JP2023506867A - プラズマの生成に使用するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、ハウジング510の一部は、遮蔽材料(例えば、コーティングされる)で提供され得、および/または1つ以上の独立したシールド要素は、集束部材と電磁石11との間の領域に提供され得る。
Claims (28)
- 長さを有するプラズマアンテナを使用してプラズマを生成する方法であって、前記方法は、RF周波数電流で前記プラズマアンテナの導電体を駆動することと、前記アンテナの前記長さに沿った方向に第1の位置と前記第1の位置から離れた第2の位置との両方でプラズマを生成することと、少なくとも1つのシールド部材の結果としてプラズマの生成が削減される前記第1の位置と前記第2の位置との間に前記アンテナに隣接する領域が存在することを含む、長さを有するプラズマアンテナを使用してプラズマを生成する方法。
- 前記第1の位置および前記第2の位置の一方または両方で生成された前記プラズマは、前記アンテナの周囲に300度超で円周方向に延在する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の位置および前記第2の位置の一方または両方で生成された前記プラズマは、前記アンテナの周囲に270度未満で円周方向に延在する、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、前記アンテナの周囲のプラズマの前記生成を300度超に制限する、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、前記アンテナの周囲のプラズマの前記生成を270度未満に制限する、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、前記第1の位置および前記第2の位置の一方または両方でのプラズマの前記生成を制限する、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、前記アンテナの前記長さに沿った方向で、前記第2の位置から前記第1の位置の反対側にある、または前記アンテナの前記長さに沿った方向で、前記第1の位置から前記第2の位置の反対側にある、さらなる領域でのプラズマの前記生成を制限する、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、100未満の比透磁率を有する材料を備える、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、部分的または完全なファラデーケージの形態である、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、電磁遮蔽導電性材料を備える、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、固定電位に保持される、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、誘電体材料を備える、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記アンテナは、強磁性材料を備えるプラズマ集束部材によって増強および/または集束される磁場を生成する、請求項1から12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記アンテナは、材料の気密管の内部に少なくとも部分的に収容される、請求項1から13のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記シールド部材は、材料の前記気密管の外部に取り付けられる、請求項14に記載の方法。
- 前記第1の位置と第2の位置との間の前記アンテナの前記長さは、線形である、請求項1から15のいずれか一項に記載の方法。
- 互いに横方向に離間された少なくとも2つの長さのプラズマアンテナを使用してプラズマを生成することを含む、請求項1から16のいずれか一項に記載の方法。
- 前記プラズマとターゲットとの間の相互作用を引き起こすように前記プラズマを閉じ込めることを含む、請求項1から17のいずれか一項に記載の方法。
- 基板上に材料を堆積させる方法であって、前記方法は、
請求項1から18のいずれか一項に記載の方法を実行することによって、プラズマスパッタリングに適した1つ以上のスパッタターゲットから離れたプラズマを生成するステップと、
前記プラズマを使用して、1つ以上のスパッタターゲットからスパッタ材料を生成するステップと、
前記スパッタ材料を前記基板上に堆積させるステップと、
を含む、基板上に材料を堆積させる方法。 - プラズマを使用して1つ以上のターゲットからスパッタ材料を生成する前記ステップは、電場および/または磁場を使用して、前記プラズマがターゲットから材料をスパッタするような方法で、前記プラズマを閉じ込めるおよび/または制御することを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記プラズマは、少なくとも部分的に、少なくとも1つの前記シールド部材の使用の結果として、ターゲットにおいて均一な密度を有する、請求項19または請求項20に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのシールド部材と共に提供され、アンテナおよび少なくとも1つの前記シールド部材は、共にプラズマアンテナアセンブリを形成する、請求項1から21のいずれか一項に記載の方法で使用するためのプラズマアンテナ。
- プラズマアンテナアセンブリであって、前記アセンブリは、アンテナとハウジングとを備え、ここで、
前記アンテナは、長さを有し、
前記アンテナは、RF周波数電流によって電力が供給されるとき、アンテナの長さに沿った方向に第1の位置と第1の位置から離れた第2の位置との両方でプラズマを生成するように構成され、
前記ハウジングは、第1の位置と第2の位置との間にアンテナに隣接する領域があり、使用中に、そこで少なくとも前記1つのシールド部材の結果としてプラズマの前記生成が抑制されるように配置された少なくとも1つのシールド部材を有する、
プラズマアンテナアセンブリ。 - 請求項22および/または請求項23に記載の1つ以上のプラズマアンテナアセンブリを備えるプラズマ反応器。
- 請求項22および/または請求項23に記載の1つ以上のプラズマアンテナアセンブリを備える堆積装置。
- 前記プラズマアンテナは、スパッタターゲットから離れてプラズマを生成するように構成される、請求項24に記載のプラズマ反応器または請求項25に記載の堆積装置。
- 請求項19から21のいずれか一項に記載の方法を使用して堆積された材料の層を備える構成要素を備える電子デバイス。
- 前記構成要素は、材料の前記層が堆積された基板を含む、請求項27に記載の電子デバイス。
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JP2000345351A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-12 | Anelva Corp | プラズマcvd装置 |
JP2004055600A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-19 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2009140899A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Sungkyunkwan Univ Foundation For Corporate Collaboration | フェライト構造体を備えるプラズマソース及びこれを採用するプラズマ発生装置 |
JP2011181292A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Emd:Kk | プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置 |
WO2011131921A1 (en) * | 2010-04-20 | 2011-10-27 | Plasma Quest Limited | High density plasma source |
US20160079042A1 (en) * | 2014-09-11 | 2016-03-17 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Uniformity Control using Adjustable Internal Antennas |
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JP3290777B2 (ja) * | 1993-09-10 | 2002-06-10 | 株式会社東芝 | 誘導結合型高周波放電方法および誘導結合型高周波放電装置 |
JPH11317299A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-11-16 | Toshiba Corp | 高周波放電方法及びその装置並びに高周波処理装置 |
US20030087488A1 (en) * | 2001-11-07 | 2003-05-08 | Tokyo Electron Limited | Inductively coupled plasma source for improved process uniformity |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000345351A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-12 | Anelva Corp | プラズマcvd装置 |
JP2004055600A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-19 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2009140899A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Sungkyunkwan Univ Foundation For Corporate Collaboration | フェライト構造体を備えるプラズマソース及びこれを採用するプラズマ発生装置 |
JP2011181292A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Emd:Kk | プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置 |
WO2011131921A1 (en) * | 2010-04-20 | 2011-10-27 | Plasma Quest Limited | High density plasma source |
US20160079042A1 (en) * | 2014-09-11 | 2016-03-17 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Uniformity Control using Adjustable Internal Antennas |
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