JP2023151155A - 力覚センサ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】力覚センサ装置を被固定部に取り付ける際に生じる応力に起因するセンサチップの出力変動を低減する。
【解決手段】力覚センサ装置は、センサチップと、センサチップ実装部と、センサチップ実装部からセンサチップ実装部を中心とする仮想円の径方向に延びる第１梁と、第１梁に連結された第１固定部と、を有する第１部材と、センサチップと接触する第２接触部と、第２接触部を支持する支持部と、支持部から径方向に延びる第２梁と、第２梁に連結された第２固定部と、を有する第２部材と、を備え、第１梁は、センサチップ実装部から径方向に張り出す第１部分と、径方向と交差する方向に延びる第２部分と、を含み、第２梁は、支持部から径方向に張り出す第１部分と、径方向と交差する方向に延びる第２部分と、を含み、第２梁の第１部分は、第１梁の第１部分に重なる位置に配置され、第２梁の第２部分は、第１梁の第２部分に重なる位置に配置されている。
【選択図】図６

Description

本発明は、力覚センサ装置に関する。

従来より、金属からなる起歪体に複数の歪ゲージを貼り付け、外力が印加された際の歪みを電気信号に変換することで多軸の力を検出する力覚センサ装置が知られている。しかし、この力覚センサ装置は、歪ゲージを１枚ずつ手作業によって貼り付ける必要から、精度や生産性に問題があり、構造上小型化することが困難であった。

一方、歪ゲージを歪み検出用のＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）のセンサチップに置き換えることで、貼り合わせ精度の問題を解消し、かつ小型化を実現する力覚センサ装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第４０１１３４５号

力覚センサ装置は、例えばねじを用いて接続相手の部品に取り付けられる。力覚センサ装置の取付面及び接続相手の部品の取付面を完全に平坦にすることは難しく、力覚センサ装置と接続相手の部品との間にギャップが生じる。ねじの締め付けの際に生じる応力によって起歪体が変形すると、その変形がセンサチップに伝達される。そのため、センサチップの出力に変動（オフセット）が生じることが課題となっていた。

本発明は、力覚センサ装置の取り付けの際に生じる応力に起因するオフセットを低減できる力覚センサ装置を提供する。

本発明に係る力覚センサ装置は、
複数の軸方向の少なくともひとつの方向の変位を検知するセンサチップと、
前記センサチップと接触する第１接触部を含み前記センサチップが実装されるセンサチップ実装部と、前記センサチップ実装部から前記センサチップ実装部を中心とする仮想円の径方向に延びる第１梁と、前記第１梁に連結された第１固定部と、を有する第１部材と、
前記センサチップと接触する第２接触部と、前記第２接触部を支持する支持部と、前記支持部から前記径方向に延びる第２梁と、前記第２梁に連結された第２固定部と、を有する第２部材と、を備え、
平面視において、
前記第１梁は、
前記センサチップ実装部から前記径方向に張り出す第１部分と、
前記径方向と交差する方向に延びる第２部分と、を含み、
前記第２梁は、
前記支持部から前記径方向に張り出す第１部分と、
前記径方向と交差する方向に延びる第２部分と、を含み、
前記第２梁の前記第１部分は、前記第１梁の前記第１部分に重なる位置に配置され、
前記第２梁の前記第２部分は、前記第１梁の前記第２部分に重なる位置に配置されていることを特徴とする。

本発明は、力覚センサ装置の取り付けの際に生じる応力に起因するオフセットを低減できる。

実施形態に係る力覚センサ装置が取り付けられたロボットアームを示す側面図である。 アーム本体の先端部に取り付けられたアタッチメント及び力覚センサ装置を示す断面図である。 Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｘ軸に沿う力Ｆｘ、Ｙ軸に沿う力Ｆｙ、Ｚ軸に沿う力Ｆｚ、Ｘ軸周りのモーメントＭｘ、Ｙ軸周りのモーメントＭｙ、及びＺ軸周りのモーメントＭｚの向きを示す図である。 力覚センサ装置を上方から示す斜視図である。 力覚センサ装置を示す平面図である。 力覚センサ装置を示す断面斜視図であり、Ｘ軸及びＹ軸に交差する切断面を示す図である。 力覚センサ装置を示す断面斜視図であり、Ｙ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。 力覚センサ装置を示す断面図であり、Ｙ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。 力覚センサ装置の第１部材を示す断面斜視図である。 力覚センサ装置の第１部材を示す平面図である。 力覚センサ装置を下方から示す斜視図である。 力覚センサ装置の第１部材のセンサチップ実装部を拡大して示す平面図である。 力覚センサ装置の第１部材のセンサチップ実装部を示す斜視図である。 力覚センサ装置の第１部材の第１梁を示す平面図である。 力覚センサ装置の第１部材の筒部を示す断面図である。 力覚センサ装置の第２部材を示す平面図である。 力覚センサ装置の第２部材を示す断面斜視図である。 力覚センサ装置の第２部材のリング、アーム、及び第２接触部を拡大して示す平面図である。 力覚センサ装置のセンサチップ実装部及びアームを断面斜視図である。 力覚センサ装置の第２部材の第２梁を示す平面図である。 力覚センサ装置の第１部材に設けられた筒部、フランジ、及び第１固定部を示す断面図である。 第１固定部上の第２固定部を示す斜視図である。 力覚センサ装置の第１部材に設けられたフランジを示す斜視図である。 力覚センサ装置の第１接触部及び第２接触部を拡大して示す平面図である。 力覚センサ装置のセンサチップ実装部を示す断面図であり、Ｙ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。 力覚センサ装置のセンサチップ実装部を示す断面図であり、Ｗ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。 変形例１に係る力覚センサ装置の第１部材の第１梁を示す平面図である。 変形例１に係る力覚センサ装置の第２部材の第２梁を示す平面図である。 変形例２に係る力覚センサ装置の第１部材の第１梁を示す平面図である。 変形例２に係る力覚センサ装置の第２部材の第２梁を示す平面図である。 比較例１に係る力覚センサ装置を示す断面斜視図であり、Ｘ軸及びＹ軸に交差する切断面を示す図である。 実施例１及び比較例１に係る力覚センサ装置について検証試験を行った結果を示すグラフである。

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

（ロボットアーム）
はじめに、図１及び図２を参照して、実施形態に係る力覚センサ装置１を備えるロボットアーム２について説明する。図１は、実施形態に係る力覚センサ装置が取り付けられたロボットアームを示す側面図である。図２は、アーム本体の先端部に取り付けられたアタッチメント及び力覚センサ装置を示す断面図である。

ロボットアーム２は、例えば産業用のロボットアームである。産業用のロボットアームは、工作機械等のロボットのアームでもよい。ロボットアーム２は、複数のアーム本体３，４を備える。複数のアーム本体３，４は、関節を介して各々接続されている。複数のアーム本体３，４は、関節の回転軸回りに揺動可能である。関節は、回転軸を回転させるアクチュエータを有する。また、アーム本体３，４は、その長手方向に延在する軸回りに回転してもよい。

アーム本体４の先端部には、アタッチメント５を介して、力覚センサ装置１が取り付けられている。アタッチメント５は、例えば円盤状を成し、所定の厚さを有する。アタッチメント５には、アタッチメント５をアーム本体４に取り付けるためのネジ穴が形成されている。また、アタッチメント５には、力覚センサ装置１を取り付けるための雌ネジ５ａが設けられている。力覚センサ装置１は、複数のボルト６を用いてアタッチメント５に取り付けることができる。

（軸、軸方向の力、及び軸周りのモーメント）
次に、図３を参照しながら、軸、軸方向の力、及び軸周りのモーメントについて説明する。図３は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｘ軸に沿う力Ｆｘ、Ｙ軸に沿う力Ｆｙ、Ｚ軸に沿う力Ｆｚ、Ｘ軸周りのモーメントＭｘ、Ｙ軸周りのモーメントＭｙ、及びＺ軸周りのモーメントＭｚの向きを示す図である。図３に示されるように、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、互いに交差する。

力覚センサ装置１は、Ｘ軸方向の力Ｆｘ、Ｙ軸方向の力Ｆｙ、及びＺ軸方向の力Ｆｚを検出できる。各軸周りのモーメントは、Ｘ軸を軸として回転させるモーメントＭｘ、Ｙ軸を軸として回転させるモーメントＭｙ、及びＺ軸を軸として回転させるモーメントＭｚを検出できる。Ｘ軸方向の力Ｆｘは、Ｘ軸方向の変位の一例である。Ｙ軸方向の力Ｆｙは、Ｙ軸方向の変位の一例である。Ｚ軸方向の力Ｆｚは、Ｚ軸方向の変位の一例である。

なお、各図においてＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向が矢印で図示されている場合がある。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、力覚センサ装置１を基準とする。例えば、図１に示されるロボットアーム２において、ロボットアーム２が変位して、力覚センサ装置１の向きが変化した場合には、力覚センサ装置１の向きに応じてＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の向きも変化する。

（力覚センサ装置の概略構成）
次に、図２、図４～図８を参照して、力覚センサ装置１の概略構成について説明する。図４は、力覚センサ装置を上方から示す斜視図である。図５は、力覚センサ装置を示す平面図である。図６は、力覚センサ装置を示す断面斜視図であり、Ｘ軸及びＹ軸に交差する切断面を示す図である。図７は、力覚センサ装置を示す断面斜視図であり、Ｙ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。図８は、力覚センサ装置を示す断面図であり、Ｙ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。力覚センサ装置１は、センサチップ１１０と、起歪体２０と、を備える。

センサチップ１１０は、６軸の変位センサとして機能する。センサチップ１１０は、例えばＭＥＭＳでもよい。センサチップ１１０は、複数の軸方向の少なくともひとつの方向の変位を検知するものでもよい。軸の方向の変位とは、例えば、Ｘ軸方向の変位、Ｙ軸方向の変位、及びＺ軸方向の変位でもよい。軸方向の変位は、例えば、Ｘ軸周りの変位、Ｙ軸周りの変位、及びＺ軸周りの変位でもよい。

起歪体２０は、第１部材２００と、第２部材４００と、トッププレート２１を備える。起歪体２０は、２部品構成の起歪体２０である。第２部材４００は、第１部材２００内に収容されている。起歪体２０の内部には、センサチップ１１０が実装されるセンサチップ実装部２２０が形成されている。トッププレート２１は、センサチップ実装部２２０を覆うように配置される。トッププレート２１は、Ｚ軸方向において、アタッチメント５に近い位置に配置される。なお、図４～図８では、トッププレート２１が外された状態を示す。

（第１部材の概略構成）
次に、第１部材２００の概略構成について説明する。図９は、力覚センサ装置の第１部材を示す断面斜視図である。図１０は、力覚センサ装置の第１部材を示す平面図である。図１１は、力覚センサ装置を下方から示す斜視図である。第１部材２００は、受力部２４０と、センサチップ実装部２２０と、複数の第１梁２５２，２５４と、複数の第１固定部２６２，２６４と、筒部３００と、を備える。

（受力部）
図２、図６～図９、及び図１１に示されるように、受力部２４０は、例えば円盤状を成している。受力部２４０の厚さ方向は、Ｚ軸方向に沿う。受力部２４０の外径は、例えばセンサチップ実装部２２０の外径よりも大きい。受力部２４０には、ロボットアームのエンドエフェクタを取り付けることができる。受力部２４０には、厚さ方向に貫通するボルト穴が設けられている。

（センサチップ実装部）
図１２は、力覚センサ装置の第１部材のセンサチップ実装部を拡大して示す平面図である。図１３は、力覚センサ装置の第１部材のセンサチップ実装部を示す斜視図である。図９、図１２及び図１３に示されるように、センサチップ実装部２２０は、底部２２２及び筒部２２４を有する。底部２２２は、受力部２４０に対して取り付けられる。底部２２２は、Ｚ軸方向において、受力部２４０に近い位置に配置され、筒部２２４は、底部２２２よりも受力部２４０から遠い位置に配置されている。底部２２２は、例えば板状を成す。底部２２２の板厚方向は、Ｚ軸方向に沿う。受力部２４０の外径は、底部２２２の外径より大きい。底部２２２は、Ｚ軸方向において、受力部２４０のエンドエフェクタが取り付けられる面とは反対側の面に取り付けられる。底部２２２には、センサチップ１１０に接触する複数の第１接触部２１２，２１４，２１６が設けられている。

複数の第１接触部２１２，２１４，２１６は、Ｚ軸方向において、受力部２４０とは反対側に突出する。複数の第１接触部２１２は、Ｚ軸方向に見て（平面視において）底部２２２の中央に配置された第１接触部２１２と、第１接触部２１２の周囲に配置された複数の第１接触部２１４，２１６を有する。なお、本明細書において、「径方向」との用語を使用する場合がある。径方向は、例えばＺ軸方向に底部２２２を見た場合に、第１接触部２１２を中心とする仮想円の半径方向に沿う方向とする。径方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含み。径方向は、Ｚ軸方向に底部２２２を見た場合に、第１接触部２１２から離れる方向を含む。

筒部２２４は、Ｚ軸方向において底部２２２から受力部２４０とは反対側に張り出す。複数の第１接触部２１２，２１４，２１６は、径方向において、筒部２２４の内側に配置されている。筒部２２４は、Ｚ軸方向に見て複数の第１接触部２１２，２１４，２１６を囲むように形成されている。筒部２２４及び底部２２２によって囲まれる空間は、凹部を形成する。センサチップ１１０は、筒部２２４及び底部２２２によって形成された凹部内に配置される。

（第１梁）
次に、図９、図１０、及び図１４を参照して、第１梁２５２，２５４について説明する。図１４は、力覚センサ装置の第１部材の第１梁を示す平面図である。図１４では、第１梁２５４を図示している。第１梁２５２は、第１梁２５４と位置が異なるだけで、形状は同じである。複数の第１梁２５２，２５４は、径方向においてセンサチップ実装部２２０の外側に張り出すように形成されている。複数の第１梁２５２は、径方向において互いに対向するように配置されている。複数の第１梁２５４は、径方向において互いに対向するように配置されている。Ｚ軸方向に見た場合に、複数の第１梁２５２が対向する方向と、複数の第１梁２５４が対向する方向とは互いに異なる方向である。

第１梁２５２，２５４は、Ｚ軸方向に見てＴ字を成すように形成されている。第１梁２５２は、筒部２２４から径方向外側に張り出す第１部分２５２ａと、第１部分２５２ａと交差する第２部分２５２ｂと、を有する。第１梁２５４は、筒部２２４から径方向外側に張り出す第１部分２５４ａと、第１部分２５４ａと交差する第２部分２５４ｂと、を有する。なお、第１梁２５２，２５４は、Ｔ字状を成すものに限定されず、例えばＹ字状に形成されたものでもよく、その他の形状に形成されたものでもよい。

（第１固定部）
次に図７～図１０を参照して、第１固定部２６２，２６４について説明する。複数の第１固定部２６２，２６４は、Ｚ軸方向に見て、仮想の四角形の全ての角部Ｃ１，Ｃ２に対応する位置にそれぞれ配置されている。複数の第１固定部２６２，２６４は、第２部材４００が固定される部分である。仮想の四角形は、例えば筒部３００の外形に沿う四角形でもよい。複数の角部Ｃ１は、例えばＸ軸方向に対向するように配置されている。複数の角部Ｃ２は、例えばＹ軸方向に対向するように配置されている。複数の第１固定部２６２は、Ｘ軸方向に対向して配置されている。複数の第１固定部２６４は、Ｙ軸方向に対向して配置されている。

複数の第１固定部２６２，２６４は、力覚センサ装置１において相対的に変位が最も少ない位置でもよい。複数の第１固定部２６２，２６４は、複数の第１梁２５２，２５４及び筒部３００に連結されている。例えば複数の第１固定部２６２，２６４は、当該第１固定部２６２，２６４に連結される複数の第１梁２５２，２５４及び筒部３００と比較して、剛性が高く、相対的に変形しにくい。第１固定部２６２，２６４は、筒部３００の角部Ｃ１，Ｃ２に対応する位置に配置されているので、相対的に位置変化しにくい。

図１０に示されるように、第１固定部２６２，２６４は、固定面２６２ａ，２６４ａを含む。固定面２６２ａ，２６４ａは、Ｚ軸方向に交差する面を含む。固定面２６２ａ，２６４ａは、Ｚ軸方向に見て、例えば台形状を成している。

第１固定部２６２，２６４のＺ軸方向に沿う厚さは、第１梁２５２，２５４のＺ軸方向に沿う厚さよりも厚い。固定面２６２ａは、Ｚ軸方向において、第１梁２５２，２５４よりも、受力部２４０から離れた位置に配置されている。第１固定部２６２，２６４は、Ｚ軸方向において、第１梁２５２，２５４よりも受力部２４０とは反対側に張り出している。

筒部３００は、Ｚ軸方向において、第１固定部２６２，２６４よりも受力部２４０とは反対側に張り出している。筒部３００は、Ｚ軸方向に見て、複数の第１固定部２６２，２６４、複数の第１梁２５２，２５４、及びセンサチップ実装部２２０を囲むように形成されている。筒部３００は、Ｚ軸方向に見て全周にわたって連続するように形成されている。

（第１部材の筒部）
次に、図４～図１１、及び図１５を参照して、第１部材の筒部３００について説明する。図１５は、力覚センサ装置の第１部材の筒部を示す断面図である。図１５は、筒部のＸ－Ｙに沿う切断面を下方から示す断面図である。筒部３００は、複数の外壁３０２，３０４、及び複数の内壁３１２，３１４，３１６，３１８を有する。複数の外壁３０２，３０４は、径方向において、外側の面を含む。複数の内壁３１２，３１４，３１６，３１８は、径方向において、内側の面を含む。複数の内壁３１２，３１４，３１６，３１８は、径方向において、複数の外壁３０２，３０４よりも内側に配置されている。

外壁３０２，３０４は、Ｚ軸方向に見て、複数の角部Ｃ１，Ｃ２を頂点とする四角形を成すように配置されている。複数の外壁３０２，３０４は、径方向と交差する面を含む。複数の外壁３０２は、Ｚ軸方向に見て、第１梁２５２と対向するように配置されている。図１０に示されるように、外壁３０２は、第１梁２５２の第１部分２５２ａと交差するように配置されている。外壁３０４は、第１梁２５４の第１部分２５４ａと交差するように配置されている。

内壁３１２，３１４，３１６，３１８は、Ｚ軸方向に見て、八角形を成すように配置されている。複数の内壁３１２は、Ｘ軸方向に交差するＹＺ面を含む。複数の内壁３１２は、Ｘ軸方向において互いに対向している。複数の内壁３１４は、Ｙ軸方向に交差するＸＺ面を含む。複数の内壁３１４は、Ｙ軸方向において互いに対向している。複数の内壁３１６は、外壁３０２に対向する面を含む。複数の内壁３１８は、外壁３０４に対向する面を含む。

固定面２６２ａは、Ｚ軸方向に見て、内壁３１２から径方向内側に張り出すように形成されている。固定面２６４ａは、Ｚ軸方向に見て、内壁３１４から径方向内側に張り出すように形成されている。第１固定部２６２は、内壁３１２よりも径方向内側に張り出す部分を含む。第１固定部２６４は、内壁３１４よりも径方向内側に張り出す部分を含む。筒部３００は、複数の第１固定部２６２，２６４間に配置され、複数の第１固定部２６２，２６４を連結する部分を含む。

Ｚ軸方向において、複数の第１固定部２６２，２６４より張り出す筒部３００の長さは、複数の第１固定部２６２，２６４のＺ軸方向に沿う厚さよりも長くてもよい。筒部３００は、Ｚ軸方向において所定の長さを有する。

（第１部材の溝）
図１０及び図１１に示されるように、第１部材２００には、複数の溝２８２，２８４が形成されている。複数の溝２８２，２８４は、Ｚ軸方向に第１部材２００を貫通している。複数の溝２８２は、Ｚ軸方向に見て、第１梁２５２と内壁３１６との間に形成されている。複数の溝２８２は、第１梁２５２の第２部分２５２ｂの長手方向に沿って伸びている。複数の溝２８４は、Ｚ軸方向に見て、第１梁２５４と内壁３１８との間に形成されている。複数の溝２８４は、第１梁２５４の第２部分２５４ｂの長手方向に沿って伸びている。複数の溝２８２，２８４は、Ｚ軸方向に貫通していない構成でもよい。

（第２部材の概略構成）
次に、第２部材４００の概略構成について説明する。図１６は、力覚センサ装置の第２部材を示す平面図である。図１７は、力覚センサ装置の第２部材を示す断面斜視図である。図１８は、力覚センサ装置の第２部材のリング、アーム、及び第２接触部を拡大して示す平面図である。図１９は、力覚センサ装置のセンサチップ実装部及びアームを断面斜視図である。第２部材４００は、複数の第２接触部４１２，４１４と、支持部４２０と、複数の第２梁４３２，４３４と、複数の第２固定部４４２，４４４とを備える。

（第２接触部及び支持部）
支持部４２０は、複数の第２接触部４１２，４１４を支持する。複数の第２接触部４１２は、Ｘ軸方向に離間する。複数の第２接触部４１４は、Ｙ軸方向に離間する。支持部４２０は、リング４２２と、複数のアーム４６２，４６４とを有する。リング４２２は、Ｚ軸を中心とする円周に沿うように形成される。リング４２２は板状を成す。リング４２２の板厚方向は、Ｚ軸方向に沿う。

（第２部材のアーム）
複数のアーム４６２は、Ｘ軸方向に対向する。複数のアーム４６２は、第１部分４６２ａ及び第２部分４６２ｂを有する。第１部分４６２ａは、Ｚ軸方向に延在し、リング４２２から第１部材２００の底部２２２に向かって伸びる。第２部分４６２ｂは、Ｚ軸方向において、リング４２２と離間する。第２部分４６２ｂは、第１部分４６２ａのＺ軸方向の端部から屈曲され、Ｘ軸方向に延びる。複数の第２部分４６２ｂは、Ｘ軸方向において互いに接近するように形成されている。

複数のアーム４６４は、Ｙ軸方向に対向する。複数のアーム４６４は、第１部分４６４ａ及び第２部分４６４ｂを有する。第１部分４６４ａは、Ｚ軸方向に延在し、リング４２４から第１部材２００の底部２２２に向かって伸びる。第２部分４６４ｂは、Ｚ軸方向において、リング４２２と離間する。第２部分４６４ｂは、第１部分４６４ａのＺ軸方向の端部から屈曲され、Ｙ軸方向に延びる。複数の第２部分４６４ｂは、Ｙ軸方向において互いに接近するように形成されている。

複数のアーム４６２，４６４の先端部は互いに連結されている。アーム４６２の先端部は、第２部分４６２ｂのうち、第１部分４６２ａから離れている部分である。アーム４６４の先端部は、第２部分４６４ｂのうち、第１部分４６４ａから離れている部分である。

複数の第２部分４６２ｂ，４６４ｂは、径方向の中心で互いに交差し、連結されている。複数の第２部分４６２ｂ，４６４ｂが交差する部分には、Ｚ軸方向に貫通する穴４６８が形成されている。第１接触部２１２は、この穴４６８に挿通される。穴４６８及び第１接触部２１２は、複数の第２接触部４１２，４１４の中心に配置されている。複数の第２接触部４１２は、第２部分４６２ｂからＺ軸方向に突出する。複数の第２接触部４１４は、第２部分４６４ｂからＺ軸方向に突出する。

（第２梁）
次に、図１６、図１７、及び図２０を参照して、第２梁４３２，４３４について説明する。図２０は、力覚センサ装置の第２部材の第２梁を示す平面図である。図２０では、第２梁４３４を図示している。第２梁４３２は、第２梁４３４と位置が異なるだけで、形状は同じである。複数の第２梁４３２，４３４は、径方向においてリング４２２の外側に張り出すように形成されている。複数の第２梁４３２は、径方向において互いに対向するように配置されている。複数の第２梁４３４は、径方向において互いに対向するように配置されている。Ｚ軸方向に見た場合に、複数の第２梁４３２が対向する方向と、複数の第２梁４３４が対向する方向とは互いに異なる方向である。

第２梁４３２，４３４は、Ｚ軸方向に見てＴ字を成すように形成されている。第２梁４３２は、リング４２２から径方向外側に張り出す第１部分４３２ａと、第１部分４３２ａと交差する第２部分４３２ｂと、を有する。第２梁４３４は、リング４２４から径方向外側に張り出す第１部分４３４ａと、第１部分４３４ａと交差する第２部分４３４ｂと、を有する。なお、第２梁４３２，４３４は、Ｔ字状を成すものに限定されず、例えばＹ字状に形成されたものでもよく、その他の形状に形成されたものでもよい。

（第２固定部）
図１６、図１７、及び図２０に示される複数の第２固定部４４２，４４４は、複数の第１固定部２６２，２６４に固定される部分である。複数の第２固定部４４２は、リング４２２の外側に配置され、Ｘ軸方向に互いに対向している。複数の第２固定部４４４は、リング４２２の外側に配置され、Ｙ軸方向に互いに対向している。

（第２固定部の第１固定部に対する固定）
図２１は、力覚センサ装置の第１部材に設けられた筒部、フランジ、及び第１固定部を示す断面図である。図２２は、第１固定部上の第２固定部を示す斜視図である。図７、図８、図２１及び図２２に示されるように、複数の第２固定部４４２，４４４は、複数の第１固定部に２６２，２６４に固定されている。具体的には、第２固定部４４２は、第１固定部２６２上に配置されて、第１固定部２６２に対して固定される。第２固定部４４４は、第１固定部２６４上に配置されて、第１固定部２６４に対して固定される。第２固定部４４２，４４４は、Ｚ軸方向において、第１固定部２６２，２６４に対して、受力部２４０とは反対側に配置されている。第２固定部４４２，４４４は、例えば、溶接により第１固定部２６２，２６４に接合されている。

（第１部材のフランジ）
次に、図２、図４～図１１、図２１、及び図２３を参照して、第１部材２００に設けられたフランジ３３２，３３４について説明する。フランジ３３２，３３４は、Ｚ軸方向に見て、筒部３００から径方向外側に張り出す。フランジ３３２，３３４は、Ｚ軸方向に所定の厚さを有する。フランジ３３２には、Ｚ軸方向に貫通するボルト穴３３６が形成されている。複数のボルト穴３３６は、仮想の四角形の角部Ｃ１，Ｃ２に対応する位置に設けられている。なお、フランジ３３２，３３４に設けられるボルト穴３３６は、タップ加工されていてもよい。

フランジ３３２，３３４は、Ｚ軸方向において、筒部３００の端面３００ａよりも受力部２４０とは反対側に張り出す当接面３３２ａ，３３４ａを有する。当接面３３２ａ，３３４ａは、フランジ３３２，３３４の受力部２４０とは反対側の面に形成されている。当接面３３２ａ，３３４ａは、図２に示されるアタッチメント５に当接可能な面である。

Ｚ軸方向に見て、当接面３３２ａ，３３４ａは、ボルト穴３３６の周囲に形成されている。例えば、当接面３３２ａ，３３４ａは、ボルト穴３３６を囲むように全周に設けられている。

（受力部のリング状の溝）
次に、図２、図６、図８、及び図１１を参照して、受力部２４０の底面２４０ａに設けられたリング状の溝２４２について説明する。受力部２４０の底面２４０ａには、リング状の溝２４２が形成されている。受力部２４０の底面２４０ａは、Ｚ軸方向において、センサチップ実装部２２０とは反対側の面である。リング状の溝２４２は、受力部２４０の中心を通るＺ軸を中心とする円周状に形成されている。

（センサチップ、第１接触部、及び第２接触部）
次に、図１２、図１３、図１８、及び、図２４～図２６を参照しながら、センサチップ１１０に対する第１接触部２１２，２１４，２１６及び第２接触部４１２，４１４の配置について説明する。図２４は、力覚センサ装置の第１接触部及び第２接触部を拡大して示す平面図である。図２５は、力覚センサ装置のセンサチップ実装部を示す断面図であり、Ｙ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。図２６は、力覚センサ装置のセンサチップ実装部を示す断面図であり、Ｗ軸及びＺ軸に沿う切断面を示す図である。なお、図２４では、Ｚ軸方向に見て、互いに交差するＶ軸及びＷ軸が示されている。Ｖ軸は、Ｘ軸をＺ軸周りに４５度傾斜した位置を通り、Ｗ軸は、Ｙ軸をＺ軸周りに４５度傾斜した位置を通る。

上述したように、複数の第１接触部２１２，２１４，２１６は、第１部材２００の底部２２２に形成さえている。Ｚ軸方向に見て、Ｘ軸及びＹ軸に沿う対角線上に、複数の第１接触部２１４，２１６が配置され、これらの第１接触部２１４，２１６の中心に第１接触部２１２が配置されている。図１２及び図１３は、第２部材４００の複数の第２接触部４１２，４１４が配置される前の、センサチップ実装部２２０を示す。

図１８に示される複数の第２接触部４１２，４１４は、上述したように、複数のアーム４６２，４６４によって支持されている。図２４に示されるように、第１部材２００に対して、第２部材４００が固定された状態において、複数の第２接触部４１２，４１４は、複数の第１接触部２１４，２１６間に配置される。第２接触部４１２は、Ｙ軸方向において、第１接触部２１４，２１６間に配置される。Ｘ軸方向において、第２接触部４１２は、中心の第１接触部２１２の両側に配置される。第２接触部４１４は、Ｘ軸方向において、第１接触部２１４，２１６間に配置される。第２接触部４１４は、Ｙ軸方向において、中心の第１接触部２１２の両側に配置される。

図２５及び図２６に示されるように、複数の第１接触部２１２，２１４，２１６及び第２接触部４１２，４１４は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔を置いて、センサチップ１１０の底面１１０ａに接触する。

第２部材４００の複数の第２接触部４１２，４１４は、センサチップ１１０に対して変位しない固定点とみなすことができる。第１部材２００の複数の第１接触部２１２，２１４，２１６は、センサチップ１１０に対して相対的に変位する入力点とみなすことができる。

力覚センサ装置１では、受力部２４０が力を受けると、その力が受力部２４０からセンサチップ実装部２２０の底部２２２に伝達される。底部２２２は、受力部２４０から力を受けて、僅かに変形する。力の向き及び大きさによって、複数の第１接触部２１２，２１４，２１６の変位が異なる。センサチップ１１０は、第２接触部４１２，４１４に対する複数の第１接触部２１２，２１４，２１６の変位を検知することで、Ｘ軸方向の力Ｆｘ、Ｙ軸方向の力Ｆｙ、Ｚ軸方向の力Ｆｚ、Ｘ軸周りのモーメントＭｘ、Ｙ軸周りのモーメントＭｙ、及びＺ軸周りのモーメントＭｚを検出できる。

（先行技術の課題）
次に、先行技術の課題について説明する。力覚センサ装置は、ネジ締結によって、接続相手である産業用ロボットに対して、直接、又は、アダプターを介して間接的に、取り付けられる。力覚センサ装置の取り付け面、及び、相手側の取り付け面を完全に平坦とすることは難しく、２つの取り付け面間にギャップが発生する。そのため、ネジの締結力によって、このギャップがなくなるような変形が、力覚センサ装置及び相手側の部品に発生する。このような場合、力覚センサ装置の起歪体に歪が生じることによって、取り付けオフセットが発生する。換言すると、ゼロ点出力に変動が発生する。

取り付けオフセットが発生すると、力覚センサ装置において適用可能なダイナミックレンジが小さくなるという問題が発生する。また、取り付けオフセットが発生すると、繰り返し使用した際に、ゼロ点の再現性が悪くなるとい問題が発生する。また、力覚センサ装置及び／又はロボットアームの温度変化によって、出力変動が大きくなり、ゼロ点出力の温度特性が大きくなるといった問題が発生する。例えば、力覚センサ装置を取り付けるためのネジが緩んだ際に、ネジの軸力が変化することで、取り付けオフセットによる影響が大きくなる。

（力覚センサ装置１の作用効果）
本実施形態に係る力覚センサ装置１では、複数の第１梁２５２，２５４は、センサチップ実装部２２０から径方向に張り出す第１部分２５２ａ，２５４ａと、Ｚ軸方向に見て、径方向とは交差する方向に延びる第２部分２５２ｂ，２５４ｂと、を含む。複数の第２梁４３２は、支持部に含まれるリング４２２から径方向に張り出す第１部分４３２ａ，４３４ａと、Ｚ軸方向に見て、径方向とは交差する方向に延びる第２部分４３２ｂ，４３４ｂと、を含む。複数の第２梁４３２，４３４の第１部分４３２ａ，４３４ａは、Ｚ軸方向に見て、複数の第１梁２５２の第１部分２５２ａ，２５４ａにそれぞれ重なる位置に配置されている。複数の第２梁４３２，４３４の第２部分４３２ｂ，４３４ｂは、Ｚ軸方向に見て、複数の第１梁２５２，２５４の第２部分２５２ｂ，２５４ｂにそれぞれ重なる位置に配置されている。

このような構成の力覚センサ装置１によれば、第１部材２００の第１梁２５２，２５４と、第２部材４００の第２梁４３２，４３４とが重なるように配置されているので、第１梁２５２，２５４に作用する力の向きと、第２部材４００の第２梁４３２，４３４に作用する力の向きを合わせることができる。具体的には、第１梁２５２，２５４の第１部分２５２ａ，２５４ａに作用する力の向きと、第２梁４３２，４３４の第１部分４３２ａ，４３４ａに作用する力の向きを合わせることができ、第１梁２５２，２５４の第２部分２５２ｂ，２５４ｂに作用する力の向きと、第２梁４３２，４３４の第２部分４３２ｂ，４３４ｂに作用する力の向きを合わせることができる。このため、力覚センサ装置１を接続相手の部品に取り付けた際に、力覚センサ装置１に変形が生じた場合であっても、第１梁２５２，２５４に接続された第１接触部２１２，２１４，２１６と、第２梁４３２，４３４に接続された第２接触部４１２，４１４との相対変位のずれを抑制できる。この結果、力覚センサ装置１の取り付けの際に生じる応力に起因するオフセットを低減できる。

また、本実施形態に係る力覚センサ装置１では、複数の第１梁２５２，２５４及び複数の第２梁４３２，４３４は、Ｚ軸方向に見て、互いに相似する形状であり、それぞれ重なるように配置されている。第１梁２５２，２５４及び第２梁４３２，４３４は、同じＴ字状を成すように形成され、互いに重なるように配置されている。なお、相似する形状は、同一の形状を含む。

このような構成の力覚センサ装置１によれば、第１梁２５２，２５４に作用する力の向きと、第２部材４００の第２梁４３２，４３４に作用する力の向きを合わせることができる。このため、力覚センサ装置１を接続相手の部品に取り付けた際に、力覚センサ装置１に変形が生じた場合であっても、第１梁２５２，２５４に接続された第１接触部２１２，２１４，２１６と、第２梁４３２，４３４に接続された第２接触部４１２，４１４との相対変位のずれを抑制できる。この結果、力覚センサ装置１の取り付けの際に生じる応力に起因するオフセットを低減できる。

また、第１部材２００の複数の第１固定部２６２，２６４は、Ｘ軸方向に互いに離間し、Ｙ軸方向に延びる一対の第１固定部２６２と、Ｙ軸方向に互いに離間し、Ｘ軸方向に延びる一対の第１固定部２６４と、を含む。第２部材４００の複数の第２固定部４４２，４４４は、Ｘ軸方向に互いに離間し、Ｙ軸方向に延びる一対の第２固定部４４２と、Ｙ軸方向に互いに離間し、Ｘ軸方向に延びる一対の第２固定部４４４と、を含む。Ｙ軸方向に延びる一対の第２固定部４４２は、Ｚ軸方向に見て、Ｙ軸方向に延びる一対の第１固定部２６２と重なるように配置されている。Ｘ軸方向に延びる一対の第２固定部４４４は、Ｚ軸方向に見て、Ｘ軸方向に延びる一対の第１固定部２６４と重なるように配置されている。

このような構成の力覚センサ装置１では、第１梁２５２，２５４に連結されている第１固定部２６２，２６４と、第２梁４３２，４３４に連結される第２固定部４４２，４４４とが、Ｚ軸方向に見て、重なるように配置されているので、第１固定部２６２，２６４に作用する力の向きと、第２固定部４４２，４４４に作用する力の向きとを合わせることができる。これにより、第１梁２５２，２５４に伝達される力の向きと、第２梁４３２，４３４に伝達される力の向きとを合わせることができ、力覚センサ装置１の取り付けの際に生じる応力に起因するオフセットを低減できる。

また、力覚センサ装置１では、複数の第１梁２５２，２５４が連結されるセンサチップ実装部２２０の筒部２２４と、複数の第２梁４３２，４３４が連結されるリング４２２とが、Ｚ軸方向に見て重なるように配置されている。

このような構成の力覚センサ装置１では、筒部２２４に作用する力の向きと、リング４２２に作用する力の向きとを合わせやすくすることができる。力覚センサ装置１では、第１梁２５２，２５４から筒部２２４に伝達される力の向きと、第２梁４３２，４３４からリング４２２に伝達される力の向きとを合わせることができる。この結果、力覚センサ装置１の取り付けの際に生じる応力に起因するオフセットを低減できる。

また、力覚センサ装置１では、第２梁４３２，４３４とリング４２２とが連結される位置は、リング４２２の周方向において、アーム４６２，４６４とリング４２２とが連結される複数の位置の中間位置である。アーム４６２とリング４２２とが連結される位置は、アーム４６２の第１部分４６２ａがリング４２２に連結される位置である。アーム４６４とリング４２２とが連結される父は、アーム４６４の第１部分４６４ａがリング４２２に連結される位置である。第２梁４３２，４３４とリングとが連結される位置は、リング４２２の周方向において、第１部分４６２ａと第１部分４６４ａとの中間位置である。

このような構成の力覚センサ装置１によれば、第２梁４３２，４３４から伝達される力を、リング４２２の周方向に分散させて、複数のアーム４６２，４６４に伝達することができる。これにより、複数のアーム４６２，４６４に伝達される力のばらつきを軽減できる。第２部材４００における変形を抑制できる。

（変形例１）
次に変形例１に係る力覚センサ装置１の第１梁２５２Ｂ及び第２梁４３２Ｂについて説明する。図２７は、変形例１に係る力覚センサ装置の第１部材の第１梁を示す平面図である。図２８は、変形例１に係る力覚センサ装置の第２部材の第２梁を示す平面図である。

図２７に示されるように、第１梁２５２Ｂは、Ｚ軸方向に見て、Ｙ字状を成している。このように、第１部材の複数の第１梁２５２Ｂは、Ｔ字状のものに限定されず、Ｙ字状に形成されているものでもよく、その他の形状のものでもよい。

図２８に示されるように、第２梁４３２Ｂは、Ｚ軸方向に見て、Ｙ字状を成している。このように、第２部材の複数の第２梁４３２Ｂは、Ｔ字状のものに限定されず、Ｙ字状に形成されているものでもよく、その他の形状のものでもよい。

このような変形例１に係る力覚センサ装置１においても、上記の実施形態の力覚センサ装置１と同様の作用効果を奏する。第１梁２５２Ｂ及び第２梁４３２Ｂは、Ｚ軸方向に見て、同じ形状を成し、重なるように配置されている。

（変形例２）
次に変形例２に係る力覚センサ装置１の第１梁及び第２梁について説明する。図２９は、変形例２に係る力覚センサ装置の第１部材の第１梁を示す平面図である。図３０は、変形例２に係る力覚センサ装置の第２部材の第２梁を示す平面図である。

図２９に示されるように、第１梁２５２Ｃは、Ｚ軸方向に見て、例えばＶ字状を成している。このように、第１部材の複数の第１梁２５２Ｃは、Ｖ字状に形成されているものでよい。第１梁２５２Ｃは、Ｚ軸方向に見て、センサチップ実装部２２０の筒部２２４から異なる方向に分かれて延びるように形成されていてもよい。

図３０に示されるように、第２梁４３２Ｃは、Ｚ軸方向に見て、例えばＶ字状を成している。このように、第２部材の複数の第２梁４３２Ｃは、Ｖ字状に形成されているものでよい。第２梁４３２Ｃは、Ｚ軸方向に見て、リング４２２から異なる方向に分かれて延びるように形成されていてもよい。

（比較例１）
次に、比較例１について説明する。図３１は、比較例１に係る力覚センサ装置を示す断面斜視図であり、Ｘ軸及びＹ軸に交差する切断面を示す図である。比較例１に係る力覚センサ装置５０１は、ボトムプレート５０２と、ストラクチャ５０３と、リング５０４とを備える。ボトムプレート５０２、ストラクチャ５０３、及びリング５０４は、Ｚ軸方向に見て、円形を成している。ボトムプレート５０２、ストラクチャ５０３、及びリング５０４は、Ｚ軸方向に見て重なるように配置されている。ボトムプレート５０２、ストラクチャ５０３、及びリング５０４には、ボルトが挿通されるボルト穴が形成されている。ストラクチャ５０３には、複数の第１接触部が設けられ、リング５０４には、複数の第２接触部が設けられている。

ストラクチャ５０３は、リング５０４が固定される固定部からＺ軸方向に張り出す筒部を備えていない。ストラクチャ５０３には、力覚センサ装置５０１の接続相手となる部品に取り付け可能なフランジは設けられていない。力覚センサ装置５０１は、リング５０４を覆う円盤状のトッププレートを有する。

（検証）
次に、実施例１及び比較例１に係る力覚センサ装置について、検証試験を行った結果について説明する。図３２は、実施例１及び比較例１に係る力覚センサ装置について検証試験を行った結果を示すグラフである。実施例１は、上記の実施形態に係る力覚センサ装置１である。

検証試験では、隙間ゲージを用いて、５０μｍのギャップを作成して、接続相手の部品に対して、力覚センサ装置を取り付けた場合の力覚センサ装置の変形をシミュレーションした。検証試験では、力覚センサ装置を、ネジ締結によって接続相手の部品に取り付けた場合について、シミュレーションした。ここでは、接続相手の部品として、アタッチメント５又はアーム本体を想定している。検証試験の結果を、図３２に示す。

図３２では、縦軸にオフセット変動量［％ＦＳ］を示す。「取り付けオフセット変動量」とは、力覚センサ装置を接続相手の部品に取り付けた場合のゼロ点の変動の大きさの比率を示す。オフセット変動が１００％ＦＳである場合には、センサチップ実装部２２０にセンサ定格相当の変位が入力されている状態と等しいことを示す。

ここで、図２５を参照してオフセット変動がプラスである場合及びマイナスである場合について説明する。オフセットは、第１接触部２１２と第２接触部４１４の相対的な位置関係で発生する。プラスの場合とマイナスの場合は、互いに逆向きに移動したことを示す。Ｆｘがプラスである場合には、第１接触部２１２が第２接触部４１４に対してＸ軸方向に沿って紙面手前から奥に向かって移動した状態を示す。Ｆｘがマイナスである場合には、第１接触部２１２が第２接触部４１４に対してＸ軸方向に沿って紙面奥から手前に向かって移動した状態を示す。Ｆｙがプラスである場合には、第１接触部２１２が第２接触部４１４に対してＹ軸方向に沿って、Ｙ（＋）の矢印で示す向きに移動した状態を示す。Ｆｙがマイナスである場合には、第１接触部２１２が第２接触部４１４に対してＹ軸方向に沿って、Ｙ（－）の矢印で示す向きに移動した状態を示す。Ｆｚがプラスである場合には、第１接触部２１２が第２接触部４１４に対してＺ軸方向に沿って、Ｚ（＋）の矢印で示す向きに移動した状態を示す。Ｆｚがマイナスである場合には、第１接触部２１２が第２接触部４１４に対してＺ軸方向に沿って、Ｚ（－）の矢印で示す向きに移動した状態を示す。

図３２では、実施例１の結果を実線で示し、比較例１の結果を破線で示す。「Ｆｘ」は、Ｘ軸方向におけるオフセット変動の最大値を示す。「Ｆｙ」は、Ｙ軸方向におけるオフセット変動の最大値を示す。「Ｆｚ」は、Ｚ軸方向におけるオフセット変動の最大値を示す。（なお、センサチップ１１０に入力される変動量は、第１接触部２１２，２１４，２１６と第２接触部４１２，４１４との相対的な変位差によって生じる。そのため、オフセット変動量は、第２接触部４１２，４１４の変動量の場合もありえる。）

実施例１では、Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚともに、比較例１と比較して、小さい値となった。実施例１のＦｘ，Ｆｙは、０に近い値となった。実施例１では、第１接触部２１２，２１４，２１６の変位が小さくなり、オフセット出力が低減することが分かった。

以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。

１ 力覚センサ装置、２ ロボットアーム、４ アーム本体、５ アタッチメント、２０ 起歪体、２０Ｂ 起歪体、１１０ センサチップ、２００ 第１部材、２１２ 第１接触部、２１４ 第１接触部、２１６ 第１接触部、２２０ センサチップ実装部、２２２ 底部、２２４ 筒部、２４０ 受力部、２４２ リング状の溝、３００ 筒部（第１連結部）、３３２ フランジ、３３２ａ 当接面、３３４ フランジ、３３４ａ 当接面、４００ 第２部材、４１２ 複数の第２接触部、４１４ 複数の第２接触部、Ｃ１ 角部（Ｘ軸方向に対向する角部）、Ｃ２ 角部（Ｙ軸方向に対向する角部）。

Claims (7)

1. 複数の軸方向の少なくともひとつの方向の変位を検知するセンサチップと、
   前記センサチップと接触する第１接触部を含み前記センサチップが実装されるセンサチップ実装部と、前記センサチップ実装部から前記センサチップ実装部を中心とする仮想円の径方向に延びる第１梁と、前記第１梁に連結された第１固定部と、を有する第１部材と、
   前記センサチップと接触する第２接触部と、前記第２接触部を支持する支持部と、前記支持部から前記径方向に延びる第２梁と、前記第２梁に連結された第２固定部と、を有する第２部材と、を備え、
   平面視において、
   前記第１梁は、
   前記センサチップ実装部から前記径方向に張り出す第１部分と、
   前記径方向と交差する方向に延びる第２部分と、を含み、
   前記第２梁は、
   前記支持部から前記径方向に張り出す第１部分と、
   前記径方向と交差する方向に延びる第２部分と、を含み、
   前記第２梁の前記第１部分は、前記第１梁の前記第１部分に重なる位置に配置され、
   前記第２梁の前記第２部分は、前記第１梁の前記第２部分に重なる位置に配置されていることを特徴とする力覚センサ装置。
2. 複数の軸方向の少なくともひとつの方向の変位を検知するセンサチップと、
   前記センサチップと接触する第１接触部を含み前記センサチップが実装されるセンサチップ実装部と、前記センサチップ実装部から前記センサチップ実装部を中心とする仮想円の径方向に延びる第１梁と、前記第１梁に連結された第１固定部と、を有する第１部材と、
   前記センサチップと接触する第２接触部と、前記第２接触部を支持する支持部と、前記支持部から前記径方向に延びる第２梁と、前記第２梁に連結された第２固定部と、を有する第２部材と、を備え、
   平面視において、
   前記第１梁及び前記第２梁は、互いに相似する形状であり、それぞれ重なるように配置されていることを特徴とする力覚センサ装置。
3. 前記第１梁及び前記第２梁は、Ｔ字状を成すように形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の力覚センサ装置。
4. 前記仮想円の周方向において、複数の前記第１梁は、複数の前記第１固定部間に配置され、
   前記複数の第１梁は、前記仮想円の周方向に隣り合う複数の第１固定部を連結し、
   前記仮想円の周方向において、複数の前記第２梁は、複数の前記第２固定部間に配置され、
   前記複数の第２梁は、前記仮想円の周方向に隣り合う複数の第２固定部を連結することを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の力覚センサ装置。
5. 前記複数の軸方向は、互いに交差する３軸のＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向であって、
   前記複数の第１固定部は、
   前記Ｘ軸方向に互いに離間し、前記Ｙ軸方向に延びる一対の第１固定部と、
   前記Ｙ軸方向に互いに離間し、前記Ｘ軸方向に延びる一対の第１固定部と、を含み、
   前記複数の第２固定部は、
   前記Ｘ軸方向に互いに離間し、前記Ｙ軸方向に延びる一対の第２固定部と、
   前記Ｙ軸方向に互いに離間し、前記Ｘ軸方向に延びる一対の第２固定部と、を含み、
   前記Ｙ軸方向に延びる一対の第２固定部は、前記Ｚ軸方向に見て、前記Ｙ軸方向に延びる一対の第１固定部と重なるように配置され、
   前記Ｘ軸方向に延びる一対の第２固定部は、前記Ｚ軸方向に見て、前記Ｘ軸方向に延びる一対の第１固定部と重なるように配置されていることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の力覚センサ装置。
6. 前記センサチップ実装部は、
   前記センサチップとは反対側に連結された受力部に近い位置に配置された底部と、
   前記底部から前記受力部とは反対側に張り出す筒部とを有し、
   前記複数の第１接触部は、前記底部に設けられ、
   前記センサチップは、前記底部及び前記筒部によって囲まれた凹部内に収容され、
   前記支持部は、
   前記複数の第２梁と連結されるリングと、
   前記リングから延びて前記径方向の内側に屈曲され前記複数の第２接触部を支持する複数のアームと、を有し、
   平面視において、
   前記リングは、前記筒部と重なるように配置されていることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の力覚センサ装置。
7. 前記複数の第２梁と前記リングとが連結される位置は、前記仮想円の周方向において、前記複数のアームと前記リングとが連結される複数の位置の中間位置であることを特徴する請求項６に力覚センサ装置。

Images