JP2023018419A - Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool - Google Patents

Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool Download PDF

Info

Publication number
JP2023018419A
JP2023018419A JP2021122537A JP2021122537A JP2023018419A JP 2023018419 A JP2023018419 A JP 2023018419A JP 2021122537 A JP2021122537 A JP 2021122537A JP 2021122537 A JP2021122537 A JP 2021122537A JP 2023018419 A JP2023018419 A JP 2023018419A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
polishing
polishing tool
tool
grains
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021122537A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
良吾 馬路
Ryogo Umaji
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Abrasive Systems Ltd filed Critical Disco Abrasive Systems Ltd
Priority to JP2021122537A priority Critical patent/JP2023018419A/en
Publication of JP2023018419A publication Critical patent/JP2023018419A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

To provide a manufacturing method of a polishing tool usable for polishing the surface of a metal or a ceramic; and to provide a polishing tool.SOLUTION: A manufacturing method of a polishing tool 1 includes a molding step for supplying glass particles into a mold in which the shape of a gripping part 4 is set, and molding the glass particles into a desired shape, and a firing step for heating the glass particle at a temperature over a softening point and below a melting point of the glass particle, after the molding step, and finishing heating in the state where bubbles are dispersed in gaps between the glass particles and remain there, to thereby form a glass block (tool body 2) as the polishing tool 1.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、金属またはセラミックスの面の研磨に使用される研磨工具の製造方法及び研磨工具に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing an abrasive tool used for polishing metal or ceramic surfaces, and the abrasive tool.

金属やセラミックスの表面を加工すると、微小な凹凸やバリとよばれる微小な突起が表面に生じることがある。そのような凹凸やバリを表面から除去するために使用される研磨砥石として、アルカンサス砥石が知られている。アルカンサス砥石は、例えば、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置において、被加工物を保持するチャックテーブルの保持面のバリや付着した屑を擦って除去したり、チャックテーブルを支持するテーブルベースを作業者の手で研磨する洗浄に使用される(特許文献1参照)。 When the surface of metals and ceramics is processed, minute irregularities and minute protrusions called burrs may occur on the surface. An Arkansas whetstone is known as a whetstone used to remove such irregularities and burrs from the surface. Arkansas grindstones are used, for example, in processing equipment for processing workpieces such as semiconductor wafers, to scrape and remove burrs and adhering dust on the holding surface of a chuck table that holds the workpiece, and to support the chuck table. It is used for washing the table base manually by an operator (see Patent Document 1).

特開平10-166268号公報JP-A-10-166268

アルカンサス砥石は、アメリカ合衆国のアーカンソー州で産出される天然のオイルストーンである。アルカンサス砥石は、天然の産出物であるため、高価で貴重であり、また、性質が不均一となりやすく個体差も大きい。そこで、アルカンサス砥石の代用品として使用できる研磨砥石や、アルカンサス砥石よりもばらつきの少ない高品質な研磨砥石が求められている。 Arkansas whetstones are natural oilstones from Arkansas, USA. Arkansas whetstones are natural products, so they are expensive and valuable. Therefore, there is a demand for a polishing whetstone that can be used as a substitute for the Arkansas whetstone and a high-quality polishing whetstone with less variation than the Arkansas whetstone.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、金属やセラミックスの表面の研磨に使用できる新たな研磨工具の製造方法及び研磨工具を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a new method for manufacturing a polishing tool and a polishing tool that can be used for polishing the surface of metals and ceramics.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の研磨工具の製造方法は、把持部を有する研磨工具の製造方法であって、把持部の形状が設定された型枠にガラス粒を供給し、所望の形状に成形する成形ステップと、該成形ステップ後、該ガラス粒の軟化点を超え融点未満の温度で該ガラス粒を加熱し、該ガラス粒間の隙間に気泡が分散して残存した状態で加熱を終了し、研磨工具となるガラスブロックを形成する焼成ステップと、を備えたものである。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a method for manufacturing a polishing tool having a gripping portion, wherein glass grains are placed in a mold in which the shape of the gripping portion is set. and a molding step of molding into a desired shape, and after the molding step, the glass grains are heated at a temperature exceeding the softening point of the glass grains and less than the melting point, so that bubbles are dispersed in the gaps between the glass grains. and a baking step of finishing the heating in the state where the glass remains and forming a glass block to be a polishing tool.

該焼成ステップ実施後の該ガラスブロックは、気孔率が2%以上8%以下であってもよい。 The glass block after performing the firing step may have a porosity of 2% or more and 8% or less.

該焼成ステップ実施後、研磨対象物に接触して研磨する作用面を研磨し、表面粗さ(Ra)が0.2μm以上、1.5μm以下にする研磨ステップを備えてもよい。 After performing the baking step, a polishing step may be provided in which the working surface to be polished in contact with the object to be polished is polished to have a surface roughness (Ra) of 0.2 μm or more and 1.5 μm or less.

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の研磨工具は、金属又はセラミックスの面を研磨するための研磨工具であって、表面粗さ(Ra)が0.2μm以上1.5μm以下で、気孔率が2%以上8%以下であり、把持部が形成されたガラスブロックで構成されているものである。 Further, in order to solve the above-described problems and achieve the object, the polishing tool of the present invention is a polishing tool for polishing the surface of metal or ceramics, and has a surface roughness (Ra) of 0.2 μm or more. It is made of a glass block having a thickness of 1.5 μm or less, a porosity of 2% or more and 8% or less, and having a grip portion formed thereon.

該研磨工具は、砥粒を含まなくてもよい。 The abrasive tool may be free of abrasive grains.

本発明は、金属やセラミックスの表面の研磨に使用できる。 The present invention can be used for polishing metal and ceramic surfaces.

図1は、実施形態に係る研磨工具の一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a polishing tool according to an embodiment. 図2は、実施形態に係る研磨工具の製造方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flow chart showing an example of the procedure of the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment. 図3は、図2の成形ステップを説明する断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the molding step of FIG. 2; 図4は、図2の成形ステップで使用する型枠を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a mold used in the molding step of FIG. 2; FIG. 図5は、図2の焼成ステップを説明する断面図である。5 is a cross-sectional view illustrating the firing step of FIG. 2. FIG. 図6は、図2の研磨ステップを説明する斜視図である。6 is a perspective view illustrating the polishing step of FIG. 2. FIG. 図7は、図2の研磨ステップを説明する断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view explaining the polishing step of FIG. 図8は、変形例に係る研磨工具の一例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing an example of a polishing tool according to a modification.

本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る研磨工具の製造方法及び研磨工具1を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る研磨工具の一例である研磨工具1を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る研磨工具の製造方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。図3は、図2の成形ステップ1001を説明する断面図である。図4は、図2の成形ステップ1001で使用する型枠の一例である型枠10を示す断面図である。図5は、図2の焼成ステップ1002を説明する断面図である。図6は、図2の研磨ステップ1003を説明する斜視図である。図7は、図2の研磨ステップ1003を説明する断面図である。
[Embodiment]
A method for manufacturing a polishing tool and a polishing tool 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a polishing tool 1 that is an example of a polishing tool according to an embodiment. FIG. 2 is a flow chart showing an example of the procedure of the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view explaining the molding step 1001 of FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a mold 10, which is an example of a mold used in the forming step 1001 of FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the firing step 1002 of FIG. FIG. 6 is a perspective view explaining the polishing step 1003 of FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the polishing step 1003 of FIG.

実施形態に係る研磨工具1は、図2に示す実施形態に係る研磨工具の製造方法により製造され、図1に示すように、工具本体2と、作用面3と、把持部4とを有する。実施形態に係る研磨工具1の研磨対象物は、本実施形態では、例えば、金属やセラミックスの表面であり、具体的には、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置において被加工物を保持するチャックテーブルの保持面や、チャックテーブルを支持するテーブルベースの表面である。 A polishing tool 1 according to the embodiment is manufactured by the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment shown in FIG. The object to be polished by the polishing tool 1 according to the embodiment is, in this embodiment, for example, the surface of metal or ceramics. They are the holding surface of the chuck table to be held and the surface of the table base that supports the chuck table.

工具本体2は、本実施形態では、図1に示すように、概ね矩形状に形成されたガラスブロックである。工具本体2は、内部に気孔を有し、本実施形態では、工具本体2の全体積中の気孔が占める体積の割合である気孔率が2%以上8%以下である。このため、工具本体2は、内部で気孔が適度な大きさで適度に分散される。工具本体2は、気孔率が2%以上であるため、研磨工具1の研磨対象物を研磨する際に使用される潤滑液を適度に保持することができる。工具本体2は、気孔率が8%以下であるため、気孔同士が工具本体2内で適度に分離され、潤滑液が工具本体2の内部に浸透し過ぎずに、必要な量の潤滑液が表面(作用面3)に残って作用しやすい状態にすることができる。 In this embodiment, the tool body 2 is a glass block formed in a substantially rectangular shape, as shown in FIG. The tool body 2 has pores inside, and in this embodiment, the porosity, which is the ratio of the volume occupied by the pores to the total volume of the tool body 2, is 2% or more and 8% or less. For this reason, the tool body 2 has pores of an appropriate size and is appropriately dispersed therein. Since the tool body 2 has a porosity of 2% or more, it can appropriately retain the lubricating liquid used when polishing the object to be polished by the polishing tool 1 . Since the tool body 2 has a porosity of 8% or less, the pores are appropriately separated within the tool body 2, and the lubricating liquid does not penetrate excessively into the tool body 2, and a necessary amount of the lubricating liquid is supplied. It can remain on the surface (action surface 3) to make it easy to act.

なお、気孔率が2%未満である場合、潤滑液を適度に保持しにくくなるおそれがある。また、気孔率が8%を超える場合、気孔同士が内部で連結されてしまうので、潤滑液が内部に浸透しやすくなり、必要な量の潤滑液が表面に残りにくく作用しにくい状態になるおそれがある。気孔率が8%を超える場合、さらに、作用面に露出する気孔が研磨工具の研磨対象物のバリなどに当たりやすくなることにより、研磨工具の加工品質が低下しやすくなるおそれがある。 If the porosity is less than 2%, it may become difficult to retain the lubricating liquid appropriately. In addition, if the porosity exceeds 8%, the pores will be connected inside, so the lubricating liquid will easily penetrate inside, and the necessary amount of lubricating liquid will not easily remain on the surface. There is If the porosity exceeds 8%, the pores exposed on the working surface are more likely to hit burrs on the object to be polished of the polishing tool, and the processing quality of the polishing tool may be likely to deteriorate.

作用面3は、研磨工具1の研磨対象物に接触して研磨する面であり、工具本体2の互いに表裏の関係になる一対の面(図1では上面及び底面)に、それぞれ互いに平行に形成される。作用面3は、本実施形態では、表面粗さ(Ra)が0.2μm以上、1.5μm以下に形成される。ここで、表面粗さ(Ra)は、日本産業規格の表面粗さ(JIS B 0601:1994, JIS B 0031:1994)に基づいて定義された輪郭曲線要素の算術平均高さ(Ra)であり、基準長さにおける高さの平均線から粗さ曲線までの偏差の絶対値の平均値である。また、作用面3は、研磨工具1が砥粒を含まないため、平坦性が極めて高くなり、金属やセラミックスなどの研磨対象物を研磨してもスクラッチ等の損傷が被研磨面に生じるおそれがない。 The working surface 3 is a surface of the polishing tool 1 that contacts and polishes an object to be polished. be done. The working surface 3 is formed to have a surface roughness (Ra) of 0.2 μm or more and 1.5 μm or less in this embodiment. Here, the surface roughness (Ra) is the arithmetic mean height (Ra) of contour curve elements defined based on the surface roughness of Japanese Industrial Standards (JIS B 0601: 1994, JIS B 0031: 1994). , is the mean of the absolute values of the deviations from the height mean line at the reference length to the roughness curve. In addition, since the polishing tool 1 does not contain abrasive grains, the working surface 3 has extremely high flatness, and even if an object to be polished such as metal or ceramics is polished, damage such as scratches may occur on the surface to be polished. do not have.

把持部4は、研磨工具1で研磨対象物を研磨する作業者(人間)が把持する部分であり、工具本体2の作用面3以外の互いに表裏の関係になる一対の面(図1では左手前側及び右奥側の側面)に、それぞれ作業者の手の指腹側(素手もしくは手袋などの保護具を介して)で把持しやすい形状に形成される。把持部4は、具体的には、凹凸を有し、好ましくは曲面を有する。把持部4の凹凸は、例えば、作業者の手の指腹側との間に摩擦力をもたらす形状、もしくは、作業者の手の指腹側にひっかかる形状に形成され、作業者が手の指腹側で把持部4を把持することにより研磨工具1をよりしっかりと把持することを可能にする。把持部4の曲面は、例えば、図1に示すように、作用面3に直交する方向に延びて、作業者の手の指腹側において指の延びる方向に交差する方向の凸曲面に対応した凹曲面に形成され、作業者が手の指腹側で把持部4を把持することにより、作業者の手の指腹側のこの凸曲面とこの凹曲面とが概ね嵌め合わされるように接触して、研磨工具1をさらにしっかりと把持して、作用面3で研磨対象物を適切な圧力で安定して研磨することを可能にする。 The grip portion 4 is a portion that is gripped by an operator (human) who polishes an object to be polished with the polishing tool 1, and is a pair of surfaces (the left hand in FIG. The front side and the right rear side) are formed in shapes that are easy to grip with the finger pads of the operator's hands (bare hands or via protective equipment such as gloves). Specifically, the grip portion 4 has unevenness, preferably a curved surface. The unevenness of the grip part 4 is formed, for example, in a shape that creates a frictional force with the finger pad side of the operator's hand, or in a shape that catches the finger pad side of the operator's hand. By gripping the gripping portion 4 on the ventral side, it is possible to grip the polishing tool 1 more firmly. For example, as shown in FIG. 1, the curved surface of the grip portion 4 extends in a direction orthogonal to the action surface 3 and corresponds to a convex curved surface in a direction intersecting the direction in which the fingers extend on the finger pad side of the operator's hand. It is formed in a concave curved surface, and when the operator grips the gripping part 4 with the finger pad side of the hand, the convex curved surface and the concave curved surface on the finger pad side of the operator's hand come into contact with each other so that they are generally fitted. , the polishing tool 1 can be gripped more firmly, and the work surface 3 can be stably polished with an appropriate pressure.

次に、本明細書は、実施形態に係る研磨工具の製造方法の動作を、図面を用いて説明する。実施形態に係る研磨工具の製造方法は、図1に示す実施形態に係る研磨工具1を製造する方法であり、図2に示すように、成形ステップ1001と、焼成ステップ1002と、研磨ステップ1003と、を備える。 Next, this specification demonstrates operation|movement of the manufacturing method of the abrasive tool which concerns on embodiment using drawing. The method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment is a method for manufacturing the polishing tool 1 according to the embodiment shown in FIG. 1. As shown in FIG. , provided.

成形ステップ1001は、図3に示すように、把持部4の形状が設定された型枠10にガラス粒100を供給し、所望の形状に成形するステップである。ここで、成形ステップ1001で使用する型枠10は、後述する焼成ステップ1002で形成される高温環境下で十分な熱耐性を有し、なおかつ、この環境下でガラス粒100と化学的に反応せず、ガラス粒100と接続しない材料で形成されている。また、成形ステップ1001で使用する型枠10は、図4に示すように、作用面3及び把持部4を有する研磨工具1の外面形状に対応した凹状の型面11が形成されている。すなわち、型枠10の型面11は、把持部4に対応した把持部対応曲面14を有する。 The forming step 1001 is, as shown in FIG. 3, a step of supplying the glass grains 100 to the mold 10 in which the shape of the grip portion 4 is set and forming it into a desired shape. Here, the formwork 10 used in the forming step 1001 has sufficient heat resistance under the high-temperature environment formed in the firing step 1002 described later, and does not chemically react with the glass grains 100 under this environment. It is formed of a material that does not connect with the glass grains 100 . As shown in FIG. 4, the mold 10 used in the molding step 1001 has a concave mold surface 11 corresponding to the outer surface shape of the polishing tool 1 having the working surface 3 and the gripping portion 4 . That is, the mold surface 11 of the mold 10 has a gripping portion corresponding curved surface 14 corresponding to the gripping portion 4 .

成形ステップ1001では、具体的には、ガラス粒100を所定の容器20から型枠10に供給して、例えばガラス粒100を供給した型枠10に振動を与えるなどして、型枠10に供給したガラス粒100の上面を平坦にならすとともにガラス粒100間に余分な空間を除去してガラス粒100を均質化することにより、ガラス粒100の外面側が、凹状の型面11の形状に応じて、作用面3及び把持部4を有する研磨工具1の外面形状に成形される。 Specifically, in the forming step 1001 , the glass grains 100 are supplied from a predetermined container 20 to the mold frame 10 , and the glass grains 100 are supplied to the mold frame 10 by, for example, vibrating the mold frame 10 to which the glass grains 100 are supplied. By homogenizing the glass grains 100 by flattening the upper surfaces of the glass grains 100 and removing the excess space between the glass grains 100, the outer surface side of the glass grains 100 is formed according to the shape of the concave mold surface 11. , the shape of the outer surface of the abrasive tool 1 with the working surface 3 and the gripping portion 4 .

成形ステップ1001で供給されるガラス粒100は、材質が、例えば、ソーダガラス、長石、またはホウケイ酸ガラス等である。ガラス粒100は、全体の90体積%以上が、球形またはそれに近い形状であり、すなわち真球度が所定の閾値以下である。ガラス粒100は、球またはそれに近い形状でないものが一部あってもよい。また、ガラス粒100は、全体の90体積%以上が、粒径が50μm以上150μm以下である。ガラス粒100は、粒径が50μm以上150μm以下の範囲から外れたものが一部あってもよい。なお、ガラス粒100の粒径の表し方には、幾何学的径、相当径等の既知の手法がある。幾何学的径には、フェレー(Feret)径、定方向最大径(即ち、Krummbein径)、Martin径、ふるい径等があり、相当径には、投影面積円相当径(即ち、Heywood径)、等表面積球相当径、等体積球相当径、ストークス径、光散乱径等がある。 The glass grains 100 supplied in the forming step 1001 are made of, for example, soda glass, feldspar, or borosilicate glass. 90% by volume or more of the glass grains 100 are spherical or nearly spherical, that is, the sphericity is equal to or less than a predetermined threshold. Some of the glass grains 100 may not be spherical or nearly spherical. Further, 90% by volume or more of the glass particles 100 have a particle size of 50 μm or more and 150 μm or less. Some of the glass grains 100 may have a particle size outside the range of 50 μm or more and 150 μm or less. It should be noted that there are known techniques such as geometric diameter and equivalent diameter for expressing the particle size of the glass grain 100 . Geometric diameters include Feret diameter, unidirectional maximum diameter (i.e., Krummbein diameter), Martin diameter, sieve diameter, etc. Equivalent diameters include projected area circle equivalent diameter (i.e., Heywood diameter) Equivalent surface area sphere equivalent diameter, equivalent volume sphere equivalent diameter, Stokes diameter, light scattering diameter, etc.

なお、ガラス粒が、球形またはそれに近い形状でないものが一定体積(10体積%)以上含まれている場合、この球形から大きく外れたガラス粒によってガラス粒の間にいびつな形状の隙間に気泡が形成されてしまうことに伴い、後の加熱及び焼成により、工具本体の内部に適度な大きさで適度に分散された気孔が形成されにくくなるおそれがある。また、ガラス粒が、粒径が150μmより大きいものが一定体積(10体積%)以上含まれている場合、この大きなガラス粒によってガラス粒の間の大きな隙間に気泡が形成されてしまうことに伴い、後の加熱及び焼成により、工具本体の内部で隣接する気孔同士が互いに接続してしまい、工具本体の内部に適度な大きさで適度に分散された気孔が形成されにくくなるおそれがある。このように、後の加熱及び焼成により、工具本体の内部に適度な大きさで適度に分散された気孔が形成されない場合、最終的に製造される研磨工具が、研磨対象物を研磨する際に使用される潤滑液を適度に保持しにくくなったり、逆に潤滑液が工具本体の内部に浸透し過ぎて必要な量の潤滑液が表面に残らなくなってしまったりするおそれがある。また、ガラス粒が、粒径が50μm未満のものが一定体積(10体積%)以上含まれている場合、成形ステップ等でのガラス粒の取扱いが困難となり、ガラス粒が型枠内に適切に収まりにくくなるおそれがある。 When the glass grains that are not spherical or nearly spherical are included in a certain volume (10% by volume) or more, the glass grains that deviate greatly from the spherical shape cause air bubbles to form in the distorted gaps between the glass grains. As a result of the formation of such pores, it may become difficult to form pores of appropriate size and appropriate distribution inside the tool body by subsequent heating and firing. In addition, when glass grains having a particle size of more than 150 μm are contained in a certain volume (10% by volume) or more, the large glass grains form air bubbles in large gaps between the glass grains. Due to subsequent heating and baking, adjacent pores inside the tool body may connect with each other, making it difficult to form pores of appropriate size and moderate distribution inside the tool body. In this way, if the post-heating and firing does not form pores of a suitable size and a suitable distribution inside the tool body, the finally produced abrasive tool will not be able to produce sufficient results when polishing the object to be polished. It may become difficult to retain the lubricating liquid to be used appropriately, or conversely, the lubricating liquid may permeate too much into the tool body and the necessary amount of lubricating liquid may not remain on the surface. In addition, if the glass grains with a particle size of less than 50 μm are included in a certain volume (10% by volume) or more, it becomes difficult to handle the glass grains in the molding step, etc., and the glass grains are not properly placed in the mold. It may become difficult to fit.

焼成ステップ1002は、図5に示すように、成形ステップ1001後、ガラス粒100の軟化点を超え融点未満の温度でガラス粒100を加熱し、ガラス粒100間の隙間に気泡が分散して残存した状態で加熱を終了し、研磨工具1となるガラスブロックを形成するステップである。焼成ステップ1002では、まず、型枠10の成形ステップ1001でガラス粒100を供給した上方を蓋体12で閉じた後、ガラス粒100を型枠10及び蓋体12ごと、加熱炉30内に入れる。ここで、蓋体12は、前述の型枠10と同様の性質を有する材料、例えば型枠10と同じ材料で形成されている。 In the firing step 1002, as shown in FIG. 5, after the molding step 1001, the glass grains 100 are heated to a temperature above the softening point of the glass grains 100 and below the melting point, so that air bubbles are dispersed and remain in the gaps between the glass grains 100. In this step, the heating is terminated in this state, and a glass block to be the polishing tool 1 is formed. In the firing step 1002 , first, the lid 12 is closed above the glass grains 100 supplied in the molding step 1001 of the mold 10 , and then the glass grains 100 are put into the heating furnace 30 together with the mold 10 and the lid 12 . . Here, the lid body 12 is made of a material having properties similar to those of the formwork 10 described above, for example, the same material as that of the formwork 10 .

焼成ステップ1002では、ガラス粒100を型枠10及び蓋体12ごと加熱炉30内に入れた後に、加熱炉30により、ガラス粒100の軟化点を超え融点未満の温度で、ガラス粒100を型枠10及び蓋体12ごと所定時間加熱することにより焼成する。ここで、ガラス粒100の軟化点は、温度を上昇させていったときにガラス粒100が変形し始める際の温度である。ガラス粒100の軟化点は、ガラス粒100の材質や構造等の性質により異なり、融点よりも低い温度である。焼成ステップ1002では、この加熱及び焼成により、ガラス粒100が軟化して隣接するガラス粒100と接触することにより、隣接するガラス粒100間が部分的に接続されて全体として一体化されて、型枠10の凹状の型面11の形状に応じた形状の、作用面3及び把持部4が形成された工具本体2のガラスブロックが形成される。 In the firing step 1002, after the glass grains 100 are put into the heating furnace 30 together with the mold 10 and the lid 12, the glass grains 100 are molded by the heating furnace 30 at a temperature exceeding the softening point of the glass grains 100 and less than the melting point. The frame 10 and lid 12 are heated together for a predetermined period of time to bake. Here, the softening point of the glass grain 100 is the temperature at which the glass grain 100 begins to deform when the temperature is increased. The softening point of the glass grain 100 varies depending on the properties such as the material and structure of the glass grain 100, and is lower than the melting point. In the firing step 1002, the heating and firing soften the glass grains 100 and bring them into contact with the adjacent glass grains 100, thereby partially connecting the adjacent glass grains 100 and integrating them as a whole, forming a mold. A glass block of the tool body 2 having the working surface 3 and the gripping portion 4 is formed in a shape corresponding to the shape of the concave mold surface 11 of the frame 10 .

焼成ステップ1002では、また、この加熱及び焼成により、ガラス粒100の間の空間が互いに接続するガラス粒100によって適度に分離されて、工具本体2の内部に適度な大きさで適度に分散された気孔が形成され、この結果、工具本体2のガラスブロックの気孔率が2%以上8%以下となる。焼成ステップ1002では、また、成形ステップ1001で型枠10に意図的に砥粒を供給や添加しておらず、成形ステップ1001で供給したガラス粒100のみを加熱及び焼成するので、これにより形成される工具本体2のガラスブロックは、砥粒を含まないものとなる。 In the firing step 1002, the heating and firing also caused the spaces between the glass grains 100 to be appropriately separated by the glass grains 100 connected to each other, so that the glass grains 100 were appropriately sized and dispersed inside the tool body 2. Pores are formed, and as a result, the porosity of the glass block of the tool body 2 is 2% or more and 8% or less. In the firing step 1002, no abrasive grains are intentionally supplied or added to the mold 10 in the forming step 1001, and only the glass grains 100 supplied in the forming step 1001 are heated and fired. The glass block of the tool body 2 does not contain abrasive grains.

焼成ステップ1002では、具体的には、ガラス粒100の材質がソーダガラスである場合、720℃より高く1000℃未満の温度でガラス粒100を加熱する。また、ガラス粒100が長石である場合、900℃より高く1350℃未満の温度でガラス粒100を加熱する。さらに、ガラス粒100がホウケイ酸ガラスである場合、820℃より高く1250℃未満の温度でガラス粒100を加熱する。 Specifically, in the baking step 1002, when the material of the glass grains 100 is soda glass, the glass grains 100 are heated at a temperature higher than 720°C and lower than 1000°C. When the glass grain 100 is feldspar, the glass grain 100 is heated at a temperature higher than 900°C and lower than 1350°C. Furthermore, when the glass grains 100 are borosilicate glass, the glass grains 100 are heated at a temperature higher than 820°C and lower than 1250°C.

なお、ガラス粒を軟化点以下の温度で加熱した場合、ガラス粒が十分に変形されず、ガラス粒を接続して一体化させにくいため、工具本体のガラスブロックが形成されにくくなるおそれがある。ガラス粒を融点以上の温度で加熱した場合、ガラス粒の間の空間が溶融したガラス粒によって埋められてしまうため、適度な大きさで適度に分散された気孔が形成されにくくなるおそれがある。 When the glass particles are heated at a temperature below the softening point, the glass particles are not sufficiently deformed, and it is difficult to connect and integrate the glass particles, which may make it difficult to form the glass block of the tool body. When the glass particles are heated at a temperature equal to or higher than the melting point, the spaces between the glass particles are filled with the melted glass particles, which may make it difficult to form appropriately dispersed pores of appropriate sizes.

焼成ステップ1002で加熱炉30によりガラス粒100を加熱する所定時間は、本実施形態では、例えば1時間以上2時間以内である。なお、ガラス粒を加熱する時間が短過ぎる場合、ガラス粒が十分に変形されず、ガラス粒を接続して一体化させにくいため、工具本体のガラスブロックが形成されにくくなるおそれがある。また、ガラス粒を加熱する時間が長過ぎる場合、ガラス粒が変形され過ぎてしまい、ガラス粒の間の空間が変形され過ぎたガラス粒によって埋められてしまうため、適度な大きさで適度に分散された気孔が形成されにくくなるおそれがある。 The predetermined time for heating the glass grains 100 by the heating furnace 30 in the baking step 1002 is, for example, one hour or more and two hours or less in this embodiment. If the heating time of the glass grains is too short, the glass grains are not sufficiently deformed and it is difficult to connect and integrate the glass grains, which may make it difficult to form the glass block of the tool body. In addition, if the glass grains are heated for too long, the glass grains are deformed too much, and the space between the glass grains is filled with the excessively deformed glass grains. There is a possibility that it may become difficult to form the pores that are formed.

焼成ステップ1002では、ガラス粒100の粒径と、加熱する温度と、加熱する時間に基づいて、工具本体2のガラスブロックの気孔率が決定する。このため、焼成ステップ1002では、成形ステップ1001で供給するガラス粒100の粒径と、焼成ステップ1002での加熱温度と、焼成ステップ1002での加熱時間とを厳格に管理することで、従来の天然のアルカンサス砥石に対して、工具本体2のガラスブロックの気孔率のばらつきを低減することができる。 In the baking step 1002, the porosity of the glass block of the tool body 2 is determined based on the particle size of the glass grains 100, the heating temperature, and the heating time. For this reason, in the firing step 1002, by strictly controlling the particle size of the glass grains 100 supplied in the forming step 1001, the heating temperature in the firing step 1002, and the heating time in the firing step 1002, the conventional natural It is possible to reduce the variation in the porosity of the glass block of the tool body 2 with respect to the Arkansas grindstone.

焼成ステップ1002で、ガラス粒100を加熱及び焼成した後、ガラス粒100を型枠10及び蓋体12とともに加熱炉30から取り出し、蓋体12を開けて型枠10から、ガラス粒100が焼成されることにより形成された、工具本体2のガラスブロックを取り出す。本実施形態では、型枠10が組み立て及び分解が可能に構成されており、型枠10を分解することにより、焼成ステップ1002で形成した工具本体2のガラスブロックを取り出すが、本発明ではこれに限定されず、型枠10を破壊して焼成ステップ1002で形成した工具本体2のガラスブロックを取り出してもよい。 In the firing step 1002, after the glass grains 100 are heated and fired, the glass grains 100 are taken out together with the mold 10 and the lid 12 from the heating furnace 30, the lid 12 is opened, and the glass grains 100 are fired from the mold 10. The glass block of the tool body 2 is taken out. In this embodiment, the formwork 10 is configured to be assembled and disassembled, and by disassembling the formwork 10, the glass block of the tool body 2 formed in the firing step 1002 is taken out. Without limitation, the mold 10 may be broken to remove the glass block of the tool body 2 formed in the firing step 1002 .

ここで取り出された工具本体2のガラスブロックは、型枠10の凹状の型面11の形状に応じた形状を有しており、すなわち作用面3及び把持部4が形成されており、内部の気孔率が2%以上8%以下であり、砥粒を含まないものとなる。ここで、取り出された工具本体2のガラスブロックは、一方の作用面3が型枠10の凹状の型面11の底面に応じて形成され、他方の作用面3が成形ステップ1001で平坦にならされたガラス粒100の上面に基づいて形成されており、後述する研磨ステップ1003を実施して一対の作用面3を適切に研磨して平坦かつ互いに平行にすることで、研磨工具1として使用可能なものとなる。 The glass block of the tool body 2 taken out here has a shape corresponding to the shape of the concave mold surface 11 of the mold 10, that is, the working surface 3 and the gripping portion 4 are formed, and the internal It has a porosity of 2% or more and 8% or less and does not contain abrasive grains. Here, the removed glass block of the tool body 2 has one working surface 3 formed according to the bottom surface of the concave mold surface 11 of the mold 10 and the other working surface 3 flattened in the forming step 1001 . It is formed based on the upper surfaces of the glass grains 100 that have been ground, and can be used as the polishing tool 1 by performing a polishing step 1003 to be described later to properly polish the pair of working surfaces 3 to make them flat and parallel to each other. become something.

研磨ステップ1003は、図6及び図7に示すように、焼成ステップ1002実施後、研磨対象物に接触して研磨する作用面3を研磨し、表面粗さ(Ra)が0.2μm以上、1.5μm以下にすることで、実施形態に係る研磨工具1を得るステップである。研磨ステップ1003では、具体的には、まず、工具本体2のガラスブロックと厚みが同じもしくは少し薄いキャリア41で焼成ステップ1002実施後に取り出した工具本体2のガラスブロックの把持部4を含む側面を保持することにより、工具本体2のガラスブロックを一対の作用面3を共に露出した状態で保持する。研磨ステップ1003では、このように工具本体2のガラスブロックが把持部4を有するので、キャリア41で工具本体2のガラスブロックを安定して保持しやすい。 In the polishing step 1003, as shown in FIGS. 6 and 7, after the baking step 1002 is performed, the working surface 3 to be polished in contact with the object to be polished is polished so that the surface roughness (Ra) is 0.2 μm or more, 1 μm or more. This is the step of obtaining the polishing tool 1 according to the embodiment by making the thickness 0.5 μm or less. Specifically, in the polishing step 1003, first, the side surface including the grip portion 4 of the glass block of the tool body 2 taken out after the firing step 1002 is performed is held by the carrier 41 having the same thickness as or slightly thinner than the glass block of the tool body 2. By doing so, the glass block of the tool body 2 is held with the pair of working surfaces 3 exposed. In the polishing step 1003 , since the glass block of the tool body 2 has the gripping portion 4 as described above, the glass block of the tool body 2 can be stably held easily by the carrier 41 .

研磨ステップ1003では、また、工具本体2のガラスブロックの作用面3を十分に覆う大きな面を有する円板状のラップ定盤42の一方の面に砥石43を敷いて固定したラップ研磨盤44を2枚1組準備し、1組のラップ研磨盤44を、砥石43を固定した側を対面及び接触させて、軸心回りに互いに逆方向に回転させることにより、砥石43同士を共に研磨して、砥石43による研磨面を互いに平行にする、いわゆるラップ研磨盤44の研磨面の平行出しを実施する。 In the polishing step 1003, a disk-shaped lapping plate 42 having a large surface that sufficiently covers the working surface 3 of the glass block of the tool body 2 is provided with a lapping plate 44 having a whetstone 43 laid on one surface thereof. A set of two lap polishing discs 44 is prepared, and a pair of lapping discs 44 are rotated in opposite directions about the axis with the side where the grindstone 43 is fixed facing each other and in contact with each other, thereby grinding the grindstones 43 together. , so-called parallelization of the polished surfaces of the lapping disk 44 is carried out so that the surfaces polished by the grindstone 43 are parallel to each other.

研磨ステップ1003では、そして、図6及び図7に示すように、研磨面の平行出しを実施した2枚のラップ研磨盤44の間に、工具本体2のガラスブロックを保持したキャリア41を配置して、2枚のラップ研磨盤44を軸心回りに互いに逆方向に回転させることにより、キャリア41に保持された工具本体2のガラスブロックの一対の作用面3を、それぞれ2枚のラップ研磨盤44の研磨面の砥石43で研磨することで、工具本体2のガラスブロックの一対の作用面3を平坦かつ互いに平行にし、工具本体2のガラスブロックのうねりを除去することができる。研磨ステップ1003では、このようにして、成形ステップ1001及び焼成ステップ1002を実施して形成した工具本体2のガラスブロックの一対の作用面3を研磨することにより、図1に示すような実施形態に係る研磨工具1を得る。 In the polishing step 1003, as shown in FIGS. 6 and 7, the carrier 41 holding the glass block of the tool body 2 is placed between two lapping discs 44 whose polished surfaces are parallelized. Then, by rotating the two lapping discs 44 in opposite directions to each other around the axis, the pair of working surfaces 3 of the glass block of the tool body 2 held by the carrier 41 are each lapped by the two lapping discs. By polishing with the grindstone 43 of the polishing surface 44, the pair of working surfaces 3 of the glass blocks of the tool body 2 can be made flat and parallel to each other, and undulations of the glass blocks of the tool body 2 can be removed. In the polishing step 1003, the pair of working surfaces 3 of the glass block of the tool body 2 formed by carrying out the molding step 1001 and the firing step 1002 are thus polished to obtain the embodiment as shown in FIG. A polishing tool 1 is obtained.

研磨ステップ1003では、図6に示す例では、1組のラップ研磨盤44の間に、3個の工具本体2のガラスブロックを保持したキャリア41を4個配置して、一度に工具本体2のガラスブロックを12個研磨しているが、本発明ではこれに限定されず、1枚ずつ研磨してもよいし、より多くを一度に研磨してもよい。 In the polishing step 1003, in the example shown in FIG. 6, four carriers 41 holding glass blocks of three tool bodies 2 are arranged between a set of lapping discs 44, and the tool bodies 2 are polished at one time. Although 12 glass blocks are polished, the present invention is not limited to this, and may be polished one by one or may be polished more at once.

研磨ステップ1003で研磨後の一対の作用面3の表面粗さ(Ra)は、一対の作用面3を研磨する2枚のラップ研磨盤44の研磨面の砥石43の砥石サイズによって決定される。このため、研磨ステップ1003では、研磨後の一対の作用面3の表面粗さ(Ra)が0.2μm以上、1.5μm以下とする砥石サイズの砥石43を使用する。ここで、砥石43の砥石サイズは、砥石43の粒度の大きさのことであり、JIS規格「R6001:研削といし用研磨材の粒度」で規定され、中心粒径が大きくなるに従って番号が小さくなり、中心粒径が小さくなるに従って番号が大きくなるパラメータである。研磨ステップ1003で使用する砥石43の砥石サイズは、具体的には、例えば、#360(360番)以上#2500(2500番)以下である。研磨ステップ1003では、砥石43の砥石サイズを厳格に管理することで、従来の天然のアルカンサス砥石に対して、作用面3の表面粗さ(Ra)のばらつきを低減することができる。 The surface roughness (Ra) of the pair of working surfaces 3 after polishing in the polishing step 1003 is determined by the whetstone size of the whetstones 43 of the polishing surfaces of the two lapping discs 44 for polishing the pair of working surfaces 3 . For this reason, in the polishing step 1003, the grindstone 43 having a grindstone size such that the surface roughness (Ra) of the pair of working surfaces 3 after polishing is 0.2 μm or more and 1.5 μm or less is used. Here, the grindstone size of the grindstone 43 is the size of the grain size of the grindstone 43, and is defined by the JIS standard "R6001: Grain size of abrasive material for grinding wheels", and the larger the center grain size, the smaller the number. This is a parameter whose number increases as the center particle size decreases. Specifically, the grindstone size of the grindstone 43 used in the polishing step 1003 is, for example, #360 (360) or more and #2500 (2500) or less. In the polishing step 1003, by strictly controlling the grindstone size of the grindstone 43, variations in the surface roughness (Ra) of the working surface 3 can be reduced as compared with the conventional natural Arkansas grindstone.

研磨ステップ1003では、本実施形態では、2枚のラップ研磨盤44で工具本体2のガラスブロックの一対の作用面3を研磨しているが、本発明ではこれに限定されず、ガラスブロックを研磨可能ないかなるものを使用して研磨してもよい。 In the polishing step 1003, in this embodiment, the pair of working surfaces 3 of the glass blocks of the tool body 2 are polished by the two lapping discs 44, but the present invention is not limited to this, and the glass blocks are polished. Anything possible may be used to polish.

以上のような構成を有する実施形態に係る研磨工具1は、アルカンサス砥石と同様に、ガラスブロックで形成されており、作用面3の表面粗さ(Ra)が0.2μm以上1.5μm以下であるため、アルカンサス砥石を使用する際と同様の品質及び作業者の作業感覚で、研磨対象物である金属やセラミックスの表面を研磨できるという作用効果を奏する。また、実施形態に係る研磨工具1は、一対の作用面3が平坦かつ互いに平行に形成されているので、天然品で切りっぱなしで市場に供給される従来のアルカンサス砥石では必要であった購入後かつ使用前に改めて研磨して作用面を形成する作業を省略できるという作用効果を奏する。 The polishing tool 1 according to the embodiment having the configuration described above is formed of a glass block like the Arkansas grindstone, and the surface roughness (Ra) of the working surface 3 is 0.2 μm or more and 1.5 μm or less. Therefore, it is possible to polish the surfaces of metals and ceramics, which are objects to be polished, with the same quality and work feeling of the operator as when using the Arkansas grindstone. In addition, since the polishing tool 1 according to the embodiment has a pair of working surfaces 3 that are flat and parallel to each other, it is necessary for conventional Arkansas whetstones, which are natural products and are supplied to the market as they are cut. This provides the advantage of omitting the work of forming a working surface by polishing again after purchase and before use.

また、実施形態に係る研磨工具1は、気孔率が2%以上8%以下であるため、潤滑液を適度に保持し、潤滑液が内部に浸透し過ぎずに、必要な量の潤滑液が作用面3に残って作用しやすい状態で、研磨対象物を研磨することができるという作用効果を奏する。 In addition, since the porosity of the polishing tool 1 according to the embodiment is 2% or more and 8% or less, the lubricating liquid can be retained in an appropriate amount, and a necessary amount of the lubricating liquid can be supplied without excessive penetration of the lubricating liquid. It is possible to polish the object to be polished while remaining on the working surface 3 and easily acting thereon.

また、実施形態に係る研磨工具1は、砥粒を含まないため、作用面3の平坦性が極めて高くなるので、金属やセラミックスなどの研磨対象物を研磨してもスクラッチ等の損傷が被研磨面に生じるおそれを抑制することができるという作用効果を奏する。 In addition, since the polishing tool 1 according to the embodiment does not contain abrasive grains, the flatness of the working surface 3 is extremely high. It has the effect of being able to suppress the risk of occurrence on the surface.

従来のアルカンサス砥石は、潤滑液とともに使用するので、作業者が手を滑らせて落下して破損してしまう恐れがあった。しかしながら、実施形態に係る研磨工具1は、把持部4が形成されているので、作業者が研磨工具1をよりしっかりと把持することができ、しっかりと把持することにより研磨工具1が落下して破損してしまう恐れを大きく低減することができ、作用面3で研磨対象物を適切な圧力で安定して研磨することができるという作用効果を奏する。 Conventional Arkansas grindstones are used with lubricating liquid, so there is a risk that the operator's hand may slip and the wheel may fall and be damaged. However, since the gripping portion 4 is formed in the polishing tool 1 according to the embodiment, the operator can grip the polishing tool 1 more firmly, and by gripping the polishing tool 1 firmly, the polishing tool 1 can be dropped. It is possible to greatly reduce the risk of breakage, and it is possible to stably polish the object to be polished on the working surface 3 with an appropriate pressure.

また、以上のような構成を有する実施形態に係る研磨工具の製造方法は、ガラス粒100を加熱及び焼成して一体化させることにより研磨工具1のガラスブロックを形成するので、アルカンサス砥石と同様の成分の研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。また、実施形態に係る研磨工具の製造方法は、研磨ステップ1003で、作用面3の表面粗さ(Ra)が0.2μm以上1.5μm以下となるような砥石サイズの砥石43で研磨工具1の作用面3を研磨するので、アルカンサス砥石と同様の表面粗さの研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。実施形態に係る研磨工具の製造方法は、さらに、研磨ステップ1003で、一対の作用面3を平坦かつ互いに平行に形成するので、天然品で切りっぱなしで供給される従来のアルカンサス砥石では必要であった購入後かつ使用前に改めて研磨して作用面を形成する作業を省略できる研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。また、実施形態に係る研磨工具の製造方法は、研磨ステップ1003で使用する砥石43の砥石サイズを管理して、作用面3を研磨するので、表面粗さ(Ra)のばらつきが従来の天然のアルカンサス砥石よりも少ない研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。 Further, in the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment having the above configuration, the glass block of the polishing tool 1 is formed by heating and baking the glass grains 100 to integrate them. It is possible to artificially obtain the polishing tool 1 having the components of In addition, in the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment, in the polishing step 1003, the polishing tool 1 is polished with a whetstone 43 having a whetstone size such that the working surface 3 has a surface roughness (Ra) of 0.2 μm or more and 1.5 μm or less. Since the working surface 3 is polished, it is possible to artificially obtain a polishing tool 1 having a surface roughness similar to that of the Arkansas grindstone. In addition, in the polishing step 1003 of the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment, the pair of working surfaces 3 are formed flat and parallel to each other. It is possible to artificially obtain the polishing tool 1 that can omit the work of forming the working surface by polishing again after purchase and before use. In addition, in the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment, since the working surface 3 is polished while controlling the size of the whetstone 43 used in the polishing step 1003, the variation in surface roughness (Ra) is reduced to that of the conventional natural one. It is possible to artificially obtain a polishing tool 1 that is less than the Arkansas grindstone.

また、実施形態に係る研磨工具の製造方法は、気孔率が2%以上8%以下となるように、成形ステップ1001で供給するガラス粒100の粒径と、焼成ステップ1002での加熱温度と、焼成ステップ1002での加熱時間とを管理して、ガラス粒100を加熱して焼成するので、アルカンサス砥石と同様の気孔率を有し、さらに気孔率のばらつきが従来の天然のアルカンサス砥石よりも少ない研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。 Further, in the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment, the particle size of the glass grains 100 supplied in the forming step 1001, the heating temperature in the firing step 1002, and Since the glass grains 100 are heated and fired by controlling the heating time in the firing step 1002, the porosity is similar to that of the Arkansas grindstone, and the variation in porosity is greater than that of the conventional natural Arkansas grindstone. It is possible to artificially obtain a polishing tool 1 with a small amount.

また、実施形態に係る研磨工具の製造方法は、意図的に砥粒を供給及び添加することなく、ガラス粒100のみを加熱及び焼成して研磨工具1の母体となる工具本体2のガラスブロックを得るので、砥粒を含まず、作用面3の平坦性が極めて高くなり、金属やセラミックスなどの研磨対象物を研磨してもスクラッチ等の損傷が被研磨面に生じるおそれを抑制できる研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。 In addition, in the method for manufacturing a polishing tool according to the embodiment, only the glass grains 100 are heated and fired without intentionally supplying or adding abrasive grains to form the glass block of the tool body 2 which is the base of the polishing tool 1. Since the polishing tool 1 does not contain abrasive grains, the flatness of the working surface 3 is extremely high, and it is possible to suppress the risk of damage such as scratches occurring on the surface to be polished even when polishing an object to be polished such as metals and ceramics. can be obtained artificially.

従来のアルカンサス砥石は、加工が難しいため、実施形態に係る研磨工具1の把持部4を形成することが困難であった。しかしながら、実施形態に係る研磨工具の製造方法は、成形ステップ1001で、把持部4の形状が設定された型枠10、すなわち把持部4に対応した把持部対応曲面14を有する凹状の型面11が形成された型枠10にガラス粒100を供給し、所望の形状に成形してから、焼成ステップ1002でガラス粒100を加熱及び焼成するので、作業者が研磨工具1をよりしっかりと把持することができ、しっかりと把持することにより研磨工具1が落下して破損してしまう恐れを大きく低減することができ、作用面3で研磨対象物を適切な圧力で安定して研磨することができる把持部4が形成された研磨工具1を、人工的に得ることができるという作用効果を奏する。 Since the conventional Arkansas grindstone is difficult to process, it has been difficult to form the grip portion 4 of the polishing tool 1 according to the embodiment. However, in the manufacturing method of the polishing tool according to the embodiment, in the forming step 1001, the mold 10 in which the shape of the gripping portion 4 is set, that is, the concave mold surface 11 having the gripping portion corresponding curved surface 14 corresponding to the gripping portion 4 is formed. The glass grains 100 are supplied to the mold 10 in which is formed and formed into a desired shape, and then the glass grains 100 are heated and fired in the firing step 1002, so that the operator can grip the polishing tool 1 more firmly. Firmly gripping the polishing tool 1 can greatly reduce the risk of the polishing tool 1 dropping and being damaged, and the working surface 3 can polish the object to be polished stably with an appropriate pressure. It is possible to artificially obtain the polishing tool 1 having the grip portion 4 formed thereon.

〔変形例〕
本発明の変形例に係る研磨工具の製造方法及び研磨工具1-2を図面に基づいて説明する。図8は、変形例に係る研磨工具の一例である研磨工具1-2を示す斜視図である。図8は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
[Modification]
A method for manufacturing a polishing tool and a polishing tool 1-2 according to a modification of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a perspective view showing a polishing tool 1-2, which is an example of a polishing tool according to a modification. In FIG. 8, the same reference numerals are given to the same parts as in the first embodiment, and the description thereof is omitted.

変形例に係る研磨工具1-2は、図8に示すように、実施形態に係る研磨工具1において、把持部4を把持部4-2に変更したものであり、その他の構成は実施形態と同様である。変形例の把持部4-2は、実施形態の把持部4において、形状を変更したものである。具体的には、実施形態の把持部4は、図1に示すように、作用面3に直交する方向に延びて指の数(5箇所)形成されている一方で、変形例の把持部4-2は、図8に示すように、作用面3の長手方向に延びて一対の側面に1本ずつ形成されている。把持部4-2の曲面は、図8に示すように、作業者の手の指頭から指腹にわたって第3関節にかけての指の延びる方向に沿った凸曲面に対応した凹曲面に形成され、作業者が手のこれらの部位で把持部4-2を把持することにより、作業者の手のこれらの部位の凸曲面とこの凹曲面とが概ね嵌め合わされるように接触して、研磨工具1-2をさらにしっかりと把持して、作用面3で研磨対象物を適切な圧力で安定して研磨することを可能にする。 As shown in FIG. 8, a polishing tool 1-2 according to a modification is obtained by changing the gripping portion 4 in the polishing tool 1 according to the embodiment to a gripping portion 4-2, and other configurations are the same as those of the embodiment. It is the same. The gripping portion 4-2 of the modified example is obtained by changing the shape of the gripping portion 4 of the embodiment. Specifically, as shown in FIG. 1, the gripping portion 4 of the embodiment extends in a direction orthogonal to the action surface 3 and is formed with the number of fingers (five locations), while the gripping portion 4 of the modified example As shown in FIG. 8, -2 extends in the longitudinal direction of the working surface 3 and is formed on each of the pair of side surfaces. As shown in FIG. 8, the curved surface of the grip portion 4-2 is formed into a concave curved surface corresponding to the convex curved surface along the direction in which the operator's finger extends from the tip of the finger to the third joint. By gripping the grip part 4-2 with these parts of the operator's hand, the convex curved surface of these parts of the operator's hand and the concave curved surface are brought into contact with each other so that the polishing tool 1- 2 can be gripped more firmly to allow the working surface 3 to polish the object to be polished stably with an appropriate pressure.

次に、本明細書は、変形例に係る研磨工具の製造方法の動作を説明する。変形例に係る研磨工具の製造方法は、図8に示す変形例に係る研磨工具1-2を製造する方法であり、実施形態に係る研磨工具の製造方法において使用する型枠10を、作用面3及び把持部4-2を有する研磨工具1-2の外面形状に対応した、すなわち把持部4-2に対応した把持部対応曲面を有する凹状の型面が形成されたものに変更したものであり、その他の構成は実施形態と同様である。 Next, this specification describes the operation of the manufacturing method of the abrasive tool according to the modification. A method for manufacturing a polishing tool according to a modification is a method for manufacturing a polishing tool 1-2 according to a modification shown in FIG. 3 and a gripping portion 4-2, which corresponds to the outer shape of the polishing tool 1-2. and other configurations are the same as in the embodiment.

以上のような構成を有する変形例に係る研磨工具1-2は、実施形態に係る研磨工具1において、把持部4を形状の異なる把持部4-2に変更したものであり、その他の構成は実施形態と同様であるので、実施形態と同様の作用効果を奏するものとなる。また、変形例に係る研磨工具の製造方法は、実施形態に係る研磨工具の製造方法において、使用する型枠10を、把持部4-2を有する研磨工具1-2の外面形状に対応したものに変更したものであり、その他の構成は実施形態と同様であるので、実施形態と同様の作用効果を奏するものとなる。 The polishing tool 1-2 according to the modified example having the configuration as described above is the polishing tool 1 according to the embodiment, in which the gripping portion 4 is changed to a gripping portion 4-2 having a different shape. Since it is the same as the embodiment, it has the same effect as the embodiment. Further, the manufacturing method of the polishing tool according to the modified example is the manufacturing method of the polishing tool according to the embodiment, in which the mold 10 to be used corresponds to the outer surface shape of the polishing tool 1-2 having the grip portion 4-2. , and other configurations are the same as those of the embodiment, so that the same effects as those of the embodiment can be obtained.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態及び変形例では、ガラス粒100を型枠10に供給して、型枠10ごと加熱及び焼成することで研磨工具1を製造しているが、本発明ではこれに限定されず、ガラス粒100を型枠10に供給した後に圧縮成形及び離型してから、加熱及び焼成することで研磨工具1を製造してもよく、また、ガラス粒100をバインダーや消泡剤、分散剤等と混合してスラリー化したものを型枠10に流し込んで乾燥することで成形するいわゆる鋳込み成形をした後に離型してから、加熱及び焼成することで研磨工具1を製造してもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. In the above-described embodiment and modification, the polishing tool 1 is manufactured by supplying the glass grains 100 to the mold 10 and heating and firing the mold 10 together. The abrasive tool 1 may be manufactured by heating and firing after the grains 100 are supplied to the mold 10 and then compression-molded and released from the mold. Abrasive tool 1 may be produced by pouring a mixture of slurries into a mold 10 and drying to form a so-called cast molding, followed by release from the mold, followed by heating and firing.

1,1-2 研磨工具
2 工具本体
3 作用面
4,4-2 把持部
10 型枠
11 型面
100 ガラス粒
Reference Signs List 1, 1-2 polishing tool 2 tool body 3 working surface 4, 4-2 gripping portion 10 mold 11 mold surface 100 glass grain

Claims (5)

研磨工具の製造方法であって、
把持部の形状が設定された型枠にガラス粒を供給し、所望の形状に成形する成形ステップと、
該成形ステップ後、該ガラス粒の軟化点を超え融点未満の温度で該ガラス粒を加熱し、該ガラス粒間の隙間に気泡が分散して残存した状態で加熱を終了し、研磨工具となるガラスブロックを形成する焼成ステップと、を備えた、把持部を有する研磨工具の製造方法。
A method of manufacturing an abrasive tool, comprising:
A molding step of supplying glass grains to a mold having a shape of a gripping portion and molding it into a desired shape;
After the molding step, the glass grains are heated at a temperature exceeding the softening point of the glass grains and less than the melting point, and the heating is completed in a state in which air bubbles remain dispersed in the gaps between the glass grains, resulting in a polishing tool. and a firing step of forming a glass block.
該焼成ステップ実施後の該ガラスブロックは、気孔率が2%以上8%以下であることを特徴とする請求項1記載の研磨工具の製造方法。 2. The method of manufacturing a polishing tool according to claim 1, wherein the glass block after the firing step has a porosity of 2% or more and 8% or less. 該焼成ステップ実施後、研磨対象物に接触して研磨する作用面を研磨し、表面粗さ(Ra)が0.2μm以上、1.5μm以下にする研磨ステップを備える請求項1または2に記載の研磨工具の製造方法。 3. The method according to claim 1 or 2, further comprising a polishing step of polishing the working surface to be polished in contact with the object to be polished after performing the baking step so that the surface roughness (Ra) is 0.2 μm or more and 1.5 μm or less. A method for manufacturing an abrasive tool. 金属又はセラミックスの面を研磨するための研磨工具であって、
表面粗さ(Ra)が0.2μm以上1.5μm以下で、気孔率が2%以上8%以下であり、把持部が形成されたガラスブロックで構成されている研磨工具。
A polishing tool for polishing metal or ceramic surfaces,
A polishing tool comprising a glass block having a surface roughness (Ra) of 0.2 μm or more and 1.5 μm or less, a porosity of 2% or more and 8% or less, and having a grip portion formed thereon.
砥粒を含まないことを特徴等する請求項4に記載の研磨工具。 5. The polishing tool according to claim 4, characterized in that it does not contain abrasive grains.
JP2021122537A 2021-07-27 2021-07-27 Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool Pending JP2023018419A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021122537A JP2023018419A (en) 2021-07-27 2021-07-27 Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021122537A JP2023018419A (en) 2021-07-27 2021-07-27 Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023018419A true JP2023018419A (en) 2023-02-08

Family

ID=85158242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021122537A Pending JP2023018419A (en) 2021-07-27 2021-07-27 Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023018419A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6087454B2 (en) Glass lens blank for polishing, manufacturing method thereof, and manufacturing method of optical lens
JP2019093544A (en) Abrasive article and method of use
JPH02243269A (en) Grinding tool and its producing method
JP4769488B2 (en) Vitrified bond grinding wheel manufacturing method
JP2011249499A (en) Wafer processing method
JP2023018419A (en) Manufacturing method of polishing tool, and polishing tool
CN108237442A (en) A kind of processing technology of ultra-thin ceramic fingerprint recognition piece
TWI679085B (en) Dehorning method of glass plate, and manufacturing method of glass plate
JP2017185575A (en) Vitrified superabrasive grain wheel
JPH11126755A (en) Manufacture of boat for semiconductor heat treatment
JP6374606B2 (en) Method for producing glass-coated CBN abrasive
JP4085643B2 (en) Method for manufacturing hemispherical lens
JP5419173B2 (en) Super abrasive wheel and grinding method using the same
TW202212511A (en) Manufacturing method of polishing grindstone and polishing grindstone
JP4898016B2 (en) Honing wheel for gears
JP6763937B2 (en) Vitrified Super Abrasive Wheel
TWI780883B (en) Chemical mechanical polishing pad conditioner and manufacture method thereof
JP3609059B2 (en) Dresser for CMP processing
JPH0616431A (en) Method for regenerating forming die
CN108705419B (en) Efficient polishing method for Jianshui purple pottery
TWI833902B (en) Wafer processing methods
WO2015063888A1 (en) Optical glass material, glass lens blank for polishing and optical lens, and production method for glass lens blank for polishing and optical lens
JPH0615554A (en) Manufacture of ceramic ball
CN115625807A (en) Processing technology of Muyu stone
TW201927471A (en) Grinding and polishing tool and method for manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20240524