JP2023030718A - 部品実装システムおよび部品実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】部品実装装置の異常を適切に管理することができる部品実装システムおよび部品実装方法を提供する。【解決手段】部品実装方法は、基板に実装された部品の位置ずれ情報を含む基板検査情報に基づいて、部品を基板に実装する際の補正値を算出し、補正値に基づいて部品を基板へ実装し、基板検査情報に基づいて、位置ずれ情報に関する管理範囲を設定し（ＳＴ６）、位置ずれ情報と管理範囲とに基づいて、部品の実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する（ＳＴ７）。【選択図】図９

Description

本発明は、基板に部品を実装する部品実装システムおよび部品実装方法に関する。

基板に部品を実装する部品実装システムとして、部品実装装置が基板に実装した部品の位置ずれなどの実装状態を検査する検査装置を備え、検査装置の検査結果に基づいて、部品実装装置の状態の変動を管理するものが知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載のシステムは、検査装置の検査結果を統計処理し、実装状態の分散値が所定の対処判定範囲を外れると、部品実装装置において較正処理が実行されることが開示されている。

国際公開第２０１５／００４７３３号

しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、対処判定範囲は管理者が経験的に決めているため必ずしも最適な範囲がされる保証はなく、また、対処判定範囲内での部品実装装置の状態の変動を検知することもできないため、異常の予兆を捉えて適切に部品実装装置を管理するには更なる改善の余地があった。

そこで本発明は、部品実装装置の異常を適切に管理することができる部品実装システムおよび部品実装方法を提供することを目的とする。

本発明の部品実装システムは、基板に実装された部品の位置ずれ情報を少なくとも含む基板検査情報に基づいて、前記部品を前記基板に実装する際の補正値を算出する補正値算出部と、前記補正値に基づいて前記部品を前記基板に実装する部品実装部と、前記基板検査情報に基づいて、前記位置ずれ情報に関する管理範囲を設定する設定部と、前記位置ずれ情報と前記管理範囲とに基づいて、前記部品の実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する判断部と、を備えた。

本発明の部品実装方法は、基板に実装された部品の位置ずれ情報を少なくとも含む基板検査情報に基づいて、前記部品を前記基板に実装する際の補正値を算出し、前記補正値に基づいて前記部品を前記基板へ実装し、前記基板検査情報に基づいて、前記位置ずれ情報に関する管理範囲を設定し、前記位置ずれ情報と前記管理範囲とに基づいて、前記部品の実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する。

本発明によれば、部品実装装置の異常を適切に管理することができる。

本発明の一実施の形態の部品実装システムの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品実装システムが備える部品実装装置の要部の構成を示す平面図 本発明の一実施の形態の部品実装装置の要部の構成を示す側面図 本発明の一実施の形態の部品実装装置の実装ヘッドおよび部品供給部の要部の構成説明図 本発明の一実施の形態の部品実装システムの制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の検査装置において算出される部品の位置ずれ量の説明図 本発明の一実施の形態の部品実装装置において基板に実装される部品の形状の例を示す（ａ）平面図（ｂ）側面図 本発明の一実施の形態の部品実装システムにおいて算出される（ａ）位置ずれ量の標準偏差と基準幅の関係の説明図（ｂ）管理範囲の説明図 本発明の一実施の形態の部品実装システムにおける部品実装方法のフロー図

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装システム、管理コンピュータ、部品実装装置、検査装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸として、基板搬送方向のＸ軸（図２における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図２における上下方向）が示される。図３、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ軸（図３における上下方向）が示される。図４、及び後述する一部では、Ｚ軸を回転軸とする回転の方向であるθ方向が示される。

まず図１を参照して、部品実装システム１の構成を説明する。部品実装システム１は、基板に部品を実装して実装基板を生産する機能を有する。部品実装システム１は、半田印刷装置Ｍ１、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３および検査装置Ｍ４を備えている。これらの装置は通信ネットワーク２を介して管理コンピュータ３に接続されている。なお、部品実装システム１が備える部品実装装置Ｍ２，Ｍ３は２台に限定されることはなく、１台でも３台以上でも良い。

半田印刷装置Ｍ１は、実装対象の基板に部品接合用のクリーム半田をスクリーン印刷する。部品実装装置Ｍ２，Ｍ３は、部品接合用のクリーム半田が印刷された基板６に部品実装部１２が部品供給部７から部品を取り出して移送搭載する部品実装動作を行う（図２参照）。検査装置Ｍ４は、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３によって部品が実装された基板６における部品の実装状態を検査カメラ３２（図５参照）で検査して、部品の正規位置からの位置ずれ状態などを検出する。管理コンピュータ３は、ライン管理機能と併せて、検査装置Ｍ４によって取得された部品の位置ずれ情報に基づいて管理範囲を設定し、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の異常の予兆を検知する機能を有している。

次に図２、図３を参照して、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の構成を説明する。図３は、図２における部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の一部を模式的に示している。部品実装装置Ｍ２，Ｍ３は、部品供給部から供給された部品を基板６に実装する実装作業を実行する機能を有する。図２において、基台４の中央には、基板搬送機構５がＸ軸に沿って配置されている。基板搬送機構５は、上流から搬送された基板６を、実装作業位置に搬入して位置決めして保持する。また、基板搬送機構５は、部品実装作業が完了した基板６を下流に搬出する。

基板搬送機構５の両側方（フロント側、リア側）には、部品供給部７が配置されている。それぞれの部品供給部７には、複数のテープフィーダ８がＸ軸に沿って配置されている。テープフィーダ８は、部品Ｄを収納するポケットが形成されたキャリアテープを部品供給部７の外側から基板搬送機構５に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、部品実装部１２の実装ヘッドが部品Ｄを吸着する部品吸着位置に部品Ｄを供給する。

図２、図３において、基台４上面においてＸ軸における両端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸テーブル９がＹ軸に沿って配置されている。Ｙ軸テーブル９には、同様にリニア駆動機構を備えた２基（フロント側、リア側）のビーム１０が、Ｙ軸に沿って移動自在に結合されている。ビーム１０はＸ軸に沿って配置されている。２基のビーム１０には、それぞれ実装ヘッド１１がＸ軸に沿って移動自在に装着されている。実装ヘッド１１は、部品Ｄを吸着して保持し、昇降可能な複数（ここでは、８つ）の吸着ユニット１１ａを備える。吸着ユニット１１ａの下端部には、それぞれ部品Ｄを吸着保持するノズル１１ｂが装着されている。

図２において、Ｙ軸テーブル９、ビーム１０を駆動することにより、実装ヘッド１１は水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）に移動する。これにより２つの実装ヘッド１１は、それぞれ対応した部品供給部７に配置されたテープフィーダ８の部品吸着位置から部品Ｄをノズル１１ｂによって吸着して取り出して、基板搬送機構５に位置決めされた基板６の実装点に装着する。すなわち、Ｙ軸テーブル９、ビーム１０および実装ヘッド１１は、部品Ｄを基板６に実装する部品実装部１２を構成する。

図２、図３において、部品供給部７と基板搬送機構５との間には、部品認識カメラ１３が配置されている。部品供給部７から部品Ｄを取り出した実装ヘッド１１が部品認識カメラ１３の上方を移動する際に、部品認識カメラ１３はノズル１１ｂに保持された状態の部品Ｄを撮像して部品Ｄの保持状態を撮像する。実装ヘッド１１が取り付けられたプレート１０ａにはヘッドカメラ１４が取り付けられている。ヘッドカメラ１４は、実装ヘッド１１と一体的に移動する。

実装ヘッド１１が移動することにより、ヘッドカメラ１４は基板搬送機構５に位置決めされた基板６の上方に移動し、基板６に設けられた基板マーク（図示省略）を撮像して基板６の位置を撮像する。また、ヘッドカメラ１４はテープフィーダ８の部品吸着位置の上方に移動し、部品吸着位置付近のキャリアテープに収容された部品Ｄを撮像する。実装ヘッド１１による基板６への部品実装動作においては、部品認識カメラ１３による部品Ｄの撮像結果と、ヘッドカメラ１４による基板位置の撮像結果とを加味して実装位置の補正が行われる。

図２において、部品認識カメラ１３の横には、複数のノズル１１ｂを収容することができるノズルストッカ１５が配置されている。実装ヘッド１１がノズルストッカ１５の上方に移動して、所定のノズル交換動作を行うことで、吸着ユニット１１ａに装着されているノズル１１ｂをノズルストッカ１５に収容し、ノズルストッカ１５に収容されていたノズル１１ｂを吸着ユニット１１ａに装着することができる。すなわち、吸着ユニット１１ａに装着するノズル１１ｂを自動で交換することができる。各ノズル１１ｂには固有の識別番号が付されており、ノズル１１ｂがいずれの実装ヘッド１１のいずれの吸着ユニット１１ａに装着されているか、または、いずれのノズルストッカ１５のいずれの位置に収容されているかが管理される。

部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の前側と後側で作業者が作業する位置には、作業者が操作するタッチパネル１６がそれぞれ設置されている。タッチパネル１６は、その表示部に各種情報を表示し、また表示部に表示される操作ボタンなどを使って作業者がデータ入力や部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の操作を行う。

図３において、部品供給部７にはフィーダベース１７ａに予め複数のテープフィーダ８が装着された状態の台車１７がセットされる。フィーダベース１７ａには、テープフィーダ８を装着する複数のスロットが形成されている。台車１７に装着されたテープフィーダ８は、装着されたスロットの位置と、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３に装着された台車１７の位置（前側、後側）に基づいて管理される。台車１７には、部品Ｄを保持したキャリアテープ１８を巻回状態で収納するテープリール１９が保持されている。

テープリール１９から引き出されたキャリアテープ１８は、テープフィーダ８が内蔵するテープ送り機構８ａによって部品吸着位置までピッチ送りされる。テープ送り機構８ａは、実装制御装置２０（図５参照）からの指令に基づいて、所定のテープ送り量でキャリアテープ１８をピッチ送りする。テープ送り機構８ａによって部品吸着位置に供給される部品Ｄの位置は、ヘッドカメラ１４が撮像した部品吸着位置の部品Ｄの撮像結果に基づき、実装制御装置２０からの指令により補正される。すなわち、テープ送り機構８ａは、実装制御装置２０から送信される補正値分だけキャリアテープ１８をテープ送りして部品Ｄの位置を補正した後、所定のテープ送り量でピッチ送りする。

次に図４を参照して、実装ヘッド１１の構成を説明する。実装ヘッド１１は複数の吸着ユニット１１ａを備えており、各吸着ユニット１１ａは駆動機構（図示省略）を備えている。駆動機構を駆動することにより、下端部にノズル１１ｂが装着されたシャフト１１ｃが昇降する（矢印ａ）とともに、シャフト１１ｃが回転してノズル１１ｂがノズル軸ＡＮを回転軸としてθ方向に回転する（矢印ｂ）。各吸着ユニット１１ａには、シャフト１１ｃの高さを計測するセンサである高さ計測部１１ｄが配置されている。高さ計測部１１ｄによる計測結果は、実装制御装置２０に送信される。

高さ計測部１１ｄは、例えば、シャフト１１ｃの高さ位置を計測するエンコーダ（図示省略）によって構成される。また、高さ計測部１１ｄは、装着されたノズル１１ｂが基板６などに接触したことを検出する接触検出機能も備えている。接触検出機能は、駆動機構が発生させる下降推力（トルク）を計測する推力計測部（図示省略）や、シャフト１１ｃから伝わる圧力を計測するロードセル（図示省略）などで構成される。基板６の上方でノズル１１ｂを下降させて、高さ計測部１１ｄが計測したノズル１１ｂが基板６に接触した高さに基づいて、ノズル１１ｂの高さ位置（部品実装作業におけるノズル１１ｂの下降量）を補正することができる。

図４において、各吸着ユニット１１ａに装着されたノズル１１ｂは、それぞれ実装制御装置２０により制御される切替バルブ（図示省略）を介して真空供給部（図示省略）とエア供給部（図示省略）に連通している。切替バルブを真空供給部側に切り替えることで、ノズル１１ｂの先端に真空吸引力が発生する。また、切替バルブをエア供給部側に切り替えることで、ノズル１１ｂの先端からエアが噴出される。部品Ｄを保持する際には、切替バルブが真空供給部側に切り替えられて、ノズル１１ｂに真空吸引力が供給される。保持している部品Ｄをノズル１１ｂから離す時や、ノズル１１ｂ内に溜まった異物を取り除く時には、切替バルブがエア供給部側に切り替えられて、ノズル１１ｂにエアが供給される。

各吸着ユニット１１ａには、ノズル１１ｂから吸引されるエアの量を計測するセンサである流量計１１ｅが配置されている。流量計１１ｅによる計測結果は、実装制御装置２０に送信される。ノズル１１ｂが部品Ｄを保持する動作を行った後でもエアの流入が止まらないことを流量計１１ｅが検知すると、ノズル１１ｂが部品Ｄを正常保持できなかった吸着ミス、または、部品Ｄを落としてしまう部品落下が発生したと判断される。また、ノズル１１ｂが部品Ｄを保持していない状態で切替バルブを真空供給部側に切り替えて、流量計１１ｅでエアの流入量を計測することにより、ノズル１１ｂへの異物の詰まりが検出される。すなわち、エアの流量が所定よりも少ない場合は、ノズル１１ｂまたはフィルタに異物が詰まったと判断される。

次に図５を参照して、部品実装システム１の制御系の構成を説明する。ここでは、部品実装システム１が有する機能のうち、基板６に実装された部品Ｄの位置ずれ情報から部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の異常を管理する機能を中心に説明する。管理コンピュータ３、部品実装装置Ｍ２、Ｍ３および検査装置Ｍ４は、通信ネットワーク２を介して相互に接続されている。部品実装装置Ｍ２、Ｍ３は、実装制御装置２０、基板搬送機構５、テープフィーダ８、部品実装部１２、部品認識カメラ１３、ヘッドカメラ１４、タッチパネル１６を備えている。実装制御装置２０は、実装記憶部２１、実装制御部２２、状態検査制御部２３、実装通信部２４を備えている。

実装通信部２４は、通信ネットワーク２を介して検査装置Ｍ４、管理コンピュータ３との間でデータの送受信を行う。実装記憶部２１は記憶装置であり、実装データ２１ａ、補正値情報２１ｂなどが記憶されている。実装データ２１ａには、実装基板の生産機種名（基板名）、基板６に実装される部品Ｄの種類（部品名）、実装位置（ＸＹ座標）、実装方向（θ方向）、部品Ｄを供給するテープフィーダ８の装着位置、ノズル１１ｂの装着位置などの情報が含まれている。補正値情報２１ｂには、検査装置Ｍ４が基板６に実装された部品Ｄを撮像して算出した部品Ｄを基板６に実装する際の補正値が、検査装置Ｍ４から送信されて記憶されている。

図５において、実装制御部２２は、実装データ２１ａに含まれる実装位置や実装方向、補正値情報２１ｂに含まれる補正値などの情報に基づいて、テープフィーダ８、部品実装部１２、部品認識カメラ１３、ヘッドカメラ１４を制御して、部品Ｄを基板６に実装させる。これにより、部品実装部１２は、補正値情報２１ｂに含まれる補正値、部品認識カメラ１３が撮像したノズル１１ｂが保持する部品Ｄの位置に基づいて、実装ヘッド１１の位置を補正して部品Ｄを基板６に実装する。

図５において、検査装置Ｍ４は、検査制御装置３０、基板搬送機構３１、検査カメラ３２、検査カメラ移動機構３３を備えている。検査制御装置３０は、検査記憶部３４、検査制御部３５、認識処理部３６、補正値算出部３７、検査通信部３８を備えている。検査通信部３８は、通信ネットワーク２を介して部品実装装置Ｍ２，Ｍ３、管理コンピュータ３との間でデータの送受信を行う。検査記憶部３４は記憶装置であり、検査データ３４ａなどが記憶されている。検査データ３４ａは、実装基板の生産機種名（基板名）、基板６に実装された部品の種類（部品名）、実装位置（ＸＹ座標）、実装方向（θ方向）、不良判定値などが含まれている。

検査制御部３５は、基板搬送機構３１を制御して、上流の部品実装装置Ｍ３から搬送された実装済みの基板６を検査作業位置に搬入させて位置決めして保持させ、検査作業が完了した基板６を下流に搬出させる。また、検査制御部３５は、検査データ３４ａに基づいて、検査カメラ移動機構３３を制御して、検査カメラ３２を検査作業位置に保持された基板６の実装位置の上方に順に移動させ、検査カメラ３２で基板６に実装された部品Ｄを撮像させる。

図５において、認識処理部３６は、検査カメラ３２による撮像画像を認識処理して、基板６に実装された部品Ｄの正規の実装位置Ｎからの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ（図６参照）を算出する。また、認識処理部３６は、算出した位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが検査データ３４ａに含まれる不良判定値を超えると当該部品Ｄを実装不良と判断する。また、認識処理部３６は、基板６に実装された部品Ｄの位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）と実装不良か否かの判定結果を含む基板検査情報４１ｂを基板６毎に作成し、管理コンピュータ３に送信する。管理コンピュータ３の管理処理装置４０は、受信した基板検査情報４１ｂを管理記憶部４１に記憶させる。

ここで図６を参照して、認識処理部３６による、基板６に実装された部品Ｄの正規の実装位置Ｎからの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθの算出方法の一例について説明する。検査制御部３５は、検査カメラ３２の撮像中心が部品Ｄの正規の実装位置Ｎと一致する位置で基板６に実装された部品Ｄを撮像させる。認識処理部３６は、撮像画像を認識処理することで、実装された部品Ｄの中心位置Ｃを検出する。そして、認識処理部３６は、中心位置Ｃと実装位置Ｎの差からＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸとＹ軸方向の位置ずれ量ΔＹを算出する。さらに、認識処理部３６は、部品Ｄのθ方向の傾きを位置ずれ量Δθとして算出する。

図５において、補正値算出部３７は、認識処理部３６によって算出された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに基づいて、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が部品Ｄを基板６に実装する際の補正値を算出する。また、補正値算出部３７は、算出した補正値を含む補正値情報２１ｂを作成し、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３に送信する。部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の実装制御装置２０は、受信した補正値情報２１ｂを実装記憶部２１に記憶させる。このように、補正値算出部３７は、基板６に実装された部品Ｄの位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を少なくとも含む基板検査情報４１ｂに基づいて、部品Ｄを基板６に実装する際の補正値を算出する。

図５において、管理コンピュータ３の管理処理装置４０は、管理記憶部４１、算出部４２、設定部４３、判断部４４、入力部４５、表示部４６、管理通信部４７を備えている。入力部４５は、キーボード、タッチパネル、マウスなどの入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時などに用いられる。表示部４６は液晶パネルなどの表示装置であり、入力部４５による操作のための操作画面などの各種画面などの各種情報を表示する。管理通信部４７は通信インターフェースであり、通信ネットワーク２を介して部品実装装置Ｍ２，Ｍ３、検査装置Ｍ４との間で信号、データの授受を行う。

管理記憶部４１は記憶装置であり、生産データ４１ａ、基板検査情報４１ｂ、評価値情報４１ｃ、管理範囲情報４１ｄ、判断情報４１ｅなどを記憶する。生産データ４１ａには、実装基板の生産機種名（基板名）、基板６に実装される部品Ｄの種類（部品名）、部品Ｄのサイズ、実装位置（ＸＹ座標）、実装方向（θ方向）、部品Ｄを実装する部品実装装置Ｍ２，Ｍ３を特定する情報、部品Ｄを供給するテープフィーダ８の装着位置、ノズル１１ｂの装着位置などの情報が含まれている。

図５において、算出部４２は、基板検査情報４１ｂに基づいて、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の部品実装部１２による実装時の実装精度を表す評価値を算出する。そして、算出部４２は、算出した評価値を所定の閾値と比較することで、実装時の実装精度が所定値を超えたか否か、すなわち、生産が安定したか否かを判断する。具体的には、算出部４２は、１枚分の基板検査情報４１ｂに含まれる位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに基づいて、標準偏差σ１を算出する。

その際、算出部４２は、構成要素である部品実装装置Ｍ２，Ｍ３毎、部品実装部１２毎、実装ヘッド１１毎、ノズル１１ｂ毎、テープフィーダ８毎に標準偏差σ１を算出する。なお、算出部４２は、ノズル１１ｂの部品Ｄの実装角度毎（０°、９０°、１８０°、２７０°など）に標準偏差σ１を算出してもよい。そして、算出部４２は、部品Ｄの電極Ｄｂの幅Ｗ１，Ｗ２（図７参照）により算出される基準幅Ｔと、算出された標準偏差σ１とから、評価値として工程能力指数Ｃｐ（Ｃｐ＝Ｔ／６σ１）を算出する。

すなわち、算出部４２は、構成要素毎に工程能力指数Ｃｐを算出する。これにより、構成要素毎に生産が安定した（実装精度が所定値を超えた）ことを確認することができる。算出部４２は、算出した工程能力指数Ｃｐを評価値情報４１ｃとして管理記憶部４１に記憶させる。

ここで図７を参照して、部品Ｄの電極Ｄｂの幅Ｗ１，Ｗ２について説明する。図７では、部品Ｄとして、抵抗やコンデンサなどのチップ部品を例に説明する。図７（ａ）は部品Ｄを基板６に実装した状態で上方から見た平面図を、図７（ｂ）は部品Ｄを基板６に実装した状態で横から見た側面図を示している。部品Ｄは、本体部Ｄａの両端（左右）に電極Ｄｂを備えている。ここで、２つの電極Ｄｂが並ぶ方向の電極Ｄｂの幅を幅Ｗ２、２つの電極Ｄｂが並ぶ方向に直交する方向の電極Ｄｂの幅を幅Ｗ１と定義する。

２つの電極Ｄｂが並ぶ方向が基板６のＸ軸方向となる向きで部品Ｄを基板６に実装した場合、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸを評価するための基準幅Ｔ（Ｔ＝（２／３）×Ｗ２）は電極Ｄｂの幅Ｗ２により算出される。また、Ｙ軸方向の位置ずれ量ΔＹを評価するための基準幅Ｔ（Ｔ＝（２／３）×Ｗ１）は電極Ｄｂの幅Ｗ１により算出される。

図８（ａ）は、部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθの確率密度、標準偏差σ１、基準幅Ｔの関係を模式的に表している。基準幅Ｔと部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθの標準偏差σ１の関係を示す工程能力指数Ｃｐ（Ｃｐ＝Ｔ／６σ１）が大きいほど、実装精度が高くて生産が安定していると判断できる。例えば、算出部４２は、工程能力指数Ｃｐが１以上（所定値）の場合、生産が安定していると判断する。すなわち、生産が安定したか否かを判断するための所定値は、実装精度が良好と判断される水準の値である。

このように、算出部４２は、部品Ｄの電極Ｄｂのサイズ（幅Ｗ１，Ｗ２）に基づいて、部品実装部１２の実装作業に関する構成要素毎に、基板検査情報４１ｂに基づいて評価値（工程能力指数Ｃｐ）を算出する。すなわち、評価値は、電極Ｄｂのサイズ（幅Ｗ１，Ｗ２）と、位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）に関する標準偏差σ１とに基づいて算出される工程能力指数Ｃｐである。

また、算出部４２が、部品実装部１２の構成要素としてノズル１１ｂ毎に評価値（工程能力指数Ｃｐ）を算出する場合は、当該ノズル１１ｂが保持する複数の種類の部品Ｄの中で電極Ｄｂのサイズ（幅Ｗ１，Ｗ２）が最も小さい部品Ｄに基づいて、当該ノズル１１ｂの評価値を算出する。これによって、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の生産が安定したか否かを適切に判断することができる。以下、算出部４２によって部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の生産が安定したと判断された状態を「安定生産状態」と称する。

図５において、設定部４３は、基板検査情報４１ｂに基づいて、位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）に関する管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）を設定する。管理範囲は、後述する部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が安定生産状態を継続できていることの監視に使用される。設定部４３は、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が実装基板の生産を開始し、算出部４２によって安定生産状態に到達したことが確認された後に部品Ｄが実装された所定枚数分（例えば、１５枚分）の基板６の基板検査情報４１ｂに基づいて設定される。例えば、設定部４３は、構成要素毎の評価値（工程能力指数Ｃｐ）の全てが所定値以上となった後に取得された基板検査情報４１ｂに基づいて、構成要素毎に管理範囲を設定する。

具体的には、設定部４３は、構成要素毎に所定枚数分の基板検査情報４１ｂに含まれる位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに基づいて、平均値μ２と標準偏差σ２を算出する。そして、設定部４３は、算出した平均値μ２と標準偏差σ２から、上方管理限界ＵＣＬ（ＵＣＬ＝μ２＋３×σ２）、下方管理限界ＬＣＬ（ＬＣＬ＝μ２－３×σ２）を算出する。すなわち、設定部４３は、位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）に基づく平均値μ２と標準偏差σ２を少なくとも含む統計量に基づいて管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）を設定する。設定部４３は、設定した管理範囲を管理範囲情報４１ｄとして管理記憶部４１に記憶させる。

ここで、図８（ｂ）を参照して、設定部４３によって設定された管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）の例について説明する。この例では、平均値μ２はゼロである。すなわち、中心線ＣＬは、位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθがゼロの位置に引かれている。そして、上方管理限界ＵＣＬは中心線ＣＬから上方に標準偏差σ２を３倍した位置（＋３σ２）に引かれ、下方管理限界ＬＣＬは中心線ＣＬから下方に標準偏差σ２を３倍した位置（－３σ２）に引かれている。

図５において、判断部４４は、設定部４３によって管理範囲が設定された後に部品実装装置Ｍ２，Ｍ３によって部品Ｄが実装された基板６の基板検査情報４１ｂに基づいて、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が安定生産状態を継続しているか否かを判断する。具体的には、判断部４４は、１枚分の基板検査情報４１ｂに含まれる構成要素毎の位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが５個以上ある場合は、基板６毎に５個のデータをランダムに抽出して平均値μ３を算出する。また、判断部４４は、１枚分の基板検査情報４１ｂでは５個のデータが抽出できない場合は、その前に生産された基板６の基板検査情報４１ｂも含めたデータの中から５個のデータをランダムに抽出する。判断部４４は、算出した平均値μ３を判断情報４１ｅとして管理記憶部４１に記憶させる。

さらに、判断部４４は、基板６毎に算出した複数の平均値μ３と管理範囲に基づいて、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が安定生産状態を継続しているか否かを判断する。すなわち、判断部４４は、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３による実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する。判断部４４による異常の予兆の判断方法としては、例えば、シューハートの異常判定が使用できる。シューハートの異常判定では、平均値μ３が上方管理限界ＵＣＬまたは下方管理限界ＬＣＬを超える、中心線ＣＬの一方側に連続して平均値μ３が並ぶ、平均値μ３が連続して増加または減少する傾向が現れる、などの状況を検出すると、異常と判定される。

このように、判断部４４は、位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）と管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）とに基づいて、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３による部品Ｄの実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する。なお、上記は異常の予兆の判断として５個の位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθの平均値μ３を用いる方法で説明したが、異常の予兆の判断方法は、これに限定されることはない。例えば、５個の位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθの最大値と最小値の差であるレンジＲを用いて判断する方法を用いてもよい。その場合、設定部４３はレンジＲに関する管理範囲を設定し、判断部４４は基板６毎にレンジＲを算出して異常の予兆の有無を判断する。

このように、設定部４３は、位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）に基づく平均値μ２と標準偏差σ２を少なくとも含む統計量に基づいて管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）を設定する。そして、判断部４４は、管理範囲内における統計量（平均値μ３、レンジＲ）に基づいて異常の予兆の有無を判断する。これにより、統計量が管理範囲を越えて部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が不良となって停止等する前に、安定生産状態から異常状態に移行する予兆を検知することができる。さらに、判断部４４は、構成要素毎に不良となる可能性がある構成要素を検知するため、その後のメンテナンス計画の立案などの処置を適切に行うことができる。

図５において、判断部４４は、異常の予兆があると判断すると、異常の予兆が検知された旨と検知された構成要素を特定する情報を管理コンピュータ３の表示部４６に表示させる。なお、判断部４４は、異常の予兆が検知された構成要素を有する部品実装装置Ｍ２，Ｍ３のタッチパネル１６に、その旨等を表示させるようにしてもよい。このように、表示部４６とタッチパネル１６は、予兆があると判断された場合に、異常の予兆の検知を報知する報知部である。

また、判断部４４は、異常の予兆が検知された構成要素を有する部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の実装制御装置２０に、当該構成要素を特定する情報を送信する。情報を受信した部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の状態検査制御部２３は、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の各部とセンサ類を制御し、当該構成要素の状態を検査して必要な処置を実行させる（自動チェック）。

例えば、ノズル１１ｂ（構成要素）の異常の予兆が検知された場合、状態検査制御部２３は、部品認識カメラ１３で当該ノズル１１ｂの先端を撮像させて、ノズル先端への異物の付着を確認する。そして、状態検査制御部２３は、ノズル先端への異物の付着を確認すると、当該ノズル１１ｂをノズルストッカ１５に収容されているノズル１１ｂと交換させる。なお、交換する適当なノズル１１ｂが部品実装装置Ｍ２，Ｍ３に無い場合は、実装基板の生産機種を変更する段取り替え作業等において、手動による当該ノズル１１ｂの清掃や他のノズル１１ｂとの交換等が行われる。

また、ノズル１１ｂ（構成要素）の異常の予兆が検知された場合、状態検査制御部２３は、当該ノズル１１ｂからエアを吸引させて流量計１１ｅで吸引されるエアの量を計測させる。そして、状態検査制御部２３は、吸引されるエアの量が所定よりも少ない場合は当該ノズル１１ｂが装着されている吸着ユニット１１ａのフィルタに異物が溜まっている（フィルタ詰まり）と判断する。そして、状態検査制御部２３は、切替バルブをエア供給部側に切り替えて当該ノズル１１ｂからエアを噴出させてフィルタの詰まりを解消する処置を実行させる。なお、フィルタの詰まりが解消できない場合は、段取り替え作業等において、手動によるフィルタの交換などが行われる。

また、ノズル１１ｂ（構成要素）の異常の予兆が検知された場合、状態検査制御部２３は、高さ計測部１１ｄを使用して当該ノズル１１ｂの高さ位置を計測させて、高さ位置を補正させる。また、テープフィーダ８の異常の予兆が検知された場合、状態検査制御部２３は、ヘッドカメラ１４に当該テープフィーダ８の部品吸着位置に供給されている部品Ｄを撮像させて、テープ送り機構８ａのテープ送り位置を補正させる。なお、テープ送り位置の補正ができない場合は、段取り替え作業等において、当該テープフィーダ８を他のテープフィーダ８と交換する作業等が行われる。

このように、流量計１１ｅ、高さ計測部１１ｄ、部品認識カメラ１３、ヘッドカメラ１４は、部品実装部１２の実装作業に関連する状態を検査するセンサＳである。そして、異常の予兆があると判断された場合に、センサＳが部品実装部１２の実装作業に関連する状態を自動で検査する。そして、状態検査制御部２３は、可能な場合は自動で異常の予兆を解消する処置を実行させる。また、自動で異常の予兆を解消できない場合は、次の段取り替え作業等の機会に、作業者による処置が実行される。

次に図９のフローに沿って、部品実装システム１が実装基板を生産しながら部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の異常の予兆を検知する部品実装方法について説明する。まず、部品実装システム１において実装基板の生産が開始されると（ＳＴ１）、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３では検査装置Ｍ４で算出された補正値に基づいて基板６に部品Ｄを実装する部品実装作業が、検査装置Ｍ４では実装基板の部品Ｄの位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を取得する基板検査作業が継続して実行される。

管理コンピュータ３が検査装置Ｍ４から１枚目の基板６の部品Ｄの位置ずれ情報を含む基板検査情報４１ｂを取得すると（ＳＴ２）、次いで算出部４２は構成要素毎に部品実装部１２による実装精度を表す評価値（工程能力指数Ｃｐ）を算出する（ＳＴ３：評価値算出工程）。次いで算出部４２は、構成要素毎に算出された評価値の全てが所定値以上（工程能力指数Ｃｐ＞１）となったか否かを判断する（ＳＴ４：安定生産判断工程）。評価値が所定値以上となっていない、すなわち、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が安定生産状態には到達していないと判断されると（ＳＴ４においてＮｏ）、（ＳＴ２）に戻って、２枚目の基板６の基板検査情報４１ｂに基づいて、評価値算出工程（ＳＴ３）、安定生産判断工程（ＳＴ４）が実行される。

図９において、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が安定生産状態に到達したと判断されると（ＳＴ４においてＹｅｓ）、管理コンピュータ３は、安定生産状態を確認した後の所定枚数分（例えば、１５枚分）の基板検査情報４１ｂを取得する（ＳＴ５）。次いで設定部４３は、所定枚数分の基板検査情報４１ｂに基づいて、位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）に関する管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）を設定する（ＳＴ６：管理範囲設定工程）。

管理範囲が設定されると、判断部４４は、管理範囲の設定後に取得した基板検査情報４１ｂの位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）と設定された管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）とに基づいて、部品Ｄの実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する（ＳＴ７：異常予兆判断工程）。異常の予兆が検知されない場合（ＳＴ７においてＮｏ）、実装基板の生産が終了するまで（ＳＴ８においてＮｏ）、異常予兆判断工程（ＳＴ７）が継続して実行される。

図９において、異常の予兆が検知されると（ＳＴ７においてＹｅｓ）、判断部４４は、管理コンピュータ３の表示部４６または異常の予兆が検知された部品実装装置Ｍ２，Ｍ３のタッチパネル１６に異常の予兆を検知した旨を報知させる（ＳＴ９：予兆報知工程）。また、判断部４４は、異常の予兆が検知された構成要素の情報などを異常の予兆が検知された部品実装装置Ｍ２，Ｍ３に通知する。

通知を受けた部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の状態検査制御部２３は、異常の予兆が検知された構成要素に対応する自動チェックを実行させ、可能な処置を実行させる（ＳＴ１０：自動チェック工程）。その後、状態検査制御部２３は、管理コンピュータ３に自動チェックとその後の処置の内容を報告する。なお、管理コンピュータ３では、予兆報知工程（ＳＴ９）と自動チェック工程（ＳＴ１０）が実行されている間も、異常予兆判断工程（ＳＴ７）が継続して実行される。

このように、本実施の形態の部品実装システム１における部品実装方法は、検査装置Ｍ４では、基板６に実装された部品Ｄの位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を含む基板検査情報４１ｂに基づいて、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３が部品Ｄを基板６に実装する際の補正値が算出される。また、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３では、補正値に基づいて部品Ｄが基板６へ実装される。そして、管理コンピュータ３では、基板検査情報４１ｂに基づいて、位置ずれ情報に関する管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）が設定され（ＳＴ６）、位置ずれ情報と管理範囲とに基づいて、部品の実装作業に関する異常の予兆の有無が判断される（ＳＴ７）。これによって、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の異常を適切に管理することができる。

上記説明したように、本実施の形態の部品実装システム１は、基板６に実装された部品Ｄの位置ずれ情報（位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を少なくとも含む基板検査情報４１ｂに基づいて、部品Ｄを基板６に実装する際の補正値を算出する補正値算出部３７と、補正値に基づいて部品Ｄを基板６に実装する部品実装部１２と、基板検査情報４１ｂに基づいて、位置ずれ情報に関する管理範囲（上方管理限界ＵＣＬ、下方管理限界ＬＣＬ）を設定する設定部４３と、位置ずれ情報と管理範囲とに基づいて、部品Ｄの実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する判断部４４と、を備えている。これによって、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３の異常を適切に管理することができる。

なお、上記の実施の形態では、検査装置Ｍ４が補正値を算出する構成であったが、本実施の形態の部品実装システム１は、この構成に限定されることはない。例えば、管理コンピュータ３が補正値算出部３７を備え、基板検査情報４１ｂに基づいて補正値を算出して部品実装装置Ｍ２，Ｍ３に送信するようにしてもよい。また、部品実装装置Ｍ２，Ｍ３がそれぞれ補正値算出部３７を備え、検査装置Ｍ４から基板検査情報４１ｂを取得して補正値を算出するようにしてもよい。

本発明の部品実装システムおよび部品実装方法は、部品実装装置の異常を適切に管理することができることができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

１ 部品実装システム
３ 管理コンピュータ
６ 基板
８ テープフィーダ（構成要素）
１１ 実装ヘッド（構成要素）
１１ｂ ノズル（構成要素）
１１ｄ 高さ計測部（センサ）
１１ｅ 流量計（センサ）
１２ 部品実装部
１３ 部品認識カメラ（センサ）
１４ ヘッドカメラ（センサ）
Ｄ 部品
Ｄｂ 電極
ＬＣＬ 下方管理限界（管理範囲）
Ｍ２，Ｍ３ 部品実装装置（構成要素）
Ｓ センサ
ＵＣＬ 上方管理限界（管理範囲）
Ｗ１，Ｗ２ 幅（サイズ）
ΔＸ，ΔＹ，Δθ 位置ずれ量（位置ずれ情報）

Claims (13)

1. 基板に実装された部品の位置ずれ情報を少なくとも含む基板検査情報に基づいて、前記部品を前記基板に実装する際の補正値を算出する補正値算出部と、
   前記補正値に基づいて前記部品を前記基板に実装する部品実装部と、
   前記基板検査情報に基づいて、前記位置ずれ情報に関する管理範囲を設定する設定部と、
   前記位置ずれ情報と前記管理範囲とに基づいて、前記部品の実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する判断部と、を備えた、部品実装システム。
2. 前記基板検査情報に基づいて、前記部品実装部による実装時の実装精度を表す評価値を算出する算出部をさらに備え、
   前記設定部は、前記評価値が所定値以上となった後に取得された前記基板検査情報に基づいて、前記管理範囲を設定する、請求項１に記載の部品実装システム。
3. 前記算出部は、前記部品実装部の実装作業に関する構成要素毎に、前記基板検査情報に基づいて前記評価値を算出する、請求項２に記載の部品実装システム。
4. 前記設定部は、前記構成要素毎の前記評価値の全てが前記所定値以上となった後に取得された前記基板検査情報に基づいて前記管理範囲を設定する、請求項３に記載の部品実装システム。
5. 前記算出部は、前記部品の電極のサイズに基づいて前記評価値を算出する、請求項２から４のいずれか１項に記載の部品実装システム。
6. 前記部品実装部は、複数の種類の部品を保持するために用いられるノズルを有し、
   前記算出部は、前記複数の種類の部品の中で前記電極のサイズが最も小さい部品に基づいて、前記ノズルの前記評価値を算出する、請求項５に記載の部品実装システム。
7. 前記評価値は、前記電極のサイズと、前記位置ずれ情報に関する標準偏差とに基づいて算出される工程能力指数である、請求項５または６に記載の部品実装システム。
8. 前記所定値は、前記実装精度が良好と判断される水準の値である、請求項２から７のいずれか１項に記載の部品実装システム。
9. 前記設定部は、前記位置ずれ情報に基づく平均値と標準偏差を少なくとも含む統計量に基づいて前記管理範囲を設定する、請求項１から８のいずれか１項に記載の部品実装システム。
10. 前記判断部は、前記管理範囲内における前記統計量に基づいて前記予兆の有無を判断する、請求項９に記載の部品実装システム。
11. 前記予兆があると判断された場合に、前記予兆の検知を報知する報知部をさらに備える、請求項１から１０のいずれか１項に記載の部品実装システム。
12. 前記部品実装部の実装作業に関連する状態を検査するセンサをさらに備え、
    前記予兆があると判断された場合に、前記センサが前記状態を検査する、請求項１から１１のいずれか１項に記載の部品実装システム。
13. 基板に実装された部品の位置ずれ情報を少なくとも含む基板検査情報に基づいて、前記部品を前記基板に実装する際の補正値を算出し、
    前記補正値に基づいて前記部品を前記基板へ実装し、
    前記基板検査情報に基づいて、前記位置ずれ情報に関する管理範囲を設定し、
    前記位置ずれ情報と前記管理範囲とに基づいて、前記部品の実装作業に関する異常の予兆の有無を判断する、部品実装方法。

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