JP2023124546A - 研磨装置および研磨装置における研磨終点検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】研磨終点を精度良く検出する。
【解決手段】研磨装置は、研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、前記研磨パッドに対向するように研磨対象物を保持するための保持部と、前記研磨テーブルを回転駆動するためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を回転させるためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を揺動させるためのモータ、のうちの少なくとも１つのモータと、前記少なくとも１つのモータに駆動電流を供給するように構成された１または複数のドライバであって、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じたデジタル信号をさらに出力するように構成されたドライバと、前記ドライバから出力された前記デジタル信号に基づいて、前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出する終点検出部と、を備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、研磨装置および研磨装置における研磨終点検出方法に関する。

半導体デバイスの製造装置のひとつに、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing、化学機械研磨）装置がある。代表的なＣＭＰ装置は、研磨パッドが取り付けられた研磨テーブルと、研磨対象である基板が取り付けられた研磨ヘッドとを備える。代表的なＣＭＰ装置においては、研磨液を研磨パッドに供給し、研磨パッドと基板とを接触させた状態で研磨テーブルおよび研磨ヘッドの少なくとも一方を回転させることで基板が研磨される。

ＣＭＰ装置等の研磨装置における研磨工程では、研磨により除去すべき膜が除去された研磨終点を精度良く検出することが重要である。研磨終点を検出する方法として、研磨対象物の表面の材質が研磨により異材質の物質へ移行した際の研磨摩擦力の変化を検出する方法が知られている（例えば特許文献１、２参照）。

特許第６３７７４６３号公報 特許第６５４７０４３号公報

特許文献１では、研磨摩擦力の変化を検出するために、研磨テーブル等を回転させるためのモータへ供給される駆動電流を電流センサによって計測している。そのため、計測した信号にノイズが混入した場合に、あるいは電流センサ自体の精度に起因する誤差のために、研磨終点の検出精度が低下するおそれがある。また特許文献２では、モータに駆動電流を供給するドライバからアナログの電流指令値を出力し、これを研磨終点の判定に用いているが、この指令値の信号に対してＡＤ変換、増幅、整流などの処理をする必要がある。そして、ＡＤ変換前のドライバからのアナログ信号はノイズの影響を受けやすく、また信号を増幅および整流することで、信号から研磨終点検出に必要な情報（信号の微小な変化）が失われてしまう可能性もある。さらに、引用文献１および２のいずれの構成においても、複数のモータ（またはドライバ）から得られる信号を同期させることが困難であるため、複数種類の信号を用いて研磨終点を検出することができなかった。

［形態１］形態１によれば、研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、前記研磨パッドに対向するように研磨対象物を保持するための保持部と、前記研磨テーブルを回転駆動するためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を回転させるためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を揺動させるためのモータ、のうちの少なくとも１つのモータと、前記少なくとも１つのモータに駆動電流を供給するように構成された１または複数のドライバであって、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じたデジタル信号をさらに出力するように構成されたドライバと、前記ドライバから出力された前記デジタル信号に基づいて、前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出する終点検出部と、を備える研磨装置が提供される。

［形態２］形態２によれば、形態１の研磨装置において、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じた前記デジタル信号は、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転
角度を示す信号である。

［形態３］形態３によれば、形態１の研磨装置において、前記ドライバは、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度に基づいて前記駆動電流を制御するように構成され、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じた前記デジタル信号は、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度に基づく前記駆動電流を生成するための指令値を表すデジタル信号である。

［形態４］形態４によれば、形態１の研磨装置において、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じた前記デジタル信号は、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度を示す信号と、前記駆動電流を生成するための指令値を表すデジタル信号の両方であり、前記終点検出部は、前記両方のデジタル信号に基づいて前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出するように構成される。

［形態５］形態５によれば、形態４の研磨装置において、前記終点検出部は、前記両方のデジタル信号がそれぞれ所定の変化を示した場合に研磨終点に到達したと判定するように構成される。

［形態６］形態６によれば、形態２から５のいずれか１つの研磨装置において、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度を検出するためのエンコーダをさらに備える。

［形態７］形態７によれば、形態１から６のいずれか１つの研磨装置において、前記終点検出部は、複数の前記ドライバから出力された複数の前記デジタル信号に基づいて前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出するように構成される。

［形態８］形態８によれば、形態７の研磨装置において、前記終点検出部は、前記複数のドライバから出力された前記複数のデジタル信号がそれぞれ所定の変化を示した場合に研磨終点に到達したと判定するように構成される。

［形態９］形態９によれば、研磨装置において研磨の終了を示す研磨終点を検出する方法であって、前記研磨装置は、研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、前記研磨パッドに対向するように研磨対象物を保持するための保持部と、前記研磨テーブルを回転駆動するためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を回転させるためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を揺動させるためのモータ、のうちの少なくとも１つのモータと、１または複数のドライバと、終点検出部と、を備え、前記方法は、前記ドライバが、前記少なくとも１つのモータに駆動電流を供給するステップと、前記ドライバが、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じたデジタル信号をさらに出力するステップと、前記終点検出部が、前記ドライバから出力された前記デジタル信号に基づいて、前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出するステップと、を含む、方法が提供される。

本発明の一実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略図である。 本発明の一実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略図である。 本発明の一実施形態に係る研磨装置におけるモータ制御および研磨終点検出に関わる構成要素を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る研磨装置の終点検出部における研磨終点検出処理の一例を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る研磨装置の終点検出部における研磨終点検出処理の一例を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る研磨装置の終点検出部における研磨終点検出処理の一例を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図１および図２は、本発明の一実施形態に係る研磨装置１０の全体構成を示す概略図である。図示されるように、研磨装置１０は、研磨パッド３１を保持するための研磨テーブル３０と、研磨対象物（例えば図２に示される半導体ウェハ等の基板１００）を研磨パッド３１に対向するよう保持して研磨パッド３１の研磨面に押圧するトップリング４０（保持部）と、研磨テーブル３０を回転させるためのテーブル駆動モータ３３と、トップリング４０を回転させるためのトップリング駆動モータ４３と、テーブル駆動モータ３３に駆動電流を供給するドライバ３４と、トップリング駆動モータ４３に駆動電流を供給するドライバ４４を備える。

研磨テーブル３０は、テーブルシャフト３２を介してその下方に配置されるテーブル駆動モータ３３に連結されている。テーブル駆動モータ３３が回転駆動することにより、研磨テーブル３０は、テーブルシャフト３２の軸周りに回転することが可能となっている。研磨テーブル３０の上面には、研磨パッド３１が貼付されている。研磨パッド３１の表面３１１は、基板１００を研磨する研磨面を構成する。研磨テーブル３０の上方には不図示の研磨液供給ノズルが設置され、研磨テーブル３０上の研磨パッド３１に、研磨液供給ノズルから研磨液が供給される。

トップリング４０は、トップリングシャフト４２を介してアーム５０に支持されている。トップリングシャフト４２は、図示しない上下動機構によりアーム５０に対して上下動することが可能である。トップリングシャフト４２の上下動により、アーム５０に対してトップリング４０を昇降させ位置決めすることができる。トップリング４０は、その下面に半導体ウェハ等の基板１００を保持できるように構成される。具体的に、トップリング４０は、図２に示されるように、基板１００の外周縁を保持して基板１００がトップリング４０から飛び出さないようにするリテーナリング４１Ａと、基板１００を研磨面３１１に対して押圧するトップリング本体４１Ｂとを備えている。

トップリング４０を支持するアーム５０には、トップリング駆動モータ４３が固定されている。また図２に示されるように、トップリングシャフト４２は回転筒６１に連結されており、この回転筒６１の外周部に設けられたタイミングプーリ６２は、タイミングベルト６３を介して、トップリング駆動モータ４３に設けられたタイミングプーリ６４に接続されている。これにより、トップリング駆動モータ４３が回転すると、タイミングプーリ６４、タイミングベルト６３、およびタイミングプーリ６２を介して回転筒６１およびトップリングシャフト４２が一体に回転し、トップリング４０が、トップリングシャフト４２の軸周りに回転する。

アーム５０は、アームシャフト５２に固定されたアーム駆動モータ５３に連結されている。アーム駆動モータ５３には、ドライバ５４から駆動電流が供給される。アーム駆動モータ５３の駆動により、アーム５０およびアーム５０に支持されたトップリング４０は、アームシャフト５２の軸周りに旋回することが可能である。

研磨装置１０が動作を行う際、初めに、不図示の搬送機構（トランスポータ）によって搬送された基板１００を、所定の受取位置においてトップリング４０が受け取り、保持す
る。受取位置において基板１００を受け取ったトップリング４０は、アーム５０の旋回により、受取位置から研磨テーブル３０の上方に移動される。次いで、トップリングシャフト４２およびトップリング４０が下降し、基板１００が研磨パッド３１の研磨面３１１に押し付けられる。そして、テーブル駆動モータ３３およびトップリング駆動モータ４３が回転駆動することによって研磨テーブル３０およびトップリング４０がそれぞれ回転し、それと同時に、研磨テーブル３０の上方に設けられた研磨液供給ノズルから研磨パッド３１上に研磨液が供給される。これにより、基板１００が研磨パッド３１の研磨面３１１に摺接して、基板１００の表面が研磨される。基板１００の研磨中に、アーム駆動モータ５３がアーム５０を周期的に左右に旋回させることで、トップリング４０を研磨パッド３１に対して揺動させながら（すなわち研磨パッド３１上で往復運動させながら）研磨を行ってもよい。

研磨装置１０は、さらに、各ドライバ３４、４４、５４を制御するための制御部２０と、各ドライバ３４、４４、５４から提供される研磨の状態を示す信号に基づいて、研磨の終了を示す研磨終点を検出するように構成された終点検出部２５を備える。

ここで、研磨対象物である基板１００（例えば半導体ウェハ）は、半導体、導体、絶縁体などの複数の異なる材質からなる積層構造を有しており、異材質層間で摩擦係数が異なる。このため、研磨が積層構造のある層から別の異材質層へ移行することによって、研磨対象物を研磨する際の研磨摩擦力に変化が生じる。研磨摩擦力は、研磨テーブル３０またはトップリング４０を回転駆動若しくは揺動する各モータ３３、４３、５３の駆動負荷として現れる。したがって、各モータ３３、４３、５３に流れる電流や、各モータ３３、４３、５３の回転数は、研磨摩擦力に応じて、すなわち研磨が行われている被研磨面の材質に応じて変化し、このことを用いて、研磨の終点を検出することができる。研磨終点の検出は、各モータ３３、４３、５３の駆動電流と回転数のどちらか一方のみに基づいて行うこともできるし、その両方に基づいて行うこともできる。

制御部２０および終点検出部２５は、例えば、プロセッサおよびメモリを備えたコンピュータとして構成されてよい。メモリには１または複数のコンピュータ実行可能命令を含むプログラム（ソフトウェア）が格納され、プロセッサがこのプログラムをメモリから読み出して実行することにより、制御部２０および終点検出部２５の各機能を実現する処理が行われるのであってよい。例えば、終点検出部２５は、各ドライバ３４、４４、５４からモータの駆動電流を示す信号および／またはモータの回転の状態を示す信号を取得し、この信号を演算（データ処理）して研磨摩擦力の変化を識別し、識別結果に基づいて研磨終点を検出するように動作することができる。

図３は、研磨装置１０におけるモータ制御および研磨終点検出に関わる構成要素を示すブロック図である。各ドライバ３４、４４、５４は、電流指令値生成部１０２、電流生成回路１０４、回転数取得部１０６、および信号出力部１０８を備える。各ドライバ３４、４４、５４は同じ構成を有しており、図３ではそのうちの１つのドライバと当該ドライバに接続されたモータからなる系のみを示し、他の２つの系は省略している。以下、ドライバ３４に関連する動作を説明するが、ドライバ４４、５４についても同様である。

制御部２０は、テーブル駆動モータ３３の回転数指令値２０２をドライバ３４へ出力する。回転数指令値２０２は、テーブル駆動モータ３３の回転数（回転速度ともいう）、すなわちテーブル駆動モータ３３の単位時間当りの回転量を指示するデータである。テーブル駆動モータ３３には、エンコーダ２００が取り付けられている。エンコーダ２００は、テーブル駆動モータ３３の回転を検知するセンサであり、テーブル駆動モータ３３の回転に伴って、その回転数に応じた信号２０８を出力する。例えば、エンコーダ２００は、テーブル駆動モータ３３が所定角度回転するごとに（例えば１回転の間に８回）パルス信号
を出力するように構成されるのであってよい。回転数取得部１０６は、エンコーダ２００からの信号２０８に基づいて（例えば単位時間当りに受信されるパルス信号の数をカウントすることにより）、テーブル駆動モータ３３の回転数の計測値を得、この計測値を示すデータ２１０を出力する。

制御部２０からの回転数指令値データ２０２と回転数取得部１０６からの回転数計測値データ２１０は、電流指令値生成部１０２に入力される。電流指令値生成部１０２は、回転数指令値２０２と回転数計測値２１０との偏差に基づいて、テーブル駆動モータ３３に供給すべき駆動電流の電流指令値２０４を生成する。例えば、電流指令値生成部１０２は、直前の電流指令値２０４を、回転数指令値２０２と回転数計測値２１０との偏差に応じた量だけ調整することによって、次の新たな電流指令値２０４を決定するように構成されてよい。生成された電流指令値データ２０４は、電流生成回路１０４へ入力され、電流生成回路１０４は、この電流指令値２０４に従ってテーブル駆動モータ３３への駆動電流２０６を発生させ、テーブル駆動モータ３３へ供給する。電流生成回路１０４は、例えば、電流指令値２０４に応じたデューティ比でのパルス幅変調（ＰＷＭ）によって、駆動電流２０６を生成するように構成されるのであってよい。

本実施形態の研磨装置１０において、信号出力部１０８は、電流指令値生成部１０２から電流指令値データ２０４を取得し、回転数取得部１０６から回転数計測値データ２１０を取得し、取得したこれらのデータ２０４、２１０を制御部２０へ提供する。電流指令値生成部１０２から出力される電流指令値データ２０４、および回転数取得部１０６から出力される回転数計測値データ２１０は、デジタルデータである。したがって制御部２０は、電流指令値２０４および回転数計測値２１０をデジタルデータの形でドライバ３４から得ることができる。

ドライバ３４からの電流指令値データ２０４および回転数計測値データ２１０は、制御部２０内のデータ記憶部２２に一時的に保存される。データ記憶部２２は、制御部２０の外部に設けられた別個の記憶デバイスであってもよい。終点検出部２５は、データ記憶部２２から電流指令値データ２０４および／または回転数計測値データ２１０を取り出し、取り出したデータに基づいて、研磨の終点を検出する。例えば、ドライバ３４から電流指令値データ２０４および回転数計測値データ２１０が１ｍｓ（ミリ秒）毎に出力されてデータ記憶部２２に一時保存され、終点検出部２５はデータ記憶部２２から所定の時間周期でデータをまとめて取り出し（例えば３０ｍｓ毎にその３０ｍｓ分のデータを取り出し）、研磨終点の検出を行ってもよい。ドライバ３４から電流指令値データ２０４および回転数計測値データ２１０を出力するサンプリング周期は、１ｍｓ以下であることが好ましい。サンプリング周期が１ｍｓ以下であることにより、モータ３３の状態（回転数や電流）の連続的な変化を高い精度で再現でき、データ２０４、２１０に含まれる変化を最小時間で判断することができる。また、移動平均などのフィルタリングを併用した場合であっても、終点検出までにかかる時間を短縮することができる。

終点検出部２５が研磨終点の検出に用いる電流指令値データ２０４は、テーブル駆動モータ３３に対する指令値としてドライバ３４内部で生成されたデータであるので、ドライバ３４からテーブル駆動モータ３３へ供給される実際の駆動電流２０６を計測するためのセンサを用いることなく、研磨終点を検出することができる。また、ドライバ３４から出力される電流指令値データ２０４と回転数計測値データ２１０はデジタルデータであり時間的な同期がとられているので、特別な処理（例えば電流指令値と回転数計測値の時間を合わせる処理）をすることなく、電流指令値データ２０４と回転数計測値データ２１０の両方を用いた研磨終点検出を行うことが可能となる。

図４は、終点検出部２５における研磨終点検出処理の一例を示すフローチャートである
。ステップ４０２において、終点検出部２５はデータ記憶部２２から電流指令値データ２０４または回転数計測値データ２１０を取り出す。ステップ４０４において、終点検出部２５は、電流指令値の経時的な変化量または回転数計測値の経時的な変化量を算出し、この変化量の絶対値が所定の閾値よりも大きいか否かを判定する。前述したように、研磨の進行に伴って研磨対象物（すなわち基板１００）の被研磨面の材質が変わることにより、研磨摩擦力が変化し、モータの回転数や駆動電流も変化する。ステップ４０６において、終点検出部２５は、算出した変化量の絶対値が閾値よりも大きい場合、研磨中の研磨対象物について、研磨の終点に到達したと判定する。

なお、研磨終点に到達したことの判定基準は上記のものに限られない。例えば、終点検出部２５は、ステップ４０４において、電流指令値や回転数計測値の時間に関する平均化をした上で、それらの変化量を算出することとしてもよい。また、ステップ４０４および４０６において、終点検出部２５は、電流指令値や回転数計測値の時間に関する微分値を算出し、この微分値の変化に基づいて研磨終点に到達したことの判定を行ってもよい。

また、ドライバ３４は、モータ３３の回転数（回転速度）に関するデータ２１０の代わりに、モータ３３の回転角度を示すデータを制御部２０に出力してもよく、終点検出部２５は、このモータ回転角度のデータに基づいて研磨終点の判定を行ってもよい。モータ３３の回転角度を示すデータは、例えば、エンコーダ２００から出力されるパルス信号の受信時刻に基づいて得ることが可能である。

研磨終点に到達すると、終点検出部２５は、ステップ４０８において、研磨中の研磨対象物の研磨を終了することを決定する。研磨終了の決定を受け、研磨テーブル３０およびトップリング４０が回転を停止し、トップリング４０が研磨テーブル３０から上昇し、基板１００がトップリング４０から取り外されて次工程（例えば洗浄工程）へ渡される。一方、まだ研磨終点に達していなければ、終点検出部２５は、研磨終点の検出を続けるためにステップ４０２へ戻り、新しい時刻のデータを用いて再びステップ４０２以降のステップを繰り返す。

図５は、終点検出部２５における研磨終点検出処理の別の例を示すフローチャートである。この例では、終点検出部２５は、電流指令値と回転数計測値の両方に基づいて研磨終点を判定する。

ステップ５０２において、終点検出部２５はデータ記憶部２２から電流指令値データ２０４および回転数計測値データ２１０を取り出す。ステップ５０４において、終点検出部２５は、電流指令値の経時的な変化量を算出し、この変化量の絶対値が所定の第１の閾値よりも大きいか否かを判定する。変化量の絶対値が第１の閾値よりも大きい場合は、ステップ５０６へ進み、変化量の絶対値が第１の閾値よりも小さい場合には、ステップ５０２に戻る。ステップ５０６において、終点検出部２５は、回転数計測値の経時的な変化量をさらに算出し、この変化量の絶対値が所定の第２の閾値よりも大きいか否かを判定する。変化量の絶対値が第２の閾値よりも大きい場合、ステップ５０８において、終点検出部２５は研磨終点に到達したとの判定を下す。

このように、図５の例の研磨終点検出処理方法によれば、電流指令値と回転数計測値の両方を研磨終点到達の判定基準とすることで、研磨終点をより正確に検出することが可能である。ここで、ドライバ３４から出力される電流指令値データ２０４と回転数計測値データ２１０はデジタルデータであり時間的な同期がとられているので、特別な処理（例えば電流指令値と回転数計測値の時間を合わせる処理）をすることなく、電流指令値データ２０４と回転数計測値データ２１０の両方を用いた研磨終点検出を行うことができる。

図６は、終点検出部２５における研磨終点検出処理のさらに別の例を示すフローチャートである。この例では、終点検出部２５は、複数のドライバから取得されたデータに基づいて研磨終点を判定する。

ステップ６０２において、終点検出部２５は、データ記憶部２２から、ドライバ３４によって提供された（すなわちテーブル駆動モータ３３に関する）電流指令値データおよび回転数計測値データと、ドライバ４４によって提供された（すなわちトップリング駆動モータ４３に関する）電流指令値データおよび回転数計測値データを取り出す。ステップ６０４において、終点検出部２５は、テーブル駆動モータ３３に関する電流指令値および／または回転数計測値の経時的な変化量を算出し、この変化量の絶対値が所定の第１の閾値よりも大きいか否かを判定する。変化量の絶対値が第１の閾値よりも大きい場合は、ステップ６０６へ進み、変化量の絶対値が第１の閾値よりも小さい場合には、ステップ６０２に戻る。ステップ６０６において、終点検出部２５は、トップリング駆動モータ４３に関する電流指令値および／または回転数計測値の経時的な変化量をさらに算出し、この変化量の絶対値が所定の第２の閾値よりも大きいか否かを判定する。変化量の絶対値が第２の閾値よりも大きい場合、ステップ６０８において、終点検出部２５は研磨終点に到達したとの判定を下す。

このように、図６の例の研磨終点検出処理方法によれば、複数のドライバから取得されたデータを研磨終点到達の判定基準とすることで、研磨終点をより正確に検出することが可能である。各ドライバからのデータはデジタルデータであり時間的な同期がとられているので、特別な処理（例えば一方のドライバからのデータと他方のドライバからのデータの時間を合わせる処理）をすることなく、複数のドライバからのデータを用いた研磨終点検出を行うことができる。なお、図６のフローチャートでは２つのドライバ３４、４４からのデータのみを用いているが、さらにドライバ５４からのデータを研磨終点の判定に用いてもよいことはもちろんである。

以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

１０ 研磨装置
２０ 制御部
２２ データ記憶部
２５ 終点検出部
３０ 研磨テーブル
３１ 研磨パッド
３１１ 研磨面
３２ テーブルシャフト
３３ テーブル駆動モータ
３４ ドライバ
４０ トップリング
４１Ａ リテーナリング
４１Ｂ トップリング本体
４２ トップリングシャフト
４３ トップリング駆動モータ
４４ ドライバ
５０ アーム
５２ アームシャフト
５３ アーム駆動モータ
５４ ドライバ
６１ 回転筒
６２ タイミングプーリ
６３ タイミングベルト
６４ タイミングプーリ
１００ 基板
１０２ 電流指令値生成部
１０４ 電流生成回路
１０６ 回転数取得部
１０８ 信号出力部
２００ エンコーダ

Claims (9)

1. 研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、
   前記研磨パッドに対向するように研磨対象物を保持するための保持部と、
   前記研磨テーブルを回転駆動するためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を回転させるためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を揺動させるためのモータ、のうちの少なくとも１つのモータと、
   前記少なくとも１つのモータに駆動電流を供給するように構成された１または複数のドライバであって、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じたデジタル信号をさらに出力するように構成されたドライバと、
   前記ドライバから出力された前記デジタル信号に基づいて、前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出する終点検出部と、
   を備える研磨装置。
2. 前記少なくとも１つのモータの負荷に応じた前記デジタル信号は、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度を示す信号である、請求項１に記載の研磨装置。
3. 前記ドライバは、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度に基づいて前記駆動電流を制御するように構成され、
   前記少なくとも１つのモータの負荷に応じた前記デジタル信号は、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度に基づく前記駆動電流を生成するための指令値を表すデジタル信号である、請求項１に記載の研磨装置。
4. 前記少なくとも１つのモータの負荷に応じた前記デジタル信号は、前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度を示す信号と、前記駆動電流を生成するための指令値を表すデジタル信号の両方であり、
   前記終点検出部は、前記両方のデジタル信号に基づいて前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出するように構成される、請求項１に記載の研磨装置。
5. 前記終点検出部は、前記両方のデジタル信号がそれぞれ所定の変化を示した場合に研磨終点に到達したと判定するように構成される、請求項４に記載の研磨装置。
6. 前記少なくとも１つのモータの回転速度または回転角度を検出するためのエンコーダをさらに備える、請求項２から５のいずれか１項に記載の研磨装置。
7. 前記終点検出部は、複数の前記ドライバから出力された複数の前記デジタル信号に基づいて前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出するように構成される、請求項１から６のいずれか１項に記載の研磨装置。
8. 前記終点検出部は、前記複数のドライバから出力された前記複数のデジタル信号がそれぞれ所定の変化を示した場合に研磨終点に到達したと判定するように構成される、請求項７に記載の研磨装置。
9. 研磨装置において研磨の終了を示す研磨終点を検出する方法であって、
   前記研磨装置は、
   研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、
   前記研磨パッドに対向するように研磨対象物を保持するための保持部と、
   前記研磨テーブルを回転駆動するためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を回転させるためのモータ、前記研磨対象物を保持した前記保持部を揺動させるためのモータ、のうちの少なくとも１つのモータと、
   １または複数のドライバと、
   終点検出部と、
   を備え、
   前記方法は、
   前記ドライバが、前記少なくとも１つのモータに駆動電流を供給するステップと、
   前記ドライバが、前記少なくとも１つのモータの負荷に応じたデジタル信号をさらに出力するステップと、
   前記終点検出部が、前記ドライバから出力された前記デジタル信号に基づいて、前記研磨対象物の研磨の終了を示す研磨終点を検出するステップと、
   を含む、方法。
   

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