一般的な態様において、リュードベリ原子ベースのセンシングに関連してシングルピクセルカメラ(SPC)を使用し、高周波数(MHz~THz)を有する電磁場を測定するイメージングシステムおよび方法が提示される。そのような電磁場は、たとえば、弱い強度(<1mV/cm)の電場を含むことが可能である。シングルピクセルカメラは、パターン化された光の発生器を含むことが可能である。パターン化された光の発生器は、供給源から光信号を受け取り、選択的に可変のマスクパターンを使用して、光信号のパターン化された(または、光学的に構造化された)インスタンスを発生させるように構成されている。パターン化された光の発生器の例は、マイクロミラーデバイス(または、デジタルマイクロミラーデバイス)、空間光変調器、および液晶ディスプレイを含む。また、シングルピクセルカメラは、光検出器を含むことが可能である。光検出器は、パターン化されたインスタンスの光学的な特質(たとえば、それらの強度)を測定するように構成されており、測定された光学的な特質を表す信号(たとえば、電気信号)を発生させるように構成されている。いくつかの変形例において、光学経路は、パターン化された光の発生器から光検出器へ延在している。いくつかの変形例において、複数の光学経路が、パターン化された光の発生器から複数のそれぞれの光検出器へ延在している。
シングルピクセルカメラは、従来のピクセルアレイ(CCD/CMOS)センサーを上回る多くの利点をもたらす。とりわけ、シングルピクセルカメラは、従来のアナログ信号処理技法(たとえば、ロックイン増幅または別の変調技法)の使用を可能にし、イメージング電磁場をイメージングするときに信号対雑音比(SNR)を劇的に増加させる。そのうえ、イメージングされることとなる電磁場は、比較的に低い空間周波数によって支配されている可能性が高いので、圧縮サンプリング技法は、イメージ獲得を大幅にスピードアップするように実装され得る。これらのサンプリング技法は、弱い電場のビデオレートイメージングを可能にする。イメージング方法は、偏光感受性検出を含み、電磁場のイメージングをさらに改善することが可能である。また、イメージング方法は、ハイパースペクトルイメージング(たとえば、イメージの中のそれぞれのピクセルに関してスペクトルを獲得すること)を含み、電磁場のイメージングをさらに改善することが可能である。
レーダーおよび医療用イメージングと同様に、革新的な現代の通信に必要とされる高周波数(たとえば、>30GHz)における試験は、複数のシステムエレメントの間の統合のより高いレベルに起因して困難であることとなる。そして、そのようなより高い統合は、無線試験(OTA)を特に重要なものにする。OTA試験は、ラジオ波がOTAを伝播するときに起こるものをエンジニアが観察および測定することを可能にする。そのような統合の例は、高周波電子機器におけるアンテナとトランシーバーシステムおよび増幅器との融合である。高度に統合されて洗練されたシステムの試験は、とりわけ、ミリ波レジームにおいて、自動車産業および輸送産業、レーダー産業、ならびに電気通信産業にとって、迫り来る問題として広く認識されている。この問題は、非常に根源的であるので、現時点では、産業アナリストは、それが市場成長に悪影響を及ぼすと予測している。そのうえ、電子デバイスが大衆化するときに生産規模を増加するという問題は、重要な課題であり、業界の懸念事項である。その理由は、多くの場合に、電子デバイスが製造の間に試験を必要とすることとなるからである。
高周波電子機器(とりわけ、30GHzよりも大きい周波数におけるアンテナ)の試験は困難である。その理由は、単一のテストアンテナが、デバイスの遠距離場において(たとえば、測定アンテナがテスト対象デバイス(DUT:device-under-test)と干渉しないように、DUTから十分に遠くに離れて)波長またはサブ波長の精度で精密に走査されなければならないからである。ミリメートル波および統合されたデバイスは、他に類を見ないほど困難である。たとえば、ミリメートル波は、基板チップの上での小型のアンテナおよび複数エレメントのフェイズドアレイの開発を可能にする。しかし、アンテナ、チップエレメント、および基板の間の相互作用は、システム性能に顕著な影響を与える可能性がある。これらのタイプのアンテナは、アンテナが締結される回路基板から独立して、または、さらには、アンテナを取り囲むパッケージングから独立して設計されることができない。ハンドヘルドデバイスまたはウェアラブルデバイスに関して、デバイスの機能性に対して人体が有する影響をテストすることが非常に重要である。研究開発(R&D)局面および生産局面の両方において、フルシステム試験が要求される。それぞれのデバイスは、それが市場に出ることができる前にさまざまな規制を順守していなければならない。また、ベンダーも、競争力を高めるために、自社の製品に仕様を順守させることに関心を持っている。製造業者は、事前に認証されたコンポーネントまたはモジュールを使用することによって、適合試験をある程度回避することが可能であるが、放射デバイス認証テストが、すべての無線機器対応デバイスおよび多くのラジオ周波数電子機器に必要とされる。OTA試験は、組立ラインにとって、および、開発ラボにおいて不可欠であることとなる。現在では、とりわけ、自動車レーダーシステムに関して予想されるようなものなど、大量生産が必要とされるときに、生産ラインの上でこれらのタイプのシステムをテストする優れた方法は存在しない。
そのうえ、遠距離場イメージングは、空間分解能の要件および反射からの干渉の難しさを考慮すると困難である。電磁場の近接場イメージングは有利である。その理由は、遠距離場が単一の平面におけるフルイメージ(振幅および位相)から推定され得るからである。しかし、現在、関心の領域を横切って高い空間分解能で単一の双極子アンテナをうんざりするほど走査する以外に、近接場イメージングを行うのに効果的な方法は存在しない。単一のセンサーアンテナのみが使用され得る。その理由は、それが放出されるフィールドと干渉し、双極子アンテナのサイズによって制約されるからである。リュードベリ原子ベースのセンサー(全誘電材料から構築されている)は、DUTの放出されたフィールドと最小限に干渉する真のパッシブセンサーに最も近いものを提供する。したがって、この最小の干渉は、高分解能近接場イメージングにおけるリュードベリ原子ベースのセンサーの使用を可能にする。そのうえ、イメージングのためにリュードベリ原子ベースのセンサーを使用し、高スループット用途および設計のためのリアルタイム調節を可能にする、リアルタイムシステムを有することが望ましい。
デバイスのOTA試験は、典型的に、R&D段階において行われ、DUTから放出される電磁波のパターンを識別する。その理由は、OTA試験が複雑で時間がかかるからである。試験は、典型的に、大きな無響室において行われ、較正されたテストアンテナが、DUTの電磁場の上を高精度で機械的に走査される。そのような試験の速度およびコストは、通常、組立ラインの上でのその使用、または、サプライチェーンの後期における診断としてのその使用を妨げる。多くの開発技術に関して(たとえば、レーダーシステムに依存する無人運転車など)、安全および機能性を保証するために、厳密な標準が満たされなければならず、次いで、OTA試験の難しさが問題となる。厳しい仕様を満たす必要性を強調する例は、先進的な5G通信を意図したデバイスである。そのようなデバイスによって、電磁放射線の波長はより短くなり、所与のパワーレベルに関する透過距離が減少する。ビーム形成およびサイドローブ抑制は、そのようなデバイスの機能性にとって重要である。
そのうえ、マルチプル-イン-マルチプル-アウト(MIMO)ビーム形成技術に対するさらなる強化は、高周波集積回路コンポーネント(たとえば、アンテナモジュールと統合されることとなるパワー増幅器およびトランシーバーなど)のための新しい設計を必要とすることとなる。ベンダーおよびキャリアの両方は、高い接続性を保証するために、送信パワーの増加または放射エネルギーをシャープで狭いビームへ集束させることの強化を通して、通信範囲を最適化しなければならないこととなる。これらの特性の試験は、高レベルのシステム統合によって複雑化されている。これらの問題は、高周波信号が普及しつつある幅広い産業に広がっている(たとえば、輸送、オートメーション、通信、および医療など)。都市、ヘルスケア、工業製造、および自律走行車両に対するモノのインターネット(IoT)ベースの改善は、本明細書で開示されているイメージング方法およびシステムに関する適用可能性のすべてのエリアである。
新しい効率的なOTA試験は、近い将来、より速い市場化時間の開発、より良好な品質制御、および、より高い効率のデバイスを通して、かなりの量のコストを節約することとなる。より洗練された先進的な製品が、効率的なOTA試験によって実現され得る。OTA試験は、システム全体の機能性を測定することが可能である。OTA試験は、ワイヤレスデバイスのCellular Telecommunications and Internet Association(CTIA)認証、および、他の標準化団体(たとえば、European Telecommunications Standards Institute(ETSI)など)に関してすでに要求されている。ワイヤレスデバイスがますますコンパクトになるにつれて、これらのデバイスおよびシステムの性能を評価することが重要である。OTA試験は、デバイス性能を評価すること、および、デバイスのターゲット環境における信頼性を予測することが可能である。デバイスがますます複雑になるにつれて、組立ライン試験が不可欠である。その理由は、故障率が、会社のビジネスを失わせるだけでなく、訴訟およびコストのかかるリコールをも結果として生じさせる可能性があるからである。
リュードベリ原子ベースのセンサーには、2つの動作のレジームが存在している。強力なRFフィールド(典型的に、>1mV/cm)に関して、電磁波誘起透明化(EIT:electromagnetically-induced transparency)は、スペクトル的に2つの成分に分解される。周波数スプリッティングは、駆動RFフィールドの強度に直接的に比例しており、また、プローブまたはリュードベリカップリングレーザーのいずれかが共鳴線を横切って走査されるときに、プロービングレーザーの透過スペクトルを測定することによって、直接的に読み取られ得る。共鳴の上の透過されたレーザーパワーの絶対的な変化は変化するが、典型的に、合計入射レーザーパワーの1%程度である。
弱いラジオ周波数フィールド(典型的に、<1mV/cm)に関して、フィールド強度は、共鳴におけるスペクトル特徴の透過率の変化から測定され得、したがって、両方のレーザーが原子共鳴周波数にロックされた状態で行われ得る。このレジームでは、透過されたパワーの絶対的な変化は、高パワーレジームにおけるものよりもはるかに小さく、合計レーザー強度の~0.01%であることが可能である。そのような小さい変化は、大きなバックグラウンド信号の上で測定することが難しく、通常は、信号処理電子機器(たとえば、ロックイン増幅器など)、または、良好な信号対雑音比(SNR)を実現するための他の変調/復調技法を必要とする。
したがって、従来のイメージング技法をRFフィールドイメージングの問題に適用することは、カメラから要求される大きなダイナミックレンジに起因して、極めて困難である。従来のカメラは、キャプチャーされることとなるイメージの1つの空間エレメント(すなわち、ピクセル)をそれぞれ測定する感光性セルの2次元アレイに基づいている。現代のカメラセンサーは、何百万ものピクセルを有しており、可視波長および近赤外線波長(300~1000nm)に関して、センサーは、シリコンに基づいており、シリコンは、デバイスの中への製作、統合、および小型化のための非常に成熟した半導体産業を有している。しかし、これは、高コントラストイメージに関して問題ないが、リュードベリ原子センサーによって電磁場をイメージングすることに関して、絶対的なコントラストが低い。測定されることとなる信号が大きな直流電流(DC)バックグラウンドの上に乗っているので、低い絶対的なコントラストが起こる。代替的な方法は、このイメージング用途に関して有用である可能性がある。
本明細書で開示されているイメージング方法およびシステムは、シングルピクセルカメラを含む。シングルピクセルカメラ(代替的に、「コンピュテーショナルカメラ」として知られる)は、その名前が示唆するように、イメージを構築するためにたった1つの感光性エレメント(たとえば、光検出器)を使用する。空間分解能は、迅速に変化するマスクパターンによってイメージの一部を選択的に透過するかまたは遮断することによって取得される。たとえば、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)は、イメージの一部を選択的に透過するかまたは遮断するために使用され得る。DMDは、ミラーの2次元アレイであり、ミラーのそれぞれは、電気機械的なアクチュエーターの上に置かれており、「オン」位置または「オフ」位置のいずれかに独立して設定され得る。「オン」位置または「オフ」位置は、入って来る光がいくらかの角度±θで反射されて戻ることに対応することが可能であり、ここで、θは、典型的に、正確なDMDモデルに応じて、10~25度の間にある。迅速に変化するマスクパターンを発生させることができるデバイスの他の例は、空間光変調器および液晶ディスプレイを含む。
多くの態様において、本明細書で開示されているイメージング方法およびシステムは、リュードベリ原子電位測定法の原理にしたがって動作するシングルピクセルカメラおよび蒸気セルセンサーを使用して、放射電場振幅、周波数、および位相のイメージを獲得する。シングルピクセルカメラは、読み出しレーザーをイメージングするために使用される。読み出しレーザーからのビームは、蒸気セルとの相互作用の間に修正され、放射電場についての情報を運搬する。そのような獲得は、アンテナおよび他の高周波数(GHz~THz)デバイスおよび電子機器が近接場においてテストされることを可能にすることができる。蒸気セルセンサーは、高フィールド振幅レジーム(high-field amplitude regime)(たとえば、約1mV/cmよりも大きい)または低フィールド振幅レジーム(たとえば、約1mV/cmよりも小さい)のいずれかにおいて動作され得る。高フィールド振幅レジームは、蒸気セルセンサーの光学透過率におけるスペクトルスプリッティングが解像可能である電場の大きさに対応することが可能であり、低フィールド振幅レジームは、蒸気セルセンサーの光学透過率におけるスペクトルスプリッティングが解像可能でない電場の大きさに対応することが可能である。イメージの中のそれぞれのエレメント(または、光学的に解像可能なポイント)は、絶対的なセンサーであり、標準および/またはコンプライアンス試験におけるその使用を可能にする。カメラシステムのスループット(たとえば、フレームレート)は、とりわけ、(必ずしもそうではないが)圧縮サンプリング技法が用いられる場合には、比較的に高くなっていることが可能であり、生産ライン環境における使用を可能にする。このスループットは、放射電場の1つまたは複数の予期される特質が知られている場合には(たとえば、モデリングの結果として、イメージ獲得の間のフィードバックの結果としてなど)、さらに増加させられ得る。多くの実装形態において、イメージング方法およびシステムは、シングルピクセルカメラと組み合わせられたリュードベリ原子電位測定法を使用して、電場振幅、周波数、および/または位相情報をイメージングし、アンテナおよび他の高周波数デバイスが、小さい体積で、近接場において、および、高い感度で、OTAテストされ得るようになっている。
シングルピクセルカメラは、電磁放射線の空間的特質(たとえば、振幅、位相、および周波数など)を決定するために使用され得る。たとえば、シングルピクセルカメラは、電磁場(たとえば、電場、磁場、または、その両方)の振幅の空間的特質を決定することが可能である。別の例では、シングルピクセルカメラは、DUTと基準電磁場との間の干渉によって発生させられるホログラフィックイメージを決定することが可能である。読み出し方法は光学場に基づいているので、空間分解能は、ラジオ周波数(RF)波長よりもはるかに小さくなることが可能であり、空間分解能とイメージング速度とのバランスをとるために正確なテスト要件に基づいて調節され得る。イメージングされ得る電磁場の空間的範囲は、蒸気セルセンサー(または、ソリッドステートシステムの中の色中心などのような他のRF感受性の原子のようなシステム)の空間的範囲によって設定される。位相分解能は、イメージングセンサーの厚さ、および、読み出しレーザーのイメージングの空間分解能によって設定される。また、位相分解能は、RF波長よりもはるかに小さくされ得る。例として、64x64ピクセルによってイメージングされる、寸法12x12x0.25mmを有する平面型蒸気セルセンサーは、75GHzのRF周波数における4mmのRF波長に対して、λ/20よりも良好な空間分解能およびλ/16の位相分解能を有することとなる。
シングルピクセルカメラは、低フィールド振幅レジームにおける高感度イメージングを可能にする。その理由は、シングルピクセルカメラを組み込むイメージングシステムが、変調/復調技法のための高速アナログおよびデジタル電子機器を統合することができるからである。そのような技法は、ロックイン検出またはさまざまな形態の周波数変調(FM)分光法を含むことが可能である。また、信号対雑音比を増加させるために、他の形態のアナログまたはデジタル信号処理も使用され得る。信号処理の多くは、デジタル化の前に達成され得、ダイナミックレンジが、正確な用途に応じて、イメージ単位で調整され得、および/または、リアルタイムで最適化され得るようになっている。加えて、シングルピクセルカメラが単一の感光性エレメントに基づいているので、検出器が最適に選ばれ得る。シングルピクセルカメラは、従来のカメラが動作する範囲の外側にある特定の波長(または、波長の範囲)に敏感であることが可能である。
イメージングシステムの1つの可能な構成は、複数のシングルピクセルカメラを並列に使用し、イメージ複数の光学的な波長を同時にイメージングし、相関された検出を使用し、感度を改善することである。イメージングシステムの別の可能な構成は、複数の蒸気(たとえば、RbおよびCs原子種)を伴う蒸気セルセンサーを使用することであり、それは、別のセットの励起レーザーと組み合わせられ、精密度を高めるか、または、DUTから放出される電磁場の2つ以上の周波数をイメージングする。多波長シングルピクセルカメライメージングセットアップによって、完全な空間的なオーバーラップを伴って、2つの完全に独立したRF周波数を同時にイメージングすることが可能である。このイメージングセットアップにおいて、空間情報は、波長にとらわれない選択的に可変のマスクパターン(たとえば、DMD、空間光変調器、液晶ディスプレイなど)によって設定され得る。イメージングシステムのさらなる可能な構成は、検出システムにおいて偏光感受性イメージングを使用し、電磁場の偏光を推定することである。
いくつかの態様において、イメージング方法およびシステムは、選択的に可変のマスクパターンを含む。動作の間に、選択的に可変のマスクパターンは、制御信号に応答して光学パターンの間で選択的に切り換え、イメージの空間情報を獲得する。処理の後のフルイメージの読み出しは、リアルタイムであることが可能である。その理由は、ビデオフレームレートおよびそれ以上(20~30Hz)が実現され得るからである。高フレームレートは、組立ラインの上でのフィードバックベースのチューニングまたは適用を可能にする。また、イメージング方法およびシステムは、圧縮サンプリング技法または測定されているターゲット電磁場の先験的知識を利用し、イメージング速度をさらに改善することが可能である。
イメージング方法およびシステムは、高フィールド振幅レジームまたは低フィールド振幅レジームのいずれかと互換性があり、直線性試験または超低パワーデバイスの試験を可能にする。いずれかのフィールド振幅レジームにおいて、それぞれのイメージエレメント(または、シングルピクセル)は、絶対的なセンサーであり、したがって、それが標準として使用され得る。任意の所与の平面における電磁場振幅および位相の知識によって、波動伝播アルゴリズム(たとえば、フレネル変換など)を使用し、任意の他の平面におけるフィールド情報を外挿することが可能である。
シングルピクセルカメラは、イメージング構成におけるリュードベリ原子ベースの電場センシングに関連付けられる信号処理の課題を克服する。電磁場の非存在下における蒸気媒体(たとえば、アルカリ蒸気)を通るプローブレーザーの光学透過率は、入射パワーの大部分になることが可能であり、典型的に、蒸気セルセンサーを通る光学経路長さ(たとえば、蒸気セルセンサーの厚さ)に応じて、50%程度である。弱いフィールドレジームでは、蒸気セルセンサーによって測定される電磁場の存在に起因するプローブレーザー透過率の絶対的な変化は、典型的に非常に小さく、合計入射パワーの0.01%程度である。従来のカメラシステムによって、検出は、DC連結されており、信号がデジタル化される前に、ピクセル単位で信号処理を実行する機会は存在しないが、複数のピクセルの平均化は可能であり得る。したがって、電場に起因する変化を検出するために、5000またはそれ以上のダイナミックレンジが望まれる。デジタル信号の観点から、そのような検出は、イメージングセンサーが13ビット以上の有効ビット深度(すなわち、雑音を含む)を有することを必要とする。このレベルのビット深度は、熱雑音(たとえば、ダークカウント)および読み出し雑音を所与として、ほとんどのイメージングセンサーにとって困難である。高いビット深度を伴って利用可能な商業用のイメージングセンサーが存在しているが、イメージングセンサーは、通常、ダークカウントを最小化するために、アクティブ冷却を必要とする。高価であることに加えて、冷却要件は、結果として生じる任意のカメラシステムに重要なバルク要件および電力要件を追加し、将来の小型化および統合に関する可能性を制限する。
シングルピクセルカメラを組み込むイメージング方法およびシステムは、顕著な利点を可能にする。たとえば、シングルエレメント検出器の上での検出は、アナログドメインにおいて行われ、したがって、信号対雑音比を最適化するための信号処理技法と互換性がある。検出は、AC連結され得、したがって、大きなDCバックグラウンドの上での小さな変化が隔離および増幅され得、小さな電場のピクセル単位の測定を可能にする。そのうえ、検出スキームは、小さなフィールド振幅に限定されず、イメージング方法およびシステムは、高振幅レジームおよび低振幅レジームに容易に適用可能である。そのうえ、シングルエレメント検出器が使用されているので、信号処理は、デジタル化の前にアナログドメインにおいて行われるか、または、デジタル化の後にソフトウェアにおいて行われるかのいずれかであることが可能である。
イメージングは、光学的な配置に対する最小の変化を伴って、イメージ平面またはフーリエ平面のいずれかにおいて行われ得る。2つの平面の間で切り換えることは、光学フィルタリングをイメージ獲得に適用するための特定の状況において有利である可能性がある。
また、イメージング方法およびシステムは、光学的なセットアップにわずかな変更を加えるだけで偏光感受性イメージングを可能にし、偏光分解RFイメージングを可能にする。ビデオレートまたはより高いレートの(20~30Hz)イメージングが可能であり、生産環境への統合、または、デバイスのリアルタイム最適化を可能にする。圧縮サンプリングまたはターゲット電磁場の知識は、フレームレートをさらに増加させるために使用され得る。イメージングされることとなる電磁場は、低い空間周波数によって、滑らかに変化している可能性があるので、圧縮サンプリングは、そのようなフィールドに関して非常に効果的であるはずである。結果として、圧縮サンプリングは、許容できるほどに小さいイメージ品質の損失によって、フレームレートの大幅な増加を可能にすることができる。そのうえ、本明細書で開示されているイメージング方法およびシステムは、シングルエレメント検出器を含み、シングルエレメント検出器は、従来のカメラよりもコスト効率が良くなる可能性がある。また、シングルエレメント検出器は、リュードベリ原子ベースの電磁イメージングのサイズおよびパワー消費を低減させるために使用され得る。
ここで、図1を参照すると、電磁放射線のイメージを構築するためのシングルピクセルカメラ102を有する例示的なイメージングシステム100の概略図が表されている。電磁放射線は、100MHz~1THzの範囲にある周波数を有することが可能である。例示的なイメージングシステム100は、光信号を発生させるためのレーザーシステム104を含む。レーザーシステム104は、それぞれの出力信号(たとえば、それぞれの光のビームなど)を発生させるための2つ以上のレーザーを含むことが可能である。たとえば、図1に示されているように、レーザーシステム104は、第1の光のビーム108を発生させるように構成されている第1のレーザー106と、第2の光のビーム112を発生させるように構成されている第2のレーザー110とを含むことが可能である。第1および第2の光のビーム108、112は、852nmおよび509nmの波長をそれぞれ有することが可能である。しかし、他の波長も可能である。また、レーザーシステム104は、光信号を操作するための1つまたは複数の光学エレメント(たとえば、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなど)を含むことが可能である。1つまたは複数の光学エレメントは、共通の光学経路に沿って伝播するように光信号をガイドすることが可能である。いくつかの変形例において、レーザーシステム104は、変調器114を含み、変調器114は、レーザーシステム104によって発生させられる光信号のうちの少なくとも1つの振幅、位相、または周波数を制御するように構成されている。変調器114の例は、音響光学変調器(AOM)および電気光学変調器(EOM)を含む。変調器は、振幅、位相、および周波数を、個別にまたはその任意の組み合わせで制御することが可能である。いくつかの場合において、レーザーシステム104は、それぞれのレーザーのための変調器を含み、発生させられるすべての光信号は、振幅および周波数のうちの一方または両方に関して制御される。
例示的なイメージングシステム100は、ビーム成形オプティクス116を含み、レーザーシステム104によって発生させられる光信号の空間分布を操作してもよい。たとえば、ビーム成形オプティクス116は、光信号の空間分布を操作し、蒸気セルセンサーの中の蒸気と相互作用するのに適切な形状を有することが可能である。また、例示的なイメージングシステム100は、蒸気セルセンサー118(VCS)を含み、蒸気セルセンサー118(VCS)は、少なくとも1つのテストデバイス120(または、テスト対象デバイス)から電磁放射線を受け取り、レーザーシステム104からの光信号に基づいて出力光信号を発生させるように構成されている。いくつかの実装形態において(たとえば、図1に示されているものなどなど)、例示的なイメージングシステム100は、基準アンテナ122を含み、基準アンテナ122は、基準電磁放射線124を発生させるように構成されており、基準電磁放射線124は、蒸気セルセンサー118によって受け取られる。基準アンテナ122は、基準電磁放射線124の位相を調整するためのコントローラー123に連結されてもよい。
共通の光学経路が、レーザーシステム104から蒸気セルセンサー118へ延在し、レーザーシステム104からの光信号が蒸気セルセンサー118のための入力光信号としての役割を果たすことを可能にすることができる。いくつかの実装形態において、蒸気セルセンサー118は、誘電体ミラー126を含み、誘電体ミラー126は、テストデバイス120に隣接する蒸気セルセンサー118の側に配設され得る。入力光信号は、蒸気セルセンサー118の中の蒸気を通過し、通過の間に誘電体ミラー126に反射し、蒸気セルセンサー118を退出することが可能である。図1は、入力光信号が蒸気セルセンサー118に対して垂直の角度で蒸気セルセンサー118に進入および退出することを示している。しかし、入力光信号に関して、他の入射角度および反射角度も可能である。いくつかの変形例において、ビームスプリッター128(BS)が、共通の光学経路の上に存在しており、蒸気セルセンサー118からの反射された入力光信号を遮断する。ビームスプリッター128は、反射された入力光信号のうちの少なくとも1つを別の光学経路(たとえば、例示的なイメージングシステム100のイメージング経路(または、アーム)など)の上に方向付けるように構成されている。これらの方向付けられた光信号は、蒸気セルセンサー118によって発生させられるそれぞれの出力光信号としての役割を果たすことが可能である。
シングルピクセルカメラ102は、例示的なイメージングシステム100のイメージング経路(または、アーム)に沿って位置決めされており、蒸気セルセンサー118によって発生させられる1つまたは複数の出力光信号を受け取る。シングルピクセルカメラ102は、蒸気セルセンサー118からの1つまたは複数の出力光信号を処理することによって、カメラ出力データを発生させるように構成されている。多くの変形例において、シングルピクセルカメラ102は、パターン化された光の発生器130を含み、パターン化された光の発生器130は、蒸気セルセンサー118から出力光信号を受け取り、出力光信号のパターン化されたインスタンスを発生させるように構成されている。パターン化された光の発生器130の例は、マイクロミラーデバイス、空間光変調器、および液晶ディスプレイを含む。図1において、パターン化された光の発生器130は、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)として示されている。パターン化された光の発生器130は、可変マスクを含み、可変マスクは、制御信号に応答して、光学パターン間で選択的に切り換えるように構成されている。出力光信号のパターン化されたインスタンスは、光学パターンに基づいて、構造化された光信号または光のビームに対応することが可能である。構造化された光信号または光のビームは、振幅、位相、周波数、または、それらの任意の組み合わせに関して、空間的に構造化され得る。そのうえ、構造化された光信号または光のビームは、時間とともに変化することが可能である。たとえば、構造化された光信号または光のビームは、時間(たとえば、時間のサイクル)とともに変化する、パターン化された強度、パターン化された位相、パターン化された周波数、または、それらの任意の組み合わせを含む断面を有することが可能である。他のタイプの光学的構造も可能である。
多くの実装形態において、例示的なイメージングシステム100は、蒸気セルセンサー118からパターン化された光の発生器130へ延在する光学経路を含む。光学経路の一部分は、レーザーシステム104から蒸気セルセンサー118へ延在する共通の光学経路とオーバーラップすることが可能である。ビームスプリッター128は、共通の光学経路からの光学経路の分岐ポイントを画定することが可能である。レンズシステム134は、光学経路に沿って、蒸気セルセンサー118から第1の距離に、および、パターン化された光の発生器130から第2の距離に配設されている。レンズシステム134は、パターン化された光の発生器の上に出力光信号を送達する(たとえば、イメージングする)ように構成されており、また、いくつかの変形例では、シングルピクセルカメラ102の一部である。図1では、第1の距離および第2の距離は、レンズシステム134の焦点距離の2倍(2f)に等しい。しかし、他の距離も可能である。たとえば、第1の距離および第2の距離は、レンズシステム134の焦点距離(f)に等しくなっていることが可能である。この例では、パターン化された光の発生器234は、レンズ235のフーリエ平面の中に位置決めされている。図1は、レンズシステム134が単一の凸形レンズを有するものとして示しているが、この描写は単に図示の目的のためのものに過ぎない。一般的に、レンズシステム134は、複数のインスタンスおよびタイプのレンズを含むことが可能であり、また、他のタイプの光学エレメント(たとえば、ミラー、フィルターなど)を含むことも可能である。
いくつかの変形例において、レンズシステム134は、光学経路の上に実空間イメージ平面を画定している。パターン化された光の発生器130は、実空間イメージ平面において光学経路の上に配設され得、蒸気セルセンサー118は、実空間イメージ平面に関連付けられる実空間オブジェクト平面において、光学経路の上に配設され得る。いくつかの変形例において、レンズシステム134は、光学経路の上にフーリエイメージ平面を画定している。パターン化された光の発生器130は、フーリエイメージ平面において光学経路の上に配設され得、蒸気セルセンサー118は、フーリエイメージ平面に関連付けられるフーリエオブジェクト平面において、光学経路の上に配設され得る。
また、例示的なイメージングシステム100は、コンピューターシステム136を含み、コンピューターシステム136は、カメラ出力データに基づいて電磁放射線のイメージを発生させるように構成されている。いくつかの変形例において(たとえば、図1に示されているものなどなど)、コンピューターシステム136は、シングルピクセルカメラ102の一部である。コンピューターシステム136は、パターン化された光の発生器130に通信可能に連結されており、それらの間で信号(たとえば、光学パターン間で可変マスクを選択的に切り換えるための制御信号など)を交換することが可能である。いくつかの場合において、通信カップリングは、電気的カップリングを含む。たとえば、電力が、コンピューターシステム132からパターン化された光の発生器130に供給され得る。別の例では、電気信号は、パターン化された光の発生器130とコンピューターシステム132との間で交換され得る。しかし、他のタイプの通信カップリングも可能である(たとえば、光ファイバーを介した光学的カップリング)。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラ102は、光検出器138(PD)およびマイクロミラーデバイス140を含む(すなわち、パターン化された光の発生器130は、マイクロミラーデバイスである)。マイクロミラーデバイス140は、マイクロミラーのアレイを含み、また、制御信号に応答して、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーを選択的に配向させ、空間パターンを画定するように構成されている。光学経路142は、マイクロミラーデバイス140から光検出器128へ延在しており、シングルピクセルカメラ102の一部である。光学経路142は、マイクロミラーデバイス140から光検出器138へ出力光信号をガイドする光学エレメントによって画定され得る。光学エレメントの例は、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなどを含む。
マイクロミラーのアレイによって画定される空間パターンは、蒸気セルセンサー118からの出力光信号がマイクロミラーのアレイと相互作用するときに、構造化された光信号を発生させるように構成されている。いくつかの変形例において、空間パターンは、構造化された光信号の第1の部分を第1の方向に沿って反射するように構成されているプラスの部分と、構造化された光信号の第2の部分を第2の方向に沿って反射するように構成されているマイナスの部分とを含む。プラスの部分は、選択的に配向されたマイクロミラーの第1のグループによって画定され得、マイナスの部分は、選択的に配向されたマイクロミラーの第2のグループによって画定され得る。マイナスの部分は、プラスの部分の逆数に対応している。いくつかの場合において(たとえば、図1に示されているものなどなど)、光学経路142(または、その一部分)は、第1の方向と一致していることが可能であり、したがって、構造化された光信号の第1の部分を受け取るように位置決めされ得る。これらの場合では、光検出器138は、空間パターンのプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取る。代替的に、光学経路142(または、その一部分)は、第2の方向と一致していることが可能であり、したがって、構造化された光信号の第2の部分を受け取るように位置決めされ得る。これらの場合では、光検出器138は、空間パターンのマイナスの部分からの出力光信号の部分を受け取る。
さらなる実装形態において、例示的なイメージングシステム100は、光検出器138に電気的に連結されている復調システム144を含むことが可能である。復調システムは、ロックイン増幅器146をコンピューターシステム136に電気的に連結するアナログ-デジタルコンバーターを含むことが可能である。これらの実装形態において、コンピューターシステム136は、パターン化された光の発生器130のための制御信号を発生させるように構成され得る。また、コンピューターシステム136は、復調システム144からの復調信号(たとえば、アナログ-デジタルコンバーターからのデジタル信号)に応答して、イメージデータを発生させる(または、処理する)ように構成され得る。イメージデータは、電磁放射線の空間依存性の振幅、電磁放射線の空間依存性の位相、電磁放射線の空間依存性の周波数、または、それらの任意の組み合わせを表すことが可能である。
図1は、シングルピクセルカメラ102が単一の光検出器のみを有するものとして示しているが、他の数の光検出器も可能である。図2Aは、2つの光検出器202、204を含むシングルピクセルカメラ201を有する例示的なイメージングシステム200の概略図を表している。例示的なイメージングシステム200は、光信号を発生させるためのレーザーシステム206を含む。レーザーシステム206は、それぞれの出力信号(たとえば、それぞれの光のビームなど)を発生させるための2つ以上のレーザーを含むことが可能である。たとえば、図2Aに示されているように、レーザーシステム206は、第1の光のビーム210を発生させるように構成されている第1のレーザー208と、第2の光のビーム214を発生させるように構成されている第2のレーザー212とを含むことが可能である。また、レーザーシステム206は、光信号を操作するための1つまたは複数の光学エレメント(たとえば、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなど)を含むことが可能である。1つまたは複数の光学エレメントは、共通の光学経路に沿って伝播するように光信号をガイドすることが可能である。いくつかの変形例において、レーザーシステム206は、変調器216を含み、変調器216は、レーザーシステム206によって発生させられる光信号のうちの少なくとも1つの振幅、位相、または周波数を制御するように構成されている。変調器216の例は、音響光学変調器(AOM)および電気光学変調器(EOM)を含む。変調器216は、振幅、位相、および周波数を、個別にまたはその任意の組み合わせで制御することが可能である。いくつかの場合において、レーザーシステム206は、それぞれのレーザーのための変調器を含み、発生させられるすべての光信号は、振幅、位相、周波数、または、それらの任意の組み合わせに関して制御される。
例示的なイメージングシステム200は、ビーム成形オプティクス218を含み、レーザーシステム206によって発生させられる光信号の空間分布を操作してもよい。たとえば、ビーム成形オプティクス218は、光信号の空間分布を操作し、蒸気セルセンサーの中の蒸気と相互作用するのに適切な形状を有することが可能である。また、例示的なイメージングシステム200は、蒸気セルセンサー220を含み、蒸気セルセンサー220は、少なくとも1つのテストデバイス222(または、テスト対象デバイス)から電磁放射線を受け取り、レーザーシステム206からの光信号に基づいて出力光信号を発生させるように構成されている。いくつかの実装形態において(たとえば、図2Aに示されているものなどなど)、例示的なイメージングシステム200は、基準アンテナ224を含み、基準アンテナ224は、基準電磁放射線226を発生させるように構成されており、基準電磁放射線226は、蒸気セルセンサー220によって受け取られる。基準アンテナ224は、基準電磁放射線226の位相を調整するためのコントローラー225に連結されてもよい。
共通の光学経路が、レーザーシステム206から蒸気セルセンサー220へ延在し、レーザーシステム206からの光信号が蒸気セルセンサー220のための入力光信号としての役割を果たすことを可能にすることができる。いくつかの実装形態において、蒸気セルセンサー220は、誘電体ミラー228を含み、誘電体ミラー126は、テストデバイス222に隣接する蒸気セルセンサー220の側に配設され得る。入力光信号は、蒸気セルセンサー220の中の蒸気を通過し、通過の間に誘電体ミラー228に反射し、蒸気セルセンサー220を退出することが可能である。図2Aは、入力光信号が蒸気セルセンサー220に対して垂直の角度で蒸気セルセンサー220に進入および退出することを示している。しかし、入力光信号に関して、他の入射角度および反射角度も可能である。いくつかの変形例において、ビームスプリッター230(BS)が、共通の光学経路の上に存在しており、蒸気セルセンサー220からの反射された入力光信号を遮断する。ビームスプリッター230は、反射された入力光信号のうちの少なくとも1つを別の光学経路(たとえば、例示的なイメージングシステム200のイメージング経路(または、アーム)など)の上に方向付けるように構成されている。これらの方向付けられた光信号は、蒸気セルセンサー220によって発生させられるそれぞれの出力光信号としての役割を果たすことが可能である。
例示的なイメージングシステム200は、シングルピクセルカメラ201を追加的に含み、シングルピクセルカメラ201は、蒸気セルセンサー220からの出力光信号を処理することによって、カメラ出力データを発生させるように構成されている。シングルピクセルカメラ201は、例示的なイメージングシステム200のイメージング経路(または、アーム)に沿って位置決めされており、蒸気セルセンサー220によって発生させられる1つまたは複数の出力光信号を受け取る。図2Aでは、シングルピクセルカメラ201は、2つの光検出器202、204を有するものとして示されている。しかし、他の数の光検出器も可能である(たとえば、1つ、3つ、4つなど)。また、例示的なイメージングシステム200は、コンピューターシステム232を含み、コンピューターシステム232は、カメラ出力データに基づいて電磁放射線のイメージを発生させるように構成されている。コンピューターシステム232は、いくつかの変形例において、シングルピクセルカメラ201の一部であることが可能である。
多くの実装形態において、例示的なイメージングシステム200は、パターン化された光の発生器234を含み、パターン化された光の発生器234は、蒸気セルセンサー220から出力光信号を受け取り、出力光信号のパターン化されたインスタンスを発生させるように構成されている。パターン化された光の発生器234の例は、マイクロミラーデバイス、空間光変調器、および液晶ディスプレイを含む。図2Aにおいて、パターン化された光の発生器234は、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)として示されている。パターン化された光の発生器234は、可変マスクを含み、可変マスクは、制御信号に応答して、光学パターン間で選択的に切り換えるように構成されている。出力光信号のパターン化されたインスタンスは、光学パターンに基づいて、構造化された光信号または光のビームに対応することが可能である。構造化された光信号または光のビームは、振幅、位相、周波数、または、それらの任意の組み合わせに関して、空間的に構造化され得る。また、構造化された光信号または光のmayは、時間とともに変化することが可能である。たとえば、構造化された光信号または光のビームは、時間(たとえば、時間のサイクル)とともに変化する、パターン化された強度、パターン化された位相、パターン化された周波数、または、それらの任意の組み合わせを含む断面を有することが可能である。他のタイプの光学的構造も可能である。パターン化された光の発生器234のための制御信号は、コンピューターシステム232から生じることが可能である。
多くの実装形態において、例示的なイメージングシステム200は、蒸気セルセンサー220からパターン化された光の発生器234へ延在する光学経路を含む。光学経路の一部分は、レーザーシステム206から蒸気セルセンサー220へ延在する共通の光学経路とオーバーラップすることが可能である。ビームスプリッター230は、共通の光学経路からの光学経路の分岐ポイントを画定することが可能である。レンズシステム235は、光学経路に沿って、蒸気セルセンサー220から第1の距離に、および、パターン化された光の発生器234から第2の距離に配設されている。レンズシステム235は、パターン化された光の発生器234の上に出力光信号を送達する(たとえば、イメージングする)ように構成されている。図2Aでは、第1の距離および第2の距離は、レンズシステム235の焦点距離の2倍(2f)に等しい。しかし、他の距離も可能である。たとえば、図2Bでは第1の距離および第2の距離は、レンズシステム235の焦点距離(f)に等しい。この例では、パターン化された光の発生器234は、レンズシステム235のフーリエ平面の中に位置決めされている。図2Aは、レンズシステム235が単一の凸形レンズを有するものとして示しているが、この描写は単に図示の目的のためのものに過ぎない。一般的に、レンズシステム235は、複数のインスタンスおよびタイプのレンズを含むことが可能であり、また、他のタイプの光学エレメント(たとえば、ミラー、フィルターなど)を含むことも可能である。
いくつかの実装形態において、図2Aおよび図2Bに示されているように、シングルピクセルカメラ201は、第1の光検出器202、第2の光検出器204、およびマイクロミラーデバイス236を含む。マイクロミラーデバイス236は、マイクロミラーのアレイを含み、また、制御信号に応答して、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーを選択的に配向させ、空間パターンを画定するように構成されている。第1の光学経路238は、マイクロミラーデバイス236から第1の光検出器202へ延在しており、第2の光学経路240は、マイクロミラーデバイス236から第2の光検出器204へ延在している。第1および第2の光学経路238、240は、マイクロミラーデバイス236から第1および第2の光検出器202、204へ出力光信号をガイドする光学エレメントによって画定され得る。光学エレメントの例は、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなどを含む。
マイクロミラーのアレイによって画定される空間パターンは、蒸気セルセンサー220からの出力光信号がマイクロミラーのアレイと相互作用するときに、構造化された光信号を発生させるように構成されている。空間パターンは、構造化された光信号の第1の部分を第1の光学経路238の上に反射するように構成されているプラスの部分と、構造化された光信号の第2の部分を第2の光学経路240の上に反射するように構成されているマイナスの部分とを含む。プラスの部分は、選択的に配向されたマイクロミラーの第1のグループによって画定され得、マイナスの部分は、選択的に配向されたマイクロミラーの第2のグループによって画定され得る。マイナスの部分は、プラスの部分の逆数に対応している。これらの実装形態において、第1の光検出器202は、プラスの部分からの出力光信号の部分を受け取る「プラスの」光検出器(PD+)に対応することが可能であり、第2の光検出器204は、マイナスの部分からの出力光信号の部分を受け取る「マイナスの」光検出器(PD-)に対応することが可能である。
さらなる実装形態において、例示的なイメージングシステム200は、第1および第2の光検出器202、204に電気的に連結されている復調システムを含むことが可能である。復調システムは、ロックイン増幅器242をコンピューターシステム232に電気的に連結するアナログ-デジタルコンバーター244を含むことが可能である。しかし、復調システムの他のコンポーネントおよび構成も可能である。これらの実装形態において、コンピューターシステム232は、マイクロミラーデバイス236のための制御信号を発生させるように構成され得る。また、コンピューターシステム232は、復調システムからの復調信号(たとえば、アナログ-デジタルコンバーター244からのデジタル信号)に応答して、イメージデータを発生させる(または、処理する)ように構成され得る。イメージデータは、電磁放射線の空間依存性の振幅および空間依存性の位相のうちの一方または両方を表すことが可能である。
例示的なイメージングシステム200は、異なる光信号(たとえば、偏光光信号および多波長光信号など)を使用して、電磁放射線のイメージを構築するように構成され得る。たとえば、図2Cは、図2Aの例示的なイメージングシステム200の概略ダイアグラムを表しているが、そこでは、シングルピクセルカメラ201は、偏光ビームスプリッター246を含む。これらの実装形態において、シングルピクセルカメラ201は、第1の光検出器202、第2の光検出器204、マイクロミラーデバイス236(たとえば、DMD)、および偏光ビームスプリッター246を含む。マイクロミラーデバイス236は、マイクロミラーのアレイを含み、また、制御信号に応答して、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーを選択的に配向させ、空間パターンを画定するように構成されている。偏光ビームスプリッター246は、マイクロミラーデバイス236からの構造化された光信号を第1および第2の偏光光信号へとスプリットするように構成されている。第1および第2の偏光光信号は、第1および第2の偏光をそれぞれ有することが可能である。たとえば、第1および第2の偏光光信号は、垂直方向の偏光および水平方向の偏光を有することが可能である。図2Cは、マイクロミラーのアレイによって画定される空間パターンのプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取るように位置決めされているものとして、偏光ビームスプリッター246を示しているが、偏光ビームスプリッター246は、空間パターンのマイナスの部分からの出力光信号の部分を受け取るように位置決めされ得る。また、他の位置も可能である。
第1の偏光光学経路248は、偏光ビームスプリッター246から第1の光検出器202へ延在しており、第2の偏光光学経路250は、偏光ビームスプリッター246から第2の光検出器204へ延在している。第1および第2の偏光光学経路248、250は、偏光ビームスプリッター246から第1および第2の光検出器202、204へ第1および第2の偏光光信号をそれぞれガイドする光学エレメントによって画定され得る。光学エレメントの例は、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなどを含む。偏光ビームスプリッター246は、第1の偏光光信号を第1の偏光光学経路248の上に方向付けるように配向されており、第2の偏光光信号を第2の偏光光学経路250の上に方向付けるように配向されている。第1の光検出器202は、第1の偏光(たとえば、垂直方向の偏光)を伴うプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取る光検出器(PD(第1の偏光))に対応することが可能である。第2の光検出器204は、第2の偏光(たとえば、水平方向の偏光)を伴うプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取る光検出器(PD(第2の偏光))に対応することが可能である。しかし、その部分および偏光それぞれに関して、他の極性および偏光も可能である。
図2Dは、図2Aの例示的なイメージングシステム200の概略ダイアグラムを表しているが、そこでは、シングルピクセルカメラ201は、ダイクロイックミラー252を含む。これらの実装形態において、シングルピクセルカメラ201は、第1の光検出器202、第2の光検出器204、マイクロミラーデバイス236、およびダイクロイックミラー252を含む。マイクロミラーデバイス236は、マイクロミラーのアレイを含み、また、制御信号に応答して、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーを選択的に配向させ、空間パターンを画定するように構成されている。ダイクロイックミラー252は、マイクロミラーデバイス236からの構造化された光信号を第1および第2の波長光信号へとスプリットするように構成されている。第1および第2の波長光信号は、第1および第2のスペクトル波長(たとえば、個々の波長、個々の波長の周りの波長の分布、波長の連続的な範囲など)をそれぞれ有している。たとえば、第1および第2のスペクトル波長信号は、紫外線領域の中のおよび約852nmにおける波長をそれぞれ有することが可能である。図2Dは、マイクロミラーのアレイによって画定される空間パターンのプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取るように位置決めされているものとして、ダイクロイックミラー252を示しているが、ダイクロイックミラー252は、空間パターンのマイナスの部分からの出力光信号の部分を受け取るように位置決めされ得る。また、他の位置も可能である。
第1の波長光学経路254は、ダイクロイックミラー252から第1の光検出器202へ延在しており、第2の波長光学経路256は、ダイクロイックミラー252から第2の光検出器204へ延在している。第1および第2の波長光学経路254、256は、ダイクロイックミラー252から第1および第2の光検出器202、204へ第1および第2の波長光信号をそれぞれガイドする光学エレメントによって画定され得る。光学エレメントの例は、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなどを含む。ダイクロイックミラー252は、第1の波長光信号を第1の波長光学経路254の上に方向付けるように配向されており、第2の波長光信号を第2の波長光学経路256の上に方向付けるように配向されている。第1の光検出器202は、第1の波長(たとえば、紫外線波長)におけるプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取る光検出器(PD(第1の波長))に対応することが可能であり、第2の光検出器204は、第2の波長(たとえば、約852nmの波長)におけるプラスの部分からの出力光信号の部分を受け取る光検出器(PD(第2の波長))に対応することが可能である。しかし、その部分およびスペクトル波長それぞれに関して、他の極性および波長も可能である。
ここで、図2Aに戻って参照すると、例示的なイメージングシステム200は、シングルピクセルカメラ201による空間イメージングのために構成されており、マイクロミラーデバイス236は、レンズシステム235のイメージ平面の中に設置されており、蒸気セルセンサー220は、レンズシステム235のオブジェクト平面の中に設置されている。この例では、第1および第2のレーザー208、212は、光ファイバーを介して連結されており、キューブ型ビームスプリッターの上で組み合わせられている。いくつかの変形例において、蒸気セルセンサー220の中の遷移の残留ドップラー拡がりを低減させるために、および、感度を強化するために、3つ以上のレーザーが使用され得る。この例では、509nm光信号は、音響光学または電気光学変調器(AOM/EOM)216によって、周波数fmodにおいて強度変調されるが、一般的に、使用され得る他の変調オプションが存在している(たとえば、位相変調または周波数変調)。レーザー208、212両方からの光信号は、ビーム成形オプティクス218を通って伝播し、レーザービーム(または、入力光信号)を拡大し、蒸気セルセンサー220のイメージングエリアを充填する。次いで、光信号は、ビームスプリッター230を通過し、蒸気セルセンサー220の上に入射するようになる。蒸気セルセンサー220は、コーティングされていないまたは反射防止コーティングされたフロント表面と、ミラーコーティングされたバック表面228とを有しており、蒸気セルセンサー220を通してプローブ光信号(すなわち、852nm光信号)を逆反射して戻す。
例示的なイメージングシステム200の動作の間に、リュードベリ原子電位測定法が使用され、テストデバイス222(または、DUT)および任意に基準アンテナ224から電磁場をイメージングし、電磁場情報をラジオ周波数ドメインから光学ドメインへ変換する。次いで、光信号の一部は、ビームスプリッター230からイメージングアームの中へ反射される。レンズシステム235(それは、図2Aの例では、シングルエレメント凸形レンズまたは両凸形レンズである)は、蒸気セルセンサー220およびマイクロミラーデバイス236の両方から距離2fに設置されている。ここで、fは、レンズシステム235(または、シングルエレメント凸形レンズもしくは両凸形レンズ)の焦点距離である。マイクロミラーデバイス236による反射の後、光信号は、マイクロミラーのアレイのマスク状態またはパターンに応じて、角度θ=±24°で2つの成分にスプリットされる。しかし、反射の正確な角度(θ)は、±24°である必要はなく、他の角度も可能である。たとえば、反射の角度(θ)は、マイクロミラーデバイスのモデルによって変化することが可能である。
それぞれの反射された空間成分は、マイクロミラーのアレイのプラスの/マイナスの部分の合計の反射強度を測定するシングルピクセルカメラ201の光検出器202、204(PD±)の中へ収束される。例示的なイメージングシステム200は、1つの光検出器だけとともに働くことが可能であるが(たとえば、図1に図示されているようなものなど)、デュアル光検出器を含むことは、プラスの部分およびマイナスの部分の両方が同時に測定されることを結果として生じさせる。このデュアル測定は、必要とされるマスクの数を2分の1に低減させ、2つのチャネルの間のコモンモード雑音除去を可能にする。2つの光検出器202、204からの電圧は、ロックイン増幅器242の中でfmodにおいて差動復調され、結果として生じるカメラ出力データは、データ処理のためにアナログ-デジタルコンバーター244の中へ渡される。獲得システム(それは、コンピューターシステムであるか、または、代替的に、強化された獲得速度のための特定用途ボード(たとえば、システムオンチップまたはSOC)であることが可能である)は、マイクロミラーデバイス236のパターン状態を制御し、パターン状態をロックイン増幅器242の出力電圧を相関させ、パターン間において周波数f<fmodで迅速に切り換えることによってイメージを構築する。基準電磁波226とテストデバイス222から放出されるテスト電磁波との重ね合わせによって発生させられる干渉パターンが、テスト電磁波についての位相情報を抽出するために使用され得る。テストデバイス222から放出される電磁波の振幅は、基準電磁波226がない状態で行われた測定から直接的に抽出され得る。イメージの空間分解能に対する限界は、イメージングオプティクスの空間分解能、および、マイクロミラーのアレイの中のピクセル(または、マイクロミラー)のサイズによって設定される。位相分解能は、主に、蒸気セルセンサー220の厚さ、および、光学イメージングシステムの空間分解能によって設定される。図2Aでは、蒸気セルセンサー220の厚さは、図2Aの上部から図2Aの底部への方向に沿って延在している。
イメージを獲得するために、マイクロミラーデバイス236は、一連の光学パターンの間で迅速に切り換え、イメージは、異なる光学パターンからのデータのフルセットが獲得された後に、コンピューター的に再構築される。高フィールド振幅レジームでは、レーザーシステム206のレーザーのうちの1つが、蒸気セルセンサー220の中の原子蒸気の原子共鳴線を横切って光学周波数で走査され、例示的なイメージングシステム200のスペクトル応答のいくつかのイメージを獲得する。このスペクトル応答は、電磁放射線(または、フィールド)の振幅を抽出するために使用され、それは、電磁放射線の電気部分の振幅であり得る。
低フィールド振幅レジームでは、レーザーシステム206のすべてのレーザーが、原子遷移との共鳴において固定され、電磁放射線に起因する透過率の変化が測定される。低フィールド振幅レジームは、電磁放射線の振幅を測定するために単一のイメージのみが必要とされるので、作業するのに有用である。そのうえ、電場振幅は、両方のレーザーが共鳴しているときに、RFフィールドに起因するプローブレーザーの透過率の変化から分析され得る。イメージングに関して、この構成は、単一の光学周波数が必要とされるので、したがって、電場(振幅)イメージを測定するために1つの光学イメージのみが必要とされるので、より望ましい。また、この構成は、イメージングプロセスを高フィールド測定のものよりも高速にする。後者の場合、両方のレーザーは、共鳴においてロックされることとなり、マスクパターンの完全なセットが、単一の光学イメージを発生させるために投影されることとなり、その後に、光学透過率から電場強度への変換が行われ得る。低フィールド振幅レジームに関して、電磁放射線の位相を抽出するために、位相シフトホログラフィーが使用され得、それによって、基準アンテナ224が位相シフトされ、テストデバイス222および基準アンテナ224からの電磁放射線の間の干渉パターンが、いくつかの基準アンテナ位相において測定される。
図2Bは、例示的なイメージングシステム200の代替的な構成を示しており、ここでは、実空間イメージ平面ではなくフーリエイメージ平面の中でイメージングが実施される。レンズシステム235が蒸気セルセンサー220から距離fにおよびマイクロミラーデバイス236から距離fに設置されていることを除いて、光学的な構成は図2Aと同様である。マイクロミラーデバイス236の上に、この代替的な構成は、実空間イメージのフーリエ変換のイメージを形成する。次いで、マイクロミラーデバイス236から投影されるパターンセットを変更することによって、フーリエドメインにおけるフィルタリングが実施され得、それは、特定の用途に有利である可能性がある。
代替的な実装形態において、液晶ディスプレイ(LCD)または空間光変調器(SLM)が、マイクロミラーデバイス236の代わりに使用され、出力光信号についての空間情報をエンコードすることが可能である。いくつかの用途では、液晶ディスプレイおよび空間光変調器の両方が出力光信号の強度および/または位相を準連続的に修正することができるので、代替的な実装形態が有利である可能性がある。それとは対照的に、マイクロミラーデバイス236の個々のマイクロミラーは、バイナリーオン/オフピクセルシステムを表す。連続的な可変変調器の使用は、たとえば、離散コサイン変換関数をイメージングするための圧縮サンプリング技法と組み合わせて、とりわけ有用である可能性がある。
図1または図2A~図2Dの光学的な構成のうちのいずれか1つは、圧縮サンプリング技法と組み合わせられ、イメージ形成に必要とされるパターンの数を最小化することが可能である。したがって、圧縮サンプリング技法は、イメージ獲得および構築のスピードアップを可能にする。圧縮サンプリング技法は、電磁放射線のイメージが低い空間周波数を有するときに、とりわけ効果的であり、それは、ラジオ周波数フィールドのイメージングに関してそうなることが予期される。ユーザーが、予期される空間周波数(たとえば、テストデバイスの設計プロセスおよびラジオ周波数波長から)の何らかの予備知識を有する場合には、圧縮サンプリングは、重要なイメージ特徴を保ちながら、イメージ獲得速度に関してさらに調整されて最適化され得る。
例示的なイメージシステム200は、いくつかの方式で拡張され得、そのうちの2つの変形例が、それぞれ図2Cおよび図2Dに図示されている。図2Cは、偏光感受性イメージングを可能にする変形例を示している。この変形例では、例示的なイメージングシステム200は、追加的な光検出器とともに偏光ビームスプリッター246を含む。検出レーザーの光学スペクトルは、レーザーおよびラジオ周波数偏光の相対的なアライメントに依存するので、ラジオ周波数フィールドの偏光状態、ならびに、振幅および位相をイメージングすることが可能である可能性がある。図2Dは、多波長イメージングを可能にする変形例を示している。この変形例では、ダイクロイックミラー252は、出力光信号のパターン化された部分の1つの波長成分を反射し、別の波長成分を透過させる。そのような動作は、たとえば、蒸気セルセンサー220の原子蒸気の中のリュードベリ状態崩壊からの蛍光の検出を可能にすることができる。状態崩壊は、光子スペクトルの紫外線領域の中にあることが可能である。蛍光の検出は、プローブレーザー透過率と関連して起こるので、多波長イメージングは、同じ空間情報を備えた両方のフィールドの相関された測定を可能にすることができる。代替的に、蒸気セルセンサー202がデュアル原子種蒸気または多原子種蒸気(または、色中心の複数の種を備えた同様のソリッドステートシステム)を含む場合には、第2のセットの励起レーザーが、独立した波長を有する2つ以上の独立したラジオ周波数フィールドの同時検出のために使用され得る。
ここで、図3を参照すると、蒸気セルセンサー302を含む例示的なイメージングシステム300の一部分の概略ダイアグラムが表されている。例示的なイメージングシステム300の部分は、レーザーシステム206から基準アンテナ224へ図2Aの中で上向きに延在する例示的なイメージングシステム200の部分と同様になっていることが可能である。蒸気セルセンサー302は、光学ウィンドウ304および誘電体ミラー306を含む。光学ウィンドウ304および誘電体ミラー306は、図3に示されているように、形状に関して平面的になっており、互いに平行になっていることが可能である。しかし、光学ウィンドウ304および誘電体ミラー306に関して、他の構成も可能である。また、例示的なイメージングシステム300の部分は、レーザーシステム308を含み、レーザーシステム308は、少なくとも2つの光信号を発生させるように構成されている。それぞれの光信号は、光のコヒーレントビームであることが可能であり、それは、単一の値の周りに集中させられる波長によって部分的に画定されている(たとえば、レーザー光のビーム)。図3は、2つの光信号(すなわち、第1の光信号310および第2の光信号312)を発生させるように構成されているようなレーザーシステム308を示している。しかし、2つよりも多い数の光信号も可能である。たとえば、レーザーシステム308は、3つの光信号を発生させるように構成され得る。
例示的なイメージングシステム300は、基準アンテナ314を追加的に含み、基準アンテナ314は、光学ウィンドウ304に関連付けられる蒸気セルセンサー302の側部316に配設されている。基準アンテナ314は、制御された振幅および制御された位相のうちの一方または両方を有する基準電磁放射線318を発生させるように構成されている。基準電磁放射線318は、図3に図示されているように、電磁放射線の平面波であることが可能である。しかし、他のタイプの電磁放射線も可能である。基準アンテナ314は、図3において蒸気セルセンサー302に対して角度2θで示されているが、基準アンテナに関して他の配向も可能である。たとえば、基準アンテナ314は、テストデバイス338の後ろに配設され、誘電体ミラー306を通して蒸気セルセンサー302の中へ基準電磁放射線318を方向付けるように配向され得る。
また、例示的なイメージングシステム300の部分は、光学イメージングアーム320を含み、光学イメージングアーム320は、レンズシステム334を通してシングルピクセルカメラへ光信号を方向付ける。シングルピクセルカメラは、パターン化された光の発生器(図示せず)、たとえば、図1および図2A~図2Bのパターン化された光の発生器130、234などを含む。また、シングルピクセルカメラは、いくつかの場合において、レンズシステム334を含むことが可能である。いくつかの実装形態において(たとえば、図3に示されているものなど)、例示的なイメージングシステム300の部分は、第1の光学経路322を含み、第1の光学経路322は、レーザーシステム308から、蒸気セルセンサー302の光学ウィンドウ304を通って、誘電体ミラー306へ延在している。光学アッセンブリ324が、レーザーシステム308と蒸気セルセンサー302の光学ウィンドウ304との間において、第1の光学経路322の上に配設されている。光学アッセンブリ324は、たとえば、レンズ、ミラー、フィルター、波長板、およびビームスプリッターなどのような、光学コンポーネントを含むことが可能である。たとえば、光学アッセンブリ324は、波長板326(たとえば、λ/4波長板)を含むことが可能であり、波長板326は、光学ウィンドウ304と光学アッセンブリ324との間において、第1の光学経路322の上に配設されている。別の例では、光学アッセンブリ324は、レンズ328を含むことが可能であり、レンズ328は、光学ウィンドウ304と光学アッセンブリ324との間において、第1の光学経路322の上に配設されている。
また、例示的なイメージングシステム300の部分は、第2の光学経路330を含み、第2の光学経路330は、光学アッセンブリ324からパターン化された光の発生器へ延在している。第2の光学経路330は、第1の光学経路322に交差することが可能であり、光学イメージングアーム320の一部を画定することを助ける。たとえば、第2の光学経路330は、光学アッセンブリ324の光学コンポーネント(たとえば、ビームスプリッター332など)において、第1の光学経路322に交差することが可能である。光学アッセンブリ324は、蒸気セルセンサー302との相互作用の後に、少なくとも1つの光信号(たとえば、出力光信号)を第2の光学経路330の上に方向付けし直すように構成されている。いくつかの場合において、光学アッセンブリ324は、光学フィルター334を含み、光学フィルター334は、第2の光学経路330の上に配設されており、少なくとも2つの光信号のうちの少なくとも1つの波長を吸収するかまたは反射するように構成されている。この能力において、光学フィルター334は、パターン化された光の発生器によって、どの光信号が受け取られるか、および、いくつの光信号が受け取られるかということを制御することが可能である。
動作時に、例示的なイメージングシステム300のレーザーシステム308は、少なくとも2つの光信号(たとえば、第1の光信号310および第2の光信号312)を発生させることが可能であり、それは、その後に、第1の光学経路322に沿って蒸気セルセンサー302へ伝播する。そのような伝播の間に、少なくとも2つの光信号310、312は、光学アッセンブリ324と相互作用することが可能であり、結果として、1つまたは複数の特質を変更させることが可能である(たとえば、方向、焦点、偏光、波長分布など)。少なくとも2つの光のビームは、光学ウィンドウ304を通って進入することによって、および、誘電体ミラー306の反射によって、蒸気セルセンサー302を通過する。光学アッセンブリ324に到達すると、少なくとも2つの光信号の少なくとも1つが、シングルピクセルカメラに向けて(たとえば、パターン化された光の発生器に向けて)方向付けされ直す。たとえば、ビームスプリッター328が存在している場合には、第1の光信号310および第2の光信号312は、両方ともシングルピクセルカメラに方向付けされ直すことが可能である。次いで、第2の光学経路330の上の光学フィルター(図示せず)は、第2の光信号312を吸収することが可能であり、第1の光信号310が光学イメージングシステム320へ継続することを可能にする。
少なくとも2つの光信号の発生と同時に、基準アンテナ314は、基準電磁放射線318を発生させることが可能であり、基準電磁放射線318は、蒸気セルセンサー302によって受け取られる。基準電磁放射線318は、蒸気セルセンサーの中の蒸気化された原子と相互作用し、それによって、蒸気セルセンサー302を通る光学透過率を変化させる。光学透過率に対する変化は、蒸気セルセンサー302の囲まれた体積の全体を通して起こることが可能であり、したがって、空間依存性になっていることが可能である。たとえば、図3は、座標軸336を含み、y軸は、図3の中を指す状態になっている。したがって、光学透過率(および、それに対する変化)は、3つの座標変数x、y、およびzの関数であることが可能であり、したがって、3次元で空間依存性になっていることが可能である。蒸気セルセンサー302が薄くて平面的である変形例では、光学透過率(および、それに対する変化)は、2つの座標変数xおよびyのみの関数であることが可能であり、2次元で空間依存性になっていることが可能である(たとえば、図3のx-y平面)。他のタイプの空間依存性も可能である。
蒸気セルセンサー302の光学透過率の変化は、少なくとも2つの光信号の振幅および位相の対応する変化を誘発することが可能である。たとえば、第1の光信号310および第2の光信号312のうちの一方または両方は、入力光信号として蒸気セルセンサー302を横断する間に、それらのそれぞれの振幅、位相、またはその両方の変化を経験することが可能である。多くの場合において、少なくとも2つの光信号は、蒸気セルセンサー302の囲まれた体積の全体を通して、蒸気化された原子と相互作用し、したがって、光学透過率の空間依存性を表す。光学アッセンブリ324は、少なくとも2つの光信号を成形し、光学透過率の空間依存性をイメージングすることが可能である。たとえば、光学アッセンブリ324は、焦点面における少なくとも2つの光信号の分布を拡大することが可能であり、囲まれた体積のイメージが、単一の測定で取得され得るようになっている。
少なくとも2つの光信号のそれぞれに関して、振幅、位相、またはその両方の変化は、例示的なイメージングシステム300のシングルピクセルカメラ(たとえば、図1および図2A~図2Dの例示的なイメージングシステム100、200に関係して説明されているシングルピクセルカメラ102、201など)によって測定され得る。いくつかの実装形態において、例示的なイメージングシステム300は、シングルピクセルカメラのパターン化された光の発生器および1つまたは複数の光検出器と(たとえば、電気信号を介して)通信するコンピューターシステムを含む。コンピューターシステムは、少なくとも1つの光信号(たとえば、出力光信号310)の空間特性からイメージデータを発生させるように構成されている。データは、電磁放射線の空間依存性の振幅および空間依存性の位相(たとえば、基準電磁放射線318の空間依存性の基準振幅および空間依存性の基準位相)のうちの一方または両方を表す。いくつかの場合において、データは、電磁放射線の空間依存性の周波数、電磁放射線の時間依存性の周波数、または、その両方を表すことが可能である。そうであるので、イメージデータは、電磁放射線のイメージ(たとえば、基準電磁放射線318のイメージ)に対応することが可能である。
例示的なイメージングシステム300の動作の間に、コンピューターシステムは、基準電磁放射線318のイメージをターゲットイメージと比較することが可能である。たとえば、コンピューターシステムは、基準振幅とターゲット振幅との間の差を決定することが可能である。振幅は、空間依存性になっていることが可能であり、振幅のそれぞれの2次元イメージを画定することが可能である。別の例では、コンピューターシステムは、基準位相とターゲット位相との間の差を決定することが可能である。位相は、空間依存性になっていることが可能であり、位相のそれぞれの2次元イメージを画定することが可能である。比較を完了すると、コンピューターシステムは、基準電磁放射線318の1つまたは複数の特質(たとえば、位置、振幅、位相、周波数など)を変更するように、基準アンテナ314に指示することが可能である。たとえば、基準アンテナ314は、それぞれターゲット振幅およびターゲット位相に対する差に応答して、基準振幅の両方の一つを変更することが可能である。そのような変更は、差の大きさを低減させ、基準アンテナ314(または、例示的なイメージングシステム300)を較正することを支援することが可能である。
いくつかの実装形態において(たとえば、図3に示されているようなものなど)、例示的なイメージングシステム300の一部分は、テストデバイス338(または、テスト対象デバイス)を含み、テストデバイス338は、蒸気セルセンサー302の誘電体ミラー306に隣接して配設されており、テスト電磁放射線340を発生させるように構成されている。発生させられるときに、テスト電磁放射線340は、蒸気セルセンサーの中の蒸気化された原子と相互作用し、蒸気セルセンサー302を通る光学透過率を変化させる。テスト電磁放射線340は、基準電磁放射線318に関してすでに述べられたものと同様にイメージングされ得る。基準電磁放射線318がない場合、テスト電磁放射線340のテスト振幅は、直接的にイメージングされ得る。テスト振幅は、空間依存性の振幅であることが可能であり、テスト振幅の2次元イメージを画定することが可能である。いくつかの場合において、コンピューターシステムは、テスト電磁放射線340のイメージをターゲットイメージと比較することが可能である。そのような比較は、テストデバイス338が使用内で機能しているかどうかを決定する際に、例示的なイメージングシステム300を支援することが可能である。
例示的なイメージングシステム300は、テストデバイス338がテスト電磁放射線340を発生させる一方で、基準アンテナ314が基準電磁放射線318を発生させるように動作させられ得る。この状況において、蒸気セルセンサー302は、重ね合わせられた電磁放射線を受け取り、それは、蒸気セルセンサー302におけるテスト電磁放射線340と基準電磁放射線318との干渉パターンに対応している。重ね合わせられた電磁放射線は、基準電磁放射線318に関してすでに説明されたものと同様にイメージングされ得る。コンピューターシステムは、重ね合わせられた電磁放射線のイメージから基準電磁放射線318のイメージ(以前に取得された)を抽出し、テスト電磁放射線340のイメージを作り出すことが可能である。テスト電磁放射線340のイメージは、テスト電磁放射線340のテスト位相が決定されることを可能にすることができる。テスト位相は、空間依存性の位相であることが可能であり、テスト位相の2次元イメージを画定することが可能である。また、テスト電磁放射線340のイメージは、テスト電磁放射線340のテスト周波数が決定されることを可能にすることができる。テスト周波数は、空間依存性の周波数であることが可能であり、テスト周波数の2次元イメージを画定することが可能である。
また、例示的なイメージングシステム300は、複数の位相を通して基準電磁放射線318を反復することによって、テスト電磁放射線340のイメージを取得することが可能である。たとえば、例示的なイメージングシステム300は、基準アンテナ314が基準電磁放射線の基準位相を変更することを引き起こし、重ね合わせられた電磁放射線の少なくとも3つのインスタンスを発生させることが可能である。それぞれのインスタンスは、異なる基準位相における基準電磁放射線318のインスタンスに対応することが可能である。この動作モードにおいて、例示的なイメージングシステム300は、重ね合わせられた電磁放射線のそれぞれのインスタンスに関する重ね合わせられた振幅および重ね合わせられた位相のうちの一方もしくは両方に基づいて、または、基準電磁放射線のそれぞれの対応するインスタンスに関する基準振幅および基準位相のうちの一方もしくは両方に基づいて、テスト電磁放射線340のテスト振幅およびテスト位相を決定する。また、テスト周波数も決定され得る。
いくつかの実装形態において、例示的なイメージングシステム300(または、その一部分)は、無線(OTA)試験を実行するように動作可能である。OTA試験は、テスト対象デバイス(たとえば、ワイヤレスデバイスなど)の全放射電力(TRP:total radiated power)、全等方感度(TIS:total isotropic sensitivity)、実効等方放射電力(EIRP:effective isotropic radiated power)、および実効等方感度(EIS:effective isotropic sensitivity)を測定することが可能である。そのような測定は、放射パターン、線形化、および感度の特性評価を含む。OTAテストは、システムの研究開発局面、生産局面、および統合局面(たとえば、メンテナンスとして車の中のレーダーシステムを改装する局面など)の間に、システムに対して実施され得る。他の局面または時間も可能である。
いくつかのケースでは、例示的なイメージングシステム300は、リュードベリ原子電位測定法を使用して、テスト対象デバイス(DUT)によって作り出される放射電場と固定位置基準アンテナによって作り出される放射電場との間の干渉パターンを測定する(または、イメージングする)ことが可能である。この測定プロセスは、イメージ(または、ホログラフィックイメージ)を生成させ、そのイメージから、放射電場の位相および振幅が取り出され得る。基準アンテナは、測定の位置において平面波を作り出すことが可能であり、絶対的な較正源として使用されるリュードベリ原子センサーへのフィードバックを介して参照され得る。いくつかのケースでは、測定は、DUTによって作り出される電磁場の位相および振幅を決定するために、3つのイメージが獲得されることを必要とする。このタスクを達成することができる測定は、位相シフトホログラフィック干渉法のアナログを含み、そこでは、参照波を位相シフトする能力が、複数のイメージを撮るために使用される。また、測定は、ヘテロダインホログラフィーを含み、そこでは、参照波および/またはテスト波が、時間的に変調されるか、または、干渉パターンからコンピューター的にデコンボリューションされる。いくつかの実装形態において、ホログラフィックイメージングシステムは、検出器として原子を使用する。高周波数フィールドに対する原子の応答を光学ドメインにおいてイメージングするために、1つまたは複数のシングルエレメント検出器(たとえば、光検出器)を含むシングルピクセルカメラが使用され得る。いくつかのケースでは、蒸気セルセンサー302は、高い位相分解能が実現され得るように薄くされ得る。デバイスは、具体的には、高周波数デバイス(たとえば、アンテナなど)の電磁場をイメージングすることをターゲットにすることが可能である。放射電場位相、振幅、および周波数情報が(たとえば、リアルタイムで)獲得され得、DUTがチューニングまたはテストされ得るようになっている。この情報は、たとえば、マッチされた空間フィルター(測定される放射パターンがそれに相関させられ得る)を使用して、DUTが組立ラインの上で合格とされるか、不合格とされるか、またはその他の方法で処理されることを可能にすることができる。また、DUTから放出される電磁放射線の周波数が決定され、ターゲット周波数と比較され得る。
合否試験に関して(たとえば、組立ラインの上で実装され得るものなど)、または、同様の用途に関して(たとえば、(半導体産業において一般的であるように)デバイスの相対的な性能によってデバイスを選別または等級付けすることなど)、シングルピクセルカメラによる電磁場イメージングが、極めて効率的である可能性がある。このケースでは、少数のマスクパターンのみが(単一のマスクパターンさえも)、パターン化された光の発生器(たとえば、マイクロミラーデバイス)の可変マスクから投影されることとなる。マスクパターンは、意図したDUTのためのプログラム可能なマッチされた空間フィルターを形成する。高フィールドレジームでは、単一のマスクパターンが、レーザー周波数のうちの1つのスイープと組み合わせられ、その特定のマスクのためのスペクトルを測定することとなる。次いで、このスペクトルは、合否試験のためのターゲットまたは基準スペクトルと比較され得、または、個々のスペクトル特徴が、より詳細に分析され、テストデバイスの選別を促進させることが可能である。そのような選別は、サイドローブ抑制の量に基づいてデバイスの選別/等級付けを行うことを可能にすることができ、ここで、可変マスクが、予期されるサイドローブの位置においてのみイメージングするように調整される。
例示的なイメージングシステム300(または、その一部分)は、技術的な利点および改善を提供することが可能である。たとえば、以下の利点および改善のうちの1つまたは複数は、さまざまな実装形態において提供され得る:位相、振幅、および周波数情報が、絶対的に較正された方法を使用して取り出され得る;複数のフィールドポイントが、同時に測定され得、電磁場がイメージングされるようになっており、また、DUTの放射パターンをテストするかまたは最適化するかのいずれかのために使用され得る;検出器の空間分解能は、近接場においてもフィールド全体の構造が決定され得るように、非常に高くなっていることが可能である;センサーは、それが電磁場の乱れを最小にするように、誘電材料を含むことが可能である;測定は、組立ラインの中へ統合され、アンテナが製造されているときにアンテナをテストすることが可能である;獲得されたイメージを使用してそれぞれのアンテナエレメントにおける信号の位相を調節することによって、複数エレメントのアンテナからのビームの形成が改善され得る;ホログラフィックデータを使用して、電磁放射線のイメージが、たとえば、フレネル変換または他のタイプの波動伝播アルゴリズムを使用して、他の位置において発生させられ得る(DUTにおいて発生させられることを含む);センサーの厚さ(たとえば、図3の中のδ)が、サブ波長にされ、高い位相分解能を取得することが可能である;フィールド強度パターンは、単独で、DUTを特徴付けるのに十分であり得る。他の利点および改善も可能である。
図3では、例示的なイメージングシステム300の一部分は、薄い蒸気セルセンサー302、光学的な読み出しレーザー310、312、レーザーのためのイメージングオプティクス324、および基準アンテナ314を含む。DUT338は、蒸気セルセンサー302の誘電体ミラー306の近くに設置されており、蒸気セルセンサー302は、アルカリ原子を保持している。アルカリ原子は、リュードベリ原子ベースの電場センシングを介して使用され、DUT338から放出される高周波数電場340および参照波318を検出する。リュードベリ原子ベースの電位測定法において、光学場は、蒸気セルセンサー302の中に含有されている蒸気化された原子に対して高周波数電磁場が有する効果を読み出す。図3では、大型の平面型蒸気セルセンサー302が使用されており、DUT338からの電磁場がイメージングされ得るようになっている。蒸気セルセンサー302は、レーザー光が蒸気セルセンサー302の裏面(または、誘電体ミラー306)から反射されるように構築されている。次いで、反射されたプローブレーザー光310は、1つまたは複数のシングルピクセルカメラを使用してイメージングされ、DUT338から発する電磁場の空間イメージが測定され得るようになっている。プローブ光310は、光学イメージングアーム320の上のナローバンド幅光学フィルターによってカップリングレーザー光312から分離され得る。基準アンテナ314の放出振幅は、リュードベリ原子ベースのセンサー302に参照され得、参照波318の振幅が、アクティブフィードバックを介して固定されるようになっており、基準アンテナ314は、また、蒸気セルセンサー302を照射することが可能である。基準電磁波318およびDUT338から放出されるテスト電磁波340の重ね合わせによって発生させられる干渉パターンは、テスト電磁波についての位相情報を抽出するために使用され得る。DUT338から放出される電磁波の振幅は、基準電磁波318がない状態で行われた測定から直接的に抽出され得る。
イメージの空間分解能は、イメージングオプティクス324の空間分解能によって設定される。位相分解能は、主に、蒸気セルセンサー厚さδおよび光学イメージの空間分解能によって設定される。追加的なオプティクス(それは、高周波放射に対して透明である)が光を方向付けし直すために使用される場合には、図3の中のθは、約45度に等しくなっていることが可能である。この配置は、参照波318が蒸気セルセンサー302を裏面照射することを可能にする。参照波318の位相は、基準アンテナ314を駆動する発振器を介して制御され得る。可変の位相は、位相シフトホログラフィーが例示的なイメージングシステム300によって実施されることを可能にする。蒸気セルセンサー320は、電磁波およびその干渉パターンを記録する写真乾板またはCCDアレイと同様に作用する。参照波318がよく知られている場合には、テスト電磁場340からの情報が、デジタルホログラフィーと同様に、干渉パターンおよびテストフィールド振幅から、または、それらのおよび位相シフトされた干渉パターンの何らかの他の組み合わせから、デジタル的に抽出され得る。テスト電磁場340および基準電磁場318は、センサーにおいて同様の振幅のものであることが可能である。信号を獲得するために、異なるプローブまたはカップリングレーザー周波数310、312における一連のイメージが測定され得、例示的なイメージングシステム300のスペクトル応答(たとえば、プローブレーザー310の透過率)が、それぞれの電場の正味の振幅を抽出するために使用され得る。異なるタイプの測定において、たとえば、より小さい振幅の電磁場に関して、カップリングレーザーの存在下での共鳴の上でのプローブレーザー310の透過率が、高周波数フィールドパワーを決定するために使用され得る。後者の測定は、より速いデータ収集を提供することが可能である。その理由は、単一の測定が、基準、テスト、および2つのフィールドの重ね合わせの電磁場振幅のそれぞれを特徴付けるために使用され得るからである。また、スペクトル応答を使用するイメージは、短時間で獲得され得、それによって、ビデオフレームレート(たとえば、20~30Hz)に十分なスループットを可能にする。
シングルピクセルカメラによってイメージを再構築することは、1セットの光学パターン(たとえば、選択的に可変のマスクパターンによって発生させられるものなど)の間で切り換えること、および、それぞれの光学パターンに関する合計の反射光強度を記録することを必要とする。次いで、これらの光学パターンは、それらの光強度にしたがって重み付けされ、合計され、最終的なイメージを形成する。必要とされる光学パターンの数は、イメージ空間分解能とともに増減する。光学パターンのセットは、いくつかの選択肢を使用して選択され得る。たとえば、1セットの光学パターンが、アダマール行列を使用して選択され得る。また、ランダム光学パターンが使用され得るが、光学パターンの間に大幅なオーバーラップが存在する可能性があるので、より多くの光学パターンが、イメージを再構築するために必要とされ得る。しかし、アクティブフィードバックおよび最適化アルゴリズムと関連してランダム光学パターンを使用することは、イメージを構築するために必要とされるランダム光学パターンの数を低減させることが可能である。
また、対称性および先験的知識が、必要とされるパターンの数を低減させる。たとえば、アンテナイメージングのケースでは、電磁場についての何らかの情報が先験的に知られ得る(たとえば、フィールドが滑らかに変化することとなり、いくらかの対称性を有する可能性が最も高いということなど)。高フィールドレジームおよび低フィールドレジームの両方における電磁場イメージングは、この知識から利益を受け、マスクパターンの完全なセットのいくらかを選択するかまたは除外することが可能である。所与の獲得時間に関してイメージ分解能を増加させるか、または、代替的に、所与の分解能に関してイメージ獲得時間を減少させるかのいずれかのために、反復アルゴリズムが使用され得る。例として、アンテナは、その放出された電磁場が4回対称性を有するように構成され得る。第1の低分解能イメージが、4回対称性の中心および軸線を決定するために使用され得、その後に、イメージの獲得が、単一の象限に低減され得る。そのような面積の低減は、有効ピクセルの数を4分の1に減少させる。他の対称性に関する同様のケースが、イメージ獲得の速度を増加させるための同様の機会を提供することとなる。この技法は、他の圧縮サンプリング技法とは独立して動作することとなり、いくつかのケースでは、さらに大きい速度改善のために組み合わせられ得る。
別の変形例において、圧縮サンプリング技法が使用され、必要とされるパターンの数を低減させることが可能である。そのような技法は、一般に使用されているデジタルイメージ圧縮技法に基づいている。しかし、最初に完全なイメージを獲得し、次いでそれを圧縮する代わりに、圧縮が、イメージ獲得自体に適用される。圧縮のために使用される光学パターンのセットは、離散コサイン変換(たとえば、オリジナルのJPEG圧縮アルゴリズムにおいて使用されるようなもの)に基づくか、または、イメージの中の離散空間周波数を選択する他の変換に基づくことが可能である。任意のイメージ圧縮技法と同様に、圧縮の有効性(従来のイメージ圧縮に関してイメージサイズの低減、または、シングルピクセルカメラのケースでは、必要とされるパターンの数の低減)は、イメージの内容に依存する。イメージの中に予期される空間周波数のうちのいくつかが事前に知られている場合には(たとえば、テストアンテナデバイスにおけるラジオ周波数波長および特徴サイズに基づいて)、圧縮アルゴリズムが、より高い空間周波数をカットするように効果的に調整され得、したがって、非常に効率的にされ得る。
シングルピクセルカメラでは、1つまたは複数の光検出器が使用されるので、信号処理技法が、信号がデジタル化される前に、アナログドメインの中に適用され得、電磁場の検出がAC連結され得る。このアプローチは、DC連結されたセンサーにおける高ダイナミックレンジのための要件を完全に回避する。このタイプのイメージングシステムの1つの例は、信号制御パラメーターのうちの1つ(たとえば、図1、図2A、または図2Bにおけるカップリングレーザー強度)を変調することによって実現される。復調された信号の利得/感度をチューニングすることによって、ダイナミックレンジが、オンザフライで選択され得、したがって、イメージ単位で最適化され得る。信号対雑音比の増加のために、たとえば、周波数変調または位相変調など、他の変調方法も可能である。
代替的に、高速で高分解能のアナログ-デジタル変換が行われる限りにおいて、復調および信号処理がソフトウェアの中で(たとえば、フィールドプログラマブルゲートアレイのファブリックの中で)行われ得る。シングルチャネルのアナログ-デジタルコンバーターに関して、1秒当たり16ビットおよび100億個のサンプルが、容易に可能である。すべての光学パターン強度値の分布が、厳密なエラー伝播のために測定および使用され得、最大尤度アルゴリズムが使用され得るようになっており、最終的なイメージの中のそれぞれのピクセルは、それ自身の関連のエラーバーを有している。雑音の多い背景から信号を隔離するために、変調レートは、他の重要な雑音周波数(たとえば、50/60Hz AC電力線雑音およびそのハーモニクス)よりも高くなっていることが可能である。多くの変形例において、5~10kHz程度の変調周波数が望まれる。復調がピクセルごとに行われなければならないという要件は、この技法が従来のCCD/CMOSセンサーと互換性がないということを意味している。
本明細書で説明されているシステムおよび方法は、高い振幅を有する電磁場をイメージングするために適用され得る。そのようなイメージングは、ハイパースペクトルイメージングの形態であることが可能であり、ハイパースペクトルイメージングでは、イメージの中のそれぞれの「ピクセル」が、関連のスペクトルを有している。単一の「ピクセル」において、RFフィールドの測定は、EIT信号のスペクトルスプリッティングを測定することによって達成され、光学スペクトルを発生させるためにレーザーのうちの1つが走査されることを必要とする。「ピクセル」は、必ずしも、蒸気セルセンサーの単一のマイクロミラーまたは光学的に解像可能なセクションに関連付けられているとは限らない。その代わりに、「ピクセル」は、RFフィールドイメージングシステムの全体の最大分解能を取得することを犠牲にして平均化されたイメージのセクションであることが可能である。
レーザースキャンのそれぞれの周波数において「完全な」イメージを撮ることによって、スペクトルがそれぞれのピクセルにおいて発生させられ得る。このアプローチは一般的であるが、いつイメージが「完全」であるかの決定は、テストフィールドの追加的な知識(たとえば、フィールド対称性、空間周波数など)によって知らされ得る。この追加的な知識は、必要とされるパターン化されたマスクの数を低減させることが可能である。このアプローチでは、一連のイメージ(それぞれが特定のレーザー周波数に対応する)を取得することによって、周波数の関数としての透過率が、それぞれのピクセルにおいてマッピングされる。最も一般的なケースに関して、たとえば、テスト電磁場が(空間分布および強度および/または位相において)完全に未知である場合、レーザーのうちの1つが、離散周波数ステップにおいて共鳴線を横切って走査され得る。それぞれの光学周波数ステップにおいて、完全な一連のマスクパターンが投影され、その光学周波数に関する単一のイメージを発生させる。次いで、結果として生じるデータは、それぞれのピクセルが対応する光学スペクトルを有するアレイの中へ組み合わせられる。電場振幅および周波数が、それぞれのピクセルにおける光学スペクトルの分析から推定され、最後に、電場振幅のイメージを形成することが可能である。位相は、テストフィールド(そこでは、異なる基準RF位相における複数の電場イメージが必要とされる)に関連して基準RFフィールドを用いたホログラフィック測定を通して、同様のプロセスにおいて推定され得る。
また、スペクトルは、それぞれのマスクに関して決定され得る。フィールドが同じになっているべきであるイメージのエリアに対応するマスクパターン、「ピクセル」、または、先験的知識を介して配置されているピクセルを使用することが可能であり、また、対応するマスクパターンが活性化させられている間に、レーザーのうちの1つを走査することによって、スペクトルを獲得することが可能である。ここで、イメージは、イメージのそれぞれの重要なセクションまたは「ピクセル」に関するスペクトルを取得することによって獲得される。このアプローチの1つの変形例は、たとえば、フィールド分散が無視できる正方形または円形のブロックの中でイメージのセクションをグループ化することであり、すなわち、必要とされる分解能に対応する「ピクセル」を作製することである。フルスペクトルが、それぞれのブロックに関して獲得される。そのうえ、ターゲットフィールドが均一であるかまたは平均化され得るイメージのエリアに対応するマスクパターンが選択され得る。そのような選択は、フィールドの対称性または何らかのタイプのピクセル化(たとえば、関心の領域では、小さいピクセル、および、変動および/または関心が少ないはずの場合は、大きいピクセル)に基づくことが可能である。それぞれのマスクパターンに関して、スペクトルは、次いで、レーザーのうちの1つを走査することによってとられる(そこから、フィールド振幅(および、潜在的に位相)が導出される)。それぞれのマスクに関して取得されるフィールドパラメーターの値を組み合わせることによって、イメージが再構築される。
いくつかの実装形態において、例示的なイメージング方法は、蒸気セルセンサーにおいて、入力光信号および少なくともテストデバイスからの電磁放射線を受け取り、出力光信号を発生させるステップを含む。電磁放射線は、100MHz~1THzの範囲にある周波数を有することが可能である。また、例示的なイメージング方法は、シングルピクセルカメラにおいて出力光信号を処理し、カメラ出力データを発生させるステップと、コンピューターシステムの動作によって、カメラ出力データに基づいて電磁放射線のイメージを構築するステップとを含む。電磁放射線は、基準アンテナから発生させられる基準電磁放射線を含んでもよい。いくつかの変形例において、蒸気セルセンサーは、誘電体ミラーを含む。これらの変形例では、入力光信号および電磁放射線を受け取るステップは、蒸気セルセンサーの中の蒸気を通して入力光信号を通過させるステップと、通過させるステップの間に、入力光信号のうちの1つまたは複数を誘電体ミラーから反射させ、1つまたは複数のそれぞれの出力光信号を作り出すステップとを含む。1つまたは複数のそれぞれの出力光信号は、いくつかの場合において、1つまたは複数の入力光信号と反対方向に伝播することが可能である。いくつかの変形例において、例示的なイメージング方法は、蒸気セルセンサーにおいて入力光信号および電磁放射線を受け取る前に、入力光信号のうちの少なくとも1つの振幅、位相、または周波数を変調させるステップを含む。振幅、位相、および周波数は、個別にまたは任意の組み合わせで変調され得る。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラは、パターン化された光の発生器および光検出器を含む。パターン化された光の発生器の例は、マイクロミラーデバイス(たとえば、DMD)、空間光変調器、または液晶ディスプレイを含む。他のタイプのパターン化された光の発生器も可能である。これらの実装形態において、イメージング方法は、光検出器において、パターン化された光の発生器によって発生させられる出力光信号のパターン化されたインスタンスを受け取るステップを含む。それぞれのパターン化されたインスタンスは、電磁放射線のイメージのそれぞれの部分を表す。そのうえ、出力光信号を処理するステップは、シングルピクセルカメラの動作によって(たとえば、少なくとも光検出器の動作によって)、それぞれのパターン化されたインスタンスの強度を測定し、カメラ出力データを発生させるステップを含む。さらなる実装形態において、例示的なイメージング方法は、パターン化されたインスタンスのそれぞれの測定された強度がそれぞれの閾値強度よりも小さい場合に、パターン化されたインスタンスをカメラ出力データから除去することによって、カメラ出力データをフィルタリングするステップを含む。また、例示的なイメージング方法は、フィルタリングされたカメラ出力データに基づいて電磁放射線のイメージを構築するステップを含む。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラは、光検出器およびマイクロミラーのアレイを含む。そのような実装形態では、出力光信号を処理するステップは、出力光信号をマイクロミラーのアレイと相互作用させるステップを含む。相互作用させるステップの間に、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーが選択的に配向され、一連の空間パターンを通してマイクロミラーのアレイを反復させる。それぞれの空間パターンは、それぞれの構造化された光信号をマイクロミラーのアレイから発生させる。また、出力光信号を処理するステップは、それぞれの構造化された光信号の強度を光検出器によって測定し、カメラ出力データを発生させるステップを含む。いくつかの変形例において、電磁放射線のイメージを構築するステップは、それぞれの構造化された光信号の測定された強度に基づいて、電磁放射線の空間依存性の振幅、空間依存性の位相、または、空間依存性の周波数のうちの一方または両方を決定するステップを含む。また、空間依存性の振幅、空間依存性の位相、または、空間依存性の周波数の組み合わせが決定され得る。いくつかの変形例において、出力光信号を相互作用させるステップは、レンズシステムによってマイクロミラーのアレイの上に出力光信号をイメージングするステップを含む。レンズシステムは、蒸気セルセンサーからマイクロミラーのアレイへ延在する光学経路に沿って配設されている。レンズシステムは、焦点距離を有するレンズを含むことが可能である。いくつかの変形例において、蒸気セルセンサーおよびマイクロミラーのアレイは、レンズの焦点距離の2倍の距離だけ、光学経路に沿ってレンズから間隔を置いて配置されている。いくつかの変形例において、蒸気セルセンサーおよびマイクロミラーのアレイは、レンズの焦点距離に等しい距離だけ、光学経路に沿ってレンズから間隔を置いて配置されている。他の距離も可能である。いくつかの変形例において、レンズシステムは、光学経路の上に実空間イメージ平面を画定しており、マイクロミラーのアレイは、実空間イメージ平面における出力光信号を受け取る。いくつかの変形例において、レンズシステムは、光学経路の上にフーリエイメージ平面を画定しており、マイクロミラーのアレイは、フーリエイメージ平面における出力光信号を受け取る。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラは、光検出器およびマイクロミラーのアレイを含む。これらの実装形態において、出力光信号を処理するステップは、出力光信号をマイクロミラーのアレイと相互作用させるステップを含む。相互作用させるステップの間に、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーが選択的に配向され、一連の空間パターンを通してマイクロミラーのアレイを反復させる。それぞれの空間パターンは、それぞれの構造化された光信号をマイクロミラーのアレイから発生させる。そのうえ、それぞれの空間パターンは、プラスの部分およびマイナスの部分を含む。マイナスの部分は、プラスの部分の逆数に対応している。そのような実装形態では、出力光信号を処理するステップは、また、それぞれの構造化された光信号の強度をシングルピクセルカメラによって測定し、カメラ出力データを発生させるステップを含む。いくつかの変形例において、それぞれの構造化された光信号は、空間パターンのプラスの部分およびマイナスの部分からそれぞれ発生させられる第1の部分および第2の部分を含む。そのうえ、光検出器は、第1の光検出器であり、シングルピクセルカメラは、第2の光検出器を含む。これらの変形例では、強度を測定するステップは、それぞれの構造化された光信号の第1の部分の強度を第1の光検出器によって測定し、第1のカメラ出力データを発生させるステップと、それぞれの構造化された光信号の第2の部分の強度を第2の光検出器によって測定し、第2のカメラ出力データを発生させるステップとを含む。これらの変形例では、カメラ出力データは、第1および第2のカメラ出力データを含む。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラは、光検出器を含む。これらの実装形態において、出力光信号を処理するステップは、出力光信号をマイクロミラーのアレイと相互作用させるステップを含む。相互作用させるステップの間に、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーが選択的に配向され、一連の空間パターンを通してマイクロミラーのアレイを反復させる。それぞれの空間パターンは、それぞれの構造化された光信号をマイクロミラーのアレイから発生させる。そのうえ、それぞれの空間パターンは、プラスの部分およびマイナスの部分を含む。マイナスの部分は、プラスの部分の逆数に対応している。そのような実装形態では、出力光信号を処理するステップは、また、それぞれの構造化された光信号の強度をシングルピクセルカメラによって測定し、カメラ出力データを発生させるステップを含む。いくつかの変形例において、光検出器は、第1の光検出器であり、シングルピクセルカメラは、偏光ビームスプリッターおよび第2の光検出器を含む。これらの変形例では、構造化された光信号は、空間パターンのプラスの部分またはマイナスの部分のいずれかからすべて発生させられるそれぞれの部分を含む。そのうえ、出力光信号を処理するステップは、偏光ビームスプリッターを使用して、それぞれの部分のそれぞれを第1および第2の偏光光信号へとスプリットするステップを含む。第1および第2の偏光光信号は、第1および第2の偏光をそれぞれ有している。そのうえ、強度を測定するステップは、それぞれの第1の偏光光信号の強度を第1の光検出器によって測定し、第1のカメラ出力データを発生させるステップと、それぞれの第2の偏光光信号の強度を第2の光検出器によって測定し、第2のカメラ出力データを発生させるステップとを含む。カメラ出力データは、第1および第2のカメラ出力データを含む。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラは、光検出器を含む。これらの実装形態において、出力光信号を処理するステップは、出力光信号をマイクロミラーのアレイと相互作用させるステップを含む。相互作用させるステップの間に、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーが選択的に配向され、一連の空間パターンを通してマイクロミラーのアレイを反復させる。それぞれの空間パターンは、それぞれの構造化された光信号をマイクロミラーのアレイから発生させる。そのうえ、それぞれの空間パターンは、プラスの部分およびマイナスの部分を含む。マイナスの部分は、プラスの部分の逆数に対応している。そのような実装形態では、出力光信号を処理するステップは、また、それぞれの構造化された光信号の強度をシングルピクセルカメラによって測定し、カメラ出力データを発生させるステップを含む。これらの実装形態において、出力光信号を処理するステップは、また、それぞれの構造化された光信号の強度をシングルピクセルカメラによって測定し、カメラ出力データを発生させるステップを含む。いくつかの変形例において、光検出器は、第1の光検出器であり、シングルピクセルカメラは、ダイクロイックミラーおよび第2の光検出器を含む。これらの変形例では、構造化された光信号は、空間パターンのプラスの部分またはマイナスの部分のいずれかからすべて発生させられるそれぞれの部分を含む。そのうえ、出力光信号を処理するステップは、ダイクロイックミラーを使用して、それぞれの部分のそれぞれを第1および第2の波長光信号へとスプリットするステップを含む。第1および第2の波長光信号は、第1および第2の波長をそれぞれ有している。そのうえ、強度を測定するステップは、それぞれの第1の波長光信号の強度を第1の光検出器によって測定し、第1のカメラ出力データを発生させるステップと、それぞれの第2の波長光信号の強度を第2の光検出器によって測定し、第2のカメラ出力データを発生させるステップとを含む。カメラ出力データは、第1および第2のカメラ出力データを含む。
本明細書は、多くの詳細を含有しているが、これらは、特許請求され得るものの範囲に対する限定として理解されるべきではなく、むしろ、特定の例に特有の特徴の説明として理解されるべきである。また、別個の実装形態の文脈において本明細書に説明されているかまたは図面に示されている特定の特徴は組み合わせられ得る。逆に、単一の実装形態の文脈において説明されているかまたは示されているさまざまな特徴は、また、別個にまたは任意の適切なサブコンビネーションで、複数の実施形態の中で実装され得る。
同様に、動作は、特定の順序で図面に示されているが、これは、望ましい結果を実現するために、そのような動作が、示されている特定の順序で、もしくは、シーケンシャルな順序で実施されること、または、すべての図示されている動作が実施されることを必要とするものとして理解されるべきではない。特定の状況では、マルチタスクおよび並列処理が有利である可能性がある。そのうえ、上記に説明されている実装形態におけるさまざまなシステムコンポーネントの分離は、すべての実装形態においてそのような分離を必要とするものとして理解されるべきではなく、説明されているプログラムコンポーネントおよびシステムは、一般的に、単一の製品の中に一緒に統合され得、または、複数の製品の中にパッケージングされ得るということが理解されるべきである。
複数の実施形態が説明されてきた。それにもかかわらず、さまざまな修正が行われ得るということが理解されることとなる。したがって、他の実施形態が、以下の特許請求の範囲の中にある。
また、例示的なイメージングシステム100は、コンピューターシステム136を含み、コンピューターシステム136は、カメラ出力データに基づいて電磁放射線のイメージを発生させるように構成されている。いくつかの変形例において(たとえば、図1に示されているものなどなど)、コンピューターシステム136は、シングルピクセルカメラ102の一部である。コンピューターシステム136は、パターン化された光の発生器130に通信可能に連結されており、それらの間で信号(たとえば、光学パターン間で可変マスクを選択的に切り換えるための制御信号など)を交換することが可能である。いくつかの場合において、通信カップリングは、電気的カップリングを含む。たとえば、電力が、コンピューターシステム136からパターン化された光の発生器130に供給され得る。別の例では、電気信号は、パターン化された光の発生器130とコンピューターシステム136との間で交換され得る。しかし、他のタイプの通信カップリングも可能である(たとえば、光ファイバーを介した光学的カップリング)。
いくつかの実装形態において、シングルピクセルカメラ102は、光検出器138(PD)およびマイクロミラーデバイス140を含む(すなわち、パターン化された光の発生器130は、マイクロミラーデバイスである)。マイクロミラーデバイス140は、マイクロミラーのアレイを含み、また、制御信号に応答して、マイクロミラーのアレイの中の1つまたは複数のマイクロミラーを選択的に配向させ、空間パターンを画定するように構成されている。光学経路142は、マイクロミラーデバイス140から光検出器138へ延在しており、シングルピクセルカメラ102の一部である。光学経路142は、マイクロミラーデバイス140から光検出器138へ出力光信号をガイドする光学エレメントによって画定され得る。光学エレメントの例は、レンズ、ミラー、ビームスプリッター、光学フィルター、および光ファイバーエレメントなどを含む。
例示的なイメージシステム200は、いくつかの方式で拡張され得、そのうちの2つの変形例が、それぞれ図2Cおよび図2Dに図示されている。図2Cは、偏光感受性イメージングを可能にする変形例を示している。この変形例では、例示的なイメージングシステム200は、追加的な光検出器とともに偏光ビームスプリッター246を含む。検出レーザーの光学スペクトルは、レーザーおよびラジオ周波数偏光の相対的なアライメントに依存するので、ラジオ周波数フィールドの偏光状態、ならびに、振幅および位相をイメージングすることが可能である可能性がある。図2Dは、多波長イメージングを可能にする変形例を示している。この変形例では、ダイクロイックミラー252は、出力光信号のパターン化された部分の1つの波長成分を反射し、別の波長成分を透過させる。そのような動作は、たとえば、蒸気セルセンサー220の原子蒸気の中のリュードベリ状態崩壊からの蛍光の検出を可能にすることができる。状態崩壊は、光子スペクトルの紫外線領域の中にあることが可能である。蛍光の検出は、プローブレーザー透過率と関連して起こるので、多波長イメージングは、同じ空間情報を備えた両方のフィールドの相関された測定を可能にすることができる。代替的に、蒸気セルセンサー220がデュアル原子種蒸気または多原子種蒸気(または、色中心の複数の種を備えた同様のソリッドステートシステム)を含む場合には、第2のセットの励起レーザーが、独立した波長を有する2つ以上の独立したラジオ周波数フィールドの同時検出のために使用され得る。
イメージの空間分解能は、イメージングオプティクス324の空間分解能によって設定される。位相分解能は、主に、蒸気セルセンサー厚さδおよび光学イメージの空間分解能によって設定される。追加的なオプティクス(それは、高周波放射に対して透明である)が光を方向付けし直すために使用される場合には、図3の中のθは、約45度に等しくなっていることが可能である。この配置は、参照波318が蒸気セルセンサー302を裏面照射することを可能にする。参照波318の位相は、基準アンテナ314を駆動する発振器を介して制御され得る。可変の位相は、位相シフトホログラフィーが例示的なイメージングシステム300によって実施されることを可能にする。蒸気セルセンサー302は、電磁波およびその干渉パターンを記録する写真乾板またはCCDアレイと同様に作用する。参照波318がよく知られている場合には、テスト電磁場340からの情報が、デジタルホログラフィーと同様に、干渉パターンおよびテストフィールド振幅から、または、それらのおよび位相シフトされた干渉パターンの何らかの他の組み合わせから、デジタル的に抽出され得る。テスト電磁場340および基準電磁場318は、センサーにおいて同様の振幅のものであることが可能である。信号を獲得するために、異なるプローブまたはカップリングレーザー周波数310、312における一連のイメージが測定され得、例示的なイメージングシステム300のスペクトル応答(たとえば、プローブレーザー310の透過率)が、それぞれの電場の正味の振幅を抽出するために使用され得る。異なるタイプの測定において、たとえば、より小さい振幅の電磁場に関して、カップリングレーザーの存在下での共鳴の上でのプローブレーザー310の透過率が、高周波数フィールドパワーを決定するために使用され得る。後者の測定は、より速いデータ収集を提供することが可能である。その理由は、単一の測定が、基準、テスト、および2つのフィールドの重ね合わせの電磁場振幅のそれぞれを特徴付けるために使用され得るからである。また、スペクトル応答を使用するイメージは、短時間で獲得され得、それによって、ビデオフレームレート(たとえば、20~30Hz)に十分なスループットを可能にする。