JP2023130827A - 液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高速で液体を噴射する場合において自己液滴化距離を短くする。【解決手段】液体３を噴射するノズル２７と、液体３をノズル２７まで搬送する液体搬送管７と、振動を生成する振動生成部４０と、を備え、振動生成部４０は、液体３、ノズル２７及び液体搬送管７のうちの少なくともいずれか１つに接し、振動生成部４０が振動を生成しない状態でノズル２７から噴射した液体３が複数の液滴３ｂとなって飛翔し所定の位置を単位時間に通過する液滴３ｂの個数を自己液滴化周波数とするとき、振動生成部４０が生成する振動の周波数は、自己液滴化周波数よりも大きい液体噴射装置１。【選択図】図２

Description

本発明は、液体噴射装置に関する。

従来から、対象物に対して液体を噴射させる様々な液体噴射装置が使用されている。このような液体噴射装置のうち、連続状態で噴射された液体が液滴となる液滴化された状態で該液滴を対象物に衝突させる液体噴射装置がある。例えば、特許文献１には、高圧に加圧した液体に気体を混入させてノズルから該液体を噴射することで、液滴化された状態で該液滴を対象物に衝突させることが記載されている。

特開平８－２５７９９７号公報

しかしながら、特許文献１に記載されるような液滴化された液滴を対象物に衝突させる構成の従来の液体噴射装置においては、高速で液体を噴射する場合、液滴化距離が長くなっていた。液滴化距離が長くなると、噴射部から対象物までの間隔を長くしなければならないので、作業空間を広く確保しなければいけなくなるなど、作業性は低下する。

上記課題を解決するための本発明の液体噴射装置は、液体を噴射するノズルと、前記液体を前記ノズルまで搬送する液体搬送管と、振動を生成する振動生成部と、を備え、前記振動生成部は、前記液体、前記ノズル及び前記液体搬送管のうちの少なくともいずれか１つに接し、前記振動生成部が振動を生成しない状態で前記ノズルから噴射した前記液体が複数の液滴となって飛翔し所定の位置を単位時間に通過する前記液滴の個数を自己液滴化周波数とするとき、前記振動生成部が生成する振動の周波数は、前記自己液滴化周波数よりも大きいことを特徴とする。

実施例１の液体噴射装置を表す概略図。 実施例１の液体噴射装置の噴射部を表す断面図。 流量脈動を付与しない場合のノズルからの流体の噴射状態を示す写真。 １０Ｖのピークトゥピークで２５２ｋＨｚの振動周波数で流量脈動を付与した場合のノズルからの流体の噴射状態を示す写真。 １０Ｖのピークトゥピークで１３０ｋＨｚの振動周波数で流量脈動を付与し、ノズルからの流体が液滴化した状態を示す写真。 １０Ｖのピークトゥピークで１３４ｋＨｚの振動周波数で流量脈動を付与し、ノズルからの流体が液滴化しなかった状態を示す写真。 １０Ｖのピークトゥピークで振動周波数を変えたときの液滴化距離を示すグラフ。 ２０Ｖのピークトゥピークで振動周波数を変えたときの液滴化距離を示すグラフ。 流量３ｍｌ／ｍｉｎで２０Ｖピークトゥピークの振幅で液滴化した場合と、流量４ｍｌ／ｍｉｎで２０Ｖピークトゥピークの振幅で液滴化した場合と、において、自己液滴化周波数と自己液滴化距離とを用いて規格化したグラフ。

最初に、本発明について概略的に説明する。
上記課題を解決するための本発明の第１の態様の液体噴射装置は、液体を噴射するノズルと、前記液体を前記ノズルまで搬送する液体搬送管と、振動を生成する振動生成部と、を備え、前記振動生成部は、前記液体、前記ノズル及び前記液体搬送管のうちの少なくともいずれか１つに接し、前記振動生成部が振動を生成しない状態で前記ノズルから噴射した前記液体が複数の液滴となって飛翔し所定の位置を単位時間に通過する前記液滴の個数を自己液滴化周波数とするとき、前記振動生成部が生成する振動の周波数は、前記自己液滴化周波数よりも大きいことを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部が生成する振動の周波数は自己液滴化周波数よりも大きい。本発明者らが鋭意検討した結果、振動生成部が生成する振動の周波数を自己液滴化周波数よりも大きくすることで、液滴化距離を短くすることができることが分かった。このため、高速で液体を噴射する場合においても自己液滴化距離を短くすることができる。

本発明の第２の態様の液体噴射装置は、前記第１の態様において、前記振動生成部が生成する振動の周波数は、前記自己液滴化周波数の１．５倍以下であることを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部が生成する振動の周波数は自己液滴化周波数の１．５倍以下である。振動生成部が生成する振動の周波数を大きくしすぎると適正に液滴化することができない場合があるが、振動生成部が生成する振動の周波数を自己液滴化周波数の１．５倍以下とすることで、適正に液滴化しなくなることを抑制することができる。

本発明の第３の態様の液体噴射装置は、前記第１または第第２の態様において、前記振動生成部が生成する振動の周波数は、９０ｋＨｚ以上であることを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部が生成する振動の周波数は９０ｋＨｚ以上である。振動生成部が生成する振動の周波数は９０ｋＨｚ以上とすることで、特に好適に液滴化距離を短くすることができる。

本発明の第４の態様の液体噴射装置は、前記第１から第３のいずれか１つの態様において、前記振動生成部は、前記液体の搬送方向において前記液体を脈動させる振動を生成することを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部は、液体の搬送方向において液体を脈動させる振動を生成する。液体の搬送方向において液体を脈動させることで特に好適に液滴化距離を短くすることができる。

本発明の第５の態様の液体噴射装置は、前記第４の態様において、前記振動生成部は、前記液体搬送管を前記液体の搬送方向に振動させることを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部は液体搬送管を液体の搬送方向に振動させる。液体搬送管を液体の搬送方向に振動させることで、好適に液体の搬送方向において液体を脈動させることができる。

本発明の第６の態様の液体噴射装置は、前記第４の態様において、前記振動生成部は、前記液体搬送管を前記液体の搬送方向と直交する方向に振動させることを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部は液体搬送管を液体の搬送方向に振動させる。このため、液体搬送管を液体の搬送方向に振動させる構成を簡単に形成することができる。

本発明の第７の態様の液体噴射装置は、前記第１から第６のいずれか１つの態様において、前記振動生成部は、圧電素子を含むことを特徴とする。

本態様によれば、振動生成部は圧電素子を含む。このため、圧電素子により高い振動の周波数を生成可能な振動生成部を形成することができる。

本発明の第８の態様の液体噴射装置は、前記第１から第６のいずれか１つの態様において、前記振動生成部は、静電アクチュエーターを含む。

本態様によれば、振動生成部は静電アクチュエーターを含む。このため、静電アクチュエーターにより高い振動の周波数を生成することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。最初に、図１を参照して本発明の一実施例に係る液体噴射装置１の概要について説明する。図１に示す液体噴射装置１は、ヘッド部２と、噴射する液体３を貯留するタンク８と、ヘッド部２とタンク８とをつなぐチューブ及びヘッド部２内の液体３の流路で構成される液体搬送管７と、送液ポンプ６と、ヘッド部２への駆動信号線５１と送液ポンプ６への制御信号線５２を有する制御装置５を備えている。

ユーザーは、このような構成の液体噴射装置１を用い、把持部２１を把持し、ヘッド部２から液体３を噴射させ、所望の対象物に液体３を衝突させることにより、各種作業を行う。各種作業とは、例えば、歯科治療が挙げられるが、歯科治療以外でも、対象物に関して、洗浄、バリ取り、剥離、はつり、切除、切開、破砕等することが挙げられる。本実施例の液体噴射装置１は、ヘッド部２に設けられたノズル２７から方向ｂに連続状態で噴射された液体３ａが液滴３ｂとなる液滴化された状態で該液滴３ｂを対象物に衝突させる液体噴射装置である。

次に、液体噴射装置１の要部であるヘッド部２について図２を参照して詳細に説明する。ヘッド部２は、図２で表されるように、把持部２１内において液体搬送管７を構成する導入流路２３、流入流路開口部２４、を有している。タンク８からヘッド部２に対して方向ａに流入した液体３は、導入流路２３及び流入流路開口部２４を通り、流体室２５に導かれ、図１で表されるようにノズル２７から高速の連続流状態の液体３ａとして方向ｂに噴射される。

流体室２５は、中間部材３３と、中間部材３３に固着され金属薄膜からなるダイアフラム４１によって封止されている。ダイアフラム４１の流体室２５の反対面には両面に電極が形成されたＰＺＴからなる直径１７．７ｍｍ、厚さ１ｍｍの単板圧電素子４２がダイアフラム４１と導通をとるための導電性接着剤で固定されている。駆動信号線５１は２本で構成されるが、このうちの一本は規制部３４に設けられた一方の孔部３１を介してこのダイアフラム４１に導通した状態で固定され、別の一本は規制部３４に設けられた他方の孔部３１を介してＰＺＴ製の単板圧電素子４２の電極に直接導通した状態で固定されている。上記のように構成された、本実施例の単板圧電素子４２は、ヘッド部２内の液体搬送管７を流れる液体３に対して振動を生成する振動生成部４０を構成しており、丈夫かつ安価であり、小型化が可能であるため、高い周波数での厚み方向変位を得るために好適である。

このように、振動生成部４０は、単板圧電素子４２などの圧電素子を含むことが好ましい。このような圧電素子により高い振動の周波数を生成可能な振動生成部を形成することができるためである。このうち、特に好ましい圧電素子としては、例えば、本実施例のようなＰＺＴ製のほか、ＢａＴｉＯ_３製やＰｂＴｉＯ_３製などのセラミック製の圧電素子が挙げられる。

一方、振動生成部４０は、誘導体を電極で挟んだ静電アクチュエーターを含む構成であってもよい。振動生成部４０が静電アクチュエーターを含む構成とすることでも、該静電アクチュエーターにより高い振動の周波数を生成することができるためである。また、特に、誘電体を樹脂などの柔らかい材料で形成することで、設計自由度を増すことができる。

次に、本実施例の液体噴射装置１の具体的動作について説明する。例えば、最初に、図１に示す制御装置５からの制御信号線５２を介して送液ポンプ６にポンプ駆動信号が送られる。このことにより送液ポンプ６は、液体搬送管７を構成するチューブを通じてタンク８から液体３を吸引し、該チューブを介して高圧で液体３をヘッド部２に送る。液体３は図２の方向ａに流れることで、流入流路開口部２４を通り、流体室２５に流入する。

本実施例の液体噴射装置１は、振動生成部４０を駆動させてヘッド部２内の液体３に振動を与えることで液滴促進化を行うことができるとともに、振動生成部４０を駆動させずヘッド部２内の液体３に振動を与えないことで液滴促進化を行わないこともできる。本実施例の液体噴射装置１においては、液滴促進化を行わない場合、ノズル２７から出た液体３は、図１の液体３ａのように連続流として噴射され、やがて該液体３自体の持つ表面張力によって分断されて図１の液滴３ｂで表されるように液滴として飛翔する。以後、液滴促進化を行なわず、液体３自体の持つ表面張力によって分断されて液滴３ｂが生成されることを自己液滴化と呼ぶ。

液体３が対象物に衝突した際に該対象物が該液体３から受ける力である衝撃圧は、連続流状態の液体３ａのときには、液体３の噴射速度をＶ、動作流体密度をρとして、１／２×ρ×Ｖ^２の淀み点圧となる。一方、液体３を液滴３ｂに液滴化した場合の衝撃圧は、該液体３での音速をＣとして、ρ×Ｃ×Ｖで示される衝撃圧となる。例えば水での音速は約１５００ｍ／ｓであるため、液体３の噴射速度が１００ｍ／ｓの場合、連続流状態に対し液滴化した状態では対象物に与える力が３０倍になる。すなわち、液体３を液滴化させて対象物に衝突させることで、液体３を液滴化させない場合と同一流量で比較した場合、対象物における破砕や切除などの作業を極めて効果的に行える。

ここで、図３は、ノズル径４２μｍのノズルから４ｍｌ／ｍｉｎの水を噴射した場合の脈動を与えない場合の液体３の状態を表す写真である。図３の左端はノズル２７から１９ｍｍ離れた位置に対応し、写真の上部の目盛線は１ｍｍ間隔に対応し、目盛線の上部の数字はノズル２７からの距離に対応する。図３からわかるように、ノズル２７から２６ｍｍ離れた位置で、表面張力により連続的な水流が分断され、液滴状態になっている。本実施例においては、この２６ｍｍが自己液滴化距離に対応する。

例えば口腔内で液滴３ｂを対象に衝突させることで歯科治療をおこなう場合、ノズル２７から２６ｍｍ以上離れた位置から対象物である患部に液体３を噴射することは難しい。なお、このときに液滴３ｂが１秒間に発生する個数は２４万７千個で、自己液滴化周波数が２４７ｋＨｚと呼ぶことにする。すなわち、振動生成部４０が振動を生成しない状態でノズル２７から噴射した液体３が複数の液滴となって飛翔し所定の位置を単位時間に通過する液滴３ｂの個数を自己液滴化周波数とする。

本発明において、流体室２５、ダイアフラム４１、駆動素子である単板圧電素子４２によって、脈動生成部としての振動生成部４０が形成される。送液ポンプ６により、液体３が圧送されノズル２７から液体３が噴射されている状態で、駆動信号線５１により単板圧電素子４２に交流電圧が印加させると、単板圧電素子４２は印加電圧の周波数で厚み方向振動する。単板圧電素子４２の振動はダイアフラム４１を介して流体室２５の液体３に伝えられ、流体室２５の液体３の振動がノズル２７から噴射する液体３に伝達されて液滴化が促進される。

図４は、自己液滴化周波数である２４７ｋＨｚに近く、自己液滴化周波数より若干高いい、２５２ｋＨｚの流量脈動により液滴化を促進した場合である。なお、２５２ｋＨｚの流量脈動を液体３に与えることに伴い、オフセット５Ｖでピークトゥピーク１０Ｖとなるように単板圧電素子４２に電圧を印加した。ここで、図４の左端はノズル２７から８ｍｍ離れた位置に対応し、写真の上部の目盛線は１ｍｍ間隔に対応し、目盛線の上部の数字はノズル２７からの距離に対応する。図４の写真は、脈動を与えなかった場合の図３の写真と比較すると明らかなように、自己液滴化距離の約半分のノズル２７から１３ｍｍほどの距離で液滴化し、かつ液滴形状、液滴間隔がそろっていることが分かる。すなわち、ノズル２７の近傍から液滴化しているため、短距離での治療が必要な口腔内や狭所での作業でも使用が可能である。また、液滴形状と液滴間隔が一定であるため、衝撃圧が一定で前弾の水膜等の影響を受けにくく効率的な破砕や切開が行える。

上記のように、本実施例の液体噴射装置１においては、振動生成部４０は、液体３に接している。そして、振動生成部４０が生成する振動の周波数は、自己液滴化周波数よりも大きい。図３と図４とを比較するとわかるように、振動生成部４０が生成する振動の周波数を自己液滴化周波数よりも大きくすることで、液滴化距離を短くすることができることが分かった。このため、本実施例の液体噴射装置１は、高速で液体３を噴射する場合においても液滴化距離を短くすることができる。なお、本実施例の振動生成部４０は液体３に接しているが、振動生成部４０は、液体３、ノズル２７及び液体搬送管７のうちの少なくともいずれか１つに接していればよい。

上記のように、流量脈動を与えない場合の、自己液滴化周波数は約２４７ｋＨｚであるが、流量脈動により液滴化を促進することが可能である。また、流量脈動における周波数を変更することで、液滴３ｂの液滴径も変更されるので、対象物の破砕、切除、洗浄状態の条件などに合わせた液滴径の変更が可能である。

ここで、特に好適な周波数を決定するために、オフセット５Ｖでピークトゥピーク１０Ｖ、並びに、オフセット１０Ｖでピークトゥピーク２０Ｖの正弦波を単板圧電素子４２に与えて検討した。この電圧での静特性での単板圧電素子４２の変位量は、１０Ｖで０．００５ｎｍ、２０Ｖで０．０１ｎｍとわずかであった。なお、該周波数について、流量脈動により液滴化が促進され始める８９ｋＨｚから液滴化の促進が生じなくなる３７４ｋＨｚの範囲で、１００ｋＨｚまでは１ｋＨｚステップで、それ以上は２ｋＨｚステップで検討した。

液滴化の定義は、連続流の分断が生じたのち、液滴３ｂがほぼ球形となることとした。これは液滴３ｂの分断が生じても、サテライト液滴が発生してしまう場合などがあり、効果的な液滴化ができない周波数が存在するためである。そこで、図５及び図６に、効果的な液滴化ができた場合と効果的な液滴化ができなかった場合の具体例を示す。図５は、１０Ｖのピークトゥピークで１３０ｋＨｚの振動周波数とした場合の一例であって、効果的な球体の液滴化ができたものの一例の写真である。一方、図６は、１０Ｖのピークトゥピークで１３４ｋＨｚの振動周波数とした場合の一例であって、サテライト液滴が発生し液滴３ｂが好ましい球体とはならなかったものの一例の写真である。

ここで、図７は、流量４ｍｌ／ｍｉｎにおいて、効果的な液滴化ができた場合と効果的な液滴化ができなかった場合を表す、単板圧電素子４２への印可電圧が１０Ｖピークトゥピークでの試験結果である。また、図８は、流量４ｍｌ／ｍｉｎにおいて、効果的な液滴化ができた場合と効果的な液滴化ができなかった場合を表す、単板圧電素子４２への印可電圧が２０Ｖピークトゥピークでの試験結果である。図７及び図８ではともに、横軸は単板圧電素子４２に与えた正弦波の周波数である脈動周波数を表し、縦軸は液滴化距離を表している。なお、図７及び図８において、液滴化距離０ｍｍに表示されている周波数は、例えば図６で表されるように液滴３ｂが球体として液滴化しなかった場合など、好適に液滴化することができなかった場合を表している。

図７で表されるように、まず、図７の１０Ｖピークトゥピークの場合、自己液滴化周波数２４７ｋＨｚのわずか下の２４２ｋＨｚから安定した液滴化が可能になり３３４ｋＨｚまで安定した液滴化が可能であった。安定した液滴化は、２４２ｋＨｚから３３４ｋＨｚまで液滴化距離が２６ｍｍ以下であって０ｍｍになっていないことで表されている。また、３３８ｋＨｚから３６６ｋＨｚまでにおいても、液滴化距離が２６ｍｍ以下であって０ｍｍになっていないことから安定した液滴化が可能になっているといえる。一方、図８で表されるように、図７の１０Ｖピークトゥピークに対して振幅を増やした図８の２０Ｖピークトゥピークでは、２２８ｋＨｚから３７４ｋＨｚまで安定した液滴化が可能であった。

ここで、安定した液滴化が始まるのは、図８の２０Ｖピークトゥピークにおいては、自己液滴化周波数である２４７ｋＨｚの約０．９倍である２２８ｋＨｚである。また、図７の１０Ｖピークトゥピークにおいては、自己液滴化周波数である２４７ｋＨｚの約１倍である２４２ｋＨｚである。好ましい周波数の上限は、図８の２０Ｖピークトゥピークにおいては、３７４ｋＨｚ／２２８ｋＨｚ、すなわち、自己液滴化周波数の約１．６倍である。また、図７の１０Ｖピークトゥピークにおいては、好ましい周波数の上限は、一点液滴化できなかった部分である３３６ｋＨｚを考慮すれば３３４ｋＨｚ／２４２ｋＨｚ、すなわち、自己液滴化周波数の約１．３倍、この部分を考慮しなければ３６６ｋＨｚ／２４２ｋＨｚ、すなわち、自己液滴化周波数の約１．５倍である。

上記結果から、振動生成部４０が生成する振動の周波数は、自己液滴化周波数の１．５倍以下であることが好ましい。振動生成部４０が生成する振動の周波数を大きくしすぎると適正に液滴化することができない場合があるが、振動生成部４０が生成する振動の周波数を自己液滴化周波数の１．５倍以下とすることで、適正に自己液滴化しなくなることを抑制することができる。

なお、本発明者らが様々な条件を振って鋭意検討した結果、振動生成部４０が生成する振動の周波数は、９０ｋＨｚ以上であることが好ましいことが分かった。振動生成部が生成する振動の周波数を９０ｋＨｚ以上とすることで、特に好適に液滴化距離を短くすることができる。

また、図８の２０Ｖピークトゥピークなどの結果から、振動生成部４０が生成する振動の周波数は、３７０ｋＨｚ以下であることが好ましい。振動生成部が生成する振動の周波数を３７０ｋＨｚ以下とすることで、特に好適に液滴化距離を短くすることができる。

図９は、流量３ｍｌ／ｍｉｎで２０Ｖピークトゥピークの振幅で液滴化した場合と、流量４ｍｌ／ｍｉｎで２０Ｖピークトゥピークの振幅で液滴化した場合と、において、自己液滴化周波数と自己液滴化距離とを用いて規格化したグラフである。ここで、規格化とは、振動生成部４０による振動周波数、すなわち、脈動周波数の好ましい範囲を表現したものであり、具体的には、図９の液滴化距離／自己液滴化距離が０でなく、かつ、１．０以下となる、脈動周波数／自己液滴化周波数の領域を意味する。なお、流量３ｍｌ／ｍｉｎにおいては、自己液滴化周波数は１８０ｋＨｚであり、自己液滴化距離は１７ｍｍである。一方、流量４ｍｌ／ｍｉｎにおいては、上記の結果から、自己液滴化周波数を２４７ｋＨｚであり、自己液滴化距離を２６ｍｍである。

図９で表されるように、自己液滴化周波数が変化しても、流量脈動の周波数は自己液滴化周波数を超える範囲、すなわち、脈動周波数／自己液滴化周波数が１を超える範囲とすることで安定することが分かる。図９における流量脈動の周波数が安定している領域は、液滴化距離／自己液滴化距離が０とはならず、１．０以下となる領域である。また、上記のとおり好ましい上限の周波数（振動生成部４０が生成する振動の周波数）は、自己液滴化周波数の１．５倍以下であり、より好ましくは１．３倍以下である。

ここで、図２で表される本実施例の振動生成部４０は、液体３の搬送方向である方向ａにおいて液体３を脈動させる振動を生成することができる。液体３の搬送方向において液体３を脈動させることで特に好適に液滴化距離を短くすることができる。

詳細には、振動生成部４０は、単板圧電素子４２により、液体搬送管７を液体３の搬送方向である方向ａと直交する方向に振動させる。振動生成部４０をこのような構成とすることで、液体搬送管７を液体３の搬送方向に振動させる構成を簡単に形成することができる。

ただし、このような構成に限定されない。例えば、液体搬送管７の形状及び液体搬送管７に対する単板圧電素子４２の配置を変えることなどで、振動生成部４０が液体搬送管７を液体３の搬送方向に振動させる構成としてもよい。液体搬送管７を液体３の搬送方向に振動させることでも、本実施例の振動生成部４０と同様、好適に液体３の搬送方向において液体３を脈動させることができる。

本発明は、上述の実施例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１…液体噴射装置、２…ヘッド部、３…液体、３ａ…連続流状態の液体、３ｂ…液滴、５…制御装置、６…送液ポンプ、７…液体搬送管、８…タンク、２１…把持部、２３…導入流路、２４…流入流路開口部、２５…流体室、２７…ノズル、３１…孔部、３３…中間部材、３４…規制部、４０…振動生成部、４１…ダイアフラム、４２…単板圧電素子、５１…駆動信号線、５２…制御信号線

Claims (8)

1. 液体を噴射するノズルと、
   前記液体を前記ノズルまで搬送する液体搬送管と、
   振動を生成する振動生成部と、
   を備え、
   前記振動生成部は、前記液体、前記ノズル及び前記液体搬送管のうちの少なくともいずれか１つに接し、
   前記振動生成部が振動を生成しない状態で前記ノズルから噴射した前記液体が複数の液滴となって飛翔し所定の位置を単位時間に通過する前記液滴の個数を自己液滴化周波数とするとき、
   前記振動生成部が生成する振動の周波数は、前記自己液滴化周波数よりも大きいことを特徴とする液体噴射装置。
2. 請求項１に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部が生成する振動の周波数は、前記自己液滴化周波数の１．５倍以下であることを特徴とする液体噴射装置。
3. 請求項１または２に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部が生成する振動の周波数は、９０ｋＨｚ以上であることを特徴とする液体噴射装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部は、前記液体の搬送方向において前記液体を脈動させる振動を生成することを特徴とする液体噴射装置。
5. 請求項４に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部は、前記液体搬送管を前記液体の搬送方向に振動させることを特徴とする液体噴射装置。
6. 請求項４に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部は、前記液体搬送管を前記液体の搬送方向と直交する方向に振動させることを特徴とする液体噴射装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部は、圧電素子を含むことを特徴とする液体噴射装置。
8. 請求項１から６のいずれか１項に記載の液体噴射装置において、
   前記振動生成部は、静電アクチュエーターを含むことを特徴とする液体噴射装置。

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