JP2023173248A - 液体噴射装置、及び、液体排出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】回収流路に滞留した気泡を排出し易くすること。【解決手段】液体噴射装置は、液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、を備え、前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する。【選択図】図１４

Description

本発明は、液体噴射装置、及び、液体排出方法に関する。

従来から、インクジェット方式のプリンターに代表されるように、インク等の液体を噴射する液体噴射装置が知られている。例えば、特許文献１には、インクを噴射する複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、複数の個別流路の夫々に液体を供給する供給流路と、複数の個別流路の夫々から液体を回収する回収流路と、を有する液体噴射装置が開示されている。

特開２０２１－１３０２５８号公報

しかしながら、上述した従来の従来技術では、供給流路、個別流路、回収流路の順で液体を流動させても、回収流路内に気泡が滞留する場合があった。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射装置は、液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、を備え、前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する、ことを特徴とする。

本発明の好適な態様に係る液体排出方法は、液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、を備える液体噴射装置の液体排出方法であって、前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、前記液体噴射装置が、前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する、ことを特徴とする。

実施形態に係る液体噴射装置１００の構成例を示す概略図。 循環機構１５０及び開閉弁１６０を説明するための図。 液体噴射モジュール１４０の斜視図。 図３に示す液体噴射ヘッド１０の分解斜視図。 液体噴射装置１００内の流路を示す模式図。 ヘッドチップ１４＿１の流路を模式的に示す平面図。 ヘッドチップ１４の断面図。 ホルダー１３の平面図。 ホルダー１３に設けられる流路とヘッドチップ１４とを示す斜視図。 図８中のＡ－Ａ線断面図。 流路構造体１１の平面図。 インク充填時の一連の処理を示すフローチャートを示す図。 循環動作中のヘッドチップ１４＿１の状態を示す図。 加圧排出動作のヘッドチップ１４＿１の状態を示す図。 第１変形例における循環機構１５０－Ａを説明するための図。 第２変形例における液体噴射装置１００－Ｂ内の流路を示す模式図。 第３変形例における液体噴射装置１００－Ｃ内の流路を示す模式図。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。ただし、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

以下の説明は、便宜上、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を適宜に用いて行う。また、Ｘ軸に沿う一方向がＸ１方向であり、Ｘ１方向と反対の方向がＸ２方向である。同様に、Ｙ軸に沿って互いに反対の方向がＹ１方向及びＹ２方向である。また、Ｚ軸に沿って互いに反対の方向がＺ１方向及びＺ２方向である。

ここで、典型的には、Ｚ軸が鉛直な軸であり、Ｚ２方向が鉛直方向での下方向に相当する。言い換えれば、Ｚ２方向は、重力方向である。ただし、Ｚ軸は、鉛直な軸でなくともよく、鉛直な軸に対して傾斜してもよい。また、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０度以上１００度以下の範囲内の角度で交差すればよい。

１．第１実施形態
１－１．液体噴射装置１００の概略
図１は、実施形態に係る液体噴射装置１００の構成例を示す概略図である。液体噴射装置１００は、液体の一例であるインクを液滴として媒体Ｍに噴射するインクジェット方式の印刷装置である。本実施形態の液体噴射装置１００は、インクを噴射する複数のノズルＮが媒体Ｍの幅方向での全範囲にわたり分布する、いわゆるライン方式の印刷装置である。媒体Ｍは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体Ｍは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルム又は布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。

図１に示すように、液体噴射装置１００は、メインタンク１１０と、ポンプ１１２と、制御モジュール１２０と、搬送機構１３０と、複数の液体噴射ヘッド１０を有する液体噴射モジュール１４０と、循環機構１５０と、開閉弁１６０とを有する。

メインタンク１１０は、インクを貯留する容器である。メインタンク１１０の具体的な態様としては、例えば、液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、メインタンク１１０に貯留されるインクの種類は任意である。

本実施形態のメインタンク１１０は、図示しないが、第１液体容器と第２液体容器とを含む。第１液体容器には、第１インクが貯留される。第２液体容器には、第１インクと異なる種類の第２インクが貯留される。例えば、第１インク及び第２インクは、互いに異なる色のインクである。なお、第１インクと第２インクとが同じ種類のインクであってもよい。ポンプ１１２は、制御モジュール１２０の制御のもとで、メインタンク１１０から循環機構１５０に供給されるインクの量を調整する。なお、制御モジュール１２０以外の装置が、ポンプ１１２を制御してもよい。ポンプ１１２は、前述の第１液体容器及び第２液体容器の夫々について容器ごとに設けられる。

制御モジュール１２０は、液体噴射装置１００の各要素の動作を制御する。具体的には、制御モジュール１２０は、画像を示す画像データＩｍｇを、パーソナルコンピューター又はデジタルカメラ等のホストコンピューターから受信する。制御モジュール１２０は、受信した画像データＩｍｇに基づいて、液体噴射ヘッド１０を駆動するための駆動信号Ｃｏｍと、液体噴射ヘッド１０を制御するための制御信号ＳＩとを、液体噴射ヘッド１０に対して供給する。そして、液体噴射ヘッド１０は、制御信号ＳＩによる制御のもとで駆動信号Ｃｏｍにより駆動され、液体噴射ヘッド１０に設けられた複数のノズルＮの一部又は全部から、Ｚ２方向にインクを噴射させる。すなわち、液体噴射ヘッド１０は、搬送機構１３０による媒体Ｍの搬送に連動して、複数のノズルＮの一部又は全部からインクを噴射させて、当該噴射されたインクを媒体Ｍの表面に着弾させることで、媒体Ｍの表面に所望の画像を形成する印刷処理を実行する。なお、ノズルＮについては、図５、図６及び図７において後述する。

制御モジュール１２０は、例えば、ＣＰＵ又はＦＰＧＡ等の１又は複数の処理回路と、半導体メモリー等の１又は複数の記憶回路とを含む。ＣＰＵは、Central Processing Unitの略語である。ＦＰＧＡは、Field Programmable Gate Arrayの略語である。当該記憶回路には、各種プログラム及び各種データが記憶される。当該処理回路は、当該プログラムを実行するとともに当該データを適宜使用することにより各種制御を実現する。

搬送機構１３０は、制御モジュール１２０による制御のもとで、媒体Ｍを方向ＤＭに搬送する。本実施形態の方向ＤＭは、Ｙ２方向である。図１に示す例では、搬送機構１３０は、Ｘ軸に沿って長尺な搬送ローラーと、当該搬送ローラーを回転させるモーターと、を含む。なお、搬送機構１３０は、搬送ローラーを用いる構成に限定されず、例えば、媒体Ｍを外周面に静電力等により吸着させた状態で搬送するドラム又は無端ベルトを用いる構成でもよい。

液体噴射モジュール１４０は、制御モジュール１２０による制御のもとで、メインタンク１１０からポンプ１１２及び循環機構１５０を介して供給されるインクを複数のノズルＮの夫々からＺ２方向に媒体Ｍに噴射する。液体噴射モジュール１４０は、Ｘ軸の方向における媒体Ｍの全範囲にわたり複数のノズルＮが分布するように配置される複数の液体噴射ヘッド１０を有するラインヘッドである。つまり、複数の液体噴射ヘッド１０の集合体は、Ｘ軸に沿う方向に延びる長尺なラインヘッドを構成する。複数の液体噴射ヘッド１０からのインクの噴射が搬送機構１３０による媒体Ｍの搬送に並行して行われることにより、媒体Ｍの表面にインクによる画像が形成される。なお、１つの液体噴射ヘッド１０の有する複数のノズルＮがＸ軸に沿う方向での媒体Ｍの全範囲にわたり分布するように配置されてもよく、この場合、例えば、液体噴射モジュール１４０は、当該１つの液体噴射ヘッド１０で構成される。

液体噴射モジュール１４０には、循環機構１５０を介してメインタンク１１０が接続される。循環機構１５０は、制御モジュール１２０による制御のもとで、液体噴射モジュール１４０内の複数の液体噴射ヘッド１０の夫々にインクを供給するとともに、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々から排出されるインクを液体噴射ヘッド１０への再供給のために回収する機構である。循環機構１５０及び開閉弁１６０は、前述の第１液体容器及び第２液体容器の夫々について容器ごとに設けられる。循環機構１５０の動作により、インクの粘度上昇を抑えたり、インク内の気泡の滞留を低減したりできる。循環機構１５０及び開閉弁１６０について、図２に基づいて説明する。

１－２．循環機構１５０及び開閉弁１６０
図２は、循環機構１５０及び開閉弁１６０を説明するための図である。図２では、第１インクに関する要素について表示してある。第２インクに関する要素は、第１インクに関する要素と同様であるため、図示及び説明を省略する。

図２に示すように、循環機構１５０は、液体貯留部１５１と、コンプレッサー１５２と、レギュレーター１５３と、真空ポンプ１５４と、レギュレーター１５５と、圧力センサー１５６と、圧力センサー１５７と、ポンプ１５１４とを有する。

液体貯留部１５１は、詳しくは後述する供給流路ＳＦ１及び回収流路ＣＦ１に接続されており、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々に供給するための第１インクを貯留する。本実施形態の液体貯留部１５１は、供給流路ＳＦ１に接続された第１サブタンク１５１２と、回収流路ＣＦ１に接続された第２サブタンク１５１６とを有する。第１サブタンク１５１２には、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々に供給するための第１インクが貯留される。第２サブタンク１５１６には、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々から回収した第１インクと、メインタンク１１０から補充された第１インクとが貯留される。

供給流路ＳＦ１は、第１サブタンク１５１２に接続されるとともに複数の液体噴射ヘッド１０に第１インクを分配して供給する装置内供給流路ＳＪ１と、詳しくは後述する複数のヘッド内供給流路と、を有する。装置内供給流路ＳＪ１は、液体噴射ヘッド１０の外部に設けられた流路であり、第１サブタンク１５１２に接続された本流部分と、当該本流部分から当該複数のヘッド内流路ごとに分岐する複数の支流部分とを有する。

回収流路ＣＦ１は、第２サブタンク１５１６に接続されるとともに複数の液体噴射ヘッド１０から第１インクを合流させて回収する装置内回収流路ＣＪ１と、詳しくは後述する複数のヘッド内回収流路と、を有する。装置内回収流路ＣＪ１は、液体噴射ヘッド１０の外部に設けられた流路であり、第２サブタンク１５１６に接続された本流部分と、当該本流部分と当該複数のヘッド内回収流路の夫々とを接続するための複数の支流部分とを有する。

開閉弁１６０は、装置内回収流路ＣＪ１の途中に設けられる。開閉弁１６０は、制御モジュール１２０の制御のもとで、装置内回収流路ＣＪ１を閉塞及び開放可能である。以下の記載では、開閉弁１６０が装置内回収流路ＣＪ１を閉塞することを、「開閉弁１６０を閉じる」と記載することがあり、開閉弁１６０が装置内回収流路ＣＪ１を開放することを、「開閉弁１６０を開く」と記載することがある。なお、制御モジュール１２０以外の装置が、開閉弁１６０を制御してもよい。開閉弁１６０は、制御モジュール１２０等の装置から制御可能な弁であればどのようなものでよく、例えば、ダイアフラム弁、電磁弁、及び、電動弁等である。

なお、本実施形態では、開閉弁１６０は、装置内回収流路ＣＪ１の当該本流部分の途中に設けられているが、装置内回収流路ＣＪ１の当該複数の支流部分の夫々の途中に複数の開閉弁１６０が設けられるようにしてもよい。

コンプレッサー１５２と真空ポンプ１５４とは、第１サブタンク１５１２内の圧力と第２サブタンク１５１６の圧力とに差圧を生じさせる。本実施形態では、コンプレッサー１５２は、真空ポンプ１５４が発生させる圧力よりも高い圧力のみを発生させる。具体的には、コンプレッサー１５２は、大気圧よりも高い正圧を発生させる。真空ポンプ１５４は、大気圧より低い負圧を発生させる。なお、コンプレッサー１５２は、「加圧機構」の一例である。ただし、加圧機構は、コンプレッサーに限らず、チューブポンプ、シリンジポンプ、ダイアフラムポンプ等のポンプでもよい。

レギュレーター１５３は、コンプレッサー１５２と第１サブタンク１５１２との間に設けられる。レギュレーター１５３は、制御モジュール１２０の制御のもと、コンプレッサー１５２で発生した圧力を所定の正圧に調整し、所定の正圧を第１サブタンク１５１２に供給する。所定の正圧の値は、液体噴射装置１００の製造者等によって定められる値である。

レギュレーター１５５は、真空ポンプ１５４と第２サブタンク１５１６との間に設けられる。レギュレーター１５５は、制御モジュール１２０の制御のもと、真空ポンプ１５４で発生した圧力を所定の負圧に調整し、所定の負圧を第２サブタンク１５１６に供給する。所定の負圧の値は、液体噴射装置１００の製造者等によって定められる値である。

ポンプ１５１４は、第１サブタンク１５１２と第２サブタンク１５１６との間に設けられる。ポンプ１５１４は、制御モジュール１２０の制御のもと、第２サブタンク１５１６の第１インクを第１サブタンク１５１２に流動させる。

圧力センサー１５６は、第１サブタンク１５１２と液体噴射ヘッド１０の液体供給口Ｐｉｎのとの間の装置内供給流路ＳＪ１の途中に設けられる。圧力センサー１５６は、装置内供給流路ＳＪ１の圧力を計測し、計測結果である計測値を示す計測情報を、制御モジュール１２０に送信する。

圧力センサー１５７は、第２サブタンク１５１６と液体噴射ヘッド１０の液体排出口Ｐｏｕｔとの間の装置内回収流路ＣＪ１の途中に設けられる。より詳細には、圧力センサー１５７は、開閉弁１６０と第２サブタンク１５１６との間に設けられる。圧力センサー１５７は、装置内回収流路ＣＪ１の圧力を計測し、計測結果である計測値を示す計測情報を、制御モジュール１２０に送信する。

以上により、第１サブタンク１５１２から液体供給口Ｐｉｎを通って液体噴射ヘッド１０内に第１インクが流入し、液体排出口Ｐｏｕｔから第２サブタンク１５１６へ第１インクが回収され、ポンプ１５１４によって第２サブタンク１５１６から第１サブタンク１５１２に第１インクが流動することにより、第１インクが循環する。

制御モジュール１２０は、圧力センサー１５６から受信した計測情報が示す計測値が所定の正圧に近づくように、レギュレーター１５３を制御する。同様に、制御モジュール１２０は、圧力センサー１５７から受信した計測情報が示す計測値が所定の負圧に近づくように、レギュレーター１５５を制御する。

以上の制御モジュール１２０の制御により、制御モジュール１２０は、第１インクを液体噴射ヘッド１０内を経由させて循環させつつ、ノズルＮの液面であるメニスカスの圧力を一定に保つことができる。なお、制御モジュール１２０以外の装置が、循環機構１５０を制御してもよい。

また、ノズルＮから第１インクが噴射されると、第１サブタンク１５１２と第２サブタンク１５１６との合計の第１インクの量が減少する。このため、適宜、ポンプ１１２は、制御モジュール１２０の制御のもとで、メインタンク１１０から第２サブタンク１５１６にインクを供給することにより、第２サブタンク１５１６の第１インクを補充する。第２サブタンク１５１６の第１インクを補充するタイミングは、例えば、第２サブタンク１５１６の第１インクの高さが所定の高さよりも下がったときに補充を行う。

１－３．液体噴射モジュール１４０
図３は、液体噴射モジュール１４０の斜視図である。図３に示すように、液体噴射モジュール１４０は、支持体４１と複数の液体噴射ヘッド１０とを有する。支持体４１は、複数の液体噴射ヘッド１０を支持する部材である。図３に示す例では、支持体４１は、金属等で構成される板状部材であり、複数の液体噴射ヘッド１０を取り付けるための取付孔４１ａが設けられる。取付孔４１ａには、複数の液体噴射ヘッド１０がＸ軸に沿う方向に並ぶ状態で挿入されており、各液体噴射ヘッド１０は、支持体４１に対してネジ止め等により固定される。図３では、２個の液体噴射ヘッド１０が代表的に図示される。なお、液体噴射モジュール１４０における液体噴射ヘッド１０の数は、任意である。また、支持体４１の形状等も、図３に示す例に限定されず、任意である。

１－４．液体噴射ヘッド１０
図４は、図３に示す液体噴射ヘッド１０の分解斜視図である。図４に示すように、液体噴射ヘッド１０は、流路構造体１１と配線基板１２とホルダー１３と複数のヘッドチップ１４＿１、１４＿２、１４＿３、１４＿４、１４＿５及び１４＿６と固定板１５とベース１６とを有する。これらは、Ｚ２方向に向かって、ベース１６、流路構造体１１、配線基板１２、ホルダー１３、複数のヘッドチップ１４＿１、１４＿２、１４＿３、１４＿４、１４＿５及び１４＿６、固定板１５の順に配置される。以下、液体噴射ヘッド１０の各部を順次説明する。なお、以下では、ヘッドチップ１４＿１、１４＿２、１４＿３、１４＿４、１４＿５及び１４＿６の夫々をヘッドチップ１４という場合がある。

流路構造体１１は、循環機構１５０と複数のヘッドチップ１４との間でインクを流すための流路が内部に設けられる構造体である。流路構造体１１には、図４に示すように、接続管１１ａ、接続管１１ｂ、接続管１１ｃ、接続管１１ｄ及び孔１１ｅが設けられる。

ここで、図４では図示を省略するが、流路構造体１１の内部には、２つの構造体内供給流路ＣＣ１，ＣＣ２と、２つの構造体内排出流路ＣＭ１，ＣＭ２とが設けられる。構造体内供給流路ＣＣ１，ＣＣ２の夫々は、インクを複数のヘッドチップ１４に供給するための流路である。２つの構造体内供給流路ＣＣ１，ＣＣ２の夫々の途中には、異物等を捕捉するためのフィルター２５が設置される。構造体内排出流路ＣＭ１，ＣＭ２は、複数のヘッドチップ１４からインクを排出するための流路である。なお、流路構造体１１の流路については、後述の図５及び図１１に基づいて説明する。

接続管１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及び１１ｄは、Ｚ１方向に突出する管体である。より具体的には、接続管１１ａは、構造体内供給流路ＣＣ１に第１インクを供給するための流路を構成する管体である。また、接続管１１ｂは、構造体内供給流路ＣＣ２に第２インクを供給するための流路を構成する管体である。一方、接続管１１ｃは、構造体内排出流路ＣＭ１から第１インクを排出するための流路を構成する管体である。また、接続管１１ｄは、構造体内排出流路ＣＭ２から第２インクを排出するための流路を構成する管体である。孔１１ｅは、後述のコネクター１２ｃを挿入するための孔である。接続管１１ａの開口が、液体供給口Ｐｉｎである。接続管１１ｃの開口が、液体排出口Ｐｏｕｔである。

配線基板１２は、複数のヘッドチップ１４と後述の集合基板１６ｂとを電気的に接続するための実装部品である。配線基板１２は、例えば、リジッド配線基板である。配線基板１２は、流路構造体１１とホルダー１３との間に配置されており、配線基板１２における流路構造体１１と対向する面には、コネクター１２ｃが設置される。コネクター１２ｃは、後述の集合基板１６ｂに接続される接続部品である。また、配線基板１２には、複数の孔１２ａ及び複数の開口部１２ｂが設けられる。各孔１２ａは、流路構造体１１とホルダー１３との接続を許容するための孔である。各開口部１２ｂは、ヘッドチップ１４と配線基板１２とを接続する配線基板１４ｈが通される孔である。当該配線基板１４ｈは、配線基板１２のＺ１方向を向く面に接続される。配線基板１４ｈは、後述する圧電素子１４ｅと電気的に接続される配線を含む部材であり、例えば、ＦＰＣ又はＣＯＦ等である。ＦＰＣは、Flexible Printed Circuitsの略語である。ＣＯＦは、Chip On Filmの略語である。

ホルダー１３は、複数のヘッドチップ１４を収容及び支持する構造体である。ホルダー１３は、例えば、樹脂材料又は金属材料等で構成される。ホルダー１３は、Ｚ軸に垂直な方向に拡がる板状をなす。また、ホルダー１３には、接続管１３ａ、接続管１３ｂ、複数の接続管１３ｃ、複数の接続管１３ｄ及び複数の配線孔１３ｅが設けられる。また、図示しないが、ホルダー１３のＺ２方向を向く面には、複数のヘッドチップ１４を収容する複数の凹部が設けられる。

本実施形態では、ホルダー１３には、６個のヘッドチップ１４＿１～１４＿６が保持される。これらのヘッドチップ１４は、ヘッドチップ１４＿１、１４＿４、１４＿２、１４＿５、１４＿３、１４＿６の順に、Ｘ２方向に並ぶ。ここで、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３は、ヘッドチップ１４＿４～１４＿６に対してＹ１方向にずれた位置に配置される。ただし、ヘッドチップ１４＿１～１４＿６は、Ｘ１方向又はＸ２方向にみて互いに重なる部分を有する。また、ヘッドチップ１４＿１～１４＿６の後述する複数のノズルＮの配列方向ＤＮが互いに平行である。更に、ヘッドチップ１４＿１～１４＿６の夫々は、媒体Ｍの搬送方向である方向ＤＭに対して配列方向ＤＮが傾斜するように配置される。

ここで、図４では図示を省略するが、ホルダー１３の内部には、２つのホルダー内供給流路ＳＰ１，ＳＰ２、ヘッドチップ１４ごとのホルダー内排出流路ＤＳ１，ＤＳ２、及び、複数のバイパス流路ＢＰ１，ＢＰ２が設けられる。ホルダー内供給流路ＳＰ１，ＳＰ２の夫々は、複数のヘッドチップ１４にインクを供給するための分岐を有する流路である。ホルダー内排出流路ＤＳ１，ＤＳ２は、ヘッドチップ１４から排出されるインクを流路構造体１１の構造体内排出流路ＣＭ１に導入するための流路である。バイパス流路ＢＰ１，ＢＰ２は、ヘッドチップ１４ごとに設けられ、後述の第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とを連通させる迂回流路である。なお、ホルダー１３の流路については、後述の図６から図８に基づいて説明する。

本実施形態では、ヘッドチップ１４＿１～１４＿６のうち、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３に第１インクが供給され、ヘッドチップ１４＿４～１４＿６に第２インクが供給される。

接続管１３ａ、１３ｂ、１３ｃ及び１３ｄは、Ｚ１方向に突出する管状の突起である。より具体的には、接続管１３ａは、ホルダー内供給流路ＳＰ１に第１インクを供給するための流路を構成する管体であり、流路構造体１１の構造体内供給流路ＣＣ１に連通する。また、接続管１３ｂは、ホルダー内供給流路ＳＰ２に第２インクを供給するための流路を構成する管体であり、流路構造体１１の構造体内供給流路ＣＣ２に連通する。一方、接続管１３ｃは、ホルダー内排出流路ＤＳ１から第１インクを排出するための流路を構成する管体であり、流路構造体１１の構造体内排出流路ＣＭ１に連通する。また、接続管１３ｄは、ホルダー内排出流路ＤＳ２から第２インクを排出するための流路を構成する管体であり、流路構造体１１の構造体内排出流路ＣＭ２に連通する。配線孔１３ｅは、ヘッドチップ１４と配線基板１２とを接続する配線基板１４ｈが通される孔である。

各ヘッドチップ１４は、インクを噴射する。具体的には、図４では図示を省略するが、各ヘッドチップ１４は、第１インクを噴射する複数のノズルＮと、第２インクを噴射する複数のノズルＮと、を有する。これらのノズルＮは、各ヘッドチップ１４のＺ２方向を向く面であるノズル面ＦＮに設けられる。ヘッドチップ１４の詳細については、後述の図７に基づいて説明する。

固定板１５は、複数のヘッドチップ１４をホルダー１３に対して固定するための板部材である。具体的には、固定板１５は、ホルダー１３との間に複数のヘッドチップ１４を挟む状態で配置され、ホルダー１３に対して接着剤により固定される。固定板１５は、例えば、金属材料等で構成される。固定板１５には、当該複数のヘッドチップ１４のノズルＮを露出させるための複数の開口部１５ａが設けられる。図４に示す例では、当該複数の開口部１５ａは、ヘッドチップ１４ごとに個別に設けられる。

ベース１６は、前述の支持体４１に対して、流路構造体１１、配線基板１２、ホルダー１３、複数のヘッドチップ１４、及び固定板１５を固定するための部材である。ベース１６は、本体１６ａと集合基板１６ｂとカバー１６ｃとを有する。

本体１６ａは、ホルダー１３に対してネジ止め等により固定されることにより、ベース１６とホルダー１３との間に配置される流路構造体１１及び配線基板１２を保持する。本体１６ａは、例えば、樹脂材料等で構成される。本体１６ａは、前述の流路構造体１１の板状部分に対向する板状の部分を有しており、当該板状の部分には、前述の接続管１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及び１１ｄが挿入される複数の孔１６ｄが設けられる。また、本体１６ａは、当該板状の部分からＺ２方向に延びる部分を有しており、当該部分の先端には、前述の支持体４１に固定するためのフランジ１６ｅが設けられる。

集合基板１６ｂは、制御モジュール１２０と前述の配線基板１２とを電気的に接続するための実装部品である。集合基板１６ｂは、例えば、リジット配線基板である。カバー１６ｃは、集合基板１６ｂを保護するとともに集合基板１６ｂを本体１６ａに対して固定するための板状部材である。カバー１６ｃは、例えば、樹脂材料等で構成されており、ネジ止め等により本体１６ａに固定される。

１－５．液体噴射装置１００内の流路
図５は、液体噴射装置１００内の流路を示す模式図である。図５では、第１インクが流動する流路を示してある。上述したように、ヘッドチップ１４＿１～１４＿６のうち、第１インクが供給されるヘッドチップ１４は、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３である。従って、図５では、液体噴射ヘッド１０内には、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３を表示してある。なお、第２インクが流動する流路も、第１インクが流動する流路と同様であるため、図示及び説明を省略する。

図５に示すように、液体噴射装置１００は、複数のノズルＮの各々に連通する複数の個別流路ＰＪと、液体貯留部１５１と、液体貯留部１５１から複数の個別流路ＰＪへ第１インクを供給するための供給流路ＳＦ１と、複数の個別流路ＰＪから液体貯留部１５１へ第１インクを回収するための回収流路ＣＦ１と、複数の個別流路ＰＪのいずれも経由しないで供給流路ＳＦ１と回収流路ＣＦ１とを接続するバイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２と、回収流路ＣＦ１を閉塞及び開放可能な開閉弁１６０と、を有する。以下の記載において、バイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２を、バイパス流路ＢＰと総称することがある。図５に示すように、開閉弁１６０は、回収流路ＣＦ１のうちバイパス流路ＢＰと液体貯留部１５１との間に配置される。複数の個別流路ＰＪと、複数のノズルＮとは１対１で対応する。個別流路ＰＪに関しては、図６を用いて説明する。

上述したように、コンプレッサー１５２は、真空ポンプ１５４が発生させる圧力よりも高い圧力のみを発生させるため、第１インクが供給流路ＳＦ１を介して液体貯留部１５１から複数の個別流路ＰＪに流れる方向のみに供給流路ＳＦ１内のインクが流動する。

図５に示すように、第１インクを供給するための供給流路ＳＦ１は、図２に示した装置内供給流路ＳＪ１と、前述のヘッド内供給流路と有する。ヘッド内供給流路は、構造体内供給流路ＣＣ１と、ホルダー内供給流路ＳＰ１と、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３の夫々の第１共通液室Ｒ１とを有する。また、回収流路ＣＦ１は、図２に示した装置内回収流路ＣＪ１と、前述のヘッド内排出流路とを有する。ヘッド内排出流路は、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３の夫々の第２共通液室Ｒ２と、ホルダー内排出流路ＤＳ１と、構造体内排出流路ＣＭ１とを有する。

構造体内供給流路ＣＣ１は、接続管１１ａの液体供給口Ｐｉｎから導入された第１インクを、ホルダー内供給流路ＳＰ１に供給するための流路である。図５に示すように、構造体内供給流路ＣＣ１内には、フィルター２５が設けられる。図５に示すように、バイパス流路ＢＰは、フィルター２５の下流に設けられる。

ホルダー内供給流路ＳＰ１は、構造体内供給流路ＣＣ１から接続管１３ａの液体供給口Ｑｉｎを介して導入された第１インクを、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３に第１インクを供給するための流路である。液体供給口Ｑｉｎは、図４に示した接続管１３ａの開口である。ホルダー内供給流路ＳＰ１は、ヘッドチップ１４＿１～１４＿３に第１インクを供給するため、３つの分岐した部分を有する。

第１共通液室Ｒ１には、各個別流路ＰＪに供給するための第１インクが貯留される。第１共通液室Ｒ１は、ホルダー内供給流路ＳＰ１から供給された第１インクを貯留する。第２共通液室Ｒ２には、噴射に供されずに各個別流路ＰＪから排出される第１インクが貯留される。第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２は、複数の個別流路ＰＪを介して連通する。また、第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２には、バイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２が接続される。バイパス流路ＢＰ１、ＢＰ２は、複数の個別流路ＰＪを迂回して第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とを連通させる流路であり、ホルダー１３に設けられる。バイパス流路ＢＰには、ノズルＮが設けられない。バイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２の詳細については、後述の図６、図８、図９、及び、図１０に基づいて説明する。

ホルダー内排出流路ＤＳ１は、第１インクを用いるヘッドチップ１４ごとに設けられ、当該ヘッドチップ１４から導入される第１インクを接続管１３ｃの液体排出口Ｑｏｕｔから排出するための流路である。液体排出口Ｑｏｕｔは、図４に示した接続管１３ｃの開口である。

構造体内排出流路ＣＭ１は、ホルダー内排出流路ＤＳ１から液体排出口Ｑｏｕｔを介して導入された第１インクを、装置内回収流路ＣＪ１に供給するための流路である。

循環機構１５０は、液体貯留部１５１、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、回収流路ＣＦ１、液体貯留部１５１の順に第１インクを循環させる循環動作を実行する。つまり、液体貯留部１５１、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、回収流路ＣＦ１は、第１インクが循環する循環経路を構成する。本明細書における上流は、特に記載のない限り、循環動作における循環経路の上流を意味する。本明細書における下流は、特に記載のない限り、循環動作における循環経路の下流を意味する。つまり、液体貯留部１５１（第１サブタンク１５１２）と供給流路ＳＦ１との接続位置が、循環経路における最も上流となる位置であり、液体貯留部１５１（第２サブタンク１５１６）と供給流路ＳＦ１との接続位置が、最も下流となる位置である。従って、第１実施形態では、２つの要素のうち一方の要素が他方の要素に対して第１サブタンク１５１２に近い場合、一方の要素は他方の要素に対して上流に位置することを意味する。同様に２つの要素のうち一方の要素が他方の要素に対して第２サブタンク１５１６に近い場合、一方の要素は他方の要素に対して下流に位置することを意味する。

１－６．ヘッドチップ１４
図６は、ヘッドチップ１４＿１の流路を模式的に示す平面図である。以下の説明は、便宜上、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸のほか、Ｖ軸及びＷ軸を適宜に用いて行う。また、Ｖ軸に沿う一方向がＶ１方向であり、Ｖ１方向と反対の方向がＶ２方向である。同様に、Ｗ軸に沿って互いに反対の方向がＷ１方向及びＷ２方向である。

ここで、Ｖ軸は、後述の複数のノズルＮの配列方向に沿う軸であり、Ｙ軸をＺ軸まわりに所定角度で回転させた軸である。Ｗ軸は、Ｘ軸をＺ軸まわりに当該所定角度で回転させた軸である。従って、Ｖ軸及びＷ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０度以上１００度以下の範囲内の角度で交差すればよい。また、当該所定角度、すなわち、Ｖ軸とＹ軸とのなす角度、又は、Ｗ軸とＸ軸とのなす角度は、例えば、４０度以上６０度以下の範囲内である。

図６では、ヘッドチップ１４＿１～１４＿６のうち、ヘッドチップ１４＿１の流路を代表して示してある。

図６に示すように、ヘッドチップ１４には、複数のノズルＮと複数の個別流路ＰＪと第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とが設けられる。図６中の二点鎖線で示すように、第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２には、バイパス流路ＢＰ１、ＢＰ２が接続される。

ヘッドチップ１４は、媒体Ｍに対向する表面を有し、当該表面には、図６に示すように、複数のノズルＮが設けられる。複数のノズルＮは、Ｖ軸に沿って配列される。複数のノズルＮの夫々は、Ｚ２方向にインクを噴射する。

ここで、複数のノズルＮの集合は、ノズル列Ｌｎを構成する。また、複数のノズルＮは、所定のピッチで等間隔に配列される。当該所定のピッチは、Ｖ軸に沿う方向における複数のノズルＮの中心間の距離である。

複数のノズルＮの夫々には、個別流路ＰＪが連通する。複数の個別流路ＰＪの夫々は、Ｗ軸に沿って延びており、互いに異なるノズルＮに連通する。複数の個別流路ＰＪは、Ｖ軸に沿って配列される。

図６に示すように、各個別流路ＰＪは、圧力室Ｃａと圧力室Ｃｂとノズル流路Ｎｆと個別供給流路Ｒａ１と個別排出流路Ｒａ２と第１連通流路Ｎａ１と第２連通流路Ｎａ２とを有する。

各個別流路ＰＪにおける圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂの夫々は、Ｗ軸に沿って延びており、当該個別流路ＰＪに連通するノズルＮから噴射されるインクが貯留される空間である。図６に示す例では、複数の圧力室Ｃａは、Ｖ軸に沿って配列される。同様に、複数の圧力室Ｃｂは、Ｖ軸に沿って配列される。なお、各個別流路ＰＪにおいて、Ｖ軸に沿う方向における圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂの位置は、図６に示す例では互いに同じであるが、互いに異なってもよい。なお、以下では、圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂを特に区別しない場合に、これらの夫々を「圧力室Ｃ」という場合がある。

各個別流路ＰＪにおける圧力室Ｃａと圧力室Ｃｂとの間には、ノズル流路Ｎｆが配置される。ここで、圧力室Ｃａは、Ｚ軸に沿って延びる第１連通流路Ｎａ１を介してノズル流路Ｎｆに連通する。圧力室Ｃｂは、Ｚ軸に沿って延びる第２連通流路Ｎａ２を介してノズル流路Ｎｆに連通する。

各個別流路ＰＪにおいて、ノズル流路Ｎｆは、Ｗ軸に沿って延びる空間である。また、複数のノズル流路Ｎｆは、互いに間隔をあけてＶ軸に沿って配列される。各ノズル流路Ｎｆには、ノズルＮが設けられる。各ノズル流路Ｎｆでは、前述の圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂ内の圧力が変化することで、ノズルＮからインクが噴射される。

第１連通流路Ｎａ１及び第２連通流路Ｎａ２の夫々は、Ｚ軸に沿って延びる空間である。なお、第１連通流路Ｎａ１及び第２連通流路Ｎａ２は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。

複数の個別流路ＰＪには、第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２が連通する。ここで、圧力室Ｃａは、Ｚ軸に沿って延びる個別供給流路Ｒａ１を介して第１共通液室Ｒ１に連通する。圧力室Ｃｂは、Ｚ軸に沿って延びる個別排出流路Ｒａ２を介して第２共通液室Ｒ２に連通する。

第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２の夫々は、複数のノズルＮが分布する全範囲に亘ってＶ軸に沿って延びる空間である。ここで、第１共通液室Ｒ１は、各個別流路ＰＪのＷ２方向での端に接続される。第１共通液室Ｒ１には、各個別流路ＰＪに供給するためのインクが貯留される。一方、第２共通液室Ｒ２は、各個別流路ＰＪのＷ１方向での端に接続される。第２共通液室Ｒ２には、噴射に供されずに各個別流路ＰＪから排出されるインクが貯留される。

第１共通液室Ｒ１には、供給口ＩＯ１と排出口ＩＯ３ａと排出口ＩＯ３ｂとが設けられる。供給口ＩＯ１は、ホルダー１３のホルダー内供給流路ＳＰ１から第１共通液室Ｒ１にインクを導入するための管路である。排出口ＩＯ３ａは、第１共通液室Ｒ１からバイパス流路ＢＰ１にインクを排出するための管路である。排出口ＩＯ３ｂは、第１共通液室Ｒ１からバイパス流路ＢＰ２にインクを排出するための管路である。

ここで、ホルダー内供給流路ＳＰ１は、流路構造体１１の構造体内供給流路ＣＣ１を介して循環機構１５０に接続される。

第２共通液室Ｒ２には、排出口ＩＯ２と導入口ＩＯ４ａと導入口ＩＯ４ｂとが設けられる。排出口ＩＯ２は、第２共通液室Ｒ２からホルダー１３のホルダー内排出流路ＤＳ１にインクを排出するための管路である。導入口ＩＯ４ａは、バイパス流路ＢＰ１から第２共通液室Ｒ２にインクを導入するための管路である。導入口ＩＯ４ｂは、バイパス流路ＢＰ２から第２共通液室Ｒ２にインクを導入するための管路である。

ここで、ホルダー内排出流路ＤＳ１は、流路構造体１１の構造体内排出流路ＣＭ１を介して循環機構１５０に接続される。

図７は、ヘッドチップ１４の断面図である。図７では、Ｗ軸及びＺ軸を含む平面で切断されるヘッドチップ１４の断面が示される。ヘッドチップ１４は、図７に示すように、ノズル基板１４ａ、流路基板１４ｂ、圧力室基板１４ｃ及び振動板１４ｄと複数の圧電素子１４ｅとケース１４ｆと保護板１４ｇと配線基板１４ｈと可撓性部材１４ｊａと可撓性部材１４ｊｂとを有する。

ノズル基板１４ａ、流路基板１４ｂ、圧力室基板１４ｃ及び振動板１４ｄは、この順にＺ１方向に向かって積層される。これらの各部材は、Ｖ軸に沿って延びており、例えば、半導体加工技術を用いてシリコンの単結晶基板を加工することにより製造される。また、これらの部材は、接着剤等により互いに接合される。なお、これらの部材のうちの隣り合う２つの部材間には、接着層等の他の層又は基板が適宜に介在してもよい。

ノズル基板１４ａには、複数のノズルＮが設けられる。複数のノズルＮの夫々は、ノズル基板１４ａを貫通しており、インクを通過させる貫通孔である。複数のノズルＮは、Ｖ軸に沿う方向に配列される。

流路基板１４ｂには、第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２の夫々の一部と複数の個別流路ＰＪにおける圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂを除く部分とが設けられる。すなわち、流路基板１４ｂには、ノズル流路Ｎｆ、第１連通流路Ｎａ１、第２連通流路Ｎａ２、個別供給流路Ｒａ１及び個別排出流路Ｒａ２が設けられる。

第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２の夫々の一部は、流路基板１４ｂを貫通する空間である。流路基板１４ｂのＺ２方向を向く面には、当該空間による開口を閉塞する可撓性部材１４ｊａ及び１４ｊｂが設置される。以下の記載において、可撓性部材１４ｊａ及び１４ｊｂを、可撓性部材１４ｊと総称することがある。

可撓性部材１４ｊは、弾性材料で構成される層状部材である。可撓性部材１４ｊａは、一方の面が第１共通液室Ｒ１の一部を画定しており、他方の面が大気開放された空間に面しているため、第１共通液室Ｒ１における圧力変動を吸収する。可撓性部材１４ｊｂは、一方の面である面Ｓ１４が第２共通液室Ｒ２の一部を画定しており、他方の面が大気開放された空間に面しているため、第２共通液室Ｒ２における圧力変動を吸収する。可撓性部材１４ｊが第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２の圧力変動を吸収することにより、これらの圧力変動が圧力室Ｃに及び難くできる。圧力変動が圧力室Ｃに及び難くすることにより、媒体Ｍに形成される画像の質の向上を図ることができる。

流路基板１４ｂにおける第２共通液室Ｒ２のＺ１方向の壁面から可撓性部材１４ｊｂまでのＺ軸に沿った幅ｄＲ２は、可撓性部材１４ｊｂが変形していない状態では、例えば、約２００［μｍ］である。［μｍ］は、マイクロメートルを示す。

ノズル流路Ｎｆは、流路基板１４ｂのＺ２方向を向く面に設けられる溝内の空間である。ここで、ノズル基板１４ａは、ノズル流路Ｎｆの壁面の一部を構成する。

第１連通流路Ｎａ１及び第２連通流路Ｎａ２の夫々は、流路基板１４ｂを貫通する空間である。

個別供給流路Ｒａ１及び個別排出流路Ｒａ２の夫々は、流路基板１４ｂを貫通する空間である。個別供給流路Ｒａ１は、第１共通液室Ｒ１と圧力室Ｃａとを連通させており、第１共通液室Ｒ１からのインクを圧力室Ｃａに供給する。ここで、個別供給流路Ｒａ１の一端は、流路基板１４ｂのＺ１方向を向く面に開口する。一方、個別供給流路Ｒａ１の他端は、個別流路ＰＪの上流の端であり、流路基板１４ｂにおける第１共通液室Ｒ１の壁面の開口ＰＪｉである。これに対し、個別排出流路Ｒａ２は、第２共通液室Ｒ２と圧力室Ｃｂとを連通させており、圧力室Ｃｂからのインクを第２共通液室Ｒ２に排出する。ここで、個別排出流路Ｒａ２の一端は、流路基板１４ｂのＺ１方向を向く面に開口する。一方、個別排出流路Ｒａ２の他端は、個別流路ＰＪの下流の端であり、流路基板１４ｂにおける第２共通液室Ｒ２の壁面の開口ＰＪｏである。個別排出流路Ｒａ２のＷ軸に沿った幅ｄＲａは、例えば、１２０［μｍ］から１３０［μｍ］までの間である。

圧力室基板１４ｃには、複数の個別流路ＰＪの圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂが設けられる。圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂの夫々は、圧力室基板１４ｃを貫通しており、流路基板１４ｂと振動板１４ｄとの間における間隙である。

振動板１４ｄは、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板１４ｄは、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）で構成される第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）で構成される第２層と、を含む積層体である。ここで、第１層と第２層との間には、金属酸化物等の他の層が介在してもよい。なお、振動板１４ｄの一部又は全部は、圧力室基板１４ｃと同一材料で一体に構成されてもよい。例えば、所定厚の板状部材における圧力室Ｃに対応する領域について厚さ方向の一部を選択的に除去することで、振動板１４ｄ及び圧力室基板１４ｃを一体に形成することができる。また、振動板１４ｄは、単一材料の層で構成されてもよい。

振動板１４ｄのＺ１方向を向く面には、相異なる圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子１４ｅが設置される。各圧電素子１４ｅは、例えば、互いに対向する第１電極及び第２電極と、両電極間に配置される圧電体層との積層により構成される。各圧電素子１４ｅは、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させることで圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから噴射させる。圧電素子１４ｅは、駆動信号Ｃｏｍが供給されることにより、自身の変形に伴い、振動板１４ｄを振動させる。この振動に伴って、圧力室Ｃが膨張及び伸縮することにより、圧力室Ｃ内のインクの圧力が変動する。なお、圧電素子１４ｅは、駆動素子の一例である。但し、ヘッドチップ１４は、圧電素子１４ｅの替わりに発熱素子を有してもよい。

ケース１４ｆは、インクを貯留するためのケースである。ケース１４ｆには、第１共通液室Ｒ１及び第２共通液室Ｒ２の夫々について流路基板１４ｂに設けられる一部以外の残部を構成する空間が設けられる。

保護板１４ｇは、振動板１４ｄのＺ１方向を向く面に設置される板状部材であり、複数の圧電素子１４ｅを保護するとともに振動板１４ｄの機械的な強度を補強する。ここで、保護板１４ｇと振動板１４ｄとの間には、複数の圧電素子１４ｅを収容する空間が形成される。

配線基板１４ｈは、振動板１４ｄのＺ１方向を向く面に実装されており、制御モジュール１２０とヘッドチップ１４とを電気的に接続するための実装部品である。例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）又はＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板１４ｈが好適に利用される。配線基板１４ｈには、前述の駆動回路１４ｉが実装される。

以上の構成のヘッドチップ１４では、前述の循環機構１５０の動作により、インクが第１共通液室Ｒ１、個別供給流路Ｒａ１、圧力室Ｃａ、ノズル流路Ｎｆ、圧力室Ｃｂ、個別排出流路Ｒａ２及び第２共通液室Ｒ２にこの順に流れる。

また、駆動回路１４ｉからの駆動信号Ｃｏｍにより、圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂの両方に対応する圧電素子１４ｅが同時に駆動することで、圧力室Ｃａ及び圧力室Ｃｂの圧力を変動させ、圧力変動に伴ってノズルＮからインクが噴射される。

１－７．ホルダー１３
図８は、ホルダー１３の平面図である。図９は、ホルダー１３に設けられる流路とヘッドチップ１４とを示す斜視図である。なお、図８では、Ｚ２方向にみたホルダー１３内の構造の一例が破線で示される。図９では、ホルダー１３の流路と複数のヘッドチップ１４とのほか、固定板１５が図示される。

図８及び図９に示すように、ホルダー１３の内部には、ホルダー内供給流路ＳＰ１とホルダー内供給流路ＳＰ２と３個のホルダー内排出流路ＤＳ１と３個のホルダー内排出流路ＤＳ２と６個のバイパス流路ＢＰ１と６個のバイパス流路ＢＰ２とが設けられる。

ホルダー内供給流路ＳＰ１は、接続管１３ａに導入される第１インクを３個のヘッドチップ１４にインクを供給するための３つの分岐した部分を有する流路である。ホルダー内供給流路ＳＰ２は、接続管１３ｂに導入される第２インクを３個のヘッドチップ１４に供給するための３つの分岐した部分を有する流路である。

ホルダー内排出流路ＤＳ１は、第１インクを用いるヘッドチップ１４ごとに設けられ、当該ヘッドチップ１４から導入される第１インクを接続管１３ｃから排出するための流路である。ホルダー内排出流路ＤＳ２は、第２インクを用いるヘッドチップ１４ごとに設けられ、当該ヘッドチップ１４から導入される第２インクを接続管１３ｄから排出するための流路である。

バイパス流路ＢＰ１及びバイパス流路ＢＰ２の夫々は、ヘッドチップ１４ごとに設けられ、前述の第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とを連通させる流路である。ただし、バイパス流路ＢＰ１及びバイパス流路ＢＰ２は、Ｘ軸に沿う方向での第１共通液室Ｒ１又は第２共通液室Ｒ２の中央に対して互いに反対側に位置する。図８に示す例では、バイパス流路ＢＰ１は、バイパス流路ＢＰ２に対してＶ２方向に位置する。また、バイパス流路ＢＰ１及びバイパス流路ＢＰ２の夫々は、Ｚ軸に沿う方向にみて、Ｕ字形状をなす。

図１０は、図８中のＡ－Ａ線断面図である。図１０では、ホルダー１３のほか、ヘッドチップ１４及び固定板１５が図示される。図１０に示すように、ホルダー１３は、Ｚ軸に垂直な方向に拡がる板状をなす。ホルダー１３は、層３１及び層３２を有し、これらは、この順でＺ２方向に積層される。層３１及び層３２の夫々は、例えば、樹脂材料で構成されており、射出成形により形成される。層３１及び層３２は、例えば、接着剤により互いに接合される。

層３１及び層３２からなる積層体には、ホルダー１３の有する前述の各流路が設けられるとともに、層３２のＺ２方向を向く面には、ヘッドチップ１４を収容する凹部１３ｆが設けられる。図１０に示す例では、層３２の厚さが層３１の厚さよりも厚い。このため、凹部１３ｆの形成に必要な層３２の厚さを容易に確保することができる。

ここで、ホルダー内供給流路ＳＰ１は、縦流路ＳＰａと横流路ＳＰｂとを有する。縦流路ＳＰａは、Ｚ軸に沿う方向に延びており、層３２を貫通する孔で構成される。横流路ＳＰｂは、Ｚ軸に直交する方向に延びており、層３１と層３２との間に設けられる。図１０に示す例では、横流路ＳＰｂは、層３１のＺ２方向を向く面に設けられる溝と、層３２のＺ１方向を向く面に設けられる溝と、で構成される。なお、図１０で図示しないが、ホルダー内供給流路ＳＰ２も、ホルダー内供給流路ＳＰ１と同様に構成される。

バイパス流路ＢＰ１は、第１部分ＢＰ１ａと第２部分ＢＰ１ｂと第３部分ＢＰ１ｃとを有する。第１部分ＢＰ１ａ及び第２部分ＢＰ１ｂの夫々は、Ｚ軸に沿う方向に延びており、層３２を貫通する孔で構成される。第３部分ＢＰ１ｃは、Ｚ軸に直交する方向に延びており、層３１と層３２との間に設けられる。図１０に示す例では、第３部分ＢＰ１ｃは、層３１のＺ２方向を向く面に設けられる溝と、層３２のＺ１方向を向く面に設けられる溝と、で構成される。

同様に、バイパス流路ＢＰ２は、第１部分ＢＰ２ａと第２部分ＢＰ２ｂと第３部分ＢＰ２ｃとを有する。第１部分ＢＰ２ａ及び第２部分ＢＰ２ｂの夫々は、Ｚ軸に沿う方向に延びており、層３２を貫通する孔で構成される。第３部分ＢＰ２ｃは、Ｚ軸に直交する方向に延びており、層３１と層３２との間に設けられる。図１０に示す例では、第３部分ＢＰ２ｃは、層３１のＺ２方向を向く面に設けられる溝と、層３２のＺ１方向を向く面に設けられる溝と、で構成される。

１つのヘッドチップ１４において、バイパス流路ＢＰの流路抵抗の合計は、複数の個別流路ＰＪの流路抵抗の合計よりも小さい。つまり、１つのヘッドチップ１４において、バイパス流路ＢＰ１とバイパス流路ＢＰ２との合成抵抗は、複数の個別流路ＰＪの合成抵抗よりも小さい。

１－８．流路構造体１１
図１１は、流路構造体１１の平面図である。図１１では、Ｚ２方向にみた流路構造体１１内の構造の一例が破線で示される。図１１に示すように、流路構造体１１の内部には、構造体内供給流路ＣＣ１と構造体内供給流路ＣＣ２と構造体内排出流路ＣＭ１と構造体内排出流路ＣＭ２と第１フィルター室ＲＦ１と第２フィルター室ＲＦ２とが設けられる。第１フィルター室ＲＦ１と第２フィルター室ＲＦ２の夫々の内部には、フィルター２５が設けられる。

フィルター２５は、インクの通過を許容しつつ、インクに混入する異物等を捕捉する板状又はシート状の部材である。フィルター２５は、例えば、綾畳織又は平畳織等の金属繊維で構成される。なお、フィルター２５は、金属繊維を用いる構成に限定されず、例えば、不織布等の樹脂繊維で構成されてもよい。フィルター２５は、典型的にはノズル面ＦＮに対して平行となるように配置される。ただし、フィルター２５は、ノズル面ＦＮに対して０度以上４５度以下の範囲で傾斜するように設けられていてもよい。

構造体内供給流路ＣＣ１は、接続管１１ａに導入される第１インクを前述のホルダー１３に供給するための流路である。ここで、構造体内供給流路ＣＣ１は、第１フィルター室ＲＦ１を介して接続管１１ａの内部空間に連通する。構造体内供給流路ＣＣ１には、前述の接続管１３ａに接続される排出口ＣＥ１が連通する。

構造体内供給流路ＣＣ２は、接続管１１ｂに導入される第２インクを前述のホルダー１３に供給するための流路である。ここで、構造体内供給流路ＣＣ２は、第２フィルター室ＲＦ２を介して接続管１１ｂの内部空間に連通する。構造体内供給流路ＣＣ２には、前述の接続管１３ｂに接続される排出口ＣＥ２が連通する。

構造体内排出流路ＣＭ１は、前述のホルダー１３からの第１インクを接続管１１ｃから排出するための流路である。構造体内排出流路ＣＭ１には、前述の３個の接続管１３ｃに接続される導入口ＣＩ１が連通する。

構造体内排出流路ＣＭ２は、前述のホルダー１３からの第２インクを接続管１１ｄから排出するための流路である。構造体内排出流路ＣＭ２には、前述の３個の接続管１３ｄに接続される導入口ＣＩ２が連通する。

１－９．インク充填時の動作
図１２、図１３、及び、図１４を用いて、液体噴射ヘッド１０に第１インクを充填する場合の一連の処理について説明する。第２インクに関しても、液体噴射装置１００は、第１インクと同様の一連の処理を実行する。以下、第１インクに関する一連の処理について説明する。

図１２は、インク充填時の一連の処理を示すフローチャートである。ステップＳ２において、液体噴射装置１００は、開閉弁１６０が開いている状態で、循環機構１５０を制御して、液体貯留部１５１、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、回収流路ＣＦ１、液体貯留部１５１の順に第１インクを循環させる循環動作を実行する。循環動作において、制御モジュール１２０は、開閉弁１６０を開き、装置内供給流路ＳＪ１を所定の正圧になるように設定し、装置内回収流路ＣＪ１を所定の負圧になるように設定して、第１インクを複数のヘッドチップ１４の夫々に供給する。上流の圧力と下流の圧力との差が大きくなることに応じて流量が多くなる。従って、上流の圧力と下流の圧力との差が大きくなることに応じて、ノズルＮ、個別流路ＰＪ、供給流路ＳＦ１、及び、回収流路ＣＦ１に第１インクを充填することにかかる期間を短縮できる。

複数のノズルＮ、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、及び、回収流路ＣＦ１に第１インクが充填されていない場合に循環動作を実行すると、複数のノズルＮ、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、及び、回収流路ＣＦ１に第１インクが充填し、第１インクが充填した後、液体貯留部１５１、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、回収流路ＣＦ１、液体貯留部１５１の順に第１インクが循環する。循環動作を実行することにより、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、及び、回収流路ＣＦ１に滞留する気泡を排出できるが、完全には排出できずに気泡が滞留することがある。循環動作中のヘッドチップ１４＿１の状態を、図１３を用いて説明する。

図１３は、循環動作中のヘッドチップ１４＿１の状態を示す図である。図１３、及び、後述する図１４では、Ｚ軸とＷ軸とに平行であり、供給口ＩＯ１と排出口ＩＯ２とを通過するようにヘッドチップ１４＿１の断面を、Ｖ２方向からＶ１方向に見た図を示してある。また、図１３及び図１４では、図示の煩雑化を防ぐため、配線基板１４ｈ及び駆動回路１４ｉの図示を省略し、ホルダー内供給流路ＳＰ１、装置内供給流路ＳＪ１、バイパス流路ＢＰ２、ホルダー内排出流路ＤＳ１、及び、装置内回収流路ＣＪ１を模式的に示してある。更に、図１３及び図１４では、バイパス流路ＢＰ２内の第１インクの流れを理解しやすくするため、便宜上の表示として、排出口ＩＯ３ａを本来よりもＷ２方向にずらして表示してあり、導入口ＩＯ４ａを本来よりもＷ１方向にずらして表示してある。また、図１３及び図１４では、理解を容易にするため、開閉弁１６０が開いた状態では、開閉弁１６０を白抜きの図形として示し、開閉弁１６０が閉じた状態には、黒塗りの図形として示す。図１３では、開閉弁１６０が開いている。

図１３に示すように、循環動作によって、供給流路ＳＦ１内の第１インクの流れＦＲａと、個別流路ＰＪ内の第１インクの流れＦＲｂと、バイパス流路ＢＰ内の第１インクの流れＦＲｃと、回収流路ＣＦ１内の第１インクの流れＦＲｄが形成される。流れＦＲａは、液体貯留部１５１から供給流路ＳＦ１を介して複数の個別流路ＰＪの夫々の開口ＰＪｉ、又は、排出口ＩＯ３ｂへ向かう第１インクの流れである。流れＦＲｂは、開口ＰＪｉから開口ＰＪｏへ向かう第１インクの流れである。流れＦＲｃは、排出口ＩＯ３ｂからバイパス流路ＢＰ２を介して導入口ＩＯ４ｂへ向かう第１インクの流れである。図１３では図示していないが、循環動作によって、排出口ＩＯ３ａからバイパス流路ＢＰ１を介して導入口ＩＯ４ａへ向かう第１インクの流れも形成される。流れＦＲｄは、複数の個別流路ＰＪの夫々の開口ＰＪｏから回収流路ＣＦ１を介して液体貯留部１５１へ向かう第１インクの流れである。

装置内供給流路ＳＪ１が所定の正圧であることにより、第１共通液室Ｒ１の圧力も正圧になるため、図１３に示すように、可撓性部材１４ｊａは、Ｚ２方向に向かって撓む。一方、装置内回収流路ＣＪ１が所定の負圧であることにより、第２共通液室Ｒ２の圧力も負圧になるため、図１３に示すように、可撓性部材１４ｊｂは、Ｚ１方向に向かって撓む。可撓性部材１４ｊｂがＺ１方向に向かって撓むことにより、第２共通液室Ｒ２のＺ１方向の壁面から可撓性部材１４ｊｂまでのＺ軸に沿った幅ｄＲ２が、可撓性部材１４ｊｂが変形していない状態と比較して狭くなる。例えば、可撓性部材１４ｊｂがＺ１方向に向かって撓んだ状態では、幅ｄＲ２は、約１００［μｍ］である。

幅ｄＲ２が狭くなることにより、第２共通液室Ｒ２内に気泡が滞留しやすくなるという虞がある。第２共通液室Ｒ２内に気泡が発生すると、インクの供給量が不足、又は、噴射異常が発生する。噴射異常とは、駆動信号ＣｏｍによりノズルＮからインクを噴射させようとしても、駆動信号Ｃｏｍが規定する態様によりインクを噴射できない状態である。これは、ノズルＮからインクを噴射させると個別流路ＰＪ内が負圧となるため、第２共通液室Ｒ２内からインクを引き込もうとするが、この際に第２共通液室Ｒ２内のインクとともに第２共通液室Ｒ２内に滞留している気泡も一緒に個別流路ＰＪに引き込んでしまい、ノズルＮが気泡で閉塞されてしまうためである。図１３では、第２共通液室Ｒ２内に滞留した気泡Ａｒを示してある。

気泡には、気泡の体積が小さい程、気泡の形状が変形しにくいという性質がある。従って、幅ｄＲ２が狭くなることにより、気泡が第２共通液室Ｒ２のＺ２方向を向く面Ｓｒ２と可撓性部材１４ｊｂのＺ１方向を向く面Ｓ１４とによって挟まれた場合に、気泡が変形しにくいため、気泡が第２共通液室Ｒ２を通り抜けることが困難になる場合がある。
更に、気泡は、個別流路ＰＪよりも幅ｄＲ２が狭い第２共通液室Ｒ２に滞留しやすいと言える。気泡が個別流路ＰＪ内に存在する場合、気泡によって個別流路ＰＪが閉塞される場合がある。個別流路ＰＪが閉塞されると、個別流路ＰＪ内の第１インクの流れＦＲｂによって、個別流路ＰＪ内に滞留した気泡の上流の面が受ける圧力が上昇して、気泡の上流と下流とで受ける圧力の差が大きくなり、この圧力の差によって気泡が移動する力が発生する。従って、気泡が個別流路ＰＪ内に存在しても、気泡が受ける圧力の差によって下流である回収流路ＣＦ１に移動するため、気泡が個別流路ＰＪに滞留しにくい。一方、幅ｄＲ２が狭い第２共通液室Ｒ２内に気泡が存在しても、気泡によって第２共通液室Ｒ２が閉塞される可能性は、個別流路ＰＪが閉塞される可能性より低いと言える。これは、第２共通液室Ｒ２は、Ｖ軸に沿って延在しているため、気泡の大きさが第２共通液室Ｒ２のＺ軸に沿った幅と略等しいとしても、第１インクは第２共通液室Ｒ２の気泡Ａｒが存在しない部分、即ち気泡Ａｒに対してＶ１方向又はＶ２方向の部分を流れることにより、第１インクは気泡Ａｒを避けて流れることができるためである。第１インクが気泡に衝突するため、気泡Ａｒの上流と下流とにおいて圧力の差は多少生じるが、気泡Ａｒを変形させて幅ｄＲ２を通り抜けることができる程の力は生じにくい。以上により、幅ｄＲ２が狭くなることにより、気泡Ａｒが第２共通液室Ｒ２から排出され難くなる。

また、図１３では、気泡Ａｒは、面Ｓｒ２と面Ｓ１４とに挟まれる位置に表示してあるが、可撓性部材１４ｊｂがＺ１方向に向かって撓んだ状態で気泡が滞留し易い位置は、図１３に示す位置に限らない。可撓性部材１４ｊｂが変形していない場合、図７からも理解されるように、第２共通液室Ｒ２のＷ１方向の端を画定する面Ｓｗ１と面Ｓ１４とのなす角度は略９０度であるが、可撓性部材１４ｊｂがＺ１方向に向かって撓む場合、面Ｓｗ１と面Ｓ１４とのなす角度が鋭角となる。従って、気泡が面Ｓｗ１と面Ｓ１４との間に挟まり、気泡が滞留し易くなる。同様の現象が、第２共通液室Ｒ２のＷ２方向の端を画定する面と面Ｓ１４との間にも発生する。

説明を図１２に戻す。ステップＳ４において、制御モジュール１２０は、循環動作によって所定の流量を循環させた場合、開閉弁１６０を閉じることにより、複数のノズルＮの各々から第１インクを排出する加圧排出動作を実行する。加圧排出動作において、制御モジュール１２０は、循環機構１５０の制御によって、装置内供給流路ＳＪ１を所定の正圧になるように設定することにより、供給流路ＳＦ１内の第１インクを加圧する。但し、循環動作時における装置内供給流路ＳＪ１の圧力と、加圧排出動作における装置内供給流路ＳＪ１の圧力とは、同一の値でもよいし異なる値でもよい。開閉弁１６０を閉じたことにより、第１インクが排出される箇所がノズルＮのみに限定される。加圧排出動作中のヘッドチップ１４＿１の状態を、図１４を用いて説明する。

図１４は、加圧排出動作のヘッドチップ１４＿１の状態を示す図である。加圧排出動作では、第１インクが排出される箇所がノズルＮのみであるため、ノズルＮへ向かう流れが形成される。具体的には、図１４に示すように、加圧排出動作によって、供給流路ＳＦ１から個別流路ＰＪの一部を介してノズルＮへ向かう第１インクの流れＦＲ１と、供給流路ＳＦ１からバイパス流路ＢＰ、回収流路ＣＦ１の一部、個別流路ＰＪの一部をこの順に介してノズルＮへ向かう第１インクの流れＦＲ２と、が形成される。流れＦＲ１は、供給流路ＳＦ１内の第１インクの流れＦＲａと、個別流路ＰＪの一部の流路内の第１インクの流れＦＲｆとを含む。流れＦＲ２は、バイパス流路ＢＰ２内の第１インクの流れＦＲｃと、回収流路ＣＦ１の一部である第２共通液室Ｒ２内の第１インクの流れＦＲｅと、個別流路ＰＪの一部の流路内の第１インクの流れＦＲｇとを含む。開閉弁１６０を閉じたことにより、回収流路ＣＦ１は、開閉弁１６０を挟んで上流の流路と下流の流路という２つの流路に分割される。第２共通液室Ｒ２は、この２つの流路のうち上流の流路、即ち、個別流路ＰＪに近い流路に含まれる。図１３と同様に、流れＦＲ２には、バイパス流路ＢＰ１内の第１インクの流れも含まれる。

流れＦＲｅは、導入口ＩＯ４ｂから第２共通液室Ｒ２を通り複数の個別流路ＰＪの夫々の開口ＰＪｏに至るまでの第１インクの流れである。流れＦＲｆは、開口ＰＪｉから個別流路ＰＪの一部の流路を通りノズルＮに至るまでの第１インクの流れである。従って、流れＦＲｆにおける個別流路ＰＪの一部の流路とは、個別供給流路Ｒａ１と、圧力室Ｃａと、第１連通流路Ｎａ１と、ノズル流路ＮｆのうちＷ１方向の端からノズルＮに連通するまでの流路とである。流れＦＲｇは、開口ＰＪｏから個別流路ＰＪの一部の流路を通りノズルＮに至るまでの第１インクの流れである。従って、流れＦＲｇにおける個別流路ＰＪの一部の流路とは、個別排出流路Ｒａ２と、圧力室Ｃｂと、第２連通流路Ｎａ２と、ノズル流路ＮｆのうちＷ２方向の端からノズルＮに連通するまでの流路とである。流れＦＲｆと流れＦＲｇとによって、第１インクがノズルＮから排出される。図１４では、第１インクがノズルＮから排出されていることを、液滴ＤＲを表示することによって示してある。

加圧排出動作では、バイパス流路ＢＰを介して、第２共通液室Ｒ２の圧力も正圧になりやすい。図１４では、第２共通液室Ｒ２の圧力が正圧であることを前提とする。第２共通液室Ｒ２の圧力が正圧であることにより、図１４に示すように、可撓性部材１４ｊｂは、Ｚ２方向に向かって撓む。即ち、幅ｄＲ２が広くなるため、気泡Ａｒが面Ｓｒ２と面Ｓ１４とによって挟まれていることが解除される。従って、気泡Ａｒは、流れＦＲｅに沿って第２共通液室Ｒ２を移動し、流れＦＲｇに沿って個別流路ＰＪの一部の流路を移動し、液滴ＤＲとともに排出される。循環動作において面Ｓｗ１と面Ｓ１４との間に気泡が挟まった場合も、図１４から理解されるように、面Ｓｗ１と面Ｓ１４とのなす角度が鈍角となる。従って、面Ｓｗ１と面Ｓ１４との間に挟まった気泡も移動しやすくなり、液滴ＤＲとともに排出される。循環動作において第２共通液室Ｒ２のＷ２方向の端を画定する面と面Ｓ１４との間に挟まった気泡も、面Ｓｗ１と面Ｓ１４との間に挟まった気泡と同様に、液滴ＤＲとともに排出される。

また、図１３及び図１４から理解されるように、循環動作と加圧排出動作とでは、第２共通液室Ｒ２内の第１インクの流れが互いに逆向きとなる。ある一方向では気泡が移動し難いが、反対の方向では気泡が移動し易い場合がある。例えば、面Ｓｒ２がＷ２方向に向かうに連れてＺ２方向に傾斜している場合である。Ｚ軸が鉛直な軸である場合、気泡にはＺ１方向へ向かう浮力が発生する。従って、循環動作では、面Ｓｒ２に接する気泡がＷ２方向に移動するには、浮力に逆らって移動する必要がある。一方、加圧排出動作では、面Ｓｒ２に接する気泡がＷ１方向に従って移動すればよい。面Ｓｒ２がＷ２方向に向かうに連れてＺ２方向に傾斜している場合、面Ｓｒ２に接する気泡がＷ１方向に移動することは、Ｗ２方向に移動することと比較して容易である。

加圧排出動作によって、バイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２、第２共通液室Ｒ２、並びに、複数の個別流路ＰＪの夫々のうち開口ＰＪｏからノズルＮまでの流路のいずれかに滞留した気泡がノズルＮから排出される。従って、制御モジュール１２０は、少なくとも、加圧排出動作の開始時点から、バイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２、第２共通液室Ｒ２、並びに、複数の個別流路ＰＪの夫々のうち開口ＰＪｏからノズルＮまでの流路の合計の容積に、液体噴射装置１００が有する液体噴射ヘッド１０の個数を乗じた容積分の第１インクを流れＦ２で流動させてから、加圧排出動作を終了することが好ましい。加圧排出動作の終了後、液体噴射装置１００は、図１２に示す一連の処理を終了する。

上述では、液体噴射装置１００は、図１２に示す一連の処理を、複数のノズルＮ、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、及び、回収流路ＣＦ１に第１インクが充填されていない状態で実行したが、これに限らない。例えば、液体噴射装置１００は、複数のノズルＮ、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、及び、回収流路ＣＦ１に第１インクが充填された状態、例えば、印刷処理の前及び後の一方又は両方に、インクの噴射状態を正常に回復させるメンテナンス処理の一つとして、図１２に示す一連の処理を実行してもよい。

１－１０．第１実施形態のまとめ
以下、第１インクに関する流路を用いて、液体噴射装置１００の特徴について記載する。

以上説明したように、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、第１インクを噴射する複数のノズルＮと、複数のノズルＮの夫々に連通する複数の個別流路ＰＪと、複数のノズルＮの各々へ供給するための第１インクを貯留する液体貯留部１５１と、液体貯留部１５１から複数の個別流路ＰＪへ第１インクを供給するための供給流路ＳＦ１と、複数の個別流路ＰＪから液体貯留部１５１へ第１インクを回収するための回収流路ＣＦ１と、複数の個別流路ＰＪのいずれも経由しないで供給流路ＳＦ１と回収流路ＣＦ１とを接続するバイパス流路ＢＰと、回収流路ＣＦ１を閉塞及び開放可能な開閉弁１６０とを備え、開閉弁１６０は、回収流路ＣＦ１のうちバイパス流路ＢＰと液体貯留部１５１との間に配置され、液体噴射装置１００は、開閉弁１６０によって回収流路ＣＦ１が閉塞した状態で供給流路ＳＦ１内の第１インクを加圧することで、複数のノズルＮの各々から第１インクを排出する加圧排出動作を実行する、ことを特徴とする。
開閉弁１６０によって回収流路ＣＦ１が閉塞した状態で第１インクを加圧することにより、第１インクが排出される箇所がノズルＮのみであるため、バイパス流路ＢＰ１及びＢＰ２を介してノズルＮへ向かう第１インクの流れＦＲ２が形成される。回収流路ＣＦ１の一部である第２共通液室Ｒ２において、加圧排出動作によって形成される第１インクの流れＦＲｅの向きは、循環動作によって形成される第１インクの流れＦＲｄの向きとは逆である。従って、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、循環動作では排出できなかった回収流路ＣＦ１内の気泡を排出できる。すなわち、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、回収流路ＣＦ１内に滞留した気泡を排出し易くできる。
また、回収流路ＣＦ１内において流れＦＲｄの向きとは逆向きの流れを発生させる態様としては、開閉弁１６０を設けず、回収流路ＣＦ１から第１インクを供給し、供給流路ＳＦ１から第１インクを回収する態様も考えられる。以下、この態様を、「比較態様」と記載する。しかしながら、比較態様では、フィルター２５を介さないインクが個別流路ＰＪに供給されるため、異物による噴射異常が発生する虞がある。第１実施形態では、フィルター２５の下流にバイパス流路ＢＰが設けられている。従って、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、フィルター２５により異物が除去された第１インクが、バイパス流路ＢＰを介してノズルＮへ向かう流れＦＲ２を形成できる。以上により、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、気泡による噴射異常が発生することを抑制しつつ、比較態様と比較して異物による噴射異常が発生することを抑制できる。

また、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、回収流路ＣＦ１のうちバイパス流路ＢＰに接続される部分を画定し、且つ、可撓性を有する可撓性部材１４ｊｂを更に備えることを特徴とする。回収流路ＣＦ１のうちバイパス流路ＢＰに接続される部分とは、第２共通液室Ｒ２である。
上述したように、可撓性部材１４ｊｂがＺ１方向に向かって撓むことにより、気泡が第２共通液室Ｒ２内に滞留し易くなる。第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、加圧排出動作において可撓性部材１４ｊｂをＺ２方向に向かって撓むことができるため、第２共通液室Ｒ２内に滞留した気泡を排出できる。
また、可撓性部材１４ｊｂの替わりに、可撓性を有さない部材を有する態様も考えられる。しかしながら、この態様では、第２共通液室Ｒ２の圧力変動が圧力室Ｃに及び易くなるため、噴射異常が発生し易くなる。従って、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、可撓性部材１４ｊｂを有することにより媒体Ｍに形成される画像の質を向上しつつ、気泡による噴射異常が発生することを抑制できる。

また、加圧排出動作を実行中、回収流路ＣＦ１のうち開閉弁１６０よりも上流を流れる第１インクの圧力は大気圧に対して正圧である、ことを特徴とする。回収流路ＣＦ１のうち開閉弁１６０よりも上流を流れる第１インクとは、循環動作において開閉弁１６０よりも上流を流れる第１インクを意味し、典型的には、第２共通液室Ｒ２内の第１インクである。言い換えれば、第２共通液室Ｒ２内の第１インクは、図１４の流れＦＲ２が示すように、加圧排出動作において、回収流路ＣＦ１のうちバイパス流路ＢＰの下流を流れるとも言える。
第１インクの圧力が正圧であることによって、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、加圧排出動作中に、可撓性部材１４ｊｂをＺ２方向に向かって撓ませることができる。

また、加圧排出動作によって、供給流路ＳＦ１から個別流路ＰＪの一部を介してノズルＮへ向かう第１インクの流れＦＲ１と、供給流路ＳＦ１からバイパス流路ＢＰ、回収流路ＣＦ１の一部である第２共通液室Ｒ２、個別流路ＰＪの一部をこの順に介してノズルＮへ向かう第１インクの流れＦＲ２と、が形成される、ことを特徴とする。
流れＦＲ２が形成されることにより、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、第２共通液室Ｒ２において、流れＦＲｄの向きとは逆向きの流れを発生させることができる。

また、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、液体貯留部１５１、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、回収流路ＣＦ１、液体貯留部１５１の順に第１インクを循環させる循環動作を実行する、ことを特徴とする。

また、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、循環動作を実行中に、開閉弁１６０によって回収流路ＣＦ１を閉塞することで加圧排出動作を開始する。
循環動作を実行中に開閉弁１６０を閉じることにより、回収流路ＣＦ１内の第１インクにノズルＮへ向かう圧力を瞬時に発生させることができる。従って、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、循環機構１５０による循環動作を一旦停止してから開閉弁１６０を閉じ、開閉弁１６０を閉じた後に循環機構１５０によって供給流路ＳＦ１内の第１インクを加圧する態様と比較して、気泡を排出することにかかる期間を短縮できる。気泡を排出することにかかる期間を短縮することにより、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、加圧排出動作にかかる期間を短縮できるため、加圧排出動作中にノズルＮから排出されるインクの量を削減できる。

また、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、循環動作によって第１インクが供給流路ＳＦ１を介して液体貯留部１５１から複数の個別流路ＰＪに流れる方向のみに供給流路ＳＦ１内のインクを流動させるように、供給流路ＳＦ１内のインクを加圧するコンプレッサー１５２を備える。
第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、コンプレッサー１５２によって回収流路ＣＦ１の第１インクの流れの方向を逆方向に変更する必要がないため、コンプレッサー１５２によって回収流路ＣＦ１の第１インクの流れの方向を逆方向に変更可能な態様と比較して、液体噴射装置１００の構成を簡素化できる。また、前述の比較態様では、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、バイパス流路ＢＰ、及び、回収流路ＣＦ１において流れの方向が逆方向に変更される。一方、第１実施形態に係る液体噴射装置１００では、第２共通液室Ｒ２と個別流路ＰＪの一部とのみにおいて流れの方向が変更される。従って、第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、比較態様と比較して、供給流路ＳＦ１、個別流路ＰＪ、バイパス流路ＢＰ、及び、回収流路ＣＦ１のうち流れの方向を変更する範囲を狭くできるので、気泡を排出することにかかる期間を短縮できる。

また、供給流路ＳＦ１は、複数の個別流路ＰＪに接続された第１共通液室Ｒ１を有し、回収流路ＣＦ１は、複数の個別流路ＰＪに接続された第２共通液室Ｒ２を有し、バイパス流路ＢＰは、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とを連通させる、ことを特徴とする。言い換えれば、バイパス流路ＢＰは、回収流路ＣＦ１のうち第２共通液室Ｒ２に接続される。
第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、バイパス流路ＢＰが回収流路ＣＦ１のうち第２共通液室Ｒ２以外のホルダー内排出流路ＤＳ１及び構造体内排出流路ＣＭ１のいずれかに接続する態様と比較して、回収流路ＣＦ１のうち流れの方向を変更する範囲を狭くできる。第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、回収流路ＣＦ１のうち流れの方向を変更する範囲を短くすることにより、気泡を排出することにかかる期間を短縮でき、インクの消費量も削減できる。つまり、バイパス流路ＢＰと回収流路ＣＦ１との接続位置から開閉弁１６０までの流路長よりも、当該接続位置から個別流路ＰＪの一端である開口ＰＪｏまでの流路長が短い方が好ましい。

バイパス流路ＢＰの流路抵抗は、複数の個別流路ＰＪの流路抵抗の合計よりも小さい、ことを特徴とする。
第１実施形態に係る液体噴射装置１００は、バイパス流路ＢＰの流路抵抗が複数の個別流路ＰＪの流路抵抗の合計よりも大きい態様と比較して、第２共通液室Ｒ２の圧力を正圧にし易くできる。

上述の記載により、第１実施形態に係る液体噴射装置１００が、開閉弁１６０によって回収流路ＣＦ１が閉塞した状態で供給流路ＳＦ１内の第１インクを加圧することで、複数のノズルＮの各々から第１インクを排出する加圧排出動作を実行する液体排出方法としても特定できる。

２．変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

２．１．第１変形例
第１実施形態における液体貯留部１５１は、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々に供給するインクを貯留する第１サブタンク１５１２と、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々からインクを回収する第２サブタンク１５１６とを有するが、これに限らない。具体的には、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々に供給するインクを貯留するサブタンクと、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々からインクを回収するサブタンクとが同一でもよい。

図１５は、第１変形例における循環機構１５０－Ａを説明するための図である。第１変形例における液体噴射装置１００－Ａは、循環機構１５０の替わりに循環機構１５０－Ａを有し、装置内供給流路ＳＪ１の替わりに装置内供給流路ＳＪ１－Ａを有し、装置内回収流路ＣＪ１の替わりに装置内回収流路ＣＪ１－Ａを有する点で、液体噴射装置１００と相違する。

循環機構１５０－Ａは、液体貯留部１５１の替わりにサブタンク１５１０を有し、コンプレッサー１５２、レギュレーター１５３、真空ポンプ１５４、レギュレーター１５５、圧力センサー１５６、及び、圧力センサー１５７を有さず、ポンプ１５９を有する点で、循環機構１５０と相違する。第１変形例において、サブタンク１５１０が「液体貯留部」の一例であり、ポンプ１５９が「加圧機構」の一例である。

サブタンク１５１０は、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々に供給するための第１インクを貯留する。サブタンク１５１０には、メインタンク１１０から補充された第１インクと、複数の液体噴射ヘッド１０の夫々から回収した第１インクとが貯留される。

装置内供給流路ＳＪ１－Ａは、圧力センサー１５６の替わりにポンプ１５９が設けられる点で、装置内供給流路ＳＪ１と相違する。ポンプ１５９は、装置内供給流路ＳＪ１－Ａ内の第１インクを加圧する。装置内回収流路ＣＪ１－Ａは、圧力センサー１５７を有さない点で、装置内回収流路ＣＪ１と相違する。

２－２．第２変形例
第１実施形態及び第１変形例では、開閉弁１６０は、液体噴射ヘッド１０の外部に設けられていたが、液体噴射ヘッド１０の内部に設けられてもよい。

図１６は、第２変形例における液体噴射装置１００－Ｂ内の流路を示す模式図である。図１６では、第１インクが流動する流路を示してある。第２変形例においても、第２インクが流動する流路は、第１インクが流動する流路と同様であるため、説明を省略する。

液体噴射装置１００－Ｂは、回収流路ＣＦ１の替わりに回収流路ＣＦ１－Ｂを有する点で、液体噴射装置１００と相違する。回収流路ＣＦ１－Ｂは、構造体内排出流路ＣＭ１の替わりに構造体内排出流路ＣＭ１－Ｂを有し、装置内回収流路ＣＪ１の替わりに装置内回収流路ＣＪ１－Ｂを有する点で、回収流路ＣＦ１と相違する。構造体内排出流路ＣＭ１－Ｂは、第２変形例における液体噴射ヘッド１０－Ｂに設けられる。従って、液体噴射ヘッド１０－Ｂは、構造体内排出流路ＣＭ１の替わりに構造体内排出流路ＣＭ１－Ｂが設けられる点で、液体噴射ヘッド１０と相違する。

構造体内排出流路ＣＭ１－Ｂは、開閉弁１６０が設けられる点で、構造体内排出流路ＣＭ１と相違する。第２変形例では、液体噴射ヘッド１０ごとに開閉弁１６０が設けられる。

装置内回収流路ＣＪ１－Ｂは、開閉弁１６０が設けられない点で、装置内回収流路ＣＪ１と相違する。

第１実施形態及び第２変形例から理解されるように、加圧排出動作では、バイパス流路ＢＰを介してインクの流れを逆向きにするため、循環動作において、開閉弁１６０がバイパス流路ＢＰよりも下流に位置すればよい。開閉弁１６０は、第１実施形態のように液体噴射装置１００内に１つ設けられてもよいし、図１６に示すように液体噴射ヘッド１０－Ｂごとに設けられてもよいし、ヘッドチップ１４ごとに設けられてもよい。開閉弁１６０がヘッドチップ１４ごとに設けられる例として、図１６では、開閉弁１６０が構造体内排出流路ＣＭ１－Ｂ内に設けられているが、３個のホルダー内排出流路ＤＳ１の夫々に、開閉弁１６０が設けられてもよい。

２－３．第３変形例
第１実施形態、第１変形例、及び、第２変形例では、バイパス流路ＢＰは、液体噴射ヘッド１０の内部に設けられていたが、開閉弁１６０よりも上流であれば、液体噴射ヘッド１０の外部に設けられてもよい。

図１７は、第３変形例における液体噴射装置１００－Ｃ内の流路を示す模式図である。図１７では、第１インクが流動する流路を示してある。第３変形例においても、第２インクが流動する流路は、第１インクが流動する流路と同様であるため、説明を省略する。

液体噴射装置１００－Ｃは、供給流路ＳＦ１の替わりに供給流路ＳＦ１－Ｃを有し、回収流路ＣＦ１の替わりに回収流路ＣＦ１－Ｃを有する点で、液体噴射装置１００と相違する。

供給流路ＳＦ１－Ｃは、装置内供給流路ＳＪ１の替わりに装置内供給流路ＳＪ１－Ｃを有し、構造体内供給流路ＣＣ１の替わりに構造体内供給流路ＣＣ１－Ｃを有する点で、供給流路ＳＦ１と相違する。回収流路ＣＦ１－Ｃは、装置内回収流路ＣＪ１の替わりに装置内回収流路ＣＪ１－Ｃを有する点で、回収流路ＣＦ１と相違する。構造体内供給流路ＣＣ１－Ｃは、第３変形例における液体噴射ヘッド１０－Ｃに設けられる。従って、液体噴射ヘッド１０－Ｃは、構造体内供給流路ＣＣ１の替わりに構造体内供給流路ＣＣ１－Ｃが設けられる点で、液体噴射ヘッド１０と相違する。更に、液体噴射ヘッド１０－Ｃは、複数のヘッドチップ１４の替わりに複数のヘッドチップ１４－Ｃを有する点でも、液体噴射ヘッド１０と相違する。

装置内供給流路ＳＪ１－Ｃには、フィルター２５が設けられ、更に、バイパス流路ＢＰ－Ｃによって接続される点で、装置内供給流路ＳＪ１と相違する。装置内回収流路ＣＪ１－Ｃは、バイパス流路ＢＰ－Ｃによって接続される点で、装置内回収流路ＣＪ１と相違する。構造体内供給流路ＣＣ１－Ｃには、フィルター２５が設けられない点で、構造体内供給流路ＣＣ１と相違する。

図１７に示すように、バイパス流路ＢＰ－Ｃと装置内供給流路ＳＪ１－Ｃとの第１接続位置Ｐｂ１は、第１共通液室Ｒ１よりも上流に位置する。更に、第１接続位置Ｐｂ１は、フィルター２５よりも下流に位置する。

図１７に示すように、バイパス流路ＢＰ－Ｃと装置内回収流路ＣＪ１－Ｃとの第２接続位置Ｐｂ２は、第２共通液室Ｒ２よりも下流に位置する。更に、第２接続位置Ｐｂ２は、開閉弁１６０よりも上流に位置する。

第２接続位置Ｐｂ２からノズルＮまでの流路抵抗は、第１接続位置Ｐｂ１からノズルＮまでの流路抵抗よりも小さい。以下では、説明を容易にするため、第１接続位置Ｐｂ１からノズルＮまでの流路抵抗を「第１流路抵抗」と記載することがあり、第２接続位置Ｐｂ２からノズルＮまでの流路抵抗を「第２流路抵抗」と記載することがある。

図１７では、開閉弁１６０が閉じている場合の加圧排出動作によって形成される流れＦＲ１－Ｃと流れＦＲ２－Ｃとを示してある。流れＦＲ１－Ｃは、供給流路ＳＦ１－Ｃから個別流路ＰＪの一部を介してノズルＮへ向かう第１インクの流れである。流れＦＲ２－Ｃは、供給流路ＳＦ１－Ｃの第１接続位置Ｐｂ１からバイパス流路ＢＰ－Ｃ、回収流路ＣＦ１－Ｃの一部、個別流路ＰＪの一部をこの順に介してノズルＮへ向かう第１インクの流れである。

流れＦＲ１－Ｃは、流れＦＲａ－Ｃと、流れＦＲｆとを有する。流れＦＲａ－Ｃは、装置内供給流路ＳＪ１－Ｃのうち第１接続位置Ｐｂ１から液体噴射ヘッド１０－Ｃの液体供給口Ｐｉｎまでの流路と、構造体内供給流路ＣＣ１－Ｃと、ホルダー内供給流路ＳＰ１とをこの順で介し、第１共通液室Ｒ１まで至る第１インクの流れである。流れＦＲｆは、第１実施形態と同様である。

流れＦＲ２－Ｃは、流れＦＲｈと、流れＦＲｇとを有する。流れＦＲｈは、バイパス流路ＢＰ－Ｃと、装置内回収流路ＣＪ１－Ｃのうち第２接続位置Ｐｂ２から液体噴射ヘッド１０－Ｃの液体排出口Ｐｏｕｔまでの流路と、構造体内排出流路ＣＭ１と、構造体内排出流路ＣＭ１と、ホルダー内排出流路ＤＳ１とをこの順で介し、第２共通液室Ｒ２まで至る第１インクの流れである。流れＦＲｇは、第１実施形態と同様である。

なお、加圧排出動作においては、流れＦＲ２－Ｃが示すように、第２接続位置Ｐｂ２は、第２共通液室Ｒ２よりも上流に位置する。

図１７から理解されるように、第３変形例における可撓性部材１４ｊｂは、回収流路ＣＦ１のうちバイパス流路ＢＰと回収流路ＣＦ１－Ｃとの第２接続位置Ｐｂ２よりも上流の一部である第２共通液室Ｒ２を画定する。

第１実施形態及び第３変形例から理解されるように、フィルター２５を介さないインクが個別流路ＰＪに供給されることを防ぐため、循環動作において、フィルター２５がバイパス流路ＢＰよりも上流に位置すればよい。フィルター２５は、図１７に示すように液体噴射装置１００内に１つ有してもよいし、第１実施形態のように液体噴射ヘッド１０－Ｂごとに設けられてもよいし、ヘッドチップ１４ごとに設けられてもよい。ただし、液体噴射装置１００は、フィルター２５を有さなくてもよい。同様に、バイパス流路ＢＰは、図１７に示すように液体噴射装置１００内に１つ有してもよいし、液体噴射ヘッド１０－Ｂごとに設けられてもよいし、第１実施形態のようにヘッドチップ１４ごとに設けられてもよい。

以上、第３変形例に係る液体噴射装置１００－Ｃにおいて、供給流路ＳＦ１－Ｃは、複数の個別流路ＰＪに接続された第１共通液室Ｒ１を有し、回収流路ＣＦ１－Ｃは、複数の個別流路ＰＪに接続された第２共通液室Ｒ２を有し、バイパス流路ＢＰ－Ｃと供給流路ＳＦ１－Ｃとの第１接続位置Ｐｂ１は、第１共通液室Ｒ１よりも上流に位置し、バイパス流路ＢＰ－Ｃと回収流路ＣＦ１－Ｃとの第２接続位置Ｐｂ２は、第２共通液室Ｒ２よりも下流に位置し、第２接続位置Ｐｂ２からノズルＮまでの第２流路抵抗は、第１接続位置Ｐｂ１からノズルＮまでの第１流路抵抗よりも小さい。
ノズルＮは、流れＦＲ１－Ｃに従って流動する第１インクと、流れＦＲ２－Ｃに従って流動する第１インクとを排出する。加圧排出動作では、流れＦＲ２－Ｃに含まれる気泡を排出するため、流れＦＲ２－Ｃにより排出される第１インクの量が、流れＦＲ１－Ｃにより排出されるインクの量より多いことが好ましい。そして第２流路抵抗が第１流路抵抗よりも小さいことにより、第２流路抵抗が第１流路抵抗よりも大きい態様と比較して、流れＦＲ２－Ｃにより排出されるインクが、流れＦＲ１－Ｃにより排出されるインクより多くできる。以上により、第３変形例に係る液体噴射装置１００－Ｃは、第２流路抵抗が第１流路抵抗よりも大きい態様と比較して、流れＦＲ２－Ｃに含まれる気泡を排出し易くできる。

２－４．第４変形例
上述の各態様におけるヘッドチップ１４の第２共通液室Ｒ２は、可撓性を有する可撓性部材１４ｊｂによって区画されているが、可撓性を有さない部材によって区画されてもよい。上述したように、ある一方向では気泡が移動し難いが、反対の方向では気泡が移動し易い場合がある。第４変形例に係る液体噴射装置１００は、循環動作では排出しにくい気泡を、加圧排出動作によって排出できる。

２－５．第５変形例
上述の各態様では、循環動作を実行中に、開閉弁１６０によって回収流路ＣＦ１を閉塞することで加圧排出動作を開始したが、循環機構１５０による循環動作を一旦停止してから開閉弁１６０を閉じ、その後循環機構１５０によって供給流路ＳＦ１内の第１インクを加圧してもよい。

２－６．第６変形例
上述の各態様では、バイパス流路ＢＰの流路抵抗は、複数の個別流路ＰＪの流路抵抗の合計よりも小さいが、バイパス流路ＢＰの流路抵抗は、複数の個別流路ＰＪの流路抵抗の合計よりも大きくてもよい。

２－７．第７変形例
上述の各態様において、１つのノズルＮに２つの圧力室Ｃが連通するが、これに限らない。例えば、１つのノズルＮに連通する圧力室Ｃの個数は、１つでもよいし、３つ以上、例えば４つでもよい。

２－８．第８変形例
上述の各態様の液体噴射装置１００は、図１に例示したように、複数の液体噴射ヘッド１０が支持体４１に固定されて媒体Ｍを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型の液体噴射装置であるが、液体噴射装置の構成は上述したものに限定されない。例えば、複数の液体噴射ヘッド１０をキャリッジに搭載して、当該複数の液体噴射ヘッド１０をＸ軸方向に沿って往復移動させるとともに、媒体Ｍを搬送して印刷を行う、所謂シリアル型の液体噴射装置にも本発明を適用できる。

２－９．その他の変形例
上述の液体噴射装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置及びコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線及び電極を形成する製造装置として利用される。

３．付記
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。

好適な態様である態様１に係る液体噴射装置は、液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、を備え、前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する、ことを特徴とする。
開閉弁によって回収流路が閉塞した状態で液体を加圧することにより、液体が排出される箇所がノズルのみであるため、バイパス流路と回収流路の一部とを介してノズルへ向かう液体の流れが形成される。回収流路の一部において、加圧排出動作によって形成される液体の流れの向きは、開閉弁によって回収流路が開放した状態で形成される液体の流れの向きとは逆である。従って、態様１によれば、開閉弁によって回収流路が開放した状態では排出できなかった回収流路内の気泡を排出できる。すなわち、態様１によれば、回収流路内に滞留した気泡を排出し易くできる。

態様１の具体例である態様２において、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記回収流路との接続位置よりも上流の一部又は前記回収流路のうち前記バイパス流路に接続される部分を画定し、且つ、可撓性を有する可撓性部材を、更に備えることを特徴とする。
態様２では、回収流路の一部の流路の幅を狭くする方向に向かって可撓性部材が撓むことにより、気泡が回収流路内に滞留し易くなる。態様２では、加圧排出動作において回収流路の一部の流路の幅を広くする方向に向かって可撓性部材が撓むことができるため、介出流路内に滞留した気泡を排出できる。

態様２の具体例である態様３において、前記加圧排出動作を実行中、前記回収流路のうち前記開閉弁よりも上流を流れる液体の圧力は大気圧に対して正圧である、ことを特徴とする。
態様３によれば、液体の圧力が正圧であることによって、加圧排出動作中に、可撓性部材が回収流路の一部の流路の幅を広くする方向に向かって可撓性部材を撓ませることができる。

態様１の具体例である態様４において、前記加圧排出動作によって、前記供給流路から前記個別流路の一部を介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、前記供給流路から前記バイパス流路、前記回収流路の一部、前記個別流路の一部をこの順に介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、が形成される、ことを特徴とする。
態様４によれば、供給流路からバイパス流路、回収流路の一部、個別流路の一部をこの順に介してノズルへ向かう液体の流れが形成されることにより、回収流路の一部において、回収流路から液体貯留部への向きとは逆向きの流れを発生させることができる。

態様１の具体例である態様５において、前記液体貯留部、前記供給流路、前記個別流路、前記回収流路、前記液体貯留部の順に液体を循環させる循環動作を実行する、ことを特徴とする。

態様５の具体例である態様６において、前記循環動作を実行中に、前記開閉弁によって前記回収流路を閉塞することで前記加圧排出動作を開始する、ことを特徴とする。
循環動作を実行中に開閉弁によって回収回路を閉塞することにより、回収流路内の液体にノズルへ向かう圧力を瞬時に発生させることができる。従って、態様６によれば、循環動作を一旦停止してから開閉弁によって回収流路を閉塞し、回収流路を閉塞した後供給流路内の液体を加圧する態様と比較して、気泡を排出することにかかる期間を短縮できる。

態様５の具体例である態様７において、前記循環動作によって液体が前記供給流路を介して前記液体貯留部から前記複数の個別流路に流れる方向のみに前記供給流路内の液体を流動させるように、前記供給流路内の液体を加圧する加圧機構を備える、ことを特徴とする。
態様７によればは、加圧機構によって回収流路の液体の流れの方向を逆方向に変更する必要がないため、加圧機構によって回収流路の液体の流れの方向を逆方向に変更可能な態様と比較して、液体噴射装置の構成を簡素化できる。

態様１の具体例である態様８において、前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、前記バイパス流路は、前記第１共通液室と前記第２共通液室とを連通させる、ことを特徴とする。
態様８に係る液体噴射装置は、バイパス流路が回収流路のうち第２共通液室以外の流路に接続する態様と比較して、回収流路のうち流れの方向を変更する範囲を短くできる。従って、態様８によれば、回収流路のうち流れの方向を変更する範囲を短くすることにより、気泡を排出することにかかる期間を短縮でき、液体の消費量も削減できる。

態様１の具体例である態様９において、前記バイパス流路の流路抵抗は、前記複数の個別流路の流路抵抗の合計よりも小さい、ことを特徴とする。
態様９によれば、バイパス流路の流路抵抗が複数の個別流路の流路抵抗の合計よりも大きい態様と比較して、第２共通液室の圧力を正圧にしやすくできる。

態様１の具体例である態様１０において、前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、前記バイパス流路と前記供給流路との第１接続位置は、前記第１共通液室よりも上流に位置し、前記バイパス流路と前記回収流路との第２接続位置は、前記第２共通液室よりも下流に位置し、前記第２接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗は、前記第１接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗よりも小さい、ことを特徴とする。
態様１０によれば、第２接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗が第１接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗よりも大きい態様と比較して、回収流路に含まれる気泡を排出しやすくなる。

好適な態様である態様１１に係る液体排出方法は、液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、を備える液体噴射装置の液体排出方法であって、前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、前記液体噴射装置が、前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する、ことを特徴とする。
態様１１によれば、態様１と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様１２において、前記液体噴射装置は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記回収流路との接続位置よりも上流の一部又は前記回収流路のうち前記バイパス流路に接続される部分を画定し、且つ、可撓性を有する可撓性部材を、更に備えることを特徴とする。
態様１２によれば、態様２と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様１３において、前記加圧排出動作を実行中、前記回収流路のうち前記開閉弁よりも上流を流れる液体の圧力は大気圧に対して正圧である、ことを特徴とする。
態様１３によれば、態様３と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様１４において、前記加圧排出動作によって、前記供給流路から前記個別流路の一部を介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、前記供給流路から前記バイパス流路、前記回収流路の一部、前記個別流路の一部をこの順に介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、が形成される。
態様１４によれば、態様４と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様１５において、前記液体噴射装置が、前記液体貯留部、前記供給流路、前記個別流路、前記回収流路、前記液体貯留部の順に液体を循環させる循環動作を実行する、ことを特徴とする。
態様１５によれば、態様５と同様の効果が得られる。

態様１５の具体例である態様１６において、前記液体噴射装置が、前記循環動作を実行中に、前記開閉弁によって前記回収流路を閉塞することで前記加圧排出動作を開始する、ことを特徴とする。
態様１６によれば、態様６と同様の効果が得られる。

態様１５の具体例である態様１７において、前記液体噴射装置は、前記循環動作によって液体が前記供給流路を介して前記液体貯留部から前記複数の個別流路に流れる方向のみに前記供給流路内の液体を流動させるように、前記供給流路内の液体を加圧する加圧機構を備える、ことを特徴とする。
態様１７によれば、態様７と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様１８において、前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、前記バイパス流路は、前記第１共通液室と前記第２共通液室とを連通させる、ことを特徴とする。
態様１８によれば、態様８と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様１９において、前記バイパス流路の流路抵抗は、前記複数の個別流路の流路抵抗の合計よりも小さい、ことを特徴とする。
態様１９によれば、態様９と同様の効果が得られる。

態様１１の具体例である態様２０において、前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、前記バイパス流路と前記供給流路との第１接続位置は、前記第１共通液室よりも上流に位置し、前記バイパス流路と前記回収流路との第２接続位置は、前記第２共通液室よりも下流に位置し、前記第２接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗は、前記第１接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗よりも小さい、ことを特徴とする。
態様２０によれば、態様１０と同様の効果が得られる。

１０，１０－Ｂ，１０－Ｃ…液体噴射ヘッド、１１…流路構造体、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ…接続管、１１ｅ…孔、１２…配線基板、１２ａ…孔、１２ｂ…開口部、１２ｃ…コネクター、１３…ホルダー、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ…接続管、１３ｅ…配線孔、１３ｆ…凹部、１４＿１～１４＿６…ヘッドチップ、１４ａ…ノズル基板、１４ｂ…流路基板、１４ｃ…圧力室基板、１４ｄ…振動板、１４ｅ…圧電素子、１４ｆ…ケース、１４ｇ…保護板、１４ｈ…配線基板、１４ｉ…駆動回路、１４ｊ，１４ｊａ，１４ｊｂ…可撓性部材、１５…固定板、１５ａ…開口部、１６…ベース、１６ａ…本体、１６ｂ…集合基板、１６ｃ…カバー、１６ｄ…孔、１６ｅ…フランジ、２５…フィルター、３１，３２…層、４１…支持体、４１ａ…取付孔、１００，１００－Ａ，１００－Ｂ，１００－Ｃ…液体噴射装置、１１０…メインタンク、１１２…ポンプ、１２０…制御モジュール、１３０…搬送機構、１４０…液体噴射モジュール、１５０，１５０－Ａ…循環機構、１５１…液体貯留部、１５２…コンプレッサー、１５３…レギュレーター、１５４…真空ポンプ、１５５…レギュレーター、１５６，１５７…圧力センサー、１５９…ポンプ、１６０…開閉弁、１５１０…サブタンク、１５１２…第１サブタンク、１５１４…ポンプ、１５１６…第２サブタンク、Ａｒ…気泡、ＢＰ，ＢＰ１，ＢＰ２，ＢＰ－Ｃ，…バイパス流路、ＢＰ１ａ…第１部分、ＢＰ１ｂ…第２部分、ＢＰ１ｃ…第３部分、ＢＰ２ａ…第１部分、ＢＰ２ｂ…第２部分、ＢＰ２ｃ…第３部分、Ｃ…圧力室、ＣＣ１，ＣＣ１－Ｃ，ＣＣ２…構造体内供給流路、ＣＥ１，ＣＥ２…排出口、ＣＦ１，ＣＦ１－Ｂ，ＣＦ１－Ｃ…回収流路、ＣＩ１，ＣＩ２…導入口、ＣＪ１，ＣＪ１－Ａ，ＣＪ１－Ｂ，ＣＪ１－Ｃ…装置内回収流路、ＣＭ１，ＣＭ１－Ｂ，ＣＭ２…構造体内排出流路、Ｃａ，Ｃｂ…圧力室、Ｃｏｍ…駆動信号、ＤＭ…方向、ＤＮ…配列方向、ＤＲ…液滴、ＤＳ１，ＤＳ２…ホルダー内排出流路、ＦＮ…ノズル面、ＩＯ１…供給口、ＩＯ２，ＩＯ３ａ，ＩＯ３ｂ…排出口、ＩＯ４ａ，ＩＯ４ｂ…導入口、Ｉｍｇ…画像データ、Ｌｎ…ノズル列、Ｍ…媒体、Ｎ…ノズル、Ｎａ１…第１連通流路、Ｎａ２…第２連通流路、Ｎｆ…ノズル流路、ＰＪ…個別流路、ＰＪｉ，ＰＪｏ…開口、Ｐｂ１…第１接続位置、Ｐｂ２…第２接続位置、Ｐｉｎ，Ｑｉｎ…液体供給口、Ｐｏｕｔ，Ｑｏｕｔ…液体排出口、Ｒ１…第１共通液室、Ｒ２…第２共通液室、ＲＦ１…第１フィルター室、ＲＦ２…第２フィルター室、Ｒａ１…個別供給流路、Ｒａ２…個別排出流路、ＳＦ１，ＳＦ１－Ｃ…供給流路、ＳＩ…制御信号、ＳＪ１，ＳＪ１－Ａ，ＳＪ１－Ｃ…装置内供給流路、ＳＰ１，ＳＰ２…ホルダー内供給流路、ＳＰａ…縦流路、ＳＰｂ…横流路、Ｓ１４，Ｓｒ２，Ｓｗ１…面。

Claims (20)

1. 液体を噴射する複数のノズルと、
   前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、
   前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、
   前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、
   前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、
   前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、
   前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、
   を備え、
   前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、
   前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する、
   ことを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記回収流路との接続位置よりも上流の一部又は前記回収流路のうち前記バイパス流路に接続される部分を画定し、且つ、可撓性を有する可撓性部材を、
   更に備えることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記加圧排出動作を実行中、前記回収流路のうち前記開閉弁よりも上流を流れる液体の圧力は大気圧に対して正圧である、
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
4. 前記加圧排出動作によって、前記供給流路から前記個別流路の一部を介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、前記供給流路から前記バイパス流路、前記回収流路の一部、前記個別流路の一部をこの順に介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、が形成される、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
5. 前記液体貯留部、前記供給流路、前記個別流路、前記回収流路、前記液体貯留部の順に液体を循環させる循環動作を実行する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
6. 前記循環動作を実行中に、前記開閉弁によって前記回収流路を閉塞することで前記加圧排出動作を開始する、
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射装置。
7. 前記循環動作によって液体が前記供給流路を介して前記液体貯留部から前記複数の個別流路に流れる方向のみに前記供給流路内の液体を流動させるように、前記供給流路内の液体を加圧する加圧機構を備える、
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射装置。
8. 前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、
   前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、
   前記バイパス流路は、前記第１共通液室と前記第２共通液室とを連通させる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
9. 前記バイパス流路の流路抵抗は、前記複数の個別流路の流路抵抗の合計よりも小さい、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
10. 前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、
    前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、
    前記バイパス流路と前記供給流路との第１接続位置は、前記第１共通液室よりも上流に位置し、
    前記バイパス流路と前記回収流路との第２接続位置は、前記第２共通液室よりも下流に位置し、
    前記第２接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗は、前記第１接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
11. 液体を噴射する複数のノズルと、
    前記複数のノズルの夫々に連通する複数の個別流路と、
    前記複数のノズルの各々へ供給するための液体を貯留する液体貯留部と、
    前記液体貯留部から前記複数の個別流路へ液体を供給するための供給流路と、
    前記複数の個別流路から前記液体貯留部へ液体を回収するための回収流路と、
    前記複数の個別流路のいずれも経由しないで前記供給流路と前記回収流路とを接続するバイパス流路と、
    前記回収流路を閉塞及び開放可能な開閉弁と、を備える液体噴射装置の液体排出方法であって、
    前記開閉弁は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記液体貯留部との間に配置され、
    前記液体噴射装置が、前記開閉弁によって前記回収流路が閉塞した状態で前記供給流路内の液体を加圧することで、前記複数のノズルの各々から液体を排出する加圧排出動作を実行する、
    ことを特徴とする液体排出方法。
12. 前記液体噴射装置は、前記回収流路のうち前記バイパス流路と前記回収流路との接続位置よりも上流の一部又は前記回収流路のうち前記バイパス流路に接続される部分を画定し、且つ、可撓性を有する可撓性部材を、
    更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の液体排出方法。
13. 前記加圧排出動作を実行中、前記回収流路のうち前記開閉弁よりも上流を流れる液体の圧力は大気圧に対して正圧である、
    ことを特徴とする請求項１２に記載の液体排出方法。
14. 前記加圧排出動作によって、前記供給流路から前記個別流路の一部を介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、前記供給流路から前記バイパス流路、前記回収流路の一部、前記個別流路の一部をこの順に介して前記ノズルへ向かう液体の流れと、が形成される、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体排出方法。
15. 前記液体噴射装置が、前記液体貯留部、前記供給流路、前記個別流路、前記回収流路、前記液体貯留部の順に液体を循環させる循環動作を実行する、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体排出方法。
16. 前記液体噴射装置が、前記循環動作を実行中に、前記開閉弁によって前記回収流路を閉塞することで前記加圧排出動作を開始する、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の液体排出方法。
17. 前記液体噴射装置は、前記循環動作によって液体が前記供給流路を介して前記液体貯留部から前記複数の個別流路に流れる方向のみに前記供給流路内の液体を流動させるように、前記供給流路内の液体を加圧する加圧機構を備える、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の液体排出方法。
18. 前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、
    前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、
    前記バイパス流路は、前記第１共通液室と前記第２共通液室とを連通させる、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体排出方法。
19. 前記バイパス流路の流路抵抗は、前記複数の個別流路の流路抵抗の合計よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体排出方法。
20. 前記供給流路は、前記複数の個別流路に接続された第１共通液室を有し、
    前記回収流路は、前記複数の個別流路に接続された第２共通液室を有し、
    前記バイパス流路と前記供給流路との第１接続位置は、前記第１共通液室よりも上流に位置し、
    前記バイパス流路と前記回収流路との第２接続位置は、前記第２共通液室よりも下流に位置し、
    前記第２接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗は、前記第１接続位置から前記ノズルまでの流路抵抗よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体排出方法。

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