JP2023135939A - Method for manufacturing single-sided metal-clad laminate - Google Patents

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寛司 下大迫
Kanji Shimoosako
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Abstract

To provide a method for manufacturing a single-sided metal-clad laminate with small warpage using an adhesive sheet having thermoplastic resin layers on both sides.SOLUTION: A method includes: using an adhesive sheet having thermoplastic resin layers on both sides of a heat-resistant film; laminating a metal foil, the adhesive sheet and a protective material 1 in this order; selecting the adhesive sheet and the protective material 1 that have specific coefficients of linear expansion; and performing thermal lamination by pre-heating the adhesive sheet and adjusting a feeding tension as necessary, thereby controlling warpage to a minimum.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、フレキシブルプリント基板(以下、FPCともいう)等に好適に用いられる片面金属張積層板の製造方法に関する。更に詳しくは、片面金属張積層板を生産するための両面に熱可塑性樹脂層を有した耐熱性フィルムを用いた片面金属張積層板の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a single-sided metal-clad laminate suitable for use in flexible printed circuit boards (hereinafter also referred to as FPCs) and the like. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a single-sided metal-clad laminate using a heat-resistant film having thermoplastic resin layers on both sides for producing a single-sided metal-clad laminate.

電子機器の高性能化、高機能化、小型化が急速に進んでおり、これに伴って電子機器に用いられる電子部品に対しても小型化、薄型化の要請が高まっている。更に、コストダウン化も進み、FPCを構成する材料は要求に応じて多様化してきている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Electronic devices are rapidly becoming more sophisticated, functional, and smaller, and along with this, there is an increasing demand for electronic components used in electronic devices to be smaller and thinner. Furthermore, costs have been reduced, and the materials constituting FPCs have become more diverse in response to demands.

従来より、電子電気機器用印刷回路基板として好適な金属張積層板としては、ポリイミドフィルムの片面にのみ金属箔を積層した片面金属張積層板、または表裏両面に金属箔を積層した構造である、両面金属張積層板が知られている。このような構造を有する両面金属張積層板の製造方法として、高温において、一対の金属ロール間に保護フィルムを介した状態でポリイミドフィルムと金属箔とを熱圧着(以下、熱ラミネートともいう)が提案されている(例えば、特許文献1)。また、保護フィルムを介さずに。一対の金属ロール間にポリイミドフィルムと金属箔とを熱ラミネートする方法も有る。 Conventionally, metal-clad laminates suitable as printed circuit boards for electronic and electrical equipment include single-sided metal-clad laminates in which metal foil is laminated only on one side of a polyimide film, or structures in which metal foil is laminated on both the front and back sides. Double-sided metal-clad laminates are known. As a manufacturing method for a double-sided metal-clad laminate having such a structure, a polyimide film and a metal foil are bonded together at high temperatures with a protective film interposed between a pair of metal rolls (hereinafter also referred to as heat lamination). It has been proposed (for example, Patent Document 1). Also, without using a protective film. There is also a method of thermally laminating a polyimide film and metal foil between a pair of metal rolls.

特開2001-129918号公報Japanese Patent Application Publication No. 2001-129918

片面金属張積層板についても、原理的には特許文献1の方法にて製造することができる。すなわち、金属箔を片面のみに張り合わせることにより、両面金属張積層板同様に熱ラミネートにて製造することができる。しかしながら、当該製造方法では用いるポリイミドフィルムと保護フィルムの種類によっては反りが大きくなるという問題があった。 A single-sided metal-clad laminate can also be manufactured in principle by the method disclosed in Patent Document 1. That is, by laminating metal foil on only one side, it can be manufactured by thermal lamination in the same way as double-sided metal-clad laminates. However, this manufacturing method has a problem in that depending on the type of polyimide film and protective film used, warpage becomes large.

本発明は、上述課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、熱可塑性樹脂層を両面に有する接着シートを用いて、反りの小さい片面金属張積層板の製造方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a method for manufacturing a single-sided metal-clad laminate with small warpage using an adhesive sheet having thermoplastic resin layers on both sides. be.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下の方法により目的の金属張積層板が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の構成をなす。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors discovered that the desired metal-clad laminate could be obtained by the following method, and completed the present invention. That is, the present invention has the following configuration.

1).耐熱性フィルムの両面に熱可塑性樹脂層を有する接着シートと前記接着シートの片面に金属箔を積層してなる片面金属張積層板の製造方法であって、
金属箔、接着シートおよび保護材料1を、金属箔/接着シート/保護材料1の順に積層し、熱ラミネートを行った後、保護材料1を剥離して、金属箔/接着シートからなる片面金属張積層板を得る片面金属張積層板の製造方法であり、
接着シートの線膨張係数X1と保護材料1の線膨張係数X2が、│X2-X1│≧7ppm/℃の関係をみたす接着シートと保護材料1を用い、熱ラミネートの前に接着シートを130℃から300℃の温度で事前加熱することを特徴とする片面金属張積層板の製造方法。
1). A method for producing a single-sided metal-clad laminate comprising a heat-resistant film having a thermoplastic resin layer on both sides, and a metal foil laminated on one side of the adhesive sheet, the method comprising:
The metal foil, the adhesive sheet, and the protective material 1 are laminated in the order of metal foil/adhesive sheet/protective material 1, heat laminated, and then the protective material 1 is peeled off to form a single-sided metal cladding made of metal foil/adhesive sheet. A method for producing a single-sided metal-clad laminate to obtain a laminate,
Using an adhesive sheet and protective material 1 in which the linear expansion coefficient X1 of the adhesive sheet and the linear expansion coefficient X2 of the protective material 1 satisfy the relationship |X2-X1││7ppm/°C, the adhesive sheet was heated to 130°C before thermal lamination. A method for producing a single-sided metal-clad laminate, characterized by preheating at a temperature of from 300°C to 300°C.

2).金属箔の外面に保護材料2を配し、保護材料2/金属箔/接着シート/保護材料1の順に積層し、熱ラミネートを行うことを特徴とする1)に記載の片面金属張積層板の製造方法。 2). The single-sided metal-clad laminate according to item 1), characterized in that the protective material 2 is placed on the outer surface of the metal foil, the protective material 2/metal foil/adhesive sheet/protective material 1 are laminated in this order, and thermal lamination is performed. Production method.

3).接着シートの繰り出し張力が2~10kgf/mであることを特徴とする1)または2)に記載の片面金属張積層板の製造方法。 3). The method for producing a single-sided metal-clad laminate according to item 1) or 2), wherein the adhesive sheet has a feeding tension of 2 to 10 kgf/m.

4).耐熱性フィルムが、非熱可塑性ポリイミドフィルムであることを特徴とする、1)~3)のいずれかに記載の片面金属張積層板の製造方法。 4). The method for producing a single-sided metal-clad laminate according to any one of 1) to 3), wherein the heat-resistant film is a non-thermoplastic polyimide film.

5).熱可塑性樹脂層が熱可塑性ポリイミド樹脂を含むことを特徴とする、1)~4)のいずれかに記載の片面金属張積層板の製造方法。 5). The method for producing a single-sided metal-clad laminate according to any one of 1) to 4), wherein the thermoplastic resin layer contains a thermoplastic polyimide resin.

本発明によれば、従来より生産されている両面金属積層板用の熱ラミネート装置を使用し、反りの小さい片面金属張積層板を製造することができる。 According to the present invention, a single-sided metal-clad laminate with small warpage can be manufactured using a conventionally produced thermal laminating apparatus for double-sided metal laminates.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、記述した範囲内で種々の変形を加えた態様で実施できる。
なお、本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「A~B」は、「A以上(Aを含みかつAより大きい)、B以下(Bを含みかつBより小さい)」を意味する。
Embodiments of the present invention will be described in detail below. However, the present invention is not limited thereto, and can be implemented with various modifications within the described range.
In this specification, unless otherwise specified, the numerical range "A to B" means "A or more (including A and larger than A) and B or less (including B and smaller than B)".

<耐熱性フィルム>
本発明において「耐熱性」とは、熱ラミネート時の加熱温度での使用に耐え得ることを意味する。従って、耐熱性フィルムとしては、上記性質を満たすフィルムであれば特に制限はなく、例えば、ポリイミドフィルムやポリエチレンナフタレートなどの公知の各種フィルムを用いることができる。中でも、耐熱性のみならず電気特性等の物性にも優れている点から、耐熱性ポリイミドフィルムであることが好ましい。
<Heat-resistant film>
In the present invention, "heat resistance" means being able to withstand use at heating temperatures during thermal lamination. Therefore, the heat-resistant film is not particularly limited as long as it satisfies the above properties, and various known films such as polyimide film and polyethylene naphthalate can be used, for example. Among these, a heat-resistant polyimide film is preferred because it is excellent not only in heat resistance but also in physical properties such as electrical properties.

前記「耐熱性ポリイミドフィルム」は、ポリイミド樹脂を樹脂成分中90重量%以上含有し、フィルムの状態で380℃、2分間加熱を行い、シワが入ったり伸びたりせず、形状を保持しているポリイミドのことを意味し、本件発明では、非熱可塑ポリイミドともいう。 The above-mentioned "heat-resistant polyimide film" contains 90% by weight or more of polyimide resin in the resin component, and when the film is heated at 380 ° C. for 2 minutes, it does not wrinkle or stretch and retains its shape. It means polyimide, and in the present invention, it is also referred to as non-thermoplastic polyimide.

一般にポリイミドフィルムは、ポリアミド酸を前駆体として用いて製造されうる。ポリアミド酸の製造方法としては公知のあらゆる方法を用いることができ、通常、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンを、実質的等モル量を有機溶媒中に溶解させて、制御された温度条件下で、上記芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造されうる。これらのポリアミド酸溶液は通常5~35重量%、好ましくは10~30重量%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に好適な分子量と溶液粘度を得ることができる。 Generally, polyimide films can be manufactured using polyamic acid as a precursor. Any known method can be used to produce polyamic acid, and usually, aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine are dissolved in substantially equimolar amounts in an organic solvent to produce a polyamic acid in a controlled manner. It can be produced by stirring under temperature conditions until the polymerization of the aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine is completed. These polyamic acid solutions are usually obtained at a concentration of 5 to 35% by weight, preferably 10 to 30% by weight. A suitable molecular weight and solution viscosity can be obtained at a concentration within this range.

重合方法としてはあらゆる公知の方法およびそれらを組み合わせた方法を用いることができる。ポリアミド酸の重合における重合方法の特徴はそのモノマーの添加順序にあり、このモノマー添加順序を制御することにより得られるポリイミドの諸物性を制御することができる。従い、本発明においてポリアミド酸の重合にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として次のような下記1)~5)などのような方法が挙げられ、これら方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。 As the polymerization method, any known method or a combination thereof can be used. A feature of the polymerization method for polyamic acid is the order in which the monomers are added, and by controlling the order in which the monomers are added, the various physical properties of the resulting polyimide can be controlled. Therefore, in the present invention, any monomer addition method may be used for the polymerization of polyamic acid. Typical polymerization methods include methods 1) to 5) below, and these methods may be used alone or in partial combination.

1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解及び/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
1) A method of dissolving an aromatic diamine in an organic polar solvent and reacting the same with substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
2) Aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine compound in a smaller molar amount relative to the dianhydride are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Subsequently, a method of polymerizing using an aromatic diamine compound such that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps.
3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine compound in an excess molar amount relative to the dianhydride are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, a method of polymerizing using aromatic tetracarboxylic dianhydride such that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps.
4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and/or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so that the moles thereof are substantially equimolar.
5) A method of polymerizing by reacting a mixture of substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent.

本発明において、上記のいかなる重合方法を用いて得られたポリアミド酸を用いても良く、重合方法は特に限定されるのもではない。 In the present invention, polyamic acid obtained using any of the above polymerization methods may be used, and the polymerization method is not particularly limited.

上記芳香族ジアミンとしては、これに限定されるものではないが、例えば、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)フェニル}プロパン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、ビス{4-(3-アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4-(4-アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,3’-ジクロロベンジジン、3,3’-ジメチルベンジジン、2,2’-ジメチルベンジジン、3,3’-ジメトキシベンジジン、2,2’-ジメトキシベンジジン、1,4-ジアミノベンゼン(p-フェニレンジアミン)、1,3-ジアミノベンゼン(m-フェニレンジアミン)、4、4’-ジアミノジフェニルスルフォン、3、3’-ジアミノジフェニルスルフォン、9、9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、4、4’-(1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン))ビスアニリン、4、4’-(1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン))ビスアニリン、4、4’-ジアミノベンズアニリド等、またはこれらの2種類以上の組み合わせを挙げることができる。 Examples of the aromatic diamine include, but are not limited to, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 2,2-bis{4 -(4-aminophenoxy)phenyl}propane, 2,2-bis{4-(4-aminophenoxy)phenyl}hexafluoropropane, bis{4-(3-aminophenoxy)phenyl}sulfone, bis{4-( 4-aminophenoxy)phenyl}sulfone, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 3, 3'-Diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, 2,2' -dimethoxybenzidine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene (m-phenylenediamine), 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 9, 9-bis(4-aminophenyl)fluorene, 4,4'-(1,4-phenylenebis(1-methylethylidene))bisaniline, 4,4'-(1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)) ) bisaniline, 4,4'-diaminobenzanilide, etc., or a combination of two or more thereof.

また、上記芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、これに限定されるものではないが、例えば、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸二無水物、3,4’-オキシフタル酸二無水物、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、4,4’-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、p-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、p-フェニレンジフタル酸無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等、またはこれらの2種類以上の組み合わせを挙げることができる。 In addition, the aromatic tetracarboxylic dianhydride is not limited to, for example, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2',3 , 3'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, 3,4'-oxyphthalic dianhydride, ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetra Phenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 4,4' -Hexafluoroisopropylidene diphthalic anhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p-phenylene Examples include aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as bis(trimellitic acid monoester anhydride) and p-phenylene diphthalic anhydride, or a combination of two or more thereof.

なお、上記芳香族ジアミンと上記芳香族テトラカルボン酸二無水物は、実質的に等モル量となるように反応させればよく、添加の順序、モノマーの組み合わせおよび組成は特に限定されるものではない。 The aromatic diamine and the aromatic tetracarboxylic dianhydride may be reacted in substantially equimolar amounts, and the order of addition, combination of monomers, and composition are not particularly limited. do not have.

ポリアミド酸を製造するための重合用溶媒として用いられる有機溶媒は、芳香族ジアミン、芳香族テトラカルボン酸二無水物、および得られるポリアミド酸を溶解するものであれば、特に限定されるものではない。上記重合用溶媒として、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶媒が好ましく、これらを用いれば、得られるポリアミド酸の有機溶媒溶液(ポリアミド酸溶液)をそのまま用いて樹脂溶液を調製することができる。 The organic solvent used as a polymerization solvent for producing polyamic acid is not particularly limited as long as it dissolves the aromatic diamine, aromatic tetracarboxylic dianhydride, and the obtained polyamic acid. . As the polymerization solvent, for example, amide solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-diethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone are preferable. A resin solution can be prepared using an organic solvent solution of polyamic acid (polyamic acid solution) as it is.

ポリアミド酸を製造するための反応温度は、-10℃~50℃であることが好ましい。かかる温度範囲内に制御されることにより、良好な反応速度で反応が進み、生産性に優れるため好ましい。また、反応時間も特に限定されるものではないが、通常数分~数時間である。 The reaction temperature for producing polyamic acid is preferably -10°C to 50°C. By controlling the temperature within this range, the reaction proceeds at a good reaction rate and productivity is excellent, which is preferable. Further, the reaction time is not particularly limited, but is usually several minutes to several hours.

本発明において硬化剤とは、脱水剤および触媒の少なくとも一方を含む趣旨である。
ここで脱水剤とは、ポリアミド酸を脱水閉環作用により脱水できれば特に限定されるものではないが、例えば、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物、N,N’-ジアルキルカルボジイミド、低級脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪族酸無水物、アリールスルホン酸ジハロゲン化物、チオニルハロゲン化物等を挙げることができる。これらは単独で用いても良いし、2種類以上を適宜組み合わせて用いても良い。これらの中でも、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物を特に好適に用いることができる。
In the present invention, the curing agent includes at least one of a dehydrating agent and a catalyst.
Here, the dehydrating agent is not particularly limited as long as it can dehydrate polyamic acid by dehydration and ring closure, but examples include aliphatic acid anhydrides, aromatic acid anhydrides, N,N'-dialkylcarbodiimides, lower aliphatic Examples include halides, halogenated lower aliphatic acid anhydrides, arylsulfonic acid dihalides, and thionyl halides. These may be used alone or in an appropriate combination of two or more. Among these, aliphatic acid anhydrides and aromatic acid anhydrides can be particularly preferably used.

触媒は、ポリアミド酸に対する上記脱水剤の脱水閉環作用を促進する効果を有する成分であれば特に限定されるものではないが、具体的には、例えば、脂肪族3級アミン、芳香族3級アミン、複素環式3級アミン等を挙げることができる。
摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性、ループスティフネス等のフィルムの諸特性を改善する目的で、耐熱性フィルム(A)にはフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としては、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。
The catalyst is not particularly limited as long as it is a component that has the effect of promoting the dehydration ring-closing action of the dehydrating agent on polyamic acid, but specifically, for example, an aliphatic tertiary amine, an aromatic tertiary amine, etc. , heterocyclic tertiary amines, and the like.
Fillers can also be added to the heat-resistant film (A) for the purpose of improving various properties of the film such as sliding properties, thermal conductivity, electrical conductivity, corona resistance, and loop stiffness. Any filler may be used, but preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, and mica.

<熱可塑性樹脂層>
本発明において、耐熱性フィルムの両面に配され、接着シートを構成する熱可塑性樹脂層としては、例えば、ポリカーボネート系樹脂、アクリロニトリル・スチレン共重合樹脂、熱可塑性ポリイミド系樹脂等が例示されるが、耐熱性の点から、特に熱可塑性ポリイミド樹脂が好ましく用いられうる。前記熱可塑性ポリイミド樹脂は、金属箔との有意な接着力や好適な線膨張係数など、所望の特性が発現されれば、当該層に含まれる熱可塑性ポリイミド樹脂の含有量、分子構造、厚みは特に限定されるものではない。しかしながら、有意な接着力や好適な線膨張係数などの所望の特性の発現のためには、実質的には熱可塑性ポリイミド樹脂を熱可塑性樹脂層中に50重量%以上含有することが好ましい。更に、耐熱性フィルムを介して対向する熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性ポリイミド樹脂は、接着シート全体での線膨張係数のバランスや、製造工程を簡略化する等の観点から、同種であることが好ましい。
<Thermoplastic resin layer>
In the present invention, examples of the thermoplastic resin layer disposed on both sides of the heat-resistant film and constituting the adhesive sheet include polycarbonate resin, acrylonitrile-styrene copolymer resin, thermoplastic polyimide resin, etc. From the viewpoint of heat resistance, thermoplastic polyimide resins are particularly preferably used. The content, molecular structure, and thickness of the thermoplastic polyimide resin contained in the layer can be adjusted as long as the thermoplastic polyimide resin exhibits desired properties such as significant adhesive strength with metal foil and a suitable coefficient of linear expansion. It is not particularly limited. However, in order to exhibit desired properties such as significant adhesive strength and a suitable linear expansion coefficient, it is preferable that the thermoplastic polyimide resin is substantially contained in the thermoplastic resin layer in an amount of 50% by weight or more. Furthermore, the thermoplastic polyimide resins contained in the thermoplastic resin layers facing each other with the heat-resistant film interposed therebetween must be of the same type from the viewpoint of balancing the coefficient of linear expansion of the entire adhesive sheet and simplifying the manufacturing process. is preferred.

熱可塑性樹脂層に含有される熱可塑性ポリイミド樹脂としては、例えば、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。 As the thermoplastic polyimide resin contained in the thermoplastic resin layer, for example, thermoplastic polyamideimide, thermoplastic polyetherimide, thermoplastic polyesterimide, etc. can be suitably used.

熱可塑性樹脂層に含有される熱可塑性ポリイミドは、その前駆体であるポリアミド酸からの転化反応により得ることができる。当該ポリアミド酸の製造方法としては、前記耐熱性フィルムに用いられうる非熱可塑性ポリイミド樹脂の前駆体と同様、公知のあらゆる方法を用いることができる。 The thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic resin layer can be obtained by a conversion reaction from its precursor, polyamic acid. As a method for producing the polyamic acid, any known method can be used, as in the case of the precursor of the non-thermoplastic polyimide resin that can be used in the heat-resistant film.

金属箔との有意な接着力を発現し、かつ得られる片面金属張積層板(E)の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明に用いる熱可塑性ポリイミド樹脂は、150℃~300℃の範囲にガラス転移温度(Tg)を有していることが好ましい。なお、Tgは動的粘弾性測定装置(DMA)により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。 Considering that the thermoplastic polyimide resin used in the present invention exhibits significant adhesive strength with the metal foil and does not impair the heat resistance of the obtained single-sided metal-clad laminate (E), the thermoplastic polyimide resin used in the present invention has a temperature of 150°C to 300°C. It is preferable that the glass transition temperature (Tg) is within the range of . Note that Tg can be determined from the value of the inflection point of the storage modulus measured by a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA).

本発明に用いられうる熱可塑性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸についても、特に限定されるわけではなく、公知のあらゆるポリアミド酸を用いることができる。ポリアミド酸溶液の製造に関しても、前記で例示した原料および前記製造条件等を適宜選択して同様に用いることができる。 The polyamic acid as a precursor of the thermoplastic polyimide that can be used in the present invention is not particularly limited, and any known polyamic acid can be used. Regarding the production of the polyamic acid solution, the raw materials and production conditions exemplified above can be appropriately selected and used in the same manner.

熱可塑性ポリイミドは、使用する芳香族テトラカルボン酸二無水物および芳香族ジアミン等の原料を種々組み合わせることにより、諸特性を調節することができるが、一般に剛直構造の芳香族ジアミンの使用比率が大きくなるとガラス転移温度が高くなったり、加熱時の貯蔵弾性率が大きくなり、接着性・加工性が低くなる場合がある。例えば、前記剛直構造の芳香族ジアミンの使用比率は、芳香族ジアミン全量に対して、好ましくは40mol%以下、さらに好ましくは30mol%以下、特に好ましくは20mol%以下である。 Various properties of thermoplastic polyimide can be adjusted by combining various raw materials such as aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine, but in general, aromatic diamine with a rigid structure is used in a large proportion. In this case, the glass transition temperature may become high, the storage modulus upon heating may become large, and the adhesiveness and processability may become low. For example, the usage ratio of the aromatic diamine having a rigid structure is preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, particularly preferably 20 mol% or less, based on the total amount of aromatic diamine.

好ましい熱可塑性ポリイミド樹脂の具体例としては、前述の耐熱性ポリイミドフィルムに使用されうる芳香族ジアミンや芳香族テトラカルボン酸二無水物を使用できる。より好ましくは、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物とアミノフェノキシ基を有する芳香族ジアミンを重合反応せしめたものなどが挙げられる。 Specific examples of preferred thermoplastic polyimide resins include aromatic diamines and aromatic tetracarboxylic dianhydrides that can be used in the heat-resistant polyimide film described above. More preferably, an acid dianhydride such as benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, and an aromatic diamine having an aminophenoxy group. Examples include those subjected to a polymerization reaction.

さらに、本発明に係る接着シートのすべり性を制御する目的で、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラー、さらにはその他樹脂を添加しても良い。 Furthermore, for the purpose of controlling the slipperiness of the adhesive sheet according to the present invention, inorganic or organic fillers or other resins may be added as necessary.

<接着シートの製造方法>
本発明にかかる耐熱性フィルムの両面に熱可塑性樹脂層を有する接着シートの製造方法については特に限定されるものではないが、三層構造の接着シートの場合、コア層となる耐熱性フィルムに熱可塑性樹脂層を片面毎に、もしくは両面同時に形成する方法、熱可塑性樹脂層をシート状に成形し、これを上記コア層となる耐熱性フィルムの表面に貼り合わせる方法等が挙げられる。あるいは、コア層となる耐熱性フィルムと熱可塑性樹脂層を共押出しして、実質的に一工程で積層体を製膜する接着シートを作製する方法であってもよい。
<Method for manufacturing adhesive sheet>
The method of manufacturing the adhesive sheet having thermoplastic resin layers on both sides of the heat-resistant film according to the present invention is not particularly limited, but in the case of a three-layer adhesive sheet, the heat-resistant film serving as the core layer is heated. Examples include a method of forming a plastic resin layer on one side or both sides simultaneously, a method of forming a thermoplastic resin layer into a sheet shape, and a method of bonding this to the surface of the heat-resistant film that will become the core layer. Alternatively, a method of producing an adhesive sheet in which a laminate is substantially formed in one step by co-extruding a heat-resistant film serving as a core layer and a thermoplastic resin layer may be used.

また、例えば、熱可塑性樹脂層に熱可塑性ポリイミド樹脂を用いる場合には、熱可塑性ポリイミド樹脂またはこれを含む樹脂組成物を有機溶媒に溶解または分散して得られる樹脂溶液を耐熱性フィルムの表面に塗布してもよいが、熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の溶液を調製して、これを耐熱性フィルムの表面に塗布し、次いでイミド化してもよい。このときのポリアミド酸の合成やポリアミド酸のイミド化の条件等については特に限定されるものではないが、従来公知の原料や条件等を用いることができる。ポリアミド酸を焼成する際、過剰に過熱するとタック性を低くできるが、吸湿率の増加やフィルムの劣化といった問題が生じる場合がある。また、前記ポリアミド酸溶液には、用途に応じて、例えば、カップリング剤などを含んでいてもよい。 For example, when using a thermoplastic polyimide resin for the thermoplastic resin layer, a resin solution obtained by dissolving or dispersing the thermoplastic polyimide resin or a resin composition containing the thermoplastic polyimide resin in an organic solvent is applied to the surface of the heat-resistant film. Alternatively, a solution of polyamic acid, which is a precursor of thermoplastic polyimide, may be prepared, applied to the surface of the heat-resistant film, and then imidized. The conditions for synthesizing polyamic acid and imidizing polyamic acid at this time are not particularly limited, but conventionally known raw materials and conditions can be used. When polyamic acid is fired, excessive heating can lower the tackiness, but may cause problems such as increased moisture absorption and film deterioration. Further, the polyamic acid solution may contain, for example, a coupling agent, depending on the purpose.

また、本発明における接着シートに係る各層の厚み構成については、用途に応じた総厚みになるように適宜調整すればよいが、接着シートの状態で反りが生じないように、各層の線膨張係数を考慮しながら、各熱可塑性樹脂層の厚みバランスを調整するのが好ましい。耐熱性フィルムを介して対向する熱可塑性樹脂層の線膨張係数の差が小さい場合は、厚みバランスを取るのが容易となる。また、接着シートの総厚みは、好ましくは5μm~50μmである。この範囲内であれば、FPCの基材として好適に使用することができる。 本発明における接着シートとしては、株式会社カネカ製ピクシオ(登録商標)を使用することも可能である。 In addition, the thickness structure of each layer related to the adhesive sheet in the present invention may be adjusted as appropriate so as to have a total thickness depending on the application, but the linear expansion coefficient of each layer is It is preferable to adjust the thickness balance of each thermoplastic resin layer while taking this into account. When the difference in the linear expansion coefficients of the thermoplastic resin layers facing each other via the heat-resistant film is small, it becomes easy to balance the thickness. Further, the total thickness of the adhesive sheet is preferably 5 μm to 50 μm. Within this range, it can be suitably used as a base material for FPC. As the adhesive sheet in the present invention, it is also possible to use Pixio (registered trademark) manufactured by Kaneka Corporation.

<金属箔>
本発明において、金属箔としては特に限定されるものではないが、電子機器・電気機器用途に本発明の片面金属張積層板を用いる場合には、例えば、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔を挙げることができる。一般的なフレキシブル積層板では、圧延銅箔、電解銅箔といった銅箔が多用されるが、本発明においても好ましく用いることができる。なお、これらの金属箔の表面には、防錆層や耐熱層あるいは接着層が塗布されていてもよい。また、上記金属箔の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよい。金属箔の厚みは、例えば、3μm~30μmが好ましく、より好ましくは5μm~20μmである。金属箔の表面粗度(Rz)は0.01μm~1μmであることが好ましい。金属箔の表面粗度(Rz)がこの範囲外の場合は熱可塑性樹脂層との接着性が劣る場合などがある。
<Metal foil>
In the present invention, the metal foil is not particularly limited, but when using the single-sided metal-clad laminate of the present invention for electronic equipment/electrical equipment, for example, copper or copper alloy, stainless steel or alloy thereof, , nickel or nickel alloy (including 42 alloy), aluminum or aluminum alloy. In general flexible laminates, copper foils such as rolled copper foils and electrolytic copper foils are often used, but they can also be preferably used in the present invention. Note that the surface of these metal foils may be coated with a rust-proofing layer, a heat-resistant layer, or an adhesive layer. Further, the thickness of the metal foil is not particularly limited, and may be any thickness that can exhibit sufficient functionality depending on the intended use. The thickness of the metal foil is, for example, preferably 3 μm to 30 μm, more preferably 5 μm to 20 μm. The surface roughness (Rz) of the metal foil is preferably 0.01 μm to 1 μm. If the surface roughness (Rz) of the metal foil is outside this range, the adhesiveness with the thermoplastic resin layer may be poor.

<保護材料1及び保護材料2>
本発明においては、片面金属張積層板の良外観確保やピール強度確保といった観点から保護材料を用いても良い。具体的には、加圧面(例えば、金属ロール)と金属箔との間に保護材料を積層する。保護材料1は、接着シートに接するように配される保護材料であり、保護材料2は、金属箔の外面に接するように配される保護材料である。
<Protective material 1 and protective material 2>
In the present invention, a protective material may be used to ensure a good appearance and peel strength of the single-sided metal-clad laminate. Specifically, a protective material is laminated between the pressure surface (for example, a metal roll) and the metal foil. The protective material 1 is a protective material placed in contact with the adhesive sheet, and the protective material 2 is a protective material placed in contact with the outer surface of the metal foil.

保護材料としては、熱圧着工程の加熱温度に耐えうるものであれば特に限定されず、非熱可塑性ポリイミドフィルム等の耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、SUS箔等の金属箔等を好適に用いることができる。中でも、耐熱性、リサイクル性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムがより好ましく用いられる。非熱可塑性ポリイミドフィルムとしては各種公知のフィルムを使用することができるが、例えば、株式会社カネカ製アピカル(登録商標)、宇部興産株式会社製ユーピレックス(登録商標)、東レ・デュポン株式会社製カプトン(登録商標)、等が例示される。 The protective material is not particularly limited as long as it can withstand the heating temperature of the thermocompression bonding process, and suitable materials include heat-resistant plastics such as non-thermoplastic polyimide films, metal foils such as copper foil, aluminum foil, and SUS foil. Can be used. Among these, non-thermoplastic polyimide films are more preferably used because of their excellent balance of heat resistance, recyclability, etc. Various known films can be used as the non-thermoplastic polyimide film, including Apical (registered trademark) manufactured by Kaneka Corporation, Upilex (registered trademark) manufactured by Ube Industries, Ltd., and Kapton (trademark manufactured by DuPont-Toray Co., Ltd.). (registered trademark), etc.

保護材料2については、必要に応じて、入手性などを考慮し適宜選択、使用すれば良い。 The protective material 2 may be appropriately selected and used as necessary, taking into consideration availability and the like.

一方、保護材料1については、保護材料1と熱可塑性樹脂層とが剥離し難い場合、剥離するために応力がかかり、接着シートが伸ばされて反りを生じてしまうため、熱可塑性樹脂層との剥離が容易でなければならないことに気づいた。 On the other hand, regarding the protective material 1, if the protective material 1 and the thermoplastic resin layer are difficult to peel off, stress will be applied to peel them off, and the adhesive sheet will be stretched and warped. I realized that it had to be easy to peel.

本発明者らは、上記知見をもとに鋭意検討を重ねた結果、接着シートの線膨張係数と保護材料1の線膨張係数の差異が大きい場合、熱ラミネート前後での加熱及び冷却での膨張収縮の応力の違いにより、保護材料1と熱可塑性樹脂層とが容易に剥離することを見出した。すなわち、接着シートの線膨張係数X1と保護材料1の線膨張係数X2が、│X2-X1│≧7ppm/℃の接着シートと保護材料1を用いることを特徴とする。
│X2-X1│<7ppm/℃で有る場合は、保護材料1と熱可塑性樹脂層とを容易に剥離することができない。│X2-X1│の上限は、剥離が容易すぎて熱ラミネート後の保護材料1と接着シートの浮きによる外観不良を防ぐ観点から、35≧│X2-X1│であることが好ましく、30≧│X2-X1│であることがより好ましい。
As a result of intensive studies based on the above knowledge, the present inventors found that if the difference between the coefficient of linear expansion of the adhesive sheet and the coefficient of linear expansion of the protective material 1 is large, the expansion due to heating and cooling before and after thermal lamination. It has been found that the protective material 1 and the thermoplastic resin layer easily peel off due to the difference in shrinkage stress. That is, the adhesive sheet and protective material 1 are characterized in that the linear expansion coefficient X1 of the adhesive sheet and the linear expansion coefficient X2 of the protective material 1 are |X2-X1|≧7 ppm/°C.
If |X2−X1|<7 ppm/°C, the protective material 1 and the thermoplastic resin layer cannot be easily separated. The upper limit of |X2-X1| is preferably 35 │ More preferably, it is X2−X1|.

ここで線膨張係数は、例えば以下のようにして測定、算出することができる。すなわち、セイコー電子(株)社製TMA120Cを用いて(サンプルサイズ 幅3mm、長さ10mm)、荷重3gで10℃/minで10℃~400℃まで一旦昇温させた後、10℃まで冷却し、更に10℃/minで昇温させて、2回目の昇温時の100℃から200℃における熱膨張率から平均値として算出する。 Here, the linear expansion coefficient can be measured and calculated, for example, as follows. That is, using TMA120C manufactured by Seiko Electronics Co., Ltd. (sample size: width 3 mm, length 10 mm), the temperature was once raised from 10 °C to 400 °C at 10 °C/min with a load of 3 g, and then cooled to 10 °C. The temperature is further increased at a rate of 10° C./min, and the average value is calculated from the coefficient of thermal expansion from 100° C. to 200° C. during the second temperature increase.

<片面金属張積層板の製造方法>
本発明の片面金属張積層板の製造方法は、 耐熱性フィルムの両面に熱可塑性樹脂層を有する接着シートと前記接着シートの片面に金属箔を積層してなる片面金属張積層板の製造方法であって、金属箔、接着シートおよび保護材料1を、金属箔/接着シート/保護材料1の順に積層し、熱ラミネートを行った後、保護材料1を剥離することにより、金属箔/接着シートからなる片面金属張積層板を得る片面金属張積層板の製造方法であり、接着シートの線膨張係数X1と保護材料1の線膨張係数X2が、│X2-X1│≧7ppm/℃の接着シートと保護材料1を用い、熱ラミネートの前に接着シートを130℃から300℃の温度で事前加熱することを特徴とする。
<Method for manufacturing single-sided metal-clad laminate>
The method for producing a single-sided metal-clad laminate of the present invention includes: a heat-resistant film; an adhesive sheet having thermoplastic resin layers on both sides; and a metal foil on one side of the adhesive sheet. Then, the metal foil, the adhesive sheet, and the protective material 1 are laminated in the order of metal foil/adhesive sheet/protective material 1, heat laminated, and then the protective material 1 is peeled off. This is a method for manufacturing a single-sided metal-clad laminate to obtain a single-sided metal-clad laminate, in which the linear expansion coefficient X1 of the adhesive sheet and the linear expansion coefficient X2 of the protective material 1 are |X2-X1|≧7ppm/°C. The protective material 1 is used and the adhesive sheet is preheated at a temperature of 130° C. to 300° C. before thermal lamination.

上述したように、片面金属張積層板の金属箔側の外観を良化させる、といった目的で、必要に応じて保護材料2を用い、保護材料2/金属箔/接着シート/保護材料1の順にあわせ、熱ラミネートを行っても良い。保護材料2についても、熱ラミネート後剥離し、これにより、金属箔/接着シートからなる片面金属張積層板が得られる。 As mentioned above, in order to improve the appearance of the metal foil side of a single-sided metal-clad laminate, protective material 2 is used as necessary, and the order of protective material 2/metal foil/adhesive sheet/protective material 1 is In addition, heat lamination may be performed. The protective material 2 is also peeled off after thermal lamination, thereby obtaining a single-sided metal-clad laminate made of metal foil/adhesive sheet.

接着シートの線膨張係数X1と保護材料1の線膨張係数X2を制御することで、保護材料1と熱可塑性樹脂層とを容易に剥離させて反りを低減させるとともに、熱ラミネートの前に接着シートを事前に130℃から300℃の加熱温度で加熱することで、長手方向に効率的に張力をかけてラミネートすることで更に反りを低減できるという効果を発揮する。事前の加熱温度が130℃未満の場合は、長手方向に効率的に張力をかけてラミネートすることができず、また事前の加熱温度が300℃を超える場合は、接着シートに皺が入り、外観の良好な片面金属張積層板を得ることができない。事前に加熱する温度として、130℃から250℃未満が好ましく、130℃から220℃以下がより好ましく、130℃から200℃以下が更に好ましい。 By controlling the linear expansion coefficient X1 of the adhesive sheet and the linear expansion coefficient X2 of the protective material 1, the protective material 1 and the thermoplastic resin layer can be easily separated to reduce warping, and the adhesive sheet can be removed before thermal lamination. By heating the material in advance at a heating temperature of 130° C. to 300° C., it is possible to effectively apply tension in the longitudinal direction and laminate, thereby further reducing warping. If the pre-heating temperature is less than 130°C, it will not be possible to efficiently apply tension in the longitudinal direction to laminate, and if the pre-heating temperature exceeds 300°C, the adhesive sheet will wrinkle and the appearance will deteriorate. It is not possible to obtain a good single-sided metal-clad laminate. The preheating temperature is preferably from 130°C to less than 250°C, more preferably from 130°C to 220°C, and even more preferably from 130°C to 200°C.

積層する方法としては各種公知の方法を適用可能であるが、熱圧着により貼り合わせて得る熱圧着方法が片面金属張積層板のシワ等の発生を抑制できる点から好ましい。接着シートと金属箔の貼り合わせ方法としては、例えば、単板プレスによるバッチ処理による熱圧着方法、熱ロールラミネート装置(熱ラミネート装置ともいう)或いはダブルベルトプレス(DBP)装置による連続処理による熱圧着方法などが挙げられるが、生産性、維持費も含めた設備コストの点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を使用した熱圧着方法が好ましい。ここでいう「一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置」とは、材料を加熱加圧するための金属ロールを有している装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。 Although various known methods can be used for laminating, the thermocompression bonding method, which involves bonding by thermocompression bonding, is preferable because it can suppress the occurrence of wrinkles in the single-sided metal-clad laminate. Examples of methods for bonding the adhesive sheet and metal foil include thermocompression bonding using batch processing using a veneer press, thermocompression bonding using continuous processing using a hot roll laminating device (also referred to as a thermal laminating device), or a double belt press (DBP) device. From the viewpoint of productivity and equipment costs including maintenance costs, a thermocompression bonding method using a thermo-roll laminating device having one or more pairs of metal rolls is preferred. The term "thermal roll laminating device having one or more pairs of metal rolls" as used herein may be any device having metal rolls for heating and pressing materials, and the specific device configuration is not particularly limited. It's not a thing.

また、熱圧着装置における各フィルムの通し方(パスラインともいう)は種々好適な構成を採用することができる。例えば、ロール状態の接着シート(C)のロールから繰り出された後、一対以上の金属ロールを通り、さらに一対の剥離ロールを通って保護材料を剥離して、片面金属張積層板とする工程において、接着シートが一直線状であってもよく、一対以上の金属ロールや一対の剥離ロールなどを含む熱圧着装置に備えられた各種ロールを蛇行しながら通過してもよい。 Further, various suitable configurations can be adopted for the way each film is passed through the thermocompression bonding device (also referred to as a pass line). For example, in the process of unrolling the adhesive sheet (C) from a roll, passing through one or more pairs of metal rolls, and then peeling off the protective material through a pair of peeling rolls to form a single-sided metal-clad laminate. The adhesive sheet may be in a straight line, or may meander through various rolls provided in a thermocompression bonding apparatus, including one or more pairs of metal rolls, a pair of peeling rolls, and the like.

上記熱圧着手段における被積層材料の加熱方式は特に限定されるものではなく、例えば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱し得る従来公知の方式を採用した加熱手段を用いることができる。同様に、上記熱圧着手段における被積層材料の加圧方式も特に限定されるものではなく、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用した加圧手段を用いることができる。 The method of heating the materials to be laminated in the thermocompression bonding means is not particularly limited, and examples thereof include heating using conventionally known methods capable of heating at a predetermined temperature, such as a thermal circulation method, a hot air heating method, and an induction heating method. Means can be used. Similarly, the method of pressurizing the materials to be laminated in the thermocompression bonding means is not particularly limited, and conventionally known methods capable of applying a predetermined pressure may be used, such as a hydraulic method, a pneumatic method, a gap pressure method, etc. It is possible to use a pressurizing means that employs the following.

上述した接着シートと保護材料1の線膨張係数の差異に加え、充分に熱を加えながら長手方向に張力をかけることが、より反りを矯正し小さく抑えることができるため好ましい。すなわち、接着シートと保護材料1の剥離を容易にさせ、且つ熱ラミネートの前に接着シートを事前加熱し、くわえて長手方向に効率良く張力をかけることで反りを低減することができる。効率的に張力をかけるためには、接着シートの繰り出し張力は2~10kgf/mであることが好ましく、3~8kgf/mであることがより好ましく、3~6kgf/mであることが特に好ましい。 In addition to the above-mentioned difference in coefficient of linear expansion between the adhesive sheet and the protective material 1, it is preferable to apply tension in the longitudinal direction while applying sufficient heat because it is possible to further correct warpage and keep it small. That is, the adhesive sheet and the protective material 1 can be easily peeled off, and warping can be reduced by preheating the adhesive sheet before thermal lamination and applying tension efficiently in the longitudinal direction. In order to apply tension efficiently, the tension at which the adhesive sheet is fed out is preferably 2 to 10 kgf/m, more preferably 3 to 8 kgf/m, and particularly preferably 3 to 6 kgf/m. .

本発明においては、ピール強度、寸法安定性、反りの抑制といった特性の観点から、第一熱ラミネートの加熱温度、すなわち熱圧着温度(ラミネート温度)は、用いる接着シートのガラス転移温度(Tg)+0℃~180℃の温度であることが好ましい。
その他、熱圧着工程におけるラミネート速度、熱圧着工程における圧力(ラミネート圧力)、金属箔張力、アウトフィード張力、片面金属張積層板の巻取り張力、などは、反りの抑制などの観点から適宜調整することができる。
In the present invention, from the viewpoint of properties such as peel strength, dimensional stability, and warping control, the heating temperature of the first thermal laminate, that is, the thermocompression bonding temperature (laminate temperature) is set to the glass transition temperature (Tg) of the adhesive sheet used + 0. Preferably, the temperature is between 180°C and 180°C.
In addition, the lamination speed in the thermocompression bonding process, the pressure in the thermocompression bonding process (laminate pressure), metal foil tension, outfeed tension, winding tension for single-sided metal-clad laminates, etc. are adjusted as appropriate from the viewpoint of suppressing warping. be able to.

本発明にかかる片面金属張積層板を得るためには、連続的に被積層材料を加熱しながら圧着する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましいが、この熱ロールラミネート装置では、熱ラミネート手段の前段に、被積層材料を繰り出す被積層材料繰出手段を設けてもよいし、熱ラミネート手段の後段に、被積層材料を巻き取る被積層材料巻取手段を設けてもよい。これらの手段を設けることで、上記熱ロールラミネート装置の生産性をより一層向上させることができる。上記被積層材料繰出手段および被積層材料巻取手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、例えば、接着シートや金属箔、あるいは得られる片面金属張積層板を巻き取ることのできる公知のロール状巻取機等を挙げることができる In order to obtain the single-sided metal-clad laminate according to the present invention, it is preferable to use a hot roll laminating device that presses the laminated materials while continuously heating them. A material to be laminated material feeding means for feeding out the material to be laminated may be provided, or a material to be laminated winding means for winding up the material to be laminated may be provided downstream of the thermal laminating means. By providing these means, the productivity of the hot roll laminating apparatus can be further improved. The specific configurations of the laminated material feeding means and laminated material winding means are not particularly limited, and for example, adhesive sheets, metal foils, or known materials capable of winding up the obtained single-sided metal-clad laminate are used. Examples include roll winders, etc.

また、保護材料1や保護材料2を巻き取ったり繰り出したりする巻取手段や繰出手段を設けると、より好ましい。これら巻取手段・繰出手段を備えていれば、熱圧着工程で、一度使用された保護材料を巻き取って繰り出し側に再度設置することで、保護材料を再使用することができる。また、保護材料を巻き取る際に、これらの両端部を揃えるために、端部位置検出手段および巻取位置修正手段を設けてもよい。これによって、精度よくこれらの端部を揃えて巻き取ることができるので、再使用の効率を高めることができる。なお、これら巻取手段、繰出手段、端部位置検出手段および巻取位置修正手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、従来公知の各種装置を用いることができる。 Moreover, it is more preferable to provide a winding means and a feeding means for winding up and feeding out the protective material 1 and the protective material 2. If these winding means and feeding means are provided, the protective material that has been used once can be rolled up and reinstalled on the feeding side in the thermocompression bonding process, thereby making it possible to reuse the protective material. Moreover, in order to align both ends when winding up the protective material, an end position detection means and a winding position correction means may be provided. This allows the ends to be precisely aligned and wound up, thereby increasing the efficiency of reuse. Note that the specific configurations of the winding means, feeding means, end position detecting means, and winding position correcting means are not particularly limited, and various conventionally known devices can be used.

以下、本発明に係る片面金属張積層板の製造方法を実施例により詳しく説明するが、本発明は実施例によって限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, the method for manufacturing a single-sided metal-clad laminate according to the present invention will be explained in detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the Examples.

(ピール強度)
得られた片面または両面金属張積層板を塩化第二鉄水溶液にてエッチングし、1mm幅の金属箔パターンを形成し、角度90°、速度50mm/分で金属箔パターンの引き剥がし強度(ピール強度)を測定した。
(Peel strength)
The obtained single-sided or double-sided metal-clad laminate was etched with an aqueous ferric chloride solution to form a 1 mm wide metal foil pattern, and the peel strength of the metal foil pattern was measured at an angle of 90° and a speed of 50 mm/min. ) was measured.

(線膨張係数)
セイコー電子(株)社製TMA120Cを用いて(サンプルサイズ 幅3mm、長さ10mm)、荷重3gで10℃/minで10℃~400℃まで一旦昇温させた後、10℃まで冷却し、更に10℃/minで昇温させて、2回目の昇温時の100℃から200℃における熱膨張率から平均値として算出した。
(寸法変化率)
得られた片面または両面金属張積層板を200mmサイズにカットし、150mm四方にドリル加工にて1mmΦの穴をあけ、この状態で1mmΦ穴の寸法測定(A)を行った。さらに塩化第二鉄水溶液にて金属箔を全てエッチングし、50℃、30分で乾燥し、温度25℃、湿度50%の環境で24時間放置した後に1mmΦ穴の寸法測定(B)を行い、下式にて寸法変化率を算出した。尚、金属張積層板の長手方向(MD)及び幅方向(TD)について、2辺の平均値として算出した。
100×(B-A)/A (%)
(linear expansion coefficient)
Using TMA120C manufactured by Seiko Electronics Co., Ltd. (sample size: width 3 mm, length 10 mm), the temperature was raised from 10 °C to 400 °C at 10 °C/min with a load of 3 g, then cooled to 10 °C, and then The temperature was raised at a rate of 10°C/min, and the average value was calculated from the coefficient of thermal expansion from 100°C to 200°C during the second temperature rise.
(Dimensional change rate)
The obtained single-sided or double-sided metal-clad laminate was cut to a size of 200 mm, and holes of 1 mm Φ were drilled in 150 mm squares, and the dimensions of the 1 mm Φ holes were measured (A) in this state. Furthermore, the metal foil was completely etched with a ferric chloride aqueous solution, dried at 50°C for 30 minutes, and left for 24 hours at a temperature of 25°C and humidity of 50%, and then the dimensions of the 1 mmΦ hole were measured (B). The dimensional change rate was calculated using the following formula. In addition, it was calculated as the average value of two sides in the longitudinal direction (MD) and the width direction (TD) of the metal-clad laminate.
100×(B-A)/A (%)

(反り)
得られた片面金属張積層板を平らな台上に静置し、四角の反り上がり高さを定規で測定し、4点の反り上がり高さの平均値を反りとして算出した。
(warp)
The obtained single-sided metal-clad laminate was placed on a flat table, the height of the rectangular warpage was measured with a ruler, and the average value of the warp heights at four points was calculated as the warp.

(実施例1)
厚さ25μmの耐熱性両面接着シート(株式会社カネカ製ピクシオFRS;Tg290℃)、金属箔として厚さ12μmの圧延銅箔(JX日鉱日石金属株式会社製 GHY5-93F-HA-V2)、及び保護材料1(株式会社カネカ製アピカル(登録商標)50AH、厚さ50μm)を用いて、圧延銅箔/接着シート/保護材料1なる構成で積層させ、接着シートの繰り出し張力を3kgf/m、熱ロール前の事前加熱装置で130℃の加熱を通した後、熱ロールラミネート装置の一対の金属ロール間を通すことにより、ラミネート温度360℃、ラミネート圧力244N/cm、ラミネート速度1m/minの条件で熱ラミネートを行って片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 1)
A heat-resistant double-sided adhesive sheet with a thickness of 25 μm (Pixio FRS manufactured by Kaneka Corporation; Tg 290 ° C.), a rolled copper foil with a thickness of 12 μm as a metal foil (GHY5-93F-HA-V2 manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd.), and Using protective material 1 (Apical (registered trademark) 50AH manufactured by Kaneka Corporation, thickness 50 μm), the composition of rolled copper foil/adhesive sheet/protective material 1 was laminated, and the adhesive sheet was fed out at a tension of 3 kgf/m and heated. After being heated to 130°C in a pre-heating device before the rolls, the material was passed between a pair of metal rolls in a hot roll laminating device under the conditions of a laminating temperature of 360°C, a laminating pressure of 244 N/cm, and a laminating speed of 1 m/min. Heat lamination was performed to obtain a single-sided metal-clad laminate. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例2)
実施例1において、圧延銅箔の外側に保護材料2(株式会社カネカ製アピカル(登録商標)125NPI、厚さ125μm)を配し、保護材料2/圧延銅箔/接着シート/保護材料1なる構成で積層させた以外は実施例1と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 2)
In Example 1, the protective material 2 (Apical (registered trademark) 125NPI manufactured by Kaneka Corporation, thickness 125 μm) was placed on the outside of the rolled copper foil, and the composition was made of protective material 2/rolled copper foil/adhesive sheet/protective material 1. A single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 1, except that the layers were laminated. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例3)
実施例2において、事前加熱温度を180℃にした以外は実施例2と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 3)
In Example 2, a single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 2, except that the preheating temperature was 180°C. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例4)
実施例2において、接着シートの繰り出し張力を6kgf/mにした以外は実施例2と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 4)
In Example 2, a single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 2, except that the tension for feeding out the adhesive sheet was 6 kgf/m. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例5)
実施例1において、保護材料1(宇部興産株式会社(登録商標)UPILEX S、厚さ25μm)を用いた以外は実施例1と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 5)
A single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that protective material 1 (Ube Industries, Ltd. (registered trademark) UPILEX S, thickness 25 μm) was used. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例6)
厚さ25μmの耐熱性両面接着シート(株式会社カネカ製ピクシオSR;Tg290℃)を用いたことを除き、他は実施例2と同様にして本発明に係る片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 6)
A single-sided metal-clad laminate according to the present invention was obtained in the same manner as in Example 2 except that a heat-resistant double-sided adhesive sheet having a thickness of 25 μm (Pixio SR manufactured by Kaneka Corporation; Tg 290° C.) was used. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例7)
実施例2において、厚さ25μmの耐熱性両面接着シート(株式会社カネカ製ピクシオIB;Tg210℃)を用いたことを除き、他は実施例2と同様にして本発明に係る片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 7)
In Example 2, a single-sided metal-clad laminate according to the present invention was produced in the same manner as in Example 2, except that a heat-resistant double-sided adhesive sheet with a thickness of 25 μm (Pixio IB manufactured by Kaneka Corporation; Tg 210 ° C.) was used. I got it. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(実施例8)
実施例2において、事前加熱温度を300℃にした以外は実施例2と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Example 8)
In Example 2, a single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 2, except that the preheating temperature was 300°C. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(比較例1)
実施例1において、保護材料1(株式会社カネカ製アピカル(登録商標)125NPI、厚さ125μm)を用いた以外は実施例1と同様にして本発明に係る片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Comparative example 1)
A single-sided metal-clad laminate according to the present invention was obtained in the same manner as in Example 1 except that protective material 1 (Apical (registered trademark) 125NPI manufactured by Kaneka Corporation, thickness 125 μm) was used. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(比較例2)
実施例1において、保護材料1(東レデュポン株式会社(登録商標)KAPTON EN、厚さ25μm)を用いた以外は実施例1と同様にして本発明に係る片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Comparative example 2)
A single-sided metal-clad laminate according to the present invention was obtained in the same manner as in Example 1 except that protective material 1 (KAPTON EN, DuPont-Toray Co., Ltd. (registered trademark), thickness 25 μm) was used. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(比較例3)
厚さ25μmの耐熱性両面接着シート(株式会社カネカ製ピクシオSR;Tg290℃)を用いたことを除き、他は比較例1と同様にして本発明に係る片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Comparative example 3)
A single-sided metal-clad laminate according to the present invention was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that a heat-resistant double-sided adhesive sheet having a thickness of 25 μm (Pixio SR manufactured by Kaneka Corporation; Tg 290° C.) was used. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(比較例4)
厚さ25μmの耐熱性両面接着シート(株式会社カネカ製ピクシオIB;Tg210℃)を用いたことを除き、他は比較例1と同様にして本発明に係る片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Comparative example 4)
A single-sided metal-clad laminate according to the present invention was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that a heat-resistant double-sided adhesive sheet having a thickness of 25 μm (Pixio IB manufactured by Kaneka Corporation; Tg 210° C.) was used. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(比較例5)
実施例2において、事前加熱温度をしなかった(室温)以外は実施例2と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Comparative example 5)
In Example 2, a single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 2, except that the preheating temperature was not performed (room temperature). The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

(比較例6)
実施例2において、事前加熱温度を305℃にした以外は実施例2と同様にして片面金属張積層板を得た。接着シートと保護材料の線膨張係数、得られた片面金属張板のピール強度、及び寸法安定性、反りを測定し、その結果を表1に記載した。
(Comparative example 6)
In Example 2, a single-sided metal-clad laminate was obtained in the same manner as in Example 2, except that the preheating temperature was 305°C. The linear expansion coefficients of the adhesive sheet and the protective material, the peel strength, dimensional stability, and warpage of the obtained single-sided metal clad plate were measured, and the results are listed in Table 1.

Claims (5)

耐熱性フィルムの両面に熱可塑性樹脂層を有する接着シートと前記接着シートの片面に金属箔を積層してなる片面金属張積層板の製造方法であって、
金属箔、接着シートおよび保護材料1を、金属箔/接着シート/保護材料1の順に積層し、熱ラミネートを行った後、保護材料1を剥離することにより、金属箔/接着シートからなる片面金属張積層板を得る片面金属張積層板の製造方法であり、
接着シートの線膨張係数X1と保護材料1の線膨張係数X2が、│X2-X1│≧7ppm/℃の関係を有する接着シートと保護材料1を用い、熱ラミネートの前に接着シートを130℃から300℃の温度で事前加熱することを特徴とする片面金属張積層板の製造方法。
A method for producing a single-sided metal-clad laminate comprising a heat-resistant film having a thermoplastic resin layer on both sides, and a metal foil laminated on one side of the adhesive sheet, the method comprising:
Metal foil, adhesive sheet, and protective material 1 are laminated in the order of metal foil/adhesive sheet/protective material 1, heat laminated, and then protective material 1 is peeled off to form a single-sided metal sheet made of metal foil/adhesive sheet. A method for producing a single-sided metal-clad laminate to obtain a stretched laminate,
Using an adhesive sheet and protective material 1 in which the linear expansion coefficient X1 of the adhesive sheet and the linear expansion coefficient X2 of the protective material 1 have a relationship of |X2-X1|││7ppm/°C, the adhesive sheet was heated at 130°C before thermal lamination. A method for producing a single-sided metal-clad laminate, characterized by preheating at a temperature of from 300°C to 300°C.
金属箔の外面に保護材料2を配し、保護材料2/金属箔/接着シート/保護材料1の順に積層し、熱ラミネートを行うことを特徴とする請求項1に記載の片面金属張積層板の製造方法。 The single-sided metal-clad laminate according to claim 1, characterized in that the protective material 2 is disposed on the outer surface of the metal foil, and the protective material 2/metal foil/adhesive sheet/protective material 1 are laminated in this order and thermally laminated. manufacturing method. 接着シートの繰り出し張力が2~10kgf/mであることを特徴とする請求項1または2に記載の片面金属張積層板の製造方法。 The method for producing a single-sided metal-clad laminate according to claim 1 or 2, wherein the adhesive sheet has a feeding tension of 2 to 10 kgf/m. 耐熱性フィルムが、非熱可塑性ポリイミドフィルムであることを特徴とする、請求項1~3のいずれかに記載の片面金属張積層板の製造方法。 The method for producing a single-sided metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the heat-resistant film is a non-thermoplastic polyimide film. 熱可塑性樹脂層が熱可塑性ポリイミド樹脂を含むことを特徴とする、請求項1~4のいずれかに記載の片面金属張積層板の製造方法。 The method for producing a single-sided metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 4, wherein the thermoplastic resin layer contains a thermoplastic polyimide resin.
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