JP2023005147A - Method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

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道昌 高橋
Michimasa Takahashi
貴之 古野
Takayuki Furuno
貴久 平澤
Takahisa Hirasawa
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Abstract

To provide a printed wiring board having stable performance.SOLUTION: A method for manufacturing a printed wiring board in an embodiment includes: laminating a copper foil on a resin insulation layer; forming a plated resist on the copper foil; forming a first electrolytic plating film on the copper foil exposed from the plated resist; removing the plated resist; removing the copper foil in a part not covered with the first electrolytic plating film; and forming a conductor layer formed of the copper foil, the first electrolytic plating film on the copper foil, and a second electrolytic plating film on the first electrolytic plating film by forming the second electrolytic plating film on the first electrolytic plating film.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本明細書によって開示される技術は、プリント配線板の製造方法に関する。 The technology disclosed by this specification relates to a method for manufacturing a printed wiring board.

特許文献1は、絶縁基板と絶縁基板上に形成された渦巻状のコイルパターンとを有するコイルシートを開示する。特許文献1のコイルシートの製造方法は、絶縁基板上に渦巻状の下層の導体パターンを形成することと、導体パターン上に電解めっき膜を追加で形成すること、とを含む。 Patent Document 1 discloses a coil sheet having an insulating substrate and a spiral coil pattern formed on the insulating substrate. The coil sheet manufacturing method of Patent Document 1 includes forming a spiral lower-layer conductor pattern on an insulating substrate, and additionally forming an electrolytic plating film on the conductor pattern.

特開2009-246363号公報JP 2009-246363 A

[特許文献1の課題]
特許文献1の技術では、絶縁基板上に導体パターンが形成された後で、導体パターン上に電解めっき膜が形成される。この手法によると完成するコイルパターンの厚みにバラツキが生じると考えられる。コイルパターンを構成する配線間のギャップにバラツキが生じると考えられる。
[Problem of Patent Document 1]
In the technique disclosed in Patent Document 1, an electrolytic plating film is formed on the conductor pattern after the conductor pattern is formed on the insulating substrate. It is thought that this method causes variations in the thickness of the completed coil pattern. It is considered that the gaps between the wires forming the coil pattern are uneven.

本発明のプリント配線板の製造方法は、樹脂絶縁層上に銅箔を積層することと、前記銅箔上にめっきレジストを形成することと、前記めっきレジストから露出する前記銅箔上に第1電解めっき膜を形成することと、前記めっきレジストを除去することと、前記第1電解めっき膜で覆われていない部分の前記銅箔を除去することと、前記第1電解めっき膜上に第2電解めっき膜を形成することで、前記銅箔と前記銅箔上の前記第1電解めっき膜と前記第1電解めっき膜上の前記第2電解めっき膜からなる導体層を形成すること、とを有する。 A method of manufacturing a printed wiring board according to the present invention includes laminating a copper foil on a resin insulating layer, forming a plating resist on the copper foil, and forming a first copper foil on the copper foil exposed from the plating resist. forming an electrolytic plated film; removing the plating resist; removing the copper foil from a portion not covered with the first electrolytic plated film; Forming an electrolytic plated film to form a conductor layer composed of the copper foil, the first electrolytic plated film on the copper foil, and the second electrolytic plated film on the first electrolytic plated film; have.

実施形態のプリント配線板の製造方法によると、回路パターンが形成される前に、銅箔上にある程度の厚みの第1電解めっき膜が形成される。その後、第1電解めっき膜上に第2電解めっき膜を形成することで、銅箔と銅箔上の第1電解めっき膜と第1電解めっき膜上の第2電解めっき膜からなる導体層が形成される。そのため、実施形態の製造方法によると、銅箔による回路パターンの形成後に追加めっきを行う従来の方法に比べて、製造されるプリント配線板の導体層に含まれる導体回路間のギャップのバラツキ、厚みのバラツキを小さくし得る。高い占積率の導体層を有するプリント配線板が得られる。安定した性能のプリント配線板が得られる。 According to the printed wiring board manufacturing method of the embodiment, the first electrolytic plated film having a certain thickness is formed on the copper foil before the circuit pattern is formed. After that, by forming a second electrolytic plated film on the first electrolytic plated film, a conductor layer composed of the copper foil, the first electrolytic plated film on the copper foil, and the second electrolytic plated film on the first electrolytic plated film is formed. It is formed. Therefore, according to the manufacturing method of the embodiment, compared with the conventional method of performing additional plating after forming the circuit pattern with copper foil, the gap between the conductor circuits included in the conductor layer of the printed wiring board to be manufactured. variation can be reduced. A printed wiring board having a conductor layer with a high space factor can be obtained. A printed wiring board with stable performance can be obtained.

実施形態のプリント配線板を模式的に示す平面図。1 is a plan view schematically showing a printed wiring board according to an embodiment; FIG. 実施形態のプリント配線板を模式的に示す底面図。FIG. 2 is a bottom view schematically showing the printed wiring board of the embodiment; 実施形態のプリント配線板の一部を模式的に示す断面図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Sectional drawing which shows typically some printed wiring boards of embodiment. 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the embodiment; 第1改変例のプリント配線板の一部を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically some printed wiring boards of a 1st modification. 第1改変例のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a printed wiring board according to the first modified example;

[実施形態]
図1は実施形態のプリント配線板2を示す平面図である。図2は図1のプリント配線板2を示す底面図である。図1と図2に示されるように、プリント配線板2は、樹脂絶縁層10と、樹脂絶縁層10の第1面10a上に形成されている導体層20と、樹脂絶縁層10の第2面10b上に形成されている導体層30とを有する。実施形態のプリント配線板2は、円筒状に巻くことでモータ用コイル基板として利用される。形成されたモータ用コイル基板を円筒状のヨークの内側に配置し、モータ用コイル基板の内側に回転軸と磁石を配置することによりモータが形成される(図示省略)。
[Embodiment]
FIG. 1 is a plan view showing a printed wiring board 2 of the embodiment. FIG. 2 is a bottom view showing the printed wiring board 2 of FIG. As shown in FIGS. 1 and 2 , printed wiring board 2 includes resin insulation layer 10 , conductor layer 20 formed on first surface 10 a of resin insulation layer 10 , second layer 20 of resin insulation layer 10 . and a conductor layer 30 formed on the surface 10b. The printed wiring board 2 of the embodiment is used as a motor coil substrate by winding it in a cylindrical shape. A motor is formed by arranging the formed motor coil substrate inside a cylindrical yoke and arranging a rotating shaft and a magnet inside the motor coil substrate (not shown).

樹脂絶縁層10は、ポリイミド、ポリアミド等の絶縁性を有する樹脂を用いて形成される。樹脂絶縁層10は可撓性を有している。樹脂絶縁層はフレキシブル基板を形成することができる。樹脂絶縁層10は第1面10aと第2面10bを有している。樹脂絶縁層10の厚みは10μm以上100μm以下の範囲であり、例えば12.5μmである。 Resin insulating layer 10 is formed using an insulating resin such as polyimide or polyamide. Resin insulation layer 10 has flexibility. The resin insulation layer can form a flexible substrate. Resin insulation layer 10 has first surface 10a and second surface 10b. The thickness of resin insulation layer 10 is in the range of 10 μm or more and 100 μm or less, for example, 12.5 μm.

導体層20、30は銅を用いて形成されている。導体層20、30は、渦巻状に形成されているコイルである。図1に示されるように、第1面10a上に形成されている導体層20は、外周から内周に向かって右回りの渦巻状に形成されている。導体層20の外周側端部24には、導体層20と外部を接続する接続コード(図示省略)を接続するための接続端子が形成されている。導体層20の内周側端部22には、樹脂絶縁層10の第1面10aと第2面10bの間を貫通する貫通孔16が形成されている。貫通孔16内にはビア導体45が形成されている。貫通孔16及びビア導体45については後で図3を参照して詳しく説明される。ビア導体45により、第1面10a上の導体層20と第2面10b上の導体層30とが電気的に接続されている。 The conductor layers 20, 30 are formed using copper. The conductor layers 20 and 30 are spirally formed coils. As shown in FIG. 1, the conductor layer 20 formed on the first surface 10a is spirally formed clockwise from the outer circumference toward the inner circumference. A connection terminal for connecting a connection cord (not shown) for connecting the conductor layer 20 to the outside is formed on the outer peripheral side end portion 24 of the conductor layer 20 . A through hole 16 is formed in the inner peripheral side end portion 22 of the conductor layer 20 so as to penetrate between the first surface 10 a and the second surface 10 b of the resin insulation layer 10 . A via conductor 45 is formed in the through hole 16 . Through holes 16 and via conductors 45 will be described later in detail with reference to FIG. Via conductors 45 electrically connect conductor layer 20 on first surface 10a and conductor layer 30 on second surface 10b.

図2に示されるように、第2面10b上に形成されている導体層30は、外周から内周に向かって左回りの渦巻状に形成されている。導体層30の外周側端部34には、導体層30と外部を接続する接続コード(図示省略)を接続するための接続端子が形成されている。導体層30の内周側端部32は、上記のビア導体45を介して導体層20の内周側端部22と電気的に接続されている。 As shown in FIG. 2, the conductor layer 30 formed on the second surface 10b is formed in a counterclockwise spiral shape from the outer circumference to the inner circumference. A connection terminal for connecting a connection cord (not shown) for connecting the conductor layer 30 to the outside is formed on the outer peripheral side end portion 34 of the conductor layer 30 . The inner peripheral side end portion 32 of the conductor layer 30 is electrically connected to the inner peripheral side end portion 22 of the conductive layer 20 through the via conductors 45 described above.

導体層20、30は、同じ面から見て同じ巻き方向の渦巻状に形成されている。第1面10aと第2面10b上の導体層20、30は、電気的に直列に接続された1つのコイルとして機能している。図示は省略されるが、第1面10aと導体層20上は樹脂絶縁層で覆われている。同様に第2面10bと導体層30上は樹脂絶縁層で覆われている。 The conductor layers 20 and 30 are spirally formed in the same winding direction when viewed from the same plane. The conductor layers 20 and 30 on the first surface 10a and the second surface 10b function as one coil electrically connected in series. Although not shown, the first surface 10a and the conductor layer 20 are covered with a resin insulating layer. Similarly, the second surface 10b and the conductor layer 30 are covered with a resin insulating layer.

図3は実施形態のプリント配線板2の一部の断面図である。図3は、図1と図2のIII-III間の断面図である。図3が参照されることで導体層20、30の構造が詳しく説明される。図3に示されるように、導体層20は、コイル(図1)を構成する第1導体回路20aと、第1導体回路20aの隣の第2導体回路20bと、第2導体回路20bの隣の第3導体回路20cと、第3導体回路20cの隣の内周側端部22とを有する。第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20c、内周側端部22は、連続する1本の配線の異なる部分である。第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20c、内周側端部22のそれぞれの間隔は10μm以上50μm以下の範囲であり、例えば25μmである。第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20c、内周側端部22の厚みは、80μm以上150μm以下の範囲であり、例えば103μmである。第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20cの幅は、80μm以上150μm以下の範囲であり、例えば100μmである。内周側端部22の幅は、例えば300μmである。 FIG. 3 is a cross-sectional view of part of the printed wiring board 2 of the embodiment. 3 is a cross-sectional view between III-III of FIGS. 1 and 2. FIG. The structure of the conductor layers 20, 30 will be described in detail with reference to FIG. As shown in FIG. 3, the conductor layer 20 includes a first conductor circuit 20a forming the coil (FIG. 1), a second conductor circuit 20b adjacent to the first conductor circuit 20a, and a conductor circuit 20b adjacent to the second conductor circuit 20b. and an inner peripheral side end portion 22 adjacent to the third conductive circuit 20c. The first conductive circuit 20a, the second conductive circuit 20b, the third conductive circuit 20c, and the inner peripheral end 22 are different parts of one continuous wire. The distance between the first conductive circuit 20a, the second conductive circuit 20b, the third conductive circuit 20c, and the inner peripheral side edge 22 is in the range of 10 μm or more and 50 μm or less, for example, 25 μm. The thicknesses of the first conductor circuit 20a, the second conductor circuit 20b, the third conductor circuit 20c, and the inner peripheral side end portion 22 are in the range of 80 μm or more and 150 μm or less, for example, 103 μm. The widths of the first conductor circuit 20a, the second conductor circuit 20b, and the third conductor circuit 20c are in the range of 80 μm or more and 150 μm or less, for example, 100 μm. The width of the inner peripheral side end portion 22 is, for example, 300 μm.

同様に導体層30は、コイル(図2)を構成する第1導体回路30aと、第1導体回路30aの隣の第2導体回路30bと、第2導体回路30bの隣の第3導体回路30cと、第3導体回路30cの隣の内周側端部32とを有する。第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30c、内周側端部32は、連続する1本の配線の異なる部分である。第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30c、内周側端部32のそれぞれの間隔は10μm以上50μm以下の範囲であり、例えば25μmである。第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30c、内周側端部32の厚みは、80μm以上150μm以下の範囲であり、例えば103μmである。第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30cの幅は、80μm以上150μm以下の範囲であり、例えば100μmである。内周側端部32の幅は、例えば300μmである。 Similarly, the conductor layer 30 includes a first conductor circuit 30a forming a coil (FIG. 2), a second conductor circuit 30b adjacent to the first conductor circuit 30a, and a third conductor circuit 30c adjacent to the second conductor circuit 30b. and an inner peripheral end 32 adjacent to the third conductive circuit 30c. The first conductive circuit 30a, the second conductive circuit 30b, the third conductive circuit 30c, and the inner peripheral side end portion 32 are different portions of one continuous wiring. The distance between the first conductor circuit 30a, the second conductor circuit 30b, the third conductor circuit 30c, and the inner peripheral side edge 32 is in the range of 10 μm or more and 50 μm or less, for example, 25 μm. The thicknesses of the first conductor circuit 30a, the second conductor circuit 30b, the third conductor circuit 30c, and the inner peripheral side end portion 32 are in the range of 80 μm or more and 150 μm or less, for example, 103 μm. The widths of the first conductor circuit 30a, the second conductor circuit 30b, and the third conductor circuit 30c are in the range of 80 μm or more and 150 μm or less, for example, 100 μm. The width of the inner peripheral side end portion 32 is, for example, 300 μm.

導体層20は、銅箔12a~12dと、第1電解めっき膜40a~40dと、第2電解めっき膜50a~50dとを有する。導体層30は、銅箔14a~14dと、第1電解めっき膜41a~41dと、第2電解めっき膜51a~51dとを有する。以下銅箔12a~12dが区別されずに総称される場合は「銅箔12」と表される。第1電解めっき膜40a~40d、第2電解めっき膜50a~50d、銅箔14a~14d、第1電解めっき膜41a~41d、第2電解めっき膜51a~51dについても同様である。 The conductor layer 20 includes copper foils 12a-12d, first electrolytic plated films 40a-40d, and second electrolytic plated films 50a-50d. The conductor layer 30 has copper foils 14a-14d, first electrolytic plated films 41a-41d, and second electrolytic plated films 51a-51d. Hereinafter, when the copper foils 12a to 12d are collectively referred to without distinction, they will be referred to as "copper foil 12". The same applies to the first electrolytic plated films 40a-40d, the second electrolytic plated films 50a-50d, the copper foils 14a-14d, the first electrolytic plated films 41a-41d, and the second electrolytic plated films 51a-51d.

上記の通り、内周側端部22の下の銅箔12dと樹脂絶縁層10には貫通孔16が設けられている。貫通孔16内にはビア導体45が設けられる。ビア導体45により導体層20の内周側端部22と導体層30の内周側端部32とが電気的に接続される。 As described above, the through holes 16 are provided in the copper foil 12 d and the resin insulation layer 10 under the inner peripheral end 22 . A via conductor 45 is provided in the through hole 16 . The via conductor 45 electrically connects the inner peripheral side end portion 22 of the conductor layer 20 and the inner peripheral side end portion 32 of the conductive layer 30 .

以下では導体層20の構成要素が説明される。銅箔12は、樹脂絶縁層10の第1面10a上に形成されている銅の薄膜である。銅箔12は樹脂絶縁層10の第1面10a上に予め形成されている。銅箔12は無電解めっき膜であってもよい。銅箔12の厚みは1μm以上10μm以下の範囲であり、例えば3μmである。 The components of the conductor layer 20 are described below. Copper foil 12 is a copper thin film formed on first surface 10 a of resin insulation layer 10 . Copper foil 12 is formed in advance on first surface 10 a of resin insulation layer 10 . The copper foil 12 may be an electroless plated film. The thickness of the copper foil 12 ranges from 1 μm to 10 μm, for example, 3 μm.

第1電解めっき膜40は、銅箔12上に形成されている金属層である。第1電解めっき膜40は銅で形成される。第1電解めっき膜40dの一部は貫通孔16内に充填されてビア導体45を形成する。第1電解めっき膜40の厚みは50μm以上150μm以下の範囲であり、例えば90μmである。第1電解めっき膜40a~40cの幅は例えば280μmである。 The first electrolytic plated film 40 is a metal layer formed on the copper foil 12 . The first electrolytic plated film 40 is made of copper. Part of first electrolytic plated film 40 d is filled in through hole 16 to form via conductor 45 . The thickness of the first electrolytic plated film 40 ranges from 50 μm to 150 μm, for example, 90 μm. The width of the first electroplated films 40a to 40c is, for example, 280 μm.

第2電解めっき膜50は、第1電解めっき膜40上に形成されている金属層である。第2電解めっき膜50は、第1電解めっき膜40の側方の第1面10a上にも形成されている。第2電解めっき膜50は、第1電解めっき膜40の上面と、第1電解めっき膜40の側面と、第1電解めっき膜40の直下の銅箔12の側面を覆っている。第2電解めっき膜50の厚みは5μm以上30μm以下の範囲であり、例えば10μmである。 The second electrolytic plated film 50 is a metal layer formed on the first electrolytic plated film 40 . The second electrolytic plated film 50 is also formed on the first surface 10 a lateral to the first electrolytic plated film 40 . The second electrolytic plated film 50 covers the upper surface of the first electrolytic plated film 40 , the side surfaces of the first electrolytic plated film 40 , and the side surfaces of the copper foil 12 immediately below the first electrolytic plated film 40 . The thickness of the second electrolytic plated film 50 ranges from 5 μm to 30 μm, for example, 10 μm.

以下では導体層30の構成要素が説明される。図3に示されるように、銅箔14は、樹脂絶縁層10の第2面10b上に形成されている銅の薄膜である。銅箔14は樹脂絶縁層10の第2面10b上に予め形成されている。銅箔14は無電解めっき膜であってもよい。銅箔14の厚みは銅箔12とほぼ同じである。 The components of the conductor layer 30 are described below. As shown in FIG. 3 , copper foil 14 is a copper thin film formed on second surface 10 b of resin insulation layer 10 . Copper foil 14 is formed in advance on second surface 10 b of resin insulation layer 10 . The copper foil 14 may be an electroless plated film. The thickness of copper foil 14 is substantially the same as that of copper foil 12 .

第1電解めっき膜41は、銅箔14上に形成されている金属層である。第1電解めっき膜41は銅で形成される。第1電解めっき膜41の厚みは第1電解めっき膜40とほぼ同じである。 The first electrolytic plated film 41 is a metal layer formed on the copper foil 14 . The first electrolytic plated film 41 is made of copper. The thickness of first electrolytic plated film 41 is substantially the same as that of first electrolytic plated film 40 .

第2電解めっき膜51は、第1電解めっき膜41上に形成されている金属層である。第2電解めっき膜51は、第1電解めっき膜41の側方の第2面10b上にも形成されている。第2電解めっき膜51は、第1電解めっき膜41の上面と、第1電解めっき膜41の側面と、第1電解めっき膜41の直下の銅箔14の側面を覆っている。第2電解めっき膜51の厚みは第2電解めっき膜50とほぼ同じである。 The second electrolytic plated film 51 is a metal layer formed on the first electrolytic plated film 41 . The second electrolytic plated film 51 is also formed on the second surface 10 b lateral to the first electrolytic plated film 41 . The second electrolytic plated film 51 covers the upper surface of the first electrolytic plated film 41 , the side surfaces of the first electrolytic plated film 41 , and the side surfaces of the copper foil 14 immediately below the first electrolytic plated film 41 . The thickness of second electrolytic plated film 51 is substantially the same as that of second electrolytic plated film 50 .

実施形態では、導体層20、30に形成されている第1導体回路20a、30a、第2導体回路20b、30b等の導体回路は、従来に比べてギャップのバラツキ、厚みのバラツキが小さい。安定した性能のプリント配線板2が得られる。 In the embodiment, the conductor circuits such as the first conductor circuits 20a, 30a and the second conductor circuits 20b, 30b formed on the conductor layers 20, 30 have smaller variations in gap and thickness than conventionally. A printed wiring board 2 with stable performance can be obtained.

[実施形態のプリント配線板2の製造方法]
図4A~図4Fは実施形態のプリント配線板2の製造方法を示す。図4A~図4Fは断面図である。図4Aは、樹脂絶縁層10と、第1面10a上に予め設けられた銅箔12と、第2面10b上に予め設けられた銅箔14とを示す。樹脂絶縁層10は銅箔12、14付きのフレキシブル基板である。この時点では銅箔12、14は第1面10a、第2面10bの全面を覆っている。
[Manufacturing Method of Printed Wiring Board 2 of Embodiment]
4A to 4F show a method for manufacturing the printed wiring board 2 of the embodiment. 4A-4F are cross-sectional views. FIG. 4A shows resin insulation layer 10, copper foil 12 previously provided on first surface 10a, and copper foil 14 previously provided on second surface 10b. The resin insulation layer 10 is a flexible substrate with copper foils 12 and 14 attached. At this point, the copper foils 12 and 14 cover the entire surfaces of the first surface 10a and the second surface 10b.

銅箔12の上方からレーザーが照射される。図4Bに示されるように、銅箔12と樹脂絶縁層10を貫通する貫通孔16が形成される。 A laser is irradiated from above the copper foil 12 . As shown in FIG. 4B , through holes 16 are formed through copper foil 12 and resin insulation layer 10 .

図4Cに示されるように、銅箔12上にめっきレジスト60が形成される。めっきレジスト60は、第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20c、内周側端部22が形成されるべき位置(図3参照)に開口62a~62dを有している。開口62a~62dは銅箔12を露出する。同様に銅箔14上にめっきレジスト61が形成される。第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30c、内周側端部32が形成されるべき位置(図3参照)に開口63a~63dを有している。開口63a~63dは銅箔14を露出する。めっきレジスト60、61の幅は例えば35μmである。めっきレジスト60、61の厚みは100μm以上であり、例えば112μmである。開口62a~62c、63a~63cの幅は例えば90μmである。開口62d、63dの幅は例えば280μmである。 A plating resist 60 is formed on the copper foil 12 as shown in FIG. 4C. The plating resist 60 has openings 62a to 62d at positions where the first conductive circuit 20a, the second conductive circuit 20b, the third conductive circuit 20c, and the inner peripheral side edge 22 are to be formed (see FIG. 3). . The copper foil 12 is exposed through the openings 62a-62d. A plating resist 61 is similarly formed on the copper foil 14 . Openings 63a to 63d are provided at positions where the first conductive circuit 30a, the second conductive circuit 30b, the third conductive circuit 30c, and the inner peripheral side edge 32 are to be formed (see FIG. 3). The copper foil 14 is exposed through the openings 63a-63d. The width of the plating resists 60 and 61 is, for example, 35 μm. The thickness of the plating resists 60 and 61 is 100 μm or more, for example 112 μm. The width of the openings 62a-62c and 63a-63c is, for example, 90 μm. The width of the openings 62d and 63d is, for example, 280 μm.

図4Dに示されるように、電解めっき(パターンめっき)が行われ、めっきレジスト60から露出する銅箔12上に第1電解めっき膜40a~40dが形成される。同様にめっきレジスト61から露出する銅箔14上に第1電解めっき膜41a~41dが形成される。この時点の第1電解めっき膜40、41の厚みは例えば100μmである。開口62a~62c、63a~63c内に形成される第1電解めっき膜40a~40c、41a~41cの幅は例えば90μmである。開口62d、63d内に形成される第1電解めっき膜40d、41dの幅は例えば280μmである。 As shown in FIG. 4D, electrolytic plating (pattern plating) is performed to form first electrolytic plated films 40 a to 40 d on copper foil 12 exposed from plating resist 60 . Similarly, first electroplated films 41a to 41d are formed on copper foil 14 exposed from plating resist 61. Next, as shown in FIG. The thickness of the first electroplated films 40 and 41 at this point is, for example, 100 μm. The width of the first electrolytic plated films 40a-40c and 41a-41c formed in the openings 62a-62c and 63a-63c is, for example, 90 μm. The width of the first electroplated films 40d and 41d formed in the openings 62d and 63d is, for example, 280 μm.

図4Eに示されるように、めっきレジスト60、61が除去される。これにより、第1電解めっき膜40には銅箔12を露出する開口70が形成される。第1電解めっき膜41には銅箔14を露出する開口71が形成される。この時点では開口70、71の幅はめっきレジスト60、61(図4C)の幅と同じであり、例えば35μmである。 As shown in FIG. 4E, the plating resists 60, 61 are removed. As a result, an opening 70 exposing the copper foil 12 is formed in the first electrolytic plated film 40 . An opening 71 is formed in the first electrolytic plated film 41 to expose the copper foil 14 . At this point, the width of the openings 70, 71 is the same as the width of the plating resists 60, 61 (FIG. 4C), eg, 35 μm.

フラッシュエッチングが行われる。図4Fに示されるように、開口70から露出する銅箔12が除去される。銅箔12a~12dが形成される。第1電解めっき膜40の一部も除去される。開口71から露出する銅箔14が除去される。銅箔14a~14dが形成される。第1電解めっき膜41の一部も除去される。銅箔12、14が除去されるとともに、第1電解めっき膜40、41が全体的に小さくなる。第1電解めっき膜40、41は例えば1か所あたり5μm程度除去される。この時点では、開口70、71の幅は例えば45μmに広がる。第1電解めっき膜40、41の厚みは例えば90μmである。第1電解めっき膜40a~40c、41a~41cの幅は例えば80μmである。 A flash etch is performed. As shown in FIG. 4F, the copper foil 12 exposed through the openings 70 is removed. Copper foils 12a-12d are formed. A portion of the first electrolytic plated film 40 is also removed. The copper foil 14 exposed from the opening 71 is removed. Copper foils 14a-14d are formed. A portion of the first electrolytic plated film 41 is also removed. As the copper foils 12 and 14 are removed, the first electroplated films 40 and 41 become smaller as a whole. The first electroplated films 40 and 41 are removed, for example, by about 5 μm per location. At this point, the width of the openings 70, 71 expands to, for example, 45 μm. The thickness of the first electroplated films 40 and 41 is, for example, 90 μm. The width of the first electroplated films 40a-40c and 41a-41c is, for example, 80 μm.

その後、追加の電解めっきが行われる。図3に示されるように、第1電解めっき膜40の上面と、第1電解めっき膜40の側面と、第1電解めっき膜40の直下の銅箔12の側面を覆う第2電解めっき膜50が形成される。同様に、第1電解めっき膜41の上面と、第1電解めっき膜41の側面と、第1電解めっき膜41の直下の銅箔14の側面を覆う第2電解めっき膜51が形成される。第2電解めっき膜50、51の厚みは例えば10μmである。 Additional electroplating is then performed. As shown in FIG. 3, a second electrolytic plated film 50 covers the upper surface of the first electrolytic plated film 40, the side surface of the first electrolytic plated film 40, and the side surface of the copper foil 12 immediately below the first electrolytic plated film 40. is formed. Similarly, a second electrolytic plated film 51 is formed to cover the top surface of first electrolytic plated film 41 , the side surface of first electrolytic plated film 41 , and the side surface of copper foil 14 immediately below first electrolytic plated film 41 . The thickness of the second electroplated films 50 and 51 is, for example, 10 μm.

銅箔12a~12dと第1電解めっき膜40a~40dと第2電解めっき膜50a~50dによって第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20c、内周側端部22が形成される。導体層20が形成される。同様に、銅箔14a~14dと第1電解めっき膜41a~41dと第2電解めっき膜51a~51dによって第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30c、内周側端部32が形成される。導体層30が形成される。この結果、実施形態のプリント配線板2(図3)が得られる。 A first conductor circuit 20a, a second conductor circuit 20b, a third conductor circuit 20c, and an inner peripheral side end 22 are formed by the copper foils 12a to 12d, the first electrolytic plated films 40a to 40d, and the second electrolytic plated films 50a to 50d. be done. A conductor layer 20 is formed. Similarly, the copper foils 14a to 14d, the first electrolytic plated films 41a to 41d, and the second electrolytic plated films 51a to 51d form the first conductive circuit 30a, the second conductive circuit 30b, the third conductive circuit 30c, and the inner peripheral side end portion. 32 are formed. A conductor layer 30 is formed. As a result, the printed wiring board 2 (FIG. 3) of the embodiment is obtained.

実施形態の製造方法によると、回路パターンが形成される前に、銅箔12、14上にある程度の厚みの第1電解めっき膜40、41が形成される。その後、第1電解めっき膜40、41上に第2電解めっき膜50、51を形成することで導体層20、30が形成される。そのため、実施形態の製造方法によると、銅箔による回路パターンの形成後に追加めっきを行う従来の方法に比べて、製造される導体層20、30に含まれる導体回路20a~20c、30a~30c間のギャップのバラツキ、厚みのバラツキを小さくし得る。高い占積率の導体層20、30を有するプリント配線板2が得られる。安定した性能のプリント配線板2が得られる。 According to the manufacturing method of the embodiment, the first electroplated films 40 and 41 having a certain thickness are formed on the copper foils 12 and 14 before the circuit patterns are formed. After that, the conductor layers 20 and 30 are formed by forming the second electrolytic plated films 50 and 51 on the first electrolytic plated films 40 and 41 . Therefore, according to the manufacturing method of the embodiment, compared to the conventional method of performing additional plating after forming the circuit pattern with copper foil, the distance between the conductor circuits 20a to 20c and 30a to 30c included in the conductor layers 20 and 30 to be manufactured is reduced. gap variation and thickness variation can be reduced. A printed wiring board 2 having conductor layers 20 and 30 with a high space factor is obtained. A printed wiring board 2 with stable performance can be obtained.

[実施形態の第1改変例]
図5は、実施形態の第1改変例を示す。第1改変例では、第1電解めっき膜40、41間の一部に銅箔12、14が存在する。第2電解めっき膜50、51は、第1電解めっき膜40、41上と、第1電解めっき膜40、41間の銅箔12、14上に形成されている。
[First modification of the embodiment]
FIG. 5 shows a first variant of the embodiment. In the first modified example, the copper foils 12 and 14 exist partially between the first electroplated films 40 and 41 . The second electrolytic plated films 50 and 51 are formed on the first electrolytic plated films 40 and 41 and on the copper foils 12 and 14 between the first electrolytic plated films 40 and 41 .

第1改変例のプリント配線板2の製造方法は途中まで実施形態と同様である。第1改変例でも実施形態と同様に図4A~図4Eで説明される工程が実行される。第1改変例では、めっきレジスト60、61が除去(図4E)された後、フラッシュエッチングより先に追加の電解めっきが行われる。この結果図6に示されるように、第1電解めっき膜40の上面と、第1電解めっき膜40の側面と、第1電解めっき膜40間に位置する銅箔12(開口70から露出する銅箔12)の上面を覆う第2電解めっき膜50が形成される。第1電解めっき膜41の上面と、第1電解めっき膜41の側面と、第1電解めっき膜41間に位置する銅箔14(開口71から露出する銅箔14)の上面を覆う第2電解めっき膜51が形成される。 The manufacturing method of the printed wiring board 2 of the first modified example is the same as the embodiment up to the middle. The steps described in FIGS. 4A to 4E are performed in the first modified example as well as in the embodiment. In a first variant, after the plating resists 60, 61 are removed (FIG. 4E), an additional electroplating is performed prior to the flash etching. As a result, as shown in FIG. 6, the upper surface of the first electrolytic plated film 40, the side surface of the first electrolytic plated film 40, and the copper foil 12 positioned between the first electrolytic plated film 40 (copper exposed from the opening 70). A second electroplated film 50 is formed to cover the upper surface of the foil 12). A second electrolytic layer covering the upper surface of first electrolytic plated film 41, the side surface of first electrolytic plated film 41, and the upper surface of copper foil 14 located between first electrolytic plated film 41 (copper foil 14 exposed from opening 71). A plated film 51 is formed.

第1改変例では、その後フラッシュエッチングが行われる。図5に示されるように、開口70内の第2電解めっき膜50とその直下の銅箔12が除去される。銅箔12a~12dが形成される。第1電解めっき膜40を覆う第2電解めっき膜50の一部も除去される。同様に、開口71内の第2電解めっき膜51とその直下の銅箔14が除去される。銅箔14a~14dが形成される。第1電解めっき膜41を覆う第2電解めっき膜51の一部も除去される。第1電解めっき膜40、41を覆う第2電解めっき膜50、51が全体的に小さくなる。 In a first variant, a flash etch is then performed. As shown in FIG. 5, the second electrolytic plated film 50 in the opening 70 and the copper foil 12 directly thereunder are removed. Copper foils 12a-12d are formed. A portion of the second electrolytic plated film 50 covering the first electrolytic plated film 40 is also removed. Similarly, the second electrolytic plated film 51 in the opening 71 and the copper foil 14 directly thereunder are removed. Copper foils 14a-14d are formed. A portion of second electrolytic plated film 51 covering first electrolytic plated film 41 is also removed. The second electrolytic plated films 50 and 51 covering the first electrolytic plated films 40 and 41 become smaller as a whole.

この結果、第1導体回路20a、第2導体回路20b、第3導体回路20c、内周側端部22が形成される。導体層20が形成される。同様に、第1導体回路30a、第2導体回路30b、第3導体回路30c、内周側端部32が形成される。導体層30が形成される。第1改変例のプリント配線板2(図5)が得られる。 As a result, the first conductive circuit 20a, the second conductive circuit 20b, the third conductive circuit 20c, and the inner peripheral side edge 22 are formed. A conductor layer 20 is formed. Similarly, a first conductor circuit 30a, a second conductor circuit 30b, a third conductor circuit 30c, and an inner peripheral side edge 32 are formed. A conductor layer 30 is formed. A first modified printed wiring board 2 (FIG. 5) is obtained.

第1改変例の製造方法によると、追加の電解めっきが行われる時点で銅箔12、14の全部が残っているため、銅箔12、14の一部を追加の電解めっきの為の電力を供給するリードとして使用することができる。別途リードを設けておく必要がない。 According to the manufacturing method of the first modified example, since all of the copper foils 12 and 14 remain when the additional electrolytic plating is performed, the power for the additional electrolytic plating is applied to some of the copper foils 12 and 14. Can be used as a feeding lead. There is no need to provide a separate lead.

2:プリント配線板
10:樹脂絶縁層
12(12a~12d)、14(14a~14d):銅箔
20、30:導体層
40(40a~40d)、41(41a~41d):第1電解めっき膜
50(50a~50d)、51(51a~51d):第2電解めっき膜
60、61:めっきレジスト
2: Printed wiring board 10: Resin insulating layers 12 (12a to 12d), 14 (14a to 14d): Copper foils 20, 30: Conductive layers 40 (40a to 40d), 41 (41a to 41d): First electrolytic plating Films 50 (50a to 50d), 51 (51a to 51d): second electroplated films 60, 61: plating resist

Claims (4)

樹脂絶縁層上に銅箔を積層することと、
前記銅箔上にめっきレジストを形成することと、
前記めっきレジストから露出する前記銅箔上に第1電解めっき膜を形成することと、
前記めっきレジストを除去することと、
前記第1電解めっき膜で覆われていない部分の前記銅箔を除去することと、
前記第1電解めっき膜上に第2電解めっき膜を形成することで、前記銅箔と前記銅箔上の前記第1電解めっき膜と前記第1電解めっき膜上の前記第2電解めっき膜からなる導体層を形成すること、とを有するプリント配線板の製造方法。
laminating a copper foil on the resin insulation layer;
forming a plating resist on the copper foil;
forming a first electrolytic plated film on the copper foil exposed from the plating resist;
removing the plating resist;
removing the portion of the copper foil that is not covered with the first electroplated film;
By forming a second electrolytic plated film on the first electrolytic plated film, the copper foil, the first electrolytic plated film on the copper foil, and the second electrolytic plated film on the first electrolytic plated film and forming a conductor layer.
請求項1のプリント配線板の製造方法であって、前記第1電解めっき膜の厚さは50μm以上である。 2. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the thickness of said first electroplating film is 50 [mu]m or more. 請求項1のプリント配線板の製造方法であって、前記第2電解めっき膜を形成することは前記銅箔を除去することの後に行われる。 2. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein forming said second electroplating film is performed after removing said copper foil. 請求項1のプリント配線板の製造方法であって、前記第2電解めっき膜を形成することは前記第1電解めっき膜間に位置する前記銅箔の直上に前記第2電解めっき膜を形成することを含み、前記銅箔を除去することは前記銅箔の直上に形成されている前記第2電解めっき膜を除去することを含む。 2. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein forming the second electrolytic plated film includes forming the second electrolytic plated film immediately above the copper foil positioned between the first electrolytic plated films. and removing the copper foil includes removing the second electroplated film formed directly on the copper foil.
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