JP2023007156A - Resin particle, conductive particle, conductive material, and connection structure - Google Patents

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Hiroki Okura
武司 脇屋
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Abstract

To provide resin particles which effectively control a gap even under high temperature environment when used as a spacer, and can prevent damage of a connection target member.SOLUTION: Resin particles have a coefficient of linear thermal expansion at 100-200°C of 300 ppm/°C or less, a compressive elastic modulus when compressed by 10% of 100 N/mm2 or more and 5000 N/mm2 or less, and a compressive elastic modulus when compressed by 30% of 100 N/mm2 or more and 2000 N/mm2 or less.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、樹脂粒子に関する。また、本発明は、上記樹脂粒子を用いた導電性粒子、導電材料及び接続構造体に関する。 The present invention relates to resin particles. The present invention also relates to a conductive particle, a conductive material, and a connection structure using the resin particles.

異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム等の異方性導電材料が広く知られている。上記異方性導電材料では、バインダー中に導電性粒子が分散されている。 Anisotropic conductive materials such as anisotropic conductive pastes and anisotropic conductive films are widely known. In the anisotropic conductive material, conductive particles are dispersed in a binder.

上記異方性導電材料は、フレキシブルプリント基板(FPC)、ガラス基板、ガラスエポキシ基板及び半導体チップ等の様々な接続対象部材の電極間を電気的に接続し、接続構造体を得るために用いられている。また、上記導電性粒子として、樹脂粒子と、該樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを有する導電性粒子が用いられることがある。このような導電性粒子を用いた接続構造体は、ディスプレイ装置等の電子機器装置に用いられており、更に自動車のエンジン部やモーター部等にも用いられている。自動車のエンジン部やモーター部は、電子機器装置の部品に比べて非常に高温となる。このため、エンジン部やモーター部に使用される接続構造体、導電材料、導電性粒子及び樹脂粒子においては、熱により分解又は溶融しないように、高い耐熱性が求められる。 The anisotropic conductive material is used to electrically connect electrodes of various members to be connected, such as flexible printed circuit boards (FPC), glass substrates, glass epoxy substrates, and semiconductor chips, to obtain connection structures. ing. Further, as the conductive particles, conductive particles having resin particles and conductive portions arranged on the surfaces of the resin particles are sometimes used. A connection structure using such conductive particles is used in electronic devices such as display devices, and is also used in automobile engines, motors, and the like. Automobile engines and motors are much hotter than parts of electronic devices. Therefore, connection structures, conductive materials, conductive particles, and resin particles used in engine parts and motor parts are required to have high heat resistance so as not to be decomposed or melted by heat.

また、液晶表示素子は、2枚のガラス基板間に液晶が配置されて構成されている。該液晶表示素子では、2枚のガラス基板の間隔(ギャップ)を均一かつ一定に保つために、ギャップ制御材としてスペーサが用いられている。さらに、該スペーサは、ガラス基板を損傷させないことが望ましい。また、該スペーサは、実装時に破壊されないことが好ましい。該スペーサとして、樹脂粒子が一般に用いられている。 Further, the liquid crystal display element is configured by disposing liquid crystal between two glass substrates. In the liquid crystal display element, a spacer is used as a gap control material in order to keep the gap between the two glass substrates uniform and constant. Furthermore, it is desirable that the spacers do not damage the glass substrate. Moreover, it is preferable that the spacer is not destroyed during mounting. Resin particles are generally used as the spacer.

下記の特許文献1には、低温域で柔軟性に優れ、耐熱性にも優れるポリウレタンビーズの製造方法が記載されている。上記製造方法は、ポリオール成分及びイソシアネート成分を含むビーズ原材料を、懸濁安定剤を含む水中に粒子状に分散させ、かつ反応させて、ポリウレタンビーズ懸濁液を調製する工程と、該ポリウレタンビーズ懸濁液を固液分離する工程とを有する。また、上記ポリオール成分は、3-メチル-1,5-ペンタンジオールとアジピン酸とを反応させて得たポリエステルポリオールを含有する。 Patent Document 1 below describes a method for producing polyurethane beads that are excellent in flexibility and heat resistance in a low temperature range. The above production method includes the steps of dispersing a bead raw material containing a polyol component and an isocyanate component into particles in water containing a suspension stabilizer and reacting them to prepare a polyurethane bead suspension; and a step of solid-liquid separation of the turbid liquid. Moreover, the polyol component contains a polyester polyol obtained by reacting 3-methyl-1,5-pentanediol and adipic acid.

特開2010―024319号公報JP 2010-024319 A

特許文献1のポリウレタンビーズを樹脂粒子として用いた場合、樹脂粒子及び導電性粒子等の耐熱性をある程度高めることができる。しかしながら、ポリウレタンビーズは一般に熱によって膨張しやすいため、高温環境下(例として、100℃~200℃)でポリウレタンビーズを樹脂粒子(スペーサ)として用いた場合に、ギャップを均一かつ一定に制御することは困難であり、またPET基板等の接続対象部材を傷つけることがある。さらに、該樹脂粒子を用いて得られる導電性粒子や接続構造体では、該樹脂粒子が熱によって膨張しやすいため、高温環境下において使用された場合に、導電性粒子(特に、導電部)にクラックが発生したり、接続構造体中の導電性粒子の周辺にボイド(気泡)が発生したりすることがある。結果として、接続構造体の接続信頼性が低くなることがある。 When the polyurethane beads of Patent Document 1 are used as the resin particles, the heat resistance of the resin particles, the conductive particles, etc. can be improved to some extent. However, since polyurethane beads generally tend to expand due to heat, when polyurethane beads are used as resin particles (spacers) in a high temperature environment (for example, 100° C. to 200° C.), it is necessary to control the gap uniformly and constantly. is difficult and may damage the member to be connected such as the PET substrate. Furthermore, in the conductive particles and the connection structure obtained using the resin particles, the resin particles are likely to expand due to heat, so when used in a high temperature environment, the conductive particles (especially the conductive portion) Cracks may occur, and voids (bubbles) may occur around the conductive particles in the connection structure. As a result, the connection reliability of the connection structure may be lowered.

本発明の目的は、スペーサとして用いた場合に、高温環境下でも、ギャップを効果的に制御し、かつ、接続対象部材の損傷を防止することができる樹脂粒子を提供することである。また、本発明の目的は、上記樹脂粒子を用いた導電性粒子、導電材料及び接続構造体を提供することである。また、本発明の目的は、高温環境下でも、得られる導電性粒子のクラックの発生を抑制することができる樹脂粒子を提供することである。さらに、本発明の目的は、高温環境下でも、得られる接続構造体におけるボイドの発生を抑制することができる樹脂粒子を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide resin particles that, when used as a spacer, can effectively control the gap even in a high-temperature environment and prevent damage to members to be connected. Another object of the present invention is to provide conductive particles, a conductive material, and a connection structure using the resin particles. Another object of the present invention is to provide resin particles that can suppress the occurrence of cracks in the resulting conductive particles even in a high-temperature environment. A further object of the present invention is to provide resin particles that can suppress the generation of voids in the resulting bonded structure even in a high-temperature environment.

本発明の広い局面によれば、100℃~200℃における線熱膨張係数が、300ppm/℃以下であり、10%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上5000N/mm以下であり、30%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上2000N/mm以下である、樹脂粒子が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the linear thermal expansion coefficient at 100 ° C. to 200 ° C. is 300 ppm / ° C. or less, and the compression elastic modulus when compressed by 10% is 100 N / mm 2 or more and 5000 N / mm 2 or less. Provided are resin particles having a compressive modulus of 100 N/mm 2 or more and 2000 N/mm 2 or less when compressed by 30%.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、100℃~200℃における線熱膨張係数が、100ppm/℃以下である。 In a specific aspect of the present invention, the resin particles have a coefficient of linear thermal expansion of 100 ppm/°C or less at 100°C to 200°C.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、10%圧縮したときの圧縮弾性率の、30%圧縮したときの圧縮弾性率に対する比が、1.5以上3.0以下である。 In a specific aspect of the present invention, the resin particles have a ratio of the compression modulus at 10% compression to the compression modulus at 30% compression of 1.5 or more and 3.0 or less.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、熱分解温度が、400℃以上である。 In a specific aspect of the resin particles according to the present invention, the thermal decomposition temperature is 400° C. or higher.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、前記樹脂粒子の材料が、2種以上の重合性単量体の重合により形成されたイミド基を有する重合体を含む。 In a specific aspect of the resin particles according to the present invention, the material of the resin particles contains a polymer having imide groups formed by polymerization of two or more polymerizable monomers.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、アスペクト比が、1.0以上1.1以下である。 In a specific aspect of the resin particles according to the present invention, the aspect ratio is 1.0 or more and 1.1 or less.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、粒子径が、0.1μm以上1000μm以下である。 In a specific aspect of the resin particles according to the present invention, the particle diameter is 0.1 μm or more and 1000 μm or less.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、粒子径のCV値が、10%以下である。 In a specific aspect of the resin particles according to the present invention, the CV value of particle diameter is 10% or less.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、BET比表面積が、0.5m/g以上10.0m/g以下である。 In a specific aspect of the present invention, the resin particles have a BET specific surface area of 0.5 m 2 /g or more and 10.0 m 2 /g or less.

本発明に係る樹脂粒子のある特定の局面では、前記樹脂粒子は、液晶表示素子用スペーサとして用いられるか、電子部品用接着剤として用いられるか、又は、導電部を有する導電性粒子を得るために用いられる。 In a specific aspect of the resin particles according to the present invention, the resin particles are used as spacers for liquid crystal display elements, used as adhesives for electronic parts, or used to obtain conductive particles having a conductive portion. used for

本発明の広い局面によれば、上述した樹脂粒子と、前記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備える、導電性粒子が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, there is provided a conductive particle comprising the resin particle described above and a conductive portion arranged on the surface of the resin particle.

本発明に係る導電性粒子のある特定の局面では、前記導電性粒子は、前記導電部の外表面上に配置された絶縁性物質をさらに備える。 In a specific aspect of the conductive particles according to the present invention, the conductive particles further include an insulating substance arranged on the outer surface of the conductive portion.

本発明に係る導電性粒子のある特定の局面では、前記導電性粒子は、前記導電部の外表面に突起を有する。 In a specific aspect of the conductive particles according to the present invention, the conductive particles have projections on the outer surface of the conductive portion.

本発明の広い局面によれば、導電性粒子と、バインダー樹脂とを含み、前記導電性粒子が、上述した樹脂粒子と、前記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備える、導電材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a conductive material comprising conductive particles and a binder resin, wherein the conductive particles comprise the resin particles described above and a conductive portion disposed on the surface of the resin particles. is provided.

本発明の広い局面によれば、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、前記接続部が、上述した樹脂粒子を含む、接続構造体が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a first member to be connected, a second member to be connected, and a connecting portion connecting the first member to be connected and the second member to be connected are connected. A connection structure is provided, wherein the connection portion includes the resin particles described above.

本発明に係る接続構造体のある特定の局面では、前記第1の接続対象部材が表面に第1の電極を有し、前記第2の接続対象部材が表面に第2の電極を有し、前記接続部が導電性粒子を含み、前記導電性粒子が、前記樹脂粒子と、前記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備え、前記第1の電極と前記第2の電極とが前記導電性粒子により電気的に接続されている。 In a specific aspect of the connected structure according to the present invention, the first member to be connected has a first electrode on its surface, the second member to be connected has a second electrode on its surface, The connecting portion includes conductive particles, the conductive particles include the resin particles, and a conductive portion disposed on the surface of the resin particles, and the first electrode and the second electrode are connected. They are electrically connected by the conductive particles.

本発明に係る樹脂粒子では、100℃~200℃における線熱膨張係数が、300ppm/℃以下であり、10%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上5000N/mm以下であり、30%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上2000N/mm以下である。本発明に係る樹脂粒子では、上記の構成が備えられているので、スペーサとして用いた場合に、高温環境下でも、ギャップを効果的に制御し、かつ、接続対象部材の損傷を防止することができる。また、本発明に係る樹脂粒子では、上記の構成が備えられているので、高温環境下でも、得られる導電性粒子のクラックの発生を抑制することができる。さらに、本発明に係る樹脂粒子では、上記の構成が備えられているので、高温環境下でも、得られる接続構造体におけるボイドの発生を抑制することができる。 The resin particles according to the present invention have a coefficient of linear thermal expansion of 300 ppm/° C. or less at 100° C. to 200° C., and a compression modulus of 100 N/mm 2 or more and 5000 N/mm 2 or less when compressed by 10%. , a compression elastic modulus of 100 N/mm 2 or more and 2000 N/mm 2 or less when compressed by 30%. Since the resin particles according to the present invention have the above configuration, when used as a spacer, it is possible to effectively control the gap and prevent damage to the members to be connected even in a high-temperature environment. can. In addition, since the resin particles according to the present invention are provided with the above configuration, it is possible to suppress the occurrence of cracks in the obtained conductive particles even in a high-temperature environment. Furthermore, since the resin particles according to the present invention have the above configuration, it is possible to suppress the generation of voids in the resulting bonded structure even in a high-temperature environment.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る樹脂粒子を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing resin particles according to the first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the first embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第2の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing conductive particles according to a second embodiment of the present invention. 図4は、本発明の第3の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing conductive particles according to a third embodiment of the present invention. 図5は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を用いた接続構造体の一例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a connection structure using conductive particles according to the first embodiment of the present invention. 図6は、本発明の第1の実施形態に係る樹脂粒子を用いた接続構造体の一例を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of a connection structure using resin particles according to the first embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention are described below.

(樹脂粒子)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る樹脂粒子を示す断面図である。
(resin particles)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing resin particles according to the first embodiment of the present invention.

樹脂粒子1は、球状の粒子である。樹脂粒子1では、100℃~200℃における線熱膨張係数が、300ppm/℃以下であり、10%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上5000N/mm以下であり、30%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上2000N/mm以下である。 The resin particles 1 are spherical particles. Resin particles 1 have a linear thermal expansion coefficient of 300 ppm/° C. or less at 100° C. to 200° C., and a compressive elastic modulus of 100 N/mm 2 or more and 5000 N/mm 2 or less when compressed by 10%, and 30%. Compressive elastic modulus when compressed is 100 N/mm 2 or more and 2000 N/mm 2 or less.

樹脂粒子1のように、本発明に係る樹脂粒子では、100℃~200℃における線熱膨張係数が、300ppm/℃以下であり、10%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上5000N/mm以下であり、30%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上2000N/mm以下である。 Like Resin Particle 1, the resin particles according to the present invention have a coefficient of linear thermal expansion of 300 ppm/° C. or less at 100° C. to 200° C., and a compressive elastic modulus of 100 N/mm 2 or more when compressed by 10%. 5000 N/mm 2 or less, and a compression elastic modulus when compressed by 30% is 100 N/mm 2 or more and 2000 N/mm 2 or less.

従来の樹脂粒子では、熱によって膨張しやすいため、高温環境下(例として、100℃~200℃)でスペーサとして用いた場合に、ギャップを均一かつ一定に制御することが困難であり、ガラス基板等の接続対象部材を傷つけることがある。また、該樹脂粒子を用いて作製した導電性粒子や接続構造体では、該樹脂粒子が熱によって膨張しやすいため、高温環境下で使用された場合に、導電性粒子(特に、導電部)にクラックが発生したり、接続構造体中の導電性粒子の周辺にボイド(気泡)が発生したりすることがある。結果として、接続構造体の接続信頼性が低くなることがある。 Conventional resin particles tend to expand due to heat, so when used as a spacer in a high temperature environment (for example, 100° C. to 200° C.), it is difficult to control the gap uniformly and constantly. It may damage the connection target member such as. In addition, in the conductive particles and the connection structure produced using the resin particles, the resin particles easily expand due to heat, so when used in a high temperature environment, the conductive particles (especially the conductive portion) Cracks may occur, and voids (bubbles) may occur around the conductive particles in the connection structure. As a result, the connection reliability of the connection structure may be lowered.

本発明に係る樹脂粒子では、上記の構成が備えられているので、スペーサとして用いた場合に、実装時に接続対象部材間で破壊されにくい。結果として、高温環境下でもギャップを効果的に制御することができ、かつ、高温環境下でも接続対象部材の損傷を防止することができる。 Since the resin particles according to the present invention have the above configuration, when used as spacers, they are less likely to break between members to be connected during mounting. As a result, it is possible to effectively control the gap even in a high-temperature environment, and to prevent damage to the members to be connected even in a high-temperature environment.

また、上記樹脂粒子を用いて得られる導電性粒子、上記導電性粒子を含む導電材料、及び上記樹脂粒子又は上記導電性粒子を含む接続構造体において、高温環境下(例として、100℃~200℃)でも、導電性粒子(特に、導電部)におけるクラックの発生及び接続構造体におけるボイドの発生を抑制することができる。結果として、接続構造体の接続信頼性を高めることができる。 In addition, in the conductive particles obtained using the resin particles, the conductive material containing the conductive particles, and the connection structure containing the resin particles or the conductive particles, in a high temperature environment (for example, 100 ° C. to 200 °C), it is possible to suppress the occurrence of cracks in the conductive particles (especially the conductive portion) and the occurrence of voids in the connection structure. As a result, the connection reliability of the connection structure can be enhanced.

上記樹脂粒子では、100℃~200℃における線熱膨張係数が、300ppm/℃以下である。上記樹脂粒子では、100℃~200℃における線熱膨張係数は、好ましくは250ppm/℃以下、より好ましくは150ppm/℃以下、さらに好ましくは100ppm/℃以下、特に好ましくは90ppm/℃以下である。上記樹脂粒子の100℃~200℃における線熱膨張係数が上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、上記樹脂粒子を用いて得られる導電性粒子(特に、導電部)におけるクラックの発生及び接続構造体におけるボイドの発生をより一層効果的に抑制することができる。 The resin particles have a linear thermal expansion coefficient of 300 ppm/°C or less at 100°C to 200°C. The linear thermal expansion coefficient of the resin particles at 100 to 200°C is preferably 250 ppm/°C or less, more preferably 150 ppm/°C or less, even more preferably 100 ppm/°C or less, and particularly preferably 90 ppm/°C or less. When the coefficient of linear thermal expansion of the resin particles at 100° C. to 200° C. is equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. In addition, it is possible to more effectively suppress the occurrence of cracks in the conductive particles (particularly, the conductive portion) obtained by using the resin particles and the occurrence of voids in the connection structure.

上記樹脂粒子の100℃~200℃における線熱膨張係数の下限は特に限定されない。上記樹脂粒子の100℃~200℃における線熱膨張係数は、0ppm/℃以上であってもよい。なお、上記線熱膨張係数の測定温度範囲を100℃~200℃としているのは、導電性粒子及び接続構造体等の使用時に想定される温度範囲に基づいて範囲を設定したためである。 The lower limit of the coefficient of linear thermal expansion at 100° C. to 200° C. of the resin particles is not particularly limited. A coefficient of linear thermal expansion of the resin particles at 100° C. to 200° C. may be 0 ppm/° C. or more. The reason why the temperature range for measuring the coefficient of linear thermal expansion is 100° C. to 200° C. is that the range is set based on the temperature range assumed when the conductive particles and the connecting structure are used.

上記線熱膨張係数は、樹脂粒子を圧縮して作製したペレット状試料について、錠剤成形器を用いて、圧縮荷重法(TMA)により、昇温速度5℃/分の条件で測定される。上記線熱膨張係数を測定する測定機としては、Seiko Instruments Inc.製「TMA Q400」等が挙げられる。上記錠剤成形器としては、太洋社製「STJ-0129-1」等が挙げられる。 The coefficient of linear thermal expansion is measured on a pellet-shaped sample prepared by compressing resin particles, using a tableting machine, by a compression load method (TMA) at a heating rate of 5° C./min. As a measuring instrument for measuring the linear thermal expansion coefficient, Seiko Instruments Inc. and "TMA Q400" manufactured by K.K. Examples of the tableting machine include "STJ-0129-1" manufactured by Taiyo Co., Ltd., and the like.

上記樹脂粒子を10%圧縮したときの圧縮弾性率(10%K値)は、100N/mm以上5000N/mm以下である。上記10%K値は、好ましくは500N/mm以上、より好ましくは1000N/mm以上、さらに好ましくは2000N/mm以上であり、好ましくは4400N/mm以下、より好ましくは4000N/mm以下、さらに好ましくは3000N/mm以下である。上記10%K値が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The compression elastic modulus (10% K value) when the resin particles are compressed by 10% is 100 N/mm 2 or more and 5000 N/mm 2 or less. The 10% K value is preferably 500 N/mm 2 or more, more preferably 1000 N/mm 2 or more, still more preferably 2000 N/mm 2 or more, preferably 4400 N/mm 2 or less, more preferably 4000 N/mm 2 3000 N/mm 2 or less, more preferably 3000 N/mm 2 or less. When the 10% K value is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記樹脂粒子を30%圧縮したときの圧縮弾性率(30%K値)は、100N/mm以上2000N/mm以下である。上記30%K値は、好ましくは300N/mm以上、より好ましくは500N/mm以上、さらに好ましくは1000N/mm以上であり、好ましくは1900N/mm以下、より好ましくは1800N/mm以下、さらに好ましくは1500N/mm以下である。上記30%K値が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The compression elastic modulus (30% K value) when the resin particles are compressed by 30% is 100 N/mm 2 or more and 2000 N/mm 2 or less. The 30% K value is preferably 300 N/mm 2 or more, more preferably 500 N/mm 2 or more, still more preferably 1000 N/mm 2 or more, preferably 1900 N/mm 2 or less, more preferably 1800 N/mm 2 1500 N/mm 2 or less, more preferably 1500 N/mm 2 or less. When the 30% K value is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記樹脂粒子を10%圧縮したときの圧縮弾性率(10%K値)の、30%圧縮したときの圧縮弾性率(30%K値)に対する比(10%K値/30%K値)は、好ましくは1.5以上、より好ましくは1.8以上、さらに好ましくは2.0以上であり、好ましくは3.0以下、より好ましくは2.8以下、さらに好ましくは2.6以下である。上記比(10%K値/30%K値)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The ratio (10% K value/30% K value) of the compression modulus (10% K value) when the resin particles are compressed by 10% to the compression modulus (30% K value) when the resin particles are compressed by 30% is , preferably 1.5 or more, more preferably 1.8 or more, still more preferably 2.0 or more, preferably 3.0 or less, more preferably 2.8 or less, further preferably 2.6 or less . When the ratio (10% K value/30% K value) is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記樹脂粒子の上記圧縮弾性率(10%K値及び30%K値)は、以下のようにして測定できる。 The compression elastic modulus (10% K value and 30% K value) of the resin particles can be measured as follows.

微小圧縮試験機を用いて、円柱(直径50μm、ダイヤモンド製)の平滑圧子端面で、25℃、圧縮速度0.3mN/秒、及び最大試験荷重20mNの条件下で樹脂粒子1個を圧縮する。このときの荷重値(N)及び圧縮変位(mm)を測定する。得られた測定値から、上記圧縮弾性率(10%K値及び30%K値)を下記式により求めることができる。上記微小圧縮試験機として、例えば、フィッシャー社製「フィッシャースコープH-100」等が用いられる。上記樹脂粒子における上記圧縮弾性率(10%K値及び30%K値)は、任意に選択された50個の樹脂粒子の上記圧縮弾性率(10%K値及び30%K値)を算術平均することにより、算出することが好ましい。 Using a microcompression tester, a single resin particle is compressed with a cylindrical (50 μm diameter, diamond-made) smooth indenter end surface under conditions of 25° C., a compression rate of 0.3 mN/sec, and a maximum test load of 20 mN. The load value (N) and compression displacement (mm) at this time are measured. From the obtained measured values, the compression elastic moduli (10% K value and 30% K value) can be obtained by the following formula. As the microcompression tester, for example, "Fischer Scope H-100" manufactured by Fisher Co., Ltd. is used. The compression elastic moduli (10% K value and 30% K value) of the resin particles are the arithmetic mean of the compression elastic moduli (10% K value and 30% K value) of 50 arbitrarily selected resin particles. It is preferable to calculate by

10%K値及び30%K値(N/mm)=(3/21/2)・F・S-3/2・R-1/2
F:樹脂粒子が10%又は30%圧縮変形したときの荷重値(N)
S:樹脂粒子が10%又は30%圧縮変形したときの圧縮変位(mm)
R:樹脂粒子の半径(mm)
10% K value and 30% K value (N/mm 2 ) = (3/2 1/2 ) F S -3/2 R -1/2
F: Load value (N) when the resin particles are compressed and deformed by 10% or 30%
S: Compressive displacement (mm) when the resin particles are compressed and deformed by 10% or 30%
R: radius of resin particles (mm)

上記圧縮弾性率は、樹脂粒子の硬さを普遍的かつ定量的に表す。上記圧縮弾性率の使用により、樹脂粒子の硬さを定量的かつ一義的に表すことができる。 The compression elastic modulus universally and quantitatively represents the hardness of the resin particles. By using the compression modulus, the hardness of the resin particles can be expressed quantitatively and uniquely.

上記樹脂粒子の圧縮回復率は、好ましくは5%以上、より好ましくは8%以上であり、好ましくは60%以下、より好ましくは40%以下である。上記圧縮回復率が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The compression recovery rate of the resin particles is preferably 5% or more, more preferably 8% or more, and preferably 60% or less, more preferably 40% or less. When the compression recovery rate is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記樹脂粒子の圧縮回復率は、以下のようにして測定できる。 The compression recovery rate of the resin particles can be measured as follows.

試料台上に樹脂粒子を散布する。散布された1個の樹脂粒子について、微小圧縮試験機を用いて、円柱(直径50μm、ダイヤモンド製)の平滑圧子端面で、25℃で、樹脂粒子の中心方向に、樹脂粒子が30%圧縮変形するまで負荷(反転荷重値)を与える。その後、原点用荷重値(0.40mN)まで除荷を行う。この間の荷重-圧縮変位を測定し、下記式から圧縮回復率を求めることができる。なお、負荷速度は0.33mN/秒とする。上記微小圧縮試験機として、例えば、フィッシャー社製「フィッシャースコープH-100」等が用いられる。 Sprinkle resin particles on the sample stage. Using a microcompression tester, a single resin particle that has been dispersed is subjected to compression deformation of 30% in the direction of the center of the resin particle at 25° C. with a smooth indenter end face of a cylinder (50 μm in diameter, made of diamond). Apply a load (reverse load value) until After that, unloading is performed to the origin load value (0.40 mN). By measuring the load-compression displacement during this period, the compression recovery rate can be obtained from the following formula. Note that the load speed is 0.33 mN/sec. As the microcompression tester, for example, "Fischer Scope H-100" manufactured by Fisher Co., Ltd. is used.

圧縮回復率(%)=[L2/L1]×100
L1:負荷を与えるときの原点用荷重値から反転荷重値に至るまでの圧縮変位
L2:負荷を解放するときの反転荷重値から原点用荷重値に至るまでの除荷変位
Compression recovery rate (%) = [L2/L1] x 100
L1: Compressive displacement from the origin load value to the reverse load value when the load is applied L2: Unloading displacement from the reverse load value to the origin load value when releasing the load

上記樹脂粒子の熱分解温度は、好ましくは300℃以上、より好ましくは400℃以上、さらに好ましくは450℃以上、特に好ましくは470℃以上である。上記樹脂粒子の熱分解温度が上記下限以上であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、上記樹脂粒子を用いて得られる導電性粒子(特に、導電部)におけるクラックの発生及び接続構造体におけるボイドの発生をより一層効果的に抑制することができる。上記樹脂粒子の熱分解温度の上限は、特に限定されない。上記樹脂粒子の熱分解温度は、600℃以下であってもよい。 The thermal decomposition temperature of the resin particles is preferably 300° C. or higher, more preferably 400° C. or higher, even more preferably 450° C. or higher, and particularly preferably 470° C. or higher. When the thermal decomposition temperature of the resin particles is equal to or higher than the lower limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively. In addition, it is possible to more effectively suppress the occurrence of cracks in the conductive particles (particularly, the conductive portion) obtained by using the resin particles and the occurrence of voids in the connection structure. The upper limit of the thermal decomposition temperature of the resin particles is not particularly limited. The thermal decomposition temperature of the resin particles may be 600° C. or lower.

上記熱分解温度は、示差熱熱重量同時測定装置(例えば、日立ハイテクサイエンス社製「TG/DTA:STA7200」)を用いて測定可能である。測定結果における重量が初期重量から10%減少した温度を熱分解温度とする。 The thermal decomposition temperature can be measured using a simultaneous differential thermogravimetric measurement device (for example, "TG/DTA: STA7200" manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.). The temperature at which the weight decreases by 10% from the initial weight in the measurement result is defined as the thermal decomposition temperature.

スペーサとして用いた場合に、高温環境下でも、ギャップを効果的に制御する観点からは、上記樹脂粒子のアスペクト比は、好ましくは1.0以上、より好ましくは1.0を超え、好ましくは1.5以下、より好ましくは1.3以下、さらに好ましくは1.1以下である。上記樹脂粒子のアスペクト比は、長径/短径を示す。上記樹脂粒子のアスペクト比は、任意の樹脂粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、最大径と最小径をそれぞれ長径、短径とし、各樹脂粒子の長径/短径の平均値を算出することにより求めることが好ましい。上記アスペクト比は、平均アスペクト比であることが好ましい。 From the viewpoint of effectively controlling the gap even in a high-temperature environment when used as a spacer, the aspect ratio of the resin particles is preferably 1.0 or more, more preferably more than 1.0, and preferably 1.0. 0.5 or less, more preferably 1.3 or less, and still more preferably 1.1 or less. The aspect ratio of the resin particles indicates major axis/minor axis. For the aspect ratio of the resin particles, 50 arbitrary resin particles are observed with an electron microscope or an optical microscope, the maximum diameter and the minimum diameter are defined as the major diameter and the minor diameter, respectively, and the average value of the major diameter / minor diameter of each resin particle is calculated. It is preferable to obtain by calculating. The aspect ratio is preferably an average aspect ratio.

上記樹脂粒子の粒子径は、用途に応じて適宜設定することができる。上記樹脂粒子の粒子径は、好ましくは0.1μm以上、より好ましくは0.5μm以上であり、好ましくは1000μm以下、より好ましくは500μm以下、さらに好ましくは50μm以下、特に好ましくは20μm以下、最も好ましくは10μm以下である。上記樹脂粒子の粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂粒子を導電性粒子及びスペーサの用途により一層好適に使用可能になる。 The particle diameter of the resin particles can be appropriately set according to the application. The particle diameter of the resin particles is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.5 μm or more, preferably 1000 μm or less, more preferably 500 μm or less, still more preferably 50 μm or less, particularly preferably 20 μm or less, and most preferably 20 μm or less. is 10 μm or less. When the particle diameter of the resin particles is at least the lower limit and at most the upper limit, the resin particles can be more preferably used for the conductive particles and spacers.

上記樹脂粒子の粒子径は、平均粒子径であることが好ましく、数平均粒子径であることが好ましい。上記樹脂粒子の粒子径は、例えば、任意の樹脂粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、各樹脂粒子の粒子径の平均値を算出することや、粒度分布測定装置を用いて求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察では、1個当たりの樹脂粒子の粒子径は、円相当径での粒子径として求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察において、任意の50個の樹脂粒子の円相当径での平均粒子径は、球相当径での平均粒子径とほぼ等しくなる。粒度分布測定装置では、1個当たりの樹脂粒子の粒子径は、球相当径での粒子径として求められる。上記樹脂粒子の平均粒子径は、粒度分布測定装置を用いて算出することが好ましい。 The particle size of the resin particles is preferably an average particle size, more preferably a number average particle size. The particle diameter of the resin particles can be obtained, for example, by observing 50 arbitrary resin particles with an electron microscope or an optical microscope and calculating the average value of the particle diameter of each resin particle, or by using a particle size distribution measuring device. be done. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the particle diameter of one resin particle is obtained as the particle diameter in the equivalent circle diameter. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the average particle size of arbitrary 50 resin particles in the equivalent circle diameter is approximately equal to the average particle size in the equivalent sphere diameter. In the particle size distribution analyzer, the particle size of one resin particle is determined as the particle size in terms of equivalent sphere diameter. The average particle size of the resin particles is preferably calculated using a particle size distribution analyzer.

また、導電性粒子において、上記樹脂粒子の粒子径を測定する場合には、例えば、以下のようにして測定できる。 In addition, in the case of measuring the particle diameter of the resin particles of the conductive particles, the measurement can be performed, for example, as follows.

導電性粒子の含有量が30重量%となるように、Kulzer社製「テクノビット4000」に添加し、分散させて、導電性粒子検査用埋め込み樹脂体を作製する。検査用埋め込み樹脂体中に分散した導電性粒子の中心付近を通るようにイオンミリング装置(日立ハイテクノロジーズ社製「IM4000」)を用いて、導電性粒子の断面を切り出す。そして、電界放射型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)を用いて、画像倍率を25000倍に設定し、50個の導電性粒子を無作為に選択し、各導電性粒子の樹脂粒子を観察する。各導電性粒子における樹脂粒子の粒子径を計測し、それらを算術平均して樹脂粒子の粒子径とする。 The content of the conductive particles is added to "Technovit 4000" manufactured by Kulzer Co., Ltd. and dispersed to prepare an embedded resin body for conductive particle inspection. Using an ion milling device (“IM4000” manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), a cross section of the conductive particles is cut out so as to pass through the vicinity of the center of the conductive particles dispersed in the embedding resin body for inspection. Then, using a field emission scanning electron microscope (FE-SEM), set the image magnification to 25000 times, randomly select 50 conductive particles, and observe the resin particles of each conductive particle. . The particle diameter of the resin particles in each conductive particle is measured, and the arithmetic mean is taken as the particle diameter of the resin particles.

上記樹脂粒子の粒子径の変動係数(CV値)は、好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下、さらに好ましくは5%以下である。上記CV値が上記上限以下であると、樹脂粒子を導電性粒子及びスペーサの用途により一層好適に使用可能になる。 The coefficient of variation (CV value) of the particle size of the resin particles is preferably 15% or less, more preferably 10% or less, and even more preferably 5% or less. When the CV value is equal to or less than the upper limit, the resin particles can be more preferably used for conductive particles and spacers.

上記CV値は、下記式で表される。 The CV value is represented by the following formula.

CV値(%)=(ρ/Dn)×100
ρ:樹脂粒子の粒子径の標準偏差
Dn:樹脂粒子の粒子径の平均値
CV value (%) = (ρ/Dn) × 100
ρ: standard deviation of particle size of resin particles Dn: average value of particle size of resin particles

上記樹脂粒子の形状は、特に限定されない。上記樹脂粒子の形状は、球状であってもよく、球状以外の形状であってもよく、扁平状等の形状であってもよい。 The shape of the resin particles is not particularly limited. The shape of the resin particles may be spherical, may be other than spherical, or may be flat.

上記樹脂粒子のBET比表面積は、好ましくは0.5m/g以上、より好ましくは1.0m/g以上、さらに好ましくは1.5m/g以上であり、好ましくは10.0m/g以下、より好ましくは8.0m/g以下、さらに好ましくは5.0m/g以下である。上記樹脂粒子のBET比表面積が上記下限以上及び上記上限以下であると、上記樹脂粒子が実装時に接続対象部材間で破壊されにくい。結果として、高温環境下でもギャップを効果的に制御することができる。 The BET specific surface area of the resin particles is preferably 0.5 m 2 /g or more, more preferably 1.0 m 2 /g or more, still more preferably 1.5 m 2 /g or more, and preferably 10.0 m 2 /g. g or less, more preferably 8.0 m 2 /g or less, and even more preferably 5.0 m 2 /g or less. When the BET specific surface area of the resin particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin particles are less likely to break between connection target members during mounting. As a result, the gap can be effectively controlled even in a high temperature environment.

上記樹脂粒子のBET比表面積は、BET法に準拠して、窒素の吸着等温線から測定することができる。上記樹脂粒子のBET比表面積の測定装置としては、カンタクローム・インスツルメンツ社製「NOVA4200e」等が挙げられる。 The BET specific surface area of the resin particles can be measured from a nitrogen adsorption isotherm according to the BET method. Examples of the apparatus for measuring the BET specific surface area of the resin particles include "NOVA4200e" manufactured by Quantachrome Instruments.

上記樹脂粒子の用途は特に限定されない。上記樹脂粒子は、様々な用途に好適に用いられる。使用時の上記樹脂粒子の圧縮条件を変更することにより、樹脂粒子の厚みを好適に変化させることができる。 Applications of the resin particles are not particularly limited. The resin particles are suitably used for various purposes. By changing the compression conditions of the resin particles during use, the thickness of the resin particles can be suitably changed.

上記樹脂粒子は、スペーサに用いられるか、電子部品用接着剤に用いられるか、導電部を有する導電性粒子を得るために用いられるか、又は、積層造形用材料に用いられることが好ましい。上記樹脂粒子は、スペーサに用いられるか、電子部品用接着剤に用いられるか、又は、導電部を有する導電性粒子を得るために用いられることがより好ましい。上記樹脂粒子は、スペーサとして用いられるか、電子部品用接着剤として用いられるか、又は、導電部を有する導電性粒子を得るために用いられることがより好ましい。上記導電性粒子において、上記導電部は、上記樹脂粒子の表面上に形成される。 The resin particles are preferably used as spacers, as adhesives for electronic components, as conductive particles having a conductive portion, or as materials for layered manufacturing. More preferably, the resin particles are used as spacers, as adhesives for electronic parts, or as conductive particles having a conductive portion. More preferably, the resin particles are used as spacers, as adhesives for electronic parts, or to obtain conductive particles having a conductive portion. In the conductive particles, the conductive portion is formed on the surface of the resin particles.

上記樹脂粒子は、スペーサに用いられるか又はスペーサとして用いられることが好ましい。上記スペーサの使用方法としては、液晶表示素子用スペーサ、ギャップ制御用スペーサ、応力緩和用スペーサ、及び調光積層体用スペーサ等が挙げられる。上記ギャップ制御用スペーサは、スタンドオフ高さ及び平坦性を確保するための積層チップのギャップ制御、並びに、ガラス面の平滑性及び接着剤層の厚みを確保するための光学部品のギャップ制御等に用いることができる。上記応力緩和用スペーサは、センサチップ等の応力緩和、及び2つの接続対象部材を接続している接続部の応力緩和等に用いることができる。上記センサチップとしては、例えば、半導体センサチップ等が挙げられる。 The resin particles are preferably used for spacers or used as spacers. Examples of the method of using the above spacers include spacers for liquid crystal display elements, spacers for gap control, spacers for stress relaxation, and spacers for light modulating laminate. The gap control spacer is used for gap control of laminated chips to ensure the standoff height and flatness, and gap control of optical components to ensure the smoothness of the glass surface and the thickness of the adhesive layer. can be used. The stress relieving spacer can be used for relieving the stress of the sensor chip and the like, and relieving the stress of the connecting portion connecting the two members to be connected. Examples of the sensor chip include a semiconductor sensor chip.

上記樹脂粒子は、液晶表示素子用スペーサに用いられるか又は液晶表示素子用スペーサとして用いられることが好ましく、液晶表示素子用周辺シール剤に用いられることが好ましい。上記樹脂粒子は、液晶表示用スペーサとして用いられるか、電子部品用接着剤として用いられるか、又は、導電部を有する導電性粒子を得るために用いられることが好ましい。上記液晶表示素子用周辺シール剤において、上記樹脂粒子は、スペーサとして機能することが好ましい。上記樹脂粒子は、良好な圧縮変形特性を有するので、上記樹脂粒子をスペーサとして用いて基板間に配置したり、表面に導電部を形成して導電性粒子として用いて電極間を電気的に接続したりした場合に、スペーサ又は導電性粒子が、基板間又は電極間に効率的に配置される。さらに、上記樹脂粒子では、スペーサの凝集及び移動を抑制することができるので、上記液晶表示素子用スペーサを用いた液晶表示素子及び上記導電性粒子を用いた接続構造体において、接続不良及び表示不良が生じ難くなる。 The resin particles are preferably used as spacers for liquid crystal display elements, or preferably used as spacers for liquid crystal display elements, and preferably used as peripheral sealing agents for liquid crystal display elements. The resin particles are preferably used as spacers for liquid crystal displays, used as adhesives for electronic parts, or used to obtain conductive particles having a conductive portion. In the liquid crystal display element peripheral sealant, the resin particles preferably function as spacers. Since the resin particles have good compressive deformation characteristics, the resin particles are used as spacers to be arranged between substrates, or a conductive portion is formed on the surface and used as conductive particles to electrically connect electrodes. Spacers or conductive particles are effectively placed between the substrates or between the electrodes. Furthermore, since the resin particles can suppress the agglomeration and movement of the spacers, connection defects and display defects are caused in the liquid crystal display element using the spacers for a liquid crystal display element and the connection structure using the conductive particles. becomes difficult to occur.

上記樹脂粒子は、電子部品用接着剤に用いられるか又は電子部品用接着剤として用いられることが好ましい。上記電子部品用接着剤としては、液晶パネル用接着剤、積層基板用接着剤、基板回路用接着剤、及びカメラモジュール用接着剤等が挙げられる。上記積層基板としては、例えば、半導体センサチップ等が挙げられる。上記電子部品用接着剤に用いられる樹脂粒子又は上記電子部品用接着剤として用いられる樹脂粒子は、接着性能を有する接着性樹脂粒子であることが好ましい。上記樹脂粒子が接着性樹脂粒子であると、圧着をして樹脂粒子が硬化する際に、樹脂粒子と積層対象部材とを良好に接着することができる。上記樹脂粒子は単体で、電子部品用接着剤として用いることができる。他の接着成分を用いずに、上記樹脂粒子は、電子部品用接着剤として用いることができる。上記樹脂粒子を電子部品用接着剤に用いる場合、単体で電子部品用接着剤として用いなくてもよく、他の接着成分と共に用いられてもよい。また、上記樹脂粒子が接着性能を有する接着性樹脂粒子である場合は、スペーサ兼電子部品用接着剤として用いることもできる。上記樹脂粒子をスペーサ兼電子部品用接着剤として用いる場合、スペーサと接着剤とが別の材料によって構成される場合と比較して、ギャップ制御性や応力緩和性等のスペーサに求められる物性と、接着性との両立をより一層高度に実現することができる。 The resin particles are preferably used in an adhesive for electronic parts or used as an adhesive for electronic parts. Examples of the adhesives for electronic components include adhesives for liquid crystal panels, adhesives for laminated substrates, adhesives for substrate circuits, and adhesives for camera modules. Examples of the laminated substrate include a semiconductor sensor chip. The resin particles used in the adhesive for electronic parts or the resin particles used as the adhesive for electronic parts are preferably adhesive resin particles having adhesive properties. When the resin particles are adhesive resin particles, the resin particles and the member to be laminated can be satisfactorily adhered when the resin particles are cured by pressure bonding. The resin particles can be used alone as an adhesive for electronic parts. The resin particles can be used as an adhesive for electronic parts without using other adhesive components. When the resin particles are used as an adhesive for electronic parts, they may not be used alone as an adhesive for electronic parts, and may be used together with other adhesive components. Moreover, when the resin particles are adhesive resin particles having adhesive properties, they can also be used as spacers and adhesives for electronic parts. When the resin particles are used as spacers and adhesives for electronic components, the physical properties required for the spacers, such as gap controllability and stress relaxation, and The coexistence with adhesiveness can be realized at a higher level.

上記樹脂粒子は、積層造形用材料に用いられることが好ましい。上記樹脂粒子を上記積層造形用材料に用いる場合、例えば、上記樹脂粒子を立体的に積層して特定の形状を形成した後に、硬化させることによって立体的な造形物を形成することができる。 The resin particles are preferably used as a material for layered manufacturing. When the resin particles are used as the material for layered manufacturing, for example, a three-dimensional modeled object can be formed by layering the resin particles three-dimensionally to form a specific shape, followed by curing.

以下、樹脂粒子の他の詳細を説明する。なお、本明細書において、「(メタ)アクリレート」は「アクリレート」と「メタクリレート」との一方又は双方を意味し、「(メタ)アクリル」は「アクリル」と「メタクリル」との一方又は双方を意味する。 Other details of the resin particles will be described below. In the present specification, "(meth)acrylate" means one or both of "acrylate" and "methacrylate", and "(meth)acrylic" means one or both of "acrylic" and "methacrylic". means.

(樹脂粒子の他の詳細)
上記樹脂粒子の材料は特に限定されない。上記樹脂粒子の材料は、有機材料であることが好ましい。上記樹脂粒子は、多孔構造を有する粒子であってもよく、中実構造を有する粒子であってもよい。上記多孔構造は、複数の細孔を有する構造を意味している。上記中実構造は、複数の細孔を有しない構造を意味している。
(other details of resin particles)
The material of the resin particles is not particularly limited. The material of the resin particles is preferably an organic material. The resin particles may be particles having a porous structure or particles having a solid structure. The porous structure means a structure having a plurality of pores. The solid structure means a structure without a plurality of pores.

上記有機材料としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン等のポリオレフィン樹脂;ポリメチルメタクリレート及びポリメチルアクリレート等のアクリル樹脂;ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、イソシアネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、及びジビニルベンゼン重合体等が挙げられる。上記ジビニルベンゼン重合体は、ジビニルベンゼン共重合体であってもよい。上記ジビニルベンゼン共重合体等としては、ジビニルベンゼン-スチレン共重合体及びジビニルベンゼン-(メタ)アクリル酸エステル共重合体等が挙げられる。 Examples of the organic material include polyolefin resins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyisobutylene, and polybutadiene; acrylic resins such as polymethyl methacrylate and polymethyl acrylate; polycarbonates, polyamides, phenol formaldehyde resins, and melamine. Formaldehyde resin, benzoguanamine formaldehyde resin, urea formaldehyde resin, phenol resin, melamine resin, benzoguanamine resin, urea resin, epoxy resin, urethane resin, isocyanate resin, unsaturated polyester resin, saturated polyester resin, polyethylene terephthalate, polysulfone, polyphenylene oxide, polyacetal , polyimide, polyamideimide, polyetheretherketone, polyethersulfone, and divinylbenzene polymer. The divinylbenzene polymer may be a divinylbenzene copolymer. Examples of the divinylbenzene copolymer and the like include a divinylbenzene-styrene copolymer and a divinylbenzene-(meth)acrylate copolymer.

上記樹脂粒子の材料は、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ウレタン樹脂、イソシアネート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フェノール樹脂、又はエチレン性不飽和基を有する重合性単量体を1種又は2種以上重合させた重合体であることが好ましい。上記樹脂粒子の材料は、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フェノール樹脂、又はエチレン性不飽和基を有する重合性単量体を1種又は2種以上重合させた重合体であることがより好ましい。本発明の特性を有する樹脂粒子を容易に得る観点からは、上記樹脂粒子の材料は、ポリイミド樹脂であることがさらに好ましい。上記樹脂粒子の材料が、上記の好ましい態様を満足すると、樹脂粒子のCV値を下げることができ、ギャップ制御性をより一層高めることができる。また、得られる接続構造体の接続信頼性をより一層高めることができる。 Materials for the resin particles include epoxy resins, melamine resins, benzoguanamine resins, urethane resins, isocyanate resins, polyimide resins, polyamide resins, polyamideimide resins, phenol resins, or polymerizable monomers having an ethylenically unsaturated group. It is preferably a polymer obtained by polymerizing seeds or two or more. The material of the resin particles is an epoxy resin, a melamine resin, a benzoguanamine resin, a polyimide resin, a polyamide resin, a polyamideimide resin, a phenol resin, or one or more polymerizable monomers having an ethylenically unsaturated group. It is more preferred that the polymer is a From the viewpoint of easily obtaining resin particles having the properties of the present invention, the material of the resin particles is more preferably a polyimide resin. When the material of the resin particles satisfies the above preferable aspects, the CV value of the resin particles can be lowered, and the gap controllability can be further improved. Moreover, the connection reliability of the obtained connection structure can be further improved.

本発明の特性を有する樹脂粒子を容易に得る観点からは、上記樹脂粒子の材料は、2種以上の重合性単量体の重合により形成されたイミド基を有する重合体であることが特に好ましい。上記2種以上の重合性単量体の重合により形成されたイミド基を有する重合体は、2つの酸無水物基を有する重合性単量体と、2つのアミノ基を有する重合性単量体との重合体であることが最も好ましい。上記2つの酸無水物を有する重合性単量体は、上記2つの酸無水物を有する重合性単量体のエステル化誘導体であってもよく、上記2つの酸無水物を有する重合性単量体のカルボン酸誘導体であってもよい。上記樹脂粒子の材料が、上記の好ましい態様を満足すると、樹脂粒子のCV値を下げることができ、ギャップ制御性をより一層高めることができる。また、得られる接続構造体の接続信頼性をより一層高めることができる。 From the viewpoint of easily obtaining the resin particles having the characteristics of the present invention, it is particularly preferable that the material of the resin particles is a polymer having an imide group formed by polymerization of two or more polymerizable monomers. . The polymer having an imide group formed by polymerization of the two or more polymerizable monomers includes a polymerizable monomer having two acid anhydride groups and a polymerizable monomer having two amino groups. It is most preferably a polymer with The polymerizable monomer having the two acid anhydrides may be an esterified derivative of the polymerizable monomer having the two acid anhydrides, and the polymerizable monomer having the two acid anhydrides may be a carboxylic acid derivative. When the material of the resin particles satisfies the above preferable aspects, the CV value of the resin particles can be lowered, and the gap controllability can be further improved. Moreover, the connection reliability of the obtained connection structure can be further improved.

上記2つの酸無水物基を有する重合性単量体としては、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、ピロメリット酸無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、9,9-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、ジシクロヘキシル-3,3’,4,4’-テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、エチレンジアミン四酢酸二無水物、及びこれらのエステル化誘導体並びにカルボン酸誘導体等が挙げられる。樹脂粒子の粒子径のCV値を下げ、ギャップ制御性をより一層高める観点からは、上記2つの酸無水物基を有する重合性単量体は、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物又はそのエステル化誘導体並びにカルボン酸誘導体であることが好ましい。 Examples of the polymerizable monomer having two acid anhydride groups include 4,4′-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride, pyromellitic anhydride, and 3,3′,4,4′-benzophenone. Tetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis(3,4- dicarboxyphenyl)fluorene dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5- Cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, dicyclohexyl-3,3',4,4'-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo[2.2.2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetra Carboxylic acid dianhydrides, ethylenediaminetetraacetic acid dianhydrides, esterified derivatives thereof, carboxylic acid derivatives, and the like. From the viewpoint of lowering the CV value of the particle diameter of the resin particles and further enhancing the gap controllability, the polymerizable monomer having two acid anhydride groups is 4,4′-(hexafluoroisopropylidene)diphthal Acid anhydrides or their esterified derivatives as well as carboxylic acid derivatives are preferred.

上記2つのアミノ基を有する重合性単量体としては、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-フェニレンジアミン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,8-ジアミノオクタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,4-ジアミノブタン、1,2-ジアミノエタン及び1,2-ビス(2-アミノエトキシ)エタン等が挙げられる。樹脂粒子のCV値を下げ、ギャップ制御性をより一層高める観点からは、上記2つのアミノ基を有する重合性単量体は、4,4’-ジアミノジフェニルエーテルであることが好ましい。 Examples of the polymerizable monomer having two amino groups include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-phenylenediamine, 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane, 1,8-diaminooctane, 1, 6-diaminohexane, 1,4-diaminobutane, 1,2-diaminoethane, 1,2-bis(2-aminoethoxy)ethane and the like. From the viewpoint of lowering the CV value of the resin particles and further improving the gap controllability, the polymerizable monomer having two amino groups is preferably 4,4'-diaminodiphenyl ether.

熱分解温度を高め、本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、2種以上の重合性単量体の重合により形成されたイミド基を有する重合体の分子量100%中、存在するイミド基の分子量の合計(以下、「イミド基の含有率」とすることがある)は、好ましくは10%以上、より好ましくは20%以上、さらに好ましくは25%以上である。上記イミド基の含有率が上記下限以上であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 From the viewpoint of increasing the thermal decomposition temperature and more effectively exhibiting the effects of the present invention, the presence of The total molecular weight of the imide groups (hereinafter sometimes referred to as "imide group content") is preferably 10% or more, more preferably 20% or more, and still more preferably 25% or more. When the imide group content is at least the lower limit, the effect of the present invention can be exhibited more effectively.

上記樹脂粒子は、上記主鎖にイミド基を有する重合性単量体を重合させることによって得ることができる。上記の重合方法としては特に限定されず、ラジカル重合、イオン重合、重縮合(縮合重合、縮重合)、付加縮合、リビング重合、及びリビングラジカル重合等の公知の方法が挙げられる。また、他の重合方法としては、ラジカル重合開始剤の存在下での懸濁重合が挙げられる。 The resin particles can be obtained by polymerizing a polymerizable monomer having an imide group in the main chain. The polymerization method is not particularly limited, and includes known methods such as radical polymerization, ionic polymerization, polycondensation (condensation polymerization, polycondensation), addition condensation, living polymerization, and living radical polymerization. Other polymerization methods include suspension polymerization in the presence of a radical polymerization initiator.

(導電性粒子)
上記導電性粒子は、上述した樹脂粒子と、上記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備える。
(Conductive particles)
The conductive particles include the resin particles described above and a conductive portion arranged on the surface of the resin particles.

図2は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the first embodiment of the present invention.

図2に示す導電性粒子11は、樹脂粒子1と、樹脂粒子1の表面上に配置された導電部2とを有する。導電部2は、樹脂粒子1の表面を被覆している。導電性粒子11は、樹脂粒子1の表面が導電部2により被覆された被覆粒子である。 A conductive particle 11 shown in FIG. 2 has a resin particle 1 and a conductive portion 2 arranged on the surface of the resin particle 1 . The conductive portion 2 covers the surfaces of the resin particles 1 . The conductive particles 11 are coated particles in which the surfaces of the resin particles 1 are coated with the conductive portions 2 .

図3は、本発明の第2の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing conductive particles according to a second embodiment of the present invention.

図3に示す導電性粒子21は、樹脂粒子1と、樹脂粒子1の表面上に配置された導電部22とを有する。図3に示す導電性粒子21では、導電部22のみが、図2に示す導電性粒子11と異なる。導電部22は、内層である第1の導電部22Aと外層である第2の導電部22Bとを有する。樹脂粒子1の表面上に、第1の導電部22Aが配置されている。第1の導電部22Aの表面上に、第2の導電部22Bが配置されている。 A conductive particle 21 shown in FIG. 3 has a resin particle 1 and a conductive portion 22 arranged on the surface of the resin particle 1 . The conductive particles 21 shown in FIG. 3 differ from the conductive particles 11 shown in FIG. 2 only in the conductive portions 22 . The conductive portion 22 has a first conductive portion 22A that is an inner layer and a second conductive portion 22B that is an outer layer. A first conductive portion 22A is arranged on the surface of the resin particle 1 . A second conductive portion 22B is arranged on the surface of the first conductive portion 22A.

図4は、本発明の第3の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing conductive particles according to a third embodiment of the present invention.

図4に示す導電性粒子31は、樹脂粒子1と、導電部32と、複数の芯物質33と、複数の絶縁性物質34とを有する。 A conductive particle 31 shown in FIG. 4 has a resin particle 1 , a conductive portion 32 , a plurality of core substances 33 , and a plurality of insulating substances 34 .

導電部32は、樹脂粒子1の表面上に配置されている。導電性粒子31は表面に、複数の突起31aを有する。導電部32は外表面に、複数の突起32aを有する。このように、上記導電性粒子は、表面に突起を有していてもよく、導電部の外表面に突起を有していてもよい。複数の芯物質33が、樹脂粒子1の表面上に配置されている。複数の芯物質33は導電部32内に埋め込まれている。芯物質33は、突起31a,32aの内側に配置されている。導電部32は、複数の芯物質33を被覆している。複数の芯物質33により導電部32の外表面が隆起されており、突起31a,32aが形成されている。 The conductive portion 32 is arranged on the surface of the resin particle 1 . The conductive particles 31 have a plurality of projections 31a on their surfaces. The conductive portion 32 has a plurality of projections 32a on its outer surface. Thus, the conductive particles may have projections on the surface, or may have projections on the outer surface of the conductive portion. A plurality of core substances 33 are arranged on the surface of the resin particles 1 . A plurality of core substances 33 are embedded in the conductive portion 32 . The core substance 33 is arranged inside the protrusions 31a and 32a. The conductive portion 32 covers a plurality of core substances 33 . The outer surface of the conductive portion 32 is raised by a plurality of core substances 33 to form protrusions 31a and 32a.

導電性粒子31は、導電部32の外表面上に配置された絶縁性物質34を有する。導電部32の外表面の少なくとも一部の領域が、絶縁性物質34により被覆されている。絶縁性物質34は絶縁性を有する材料により形成されており、絶縁性粒子である。このように、上記導電性粒子は、導電部の外表面上に配置された絶縁性物質を有していてもよい。 The conductive particles 31 have an insulating material 34 disposed on the outer surface of the conductive portion 32 . At least a partial region of the outer surface of the conductive portion 32 is covered with an insulating material 34 . The insulating substance 34 is made of an insulating material and is an insulating particle. Thus, the conductive particles may have an insulating material disposed on the outer surface of the conductive portion.

上記導電部を形成するための金属は特に限定されない。上記金属としては、金、銀、パラジウム、銅、白金、亜鉛、鉄、錫、鉛、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、タリウム、ゲルマニウム、カドミウム、ケイ素、タングステン、モリブデン及びこれらの合金等が挙げられる。また、上記金属としては、錫ドープ酸化インジウム(ITO)及びはんだ等が挙げられる。電極間の接続信頼性をより一層高める観点からは、上記金属は、錫を含む合金、ニッケル、パラジウム、銅又は金であることが好ましく、ニッケル又はパラジウムであることが好ましい。 The metal for forming the conductive portion is not particularly limited. The above metals include gold, silver, palladium, copper, platinum, zinc, iron, tin, lead, aluminum, cobalt, indium, nickel, chromium, titanium, antimony, bismuth, thallium, germanium, cadmium, silicon, tungsten, molybdenum. and alloys thereof. Further, examples of the metal include tin-doped indium oxide (ITO) and solder. From the viewpoint of further increasing the connection reliability between the electrodes, the metal is preferably an alloy containing tin, nickel, palladium, copper or gold, preferably nickel or palladium.

導電性粒子11,31のように、上記導電部は、1つの層により形成されていてもよい。導電性粒子21のように、上記導電部は、複数の層により形成されていてもよい。すなわち、上記導電部は、2層以上の積層構造を有していてもよい。導電部が複数の層により形成されている場合には、最外層は、金層、ニッケル層、パラジウム層、銅層又は錫と銀とを含む合金層であることが好ましく、金層であることがより好ましい。最外層がこれらの好ましい導電部である場合には、電極間の接続信頼性をより一層高めることができる。また、最外層が金層である場合には、耐腐食性をより一層高めることができる。 Like the conductive particles 11 and 31, the conductive portion may be formed of one layer. Like the conductive particles 21, the conductive portion may be formed of multiple layers. That is, the conductive portion may have a laminated structure of two or more layers. When the conductive portion is formed of a plurality of layers, the outermost layer is preferably a gold layer, a nickel layer, a palladium layer, a copper layer, or an alloy layer containing tin and silver, and is a gold layer. is more preferred. When the outermost layer is one of these preferred conductive parts, the connection reliability between the electrodes can be further enhanced. Moreover, when the outermost layer is a gold layer, the corrosion resistance can be further enhanced.

上記樹脂粒子の表面上に導電部を形成する方法は特に限定されない。上記導電部を形成する方法としては、無電解めっきによる方法、電気めっきによる方法、物理的蒸着による方法、並びに金属粉末もしくは金属粉末とバインダーとを含むペーストを樹脂粒子の表面にコーティングする方法等が挙げられる。導電部をより一層容易に形成する観点からは、上記導電部を形成する方法は、無電解めっきによる方法が好ましい。上記物理的蒸着による方法としては、真空蒸着、イオンプレーティング及びイオンスパッタリング等の方法が挙げられる。 The method of forming the conductive portion on the surface of the resin particles is not particularly limited. Examples of the method for forming the conductive portion include a method by electroless plating, a method by electroplating, a method by physical vapor deposition, and a method of coating the surface of resin particles with a metal powder or a paste containing a metal powder and a binder. mentioned. From the viewpoint of forming the conductive portion more easily, the method of forming the conductive portion is preferably a method using electroless plating. Methods such as vacuum deposition, ion plating, and ion sputtering can be used as the method by physical vapor deposition.

上記導電性粒子を10%圧縮したときの圧縮弾性率(10%K値)は、好ましくは180N/mm以上、より好ましくは1800N/mm以上、さらに好ましくは3600N/mm以上であり、好ましくは9000N/mm以下、より好ましくは7000N/mm以下、さらに好ましくは5000N/mm以下である。上記10%K値が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The compression elastic modulus (10% K value) when the conductive particles are compressed by 10% is preferably 180 N/mm 2 or more, more preferably 1800 N/mm 2 or more, and still more preferably 3600 N/mm 2 or more, It is preferably 9000 N/mm 2 or less, more preferably 7000 N/mm 2 or less, still more preferably 5000 N/mm 2 or less. When the 10% K value is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記導電性粒子を30%圧縮したときの圧縮弾性率(30%K値)は、好ましくは180N/mm以上、より好ましくは900N/mm以上、さらに好ましくは1800N/mm以上であり、好ましくは3600N/mm以下、より好ましくは3000N/mm以下、さらに好ましくは2500N/mm以下である。上記30%K値が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The compression elastic modulus (30% K value) when the conductive particles are compressed by 30% is preferably 180 N/mm 2 or more, more preferably 900 N/mm 2 or more, and still more preferably 1800 N/mm 2 or more, It is preferably 3600 N/mm 2 or less, more preferably 3000 N/mm 2 or less, still more preferably 2500 N/mm 2 or less. When the 30% K value is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記導電性粒子における上記圧縮弾性率(10%K値及び30%K値)は、上記樹脂粒子における圧縮弾性率(10%K値及び30%K値)と同様にして測定できる。 The compressive elastic modulus (10% K value and 30% K value) of the conductive particles can be measured in the same manner as the compressive elastic modulus (10% K value and 30% K value) of the resin particles.

上記圧縮弾性率は、導電性粒子の硬さを普遍的かつ定量的に表す。上記圧縮弾性率の使用により、導電性粒子の硬さを定量的かつ一義的に表すことができる。 The compression elastic modulus universally and quantitatively represents the hardness of the conductive particles. By using the compressive modulus, the hardness of the conductive particles can be expressed quantitatively and uniquely.

上記導電性粒子の圧縮回復率は、好ましくは5%以上、より好ましくは8%以上であり、好ましくは60%以下、より好ましくは40%以下である。上記圧縮回復率が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The compression recovery rate of the conductive particles is preferably 5% or more, more preferably 8% or more, and preferably 60% or less, more preferably 40% or less. When the compression recovery rate is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the effects of the present invention can be exhibited more effectively.

上記導電性粒子の上記圧縮回復率は、上記樹脂粒子における圧縮回復率と同様にして測定できる。 The compression recovery rate of the conductive particles can be measured in the same manner as the compression recovery rate of the resin particles.

上記導電性粒子の粒子径は、好ましくは0.1μm以上、より好ましくは0.5μm以上、さらに好ましくは1.0μm以上であり、好ましくは1000μm以下、より好ましくは500μm以下、より一層好ましくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下、特に好ましくは20μm以下である。上記導電性粒子の粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、導電性粒子を用いて電極間を接続した場合に、導電性粒子と電極との接触面積が十分に大きくなり、かつ導電部を形成する際に凝集した導電性粒子が形成され難くなる。また、導電性粒子を介して接続された電極間の間隔が大きくなりすぎず、かつ導電部が樹脂粒子の表面から剥離し難くなる。また、上記導電性粒子の粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、導電性粒子を導電材料の用途に好適に用いることができる。 The particle diameter of the conductive particles is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.5 μm or more, still more preferably 1.0 μm or more, preferably 1000 μm or less, more preferably 500 μm or less, and even more preferably 100 μm. Below, more preferably 50 μm or less, particularly preferably 20 μm or less. When the particle size of the conductive particles is at least the lower limit and at most the upper limit, when the electrodes are connected using the conductive particles, the contact area between the conductive particles and the electrodes is sufficiently large, and the conductive It becomes difficult to form agglomerated conductive particles when forming the part. Also, the distance between the electrodes connected via the conductive particles does not become too large, and the conductive portions are less likely to separate from the surface of the resin particles. Moreover, when the particle size of the conductive particles is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the conductive particles can be suitably used as a conductive material.

上記導電性粒子の粒子径は、導電性粒子が真球状である場合には直径を意味し、導電性粒子が真球状以外の形状である場合には、その体積相当の真球と仮定した際の直径を意味する。 The particle diameter of the conductive particles means the diameter when the conductive particles are spherical, and when the conductive particles have a shape other than a spherical shape, it is assumed to be a true sphere corresponding to the volume. means the diameter of

上記導電性粒子の粒子径は、平均粒子径であることが好ましく、数平均粒子径であることがより好ましい。上記導電性粒子の粒子径は、任意の導電性粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することや、レーザー回折式粒度分布測定を行うことにより求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察では、1個当たりの導電性粒子の粒子径は、円相当径での粒子径として求められる。電子顕微鏡又は光学顕微鏡での観察において、任意の50個の導電性粒子の円相当径での平均粒子径は、球相当径での平均粒子径とほぼ等しくなる。レーザー回折式粒度分布測定では、1個当たりの導電性粒子の粒子径は、球相当径での粒子径として求められる。上記導電性粒子の粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定により算出することが好ましい。 The particle size of the conductive particles is preferably an average particle size, more preferably a number average particle size. The particle size of the conductive particles can be obtained by observing 50 arbitrary conductive particles with an electron microscope or an optical microscope and calculating the average value, or by performing laser diffraction particle size distribution measurement. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the particle size of each conductive particle is obtained as the particle size in circle equivalent diameter. In observation with an electron microscope or an optical microscope, the average particle size of arbitrary 50 conductive particles in equivalent circle diameter is almost equal to the average particle size in equivalent sphere diameter. In the laser diffraction particle size distribution measurement, the particle size of each conductive particle is obtained as the particle size in terms of equivalent sphere diameter. The particle size of the conductive particles is preferably calculated by laser diffraction particle size distribution measurement.

上記導電部の厚みは、好ましくは0.005μm以上、より好ましくは0.01μm以上であり、好ましくは10μm以下、より好ましくは1μm以下、さらに好ましくは0.3μm以下である。上記導電部の厚みは、導電部が多層である場合には導電部全体の厚みである。上記導電部の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、十分な導電性が得られ、かつ導電性粒子が硬くなりすぎずに、電極間の接続の際に導電性粒子が十分に変形する。 The thickness of the conductive portion is preferably 0.005 μm or more, more preferably 0.01 μm or more, and preferably 10 μm or less, more preferably 1 μm or less, and still more preferably 0.3 μm or less. The thickness of the conductive portion is the thickness of the entire conductive portion when the conductive portion has multiple layers. When the thickness of the conductive portion is the above lower limit or more and the above upper limit or less, sufficient conductivity is obtained, and the conductive particles do not become too hard, and the conductive particles are sufficiently deformed when connecting between electrodes. do.

上記導電部が複数の層により形成されている場合に、最外層の導電部の厚みは、好ましくは0.001μm以上、より好ましくは0.01μm以上であり、好ましくは0.5μm以下、より好ましくは0.1μm以下である。上記最外層の導電部の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、最外層の導電部による被覆が均一になり、耐腐食性が十分に高くなり、かつ電極間の接続信頼性をより一層高めることができる。また、上記最外層が金層である場合に、金層の厚みが薄いほど、コストが低くなる。 When the conductive portion is formed of a plurality of layers, the thickness of the conductive portion in the outermost layer is preferably 0.001 μm or more, more preferably 0.01 μm or more, and preferably 0.5 μm or less, and more preferably. is 0.1 μm or less. When the thickness of the conductive portion of the outermost layer is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the coating with the conductive portion of the outermost layer is uniform, the corrosion resistance is sufficiently high, and the connection reliability between the electrodes is improved. can be further enhanced. Further, when the outermost layer is a gold layer, the thinner the gold layer, the lower the cost.

上記導電部の厚みは、例えば透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、導電性粒子の断面を観察することにより測定できる。上記導電部の厚みについては、任意の導電部の厚み5箇所の平均値を1個の導電性粒子の導電部の厚みとして算出することが好ましく、導電部全体の厚みの平均値を1個の導電性粒子の導電部の厚みとして算出することがより好ましい。上記導電部の厚みは、任意の導電性粒子50個について、各導電性粒子の導電部の厚みの平均値を算出することにより求めることが好ましい。上記導電部の厚みは、平均厚みであることが好ましい。 The thickness of the conductive portion can be measured by observing the cross section of the conductive particles using, for example, a transmission electron microscope (TEM). Regarding the thickness of the conductive portion, it is preferable to calculate the average value of the thickness of the conductive portion at five locations as the thickness of the conductive portion of one conductive particle, and the average value of the thickness of the entire conductive portion. More preferably, it is calculated as the thickness of the conductive portion of the conductive particles. The thickness of the conductive portion is preferably obtained by calculating the average value of the thickness of the conductive portion of each conductive particle for 50 arbitrary conductive particles. The thickness of the conductive portion is preferably an average thickness.

上記導電性粒子は、導電部の外表面に突起を有することが好ましい。上記導電性粒子は、表面に突起を有することが好ましい。上記突起は複数であることが好ましい。導電部の表面並びに導電性粒子により接続される電極の表面には、酸化被膜が形成されていることが多い。突起を有する導電性粒子を用いた場合には、電極間に導電性粒子を配置して圧着させることにより、突起により上記酸化被膜が効果的に排除される。このため、電極と導電性粒子の導電部とをより一層確実に接触させることができ、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができる。さらに、導電性粒子が表面に絶縁性物質を備える場合に、又は導電性粒子がバインダー樹脂中に分散されて導電材料として用いられる場合に、導電性粒子の突起によって、導電性粒子と電極との間の絶縁性物質又はバインダー樹脂をより一層効果的に排除できる。このため、電極間の接続信頼性をより一層高めることができる。 The conductive particles preferably have protrusions on the outer surface of the conductive portion. The conductive particles preferably have protrusions on their surfaces. It is preferable that there are a plurality of protrusions. An oxide film is often formed on the surface of the conductive part and the surface of the electrode connected by the conductive particles. When conductive particles having projections are used, the oxide film is effectively removed by the projections by arranging the conductive particles between the electrodes and pressing them. Therefore, the electrodes and the conductive portions of the conductive particles can be brought into contact with each other more reliably, and the connection resistance between the electrodes can be further reduced. Furthermore, when the conductive particles are provided with an insulating substance on the surface, or when the conductive particles are dispersed in a binder resin and used as a conductive material, the protrusions of the conductive particles may cause the conductive particles and the electrode to contact each other. It is possible to more effectively eliminate the insulating material or the binder resin between them. Therefore, it is possible to further improve the connection reliability between the electrodes.

上記導電性粒子の表面に突起を形成する方法としては、樹脂粒子の表面に芯物質を付着させた後、無電解めっきにより導電部を形成する方法、及び樹脂粒子の表面に無電解めっきにより導電部を形成した後、芯物質を付着させ、さらに無電解めっきにより導電部を形成する方法等が挙げられる。また、突起を形成するために、上記芯物質を用いなくてもよい。 As a method for forming protrusions on the surface of the conductive particles, a method of forming a conductive part by electroless plating after attaching a core substance to the surface of the resin particle, and a method of forming a conductive part by electroless plating on the surface of the resin particle. After forming the part, a core substance is adhered, and then a conductive part is formed by electroless plating. Also, the core substance may not be used to form the projections.

上記突起を形成する方法としては、以下の方法等も挙げられる。樹脂粒子の表面に無電解めっきにより導電部を形成する途中段階で芯物質を添加する方法。無電解めっきにより芯物質を用いずに突起を形成する方法として、無電解めっきにより金属核を発生させ、樹脂粒子又は導電部の表面に金属核を付着させ、さらに無電解めっきにより導電部を形成する方法。 As a method for forming the protrusions, the following methods may be used. A method of adding a core substance in the middle of forming a conductive portion on the surface of a resin particle by electroless plating. As a method of forming projections by electroless plating without using a core material, electroless plating generates metal nuclei, attaches the metal nuclei to the surface of resin particles or conductive parts, and forms conductive parts by electroless plating. how to.

上記導電性粒子は、上記導電部の外表面上に配置された絶縁性物質をさらに備えることが好ましい。この場合には、導電性粒子を電極間の接続に用いると、隣接する電極間の短絡を防止できる。具体的には、複数の導電性粒子が接触したときに、複数の電極間に絶縁性物質が存在するので、上下の電極間ではなく横方向に隣り合う電極間の短絡を防止することができる。なお、電極間の接続の際に、2つの電極で導電性粒子を加圧することにより、導電性粒子の導電部と電極との間の絶縁性物質を容易に排除できる。導電性粒子が上記導電部の表面に突起を有する場合には、導電性粒子の導電部と電極との間の絶縁性物質をより一層容易に排除できる。上記絶縁性物質は、絶縁性樹脂層又は絶縁性粒子であることが好ましく、絶縁性粒子であることがより好ましい。上記絶縁性粒子は、絶縁性樹脂粒子であることが好ましい。 It is preferable that the conductive particles further include an insulating material disposed on the outer surface of the conductive portion. In this case, if the conductive particles are used to connect the electrodes, short-circuiting between adjacent electrodes can be prevented. Specifically, when a plurality of conductive particles come into contact with each other, an insulating material exists between the plurality of electrodes, so short-circuiting between horizontally adjacent electrodes can be prevented instead of between the upper and lower electrodes. . When the electrodes are connected, the insulating material between the conductive portion of the conductive particles and the electrodes can be easily eliminated by pressing the conductive particles with two electrodes. When the conductive particles have projections on the surface of the conductive portion, the insulating material between the conductive portion of the conductive particles and the electrode can be removed more easily. The insulating substance is preferably an insulating resin layer or insulating particles, more preferably insulating particles. The insulating particles are preferably insulating resin particles.

上記導電部の外表面、及び絶縁性粒子の表面はそれぞれ、反応性官能基を有する化合物によって被覆されていてもよい。導電部の外表面と絶縁性粒子の表面とは、直接化学結合していなくてもよく、反応性官能基を有する化合物によって間接的に化学結合していてもよい。導電部の外表面にカルボキシル基を導入した後、該カルボキシル基がポリエチレンイミン等の高分子電解質を介して絶縁性粒子の表面の官能基と化学結合していてもよい。 The outer surface of the conductive part and the surface of the insulating particles may each be coated with a compound having a reactive functional group. The outer surface of the conductive portion and the surface of the insulating particles may not be directly chemically bonded, or may be indirectly chemically bonded by a compound having a reactive functional group. After introducing carboxyl groups to the outer surface of the conductive portion, the carboxyl groups may be chemically bonded to functional groups on the surface of the insulating particles via a polymer electrolyte such as polyethyleneimine.

(導電材料)
上記導電材料は、上述した導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む。上記導電性粒子は、バインダー樹脂中に分散され、導電材料として用いられることが好ましい。上記導電材料は、異方性導電材料であることが好ましい。上記導電材料は、電極の電気的な接続に好適に用いられる。上記導電材料は、回路接続材料であることが好ましい。
(Conductive material)
The conductive material includes the conductive particles described above and a binder resin. The conductive particles are preferably dispersed in a binder resin and used as a conductive material. The conductive material is preferably an anisotropic conductive material. The conductive material is suitably used for electrical connection of electrodes. The conductive material is preferably a circuit connecting material.

上記バインダー樹脂は特に限定されない。上記バインダー樹脂として、公知の絶縁性の樹脂が用いられる。上記バインダー樹脂は、熱可塑性成分(熱可塑性化合物)又は硬化性成分を含むことが好ましく、硬化性成分を含むことがより好ましい。上記硬化性成分としては、光硬化性成分及び熱硬化性成分が挙げられる。上記光硬化性成分は、光硬化性化合物及び光重合開始剤を含むことが好ましい。上記熱硬化性成分は、熱硬化性化合物及び熱硬化剤を含むことが好ましい。上記バインダー樹脂としては、例えば、ビニル樹脂、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂、熱可塑性ブロック共重合体及びエラストマー等が挙げられる。上記バインダー樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The binder resin is not particularly limited. A known insulating resin is used as the binder resin. The binder resin preferably contains a thermoplastic component (thermoplastic compound) or a curable component, and more preferably contains a curable component. Examples of the curable component include photocurable components and thermosetting components. The photocurable component preferably contains a photocurable compound and a photopolymerization initiator. The thermosetting component preferably contains a thermosetting compound and a thermosetting agent. Examples of the binder resin include vinyl resins, thermoplastic resins, curable resins, thermoplastic block copolymers and elastomers. Only one type of the binder resin may be used, or two or more types may be used in combination.

上記ビニル樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン樹脂、エチレン-酢酸ビニル共重合体及びポリアミド樹脂等が挙げられる。上記硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。なお、上記硬化性樹脂は、常温硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、光硬化型樹脂又は湿気硬化型樹脂であってもよい。上記硬化性樹脂は、硬化剤と併用されてもよい。上記熱可塑性ブロック共重合体としては、例えば、スチレン-ブタジエン-スチレンブロック共重合体、スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体、スチレン-ブタジエン-スチレンブロック共重合体の水素添加物、及びスチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体の水素添加物等が挙げられる。上記エラストマーとしては、例えば、スチレン-ブタジエン共重合ゴム、及びアクリロニトリル-スチレンブロック共重合ゴム等が挙げられる。 Examples of the vinyl resin include vinyl acetate resin, acrylic resin and styrene resin. Examples of the thermoplastic resins include polyolefin resins, ethylene-vinyl acetate copolymers and polyamide resins. Examples of the curable resin include epoxy resin, urethane resin, polyimide resin and unsaturated polyester resin. The curable resin may be a room temperature curable resin, a thermosetting resin, a photocurable resin, or a moisture curable resin. The curable resin may be used in combination with a curing agent. Examples of the thermoplastic block copolymers include styrene-butadiene-styrene block copolymers, styrene-isoprene-styrene block copolymers, hydrogenated products of styrene-butadiene-styrene block copolymers, and styrene-isoprene. - hydrogenated products of styrene block copolymers; Examples of the elastomer include styrene-butadiene copolymer rubber and acrylonitrile-styrene block copolymer rubber.

上記導電材料は、上記導電性粒子及び上記バインダー樹脂の他に、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。 In addition to the conductive particles and the binder resin, the conductive material includes, for example, a filler, an extender, a softener, a plasticizer, a polymerization catalyst, a curing catalyst, a coloring agent, an antioxidant, a heat stabilizer, and a light stabilizer. It may contain various additives such as agents, UV absorbers, lubricants, antistatic agents and flame retardants.

上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を分散させる方法は、従来公知の分散方法を用いることができ特に限定されない。上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を分散させる方法としては、例えば、以下の方法等が挙げられる。上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を添加した後、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法。上記導電性粒子を水又は有機溶剤中にホモジナイザー等を用いて均一に分散させた後、上記バインダー樹脂中に添加し、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法。上記バインダー樹脂を水又は有機溶剤等で希釈した後、上記導電性粒子を添加し、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法。 The method for dispersing the conductive particles in the binder resin is not particularly limited, and a conventionally known dispersing method can be used. Examples of the method for dispersing the conductive particles in the binder resin include the following methods. A method of adding the conductive particles to the binder resin and then kneading and dispersing the mixture with a planetary mixer or the like. A method in which the conductive particles are uniformly dispersed in water or an organic solvent using a homogenizer or the like, then added to the binder resin, kneaded with a planetary mixer or the like, and dispersed. A method of diluting the binder resin with water, an organic solvent, or the like, adding the conductive particles, and kneading and dispersing the mixture with a planetary mixer or the like.

上記導電材料の25℃での粘度(η25)は、好ましくは30Pa・s以上、より好ましくは50Pa・s以上であり、好ましくは400Pa・s以下、より好ましくは300Pa・s以下である。上記導電材料の25℃での粘度が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。上記粘度(η25)は、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 The viscosity (η25) of the conductive material at 25° C. is preferably 30 Pa·s or more, more preferably 50 Pa·s or more, and preferably 400 Pa·s or less, more preferably 300 Pa·s or less. When the viscosity at 25° C. of the conductive material is equal to or higher than the lower limit and equal to or lower than the upper limit, the connection reliability between the electrodes can be enhanced more effectively. The viscosity (η25) can be appropriately adjusted depending on the types and amounts of ingredients to be blended.

上記粘度(η25)は、例えば、E型粘度計(東機産業社製「TVE22L」)等を用いて、25℃及び5rpmの条件で測定することができる。 The viscosity (η25) can be measured at 25° C. and 5 rpm using, for example, an E-type viscometer ("TVE22L" manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

上記導電材料は、導電ペースト及び導電フィルム等として使用され得る。本発明に係る導電材料が、導電フィルムである場合には、導電性粒子を含む導電フィルムに、導電性粒子を含まないフィルムが積層されていてもよい。上記導電ペーストは異方性導電ペーストであることが好ましい。上記導電フィルムは異方性導電フィルムであることが好ましい。 The conductive material can be used as a conductive paste, a conductive film, and the like. When the conductive material according to the present invention is a conductive film, a film containing no conductive particles may be laminated on a conductive film containing conductive particles. The conductive paste is preferably an anisotropic conductive paste. The conductive film is preferably an anisotropic conductive film.

上記導電材料100重量%中、上記バインダー樹脂の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは30重量%以上、さらに好ましくは50重量%以上、特に好ましくは70重量%以上であり、好ましくは99.99重量%以下、より好ましくは99.9重量%以下である。上記バインダー樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間に導電性粒子が効率的に配置され、導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性がより一層高くなる。 The content of the binder resin in 100% by weight of the conductive material is preferably 10% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, still more preferably 50% by weight or more, and particularly preferably 70% by weight or more. is 99.99% by weight or less, more preferably 99.9% by weight or less. When the content of the binder resin is at least the lower limit and at most the upper limit, the conductive particles are efficiently arranged between the electrodes, and the connection reliability of the connection target members connected by the conductive material is further increased.

上記導電材料100重量%中、上記導電性粒子の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.1重量%以上であり、好ましくは80重量%以下、より好ましくは60重量%以下、より一層好ましくは40重量%以下、さらに好ましくは20重量%以下、特に好ましくは10重量%以下である。上記導電性粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の接続抵抗をより一層効果的に低くすることができ、かつ、電極間の接続信頼性をより一層効果的に高めることができる。 The content of the conductive particles in 100% by weight of the conductive material is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.1% by weight or more, and preferably 80% by weight or less, more preferably 60% by weight. %, more preferably 40% by weight or less, more preferably 20% by weight or less, and particularly preferably 10% by weight or less. When the content of the conductive particles is at least the lower limit and at most the upper limit, the connection resistance between the electrodes can be more effectively reduced, and the connection reliability between the electrodes can be more effectively improved. can be enhanced.

(接続構造体)
上述した樹脂粒子を用いて、接続対象部材を接続することにより、接続構造体を得ることができる。
(connection structure)
A connection structure can be obtained by connecting the members to be connected using the resin particles described above.

上記樹脂粒子を用いた上記接続構造体は、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備える。上記接続構造体では、上記接続部が、上記樹脂粒子を含む。上記接続構造体では、上記接続部が、上記樹脂粒子により形成されているか、又は上記樹脂粒子を含む組成物により形成されていることが好ましい。 The connection structure using the resin particles connects a first member to be connected, a second member to be connected, and the first member to be connected and the second member to be connected. and a part. In the connection structure, the connection portion contains the resin particles. In the connection structure, the connection portion is preferably formed of the resin particles, or formed of a composition containing the resin particles.

また、上述した導電性粒子、又は上述した導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料を用いて、接続対象部材を接続することにより、接続構造体を得ることができる。 Further, a connection structure can be obtained by connecting members to be connected using the above-described conductive particles or a conductive material containing the above-described conductive particles and a binder resin.

上記導電性粒子を用いた上記接続構造体は、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備える。上記接続構造体では、上記接続部が、導電性粒子を含む。上記接続構造体では、上記接続部が、導電性粒子により形成されているか、又は上記導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料により形成されていることが好ましい。上記導電性粒子は、上述した樹脂粒子と、上記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備える。上記接続構造体では、上記第1の電極と上記第2の電極とが上記導電性粒子により電気的に接続されている。 The connection structure using the conductive particles includes a first connection target member having a first electrode on the surface, a second connection target member having a second electrode on the surface, and the first connection A connecting portion connecting the target member and the second connection target member. In the connection structure, the connection portion contains conductive particles. In the connection structure, it is preferable that the connection portion is formed of conductive particles, or formed of a conductive material containing the conductive particles and a binder resin. The conductive particles include the resin particles described above and a conductive portion arranged on the surface of the resin particles. In the connection structure, the first electrode and the second electrode are electrically connected by the conductive particles.

上記導電性粒子が単独で用いられた場合には、接続部自体が導電性粒子である。即ち、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とが上記導電性粒子により接続される。上記接続構造体を得るために用いられる上記導電材料は、異方性導電材料であることが好ましい。 When the conductive particles are used alone, the connecting part itself is the conductive particles. That is, the first member to be connected and the second member to be connected are connected by the conductive particles. The conductive material used to obtain the connection structure is preferably an anisotropic conductive material.

図5は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を用いた接続構造体の一例を示す断面図である。 FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a connection structure using conductive particles according to the first embodiment of the present invention.

図5に示す接続構造体41は、第1の接続対象部材42と、第2の接続対象部材43と、第1の接続対象部材42と第2の接続対象部材43とを接続している接続部44とを備える。接続部44は、導電性粒子11とバインダー樹脂とを含む導電材料により形成されている。図5では、図示の便宜上、導電性粒子11は略図的に示されている。導電性粒子11にかえて、導電性粒子21,31等の他の導電性粒子を用いてもよい。 A connection structure 41 shown in FIG. 5 is a connection structure that connects a first connection target member 42 , a second connection target member 43 , and the first connection target member 42 and the second connection target member 43 . a portion 44; The connecting portion 44 is made of a conductive material containing the conductive particles 11 and a binder resin. In FIG. 5, the conductive particles 11 are schematically shown for convenience of illustration. Instead of the conductive particles 11, other conductive particles such as the conductive particles 21 and 31 may be used.

第1の接続対象部材42は表面(上面)に、複数の第1の電極42aを有する。第2の接続対象部材43は表面(下面)に、複数の第2の電極43aを有する。第1の電極42aと第2の電極43aとが、1つ又は複数の導電性粒子11により電気的に接続されている。従って、第1,第2の接続対象部材42,43が導電性粒子11により電気的に接続されている。 The first connection target member 42 has a plurality of first electrodes 42a on its surface (upper surface). The second connection target member 43 has a plurality of second electrodes 43a on its surface (lower surface). The first electrode 42 a and the second electrode 43 a are electrically connected by one or more conductive particles 11 . Therefore, the first and second connection object members 42 and 43 are electrically connected by the conductive particles 11 .

上記接続構造体の製造方法は特に限定されない。接続構造体の製造方法の一例としては、第1の接続対象部材と第2の接続対象部材との間に上記導電材料を配置し、積層体を得た後、該積層体を加熱及び加圧する方法等が挙げられる。上記加圧時の圧力は、好ましくは40MPa以上、より好ましくは60MPa以上であり、好ましくは90MPa以下、より好ましくは70MPa以下である。上記加熱時の温度は、好ましくは80℃以上、より好ましくは100℃以上であり、好ましくは140℃以下、より好ましくは120℃以下である。 The manufacturing method of the connection structure is not particularly limited. As an example of a method for manufacturing a connected structure, the conductive material is arranged between a first member to be connected and a second member to be connected to obtain a laminate, and then the laminate is heated and pressurized. methods and the like. The pressure during pressurization is preferably 40 MPa or more, more preferably 60 MPa or more, and preferably 90 MPa or less, more preferably 70 MPa or less. The temperature during the heating is preferably 80° C. or higher, more preferably 100° C. or higher, and preferably 140° C. or lower, more preferably 120° C. or lower.

上記第1の接続対象部材及び第2の接続対象部材は、特に限定されない。上記第1の接続対象部材及び第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、半導体パッケージ、LEDチップ、LEDパッケージ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びに樹脂フィルム、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル、リジッドフレキシブル基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板等の電子部品等が挙げられる。上記第1の接続対象部材及び第2の接続対象部材は、電子部品であることが好ましい。 The first member to be connected and the second member to be connected are not particularly limited. Specifically, the first connection target member and the second connection target member include electronic components such as semiconductor chips, semiconductor packages, LED chips, LED packages, capacitors and diodes, as well as resin films, printed circuit boards, flexible Examples include electronic components such as circuit boards such as printed boards, flexible flat cables, rigid flexible boards, glass epoxy boards and glass boards. The first member to be connected and the second member to be connected are preferably electronic components.

上記導電材料は、電子部品を接続するための導電材料であることが好ましい。上記導電ペーストはペースト状の導電材料であり、ペースト状の状態で接続対象部材上に塗工されることが好ましい。 The conductive material is preferably a conductive material for connecting electronic components. The conductive paste is a paste-like conductive material, and is preferably applied on the member to be connected in the paste-like state.

上記導電性粒子、上記導電材料及び上記接続材料は、タッチパネルにも好適に用いられる。従って、上記接続対象部材は、フレキシブル基板であるか、又は樹脂フィルムの表面上に電極が配置された接続対象部材であることも好ましい。上記接続対象部材は、フレキシブル基板であることが好ましく、樹脂フィルムの表面上に電極が配置された接続対象部材であることが好ましい。上記フレキシブル基板がフレキシブルプリント基板等である場合に、フレキシブル基板は一般に電極を表面に有する。 The conductive particles, the conductive material, and the connecting material are also suitably used for touch panels. Therefore, it is preferable that the member to be connected is a flexible substrate or a member to be connected in which electrodes are arranged on the surface of a resin film. The member to be connected is preferably a flexible substrate, and is preferably a member to be connected in which electrodes are arranged on the surface of a resin film. When the flexible substrate is a flexible printed substrate or the like, the flexible substrate generally has electrodes on its surface.

上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極、SUS電極、及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極、銀電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。 The electrodes provided on the connection object members include metal electrodes such as gold electrodes, nickel electrodes, tin electrodes, aluminum electrodes, copper electrodes, molybdenum electrodes, silver electrodes, SUS electrodes, and tungsten electrodes. When the member to be connected is a flexible printed circuit board, the electrode is preferably a gold electrode, a nickel electrode, a tin electrode, a silver electrode or a copper electrode. When the member to be connected is a glass substrate, the electrode is preferably an aluminum electrode, a copper electrode, a molybdenum electrode, or a tungsten electrode. When the electrode is an aluminum electrode, it may be an electrode made of only aluminum, or an electrode in which an aluminum layer is laminated on the surface of a metal oxide layer. Examples of materials for the metal oxide layer include indium oxide doped with a trivalent metal element and zinc oxide doped with a trivalent metal element. Examples of the trivalent metal elements include Sn, Al and Ga.

また、上記樹脂粒子は、液晶表示素子用スペーサとして好適に用いることができる。上記樹脂粒子が液晶表示素子用スペーサとして用いられた場合は、ギャップを効果的に制御し、基板が損傷することを防止することができる。上記第1の接続対象部材は、第1の液晶表示素子用部材であってもよい。上記第2の接続対象部材は、第2の液晶表示素子用部材であってもよい。上記接続部は、上記第1の液晶表示素子用部材と上記第2の液晶表示素子用部材とが対向した状態で、上記第1の液晶表示素子用部材と上記第2の液晶表示素子用部材との外周をシールしているシール部であってもよい。 Moreover, the resin particles can be suitably used as spacers for liquid crystal display elements. When the resin particles are used as spacers for a liquid crystal display element, the gap can be effectively controlled and damage to the substrate can be prevented. The first member to be connected may be a first liquid crystal display element member. The second member to be connected may be a second liquid crystal display element member. The connection portion connects the first liquid crystal display element member and the second liquid crystal display element member in a state in which the first liquid crystal display element member and the second liquid crystal display element member are opposed to each other. It may be a seal portion that seals the outer periphery of the .

上記樹脂粒子は、液晶表示素子用周辺シール剤に用いることもできる。液晶表示素子は、第1の液晶表示素子用部材と、第2の液晶表示素子用部材とを備える。液晶表示素子は、上記第1の液晶表示素子用部材と上記第2の液晶表示素子用部材とが対向した状態で、上記第1の液晶表示素子用部材と上記第2の液晶表示素子用部材との外周をシールしているシール部と、上記シール部の内側で、上記第1の液晶表示素子用部材と上記第2の液晶表示素子用部材との間に配置されている液晶とをさらに備える。この液晶表示素子では、液晶滴下工法が適用され、かつ上記シール部が、液晶滴下工法用シール剤を熱硬化させることにより形成されている。 The resin particles can also be used as a peripheral sealant for liquid crystal display elements. The liquid crystal display element includes a first liquid crystal display element member and a second liquid crystal display element member. The liquid crystal display element comprises the first liquid crystal display element member and the second liquid crystal display element member in a state in which the first liquid crystal display element member and the second liquid crystal display element member face each other. and a liquid crystal disposed between the first liquid crystal display element member and the second liquid crystal display element member inside the seal portion. Prepare. In this liquid crystal display element, the liquid crystal dropping method is applied, and the sealing portion is formed by thermally curing a sealing agent for the liquid crystal dropping method.

図6は、本発明の第1の実施形態に係る樹脂粒子を用いた接続構造体の一例を示す断面図である。 FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of a connection structure using resin particles according to the first embodiment of the present invention.

図6に示す接続構造体81は、液晶表示素子である。接続構造体81は、接続対象部材として、一対の透明ガラス基板82を有する。透明ガラス基板82は、対向する面に絶縁膜(図示せず)を有する。絶縁膜の材料としては、例えば、SiO等が挙げられる。透明ガラス基板82における絶縁膜上に透明電極83が形成されている。透明電極83の材料としては、ITO等が挙げられる。透明電極83は、例えば、フォトリソグラフィーによりパターニングして形成可能である。透明ガラス基板82の表面上の透明電極83上に、配向膜84が形成されている。配向膜84の材料としては、ポリイミド等が挙げられる。 A connection structure 81 shown in FIG. 6 is a liquid crystal display element. The connection structure 81 has a pair of transparent glass substrates 82 as members to be connected. The transparent glass substrate 82 has an insulating film (not shown) on the opposing surface. Examples of materials for the insulating film include SiO 2 and the like. A transparent electrode 83 is formed on the insulating film of the transparent glass substrate 82 . Materials for the transparent electrode 83 include ITO and the like. The transparent electrode 83 can be formed by patterning by photolithography, for example. An alignment film 84 is formed on the transparent electrode 83 on the surface of the transparent glass substrate 82 . Examples of the material of the alignment film 84 include polyimide.

一対の透明ガラス基板82間には、液晶85が封入されている。一対の透明ガラス基板82間には、複数の樹脂粒子1が配置されている。樹脂粒子1は、液晶表示素子用スペーサとして用いられている。複数の樹脂粒子1により、一対の透明ガラス基板82の間隔が規制されている。一対の透明ガラス基板82の縁部間には、シール剤86が配置されている。シール剤86によって、液晶85の外部への流出が防がれている。シール剤86には、樹脂粒子1と粒径のみが異なる樹脂粒子1Aが含まれている。 A liquid crystal 85 is sealed between the pair of transparent glass substrates 82 . A plurality of resin particles 1 are arranged between the pair of transparent glass substrates 82 . The resin particles 1 are used as spacers for liquid crystal display elements. The distance between the pair of transparent glass substrates 82 is regulated by the plurality of resin particles 1 . A sealant 86 is placed between the edges of the pair of transparent glass substrates 82 . The sealant 86 prevents the liquid crystal 85 from flowing out to the outside. The sealing agent 86 contains resin particles 1A that differ from the resin particles 1 only in particle size.

上記液晶表示素子において1mmあたりの液晶表示素子用スペーサの配置密度は、好ましくは10個/mm以上であり、好ましくは1000個/mm以下である。上記配置密度が10個/mm以上であると、セルギャップがより一層均一になる。上記配置密度が1000個/mm以下であると、液晶表示素子のコントラストがより一層良好になる。 In the liquid crystal display element, the arrangement density of spacers for a liquid crystal display element per 1 mm 2 is preferably 10/mm 2 or more, and preferably 1000/mm 2 or less. When the arrangement density is 10/mm 2 or more, the cell gap becomes even more uniform. When the arrangement density is 1000 pieces/mm 2 or less, the contrast of the liquid crystal display device becomes even better.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples. The invention is not limited only to the following examples.

(実施例1)
(1)樹脂粒子の作製
温度計、冷却管、原料供給口を備えた反応容器に、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物5.6重量部と、エタノール98重量部とを入れ、1時間撹拌することで均一に溶解させた。次に、80℃まで昇温しエタノールを加熱還流させながら、8時間撹拌することで、ジエチルエステル体化合物のエタノール溶液を得た。
(Example 1)
(1) Preparation of Resin Particles 5.6 parts by weight of 4,4′-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride and 98 parts by weight of ethanol were added to a reaction vessel equipped with a thermometer, a cooling pipe, and a raw material supply port. was added and uniformly dissolved by stirring for 1 hour. Next, the mixture was stirred for 8 hours while the temperature was raised to 80° C. and the ethanol was heated to reflux, thereby obtaining an ethanol solution of the diethyl ester compound.

次いで、温度計、冷却管、原料供給口を備えた反応容器に、得られたエタノール溶液に、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル2.5重量部を加えて、1時間撹拌し、均一に溶解させた。次に、80℃まで昇温しエタノールを加熱還流させながら、5時間撹拌した。反応終了後、エバポレーターによりエタノールを留去することで、モノマー塩を得た。 Next, 2.5 parts by weight of 4,4'-diaminodiphenyl ether was added to the obtained ethanol solution in a reaction vessel equipped with a thermometer, a cooling pipe, and a raw material supply port, and stirred for 1 hour to dissolve uniformly. rice field. Next, the mixture was heated to 80° C. and stirred for 5 hours while heating and refluxing ethanol. After completion of the reaction, ethanol was distilled off using an evaporator to obtain a monomer salt.

さらに、温度計、冷却管、原料供給口を備えた反応容器に、上記モノマー塩と、分散安定剤(富士フイルム和光純薬社製「PVP K-30」)1.3重量部と、反応溶媒としてエチレングリコール296重量部とを加え、1時間撹拌し、均一に溶解させた。次に、200℃まで加熱し、エチレングリコールを加熱還流させながら、24時間撹拌した後、分級操作することで樹脂粒子を得た。 Furthermore, in a reaction vessel equipped with a thermometer, a cooling pipe, and a raw material supply port, the above monomer salt, a dispersion stabilizer (“PVP K-30” manufactured by Fuji Film Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 1.3 parts by weight, and a reaction solvent 296 parts by weight of ethylene glycol was added as a solvent and stirred for 1 hour to dissolve uniformly. Next, the mixture was heated to 200° C., stirred for 24 hours while heating and refluxing ethylene glycol, and then classified to obtain resin particles.

(2)導電性粒子の作製
パラジウム触媒液を5重量%含むアルカリ溶液100重量部に、超音波分散器を用いて、得られた樹脂粒子10重量部を分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン1重量%溶液100重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水500重量部に加え、分散させることにより、分散液を得た。次に、ニッケル粒子スラリー(平均粒子径100nm)1gを3分間かけて上記分散液に添加し、芯物質が付着された樹脂粒子を得た。芯物質が付着された樹脂粒子を蒸留水500重量部に加え、分散させることにより、懸濁液Aを得た。
(2) Preparation of conductive particles After dispersing 10 parts by weight of the resulting resin particles in 100 parts by weight of an alkaline solution containing 5% by weight of a palladium catalyst solution using an ultrasonic disperser, the solution is filtered. The resin particles were taken out. Next, the resin particles were added to 100 parts by weight of a 1% by weight solution of dimethylamine borane to activate the surface of the resin particles. After thoroughly washing the surface-activated resin particles with water, they were added to 500 parts by weight of distilled water and dispersed to obtain a dispersion. Next, 1 g of nickel particle slurry (average particle size: 100 nm) was added to the above dispersion over 3 minutes to obtain resin particles to which the core substance was attached. Suspension A was obtained by adding and dispersing the resin particles to which the core substance was attached in 500 parts by weight of distilled water.

また、前期工程用ニッケルめっき液として、硫酸ニッケル500g/L、次亜リン酸ナトリウム150g/L、クエン酸ナトリウム150g/L、及びめっき安定剤6ml/Lの混合液をアンモニアにてpH8に調整しためっき液を用意した。このめっき液150mlを、20ml/分の添加速度で定量ポンプを通して、懸濁液Aに滴下した。反応温度は、50℃に設定した。その後、pHが安定するまで撹拌し、水素の発泡が停止するのを確認し、無電解めっき前期工程を行った。 Also, as the nickel plating solution for the first step, a mixture of 500 g/L of nickel sulfate, 150 g/L of sodium hypophosphite, 150 g/L of sodium citrate, and 6 ml/L of a plating stabilizer was adjusted to pH 8 with ammonia. A plating solution was prepared. 150 ml of this plating solution was added dropwise to Suspension A through a metering pump at an addition rate of 20 ml/min. The reaction temperature was set at 50°C. Thereafter, the mixture was stirred until the pH was stabilized, and after confirming that the bubbling of hydrogen had stopped, the electroless plating first step was carried out.

次に、後期工程用ニッケルめっき液として、硫酸ニッケル500g/L、ジメチルアミンボラン80g/L、及びタングステン酸ナトリウム10g/Lの混合液を水酸化ナトリウムにてpH11に調整しためっき液を用意した。このめっき液350mlを、10ml/分の添加速度で定量ポンプを通して、無電解めっき前期工程後の懸濁液Aに滴下した。反応温度は、30℃に設定した。その後、pHが安定するまで撹拌し、水素の発泡が停止するのを確認し、無電解めっき後期工程を行った。その後、懸濁液Aをろ過して粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子と樹脂粒子の表面上に配置されたニッケル導電層(導電部)とを有し、該導電部の外表面に突起を有する導電性粒子を得た。 Next, as a nickel plating solution for a later process, a plating solution was prepared by adjusting a mixture of 500 g/L of nickel sulfate, 80 g/L of dimethylamine borane, and 10 g/L of sodium tungstate to pH 11 with sodium hydroxide. 350 ml of this plating solution was passed through a metering pump at an addition rate of 10 ml/min and dropped into the suspension A after the previous electroless plating step. The reaction temperature was set at 30°C. After that, the mixture was stirred until the pH was stabilized, and after confirming that the bubbling of hydrogen had stopped, the latter stage of electroless plating was carried out. After that, the suspension A is filtered to take out the particles, washed with water, and dried to have the resin particles and the nickel conductive layer (conductive portion) arranged on the surface of the resin particles, and the conductive portion Conductive particles having protrusions on their outer surfaces were obtained.

(3)導電材料(異方性導電ペースト)の作製
得られた導電性粒子7重量部と、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂25重量部と、フルオレン型エポキシ樹脂4重量部と、フェノールノボラック型エポキシ樹脂30重量部と、SI-60L(三新化学工業社製)とを配合して、3分間脱泡及び撹拌することで、導電材料(異方性導電ペースト)を得た。
(3) Preparation of conductive material (anisotropic conductive paste) 7 parts by weight of the obtained conductive particles, 25 parts by weight of bisphenol A type phenoxy resin, 4 parts by weight of fluorene type epoxy resin, and 30 parts by weight of phenol novolak type epoxy resin. A conductive material (anisotropic conductive paste) was obtained by blending parts by weight and SI-60L (manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.), followed by defoaming and stirring for 3 minutes.

(4)接続構造体の作製
L/Sが15μm/15μmであるAl-Nd合金配線にIZO電極パターンが上面に形成された厚み0.5mmの透明PET基板を用意した。また、L/Sが15μm/15μmである金電極パターンが下面に形成された半導体チップを用意した。上記透明PET基板上に、得られた異方性導電ペーストを厚さ30μmとなるように塗布し、異方性導電ペースト層を形成した。次に、異方性導電ペースト層上に上記半導体チップを、電極同士が対向するように積層した。その後、異方性導電ペースト層の温度が185℃となるようにヘッドの温度を調整しながら、半導体チップの上面に加圧加熱ヘッドを載せ、バンプ面積あたり30MPaの圧力をかけて異方性導電ペースト層を185℃で硬化させて、接続構造体を得た。
(4) Fabrication of Connection Structure A transparent PET substrate having a thickness of 0.5 mm was prepared by forming an IZO electrode pattern on the upper surface of an Al—Nd alloy wiring having an L/S ratio of 15 μm/15 μm. Also, a semiconductor chip having a gold electrode pattern with L/S of 15 μm/15 μm formed on the lower surface was prepared. The obtained anisotropic conductive paste was applied onto the transparent PET substrate so as to have a thickness of 30 μm to form an anisotropic conductive paste layer. Next, the semiconductor chip was laminated on the anisotropic conductive paste layer so that the electrodes faced each other. After that, while adjusting the temperature of the head so that the temperature of the anisotropic conductive paste layer becomes 185° C., a pressure heating head is placed on the upper surface of the semiconductor chip, and a pressure of 30 MPa per bump area is applied to achieve anisotropic conduction. The paste layer was cured at 185° C. to obtain a connection structure.

(実施例2)
樹脂粒子の作製の際に、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル2.5重量部の代りに1,3-フェニレンジアミン1.4重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、樹脂粒子、導電性粒子、導電材料、及び接続構造体を得た。
(Example 2)
Resin particles were prepared in the same manner as in Example 1, except that 1.4 parts by weight of 1,3-phenylenediamine was used instead of 2.5 parts by weight of 4,4'-diaminodiphenyl ether. Particles, conductive particles, conductive material, and connecting structures were obtained.

(実施例3)
樹脂粒子の作製の際に、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル2.5重量部の代りに1,3-ジ(アミノメチル)シクロヘキサン(Cis型構造体及びtrans型構造体の混合物)1.8重量部を用いた。また、分散安定剤の添加量を1.3重量部から1.2重量部に変更し、反応溶媒の添加量を296重量部から270重量部に変更した。上記の変更をしたこと以外は、実施例1と同様にして、樹脂粒子、導電性粒子、導電材料、及び接続構造体を得た。
(Example 3)
1.8 parts by weight of 1,3-di(aminomethyl)cyclohexane (mixture of cis-type structure and trans-type structure) instead of 2.5 parts by weight of 4,4'-diaminodiphenyl ether when preparing resin particles Part was used. Also, the amount of the dispersion stabilizer added was changed from 1.3 parts by weight to 1.2 parts by weight, and the amount of the reaction solvent added was changed from 296 parts by weight to 270 parts by weight. Resin particles, conductive particles, a conductive material, and a connection structure were obtained in the same manner as in Example 1, except for the above changes.

(実施例4)
樹脂粒子の作製の際に、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル2.5重量部の代りに1,8-ジアミノオクタン1.8重量部を用いた。また、分散安定剤の添加量を1.3重量部から1.2重量部に変更し、反応溶媒の添加量を296重量部から271重量部に変更した。上記の変更をしたこと以外は、実施例1と同様にして、樹脂粒子、導電性粒子、導電材料、及び接続構造体を得た。
(Example 4)
1.8 parts by weight of 1,8-diaminooctane was used in place of 2.5 parts by weight of 4,4'-diaminodiphenyl ether when preparing the resin particles. Also, the amount of the dispersion stabilizer added was changed from 1.3 parts by weight to 1.2 parts by weight, and the amount of the reaction solvent added was changed from 296 parts by weight to 271 parts by weight. Resin particles, conductive particles, a conductive material, and a connection structure were obtained in the same manner as in Example 1, except for the above changes.

(比較例1)
種粒子として平均粒子径0.85μmのポリスチレン粒子を用意した。上記ポリスチレン粒子0.85重量部と、イオン交換水500重量部と、ポリビニルアルコールの5重量%水溶液120重量部とを混合し、混合液を調製した。上記混合液を超音波により分散させた後、セパラブルフラスコに入れて、均一に撹拌した。
(Comparative example 1)
Polystyrene particles having an average particle size of 0.85 μm were prepared as seed particles. 0.85 parts by weight of the polystyrene particles, 500 parts by weight of ion-exchanged water, and 120 parts by weight of a 5% by weight aqueous solution of polyvinyl alcohol were mixed to prepare a mixed solution. After the mixed liquid was dispersed by ultrasonic waves, it was placed in a separable flask and uniformly stirred.

次に、モノマーとしてイソボルニルアクリレート19重量部と、ジビニルベンゼン(純度96重量%)5重量部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル(日油社製「ナイパーBW」)1.3重量部と、ラウリル硫酸トリエタノールアミン7.4重量部と、エタノール22重量部とをイオン交換水350重量部に添加し、乳化液を調製した。 Next, 19 parts by weight of isobornyl acrylate as a monomer, 5 parts by weight of divinylbenzene (purity 96% by weight), and 1.3 parts by weight of benzoyl peroxide ("Nyper BW" manufactured by NOF Corporation) as a polymerization initiator. , 7.4 parts by weight of triethanolamine lauryl sulfate and 22 parts by weight of ethanol were added to 350 parts by weight of ion-exchanged water to prepare an emulsion.

セパラブルフラスコ中の上記混合液に、上記乳化液を2回に分けて添加し、8時間撹拌し、種粒子にモノマーを吸収させて、モノマーが膨潤した種粒子を含む懸濁液を得た。 The emulsified liquid was added in two portions to the mixed liquid in the separable flask and stirred for 8 hours to allow the seed particles to absorb the monomer, thereby obtaining a suspension containing seed particles in which the monomer was swollen. .

その後、ポリビニルアルコールの5重量%水溶液170重量部を添加し、加熱を開始して85℃で11時間反応させ、樹脂粒子を得た。 Thereafter, 170 parts by weight of a 5% by weight aqueous solution of polyvinyl alcohol was added, and heating was started to react at 85° C. for 11 hours to obtain resin particles.

得られた樹脂粒子を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、導電性粒子、導電材料、及び接続構造体を得た。 Conductive particles, a conductive material, and a connection structure were obtained in the same manner as in Example 1, except that the obtained resin particles were used.

(比較例2)
イソボルニルアクリレートを添加しなかったこと、及びジビニルベンゼン(純度96重量%)の添加量を5重量部から24重量部に変更したこと以外は、比較例1と同様にして、樹脂粒子、導電性粒子、導電材料、及び接続構造体を得た。
(Comparative example 2)
Resin particles, conductive We obtained a conductive particle, a conductive material, and a connection structure.

(比較例3)
イソボルニルアクリレート19重量部をテトラアクリレート(新中村化学工業社製「NKエステルA-TMMT」)12重量部に変更したこと、及びジビニルベンゼン(純度96重量%)の添加量を5重量部から12重量部に変更したこと以外は、比較例1と同様にして、樹脂粒子、導電性粒子、導電材料、及び接続構造体を得た。
(Comparative Example 3)
19 parts by weight of isobornyl acrylate was changed to 12 parts by weight of tetraacrylate (“NK Ester A-TMMT” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and the amount of divinylbenzene (purity 96% by weight) added was changed from 5 parts by weight. Resin particles, conductive particles, a conductive material, and a connection structure were obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that the content was changed to 12 parts by weight.

(評価)
(1)樹脂粒子の粒子径(数平均粒子径)及び樹脂粒子の粒子径のCV値
得られた樹脂粒子について、粒度分布測定装置(ベックマンコールター社製「Multisizer4」)を用いて、約100000個の樹脂粒子の粒子径を測定し、平均値を算出した。また、樹脂粒子の粒子径の測定結果から、樹脂粒子の粒子径のCV値を下記式から算出した。
(evaluation)
(1) Particle diameter (number average particle diameter) of resin particles and CV value of particle diameter of resin particles About 100,000 resin particles were measured using a particle size distribution analyzer (“Multisizer 4” manufactured by Beckman Coulter, Inc.). The particle diameters of the resin particles were measured, and the average value was calculated. Moreover, the CV value of the particle diameter of the resin particles was calculated from the following formula from the measurement result of the particle diameter of the resin particles.

CV値(%)=(ρ/Dn)×100
ρ:樹脂粒子の粒子径の標準偏差
Dn:樹脂粒子の粒子径の平均
CV value (%) = (ρ/Dn) × 100
ρ: standard deviation of particle diameter of resin particles Dn: average particle diameter of resin particles

(2)樹脂粒子のアスペクト比
得られた樹脂粒子を走査型電子顕微鏡で観察し、アスペクト比を求めた。なお、上記アスペクト比として、任意の樹脂粒子50個のアスペクト比の平均値を採用した。
(2) Aspect ratio of resin particles The obtained resin particles were observed with a scanning electron microscope to determine the aspect ratio. As the aspect ratio, the average value of the aspect ratios of 50 arbitrary resin particles was adopted.

(3)BET比表面積
得られた樹脂粒子のBET比表面積を、測定装置(カンタクローム・インスツルメンツ社製「NOVA4200e」)を用いて、BET法に準拠して窒素の吸着等温線から測定した。
(3) BET Specific Surface Area The BET specific surface area of the obtained resin particles was measured from the adsorption isotherm of nitrogen according to the BET method using a measuring device ("NOVA4200e" manufactured by Quantachrome Instruments).

(4)線熱膨張係数
得られた樹脂粒子と同一組成の板状試料を作製し、測定機(Seiko Instruments Inc.製「TMA Q400」)を用いて、圧縮荷重法(TMA)により、昇温速度5℃/分の条件で線熱膨張係数を測定した。
(4) Coefficient of linear thermal expansion A plate-shaped sample having the same composition as the obtained resin particles was prepared, and the temperature was increased by a compressive load method (TMA) using a measuring instrument (“TMA Q400” manufactured by Seiko Instruments Inc.). The linear thermal expansion coefficient was measured at a rate of 5°C/min.

(5)熱分解温度
示差熱熱重量同時測定装置(日立ハイテクサイエンス社製「TG/DTA:STA7200」)を用いて、得られた樹脂粒子の熱分解温度を測定した。なお熱分解温度は、測定結果における重量が初期重量から10%減少した温度である。
(5) Thermal decomposition temperature The thermal decomposition temperature of the obtained resin particles was measured using a simultaneous differential thermogravimetric analyzer (“TG/DTA: STA7200” manufactured by Hitachi High-Tech Science). The thermal decomposition temperature is the temperature at which the weight decreases by 10% from the initial weight in the measurement results.

(6)樹脂粒子の10%K値、30%K値及び比(10%K値/30%K値)
得られた樹脂粒子の10%圧縮したときの圧縮弾性率(10%K値)及び30%圧縮したときの圧縮弾性率(30%K値)を上述した方法により測定した。また、計算により比(10%K値/30%K値)を求めた。なお、微小圧縮試験機として、フィッシャー社製「フィッシャースコープH-100」)を用いた。
(6) 10% K value, 30% K value and ratio (10% K value/30% K value) of resin particles
The compression elastic modulus (10% K value) when the obtained resin particles were compressed by 10% and the compression elastic modulus (30% K value) when compressed by 30% were measured by the method described above. Also, a ratio (10% K value/30% K value) was determined by calculation. As a microcompression tester, "Fischer Scope H-100" manufactured by Fisher Co. was used.

(7)ギャップ制御性
得られた接続構造体をオーブン内で200℃まで加熱し、温度を保持したまま1時間放置した。走査型電子顕微鏡(SEM)で観察し、接続部(異方性導電ペースト層)の最小厚み及び最大厚みを測定した。ギャップ制御性を、以下の基準で判定した。
(7) Gap Controllability The obtained connected structure was heated to 200° C. in an oven and left for 1 hour while maintaining the temperature. Observation was made with a scanning electron microscope (SEM), and the minimum thickness and maximum thickness of the connection portion (anisotropic conductive paste layer) were measured. Gap controllability was judged according to the following criteria.

[ギャップ制御性の判定基準]
○:最大厚みが最小厚みの1.2倍未満
△:最大厚みが最小厚みの1.2倍以上1.4倍未満
×:最大厚みが最小厚みの1.4倍以上
[Criteria for determining gap controllability]
○: The maximum thickness is less than 1.2 times the minimum thickness △: The maximum thickness is 1.2 times or more and less than 1.4 times the minimum thickness ×: The maximum thickness is 1.4 times or more the minimum thickness

(8)接続対象部材の損傷防止性
(7)で評価した接続構造体について、光学顕微鏡を用いて、PET基板表面上の1mm×1mm当たりの損傷の数を計測した。接続対象部材の損傷防止性を、以下の基準で判定した。
(8) Damage prevention property of member to be connected For the connection structure evaluated in (7), the number of damages per 1 mm x 1 mm on the PET substrate surface was measured using an optical microscope. The damage prevention property of the member to be connected was judged according to the following criteria.

[接続対象部材の損傷防止性の判定基準]
○:PET基板表面の損傷の数が0個以上5個以下
×:PET基板表面の損傷の数が6個以上
[Determination Criteria for Damage Prevention of Connection Object Member]
○: The number of damages on the PET substrate surface is 0 or more and 5 or less ×: The number of damages on the PET substrate surface is 6 or more

(9)ボイド抑制性
得られた接続構造体100個を、オーブン内で300℃まで加熱し、温度を保持したまま1時間放置した。放置後の接続構造体を、クロスセクションポリッシャ(日本電子社製「IB-19530CP」)を用いて、接続部の断面を切り出した。電界放射型透過電子顕微鏡(FE-TEM)(日本電子社製「JEM-ARM200F」)を用いて、画像倍率10000倍に設定し、導電性粒子の周辺でボイド(気泡)の有無を観察した。ボイド抑制性を、以下の基準で判定した。
(9) Void Suppression 100 pieces of the connection structure thus obtained were heated to 300° C. in an oven and left for 1 hour while maintaining the temperature. A cross-section of the connection portion of the connection structure after standing was cut out using a cross-section polisher ("IB-19530CP" manufactured by JEOL Ltd.). Using a field emission transmission electron microscope (FE-TEM) ("JEM-ARM200F" manufactured by JEOL Ltd.), the image magnification was set to 10000 times, and the presence or absence of voids (bubbles) around the conductive particles was observed. The void suppression property was judged according to the following criteria.

[ボイド抑制性の判定基準]
〇〇:ボイドが発生している接続構造体が1個以下
〇:ボイドが発生している接続構造体が2個以上5個以下
△:ボイドが発生している接続構造体が6個以上10個以下
×:ボイドが発生している接続構造体が11個以上
[Void suppression criteria]
〇〇: 1 or less connected structures with voids 〇: 2 to 5 connected structures with voids △: 6 or more 10 connected structures with voids ×: 11 or more connection structures with voids

(10)クラック抑制性
得られた導電性粒子5gを、オーブン内で300℃まで加熱し、温度を保持したまま1時間放置した。放置後の導電性粒子を、電界放射型透過電子顕微鏡(FE-TEM)(日本電子社製「JEM-ARM200F」)を用いて、画像倍率10000倍に設定し、100個の導電性粒子を無作為に選択し、導電部のクラックの有無を観察した。クラック抑制性を、以下の基準で判定した。
(10) Crack Suppression 5 g of the obtained conductive particles were heated to 300° C. in an oven and left for 1 hour while maintaining the temperature. Using a field emission transmission electron microscope (FE-TEM) ("JEM-ARM200F" manufactured by JEOL Ltd.), the conductive particles after standing are set to an image magnification of 10000 times, and 100 conductive particles are discarded. Randomly selected samples were observed for the presence or absence of cracks in the conductive portions. Crack suppression was judged according to the following criteria.

[クラック抑制性の判定基準]
〇〇:クラックが発生している導電性粒子が1個以下
〇:クラックが発生している導電性粒子が2個以上5個以下
△:クラックが発生している導電性粒子が6個以上10個以下
×:クラックが発生している導電性粒子が11個以上
[Criteria for Crack Suppression]
〇〇: 1 or less conductive particles with cracks 〇: 2 to 5 conductive particles with cracks △: 6 or more conductive particles with cracks 10 pcs or less ×: 11 or more conductive particles with cracks

(11)接続信頼性(上下の電極間)
得られた接続構造体20個の上下の電極間の接続抵抗をそれぞれ、4端子法により測定した。接続抵抗の平均値を算出した。なお、電圧=電流×抵抗の関係から、一定の電流を流した時の電圧を測定することにより接続抵抗を求めることができる。接続信頼性を以下の基準で判定した。
(11) Connection reliability (between upper and lower electrodes)
The connection resistance between the upper and lower electrodes of 20 obtained connection structures was measured by the four-probe method. An average value of connection resistance was calculated. From the relationship of voltage=current×resistance, the connection resistance can be obtained by measuring the voltage when a constant current flows. Connection reliability was determined according to the following criteria.

[接続信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗の平均値が2.0Ω以下
○:接続抵抗の平均値が2.0Ωを超え3.0Ω以下
×:接続抵抗の平均値が3.0Ωを超える
[Connection Reliability Judgment Criteria]
○○: The average value of connection resistance is 2.0 Ω or less ○: The average value of connection resistance is over 2.0 Ω and 3.0 Ω or less ×: The average value of connection resistance is over 3.0 Ω

結果を以下の表1に示す。 The results are shown in Table 1 below.

Figure 2023007156000002
Figure 2023007156000002

1,1A…樹脂粒子
2…導電部
11…導電性粒子
21…導電性粒子
22…導電部
22A…第1の導電部
22B…第2の導電部
31…導電性粒子
31a…突起
32…導電部
32a…突起
33…芯物質
34…絶縁性物質
41…接続構造体
42…第1の接続対象部材
42a…第1の電極
43…第2の接続対象部材
43a…第2の電極
44…接続部
81…接続構造体(液晶表示素子)
82…透明ガラス基板(接続対象部材)
83…透明電極
84…配向膜
85…液晶
86…シール剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A... Resin particle 2... Conductive part 11... Conductive particle 21... Conductive particle 22... Conductive part 22A... First conductive part 22B... Second conductive part 31... Conductive particle 31a... Projection 32... Conductive part DESCRIPTION OF SYMBOLS 32a... Protrusion 33... Core substance 34... Insulating substance 41... Connection structure 42... First connection object member 42a... First electrode 43... Second connection object member 43a... Second electrode 44... Connection part 81 … Connection structure (liquid crystal display element)
82... Transparent glass substrate (member to be connected)
83... Transparent electrode 84... Alignment film 85... Liquid crystal 86... Sealant

Claims (16)

100℃~200℃における線熱膨張係数が、300ppm/℃以下であり、
10%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上5000N/mm以下であり、
30%圧縮したときの圧縮弾性率が、100N/mm以上2000N/mm以下である、樹脂粒子。
A linear thermal expansion coefficient at 100 ° C. to 200 ° C. is 300 ppm / ° C. or less,
Compressive elastic modulus when compressed by 10% is 100 N/mm 2 or more and 5000 N/mm 2 or less,
Resin particles having a compression elastic modulus of 100 N/mm 2 or more and 2000 N/mm 2 or less when compressed by 30%.
100℃~200℃における線熱膨張係数が、100ppm/℃以下である、請求項1に記載の樹脂粒子。 2. The resin particles according to claim 1, having a linear thermal expansion coefficient of 100 ppm/°C or less at 100°C to 200°C. 10%圧縮したときの圧縮弾性率の、30%圧縮したときの圧縮弾性率に対する比が、1.5以上3.0以下である、請求項1又は2に記載の樹脂粒子。 3. The resin particles according to claim 1, wherein the ratio of the compression modulus when compressed by 10% to the compression modulus when compressed by 30% is 1.5 or more and 3.0 or less. 熱分解温度が、400℃以上である、請求項1~3のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 The resin particles according to any one of claims 1 to 3, which have a thermal decomposition temperature of 400°C or higher. 前記樹脂粒子の材料が、2種以上の重合性単量体の重合により形成されたイミド基を有する重合体を含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 5. The resin particle according to any one of claims 1 to 4, wherein the resin particle material comprises a polymer having an imide group formed by polymerization of two or more polymerizable monomers. アスペクト比が、1.0以上1.1以下である、請求項1~5のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 The resin particles according to any one of claims 1 to 5, which have an aspect ratio of 1.0 or more and 1.1 or less. 粒子径が、0.1μm以上1000μm以下である、請求項1~6のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 The resin particles according to any one of claims 1 to 6, having a particle diameter of 0.1 µm or more and 1000 µm or less. 粒子径のCV値が、10%以下である、請求項1~7のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 The resin particles according to any one of claims 1 to 7, wherein the CV value of the particle diameter is 10% or less. BET比表面積が、0.5m/g以上10.0m/g以下である、請求項1~8のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 The resin particles according to any one of claims 1 to 8, having a BET specific surface area of 0.5 m 2 /g or more and 10.0 m 2 /g or less. 液晶表示素子用スペーサとして用いられるか、電子部品用接着剤として用いられるか、又は、導電部を有する導電性粒子を得るために用いられる、請求項1~9のいずれか1項に記載の樹脂粒子。 The resin according to any one of claims 1 to 9, which is used as a spacer for liquid crystal display elements, used as an adhesive for electronic parts, or used to obtain conductive particles having a conductive portion. particle. 請求項1~10のいずれか1項に記載の樹脂粒子と、
前記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備える、導電性粒子。
The resin particles according to any one of claims 1 to 10;
and a conductive portion disposed on the surface of the resin particles.
前記導電部の外表面上に配置された絶縁性物質をさらに備える、請求項11に記載の導電性粒子。 12. The conductive particle of Claim 11, further comprising an insulating material disposed on the outer surface of said conductive portion. 前記導電部の外表面に突起を有する、請求項11又は12に記載の導電性粒子。 13. The conductive particles according to claim 11 or 12, having projections on the outer surface of said conductive portion. 導電性粒子と、バインダー樹脂とを含み、
前記導電性粒子が、請求項1~10のいずれか1項に記載の樹脂粒子と、前記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備える、導電材料。
Containing conductive particles and a binder resin,
A conductive material, wherein the conductive particles comprise the resin particles according to any one of claims 1 to 10, and conductive portions disposed on the surfaces of the resin particles.
第1の接続対象部材と、
第2の接続対象部材と、
前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、
前記接続部が、請求項1~10のいずれか1項に記載の樹脂粒子を含む、接続構造体。
a first connection target member;
a second connection target member;
A connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member,
A connection structure, wherein the connection portion contains the resin particles according to any one of claims 1 to 10.
前記第1の接続対象部材が表面に第1の電極を有し、
前記第2の接続対象部材が表面に第2の電極を有し、
前記接続部が導電性粒子を含み、
前記導電性粒子が、前記樹脂粒子と、前記樹脂粒子の表面上に配置された導電部とを備え、
前記第1の電極と前記第2の電極とが前記導電性粒子により電気的に接続されている、請求項15に記載の接続構造体。
The first member to be connected has a first electrode on its surface,
The second member to be connected has a second electrode on its surface,
wherein the connecting portion contains conductive particles;
The conductive particles comprise the resin particles and a conductive portion disposed on the surface of the resin particles,
16. The connected structure according to claim 15, wherein said first electrode and said second electrode are electrically connected by said conductive particles.
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