JP2023504995A - ビーム折曲げ式の小さい傾斜度のビームスキャナ - Google Patents

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Abstract

ビームスキャナ(100)は、基板(102)と、基板(102)によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタ(104)と、反射偏光子(106)とを含む。反射偏光子(106)は、傾斜可能なリフレクタ(104)上に支持され、かつ光ビーム(110)を受光して傾斜可能なリフレクタ(104)に向かって向きを変えることで光ビームを走査するように構成される。プロジェクタ(120)は、ビームスキャナ(100)と、光ビーム(110)を提供するための光源(112)とを含む。光ビーム(110)は、リフレクタを傾斜させて明るさ、色、または偏光の変調が同時に行われることによって、瞳複製導波路(114)を通して伝搬した後に角領域において画像を形成し得る。光源(112)から瞳複製導波路(114)の近くに光ビーム(110)を向けるための少なくとも1つの折曲げミラー(206)が提供されてもよく、それによって小型の全体構成がもたらされる。【選択図】図2

Description

本開示は、光学走査デバイスに関し、とりわけ、走査型プロジェクタおよび走査型プロジェクタディスプレイで使用可能な小型の光学走査デバイスに関する。
ヘッドマウントディスプレイ(HMD:head mounted display)、ヘルメットマウントディスプレイ、ニアアイディスプレイ(NED:near-eye display)などは、仮想現実(VR:virtual reality)コンテンツ、拡張現実(AR:augmented reality)コンテンツ、複合現実(MR:mixed reality)コンテンツなどの表示向けに、ますます使用されている。かかるディスプレイは、ほんの数例を挙げると、エンターテインメント、教育、訓練、および生物医学を含む様々な分野で、用途が見出されている。表示されるVR/AR/MRコンテンツは、体験を向上させ、仮想オブジェクトをユーザが観察する実際のオブジェクトに整合させるため、3次元(3D:three-dimensional)であり得る。目の位置および視線方向、ならびに/またはユーザの向きをリアルタイムで追跡することができ、また表示される映像を、ユーザの頭の向きおよび視線方向に応じて動的に調整することができ、シミュレーションされた環境または拡張された環境に没頭する、体験を可能にする。
ヘッドマウントディスプレイには、小型のディスプレイデバイスが望まれる。HMDまたはNEDのディスプレイは通常、ユーザの頭に装着されるので、大きい、嵩張る、不均衡な、かつ/または重いディスプレイデバイスは扱いにくく、またユーザが装着するのに不快な場合がある。
プロジェクタベースのディスプレイは、中間スクリーンまたは表示パネルなしにユーザの目で直接観測可能である、角領域における画像を提供する。結像導波路は、ディスプレイのアイボックス上で角領域における画像を運ぶ画像光を延在させるために使用され得る。走査型プロジェクタディスプレイには、スクリーンまたは表示パネルがないため、ディスプレイのサイズおよび重量を減らすことができる。プロジェクタベースのディスプレイには、制御可能な明るさおよび/または色の画像光ビームを走査することによって角領域における画像を得る走査型プロジェクタを使用してもよい。走査型プロジェクタおよび光学式スキャナをもっと小型にすることが望ましい。
本発明の第1の態様によると、基板と、基板によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタと、傾斜可能なリフレクタ上に支持され、かつ光ビームを受光して傾斜可能なリフレクタに向かって向きを変えることで光ビームを走査するように構成される反射偏光子と、を含む、ビームスキャナが提供される。
ビームスキャナは、反射偏光子と傾斜可能なリフレクタとの間の光路に4分の1波長板(QWP)をさらに備え、QWPは、光ビームが2度QWPを通って伝搬すると、光ビームの偏光状態を直交偏光状態に変更するように構成される。QWPは反射偏光子によって支持され得る。
ビームスキャナは、光ビームを受光して反射偏光子に向かって向きを変えるように構成される折曲げミラーをさらに備えてもよい。
折曲げミラーは基板によって支持され得る。
ビームスキャナは、傾斜可能なリフレクタを取り囲むエンクロージャをさらに備え、該エンクロージャは反射偏光子を支持する。
ビームスキャナは、基板によって支持され、かつ反射偏光子に光学的に結合される折曲げミラーをさらに備えてもよい。
エンクロージャは、折曲げミラーに衝突するように光ビームを受光して透過させる光学窓を備えてもよい。
本発明の第2の態様によると、明るさまたは色のうちの少なくとも1つを含む特性を有する光ビームを提供するための光源と、第1の態様によるビームスキャナと、を備えるプロジェクタが提供される。
ビームスキャナは、折曲げミラーを備えてもよく、折曲げミラーは第1の折曲げミラーであってもよく、プロジェクタは、光ビームを受光して第1の折曲げミラーに向かって向きを変えるように構成される第2の折曲げミラーをさらに備えてもよい。
ビームスキャナは、傾斜可能なリフレクタを取り囲むエンクロージャをさらに備えてもよく、該エンクロージャは反射偏光子を支持する。エンクロージャは、第1の折曲げミラーに衝突するように光ビームを受光して透過させる光学窓を備えてもよい。
プロジェクタは、光源に光学的に結合されるコントローラと、ビームスキャナによって光ビームを走査することと連係して光ビームの特性を変えるためのビームスキャナと、をさらに備えてもよい。
本発明の第3の態様によると、ディスプレイであって、明るさまたは色のうちの少なくとも1つを含む特性を有する光ビームを提供するための光源と、第1の態様のビームスキャナと、傾斜可能なリフレクタから反射される光ビームを受光し、光ビームをディスプレイのアイボックス上に広げるように構成される瞳複製導波路と、を備えるディスプレイが提供される。
瞳複製導波路は、ビームスキャナの基板に実質的に平行であってもよい。
ディスプレイは、光ビームを受光して反射偏光子に向かって向きを変えるように構成される第1の折曲げミラーをさらに備えてもよい。
ディスプレイは、光ビームを受光して第1の折曲げミラーに向かって瞳複製導波路の近くに向きを変えるように構成される第2の折曲げミラーをさらに備えてもよい。
ここで、以下の図面と共に、例示的な実施形態を説明することにする。
反射偏光子を含むビームスキャナの側面断面図である。 反射偏光子およびビーム折曲げミラーを含むビームスキャナの側面断面図である。 光ビームを画像複製導波路の近くに経路設定するための反射偏光子および一対のビーム折曲げミラーを含むビームスキャナの側面断面図である。 ビーム折曲げミラーを含むゼロ以外の傾斜度のビームスキャナの側面断面図である。 図3Aのビームスキャナの視野(FOV)の図表である。 図3Bのビームスキャナの視野(FOV)の図表である。 2D走査型微小電気機械システム(MEMS)ミラーの平面図である。 微小電気機械システム(MEMS)走査型プロジェクタディスプレイの概略図である。 アレイ光源の個々のエミッタによって提供される視野の間の関係を示す、アレイ光源を有する走査型プロジェクタディスプレイの概略上面図である。 図3Aのパッケージ化されたビームスキャナの3次元の図である。 本開示のビームスキャナを使用するニアアイディスプレイの概略上面図である。 本開示のヘッドマウントディスプレイの等角図である。 図9Aのヘッドセットを含む、仮想現実システムの構成図である。
本教示は、様々な実施形態および例と併せて説明されるが、本教示が、かかる実施形態に限定されることを意図するものではない。それどころか、本教示は、当業者によって理解されるように、様々な代替形態および同等物を包含する。この開示の原理、態様、および実施形態、ならびにこの開示の特定の例を列挙する本明細書のすべての記載は、この開示の構造的同等物と機能的同等物との両方を包含することを意図している。さらに、かかる均等物は、現在知られている同等物と、将来開発される同等物、すなわち、構造にかかわらず同じ機能を実行する、開発される任意の要素との両方を含むことを意図している。
本明細書で使用される「第1の」、「第2の」などの用語は、順序付けを示唆することを意図するものではなく、むしろ、特に明記されていない限り、ある要素を別の要素から区別することを意図している。同様に、方法のステップの順序付けは、特に明記されていない限り、方法のステップを実行する順序付けを示唆するものではない。図1、図2および図3Aにおいて、同様の参照番号は、同様の要素を示す。
傾斜可能なリフレクタは、光源から放射された光ビームを走査し、ディスプレイのユーザが直接観察するように、角領域における画像を形成するために使用され得る。光ビームが走査されると、走査された光ビームの明るさおよび/または色は、走査に合わせて変化する場合がある。光ビームの明るさおよび/または色は、光ビームによって現在強調表示されているまたは「表現されている」画像画素の明るさおよび/または色に対応するように設定される。光ビームが2次元で、たとえばX視野角およびY視野角にわたって、またはユーザの視野(FOV)全体にわたって走査されると、画像全体が形成される。フレームレートが十分に高い場合、目が、走査された光ビームを積分することにより、ユーザは、表示された映像を実質的にちらつきなく見ることができる。
ビームスキャナに関連する1つの問題は、ビームスキャナの傾斜可能なリフレクタへの光ビームの斜めの入射角度によって引き起こされる視野(FOV)の減少である。斜めの入射角度は、使用される光学幾何形状によって、たとえば、入ってくる光ビームを、走査される、反射された光ビームから物理的に分離するために、必要となり得る。FOVの減少は、傾斜可能なリフレクタにおける光ビームの斜めの入射角度での、走査範囲を表す立体角の歪みによって引き起こされる。
本開示によれば、出力(走査された)光ビームは、偏光によって、入力光学ビームから空間的に分離され得る。これにより、斜めの入射角によるビームの幾何学的分離の必要性がなくなり、傾斜可能なリフレクタが中心(傾斜していない)角度位置にあるときに、傾斜可能なリフレクタでのほぼ真っ直ぐな入射角を実現する、小型の構成が得られる。入ってくる光ビームの傾斜度が小さいため、走査範囲をより効率的に利用することができる。
本開示によると、基板と、基板によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタと、傾斜可能なリフレクタ上に支持され、かつ光ビームを受光して傾斜可能なリフレクタに向かって向きを変えることで光ビームを走査するように構成される反射偏光子と、を含むビームスキャナが提供される。反射偏光子と傾斜可能なリフレクタとの間の光路に4分の1波長板(QWP)が提供され得る。QWPは、光ビームが2度QWPを通って伝搬すると、光ビームの偏光状態を直交偏光状態に変更するように構成され得る。QWPは反射偏光子によって支持され得る。
いくつかの実施形態では、ビームスキャナは、光ビームを受光して反射偏光子に向かって向きを変えるように構成される折曲げミラーをさらに含んでよい。折曲げミラーは基板によって支持され得る。傾斜可能なリフレクタを取り囲むエンクロージャが提供され得る。該エンクロージャは反射偏光子を支持し得る。折曲げミラーが、基板によって支持され、かつ反射偏光子に光学的に結合される実施形態では、エンクロージャは光学窓を含んでよく、光学窓は、折曲げミラーに衝突するように光ビームを受光して光学窓を通して透過させる。
本開示によると、光源およびビームスキャナを備えるプロジェクタが提供される。光源は、明るさまたは色のうちの少なくとも1つを含む特性を有する光ビームを提供するように構成されてもよい。ビームスキャナは、基板と、基板によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタと、傾斜可能なリフレクタ上に支持され、かつ光ビームを受光して傾斜可能なリフレクタに向かって向きを変えることで光ビームを走査するように構成される反射偏光子と、を含んでよい。
いくつかの実施形態では、プロジェクタは、反射偏光子と傾斜可能なリフレクタとの間の光路にQWPをさらに含んでよい。QWPは、光ビームが2度QWPを通って伝搬すると、光ビームの偏光状態を直交偏光状態に変更するように構成され得る。第1の折曲げミラーは、光ビームを受光して反射偏光子に向かって向きを変えるように構成されてもよい。第1の折曲げミラーは基板によって支持され得る。第2の折曲げミラーは、光ビームを受光して第1の折曲げミラーに向かって向きを変えるように構成されてもよい。傾斜可能なリフレクタを取り囲むエンクロージャが提供されてもよい。エンクロージャは反射偏光子を支持し、かつ第1の折曲げミラーに衝突するように光ビームを受光して透過させる光学窓を含んでよい。コントローラは、光源およびビームスキャナに動作可能に結合されて、ビームスキャナによって光ビームを走査することと連係して光ビームの特性を変えてもよい。
本開示によると、ディスプレイであって、光ビームを提供するための光源と、上述されるビームスキャナと、傾斜可能なリフレクタから反射される光ビームを受光し、光ビームをディスプレイのアイボックス上に広げるように構成される瞳複製導波路と、を備えるディスプレイがさらに提供される。瞳複製導波路は、ビームスキャナの基板に実質的に平行に配置されてもよい。第1の折曲げミラーは、光ビームを受光して反射偏光子に向かって向きを変えるように構成されてもよい。第2の折曲げミラーは、光ビームを受光して第1の折曲げミラーに向かって瞳複製導波路の近くに向きを変えるように構成されてもよい。
ここで、本開示のビームスキャナのいくつかの実施形態について考察する。図1を参照すると、ビームスキャナ100は、基板102、たとえば、半導体基板と、基板102によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタ104、たとえば、傾斜可能なミラーおよび/または格子とを含む。反射偏光子106は、傾斜可能なリフレクタ104上に支持され、かつ傾斜可能なリフレクタ104に光学的に結合される。反射偏光子106は、特定の所定の偏光状態の光ビーム110を傾斜可能なリフレクタ104に向かって反射し、かつ直交偏光状態の光を透過するように構成されてもよい。傾斜可能なリフレクタ104に衝突する光ビーム110は、さらにまた、1つまたは2つの軸を中心に走査され得る。4分の1波長板(QWP)108は、反射偏光子106と傾斜可能なリフレクタ104との間の光路に配置されてもよい。QWP108は、光ビーム110が2度QWP108を通って伝搬すると、光ビーム110の偏光状態を直交偏光状態に変更するように構成されてもよい。たとえば、QWP108は、この光軸が、直線偏光される光ビーム110の偏光方向に対して45度に向けられ得ることで、2度通って伝搬する時、QWP108は、光ビーム110の直線偏光を、直交配向された直線偏光に回転させる2分の1波長板の機能を果たす。QWP108は、離れて立っていてもよい、または、示されるように、反射偏光子106によって支持されてもよく、後者の構成はより小型になる傾向がある。
プロジェクタ120は、ビームスキャナ100と、ビームスキャナ100に光学的に結合される光源112とを含む。動作時に、光源112は、明るさ、色などの制御可能な特性を有する光ビーム110を放射する。光ビーム110は円偏光され得る。光源112から放射された光ビーム110は、QWP108に衝突する。QWP108は円偏光状態を、反射偏光子106によって反射される直線偏光状態に変換するように配置されかつ向けられる。反射される直線偏光された光ビーム110は、再びQWP108を通って伝搬して円偏光されることになる。円偏光された光ビーム110は、QWP108に向かって傾斜可能なリフレクタ104に反射して戻る。この反射は円偏光の掌性を反転させる。光ビーム110が3度QWP108を通って伝搬すると、光ビーム110は、反射偏光子106を通した光ビーム110の透過を確実にする偏光ベクトルの向きで直線偏光されることになる。透過した光ビーム110は瞳複製導波路114に向かって伝搬する。複製導波路114は、単一の導波路素子、または導波路素子の積層体を含んでよい。瞳複製導波路114は、光ビーム110をニアアイディスプレイ140のアイボックス118上に広げるため、角領域における画像をアイボックス118に運ぶ。基板102と瞳複製導波路114との実質的に平行な配置によって、ニアアイディスプレイ140のサイズをさらに減らすことが可能になり得る。
コントローラ116は、光源112およびビームスキャナ100に動作可能に結合されてもよく、かつビームスキャナ100によって光ビーム110を走査することと連係して光ビーム110の明るさおよび/または色を変えるように構成されてもよい。瞳複製導波路114、光源112、およびビームスキャナ100を合わせて、ニアアイディスプレイ140を形成する。
図2に目を向けると、プロジェクタ220はビームスキャナ200を含む。プロジェクタ220およびビームスキャナ200は、それぞれ、図1のプロジェクタ120およびビームスキャナ100と同様である。図2のビームスキャナ200は、光源112と傾斜可能なリフレクタ104との間の光ビーム110の光路に第1の折曲げミラー206をさらに含む。第1の折曲げミラー206は、基板102によって支持されてもよく、基板102から延在してもよく、または別個に取り付けられてもよい。第1の折曲げミラー206は、たとえば、鏡面プリズムまたは薄い鏡面基板であってもよい。第1の折曲げミラー206を利用する1つの利点は、反射偏光子106が図1のビームスキャナ100より浅い角度で配置されることによりビームスキャナ200のサイズをさらに減らすことである。ビームスキャナ200のさらなる利点は、光源112が瞳複製導波路114の反対側に配置され得ることでニアアイディスプレイ240の省サイズが提供されることである。基板102と瞳複製導波路114との実質的に平行な配置によって、ニアアイディスプレイ240のサイズをさらに減らすことが可能になり得る。本明細書において、かつ本開示の残り全体を通して、「実質的に平行な」という用語は、確実には、10~15度以内で平行であるという意味に取られる。
図3Aを参照すると、ビームスキャナ300Aは図2のビームスキャナ200と同様である。プロジェクタ320Aは、光源112と傾斜可能なリフレクタ104との間の光ビーム110の光路における第2の折曲げミラー306によってビームスキャナ300Aに光学的に結合される光源112を含む。2つの折曲げミラー、すなわち、第1の折曲げミラー206および第2の折曲げミラー306を利用する1つの利点は、ビームスキャナ300Aのサイズをさらに減らすことが可能であることである。2つの折曲げミラー206および306によって、瞳複製導波路114の近くに光ビーム110の向きを変えることが可能になる。
ビームスキャナ300Aは、光学窓344をさらに含んでよい。反射偏光子106と共に、光学窓344は、傾斜可能なリフレクタ104および第1の折曲げミラー206のエンクロージャを提供することで、必要に応じて、傾斜可能なリフレクタ104を気密パッケージ化することができる。プロジェクタ320Aにおいて、光ビーム110は、傾斜可能なリフレクタ104が傾斜されない時、ゼロの入射角で、またはゼロ以外の小さい入射角で、傾斜可能なリフレクタ104に衝突する。
ニアアイディスプレイ340Aは、瞳複製導波路114と、瞳複製導波路114に光学的に結合されるプロジェクタ320Aとを含む。動作時に、傾斜可能なリフレクタ104は1つまたは2つの傾斜軸を中心に走査される。図3Aでは、傾斜可能なリフレクタ104は図3Aの平面に垂直な軸を中心に光ビーム110を走査する。扇状に広がる3つの走査されたビーム110A、110B、および110Cは、走査を例示するために示される。
図3Bは、内部の折曲げミラーまたは反射偏光子を含まないビームスキャナ300Bを示す。ビームスキャナ300Bはここでは、光ビーム110の傾斜可能なリフレクタ104への斜めの入射角度対通常の入射角度の、後者が公称配向である、すなわち基板102に平行である時の効果を示すために、図300Aのビームスキャナ300Aと比較して考察される。図3Bのビームスキャナ300Bは、基板102上にヒンジ式に支持されかつ窓346によって保護される傾斜可能なリフレクタ104を含む。外側折曲げミラー348は、光源112から放射された光ビーム110の向きを変えて、斜めの入射角度で、窓346を通して傾斜可能なリフレクタ104に衝突させる。
プロジェクタ320Bは、光源112と傾斜可能なリフレクタ104との間の光ビーム110の光路に配置される外側折曲げミラー348によってビームスキャナ300Bに光学的に結合される光源112を含む。ニアアイディスプレイ340Bは、傾斜可能なリフレクタ104および瞳複製導波路350を含む。傾斜可能なリフレクタ104は、異なる入射角度で瞳複製導波路350に衝突するように光ビーム110を反射する。プロジェクタ320Bにおいて、光ビーム110は、斜めの入射角度で、すなわち、通常の入射角度から離れるように傾斜可能なリフレクタ104に衝突する。
図4Aおよび図4Bは、傾斜可能なリフレクタ104への通常の入射角度(図4A)の効果対斜めの入射角度(図4B)の効果を示す。図4Aは、傾斜度ゼロの走査角度エリア400A、および対応する光線角度θxおよびθyの接線の単位、TanXおよびTanYそれぞれでの関連する内接長方形のFOV402A(影付きの長方形)を示している。傾斜角ゼロのFOV402Aの立体角は、角度エリア400Aの大部分をカバーしている。図4Bは、比較すると、斜めの入射角度の走査角度エリア400B、および関連する内接長方形FOV402B(影付きの長方形)を示している。FOV402Bの立体角は、角度エリア400Bのより小さい割合しか占めておらず、アスペクト比が異なる。たとえば、図3Aのニアアイディスプレイ340AのFOVを確実にするために、傾斜可能なリフレクタ104はX軸およびY軸を中心としたある特定の傾斜範囲内で傾斜される必要がある。ゼロ以外の傾斜度の図3Bのニアアイディスプレイ340Bの同じFOVを確実にするために、傾斜可能なリフレクタ104はX軸およびY軸を中心としたより大きい傾斜範囲を有する必要がある。よって、傾斜可能なリフレクタ104への光ビーム110のゼロのまたは小さい傾斜度での結合により、傾斜可能なリフレクタ104の走査範囲の利用率が高まり、傾斜可能なリフレクタ104のより小さい走査範囲、および/または傾斜可能なリフレクタ104の同じ走査範囲におけるより広い視野が可能になる。本明細書に開示される構成および利点が、様々なタイプのプロジェクタベースのディスプレイに適用可能であり得、必ずしもニアアイディスプレイでなくてもよいことは留意されたい。
いくつかの実施形態では、本明細書に説明されるプロジェクタのビームスキャナは微小電気機械システム(MEMS)スキャナを含み得る。図5を参照すると、2次元(2D)微小電気機械システム(MEMS)スキャナ500は、リフレクタ510をX軸を中心として傾斜させることを可能にする一対の第1のトーションヒンジ501によって支持されるリフレクタ510、たとえば、ミラーまたは回析格子を含む。第1のトーションヒンジ501は、リフレクタ510からジンバルリング520まで延在し、ジンバルリング520は、ジンバルリング520から固定台522まで延在する一対の第2のトーションヒンジ502によって支持されて、ジンバルリング520およびリフレクタ510をy軸を中心に傾斜させる。アクチュエータ551、552は、X軸およびY軸を中心としたリフレクタ510の傾斜を作動させるための力を与えるために、リフレクタ510および/またはジンバルリング520の真下に配置されてもよい。アクチュエータ551、552は、静電気的、電磁気的、圧電性などのものであってもよい。静電ミラーの作動のために、櫛型駆動部はトーションヒンジ部材上に位置し得る。たとえば、図5に示される実施形態では、第1のアクチュエータ551は、リフレクタ510をX軸を中心として傾斜させるためにリフレクタ510の縁部の下に配置されてもよい。第2のアクチュエータ552は、ジンバルリング520およびリフレクタ510をY軸を中心として傾斜させるためにジンバルリング520の下に配置されてもよい。リフレクタ510が、必要に応じて、対応する基板の中央からオフセットされてもよいことは留意されたい。
フィードバック回路554は、リフレクタ510のXおよびYの傾斜角を判断するために設けられ得る。フィードバック回路554は、X傾斜を判断するために第1の静電アクチュエータ551とリフレクタ510との間の電気容量を測定し、かつY傾斜を判断するために第2の静電アクチュエータ552とジンバルリング520との間の電気容量を測定してもよい。特にフィードバック回路554には別個の電極も設けられてもよい。いくつかの実施形態では、フィードバック回路554は、リフレクタ510がゼロ度を含んで、ある特定のX角度および/またはY角度で傾斜する時に同期パルスまたはトリガパルスを提供してもよい。図5のリフレクタ510は、図1、図2、図3A、および図3Bの傾斜可能なリフレクタ104に対応する。
図6Aに目を向けると、走査型プロジェクタディスプレイ600は、発散光ビーム604Dを提供するための光源組立体602を含む。光コリメータ650は、光源組立体602に光学的に結合されて発散光ビーム604Dをコリメートし、コリメートされた光ビーム604を提供する。図5の2D MEMSスキャナ500などのスキャナは、コリメータ650に光学的に結合される。コントローラ612は、光源組立体602に結合される電子ドライバ606に動作可能に結合可能である。コントローラ612はまた、2D MEMSスキャナ500のリフレクタ510を傾斜させるために2D MEMSスキャナ500に結合される。
コリメータ650、たとえば、レンズ、ミラーなどは、パルス光源602に光学的に結合されて発散光ビーム604Dをコリメートして、コリメートされた光ビーム604を得る。凹面ミラー、回析レンズ、ビーム折曲げ式の自由形状の光学素子など、光学的パワー、すなわち集束力またはコリメートパワーを有する任意の光学部品は、コリメータ605において使用されてもよい。2D MEMSスキャナ500のリフレクタ510は、コリメートされた光ビーム604を受光し角度走査するためにコリメータ650に光学的に結合される。
電子ドライバ606は、光源組立体602に電圧を加えるために電気パルスによる給電を提供するように構成される。コントローラ612は、角領域における画像を「表現する」または画像にラスタを施すために、2D MEMSスキャナ500を傾斜させることと連係して光源組立体602に電圧を加えるためのコマンドを電子ドライバ606に送る。人間の目で見ると、角領域における画像は、目の角膜およびレンズに投影されて目の網膜上で空間領域画像になる。
いくつかの実施形態では、プロジェクタディスプレイのスキャナは1Dの傾斜可能なミラーを含んでよく、光源組立体602は、走査方向に垂直な方向に複数の画像画素を提供するための光源の直線アレイを含んでよい。光源の直線アレイはまた、2Dスキャナにおいても使用されてもよい。いくつかの実施形態では、2D MEMSスキャナ500は、1つがX軸を中心とした走査用、もう1つはY軸を中心とした走査用の一対の1Dの傾斜可能なミラーと置き換えられてもよい。2つの1Dの傾斜可能なミラーは、たとえば、瞳リレーを介して光学的に結合され得る。他のタイプのスキャナ、たとえば、回析または音響光学スキャナが使用されてもよい。
光源組立体602は、1つまたは複数のシングルモードもしくはマルチモードの光源、たとえば、側面発光レーザダイオード、垂直共振器型面発光レーザダイオード、高輝度発光ダイオード(SLED)、または発光ダイオードを含み得る。光パルスのパルスエネルギーは、光源の閾値の光学的パワーを乗算した画素時間間隔に等しい閾値エネルギーを下回るように選択され得る。SLED光源について、SLEDの閾値の光学的パワーは、SLEDのレージング閾値光学的パワーであってもよい。
走査型プロジェクタディスプレイ600の動作が図6Bにさらに示されている。この例では、光源組立体602は、(主光線のみ示される)3つのビーム621(点線)、622(実線)、および623(破線)を提供する3つのエミッタを含むマルチエミッタ組立体である。コリメータ650は、ビーム621、622、および623をコリメートする。適した幾何学的配置、たとえば、コリメータ650の距離および焦点距離を選択することによって、後者はまた、ビーム621、622、および623をわずかに異なる入射角度でリフレクタ510の中心に衝突させることで3つのビーム621、622、および623全てを合わせて走査してもよい。ビーム621、622、および623の傾斜可能なリフレクタ510への入射角度は異なっているため、ビーム621、622、および623の各走査エリア631(点線)、632(実線)、および633(破線)はそれぞれ、示されるように相互にオフセットされる。コントローラ612は、マルチエミッタ光源組立体602の3つのエミッタの駆動信号に対応する遅延を提供することによってこれらの空間オフセットを考慮に入れる場合がある。個々のエミッタに電圧を加える際の遅延と組み合わせた空間オフセットは、たとえば、単一のエミッタの場合と比較して、共通の走査エリア630における走査型プロジェクタディスプレイ600の空間解像度を効果的に3倍にするなどのために提供されてもよい。
ここで図7を参照すると、パッケージ化されたMEMSスキャナ700は、図3Aのビームスキャナ300Aの光学構成を有し、かつビームスキャナ300Aと同様に動作する。パッケージ化されたMEMSスキャナ700(図7)は、反射偏光子106、光学窓344、および側壁704によって形成される気密パッケージまたはエンクロージャ702を含む。エンクロージャ702は、傾斜可能なリフレクタ104および第1の折曲げミラー206をカプセル化する。エンクロージャ702は、傾斜可能なリフレクタ104に安定した環境を提供するために、真空封止されていてもよい、またはアルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。
図8に目を向けると、ニアアイディスプレイ(NED)800は、一対のガラスの形状因子を有するフレーム801を含む。フレーム801は、目ごとに、角領域の画像を運ぶ表示光を提供するプロジェクタ802、プロジェクタ802へ給電するためにプロジェクタ802に動作可能に結合された電子ドライバ804、およびプロジェクタ802に光学的に結合された瞳レプリケータ832、たとえば、瞳複製導波路組立体を支持し得る。
それぞれのプロジェクタ802は、本明細書で説明されたビームスキャナ、たとえば、限定されるものではないが、図1のビームスキャナ80、図2のビームスキャナ200、図3Aのビームスキャナ300A、図3Bのビームスキャナ300B、図7のビームスキャナ700などを含み得る。このようなビームスキャナの傾斜可能なリフレクタは、たとえば、MEMSの傾斜可能なリフレクタを含み得る。いくつかの実施形態では、それぞれのプロジェクタ802は、図1のプロジェクタ120、図2のプロジェクタ220、図3Aのプロジェクタ320A、図3Bのプロジェクタ320Bなどを含む。これらのプロジェクタ用の光源は、たとえば、複数の光ビームを提供する、シングルエミッタまたはマルチエミッタの半導体光源のアレイ、側面発光レーザダイオード、垂直共振器型面発光レーザダイオード、SLED、または発光ダイオードを支持する基板を含み得る。光源のコリメータは、凹面鏡、バルクレンズ、フレネルレンズ、ホログラフィックレンズ、自由形状プリズムなどを含み得る。瞳レプリケータ832は、複数の表面レリーフ型および/または体積ホログラフィック格子を装備された導波路を含むことができる。瞳レプリケータ832の機能は、それぞれのアイボックス812でプロジェクタ802によって供給される、表示光ビームの複数の横方向にオフセットされたコピーを供給することである。
コントローラ805は、プロジェクタ802の光源および傾斜可能なリフレクタに動作可能に結合されている。コントローラ805は、プロジェクタ802の傾斜可能なリフレクタのX傾斜角およびY傾斜角を決定するよう構成され得る。コントローラ805は、表示されるべき画像のどの1つまたは複数の画素が、決定されたX傾斜角およびY傾斜角に対応するかを決定する。コントローラ805は、次いで、これらの画素の明るさおよび/または色を決定し、これに応じて電子ドライバ804を動作させ、プロジェクタ802の光源に給電用電気パルスを供給し、決定された画素の明るさおよび色に対応する電力レベルでの光パルスを作り出す。
いくつかの実施形態では、コントローラ805は、目ごとに、傾斜可能なリフレクタを動作させ、これにより傾斜可能なリフレクタから反射される光ビームが、表示されるべき画像の画素に対応するビーム角を有するよう構成され得る。コントローラ805はさらに、光ビームが、表示されている第1の画素に対応する明るさおよび/または色を有するように、傾斜可能なリフレクタの動作と連係して光源を動作させるよう構成され得る。マルチ光源/マルチエミッタの実施形態では、コントローラ805は、対応する光源/エミッタを連係して動作させ、本明細書で説明されるように、より大きなFOV、高い走査解像度、ディスプレイの明るさの増加などを実現するよう構成され得る。たとえば、ユーザの両眼のプロジェクタが、それぞれ2つの光源を含む実施形態では、コントローラは、傾斜可能なリフレクタから反射される第2の光ビームが、表示されるべき画像の第2の画素に対応するビーム角を有するように、2つの傾斜可能なリフレクタそれぞれを動作させ、第2の光ビームが第2の画素に対応する明るさを有するように、傾斜可能なリフレクタの動作と連係して第2の光源を動作させるよう構成され得る。
本開示の実施形態は、人工現実システムを含むか、または人工現実システムと組み合わせて実施され得る。人工現実システムは、視覚情報、音声、触覚(体性感覚)情報、加速度、バランスなどの感覚を通して得られる外界に関する感覚情報を、ユーザに提示する前に何らかのやり方で調整する。人工現実は、非限定的な例として、仮想現実(VR)、拡張現実(AR)、複合現実(MR)、ハイブリッド現実、またはこれらの何らかの組合せおよび/もしくは派生物を含むことができる。人工現実コンテンツは、完全に生成されたコンテンツ、または取り込まれた(たとえば、実世界の)コンテンツと組み合わされて生成されたコンテンツを含むことができる。人工現実コンテンツは、ビデオ、音声、体性もしくは触覚フィードバック、またはこれらの何らかの組合せを含むことができる。このコンテンツはいずれも、単一のチャネル、または観察者に対して3次元効果を作り出すステレオビデオなど、複数のチャネルで提示され得る。さらに、いくつかの実施形態では、人工現実はまた、アプリケーション、製品、アクセサリ、サービス、またはこれらの何らかの組合せに付随する場合もあり、これらはたとえば、人工現実内でコンテンツを作成するために使用されるか、かつ/またはさもなければ、人工現実内で使用される(たとえば、活動を行う)。人工現実コンテンツを提供する人工現実システムは、ホストコンピュータシステムに接続されたHMD、独立型HMD、眼鏡の形状要素を有するニアアイディスプレイ、携帯デバイスもしくはコンピュータ処理システム、または1人もしくは複数人の観察者に人工現実コンテンツを提供することができる他の任意のハードウェアプラットフォームなどの、装着型ディスプレイを含む、様々なプラットフォーム上に実装され得る。
図9Aを参照すると、HMD900は、AR/VR環境により深く没頭させるようにユーザの顔を取り囲む、AR/VR装着型ディスプレイシステムの例である。HMD900は、たとえば、図1のニアアイディスプレイ140、図2のニアアイディスプレイ240、図3Aのニアアイディスプレイ340A、図3Bのニアアイディスプレイ340B、または図6Aおよび図6Bの走査型プロジェクタディスプレイ600の一実施形態である。HMD900の機能は、物理的な実世界の環境での光景を、コンピュータで生成された映像を使って補強するか、かつ/または完全に仮想の3D映像を生成することである。HMD900は、前部本体902およびバンド904を含むことができる。前部本体902は、信頼性が高く快適なやり方でユーザの目の前に配置されるよう構成され、バンド904は、前部本体902をユーザの頭に固定するよう引き伸ばされ得る。ディスプレイシステム980は、AR/VR映像をユーザに提示するために、前部本体902に配置され得る。前部本体902の側面906は、不透明または透明であり得る。
いくつかの実施形態では、前部本体902は、HMD900の加速度を追跡するためのロケータ908および慣性測定ユニット(IMU:inertial measurement unit)910、ならびにHMD900の位置を追跡するための位置センサ912を含む。IMU910は、1つまたは複数の位置センサ912から受信した測定信号に基づいて、HMD900の位置を示すデータを生成する電子デバイスであり、HMD900の動きに応答して、1つまたは複数の測定信号を生成する。位置センサ912の例は、1つまたは複数の加速度計、1つまたは複数のジャイロスコープ、1つまたは複数の磁力計、動きを検出する別の好適な種類のセンサ、IMU910の誤差補正に使用される種類のセンサ、またはこれらの何らかの組合せを含む。位置センサ912は、IMU910の外部、IMU910の内部、またはこれらの何らかの組合せに配置され得る。
ロケータ908は、仮想現実システムがHMD900全体の位置および向きを追跡できるように、仮想現実システムの外部撮像デバイスによってトレースされる。IMU910および位置センサ912によって生成された情報は、HMD900の位置および向きの追跡精度を高めるために、ロケータ908を追跡することによって得られた位置および向きと比較され得る。正確な位置および向きは、ユーザが3D空間内で移動および回転するときに、ユーザに適切な仮想風景を提示するために重要である。
HMD900は、HMD900の一部または全部を取り巻く局所エリアの深度情報を表すデータを取り込む、深度カメラ組立体(DCA:depth camera assembly)911をさらに含むことができる。DCA911は、このために、レーザレーダ(LIDAR:laser radar)または同様のデバイスを含むことができる。深度情報は、3D空間におけるHMD900の位置および向きをよりよい精度で判断するために、IMU910からの情報と比較され得る。
HMD900は、リアルタイムでユーザの目の向きおよび位置を判断する、目線追跡システム914をさらに含むことができる。取得した目の位置および向きによって、HMD900がユーザの視線方向を判断し、これに応じて、ディスプレイシステム980で生成される画像を調整することもできる。一実施形態では、輻輳、すなわち、ユーザの視線の収斂角度が判断される。判断された視線方向および輻輳角は、画角および目の位置に応じて視覚上のアーティファクトをリアルタイムで補償するためにも使用され得る。さらに、判断された輻輳角および視線角度は、ユーザとの相互作用、オブジェクトの強調表示、オブジェクトの最前面への移動、追加のオブジェクトまたはポインタ作成などに使用され得る。たとえば、前部本体902内に構築された1組の小さなスピーカを含む、音声システムも設けられ得る。
図9Bを参照すると、AR/VRシステム950は、図9AのHMD900、様々なAR/Vアプリケーション、設定および較正手順、3Dビデオなどを記憶する外部コンソール990、ならびにコンソール990を動作させるか、かつ/またはAR/VR環境と相互作用するための入力/出力(I/O:input/output)インタフェース915を含む。HMD900は、物理ケーブルでコンソール990に「繋留」されるか、またはブルートゥース(登録商標)、Wi-Fiなどの無線通信リンクを介してコンソール990に接続され得る。複数のHMD900が存在してもよく、それぞれが関連するI/Oインタフェース915を有し、各HMD900およびI/Oインタフェース915は、コンソール990と通信する。代替構成では、相異なる、かつ/または追加の構成要素が、AR/VRシステム950に含まれてもよい。さらに、図9Aおよび図9Bに示されている1つまたは複数の構成要素と併せて説明されている機能は、いくつかの実施形態において、図9Aおよび図9Bと併せて説明されているものとは別のやり方で、構成要素間で分散されてもよい。たとえば、HMD900が、コンソール915の機能の一部またはすべてを備えてもよく、逆も可能である。HMD900には、かかる機能を実現させることができる、処理モジュールが設けられ得る。
図9Aを参照して上記で説明されたように、HMD900は、目の位置および向きを追跡する、視線角度および収斂角度を判断する、などのための目線追跡システム914(図9B)、3D空間におけるHMD900の位置および向きを判断するためのIMU910、外部環境を取り込むためのDCA911、HMD900の位置を単独で判断するための位置センサ912、およびAR/VRコンテンツをユーザに表示するためのディスプレイシステム980を含むことができる。ディスプレイシステム980は、電子ディスプレイ925(図9B)、たとえば、限定されるものではないが、液晶ディスプレイ(LCD:liquid crystal display)、有機発光ディスプレイ(OLED:organic light emitting display)、無機発光ディスプレイ(ILED:inorganic light emitting display)、アクティブマトリックス式有機発光ダイオード(AMOLED:active-matrix organic light-emitting diode)ディスプレイ、透明有機発光ダイオード(TOLED:transparent organic light emitting diode)ディスプレイ、プロジェクタ、またはこれらの組合せを含む。ディスプレイシステム980は、光学ブロック930をさらに含み、光学ブロック930の機能は、電子ディスプレイ925によって生成された画像をユーザの目に伝えることである。光学ブロックは、たとえば屈折レンズ、フレネルレンズ、回折レンズ、能動または受動パンチャラトナム-ベリー位相(PBP:Pancharatnam-Berry phase)レンズ、液体レンズ、液晶レンズなどの様々なレンズ、瞳複製導波路、格子構造、コーティングなどを含むことができる。ディスプレイシステム980は、光学ブロック930の一部であり得る、可変焦点モジュール935をさらに含むことができる。可変焦点モジュール935の機能は、光学ブロック930の焦点を調整し、たとえば、輻輳と調節との競合を補償すること、特定のユーザの視力障害を補正すること、光学ブロック930の収差をオフセットすることなどである。
I/Oインタフェース915は、ユーザがアクション要求を送信し、コンソール990から応答を受信することを可能にするデバイスである。アクション要求は、特定のアクションを実行するための要求である。アクション要求は、たとえば、画像またはビデオデータの取込みを開始または終了するための命令、またはアプリケーション内で特定のアクションを実行するための命令であり得る。I/Oインタフェース915は、キーボード、マウス、ゲームコントローラ、またはアクション要求を受信し、アクション要求をコンソール990に伝達する、他の任意の好適なデバイスなどの、1つまたは複数の入力デバイスを含むことができる。I/Oインタフェース915によって受信されたアクション要求は、コンソール990に伝達され、コンソール990は、アクション要求に対応するアクションを実行する。いくつかの実施形態では、I/Oインタフェース915は、I/Oインタフェース915の初期位置に対するI/Oインタフェース915の推定位置を示す、較正データを取り込むIMUを含む。いくつかの実施形態では、I/Oインタフェース915は、コンソール990から受信した指示に従って、ユーザに触覚フィードバックを与えることができる。触覚フィードバックは、たとえば、アクション要求が受信されたときに与えられるか、またはコンソール990が、命令をI/Oインタフェース915に伝達し、コンソール990がアクションを実行するときに、I/Oインタフェース915に触覚フィードバックを生成させることができる。
コンソール990は、HMD900に、IMU910、DCA911、目線追跡システム914、およびI/Oインタフェース915のうちの1つまたは複数から受信した情報に従って処理する、コンテンツを供給する。図9Bに示されている例では、コンソール990は、アプリケーション記憶部955、追跡モジュール960、および処理モジュール965を含む。コンソール990のいくつかの実施形態は、図9Bに関連して説明されたものとは相異なるモジュールまたは構成要素を有してもよい。同様に、以下でさらに説明される機能は、図9Aおよび図9Bに関連して説明されるものとは別のやり方で、コンソール990の構成要素間に分散されてもよい。
アプリケーション記憶部955は、コンソール990によって実行される、1つまたは複数のアプリケーションを記憶することができる。アプリケーションは、プロセッサによって実行されると、ユーザに提示するコンテンツを生成する1群の命令である。アプリケーションによって生成されたコンテンツは、HMD900またはI/Oインタフェース915の動きを通して、ユーザから受信された入力に応答することができる。アプリケーションの例は、ゲームアプリケーション、プレゼンテーションおよび会議アプリケーション、ビデオ再生アプリケーション、または他の好適なアプリケーションを含む。
追跡モジュール960は、1つまたは複数の較正パラメータを使用してAR/VRシステム950を較正することができ、1つまたは複数の較正パラメータを調整して、HMD900またはI/Oインタフェース915の位置判断における誤差を低減することができる。追跡モジュール960によって実行される較正はまた、HMD900内のIMU910、および/またはもしあれば、I/Oインタフェース915に含まれるIMUから受信した情報も考慮に入れる。さらに、HMD900の追跡が失われた場合、追跡モジュール960は、AR/VRシステム950の一部または全部を再較正することができる。
追跡モジュール960は、HMD900もしくはI/Oインタフェース915の動き、IMU910、またはこれらの何らかの組合せを追跡することができる。追跡モジュール960は、たとえば、HMD900からの情報に基づいて、局所エリアのマッピングにおけるHMD900の基準点の位置を判断することができる。追跡モジュール960はまた、IMU910からのHMD900の位置を示すデータを使用して、またはI/Oインタフェース915に含まれるIMUからの、I/Oインタフェース915の位置を示すデータを使用して、それぞれ、HMD900の基準点またはI/Oインタフェース915の基準点の位置を判断することができる。さらに、いくつかの実施形態では、追跡モジュール960は、HMD900の今後の場所を予測するために、IMU910からの位置またはHMD900を示すデータの一部ばかりでなく、DCA911からの局所エリアの描写も使用することができる。追跡モジュール960は、HMD900またはI/Oインタフェース915の推定または予測される今後の位置を、処理モジュール965に供給する。
処理モジュール965は、HMD900から受信した情報に基づいて、HMD900の一部または全部を取り巻くエリア(「局所エリア」)の3Dマッピングを生成することができる。いくつかの実施形態では、処理モジュール965は、DCA911から受信した、深度の計算に使用される技法に関連する情報に基づいて、局所エリアの3Dマッピングのための深度情報を決定する。様々な実施形態において、処理モジュール965は、深度情報を使用して、局所エリアのモデルを更新し、更新されたモデルに部分的に基づいてコンテンツを生成することができる。
処理モジュール965は、AR/VRシステム950内でアプリケーションを実行し、追跡モジュール960から、HMD900の位置情報、加速度情報、速度情報、予測される今後の位置、またはこれらの何らかの組合せを受信する。処理モジュール965は、受信した情報に基づいて、HMD900に供給する、ユーザに提示するためのコンテンツを決定する。たとえば、受信した情報が、ユーザが左を向いたことを示している場合、処理モジュール965は、仮想環境における、または追加コンテンツを使って局所エリアを拡張する環境における、ユーザの動きを反映するHMD900用コンテンツを生成する。さらに、処理モジュール965は、I/Oインタフェース915から受信したアクション要求に応答して、コンソール990上で実行しているアプリケーション内でアクションを実行し、アクションが実行されたことをユーザにフィードバックする。与えられるフィードバックは、HMD900による視覚的または聴覚的フィードバック、またはI/Oインタフェース915による触覚フィードバックであり得る。
いくつかの実施形態では、処理モジュール965は、目線追跡システム914から受信した目線追跡情報(たとえば、ユーザの目の向き)に基づいて、HMD900に供給される、電子ディスプレイ925上でユーザに提示するコンテンツの解像度を決定する。処理モジュール965は、電子ディスプレイ925上で、ユーザの視線の中心窩の区域において最大画素解像度を有するコンテンツを、HMD900に供給することができる。処理モジュール965は、電子ディスプレイ925の他の区域に、より低い画素解像度を与え、これにより、AR/VRシステム950の電力消費を低減し、ユーザの視覚上の体験を損なうことなく、コンソール990のコンピュータ処理リソースを節約することができる。いくつかの実施形態では、処理モジュール965はさらに、目線追跡情報を使用し、オブジェクトが電子ディスプレイ925上のどこに表示されるかを調整して、輻輳-調節の競合を回避し、かつ/または光学歪みおよび収差をオフセットすることができる。
本明細書で開示されている態様に関連して説明された様々な例示的な論理回路、論理ブロック、モジュール、および回路を実装するために使用されるハードウェアは、汎用プロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP:digital signal processor)、特定用途向け集積回路(ASIC:application specific integrated circuit)、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA:field programmable gate array)もしくは他のプログラム可能な論理デバイス、ディスクリートのゲートもしくはトランジスタ論理回路、ディスクリートのハードウェア構成要素、または本明細書で説明された機能を実行するよう設計された、これらの任意の組合せを使って実装されるか、または実行され得る。汎用プロセッサは、マイクロプロセッサであってもよいが、代わりに、プロセッサは、任意の従来のプロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ、またはステートマシンであってもよい。プロセッサはまた、コンピュータ処理デバイスの組合せ、たとえば、DSPとマイクロプロセッサとの組合せ、複数のマイクロプロセッサ、DSPコアと組み合わされた1つまたは複数のマイクロプロセッサ、または他の任意のかかる構成で実装されてもよい。別法として、いくつかのステップまたは方法は、所与の機能に固有の回路によって実行されてもよい。
本開示は、本明細書で説明された特定の実施形態によって範囲が限定されるべきではない。実際、本明細書で説明されたものに加えて、他の様々な実施形態および修正形態が、前述の説明および添付図面から、当業者には明らかであろう。したがって、かかる他の実施形態および修正形態は、本開示の範囲に包含されることを意図している。さらに本開示は、本明細書で、特定の目的のために、特定の環境における特定の実施形態の文脈で説明されているが、当業者は、本開示の有用性がこれに限定されるものではなく、また本開示が、いくつもの目的のために、いくつもの環境で有益に実施され得ることを認識されよう。したがって、下記に示される特許請求の範囲は、特許請求の範囲の最大限の広がりを考慮して解釈されるべきである。したがって、下記に示される特許請求の範囲は、本明細書に説明される本開示の最大限の広がりを考慮して解釈されるべきである。

Claims (15)

  1. 基板と、
    前記基板によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタと、
    前記傾斜可能なリフレクタ上に支持され、かつ光ビームを受光して前記傾斜可能なリフレクタに向かって向きを変えることで前記光ビームを走査するように構成される反射偏光子と、
    を備える、ビームスキャナ。
  2. 前記反射偏光子と前記傾斜可能なリフレクタとの間の光路に4分の1波長板(QWP)をさらに備え、前記QWPは、前記光ビームが2度前記QWPを通って伝搬すると、前記光ビームの偏光状態を直交偏光状態に変更するように構成されている、請求項1に記載のビームスキャナ。
  3. 前記QWPは前記反射偏光子によって支持される、請求項2に記載のビームスキャナ。
  4. 前記光ビームを受光して前記反射偏光子に向かって向きを変えるように構成される折曲げミラーをさらに備える、請求項1から3のいずれか一項に記載のビームスキャナ。
  5. 前記折曲げミラーは前記基板によって支持される、請求項4に記載のビームスキャナ。
  6. 前記傾斜可能なリフレクタを取り囲むエンクロージャをさらに備え、前記エンクロージャは前記反射偏光子を支持し、好ましくは、前記基板によって支持され、かつ前記反射偏光子に光学的に結合される折曲げミラーをさらに備え、好ましくは、前記エンクロージャは、前記折曲げミラーに衝突するように前記光ビームを受光して透過させる光学窓を備える、請求項1に記載のビームスキャナ。
  7. 明るさまたは色のうちの少なくとも1つを含む特性を有する光ビームを提供するための光源と、
    基板と、
    前記基板によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタと、
    前記傾斜可能なリフレクタ上に支持され、かつ前記光ビームを受光して前記傾斜可能なリフレクタに向かって向きを変えることで前記光ビームを走査するように構成される反射偏光子と、
    を含む、ビームスキャナと、
    を備える、プロジェクタ。
  8. 前記反射偏光子と前記傾斜可能なリフレクタとの間の光路に4分の1波長板(QWP)をさらに備え、前記QWPは、前記光ビームが2度前記QWPを通って伝搬すると、前記光ビームの偏光状態を直交偏光状態に変更するように構成され、好ましくは、前記光ビームを受光して前記反射偏光子に向かって向きを変えるように構成される第1の折曲げミラーをさらに備える、請求項7に記載のプロジェクタ。
  9. 前記第1の折曲げミラーは前記基板によって支持される、請求項8に記載のプロジェクタ。
  10. 前記光ビームを受光して前記第1の折曲げミラーに向かって向きを変えるように構成される第2の折曲げミラーをさらに備える、請求項8または9に記載のプロジェクタ。
  11. 前記傾斜可能なリフレクタを取り囲むエンクロージャをさらに備え、前記エンクロージャは前記反射偏光子を支持し、好ましくは、前記エンクロージャは、前記第1の折曲げミラーに衝突するように前記光ビームを受光して透過させる光学窓を備える、請求項8から10のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
  12. 前記光源および前記ビームスキャナに動作可能に結合されて、前記ビームスキャナによって前記光ビームを走査することと連係して前記光ビームの前記特性を変えるコントローラをさらに備える、請求項7から11のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
  13. ディスプレイであって、
    明るさまたは色のうちの少なくとも1つを含む特性を有する光ビームを提供するための光源と、
    基板と、
    前記基板によってヒンジ式に支持される傾斜可能なリフレクタと、
    前記傾斜可能なリフレクタ上に支持され、かつ前記光ビームを受光して前記傾斜可能なリフレクタに向かって向きを変えることで前記光ビームを走査するように構成される反射偏光子と、
    を含む、ビームスキャナと、
    前記傾斜可能なリフレクタから反射される前記光ビームを受光し、前記光ビームを前記ディスプレイのアイボックス上に広げるように構成される瞳複製導波路と、
    を備える、ディスプレイ。
  14. 前記瞳複製導波路は、前記ビームスキャナの前記基板に実質的に平行である、請求項13に記載のディスプレイ。
  15. 前記光ビームを受光して前記反射偏光子に向かって向きを変えるように構成される第1の折曲げミラーをさらに備え、好ましくは、前記光ビームを受光して前記第1の折曲げミラーに向かって前記瞳複製導波路の近くに向きを変えるように構成される第2の折曲げミラーをさらに備える、請求項13または14に記載のディスプレイ。
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