JP2023114226A - Display device - Google Patents

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JP2023114226A JP2022016482A JP2022016482A JP2023114226A JP 2023114226 A JP2023114226 A JP 2023114226A JP 2022016482 A JP2022016482 A JP 2022016482A JP 2022016482 A JP2022016482 A JP 2022016482A JP 2023114226 A JP2023114226 A JP 2023114226A
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Abstract

To provide a display device capable of achieving downsizing by reducing an area occupied by a contact part.SOLUTION: A display device in an embodiment includes a plurality of signal lines, and a signal line switch circuit including a plurality of transistors arranged in a first direction and connected to the plurality of signal lines. A light-blocking layer of the transistor has a first extension part LSE1 extending in a second direction intersecting with the first direction. A gate electrode includes a second extension part GEE1 extending in the second direction and disposed so as to be displaced in the first direction relative to the first extension part. A part of the second extension part is located so as to overlap with a part of the first extension part. A contact part includes a single contact hole CH6 provided so as to overlap with the first extension part and the second extension part, and a wiring layer SLC1 formed in the contact hole and connected to a part of the first extension part and a part of the second extension part.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明の実施形態は、表示装置に関する。 Embodiments of the present invention relate to display devices.

遮光層をバックゲートとして用いる表示装置が開発されている。
このような表示装置においては、基板上に複数の信号線スイッチ回路が並んで設けられ、信号線スイッチ回路の複数本の配線はほぼ平行に並んで配置されている。トランジスタから延出するバックゲートとゲート電極とのコンタクト部分は、複数本の配線に重ねて配置される。コンタクト部分は、信号配線層を介して接続されるため、通常、2つのコンタクトホールを用いる必要がある。
A display device using a light shielding layer as a back gate has been developed.
In such a display device, a plurality of signal line switch circuits are provided side by side on a substrate, and the plurality of wirings of the signal line switch circuits are arranged substantially parallel to each other. A contact portion between the back gate and the gate electrode extending from the transistor is arranged to overlap a plurality of wirings. Since the contact portion is connected through the signal wiring layer, it is usually necessary to use two contact holes.

特開2016-134388号公報JP 2016-134388 A 特開2002-221738号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-221738

この発明の実施形態の課題は、コンタクト部分が占める面積を低減し、小型化を図ることが可能な表示装置を提供することにある。 An object of the embodiments of the present invention is to reduce the area occupied by the contact portion and to provide a display device that can be miniaturized.

実施形態に係る表示装置は、複数の信号線と、それぞれ遮光層と絶縁層を挟んで前記遮光層に重畳して設けられたゲート電極と前記遮光層と前記ゲート電極とを電気的に接続するコンタクト部とを有し、第1方向に並んで配置された複数のトランジスタを具備し、前記複数の信号線に接続された信号線スイッチ回路と、を備えている。前記遮光層は、前記第1方向と交差する第2方向に延出した第1延出部を有し、前記ゲート電極は、前記第2方向に延出し前記第1延出部に対し前記第1方向にずれて配置された第2延出部を有し、前記第2延出部の一部が前記第1延出部の一部に重畳して位置している。前記コンタクト部は、前記第1延出部および前記第2延出部に重畳して設けられた単一のコンタクトホールと前記コンタクトホールの内に形成され前記第1延出部の一部および前記第2延出部の一部に接続された配線層とを含んでいる。 A display device according to an embodiment electrically connects a plurality of signal lines, a gate electrode provided to overlap the light shielding layer with a light shielding layer and an insulating layer interposed therebetween, and the light shielding layer and the gate electrode. a signal line switch circuit having contact portions, including a plurality of transistors arranged side by side in a first direction, and connected to the plurality of signal lines. The light shielding layer has a first extending portion extending in a second direction intersecting the first direction, and the gate electrode extends in the second direction and extends in the first direction with respect to the first extending portion. It has a second extension portion that is displaced in one direction, and a portion of the second extension portion is positioned so as to overlap a portion of the first extension portion. The contact portion includes a single contact hole provided to overlap the first extending portion and the second extending portion, and a portion of the first extending portion and the contact hole formed in the contact hole. and a wiring layer connected to a portion of the second extension.

図1は、第1実施形態に係る表示装置の回路図。1 is a circuit diagram of a display device according to a first embodiment; FIG. 図2は、前記表示装置に設けられる画素の一例を模式的に示す図。FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of pixels provided in the display device; 図3は、前記画素部における前記表示装置の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the display device in the pixel portion; 図4は、前記表示装置の信号線スイッチ回路を概略的に示す平面図。4 is a plan view schematically showing a signal line switch circuit of the display device; FIG. 図5は、図4の線A-Aに沿ったトランジスタ部分の断面図。5 is a cross-sectional view of the transistor portion along line AA in FIG. 4; FIG. 図6は、前記トランジスタのゲート電極の延出部および遮光層の延出部を拡大して示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing an enlarged extension of a gate electrode and an extension of a light shielding layer of the transistor; 図7は、図6の線B-Bに沿った前記延出部の断面図。7 is a cross-sectional view of the extension along line BB of FIG. 6; FIG. 図8は、図6の線D-Dに沿った前記延出部の断面図。8 is a cross-sectional view of the extension along line DD of FIG. 6; FIG. 図9は、第2実施形態に係る表示装置における、トランジスタのゲート電極の延出部および遮光層の延出部を拡大して示す平面図。FIG. 9 is an enlarged plan view showing an extended portion of a gate electrode of a transistor and an extended portion of a light shielding layer in a display device according to a second embodiment; 図10は、図9の線E-Eに沿った前記延出部の断面図。10 is a cross-sectional view of the extension along line EE of FIG. 9; FIG. 図11は、第3実施形態に係る表示装置における、トランジスタのゲート電極の延出部および遮光層の延出部を拡大して示す平面図。FIG. 11 is an enlarged plan view showing an extended portion of a gate electrode of a transistor and an extended portion of a light shielding layer in a display device according to a third embodiment; 図12は、図11の線F-Fに沿った前記延出部の断面図。12 is a cross-sectional view of the extension along line FF of FIG. 11; FIG. 図13は、第4実施形態に係る表示装置における、トランジスタのゲート電極の延出部および遮光層の延出部を拡大して示す平面図。FIG. 13 is an enlarged plan view showing an extended portion of a gate electrode of a transistor and an extended portion of a light shielding layer in a display device according to a fourth embodiment; 図14は、図13の線G-Gに沿った前記延出部の断面図。14 is a cross-sectional view of the extension along line GG of FIG. 13; FIG.

以下、図面を参照しながら、この発明の実施形態について詳細に説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
It should be noted that the disclosure is merely an example, and appropriate modifications that can be easily conceived by those skilled in the art while keeping the gist of the invention are naturally included in the scope of the present invention. In addition, in order to make the description clearer, the drawings may schematically show the width, thickness, shape, etc. of each part compared to the actual embodiment, but this is only an example, and the interpretation of the present invention is not intended. It is not limited. In addition, in this specification and each figure, the same reference numerals may be given to the same elements as those described above with respect to the existing figures, and detailed description thereof may be omitted as appropriate.

(第1実施形態)
以下、図面を参照しながら第1実施形態に係る表示装置について詳細に説明する。
本実施形態において、第1方向X、第2方向Y、及び、第3方向Zは、互いに直交しているが、90度以外の角度で交差していてもよい。第3方向Zの矢印の先端に向かう方向を上又は上方と定義し、第3方向Zの矢印の先端に向かう方向とは反対側の方向を下又は下方と定義する。
(First embodiment)
Hereinafter, the display device according to the first embodiment will be described in detail with reference to the drawings.
In this embodiment, the first direction X, the second direction Y, and the third direction Z are orthogonal to each other, but they may intersect at an angle other than 90 degrees. The direction toward the tip of the arrow in the third direction Z is defined as upward or upward, and the direction opposite to the direction toward the tip of the arrow in the third direction Z is defined as downward.

第3方向Zの矢印の先端側に表示装置を観察する観察位置があるものとし、この観察位置から、第1方向X及び第2方向Yで規定されるX-Y平面に向かって見ることを平面視という。第1方向X及び第3方向Zによって規定されるX-Z平面、あるいは第2方向Y及び第3方向Zによって規定されるY-Z平面における表示装置の断面を見ることを断面視という。 It is assumed that there is an observation position where the display device is observed on the tip side of the arrow in the third direction Z, and the XY plane defined by the first direction X and the second direction Y is viewed from this observation position. Planar view. Viewing a cross section of the display device on the XZ plane defined by the first direction X and the third direction Z or the YZ plane defined by the second direction Y and the third direction Z is referred to as a cross-sectional view.

図1は、第1実施形態に係る表示装置を概略的に示す平面図である。表示装置の一例として、液晶表示装置を示している。図示のように、表示装置DSPは、後述する基板(基材)の上に形成された表示領域DA、および表示領域の周囲に位置する非表示領域(額縁領域)を有している。
表示領域DAには、複数の画素PXと、複数の走査線GLと、複数の信号線SLと、が設けられている。複数の走査線GLは、第1方向Xに延伸し、第2方向Yに間隔を置いて並んで配列されている。複数の信号線SLは、第2方向Yに延伸し、第1方向Xに間隔を置いて並んで配列されている。なお、走査線GL及び信号線SLをそれぞれゲート線及びソース線と称する場合もある。
FIG. 1 is a plan view schematically showing the display device according to the first embodiment. FIG. A liquid crystal display device is shown as an example of the display device. As illustrated, the display device DSP has a display area DA formed on a substrate (base material), which will be described later, and a non-display area (frame area) located around the display area.
A plurality of pixels PX, a plurality of scanning lines GL, and a plurality of signal lines SL are provided in the display area DA. The multiple scanning lines GL extend in the first direction X and are arranged side by side in the second direction Y at intervals. The plurality of signal lines SL extend in the second direction Y and are arranged side by side in the first direction X at intervals. Note that the scanning lines GL and signal lines SL may also be referred to as gate lines and source lines, respectively.

複数の画素PXの各々は、R(赤)、G(緑)及びB(青)それぞれの色を表示する副画素SXR、SXG、及びSXBを含んでいる。なお、副画素SXR、SXG、及びSXBを区別しない場合は、単に副画素SXという。複数の副画素SXは、第1方向X及び第2方向Yにマトリクス状に配列され、それぞれ走査線GLと信号線SLとの交点の近傍に設けられている。換言すると、副画素SXはそれぞれ、隣り合う2本の走査線GLと、隣り合う2本の信号線SLとに囲まれた領域に設けられている。 Each of the plurality of pixels PX includes sub-pixels SXR, SXG, and SXB that display colors of R (red), G (green), and B (blue), respectively. The sub-pixels SXR, SXG, and SXB are simply referred to as sub-pixels SX when they are not distinguished from each other. A plurality of sub-pixels SX are arranged in a matrix in the first direction X and the second direction Y, and are provided near the intersections of the scanning lines GL and the signal lines SL. In other words, each sub-pixel SX is provided in a region surrounded by two adjacent scanning lines GL and two adjacent signal lines SL.

図2は、副画素SXの回路図である。
図示のように、副画素SXはそれぞれ、スイッチング素子PSW、画素電極PE、共通電極CE、液晶層LC、保持容量CS等を備えている。スイッチング素子SWは、例えば薄膜トランジスタ(TFT)によって構成され、走査線GL及び信号線SLと電気的に接続されている。走査線GLは、第1方向Xに並んだ副画素SXの各々におけるスイッチング素子SWのゲート電極GEと接続されている。信号線SLは、第2方向Yに並んだ副画素SXの各々におけるスイッチング素子PSWのソース電極SEと接続されている。画素電極PEは、スイッチング素子PSWのドレイン電極DEと電気的に接続されている。画素電極PEの各々は、共通電極CEと対向し、画素電極PEと共通電極CEとの間に生じる電界によって、液晶層LCを駆動する。保持容量CSは、例えば、共通電極CEと同電位の電極、及び、画素電極PEと同電位の電極の間に形成される。
FIG. 2 is a circuit diagram of the sub-pixel SX.
As illustrated, each sub-pixel SX includes a switching element PSW, a pixel electrode PE, a common electrode CE, a liquid crystal layer LC, a storage capacitor CS, and the like. The switching element SW is composed of, for example, a thin film transistor (TFT), and is electrically connected to the scanning line GL and the signal line SL. The scanning line GL is connected to the gate electrode GE of the switching element SW in each of the sub-pixels SX arranged in the first direction X. As shown in FIG. The signal line SL is connected to the source electrode SE of the switching element PSW in each of the sub-pixels SX arranged in the second direction Y. As shown in FIG. The pixel electrode PE is electrically connected to the drain electrode DE of the switching element PSW. Each pixel electrode PE faces the common electrode CE, and the electric field generated between the pixel electrode PE and the common electrode CE drives the liquid crystal layer LC. The storage capacitor CS is formed, for example, between an electrode having the same potential as the common electrode CE and an electrode having the same potential as the pixel electrode PE.

副画素SXのスイッチング素子PSWのソース電極SEは、信号線SLと一体形成されている。また、複数の信号線SLの各々は、各副画素SXに供給される映像信号が入力される後述の信号線駆動回路SLCに接続される。すなわち、複数の信号線SLは、複数の副画素SXと信号線駆動回路SLCとを接続する。スイッチング素子PSWのゲート電極GEは、走査線GLと一体形成されている。また、各走査線GLは、各副画素SXに走査信号を供給する後述の走査線駆動回路GLCに接続される。共通電極CEは、共通配線CMLに接続されている。 The source electrode SE of the switching element PSW of the sub-pixel SX is formed integrally with the signal line SL. Also, each of the plurality of signal lines SL is connected to a signal line driving circuit SLC, which will be described later, to which a video signal supplied to each sub-pixel SX is input. That is, the plurality of signal lines SL connect the plurality of sub-pixels SX and the signal line driving circuit SLC. A gate electrode GE of the switching element PSW is formed integrally with the scanning line GL. Each scanning line GL is connected to a scanning line driving circuit GLC, which will be described later, and which supplies a scanning signal to each sub-pixel SX. The common electrode CE is connected to the common wiring CML.

一方、図1に示すように、表示装置DSPは、走査線GLを駆動する走査線駆動回路GLC、信号線SLを駆動する信号線駆動回路SLC、信号線スイッチ回路ASW、共通電極CEを駆動する共通電極駆動回路CD、共通配線CMLに接続されたスイッチ回路MUXを有している。信号線駆動回路SLC及び走査線駆動回路GLCは、駆動素子(制御回路)DDと電気的に接続されている。駆動素子DDは、信号線駆動回路SLC及び走査線駆動回路GLCを介して、副画素SXに画像表示に必要な信号を出力する。
詳細は後述するが、信号線駆動回路SLCと駆動素子DDとの間には、信号線SLに電気的に接続される複数の引出配線WL1、WL2が設けられている。
On the other hand, as shown in FIG. 1, the display device DSP drives a scanning line driving circuit GLC that drives the scanning lines GL, a signal line driving circuit SLC that drives the signal lines SL, a signal line switch circuit ASW, and a common electrode CE. It has a common electrode drive circuit CD and a switch circuit MUX connected to the common line CML. The signal line driving circuit SLC and the scanning line driving circuit GLC are electrically connected to the driving element (control circuit) DD. The drive element DD outputs a signal necessary for image display to the sub-pixel SX via the signal line drive circuit SLC and the scanning line drive circuit GLC.
Although details will be described later, a plurality of lead wirings WL1 and WL2 electrically connected to the signal line SL are provided between the signal line driving circuit SLC and the driving element DD.

信号線SLと信号線スイッチ回路ASWの接続関係について説明する。図1に示す例では、副画素SXのそれぞれに接続される信号線SLとして、信号線SLR、SLG及びSLBが設けられている。信号線SLR、SLG及びSLBは、信号線スイッチ回路ASWに接続されている。信号線SLRは、赤(R)の色を表示する副画素SXRと接続された信号線である。信号線SLGは、緑(G)の色を表示する副画素SXGと接続された信号線である。信号線SLBは、青(B)の色を表示する副画素SXBと接続された信号線である。
信号線SLRは、第2方向Yに配列された複数の副画素SXRを含む副画素列と接続されている。信号線SLGは、第2方向Yに配列された複数の副画素SXGを含む副画素列と接続されている。信号線SLBは、第2方向Yに配列された複数の副画素SXBを含む副画素列と接続されている。
A connection relationship between the signal line SL and the signal line switch circuit ASW will be described. In the example shown in FIG. 1, signal lines SLR, SLG, and SLB are provided as the signal lines SL connected to each of the sub-pixels SX. The signal lines SLR, SLG and SLB are connected to the signal line switch circuit ASW. The signal line SLR is a signal line connected to the sub-pixel SXR displaying red (R). The signal line SLG is a signal line connected to the sub-pixel SXG displaying green (G). The signal line SLB is a signal line connected to the sub-pixel SXB displaying blue (B).
The signal line SLR is connected to a sub-pixel column including a plurality of sub-pixels SXR arranged in the second direction Y. As shown in FIG. The signal line SLG is connected to a sub-pixel column including a plurality of sub-pixels SXG arranged in the second direction Y. As shown in FIG. The signal line SLB is connected to a sub-pixel column including a plurality of sub-pixels SXB arranged in the second direction Y. FIG.

信号線スイッチ回路ASWは、画素回路としての表示領域DAに画像に関する信号を供給する制御回路である。信号線スイッチ回路ASWは、スイッチング素子としてのトランジスタSTR、STG及びSTB、並びに、選択線SSR、SSG、及びSSBを有している。トランジスタSTR、STG及びSTBの各々は、例えば薄膜トランジスタである。なおトランジスタSTR、STG及びSTBを特に区別する必要がない場合には、単にトランジスタSTと称する。また、信号線スイッチ回路ASWを、単にスイッチ回路と称することもある。
トランジスタSTRは、信号線SLRと接続されている。トランジスタSTGは、信号線SLGと接続されている。トランジスタSTBは、信号線SLBと接続されている。
The signal line switch circuit ASW is a control circuit that supplies image-related signals to the display area DA as a pixel circuit. The signal line switch circuit ASW has transistors STR, STG, and STB as switching elements, and selection lines SSR, SSG, and SSB. Each of the transistors STR, STG and STB is, for example, a thin film transistor. Note that the transistors STR, STG, and STB are simply referred to as a transistor ST when there is no particular need to distinguish between them. Also, the signal line switch circuit ASW may be simply referred to as a switch circuit.
The transistor STR is connected with the signal line SLR. The transistor STG is connected with the signal line SLG. The transistor STB is connected with the signal line SLB.

図1に示す駆動素子DDは、表示装置の外部から送信されてくる表示データ、クロック信号、及びディスプレイタイミング信号等の表示制御信号に基づいて、信号線駆動回路SLC、走査線駆動回路GLC、及び信号線スイッチ回路ASWを制御する。
信号線スイッチ回路ASWのトランジスタSTR、STG及びSTBは、それぞれ、駆動素子DDから選択線SSR、SSG、及びSSBを介して出力されるスイッチ切替信号により、オン及びオフが制御される。
The driving element DD shown in FIG. 1 operates as a signal line driving circuit SLC, a scanning line driving circuit GLC, and a scanning line driving circuit GLC based on display control signals such as display data, clock signals, and display timing signals transmitted from the outside of the display device. It controls the signal line switch circuit ASW.
The transistors STR, STG, and STB of the signal line switch circuit ASW are controlled to be turned on and off by switch switching signals output from the drive element DD through the selection lines SSR, SSG, and SSB, respectively.

駆動素子DDは、信号線駆動回路SLCが赤の映像信号、緑の映像信号、及び青の映像信号を1水平期間内に時分割で出力するように制御するのに合わせ、信号線スイッチ回路ASWのトランジスタSTR、トランジスタSTG、及びトランジスタSTBのオン及びオフを制御する。すなわち、信号線スイッチ回路ASWに含まれる各トランジスタST(STR、STG、STB)は、時分割で駆動される関係にある。より詳細には、トランジスタSTR、STG、及びSTBのうち、オン状態のトランジスタSTに接続された信号線SLには、引出配線WL1、WL2を介して、信号線駆動回路SLCからの映像信号が入力される。また、駆動素子DDは、各色の映像信号を出力している期間、映像信号が書き込まれる副画素SXのスイッチング素子PSWのオン状態を維持するように走査線駆動回路GLCを制御する。 The drive element DD controls the signal line drive circuit SLC to time-divisionally output the red video signal, the green video signal, and the blue video signal within one horizontal period, and the signal line switch circuit ASW. control the on and off of the transistor STR, transistor STG, and transistor STB. That is, the transistors ST (STR, STG, STB) included in the signal line switch circuit ASW are driven in a time division manner. More specifically, of the transistors STR, STG, and STB, a video signal from the signal line driving circuit SLC is input to the signal line SL connected to the ON-state transistor ST through the lead lines WL1 and WL2. be done. Further, the driving element DD controls the scanning line driving circuit GLC so as to maintain the ON state of the switching element PSW of the sub-pixel SX to which the video signal is written while the video signal of each color is being output.

なお、信号線スイッチ回路ASWは、単にRGBスイッチ、時分割スイッチ、アナログスイッチ、またはセレクタと呼称することもある。本実施形態では、赤、緑、及び青の副画素に接続された3本の信号線に信号線スイッチ回路が1つ設けられているが、2つの副画素に接続された2本の信号線に信号線スイッチ回路を設ける構成であってもよい。あるいは、2画素、つまり、6つの副画素に接続された6本の信号線に1つの信号線スイッチ回路を設けてもよい。この場合、信号線駆動回路は1水平期間に映像信号を6回出力することになる。各副画素への映像信号の書き込み状況や信号線駆動回路の処理能力によって時分割数は任意に設定することが可能である。 Note that the signal line switch circuit ASW may be simply called an RGB switch, a time-division switch, an analog switch, or a selector. In this embodiment, one signal line switch circuit is provided for the three signal lines connected to the red, green, and blue subpixels. A configuration in which a signal line switch circuit is provided in the . Alternatively, one signal line switch circuit may be provided for six signal lines connected to two pixels, that is, six sub-pixels. In this case, the signal line driving circuit outputs the video signal six times in one horizontal period. The number of time divisions can be arbitrarily set depending on the state of video signal writing to each sub-pixel and the processing capability of the signal line driving circuit.

なお、上記水平期間を含む表示期間において、共通電極駆動回路CDからスイッチ回路MUXに、配線VDCLを介して、一定の直流電圧が供給される。スイッチ回路MUXは、当該一定の直流電圧を、共通配線CMLを介して、全ての共通電極CEに供給する。これにより、上述のように画素電極PE及び共通電極CEとの間に、液晶層LCを駆動する電界が発生する。 During the display period including the horizontal period, a constant DC voltage is supplied from the common electrode drive circuit CD to the switch circuit MUX through the wiring VDCL. The switch circuit MUX supplies the constant DC voltage to all common electrodes CE via the common wiring CML. As a result, an electric field for driving the liquid crystal layer LC is generated between the pixel electrode PE and the common electrode CE as described above.

次に、図3を参照して、画素部における表示装置DSPの断面構造について説明する。
図示のように、表示装置DSPは、第1基板SUB1と、第1基板SUB1に隙間を置いて対向する第2基板SUB2と、これらの基板間に封入された液晶層LCと、を備えている。第1基板SUB1は、基材BA1、絶縁層UC、走査線GL、信号線SL、スイッチング素子PSW、絶縁層PLN1、絶縁層PLN2、共通電極CE、絶縁層PAS、画素電極PE1、配向膜AL1を備えている。スイッチング素子PSWは、半導体層SC、絶縁層GI、走査線GLと一体形成されているゲート電極GE、絶縁層ILI、信号線SLと一体形成されているソース電極SL及びドレイン電極DEを有しており、それぞれこの順に積層されている。
Next, the cross-sectional structure of the display device DSP in the pixel portion will be described with reference to FIG.
As shown, the display device DSP includes a first substrate SUB1, a second substrate SUB2 facing the first substrate SUB1 with a gap therebetween, and a liquid crystal layer LC sealed between these substrates. . The first substrate SUB1 includes a substrate BA1, an insulating layer UC, scanning lines GL, signal lines SL, switching elements PSW, an insulating layer PLN1, an insulating layer PLN2, a common electrode CE, an insulating layer PAS, a pixel electrode PE1, and an alignment film AL1. I have. The switching element PSW has a semiconductor layer SC, an insulating layer GI, a gate electrode GE integrally formed with the scanning line GL, an insulating layer ILI, a source electrode SL and a drain electrode DE integrally formed with the signal line SL. and are stacked in this order.

基材BA1は、ガラス基板や可撓性の樹脂基板などの光透過性を有する基板である。絶縁層UCは、基材BA1の上に位置している。遮光層LSは、基材BA1と絶縁層UCとの間に形成されている。遮光層LSは、半導体層SCを挟んで走査線GL(ゲート電極)に重畳している。絶縁層GIは、絶縁層UCの上に位置している。絶縁層ILIは、絶縁層GIの上に位置している。 The base material BA1 is a light-transmitting substrate such as a glass substrate or a flexible resin substrate. The insulating layer UC is located on the substrate BA1. The light shielding layer LS is formed between the base material BA1 and the insulating layer UC. The light shielding layer LS overlaps the scanning line GL (gate electrode) with the semiconductor layer SC interposed therebetween. The insulating layer GI is located above the insulating layer UC. The insulating layer ILI is located above the insulating layer GI.

絶縁層UC、GI、ILI、及びPASは、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物などの無機絶縁材料によって形成された無機絶縁層である。絶縁層UC、GI、及びILIは、当該無機絶縁材料を用いた単層構造を有していてもよいし、当該無機絶縁材料を複数積層した多層構造を有していてもよい。一方、絶縁層PLN1及びPLN2は、例えば、アクリル樹脂などの有機絶縁材料によって形成された有機絶縁層である。また、絶縁層PLN2は無機絶縁層であっても良い。 The insulating layers UC, GI, ILI, and PAS are inorganic insulating layers made of an inorganic insulating material such as silicon oxide, silicon nitride, or silicon oxynitride. The insulating layers UC, GI, and ILI may have a single-layer structure using the inorganic insulating material, or may have a multi-layer structure in which a plurality of the inorganic insulating materials are laminated. On the other hand, the insulating layers PLN1 and PLN2 are organic insulating layers formed of an organic insulating material such as acrylic resin, for example. Also, the insulating layer PLN2 may be an inorganic insulating layer.

半導体層SCは、絶縁層UC上に設けられている。半導体層SCは、例えば、多結晶シリコンによって形成されている。半導体層SCは、アモルファスシリコンや酸化物半導体によって形成されていてもよい。 The semiconductor layer SC is provided on the insulating layer UC. The semiconductor layer SC is made of, for example, polycrystalline silicon. The semiconductor layer SC may be made of amorphous silicon or an oxide semiconductor.

走査線GLは、半導体層SC及び絶縁層GI上に設けられている。走査線GLは、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、銅(Cu)、クロム(Cr)などの金属材料や、これらの金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。一例では、走査線GLは、モリブデン-タングステン合金によって形成されている。本実施形態では、走査線GLと同層の配線層を第1配線層Wgと呼ぶ。また第1配線層Wgを、走査線層、ゲート層、またはGL層という場合もある。あるいは、第1配線層Wgを第1金属層と呼ぶこともある。 The scanning line GL is provided on the semiconductor layer SC and the insulating layer GI. The scanning lines GL are made of metal materials such as aluminum (Al), titanium (Ti), silver (Ag), molybdenum (Mo), tungsten (W), copper (Cu), and chromium (Cr), and these metal materials. It is formed of a combined alloy or the like, and may have a single-layer structure or a multi-layer structure. In one example, the scanning line GL is made of molybdenum-tungsten alloy. In this embodiment, the wiring layer in the same layer as the scanning lines GL is called a first wiring layer Wg. Also, the first wiring layer Wg may be referred to as a scanning line layer, a gate layer, or a GL layer. Alternatively, the first wiring layer Wg may be called a first metal layer.

信号線SLは、絶縁層ILIの上に位置している。信号線SLは、絶縁層GI及びILIに設けられたコンタクトホールを介して、半導体層SCに接続されている。信号線SLは、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、銅(Cu)、クロム(Cr)などの金属材料や、これらの金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。一例では、信号線SLは、チタン(Ti)を含む第1層、アルミニウム(Al)を含む第2層、及び、チタン(Ti)を含む第3層がこの順に積層された積層体である。本実施形態では、信号線SLと同層の配線層を、第2配線層Wsと呼ぶ。また、第2配線層Wsを信号線層、Sig層、またはSL層ともいう場合もある。あるいは、第2配線層Wsを第2金属層と呼ぶこともある。 The signal line SL is located on the insulating layer ILI. The signal line SL is connected to the semiconductor layer SC through contact holes provided in the insulating layers GI and ILI. The signal line SL is made of metal materials such as aluminum (Al), titanium (Ti), silver (Ag), molybdenum (Mo), tungsten (W), copper (Cu), chromium (Cr), or these metal materials. It is formed of a combined alloy or the like, and may have a single-layer structure or a multi-layer structure. In one example, the signal line SL is a laminate in which a first layer containing titanium (Ti), a second layer containing aluminum (Al), and a third layer containing titanium (Ti) are laminated in this order. In this embodiment, the wiring layer in the same layer as the signal line SL is called a second wiring layer Ws. Also, the second wiring layer Ws may be called a signal line layer, a Sig layer, or an SL layer. Alternatively, the second wiring layer Ws may be called a second metal layer.

ドレイン電極DEは、絶縁層ILIの上に位置している。ドレイン電極DEは、絶縁層GI及びILIに設けられたコンタクトホールを介して、半導体層SCに接続されている。ドレイン電極DEは、第2配線層Wsで形成されている。
絶縁層PLN1は、信号線SL、ドレイン電極DE、絶縁層ILIを覆っている。引出電極TEは、絶縁層PLN1上に設けられており、絶縁層PLN1に設けられたコンタクトホールを介して、ドレイン電極DEに接続されている。
The drain electrode DE is located on the insulating layer ILI. The drain electrode DE is connected to the semiconductor layer SC through contact holes provided in the insulating layers GI and ILI. The drain electrode DE is formed of the second wiring layer Ws.
The insulating layer PLN1 covers the signal line SL, the drain electrode DE, and the insulating layer ILI. The extraction electrode TE is provided on the insulating layer PLN1 and connected to the drain electrode DE through a contact hole provided in the insulating layer PLN1.

引出電極TEは、上記の金属材料や、上記の金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。一例では、引出電極TEは、チタン(Ti)を含む第1層、アルミニウム(Al)を含む第2層、及び、チタン(Ti)を含む第3層がこの順に積層された積層体、あるいは、モリブデン(Mo)を含む第1層、アルミニウム(Al)を含む第2層、及び、モリブデン(Mo)を含む第3層がこの順に積層された積層体である。引出電極TEは、共通配線CMLと同層の配線層で形成されている。本実施形態では、共通配線CMLと同層の配線層を、第3配線層Wtと呼ぶ。また、第3配線層Wtを第3金属層と呼ぶこともある。 The extraction electrode TE is made of the metal material described above, an alloy obtained by combining the metal materials described above, or the like, and may have a single-layer structure or a multi-layer structure. In one example, the extraction electrode TE is a laminate in which a first layer containing titanium (Ti), a second layer containing aluminum (Al), and a third layer containing titanium (Ti) are laminated in this order, or It is a laminate in which a first layer containing molybdenum (Mo), a second layer containing aluminum (Al), and a third layer containing molybdenum (Mo) are laminated in this order. The extraction electrode TE is formed in the same wiring layer as the common wiring CML. In this embodiment, the wiring layer in the same layer as the common wiring CML is called a third wiring layer Wt. Also, the third wiring layer Wt may be called a third metal layer.

絶縁層PLN1及び引出電極TEを覆って、絶縁層PLN2が設けられている。
絶縁層PLN2上には、共通電極CE及び中継電極REが設けられ、共通電極CEの開口部に中継電極REが位置し、共通電極CEと中継電極REは互いに離間している。
An insulating layer PLN2 is provided to cover the insulating layer PLN1 and the extraction electrode TE.
A common electrode CE and a relay electrode RE are provided on the insulating layer PLN2, the relay electrode RE is positioned in the opening of the common electrode CE, and the common electrode CE and the relay electrode RE are separated from each other.

中継電極REは、絶縁層PLN2の上に位置している。中継電極REは、引出電極TEと重なる位置において、絶縁層PLN1に形成されたコンタクトホールを介して、引出電極TEに接している。中継電極REは共通電極CEと同じインジウム錫酸化物(ITO)やインジウム亜鉛酸化物(IZO)などの透明な導電材料によって形成された透明電極である。 The relay electrode RE is located on the insulating layer PLN2. The relay electrode RE is in contact with the lead-out electrode TE through a contact hole formed in the insulating layer PLN1 at a position overlapping with the lead-out electrode TE. The relay electrode RE is a transparent electrode made of the same transparent conductive material as the common electrode CE, such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

絶縁層PASは、共通電極CE及び中継電極REを覆っている。
画素電極PEは、絶縁層PASの上に位置している。また画素電極PEは、配向膜AL1によって覆われている。すなわち画素電極PEは、絶縁層PASと配向膜AL1との間に設けられている。画素電極PEは、共通電極CEと同様、上述の透明な導電材料によって形成された透明電極である。
画素電極PEは絶縁層PASに形成されたコンタクトホールを介して、中継電極REに
接続され、絶縁層PASを挟んで共通電極CEに重なっている。
配向膜AL1は、絶縁層PASも覆っている。
The insulating layer PAS covers the common electrode CE and the relay electrode RE.
The pixel electrode PE is located on the insulating layer PAS. Also, the pixel electrode PE is covered with an alignment film AL1. That is, the pixel electrode PE is provided between the insulating layer PAS and the alignment film AL1. The pixel electrode PE, like the common electrode CE, is a transparent electrode made of the transparent conductive material described above.
The pixel electrode PE is connected to the relay electrode RE through a contact hole formed in the insulating layer PAS, and overlaps the common electrode CE with the insulating layer PAS interposed therebetween.
The alignment film AL1 also covers the insulating layer PAS.

第2基板SUB2は、基材BA2、遮光層BM、カラーフィルタCF、オーバーコート層OC、配向膜AL2を備えている。
基材BA2は、基材BA1と同様に、ガラス基板や樹脂基板などの光透過性を有する基板である。遮光層BM及びカラーフィルタCFは、基材BA2の第1基板SUB1と対向する側に位置している。
カラーフィルタCFは、赤色のカラーフィルタCFR、緑色のカラーフィルタCFG、青色のカラーフィルタCFBを有している。
オーバーコート層OCは、カラーフィルタCFを覆っている。オーバーコート層OCは、透明な樹脂によって形成されている。
配向膜AL2は、オーバーコート層OCを覆っている。配向膜AL1及び配向膜AL2は、例えば、水平配向性を呈する材料によって形成されている。
The second substrate SUB2 includes a base material BA2, a light shielding layer BM, color filters CF, an overcoat layer OC, and an alignment film AL2.
The substrate BA2 is, like the substrate BA1, a substrate having optical transparency such as a glass substrate or a resin substrate. The light shielding layer BM and the color filters CF are located on the side of the base material BA2 facing the first substrate SUB1.
The color filters CF include red color filters CFR, green color filters CFG, and blue color filters CFB.
An overcoat layer OC covers the color filters CF. The overcoat layer OC is made of transparent resin.
The alignment film AL2 covers the overcoat layer OC. The alignment film AL1 and the alignment film AL2 are made of, for example, a material exhibiting horizontal alignment.

上述した第1基板SUB1及び第2基板SUB2は、配向膜AL1及び配向膜AL2が対向するように配置されている。第1基板SUB1及び第2基板SUB2は、所定のセルギャップが形成された状態でシールによって接着されている。液晶層LCは、配向膜AL1と配向膜AL2との間に保持されている。液晶層LCは、ポジ型(誘電率異方性が正)の液晶材料、あるいは、ネガ型(誘電率異方性が負)の液晶材料によって構成されている。 The above-described first substrate SUB1 and second substrate SUB2 are arranged such that the alignment film AL1 and the alignment film AL2 face each other. The first substrate SUB1 and the second substrate SUB2 are bonded together with a seal while forming a predetermined cell gap. The liquid crystal layer LC is held between the alignment films AL1 and AL2. The liquid crystal layer LC is composed of a positive (positive dielectric anisotropy) liquid crystal material or a negative (negative dielectric anisotropy) liquid crystal material.

偏光板PL1は、基材BA1に接着されている。偏光板PL2は、基材BA2に接着されている。なお、偏光板PL1及びPL2に加えて、位相差板、散乱層、反射防止層などを備えていてもよい。
表示装置DSPは、第1基板SUB1の下方に配置される、図示しない照明装置を備えている。
Polarizing plate PL1 is adhered to base material BA1. The polarizing plate PL2 is adhered to the base material BA2. In addition to the polarizing plates PL1 and PL2, a retardation plate, a scattering layer, an antireflection layer, and the like may be provided.
The display device DSP includes an illumination device (not shown) arranged below the first substrate SUB1.

次に、信号線スイッチ回路ASWの構成について詳細に説明する。図4は、信号線スイッチ回路ASWのより詳細な平面図、図5は、図4の線A-Aに沿ったトランジスタ部分の断面図である。図4は、信号線スイッチ回路ASWの2段のトランジスタのうち、1段目の例を示している。
図4に示すように、信号線スイッチ回路ASWは、選択線(第1配線)SSR、SSG、及びSSBとして、選択線SSR1、SSG1、SSB1、SSR2、SSG2、SSB2を有している。なお、選択線SSR1、SSG1、SSB1、SSR2、SSG2、SSB2を特に区別する必要がない場合は、単に選択線SSともいう。6本の選択線SSは、それぞれ第1方向Xに沿って延伸し、第2方向Yに間隔を置いて並んで配列される。一例では、選択線SSR1、SSG1、SSB1、SSR2、SSG2、SSB2の順で、第2方向Yに並んでいる。これらの選択線SSは、駆動素子DDに接続されている。図4において、選択線には斜線を付して示している。
信号線スイッチ回路ASWは、接続配線CNW1、CNW2を有している。接続配線CNW1、CNW2は、それぞれ第1方向Xに延伸し、選択線SSB2に対して第2方向Yに間隔を置いて配列されている。
Next, the configuration of the signal line switch circuit ASW will be described in detail. 4 is a more detailed plan view of the signal line switch circuit ASW, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the transistor portion along line AA in FIG. FIG. 4 shows an example of the first stage of the two stages of transistors of the signal line switch circuit ASW.
As shown in FIG. 4, the signal line switch circuit ASW has selection lines SSR1, SSG1, SSB1, SSR2, SSG2, and SSB2 as selection lines (first wirings) SSR, SSG, and SSB. Note that the select lines SSR1, SSG1, SSB1, SSR2, SSG2, and SSB2 may be simply referred to as select lines SS when there is no particular need to distinguish them. The six selection lines SS each extend along the first direction X and are arranged side by side in the second direction Y at intervals. In one example, the selection lines SSR1, SSG1, SSB1, SSR2, SSG2, and SSB2 are arranged in the second direction Y in that order. These select lines SS are connected to the drive elements DD. In FIG. 4, the selection lines are hatched.
The signal line switch circuit ASW has connection wirings CNW1 and CNW2. The connection wirings CNW1 and CNW2 each extend in the first direction X and are spaced apart in the second direction Y with respect to the selection line SSB2.

図4に示す信号線スイッチ回路ASWは、トランジスタSTR、STG、及びSTBとして、トランジスタSTR11、STG11、STB11、STR12、STG12、STB12、STR21、STG21、STB21、STR22、STG22、及びSTB22を有している。上記トランジスタを個々に区別する必要がない場合は、トランジスタSTと称する。複数のトランジスタSTは、第1方向Xに互いに間隔を置いて第1方向Xに配列され、接続配線CNW1、SNW2、選択線SSB2に対して、第2方向Yに間隔を置いて位置している。 The signal line switch circuit ASW shown in FIG. 4 has transistors STR11, STG11, STB11, STR12, STG12, STB12, STR21, STG21, STB21, STR22, STG22, and STB22 as the transistors STR, STG, and STB. . When there is no need to distinguish between the above transistors, they are referred to as transistors ST. The plurality of transistors ST are arranged in the first direction X at intervals in the first direction X, and are located at intervals in the second direction Y with respect to the connection wirings CNW1, SNW2, and the selection line SSB2. .

本実施形態において、2つのトランジスタが、共通の半導体層および共通のドレイン電極を用いて一体に形成されている。
一例では、トランジスタSTR11、STB11、トランジスタSTG21、STR21、トランジスタSTB21、STG11、トランジスタSTG12、STB22、トランジスタSTR22、STG22、トランジスタSTR12、STB12がそれぞれ一体に形成されている。
トランジスタSTR11、STB11は、一例では、矩形状の半導体層SCと、絶縁層を介して半導体層SCに重ねて設けられ一対のソース電極SE1、SE2と、一対のソース電極SE1、SE2の間に位置する共通のドレイン電極DEと、ドレイン電極DEと各ソース電極SE1、SE2との間に位置し絶縁層を介して半導体層SCに重ねて設けられた一対のゲート電極(第1ゲート電極、第2ゲート電極)GE1、GE2と、を有している。トランジスタSTR11、STB11は、所謂、デュアルゲート・トランジスタを構成している。ソース電極SE1、SE2、ドレイン電極DE、および一対のゲート電極GE1、GE2は、それぞれ第2方向Yに延伸し、第1方向Xに間隔を置いて配列されている。
各ソース電極SE1、SE2は、第2方向Yに間隔を置いて並ぶ複数のコンタクトホールCH1を介して半導体層SCに接続されている。ドレイン電極DEは、第2方向Yに間隔を置いて並ぶ複数のコンタクトホールCH2を介して半導体層SCに接続されている。
In this embodiment, two transistors are integrally formed using a common semiconductor layer and a common drain electrode.
In one example, transistors STR11 and STB11, transistors STG21 and STR21, transistors STB21 and STG11, transistors STG12 and STB22, transistors STR22 and STG22, and transistors STR12 and STB12 are integrally formed.
For example, the transistors STR11 and STB11 are arranged between a rectangular semiconductor layer SC, a pair of source electrodes SE1 and SE2 provided to overlap the semiconductor layer SC with an insulating layer interposed therebetween, and a pair of source electrodes SE1 and SE2. and a pair of gate electrodes (a first gate electrode, a second and gate electrodes GE1 and GE2. The transistors STR11 and STB11 form a so-called dual-gate transistor. The source electrodes SE1 and SE2, the drain electrode DE, and the pair of gate electrodes GE1 and GE2 each extend in the second direction Y and are arranged in the first direction X at intervals.
Each of the source electrodes SE1 and SE2 is connected to the semiconductor layer SC via a plurality of contact holes CH1 arranged in the second direction Y at intervals. The drain electrode DE is connected to the semiconductor layer SC via a plurality of contact holes CH2 arranged in the second direction Y at intervals.

トランジスタSTR11、STB11は、更に、導電性を有しバックゲートとして機能する2つの遮光層(第1遮光層、第2遮光層)LS1、LS2を有している。遮光層LS1、LS2は、それぞれ半導体層SCおよび絶縁層を介してゲート電極GE1、GE2と重畳するように設けられている。遮光層LS1、LS2は、それぞれゲート電極GEとほぼ等しい幅を有し、ゲート電極GEの一端から他端まで第2方向Yに延伸している。なお、図4において、遮光層LS1、LS2に斜線を付して示している。 The transistors STR11 and STB11 further have two light shielding layers (first light shielding layer and second light shielding layer) LS1 and LS2 which are conductive and function as back gates. The light shielding layers LS1 and LS2 are provided so as to overlap with the gate electrodes GE1 and GE2 via the semiconductor layer SC and the insulating layer, respectively. The light shielding layers LS1 and LS2 each have a width substantially equal to that of the gate electrode GE, and extend in the second direction Y from one end to the other end of the gate electrode GE. In addition, in FIG. 4, the light shielding layers LS1 and LS2 are hatched.

ソース電極SE1は、信号線SLR11と一体に形成されている。信号線SLR11は、選択線SSBと反対の方向でソース電極SE1から第2方向Yに延伸し、図示しない2段目のトランジスタのソース電極に接続される。ソース電極SE2は、信号線SLB11と一体に形成されている。信号線SLB11は、選択線SSBと反対の方向でソース電極SE2から第2方向Yに延伸し、図示しない2段目のトランジスタのソース電極に接続される。図4において、信号線に斜線を付して示している。
ドレイン電極DEの選択線SSBの側の一端は、接続配線CNW1に接続されている。ドレイン電極DEの選択線SSBと反対側の他端は、選択線SSBと反対の方向で第2方向Yに延伸し、図示しない2段目のトランジスタのドレイン電極に接続される。
The source electrode SE1 is formed integrally with the signal line SLR11. The signal line SLR11 extends in the second direction Y from the source electrode SE1 in the direction opposite to the selection line SSB, and is connected to the source electrode of the not-shown second-stage transistor. The source electrode SE2 is formed integrally with the signal line SLB11. The signal line SLB11 extends in the second direction Y from the source electrode SE2 in the direction opposite to the select line SSB, and is connected to the source electrode of the not-shown second-stage transistor. In FIG. 4, the signal lines are hatched.
One end of the drain electrode DE on the select line SSB side is connected to the connection wiring CNW1. The other end of the drain electrode DE opposite to the selection line SSB extends in the second direction Y in the direction opposite to the selection line SSB and is connected to the drain electrode of the not-shown second-stage transistor.

ゲート電極GE1の選択線SSBの側の一端は、当該ゲート電極と一体に形成されたゲート線(第2配線)GEL1に接続されている。ゲート線GEL1は、トランジスタSTR11から選択線SSBの方向で第2方向Yに延伸し、コンタクトホールCH3を介して選択線SSR1に接続されている。ゲート電極GE2の選択線SSBの側の一端は、当該ゲート電極と一体に形成されたゲート線(第2配線)GEL2に接続されている。ゲート線GEL2は、トランジスタSTB11から選択線SSBの方向で第2方向Yに延伸し、コンタクトホールCH3を介して選択線SSB1に接続されている。 One end of the gate electrode GE1 on the select line SSB side is connected to a gate line (second wiring) GEL1 formed integrally with the gate electrode. The gate line GEL1 extends in the second direction Y in the direction of the selection line SSB from the transistor STR11, and is connected to the selection line SSR1 through the contact hole CH3. One end of the gate electrode GE2 on the select line SSB side is connected to a gate line (second wiring) GEL2 formed integrally with the gate electrode. The gate line GEL2 extends in the second direction Y in the direction of the selection line SSB from the transistor STB11, and is connected to the selection line SSB1 through the contact hole CH3.

ゲート電極GE1は、選択線SSBと反対側の他端から選択線SSBとは反対の方向で第2方向Yに所定長さ延伸した延出部(第2延出部)GEE1を一体に有している。同様に、遮光層LS1は、選択線SSBと反対側の端から選択線SSBとは反対の方向で第2方向Yに所定長さ延伸した延出部(第1延出部)LSE1を一体に有している。延出部LSE1は、絶縁層を介してゲート電極GE1の延出部GEE1に重畳している。延出部LSE1は、延出部GEE1よりも僅かに長く延伸している。後述するように、遮光層LS1の延出部LSE1は、接続配線SLC1を介してゲート電極GE1の延出部GEE1に電気的に接続されている。これにより、遮光層LS1は、ゲート電極GE1に電気的に接続され、バックゲートを構成している。 The gate electrode GE1 integrally has an extending portion (second extending portion) GEE1 extending from the other end opposite to the selection line SSB in the second direction Y in the direction opposite to the selection line SSB by a predetermined length. ing. Similarly, the light-shielding layer LS1 integrally includes an extension (first extension) LSE1 extending a predetermined length in the second direction Y in the direction opposite to the selection line SSB from the end opposite to the selection line SSB. have. The extension part LSE1 overlaps the extension part GEE1 of the gate electrode GE1 via the insulating layer. The extension LSE1 extends slightly longer than the extension GEE1. As will be described later, the extension LSE1 of the light shielding layer LS1 is electrically connected to the extension GEE1 of the gate electrode GE1 via the connection wiring SLC1. Thus, the light shielding layer LS1 is electrically connected to the gate electrode GE1 to form a back gate.

ゲート電極GE2は、選択線SSBと反対側の他端から選択線SSBとは反対の方向で第2方向Yに所定長さ延伸した延出部GEE2を一体に有している。同様に、遮光層LS2は、選択線SSBと反対側の端から選択線SSBとは反対の方向で第2方向Yに所定長さ延伸した延出部LSE2を一体に有している。延出部LSE2は、絶縁層を介してゲート電極GE2の延出部GEE2に重畳している。延出部LSE2は、延出部GEE2よりも僅かに長く延伸している。後述するように、遮光層LS2の延出部LSE2は、接続配線SLC2を介してゲート電極GE2の延出部GEE2に電気的に接続されている。これにより、遮光層LS2は、ゲート電極GE2に電気的に接続され、バックゲートを構成している。 The gate electrode GE2 integrally has an extension part GEE2 extending by a predetermined length in the second direction Y in the direction opposite to the selection line SSB from the other end opposite to the selection line SSB. Similarly, the light shielding layer LS2 integrally has an extending portion LSE2 extending a predetermined length in the second direction Y in the direction opposite to the selection line SSB from the end opposite to the selection line SSB. The extension part LSE2 overlaps the extension part GEE2 of the gate electrode GE2 via the insulating layer. The extension LSE2 extends slightly longer than the extension GEE2. As will be described later, the extension LSE2 of the light shielding layer LS2 is electrically connected to the extension GEE2 of the gate electrode GE2 via the connection wiring SLC2. Thus, the light shielding layer LS2 is electrically connected to the gate electrode GE2 to form a back gate.

図5は、図4の線A-Aに沿ったトランジスタ部分の断面図である。
図示のように、トランジスタSTR11、STB11は、図3に示した副画素SXのスイッチング素子PSWとほぼ同様の断面構造を有している。基材BA1の表面上に遮光層LS1、LS2が形成され、更に、前記表面および遮光層LS1、LS2に重ねて絶縁層UCが形成されている。絶縁層UCに重ねて半導体層SCおよびゲート絶縁層GIが積層されている。ゲート絶縁層GIに重ねてゲート電極GE1、GE2が設けられている。ゲート電極GE1、GE2は、絶縁層UC、GI、および半導体層SCを挟んで、遮光層LS1、LS2に重畳している。
FIG. 5 is a cross-sectional view of the transistor portion along line AA of FIG.
As shown, the transistors STR11 and STB11 have substantially the same cross-sectional structure as the switching element PSW of the sub-pixel SX shown in FIG. Light-shielding layers LS1 and LS2 are formed on the surface of the base material BA1, and an insulating layer UC is formed over the surface and the light-shielding layers LS1 and LS2. A semiconductor layer SC and a gate insulating layer GI are laminated over the insulating layer UC. Gate electrodes GE1 and GE2 are provided over the gate insulating layer GI. The gate electrodes GE1 and GE2 overlap the light shielding layers LS1 and LS2 with the insulating layers UC and GI and the semiconductor layer SC interposed therebetween.

遮光層LS1、LS2は、ゲート電極GE1、GE2と同様の形状、および幅を有している。遮光層LS1、LS2の第1方向Xの幅は、ゲート電極GE1、GE2の第1方向Xの幅とほぼ一致している。遮光層LS1、LS2の各側縁は、ゲート電極GE1、GE2の各側縁と一致し、両者は、第3方向Zに重畳して位置している。
ゲート絶縁層GIおよびゲート電極GE1、DE2に重ねて絶縁層ILIが形成されている。絶縁層ILIに重ねてソース電極SE1、SE2およびドレイン電極DEが設けられている。ソース電極SE1は、コンタクトホールCH1を介して半導体層SCに接続されている。同様に、ソース電極SE2は、コンタクトホールCH1を介して半導体層SCに接続されている。ドレイン電極DEは、ソース電極SE1、SE2の間に位置し、コンタクトホールCH2を介して半導体層SCに接続されている。
絶縁層ILI、ソース電極SE1、SE2およびドレイン電極DEは絶縁層PLN1で覆われている。
The light shielding layers LS1 and LS2 have the same shape and width as the gate electrodes GE1 and GE2. The widths in the first direction X of the light shielding layers LS1 and LS2 substantially match the widths in the first direction X of the gate electrodes GE1 and GE2. The side edges of the light shielding layers LS1 and LS2 are aligned with the side edges of the gate electrodes GE1 and GE2, and both are positioned so as to overlap each other in the third direction Z. As shown in FIG.
An insulating layer ILI is formed overlying the gate insulating layer GI and the gate electrodes GE1 and DE2. Source electrodes SE1 and SE2 and a drain electrode DE are provided overlying the insulating layer ILI. The source electrode SE1 is connected to the semiconductor layer SC through a contact hole CH1. Similarly, the source electrode SE2 is connected to the semiconductor layer SC through the contact hole CH1. The drain electrode DE is located between the source electrodes SE1 and SE2 and connected to the semiconductor layer SC via the contact hole CH2.
The insulating layer ILI, the source electrodes SE1, SE2 and the drain electrode DE are covered with the insulating layer PLN1.

ソース電極(信号線と称する場合がある)SE1、SE2、ゲート電極(ゲート線あるいは走査線と称する場合がある)GE1、GE2は、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、銅(Cu)、クロム(Cr)などの金属材料や、これらの金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。
遮光層LS1、LS2は、遮光性を有する金属材料で形成されていればよい。より具体的には、ゲート線(走査線)と同様の材料で形成されていることが好適である。
Source electrodes (sometimes referred to as signal lines) SE1 and SE2, gate electrodes (sometimes referred to as gate lines or scanning lines) GE1 and GE2 are aluminum (Al), titanium (Ti), silver (Ag), molybdenum. (Mo), tungsten (W), copper (Cu), chromium (Cr), and other metal materials, or alloys that combine these metal materials, and may have a single-layer structure or a multi-layer structure. There may be.
The light shielding layers LS1 and LS2 may be made of a metal material having a light shielding property. More specifically, they are preferably formed of the same material as the gate lines (scanning lines).

図6は、ゲート電極GE1の延出部GEE1および遮光層LS1の延出部LSE1を拡大して示す平面図、図7は、図6の線B-Bに沿った延出部の断面図、図8は、図6の線D-Dに沿った延出部の断面図である。
図6に示すように、遮光層LS1およびその延出部LSE1は、基材BA1上に形成され、第2方向Yに所定長さ延出している。延出部LSE1の延出端部は、遮光層LS1の中心軸線に対して、所定幅、例えば、遮光層LS1の第1方向Xの幅分だけ、第1方向Xにシフトしている。遮光層LS1および延出部LSE1に重ねて絶縁層USおよびゲート絶縁層GIが順に積層されている。
ゲート電極GE1およびその延出部GEE1は、ゲート絶縁層GIに重ねて設けられ、第2方向Yに所定長さ延出している。延出部GEE1の延出端部は、ゲート電極GE1の中心軸線に対して、所定幅、例えば、ゲート電極GE1の第1方向Xの幅の約半分だけ、第1方向Xに、かつ延出部LSE1の側に、シフトしている。
これにより、延出部GEE1の幅方向のほぼ半分の領域が、延出部LSE1の幅方向の約半分の領域に第3方向Zに重畳している。また、延出部LSE1は、延出部GEE1よりも僅かに長く第2方向Yに延伸している。延出部GEE1の中心軸線と延出部LSE1の中心軸線とは、第1方向Xに間隔L1だけ離間している。
6 is an enlarged plan view showing the extension GEE1 of the gate electrode GE1 and the extension LSE1 of the light shielding layer LS1, FIG. 7 is a cross-sectional view of the extension along the line BB in FIG. 8 is a cross-sectional view of the extension along line DD of FIG. 6. FIG.
As shown in FIG. 6, the light shielding layer LS1 and its extending portion LSE1 are formed on the base material BA1 and extend in the second direction Y by a predetermined length. The extending end of the extending portion LSE1 is shifted in the first direction X by a predetermined width, for example, the width in the first direction X of the light shielding layer LS1, with respect to the central axis of the light shielding layer LS1. An insulating layer US and a gate insulating layer GI are stacked in this order over the light shielding layer LS1 and the extending portion LSE1.
The gate electrode GE1 and its extension GEE1 are provided to overlap the gate insulating layer GI and extend in the second direction Y by a predetermined length. The extending end of the extending portion GEE1 extends in the first direction X by a predetermined width, for example, about half the width of the gate electrode GE1 in the first direction X, with respect to the central axis of the gate electrode GE1. It is shifted to the side of part LSE1.
As a result, approximately half the widthwise region of the extending portion GEE1 overlaps in the third direction Z with approximately half the widthwise region of the extending portion LSE1. Further, the extending portion LSE1 extends in the second direction Y slightly longer than the extending portion GEE1. The central axis of the extending portion GEE1 and the central axis of the extending portion LSE1 are spaced apart in the first direction X by a distance L1.

図7および図8に示すように、ゲート電極GE1、延出部GEE1、およびゲート絶縁層GIに重ねて絶縁層ILIが積層されている。絶縁層IL1、ゲート絶縁層GI、絶縁層UCを貫通してコンタクトホールCH6が形成されている。図6に示すように、一例では、コンタクトホールCH6はほぼ矩形状に形成され、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重ねて設けられている。コンタクトホールCH6の第1方向Xの幅および第2方向Yの幅は、延出部LSE1、GEE1が重畳している領域の第1方向Xの幅よりも大きく形成されている。コンタクトホールCH6は、第2方向Yに延びる中心軸線Cが、延出部LSE1、GEE1が重畳している領域の第1方向Xの中央と重なる位置に設けられている。更に、コンタクトホールCH6は、第2方向Yの端部が延出部LSE1の延出端および延出部GFF1の延出端よりも第2方向Yの外側に位置するように、形成および配置されている。延出部LS1の延出端の一部、および、延出部GEE1の延出端の一部が、コンタクトホールCH6内に露出している。 As shown in FIGS. 7 and 8, the insulating layer ILI is stacked over the gate electrode GE1, the extension GEE1, and the gate insulating layer GI. A contact hole CH6 is formed through the insulating layer IL1, the gate insulating layer GI, and the insulating layer UC. As shown in FIG. 6, in one example, the contact hole CH6 is formed in a substantially rectangular shape and provided so as to overlap the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1. The width in the first direction X and the width in the second direction Y of the contact hole CH6 are formed larger than the width in the first direction X of the region where the extending portions LSE1 and GEE1 overlap. The contact hole CH6 is provided at a position where the central axis C extending in the second direction Y overlaps the center in the first direction X of the region where the extensions LSE1 and GEE1 overlap. Further, the contact hole CH6 is formed and arranged such that the end in the second direction Y is located outside in the second direction Y the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GFF1. ing. A part of the extending end of the extending part LS1 and a part of the extending end of the extending part GEE1 are exposed in the contact hole CH6.

図6、図7、図8に示すように、コンタクトホールCH6の全体に重ねて接続配線SLC1が形成されされている。配線層として機能する接続配線SLC1は、例えば、信号線SLと同層の金属層で形成されている。コンタクトホールCH6の中に形成された接続配線SLC1は、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重畳して直接的に接触し、これらの延出端に導通している。これにより、延出部LSE1の延出端は、接続配線SLC1を介して、延出部GEE1の延出端に電気的に接続されている。すなわち、遮光層LSは、単一のコンタクトホールCH6および接続配線SLC1を介して、ゲート電極GE1に電気的に接続されている。絶縁層ILIおよび接続配線SLC1は絶縁層PLN1で覆われている。なお、実施形態において、コンタクトホールCH6および接続配線SLC1はコンタクト部を構成しているものとする。
なお、トランジスタSTR11、STB11の他方の延出部LSE2、延出部GEE2も上述した延出部LSE1、GEE1と同様に構成され、単一のコンタクトホールに形成された接続配線により互いに電気的に接続されている。
As shown in FIGS. 6, 7, and 8, a connection wiring SLC1 is formed over the entire contact hole CH6. The connection wiring SLC1 functioning as a wiring layer is formed of, for example, the same metal layer as the signal line SL. The connection wiring SLC1 formed in the contact hole CH6 overlaps and directly contacts the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1, and is electrically connected to these extending ends. there is Thus, the extending end of the extending portion LSE1 is electrically connected to the extending end of the extending portion GEE1 via the connection wiring SLC1. That is, the light shielding layer LS is electrically connected to the gate electrode GE1 via the single contact hole CH6 and the connection wiring SLC1. The insulating layer ILI and the connection wiring SLC1 are covered with an insulating layer PLN1. In the embodiment, it is assumed that the contact hole CH6 and the connection wiring SLC1 constitute a contact portion.
The other extending portions LSE2 and GEE2 of the transistors STR11 and STB11 are also configured in the same manner as the extending portions LSE1 and GEE1 described above, and are electrically connected to each other by connection wirings formed in a single contact hole. It is

上記のようにトランジスタSTのゲート電極GEの延出部GEEおよび遮光層LSの延出部LSEを複数の選択線SSBと反対の方向に延伸させ、延出端同士を接続配線で電気的に接続したコンタクト部(接続配線SLC)とすることにより、これらの延出部GEE、LSEおよびコンタクト部を複数本の選択線SSBが存在していない空いた領域に配置することができる。これにより、ゲート電極と遮光層とを繋ぐコンタクト部が複数の選択線あるいは他の配線に重ねて配置されることがなく、コンタクト部に起因する配線の断線等を防止することができる。同時に、延出部GEE、LSEおよびコンタクト部を複数本の選択線SSBや引出し線の設けられていない領域に配置することで、意図しない容量の低減にも貢献するができる。
また、上記のように、延出部LSE1に対して、延出部GEE1を第1方向Xにずらして配置し、一部分を重畳して配置することにより、単一のコンタクトホールCH6に形成された接続配線SLC1を、比較的、広い面積で、延出端部SL1および延出端部GG1の両方に接触せることができる。これにより、遮光層LSとゲート電極GEとを確実に電気的に接続することが可能となる。単一のコンタクトホールCH6を介して接続可能とすることにより、複数のコンタクトホールを介して接続する場合に比較して、コンタクト部の占める面積を縮小することができ、その結果、スイッチ回路の小型化に寄与することができる。更に、本実施形態では、延出端部の第2方向Yへのシフト(オフセット)が無いため、延出部の第2方向Yの延出長さを短くし、一層の小型化を図ることができる。
ゲート電極GE、延出部GEEと重畳する遮光層LS、延出部LSEとを同形状に形成することにより、ゲート電極GEに生じる容量と遮光層LSに生じる容量とを同じ容量にすることができる。これにより、トランジスタの特性を向上させることが可能となる。
As described above, the extending portion GEE of the gate electrode GE of the transistor ST and the extending portion LSE of the light shielding layer LS are extended in the direction opposite to the plurality of selection lines SSB, and the extending ends are electrically connected to each other by the connection wiring. By forming the contact portions (connection wirings SLC) in such a manner that the extension portions GEE, LSE and the contact portions can be arranged in a vacant region where a plurality of selection lines SSB do not exist. As a result, the contact portion connecting the gate electrode and the light shielding layer does not overlap with a plurality of selection lines or other wirings, and disconnection of the wiring caused by the contact portion can be prevented. At the same time, by arranging the extension portions GEE, LSE and the contact portion in a region where a plurality of selection lines SSB and lead lines are not provided, it is possible to contribute to an unintended reduction in capacitance.
Further, as described above, the extending portion GEE1 is shifted in the first direction X with respect to the extending portion LSE1, and is partially overlapped with the extending portion GEE1, thereby forming a single contact hole CH6. Connection line SLC1 can contact both extended end portion SL1 and extended end portion GG1 over a relatively large area. This makes it possible to reliably electrically connect the light shielding layer LS and the gate electrode GE. By enabling connection through a single contact hole CH6, the area occupied by the contact portion can be reduced compared to the case of connection through a plurality of contact holes, and as a result, the size of the switch circuit can be reduced. can contribute to Furthermore, in this embodiment, since there is no shift (offset) of the extension end in the second direction Y, the extension length of the extension in the second direction Y can be shortened to achieve further miniaturization. can be done.
By forming the gate electrode GE, the light shielding layer LS overlapping with the extension GEE, and the extension LSE in the same shape, the capacitance generated in the gate electrode GE and the capacitance generated in the light shielding layer LS can be the same. can. This makes it possible to improve the characteristics of the transistor.

図4に示したように、他のトランジスタSTG21、STR21、トランジスタSTB21、STG11、トランジスタSTG12、STB22、トランジスタSTR22、STG22、トランジスタSTR12、STB12は、それぞれ前述したトランジスタSTR11、STB11と同様に構成されている。トランジスタSTR11、STB11と同一構成部分には、同一の参照符号を付して示している。これらのトランジスタSTは、第1方向に所定の間隔を置いて並んで配置されている。 As shown in FIG. 4, other transistors STG21, STR21, transistors STB21, STG11, transistors STG12, STB22, transistors STR22, STG22, transistors STR12, STB12 are configured similarly to the transistors STR11, STB11 described above. . Components identical to those of the transistors STR11 and STB11 are denoted by the same reference numerals. These transistors ST are arranged side by side at predetermined intervals in the first direction.

トランジスタSTG21、STR21のソース電極SE1、SE2から延出する信号線SLG21、SLR21は、それぞれ第2方向Yに延伸し、2段目の対応するトランジスタのソース電極に接続される。トランジスタSTG21、STR21のドレイン電極DEは、接続配線CNW1に接続されている。トランジスタSTG21のゲート電極GE1は、ゲート線GEL1を介して選択線SSG2に接続されている。トランジスタSTR21のゲート電極GE2は、ゲート線GEL2を介して選択線SSR2に接続されている。 The signal lines SLG21 and SLR21 extending from the source electrodes SE1 and SE2 of the transistors STG21 and STR21 extend in the second direction Y and are connected to the source electrodes of the corresponding transistors in the second stage. The drain electrodes DE of the transistors STG21 and STR21 are connected to the connection wiring CNW1. The gate electrode GE1 of the transistor STG21 is connected to the select line SSG2 through the gate line GEL1. A gate electrode GE2 of the transistor STR21 is connected to the selection line SSR2 through the gate line GEL2.

トランジスタSTB21、STG11のソース電極SE1、SE2から延出する信号線SLB21、SLG11は、それぞれ第2方向Yに延伸し、2段目の対応するトランジスタのソース電極に接続される。トランジスタSTB21、STG11のドレイン電極DEは、接続配線CNW1に接続されている。トランジスタSTB21のゲート電極GE1は、ゲート線GEL1を介して選択線SSB2に接続されている。トランジスタSTG11のゲート電極GE2は、ゲート線GEL3を介して選択線SSG1に接続されている。
接続配線CNW1は、コンタクトホールCH4を介して引出し配線WL1に接続され、この引出し配線WL1を介して信号線駆動回路SLCに接続される。
The signal lines SLB21 and SLG11 extending from the source electrodes SE1 and SE2 of the transistors STB21 and STG11 extend in the second direction Y and are connected to the source electrodes of the corresponding transistors in the second stage. The drain electrodes DE of the transistors STB21 and STG11 are connected to the connection wiring CNW1. The gate electrode GE1 of the transistor STB21 is connected to the select line SSB2 through the gate line GEL1. The gate electrode GE2 of the transistor STG11 is connected to the select line SSG1 through the gate line GEL3.
The connection wiring CNW1 is connected to the lead wiring WL1 via the contact hole CH4, and is connected to the signal line drive circuit SLC via the lead wiring WL1.

トランジスタSTG12、STB22のソース電極SE1、SE2から延出する信号線SLG12、SLB22は、それぞれ第2方向Yに延伸し、2段目の対応するトランジスタのソース電極に接続される。トランジスタSTG12、STB22のドレイン電極DEは、接続配線CNW2に接続されている。トランジスタSTG12のゲート電極GE1は、共通のゲート線GEL3を介して選択線SSG1に接続されている。トランジスタSTB22のゲート電極GE2は、ゲート線GEL2を介して選択線SSB2に接続されている。 The signal lines SLG12 and SLB22 extending from the source electrodes SE1 and SE2 of the transistors STG12 and STB22 extend in the second direction Y and are connected to the source electrodes of the corresponding transistors in the second stage. The drain electrodes DE of the transistors STG12 and STB22 are connected to the connection wiring CNW2. A gate electrode GE1 of the transistor STG12 is connected to the select line SSG1 through a common gate line GEL3. A gate electrode GE2 of the transistor STB22 is connected to the selection line SSB2 through the gate line GEL2.

トランジスタSTR22、STG22のソース電極SE1、SE2から延出する信号線SLR22、SLG22は、それぞれ第2方向Yに延伸し、2段目の対応するトランジスタのソース電極に接続される。トランジスタSTR22、STG22のドレイン電極DEは、接続配線CNW2に接続されている。トランジスタSTR22のゲート電極GE1は、ゲート線GEL1を介して選択線SSR2に接続されている。トランジスタSTB22のゲート電極GE2は、ゲート線GEL2を介して選択線SSG2に接続されている。 The signal lines SLR22 and SLG22 extending from the source electrodes SE1 and SE2 of the transistors STR22 and STG22 extend in the second direction Y and are connected to the source electrodes of the corresponding transistors in the second stage. The drain electrodes DE of the transistors STR22 and STG22 are connected to the connection wiring CNW2. A gate electrode GE1 of the transistor STR22 is connected to the selection line SSR2 through the gate line GEL1. A gate electrode GE2 of the transistor STB22 is connected to the selection line SSG2 through the gate line GEL2.

トランジスタSTR12、STB12のソース電極SE1、SE2から延出する信号線SLR12、SLB12は、それぞれ第2方向Yに延伸し、2段目の対応するトランジスタのソース電極に接続される。トランジスタSTR12、STB12のドレイン電極DEは、接続配線CNW2に接続されている。トランジスタSTR12のゲート電極GE1は、ゲート線GEL1を介して選択線SSR1に接続されている。トランジスタSTB12のゲート電極GE2は、ゲート線GEL2を介して選択線SSB1に接続されている。
接続配線CNW2は、コンタクトホールCH4を介して引出し配線WL2に接続され、この引出し配線WL2を介して信号線駆動回路SLCに接続される。
The signal lines SLR12 and SLB12 extending from the source electrodes SE1 and SE2 of the transistors STR12 and STB12 extend in the second direction Y and are connected to the source electrodes of the corresponding transistors in the second stage. The drain electrodes DE of the transistors STR12 and STB12 are connected to the connection wiring CNW2. A gate electrode GE1 of the transistor STR12 is connected to the selection line SSR1 through the gate line GEL1. A gate electrode GE2 of the transistor STB12 is connected to the selection line SSB1 through the gate line GEL2.
The connection wiring CNW2 is connected to the lead wiring WL2 via the contact hole CH4, and is connected to the signal line drive circuit SLC via the lead wiring WL2.

他のトランジスタSTG21、STR21、トランジスタSTB21、STG11、トランジスタSTG12、STB22、トランジスタSTR22、STG22、トランジスタSTR12、STB12のいずれにおいても、ゲート電極GEの延出部GEE1、GEE2および遮光層LSの延出部LSE1、LSE2は、選択線SSBと反対の方向で第2方向Yに延出し、延出端同士が単一のコンタクトホールに形成された接続配線により電気的に接続されている。 In any of the other transistors STG21, STR21, transistors STB21, STG11, transistors STG12, STB22, transistors STR22, STG22, transistors STR12, STB12, the extensions GEE1, GEE2 of the gate electrode GE and the extension LSE1 of the light shielding layer LS , LSE2 extend in the second direction Y in the direction opposite to the selection line SSB, and the extending ends are electrically connected to each other by a connection wiring formed in a single contact hole.

以上のことから、第1実施形態によれば、コンタクトホールのサイズを変えることなく、遮光層の延出部とゲート電極の延出部とを単一のコンタクトホールに設けられた接続配線で電気的に接続することにより、コンタクトホールおよびコンタクト部の数を低減し、コンタクト部が占める面積を低減し、小型化を図ることが可能な表示装置が得られる。 As described above, according to the first embodiment, the extending portion of the light shielding layer and the extending portion of the gate electrode are electrically connected by the connection wiring provided in the single contact hole without changing the size of the contact hole. The direct connection reduces the number of contact holes and contact portions, reduces the area occupied by the contact portions, and provides a miniaturized display device.

次に、他の実施形態に係る表示装置の信号線スイッチ回路について説明する。以下に述べる他の実施形態において、前述した第1実施形態と同一の構成部分には、第1実施形態と同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略または簡略化する場合がある。
(第2実施形態)
図9は、第2実施形態に係る表示装置における信号線スイッチ回路のコンタクト部を示す平面図、図10は、図9の線E-Eに沿ったコンタクト部の断面図である。
図示のように、第2実施形態によれば、信号線スイッチ回路ASWのトランジスタSTにおいて、ゲート電極GE1の延出部GEE1は、遮光層LS1の延出部LSE1に対して、ゲート電極GE1の第1方向Xの幅の約半分だけ、第1方向Xに、かつ、ドレイン電極DEの側に、シフトして位置している。これにより、延出部GEE1の幅方向のほぼ半分の領域が、延出部LSE1の幅方向の約半分の領域に第3方向Zに重畳している。
本実施形態において、延出部LSE1、および延出部GEE1の第2方向Yへの延出長さはほぼ同一に形成され、延出部LSE1および延出部GEE1は第2方向Yにはシフトしていない。
Next, a signal line switch circuit of a display device according to another embodiment will be described. In other embodiments described below, the same reference numerals as in the first embodiment are given to the same components as in the first embodiment described above, and detailed description thereof may be omitted or simplified. .
(Second embodiment)
9 is a plan view showing the contact portion of the signal line switch circuit in the display device according to the second embodiment, and FIG. 10 is a sectional view of the contact portion taken along line EE in FIG.
As shown in the figure, according to the second embodiment, in the transistor ST of the signal line switch circuit ASW, the extension GEE1 of the gate electrode GE1 is the extension LSE1 of the light shielding layer LS1. It is shifted in the first direction X by about half the width in the first direction X and on the side of the drain electrode DE. As a result, approximately half the widthwise region of the extending portion GEE1 overlaps in the third direction Z with approximately half the widthwise region of the extending portion LSE1.
In the present embodiment, the extending portion LSE1 and the extending portion GEE1 have substantially the same extending length in the second direction Y, and the extending portion LSE1 and the extending portion GEE1 are shifted in the second direction Y. not.

絶縁層IL1、ゲート絶縁層GI、絶縁層UCを貫通してコンタクトホールCH6が形成されている。一例では、コンタクトホールCH6はほぼ矩形状に形成され、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重ねて設けられている。コンタクトホールCH6の第1方向Xの幅および第2方向Yの幅は、延出部LSE1の第1方向Xの幅とほぼ等しいか、あるいは、僅かに小さい。コンタクトホールCH6は、第2方向Yに延びる中心軸線Cが、遮光層LS1の延出部LSE1の中心軸線と重なる位置に設けられている。更に、コンタクトホールCH6は、延出部LSE1、GEE1の延出端よりも基端の側に位置し、その全体が延出部LSE1、GEE1の延出端部に重畳している。延出部LSE1の延出端の一部、および、延出部GEE1の延出端の一部が、コンタクトホールCH6内に露出している。 A contact hole CH6 is formed through the insulating layer IL1, the gate insulating layer GI, and the insulating layer UC. In one example, the contact hole CH6 is formed in a substantially rectangular shape and provided so as to overlap the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1. The width in the first direction X and the width in the second direction Y of the contact hole CH6 are substantially equal to or slightly smaller than the width in the first direction X of the extending portion LSE1. The contact hole CH6 is provided at a position where the central axis C extending in the second direction Y overlaps the central axis of the extending portion LSE1 of the light shielding layer LS1. Further, the contact hole CH6 is located closer to the base end than the extending ends of the extending portions LSE1 and GEE1, and the entire contact hole CH6 overlaps the extending ends of the extending portions LSE1 and GEE1. A part of the extending end of the extending part LSE1 and a part of the extending end of the extending part GEE1 are exposed in the contact hole CH6.

図9および図10に示すように、コンタクトホールCH6の全体に重ねて接続配線SLC1が形成されされている。接続配線SLC1は、例えば、信号線SLと同層の金属層で形成されている。コンタクトホールCH6の中に形成された接続配線SLC1は、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重畳して直接的に接触し、これらの延出端に導通している。これにより、延出部LSE1の延出端は、接続配線SLC1を介して、延出部GEE1の延出端に電気的に接続されている。すなわち、遮光層LSは、単一のコンタクトホールCH6および接続配線SLC1を介して、ゲート電極GE1に電気的に接続されている。絶縁層ILIおよび接続配線SLC1は絶縁層PLN1で覆われている。
なお、トランジスタSTR11、STB11の他方の延出部LSE2、延出部GEE2も上述した延出部LSE1、GEE1と同様に構成され、単一のコンタクトホールに形成された接続配線により互いに電気的に接続されている。
第2実施形態において、信号線スイッチ回路ASWの他の構成は、前述した第1実施形態における信号線スイッチ回路ASWと共通である。
As shown in FIGS. 9 and 10, a connection wiring SLC1 is formed over the entire contact hole CH6. The connection wiring SLC1 is formed of, for example, the same metal layer as the signal line SL. The connection wiring SLC1 formed in the contact hole CH6 overlaps and directly contacts the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1, and is electrically connected to these extending ends. there is Thus, the extending end of the extending portion LSE1 is electrically connected to the extending end of the extending portion GEE1 via the connection wiring SLC1. That is, the light shielding layer LS is electrically connected to the gate electrode GE1 via the single contact hole CH6 and the connection wiring SLC1. The insulating layer ILI and the connection wiring SLC1 are covered with an insulating layer PLN1.
The other extending portions LSE2 and GEE2 of the transistors STR11 and STB11 are also configured in the same manner as the extending portions LSE1 and GEE1 described above, and are electrically connected to each other by connection wirings formed in a single contact hole. It is
In the second embodiment, other configurations of the signal line switch circuit ASW are common to the signal line switch circuit ASW in the first embodiment described above.

上記のように、延出部LSE1に対して、延出部GEE1を第1方向Xにずらして配置し、一部分を重畳して配置することにより、単一のコンタクトホールCH6に形成された接続配線SLC1を、比較的、広い面積で、延出部LSE1および延出部GEE1の延出端部に接触させることができる。これにより、遮光層LSとゲート電極GEとを確実に電気的に接続することが可能となる。単一のコンタクトホールを介して接続可能とすることにより、複数のコンタクトホールを介して接続する場合に比較して、コンタクト部の占める面積を縮小することができ、その結果、スイッチ回路の小型化に寄与することができる。
更に、第2実施形態では、延出部LSE1、GEE1の延出端は第2方向Yにシフトしていないことから、第2方向Yへの延出長さを短くし、一層の小型化を図ることが可能となる。
As described above, the extension part GEE1 is shifted in the first direction X with respect to the extension part LSE1, and is partially overlapped with the connection wiring formed in the single contact hole CH6. SLC1 can be brought into contact with the extending end portions of the extending portion LSE1 and the extending portion GEE1 over a relatively large area. This makes it possible to reliably electrically connect the light shielding layer LS and the gate electrode GE. By enabling connection through a single contact hole, the area occupied by the contact portion can be reduced compared to the case of connection through a plurality of contact holes, resulting in miniaturization of the switch circuit. can contribute to
Furthermore, in the second embodiment, since the extending ends of the extending portions LSE1 and GEE1 are not shifted in the second direction Y, the length of extension in the second direction Y is shortened to further reduce the size. It is possible to plan

なお、第2実施形態において、ゲート電極GE1の延出部GEE1は、遮光層LS1の延出部LSE1に対し、反対の方向にシフトして、すなわち、第1方向Xに、かつ、信号配線SLR11の側に、シフトしていても良い。このような構成においても、上述した第2実施形態と同様の作用効果を得ることができる。 Note that, in the second embodiment, the extension GEE1 of the gate electrode GE1 is shifted in the opposite direction to the extension LSE1 of the light shielding layer LS1, that is, in the first direction X and the signal line SLR11. may be shifted to the side of Even in such a configuration, it is possible to obtain the same effects as those of the above-described second embodiment.

(第3実施形態)
図11は、第3実施形態に係る表示装置における信号線スイッチ回路のコンタクト部を示す平面図、図12は、図11の線F-Fに沿ったコンタクト部の断面図である。
図示のように、第3実施形態によれば、信号線スイッチ回路ASWのトランジスタSTにおいて、ゲート電極GE1の延出部GEE1は、遮光層LS1の延出部LSE1に対して、ゲート電極GE1の第1方向Xの幅の約半分だけ、第1方向Xに、一例では、ドレイン電極DEの側に、シフトして位置している。これにより、延出部GEE1の幅方向のほぼ半分の領域が、延出部LSE1の幅方向の約半分の領域に第3方向Zに重畳している。
本実施形態において、延出部LSE1、および延出部GEE1の第2方向Yへの延出長さはほぼ同一に形成され、延出部LSE1、GEE1の延出端は互いにほぼ整列している。
(Third embodiment)
11 is a plan view showing the contact portion of the signal line switch circuit in the display device according to the third embodiment, and FIG. 12 is a cross-sectional view of the contact portion taken along line FF in FIG.
As shown in the figure, according to the third embodiment, in the transistor ST of the signal line switch circuit ASW, the extension GEE1 of the gate electrode GE1 is located at the extension LSE1 of the light shielding layer LS1. It is shifted in the first direction X by about half the width in the one direction X, in one example, on the side of the drain electrode DE. As a result, approximately half the widthwise region of the extending portion GEE1 overlaps in the third direction Z with approximately half the widthwise region of the extending portion LSE1.
In the present embodiment, the extending portion LSE1 and the extending portion GEE1 have substantially the same extending length in the second direction Y, and the extending ends of the extending portions LSE1 and GEE1 are substantially aligned with each other. .

絶縁層IL1、ゲート絶縁層GI、絶縁層UCを貫通してコンタクトホールCH6が形成されている。一例では、コンタクトホールCH6はほぼ矩形状に形成され、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重ねて設けられている。コンタクトホールCH6の第1方向Xの幅および第2方向Yの幅は、延出部LSE1の第1方向Xの幅とほぼ等しいか、あるいは、僅かに小さい。コンタクトホールCH6は、第2方向Yに延びる中心軸線Cが、遮光層LS1の延出部LSE1の中心軸線と重なる位置に設けられている。
更に、コンタクトホールCH6は、延出部LSE1、GEE1の延出端よりも第2方向Yの延出方向にずれて位置している。一例では、コンタクトホールCH6は、第2方向Yの幅の約半分程度、第2方向Yの延出方向にずれて位置している。これにより、コンタクトホールCH6は、第2方向Yの幅の約半分の領域が、延出部LSE1、GEE1の延出端部に重畳している。延出部LSE1の延出端の一部、および、延出部GEE1の延出端の一部が、コンタクトホールCH6内に露出している。
A contact hole CH6 is formed through the insulating layer IL1, the gate insulating layer GI, and the insulating layer UC. In one example, the contact hole CH6 is formed in a substantially rectangular shape and provided so as to overlap the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1. The width in the first direction X and the width in the second direction Y of the contact hole CH6 are substantially equal to or slightly smaller than the width in the first direction X of the extending portion LSE1. The contact hole CH6 is provided at a position where the central axis C extending in the second direction Y overlaps the central axis of the extending portion LSE1 of the light shielding layer LS1.
Further, the contact hole CH6 is positioned to be shifted in the extending direction of the second direction Y from the extending ends of the extending portions LSE1 and GEE1. In one example, the contact hole CH6 is shifted in the extension direction of the second direction Y by about half of the width in the second direction Y. As shown in FIG. Thus, the contact hole CH6 has a region of about half the width in the second direction Y overlapping the extending end portions of the extending portions LSE1 and GEE1. A part of the extending end of the extending part LSE1 and a part of the extending end of the extending part GEE1 are exposed in the contact hole CH6.

図11および図12に示すように、コンタクトホールCH6の全体に重ねて接続配線SLC1が形成されされている。接続配線SLC1は、例えば、信号線SLと同層の金属層で形成されている。コンタクトホールCH6の中に形成された接続配線SLC1は、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重畳して直接的に接触し、これらの延出端に導通している。これにより、延出部LSE1の延出端は、接続配線SLC1を介して、延出部GEE1の延出端に電気的に接続されている。すなわち、遮光層LSは、単一のコンタクトホールCH6および接続配線SLC1を介して、ゲート電極GE1に電気的に接続されている。絶縁層ILIおよび接続配線SLC1は絶縁層PLN1で覆われている。
なお、トランジスタSTR11、STB11の他方の延出部LSE2、延出部GEE2も上述した延出部LSE1、GEE1と同様に構成され、単一のコンタクトホールに形成された接続配線により互いに電気的に接続されている。
第2実施形態において、信号線スイッチ回路ASWの他の構成は、前述した第1実施形態における信号線スイッチ回路ASWと共通である。
As shown in FIGS. 11 and 12, a connection wiring SLC1 is formed over the entire contact hole CH6. The connection wiring SLC1 is formed of, for example, the same metal layer as the signal line SL. The connection wiring SLC1 formed in the contact hole CH6 overlaps and directly contacts the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1, and is electrically connected to these extending ends. there is Thus, the extending end of the extending portion LSE1 is electrically connected to the extending end of the extending portion GEE1 via the connection wiring SLC1. That is, the light shielding layer LS is electrically connected to the gate electrode GE1 via the single contact hole CH6 and the connection wiring SLC1. The insulating layer ILI and the connection wiring SLC1 are covered with an insulating layer PLN1.
The other extending portions LSE2 and GEE2 of the transistors STR11 and STB11 are also configured in the same manner as the extending portions LSE1 and GEE1 described above, and are electrically connected to each other by connection wirings formed in a single contact hole. It is
In the second embodiment, other configurations of the signal line switch circuit ASW are common to the signal line switch circuit ASW in the first embodiment described above.

上記のように、延出部LSE1に対して、延出部GEE1を第1方向Xにずらして配置し、一部分を重畳して配置することにより、単一のコンタクトホールCH6に形成された接続配線SLC1を延出端部LSE1および延出端部GEE1に接触させることができる。これにより、遮光層LSとゲート電極GEとを確実に電気的に接続することが可能となる。単一のコンタクトホールを介して接続可能とすることにより、複数のコンタクトホールを介して接続する場合に比較して、コンタクト部の占める面積を縮小することができ、その結果、スイッチ回路の小型化に寄与することができる。
第2実施形態および第3実施形態において、コンタクトホールCH6の形成位置が同一である場合、第3実施形態によれば、第2実施形態に対して、延出部LSE1、GEE1の第2方向Yへの延出長さをコンタクトホールCH6の幅の約半分だけ短くすることができ、トランジスタSTの一層の小型化が可能となる。
As described above, the extension part GEE1 is shifted in the first direction X with respect to the extension part LSE1, and is partially overlapped with the connection wiring formed in the single contact hole CH6. SLC1 can be in contact with extended end LSE1 and extended end GEE1. This makes it possible to reliably electrically connect the light shielding layer LS and the gate electrode GE. By enabling connection through a single contact hole, the area occupied by the contact portion can be reduced compared to the case of connection through a plurality of contact holes, resulting in miniaturization of the switch circuit. can contribute to
In the second embodiment and the third embodiment, when the formation position of the contact hole CH6 is the same, according to the third embodiment, the second direction Y of the extensions LSE1 and GEE1 is different from the second embodiment. can be shortened by about half the width of the contact hole CH6, so that the size of the transistor ST can be further reduced.

なお、第3実施形態において、ゲート電極GE1の延出部GEE1は、遮光層LS1の延出部LSE1に対し、反対の方向にシフトして、すなわち、第1方向Xに、かつ、信号配線SLR11の側に、シフトしていても良い。このような構成においても、上述した第2実施形態と同様の作用効果を得ることができる。 In the third embodiment, the extending portion GEE1 of the gate electrode GE1 is shifted in the opposite direction to the extending portion LSE1 of the light shielding layer LS1, that is, in the first direction X and the signal line SLR11. may be shifted to the side of Even in such a configuration, it is possible to obtain the same effects as those of the above-described second embodiment.

(第4実施形態)
図13は、第4実施形態に係る表示装置における信号線スイッチ回路のコンタクト部を示す平面図、図14は、図13の線G-Gに沿ったコンタクト部の断面図である。
図示のように、第4実施形態によれば、信号線スイッチ回路ASWのトランジスタSTにおいて、ゲート電極GE1の延出部GEE1および遮光層LS1の延出部LSE1は、第1方向Xについて、互いにシフトすることなく、全幅に亘ってZ方向に重畳して設けられている。遮光層LS1の延出部LSE1は、第2方向Yの延出長さが、ゲート電極GEの延出部GEE1の延出長さよりも長く形成され、延出部LSE1の延出端部は、延出部GEE1の延出端を超えて第2方向Yに延出している。一例では、延出部SLE1は、延出部SLE1の第1方向Xの幅のほぼ半分程度、延出部GEE1よりも長く形成されいる。
(Fourth embodiment)
13 is a plan view showing the contact portion of the signal line switch circuit in the display device according to the fourth embodiment, and FIG. 14 is a sectional view of the contact portion taken along line GG in FIG.
As illustrated, according to the fourth embodiment, in the transistor ST of the signal line switch circuit ASW, the extension GEE1 of the gate electrode GE1 and the extension LSE1 of the light shielding layer LS1 are shifted relative to each other in the first direction X. It is provided so as to overlap in the Z direction over the entire width. The extending portion LSE1 of the light shielding layer LS1 is formed so that the extending length in the second direction Y is longer than the extending length of the extending portion GEE1 of the gate electrode GE. It extends in the second direction Y beyond the extending end of the extending portion GEE1. In one example, the extension SLE1 is formed longer than the extension GEE1 by approximately half the width of the extension SLE1 in the first direction X.

一例では、コンタクトホールCH6はほぼ矩形状に形成され、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重ねて設けられている。コンタクトホールCH6の第1方向Xの幅および第2方向Yの幅は、延出部LSE1の第1方向Xの幅とほぼ等しいか、あるいは、僅かに小さい。コンタクトホールCH6は、第2方向Yに延びる中心軸線Cが、遮光層LS1の延出部LSE1の中心軸線と重なる位置に設けられている。
コンタクトホールCH6は、第2方向Yのほぼ半分の領域が延出部LSE1の延出端部に重畳し、残り半分の領域が延出部GEE1の延出端部に重畳している。すなわち、延出部LSE1の延出端部、および、延出部GEE1の延出端部が、コンタクトホールCH6内に露出している。
In one example, the contact hole CH6 is formed in a substantially rectangular shape and provided so as to overlap the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1. The width in the first direction X and the width in the second direction Y of the contact hole CH6 are substantially equal to or slightly smaller than the width in the first direction X of the extending portion LSE1. The contact hole CH6 is provided at a position where the central axis C extending in the second direction Y overlaps the central axis of the extending portion LSE1 of the light shielding layer LS1.
Almost half of the contact hole CH6 in the second direction Y overlaps the extending end of the extending portion LSE1, and the other half of the contact hole CH6 overlaps the extending end of the extending portion GEE1. That is, the extending end portion of the extending portion LSE1 and the extending end portion of the extending portion GEE1 are exposed in the contact hole CH6.

図13および図14に示すように、コンタクトホールCH6の全体に重ねて接続配線SLC1が形成されされている。接続配線SLC1は、例えば、信号線SLと同層の金属層で形成されている。コンタクトホールCH6の中に形成された接続配線SLC1は、延出部LSE1の延出端および延出部GEE1の延出端に重畳して直接的に接触し、これらの延出端に導通している。これにより、延出部LSE1の延出端は、接続配線SLC1を介して、延出部GEE1の延出端に電気的に接続されている。すなわち、遮光層LSは、単一のコンタクトホールCH6および接続配線SLC1を介して、ゲート電極GE1に電気的に接続されている。絶縁層ILIおよび接続配線SLC1は絶縁層PLN1で覆われている。
なお、トランジスタSTR11、STB11の他方の延出部LSE2、延出部GEE2も上述した延出部LSE1、GEE1と同様に構成され、単一のコンタクトホールに形成された接続配線により互いに電気的に接続されている。
第4実施形態において、信号線スイッチ回路ASWの他の構成は、前述した第1実施形態における信号線スイッチ回路ASWと共通である。
As shown in FIGS. 13 and 14, a connection wiring SLC1 is formed over the entire contact hole CH6. The connection wiring SLC1 is formed of, for example, the same metal layer as the signal line SL. The connection wiring SLC1 formed in the contact hole CH6 overlaps and directly contacts the extending end of the extending portion LSE1 and the extending end of the extending portion GEE1, and is electrically connected to these extending ends. there is Thus, the extending end of the extending portion LSE1 is electrically connected to the extending end of the extending portion GEE1 via the connection wiring SLC1. That is, the light shielding layer LS is electrically connected to the gate electrode GE1 via the single contact hole CH6 and the connection wiring SLC1. The insulating layer ILI and the connection wiring SLC1 are covered with an insulating layer PLN1.
The other extending portions LSE2 and GEE2 of the transistors STR11 and STB11 are also configured in the same manner as the extending portions LSE1 and GEE1 described above, and are electrically connected to each other by connection wirings formed in a single contact hole. It is
In the fourth embodiment, other configurations of the signal line switch circuit ASW are common to those of the signal line switch circuit ASW in the first embodiment described above.

上述した第4実施形態によれば、延出部GEE1に対して、延出部LSE1の延出端部を第2方向Yにずらして配置配置することにより、単一のコンタクトホールCH6に形成された接続配線SLC1を延出部LSE1および延出部GEE1に接触させることができる。これにより、遮光層LSとゲート電極GEとを確実に電気的に接続することが可能となる。単一のコンタクトホールを介して接続可能とすることにより、複数のコンタクトホールを介して接続する場合に比較して、コンタクト部の占める面積を縮小することができ、その結果、スイッチ回路の小型化に寄与することができる。 According to the fourth embodiment described above, the extending end of the extending portion LSE1 is shifted in the second direction Y with respect to the extending portion GEE1, thereby forming the single contact hole CH6. The connection wiring SLC1 can be brought into contact with the extension LSE1 and the extension GEE1. This makes it possible to reliably electrically connect the light shielding layer LS and the gate electrode GE. By enabling connection through a single contact hole, the area occupied by the contact portion can be reduced compared to the case of connection through a plurality of contact holes, resulting in miniaturization of the switch circuit. can contribute to

なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
本発明の実施形態として上述した各構成を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての構成も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
例えば、信号線スイッチ回路の各トランジスタは、デュアルゲート型のトランジスタに限らず、単一のトランジスタ、あるいは、トランスミッションゲート等を用いてもよい。トランジスタの個数、配線の本数は、設計の応じて種々変更可能である。
実施形態では、表示装置DSPの例として、液晶表示装置について説明したが、これに限定されることなく、本実施形態は、電気泳動表示装置、有機EL(Electro-Luminescence))表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、Micro-Electro Mechanical System(MEMS)表示装置等にも適用可能である。
It should be noted that although several embodiments of the invention have been described, these embodiments are provided by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. The novel embodiments can be embodied in various other forms, and various omissions, replacements, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. Embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the scope of the invention described in the claims and equivalents thereof.
Based on the configurations described above as the embodiments of the present invention, all configurations that can be implemented by those skilled in the art by appropriately designing and modifying them also belong to the scope of the present invention as long as they include the gist of the present invention.
For example, each transistor in the signal line switch circuit is not limited to a dual-gate transistor, and may be a single transistor, a transmission gate, or the like. The number of transistors and the number of wirings can be varied according to the design.
In the embodiments, a liquid crystal display device has been described as an example of the display device DSP, but the present embodiment is not limited to this, and can be applied to an electrophoretic display device, an organic EL (Electro-Luminescence) display device, and a plasma display. It can also be applied to display devices, Micro-Electro Mechanical System (MEMS) display devices, and the like.

ASW…信号線スイッチ回路、CNW…接続配線、CNW1…接続配線、
CNW2…接続配線、STR、SRG、STG…トランジスタ、
GE、GE1、GE2…ゲート電極、GEE…延出部、SE1、SE2…ソース電極、
LS、LS1、LS2…遮光層、LSE…延出部、SL…信号線、SLC…接続配線
SSR、SSB、SSG…選択線、GEL1、GEL2、GEL3…ゲート線、
WL1,WL2…引出し線、CH…コンタクトホール
ASW... signal line switch circuit, CNW... connection wiring, CNW1... connection wiring,
CNW2...connection wiring, STR, SRG, STG...transistor,
GE, GE1, GE2... gate electrode, GEE... extension, SE1, SE2... source electrode,
LS, LS1, LS2...Light shielding layer, LSE...Extension part, SL...Signal line, SLC...Connection wiring
SSR, SSB, SSG... selection lines, GEL1, GEL2, GEL3... gate lines,
WL1, WL2... leader line, CH... contact hole

Claims (6)

複数の信号線と、
それぞれ遮光層と絶縁層を挟んで前記遮光層に重畳して設けられたゲート電極と前記遮光層と前記ゲート電極とを電気的に接続するコンタクト部とを有し、第1方向に並んで配置された複数のトランジスタを具備し、前記複数の信号線に接続された信号線スイッチ回路と、を備え、
前記遮光層は、前記第1方向と交差する第2方向に延出した第1延出部を有し、前記ゲート電極は、前記第2方向に延出し前記第1延出部に対し前記第1方向にずれて配置された第2延出部を有し、前記第2延出部の一部が前記第1延出部の一部に重畳して位置し、
前記コンタクト部は、前記第1延出部および前記第2延出部に重畳して設けられた単一のコンタクトホールと前記コンタクトホールの内に形成され前記第1延出部の一部および前記第2延出部の一部に接続された配線層とを含んでいる、
表示装置。
a plurality of signal lines;
Each has a gate electrode superimposed on the light shielding layer with a light shielding layer and an insulating layer interposed therebetween, and a contact portion electrically connecting the light shielding layer and the gate electrode, and arranged side by side in a first direction. a signal line switch circuit comprising a plurality of transistors connected to the plurality of signal lines,
The light shielding layer has a first extending portion extending in a second direction intersecting the first direction, and the gate electrode extends in the second direction and extends in the first direction with respect to the first extending portion. having a second extending portion that is displaced in one direction, a portion of the second extending portion overlapping a portion of the first extending portion;
The contact portion includes a single contact hole provided to overlap the first extending portion and the second extending portion, and a portion of the first extending portion and the contact hole formed in the contact hole. a wiring layer connected to a portion of the second extension;
display device.
前記コンタクトホールは、前記第2方向に延びる中心軸線を有し、
前記第1延出部は、前記コンタクトホールの中心軸線に対して、前記第1方向にずれて配置され、前記第2延出部は、前記コンタクトホールの中心軸線に対して、前記第1方向で前記第1延出部と反対の方向にずれて配置されている
請求項1に記載の表示装置。
the contact hole has a central axis extending in the second direction;
The first extending portion is arranged shifted in the first direction with respect to the central axis of the contact hole, and the second extending portion is disposed with respect to the central axis of the contact hole in the first direction. 2 . The display device according to claim 1 , wherein the first extension portion and the first extension portion are shifted in a direction opposite to each other.
前記第1延出部は、前記第2延出部の延出端を超えて前記第2方向に延出した延出端部を有し、前記コンタクト部は、前記第1延出部の延出端部および前記第2延出部の延出端部に重畳している請求項2に記載の表示装置。 The first extending portion has an extending end extending in the second direction beyond the extending end of the second extending portion, and the contact portion extends from the first extending portion. 3. The display device according to claim 2, wherein the extended end portion and the extended end portion of the second extended portion overlap each other. 前記コンタクトホールは、前記第2方向に延びる中心軸線を有し、
前記第1延出部は、前記第2方向に延びる中心軸線が前記コンタクトホールの中心軸線と重なり、前記第2延出部は、前記コンタクトホールの中心軸線に対して、前記第1方向にずれて配置されている請求項1に記載の表示装置。
the contact hole has a central axis extending in the second direction;
The first extension has a center axis extending in the second direction that overlaps the center axis of the contact hole, and the second extension is shifted in the first direction with respect to the center axis of the contact hole. 2. A display device according to claim 1, wherein the display device is arranged at
前記コンタクトホールは、前記第1延出部の延出端および前記第2延出部の延出端よりも前記第1延出部の基端の側に位置し、前記コンタクトホールの全域が前記第1延出部および前記第2延出部に重畳している請求項4に記載の表示装置。 The contact hole is located closer to the base end of the first extension than the extension end of the first extension and the extension end of the second extension, and the contact hole extends over the entire area of the contact hole. 5. The display device according to claim 4, which overlaps the first extension and the second extension. 前記コンタクトホールは、一部の領域が前記第1延出部および前記第2延出部に重畳し、他の領域が前記第1延出部の延出端および前記第2延出部の延出端から前記第2方向の外側に位置している請求項4に記載の表示装置。 A part of the contact hole overlaps the first extension and the second extension, and the other area is an extension end of the first extension and an extension of the second extension. 5. The display device according to claim 4, which is positioned outside in the second direction from the protruding end.
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