁石グループＭＧｂの磁極ピッチＴｂよりも小さい。図３ｇの例では、運搬ユニットＴＥ１．１が、運搬ユニット長と運搬ユニット幅が同じである（ＬＴＥ＝ＢＴＥ）正方形の運搬ユニットベース面を有する。従って、異なる磁極ピッチＴａ＜Ｔｂに基づき、第一の磁石グループＭＧａよりも多い第二の磁石グループＭＧｂが配備されている。図３ｈの運搬ユニットＴＥ１．１は、それぞれ同じ数の新しい第一と第二の磁石グループＭＧａ，ＭＧｂを有する。従って、異なる磁極ピッチＴａ＜Ｔｂに基づき、この運搬ユニットＴＥ１．１は、運搬ユニット長が運搬ユニット幅よりも短い（ＬＴＥ＜ＢＴＥ）長方形の運搬ユニットベース面を有する。運搬ユニットＴＥ１．１の長方形の実施形態（ＬＴＥ＜ＢＴＥ）は、（駆動磁石４の一次元配列でも、二次元配列でも）例えば、第一の主移動方向Ｈ１において、正方形の実施形態の場合よりも多くのシャトルを動かすことができるとの利点を有する。それによって、例えば、運搬プロセスのスループットを有利な手法で向上させることができる。

以下において、本発明の１つの変化形態を図４に基づき説明する。図４は、より大きな運搬面３を形成するために、複数の運搬セグメント２ａ～２ｆが接して並べられた運搬機器１を図示している。これらの運搬セグメント２ａ～２ｆは、図１ａ～１ｃに基づき前述したものと同様に構成されている。即ち、運搬セグメント２ａ～２ｆの各々には、図４で部分的に破断された運搬セグメント２ａにより示される通り、複数の（ここでは、「長い」）駆動コイルＡＳ１から成る第一のコイルグループＳＧ１と複数の（ここでは、「短い」）駆動コイルＡＳ２から成る第二のコイルグループＳＧ２とが配備されている。従って、運搬セグメント２は、それぞれ第一の主移動方向Ｈ１とそれに対する法線方向の第二の主移動方向Ｈ２を有する。第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１は、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２に対して相対的に短い平均コイル間隔を有する（Ｓ１＜Ｓ２）。ここでは、運搬セグメント２ａ～２ｆが同形に実現されているが、当然のことながら、異なる形状の運搬セグメント２を、例えば、破線の運搬セグメント２ｇにより示される通り、正方形の運搬面３を有する運搬セグメント２を組み合わせることもできる。運搬セグメント２ａ，２ｂ，２ｅの第一の主移動方向Ｈ１は、ここでは、Ｘ方向に、それぞれ平行に延びており、運搬セグメント２ｃ，２ｄ，２ｆの第一の主移動方向Ｈ１は、ここでは、Ｙ方向に、それぞれ平行に延びている。

この運搬機器１では、２つの運搬ユニットＴＥ１．２とＴＥ２が配備され、これらの運搬ユニットには、説明した通り、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチＴａ，Ｔｂで順番に配置された異なる磁化方向の複数の駆動磁石４から成る、少なくとも１つの第一の磁石グループＭＧａと少なくとも１つの第二の磁石グループＭＧｂがそれぞれ配置されている。ここでは、２つの運搬ユニットＴＥ１．２，ＴＥ２の駆動磁石４は、それぞれ又もや一次元配列で配置されているが、当然のことながら、二次元配列も可能である。本発明では、運搬ユニットＴＥ１．２の全ての磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが同じ大きさの磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を有するとともに、別の運搬ユニットＴＥ２の全ての磁石グループＭＧａ，ＭＧｂが同じ大きさの磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を有し、この運搬ユニットＴＥ１．２の均等な磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）が、この運搬ユニットＴＥ２の均等な磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）と異なる、ここでは、特に、より小さい。

ここでは、運搬ユニットＴＥ１．２は、運搬セグメント２ｂ，２ｃ，２ｅ，２ｆに渡って延びる所与の閉じた二次元の第一の移動パスＢＰ１に沿って動かされる。ここでは、運搬ユニットＴＥ２は、運搬セグメント２ｄ，２ｃ，２ｂ，２ａに渡って延びる所与の閉じた二次元の第二の移動パスＢＰ２に沿って動かされる。当然のことながら、より多くの運搬ユニットＴＥ１．２，ＴＥ２をそれぞれ同時に順番に各移動パスＢＰ１，ＢＰ２に沿って動かすこともできる。この場合、第一の移動パスＢＰ１は、有利には、第一の移動パスＢＰ１の移動パス長ＬＢＰ１における第一の主移動方向Ｈ１の部分が、第二の主移動方向Ｈ２の部分よりも長くなるように定められる。第二の移動パスＢＰ２は、有利には、第二の移動パスＢＰ２の移動パス長ＬＢＰ２における第一の主移動方向Ｈ１の部分が、第二の主移動方向Ｈ２の部分よりも短くなるように定められる。この場合、移動パスＢＰ１，ＢＰ２の移動パス長ＬＢＰ１，ＬＢＰ２は、各移動パスＢＰ１，ＢＰ２の幾何学的な長さに等しい、即ち、運搬ユニットＴＥｉが各移動パスＢＰ１，ＢＰ２に沿った移動時に巡る道程に等しい。

それによって、（相対的に）より小さい（均等な）磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を有する運搬ユニットＴＥ１．２が、主に運搬面３において第一の主移動方向Ｈ１に動かされ、（相対的に）より大きい（均等な）磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を有する運搬ユニットＴＥ２が、主に運搬面３において第二の主移動方向Ｈ２に動かされる。それによって、運搬ユニットＴＥ１．２を動かすために、この運搬ユニットＴＥ１．２の駆動磁石４が、主に、第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルよりも小さなコイル間隔Ｓ１を有する、運搬セグメント２の第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１と協力して動作するので、運搬機器１の効率的な動作が実現可能である。同様に、運搬ユニットＴＥ２を動かすために、この運搬ユニットＴＥ２の駆動磁石４が、主に、第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１よりも大きなコイル間隔Ｓ２を有する、運搬セグメント２の第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２と協力して動作する。従って、有利には、そのために、有利な移動パスＢＰ１，ＢＰ２を定めることによって、異なる磁極ピッチＴａ，Ｔｂを有する運搬ユニットＴＥ１．２，ＴＥ２を使用して、運搬機器１の動作の効率を向上させることができる。

有利には、既に詳しく説明した通り、又もや運搬ユニットＴＥ１．２の（均等な）磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を第一のコイルグループＳＧ１の駆動コイルＡＳ１の平均コイル間隔Ｓ１に適合させるともに、運搬ユニットＴＥ２の（均等な）磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を第二のコイルグループＳＧ２の駆動コイルＡＳ２の平均コイル間隔Ｓ２に適合させることができる。

Claims (16)

1. 運搬面（３）を形成する少なくとも１つの運搬セグメント（２）と、この運搬面（３）内を少なくとも二次元的に動くことが可能な少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）とを備えた、平面モーターの形の運搬機器（１）であって、
   この運搬セグメント（２）には、複数の駆動コイル（ＡＳ１，ＡＳ２）が配置され、この運搬ユニット（ＴＥ１．１）には、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）で順番に配置された、異なる磁化方向の複数の駆動磁石（４）から成る少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）と少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）が配置され、
   この少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）では、この少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）とこの少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）に関して、異なる磁極ピッチ（Ｔａ≠Ｔｂ）が設けられていて、
   この運搬セグメント（２）には、運搬ユニット（ＴＥ１．１）を移動させる第一の主移動方向（Ｈ１）を定義する、複数の駆動コイル（ＡＳ１）から成る第一のコイルグループ（ＳＧ１）が配置されるとともに、運搬ユニット（ＴＥ１．１）を移動させる第二の主移動方向（Ｈ２）を定義する、複数の駆動コイル（ＡＳ２）から成る第二のコイルグループ（ＳＧ２）が配置されている当該運搬機器において、
   第一のコイルグループ（ＳＧ１）の駆動コイル（ＡＳ１）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．１）の第一の磁石グループ（ＭＧａ）から第一の平均コイル間隔（Ｓ１）を開けて配置され、第二のコイルグループ（ＳＧ２）の駆動コイル（ＡＳ２）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．１）の第二の磁石グループ（ＭＧｂ）から、第一の平均コイル間隔（Ｓ１）に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔（Ｓ２）を開けて配置されており、この運搬ユニット（ＴＥ１．１）では、この少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）の磁極ピッチ（Ｔａ）が、この少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）の磁極ピッチ（Ｔｂ）よりも小さいことを特徴とする運搬機器。
2. 請求項１に記載の運搬機器（１）において、
   この運搬機器（１）では、少なくとも２つの運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）が配置され、これらの運搬ユニットには、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）で順番に配置された、異なる磁化方向の複数の駆動磁石（４）から成る少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）と少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）がそれぞれ配置されており、各運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の全ての磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）が同じ磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）を有するとともに、これらの少なくとも２つの運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）が異なることを特徴とする運搬機器。
3. 請求項２に記載の運搬機器（１）において、
   第一のコイルグループ（ＳＧ１）の駆動コイル（ＡＳ１）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の第一の磁石グループ（ＭＧａ）から第一の平均コイル間隔（Ｓ１）を開けて配置され、第二のコイルグループ（ＳＧ２）の駆動コイル（ＡＳ２）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の第二の磁石グループ（ＭＧｂ）から、第一の平均コイル間隔（Ｓ１）に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔（Ｓ２）を開けて配置され、
   運搬面（３）において、より小さな磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）を有する運搬ユニット（ＴＥ１．２）に対して、第一の移動パス（ＢＰ１）が定められて、この移動パスに沿って、この運搬ユニット（ＴＥ１．２）を動かすことが可能であり、運搬面（３）において、より大きな磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）を有する少なくとも１つの別の運搬ユニット（ＴＥ２）に対して、第二の移動パス（ＢＰ２）が定められて、この移動パスに沿って、この運搬ユニット（ＴＥ２）を動かすことが可能であり、この第一の移動パス（ＢＰ１）の移動パス長（ＬＢＰ１）における第一の主移動方向（Ｈ１）の部分が、第二の主移動方向（Ｈ２）の部分よりも大きく、この第二の移動パス（ＢＰ２）の移動パス長（ＬＢＰ２）における第一の主移動方向（Ｈ１）の部分が、第二の主移動方向（Ｈ２）の部分よりも小さいことを特徴とする運搬機器。
4. 請求項１～３のいずれか一項に記載の運搬機器（１）において、
   少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）の少なくとも１つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の駆動磁石（４）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）が、それと協力して動作する駆動コイル（ＡＳ１，ＡＳ２）の平均コイル間隔（Ｓ１，Ｓ２）に依存して定められることを特徴とする運搬機器。
5. 請求項１～４のいずれか一項に記載の運搬機器（１）において、
   少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）の少なくとも１つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の駆動磁石（４）の運搬面（３）に対する法線方向における磁石の高さ（ＭＨｉ）及び／又は磁石の幅（ＭＢｉ）が、各磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）に依存して定められることを特徴とする運搬機器。
6. 請求項１～５のいずれか一項に記載の運搬機器（１）において、
   少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）の磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）が、同じ大きさの磁石グループ面積（ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂ）及び／又は同じ磁石数（ＮＭａ＝ＮＭｂ）の駆動磁石（４）を有することと、
   この少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）が、正方形又は長方形の運搬ユニットベース面を有することとの中の１つ以上を特徴とする運搬機器。
7. 請求項１～６のいずれか一項に記載の運搬機器（１）において、
   少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）のそれぞれ少なくとも１つの磁石グループの駆動磁石（４）が、同じ大きさの磁石幅（ＭＧｉ）を有し、この磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の隣り合う駆動磁石（４）が、互いに直に隣接することを特徴とする運搬機器。
8. 請求項１～７のいずれか一項に記載の平面モーターの形の運搬機器（１）のための運搬ユニット（ＴＥ１．１）であって、この運搬ユニットには、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）で順番に配置された、異なる磁化方向の複数の駆動磁石（４）から成る少なくとも２つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）が配置され、これらの少なくとも２つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）が異なる運搬ユニットにおいて、
   少なくとも１つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の駆動磁石（４）の磁石の幅（ＭＢｉ）及び／又は運搬ユニット下側に対する法線方向における磁石の高さ（ＭＨｉ）が各磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）に依存して定められることを特徴とする運搬ユニット。
9. 請求項８に記載の運搬ユニット（ＴＥ１．１）において、
   それぞれ少なくとも１つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の駆動磁石（４）が、同じ大きさの磁石幅（ＭＢｉ）を有し、この磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の隣り合う駆動磁石（４）が互いに直に隣接することを特徴とする運搬ユニット。
10. 請求項８又は９に記載の運搬ユニット（ＴＥ１．１）において、
    少なくとも２つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）が同じ大きさの磁石グループ面積（ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂ）及び／又は同じ磁石数（ＮＭａ＝ＮＭｂ）の駆動磁石（４）を有することと、
    この運搬ユニット（ＴＥ１．１）が正方形又は長方形の運搬ユニットベース面を有することとの中の１つ以上を特徴とする運搬ユニット。
11. 運搬面（３）を形成する少なくとも１つの運搬セグメント（２）と、この運搬面（３）内を少なくとも二次元的に動かされる少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）とを備えた、平面モーターの形の運搬機器（１）を動作させる方法であって、
    この運搬セグメント（２）には、複数の駆動コイル（ＡＳ１，ＡＳ２）が配置され、この運搬ユニット（ＴＥ）には、所定の配列方向に所定の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）で順番に配置された、異なる磁化方向の複数の駆動磁石（４）から成る少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）と少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）が配置され、
    この少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）では、この少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）とこの少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）に関して、異なる磁極ピッチ（Ｔａ≠Ｔｂ）が設けられ、
    この運搬セグメント（２）には、運搬ユニット（ＴＥ１．１）を移動させる第一の主移動方向（Ｈ１）を定義する、複数の駆動コイル（ＡＳ１）から成る第一のコイルグループ（ＳＧ１）が配置されるとともに、運搬ユニット（ＴＥ１．１）を移動させる第二の主移動方向（Ｈ２）を定義する、複数の駆動コイル（ＡＳ２）から成る第二のコイルグループ（ＳＧ２）が配置される方法において、
    第一のコイルグループ（ＳＧ１）の駆動コイル（ＡＳ１）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．１）の第一の磁石グループ（ＭＧａ）から第一の平均コイル間隔（Ｓ１）を開けて配置され、第二のコイルグループ（ＳＧ２）の駆動コイル（ＡＳ２）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．１）の第二の磁石グループ（ＭＧｂ）から、第一の平均コイル間隔（Ｓ１）に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔（Ｓ２）を開けて配置され、この少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）では、この少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）の磁極ピッチ（Ｔａ）が、この少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）の磁極ピッチ（Ｔｂ）よりも小さく定められることを特徴とする方法。
12. 請求項１１に記載の方法において、
    少なくとも２つの運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）が、この運搬機器（１）の運搬面（３）内を動かされ、これらの運搬ユニットには、それぞれ所定の配列方向に所定の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）で順番に配置された、異なる磁化方向の複数の駆動磁石（４）から成る少なくとも１つの第一の磁石グループ（ＭＧａ）と少なくとも１つの第二の磁石グループ（ＭＧｂ）がそれぞれ配置されており、各運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の全ての磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）に関して、同じ磁極ピッチ（Ｔａ＝Ｔｂ）が設けられ、これらの少なくとも２つの運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）が異なることを特徴とする方法。
13. 請求項１２に記載の方法において、
    第一のコイルグループ（ＳＧ１）の駆動コイル（ＡＳ１）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の第一の磁石グループ（ＭＧａ）から第一の平均コイル間隔（Ｓ１）を開けて配置され、第二のコイルグループ（ＳＧ２）の駆動コイル（ＡＳ２）が、運搬面（３）に対する法線方向に、運搬ユニット（ＴＥ１．２，ＴＥ２）の第二の磁石グループ（ＭＧｂ）から、第一の平均コイル間隔（Ｓ１）に対して相対的により大きな第二の平均コイル間隔（Ｓ２）を開けて配置され、
    より小さな磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）を有する運搬ユニット（ＴＥ１．２）が、定められた第一の移動パス（ＢＰ１）に沿って運搬面（３）内を動かされ、より大きな磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）を有する少なくとも１つの別の運搬ユニット（ＴＥ２）が、定められた第二の移動パス（ＢＰ２）に沿って運搬面（３）内を動かされ、これらの移動パス（ＢＰ１，ＢＰ２）は、この第一の移動パス（ＢＰ１）の移動パス長（ＬＢＰ１）における第一の主移動方向（Ｈ１）の部分が、第二の主移動方向（Ｈ２）の部分よりも大きくなるとともに、この第二の移動パス（ＢＰ２）の移動パス長（ＬＢＰ２）における第一の主移動方向（Ｈ１）の部分が、第二の主移動方向（Ｈ２）の部分よりも小さくなるように定められることを特徴とする方法。
14. 請求項１１～１３のいずれか一項に記載の方法において、
    少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）の少なくとも１つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の駆動磁石（４）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）が、それと協力して動作する駆動コイル（ＡＳ１，ＡＳ２）の平均コイル間隔（Ｓ１，Ｓ２）に依存して定められることを特徴とする方法。
15. 請求項１１～１４のいずれか一項に記載の方法において、
    少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）の少なくとも１つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の駆動磁石（４）の磁石の幅（ＭＢｉ）及び／又は運搬面（３）に対する法線方向における磁石の高さ（ＭＨｉ）が、各磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）の磁極ピッチ（Ｔａ，Ｔｂ）に依存して定められることを特徴とする方法。
16. 請求項１１～１５のいずれか一項に記載の方法において、
    少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）の少なくとも２つの磁石グループ（ＭＧａ，ＭＧｂ）に関して、同じ大きさの磁石グループ面積（ＡＭＧａ＝ＡＭＧｂ）及び／又は同じ磁石数（ＮＭａ＝ＮＭｂ）の駆動磁石（４）が設けられることと、
    この少なくとも１つの運搬ユニット（ＴＥ１．１）に関して、正方形又は長方形の運搬ユニットベース面が設けられることとの中の１つ以上を特徴とする方法。

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