JP2023020253A - Cleaning system - Google Patents

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Abstract

To provide a cleaning system which can efficiently discharge air having low cleanliness from an indoor space while reducing running costs by returning air flowing through the indoor space.SOLUTION: A cleaning system is used to keep cleanliness of air in an indoor space and includes: an air supply part 2 which supplies air from the ceiling 11 side of the indoor space 10 to a floor surface; floor suction ports 3 provided on the floor surface of the indoor space; gas-water separation parts each of which is disposed at the outer side of a floor area, where a floor 12 of the indoor space is provided, and separates water and air taken from the floor suction port from each other; an air return path 5 for returning the air separated in the gas-water separation parts to the indoor space; a filter part 6 which cleans air to be sent to the air supply part; and a pressure control unit 512 having a differential pressure damper connected to the floor suction port to control a pressure of the indoor space.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、室内の空気の清浄度を保つためのクリーン化システムに関するものである。 The present invention relates to a cleaning system for keeping indoor air clean.

特許文献1,2に開示されているように、食品工場などの床の水洗いを必要とするクリーンルームが存在する。このような多量の水を床に流すクリーンルームでは、床面に複数の排水口や側溝が設けられているので、排気口は壁に設けられることが一般的であるが、空気の流れを制御することが難しく、室内の下部に清浄度の低い空気が溜まりやすいという問題がある。 As disclosed in Patent Literatures 1 and 2, there are clean rooms such as food factories that require washing of the floor with water. In a clean room where such a large amount of water flows to the floor, multiple drains and gutters are provided on the floor surface, so the exhaust port is generally provided on the wall, but it is necessary to control the flow of air. There is a problem that air with low cleanliness tends to accumulate in the lower part of the room.

一方において、特許文献1に開示されているように、床面に設けられた排水口から、水だけでなく室内の空気も取り込むことができる構造も知られている。すなわち特許文献1の排水設備では、床面に開口された複数の排水口から流れ込む空気と水を、床下の1本の配管によってクリーンルームの外側に設けられた気水分離槽まで流下させる。 On the other hand, as disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-100000, there is also known a structure capable of taking in not only water but also indoor air from a drain port provided on the floor surface. That is, in the drainage system of Patent Document 1, air and water that flow in from a plurality of drainage ports on the floor flow down to a steam separation tank provided outside the clean room through a single pipe under the floor.

そして、気水分離槽に貯留された水は横方向に排水するとともに、気水分離槽の上部からは排気が行われる。このように、複数の排水口から流れ込む水と空気を流下させようとすると、床下には太径の配管を埋設することになり、建物の床が厚くなる(特許文献2の段落0003,0004参照)。 The water stored in the steam-water separation tank is discharged laterally, and exhausted from the top of the steam-water separation tank. In this way, when trying to flow down the water and air flowing from a plurality of drain ports, large-diameter pipes are buried under the floor, and the floor of the building becomes thick (see paragraphs 0003 and 0004 of Patent Document 2). ).

これに対して特許文献2に開示された排気装置では、室内の空気の約90%を壁に設けられた排気口から排出し、残りの約10%の空気を排水口から吸引排気する構成とすることで、床下の配管の太さを従来の排水のみの配管の太さと同程度にしている。 On the other hand, in the exhaust system disclosed in Patent Document 2, about 90% of the indoor air is exhausted from the exhaust port provided on the wall, and the remaining about 10% of the air is sucked and exhausted from the drain port. By doing so, the thickness of the underfloor pipes is about the same as that of conventional drainage pipes.

特開平11-293732号公報JP-A-11-293732 特開2004-84993号公報JP-A-2004-84993

しかしながら、特許文献1,2に記載されたクリーンルームでは、一度、室内を流れた空気は、排気としてそのまま放出される。すなわち、空調機によって温度や湿度が調整された空気を、一度の使用でそのまま放出してしまうので、ランニングコストが高くなる。 However, in the clean rooms described in Patent Literatures 1 and 2, the air once flowing inside the room is released as it is as exhaust gas. That is, since the air whose temperature and humidity have been adjusted by the air conditioner is released as it is after one use, the running cost increases.

また、室内を陽圧状態に管理することが求められるクリーンルームでは、壁上部に設けられた差圧ダンパにより排気が行われることになるが、天井側から供給された清浄度の高い空気が壁上部の差圧ダンパから排気されることになって、清浄度の低い空気が室内から排気されずに溜まってしまうという問題がある。 Also, in a clean room where it is required to maintain a positive pressure inside the room, exhaust is performed by a differential pressure damper installed on the upper part of the wall. Therefore, there is a problem that air with low cleanliness is not exhausted from the room and accumulates.

そこで本発明は、室内を流れた空気を還気することでランニングコストが抑えられるうえに、清浄度の低い空気を効率よく室内から排出することが可能なクリーン化システムを提供することを目的としている。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a cleaning system capable of suppressing running costs by returning air that has flowed in a room and efficiently discharging low-clean air from the room. there is

前記目的を達成するために、本発明のクリーン化システムは、室内の空気の清浄度を保つためのクリーン化システムであって、前記室内の天井側から床面に向けて空気を供給する給気部と、前記室内の床面に複数設けられる床吸込口と、前記室内の床が設けられる床領域の外側に配置されて前記床吸込口から取り込まれた水と空気とを分離する気水分離部と、前記気水分離部で分離された空気を前記室内に戻すための還気経路と、前記給気部に送られる空気を清浄化させるフィルタ部と、前記室内の圧力を制御するために前記床吸込口に接続される差圧ダンパとを備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a cleaning system of the present invention is a cleaning system for maintaining the cleanliness of indoor air, and comprises an air supply supplying air from the ceiling side of the room toward the floor surface. a plurality of floor suction ports provided on the floor surface of the room; and a steam-water separator disposed outside the floor area where the floor of the room is provided to separate water and air taken in from the floor suction ports. a return air path for returning the air separated by the air-water separation part to the room; a filter part for purifying the air sent to the air supply part; and a differential pressure damper connected to the floor suction port.

ここで、前記室内の壁の下部には、前記還気経路に接続される吸込口が設けられている構成とすることができる。また、前記気水分離部によって、空気は上方に水は下方に分離されることが好ましい。 Here, a suction port connected to the return air path may be provided at a lower portion of the wall of the room. Further, it is preferable that air is separated upward and water is separated downward by the air-water separator.

さらに、前記床吸込口には箱状部が配置されるとともに、前記箱状部と前記気水分離部との間は、複数の配管によって接続される構成とすることができる。また、前記箱状部から前記配管へのゴミの流入を防ぐゴミ止め部を有する構成とすることが好ましい。そして、前記還気経路には、風量調整弁を設けることができる。 Further, a box-shaped portion may be arranged at the floor suction port, and a plurality of pipes may be used to connect between the box-shaped portion and the air-water separation portion. Moreover, it is preferable to have a dust stopping part for preventing dust from flowing into the pipe from the box-shaped part. An air volume control valve can be provided in the return air path.

さらに、前記還気経路を流れる空気の一部を空調機を経由させる構成とすることができる。また、前記床吸込口から取り込まれる空気の量は、前記室内から排出される空気の量の20%以上であることが好ましい。 Further, a configuration may be adopted in which part of the air flowing through the return air path is routed through an air conditioner. Moreover, it is preferable that the amount of air taken in from the floor suction port is 20% or more of the amount of air discharged from the room.

このように構成された本発明のクリーン化システムは、室内の床面に複数設けられる床吸込口から取り込まれた水と空気は、床領域の外側に配置された気水分離部によって分離される。そして、還気経路を通って、フィルタ部で清浄化された空気は、再び室内に供給される。さらに、室内の圧力を制御するための差圧ダンパが、少なくとも1個の床吸込口に接続されている。 In the cleaning system of the present invention configured as described above, water and air taken in from a plurality of floor suction ports provided on the floor surface of the room are separated by the air-water separator arranged outside the floor area. . Then, the air cleaned by the filter section is supplied again into the room through the return air path. Additionally, a differential pressure damper is connected to the at least one floor inlet for controlling the pressure in the chamber.

このように、室内を流れた空気を還気することでランニングコストを抑えることができる。また、床吸込口に接続される差圧ダンパを備えているので、室内を陽圧に保つことが容易にできるうえに、床面の床吸込口から室内の空気を吸い込ませることで、清浄度の低い空気を効率よく室内から排出することができる。 In this way, the running cost can be suppressed by returning the air that has flowed in the room. In addition, since it is equipped with a differential pressure damper connected to the floor suction port, it is easy to maintain positive pressure in the room. Air with a low temperature can be efficiently discharged from the room.

また、室内の壁の下部に還気経路に接続される吸込口を設けることで、床吸込口から室内空気のすべてを排出をしなくてもよくなるので、床下の配管の径が太くなって床の厚さなどが増大するのを防ぐことができる。 In addition, by providing an air intake connected to the return air path at the bottom of the room wall, it is not necessary to exhaust all of the room air from the floor air intake, so the diameter of the pipe under the floor becomes thicker and the floor It is possible to prevent the thickness of the film from increasing.

さらに、気水分離部が空気を上方に、水を下方に分離させる構成であれば、室内から排出された空気と排水とが接触する時間を短くすることができ、還気する空気の清浄度が低くなりすぎるのを抑えることができる。 Furthermore, if the air-water separation unit is configured to separate air upward and water downward, the contact time between the air discharged from the room and the waste water can be shortened, and the cleanliness of the returned air can be improved. can be prevented from becoming too low.

また、床吸込口の箱状部と気水分離部との間を複数の配管によって接続するのであれば、1本当たりの配管の流量を減らすことが可能になるので、床下の配管の径が太くなるのを防ぐことができる。そして、配管の径が細ければ、コンクリートの床の内部に埋設することも可能になる。 Also, if the box-shaped part of the floor suction port and the air-water separation part are connected by a plurality of pipes, it is possible to reduce the flow rate of each pipe, so the diameter of the pipe under the floor can be reduced. It can prevent you from getting fat. And if the diameter of the pipe is small, it can be buried inside the concrete floor.

さらに、箱状部から配管へのゴミの流入を防ぐゴミ止め部が設けられることで、床吸込口に流入した空気と水は、残渣などのゴミと速やかに分離されることになるので、衛生管理上、望ましい状態を保つことができる。 In addition, by providing a dust stopper to prevent dust from flowing into the pipe from the box-shaped part, the air and water flowing into the floor suction port are quickly separated from dust such as residue, so it is hygienic. Administratively, the desired state can be maintained.

また、還気経路に風量調整弁が設けられていれば、床吸込口や壁の吸込口からの吸込み風量を調整することができる。例えば、床吸込口の吸込み風量を20%以上に調整することで室内の清浄度を高めるなどの制御が、容易に行えるようになる。さらに、還気経路を流れる空気の一部を空調機を経由させることで、還気の温度と湿度を適切な状態に調整することができる。 Further, if an air volume adjustment valve is provided in the return air path, the volume of air drawn from the floor air intake or the wall air intake can be adjusted. For example, by adjusting the amount of air drawn into the floor inlet to 20% or more, it becomes possible to easily perform control such as improving the cleanliness of the room. Furthermore, by passing part of the air flowing through the return air path through the air conditioner, the temperature and humidity of the return air can be adjusted to appropriate conditions.

本実施の形態のクリーン化システムの全体構成を例示した説明図である。1 is an explanatory diagram illustrating the overall configuration of a cleaning system according to an embodiment; FIG. 本実施の形態のクリーン化システムの構成を説明する平面図である。1 is a plan view for explaining the configuration of a cleaning system according to an embodiment; FIG. 床吸込口の一部を破断して構成を説明する斜視図である。It is a perspective view which fracture|ruptures a part of floor suction port, and demonstrates a structure. 床吸込口と配管の構成を説明する図であって、(a)は平面図、(b)は側面図である。It is a figure explaining the structure of a floor suction port and piping, (a) is a top view, (b) is a side view. 気水分離部の構成を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the structure of an air-water separation part. 圧力制御部の構成を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the structure of a pressure control part. 実験室の状況を説明する平面図である。It is a top view explaining the situation of a laboratory. 床吸込口による排出の効果を説明する図であって、(a)は壁吸込みの割合が0%で床吸込みの割合が100%の実験結果、(b)は壁吸込みの割合が20%で床吸込みの割合が80%の実験結果である。Fig. 10 is a diagram for explaining the effect of discharge by the floor suction port, (a) is the result of an experiment when the ratio of wall suction is 0% and the ratio of floor suction is 100%, and (b) is the result when the ratio of wall suction is 20%. This is the result of an experiment in which the rate of floor suction is 80%. 床吸込口による排出の効果を説明する図であって、(a)は壁吸込みの割合が40%で床吸込みの割合が60%の実験結果、(b)は壁吸込みの割合が60%で床吸込みの割合が40%の実験結果である。Fig. 3 is a diagram for explaining the effect of discharge by the floor suction port, (a) is the result of an experiment in which the ratio of wall suction is 40% and the ratio of floor suction is 60%; This is the result of an experiment in which the rate of floor suction is 40%. 床吸込口による排出の効果を説明する図であって、(a)は壁吸込みの割合が80%で床吸込みの割合が20%の実験結果、(b)は壁吸込みの割合が90%で床吸込みの割合が10%の実験結果である。Fig. 10 is a diagram for explaining the effect of discharge by the floor suction port, (a) is the result of an experiment in which the wall suction ratio is 80% and the floor suction ratio is 20%, and (b) is the wall suction ratio of 90%. This is the result of an experiment in which the rate of floor suction is 10%. 本実施の形態のクリーン化システムによって得られる清浄度クラス(JIS規格)を説明するための図であって、壁吸込みの割合が0%で床吸込みの割合が100%の実験結果の説明図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the cleanliness class (JIS standard) obtained by the clean system of the present embodiment, and is an explanatory diagram of the experimental results in which the ratio of wall suction is 0% and the ratio of floor suction is 100%. be. 本実施の形態のクリーン化システムによって得られる清浄度クラス(JIS規格)を説明するための図であって、壁吸込みの割合が80%で床吸込みの割合が20%の実験結果の説明図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the cleanliness class (JIS standard) obtained by the clean system of the present embodiment, and is an explanatory diagram of the experimental results in which the ratio of wall suction is 80% and the ratio of floor suction is 20%. be. 壁吸込みの割合が90%で床吸込みの割合が10%の実験結果の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of experimental results in which the ratio of wall suction is 90% and the ratio of floor suction is 10%; 参考のために壁吸込みの割合を100%にした場合の実験結果の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of experimental results when the ratio of wall suction is set to 100% for reference.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態のクリーン化システムの全体構成を例示した説明図である。また、図2は、本実施の形態のクリーン化システムの構成を説明する平面図である。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating the overall configuration of the cleaning system of this embodiment. FIG. 2 is a plan view for explaining the configuration of the cleaning system of this embodiment.

本実施の形態のクリーン化システムは、食品工場、製薬工場、化粧品工場、機械加工工場、塗装工場などの、床12の水洗いなどによって発生する水の排水設備を必要とする業種のクリーンルーム1に適用される。食品工場には、惣菜工場、弁当工場、乳製品工場、精肉加工工場、水産品加工工場、農産品加工工場、缶詰工場、飲料品加工工場などがある。 The cleaning system of the present embodiment is applied to clean rooms 1 of industries that require drainage facilities for water generated by washing the floor 12 with water, such as food factories, pharmaceutical factories, cosmetics factories, machine processing factories, and painting factories. be done. Food factories include side dish factories, boxed lunch factories, dairy product factories, meat processing factories, marine product processing factories, agricultural product processing factories, canning factories, and beverage processing factories.

こうした業種のクリーンルーム1では、室内10の空気の清浄度を保つだけでなく、定期的に水洗いなどによる洗浄や排水を伴う作業が行われるので、その際に発生する多量の水を排出するための排水設備を設けておく必要がある。 In the clean room 1 of these industries, not only is the cleanliness of the air in the room 10 maintained, but also cleaning and drainage by washing with water are performed periodically. It is necessary to install a drainage system.

また、2021年6月より、全ての食品製造事業者には、HACCP(Hazard Analysis Critical Control Point)に基づいた衛生管理が求められるようになり、製造エリア(室内10)の清浄度、温湿度及び室圧を確実に管理する必要がある。 In addition, from June 2021, all food manufacturers will be required to implement hygiene management based on HACCP (Hazard Analysis Critical Control Point), and the cleanliness, temperature and humidity of the manufacturing area (room 10) Room pressure must be reliably controlled.

本実施の形態のクリーン化システムは、クリーンルーム1の室内10の空気の清浄度を保つことができるうえに、排水機能を備えたシステムである。さらに、室内10から排出された空気を還気(RA:Return Air)によって再び室内10に供給することで、省エネルギー化が図れるシステムである。 The cleaning system of the present embodiment is a system capable of maintaining cleanliness of the air in the room 10 of the clean room 1 and having a drainage function. Furthermore, the system can save energy by supplying the air discharged from the room 10 to the room 10 again by return air (RA).

本実施の形態のクリーン化システムは、室内10の天井11側から床12の床面に向けて空気を供給する給気部2と、床面に複数設けられる床吸込口3と、室外に設けられる気水分離部4(図2参照)と、気水分離部4で分離された空気を室内10に戻すための還気経路5と、空気を清浄化させるフィルタ部6と、によって主に構成される。 The cleaning system of the present embodiment includes an air supply unit 2 that supplies air from the ceiling 11 side of the room 10 toward the floor surface of the floor 12, a plurality of floor suction ports 3 provided on the floor surface, and a 2), a return air path 5 for returning the air separated by the air-water separation unit 4 to the room 10, and a filter unit 6 for cleaning the air. be done.

クリーンルーム1では、天井11付近に配置された給気部2から供給された清浄度の高い給気(SA:Supply Air)が、下降流DAとなって床12に向けて流れる。この空気の流れ(気流)は、室内10の空気のムラが生じないような層流(垂直層流)になっていることが望ましい。そして、この下降流DAが滞りなく室内10から排出されることによって、浮遊微粒子の濃度が小さい、清浄度の高いクリーンルーム1にすることができる。 In the clean room 1 , highly clean air (SA: Supply Air) supplied from an air supply section 2 arranged near the ceiling 11 flows toward the floor 12 as a downward flow DA. It is desirable that this air flow (air flow) be a laminar flow (vertical laminar flow) that does not cause air unevenness in the room 10 . The downward flow DA is smoothly discharged from the room 10, so that the clean room 1 can be made to have a low concentration of suspended particles and a high degree of cleanliness.

図1に例示したクリーンルーム1では、清浄な空気の給気経路となる給気ダクト21から室内10側の分配部22に送られた空気は、天井11に分散して配置された複数の吹出口23に送られる。 In the clean room 1 illustrated in FIG. 1 , air sent from an air supply duct 21 serving as an air supply path for clean air to a distribution unit 22 on the side of the room 10 is distributed through a plurality of air outlets distributed on the ceiling 11 . sent to 23.

図1では、吹出口23は、上向きに空気が吐出されるように配置されており、天井11に当たって跳ね返った空気が、有孔板などの天井面材111を通って、簡易層流などの下降流DAに形成される。なお、下降流DAを層流にするための給気部2や天井面材111の構成は、この図に限定されるものではなく、様々な給気方式が適用できる。 In FIG. 1, the air outlet 23 is arranged so that air is discharged upward, and the air that bounces off the ceiling 11 passes through the ceiling surface material 111 such as a perforated plate and descends in a simple laminar flow or the like. formed in the stream DA. The configuration of the air supply unit 2 and the ceiling surface material 111 for making the downward flow DA laminar is not limited to this drawing, and various air supply methods can be applied.

本実施の形態で説明するクリーンルーム1は、排気設備として、室内10の床12に複数設けられる床吸込口3と、室内10の壁13の下部に設けられる吸込口131とを備えている。なお、クリーンルーム1に必要とされる循環風量によっては、壁13の吸込口131を省略することもできる。 The clean room 1 described in this embodiment includes, as exhaust equipment, a plurality of floor suction ports 3 provided on the floor 12 of the room 10 and a suction port 131 provided below the wall 13 of the room 10 . Depending on the amount of circulating air required in the clean room 1, the suction port 131 of the wall 13 may be omitted.

床吸込口3から排出された空気は、後述する分離後ダクト51を通って、還気経路5に流れ込む。また、壁13の吸込口131から排出された空気は、壁ダクト52を通って還気経路5に流れ込む。ここで、分離後ダクト51と壁ダクト52に流れ込む空気の量(吸込み風量)は、風量調整弁511,521で調整することができる。 The air discharged from the floor suction port 3 flows into the return air path 5 through the post-separation duct 51 which will be described later. Also, the air discharged from the suction port 131 of the wall 13 flows into the return air path 5 through the wall duct 52 . Here, the amount of air flowing into the post-separation duct 51 and the wall duct 52 (intake air volume) can be adjusted by the air volume control valves 511 and 521 .

このようにして室内10から排出された空気に対しては、還気経路5を通って再び室内10に供給するための処理が行われる。本実施の形態で説明するクリーン化システムでは、還気経路5を2つのルートに分岐させる。 The air discharged from the room 10 in this manner is subjected to a process for supplying it to the room 10 again through the return air path 5 . In the cleaning system described in this embodiment, the return air path 5 is branched into two routes.

1つ目のルートは、直接、還気を行うための直還気ダクト53によって形成される。直還気ダクト53に流れ込む空気の量は、分岐点近傍に設けられた風量調整弁531によって調整することができる。 A first route is formed by a direct return air duct 53 for direct return air. The amount of air flowing into the direct return air duct 53 can be adjusted by an air volume adjustment valve 531 provided near the branch point.

2つの目のルートは、空調機8を経由させるための空調経由ダクト54によって形成される。空調機8は、フィルタを通して取り込まれて空気の温度と湿度を調整する空調機器である。 A second route is formed by an air conditioning via duct 54 for passing the air conditioner 8 . The air conditioner 8 is an air conditioner that adjusts the temperature and humidity of air taken in through a filter.

空調経由ダクト54から空調機8に取り込まれた還気は、空調機8の制御によって設定された温度と湿度に調整された後に、空調機8のファンによって、混合部63に向けて送られる。この混合部63には、外気処理機7も接続されている。 The return air taken into the air conditioner 8 from the air conditioning via duct 54 is adjusted to the set temperature and humidity by the control of the air conditioner 8, and then sent toward the mixing section 63 by the fan of the air conditioner 8. The outside air processor 7 is also connected to the mixing section 63 .

外気処理機7は、外気を取り込んでフィルタによってろ過された空気(SOA:Supply Outdoor Air)を、内蔵されたファンによって外気経路となる外気ダクト71を通して混合部63に向けて送り出す。 The outside air processor 7 takes in outside air and sends out air filtered by a filter (SOA: Supply Outdoor Air) toward the mixing section 63 through an outside air duct 71 serving as an outside air path by a built-in fan.

混合部63では、外気ダクト71から流入する空気と、空調機8から流入する空気と、直還気ダクト53から流入する空気とが混合されて、空気を清浄化させるフィルタ部6に送られる。 In the mixing section 63, the air flowing from the outside air duct 71, the air flowing from the air conditioner 8, and the air flowing from the direct return air duct 53 are mixed and sent to the filter section 6 that cleans the air.

フィルタ部6は、高性能フィルタ61と、送風ファン62とによって主に構成されるファン付き高性能フィルタユニット(FFU:Fan Filter Unit)である。高性能フィルタ61には、HEPA(Hight Efficiency Particulate Air)フィルタやULPA(Ultra Low Particulate Air)フィルタなどがある。 The filter unit 6 is a fan-equipped high-performance filter unit (FFU: Fan Filter Unit) mainly composed of a high-performance filter 61 and a blower fan 62 . The high-performance filter 61 includes a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter, an ULPA (Ultra Low Particulate Air) filter, and the like.

HEPAフィルタに空気を通過させることで、粒径0.3μmの微粒子を99.97%以上、捕集することができる。また、ULPAフィルタであれば、粒径0.15μmの微粒子を99.9995%以上、捕集することができる。なお、クリーンルーム1の用途によっては、中性能フィルタを使用することもできる。 By passing air through a HEPA filter, 99.97% or more of fine particles with a particle size of 0.3 μm can be collected. In addition, the ULPA filter can collect 99.9995% or more of fine particles with a particle size of 0.15 μm. Note that depending on the use of the clean room 1, a medium efficiency filter can also be used.

続いて、図2-図6を参照しながら、床吸込口3及び気水分離部4の詳細について説明する。図2に例示したクリーンルーム1には、室内10の床領域を形成する床12に、6個の床吸込口3が配置されている。 Next, details of the floor suction port 3 and the air/water separator 4 will be described with reference to FIGS. 2 to 6. FIG. In the clean room 1 illustrated in FIG. 2, six floor suction ports 3 are arranged on the floor 12 forming the floor area of the room 10 .

この図では、室内10の中央より壁13に近い位置に、壁13に平行に3個の床吸込口3が列をなすようにして配置されている。なお、このような床吸込口3の配置は、一例であって、クリーンルーム1の大きさや用途などによって、適宜、設計することができる。 In this figure, three floor inlets 3 are arranged in a line parallel to the wall 13 at a position closer to the wall 13 than the center of the room 10 . It should be noted that the layout of the floor suction port 3 as described above is merely an example, and can be appropriately designed according to the size and application of the clean room 1 .

ここで、図3は、床吸込口3の一部を取り出して説明する図である。床吸込口3は、直方体状の箱状部31と、箱状部31の上面開口に設置されるグレーチング32とによって主に構成される。 Here, FIG. 3 is a diagram for explaining a part of the floor suction port 3. As shown in FIG. The floor suction port 3 is mainly composed of a rectangular parallelepiped box-shaped part 31 and a grating 32 installed on the top opening of the box-shaped part 31 .

そして、箱状部31の側面312には、複数の配管33が接続される。図3は、1本の配管33が半割りにされる位置で破断させた斜視図である。配管33を箱状部31の側面312に接続させるアダプタ35には、箱状部31から配管33へのゴミの流入を防ぐゴミ止め部34が設けられる。 A plurality of pipes 33 are connected to side surfaces 312 of the box-shaped portion 31 . FIG. 3 is a perspective view of one pipe 33 broken at a position where it is split in half. The adapter 35 that connects the pipe 33 to the side surface 312 of the box-shaped portion 31 is provided with a dust stop portion 34 that prevents dust from flowing into the pipe 33 from the box-shaped portion 31 .

ゴミ止め部34は、箱状部31に流れ込んだ残渣などのゴミが配管33に流入するのを防ぐ部材で、例えば複数のスリット状の孔が設けられた円板、金網、有孔板などによって形成することができる。すなわち、ゴミ止め部34によって、主に水と空気だけが配管33に流れ込むことになる。 The dust stopping part 34 is a member that prevents dust such as residue that has flowed into the box-shaped part 31 from flowing into the pipe 33. can be formed. That is, mainly only water and air flow into the pipe 33 by the dust stop portion 34 .

箱状部31の底面311には、図4(a)に示すように、水勾配が形成される。図4には、1体の箱状部31の側面312に対して、3本の配管33が接続された構成が例示されている。例えば、直径100mm程度の配管33が使用できる。 A water gradient is formed on the bottom surface 311 of the box-shaped portion 31, as shown in FIG. 4(a). FIG. 4 illustrates a configuration in which three pipes 33 are connected to the side surface 312 of the single box-shaped portion 31 . For example, a pipe 33 with a diameter of about 100 mm can be used.

支持部36に支えられた箱状部31の内側の底面311には、各配管33に向けて速やかに水が流れ込むように、水勾配が設けられている。すなわち、箱状部31の底面311には水が溜まらず、底面311近傍に接続された配管33に短時間で排水が流れ込むので、衛生的である。 The inner bottom surface 311 of the box-shaped portion 31 supported by the support portion 36 is provided with a water gradient so that water can quickly flow toward each pipe 33 . That is, water does not accumulate on the bottom surface 311 of the box-shaped part 31, and the waste water flows into the pipe 33 connected near the bottom surface 311 in a short period of time, which is hygienic.

また、配管33についても、支持部36の高さに応じて確保できる高低差の範囲内で、水を流すための排水勾配を形成することができ、後述する気水分離部4に向けて速やかに排水が行われる。 In addition, the pipe 33 can also form a drainage gradient for flowing water within the range of the height difference that can be secured according to the height of the support part 36, and can quickly flow toward the air-water separation part 4 described later. is drained.

本実施の形態の1体の箱状部31に対しては、3本の配管33が接続されているので、1本当たりの配管33の流量を減らすことができる。すなわち、1体の箱状部31に対して1本の配管を接続させる場合と比べて、配管33の径を細くすることができる。 Since three pipes 33 are connected to one box-shaped portion 31 of the present embodiment, the flow rate of each pipe 33 can be reduced. That is, the diameter of the pipe 33 can be made thinner than when one pipe is connected to one box-shaped portion 31 .

配管33が細いほど、床12の厚さや床下空間の高さが小さくて済む。例えば、コンクリートの床12の内部に配管33を埋設する場合は、配管33が細い方が、床12の厚さを薄くできる。また、配管33の径が細い方が、支持部36の高さに応じて確保できる流下距離も、長くすることができる。 The thinner the pipe 33, the smaller the thickness of the floor 12 and the height of the space under the floor. For example, when the pipe 33 is buried inside the concrete floor 12, the thinner the pipe 33, the thinner the floor 12 can be. In addition, the smaller the diameter of the pipe 33, the longer the flowing distance that can be secured according to the height of the support portion 36.

図2に示したように、本実施の形態で説明するクリーンルーム1では、6個の床吸込口3のすべてに、それぞれ3本の配管33が接続されている。この配管33は、室内10の床12が設けられる床領域において敷設され、床領域の外側には、床吸込口3から取り込まれた水と空気とを分離する気水分離部4が配置される。 As shown in FIG. 2, in the clean room 1 described in this embodiment, three pipes 33 are connected to all six floor suction ports 3, respectively. This pipe 33 is laid in the floor area where the floor 12 of the room 10 is provided, and outside the floor area, the air-water separation section 4 for separating air and water taken in from the floor suction port 3 is arranged. .

図5は、気水分離部4の構成の一例を説明する斜視図である。気水分離部4には、3本の配管33から床吸込口3から取り込まれた水と空気が流れ込み、気水分離部4によって、空気は上方へ、水は下方へと分離される。 FIG. 5 is a perspective view illustrating an example of the configuration of the air/water separator 4. As shown in FIG. Water and air taken in from the floor suction port 3 flow into the air-water separator 4 through three pipes 33, and the air-water separator 4 separates the air upward and the water downward.

本実施の形態で説明する気水分離部4は、3本の配管33の端部が接続される円筒状の本体部41と、本体部41の上面から立ち上げられる排出管42と、本体部41の下面から垂下される排水管43とによって主に構成される。 The air-water separation unit 4 described in the present embodiment includes a cylindrical main body 41 to which the ends of the three pipes 33 are connected, a discharge pipe 42 rising from the upper surface of the main body 41, a main body It is mainly composed of a drain pipe 43 hanging from the lower surface of the 41 .

本体部41は、横向きにした円筒管の両側面の開口が塞がれた空洞で、ここに流れ込んだ水と空気は、内部で自由に移動することができる。そして、本体部41の略中央には、排水管43の上端が接続されているので、本体部41に流れ込んだ水は、ほとんど滞留することなく排水管43によって排水される。 The body part 41 is a cavity in which the openings on both sides of a cylindrical tube turned sideways are closed, and the water and air flowing therein can freely move inside. Since the upper end of the drain pipe 43 is connected to the approximate center of the main body 41, the water that has flowed into the main body 41 is drained through the drain pipe 43 without remaining there.

一方、水と分離された空気は、排出管42を通って上昇し、排出管42に接続された分離後ダクト51に流れ込む。この分離後ダクト51に流れ込む量は、風量調整弁511によって調整することができる。 On the other hand, the air separated from the water rises through the discharge pipe 42 and flows into the post-separation duct 51 connected to the discharge pipe 42 . The amount of air flowing into the duct 51 after separation can be adjusted by the air volume control valve 511 .

図2に示すように、クリーンルーム1の床12の外側で気水分離部4によって分離された空気は、還気となって還気経路の一部である分離後ダクト51を通って、還気経路5の本管に流れ込む。一方、気水分離部4で分離された水は、排水管43によって排水される。 As shown in FIG. 2, the air separated by the air-water separator 4 outside the floor 12 of the clean room 1 becomes return air and passes through the post-separation duct 51, which is a part of the return air path, to return air. It flows into the main of line 5. On the other hand, the water separated by the air-water separator 4 is drained through the drain pipe 43 .

一方、図1及び図2に示すように、複数設けられる床吸込口3の少なくとも1個に接続される気水分離部4には、圧力制御部512が設けられる。図2では、6個ある床吸込口3のうちの室内中央の2個に、圧力制御部512が接続されている。 On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 2 , a pressure control section 512 is provided in the air-water separation section 4 connected to at least one of the plurality of floor suction ports 3 . In FIG. 2, the pressure control unit 512 is connected to two of the six floor suction ports 3 at the center of the room.

図6は、差圧ダンパ512aを備えた圧力制御部512の構成の一例を説明する斜視図である。この圧力制御部512の排出管42Aの下端は、図5に示したのと同様の気水分離部4の本体部41に接続される。 FIG. 6 is a perspective view illustrating an example of the configuration of the pressure control section 512 having the differential pressure damper 512a. The lower end of the discharge pipe 42A of the pressure control section 512 is connected to the body section 41 of the air/water separation section 4 similar to that shown in FIG.

この排出管42Aには、上方に延びる途中に還気経路5の一部となる分離後ダクト51が接続される。また、排出管42Aの上部は直角に曲げられ、空気を外部に排気するための外部接続管512bに接続される。 A post-separation duct 51 that forms a part of the return air path 5 is connected to the discharge pipe 42A in the middle of the upward extension. Also, the upper portion of the discharge pipe 42A is bent at a right angle and connected to an external connection pipe 512b for discharging air to the outside.

そして、外部接続管512bの途中に、差圧ダンパ512aが設けられる。差圧ダンパ512aは、クリーンルーム1の室内10の圧力を制御するための弁で、室内10を陽圧に制御する場合は、排出管42Aに流れ込んだ空気の一部を、外部に排気させる。すなわち、床吸込口3から吸い込まれた清浄度の低い空気の一部は、圧力制御部512の差圧ダンパ512aを通って外部に排気される。 A differential pressure damper 512a is provided in the middle of the external connection pipe 512b. The differential pressure damper 512a is a valve for controlling the pressure in the room 10 of the clean room 1. When the pressure in the room 10 is controlled to be positive, the differential pressure damper 512a exhausts part of the air that has flowed into the discharge pipe 42A to the outside. That is, part of the low-clean air sucked from the floor suction port 3 passes through the differential pressure damper 512a of the pressure control section 512 and is exhausted to the outside.

また、壁13の吸込口131から吸い込まれる室内10の空気は、還気経路の一部である壁ダクト52を通って、還気経路5の本管に流れ込む。すなわち、分離後ダクト51を通過した空気と、壁ダクト52を通過した空気は、還気経路5で混合した状態で送られ、直還気ダクト53と空調経由ダクト54とに流れ込む。 Also, the air in the room 10 sucked from the suction port 131 of the wall 13 flows into the main pipe of the return air passage 5 through the wall duct 52 which is a part of the return air passage. That is, the air that has passed through the post-separation duct 51 and the air that has passed through the wall duct 52 are sent in a mixed state in the return air path 5 and flow into the direct return air duct 53 and the air conditioning passage duct 54 .

次に、本実施の形態のクリーン化システムの効果について実験した結果を、図7-図14を参照しながら説明する。
実験は、図7に示したクリーンルーム1を模した実験室の中央に、エアロゾル発生装置を設置し、そのエアロゾル発生装置から噴射した粉塵を、室内の12地点の測定点で測定することで行った。実験室には、3台のヒーターを設置した。ヒーターは、室内発熱を模して設置したもので、発熱による上昇気流により、クリーンルーム1の天井11からの下降気流を妨げる可能性があることを想定して設置した。
Next, the results of experiments on the effect of the cleaning system of this embodiment will be described with reference to FIGS. 7 to 14. FIG.
The experiment was conducted by installing an aerosol generator in the center of a laboratory modeled on clean room 1 shown in Fig. 7 and measuring the dust emitted from the aerosol generator at 12 measurement points in the room. . Three heaters were installed in the laboratory. The heater was installed to imitate indoor heat generation, and was installed on the assumption that there is a possibility that an upward air current due to heat generation may block a downward air current from the ceiling 11 of the clean room 1 .

12地点の測定点は、図7に数字を四角で囲んで示した。測定点は、室内の中央(測定点1-3,8)と、床吸込口3の周辺(測定点4-7,9-12)に分散して配置されている。そして測定は、移動台車に載せたパーティクルカウンタを測定点1から順に移動させることで行った。パーティクルカウンタによる測定は、各測定点おいて、床面からの高さが2500mm、1500mm、500mmとなる各高さで行い、各高さの測定値から測定点の平均値を算出した。 The 12 measurement points are indicated by enclosing numbers in squares in FIG. The measurement points are distributed in the center of the room (measurement points 1-3, 8) and around the floor inlet 3 (measurement points 4-7, 9-12). The measurement was carried out by sequentially moving the particle counter placed on the movable carriage from the measurement point 1 . The measurement with the particle counter was performed at each height from the floor to 2500 mm, 1500 mm, and 500 mm at each measurement point, and the average value of the measurement points was calculated from the measured values at each height.

図8-図10は、測定点1-12で測定された浮遊微粒子濃度(個/m3)の測定結果を示している。実験は、クリーンルーム1に設けられた床吸込口3と壁13の吸込口131との吸込み風量の割合を変えて行った。なお、クリーンルーム1への給気部2からの空気の供給量など、その他の条件は同じにした。 FIGS. 8 to 10 show the measurement results of airborne particle concentrations (particles/m 3 ) measured at measurement points 1-12. The experiment was conducted by changing the ratio of the amount of suction air between the floor suction port 3 provided in the clean room 1 and the suction port 131 of the wall 13 . Other conditions such as the amount of air supplied from the air supply unit 2 to the clean room 1 were the same.

まず、図8(a)は、壁吸込み(壁13の吸込口131からの吸込み風量)の割合が0%で、床吸込み(床吸込口3からの吸込み風量)の割合が100%の実験結果を示している。すなわち、壁13の吸込口131からは吸込みを行わない場合の実験結果である。この実験結果を見ると、12地点の測定点のすべてにおいて、いずれの粉塵の大きさ(粒径D(μm))においても浮遊微粒子濃度が100,000(個/m3)を下回っており、床吸込みにより高い清浄度が維持できることが確認できた。 First, FIG. 8(a) shows the results of an experiment in which the ratio of wall suction (the amount of air drawn in from the suction port 131 of the wall 13) is 0% and the ratio of the floor suction (the amount of air drawn in from the floor suction port 3) is 100%. is shown. That is, this is the experimental result when air is not sucked from the suction port 131 of the wall 13 . Looking at the results of this experiment, at all of the 12 measurement points, the airborne particle concentration was below 100,000 (particles/m 3 ) regardless of the size of the dust (particle diameter D (μm)). It was confirmed that a high degree of cleanliness can be maintained by

また、図8(b)は、壁吸込みの割合が20%で、床吸込みの割合が80%の実験結果である。この実験結果を見ても、すべての測定点において浮遊微粒子濃度が100,000(個/m3)を下回っており、壁13の吸込口131からの吸込みを併用しても、高い清浄度が維持できることが確認できた。 FIG. 8(b) shows the results of an experiment in which the ratio of wall suction is 20% and the ratio of floor suction is 80%. Looking at the results of this experiment, the concentration of airborne particulates is less than 100,000 (particles/m 3 ) at all measurement points. was confirmed.

さらに、図9(a)は、壁吸込みの割合が40%で、床吸込みの割合が60%の実験結果を示し、図9(b)は、壁吸込みの割合が60%で、床吸込みの割合が40%の実験結果を示している。また、図10(a)は、壁吸込みの割合が80%で、床吸込みの割合が20%の実験結果を示している。これらの実験結果は、すべての測定点において浮遊微粒子濃度が100,000(個/m3)を下回り、高い清浄度が維持できていると言える。 Furthermore, Fig. 9(a) shows the experimental results with a wall suction ratio of 40% and a floor suction ratio of 60%, and Fig. 9(b) shows a wall suction ratio of 60% and a floor suction ratio Experimental results with a percentage of 40% are shown. Also, FIG. 10(a) shows the results of an experiment in which the ratio of wall suction is 80% and the ratio of floor suction is 20%. From these experimental results, it can be said that the airborne particle concentration is below 100,000 (particles/m 3 ) at all measurement points, and high cleanliness can be maintained.

これらに対して、図10(b)は、壁吸込みの割合が90%で、床吸込みの割合が10%の実験結果である。この実験結果を見ると、粒径Dが0.3μmの粉塵の量が、測定点2で100,000(個/m3)を上回っており、壁13の吸込口131からの吸込み風量の割合が90%以上になると、所望する清浄度が維持できなくなる可能性があることが判明した。換言すると、床吸込口3からの吸込みを一定量(例えば20%)以上の割合で行うことで、室内10の清浄度を高めることができる。 On the other hand, FIG. 10(b) shows the results of an experiment in which the ratio of wall suction is 90% and the ratio of floor suction is 10%. Looking at the results of this experiment, the amount of dust with a particle diameter D of 0.3 μm exceeds 100,000 (particles/m 3 ) at measurement point 2, and the ratio of air intake from the suction port 131 of the wall 13 is 90%. It has been found that there is a possibility that the desired degree of cleanliness cannot be maintained in such a case. In other words, the cleanliness of the room 10 can be improved by performing suction from the floor suction port 3 at a rate of a certain amount (for example, 20%) or more.

図11-図14は、本実施の形態のクリーン化システムを適用した場合に得られる清浄度クラスを説明するための図である。ここで、横軸は浮遊微粒子の粒径D(μm)を示し、縦軸は浮遊微粒子濃度(個/m3)を示している。そして、図中の丸印のプロットが、測定結果を示している。また、JIS規格に基づいた清浄度クラス(クラス1からクラス9)を、折れ線で併せて示した。 11 to 14 are diagrams for explaining cleanliness classes obtained when the cleaning system of the present embodiment is applied. Here, the horizontal axis indicates the particle size D (μm) of suspended particles, and the vertical axis indicates the concentration of suspended particles (particles/m 3 ). Circular plots in the figure indicate the measurement results. In addition, the cleanliness classes (class 1 to class 9) based on JIS standards are shown together with a polygonal line.

ここで、図11は、壁吸込みの割合が0%で床吸込みの割合が100%の実験結果を示し、図12は、壁吸込みの割合が80%で床吸込みの割合が20%の実験結果を示している。一方、図13は、壁吸込みの割合が90%で床吸込みの割合が10%の実験結果を示し、図14は、壁吸込みの割合が100%で床吸込みの割合が0%の実験結果を示している。 Here, FIG. 11 shows the experimental results when the ratio of wall suction is 0% and the ratio of floor suction is 100%, and FIG. 12 shows the experimental results when the ratio of wall suction is 80% and the ratio of floor suction is 20%. is shown. On the other hand, FIG. 13 shows the experimental results with a wall suction ratio of 90% and the floor suction ratio of 10%, and FIG. 14 shows the experimental results with a wall suction ratio of 100% and a floor suction ratio of 0%. showing.

これらの測定結果を見ると、図11及び図12に示した床吸込みの割合が20%以上であれば、清浄度はクラス6の範囲内に入るが、図13及び図14に示した床吸込みの割合が10%以下となると、清浄度は0.3μmの粒径Dにおいてクラス7の清浄度クラスとなることがわかった。すなわち、クラス6を要求される薬品工場や食品工場、機械精密工場において、壁吸込みのみの還気では清浄度を維持することが難しいと考察できる。 Looking at these measurement results, if the rate of floor suction shown in FIGS. It was found that when the ratio of is 10% or less, the cleanliness becomes Class 7 cleanliness class at the particle size D of 0.3 μm. In other words, it can be considered that it is difficult to maintain cleanliness with only return air sucked into the wall in chemical factories, food factories, and machine precision factories where class 6 is required.

また、壁吸込みのみで清浄度を向上させようとすれば、循環風量を増やすことになり、ランニングコストが増加することになるが、床吸込みを取り入れることで、少ない循環風量で清浄度ムラの少ない安定した清浄度空間を確保することができるようになる。 In addition, if you try to improve the cleanliness only by wall suction, you will increase the circulation air volume, which will increase the running cost. It becomes possible to secure a stable cleanliness space.

次に、本実施の形態のクリーン化システムの作用について説明する。
このように構成された本実施の形態のクリーン化システムは、室内10の床面に複数設けられる床吸込口3から取り込まれた水と空気は、床領域の外側に配置された気水分離部4によって分離される。そして、還気経路5を通ってフィルタ部6で清浄化された空気は、再び室内10に供給される。さらに、室内10の圧力を制御するための差圧ダンパ512aが、少なくとも1個の床吸込口3に接続されている。
Next, the operation of the cleaning system of this embodiment will be described.
In the cleaning system of the present embodiment configured as described above, water and air taken in from a plurality of floor suction ports 3 provided on the floor surface of the room 10 are separated by 4. Then, the air cleaned by the filter unit 6 through the return air path 5 is supplied to the room 10 again. Furthermore, a differential pressure damper 512a for controlling the pressure in the room 10 is connected to at least one floor suction port 3.

このように、室内10を流れた空気を還気することで、空調にかかる電気量などが削減できるようになり、ランニングコストを抑えることができる。また、床吸込口3に接続される差圧ダンパ512aを備えているので、室内10を陽圧に保つなどの制御を容易に行うことができる。 By returning the air that has flowed through the room 10 in this manner, the amount of electricity required for air conditioning can be reduced, and the running cost can be suppressed. Further, since the differential pressure damper 512a connected to the floor suction port 3 is provided, it is possible to easily perform control such as keeping the room 10 at a positive pressure.

さらに、床面の床吸込口3から室内10の空気を吸い込む構成とすることで、上述した実験結果で示したように、清浄度の低い空気を効率よく室内10から排出して、室内10の清浄度を高めることができる。また、床吸込口3からの吸込みを行うことで、少ない循環風量で高い清浄度を実現することができる。 Furthermore, by adopting a configuration in which the air in the room 10 is sucked from the floor suction port 3 on the floor surface, as shown in the above-described experimental results, air with low cleanliness is efficiently discharged from the room 10, and the air inside the room 10 is discharged. Cleanliness can be improved. In addition, by sucking air from the floor suction port 3, a high degree of cleanliness can be achieved with a small amount of circulating air.

また、室内10の壁13の下部に還気経路5に接続される吸込口131を設けることで、床吸込口3から室内10の空気のすべてを排出しなくてもよくなる。クリーンルーム1の大きさや用途によっては、循環風量が多くなる場合もあるが、そのようなケースでも、床下の配管33の径が太くなって床12の厚さが増したり、床下空間が高くなってしまったりするのを防ぐことができる。 Further, by providing the suction port 131 connected to the return air path 5 at the lower portion of the wall 13 of the room 10, it is not necessary to exhaust all the air in the room 10 from the floor suction port 3. Depending on the size and use of the clean room 1, the amount of circulating air may increase. It can prevent you from getting bored.

さらに、気水分離部4が空気を上方へ、水を下方へと分離させる構成であれば、室内10から排出された空気と排水とが接触する時間を短くすることができ、還気する空気が排水に含まれる菌などによって汚染されるリスクを低減することができる。 Furthermore, if the air-water separation unit 4 is configured to separate air upward and water downward, the contact time between the air discharged from the room 10 and the waste water can be shortened, and the air to be returned can be shortened. can reduce the risk of contamination by bacteria and the like contained in wastewater.

本実施の形態の床吸込口3では、箱状部31に水が溜まることなく速やかに配管33に水が流れ、配管33に接続する気水分離部4においても、水が溜まることなく速やかに排水が行われるので、さらに衛生的である。 In the floor suction port 3 of the present embodiment, water quickly flows into the pipe 33 without accumulating water in the box-shaped portion 31, and in the air-water separation unit 4 connected to the pipe 33, water can be quickly discharged without accumulating. It is even more hygienic because the water is drained.

また、床吸込口3の箱状部31と気水分離部4との間を複数の配管33によって接続するのであれば、1本当たりの配管33の流量を減らすことが可能になるので、床下の配管33の径が太くなるのを防ぐことができる。 Further, if the box-shaped portion 31 of the floor suction port 3 and the air-water separation portion 4 are connected by a plurality of pipes 33, the flow rate of each pipe 33 can be reduced. It is possible to prevent the diameter of the pipe 33 from increasing.

例えば、コンクリートを打設することによって構築される床12に配管33を埋設する場合は、床12の厚さは配管33の径によって影響を受けることになる。構造的に必要とされる床12の厚さの範囲内に、排水勾配も含めて収まる配管33の径であれば、床12の厚さを抑えることができ、経済的である。また、床下空間に配管33を配置する場合も、配管33の径が細い方が室内10空間を広くすることできるようになる。 For example, when the pipe 33 is buried in the floor 12 constructed by placing concrete, the thickness of the floor 12 is affected by the diameter of the pipe 33 . The thickness of the floor 12 can be reduced if the diameter of the pipe 33 is within the range of the structurally required thickness of the floor 12, including the drainage gradient, and this is economical. Also, when the pipe 33 is arranged in the underfloor space, the smaller the diameter of the pipe 33, the wider the space in the room 10 becomes.

さらに、箱状部31から配管33へのゴミの流入を防ぐゴミ止め部34が設けられることで、床吸込口3に流入した空気と水は、残渣などのゴミから速やかに分離されることになるので、衛生管理上、望ましい状態を保つことができる。また、ゴミ止め部34で堰き止められた残渣などは、グレーチング32を外せば簡単に取り除くことができ、メンテナンスも容易にできる。 Furthermore, by providing the dust stop portion 34 that prevents dust from flowing into the pipe 33 from the box-shaped portion 31, the air and water flowing into the floor suction port 3 are quickly separated from dust such as residue. Therefore, it is possible to maintain a desirable state in terms of hygiene management. Moreover, the residue blocked by the dust stopper 34 can be easily removed by removing the grating 32, and maintenance can be easily performed.

また、還気経路5に風量調整弁511,521,531が設けられていれば、床吸込口3や壁13の吸込口131からの吸込み風量を調整することができる。すなわち、分離後ダクト51の風量調整弁511と壁ダクト52の風量調整弁521とを調整することで、床吸込口3からの吸込み風量を任意に調整できるので、室内10の清浄度を高めるなどのクリーンルーム1の大きさや用途に合った制御が、容易に行えるようになる。例えば、床吸込口3の吸込み風量を20%以上に調整することで、室内10の清浄度を高めることができる。 Further, if the return air path 5 is provided with air volume control valves 511 , 521 , 531 , the volume of air drawn from the floor air intake 3 and the air intake 131 of the wall 13 can be adjusted. That is, by adjusting the air volume adjustment valve 511 of the post-separation duct 51 and the air volume adjustment valve 521 of the wall duct 52, the air volume sucked from the floor suction port 3 can be arbitrarily adjusted. Control suitable for the size and use of the clean room 1 can be easily performed. For example, the cleanliness of the room 10 can be improved by adjusting the amount of air drawn in through the floor suction port 3 to 20% or more.

さらに、還気経路5を流れる空気の一部を、空調経由ダクト54を通して空調機8を経由させることで、室内10に還気させる空気の温度と湿度を、適切な状態に調整することが容易にできる。特に、循環風量が安定している場合は、空調機8を最大限に稼働させる必要がなくなり、ランニングコストの低減を図ることができる。 Furthermore, by passing part of the air flowing through the return air path 5 through the air conditioner 8 through the air conditioning route duct 54, it is easy to adjust the temperature and humidity of the air returned to the room 10 to an appropriate state. can be In particular, when the circulating air volume is stable, there is no need to operate the air conditioner 8 to the maximum, and the running cost can be reduced.

以上、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。 Although the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to this embodiment. Included in the invention.

例えば、前記実施の形態では、床吸込口3に繋がる分離後ダクト51と壁ダクト52との両方に風量調整弁511,521を設ける場合について説明したが、これに限定されるものではなく、いずれか一方にだけ風量調整弁を設けることもできる。また、複数ある床吸込口3に通じる一部の分離後ダクト51にのみ、風量調整弁511を設けることもできる。 For example, in the above-described embodiment, the case where the air volume adjustment valves 511 and 521 are provided in both the post-separation duct 51 and the wall duct 52 connected to the floor suction port 3 has been described. Only one of them may be provided with an air volume control valve. Alternatively, the air volume adjustment valves 511 may be provided only in some of the post-separation ducts 51 that communicate with the plurality of floor suction ports 3 .

また、前記実施の形態では、床吸込口3によって排水を行う場合について説明したが、クリーンルーム1の排水設備として、床吸込口3だけでなく、別途、排水用側溝などを室内10に設けることもできる。 Further, in the above-described embodiment, the case of draining water through the floor suction port 3 has been described. can.

さらに、前記実施の形態で説明した1個の床吸込口3あたりの配管33の数や気水分離部4の構成は一例であり、これに限定されるものではなく、例えば気水分離部には3本以外の数の配管が接続される構成であってもよい。 Furthermore, the number of pipes 33 per one floor suction port 3 and the configuration of the air-water separator 4 described in the above embodiment are merely examples, and are not limited to these. may be configured to connect a number of pipes other than three.

1 :クリーンルーム
10 :室内
11 :天井
12 :床
13 :壁
131 :吸込口
2 :給気部
3 :床吸込口
31 :箱状部
33 :配管
34 :ゴミ止め部
4 :気水分離部
42,42A:排出管
43 :排水管
5 :還気経路
511 :風量調整弁
512a :差圧ダンパ
521 :風量調整弁
6 :フィルタ部
1 : Clean room 10 : Indoor 11 : Ceiling 12 : Floor 13 : Wall 131 : Suction port 2 : Air supply section 3 : Floor suction port 31 : Box-shaped section 33 : Piping 34 : Dust trap section 4 : Air-water separation section 42, 42A: discharge pipe 43: drainage pipe 5: return air path 511: air volume adjustment valve 512a: differential pressure damper 521: air volume adjustment valve 6: filter unit

Claims (8)

室内の空気の清浄度を保つためのクリーン化システムであって、
前記室内の天井側から床面に向けて空気を供給する給気部と、
前記室内の床面に複数設けられる床吸込口と、
前記室内の床が設けられる床領域の外側に配置されて前記床吸込口から取り込まれた水と空気とを分離する気水分離部と、
前記気水分離部で分離された空気を前記室内に戻すための還気経路と、
前記給気部に送られる空気を清浄化させるフィルタ部と、
前記室内の圧力を制御するために前記床吸込口に接続される差圧ダンパとを備えたことを特徴とするクリーン化システム。
A cleaning system for keeping indoor air clean,
an air supply unit that supplies air from the ceiling side of the room toward the floor;
a plurality of floor suction ports provided on the floor surface of the room;
a steam-water separation unit arranged outside a floor area in which the floor of the room is provided and separating air and water taken in from the floor suction port;
a return air path for returning the air separated by the air-water separator into the room;
a filter unit that purifies the air sent to the air supply unit;
and a differential pressure damper connected to the floor inlet for controlling the pressure in the chamber.
前記室内の壁の下部には、前記還気経路に接続される吸込口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のクリーン化システム。 2. A cleaning system according to claim 1, wherein a suction port connected to said return air path is provided at a lower portion of said room wall. 前記気水分離部によって、空気は上方に水は下方に分離されることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーン化システム。 3. The cleaning system according to claim 1, wherein the air is separated upward and water is separated downward by the air-water separator. 前記床吸込口には箱状部が配置されるとともに、前記箱状部と前記気水分離部との間は、複数の配管によって接続されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のクリーン化システム。 4. The floor suction port is provided with a box-shaped portion, and the box-shaped portion and the steam separator are connected by a plurality of pipes. A cleaning system according to item 1. 前記箱状部から前記配管へのゴミの流入を防ぐゴミ止め部を有することを特徴とする請求項4に記載のクリーン化システム。 5. A cleaning system according to claim 4, further comprising a dust stopper for preventing dust from flowing into said pipe from said box-like portion. 前記還気経路には、風量調整弁が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のクリーン化システム。 6. The cleaning system according to any one of claims 1 to 5, wherein the return air path is provided with an air volume control valve. 前記還気経路を流れる空気の一部を空調機を経由させることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のクリーン化システム。 7. A cleaning system according to any one of claims 1 to 6, wherein part of the air flowing through said return air path is routed through an air conditioner. 前記床吸込口から取り込まれる空気の量は、前記室内から排出される空気の量の20%以上であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のクリーン化システム。 8. A cleaning system according to any one of claims 1 to 7, wherein the amount of air taken in from said floor suction port is 20% or more of the amount of air discharged from said room.
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