JP2023123192A - Transferring device, polishing facility, and transferring method - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 126
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 105
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 87
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 7
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
Images
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/34—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies not provided for in groups H01L21/0405, H01L21/0445, H01L21/06, H01L21/16 and H01L21/18 with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/46—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/428
- H01L21/461—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/428 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/463—Mechanical treatment, e.g. grinding, ultrasonic treatment
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
Abstract
Description
本発明は、移載装置、研磨設備、及び移載方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a transfer device, polishing equipment, and a transfer method.
従来、互いに合体されたキャリア及びワーク(基板)を、研磨部の回転定盤上に搬送する移載装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この移載装置では、キャリアは円形の外歯車である。キャリアが有する収容孔(貫通孔)内にワークが収容されることにより、キャリアにワークが合体する。
研磨部では、回転定盤の中心に太陽歯車、外周部に内歯車が設けられる。これらは回転定盤上に配置された複数のキャリアに噛み合い、それぞれの回転速度によってキャリアの自転、及び公転速度が決定される。
合体したキャリア及びワークは、第2ワーク搬送部(移載部)により搬送される。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a transfer device that transports a carrier and a workpiece (substrate) that are combined with each other onto a rotating surface plate of a polishing section (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-200011). In this transfer device, the carrier is a circular external gear. By accommodating the workpiece in the accommodation hole (through hole) of the carrier, the workpiece is united with the carrier.
In the polishing section, a sun gear is provided at the center of the rotating surface plate, and an internal gear is provided at the outer peripheral portion. These are meshed with a plurality of carriers arranged on a rotating surface plate, and the rotational speed of each carrier determines the rotation speed and revolution speed of the carrier.
The combined carrier and work are transported by the second work transport section (transfer section).
近年、研磨部の大型化により、動作する太陽歯車及び内歯車が停止するときの、目標とする停止位置と実際の停止位置との差である停止誤差が大きくなっている。さらに、この停止誤差は、移載部にも生じる。
停止誤差が大きくなると、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ嵌め合わせ難くなったり、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に移載させ難くなる。
In recent years, due to an increase in the size of the grinding section, a stop error, which is a difference between a target stop position and an actual stop position when the operating sun gear and internal gear stop, has increased. Furthermore, this stopping error also occurs in the transfer section.
If the stop error increases, it becomes difficult to fit the carrier to the internal gear and the sun gear, or to transfer the carrier from the state where the carrier is fitted to the internal gear and the sun gear to the outside of the polishing section.
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させる移載装置、この移載装置を備える研磨設備、及び移載方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and enables easy fitting of a carrier to the internal gear and the sun gear even when there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section. Alternatively, a transfer device for easily transferring a carrier to the outside of a polishing section from a state in which the carrier is fitted to an internal gear and a sun gear, a polishing facility equipped with the transfer device, and a transfer method are provided. for the purpose.
前記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
(1)この発明の第1態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載装置であって、前記キャリアを移載させる移載部と、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、前記移載部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記像に基づいて、前記移載部により、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、前記移載部により、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
(1) A first aspect of the present invention has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of a surface plate, and a planetary gear system type polishing unit for polishing a surface facing the thickness direction of a substrate, and a flat plate and a plurality of teeth provided on the outer peripheral edge of the carrier that can be fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate. a transfer unit for transferring the carrier; an imaging unit for acquiring images of at least a portion of the plurality of teeth of the internal gear and at least a portion of the plurality of teeth of the sun gear; a control unit for controlling a position of the carrier in a creeping direction along the support surface with respect to the internal gear and the sun gear by the transfer unit based on the image; and adjusting the orientation of the carrier about an axis orthogonal to the support surface, and the transfer section moves the plurality of teeth of the carrier onto the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear. Fit the teeth together.
この発明では、撮像部が取得した像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、制御部が、この像に基づいて、移載部により、内歯車及び太陽歯車に対する、沿面方向のキャリアの位置、及び軸線周りのキャリアの向きを調整することにより、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
In this invention, the image acquired by the imaging section includes an image of at least a portion of the plurality of teeth of the actual internal gear and at least a portion of the plurality of teeth of the actual sun gear in the grinding section. Therefore, for example, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer unit, the control unit, based on this image, causes the internal gear and the sun gear to move the carrier in the creeping direction with the transfer unit. Adjusting the position and orientation of the carrier about the axis facilitates fitting the teeth of the carrier to the teeth of the internal gear and the teeth of the sun gear, respectively.
Therefore, even if there is a stopping error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the carrier can be easily fitted to the internal gear and the sun gear.
(2)前記(1)に記載の移載装置では、前記移載部は、連結軸に沿って並べて配置された複数のリンクと、前記連結軸に沿って隣り合う前記複数のリンク同士を回転可能に連結する関節と、前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第1側の前記リンクである先端リンクに設けられ、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部と、を有し、前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第2側の前記リンクは、設置面により支持され、前記関節により、前記保持部は、前記内歯車及び前記太陽歯車に対して、前記沿面方向、及び前記軸線周りに移載可能であってもよい。
この発明では、関節を駆動させて複数のリンクを移動させることにより、保持部に保持されたキャリアを設置面に対して移載させることができる。そして、関節により、保持部に保持されたキャリアを、内歯車及び太陽歯車に対して、沿面方向、及び軸線周りに移載させることができる。
(2) In the transfer device described in (1) above, the transfer unit rotates a plurality of links arranged side by side along a connecting shaft and the plurality of links adjacent to each other along the connecting shaft. and a holding portion that is provided at a tip link that is the link closest to the first side along the connecting shaft among the plurality of links and holds the carrier in a detachable manner, Among the plurality of links, the link closest to the second side along the connecting shaft is supported by an installation surface, and the joint allows the holding portion to move in the creeping direction with respect to the internal gear and the sun gear. , and may be transferable around the axis.
In this invention, the carrier held by the holding portion can be transferred to the installation surface by driving the joints to move the plurality of links. The joint allows the carrier held by the holding portion to be transferred to the internal gear and the sun gear in the creeping direction and around the axis.
(3)前記(2)に記載の移載装置では、前記撮像部は、前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第1撮像部と、前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第2撮像部と、を有し、前記第1撮像部及び前記第2撮像部は、前記先端リンクに設けられていてもよい。
この発明では、太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像、内歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を、第1撮像部、第2撮像部により別々に取得することができる。そして、移載部の関節を駆動させて複数のリンクを移動させることにより、第1撮像部及び第2撮像部を移動させて、第1撮像部及び第2撮像部が取得する像に写される対象を変化させることができる。
(3) In the transfer device according to (2) above, the imaging unit includes a first imaging unit that acquires the image of at least a part of the plurality of teeth of the sun gear; a second imaging section that acquires the images of at least some of the plurality of tooth portions, and the first imaging section and the second imaging section may be provided at the tip link.
In the present invention, images of at least some of the plurality of teeth of the sun gear and images of at least some of the plurality of teeth of the internal gear can be separately acquired by the first imaging section and the second imaging section. . Then, by driving the joints of the transfer unit to move the plurality of links, the first imaging unit and the second imaging unit are moved, and the images captured by the first imaging unit and the second imaging unit are captured. You can change the target you are looking for.
(4)前記(3)に記載の移載装置では、前記キャリアの前記複数の歯部が前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に嵌め合うときの、前記第1撮像部が取得した前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第1基準像と規定し、前記第2撮像部が取得した前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第2基準像と規定したときに、前記制御部は、前記第1撮像部が取得する前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像が、前記第1基準像に一致するように、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第1移動量を算出し、前記第1移動量移動及び回転したときの前記第2撮像部が取得する前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像と、前記第2基準像との差に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第2移動量を算出し、前記移載部により、前記キャリアを前記第1移動量及び前記第2移動量移動及び回転させた後で、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせてもよい。 (4) In the transfer device described in (3) above, when the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear, the The image of at least a part of the plurality of teeth of the sun gear acquired by the first imaging unit is defined as a first reference image, and the plurality of teeth of the internal gear acquired by the second imaging unit. is defined as a second reference image, the control unit determines that the image of at least a part of the plurality of teeth of the sun gear acquired by the first imaging unit is calculating a first amount of movement, including an amount of movement of the carrier along the creeping direction and an amount of rotation of the carrier about the axis, with respect to the internal gear and the sun gear so as to match the first reference image; , based on the difference between the image of at least a part of the plurality of tooth portions of the internal gear acquired by the second imaging unit when the first movement amount is moved and rotated, and the second reference image, calculating a second movement amount including a movement amount of the carrier along the surface direction and a rotation amount of the carrier about the axis relative to the internal gear and the sun gear; After moving and rotating by the first movement amount and the second movement amount, the plurality of teeth of the carrier are respectively fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear. may
この発明では、移載部により、制御部が算出する第1移動量キャリアを移動させることにより、太陽歯車の複数の歯部に対してキャリアの複数の歯部が嵌め合う位置に、キャリアを移載させることができる。さらに、移載部により、制御部が算出する第2移動量キャリアを移動させることにより、内歯車の複数の歯部に対してキャリアの複数の歯部が嵌め合う位置に、キャリアを移載させることができる。
こうして、キャリアを第1移動量及び第2移動量移動及び回転させた後で、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせることにより、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれさらに容易に嵌め合わせることができる。
In this aspect of the invention, the carrier is moved by the transfer unit to a position where the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the sun gear by moving the carrier by the first movement amount calculated by the control unit. can be loaded. Further, the transfer unit moves the carrier by the second movement amount calculated by the control unit, thereby transferring the carrier to a position where the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear. be able to.
Thus, after moving and rotating the carrier by the first movement amount and the second movement amount, by fitting the plurality of teeth of the carrier to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear, Even if the internal gear, the sun gear, and the transfer section have stop errors, the carrier can be fitted to the internal gear and the sun gear more easily.
(5)この発明の第2態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部から、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合う複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを、前記研磨部の外部に移載させる移載装置であって、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部を有し、前記キャリアを移載させる移載部と、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、前記移載部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記像に基づいて、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、前記位置及び前記向きを調整した前記保持部により、前記キャリアを保持し、前記移載部により、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する。 (5) A second aspect of the present invention provides a planetary gear system type polishing unit that has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of a surface plate and polishes the surface facing the thickness direction of the substrate. A carrier having a plurality of teeth provided on an outer peripheral edge thereof and fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate are transferred to the outside of the polishing section. A transfer device, comprising: a transfer section for transferring the carrier; at least a portion of the plurality of teeth of the internal gear; and a plurality of the sun gears. and a control unit for controlling the transfer unit, wherein the control unit controls, based on the image, the plurality of teeth of the internal gear and the position of the carrier in the creeping direction along the support surface with respect to the internal gear and the sun gear in a state where the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the sun gear, respectively; and detecting the orientation of the carrier about an axis orthogonal to the support surface, and holding the carrier by the holding section that adjusts the position and the orientation, and moving the carrier to the polishing section by the transfer section. Transfer to outside.
この発明では、撮像部が取得した像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、制御部は、この像に基づいて、内歯車及び太陽歯車に対する、これら内歯車及び太陽歯車に嵌め合うキャリアの沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを検出する。さらに制御部は、これらの位置及び向きに基づいて、保持部の沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを調整することにより、キャリアを保持部により保持しやすくなる。そして、保持部を有する移載部により、キャリアを研磨部の外部に移載させることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
なお、研磨部の外部に移載させたキャリアは、例えば、移載部によりセットテーブル等の台上に精度良く配置される。
In this invention, the image acquired by the imaging section includes an image of at least a portion of the plurality of teeth of the actual internal gear and at least a portion of the plurality of teeth of the actual sun gear in the grinding section. For this reason, for example, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer unit, the control unit, based on this image, determines the carrier that fits the internal gear and the sun gear for the internal gear and the sun gear. Detects the creepage position of and the orientation around the axis. Further, based on these positions and orientations, the control section adjusts the position of the holding section in the creeping direction and the orientation about the axis, thereby making it easier to hold the carrier by the holding section. Then, the carrier can be transferred to the outside of the polishing section by the transfer section having the holding section.
Therefore, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the carrier can be easily transferred to the outside of the polishing section from the state in which the carrier is fitted to the internal gear and the sun gear. can.
The carrier transferred to the outside of the polishing section is placed on a table such as a set table with high accuracy by the transfer section, for example.
(6)この発明の第3態様は、前記(1)から(5)のいずれかに記載の移載装置と、前記研磨部と、を備える研磨設備である。
この発明では、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる移載装置を用いて、研磨設備を構成することができる。
(6) A third aspect of the present invention is a polishing facility comprising the transfer device according to any one of (1) to (5) and the polishing section.
In the present invention, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the carrier can be easily fitted to the internal gear and the sun gear, or the carrier can be fitted to the internal gear and the sun gear. The polishing equipment can be configured using a transfer device that can easily transfer the carrier to the outside of the polishing section from the state.
(7)この発明の第4態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載方法であって、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。 (7) In a fourth aspect of the present invention, a planetary gear system type polishing section that has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of a surface plate and that polishes the surface facing the thickness direction of the substrate is provided with a flat plate. A transfer method for transferring a carrier having a shape of a shape and having a plurality of tooth portions provided on an outer peripheral edge that can be fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate. and, based on images of at least a portion of the plurality of teeth of the internal gear and at least a portion of the plurality of teeth of the sun gear, creepage direction along the support surface for the internal gear and the sun gear. Adjusting the position of the carrier and the orientation of the carrier about an axis orthogonal to the support surface, and adjusting the teeth of the carrier to the teeth of the internal gear and the teeth of the sun gear. Fit the parts together.
この発明では、像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車及び太陽歯車に対する、沿面方向のキャリアの位置、及び軸線周りのキャリアの向きを調整することにより、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
In the present invention, the image includes an image of at least a portion of the teeth of the actual internal gear and of at least a portion of the teeth of the actual sun gear in the grinding section. Therefore, for example, even if there is a stopping error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the position of the carrier in the surface direction and the orientation of the carrier around the axis with respect to the internal gear and the sun gear based on this image. By adjusting , it becomes easier to fit the plurality of teeth of the carrier to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear.
Therefore, even if there is a stopping error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the carrier can be easily fitted to the internal gear and the sun gear.
(8)この発明の第5態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部から、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合う複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを、前記研磨部の外部に移載させる移載方法であって、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、前記位置及び前記向きを調整した保持部により、前記キャリアを保持し、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する。 (8) A fifth aspect of the present invention is a planetary gear system type polishing unit that has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of a surface plate and polishes the surface facing the thickness direction of the substrate. A carrier having a plurality of teeth provided on an outer peripheral edge thereof and fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate are transferred to the outside of the polishing section. In the transfer method, the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear are engaged with the plurality of teeth of the carrier, respectively. position of the carrier in a creeping direction along the support surface and the support relative to the internal gear and the sun gear based on images of at least a portion of the teeth and of at least a portion of the plurality of teeth of the sun gear; The orientation of the carrier about the axis orthogonal to the surface is detected, and the carrier is held by the holding section adjusted in position and orientation, and transferred to the outside of the polishing section.
この発明では、像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車及び太陽歯車に対する、これら内歯車及び太陽歯車に嵌め合うキャリアの沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを検出する。さらに、これらの位置及び向きに基づいて、保持部の沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを調整することにより、キャリアを保持部により保持しやすくなる。そして、保持部を移載することにより、キャリアを研磨部の外部に移載させることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
In the present invention, the image includes an image of at least a portion of the teeth of the actual internal gear and of at least a portion of the teeth of the actual sun gear in the grinding section. For this reason, for example, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, based on this image, the creepage direction of the carrier fitted to the internal gear and the sun gear with respect to the internal gear and the sun gear. Detects position and orientation about an axis. Furthermore, by adjusting the position of the holding portion in the surface direction and the orientation around the axis based on these positions and orientations, the carrier can be more easily held by the holding portion. By transferring the holding section, the carrier can be transferred to the outside of the polishing section.
Therefore, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the carrier can be easily transferred to the outside of the polishing section from the state in which the carrier is fitted to the internal gear and the sun gear. can.
本発明の移載装置、研磨設備、及び移載方法によれば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。 According to the transfer device, the polishing equipment, and the transfer method of the present invention, even if there is a stop error in the internal gear, the sun gear, and the transfer section, the carrier can be easily fitted to the internal gear and the sun gear. , the internal gear and the sun gear, the carrier can be easily transferred to the outside of the polishing section.
以下、本発明に係る研磨設備及び移載方法の一実施形態を、図1から図27を参照しながら説明する。 An embodiment of a polishing facility and a transfer method according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 27. FIG.
(1.研磨設備)
図1に示す研磨設備1は、基板200の厚さ方向を向く面を研磨するための設備である。例えば、図1及び図2に示すように、基板200は、基板200の厚さ方向から見たときに円形状を呈する平板状に形成される。例えば、基板200は、シリコン製である。
なお、図2中に、基板200、後述するキャリア205を保持する、第1保持部52及び第2保持部53を示す。基板は、ガラス製等でもよい。
以下では、研磨設備1により研磨される前の基板200を、基板200Aとも言う。研磨設備1により研磨された後の基板200を、基板200Bとも言う。例えば、基板200Aの厚さは、780μm(マイクロメートル)である。基板200Bの厚さは、770μmである。
(1. Polishing equipment)
The
Note that FIG. 2 shows a first holding
Below, the
キャリア205は、キャリア205の厚さ方向から見たときに円形状を呈する平板状に形成される。キャリア205には、複数(本実施形態では3つ)の貫通孔206が設けられる。複数の貫通孔206は、キャリア205の中心軸回りに等角度ごとに形成される。複数の貫通孔206は、キャリア205を厚さ方向に貫通する。貫通孔206の径及び基板200の径は、互いに同等である。基板200は、貫通孔206内に収容される。このとき、キャリア205の厚さ方向と、基板200の厚さ方向とが一致する。
図2に示すように、キャリア205の外周縁には、複数の歯部207が設けられる。複数の歯部207は、外歯である。キャリア205の周方向に隣り合う歯部207の間には、半円状の窪み208が形成される。
The
As shown in FIG. 2, a plurality of
例えば、キャリア205の外径は720mm、厚さは770μmである。キャリア205は、ステンレス鋼等で形成される。
平坦な支持面等の上で、キャリア205の貫通孔206内に基板200を収容するときには、キャリア205及び基板200は撓んでいない。このとき、キャリア205の下面と基板200の下面とはほぼ面一であり、キャリア205の上面と基板200の上面とはほぼ面一である。
なお、キャリア205に設けられる貫通孔206の数に制限は無く、貫通孔206の数は1つでもよい。
For example, the
The number of through-
図1に示すように、この研磨設備1は、搬入バスケット10と、搬出バスケット15と、セットテーブル20と、第1搬送装置25と、研磨装置30と、主制御部80と、を備える。
搬入バスケット10は、基板200Aを収容した状態で、図示しない搬入装置により研磨設備1に搬入される。搬出バスケット15は、基板200Bを収容した状態で、図示しない搬出装置により研磨設備1から搬出される。
As shown in FIG. 1 , this
The carry-in
セットテーブル20は、基板200及びキャリア205を置くための台である。図7に示すように、セットテーブル20の上面21は水平面に沿う。上面21は、平坦である。
図1に示すように、例えば、第1搬送装置25は、マニピュレータである。第1搬送装置25は、バスケット10,15とセットテーブル20との間で基板200を搬送する。
The set table 20 is a table on which the
As shown in FIG. 1, for example, the
研磨装置30は、研磨部31と、本実施形態の第2搬送装置(移載装置)46と、を有する。
本実施形態の研磨部31は、遊星歯車装置式である。図1及び図2に示すように、研磨部31は、第1定盤(定盤)32と、太陽歯車33と、内歯車34と、第2定盤(不図示)と、を有する。
例えば、第1定盤32の第1支持面(支持面)32aは、水平面に沿うように配置される。第1支持面32aは、平坦である。以下では、第1支持面32aに沿う方向を、沿面方向と言う。沿面方向には、第1支持面32aに沿う一方向である第1沿面方向と、第1支持面32aに沿うとともに第1沿面方向に直交する第2沿面方向とが含まれる。
第1定盤32は、上下方向に沿い、第1支持面32aに直交する第1軸線O1周りの第1の向きに回転する。
The polishing
The polishing
For example, the first support surface (support surface) 32a of the
The
太陽歯車33は、第1支持面32a上に第1軸線O1と同軸に配置される。図2に示すように、太陽歯車33の外周縁には、複数の歯部37が設けられる。例えば、複数の歯部37は、円柱状の外歯である。複数の歯部37は、太陽歯車33の周方向に互いに間隔を空けて配置される。太陽歯車33は、第1支持面32a上で回転する。複数の歯部37は、キャリア205の複数の歯部207に嵌め合う。太陽歯車33は、キャリア205に内接する。
内歯車34の内周縁には、複数の歯部39が設けられる。複数の歯部39は、円柱状の内歯である。複数の歯部39は、内歯車34の周方向に互いに間隔を空けて配置される。内歯車34は、第1支持面32a上で回転する。複数の歯部39は、キャリア205の複数の歯部207に嵌め合う。内歯車34は、キャリア205に外接する。
The
A plurality of
第2定盤は、第1定盤32とともに太陽歯車33及び内歯車34を挟む挟み状態と、太陽歯車33及び内歯車34から離間した退避状態と、の間で切り替えできる。
挟み状態の第2定盤は、第1軸線O1と同軸に配置され、第1軸線O1周りの前記第1の向きとは反対の第2の向きに回転する。
The second surface plate can be switched between a sandwiching state in which the
The sandwiched second platen is arranged coaxially with the first axis O1 and rotates about the first axis O1 in a second direction opposite to the first direction.
第2搬送装置46は、研磨部31にキャリア205を移載させる。図3及び図4に示すように、第2搬送装置46は、マニピュレータ(移載部)47と、撮像部54と、後述する第1制御部81(図1参照)と、を有する。
マニピュレータ47は、キャリア205及び複数の基板200を移載させる。マニピュレータ47は、複数のリンク48と、複数の関節49と、保持部50とを有する、いわゆる多関節ロボットである。
図3に示すように、複数のリンク48は、連結軸O3に沿って並べて配置されている。以下では、複数のリンク48のうち連結軸O3に沿った最も第1側のリンク48を、先端リンク48Aとも言う。複数のリンク48のうち連結軸O3に沿った最も第1側とは反対側の第2側のリンク48を、基端リンク48Bとも言う。
各関節49は、連結軸O3に沿って隣り合う複数のリンク48の端部同士を回転可能に連結する。先端リンク48Aには、保持部50が設けられている。基端リンク48Bは、設置面Fにより支持されている。
複数の関節49により、保持部50は、研磨部31の内歯車34及び太陽歯車33に対して、キャリア205及び複数の基板200を、沿面方向、及び後述する第2軸線O5周りに移載可能である。
なお、第2搬送装置が備える関節49の数に制限は無い。
The
A
As shown in FIG. 3, the
Each joint 49 rotatably connects ends of a plurality of
With the plurality of
Note that there is no limit to the number of
保持部50は、キャリア205及び複数の基板200を着脱可能に保持する。
図4及び図5に示すように、保持部50は、フレーム51と、第1保持部52と、第2保持部53と、吸引部(不図示)と、を有する。
フレーム51は、第2軸線(軸線)O5に対して複数回の回転対称(本実施形態では3回対称)に形成される。なお、第1保持部52及び複数の第2保持部53は、フレーム51の径方向に沿う同一直線上には配置されていないが、図5では、第1保持部52及び複数の第2保持部53の保持部50の周方向における位置を変えて示している。
図5に示すように、フレーム51は、天板57と、第1周壁58と、第2周壁59と、第1底板60と、第2底板61と、を有する。
天板57は、円板状に形成される。天板57は、複数のリンク48及び複数の関節49により、水平面に沿うように支持される。
The holding
As shown in FIGS. 4 and 5, the holding
The
As shown in FIG. 5 , the
The top plate 57 is formed in a disc shape. The top plate 57 is supported along the horizontal plane by a plurality of
第1周壁58は、筒状に形成され、第2軸線O5と同軸に配置される。第1周壁58は、天板57の下面に固定される。
第2周壁59は、筒状に形成され、第2軸線O5と同軸に配置される。第2周壁59は、第1周壁58を外側から囲い、天板57の外周縁の下面に固定される。前記第1周壁58の下端は、第2周壁59の下端よりも下方に突出している。
第1底板60は、円板状に形成され、第1周壁58内に配置される。第1底板60は、第1周壁58における上下方向の中間部に固定される。
第2底板61は、環状に形成され、第1周壁58と第2周壁59との間に配置される。第2底板61は、第1周壁58の下端部及び第2周壁59の下端にそれぞれ固定される。第2底板61には、複数の連通孔61aが形成される。
The first
The second
The
The
図4に示すように、保持部50は、第1保持部52を複数有する。複数の第1保持部52は、第2軸線O5回りに互いに間隔を空けて配置される。複数の第1保持部52は、キャリア205の外周部を厚さ方向から保持する。ここで言う外周部とは、円形状の保持対象の半径をrとしたときに、保持対象の外周縁から中心に向かって(0.4r)の範囲のことを意味する。このとき、キャリア205は、キャリア205の中心軸がフレーム51の第2軸線O5に一致するように、複数の第1保持部52に保持される。
図5に示すように、各第1保持部52は、第1本体64と、第1移動部65と、を有する。第1移動部65は、吸着パッド67と、可動管68と、を有する。
吸着パッド67は、合成ゴム等の弾性を有する材料でコーン状(円錐面状)に形成される。吸着パッド67は、下方に向かうに従い漸次、外径が大きくなるように配置される。
可動管68は、吸着パッド67から上方(厚さ方向の他方側)に向かって延びる。可動管68内の空間は、吸着パッド67の凹部に連なる。
例えば、可動管68の上端部における外周面には、第1係合部68aが固定される。可動管68における第1係合部68aよりも下方の部分は、第2底板61の連通孔61a内に配置される。
As shown in FIG. 4 , the holding
As shown in FIG. 5 , each first holding
The
The
For example, a first engaging
第1本体64は、内径が可動管68の外径よりも大きい管状である。第1本体64は、L字状に折れている。第1本体64の第1端部64aは上下方向に沿って延びている。例えば、第1端部64aの下端の内周面には、第2係合部64bが固定される。第2係合部64bは、第1本体64の第1端部64aの全周にわたって形成される。第2係合部64bは、第1係合部68aを、第1係合部68aの下方から支持する。第2係合部64bと可動管68との間は、気密に封止される。可動管68は、第2係合部64b(第1本体64の第1端部64a)に対して上下方向に移動できる。
第1本体64は、フレーム51の第2底板61等に固定される。図5に示す状態から、第1本体64に対して可動管68が下方に移動することはできない。一方で、図5に示す状態から、第1本体64に対して可動管68が上方に移動できる。
The
The first
図6に示すように、第1保持部52の吸着パッド67の下端をキャリア205の外周部の上面に接触させる。
吸着パッド67の凹部内の空気を吸引すると、二点鎖線L1で示すように吸着パッド67が潰れるように変形し、吸着パッド67に接触していたキャリア205が吸着パッド67に保持される。
As shown in FIG. 6 , the lower end of the
When the air in the concave portion of the
図7に、セットテーブル20の上面21上に、キャリア205及び基板200が配置された状態を示す。基板200は、キャリア205の貫通孔206内に収容される。
この状態のキャリア205及び基板200に対して、上方から保持部50を近づけ、第1保持部52の吸着パッド67をキャリア205の外周部の上面に接触させる。
吸着パッド67の凹部内の空気を吸引すると、第1保持部52の潰れた吸着パッド67が、キャリア205の外周部を保持する。このとき、可動管68の第1係合部68aは、第1本体64の第2係合部64bから上方に離間する。
このときの、フレーム51に対する潰れた吸着パッド67の下端の位置を、基準位置P521と言う。基準位置P521は、フレーム51に対する、潰れた吸着パッド67の下端における、吸着パッド67の周方向の平均位置であることが好ましい。
FIG. 7 shows a state in which the
The holding
When the air inside the concave portion of the
The position of the lower end of the crushed
この状態から、マニピュレータ47により保持部50を上方に移動させると、図8に示すように、第1保持部52に保持されたキャリア205が、セットテーブル20の上面21から上方に離間する。キャリア205、吸着パッド67等に作用する重力により、第1保持部52の第1本体64に対してキャリア205、吸着パッド67等が下方に移動する。可動管68の第1係合部68aが第1本体64の第2係合部64bに、第2係合部64bの上方から係止すると、第1本体64(フレーム51)に対してキャリア205、吸着パッド67等が、これ以上下方に移動できなくなる。
キャリア205を保持して潰れ、フレーム51に対して下方に移動できなくなったときの、フレーム51に対する吸着パッド67の下端の位置を、下端位置P522と言う。下端位置P522は、第1保持部52の吸着パッド67の移動範囲における下方の端の位置である。
図6中に、吸着パッド67の基準位置P521を、二点鎖線L4で示す。以下では、潰れた吸着パッド67における、基準位置P521と下端位置P522との上下方向の距離を、伸長距離M52と言う。伸長距離M52は、第1保持部52がキャリア205を保持した状態から、第1保持部52が下方(厚さ方向の一方側)に伸びる長さである。
このように、第1保持部52は、キャリア205を保持した状態から下方に向かって伸びることができる。
From this state, when the holding
The position of the lower end of the
In FIG. 6, the reference position P521 of the
Thus, the first holding
第2保持部53は、キャリア205の貫通孔206内の基板200を、上下方向から保持する。図4及び図5に示すように、保持部50は、第2保持部53として、第2保持部53A、第2保持部53B、第2保持部53Cを有する。
第2保持部53A,53Bは、伸長距離M52の設定以外は第1保持部52と同一の構成である。
図5に示すように、第2保持部53Aは、第1保持部52の第1本体64、第1移動部65、吸着パッド67、可動管68と略同一の構成の、第2本体71A、第2移動部72A、吸着パッド74A、可動管75Aを有する。
第2移動部72Aは、第2本体71Aに対して上下方向に移動できる。第2移動部72Aの吸着パッド74Aは、基板200を保持する。
第2保持部53Aの吸着パッド74Aに対しても、第1保持部52の吸着パッド67に対する基準位置P521、下端位置P522、伸長距離M52と同様に、基準位置P53A1、下端位置P53A2、伸長距離M53Aがそれぞれ規定される(図7及び図8参照)。
伸長距離M53Aは、第2保持部53Aが基板200を保持した状態から、第2保持部53Aが下方に伸びる長さである。
The
The
As shown in FIG. 5, the
The second moving
Similarly to the reference position P 521 , the lower end position P 522 , and the extended distance M 52 for the
The extension distance M 53A is the length by which the
第2保持部53Bは、第1保持部52の第1本体64、第1移動部65、吸着パッド67、可動管68と略同一の構成の、第2本体71B、第2移動部72B、吸着パッド74B、可動管75Bを有する。
第2移動部72Bは、第2本体71Bに対して上下方向に移動できる。第2移動部72Bの吸着パッド74Bは、基板200を保持する。
第2保持部53Bの吸着パッド74Bに対しても、第1保持部52の吸着パッド67に対する基準位置P521、下端位置P522、伸長距離M52と同様に、基準位置P53B1、下端位置P53B2、伸長距離M53Bがそれぞれ規定される(図7及び図8参照)。
伸長距離M53Bは、第2保持部53Bが基板200を保持した状態から、第2保持部53Bが下方に伸びる長さである。
The
The second moving
Similarly to the reference position P 521 , the lower end position P 522 , and the extended distance M 52 for the
The extension distance M 53B is the length by which the
第2保持部53Cは、第1本体64の形状、伸長距離M52の設定以外は第1保持部52と同一の構成である。
図5に示すように、第2保持部53Cは、第1保持部52の第1移動部65、吸着パッド67、可動管68と略同一の構成の、第2移動部72C、吸着パッド74C、可動管75Cを有する。
第2保持部53Cが有する第2本体78Cは、真っすぐな管状である。第2本体78Cは、上下方向に沿って延び、フレーム51の第1底板60に固定される。
以上のように、フレーム51は、第1本体64及び第2本体71A,71B,78Cを互いに連結する。
第2保持部53Cの吸着パッド74Cに対しても、第1保持部52の吸着パッド67に対する基準位置P521、下端位置P522、伸長距離M52と同様に、基準位置P53C1、下端位置P53C2、伸長距離M53Cがそれぞれ規定される(図7及び図8参照)。
伸長距離M53Cは、第2保持部53Cが基板200を保持した状態から、第2保持部53Cが下方に伸びる長さである。
The
As shown in FIG. 5, the
A second
As described above, the
Similarly to the reference position P 521 , the lower end position P 522 , and the extended distance M 52 for the
The extension distance M 53C is the length by which the
このように、第2保持部53A,53B,53Cは、基板200を保持した状態からそれぞれ下方に向かって伸びることができる。
図8に示す二点鎖線L4上に、基準位置P53A1,P53B1,P53C1が配置される。
図2及び図4に示すように、第2保持部53A,53B,53Cは、各基板200に対して、基板200の軸線回りに等角度ごとに配置される。
本実施形態では、伸長距離M53A,M53B,M53Cは、互いに同等である。伸長距離M52は、伸長距離M53A,M53B,M53Cよりも、キャリア205の厚さ(厚さ方向の長さ)を超えて長い。伸長距離M52は、伸長距離M53A,M53B,M53Cよりも、キャリア205の厚さの2倍を超えて長いことが好ましい。
In this way, the
Reference positions P 53A1 , P 53B1 , and P 53C1 are arranged on the two-dot chain line L4 shown in FIG.
As shown in FIGS. 2 and 4, the
In this embodiment, extension distances M 53A , M 53B , and M 53C are equivalent to each other. Extension distance M 52 is longer than extension distances M 53A , M 53B , and M 53C by exceeding the thickness (length in the thickness direction) of
吸引部は、図示はしないが、吸引ポンプと、複数の開閉弁と、を有する。
吸引ポンプは、図示しないチューブにより第1本体64、第2本体71A,71B,71Cにそれぞれ接続される。吸引ポンプは、チューブ、第1本体64、第2本体71A,71B,71C、可動管68,75A,75B,75Cを通して吸着パッド67,74A,74B,74Cの凹部内の空気を吸引できる。
複数の開閉弁は、複数のチューブを独立して開閉できる。
The suction unit has a suction pump and a plurality of on-off valves (not shown).
The suction pumps are connected to the first
A plurality of on-off valves can independently open and close a plurality of tubes.
図4に示すように、第2搬送装置46は、撮像部54として、第1撮像部54Aと、第2撮像部54Bと、を有する。撮像部54A,54Bは、フレーム51の第2周壁59に固定される。すなわち、撮像部54A,54Bは、マニピュレータ47の先端リンク48Aに設けられている。撮像部54A,54Bは、フレーム51を、フレーム51の径方向に挟むように配置される。
撮像部54A,54Bは、図示しない撮像素子をそれぞれ有する。撮像部54A,54Bは、撮像部54A,54Bに対して下方に配置された物の像を、前記撮像素子により取得する。具体的には、撮像部54A,54Bは、内歯車34の複数の歯部39の少なくとも一部及び太陽歯車33の複数の歯部37の少なくとも一部の像を取得する。撮像部54A,54Bが取得する像の詳細については、後述する研磨方法で詳しく説明する。
撮像部54A,54Bは、取得した像を主制御部80に送る。
As shown in FIG. 4 , the second conveying
The
The
図1に示すように、第2搬送装置46及びセットテーブル20のそれぞれから近い位置には、複数のキャリア205が積み重ねられたストッカ85がある。ストッカ85にあるキャリア205には、基板200が収容されていない。
主制御部80は、図示はしないが、CPU(Central Processing Unit)、メモリ等を有する。メモリには、CPUを動作させるための制御プログラム等が記憶される。
主制御部80は、第1搬送装置25及び研磨装置30に接続され、第1搬送装置25及び研磨装置30を制御する。
主制御部80は、機能的に第1制御部(制御部)81と、第2制御部82と、を有する。
第1制御部81は、研磨装置30の第2搬送装置46を制御する。第2制御部82は、第1搬送装置25、及び研磨装置30の研磨部31を制御する。
As shown in FIG. 1, a
The
The
The
The
(2.研磨方法)
次に、以上のように構成された研磨設備1を用いた、研磨方法について説明する。この研磨方法では、本実施形態の第1移載方法(移載方法)を用いる。図9は、研磨方法Sを示すフローチャートである。
予め、準備工程(図9に示すステップS1)を行う。準備工程S1では、図10に示すように、キャリア205の複数の歯部207を内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37に嵌め合わせておく。なお、図10、及び後述する図13から図15では、キャリア205の複数の歯部207を示さず、内歯車34の複数の歯部39の一部、及び太陽歯車33の複数の歯部37の一部のみを示す。
太陽歯車33の複数の歯部37のピッチを、PSと規定する。内歯車34の複数の歯部39のピッチを、PIと規定する。ピッチPS及びピッチPIは、互いに同等である。
内歯車34及び太陽歯車33に対してキャリア205を第2軸線O5周りのこの向きに配置すると、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205を嵌め合わせやすく、また、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205が嵌め合っている状態から、キャリア205を研磨部31の外部に移載させやすい。
(2. Polishing method)
Next, a polishing method using the
A preparatory step (step S1 shown in FIG. 9) is performed in advance. In the preparation step S1, as shown in FIG. 10, the
The pitch of the
By arranging the
本実施形態では、太陽歯車33の複数の歯部37の中で、研磨方法による制御で、周方向に隣り合う2本の歯部37A(太陽歯車33の複数の歯部37の少なくとも一部)が用いられる。内歯車34の複数の歯部39の中で、研磨方法による制御で、1本の歯部39A(内歯車34の複数の歯部39の少なくとも一部)が用いられる。
第1支持面32a上における第1撮像部54Aの撮像範囲RAには、2本の歯部37Aが含まれる。すなわち、第1撮像部54Aは、太陽歯車33の2本の歯部37Aの像を取得する。第1撮像部54Aが取得した太陽歯車33の2本の歯部37Aの像を、第1基準像ISと規定する。第1基準像ISの一例を、図11に示す。
図10に示すように、第1支持面32a上における第2撮像部54Bの撮像範囲RBには、1本の歯部39Aが含まれる。すなわち、第2撮像部54Bは、内歯車34の1本の歯部39Aの像を取得する。第2撮像部54Bが取得した内歯車34の1本の歯部39Aの像を、第2基準像IIと規定する。第2基準像IIの一例を、図12に示す。
以下では、基準像IS,IIが取得されたときの、沿面方向の内歯車34及び太陽歯車33の位置を、基準位置と言う。基準像IS,IIが取得されたときの、第2軸線O5周りの内歯車34及び太陽歯車33の向きを、基準向きと言う。
In this embodiment, among the plurality of
The imaging range RA of the
As shown in FIG. 10, the imaging range RB of the
Hereinafter, the positions of the
なお、研磨方法における制御で用いられる太陽歯車33の複数の歯部37の少なくとも一部は、1本の歯部37でもよいし、3本以上の歯部37でもよい。
同様に、研磨方法における制御で用いられる内歯車34の複数の歯部39の少なくとも一部は、2本以上の歯部39でもよい。
At least some of the plurality of
Similarly, at least a portion of the
以下では、互いに嵌め合う内歯車34、太陽歯車33、キャリア205の位置、及び2本の歯部37Aが第1撮像部54Aの撮像範囲RAに含まれ、1本の歯部39Aが第2撮像部54Bの撮像範囲RBに含まれた撮像部54A,54Bの位置を、基準位置と言う。撮像部54A,54Bが基準位置にあるときには、撮像部54A,54Bは、2本の歯部37A、1本の歯部39Aに対向するように配置される。
図10に、2本の歯部37A、1本の歯部39Aに対応する基準位置P37A1,P39A1を示す。撮像部54A,54Bに対応する基準位置P54A1,P54B1を示す。
Below, the positions of the
FIG. 10 shows reference positions P 37A1 and P 39A1 corresponding to two
基準像IS,IIが取得された後で、研磨装置30が適宜使用されるが、研磨部31の内歯車34、太陽歯車33、及び第2搬送装置46の撮像部54は、研磨部31にキャリア205を載置したり、研磨部31の外部にキャリア205を移載させる際に、基準位置に配置される。この際に、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に、基準像IS,IIを取得したときの位置に対して停止誤差が生じる場合がある。しかし、この停止誤差の合計は、例えば、歯部37のピッチPSの半分よりも小さい。
すなわち、制御対象となる2本の歯部37A、1本の歯部39Aは、撮像範囲RA,RB内で、ピッチPSの半分よりもずれない。
After the reference images IS and II are acquired, the polishing
That is, the two
搬入装置により、基板200Aを収容した搬入バスケット10を搬送しておく。研磨部31の第2定盤は、退避状態になっている。
第1制御部81は、マニピュレータ47の吸引部を駆動し、複数の開閉弁を閉じた状態にする。
The carry-in
The
次に、前記第1移載方法(ステップS5)を行う。第1移載方法S5では、キャリア205と、キャリア205の貫通孔206内に収容される基板200Aとを、セットテーブル20から研磨部31に移載させる。
まず、第1収容工程(ステップS6)において、第2制御部82は、第1搬送装置25により、搬入バスケット10内の基板200Aを、セットテーブル20上のキャリア205の貫通孔206に収容する。
第1収容工程S6が終了すると、ステップS7に移行する。
Next, the first transfer method (step S5) is performed. In the first transfer method S<b>5 , the
First, in the first accommodation step (step S6), the
After the first accommodation step S6 is completed, the process proceeds to step S7.
次に、移載工程(ステップS7)において、第2搬送装置46により、キャリア205の外周部及び基板200Aを、キャリア205及び基板200Aが互いに離間するようにそれぞれ保持する。
具体的には、第1制御部81はマニピュレータ47により、図7に示すように、セットテーブル20上のキャリア205及び基板200に対して、上方から保持部50を近づけ、第1保持部52の吸着パッド67を、キャリア205の外周部の上面に接触させる。第2保持部53A,53B,53Cの吸着パッド74A,74B,74Cを、基板200Aの上面に接触させる。
複数の開閉弁を開いた状態にすると、吸着パッド67,74A,74B,74Cの凹部内の空気がそれぞれ吸引され、吸着パッド67,74A,74B,74Cが潰れるように変形する。第1保持部52の潰れた吸着パッド67により、キャリア205の外周部が上方から保持され、第2保持部53A,53B,53Cの潰れた吸着パッド74A,74B,74Cにより、基板200Aの外周部が上方から保持される。
Next, in the transfer step (step S7), the outer peripheral portion of the
Specifically, the
When the plurality of on-off valves are opened, the air in the concave portions of the
そして、マニピュレータ47により保持部50を上方に移動させると、図8に示すように、保持部52,53A,53B,53Cに保持されたキャリア205、基板200Aが、セットテーブル20の上面21から上方に離間する。
このとき、伸長距離M52は、伸長距離M53A,M53B,M53Cよりもキャリア205の厚さを超えて長い。このため、第1保持部52により保持されたキャリア205が湾曲しない場合であっても、キャリア205は、基板200Aよりもキャリア205の厚さを超えて下方に移動し、キャリア205の上面が二点鎖線L5で示す位置に配置される。第1保持部52に保持されるキャリア205及び第2保持部53A,53B,53Cに保持される基板200Aが、互いに離間する。
When the
At this time, extension distance M 52 is longer than extension distances M 53A , M 53B , and M 53C beyond the thickness of
さらに、キャリア205の中央部(キャリア205における厚さ方向に見たときの中央部)は、キャリア205に作用する重力により下方に向かって凸となるように湾曲する。
この場合、湾曲するキャリア205の変位の最大値(図8中に示す最大撓み量M1)は、シミュレーションにより2mm程度であることが分かっている。
キャリア205が下方に向かって凸となるように湾曲することにより、第1保持部52に保持されるキャリア205及び第2保持部53A,53B,53Cに保持される基板200Aが、互いにさらに離間する。
このように、本実施形態では、移載工程S7では、キャリア205よりも基板200Aが上方に位置するように保持する。
図13に示すように、撮像部54A,54Bを、2本の歯部37A、1本の歯部39Aに対向するようにそれぞれ配置し、内歯車34、太陽歯車33、キャリア205、及び撮像部54A,54Bを、基準位置に配置する。このとき、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差が生じているとする。停止誤差が生じているときの、撮像部54A,54Bに対応する位置を、初期位置P54A2,P54B2と言う。
移載工程S7が終了すると、ステップS10に移行する。
Further, the central portion of the carrier 205 (the central portion of the
In this case, the maximum value of displacement of the curved carrier 205 (maximum amount of deflection M 1 shown in FIG. 8) is found to be about 2 mm by simulation.
The
Thus, in this embodiment, the
As shown in FIG. 13, the
After the transfer step S7 is completed, the process proceeds to step S10.
次に、調節・嵌め合わせ工程(ステップS10)を行う。調節・嵌め合わせ工程S10では、第1制御部81は、撮像部54A,54Bが取得した像に基づいて、マニピュレータ47により、内歯車34及び太陽歯車33に対する沿面方向のキャリア205の位置、及び第2軸線O5周りのキャリア205の向きを調整する。そして、マニピュレータ47により、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせる。
具体的には、まず、第1移動量算出工程(ステップS11)において、第1撮像部54Aが、太陽歯車33の2本の歯部37Aの像を取得する。そして、第2撮像部54Bが、内歯車34の1本の歯部39Aの像を取得する。
第1制御部81は、第1撮像部54Aが取得した太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が、第1基準像ISに一致するように、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向に沿うキャリア205の移動量、及び第2軸線O5周りのキャリア205の回転量を含む第1移動量を算出する。
なお、第1移動量及び、後述する第2移動量を求める数式等の詳細については、後述する(5.)で説明する。
Next, an adjustment/fitting step (step S10) is performed. In the adjustment/fitting step S10, the
Specifically, first, in the first movement amount calculation step (step S11), the
The
The details of the formulas and the like for obtaining the first movement amount and the second movement amount, which will be described later, will be described later in (5.).
本実施形態の第1移載方法S5では、第1移動量算出工程S11において、実際にはキャリア205を移動及び回転させず、後述する嵌め合わせ工程S13でまとめて移動させる。第1移動量算出工程S11で、仮にキャリア205を第1移動量移動させた場合には、図14に示すように、内歯車34及び太陽歯車33に対してキャリア205が、沿面方向、及び第2軸線O5周りに移動する。キャリア205を第1移動量移動させた後の撮像部54A,54Bに対応する位置を、第1移載位置P54A3,P54B3と言う。
調節・嵌め合わせ工程S10の詳細については、後述する(5.)で説明する。
なお、第1移動量算出工程S11において、キャリア205を第1移動量移動させてもよい。第2移動量算出工程S12で、第2撮像部54Bが内歯車34の1本の歯部39Aの像を取得してもよい。
第1移動量算出工程S11が終了すると、ステップS12に移行する。
In the first transfer method S5 of the present embodiment, the
The details of the adjustment/fitting step S10 will be described later in (5.).
In addition, in the first movement amount calculation step S11, the
When the first movement amount calculation step S11 ends, the process proceeds to step S12.
次に、第2移動量算出工程(ステップS12)において、第1移動量移動したときの第2撮像部54Bが取得する内歯車34の1本の歯部39Aの像と、第2基準像IIとの差に基づいて、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向に沿うキャリア205の移動量、及び第2軸線O5周りのキャリア205の回転量を含む第2移動量を算出する。
なお、第2移動量算出工程S12では、実際にキャリア205を移動させずに、第2移動量の算出のみを行う。
第2移動量算出工程S12が終了すると、ステップS13に移行する。
Next, in the second movement amount calculation step (step S12), the image of one
Note that in the second movement amount calculation step S12, only the second movement amount is calculated without actually moving the
After the second movement amount calculation step S12 is completed, the process proceeds to step S13.
次に、嵌め合わせ工程(ステップS13)において、マニピュレータ47により、キャリア205を第1移動量及び第2移動量移動させる。このとき、図15に示すように、内歯車34及び太陽歯車33に対してキャリア205が沿面方向に移動し、第2軸線O5周りに回転する。キャリア205を第1移動量及び第2移動量移動させた後の撮像部54A,54Bに対応する位置を、第2移載位置P54A4,P54B4と言う。
そして、その後で、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部39にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせる。
Next, in the fitting step (step S13), the
After that, the plurality of
このとき、第1定盤32の第1支持面32a上にキャリア205を配置してキャリア205を平坦にする。そして、キャリア205を平坦にしたときに、基板200Aをキャリア205よりも上方に離間させる。具体的には、第1制御部81はマニピュレータ47により、第1支持面32aの上方に保持部50を移動させる。そして、保持部50を下方に移動させることにより、第1支持面32a上に保持部50の保持部52,53A,53B,53Cが保持するキャリア205及び基板200Aを降ろしていく。
第1支持面32a上にキャリア205を配置したときには、図8中に二点鎖線L5で示すようにキャリア205が平坦になるため、基板200Aはキャリア205よりも上方に離間している。
At this time, the
When the
次に、第1支持面32a上において、キャリア205の貫通孔206内に、上方から基板200Aを収容させる。具体的には、第1制御部81は、マニピュレータ47により、保持部50を下方に移動させて、キャリア205の貫通孔206内に基板200Aを収容させる。
第2搬送装置46の複数の開閉弁を閉じ、保持部52,53A,53B,53Cによるキャリア205及び基板200Aの保持を解除する。マニピュレータ47により、保持部50を第1支持面32a上から退避させる。
嵌め合わせ工程S13が終了すると、調節・嵌め合わせ工程S10の全工程が終了し、さらに第1移載方法S5の全工程が終了する。第1制御部81は、ステップS15に移行する。
Next, the
A plurality of on-off valves of the
When the fitting step S13 is finished, all the steps of the adjustment/fitting step S10 are finished, and all the steps of the first transfer method S5 are finished. The
第1移載方法S5が終了すると、第2制御部82は、研磨部31の第2定盤を挟み状態にし、第1定盤32及び第2定盤を第1軸線O1周りの所定の向きに回転させるとともに、太陽歯車33及び内歯車34の少なくとも一方を第1軸線O1周りに回転させる。
第1定盤32、第2定盤等を所定の時間回転させると、第1定盤32及び第2定盤により、基板200Aの厚さ方向を向く面が研磨され、基板200Aが、研磨された後の基板200Bとなる。
第2制御部82は、研磨部31の第2定盤を退避状態にする。
第1制御部81は、前記第1移載方法S5とはほぼ逆の工程である第2移載方法(移載方法。ステップS15)を行うことにより、研磨部31からキャリア205を、研磨部31の外部に移載させる。
予め、第1制御部81はマニピュレータ47により、撮像部54A,54Bを、2本の歯部37A、1本の歯部39Aにそれぞれ対向するように配置しておく。
When the first transfer method S5 is completed, the
When the
The
The
In advance, the
第2移載方法S15では、第1制御部81は、研磨部31の第1支持面32a上のキャリア205の位置及び向きに基づいて、マニピュレータ47の保持部50の位置及び向き(姿勢)を調整する。そして、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207がそれぞれ嵌め合っている状態から、マニピュレータ47により、キャリア205を研磨部31の外部に移載させる。
In the second transfer method S15, the
具体的には、まず、第1移動量算出工程(ステップS17)、第2移動量算出工程(ステップS18)において、前記第1移動量算出工程S11、第2移動量算出工程S12と同様の工程を行い、第1移動量及び第2移動量を算出する。すなわち、第1移動量算出工程S17及び第2移動量算出工程S18では、後述する(5.)で説明される数式を用いて、第1移動量及び第2移動量が求められる。
次に、取り外し工程(ステップS19)において、第1制御部81は、第1基準像IS及び第2基準像IIに基づいて、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にそれぞれキャリア205の複数の歯部207が嵌め合っている状態の、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向のキャリア205の位置、及び第2軸線O5周りのキャリア205の向きを検出する。
ここで言う沿面方向のキャリア205の位置は、基準位置及び基準向きである内歯車34及び太陽歯車33に嵌まり合うキャリア205の位置に対する、沿面方向のキャリア205の位置のズレとも言える。ここで言う第2軸線O5周りのキャリア205の向きは、基準位置及び基準向きである内歯車34及び太陽歯車33に嵌まり合うキャリア205の向きに対する、第2軸線O5周りのキャリア205の向きのズレとも言える。
Specifically, first, in the first movement amount calculation step (step S17) and the second movement amount calculation step (step S18), steps similar to the first movement amount calculation step S11 and the second movement amount calculation step S12 are performed. to calculate the first movement amount and the second movement amount. That is, in the first movement amount calculation step S17 and the second movement amount calculation step S18, the first movement amount and the second movement amount are obtained using the mathematical expressions described in (5.) below.
Next, in the removing step (step S19), the
The position of the
第1制御部81は、位置及び向きを調整した保持部50により、キャリア205を保持する。具体的には、保持部50の保持部52,53A,53B,53Cによりキャリア205及び基板200Bを保持する。保持部50の位置及び向きを調整することにより、第1保持部52によりキャリア205を確実に保持するとともに、第2保持部53A,53B,53Cにより基板200Bを確実に保持することができる。
マニピュレータ47により、保持部50を第1移動量及び第2移動量移動させ、キャリア205及び基板200Bを研磨部31の外部であるセットテーブル20の上面21上に移載する。
取り外し工程S19が終了すると、第2移載方法S15の全工程が終了する。第2制御部8は、ステップS25に移行する。
The
The
When the removing step S19 ends, all steps of the second transfer method S15 end. The second control unit 8 proceeds to step S25.
次に、第2収容工程(ステップS25)において、第2制御部82は、第1搬送装置25により、セットテーブル20上の基板200Bを、搬出バスケット15内に収容する。基板200Bが収容された搬出バスケット15は、適宜搬出装置により研磨設備1から搬出される。
Next, in the second accommodation step (step S25), the
以上の第1移載方法S5及び第2移載方法S15を繰り返すことにより、研磨設備1により基板200Aが連続的に研磨される。
By repeating the above-described first transfer method S5 and second transfer method S15, the
以上説明したように、本実施形態の第2搬送装置46では、撮像部54が取得した像には、研磨部31における、実際の内歯車34の1本の歯部39A及び実際の太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が含まれる。このため、例えば、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、第1制御部81が、この像に基づいて、マニピュレータ47により、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向のキャリア205の位置、及び第2軸線O5周りのキャリア205の向きを調整することにより、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
As described above, in the second conveying
Therefore, even if the
マニピュレータ47は、複数のリンク48と、複数の関節49と、複数の保持部50とを有する。このため、複数の関節49を駆動させて複数のリンク48を移動させることにより、保持部50に保持されたキャリア205を設置面Fに対して移載させることができる。そして、複数の関節49により、保持部50に保持されたキャリア205を、内歯車34及び太陽歯車33に対して、沿面方向、及び第2軸線O5周りに移載させることができる。
撮像部54が有する第1撮像部54A及び第2撮像部54Bは、先端リンク48Aに設けられている。従って、太陽歯車33の2本の歯部37Aの像、内歯車34の1本の歯部39Aの像を、第1撮像部54A、第2撮像部54Bにより別々に取得することができる。そして、マニピュレータ47の複数の関節49を駆動させて複数のリンク48を移動させることにより、第1撮像部54A及び第2撮像部54Bを移動させて、第1撮像部54A及び第2撮像部54Bが取得する像に写される対象を変化させることができる。
The
The
第1制御部81は、第1移動量及び第2移動量を算出する。そして、マニピュレータ47により、キャリア205を第1移動量及び第2移動量移動及び回転させた後で、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせる。
マニピュレータ47により、第1制御部81が算出する第1移動量キャリア205を移動させることにより、太陽歯車33の複数の歯部37に対してキャリア205の複数の歯部207が嵌め合う位置に、キャリア205を移載させることができる。さらに、マニピュレータ47により、第1制御部81が算出する第2移動量キャリア205を移動させることにより、内歯車34の複数の歯部39に対してキャリア205の複数の歯部207が嵌め合う位置に、キャリア205を移載させることができる。
こうして、キャリア205を第1移動量及び第2移動量移動させた後で、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせることにより、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205をそれぞれさらに容易に嵌め合わせることができる。
The
By moving the first
Thus, after the
また、第2搬送装置46は、研磨部31からキャリア205を研磨部31の外部に移載させる。撮像部54が取得した像には、研磨部31における、実際の内歯車34の1本の歯部39A及び実際の太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が含まれる。このため、例えば、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、第1制御部81は、この像に基づいて、内歯車34及び太陽歯車33に対する、これら内歯車34及び太陽歯車33に嵌め合うキャリア205の沿面方向の位置、及び第2軸線O5周りの向きを検出する。さらに第1制御部81は、これらの位置及び向きに基づいて、保持部50の沿面方向の位置、及び第2軸線O5周りの向きを調整することにより、キャリア205を保持部50により保持しやすくなる。そして、保持部50を有するマニピュレータ47により、キャリア205を研磨部31の外部に移載させることができる。
従って、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205がそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリア205を研磨部31の外部に容易に移載させることができる。
なお、研磨部31の外部に移載させたキャリア205は、マニピュレータ47によりセットテーブル20上に精度良く配置される。
Further, the
Therefore, even if the
The
また、本実施形態の研磨設備1では、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる第2搬送装置46を用いて、研磨設備1を構成することができる。
Further, in the
また、本実施形態の第1移載方法S5では、前記像には、研磨部31における、実際の内歯車34の1本の歯部39A及び実際の太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が含まれる。このため、例えば、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向のキャリア205の位置、及び第2軸線O5周りのキャリア205の向きを調整することにより、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
Further, in the first transfer method S5 of the present embodiment, the image includes one
Therefore, even if the
また、本実施形態の第2移載方法S15では、前記像には、研磨部31における、実際の内歯車34の1本の歯部39A及び実際の太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が含まれる。このため、例えば、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車34及び太陽歯車33に対する、これら内歯車34及び太陽歯車33に嵌め合うキャリア205の沿面方向の位置、及び第2軸線O5周りの向きを検出する。さらに、これらの位置及び向きに基づいて、保持部50の沿面方向の位置、及び第2軸線O5周りの向きを調整することにより、キャリア205を保持部50により保持しやすくなる。そして、保持部50を移載することにより、キャリア205を研磨部31の外部に移載させることができる。
従って、内歯車34、太陽歯車33、及びマニピュレータ47に停止誤差がある場合でも、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205がそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリア205を研磨部31の外部に容易に移載させることができる。
In addition, in the second transfer method S15 of the present embodiment, the image includes one
Therefore, even if the
なお、第2搬送装置46は、内歯車34及び太陽歯車33にキャリア205を嵌め合わせること、又は研磨部31からキャリア205を研磨部31の外部に移載させることができればよい。
The second conveying
調節・嵌め合わせ工程では、まず、第2撮像部54Bが取得する内歯車34の複数の歯部39の少なくとも一部の像が、第2基準像IIに一致するように、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向に沿うキャリア205の移動量、及び第2軸線O5周りのキャリア205の移動量を含む第2移動量を算出してもよい。そして、第2移動量移動したときの第1撮像部54Aが取得する太陽歯車33の複数の歯部37の少なくとも一部の像と、第1基準像との差に基づいて、内歯車34及び太陽歯車33に対する、沿面方向に沿うキャリア205の移動量、及び第2軸線O5周りのキャリア205の回転量を含む第1移動量を算出してもよい。
そのうえで、マニピュレータ47により、キャリア205を第2移動量及び第1移動量移動させた後で、内歯車34の複数の歯部39及び太陽歯車33の複数の歯部37にキャリア205の複数の歯部207をそれぞれ嵌め合わせてもよい。
In the adjusting/fitting process, first, the
Then, after the
太陽歯車33の複数の歯部における第1軸線O1に直交する断面の外縁は、インボリュート曲線でもよい。内歯車34の複数の歯部も同様であり、キャリア205の複数の歯部は、太陽歯車33及び内歯車34の複数の歯部にそれぞれ嵌め合うように形成される。
第2搬送装置46は、2つの撮像部54A,54Bを有するとした。しかし、第2搬送装置が有する撮像部の数はこれに限定されず、1つでもよいし、3つ以上でもよい。
The outer edge of the cross section perpendicular to the first axis O1 in the plurality of tooth portions of the
It is assumed that the second conveying
(3.内歯車及び太陽歯車の停止誤差に対する、キャリアの位置及び向きの調整による対応)
例えば、マニピュレータ47の停止誤差が無い場合について説明する。基準位置における内歯車34、太陽歯車33、及びキャリア205の位置が、図16に示す位置であるとする。キャリア205の向きを、「C」の文字の向きで表す。
図16に示す基準位置に対して、例えば、図17に示すように、第1軸線O1に対して、内歯車34が時計周りに停止誤差があり、太陽歯車33が時計周りに停止誤差があるとする。キャリア205は、第1軸線O1に対して時計周りに公転するが、キャリア205の第2軸線O5周りの向きはほとんど変わらない(キャリア205はほとんど自転しない)。
この場合には、第1制御部81は、マニピュレータ47により、沿面方向のキャリア205の位置を調整する。
(3. Corresponding to the stop error of the internal gear and the sun gear by adjusting the position and orientation of the carrier)
For example, a case where there is no stopping error of the
With respect to the reference position shown in FIG. 16, for example, as shown in FIG. 17, the
In this case, the
一方で、図16に示す基準位置に対して、例えば、図18に示すように、第1軸線O1に対して、内歯車34が反時計周りに停止誤差があり、太陽歯車33が時計周りに停止誤差があるとする。キャリア205は、第1軸線O1周りにほとんど公転しないが、キャリア205の第2軸線O5周りの向きが変わる(キャリア205が自転する)。
この場合には、第1制御部81は、マニピュレータ47により、第2軸線O5周りのキャリア205の向きを調整する。
On the other hand, with respect to the reference position shown in FIG. 16, for example, as shown in FIG. Suppose there is a stopping error. The
In this case, the
内歯車34及び太陽歯車33の一般的な停止誤差は、図17に示す停止誤差と図18に示す停止誤差とを組み合わせた停止誤差になる。
第1制御部81が、マニピュレータ47により、沿面方向のキャリア205の位置を調整し、さらに第2軸線O5周りのキャリア205の向きを調整することにより、内歯車34及び太陽歯車33の一般的な停止誤差に対応することができる。
A general stopping error of the
The
(4.太陽歯車を固定した場合の計算方法)
本実施形態の第1移載方法S5では、太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が第1基準像ISに一致するようにキャリア205を第1移動量移動した後で、第2移動量を算出する。
ここで、内歯車34の歯数(複数の歯部39の全数)を、ziと規定する。太陽歯車33の歯数を、zsと規定する。キャリア205の歯数を、zcと規定する。例えば、歯数ziが360であるとする。歯数zsが120であり、歯数zcが120であるとする。
(4. Calculation method when the sun gear is fixed)
In the first transfer method S5 of the present embodiment, after the
Here, the number of teeth of the internal gear 34 (the total number of the plurality of tooth portions 39) is defined as zi . The number of teeth of the
図19に示すように、太陽歯車33が固定され、内歯車34が第1軸線O1に対して反時計周りに回転する場合で説明する。
この場合、キャリア205が公転する回数は、(1)式により3/4回転となる。
zi/(zs+zi)
=360/(120+360)
=3/4 ・・(1)
As shown in FIG. 19, the case where the
In this case, the number of times the
z i /(z s +z i )
=360/(120+360)
= 3/4 (1)
この時のキャリア205の向き(自転角)は、図20に示すように、正回転(反時計周り)で1.5(3/2)回転自転する。
以上のように、内歯車34がθI回転すると、キャリア205は(3/4)θI公転し、(3/2)θI自転する。
At this time, the orientation (rotation angle) of the
As described above, when the
(5.調節・嵌め合わせ工程の詳細)
以下では、第1軸線O1に見たときの状態で、第1軸線O1に沿う方向の距離は考慮せずに説明する。
(5. Details of adjustment/fitting process)
In the following, a description will be given without considering the distance in the direction along the first axis O1 when viewed from the first axis O1.
(5.1.制御式のまとめ)
図21に示すように、太陽歯車33の2本の歯部37Aのうち、反時計回り側(内側)の歯部37Aを、以下では第1歯部37A1と言う。太陽歯車33の2本の歯部37Aのうち、時計回り側(外側)の歯部37Aを、以下では第2歯部37A2と言う。
以下の例では、内歯車34の歯部39Aとして、1本の歯部39A1を制御対象とする。
第1支持面32aに沿い、互いに直交する軸を、x軸、y軸と言う。
マニュピレータ47の保持部50の中心の座標を(xe,ye)、第2軸線O5周りの回転角をψeと規定する。xe軸及びye軸は、第1支持面32aに沿う(沿面方向に沿う)。
(5.1. Summary of control formula)
As shown in FIG. 21, of the two
In the following example, as the
Axes perpendicular to each other along the
The coordinates of the center of the holding
表1及び表2に示すように、各項目に対する記号、設定値、歯数を規定する。 As shown in Tables 1 and 2, the symbols, set values, and number of teeth for each item are specified.
表1に示すように、キャリア205の公転円の半径の記号を、ri-cと規定する。例えば、キャリア205の公転円の半径の設計値を、720mmとする。第1基準像ISにおける第1歯部37A1の座標を、(xs1,ys1)と規定する。第2基準像IIにおける第1歯部39A1の座標を、(xi1,yi1)と規定する。
表2に示すように、例えば、キャリア205の歯数zcを、120とする。
As shown in Table 1, the symbol for the radius of the revolution circle of
As shown in Table 2, for example, the number of teeth zc of the
座標(xe,ye)及び回転角ψeの制御は、(4)式に基づいて行われる。なお、(xe,ye,ψe)は、第1移動量及び第2移動量を統合した移動量である。 The coordinates (x e , y e ) and the rotation angle ψ e are controlled based on equation (4). Note that (x e , y e , ψ e ) is the amount of movement obtained by integrating the first amount of movement and the second amount of movement.
ただし、rcは、キャリア205のピッチ円の半径である。△xeは、xe軸方向のキャリア205の移動量であり、△yeは、ye軸方向のキャリア205の移動量である。△ψeは、第2軸線O5周りのキャリア205の回転量である。前記第2移動量は、移動量△xe,△ye,△ψeを含む。
移動量△xs1は、第1撮像部54Aが取得する実際の第1歯部37A1の像と、第1基準像ISにおける第1歯部37A1の像との、x軸方向の距離である。移動量△ys1は、第1撮像部54Aが取得する実際の第1歯部37A1の像と、第1基準像ISにおける第1歯部37A1の像との、y軸方向の距離である。
where r c is the radius of the
The movement amount Δx s1 is the distance in the x-axis direction between the actual image of the first tooth portion 37A1 acquired by the
△xs2は、第1撮像部54Aが取得する実際の第2歯部37A2の像と、第1基準像ISにおける第2歯部37A2の像との、x軸方向の距離である。△ys2は、第1撮像部54Aが取得する実際の第2歯部37A2の像と、第1基準像ISにおける第2歯部37A2の像との、y軸方向の距離である。
△xi1は、第2撮像部54Bが取得する実際の第1歯部39A1の像と、第2基準像IIにおける第1歯部39A1の像との、x軸方向の距離である。△yi1は、第2撮像部54Bが取得する実際の第1歯部39A1の像と、第2基準像IIにおける第1歯部39A1の像との、y軸方向の距離である。
Δx s2 is the distance in the x-axis direction between the actual image of the second tooth portion 37A2 acquired by the
Δx i1 is the distance in the x-axis direction between the actual image of the first tooth 39A1 acquired by the
保持部50の中心(マニュピレータ47の第1側の端)から基準像IS,IIにおける各歯部までの距離(ベクトル)は、以下のような定数になる。
・保持部50の中心から第1基準像ISにおける第1歯部37A1までの距離は、(7)式で表される。
・保持部50の中心から第1基準像ISにおける第2歯部37A2までの距離は、(8)式で表される。
・保持部50の中心から第2基準像IIにおける第1歯部39A1までの距離は、(9)式で表される。
The distance (vector) from the center of the holding portion 50 (the end of the
- The distance from the center of the holding
- The distance from the center of the holding
- The distance from the center of the holding
第1撮像部54Aが取得する実際の第1歯部37A1の像と、第1基準像ISにおける第1歯部37A1の像との位相差α(rad)は、(12)式で表される。
A phase difference α (rad) between the actual image of the first tooth portion 37A1 acquired by the
なお、atan2(x,y)は、0以上2π未満の値で定義される、tanの逆関数を意味する。
第1撮像部54Aが取得した太陽歯車33の2本の歯部37Aの像が、第1基準像ISの2本の歯部37Aの像に一致した場合の、第2撮像部54Bが取得した第1歯部39A1の像と、第2基準像IIにおける第1歯部39A1の像との距離は、(15)式で表される。
Note that atan2(x, y) means an inverse function of tan defined by a value of 0 or more and less than 2π.
The image of the two
前記の場合における、第2撮像部54Bが取得した第1歯部39A1の像と、第2基準像IIにおける第1歯部39A1の像との位相差(rad)は、(16)式で表される。
In the above case, the phase difference (rad) between the image of the first tooth portion 39A1 acquired by the
ただし、(△ψi,△ψs)は、第1移動量移動後のキャリア205と内歯車34との位相差である。
piyが正のとき、(△ψi-△ψs)は正であり、piyが負のとき、(△ψi-△ψs)は負である。
移動量△xe,△ye,△ψeは、(17)式及び(18)式で表される。
However, (Δψ i , Δψ s ) is the phase difference between the
(Δψ i −Δψ s ) is positive when p iy is positive and (Δψ i −Δψ s ) is negative when p iy is negative.
The movement amounts Δx e , Δy e , and Δψ e are expressed by equations (17) and (18).
保持部50の中心から各歯部までの距離の誤差は、以下の式で表される。
・保持部50の中心から第1歯部37A1までの距離の誤差は、(26)式で表される。
・保持部50の中心から第2歯部37A2までの距離の誤差は、(27)式で表される。
・保持部50の中心から第1歯部39A1までの距離の誤差は、(28)式で表される。
The error of the distance from the center of the holding
- The error of the distance from the center of the holding
- The error of the distance from the center of the holding
- The error of the distance from the center of the holding
マニュピレータ47の保持部50が、研磨部31に対するキャリア205の搬入及び搬出位置に移動した後で、最初に(26)式から(28)式による誤差を検出する。
After the holding
(5.2.制御内容の詳細)
第1基準像ISにおける太陽歯車33の第1歯部37A1の像と、第1撮像部54Aが取得する実際の第1歯部37A1の像とを一致させる変換は、(31)式で表される。(31)式による変換は、マニュピレータ47への制御として行われる。
(5.2. Details of control content)
The conversion for matching the image of the first tooth portion 37A1 of the
前記一致をさせた後における、第1基準像ISにおける第2歯部37A2の像と、第2撮像部54Bが取得する実際の第2歯部37A2の像との距離は、(32)式で表される。
After matching, the distance between the image of the second tooth portion 37A2 in the first reference image IS and the actual image of the second tooth portion 37A2 acquired by the
第1歯部37A1から第2歯部37A2までの距離は、(33)式で表される。 The distance from the first tooth portion 37A1 to the second tooth portion 37A2 is represented by the formula (33).
この時点では、図23に示すように、第1撮像部54Aが取得する実際の第1歯部37A1の像と、第1基準像ISにおける第1歯部37A1の像とは、座標(xs1,ys1)で一致している。
第1基準像ISにおける第2歯部37A2の像の座標は、(xs2,ys2)である。
実際の第2歯部37A2の座標は、(xs2+(△xs2-△xs1),ys2+(△ys2-△ys1))である。
At this point, as shown in FIG. 23, the actual image of the first tooth portion 37A1 acquired by the
The coordinates of the image of the second tooth portion 37A2 in the first reference image IS are (x s2 , y s2 ).
The actual coordinates of the second tooth portion 37A2 are (x s2 +(Δx s2 -Δx s1 ), y s2 +(Δy s2 -Δy s1 )).
図23に示す、第1基準像ISにおける歯部37A1,37A2の像を結ぶ線と、実際の歯部37A1,37A2の像を結ぶ線とのなす角度αは、前記(12)式で表される。 The angle α between the line connecting the images of the teeth 37A1 and 37A2 in the first reference image IS and the line connecting the images of the actual teeth 37A1 and 37A2 shown in FIG. be.
マニュピレータ47を制御して、第1基準像ISにおける歯部37A1,37A2の像と、第1撮像部54Aが取得する実際の歯部37A1,37A2の像とを一致させる変換は、(37)式で表される。ただし、マニュピレータ47の保持部50の中心の座標(xe,ye)を、基準とする。
なお、(37)式は、第1移動量を表す。
The transformation that controls the
It should be noted that equation (37) represents the first movement amount.
変換eTe’を行う前は、図24に示すように、第1基準像ISにおける歯部37A1,37A2の位置P37A11,P37A21と、実際の歯部37A1,37A2の位置P37A12,P37A22とが、それぞれ異なっている。
図24に示す状態から、変換eTe’を行うことにより、図25に示すように、第1基準像ISにおける歯部37A1,37A2の位置P37A11,P37A21と、実際の歯部37A1,37A2の位置P37A12,P37A22とが、それぞれ一致する。
Before the transformation e T e′ is performed, as shown in FIG. 24, the positions P 37A11 and P 37A21 of the tooth portions 37A1 and 37A2 in the first reference image IS and the positions P 37A12 and P 37A12 and P 37A12 of the actual tooth portions 37A1 and 37A2 in the first reference image IS. 37A22 are different.
Transformation eT e' is performed from the state shown in FIG . Positions P 37A12 and P 37A22 of 37A2 match each other.
実際には保持部50(キャリア205)を移動させないが、第1基準像ISにおける歯部37A1,37A2の像と、実際の歯部37A1,37A2とをそれぞれ一致させた後での、第2基準像IIにおける第1歯部39A1の像と実際の第1歯部39A1との距離piを求める。
第2撮像部54Bの座標の移動(第1歯部39A1の座標の移動)は、(40)式で表される。
ただし、距離(ds1x-di1x,ds1y-di1y)は、図26に示すように、第1歯部39A1から第1歯部37A1に向かう距離となる。
Although the holding portion 50 (carrier 205) is not actually moved, the second reference image is obtained after the images of the tooth portions 37A1 and 37A2 in the first reference image IS are matched with the actual tooth portions 37A1 and 37A2. A distance pi between the image of the first tooth portion 39A1 in the image II and the actual first tooth portion 39A1 is obtained.
The movement of the coordinates of the
However, the distance (d s1x −d i1x , d s1y −d i1y ) is the distance from the first tooth portion 39A1 to the first tooth portion 37A1 as shown in FIG.
従って、前記距離piのxy座標における距離(pix,piy)は、前記(15)式で表される。 Therefore, the distance (p ix , p iy ) in the xy coordinates of the distance p i is represented by the above equation (15).
ここで、図27に示すように、第2基準像IIにおける第1歯部39A1の位置を、P39A11と規定する。実際の第1歯部39A1の位置を、P39A12と規定する。
このとき、太陽歯車33の中心(第2軸線O5)と位置P39A11とを結ぶ線と、太陽歯車33の中心と位置P39A12とを結ぶ線とのなす角度(△ψi-△ψs)は、前記(16)式で表される。
この時点で、太陽歯車33の2本の歯部37Aは、実物と第1基準像ISとの位置が一致した状態である。このため、内歯車34の歯部39A1の実物と第2基準像IIとの位置に誤差がある状態は、ソーラ型の遊星歯車(太陽歯車固定・内歯車が(△ψi-△ψs)回転)のように回転されているとみなすことができる。
したがって、ソーラ型遊星歯車の回転比率から、キャリア205の自転・公転角度が求められる。
それに応じて、マニピュレータ47を制御すればよい。
Here, as shown in FIG. 27, the position of the first tooth portion 39A1 in the second reference image II is defined as P39A11 . The actual position of the first tooth portion 39A1 is defined as P 39A12 .
At this time, the angle (Δψ i −Δψ s ) formed by the line connecting the center of the sun gear 33 (the second axis O5) and the position P 39A11 and the line connecting the center of the
At this point, the two
Therefore, the rotation and revolution angles of the
The
なお、太陽歯車33を固定したソーラ型における内歯車34等の回転角度の比率は、表3に示すようである。
Table 3 shows the rotation angle ratios of the
例えば、内歯車34がθi回転した場合、キャリア205は((zizc+zs)/(zczi+zs))θi自転し、(zi/(zi+zs))θi公転する。
For example, when the
以上のように、最初に撮像部54A,54Bにより歯部37A1,37A2,39A1の位置を検出した後で行われる、マニュピレータ47に対する変換行列(第1移動量及び第2移動量の和)は、(44)式で表される。
なお、(44)式において、「C」は「cos」を表し、「S」は「sin」を表す。
As described above, the conversion matrix (the sum of the first movement amount and the second movement amount) for the
In addition, in (44) formula, "C" represents "cos" and "S" represents "sin".
マニュピレータ47についての、前記座標(xe,ye)、前記回転角ψeは、前記(4)式で表される。
The coordinates (x e , y e ) and the rotation angle ψ e of the
1 研磨設備
31 研磨部
32 第1定盤(定盤)
32a 第1支持面(支持面)
33 太陽歯車
34 内歯車
37,39,207 歯部
46 第2搬送装置(移載装置)
47 マニピュレータ(移載部)
48 リンク
49 関節
50 保持部
54 撮像部
54A 第1撮像部
54B 第2撮像部
200 基板
205 キャリア
206 貫通孔
F 設置面
II 第2基準像
IS 第1基準像
O5 第2軸線(軸線)
S5 第1移載方法(移載方法)
S15 第2移載方法(移載方法)
1 polishing
32a first support surface (support surface)
33
47 manipulator (transfer section)
48
S5 First transfer method (transfer method)
S15 Second transfer method (transfer method)
Claims (8)
前記キャリアを移載させる移載部と、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、
前記移載部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記像に基づいて、前記移載部により、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、
前記移載部により、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、移載装置。 A planetary gear system type polishing unit for polishing the surface facing the thickness direction of the substrate, which has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of the surface plate, has a flat plate shape and is provided on the outer peripheral edge of the polishing unit. A transfer device for transferring a carrier having a plurality of tooth portions that can be fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate,
a transfer unit that transfers the carrier;
an imaging unit that acquires an image of at least a portion of the plurality of teeth of the internal gear and at least a portion of the plurality of teeth of the sun gear;
a control unit that controls the transfer unit;
with
The control unit
Based on the image, the transfer unit adjusts the position of the carrier in the creeping direction along the support surface and the orientation of the carrier around the axis orthogonal to the support surface with respect to the internal gear and the sun gear. death,
The transfer device, wherein the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear by the transfer section.
連結軸に沿って並べて配置された複数のリンクと、
前記連結軸に沿って隣り合う前記複数のリンク同士を回転可能に連結する関節と、
前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第1側の前記リンクである先端リンクに設けられ、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部と、
を有し、
前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第2側の前記リンクは、設置面により支持され、
前記関節により、前記保持部は、前記内歯車及び前記太陽歯車に対して、前記沿面方向、及び前記軸線周りに移載可能である、請求項1に記載の移載装置。 The transfer unit is
a plurality of links arranged side by side along the connecting axis;
a joint that rotatably connects the plurality of links that are adjacent to each other along the connection axis;
a holding portion that is provided on a tip link that is the first link among the plurality of links along the connecting shaft and that detachably holds the carrier;
has
the second most link along the connecting shaft among the plurality of links is supported by an installation surface;
2. The transfer device according to claim 1, wherein said joint allows said holding portion to be transferred in said creeping direction and around said axis with respect to said internal gear and said sun gear.
前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第1撮像部と、
前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第2撮像部と、
を有し、
前記第1撮像部及び前記第2撮像部は、前記先端リンクに設けられている、請求項2に記載の移載装置。 The imaging unit is
a first imaging unit that acquires the image of at least part of the plurality of teeth of the sun gear;
a second imaging unit that acquires the image of at least part of the plurality of teeth of the internal gear;
has
3. The transfer device according to claim 2, wherein said first imaging section and said second imaging section are provided on said tip link.
前記第1撮像部が取得した前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第1基準像と規定し、
前記第2撮像部が取得した前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第2基準像と規定したときに、
前記制御部は、
前記第1撮像部が取得する前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像が、前記第1基準像に一致するように、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第1移動量を算出し、
前記第1移動量移動及び回転したときの前記第2撮像部が取得する前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像と、前記第2基準像との差に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第2移動量を算出し、
前記移載部により、前記キャリアを前記第1移動量及び前記第2移動量移動及び回転させた後で、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、請求項3に記載の移載装置。 when the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear,
defining the image of at least part of the plurality of teeth of the sun gear acquired by the first imaging unit as a first reference image;
When the image of at least a part of the plurality of tooth portions of the internal gear acquired by the second imaging unit is defined as a second reference image,
The control unit
in the creeping direction with respect to the internal gear and the sun gear so that the image of at least a part of the plurality of teeth of the sun gear acquired by the first imaging unit matches the first reference image. calculating a first movement amount including an amount of movement of the carrier along and an amount of rotation of the carrier about the axis;
Based on the difference between the image of at least a part of the plurality of tooth portions of the internal gear acquired by the second imaging unit when the first movement amount movement and rotation is performed and the second reference image, the calculating a second movement amount including an amount of movement of the carrier along the surface direction and an amount of rotation of the carrier about the axis with respect to the internal gear and the sun gear;
After the carrier is moved and rotated by the first movement amount and the second movement amount by the transfer unit, the carrier is transferred to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear. 4. The transfer device according to claim 3, wherein said plurality of tooth portions of are fitted to each other.
前記キャリアを着脱可能に保持する保持部を有し、前記キャリアを移載させる移載部と、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、
前記移載部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記像に基づいて、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、
前記位置及び前記向きを調整した前記保持部により、前記キャリアを保持し、
前記移載部により、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する、移載装置。 From the planetary gear system type polishing unit that has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of the surface plate and polishes the surface facing the thickness direction of the substrate, the polishing unit is a flat plate and is provided on the outer peripheral edge. A transfer device for transferring, to the outside of the polishing unit, a carrier having a plurality of tooth portions fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate, the transfer device comprising:
a transfer unit that has a holding unit that detachably holds the carrier and that transfers the carrier;
an imaging unit that acquires an image of at least a portion of the plurality of teeth of the internal gear and at least a portion of the plurality of teeth of the sun gear;
a control unit that controls the transfer unit;
with
The control unit
Based on the image, the internal gear and the sun gear in a state in which the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear, respectively. detecting the position of the carrier in the creepage direction along the support surface and the orientation of the carrier about an axis perpendicular to the support surface with respect to
holding the carrier by the holding portion adjusted in the position and the orientation;
A transfer device that transfers the carrier to the outside of the polishing unit by the transfer unit.
前記研磨部と、
を備える、研磨設備。 a transfer device according to any one of claims 1 to 5;
the polishing section;
polishing equipment.
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、
前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、移載方法。 A planetary gear system type polishing unit for polishing the surface facing the thickness direction of the substrate, which has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of the surface plate, has a flat plate shape and is provided on the outer peripheral edge of the polishing unit. A transfer method for transferring a carrier formed with a plurality of tooth portions that can be fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate,
the carrier in a creeping direction along the support surface relative to the internal gear and the sun gear based on images of at least a portion of the teeth of the internal gear and at least a portion of the teeth of the sun gear; and the orientation of the carrier about an axis perpendicular to the support surface;
The transfer method, wherein the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear.
前記内歯車の複数の歯部及び前記太陽歯車の複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、
前記位置及び前記向きを調整した保持部により、前記キャリアを保持し、
前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する、移載装置。 From the planetary gear system type polishing unit that has an internal gear and a sun gear that rotate on the support surface of the surface plate and polishes the surface facing the thickness direction of the substrate, the polishing unit is a flat plate and is provided on the outer peripheral edge. A transfer method for transferring, to the outside of the polishing unit, a carrier having a plurality of tooth portions fitted to the internal gear and the sun gear, respectively, and a through hole for accommodating the substrate, comprising:
At least some of the plurality of teeth of the internal gear and the sun gear in a state in which the plurality of teeth of the carrier are fitted to the plurality of teeth of the internal gear and the plurality of teeth of the sun gear, respectively. a position of the carrier in a creeping direction along the support surface and a position of the carrier about an axis perpendicular to the support surface relative to the internal gear and the sun gear, based on images of at least a portion of a plurality of teeth of detect orientation,
The carrier is held by the holding portion whose position and orientation are adjusted,
A transfer device that transfers the carrier to the outside of the polishing section.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022027114A JP2023123192A (en) | 2022-02-24 | 2022-02-24 | Transferring device, polishing facility, and transferring method |
PCT/JP2023/005980 WO2023162924A1 (en) | 2022-02-24 | 2023-02-20 | Transfer device, polishing equipment, and transfer method |
TW112106479A TW202400361A (en) | 2022-02-24 | 2023-02-22 | Transfer device, polishing equipment, and transfer method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022027114A JP2023123192A (en) | 2022-02-24 | 2022-02-24 | Transferring device, polishing facility, and transferring method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023123192A true JP2023123192A (en) | 2023-09-05 |
Family
ID=87765795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022027114A Pending JP2023123192A (en) | 2022-02-24 | 2022-02-24 | Transferring device, polishing facility, and transferring method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023123192A (en) |
TW (1) | TW202400361A (en) |
WO (1) | WO2023162924A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117001448A (en) * | 2023-10-07 | 2023-11-07 | 通威微电子有限公司 | Grinding device and control method thereof |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0329083Y2 (en) * | 1985-05-21 | 1991-06-21 | ||
JPH04206931A (en) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | Semiconductor substrate location detecting method in polishing apparatus and automatic mounting and dismounting apparatus |
JPH05212670A (en) * | 1992-01-31 | 1993-08-24 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | Carrier indexing method of lapping unit and device thereof |
JP4235313B2 (en) * | 1999-05-17 | 2009-03-11 | 株式会社住友金属ファインテック | Double-side polishing machine |
JP4037645B2 (en) * | 2001-12-11 | 2008-01-23 | 不二越機械工業株式会社 | Double-side polishing equipment |
JP4492155B2 (en) * | 2004-02-27 | 2010-06-30 | 信越半導体株式会社 | Semiconductor wafer carrier holding hole detection device and detection method, and semiconductor wafer polishing method |
KR101616464B1 (en) * | 2014-11-18 | 2016-04-29 | 주식회사 엘지실트론 | Apparatus for Loading Wafer of Polishing Wafer Equipment and Method of Calibrating Loading Position of Wafer |
-
2022
- 2022-02-24 JP JP2022027114A patent/JP2023123192A/en active Pending
-
2023
- 2023-02-20 WO PCT/JP2023/005980 patent/WO2023162924A1/en unknown
- 2023-02-22 TW TW112106479A patent/TW202400361A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202400361A (en) | 2024-01-01 |
WO2023162924A1 (en) | 2023-08-31 |
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