JP2023056139A - 機械学習の評価方法及び機械学習による推定モデルの生成方法 - Google Patents

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Abstract

Figure 2023056139000001
【課題】機械学習による入力値に対する推定値の信頼性を精度よく評価する方法及び生成方法を提供する。
【解決手段】未学習の機械学習プログラムPに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データTDとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルM1~Mnを複数生成するステップS1と、生成した複数の学習済みの推定モデルM1~Mnのそれぞれに同じ入力値aを入力し、それぞれの推定モデルから出力値X1~Xnを得るステップS2と、得られた複数の出力値の平均値Xmと標準偏差出るXmとを求めるステップS3と、前記標準偏差δXmが小さい出力値ほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価するステップS4と、を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は、機械学習の評価方法、機械学習による推定値の評価方法、機械学習による推定モデルの信頼性の評価方法及び機械学習による推定モデルの生成方法に関するものである。
機械学習プログラムを用いた熱伝導率等の物理特性の推定方法として、半導体結晶製品の製造装置の構成部材を測定試料として準備するステップと、測定試料の一部を所定の加熱条件で加熱して、定常状態における前記測定試料の表面の温度分布を測定するステップと、前記測定試料と同じ形状の試料モデルの仮の熱伝導率および加熱条件の複数の組み合わせについて伝熱シミュレーションを実施して、前記複数の組み合わせのそれぞれについて前記試料モデルの表面の温度分布を計算するステップと、前記伝熱シミュレーションで用いた前記複数の組み合わせおよび当該複数の組み合わせから得られた温度分布の計算結果を訓練データとして、入力を前記測定試料の表面の温度分布とし、出力を前記測定試料の熱伝導率とする推定モデルを、機械学習法を用いて作成するステップと、前記測定試料の表面の温度分布測定結果を前記回帰モデルに入力して、前記測定試料の熱伝導率を推定するステップとを備えた熱伝導率推定方法が知られている(特許文献1参照)。
特開2020-85737号公報
このように、機械学習プログラムは、高精度な分類や推定をするための推定装置として活用されることがあるが、その分類又は推定において、なぜその結果になったのかという理由を示すことは難しく、したがって、その結果にどの程度の信頼性があるかを示すことは困難である。
上記従来技術では、機械学習で用いる訓練データ(目標とするネットワークの関数を定めるために、「ある入力xに対する望ましい出力d」というような、関数の入力と出力のペアの集合であり、機械学習法を利用した回帰モデル等の生成に用いられる。学習データともいう。)とは異なるテストデータを用いて推定値、あるいは推定モデルの信頼性を評価している。すなわち、答えの分かったテストデータに対して推定を行い、推定値を答えと比較するという評価方法であり、多くのテストデータに対して高い成績を収めた推定モデルは、信頼性が高いと評価する。
確かに、多くのテストデータに対して高い成績を収めた推定モデルは、出力値が未知である入力値を推定させても、出力値の推定信頼性は高い可能性はあるといえる。しかしながら、テストデータとは異なる新規な分類又は推定においては、入力値に対する出力値が、どの程度の信頼性を有するのか、精度よく評価できないという問題があった。
本発明が解決しようとする課題は、精度が良い、機械学習の評価方法、機械学習による推定値の評価方法、機械学習による推定モデルの信頼性の評価方法及び機械学習による推定モデルの生成方法を提供することである。
本発明は、未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
前記標準偏差を用いて機械学習の評価を行うステップと、を含む機械学習の評価方法によって、上記課題を解決する。
また本発明は、未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
前記標準偏差が小さい出力値ほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価するステップと、を含む機械学習による推定値評価方法によって、上記課題を解決する。
さらに本発明は、未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
前記標準偏差が小さい出力値の推定モデルほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価するステップと、を含む機械学習プログラムの信頼性評価方法によって、上記課題を解決する。
さらにまた本発明は、未学習の機械学習プログラムに対し、数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
前記標準偏差が所定値以下となる出力値の推定モデルを抽出するステップと、を含む機械学習プログラムの生成方法によって、上記課題を解決する。
上記発明において、前記推定モデルは、回帰推定モデル又は分類推定モデルであることがより好ましい。
本発明によれば、精度が良い、機械学習の評価方法、機械学習による推定値の評価方法、機械学習による推定モデルの信頼性の評価方法及び機械学習による推定モデルの生成方法を提供することができる。
本発明に係る機械学習による推定値の評価方法を示す工程図である。 図1のステップS1を説明するための図である。 図1のステップS2を説明するための図(その1)である。 図1のステップS2を説明するための図(その2)である。 本発明に係る機械学習による推定値の評価方法の実施例を示すグラフである。 本発明に係る機械学習による推定値の評価方法の他の実施例を示すグラフである。 本発明に係る学習済み機械学習による推定モデルの信頼性評価方法を示す工程図である。 図6のステップS11を説明するための図である。 図6のステップS11を説明するための図である。 図6のステップS12を説明するための図である。
《機械学習による推定値の評価方法》
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は、本発明に係る機械学習による推定値の評価方法を示す工程図、図2は、図1のステップS1を説明するための図、図3は、図1のステップS2を説明するための図である。本実施形態は、学習済み機械学習プログラムの入力値に対する推定値の信頼性を評価する方法であり、訓練データとは異なる答えの分かったテストデータを用いて評価する方法に代わる新たな評価方法である。
本実施形態の機械学習による推定値評価方法は、図1に示すように、未学習の機械学習プログラムPに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データTDとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルM~Mを複数生成するステップS1と、生成した複数の学習済みの推定モデルM~Mのそれぞれに同じ入力値aを入力し、それぞれの推定モデルM~Mから出力値X~Xを得るステップS2と、得られた複数の出力値Xa1~Xanの平均値Xと標準偏差δXとを求めるステップS3と、前記標準偏差δXが小さいほど、入力値に対する出力値(推定値)Xanの信頼性が高いと評価するステップS4と、を含む。以下、各ステップS1~S4について説明する。なお、機械学習プログラムを用いて入力値から出力値を推定する場合、出力値が推定値になることから、以下においては推定された出力値は推定値を意味するものとする。
ステップS1では、まず一つの未学習の機械学習プログラムPと、訓練データTDとを準備する。本実施形態で用いることができる機械学習プログラムは、そのモデル構造など特に限定されない。また訓練データTDは、入力値に対する出力値が経験的に既知である、関数の入力と出力のペアの集合であれば、データの種類や数量など特に限定されない。そして、図2に示すように、準備した一つの未学習の機械学習プログラムPに対し、訓練データTDを用いて機械学習法による学習処理をn回実行し、n個の学習済み推定モデルM~Mを生成する。
訓練データTDを用いて機械学習プログラムを学習処理した後の学習済みモデルの性能は、学習したデータとモデルの構造によって決まる。モデルの構造は、ハイパーパラメータで示され、ニューラルネットワーク型機械学習では、ネットワークの構造と同等である。ここで、機械学習プログラムの学習処理には、ランダム性があるため、同じ訓練データと同じハイパーパラメータを使用しても、学習処理するごとに生成される学習済みの推定モデルM~Mは、互いに異なるモデルになる。したがって、ステップS2において、異なる複数の学習済みの推定モデルM~Mを生成する場合、同じ訓練データTDを同じハイパーパラメータで学習しても、異なる訓練データTDや異なるハイパーパラメータで学習処理してもよい。
ステップS3では、ステップS2で生成したn個の学習済み推定モデルM~Mのそれぞれに、同じ入力値aを入力し、それぞれの推定モデルM~Mから出力値Xa1~Xanを得る。すなわち、図3Aに示すように、学習済み推定モデルMに入力値aを入力して出力値Xa1を算出し、学習済み推定モデルMに同じ入力値aを入力して出力値Xa2を算出し、これを学習済み推定モデルMまで行う。
ステップS4では、入力値aに対して得られたn個の出力値Xa1~Xanの平均値Xと標準偏差δXとを求める。ここで求められた平均値Xを真の出力値とし、標準偏差δXを誤差として扱う。そして、ステップS5では、真の出力値と見做した平均値Xに対し、誤差と見做した標準偏差δXが小さいほど、入力値に対する出力値Xanの信頼性が高いと評価する。
たとえば、入力値aとは異なる入力値bについて、同じ推定モデルM~Mを用いてステップS3の処理を行い、それぞれの推定モデルM~Mから出力値Xb1~Xbnを得る。すなわち、図3Bに示すように、学習済み推定モデルMに入力値bを入力して出力値Xb1を算出し、学習済み推定モデルMに同じ入力値bを入力して出力値Xb2を算出し、これを学習済み推定モデルMまで行う。そして、ステップS4において、入力値bに対して得られたn個の出力値Xb1~Xbnの平均値Xと標準偏差δXとを求める。ここで、入力値aに対して求められた標準偏差δXが、入力値bに対して求められた標準偏差δXより小さければ、入力値aに対する出力値(推定値)Xa1~Xanの信頼性が、入力値bに対する出力値(推定値)Xb1~Xbnの信頼性に比べて高いと評価する。逆に、入力値bに対して求められた標準偏差δXが、入力値aに対して求められた標準偏差δXより小さければ、入力値bに対する出力値(推定値)Xb1~Xbnの信頼性が、入力値aに対する出力値(推定値)Xa1~Xanの信頼性に比べて高いと評価する。すなわち、本実施形態では、入力値a,b,c…に対する標準偏差δX,δX,δX,…が小さいほど、その入力値に対する出力値(推定値)の信頼性が高いと評価する。
機械学習プログラムは、訓練データTDを用いた学習処理によって、入力値と出力値の間の関係を発見しそれを推定処理に活用する。推定した出力値が、学習済みの推定モデルM~Mによって相違するのは、この学習処理した関係が相違するからである。つまり、推定した出力値が大きく違う場合、すなわちステップS4で求めた標準偏差δXが大きい場合には、推定モデルM~Mごとに相違する関係を求めていて、学習結果に迷いがあると考えられる。そのため、推定した出力値Xの標準偏差δXが大きいほど、推定した出力値Xの信頼性が低いと言え、逆に推定した出力値Xの標準偏差δXが小さいほど、推定した出力値Xの信頼性が高いと言える。
次に、本発明に係る機械学習による推定値の評価方法をより具体化した実施例を挙げて説明する。
《実施例1》(熱伝導率の推定)
本実施例1では、熱伝導率が不明な部材を含む実験系の温度分布を測定し、これを学習済みの機械学習プログラムに入力することで熱伝導率を推定する。本例の機械学習プログラムは、既知の熱伝導率を有する部材を実験系に含めたときの温度分布と熱伝導率を含む訓練データを用いて学習処理されている。また、訓練データとは独立なテストデータに対して所定値以上の推定精度を有することも確認されている。
ここで、推定した温度依存性を示す熱伝導率をk(T)とすると、推定精度Δは、熱伝導率の実測値kと機械学習プログラムの推定値kを複数の温度Tを用いて次式の様に比較することで求めることができる。次式は、推定された出力値が答えとどの程度相違するのかを比率で示した式である。一般的には、熱伝導率の推定は、10%程度の誤差があると言われているため、Δ≦0.1を目標とする。
Figure 2023056139000002
本実施例1で使用する機械学習プログラムの学習済み推定モデルは、所定のテストデータに対してΔ≦0.1の精度を実現したものである。この機械学習プログラムを使用して複数の部材1~3の熱伝導率を推定し、実測値と比較してその精度を算出した。下表1が3つの部材1~3の推定結果である。
Figure 2023056139000003
上記表1に示すように、部材1及び部材2は、目標とする0.1以下の推定精度を実現できたが、部材3は実現できなかった。よって、たとえテストデータに対して精度が良かったとしても、実際には推定される出力値が大きく間違える可能性があることが確認された。
これらの部材1~3に対し、異なる学習済みモデルを50個生成し、これら50個の学習済み推定モデルを使用して熱伝導率kを推定した。本実施例1では、学習処理に使用する訓練データとハイパーパラメータは全てのモデルで同じものにした。ここでは機械学習プログラムの推定値kはある温度Tでの熱伝導率である。そして50個の熱伝導率kに対して、その平均kと標準偏差δkとから規格化された標準偏差δk/kを計算した結果、次の表2のとおりになった。これら表1及び表2の結果から、規格化された標準偏差δk/kが小さい部材ほど熱伝導率の推定精度Δが良いという傾向が確認された。
Figure 2023056139000004
同様のことを30個の部材1~30に対して実施した。得られた結果から、推定精度Δと規格化した標準偏差δk/kの関係を抽出し、その結果を図4に示す。図4において、横軸が推定精度Δを示し、縦軸が規格化された標準偏差δk/kを示す。図4に示す結果からも、規格化された標準偏差δk/kが小さい部材ほど熱伝導率の推定精度Δが良いという傾向があることが確認された。
《実施例2》(輻射率の推定)
上述した実施例1と同様の実験を輻射率の推定に対して行った。推定する輻射率εは温度依存性を無視した。このため、推定精度Δは、実測値εと、機械学習プログラムにより推定した出力値εとを次式の様に比較することで求めることができる。
Figure 2023056139000005
そして、異なる学習済み推定モデルを50個生成し、これら50個の推定モデルを使用して輻射率εを推定し、その平均εと標準偏差δεとから規格化された標準偏差δε/εを計算した結果、図5に示すとおりになった。図5において、横軸が推定精度Δを示し、縦軸が規格化された標準偏差δε/εを示す。図5に示す結果からも、規格化された標準偏差δε/εが小さい部材ほど熱伝導率の推定精度Δが良いという傾向があることが確認された。
《機械学習による推定モデルの信頼性評価方法》
上述した実施形態は、入力値に対する出力値(推定値)の信頼性を評価する方法であるが、本発明は、機械学習による推定モデルの信頼性を評価する方法にも具現化することができる。すなわち、本実施形態の機械学習による推定モデルの信頼性評価方法は、図6に示すように、未学習の機械学習プログラムPに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データTDとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデル群M(M~M),M´(M´~M´)…を複数生成するステップS11と、生成した複数の学習済みの推定モデル群M,M´…のそれぞれに同じ入力値aを入力し、それぞれの推定モデル群M,M´…から出力値X,X´…を得るステップS12と、得られた複数の出力値X,X´…の平均値Xと標準偏差δX,δX´…とを求めるステップS13と、前記標準偏差δX,δX´…が小さい出力値の推定モデル群ほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価するステップS14と、を含む。以下、各ステップS11~S14について説明する。
ステップS11では、まず一つの未学習の機械学習プログラムPと、訓練データTDとを準備する。本実施形態で用いることができる機械学習プログラムは、そのモデル構造など特に限定されない。また訓練データTDは、入力値に対する出力値が経験的に既知である、関数の入力と出力のペアの集合であれば、データの種類や数量など特に限定されない。そして、図7Aに示すように、準備した一つの未学習の機械学習プログラムPに対し、訓練データTDを用いて機械学習法による学習処理をn回実行し、n個の学習済み推定モデルM~Mを生成する。また、訓練データTDとは異なる訓練データTD´を準備し、図7Bに示すように、準備した一つの未学習の機械学習プログラムPに対し、訓練データTD´を用いて機械学習法による学習処理をn回実行し、n個の学習済み推定モデルM´~M´を生成する。これにより複数の学習済みの推定モデル群M,M´…が生成される。
訓練データTD,TD´,…を用いて機械学習プログラムを学習処理した後の学習済みモデルの性能は、学習したデータとモデルの構造によって決まる。モデルの構造は、ハイパーパラメータで示され、ニューラルネットワーク型機械学習では、ネットワークの構造と同等である。ここで、機械学習プログラムの学習処理には、ランダム性があるため、同じ訓練データと同じハイパーパラメータを使用しても、学習処理するごとに生成される学習済みの推定モデルM~Mは、互いに異なるモデルになる。したがって、ステップS12において、異なる複数の学習済みの推定モデルM~Mを生成する場合、同じ訓練データTD,TD´,…を同じハイパーパラメータで学習しても、異なる訓練データTDや異なるハイパーパラメータで学習処理してもよい。
ステップS13では、ステップS12で生成したn個の学習済み推定モデル群M,M´…のそれぞれに、同じ入力値aを入力し、それぞれの推定モデル群M,M´…から出力値X,X´,…を得る。すなわち、図8に示すように、学習済み推定モデル群Mに入力値aを入力して出力値Xを算出し、学習済み推定モデルM´に同じ入力値aを入力して出力値X´を算出し、これを全ての学習済み推定モデル群まで行う。
ステップS14では、得られた複数個の出力値X,X´…の平均値Xと標準偏差δX,δX´,…とを求める。ここで求められた平均値Xを真の出力値とし、標準偏差δX,δX´,…を誤差として扱う。そして、ステップS15では、真の出力値と見做した平均値Xに対し、誤差と見做した標準偏差δX,δX´,…が小さい出力値の推定モデル群ほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価する。
上述したとおり、機械学習プログラムは、訓練データTDを用いた学習処理によって、入力値と出力値の間の関係を発見しそれを推定処理に活用する。推定した出力値が、学習済みの推定モデル群によって相違するのは、この学習処理した関係が相違するからである。つまり、推定した出力値が大きく違う場合、すなわちステップS14で求めた標準偏差δX…が大きい場合には、推定モデル群ごとに相違する関係を求めていて、学習結果に迷いがあると考えられる。そのため、推定した出力値の標準偏差δX…が大きい推定モデル群は、推定した出力値の信頼性が低いと言える。
なお、上述した実施形態では、入力値から、当該入力値に対応する出力値を推定する回帰の機械学習プログラムを対象にした信頼性の評価方法を例示した。しかし、本発明に係る信頼性評価方法は、入力が何に分類されるかを出力する分類の機械学習プログラムにも適用することができる。分類の機械学習プログラムでも適用できる理由は、回帰と同様に、図3Aなどに示す一つの学習済み推定モデルのような学習済みモデルを有することと、分類が各対象に分類される確率値を推定するからである。そして、この確率の標準偏差から、分類の推定モデルの信頼性を評価することができる。すなわち、各対象に分類される確率が小さい推定モデルほど、信頼性が高いと評価することができる。ただし、回帰と違い、分類の推定モデルでは、推定した出力値の平均値からも推定モデルの信頼性を評価することができる。これは推定された出力値自体が、分類される確率だからである。
P…未学習の機械学習プログラム
~M…推定モデル
TD,TD´…訓練データ
a,b…入力値
X…出力値
δX…出力値の標準偏差

Claims (8)

  1. 未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
    生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
    得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
    前記標準偏差を用いて機械学習の評価を行うステップと、を含む機械学習の評価方法。
  2. 前記推定モデルは、回帰推定モデル又は分類推定モデルである請求項1に記載の機械学習の評価方法。
  3. 未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
    生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
    得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
    前記標準偏差が小さい出力値ほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価するステップと、を含む機械学習による推定値評価方法。
  4. 前記推定モデルは、回帰推定モデル又は分類推定モデルである請求項3に記載の機械学習による推定値評価方法。
  5. 未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済みの推定モデルを複数生成するステップと、
    生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
    得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
    前記標準偏差が小さい出力値の推定モデルほど、入力値に対する出力値の信頼性が高いと評価するステップと、を含む機械学習による推定モデルの信頼性評価方法。
  6. 前記推定モデルは、回帰推定モデル又は分類推定モデルである請求項5に記載の機械学習による推定モデルの信頼性評価方法。
  7. 未学習の機械学習プログラムに対し、複数の入力値と当該複数の入力値から経験的に得られた既知の出力値とを訓練データとして機械学習法による学習処理を実行し、入力値から出力値を得る学習済み推定モデルを複数生成するステップと、
    生成した複数の学習済みの推定モデルのそれぞれに同じ入力値を入力し、それぞれの推定モデルから出力値を得るステップと、
    得られた複数の出力値の平均値と標準偏差とを求めるステップと、
    前記標準偏差が所定値以下となる出力値の推定モデルを抽出するステップと、を含む機械学習による推定モデルの生成方法。
  8. 前記推定モデルは、回帰推定モデル又は分類推定モデルである請求項7に記載の機械学習による推定モデルの生成方法。
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