JP2023129047A - Visual inspection device and visual inspection method - Google Patents

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Abstract

To efficiently inspect a plurality of inspection surfaces of a workpiece.SOLUTION: A visual inspection device comprises: a camera that picks up an image of a workpiece arranged at an inspection position; a first driving device that rotates the workpiece centered on a first axis at the inspection position; a second driving device that rotates the workpiece centered on a second axis at the inspection position; a drive control device that controls at least one of the first driving device and the second driving device so that a plurality of inspection surfaces of the workpiece are sequentially arranged in an imaging range of the camera; a camera control device that controls the camera so that images of the plurality of inspection surfaces are sequentially picked up; and an image processing device that detects a defect in the workpiece based on the images of the inspection surfaces picked up by the camera.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本明細書で開示する技術は、外観検査装置及び外観検査方法に関する。 The technology disclosed in this specification relates to a visual inspection device and a visual inspection method.

外観検査装置に係る技術分野において、特許文献１に開示されているような外観検査装置が知られている。 In the technical field related to visual inspection devices, a visual inspection device as disclosed in Patent Document 1 is known.

特開２０２１－１２０６６６号公報JP 2021-120666 Publication

本明細書で開示する技術は、ワークの複数の検査面を効率良く検査することを目的とする。 The technology disclosed in this specification aims to efficiently inspect multiple inspection surfaces of a workpiece.

本明細書は、外観検査装置を開示する。外観検査装置は、検査位置に配置されたワークを撮像するカメラと、検査位置において第１軸を中心にワークを回転させる第１駆動装置と、検査位置において第２軸を中心にワークを回転させる第２駆動装置と、ワークの複数の検査面がカメラの撮像範囲に順次配置されるように第１駆動装置及び第２駆動装置の少なくとも一方を制御する駆動制御装置と、複数の検査面が順次撮像されるようにカメラを制御するカメラ制御装置と、カメラで撮像された検査面の画像に基づいてワークの欠陥を検出する画像処理装置と、を備える。 This specification discloses a visual inspection device. The visual inspection device includes a camera that images a workpiece placed at an inspection position, a first drive device that rotates the workpiece around a first axis at the inspection position, and a first drive unit that rotates the workpiece around a second axis at the inspection position. a second drive device; a drive control device that controls at least one of the first drive device and the second drive device so that the plurality of inspection surfaces of the workpiece are sequentially arranged in the imaging range of the camera; The present invention includes a camera control device that controls a camera to take an image, and an image processing device that detects defects in a workpiece based on an image of an inspection surface taken by the camera.

本明細書で開示する技術によれば、ワークの複数の検査面を効率良く検査することができる。 According to the technology disclosed in this specification, multiple inspection surfaces of a workpiece can be efficiently inspected.

図１は、実施形態に係る外観検査装置を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an appearance inspection apparatus according to an embodiment. 図２は、実施形態に係る外観検査装置を模式的に示す正面図である。FIG. 2 is a front view schematically showing the appearance inspection device according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る外観検査装置を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing the appearance inspection device according to the embodiment. 図４は、実施形態に係る外観検査方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of the visual inspection method according to the embodiment. 図５は、実施形態に係る外観検査方法の一例を模式的に示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view schematically showing an example of the appearance inspection method according to the embodiment. 図６は、実施形態に係る外観検査方法の一例を模式的に示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view schematically showing an example of the appearance inspection method according to the embodiment.

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本開示は実施形態に限定されない。以下で説明する実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。 Hereinafter, embodiments according to the present disclosure will be described with reference to the drawings, but the present disclosure is not limited to the embodiments. The components of the embodiments described below can be combined as appropriate. Furthermore, some components may not be used.

実施形態においては、外観検査装置１に３次元直交座標系を設定し、３次元直交座標系を参照しながら各部の位置関係について説明する。Ｘ軸に平行な方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸の両方に直交するＺ軸に平行な方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含む平面をＸＹ平面とする。Ｙ軸及びＺ軸を含む平面をＹＺ平面とする。Ｚ軸及びＸ軸を含む平面をＺＸ平面とする。ＸＹ平面は、水平面に平行である。Ｚ軸は、鉛直軸に平行である。＋Ｚ側は上側である。－Ｚ側は下側である。 In the embodiment, a three-dimensional orthogonal coordinate system is set in the visual inspection apparatus 1, and the positional relationship of each part will be explained with reference to the three-dimensional orthogonal coordinate system. The direction parallel to the X-axis is defined as the X-axis direction. The direction parallel to the Y-axis perpendicular to the X-axis is defined as the Y-axis direction. The direction parallel to the Z-axis and perpendicular to both the X-axis and the Y-axis is defined as the Z-axis direction. A plane including the X-axis and the Y-axis is defined as an XY plane. A plane including the Y-axis and the Z-axis is defined as a YZ plane. Let the plane containing the Z-axis and the X-axis be the ZX plane. The XY plane is parallel to the horizontal plane. The Z axis is parallel to the vertical axis. The +Z side is the upper side. -Z side is the lower side.

［外観検査装置］
図１は、実施形態に係る外観検査装置１を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態に係る外観検査装置１を模式的に示す正面図である。図３は、実施形態に係る外観検査装置１を示すブロック図である。 [Appearance inspection device]
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an appearance inspection apparatus 1 according to an embodiment. FIG. 2 is a front view schematically showing the appearance inspection apparatus 1 according to the embodiment. FIG. 3 is a block diagram showing the visual inspection apparatus 1 according to the embodiment.

外観検査装置１は、ワークＷの外観を検査する。外観検査装置１に検査位置ＤＰが規定される。外観検査装置１は、検査位置ＤＰに配置されたワークＷを検査する。ワークＷは、複数の検査面を有する。検査面とは、外観検査装置１の検査対象であるワークＷの表面をいう。複数の検査面は、相互に異なる方向を向く。外観検査装置１は、複数の検査面のそれぞれを検査する。 The appearance inspection device 1 inspects the appearance of the work W. An inspection position DP is defined in the appearance inspection apparatus 1. The appearance inspection device 1 inspects a workpiece W placed at an inspection position DP. The workpiece W has a plurality of inspection surfaces. The inspection surface refers to the surface of the workpiece W that is the object of inspection by the visual inspection device 1. The plurality of inspection planes face mutually different directions. The appearance inspection device 1 inspects each of a plurality of inspection surfaces.

実施形態において、ワークＷの外形は、実質的に直方体状である。ワークＷは、６つの検査面を有する。６つの検査面のうち、第１の検査面を、検査面Ｃ１、と称し、第２の検査面を、検査面Ｃ２、と称し、第３の検査面を、検査面Ｃ３、と称し、第４の検査面を、検査面Ｃ４、と称し、第５の検査面を、検査面Ｃ５、と称し、第６の検査面を、検査面Ｃ６、と称する。 In the embodiment, the outer shape of the workpiece W is substantially rectangular parallelepiped. The workpiece W has six inspection surfaces. Among the six inspection surfaces, the first inspection surface is referred to as inspection surface C1, the second inspection surface is referred to as inspection surface C2, the third inspection surface is referred to as inspection surface C3, and the third inspection surface is referred to as inspection surface C3. The fourth inspection surface is referred to as inspection surface C4, the fifth inspection surface is referred to as inspection surface C5, and the sixth inspection surface is referred to as inspection surface C6.

図１及び図２に示す例において、検査面Ｃ１は＋Ｘ方向を向き、検査面Ｃ２は－Ｘ方向を向く。検査面Ｃ３は＋Ｙ方向を向き、検査面Ｃ４は－Ｙ方向を向く。検査面Ｃ５は＋Ｚ方向を向き、検査面Ｃ６は－Ｚ方向を向く。 In the example shown in FIGS. 1 and 2, the inspection surface C1 faces the +X direction, and the inspection surface C2 faces the -X direction. The inspection surface C3 faces the +Y direction, and the inspection surface C4 faces the -Y direction. The inspection surface C5 faces the +Z direction, and the inspection surface C6 faces the -Z direction.

外観検査装置１は、カメラ２と、第１駆動装置３と、第２駆動装置４と、カメラ移動装置５と、駆動制御装置６と、カメラ制御装置７と、画像処理装置８とを備える。 The visual inspection device 1 includes a camera 2, a first drive device 3, a second drive device 4, a camera movement device 5, a drive control device 6, a camera control device 7, and an image processing device 8.

カメラ２は、検査位置ＤＰに配置されたワークＷを撮像する。カメラ２は、カメラ本体２Ａと、照明装置２Ｂとを有する。カメラ本体２Ａは、光学系と、光学系を介して入射した光を電気信号に変換するイメージセンサとを有する。イメージセンサとして、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサが例示される。照明装置２Ｂは、ワークＷを照明する照明光を射出する。実施形態において、カメラ２は、複数設けられる。 The camera 2 images the workpiece W placed at the inspection position DP. The camera 2 includes a camera body 2A and a lighting device 2B. The camera body 2A includes an optical system and an image sensor that converts light incident through the optical system into an electrical signal. Examples of the image sensor include a CCD (Charge Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor. The illumination device 2B emits illumination light that illuminates the workpiece W. In the embodiment, a plurality of cameras 2 are provided.

実施形態において、カメラ２は、２つ設けられる。２つのカメラ２のうち、一方のカメラ２を、第１カメラ２１、と称し、他方のカメラ２を、第２カメラ２２、と称する。 In the embodiment, two cameras 2 are provided. Among the two cameras 2, one camera 2 will be referred to as a first camera 21, and the other camera 2 will be referred to as a second camera 22.

第１カメラ２１は、検査位置ＤＰよりも＋Ｚ側に配置される。第２カメラ２２は、検査位置ＤＰよりも＋Ｙ側に配置される。第１カメラ２１は、ワークＷよりも＋Ｚ側からワークＷを撮像する。第２カメラ２２は、ワークＷよりも＋Ｙ側からワークＷを撮像する。第１カメラ２１の光学系の光軸ＡＸ１と第２カメラ２２の光学系の光軸ＡＸ２とは、直交する。第１カメラ２１は、第１カメラ２１の光学系の光軸ＡＸ１とＺ軸とが平行になるように配置される。第２カメラ２２は、第２カメラ２２の光学系の光軸ＡＸ２とＹ軸とが平行になるように配置される。 The first camera 21 is placed on the +Z side of the inspection position DP. The second camera 22 is arranged on the +Y side with respect to the inspection position DP. The first camera 21 images the workpiece W from the +Z side of the workpiece W. The second camera 22 images the workpiece W from the +Y side. The optical axis AX1 of the optical system of the first camera 21 and the optical axis AX2 of the optical system of the second camera 22 are orthogonal to each other. The first camera 21 is arranged so that the optical axis AX1 of the optical system of the first camera 21 and the Z axis are parallel to each other. The second camera 22 is arranged so that the optical axis AX2 of the optical system of the second camera 22 and the Y axis are parallel to each other.

第１駆動装置３は、検査位置ＤＰにおいて第１回転軸ＲＸを中心にワークＷを回転させる。第１回転軸ＲＸは、Ｘ軸に平行である。また、第１駆動装置３は、ワークＷをＸ軸方向へ移動させる。 The first drive device 3 rotates the work W around the first rotation axis RX at the inspection position DP. The first rotation axis RX is parallel to the X axis. Further, the first drive device 3 moves the workpiece W in the X-axis direction.

第１駆動装置３は、スライド部材９と、クランプ部材１０と、第１回転アクチュエータ１１と、第１並進アクチュエータ１２とを有する。 The first drive device 3 includes a slide member 9, a clamp member 10, a first rotation actuator 11, and a first translation actuator 12.

スライド部材９は、ベースプレート１３の上面においてＸ軸方向へ移動可能である。ベースプレート１３の中央部に開口１３１が設けられる。ベースプレート１３の上面にガイド部材１４が設けられる。ガイド部材１４は、スライド部材９をＸ軸方向へガイドする。スライド部材９は、ガイド部材１４にガイドされながらＸ軸方向へ移動する。 The slide member 9 is movable in the X-axis direction on the upper surface of the base plate 13. An opening 131 is provided in the center of the base plate 13. A guide member 14 is provided on the upper surface of the base plate 13. The guide member 14 guides the slide member 9 in the X-axis direction. The slide member 9 moves in the X-axis direction while being guided by the guide member 14.

実施形態において、スライド部材９は、２つ設けられる。２つのスライド部材９のうち、一方のスライド部材９を、スライド部材９Ａ、と称し、他方のスライド部材９を、スライド部材９Ｂ、と称する。 In the embodiment, two slide members 9 are provided. Among the two slide members 9, one slide member 9 is referred to as a slide member 9A, and the other slide member 9 is referred to as a slide member 9B.

実施形態において、ガイド部材１４は、２つ設けられる。２つのガイド部材１４のうち、一方のガイド部材１４を、ガイド部材１４Ａ、と称し、他方のガイド部材１４を、ガイド部材１４Ｂ、と称する。 In the embodiment, two guide members 14 are provided. Among the two guide members 14, one guide member 14 is referred to as a guide member 14A, and the other guide member 14 is referred to as a guide member 14B.

スライド部材９Ａとスライド部材９Ｂとは、Ｘ軸方向に配置される。スライド部材９Ａは、スライド部材９Ｂよりも＋Ｘ側に配置される。スライド部材９Ａとスライド部材９Ｂとは、対向するように配置される。 The slide member 9A and the slide member 9B are arranged in the X-axis direction. The slide member 9A is arranged on the +X side than the slide member 9B. The slide member 9A and the slide member 9B are arranged to face each other.

ガイド部材１４Ａとガイド部材１４Ｂとは、Ｘ軸方向に配置される。ガイド部材１４Ａは、開口１３１よりも＋Ｘ側のベースプレート１３の上面に配置される。ガイド部材１４Ａは、開口１３１よりも－Ｘ側のベースプレート１３の上面に配置される。ガイド部材１４Ａは、スライド部材９ＡをＸ軸方向へガイドする。ガイド部材１４Ｂは、スライド部材９ＢをＸ軸方向へガイドする。スライド部材９Ａとスライド部材９Ｂとは、相互に接近又は離隔するように移動することができる。 The guide member 14A and the guide member 14B are arranged in the X-axis direction. The guide member 14A is arranged on the upper surface of the base plate 13 on the +X side of the opening 131. The guide member 14A is arranged on the upper surface of the base plate 13 on the -X side with respect to the opening 131. The guide member 14A guides the slide member 9A in the X-axis direction. The guide member 14B guides the slide member 9B in the X-axis direction. The slide member 9A and the slide member 9B can move toward or away from each other.

クランプ部材１０は、ワークＷをクランプする。クランプ部材１０は、スライド部材９に回転可能に支持される。クランプ部材１０は、スライド部材９に支持された状態で第１回転軸ＲＸを中心に回転することができる。 The clamp member 10 clamps the workpiece W. The clamp member 10 is rotatably supported by the slide member 9. The clamp member 10 can rotate about the first rotation axis RX while being supported by the slide member 9.

実施形態において、クランプ部材１０は、２つ設けられる。２つのクランプ部材１０のうち、一方のクランプ部材１０を、クランプ部材１０Ａ、と称し、他方のクランプ部材１０を、クランプ部材１０Ｂ、と称する。 In the embodiment, two clamp members 10 are provided. Among the two clamp members 10, one clamp member 10 is referred to as a clamp member 10A, and the other clamp member 10 is referred to as a clamp member 10B.

クランプ部材１０とクランプ部材１０とは、Ｘ軸方向に配置される。クランプ部材１０Ａは、クランプ部材１０Ｂよりも＋Ｘ側に配置される。クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとは、対向するように配置される。クランプ部材１０Ａは、スライド部材９Ａに回転可能に支持される。クランプ部材１０Ｂは、スライド部材９Ｂに回転可能に支持される。 The clamp member 10 and the clamp member 10 are arranged in the X-axis direction. The clamp member 10A is arranged on the +X side more than the clamp member 10B. The clamp member 10A and the clamp member 10B are arranged to face each other. The clamp member 10A is rotatably supported by the slide member 9A. Clamp member 10B is rotatably supported by slide member 9B.

クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとは、相互に接近又は離隔するように移動することができる。実施形態において、スライド部材９Ａとスライド部材９Ｂとが相互に接近するように移動することにより、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとが相互に接近する。スライド部材９Ａとスライド部材９Ｂとが相互に離隔するように移動することにより、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとが相互に離隔する。 The clamp member 10A and the clamp member 10B can move toward or away from each other. In the embodiment, by moving the slide member 9A and the slide member 9B toward each other, the clamp member 10A and the clamp member 10B approach each other. By moving the slide member 9A and the slide member 9B so as to be separated from each other, the clamp member 10A and the clamp member 10B are separated from each other.

クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとは、ワークＷを横側から挟む。実施形態において、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとは、ワークＷをＸ軸方向から挟む。クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとの間にワークＷが配置された状態で、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとが相互に接近することにより、ワークＷは、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとに挟まれる。ワークＷは、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとに挟まれることにより、クランプ部材１０にクランプされる。クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとが相互に離隔して、クランプ部材１０がワークＷから離れることにより、クランプ部材１０によるワークＷのクランプが解除される。 The clamp member 10A and the clamp member 10B sandwich the workpiece W from the sides. In the embodiment, the clamp member 10A and the clamp member 10B sandwich the workpiece W from the X-axis direction. With the workpiece W disposed between the clamping members 10A and 10B, the clamping members 10A and 10B approach each other, so that the workpiece W is pinched between the clamping members 10A and 10B. It will be done. The work W is clamped by the clamp member 10 by being sandwiched between the clamp member 10A and the clamp member 10B. When the clamp member 10A and the clamp member 10B are separated from each other and the clamp member 10 is separated from the work W, the clamping of the work W by the clamp member 10 is released.

第１回転アクチュエータ１１は、第１回転軸ＲＸを中心にクランプ部材１０を回転させる動力を発生する。第１回転アクチュエータ１１は、スライド部材９に支持される回転モータを含む。 The first rotation actuator 11 generates power to rotate the clamp member 10 around the first rotation axis RX. The first rotary actuator 11 includes a rotary motor supported by the slide member 9.

実施形態において、第１回転アクチュエータ１１は、２つ設けられる。２つの第１回転アクチュエータ１１のうち、一方の第１回転アクチュエータ１１を、第１回転アクチュエータ１１Ａ、と称し、他方の第１回転アクチュエータ１１を、第１回転アクチュエータ１１Ｂ、と称する。 In the embodiment, two first rotary actuators 11 are provided. Among the two first rotary actuators 11, one of the first rotary actuators 11 is referred to as a first rotary actuator 11A, and the other first rotary actuator 11 is referred to as a first rotary actuator 11B.

第１回転アクチュエータ１１Ａは、スライド部材９Ａに支持される。第１回転アクチュエータ１１Ａは、第１回転軸ＲＸを中心にクランプ部材１０Ａを回転させる。第１回転アクチュエータ１１Ｂは、スライド部材９Ｂに支持される。第１回転アクチュエータ１１Ｂは、第１回転軸ＲＸを中心にクランプ部材１０Ｂを回転させる。 The first rotary actuator 11A is supported by the slide member 9A. The first rotation actuator 11A rotates the clamp member 10A around the first rotation axis RX. The first rotary actuator 11B is supported by the slide member 9B. The first rotation actuator 11B rotates the clamp member 10B around the first rotation axis RX.

第１回転アクチュエータ１１は、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を、第１回転軸ＲＸを中心に回転させる。第１回転アクチュエータ１１Ａと第１回転アクチュエータ１１Ｂとは、ワークＷを挟んだクランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとを同期して回転させる。ワークＷをクランプしたクランプ部材１０が第１回転軸ＲＸを中心に回転することにより、ワークＷが第１回転軸ＲＸを中心に回転する。 The first rotation actuator 11 rotates the clamp member 10 that clamps the work W around the first rotation axis RX. The first rotary actuator 11A and the first rotary actuator 11B synchronously rotate the clamp member 10A and the clamp member 10B that sandwich the workpiece W therebetween. The clamp member 10 that clamps the work W rotates around the first rotation axis RX, thereby causing the work W to rotate around the first rotation axis RX.

第１並進アクチュエータ１２は、スライド部材９をＸ軸方向へ移動させる動力を発生する。第１並進アクチュエータ１２は、スライド部材９とガイド部材１４とに配置されるリニアモータを含む。なお、第１並進アクチュエータ１２は、スライド部材９に連結されるボールねじを回転させる回転モータを含んでもよい。第１並進アクチュエータ１２が発生する動力により、スライド部材９は、ガイド部材１４にガイドされながらＸ軸方向へ移動する。第１並進アクチュエータ１２は、スライド部材９をＸ軸方向へ移動させることによって、クランプ部材１０をＸ軸方向へ移動させる。 The first translation actuator 12 generates power to move the slide member 9 in the X-axis direction. The first translation actuator 12 includes a linear motor arranged on the slide member 9 and the guide member 14 . Note that the first translation actuator 12 may include a rotation motor that rotates a ball screw connected to the slide member 9. Due to the power generated by the first translation actuator 12, the slide member 9 moves in the X-axis direction while being guided by the guide member 14. The first translation actuator 12 moves the clamp member 10 in the X-axis direction by moving the slide member 9 in the X-axis direction.

実施形態において、第１並進アクチュエータ１２は、２つ設けられる。２つの第１並進アクチュエータ１２のうち、一方の第１並進アクチュエータ１２を、第１並進アクチュエータ１２Ａ、と称し、他方の第１並進アクチュエータ１２を、第１並進アクチュエータ１２Ｂ、と称する。 In the embodiment, two first translation actuators 12 are provided. Among the two first translation actuators 12, one of the first translation actuators 12 is referred to as a first translation actuator 12A, and the other first translation actuator 12 is referred to as a first translation actuator 12B.

第１並進アクチュエータ１２Ａは、スライド部材９ＡをＸ軸方向へ移動させる。第１並進アクチュエータ１２Ｂは、スライド部材９ＢをＸ軸方向へ移動させる。 The first translation actuator 12A moves the slide member 9A in the X-axis direction. The first translation actuator 12B moves the slide member 9B in the X-axis direction.

第１並進アクチュエータ１２は、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を、Ｘ軸方向へ移動させる。第１並進アクチュエータ１２Ａと第１並進アクチュエータ１２Ｂとは、ワークＷを挟んだクランプ部材１０Ａとクランプ部材１０Ｂとを同期して移動させる。ワークＷをクランプしたクランプ部材１０がＸ軸方向へ移動することにより、ワークＷがＸ軸方向へ移動する。 The first translation actuator 12 moves the clamp member 10 that clamps the workpiece W in the X-axis direction. The first translation actuator 12A and the first translation actuator 12B synchronously move the clamp member 10A and the clamp member 10B that sandwich the workpiece W therebetween. When the clamp member 10 that clamps the workpiece W moves in the X-axis direction, the workpiece W moves in the X-axis direction.

第２駆動装置４は、検査位置ＤＰにおいて第２回転軸ＴＸを中心にワークＷを回転させる。第２回転軸ＴＸは、Ｚ軸に平行である。また、第２駆動装置４は、ワークＷをＺ軸方向へ移動させる。 The second drive device 4 rotates the work W around the second rotation axis TX at the inspection position DP. The second rotation axis TX is parallel to the Z axis. Further, the second drive device 4 moves the workpiece W in the Z-axis direction.

第２駆動装置４は、ベース部材１５と、支持部材１６と、ターンテーブル１７と、第２回転アクチュエータ１８と、第２並進アクチュエータ１９とを有する。 The second drive device 4 includes a base member 15 , a support member 16 , a turntable 17 , a second rotation actuator 18 , and a second translation actuator 19 .

ベース部材１５は、ベースプレート１３よりも－Ｚ側に配置される。ベース部材１５は、支持部材１６を介してターンテーブル１７を支持する。 The base member 15 is arranged on the −Z side with respect to the base plate 13. Base member 15 supports turntable 17 via support member 16 .

支持部材１６は、ベース部材１５に支持される。支持部材１６の上端部は、Ｚ軸方向へ移動可能である。支持部材１６は、Ｚ軸方向へ移動してもよいし、Ｚ軸方向へ伸縮してもよい。 The support member 16 is supported by the base member 15. The upper end of the support member 16 is movable in the Z-axis direction. The support member 16 may move in the Z-axis direction, or may expand and contract in the Z-axis direction.

ターンテーブル１７は、ワークＷを下側から支持する。ターンテーブル１７は、支持部材１６の上端部に支持される。ターンテーブル１７は、Ｚ軸方向へ移動することができる。また、ターンテーブル１７は、第２回転軸ＴＸを中心に回転することができる。 The turntable 17 supports the workpiece W from below. The turntable 17 is supported by the upper end of the support member 16. The turntable 17 can move in the Z-axis direction. Further, the turntable 17 can rotate around the second rotation axis TX.

支持部材１６の上端部がＺ軸方向へ移動することにより、ターンテーブル１７がＺ軸方向へ移動する。ターンテーブル１７は、ベースプレート１３の開口１３１を通過することができる。ターンテーブル１７は、ベースプレート１３よりも＋Ｚ側へ移動することができる。ターンテーブル１７は、ベースプレート１３よりも－Ｚ側へ移動することができる。ターンテーブル１７は、ベースプレート１３よりも＋Ｚ側へ移動することにより、ワークＷを下側から支持することができる。ターンテーブル１７がベースプレート１３よりも＋Ｚ側に配置されている状態において、支持部材１６の少なくとも一部がベースプレート１３の開口１３１に配置される。ターンテーブル１７が－Ｚ側へ移動して、ターンテーブル１７がワークＷから離れることにより、ターンテーブル１７によるワークＷの支持が解除される。 When the upper end of the support member 16 moves in the Z-axis direction, the turntable 17 moves in the Z-axis direction. The turntable 17 can pass through the opening 131 in the base plate 13. The turntable 17 can move toward the +Z side relative to the base plate 13. The turntable 17 can move toward the -Z side relative to the base plate 13. The turntable 17 can support the workpiece W from below by moving toward the +Z side relative to the base plate 13. At least a portion of the support member 16 is placed in the opening 131 of the base plate 13 in a state where the turntable 17 is placed on the +Z side with respect to the base plate 13 . When the turntable 17 moves to the −Z side and moves away from the workpiece W, the support of the workpiece W by the turntable 17 is released.

支持部材１６が第２回転軸ＴＸを中心に回転することにより、ターンテーブル１７が第２回転軸ＴＸを中心に回転する。 When the support member 16 rotates around the second rotation axis TX, the turntable 17 rotates around the second rotation axis TX.

第２回転アクチュエータ１８は、第２回転軸ＴＸを中心にターンテーブル１７を回転させる動力を発生する。第２回転アクチュエータ１８は、ベース部材１５に配置される回転モータを含む。実施形態において、第２回転アクチュエータ１８は、支持部材１６を回転させることにより、ターンテーブル１７を回転させる。 The second rotation actuator 18 generates power to rotate the turntable 17 around the second rotation axis TX. Second rotary actuator 18 includes a rotary motor disposed on base member 15 . In the embodiment, the second rotary actuator 18 rotates the turntable 17 by rotating the support member 16 .

第２回転アクチュエータ１８は、ワークＷを支持したターンテーブル１７を、第２回転軸ＴＸを中心に回転させる。ワークＷを支持したターンテーブル１７が第２回転軸ＴＸを中心に回転することにより、ワークＷが第２回転軸ＴＸを中心に回転する。 The second rotary actuator 18 rotates the turntable 17 supporting the work W around the second rotation axis TX. The turntable 17 supporting the work W rotates around the second rotation axis TX, thereby causing the work W to rotate around the second rotation axis TX.

第２並進アクチュエータ１９は、ターンテーブル１７をＺ軸方向へ移動させる動力を発生する。第２並進アクチュエータ１９は、支持部材１６に設けられたラックに噛み合うピニオンを回転させる回転モータを含む。なお、第２並進アクチュエータ１９は、ベース部材１５に配置されるリニアモータを含んでもよい。第２並進アクチュエータ１９は、支持部材１６の上端部をＺ軸方向へ移動させることにより、ターンテーブル１７をＺ軸方向へ移動させる。 The second translation actuator 19 generates power to move the turntable 17 in the Z-axis direction. The second translation actuator 19 includes a rotation motor that rotates a pinion that engages a rack provided on the support member 16 . Note that the second translation actuator 19 may include a linear motor disposed on the base member 15. The second translation actuator 19 moves the turntable 17 in the Z-axis direction by moving the upper end of the support member 16 in the Z-axis direction.

第２並進アクチュエータ１９は、ワークＷを支持したターンテーブル１７を、Ｚ軸方向へ移動させる。ワークＷを支持したターンテーブル１７がＺ軸方向へ移動することにより、ワークＷがＺ軸方向へ移動する。 The second translation actuator 19 moves the turntable 17 supporting the workpiece W in the Z-axis direction. When the turntable 17 supporting the workpiece W moves in the Z-axis direction, the workpiece W moves in the Z-axis direction.

カメラ移動装置５は、カメラ２を移動させる。カメラ移動装置５は、カメラ２のボディに接続されるアクチュエータを含む。 The camera moving device 5 moves the camera 2. Camera moving device 5 includes an actuator connected to the body of camera 2.

実施形態において、カメラ移動装置５は、２つ設けられる。２つのカメラ移動装置５のうち、一方のカメラ移動装置５を、第１カメラ移動装置５１、と称し、他方のカメラ移動装置５を、第２カメラ移動装置５２、と称する。 In the embodiment, two camera moving devices 5 are provided. Among the two camera moving devices 5, one camera moving device 5 is called a first camera moving device 51, and the other camera moving device 5 is called a second camera moving device 52.

第１カメラ移動装置５１は、検査位置ＤＰよりも＋Ｚ側において第１カメラ２１を移動させる。第１カメラ移動装置５１は、第１カメラ２１の光軸ＡＸ１とＺ軸とが平行な状態を維持するように第１カメラ２１を移動させる。実施形態において、第１カメラ２１の光学系は、固定焦点光学系である。第１カメラ移動装置５１は、少なくとも第１カメラ２１の光軸ＡＸ１に平行な方向へ第１カメラ２１を移動させる。すなわち、第１カメラ移動装置５１は、少なくともＺ軸方向へ第１カメラ２１を移動させる。実施形態において、第１カメラ移動装置５１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向のそれぞれへ第１カメラ２１を移動させる。 The first camera moving device 51 moves the first camera 21 on the +Z side from the inspection position DP. The first camera moving device 51 moves the first camera 21 so that the optical axis AX1 of the first camera 21 and the Z axis maintain a parallel state. In the embodiment, the optical system of the first camera 21 is a fixed focus optical system. The first camera moving device 51 moves the first camera 21 at least in a direction parallel to the optical axis AX1 of the first camera 21. That is, the first camera moving device 51 moves the first camera 21 at least in the Z-axis direction. In the embodiment, the first camera moving device 51 moves the first camera 21 in each of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

第２カメラ移動装置５２は、検査位置ＤＰよりも＋Ｙ側において第２カメラ２２を移動させる。第２カメラ移動装置５２は、第２カメラ２２の光軸ＡＸ２とＹ軸とが平行な状態を維持するように第２カメラ２２を移動させる。実施形態において、第２カメラ２２の光学系は、固定焦点光学系である。第２カメラ移動装置５２は、少なくとも第２カメラ２２の光軸ＡＸ２に平行な方向へ第２カメラ２２を移動させる。すなわち、第２カメラ移動装置５２は、少なくともＹ軸方向へ第２カメラ２２を移動させる。実施形態において、第２カメラ移動装置５２は、Ｙ軸方向へ第２カメラ２２を移動させ、Ｘ軸方向及びＺ軸方向へは第２カメラ２２を移動させない。 The second camera moving device 52 moves the second camera 22 on the +Y side with respect to the inspection position DP. The second camera moving device 52 moves the second camera 22 so that the optical axis AX2 and the Y axis of the second camera 22 maintain a parallel state. In the embodiment, the optical system of the second camera 22 is a fixed focus optical system. The second camera moving device 52 moves the second camera 22 at least in a direction parallel to the optical axis AX2 of the second camera 22. That is, the second camera moving device 52 moves the second camera 22 at least in the Y-axis direction. In the embodiment, the second camera moving device 52 moves the second camera 22 in the Y-axis direction, and does not move the second camera 22 in the X-axis direction or the Z-axis direction.

駆動制御装置６は、ワークＷの複数の検査面がカメラ２の撮像範囲に順次配置されるように第１駆動装置３及び第２駆動装置４の少なくとも一方を制御する。実施形態において、カメラ２の光学系の光入射面と検査位置ＤＰに配置されたワークＷとは、対向する。駆動制御装置６は、ワークＷの複数の検査面がカメラ２の光学系の光入射面に順次対向するように第１駆動装置３及び第２駆動装置４の少なくとも一方を制御する。 The drive control device 6 controls at least one of the first drive device 3 and the second drive device 4 so that a plurality of inspection surfaces of the workpiece W are sequentially arranged in the imaging range of the camera 2. In the embodiment, the light incident surface of the optical system of the camera 2 and the workpiece W placed at the inspection position DP face each other. The drive control device 6 controls at least one of the first drive device 3 and the second drive device 4 so that the plurality of inspection surfaces of the workpiece W sequentially face the light incident surface of the optical system of the camera 2.

カメラ制御装置７は、ワークＷの複数の検査面が順次撮像されるようにカメラ２を制御する。カメラ制御装置７は、複数のカメラ２の撮像範囲のそれぞれに配置された複数の検査面が同時に撮像されるように、複数のカメラ２を制御する。カメラ２の撮像範囲は、カメラ２の光学系の視野範囲を含む。実施形態において、カメラ制御装置７は、第１カメラ２１の撮像範囲に配置されたワークＷの１つの検査面と第２カメラ２２の撮像範囲に配置されたワークＷの１つの検査面とが同時に撮像されるように、第１カメラ２１及び第２カメラ２２を制御する。 The camera control device 7 controls the camera 2 so that images of a plurality of inspection surfaces of the workpiece W are sequentially captured. The camera control device 7 controls the plurality of cameras 2 so that a plurality of inspection surfaces arranged in each of the imaging ranges of the plurality of cameras 2 are simultaneously imaged. The imaging range of the camera 2 includes the viewing range of the optical system of the camera 2. In the embodiment, the camera control device 7 simultaneously inspects one inspection surface of the workpiece W placed in the imaging range of the first camera 21 and one inspection surface of the workpiece W placed in the imaging range of the second camera 22. The first camera 21 and the second camera 22 are controlled so that images are captured.

画像処理装置８は、カメラ２で撮像されたワークＷの検査面の画像に基づいてワークＷの欠陥を検出する。 The image processing device 8 detects defects in the workpiece W based on the image of the inspection surface of the workpiece W taken by the camera 2.

［外観検査方法］
図４は、実施形態に係る外観検査方法の一例を示すフローチャートである。図５及び図６のそれぞれは、実施形態に係る外観検査方法の一例を模式的に示す斜視図である。 [Appearance inspection method]
FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of the visual inspection method according to the embodiment. Each of FIGS. 5 and 6 is a perspective view schematically showing an example of the appearance inspection method according to the embodiment.

ワークＷが外観検査装置１の搬入位置に搬入される。駆動制御装置６は、搬入位置において、ワークＷをクランプ部材１０にクランプさせる（ステップＳ１）。 The workpiece W is carried into the carrying position of the visual inspection apparatus 1 . The drive control device 6 causes the clamp member 10 to clamp the workpiece W at the carry-in position (step S1).

ワークＷがクランプ部材１０にクランプされた後、駆動制御装置６は、ワークＷが検査位置ＤＰに配置されるように第１駆動装置３及び第２駆動装置４の少なくとも一方を制御する。すなわち、駆動制御装置６は、ワークＷが検査位置ＤＰに配置されるように、Ｘ軸方向及びＺ軸方向のワークＷの位置を調整する。 After the workpiece W is clamped by the clamp member 10, the drive control device 6 controls at least one of the first drive device 3 and the second drive device 4 so that the workpiece W is placed at the inspection position DP. That is, the drive control device 6 adjusts the position of the workpiece W in the X-axis direction and the Z-axis direction so that the workpiece W is placed at the inspection position DP.

Ｘ軸方向のワークＷの位置を調整するとき、駆動制御装置６は、ワークＷからターンテーブル１７が離れるように第２駆動装置４を制御した状態で、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０がＸ軸方向に移動するように第１駆動装置３を制御する。 When adjusting the position of the work W in the X-axis direction, the drive control device 6 controls the second drive device 4 so that the turntable 17 moves away from the work W, and the clamp member 10 that clamps the work W The first drive device 3 is controlled to move in the axial direction.

Ｚ軸方向のワークＷの位置を調整するとき、駆動制御装置６は、ワークＷからクランプ部材１０が離れるように第１駆動装置３を制御した状態で、ワークＷを支持したターンテーブル１７がＺ軸方向に移動するように第２駆動装置４を制御する。 When adjusting the position of the workpiece W in the Z-axis direction, the drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the clamp member 10 separates from the workpiece W, and the turntable 17 supporting the workpiece W moves in the Z direction. The second drive device 4 is controlled to move in the axial direction.

実施形態において、図１及び図２に示したように、駆動制御装置６は、検査面Ｃ５が第１カメラ２１に対向し、検査面Ｃ３が第２カメラ２２に対向するように、クランプ部材１０にクランプされたワークＷを検査位置ＤＰに配置する。図１及び図２に示す例において、ワークＷは、検査面Ｃ１とクランプ部材１０Ａとが対向し、検査面Ｃ２とクランプ部材１０Ｂとが対向するように、クランプ部材１０にクランプされる。 In the embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the drive control device 6 moves the clamp member 10 so that the inspection surface C5 faces the first camera 21 and the inspection surface C3 faces the second camera 22. The workpiece W clamped is placed at the inspection position DP. In the example shown in FIGS. 1 and 2, the work W is clamped by the clamp member 10 such that the inspection surface C1 and the clamp member 10A face each other, and the inspection surface C2 and the clamp member 10B face each other.

駆動制御装置６は、第１カメラ２１と検査面Ｃ５とが対向している状態で、第１カメラ２１の光学系の焦点と検査面Ｃ５とが一致するように、第１カメラ移動装置５１を制御する。すなわち、駆動制御装置６は、第１カメラ２１の光学系の焦点と検査面Ｃ５とが一致するように、第１カメラ２１をＺ軸方向に移動させる。また、駆動制御装置６は、第２カメラ２２と検査面Ｃ３とが対向している状態で、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ３とが一致するように、第２カメラ移動装置５２を制御する。すなわち、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ３とが一致するように、第２カメラ２２をＹ軸方向に移動させる。 The drive control device 6 moves the first camera moving device 51 so that the focus of the optical system of the first camera 21 and the inspection surface C5 match with each other in a state where the first camera 21 and the inspection surface C5 are facing each other. Control. That is, the drive control device 6 moves the first camera 21 in the Z-axis direction so that the focal point of the optical system of the first camera 21 matches the inspection surface C5. The drive control device 6 also controls the second camera moving device so that the focal point of the optical system of the second camera 22 and the inspection surface C3 match with each other in a state where the second camera 22 and the inspection surface C3 are facing each other. 52. That is, the drive control device 6 moves the second camera 22 in the Y-axis direction so that the focal point of the optical system of the second camera 22 matches the inspection surface C3.

第１カメラ２１の光学系の焦点と検査面Ｃ５とが一致し、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ３とが一致した後、カメラ制御装置７は、第１カメラ２１に検査面Ｃ５を撮像させ、第２カメラ２２に検査面Ｃ３を撮像させる。カメラ制御装置７は、第１カメラ２１の撮像範囲に配置された検査面Ｃ５と、第２カメラ２２の撮像範囲に配置された検査面Ｃ３とが同時に撮像されるように、第１カメラ２１及び第２カメラ２２を制御する（ステップＳ２）。 After the focus of the optical system of the first camera 21 and the inspection surface C5 match and the focus of the optical system of the second camera 22 and the inspection surface C3 match, the camera control device 7 causes the first camera 21 to C5 is imaged, and the second camera 22 is caused to image the inspection surface C3. The camera control device 7 controls the first camera 21 and The second camera 22 is controlled (step S2).

なお、第２カメラ２２が検査面Ｃ３を撮像するとき、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の撮像範囲に対して検査面Ｃ３がＸ軸方向に移動するように、第１駆動装置３を制御してもよい。第２カメラ２２の撮像範囲よりも検査面Ｃ３が大きい場合、検査面Ｃ３がＸ軸方向の複数の位置のそれぞれに配置されたときに第２カメラ２２が検査面Ｃ３を撮像することにより、第２カメラ２２は、検査面Ｃ３の全範囲を撮像することができる。 Note that when the second camera 22 images the inspection surface C3, the drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the inspection surface C3 moves in the X-axis direction with respect to the imaging range of the second camera 22. May be controlled. When the inspection surface C3 is larger than the imaging range of the second camera 22, the second camera 22 images the inspection surface C3 when the inspection surface C3 is placed at each of a plurality of positions in the X-axis direction. The two cameras 22 can image the entire range of the inspection surface C3.

また、第１カメラ２１が検査面Ｃ５を撮像するとき、駆動制御装置６は、検査面Ｃ５に対して第１カメラ２１の撮像範囲がＸ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に移動するように、第１駆動装置３を制御してもよい。第１カメラ２１の撮像範囲よりも検査面Ｃ５が大きい場合、第１カメラ２１の撮像範囲がＸ軸方向及びＹ軸方向の複数の位置のそれぞれに配置されたときに第１カメラ２１が検査面Ｃ５を撮像することにより、第１カメラ２１は、検査面Ｃ５の全範囲を撮像することができる。 Further, when the first camera 21 images the inspection surface C5, the drive control device 6 controls the imaging range of the first camera 21 to move in at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the inspection surface C5. , the first drive device 3 may be controlled. When the inspection surface C5 is larger than the imaging range of the first camera 21, when the imaging range of the first camera 21 is arranged at each of a plurality of positions in the X-axis direction and the Y-axis direction, the first camera 21 By capturing an image of C5, the first camera 21 can image the entire range of the inspection surface C5.

なお、図１及び図２に示すように、検査面Ｃ５及び検査面Ｃ３を撮像するとき、クランプ部材１０にクランプされたワークＷを、ターンテーブル１７が下側から支持してもよい。ワークＷの重量が大きい場合、クランプ部材１０Ａとクランプ部材１０ＢとでワークＷを挟み付ける力だけでは、ワークＷの位置を維持することが困難になる可能性がある。ワークＷの重量が大きい場合、重力の作用により、クランプ部材１０にクランプされたワークＷが－Ｚ側に移動してしまう可能性がある。ターンテーブル１７がワークＷを下側から支持することにより、クランプ部材１０にクランプされたワークＷが－Ｚ側に移動することが抑制される。 In addition, as shown in FIG.1 and FIG.2, when imaging the inspection surface C5 and the inspection surface C3, the turntable 17 may support the work W clamped by the clamp member 10 from below. When the weight of the work W is large, it may be difficult to maintain the position of the work W only with the force of clamping the work W between the clamp member 10A and the clamp member 10B. When the weight of the workpiece W is large, the workpiece W clamped by the clamp member 10 may move toward the -Z side due to the action of gravity. Since the turntable 17 supports the work W from below, the work W clamped by the clamp member 10 is suppressed from moving toward the −Z side.

検査面Ｃ５及び検査面Ｃ３が撮像された後、駆動制御装置６は、検査面Ｃ６が第１カメラ２１に対向し、検査面Ｃ４が第２カメラ２２に対向するように、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を、第１回転軸ＲＸを中心に回転させる（ステップＳ３）。 After the inspection surface C5 and the inspection surface C3 were imaged, the drive control device 6 clamped the work W so that the inspection surface C6 faced the first camera 21 and the inspection surface C4 faced the second camera 22. The clamp member 10 is rotated around the first rotation axis RX (step S3).

図５に示すように、第１回転軸ＲＸを中心にクランプ部材１０を回転させるとき、駆動制御装置６は、ワークＷからターンテーブル１７が離れるように第２駆動装置４を制御する。ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を回転させるとき、ターンテーブル１７がワークＷから離れるように－Ｚ側に移動することにより、第１駆動装置３は、ワークＷを円滑に回転させることができる。 As shown in FIG. 5, when rotating the clamp member 10 around the first rotation axis RX, the drive control device 6 controls the second drive device 4 so that the turntable 17 moves away from the workpiece W. When rotating the clamp member 10 that has clamped the workpiece W, the first drive device 3 can rotate the workpiece W smoothly by moving the turntable 17 toward the -Z side away from the workpiece W.

検査面Ｃ６が第１カメラ２１に対向し、検査面Ｃ４が第２カメラ２２に対向した後、駆動制御装置６は、第１カメラ２１の光学系の焦点と検査面Ｃ６とが一致するように、第１カメラ２１をＺ軸方向に移動させ、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ４とが一致するように、第２カメラ２２をＹ軸方向に移動させる。 After the inspection surface C6 faces the first camera 21 and the inspection surface C4 faces the second camera 22, the drive control device 6 controls the inspection surface C6 so that the focus of the optical system of the first camera 21 and the inspection surface C6 coincide. , the first camera 21 is moved in the Z-axis direction, and the second camera 22 is moved in the Y-axis direction so that the focal point of the optical system of the second camera 22 coincides with the inspection surface C4.

第１カメラ２１の光学系の焦点と検査面Ｃ６とが一致し、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ４とが一致した後、カメラ制御装置７は、第１カメラ２１に検査面Ｃ６を撮像させ、第２カメラ２２に検査面Ｃ４を撮像させる。カメラ制御装置７は、第１カメラ２１の撮像範囲に配置された検査面Ｃ６と、第２カメラ２２の撮像範囲に配置された検査面Ｃ４とが同時に撮像されるように、第１カメラ２１及び第２カメラ２２を制御する（ステップＳ４）。 After the focus of the optical system of the first camera 21 and the inspection surface C6 match and the focus of the optical system of the second camera 22 and the inspection surface C4 match, the camera control device 7 causes the first camera 21 to C6 is imaged, and the second camera 22 is caused to image the inspection surface C4. The camera control device 7 controls the first camera 21 and The second camera 22 is controlled (step S4).

なお、第２カメラ２２が検査面Ｃ４を撮像するとき、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の撮像範囲に対して検査面Ｃ４がＸ軸方向に移動するように、第１駆動装置３を制御してもよい。また、第１カメラ２１が検査面Ｃ６を撮像するとき、駆動制御装置６は、検査面Ｃ６に対して第１カメラ２１の撮像範囲がＸ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に移動するように、第１駆動装置３を制御してもよい。 Note that when the second camera 22 images the inspection surface C4, the drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the inspection surface C4 moves in the X-axis direction with respect to the imaging range of the second camera 22. May be controlled. Further, when the first camera 21 images the inspection surface C6, the drive control device 6 controls the imaging range of the first camera 21 to move in at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the inspection surface C6. , the first drive device 3 may be controlled.

なお、検査面Ｃ６及び検査面Ｃ４を撮像するとき、クランプ部材１０にクランプされたワークＷを、ターンテーブル１７が下側から支持してもよい。 Note that when imaging the inspection surface C6 and the inspection surface C4, the workpiece W clamped by the clamp member 10 may be supported by the turntable 17 from below.

検査面Ｃ６及び検査面Ｃ４が撮像された後、駆動制御装置６は、ワークＷを下側からターンテーブル１７に支持させる（ステップＳ５）。 After the inspection surface C6 and the inspection surface C4 are imaged, the drive control device 6 causes the turntable 17 to support the workpiece W from below (step S5).

ターンテーブル１７がワークＷを下側から支持した後、駆動制御装置６は、クランプ部材１０によるワークＷのクランプを解除する（ステップＳ６）。 After the turntable 17 supports the workpiece W from below, the drive control device 6 releases the clamping of the workpiece W by the clamp member 10 (step S6).

駆動制御装置６は、検査面Ｃ１が第２カメラ２２に対向するように、ワークＷを支持したターンテーブル１７を、第２回転軸ＴＸを中心に回転させる（ステップＳ７）。 The drive control device 6 rotates the turntable 17 supporting the workpiece W around the second rotation axis TX so that the inspection surface C1 faces the second camera 22 (step S7).

図６に示すように、第２回転軸ＴＸを中心にターンテーブル１７を回転させるとき、駆動制御装置６は、ワークＷからクランプ部材１０が離れるように第１駆動装置３を制御する。ワークＷを支持したターンテーブル１７を回転させるとき、クランプ部材１０ＡがワークＷから離れるように＋Ｘ側に移動し、クランプ部材１０ＢがワークＷから離れるように－Ｘ側に移動することにより、第２駆動装置４は、ワークＷを円滑に回転させることができる。 As shown in FIG. 6, when rotating the turntable 17 around the second rotation axis TX, the drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the clamp member 10 moves away from the workpiece W. When the turntable 17 supporting the work W is rotated, the clamp member 10A moves to the +X side away from the work W, and the clamp member 10B moves to the -X side away from the work W. The drive device 4 can rotate the workpiece W smoothly.

検査面Ｃ１が第２カメラ２２に対向した後、駆動制御装置６は、ワークＷをクランプ部材１０にクランプさせる。また、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ１とが一致するように、第２カメラ２２をＹ軸方向に移動させる。 After the inspection surface C1 faces the second camera 22, the drive control device 6 causes the clamp member 10 to clamp the workpiece W. Further, the drive control device 6 moves the second camera 22 in the Y-axis direction so that the focal point of the optical system of the second camera 22 and the inspection surface C1 match.

第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ１とが一致した後、カメラ制御装置７は、第２カメラ２２に検査面Ｃ１を撮像させる（ステップＳ８）。 After the focus of the optical system of the second camera 22 and the inspection surface C1 match, the camera control device 7 causes the second camera 22 to image the inspection surface C1 (step S8).

なお、第２カメラ２２が検査面Ｃ１を撮像するとき、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の撮像範囲に対して検査面Ｃ１がＸ軸方向に移動するように、第１駆動装置３を制御してもよい。 Note that when the second camera 22 images the inspection surface C1, the drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the inspection surface C1 moves in the X-axis direction with respect to the imaging range of the second camera 22. May be controlled.

なお、検査面Ｃ１を撮像するとき、クランプ部材１０にクランプされたワークＷをターンテーブル１７が下側から支持してもよい。 Note that when imaging the inspection surface C1, the workpiece W clamped by the clamp member 10 may be supported by the turntable 17 from below.

検査面Ｃ１が撮像された後、駆動制御装置６は、ワークＷを下側からターンテーブル１７に支持させる。 After the inspection surface C1 is imaged, the drive control device 6 causes the turntable 17 to support the workpiece W from below.

ターンテーブル１７がワークＷを下側から支持した後、駆動制御装置６は、クランプ部材１０によるワークＷのクランプを解除する。 After the turntable 17 supports the workpiece W from below, the drive control device 6 releases the clamping of the workpiece W by the clamp member 10.

駆動制御装置６は、検査面Ｃ２が第２カメラ２２に対向するように、ワークＷを支持したターンテーブル１７を、第２回転軸ＴＸを中心に回転させる。 The drive control device 6 rotates the turntable 17 supporting the workpiece W around the second rotation axis TX so that the inspection surface C2 faces the second camera 22.

検査面Ｃ２が第２カメラ２２に対向した後、駆動制御装置６は、ワークＷをクランプ部材１０にクランプさせる。また、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ２とが一致するように、第２カメラ２２をＹ軸方向に移動させる。 After the inspection surface C2 faces the second camera 22, the drive control device 6 causes the clamp member 10 to clamp the workpiece W. Further, the drive control device 6 moves the second camera 22 in the Y-axis direction so that the focal point of the optical system of the second camera 22 matches the inspection surface C2.

第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面Ｃ２とが一致した後、カメラ制御装置７は、第２カメラ２２に検査面Ｃ２を撮像させる（ステップＳ９）。 After the focus of the optical system of the second camera 22 and the inspection surface C2 match, the camera control device 7 causes the second camera 22 to image the inspection surface C2 (step S9).

なお、第２カメラ２２が検査面Ｃ２を撮像するとき、駆動制御装置６は、第２カメラ２２の撮像範囲に対して検査面Ｃ２がＸ軸方向に移動するように、第１駆動装置３を制御してもよい。 Note that when the second camera 22 images the inspection surface C2, the drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the inspection surface C2 moves in the X-axis direction with respect to the imaging range of the second camera 22. May be controlled.

なお、検査面Ｃ２を撮像するとき、クランプ部材１０にクランプされたワークＷをターンテーブル１７が下側から支持してもよい。 Note that when imaging the inspection surface C2, the workpiece W clamped by the clamp member 10 may be supported by the turntable 17 from below.

以上により、カメラ２による６つの検査面Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６の撮像が終了する。６つの検査面Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６の撮像が終了した後、ワークＷが外観検査装置１から搬出される。 With the above, imaging of the six inspection surfaces C1, C2, C3, C4, C5, and C6 by the camera 2 is completed. After the imaging of the six inspection surfaces C1, C2, C3, C4, C5, and C6 is completed, the work W is carried out from the visual inspection apparatus 1.

カメラ２で撮像された６つの検査面Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６の画像は、画像処理装置８に送信される。画像処理装置８は、６つの検査面Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６の画像に基づいて、ワークＷの欠陥を検出する。 Images of the six inspection surfaces C1, C2, C3, C4, C5, and C6 captured by the camera 2 are transmitted to the image processing device 8. The image processing device 8 detects defects in the workpiece W based on images of the six inspection surfaces C1, C2, C3, C4, C5, and C6.

なお、ワークＷが６つの検査面を有する場合において、上述の外観検査方法は一例である。撮像回数が最少になるように、第１回転軸ＲＸを中心とするワークＷの回転角度又は回転回数、第２回転軸ＴＸを中心とするワークＷの回転角度又は回転回数、及び第１回転軸ＲＸ又は第２回転軸ＴＸを中心とするワークＷの回転順序などが最適化される。 In addition, in the case where the work W has six inspection surfaces, the above-mentioned appearance inspection method is an example. The rotation angle or number of rotations of the work W around the first rotation axis RX, the rotation angle or number of rotations of the work W around the second rotation axis TX, and the first rotation axis so that the number of imaging times is minimized. The rotation order of the workpiece W around RX or the second rotation axis TX is optimized.

また、６つの検査面Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６の全部が撮像されなくてもよく、例えば、４つの検査面Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６がカメラ２で撮像されてもよい。 Furthermore, all of the six inspection surfaces C1, C2, C3, C4, C5, and C6 do not need to be imaged; for example, the four inspection surfaces C3, C4, C5, and C6 may be imaged by the camera 2.

［効果］
以上説明したように、実施形態によれば、外観検査装置１は、検査位置ＤＰに配置されたワークＷを撮像するカメラ２と、検査位置ＤＰにおいて第１回転軸ＲＸを中心にワークＷを回転させる第１駆動装置３と、検査位置ＤＰにおいて第２回転軸ＴＸを中心にワークＷを回転させる第２駆動装置４と、ワークＷの複数の検査面がカメラ２の撮像範囲に順次配置されるように第１駆動装置３及び第２駆動装置４の少なくとも一方を制御する駆動制御装置６と、複数の検査面が順次撮像されるようにカメラ２を制御するカメラ制御装置７と、カメラ２で撮像された検査面の画像に基づいてワークＷの欠陥を検出する画像処理装置８と、を備える。ワークＷが第１回転軸ＲＸ及び第２回転軸ＴＸの少なくとも一方を中心に回転されることにより、カメラ２は、ワークＷの複数の検査面を効率良く撮像することができる。１台の外観検査装置１で、ワークＷの複数の検査面が効率良く検査される。 [effect]
As described above, according to the embodiment, the visual inspection apparatus 1 includes a camera 2 that images the workpiece W placed at the inspection position DP, and a camera 2 that rotates the workpiece W around the first rotation axis RX at the inspection position DP. A first drive device 3 that rotates the workpiece W around the second rotation axis TX at the inspection position DP, and a plurality of inspection surfaces of the workpiece W are sequentially arranged in the imaging range of the camera 2. A drive control device 6 that controls at least one of the first drive device 3 and the second drive device 4; a camera control device 7 that controls the camera 2 so that a plurality of inspection surfaces are sequentially imaged; It includes an image processing device 8 that detects defects in the workpiece W based on the captured image of the inspection surface. By rotating the work W around at least one of the first rotation axis RX and the second rotation axis TX, the camera 2 can efficiently image a plurality of inspection surfaces of the work W. A plurality of inspection surfaces of the workpiece W can be efficiently inspected by one appearance inspection apparatus 1.

第１駆動装置３は、ワークＷをクランプするクランプ部材１０と、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を、第１回転軸ＲＸを中心に回転させる第１回転アクチュエータ１１と、を有する。これにより、ワークＷは、第１回転軸ＲＸを中心に回転される。 The first drive device 3 includes a clamp member 10 that clamps the workpiece W, and a first rotation actuator 11 that rotates the clamp member 10 that has clamped the workpiece W around a first rotation axis RX. Thereby, the workpiece W is rotated about the first rotation axis RX.

第１駆動装置３は、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を、第１回転軸ＲＸに平行なＸ軸方向へ移動させる第１並進アクチュエータ１２を有する。これにより、ワークＷは、Ｘ軸方向へ移動される。第１駆動装置３は、カメラ２の撮像範囲に対するワークＷの位置を調整することができる。実施形態において、第１駆動装置３は、第１カメラ２１の撮像範囲に対するワークＷのＸ軸方向の位置及び第２カメラ２２の撮像範囲に対するワークＷのＸ軸方向の位置を調整することができる。 The first drive device 3 includes a first translation actuator 12 that moves the clamp member 10 that clamps the workpiece W in the X-axis direction parallel to the first rotation axis RX. Thereby, the workpiece W is moved in the X-axis direction. The first drive device 3 can adjust the position of the work W with respect to the imaging range of the camera 2. In the embodiment, the first driving device 3 can adjust the position of the workpiece W in the X-axis direction with respect to the imaging range of the first camera 21 and the position of the workpiece W in the X-axis direction with respect to the imaging range of the second camera 22. .

第２駆動装置４は、ワークＷを下側から支持するターンテーブル１７と、ワークＷを支持したターンテーブル１７を、第２回転軸ＴＸを中心に回転させる第２回転アクチュエータ１８と、を有する。これにより、ワークＷは、第２回転軸ＴＸを中心に回転される。 The second drive device 4 includes a turntable 17 that supports the workpiece W from below, and a second rotation actuator 18 that rotates the turntable 17 that supports the workpiece W around a second rotation axis TX. Thereby, the workpiece W is rotated around the second rotation axis TX.

第２駆動装置４は、ワークＷを支持したターンテーブル１７を、第２回転軸ＴＸに平行なＺ軸方向へ移動させる第２並進アクチュエータ１９を有する。これにより、ワークＷは、Ｚ軸方向へ移動される。第２駆動装置４は、カメラ２の撮像範囲に対するワークＷの位置を調整することができる。実施形態において、第２駆動装置４は、第１カメラ２１の撮像範囲に対するワークＷのＺ軸方向の位置及び第２カメラ２２の撮像範囲に対するワークＷのＺ軸方向の位置を調整することができる。 The second drive device 4 includes a second translation actuator 19 that moves the turntable 17 supporting the workpiece W in the Z-axis direction parallel to the second rotation axis TX. Thereby, the workpiece W is moved in the Z-axis direction. The second drive device 4 can adjust the position of the work W with respect to the imaging range of the camera 2. In the embodiment, the second drive device 4 can adjust the position of the workpiece W in the Z-axis direction with respect to the imaging range of the first camera 21 and the position of the workpiece W in the Z-axis direction with respect to the imaging range of the second camera 22. .

カメラ２の光学系の光軸に平行な方向へカメラ２を移動させるカメラ移動装置５が設けられる。これにより、カメラ２の光学系が固定焦点光学系である場合、カメラ２の光学系の焦点と検査面とを一致させることができる。実施形態において、第１カメラ移動装置５１は、第１カメラ２１を光軸ＡＸ１に平行なＺ軸方向へ移動させることにより、第１カメラ２１の光学系の焦点と検査面とを一致させることができる。第２カメラ移動装置５２は、第２カメラ２２を光軸ＡＸ２に平行なＹ軸方向へ移動させることにより、第２カメラ２２の光学系の焦点と検査面とを一致させることができる。 A camera moving device 5 is provided that moves the camera 2 in a direction parallel to the optical axis of the optical system of the camera 2. Thereby, when the optical system of the camera 2 is a fixed focus optical system, the focal point of the optical system of the camera 2 can be made to coincide with the inspection surface. In the embodiment, the first camera moving device 51 can align the focus of the optical system of the first camera 21 with the inspection surface by moving the first camera 21 in the Z-axis direction parallel to the optical axis AX1. can. The second camera moving device 52 can align the focus of the optical system of the second camera 22 with the inspection surface by moving the second camera 22 in the Y-axis direction parallel to the optical axis AX2.

駆動制御装置６は、ワークＷをクランプしたクランプ部材１０を回転させるとき、ワークＷからターンテーブル１７が離れるように第２駆動装置４を制御する。これにより、ワークＷは、第１回転軸ＲＸを中心に円滑に回転することができる。駆動制御装置６は、ワークＷを支持したターンテーブル１７を回転させるとき、ワークＷからクランプ部材１０が離れるように第１駆動装置３を制御する。これにより、ワークＷは、第２回転軸ＴＸを中心に円滑に回転することができる。 The drive control device 6 controls the second drive device 4 so that the turntable 17 moves away from the work W when rotating the clamp member 10 that clamps the work W. Thereby, the workpiece W can smoothly rotate around the first rotation axis RX. The drive control device 6 controls the first drive device 3 so that the clamp member 10 is separated from the workpiece W when the turntable 17 supporting the workpiece W is rotated. Thereby, the work W can smoothly rotate around the second rotation axis TX.

駆動制御装置６は、第１並進アクチュエータ１２及び第２並進アクチュエータ１９の少なくとも一方を制御して、ワークＷを検査位置ＤＰに配置することができる。 The drive control device 6 can control at least one of the first translation actuator 12 and the second translation actuator 19 to place the workpiece W at the inspection position DP.

第１回転軸ＲＸと第２回転軸ＴＸとは直交する。第１カメラ移動装置５１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向のそれぞれへ第１カメラ２１を移動させる。これにより、第１カメラ２１とワークＷとの相対位置が調整される。 The first rotation axis RX and the second rotation axis TX are orthogonal to each other. The first camera moving device 51 moves the first camera 21 in each of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. Thereby, the relative position between the first camera 21 and the workpiece W is adjusted.

カメラ２は、複数設けられる。カメラ制御装置７は、複数のカメラ２の撮像範囲のそれぞれに配置された複数の検査面が同時に撮像されるように、複数のカメラ２を制御する。これにより、ワークＷの複数の検査面が効率良く撮像される。 A plurality of cameras 2 are provided. The camera control device 7 controls the plurality of cameras 2 so that a plurality of inspection surfaces arranged in each of the imaging ranges of the plurality of cameras 2 are simultaneously imaged. Thereby, multiple inspection surfaces of the work W can be efficiently imaged.

［その他の実施形態］
上述の実施形態において、カメラ制御装置７は、１つの検査面をカメラ２に複数回撮像させてもよい。例えば、第１カメラ２１が１つの検査面を撮像するとき、駆動制御装置６は、クランプ部材１０にクランプされたワークＷが第１回転軸ＲＸを中心とする傾斜方向に傾斜するように、第１駆動装置３を制御してもよい。検査面が複数の傾斜角度のそれぞれに傾いたときに照明装置２Ｂに照明された検査面が第１カメラ２１に撮像されることにより、画像処理装置８は、第１カメラ２１に撮像された画像に基づいて、検査面の欠陥を検出し易くなる可能性がある。検査面に欠陥が存在する場合、検査面の傾斜角度により、照明装置２Ｂから検査面に照射された照明光の反射状態が変化する可能性がある。画像処理装置８は、第１カメラ２１により撮像された照明光の反射状態に基づいて、検査面の欠陥を高精度に検出することができる。 [Other embodiments]
In the embodiment described above, the camera control device 7 may cause the camera 2 to image one inspection surface multiple times. For example, when the first camera 21 images one inspection surface, the drive control device 6 controls the first camera 21 so that the work W clamped by the clamp member 10 is tilted in a tilt direction centered on the first rotation axis RX. 1 drive device 3 may be controlled. When the inspection surface is tilted at each of a plurality of inclination angles, the inspection surface illuminated by the illumination device 2B is imaged by the first camera 21, so that the image processing device 8 converts the image captured by the first camera 21 into an image. Based on this, it may become easier to detect defects on the inspection surface. When a defect exists on the inspection surface, the reflection state of the illumination light irradiated onto the inspection surface from the illumination device 2B may change depending on the inclination angle of the inspection surface. The image processing device 8 can detect defects on the inspection surface with high accuracy based on the reflection state of the illumination light captured by the first camera 21.

上述の実施形態において、複数のカメラ２は、同一の種類でもよい。複数のカメラ２の光学系の分解能は、同じでもよい。複数のカメラ２の光学系の画角は、同じでもよい。複数のカメラ２のイメージセンサの画素数は、同じでもよい。複数のカメラ２の解像度は、同じでもよい。 In the embodiments described above, the plurality of cameras 2 may be of the same type. The resolutions of the optical systems of the plurality of cameras 2 may be the same. The angles of view of the optical systems of the plurality of cameras 2 may be the same. The number of pixels of the image sensors of the plurality of cameras 2 may be the same. The resolutions of the plurality of cameras 2 may be the same.

上述の実施形態において、複数のカメラ２は、異なる種類でもよい。複数のカメラ２の光学系の分解能は、相互に異なってもよい。例えば、第１カメラ２１の光学系の分解能が第２カメラ２２の光学系の分解能よりも高くてもよい。高い分解能の第１カメラ２１により、検査面の欠陥が高精度に検出される。低い分解能の第２カメラ２２により、外観検査装置１のコストが抑制される。また、第１カメラ２１の光学系の画角が、第２カメラ２２の光学系の画角よりも小さくてもよい。また、第１カメラ２１のイメージセンサの画素数が、第２カメラ２２のイメージセンサの画素数よりも多くてもよい。第１カメラ２１の解像度が、第２カメラ２２の解像度よりも高くてもよい。 In the embodiments described above, the plurality of cameras 2 may be of different types. The resolutions of the optical systems of the plurality of cameras 2 may be different from each other. For example, the resolution of the optical system of the first camera 21 may be higher than the resolution of the optical system of the second camera 22. Defects on the inspection surface are detected with high precision by the first camera 21 with high resolution. The cost of the visual inspection apparatus 1 is suppressed by the second camera 22 having a low resolution. Further, the angle of view of the optical system of the first camera 21 may be smaller than the angle of view of the optical system of the second camera 22. Further, the number of pixels of the image sensor of the first camera 21 may be greater than the number of pixels of the image sensor of the second camera 22. The resolution of the first camera 21 may be higher than the resolution of the second camera 22.

上述の実施形態において、ワークＷに孔が形成されてもよい。孔を有するワークＷとして、シリンダブロックが例示される。孔を有するワークＷをカメラ２が撮像する場合、ワークＷが第１回転軸ＲＸを中心とする傾斜方向に傾斜するように第１駆動装置３が制御されたり、ワークＷが第２回転軸ＴＸを中心とする傾斜方向に傾斜するように第２駆動装置４が制御されたりしてもよい。ワークＷが傾斜されることにより、照明装置２Ｂから射出された照明光は、ワークＷの孔の内面に満遍なく照射される。これにより、ワークＷの孔の内面の欠陥が高精度に検出される。 In the embodiments described above, holes may be formed in the workpiece W. A cylinder block is exemplified as the workpiece W having holes. When the camera 2 images a workpiece W having a hole, the first drive device 3 is controlled so that the workpiece W is tilted in a tilting direction centered on the first rotational axis RX, or the workpiece W is tilted in a tilting direction centered on the first rotational axis RX. The second drive device 4 may be controlled to tilt in a tilting direction centered at . By tilting the work W, the illumination light emitted from the illumination device 2B is evenly irradiated onto the inner surface of the hole of the work W. Thereby, defects on the inner surface of the hole in the workpiece W can be detected with high precision.

上述の実施形態において、ワークＷは、金属製品でもよいし、合成樹脂製品でもよいし、合成皮革製品でもよい。 In the embodiments described above, the workpiece W may be a metal product, a synthetic resin product, or a synthetic leather product.

１…外観検査装置、２…カメラ、２Ａ…カメラ本体、２Ｂ…照明装置、３…第１駆動装置、４…第２駆動装置、５…カメラ移動装置、６…駆動制御装置、７…カメラ制御装置、８…画像処理装置、９…スライド部材、９Ａ…スライド部材、９Ｂ…スライド部材、１０…クランプ部材、１０Ａ…クランプ部材、１０Ｂ…クランプ部材、１１…第１回転アクチュエータ、１１Ａ…第１回転アクチュエータ、１１Ｂ…第１回転アクチュエータ、１２…第１並進アクチュエータ、１２Ａ…第１並進アクチュエータ、１２Ｂ…第１並進アクチュエータ、１３…ベースプレート、１４…ガイド部材、１４Ａ…ガイド部材、１４Ｂ…ガイド部材、１５…ベース部材、１６…支持部材、１７…ターンテーブル、１８…第２回転アクチュエータ、１９…第２並進アクチュエータ、２１…第１カメラ、２２…第２カメラ、５１…第１カメラ移動装置、５２…第２カメラ移動装置、１３１…開口、ＡＸ１…光軸、ＡＸ２…光軸、Ｃ１…検査面、Ｃ２…検査面、Ｃ３…検査面、Ｃ４…検査面、Ｃ５…検査面、Ｃ６…検査面、ＤＰ…検査位置、ＲＸ…第１回転軸、ＴＸ…第２回転軸、Ｗ…ワーク。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Visual inspection device, 2... Camera, 2A... Camera body, 2B... Illumination device, 3... First drive device, 4... Second drive device, 5... Camera movement device, 6... Drive control device, 7... Camera control Device, 8... Image processing device, 9... Slide member, 9A... Slide member, 9B... Slide member, 10... Clamp member, 10A... Clamp member, 10B... Clamp member, 11... First rotation actuator, 11A... First rotation Actuator, 11B...first rotation actuator, 12...first translation actuator, 12A...first translation actuator, 12B...first translation actuator, 13...base plate, 14...guide member, 14A...guide member, 14B...guide member, 15 ... base member, 16 ... support member, 17 ... turntable, 18 ... second rotation actuator, 19 ... second translation actuator, 21 ... first camera, 22 ... second camera, 51 ... first camera moving device, 52 ... Second camera moving device, 131...Aperture, AX1...Optical axis, AX2...Optical axis, C1...Inspection surface, C2...Inspection surface, C3...Inspection surface, C4...Inspection surface, C5...Inspection surface, C6...Inspection surface, DP...Inspection position, RX...First rotation axis, TX...Second rotation axis, W...Work.

Claims (13)

検査位置に配置されたワークを撮像するカメラと、
前記検査位置において第１軸を中心に前記ワークを回転させる第１駆動装置と、
前記検査位置において第２軸を中心に前記ワークを回転させる第２駆動装置と、
前記ワークの複数の検査面が前記カメラの撮像範囲に順次配置されるように前記第１駆動装置及び前記第２駆動装置の少なくとも一方を制御する駆動制御装置と、
複数の前記検査面が順次撮像されるように前記カメラを制御するカメラ制御装置と、
前記カメラで撮像された前記検査面の画像に基づいて前記ワークの欠陥を検出する画像処理装置と、を備える、
外観検査装置。 A camera that images the workpiece placed at the inspection position;
a first drive device that rotates the workpiece around a first axis at the inspection position;
a second drive device that rotates the workpiece around a second axis at the inspection position;
a drive control device that controls at least one of the first drive device and the second drive device so that a plurality of inspection surfaces of the workpiece are sequentially arranged in an imaging range of the camera;
a camera control device that controls the camera so that the plurality of inspection surfaces are sequentially imaged;
an image processing device that detects defects in the workpiece based on an image of the inspection surface captured by the camera;
Appearance inspection equipment. 前記第１駆動装置は、前記ワークをクランプするクランプ部材と、前記ワークをクランプした前記クランプ部材を、前記第１軸を中心に回転させる第１回転アクチュエータと、を有する、
請求項１に記載の外観検査装置。 The first drive device includes a clamp member that clamps the workpiece, and a first rotation actuator that rotates the clamp member that has clamped the workpiece around the first axis.
The appearance inspection device according to claim 1. 前記第１駆動装置は、前記ワークをクランプした前記クランプ部材を、前記第１軸に平行な方向へ移動させる第１並進アクチュエータを有する、
請求項２に記載の外観検査装置。 The first drive device includes a first translation actuator that moves the clamp member that has clamped the workpiece in a direction parallel to the first axis.
The appearance inspection device according to claim 2. 前記第２駆動装置は、前記ワークを下側から支持するターンテーブルと、前記ワークを支持した前記ターンテーブルを、前記第２軸を中心に回転させる第２回転アクチュエータと、を有する、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の外観検査装置。 The second drive device includes a turntable that supports the workpiece from below, and a second rotation actuator that rotates the turntable that supports the workpiece around the second axis.
The appearance inspection device according to any one of claims 1 to 3. 前記第２駆動装置は、前記ワークを支持した前記ターンテーブルを、前記第２軸に平行な方向へ移動させる第２並進アクチュエータを有する、
請求項４に記載の外観検査装置。 The second drive device includes a second translation actuator that moves the turntable supporting the workpiece in a direction parallel to the second axis.
The appearance inspection device according to claim 4. 前記カメラの光軸に平行な方向へ前記カメラを移動させるカメラ移動装置を備える、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の外観検査装置。 comprising a camera moving device that moves the camera in a direction parallel to the optical axis of the camera;
The appearance inspection device according to any one of claims 1 to 5. 前記第１駆動装置は、前記ワークをクランプするクランプ部材と、前記ワークをクランプした前記クランプ部材を、前記第１軸を中心に回転させる第１回転アクチュエータと、を有し、
前記第２駆動装置は、前記ワークを下側から支持するターンテーブルと、前記ワークを支持した前記ターンテーブルを、前記第２軸を中心に回転させる第２回転アクチュエータと、を有し、
前記駆動制御装置は、前記クランプ部材を回転させるとき、前記ワークから前記ターンテーブルが離れるように前記第２駆動装置を制御し、前記ターンテーブルを回転させるとき、前記ワークから前記クランプ部材が離れるように前記第１駆動装置を制御する、
請求項１に記載の外観検査装置。 The first drive device includes a clamp member that clamps the workpiece, and a first rotation actuator that rotates the clamp member that has clamped the workpiece around the first axis,
The second drive device includes a turntable that supports the workpiece from below, and a second rotation actuator that rotates the turntable that supports the workpiece around the second axis,
The drive control device controls the second drive device so that the turntable moves away from the work when rotating the clamp member, and controls the second drive so that the clamp member moves away from the work when rotating the turntable. controlling the first drive device to
The appearance inspection device according to claim 1. 前記第１駆動装置は、前記ワークをクランプした前記クランプ部材を、前記第１軸に平行な方向へ移動させる第１並進アクチュエータを有し、
前記第２駆動装置は、前記ワークを支持した前記ターンテーブルを、前記第２軸に平行な方向へ移動させる第２並進アクチュエータを有し、
前記駆動制御装置は、前記ワークが前記検査位置に配置されるように前記第１駆動装置及び前記第２駆動装置の少なくとも一方を制御する、
請求項７に記載の外観検査装置。 The first drive device includes a first translation actuator that moves the clamp member that clamps the workpiece in a direction parallel to the first axis,
The second drive device includes a second translation actuator that moves the turntable supporting the workpiece in a direction parallel to the second axis,
The drive control device controls at least one of the first drive device and the second drive device so that the workpiece is placed at the inspection position.
The appearance inspection device according to claim 7. 前記第１軸と前記第２軸とは直交し、
前記第１軸及び前記第２軸のそれぞれに直交する第３軸に平行な方向へ前記カメラを移動させるカメラ移動装置を備える、
請求項７又は請求項８に記載の外観検査装置。 the first axis and the second axis are orthogonal to each other,
comprising a camera moving device that moves the camera in a direction parallel to a third axis perpendicular to each of the first axis and the second axis;
The appearance inspection device according to claim 7 or claim 8. 前記カメラ移動装置は、前記第１軸に平行な方向及び前記第２軸に平行な方向のそれぞれへ前記カメラを移動させる、
請求項９に記載の外観検査装置。 The camera moving device moves the camera in a direction parallel to the first axis and a direction parallel to the second axis, respectively.
The appearance inspection device according to claim 9. 前記カメラは、複数設けられ、
前記カメラ制御装置は、複数のカメラの撮像範囲のそれぞれに配置された複数の検査面が同時に撮像されるように、複数の前記カメラを制御する、
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の外観検査装置。 A plurality of cameras are provided,
The camera control device controls the plurality of cameras so that a plurality of inspection surfaces arranged in respective imaging ranges of the plurality of cameras are simultaneously imaged.
The visual inspection device according to any one of claims 1 to 10. 複数の前記カメラの分解能は、相互に異なる、
請求項１１に記載の外観検査装置。 The resolutions of the plurality of cameras are different from each other,
The appearance inspection device according to claim 11. 検査位置に配置されたワークの複数の検査面がカメラの撮像範囲に順次配置されるように、第１軸及び第２軸の少なくとも一方を中心に前記ワークを回転させることと、
前記撮像範囲に配置された複数の前記検査面を前記カメラで順次撮像することと、
前記カメラで撮像された前記検査面の画像に基づいて前記ワークの欠陥を検出することと、を含む、
外観検査方法。 rotating the workpiece around at least one of a first axis and a second axis so that a plurality of inspection surfaces of the workpiece placed at an inspection position are sequentially placed in an imaging range of a camera;
Sequentially imaging the plurality of inspection surfaces arranged in the imaging range with the camera;
Detecting defects in the workpiece based on an image of the inspection surface captured by the camera;
Appearance inspection method.
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