JP2023118103A - 伝動組立体及び当該伝動組立体を有する搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、高精度かつ低騒音で伝動することができる伝動組立体及び当該伝動組立体を有する装置に関する。【解決手段】伝動組立体（１）は、第１のディスク（４１）と、第２のディスク（４２）と、第１のディスク（４１）と第２のディスク（４２）との間に円周方向に沿って配置される複数の転がりユニット（５）とを有するローラ（２）と、その片側には、縦方向に沿って延び、転がりユニット（５）と噛み合い可能な複数の歯部（３１）を有するラック（３）と、を備え、転がりユニット（５）は、その両端がそれぞれ第１のディスク（４１）及び第２のディスク（４２）に対して回転不可能に接続されるピンシャフト（５０）と、円筒状でピンシャフト（５０）に回転可能に取り付けられる転がり体（５１）と、を含む。【選択図】 図２

Description

本発明は、伝動組立体及び当該伝動組立体を有する搬送装置に関し、特に、半導体分野で使用される搬送装置の伝動組立体及び当該伝動組立体を有する装置に関する。

従来の技術では、さまざまな形態の伝動組立体が知られている。例えば、回転運動を直線運動に変換するために使用される、ラックアンドピニオンとしての伝動組立体が知られている。しかしながら、そのようなラックアンドピニオン式の伝動組立体では、かみ合ったピニオンとラックの間に構造的にバックラッシュがある。当該バックラッシュは非常に高い精度が必要であり、しかも調整が特に困難である。そうでない場合、ピニオンとラックの何れかが駆動されて運動するときに、騒音、振動、摩耗などの問題が発生し、停止時の位置精度に悪影響を及ぼす可能性がある。

なお、上述した従来の技術は、いわゆる文献公知発明に係るものではないので、記載すべき先行技術文献情報がない。

特に、半導体の分野において、高い位置精度を有し、且つ低騒音、低振動および耐摩耗性で作動する搬送装置が望まれている。

本発明の目的は、上記の問題を少なくとも部分的に解決することができる伝動組立体及び当該伝動組立体を有する装置を提供する。

本発明の第１の態様によれば、上記目的を達成するために、第１のディスクと、第２のディスクと、第１のディスクと第２のディスクとの間に円周方向に沿って配置される複数の転がりユニットとを有するローラと、その片側には、縦方向に沿って延び、転がりユニットと噛み合い（接触）可能な複数の歯部を有するラックと、を備える伝動組立体であって、転がりユニットは、その両端がそれぞれ第１のディスク及び第２のディスクに対して回転不可能に接続されるピンシャフトと、円筒状でピンシャフトに回転可能に取り付けられる転がり体と、を含む伝動組立体を提供する。

例えば、この場合、各転がりユニットは、ピンシャフトに互いに間隔を空けて配置される複数の転がり体を含む。

例えば、この場合、転がり体同士の間にスペーサリングが配置されている。好ましくは、スペーサリングの外周径は転がり体の外周径より小さい。

例えば、この場合、ピンシャフトの長手方向の中央には、その円周方向に沿って凸起（突起）が設けられている。

例えば、この場合、転がり体は、円筒軸受である。

例えば、この場合、第１のディスクの厚さは、第２のディスクの厚さと異なり、厚さの大きい一方のディスクにおける第１の中央貫通穴の径は、他方のディスクの第２の中央貫通穴の径より小さい。

例えば、この場合、歯部は、転がり体の外周に合わせる円弧の形状であり、歯元に位置する第１の歯形セクションと、円弧の形状であり、歯先と第１の歯形セクションとの間に位置する第２の歯形セクションとを備える歯形を有する。

例えば、この場合、ピンシャフトの両端の少なくとも一端の断面は非円形である。

本発明の別の態様によれば、上記伝動組立体を有する搬送装置を提供する。

例えば、この場合、搬送装置はブラケットを有し、伝動組立体は、ブラケットの側面、頂部又は底部に配置されている。

例えば、この場合、搬送装置は駆動部を有し、第１のディスク及び第２のディスクのうち、厚さの大きい方のディスクは、駆動部により近いように配置される。

例えば、この場合、第１のディスク及び第２のディスクのうち、厚さの大きい方のディスクにおける中央貫通穴は、駆動部とは反対側の穴セクションの径が最も大きい段付き穴となり、穴セクションには、内スリーブと、その一部が内スリーブに挿入された外スリーブとが割り当てられ、外スリーブの内周面と内スリーブの外周面とは、互いに合わせる円錐面とされ、外スリーブの外周面及び内スリーブの内周面は、円筒面であって、内スリーブには、少なくとも１つの縦方向スロットを有する。

例えば、この場合、搬送装置は、半導体ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）の搬送ロボット運動装置、ウェーハ搬送ロボット運動装置、又はガラス搬送ロボット運動装置である。

本発明による伝動組立体及び当該伝動組立体を有する装置により、高精度かつ低騒音で伝動することができる。特に、当該伝動組立体が装置に側方取り付けられた場合、装置の全体の構造の高さを低減させるとともに、高精度かつ低騒音で伝動することができる。

従来の技術によるラックアンドピニオンとしての伝動組立体を概略的に示した図である。 本発明による伝動組立体を概略的に示した図である。 図２の伝動組立体を示した別の図である。 図２の伝動組立体を示した側面図である。 図２の伝動組立体を示した断面図である。 本発明による伝動組立体を有する装置を概略的に示した図である。

以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施形態をより詳細に説明する。本発明の好ましい実施形態が図面に示されたが、本発明はさまざまな形態で実現でき、本明細書に記載の実施形態によって限定されるべきではないことを理解されたい。むしろ、これらの実施形態は、本発明をより明らかで完全にし、本発明の範囲を当業者に十分に伝えるように提供される。

以下の記載において、本発明のさまざまな実施形態を説明する目的で、本発明のさまざまな実施形態を正確に理解するために、ある具体的な詳細を説明していた。しかし、関連分野の当業者は、これらの具体的な詳細の１つ又は複数の詳細がなくても実施形態を実施できることを認識するであろう。他の場合では、本願に関連する周知の装置、構造及び技術は、実施形態の記載を不必要に曖昧にすることを避けるために、詳細に図示または説明されないことがある。

文中で他に明記していない限り、明細書および特許請求の範囲の全体を通じて、用語「含む」及びその変形、例えば、「備える」および「有する」は、「…を含むが、これらに限定されない」という意味の、開放式の用語であると解釈される。

明細書の全体において、“一実施形態”又は“いくつかの実施形態”の用語は、その実施形態に関連して記載される特定の点、構造、または特徴が、少なくとも一実施形態に含まれることを意味する。したがって、明細書の全体では、“一実施形態において”又は“いくつかの実施形態において”に記載されたのは、必ずしもすべてが同じ実施形態を指しているとは限らない。また、特定の点、構造又は特徴は、１つ又は複数の実施形態において任意の方法で組み合わせることができる。

なお、明細書及び特許請求の範囲で使われる第１、第２などの用語は、各オブジェクトを明確に区別して説明することのみを目的としており、説明されたオブジェクトのサイズまたは他の順番を限定するためのものではない。

図１では、従来の技術による、互いに噛み合うラック１Ａとピニオン１Ｂを有する伝動組立体１’を概略的に示した。図１のラック１Ａとピニオン１Ｂとが接触する箇所での拡大図Ｃから分かるように、ラック１Ａの第１の歯形１１とピニオン１Ｂの第２の歯形１０との間にバックラッシュＳが存在する。当該バックラッシュＳは歯隙とも呼ばれ、通常、対応する歯が摩擦し発熱して膨張することによりかじりつくことを回避するために必要である。しかし、このバックラッシュがあると、歯の間に衝撃が発生し、歯車伝動の安定に影響を及ぼし、しかも伝動組立体の停止時には、このようなバックラッシュが停止時の位置精度にも影響を及ぼす。したがって、位置の精度と安定な伝動を確保するために、この隙間を例えば±０.１ｍｍ以下のように小さくしなければならない。しかしながら、バックラッシュの隙間の調整作業は、極めて困難である。適切に調整されていないと、騒音、振動、摩耗等の問題が発生する恐れがある。

図２では、本発明による一実施形態の、ローラ２とラック３を有する伝動組立体１が示される。

図２、図４と図５から分かるように、組立体１のローラ２は、第１のディスク４１及び第２のディスク４２と、第１のディスク４１と第２のディスク４２との間に円周方向に沿って均等な距離で配置される複数の転がりユニット５とを有する。第１のディスク４１及び第２のディスク４２が互いに脱着可能に接続される。ラック３の片側には、縦方向に沿って延びる複数の歯部３１が設けられている。転がりユニット５は、ラック３の歯部３１と噛み合うことができる。

例示的に、第１のディスク４１及び第２のディスク４２は、追加された接続モジュール６によって互いに接続され、具体的には、接続モジュール６は、第１のディスク４１と第２のディスク４２の間に配置される。例示的に、接続モジュール６は、ボルト（図示せず）及びネジ筒４７を有し、ネジ筒４７の両端にはボルトをねじ込むことができるネジ穴が設けられる。このため、第１のディスク４１及び第２のディスク４２に段付き穴４４が対応して設けられ、接続モジュール６のボルトは、第１のディスク４１及び第２のディスク４２の段付き穴４４をそれぞれ通して、第１のディスク４１と第２のディスク４２の間に配置されたネジ筒４７の両端のネジ穴にねじ込まれる。強固で信頼性の高い接続を確立するために、第１のディスク４１又は第２のディスク４２の円周方向に沿って同一構造の複数の接続モジュール６が設けられる。したがって、対応して、第１のディスク４１及び第２のディスク４２には、それぞれ円周方向に沿って段付き穴が設けられている。例示的に、図２には、接続モジュール６が１２個配置されている。接続モジュールの数は、これに限定されていない無論である。好ましくは、取り付けられた状態で、ボルトの頭部は第１のディスク４１又は第２のディスク４２の端面を超えて突出しない、つまり、軸方向において、第１のディスク４１又は第２のディスク４２の端面よりも下方又は同一面に位置する。好ましくは、ネジ筒４７の一端又は両端は、多角形面などの非円形面とされてもよく、第１のディスク４１及び第２のディスク４２は、ネジ筒４７の端部に合わせる穴を有する。第１のディスク４１と第２のディスク４２との間に任意の他の脱着可能な接続が設けられてもよいことは無論である。

転がりユニット５は、第１のディスク４１及び第２のディスク４２との間に配置され、特に、複数の転がりユニット５は、第１のディスク４１と第２のディスク４２との間に円周方向に沿って均等間隔で配置される。図面において、第１のディスク４１と第２のディスク４２との間に配置された転がりユニット５が１２個図示されている。換言すれば、隣り合う転がりユニット５同士の間の角間隔αは３０°である。ラック３の歯部３１のピッチなどのラックの関連パラメータにあわせる、他の角間隔αを設定しもよい。

図４と図５から分かるように、転がりユニット５は、接続モジュール６の径方向の外側に配置され、しかもピンシャフト５０と転がり体５１を含み、ピンシャフト５０の両端は、それぞれ第１のディスク４１及び第２のディスク４２に対して回転不可能に接続され、転がり体５１は円筒状であり、回転可能にピンシャフト５０に取り付けられている。

一実施形態において、転がりユニット５は、接続モジュール６と対応して設けられる。具体的には、図２を参照し、転がりユニット５のピンシャフト５０のためのディスクの穴の中心は、接続モジュール６のネジ筒４７のためのディスクの穴の中心とディスクの中心とを結ぶ線の延長線上にあるため、ユニット５の数は、接続モジュール６の数と同じである。

図示されていない別の例では、接続モジュール６が、ディスクを固定し接続しかつ保持すれば、転がりユニット５のピンシャフト５０のためのディスクの穴の数は、接続モジュール６のネジ筒４７のためのディスクの穴の数と異なってもいい。その代わりに、ディスクにおいて、隣り合うネジ筒４７同士の間にネジ筒４７の挿通されていない穴を残しているように、ネジ筒４７が取り付けられた円に、接続モジュール６よりも数が多く均等に配置された穴が設けられることで、重量を減少させてもよい。

ピンシャフト５０の両端それぞれは、第１のディスク４１及び第２のディスク４２の形状に合わせて接続されることができる。即ち、各ピンシャフト５０の端部と各ディスクは、互いに合わせる形状を有する。好ましくは、ピンシャフト５０の一端又は両端は、例えば正四角形断面、正六角形断面又は欠円形断面などの非円形断面を有する。このため、ピンシャフト５０の端部を収容するために、第１のディスク４１及び第２のディスク４２は、それぞれ対応する収容穴を有する。

同様に、ピンシャフト５０の両端は、ネジ接続によって第１のディスク４１及び第２のディスク４２に接続することができる。例えば、第１のディスク４１及び第２のディスク４２にそれぞれ貫通穴４３が設けられ、ボルト５３は、当該貫通穴を通してピンシャフト５０の端部に設けられたネジ穴にねじ込まれてもよい。貫通穴４３は段付き穴として構成されている。

一実施形態において、転がり体（図示せず）にピンシャフト５０が嵌まり込まれてもよい。当該転がり体は円筒体とされ、その外周がラック３の歯部３１と噛み合い、内周がピンシャフト５０に回転可能に取り付けられる。したがって、転がり体は、ピンシャフト５０に取り付けられる滑り軸受と見なすことができ、軸受合金、耐摩耗鋳鉄、銅基およびアルミニウム基の合金、粉末冶金材料、プラスチック、ゴム、ポリテトラフルオロエチレンフッ化ビニル（テフロン(登録商標)、ＰＴＦＥ）、変性ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）などにより製造される。

一実施形態において、ピンシャフト５０の中央には、１つのスペーサリング５２が突起状に一体的に成形されてもよい。上記のタイプの転がり体又はその代わりに転がり軸受がスペーサリングの両側にそれぞれ配置される。ここでは、スペーサリング５２の外周の径は、転がり体又は転がり軸受の外周の径より小さい。それによって、転がり体又は転がり軸受とラック３の歯部３１との接触面積が減少する。これは、伝動精度を向上させることに有利である。代わりに、スペーサリング５２が別体として提供され、ピンシャフト５０に後に取り付けられて、転がり体又は転がり軸受がスペーサリング５２の両側に配置されてもよい。

一実施形態において、各転がりユニット５は、ピンシャフト５０に互いに間隔を空けて配置された複数の転がり体５１を含み、図４と図５を参照して、転がり体５１に対してスペーサリング５２が割り当てられ、即ち、隣り合う転がり体５１同士の間に１つのスペーサリング５２が配置されてもよい。この場合、転がり体５１は、円筒軸受などの転がり軸受又は滑り軸受であってもいい。好ましくは、転がり体５１は同一に構成されている。説明した例では、各転がりユニット５は、同じ構成の転がり体を３つ含み、隣り合う転がり体は互いに離れていることを示した。このような構成は、転がりユニット５とラック３の歯部３１との接触面積を低減させることに有利である。

第１のディスク４１及び第２のディスク４２は、それぞれの径が同じであってもよいが、それぞれの厚さが異なってもよい。例えば、説明した例では、厚さの大きい方のディスク４２における第１の中央貫通穴４６の径は、別のディスク４１における第２の中央貫通穴４５の径より小さい。この場合、厚さの大きい方のディスク４２における第１の中央貫通穴４６は、他の目的で使用されてもよい。以下はこの点をより詳細に説明する。

ラック３は、縦方向に沿って直線的に延びる複数の歯部３１を有する。各歯部３１は、歯形３２を有する。歯形３２は、歯元に位置する第１の歯形セクション３２１と、歯先３２３と第１の歯形セクション３２１との間に位置する第２の歯形セクション３２２とを有する。第１の歯形セクション３２１は、転がり体５１の外周に合わせる円弧の形状であり、即ち、転がり体５１の外周と同じ径を有する。第２の歯形セクション３２２は円弧の形状である。第２の歯形セクション３２２は、歯先３２３まで面取り加工される。これにより、位置決め精度が高く、バックラッシのない伝動組立体を提供することができる。

図３から分かるように、転がりユニット５は、ディスクにおける直径がＤ１の円に配置され、転がり体５１と歯部３１との接触点は、ディスクの直径がＤ２である円に位置する（Ｄ２>Ｄ１）。図３には、転がり体の中心を通る直線Ｌと、伝動組立体の運転中に一番下に位置する転がり体５１と歯部３１との接触点を通る直線Ｌ１を示す。当該転がり体５１は、歯部３１の直線Ｌ１よりも下方の領域で、歯部と互いに接触している。

説明した例では、伝動組立体は、３つの転がりユニット５が常にラック３と接触しているため、必要なバックラッシュ精度を維持する状態で、低騒音でメンテナンスを容易にすることができる。特に、このような伝動組立体によれば、２つのディスクと転がりユニットのピンシャフトに対して回転不可能に接続されることにより、ディスクとピンシャフトは１つの剛体と見なすことができる。これは長期的に荷重が掛かって運転する場合でも、全体的な構造安定性を確保することに有利である。特に、間隔をあけて配置された複数の転がり体５１は、ラックの歯部との接触面積を低減することに有利であり、騒音を低減し、伝動安定性及び伝動精度を向上させるのに有利である。なお、このような伝動装置は、更に、摩耗した転がり体を容易に交換するため、メンテナンスに有利である。ラック３と常に接触する他の数の転動ユニット５も考えられる。

本発明の別の態様によれば、上記伝動組立体１を有する装置８を提供する。図６は、ブラケット８０を有する装置８を概略的に示す。ここでは、伝動組立体１が装置８のブラケット８０の側部に取り付けられる。特に、装置の垂直方向に沿って設置スペースが限られている場合、伝動組立体１を側部に配置することにより、ロボットなどの、伝動装置に接続される他の機構も側部に配置することができる。それによって、他の利用可能なスペースを効率的に利用することができる。伝動組立体１は、実際の状況に応じて、装置のブラケットの頂部又は底部など、他の位置に取り付けられてもよい。

装置８は、更に、伝動組立体１と伝動接続を確立する駆動部８１を有する。駆動部８１は、例えばサーボモータなどの電気モータである。駆動部８１は、伝動組立体１と直接接続されてもよく、駆動部８１と伝動組立体１との間に変速機やクラッチ等の中間機構が配置されてもよい。このために、駆動部８１は、例えば出力シャフトなどの出力部を介し、伝動組立体１のディスクのうちの１つに伝動接続されてもよい。

一実施形態において、第１のディスク４１及び第２のディスク４２のうち、厚さの大きい方のディスクが駆動部８１により近いように配置される。特に、第１のディスク４１及び第２のディスク４２のうち、厚さの大きい方のディスクにおける中央貫通穴は、段付き穴であり、段付き穴の駆動部８１とは反対側の穴セクションは最大の径を有する。穴セクションに外スリーブ７１と内スリーブ７２が割り当てられ、外スリーブ７１の内周面と内スリーブ７２の外周面は、互いに合わせる円錐面であり、外スリーブ７１の外周面と内スリーブ７２の内周面は、円筒面であってもよい。なお、内スリーブ７２の一端には、貫通穴を有するフランジが設けられている。対応して、外スリーブ７１には、ネジ穴（図示せず）が設けられている。内スリーブ７２には、少なくとも１つの縦方向スロット７３を更に有する。伝動組立体と出力部との接続を確立するために、外スリーブ７１の一部が内スリーブ７２に挿入され、且つ出力部が内スリーブ７２内に配置された後、ボルトのねじが外スリーブのネジ穴にねじ込まれるように、内スリーブ７２のフランジの貫通穴を通したボルト７４を締め付けてもよい。調整ボルトがネジ穴に徐々にねじ込まれるにつれて、内スリーブが外スリーブに徐々に深く入り込むことによって、出力部との接続、特に、回転不可能な接続が確立される。

駆動部８１は、例えばロボット、他の図示されていない機器に接続されてもよい。当該ロボットは、同様に装置８のブラケット８０に取り付けられる。伝動装置１のラック３は、ブラケット８０に固定して取り付けられてもいい。ロボットは、図示されていないスライドレールを介して、ブラケット８０に案内して取り付けられてもいい。ロボットは、伝動装置１と伝動接続され、且つロボットと固定して接続される駆動部により、レールに沿って往復直線運動する。特に、駆動部８１は、ロボットコントローラによって運動するように制御されることで、伝動組立体は、ロボットを所定の位置に駆動する。

説明した例では、ピンシャフトに３つの転がり体が配置され、隣り合う転がり体同士の間にスペーサリングが配置され、且つ１２個の転がりユニット５と１２個の接続モジュール１２がディスク同士の間に配置されていることを示した。このような伝動組立体は、駆動部と伝動接続されている。駆動部が回転すると、ローラとラックの噛み合いにより、ロボットが往復運動できるようになる。

上記の装置は、例えば半導体ＬＣＤ搬送ロボット運動装置、ウェーハ搬送ロボット運動装置、又はガラス搬送ロボット運動装置である。

上記の装置は、更に、医療分野および自動化分野において使用されることが可能である。

上記の本発明による装置の特徴または特徴の組み合わせ、ならびに図面に記載されているおよび／または図面のみに示されている特徴および特徴の組み合わせは、それぞれ組合せてもよく、本発明の主旨から逸脱しない範囲において、その他との組み合わせまたは単独で使用されてもよい。

本発明は、上述の実施形態に基づいて説明されたが、上述の実施形態は、例示および説明をのみ目的としており、本発明を記載された実施形態の範囲に限定することを意図していないと理解されたい。当業者は、本発明の教示に従ってさらなる変形および修正を行うことができ、それらの何れも本発明の保護範囲内に収まることを理解すべきである。

１ 伝動組立体
２ ローラ
３ ラック
５ 転がりユニット
８ 搬送装置
３１ 歯部
３２ 歯形
４１ 第１のディスク
４２ 第２のディスク
４５ 第２の中央貫通穴
４６ 第１の中央貫通穴
５０ ピンシャフト
５１ 転がり体
５２ スペーサリング
７１ 外スリーブ
７２ 内スリーブ
７３ 縦方向スロット
８０ ブラケット
８１ 駆動部
３２１ 第１の歯形セクション
３２２ 第２の歯形セクション
３２３ 歯先

Claims (14)

1. 第１のディスク（４１）と、第２のディスク（４２）と、前記第１のディスク（４１）と前記第２のディスク（４２）との間に円周方向に沿って配置される複数の転がりユニット（５）とを有するローラ（２）と、その片側には、縦方向に沿って延び、前記転がりユニット（５）と噛合可能な複数の歯部（３１）を有するラック（３）と、を備える伝動組立体（１）であって、
   前記転がりユニット（５）は、その両端がそれぞれ前記第１のディスク（４１）及び前記第２のディスク（４２）に対して回転不可能に接続されるピンシャフト（５０）と、円筒状で前記ピンシャフト（５０）に回転可能に取り付けられる転がり体（５１）と、を含むことを特徴とする伝動組立体（１）。
2. 前記各転がりユニット（５）は、前記ピンシャフト（５０）に互いに間隔を空けて配置される複数の転がり体（５１）を含むことを特徴とする請求項１に記載の伝動組立体（１）。
3. 前記転がり体（５１）同士の間にスペーサリング（５２）が配置されていること特徴とする請求項２に記載の伝動組立体（１）。
4. 前記ピンシャフト（５０）の長手方向の中央には、その円周方向に沿って凸起が設けられていること特徴とする請求項２に記載の伝動組立体（１）。
5. 前記転がり体（５１）は、円筒軸受であること特徴とする請求項１に記載の伝動組立体（１）。
6. 前記第１のディスク（４１）の厚さは、前記第２のディスク（４２）の厚さと異なり、厚さの大きい一方のディスクにおける第１の中央貫通穴（４６）の径は、他方のディスクの第２の中央貫通穴（４５）の径より小さいこと特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の伝動組立体（１）。
7. 前記歯部（３１）は、前記転がり体（５１）の外周に合わせる円弧の形状であり、歯元に位置する第１の歯形セクション（３２１）と、円弧の形状であり、歯先（３２３）と前記第１の歯形セクション（３２１）との間に位置する第２の歯形セクション（３２２）とを備える歯形（３２）を有すること特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の伝動組立体（１）。
8. 前記ピンシャフト（５０）の両端の少なくとも一端の断面は非円形であること特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の伝動組立体（１）。
9. 前記スペーサリング（５２）の外周径は、前記転がり体（５１）の外周径より小さいこと特徴とする請求項３に記載の伝動組立体（１）。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の伝動組立体（１）を有することを特徴とする搬送装置（８）。
11. 前記搬送装置は、ブラケット（８）を有し、前記伝動組立体（１）は、前記ブラケット（８）の側面、頂部又は底部に配置されていること特徴とする請求項１０に記載の搬送装置（８）。
12. 前記搬送装置は、駆動部（８１）を有し、前記第１のディスク（４１）及び前記第２のディスク（４２）のうち、厚さの大きい方のディスクは、前記駆動部（８１）により近いように配置されること特徴とする請求項１０に記載の搬送装置（８）。
13. 前記第１のディスク（４１）及び前記第２のディスク（４２）のうち、厚さの大きい方のディスクにおける中央貫通穴は、前記駆動部（８１）とは反対側の穴セクションの径が最も大きい段付き穴となり、前記穴セクションには、内スリーブ（７２）と、その一部が前記内スリーブ（７２）に挿入された外スリーブ（７１）とが割り当てられ、前記外スリーブ（７１）の内周面と前記内スリーブ（７２）の外周面とは、互いに合わせる円錐面とされ、前記外スリーブ（７１）の外周面及び前記内スリーブ（７２）の内周面は、円筒面であって、前記内スリーブ（７２）には、少なくとも１つの縦方向スロット（７３）を有すること特徴とする請求項１２に記載の搬送装置（８）。
14. 前記搬送装置（８）は、半導体ＬＣＤの搬送ロボット運動装置、ウェーハ搬送ロボット運動装置、又はガラス搬送ロボット運動装置であること特徴とする請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載の搬送装置（８）。