JP2023057858A5

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Info

Publication number: JP2023057858A5
Application number: JP2021167573A
Authority: JP
Filing date: 2021-10-12
Publication date: 2024-04-22

Description

本発明の１つの側面は、マーク検出装置に係り、前記マーク検出装置は、マーク検出系を支持する支持部材と、前記支持部材に対する、前記マーク検出系に含まれるスコープの位置を変更する駆動機構と、前記支持部材に対する前記スコープの位置を固定する固定動作をそれぞれ行う複数の固定機構と、予め設定された順序で前記複数の固定機構に前記固定動作を行わせる制御部と、を備える。

Claims

マーク検出系を支持する支持部材と、
前記支持部材に対する、前記マーク検出系に含まれるスコープの位置を変更する駆動機構と、
前記支持部材に対する前記スコープの位置を固定する固定動作をそれぞれ行う複数の固定機構と、
予め設定された順序で前記複数の固定機構に前記固定動作を行わせる制御部と、
を備えることを特徴とするマーク検出装置。
前記制御部は、前記複数の固定機構によって前記支持部材に対して前記スコープを固定する際に、前記複数の固定機構に予め設定された時間差で前記固定動作を開始させる、
ことを特徴とする請求項１に記載のマーク検出装置。
前記複数の固定機構は、前記スコープの互いに異なる位置に対して、前記スコープを固定するための力を作用させる、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のマーク検出装置。
前記複数の固定機構の各々は、可動部材を含み、前記可動部材を前記スコープに押し付けることによって前記スコープを固定するための力を前記スコープに作用させる、
ことを特徴とする請求項３に記載のマーク検出装置。
前記複数の固定機構の各々は、真空圧によって前記スコープを吸引する、
ことを特徴とする請求項４に記載のマーク検出装置。
前記可動部材は、真空パッドを含み、前記複数の固定機構の各々は、前記可動部材を支持するバネを含む、
ことを特徴とする請求項５に記載のマーク検出装置。
前記可動部材を前記スコープに押し付ける方向における前記バネの剛性は、前記方向に直交する方向における前記バネの剛性より低い、
ことを特徴とする請求項６に記載のマーク検出装置。
前記複数の固定機構の各々は、前記可動部材を前記スコープに押し付けるアクチュエータを含む、
ことを特徴とする請求項４に記載のマーク検出装置。
前記複数の固定機構に前記順序で前記固定動作を行わせた場合の前記スコープの固定に伴う前記スコープの位置ずれは、前記複数の固定機構に同時に前記固定動作を行わせた場合の前記スコープの固定に伴う前記スコープの位置ずれより小さい、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
前記制御部は、前記複数の固定機構に前記順序で前記固定動作を行わせた場合の前記スコープの固定に伴う前記スコープの位置ずれが許容範囲に収まるように前記順序を決定する、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
前記順序は、前記スコープの位置決めのための前記スコープの移動量、移動方向、目標位置、移動速度、移動加速度の少なくとも１つに応じた順序として決定されている、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
前記駆動機構が前記スコープを位置決めするための動作における前記スコープの最後の駆動の方向は、予め定められた方向である、
ことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
複数のマーク検出系を備え、
前記複数のマーク検出系の各々について、前記スコープ、前記駆動機構および前記複数の固定機構を含み、
前記複数のマーク検出系の各々について、前記順序が定められている、
ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
前記スコープをガイドするように平行に配置された２つのガイドを更に備え、
前記複数の固定機構は、前記２つのガイドの間に配置された２つの固定機構を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
水平面に対する正射影において、前記２つの固定機構の間に前記スコープの重心が位置する、
ことを特徴とする請求項１４に記載のマーク検出装置。
前記２つの固定機構は、前記スコープに押し付けられる水平面を有する、
ことを特徴とする請求項１４又は１５に記載のマーク検出装置。
前記複数の固定機構は、前記２つの固定機構とは異なる高さに配置された固定機構を含む、
ことを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載のマーク検出装置。
マーク検出系を支持する支持部材と、
前記支持部材に対する、前記マーク検出系に含まれるスコープの位置を変更する駆動機構と、
前記支持部材に対する前記スコープの位置を固定する固定動作をそれぞれ行う複数の固定機構と、
互いに異なるタイミング、かつ、予め設定された順序で前記複数の固定機構に前記固定動作を行わせる制御部と、
を備えることを特徴とするマーク検出装置。
マーク検出系を支持する支持部材と、
前記支持部材に対する、前記マーク検出系に含まれるスコープの位置を変更する駆動機構と、
前記支持部材に対する前記スコープの位置を固定する固定動作をそれぞれ行う複数の固定機構と、
前記複数の固定機構のうち予め設定された１つの固定機構に前記固定動作を開始させた後に、前記複数の固定機構のうち他の固定機構に前記固定動作を開始させる制御部と、
をことを特徴とするマーク検出装置。
基板を露光する露光装置であって、
前記基板のマークを検出するように構成された請求項１乃至１９のいずれか１項に記載のマーク検出装置を備えることを特徴とする露光装置。
請求項２０に記載の露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、
前記露光工程を経た前記基板を現像する現像工程と、
前記現像工程を経た前記基板を処理して物品を得る処理工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。