JP2022523807A - 整合ネットワーク内の損傷の検出 - Google Patents

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Abstract

整合ネットワークを動作させるためのシステムおよび方法が、開示される。方法は、整合ネットワークの第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性と、整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性とを取得することを含む。整合ネットワークの現在のリアクタンス設定が、取得され、整合ネットワークの現在のリアクタンス設定に基づいて、整合ネットワークの第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの期待属性と関連付ける整合ネットワークのモデルが、アクセスされる。整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性は、少なくとも１つの期待出力属性と対比され、整合ネットワークが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定する。

Description

本発明は、概して、プラズマ処理に関する。特に、限界ではないが、本発明は、無線周波数発生器から半導体処理チャンバ内のプラズマ負荷に伝送される無線周波数電力をインピーダンス整合するためのシステム、方法、および装置に関する。
半導体製造の世界では、製造業者は、無線周波数（ＲＦ）電力を利用してプラズマを発生させるプラズマ処理チャンバを生産する。ＲＦ発生器（「発生器」）とプラズマ負荷との間の効率的な電力伝達を達成するために、インピーダンス整合ネットワーク（「整合ネットワーク」）が、多くの場合、負荷インピーダンスを所望の入力インピーダンス（典型的には、５０オーム）に整合させるために使用される。プラズマ負荷インピーダンスは、発生器周波数、電力、チャンバ圧力、ガス組成、およびプラズマ点火等の変数に応じて変動し得る。整合ネットワークは、リアクタンス要素（例えば、可変コンデンサ）を変動させ、所望の入力インピーダンスを維持することによって、負荷インピーダンスのこれらの変動を考慮する。
多くの整合ネットワークが、整合ネットワークへのある損傷が存在するとき、および／または、整合ネットワークが、整合ネットワークのための設計仕様から外れて動作しているときに、動作可能である。損傷を受けた整合ネットワークは、ＲＦ電力損失を引き起こし得、これは、より少ないＲＦ電力がプロセスチャンバに印加されることをもたらし得、ＲＦ電力のより少ない印加が、プロセス遷移をもたらし得る。最悪の場合のシナリオでは、プロセス遷移が、損傷が気付かれることなく、処理チャンバ内で処理されているワークピース（例えば、ウエハ）への損傷をもたらし得る。結果として、整合ネットワークへの損傷および／または動作変化を検出することが、望ましい。
ある側面によると、方法は、整合ネットワークを通して発電機からの電力をプラズマ負荷に結合することと、整合ネットワークの第１の側において１つ以上のパラメータを測定し、整合ネットワークの第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得することと、整合ネットワークの第２の側において１つ以上のパラメータを測定し、整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得することとを含む。本方法はまた、整合ネットワークの現在のリアクタンス設定を取得することと、整合ネットワークの現在のリアクタンス設定に基づいて、整合ネットワークの第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの期待属性と関連付ける整合ネットワークのモデルにアクセスすることとを含む。整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性が、少なくとも１つの期待属性と対比され、整合ネットワークが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定する。
別の側面は、整合システムとして特徴付けられ得、整合システムは、可変リアクタンスセクションの出力におけるインピーダンスを入力インピーダンスに変換するための可変リアクタンスセクションと、可変リアクタンスセクションの入力において１つ以上の入力パラメータを測定するための少なくとも１つの入力センサと、可変リアクタンスセクションの出力において１つ以上の出力パラメータを測定するための少なくとも１つの出力センサとを含む。整合システムはまた、少なくとも可変リアクタンスセクションのモデルを定義するデータを含む不揮発性メモリと、１つ以上の入力パラメータ測定値、１つ以上の出力パラメータ測定値、可変リアクタンスセクションのリアクタンス設定、および整合ネットワークのモデルを使用して、可変リアクタンスセクションが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定するための手段とを含む。
図１は、本発明の側面が実装され得る環境を描写するブロック図である。
図２は、図１に描写される損傷検出コンポーネントの例示的実装である。
図３は、本明細書に開示される実施形態によって詳説され得る例示的方法を描写するフローチャートである。
図４は、図１に描写される整合ネットワークの一部の例示的実装である。
図５は、図４に描写される整合ネットワークのリアクタンスセクションの例示的実装の略図である。
図６は、整合ネットワークのモデルを発生させるために利用され得るコンポーネントを描写するブロック図である。
図７は、整合ネットワークのモデルの発生の間に取得され得るパラメータとパラメータ間の関係とを描写する。
図８は、整合ネットワークのモデルと関連付けられるｓパラメータ値を参照するために使用され得る行列フォーマットを描写する。
図９は、本明細書に説明される機能性コンポーネントを実現するために使用され得るコンポーネントを描写するブロック図である。
実施例としてのみ与えられる以下のモード、特徴、または側面は、いくつかの実施形態の主題のより綿密な理解を提供するために説明される。
単語「例示的な」は、本明細書において、「ある実施例、事例、または例証としての役割を果たす」を意味するために使用される。「例示的」であるものとして本明細書に説明されるいかなる実施形態も、必ずしも、他の実施形態より好ましいものまたは有利であるものとして解釈されるべきではない。
最初に図１を参照すると、示されるものは、発生器１０２、整合ネットワーク１０４、プラズマ処理チャンバ１０５、プラズマ負荷１０６、および外部コントローラ１０７である。動作時、発生器１０２は、電力（例えば、ＲＦ電力）を、伝送ライン１０８（例えば、同軸ケーブル）を介して整合ネットワーク１０４に、次いで、電気接続１１０を介してプラズマ負荷１０６上に印加する。発生器１０２は、種々の異なる電力レベルおよび周波数において動作し得る種々の異なるタイプの発生器によって実現され得る。
整合ネットワーク１０４は、伝送ライン１０８を介して発生器１０２に結合するための電気コネクタ（図示せず）を含む入力１１２と、電気接続１１０を介してプラズマ負荷１０６に結合するための電気コネクタ（図示せず）を含む出力１１４とを含む。示されるように、整合ネットワーク１０４はまた、入力センサ１１６および出力センサ１１８を含み、両方とも内部コントローラ１１９に結合され、内部コントローラ１１９は、測定セクション１２４と、リアクタンスコントローラ１２２と、可変リアクタンスセクション１２０とを含む。
プラズマ負荷１０６は、プラズマ処理チャンバ１０５内で形成されるプラズマであってもよく、これは、基板のエッチングまたは基板上での薄い層の堆積等の処置を実施することで公知である。プラズマ負荷１０６は、典型的には、低圧ガス内でのプラズマの形成によって達成される。プラズマは、発生器１０２（および、潜在的に、付加的な発生器）によって開始および持続され、整合ネットワーク１０４が、発生器の出力において、発生器１０２に所望のインピーダンス（典型的には、常時ではないが、５０オーム）を見せることを確実にするために採用される。
発生器１０２は、従来の１３．５６ＭＨｚ信号によって、ＲＦ電力をプラズマ負荷１０６に印加し得るが、他の周波数もまた、利用され得る。発生器１０２は、５０オームの電源インピーダンスと、発生器１０２の電源インピーダンスを、（５０オーム同軸ケーブル等の）典型的伝送ラインであり得る伝送ライン１０８のインピーダンスに整合させるための出力ステージとを有し得る。
外部コントローラ１０７は、ハードウェア、またはソフトウェアに接続するハードウェアによって実現されてもよく、外部コントローラ１０７は、発生器１０２、整合ネットワーク１０４、プラズマチャンバ１０５に結合される機器、他の発生器、質量流量コントローラ等を含む、プラズマ処理システムのいくつかのコンポーネントに結合されてもよい。
一般に、整合ネットワーク１０４は、整合ネットワーク１０４の出力１１４におけるインピーダンスを、整合ネットワーク１０４の入力１１２における伝送ライン１０８に提示されるインピーダンスＺｐに変換するように機能する。より具体的には、整合ネットワーク１０４では、可変リアクタンスセクション１２０は、整合ネットワーク１０４の出力１１４におけるインピーダンスを、整合ネットワーク１０４の入力における伝送ライン１０８に提示される入力インピーダンスに変換するように機能する。より具体的には、当業者が容易に理解するように、測定セクション１２４は、入力センサ１１６から、整合ネットワークの入力１１２における電気パラメータ値を示す信号を受信してもよい。次に、測定セクション１２４は、整合ネットワーク１０４の入力インピーダンスが所望の入力インピーダンスに近接する（例えば、５０オームに近接する）ように、１つ以上の処理された信号を、可変リアクタンスセクション１２０の設定、故に、内部電気要素（例えば、可変リアクタンス要素）を制御するリアクタンスコントローラ１２２に提供してもよい。
リアクタンスコントローラ１２２は、反射ＲＦ電力を最小化するために可変リアクタンスセクション１２０を制御するための従来のフィードバックループを実装してもよいが、反射電力は、最小限化される必要はなく、いくつかの事例では、別のパラメータ（例えば、反射係数）に基づいて可変リアクタンスセクション１２０を制御すること、および／または不安定性を最小化させることが、望ましい。
入力センサ１１６および／または出力センサ１１８は、整合ネットワーク１０４の入力における順方向電力および反射電力を示す出力を提供する感知回路網を含む（当業者に公知の）従来の二重指向性結合器によって実現され得る。入力センサ１１６および／または出力センサ１１８はまた、電圧、電流、および電圧と電流との間の位相を示す出力を提供する感知回路網を含む（当業者に公知の）従来の電圧電流（Ｖ／Ｉ）センサによっても実現され得る。実施例として、指向性結合器が、入力センサ１１６を実現させるために使用されてもよく、Ｖ／Ｉセンサが、出力センサ１１８を実現させるために使用されてもよい。また、入力センサ１１６および出力センサ１１８はそれぞれ、１つを上回る別個のセンサ（例えば、別個の電圧センサおよび別個の電流トランスデューサ）によって実現されてもよい。言い換えると、単一のブロックが、入力センサ１１６および出力センサ１１８のそれぞれに関して描写されるが、単一のブロックはそれぞれ、１つ以上のセンサを表す。
測定セクション１２４は、リアクタンスコントローラ１２０による利用のために、入力センサ１１６の出力をサンプリング、フィルタリング、およびデジタル化するための処理コンポーネントを含んでもよい。出力センサ１１８からの信号が、可変リアクタンスセクション１２０を制御するために利用され得ることもまた、考えられる。いずれにしても、リアクタンスコントローラ１２２は、整合ネットワークの出力１１４におけるインピーダンスを整合ネットワークの入力１１２における所望のインピーダンス（例えば、５０オーム）に変換するように可変リアクタンスコンポーネント１２０を調節してもよい。プラズマ負荷１０６のインピーダンスは、ワークピース（例えば、基板）の処理の間に変動する傾向にあるため、リアクタンスコントローラ１２２は、プラズマ負荷のインピーダンスの増減を補償するためにそのインピーダンスを変化させるために可変リアクタンスセクション１２０を調節するように動作してもよい。
整合ネットワーク１０４（および整合ネットワーク１０４の多くの変形例）は、整合ネットワークへのある損傷が存在するとき、および／または、整合ネットワークが設計仕様から外れて動作しているとき、動作可能であり得る。上記で議論されるように、損傷を受けているまたは動作可能に欠損のある整合ネットワーク１０４は、プラズマ負荷１０６に印加される電力の変動を引き起こし得、これは、損傷が気付かれることなく、処理チャンバ内で処理されているワークピース（例えば、ウエハ）への損傷をもたらし得る。結果として、本明細書に開示される側面は、整合ネットワーク１０４への損傷および／または仕様から外れた動作を示す整合ネットワーク１０４の変化を検出することによって、この問題に対処する。
より具体的には、整合ネットワーク１０４は、測定セクション１２４に結合される損傷検出コンポーネント１２６を含んでもよい。一般に、損傷検出コンポーネント１２６は、（例えば、入力センサ１１６からの）１つ以上の入力パラメータ測定値、（例えば、出力センサ１１８からの）１つ以上の出力パラメータ測定値、可変リアクタンスセクション１２０のリアクタンス設定、および整合ネットワーク１０４のモデルを使用して、可変リアクタンスセクション１２０が、損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定することが可能である。
（リアクタンスコントローラ１２２、測定セクション１２４、および損傷検出コンポーネント１２６が、内部コントローラ１１９内に存在する）図１の整合ネットワーク１０４の具体的な実施形態は、１つ以上の理由のために有益であり得る。例えば、整合ネットワーク１０４の内部コントローラ１１９は、外部コントローラ１０７（または他の外部コントローラ）がアクセスを有していない整合ネットワーク１０４の内部パラメータへのアクセスを有し得る。別の実施例として、内部コントローラ１１９は、センサ１１６、１１８により近接し、したがって、センサからのデータが、比較的に迅速に受信され、処理され得る。加えて、内部コントローラ１１９のコンポーネントは、（システムオンチップとして）同一のプリント回路基板またはさらに同一のチップ上に実現されてもよく、したがって、（ローカルエリアネットワークプロトコル等の別の通信プロトコルに翻訳する必要のない）非常に高速なバス通信が、内部コントローラ１１９のいくつかの実施形態のコンポーネント間で行われ得る。
図１に描写される実施形態の変形例では、整合ネットワーク１０４のコンポーネントのうちの１つ以上のものを分散することが、有益であり得、そのため、他の構成も、確実に考えられる。例えば、入力センサ１１６および出力センサ１１８の一方または両方が、整合ネットワーク１０４の外側に位置してもよい。別の実施例として、入力センサ１１６は、発生器１０２内に常駐してもよく、発生器１０２は、発生器１０２の出力における電気パラメータを示す信号を、測定セクション１２４に提供してもよい。また、内部コントローラ１１９のコンポーネントのうちの１つ以上のもの（例えば、リアクタンスコントローラ１２２、測定セクション１２４、または損傷検出コンポーネント１２６のうちの１つ以上のもの）が、整合ネットワーク１０４から離れて位置してもよい。
例えば、損傷検出コンポーネント１２６の１つ以上のコンポーネントが、整合ネットワーク１０４から遠隔に位置し得、ネットワーク接続によって、整合ネットワーク１０４、発生器１０２、または外部コントローラ１０７に結合され得ることが、考えられる。多くの事例では、（図１に描写されるシステム等の）プラズマ処理システムのオペレータは、オペレータが、内部コントローラ１１９の損傷検出コンポーネント１２６または他のコンポーネントにおいて利用される論理およびアルゴリズムの制御を有することを好み得るため、便宜上、（外部コントローラ１０７等の）一元型コントローラを利用することを好む場合がある。
さらなる実施例として、整合ネットワーク１０４のコンポーネントが、論理コンポーネントとして描写されること、および、描写されるコンポーネントが、緊密に統合されている共通構築物（例えば、共通の中央処理ユニットおよび不揮発性メモリ）によって実現され得ること、または、描写されるコンポーネントが、さらに分散され得ることもまた、認識されたい。例えば、測定セクション１２４の機能性は、入力センサ１１６および／または出力センサ１１８から出力される信号が、センサ１１６、１１８と密接に接続して処理されてデジタル化されているデジタル信号であるように、入力センサ１１６と出力センサ１１８との間で分散されてもよく、これは、リアクタンスコントローラ１２２が、センサ１１６、１１８から処理された信号を直接受信することを可能にする。描写される機能の分散の具体的な実施例は、選択されるハードウェアのタイプおよびソフトウェア（例えば、組込ソフトウェア）が利用される程度に応じて種々の代替物が利用され得ることが確実に考えられるため、限定するように意図されない。
次に図２を参照すると、示されるものは、図１に描写される損傷検出コンポーネント１２６を実装するために利用され得る損傷検出コンポーネント２２６の例示的コンポーネントを描写するブロック図である。示されるように、損傷検出コンポーネント２２６は、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０と、第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２を含む。第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０は、整合ネットワーク１０４の第１の側における１つ以上のパラメータの測定値を受信するように配置され、次に、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０は、（整合ネットワーク１０４の第１の側における属性を示す）少なくとも１つの測定ベースの属性を期待属性コンポーネント２３４に提供するように配置される。期待属性コンポーネント２３４は、整合モデル２３６および査定コンポーネント２３８と通信する。第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２は、整合ネットワーク１０４の第２の側における１つ以上のパラメータの測定値を受信するように配置され、次に、第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２は、（整合ネットワーク１０４の第２の側における属性を示す）少なくとも１つの測定ベースの属性を査定コンポーネント２３８に提供するように配置される。
図２を参照しながら、本明細書の実施形態に関連して詳説され得る方法を描写するフローチャートである図３を同時に参照する。図１および図２は、図３に関連して参照されるが、図３に描写される方法が、図１および図２の描写される実装に限定されないことを認識されたい。
図３に示されるように、発生器１０２からの電力が、整合ネットワーク１０４を通してプラズマ負荷１０６に結合される（ブロック３０２）。整合ネットワーク１０４の第１の側における１つ以上のパラメータが、測定され、整合ネットワークの第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得し（ブロック３０４）、整合ネットワークの第２の側における１つ以上のパラメータが、測定され、整合ネットワーク１０４の第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得する（ブロック３０６）。上記で議論されるように、（ブロック３０４および３０６における）測定は、入力センサ１１６および出力センサ１１８と接続する測定コンポーネント１２４によって行われてもよい。
整合ネットワーク１０４の第１の側は、整合ネットワーク１０４の入力１１２であってもよく、第１の側が、入力１１２である場合、第２の側は、出力１１４である。第１の側はまた、整合ネットワーク１０４の出力１１４であってもよく、第１の側が、整合ネットワーク１０４の出力１１４である場合、第２の側は、整合ネットワーク１０４の入力１１２である。言い換えると、第１の側は、整合ネットワーク１０４の入力１１２または出力１１４のいずれかの１つであり、第２の側は、整合ネットワーク１０４の、第１の側の反対側である。ここで、用語「反対」は、入力１１２および出力１１４が整合ネットワーク１０４の電気的に対向する側にある、電気的に反対側を指す。
（ブロック３０４および３０６において）整合ネットワーク１０４の第１の側および第２の側において測定される１つ以上のパラメータは、限定ではないが、電圧、電流、電圧と電流との間の位相、順方向電力、反射電力、順方向電力と反射電力との間の位相、送達される電力、およびインピーダンスのうちの１つ以上のものを含んでもよく、（ブロック３０４および３０６において）整合ネットワーク１０４の第１の側および第２の側において取得される測定ベースの属性は、電圧、電流、電圧と電流との間の位相、順方向電力、反射電力、順方向電力と反射電力との間の位相、送達される電力、位相、およびインピーダンスのうちの１つ以上のものを含んでもよい。
いくつかの実装では、少なくとも１つの測定ベースの属性は、１つ以上の測定されるパラメータから導出される。例えば、測定されるパラメータは、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０および／または第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２において受容される順方向電力および反射電力であってもよく、少なくとも１つの測定ベースの属性は、電流および電圧のうちの一方または両方であってもよい。これらの実装では、電流および電圧は、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０および／または第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２によって、測定された順方向電力および反射電力から導出（例えば、計算）されてもよい。別の実施例として、測定されるパラメータは、電圧、電流、および位相であってもよく、測定ベースの属性は、インピーダンスであってもよい。これらの実装では、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０および／または第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２は、（例えば、ハードウェア、またはハードウェアに接続されるソフトウェアによって実装される）論理を含み、測定されるパラメータに基づいて測定ベースの属性を計算してもよい。
他の実装では、少なくとも１つの測定ベースの属性は、１つ以上の測定されるパラメータと同一である。例えば、１つ以上の測定されるパラメータは、電圧および電流のうちの少なくとも１つであってもよく、少なくとも１つの測定ベースの属性も、電圧および電流のうちの少なくとも１つであってもよい。これらの実装では、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０および／または第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２は、１つのパラメータを別のパラメータに転換するための論理を含む必要はない。測定ベースの属性が、（例えば、計算によって）導出されるかまたはより直接測定されるかどうかにかかわらず、第１の測定ベースの属性コンポーネント２３０は、（整合ネットワーク１０４の第１の側における属性を示す）少なくとも１つの測定ベースの属性を期待属性コンポーネント２３４に提供し、第２の測定ベースの属性コンポーネント２３２は、（整合ネットワーク１０４の第２の側における属性を示す）少なくとも１つの測定ベースの属性を査定コンポーネント２３８に提供する。
再び図３を参照すると、整合ネットワーク１０４の現在のリアクタンス設定が、（例えば、リアクタンスコントローラ１２２または可変リアクタンスセクション１２０から）取得され（ブロック３０８）、現在のリアクタンス設定は、期待属性コンポーネント２３４によって、整合モデル２３６にアクセスするために使用される。本明細書においてさらに議論されるように、整合モデル２３６は、測定ベースの属性および現在のリアクタンス設定に基づいて、少なくとも１つの測定ベースの属性を少なくとも１つの期待属性と関連付ける（ブロック３１０）。整合ネットワーク１０４が特性評価され得る種々の異なる方法が、存在するが、一般に、整合モデル２３６は、１つ以上の測定ベースの属性（例えば、電圧、電流、インピーダンス、反射電力、順方向電力、および送達される電力）が、整合ネットワーク１０４の一方の側から、整合ネットワークの他方の側における１つ以上の期待属性（例えば、電圧、電流、インピーダンス、反射電力、順方向電力、および送達される電力）を取得するために使用されるために、取得されることを可能にする。本明細書に使用される電圧、電流、インピーダンス、順方向電力、反射電力、および送達される電力パラメータが、概して、複素数であることを認識されたい。
当業者が理解するように、整合モデル２３６は、入力センサ１１６および出力センサ１１８ならびに可変リアクタンスセクション１２０の側面に基づいて発生されるデータを含んでもよい。例えば、整合モデル２３６は、（入力センサ１１６および出力センサ１１８を較正することによって取得される）較正データと、可変リアクタンスセクション１０４を特性評価する特性評価データとの両方を含んでもよい。いくつかの実装では、整合モデル２３６内のデータは、（整合ネットワーク１０４のいくつかのコンポーネントのそれぞれに関して較正データとして識別可能であるように）容易に脱集約されず、代わりに、データは、整合ネットワーク１０４の電気的側面を全体として特性評価する。
整合ネットワーク１０４の第２の側における１つ以上の期待属性を取得することは、査定コンポーネント２３８が、（整合ネットワーク１０４の第２の側における属性を示す）測定ベースの属性を整合ネットワーク１０４の第２の側における期待属性と対比し、整合ネットワーク１０４内の損傷および／または仕様から外れている整合ネットワークの動作のインジケーションを取得することを可能にする（ブロック３１２）。一般に、期待属性は、１）（可変リアクタンスセクション１２０の現在の設定における）整合ネットワーク１０４の特徴および２）整合ネットワーク１０４の第１の側における測定ベースの属性の両方に基づいて期待される（整合ネットワーク１０４の第２の側における）期待される状態のインジケータである。整合ネットワーク１０４の第２の側における測定ベースの属性は、（整合ネットワーク１０４の第２の側において取得される測定値に基づく）実際の状態のインジケーションである。上記で議論されるように、測定ベースの属性および期待属性は、複素数であってもよい。但し、多くの実装では、測定ベースの属性と期待属性とを対比するとき、複素数の測定ベースの属性およびの複素数の期待属性のそれぞれの絶対値が、取得され、次いで、対比されてもよい。本明細書で使用されるように、「対比する」は、（例えば、値間または品質間の）１つ以上の差異を評価する査定を伝達するように意図され、対比することが、（例えば、２つの比較される値または２つの比較される品質間の）差異を明示的または暗示的に伝達する任意の「比較」を含むことを認識されたい。
整合ネットワーク１０４が、損傷を受けておりかつ／または仕様から外れて動作している場合、査定コンポーネント２３８は、整合ネットワーク１０４のディスプレイおよび／またはオーディオトランスデューサを介してオペレータに警報を提供するように、報告部分２４０にプロンプトしてもよい。いくつかの実装では、報告部分２４０は、外部コントローラ１０７に信号を送信してもよく、外部コントローラ１０７は、システムのオペレータに警報を提供してもよい。報告部分２４０からの信号は、自動的に送信されてもよい、または、外部コントローラ１０７からのクエリに応答して送信されてもよい。いくつかの実装では、測定ベースの属性を期待属性と対比することは、測定ベースの属性と期待属性との間の差異を取得することを含んでもよく、差異は、１つ以上の閾値に適用されてもよい。例えば、差異が、第１の閾値を超過する場合、報告部分２４０は、オペレータに低レベルの警告を提供してもよい。また、差異が、第２の閾値を超過する場合、より高いレベルの警告が、報告され、処理サイクルを中断するようにオペレータにプロンプトしてもよい。
１つを上回る測定ベースの属性が、１つを上回る期待属性と対比され得ることもまた、考えられる。例えば、測定ベースの属性および期待属性は、電圧および電流の両方を含んでもよい。この実施例では、測定ベースの電圧値と期待電圧値との間の差異が、取得されてもよく、測定ベースの電流値と期待電流値との間の差異が、取得されてもよい。さらなる実施例として、電圧差および電流差が両方とも、それぞれ、対応する１つ以上の閾値を超過する場合に限り、警報が、ユーザに報告される。測定ベースの電圧および測定ベースの電流の積が、取得され得ること、および、期待電圧値および期待電流値の積が、取得され得ることの両方もまた、考えられる。次いで、積間の差異が、１つ以上の閾値に適用されてもよい。
いくつかの実施形態では、１つ以上の閾値が、取得される測定値の不確実性に起因する（例えば、入力センサ１１６および／または出力センサ１１８からの測定値の不確実性に起因する）可変リアクタンスセクション１２０の設定、および／または、整合モデル２３６から取得されるデータに起因する（例えば、整合モデルの不完全性に起因する）不確実性を横断して特性評価される。例えば、可変リアクタンスセクション１２０の各設定は、不確実性に基づいて潜在的に異なる閾値と関連付けられてもよい。別の実施例として、可変リアクタンスセクション１２０の設定のある範囲が、対応する閾値と関連付けられてもよい。当業者は、その不確実性、故に、使用される閾値が、整合ネットワーク１０４および整合モデル２３６のコンポーネントの（潜在的に多くの）異なる側面の機能であり得ることを理解する。当業者は、特定の整合ネットワークに関連して取得される経験的データが、測定値の不確実性に起因して閾値を調節するために使用され得ること、および、特定の整合モデルに関連して取得される経験的データが、特定の整合モデル内の不完全性に起因して閾値を調節するために使用され得ることをさらに理解する。
複数の閾値の別の実施例として、（整合ネットワーク１０４の）入力インピーダンスと関連付けられる閾値が、測定ベースの属性と期待属性との間の差異と対比される別の閾値と関連して使用されてもよい。例えば、測定される出力センサ電圧（測定ベースの属性）が、期待される整合出力電圧（期待属性）の５％超だけ異なる場合、および、整合ネットワークの入力インピーダンスが、５０オームの所望の入力インピーダンスの１．０５ＶＳＷＲ（電圧定在波比）内である場合、警報が、起動されてもよい。
次に図４を参照すると、示されるものは、図１および図２を参照して説明される整合ネットワーク１０４、２０４を実現するために使用され得る例示的整合ネットワーク４０４の側面である。示されるように、整合ネットワーク４０４は、可変コンデンサ４０２（Ｃ１）および４０５（Ｃ２）等の少なくとも２つの可変リアクタンス要素を含む可変リアクタンスセクション４２０を含む。可変コンデンサ４０２および４０５のそれぞれは、典型的な真空可変コンデンサまたは複数の交換コンデンサによって実現されることができる。示されるように、可変リアクタンスセクション４２０は、例えばコンデンサとインダクタとを備える固定リアクタンスセクション４０８とともに配列されることができる。
当業者が理解するように、整合モデル２３６は、整合ネットワーク４２０の固定リアクタンスセクション４０８および他の固定コンポーネントによって影響を及ぼされ得るが、単純化のために、整合モデル２３６は、可変リアクタンスセクション４２０が、主として、整合ネットワーク４０４の入力におけるパラメータが整合ネットワーク４０４の出力におけるパラメータに対してどのように変動するかに影響を及ぼすため、少なくとも、可変リアクタンスセクション４２０を定義するまたは特徴付けるものとして説明される。
図５を参照すると、示されるものは、図４に描写される可変コンデンサ４０２、４０５を実現するために利用され得る２つのコンデンサＣ１およびＣ２の例示的実装である。示されるように、コンデンサＣ１およびＣ２のそれぞれは、利用の内外において切り替えられる複数の交換コンデンサを含んでもよい。使用の内外においてコンデンサの組み合わせを切り替えることによって、可変コンデンサＣ１およびＣ２の静電容量が、変動され得る。
２つの可変コンデンサＣ１およびＣ２が、図４に示されるが、他の実施形態では、１つの可変コンデンサまたは２つを上回る可変コンデンサが、使用されることができる。１つ以上のインダクタもまた、可変コンデンサの前または間に配列され得るが、図示される構成は、多くの実装のうちの１つにすぎない。また、本開示の側面は、交換コンデンサ実装物によって確かに限定されるものではないが、交換コンデンサ実装物は、ある損傷を伴ってもさらに動作し続ける傾向があり得、本開示に先立って、損傷を容易に検出するための公知の方法は、存在していなかった。前述に議論されるように、損傷は、電力損失を引き起こし、より低い電力がプロセスチャンバの中に印加されることをもたらし得、これは、プロセス遷移および処理されているワークピースへの損傷を引き起こし得る。
次に図６を参照すると、示されるものは、整合ネットワーク６０４のモデルを発生させるための例示的アプローチである。一般に、ネットワーク分析器６６０が、散乱パラメータ（「ｓパラメータ」）モデルの形態において整合ネットワーク６０４を特性評価するように構成される。示されるように、ネットワーク分析器６６０は、整合ネットワーク６０４の入力および出力に電力を印加し、応答して、電圧測定値を受信するように、結合されてもよい。
より具体的には、特定の周波数および特定の整合設定における整合ネットワーク６０４を特性評価するために、ネットワーク分析器６６０は、整合ネットワーク６０４の２つのポートに印加される特定の周波数（例えば、１３．５６ＭＨｚ）における信号を発生させる一方、整合ネットワーク６０４は、Ｃ１の設定とＣ２の設定との特定の組み合わせによって確立され得る複数の整合設定のうちの特定のものに設定される。この信号から、整合ネットワーク６０４の４つの具体的なｓパラメータが、整合ネットワークの２つのポートにおいて測定され、したがって、４つのｓパラメータが、特定の周波数におけるＣ１とＣ２との組み合わせ毎に取得される。これらのｓパラメータは、整合ネットワーク６０４自体の側面を特徴付ける、単位のない複素数である。
図７を参照すると、示されるものは、ネットワーク分析器６６０によって取得され得る電圧測定値の描写である。示されるように、ａ１は、ポート１における順方向電圧（ａ１＝Ｖ１ ＋）を表し、ａ２は、ポート２における順方向電圧（ａ２＝Ｖ２ ＋）を表し、ｂ１は、ポート１における反射電圧（ｂ１＝Ｖ１ －）を表し、ｂ２は、ポート２における反射電圧を表す。また、図７に示されるものは、反射波と入射波との間の関係を描写するｓパラメータ行列である。
行列を方程式に拡張させると、以下が、得られる。
ｂ１＝Ｓ１１ａ１＋Ｓ１２ａ２
および
ｂ２＝Ｓ２１ａ１＋Ｓ２２ａ２
各方程式は、整合の個々のｓパラメータＳ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、およびＳ２２の観点から、整合ポート１および２のそれぞれにおける反射電力波と入射電力波との間の関係を与える。特性評価の間、ポート２は、５０オーム負荷において終端してもよく、ｂ２が、完全に吸収され、ａ２をゼロに等しくしてもよい。したがって、入射電圧波をａ１＝Ｖ１ ＋およびａ２＝Ｖ２ ＋として定義し、反射波が、ｂ１＝Ｖ１ －およびｂ２＝Ｖ２ －である場合、以下となる。
Figure 2022523807000002
同様に、ポート１が、システムインピーダンスにおいて終端され、次いで、ａ１が、ゼロになる場合、以下となる。
Figure 2022523807000003
図８に示されるように、ｓパラメータ特性評価データは、Ｃ１およびＣ２の設定の利用可能な組み合わせの少なくとも一部の組み合わせ毎に取得されるｓパラメータ値を含んでもよい。結果として、動作の間、（Ｃ１およびＣ２設定の観点からの）整合ネットワーク６０４の整合設定が、整合設定と関連付けられるｓパラメータにアクセスするために使用されてもよい。次に、ｓパラメータを使用して、整合ネットワークの第１の側における測定ベースの属性が、整合ネットワーク６０４の第２の側における期待属性を取得するために使用されてもよい。当業者は、本開示に照らして、電圧に対する、上記に説明されるｓパラメータ特性評価が、入射および反射電流または入射および反射電力に対しても実施され得ることを容易に理解する。
ｓパラメータモデル６３６が発生されるとき、ネットワーク分析器６６０の動作の不完全性に起因して、ネットワーク分析器測定値の正確度に、ある不確実性が、存在し得ることを認識されたい。例えば、いくつかのネットワーク分析器が、５０オームである負荷の中でより最適に動作するために設計される。したがって、ネットワーク分析器６０４によって見られるインピーダンスが、ｓパラメータモデル６３６を発生させる間に変化するとき、結果として生じるｓパラメータモデル６３６自体が、（図３を参照して上記で議論されるように）不完全性を有し得る。当業者は、本開示に照らして、ｓパラメータモデルが、ネットワーク分析器に内在し得る不完全性を考慮するために、ｓパラメータモデル６３６の潜在的不完全性を軽減させるように適合され得ることを理解する。
本明細書に開示される実施形態に関連して説明される方法は、直接ハードウェアにおいて、非一過性コンピュータ可読媒体の中にエンコードされるプロセッサ実行可能命令において、または、２つのものの組み合わせにおいて、具現化され得る。例えば、図９を参照すると、示されるものは、本明細書に開示される整合ネットワーク１０４、６０４および外部コントローラ１０７のコンポーネントを実現するために利用され得る物理的コンポーネントを描写するブロック図である。示されるように、この実施形態では、ディスプレイ部分９１２および不揮発性メモリ９２０が、バス９２２に結合され、バス９２２は、ランダムアクセスメモリ（「ＲＡＭ」）９２４と、（Ｎ個の処理コンポーネントを含む）処理部分９２６と、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）９２７と、Ｎ個の送受信機を含む送受信機コンポーネント９２８とにも接続される。図９に描写されるコンポーネントは、物理的コンポーネントを表すが、図９は、詳細なハードウェア図であるように意図されておらず、したがって、図９に描写されるコンポーネントのうちの多くが、共通の構築物によって実現され得る、または、付加的な物理的コンポーネント間に分散され得る。また、他の既存および未開発の物理的コンポーネントおよびアーキテクチャが、図９を参照して説明される機能性コンポーネントを実装するために利用され得ることが、考えられる。
このディスプレイ９１２は、概して、整合ネットワーク１０４、６０４のオペレータのためにユーザインターフェースを提供するように動作し、いくつかの実装では、ディスプレイ９１２は、タッチスクリーンディスプレイによって実現される。ディスプレイは、部分的に、報告セクション２４０を実現するために使用される。一般に、不揮発性メモリ９２０は、（本明細書に説明される方法を果たすことと関連付けられる実行可能コードを含む）データおよび機械可読（例えば、プロセッサ実行可能）コードを記憶する（例えば、持続的に記憶する）ように機能する非一過性メモリである。例えば、いくつかの実施形態では、不揮発性メモリ９２０は、ブートローダコード、オペレーティングシステムコード、ファイルシステムコード、および非一過性プロセッサ実行可能コードを含み、本明細書に説明される図３を参照して説明される方法の実行を促進する。
多くの実装では、不揮発性メモリ９２０は、フラッシュメモリ（例えば、ＮＡＮＤまたはＯＮＥＮＡＮＤメモリ）によって実現されるが、他のメモリタイプも同様に利用され得ることが、考えられる。不揮発性メモリ９２０からのコードを実行することが、可能性として考えられ得るが、不揮発性メモリ内の実行可能コードが、典型的には、ＲＡＭ９２４の中にロードされ、処理部分９２６内のＮ個の処理コンポーネントのうちの１つ以上のものによって実行される。
動作時、ＲＡＭ９２４と接続するＮ個の処理コンポーネントは、概して、不揮発性メモリ９２０内に記憶される命令を実行し、損傷検出コンポーネント２２６を含む整合ネットワーク１０４、６０４の機能性を実現するように、動作してもよい。例えば、整合モデル２３６および非一過性プロセッサ実行可能命令が図３を参照して説明される方法を果たすためのデータが、不揮発性メモリ９２０内に持続的に記憶され、ＲＡＭ９２４と接続するＮ個の処理コンポーネントによって実行されてもよい。当業者が理解するように、処理部分９２６は、ビデオプロセッサと、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）と、グラフィック処理ユニット（ＧＰＵ）と、他の処理コンポーネントとを含んでもよい。
加えて、または代替として、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）９２７は、本明細書に説明される方法論（例えば、図３を参照して説明される方法）の１つ以上の側面を果たすように構成されてもよい。例えば、非一過性ＦＰＧＡ構成命令が、不揮発性メモリ９２０内に持続的に記憶され、（例えば、ブートアップの間に）ＦＰＧＡ９２７によってアクセスされ、ＦＰＧＡ９２７を構成し、整合ネットワーク１０４、６０４の１つ以上の機能を果たしてもよい。
入力コンポーネントは、整合ネットワーク１０４、１０６の第１の側および第２の側における１つ以上のパラメータを示す（例えば、入力センサ１１６および／または出力センサ１１８からの）信号を受信するように動作してもよい。入力コンポーネントにおいて受信される信号は、例えば、電圧、電流、順方向電力、反射電力、およびインピーダンスを含んでもよい。出力コンポーネントは、概して、１つ以上のアナログ信号またはデジタル信号を提供し、本明細書に開示される動作側面を果たすように動作する。例えば、出力コンポーネントは、コンデンサＣ１およびＣ２に制御信号を提供し、整合ネットワーク１０４、６０４の設定を制御してもよい。
描写される送受信機コンポーネント９２８は、無線または有線ネットワークを介して外部デバイスと通信するために使用され得るＮ個の送受信機チェーンを含む。Ｎ個の送受信機チェーンのそれぞれは、特定の通信スキーム（例えば、ＷｉＦｉ、イーサネット（登録商標）、Ｐｒｏｆｉｂｕｓ等）と関連付けられる送受信機を表し得る。図１を参照して本明細書に開示されるように、多くの機能性コンポーネントが、異なるネットワーク接続される場所を横断して分散されてもよく、そのため、図９に描写される１つ以上のコンポーネントが、異なる場所において（例えば、外部コントローラ１０７において）複製されてもよく、送受信機コンポーネントは、異なる場所間での通信を可能にし得る。
図９に描写されているもの以外の技術が、図９に描写される技術の代わりに、または、図９に描写される技術に加えて、利用され得ることを認識されたい。例えば、本明細書に開示される実施形態に関連して説明される種々の例証的な論理ブロック、モジュール、および回路は、本明細書に説明される機能を実施するように設計される特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラマブル論理デバイス、離散ゲートまたはトランジスタ論理、離散ハードウェアコンポーネント、あるいはそれらの任意の組み合わせを用いて、実装または実施されてもよい。
開示される実施形態の上記の説明は、任意の当業者が本発明を作製または使用することを可能にするために提供される。これらの実施形態への種々の修正は、当業者に容易に明白となり、本明細書に定義される一般的原理は、本発明の精神または範囲から逸脱することなく、他の実施形態に適用されてもよい。したがって、本発明は、本明細書に示される実施形態に限定するように意図されず、本明細書に開示される原理および新規の特徴と矛盾しない最も幅広い範囲と調和されるべきである。

Claims (22)

  1. 整合ネットワークを動作させるための方法であって、前記方法は、
    前記整合ネットワークを通して発生器からの電力をプラズマ負荷に結合することと、
    前記整合ネットワークの第１の側において１つ以上のパラメータを測定し、前記整合ネットワークの前記第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得することと、
    前記整合ネットワークの第２の側において１つ以上のパラメータを測定し、前記整合ネットワークの第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得することであって、前記整合ネットワークの前記第１の側および第２の側は、前記整合ネットワークの電気的に反対側にある、ことと、
    前記整合ネットワークの現在のリアクタンス設定を取得することと、
    前記整合ネットワークの前記現在のリアクタンス設定に基づいて、前記整合ネットワークの前記第１の側における前記少なくとも１つの測定ベースの属性を前記整合ネットワークの前記第２の側における少なくとも１つの期待属性と関連付ける前記整合ネットワークのモデルにアクセスすることと、
    前記整合ネットワークの前記第２の側における前記少なくとも１つの測定ベースの属性を、前記少なくとも１つの期待属性と対比し、前記整合ネットワークが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定することと
    を含む、方法。
  2. 前記整合ネットワークの前記第２の側において１つ以上のパラメータを測定することは、前記整合ネットワークの前記第２の側において電圧または電流のうちの少なくとも１つを取得することを含み、
    前記整合ネットワークの前記第１の側において１つ以上のパラメータを測定することは、前記整合ネットワークの前記第１の側において電圧または電流のうちの少なくとも１つを取得することを含む、請求項１に記載の方法。
  3. 前記少なくとも１つの測定ベースの属性は、測定電圧値を含み、前記少なくとも１つの期待属性は、期待電圧値を含む、請求項２に記載の方法。
  4. 前記少なくとも１つの測定ベースの属性は、測定電流値を含み、前記少なくとも１つの期待属性は、期待電流値を含む、請求項２に記載の方法。
  5. 前記少なくとも１つの測定ベースの属性は、測定電圧値および測定電流値の両方を含み、前記少なくとも１つの期待属性は、期待電圧値および期待電流値の両方を含み、前記対比することは、
    前記測定電圧値と前記期待電圧値との間の差異を判定することと、
    前記測定電流値と前記期待電流値との間の差異を判定することと
    を含み、
    前記測定電圧値と前記期待電圧値との間の差異、または、前記測定電流値と前記期待電流値との間の差異のうちの少なくとも１つが、対応する閾値を超過する、請求項２に記載の方法。
  6. 前記整合ネットワークの前記第２の側における前記測定ベースの属性は、前記整合ネットワークの出力において測定される前記電圧および電流に基づいて計算される出力インピーダンスを含み、
    前記整合ネットワークの前記第１の側における前記測定ベースの属性は、１つ以上の測定入力パラメータ値に基づいて計算される入力インピーダンスを含み、
    前記期待属性は、前記整合ネットワークの前記入力インピーダンスおよび前記現在のリアクタンス設定を使用して前記モデルにアクセスすることによって取得される前記整合ネットワークの前記出力における期待インピーダンスを含み、
    前記対比することは、前記整合ネットワークの前記出力における前記出力インピーダンスを前記整合ネットワークの前記出力における前記期待インピーダンスと対比し、前記整合ネットワークが損傷を受けているかどうかを査定することを含む、請求項２に記載の方法。
  7. 前記第１の側は、前記整合ネットワークの入力または出力のうちの１つであり、前記第２の側は、前記整合ネットワークの電気的に反対側である、請求項１に記載の方法。
  8. 整合システムであって、
    可変リアクタンスセクションであって、前記可変リアクタンスセクションは、前記可変リアクタンスセクションの出力におけるインピーダンスを、前記可変リアクタンスセクションの入力において提示される入力インピーダンスに変換するためのものである、可変リアクタンスセクションと、
    前記可変リアクタンスセクションの入力において１つ以上の入力パラメータを測定するための少なくとも１つの入力センサと、
    前記可変リアクタンスセクションの出力において１つ以上の出力パラメータを測定するための少なくとも１つの出力センサと、
    少なくとも前記可変リアクタンスセクションのモデルを定義するデータを含む不揮発性メモリと、
    前記１つ以上の入力パラメータ測定値、前記１つ以上の出力パラメータ測定値、前記可変リアクタンスセクションのリアクタンス設定、および前記整合ネットワークの前記モデルを使用して、前記可変リアクタンスセクションが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定するための手段と、
    を備える、整合システム。
  9. 前記査定するための手段は、
    前記可変リアクタンスセクションの第１の側における前記１つ以上のパラメータ測定値に前記モデルを適用し、前記可変リアクタンスセクションの第２の側における１つ以上の期待パラメータ値を取得するための手段であって、前記可変リアクタンスセクションの前記第１の側および第２の側は、前記可変リアクタンスセクションの電気的に反対側にある、手段と、
    前記１つ以上の期待パラメータ値を前記１つ以上のパラメータ測定値と対比し、前記可変リアクタンスセクションが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定するための手段と、
    を含む、請求項８に記載の整合システム。
  10. 前記少なくとも１つの入力センサは、前記可変リアクタンスセクションの前記入力における電圧センサまたは電流センサのうちの少なくとも１つを含み、
    前記少なくとも１つの出力センサは、前記可変リアクタンスセクションの前記出力における電圧センサまたは電流センサのうちの少なくとも１つを含み、
    前記査定するための手段は、前記可変リアクタンスセクションの前記第１の側における電圧測定値または電流測定値のうちの１つ以上のものに前記モデルを適用し、１つ以上の期待電圧値または期待電流値を取得するための手段を含み、
    前記対比するための手段は、前記１つ以上の期待電圧値もしくは期待電流値を、前記可変リアクタンスセクションの前記第２の側における１つ以上の対応する電圧測定値または電流測定値と対比するための手段を含む、請求項９に記載の整合システム。
  11. 前記少なくとも１つの入力センサは、前記可変リアクタンスセクションの第１の側における電圧センサと電流センサとを含み、
    前記少なくとも１つの出力センサは、前記可変リアクタンスセクションの第２の側における電圧センサと電流センサとを含み、
    前記査定するための手段は、
    前記可変リアクタンスセクションの前記第２の側において測定される電圧および電流に基づいて、前記第２の側におけるインピーダンスを計算するための手段と、
    前記可変リアクタンスセクションの前記第１の側において測定される電圧および電流に基づいて、前記可変リアクタンスセクションの前記第１の側におけるインピーダンスを計算するための手段と、
    前記可変リアクタンスセクションの前記第２の側における期待インピーダンスを取得し、前記可変リアクタンスセクションの前記第２の側における前記期待インピーダンスを前記計算されたインピーダンスと対比し、前記整合ネットワークが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定するための手段と
    を含む、請求項８に記載の整合システム。
  12. 前記可変リアクタンスセクションは、可変コンデンサまたは固定コンデンサのうちの少なくとも１つを含む、請求項１１に記載の整合システム。
  13. 前記可変リアクタンスセクション、前記少なくとも１つの入力センサ、前記少なくとも１つの出力センサ、および前記査定するための手段は、共通筐体と統合されるかまたは２つ以上の別個のコンポーネント間に分散されるかのうちの１つである、請求項８に記載の整合システム。
  14. 整合システムであって、
    可変リアクタンスセクションであって、前記可変リアクタンスセクションは、前記可変リアクタンスセクションの出力におけるインピーダンスを、前記可変リアクタンスセクションの入力において提示される入力インピーダンスに変換するためのものである、可変リアクタンスセクションと、
    前記可変リアクタンスセクションの入力において１つ以上の入力パラメータを測定するための少なくとも１つの入力センサと、
    前記可変リアクタンスセクションの出力において１つ以上の出力パラメータを測定するための少なくとも１つの出力センサと、
    非一過性コンピュータ可読媒体であって、
    それに記憶されるデータであって、前記データは、少なくとも前記可変リアクタンスセクションのモデルを定義する、データと、
    それに記憶される命令であって、前記命令は、プロセッサによる実行のためまたはフィールドプログラマブルゲートアレイを構成するためのものであり、前記命令は、
    前記可変リアクタンスセクションの第１の側において１つ以上のパラメータを測定し、前記可変リアクタンスセクションの前記第１の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得することと、
    前記可変リアクタンスセクションの第２の側において１つ以上のパラメータを測定し、前記可変リアクタンスセクションの前記第２の側における少なくとも１つの測定ベースの属性を取得することであって、前記可変リアクタンスセクションの前記第１の側および第２の側は、前記可変リアクタンスセクションの電気的に反対側にある、ことと、
    前記可変リアクタンスセクションの現在のリアクタンス設定を取得することと、
    前記整合ネットワークの前記現在のリアクタンス設定に基づいて、前記整合ネットワークの前記第１の側における前記少なくとも１つの測定ベースの属性を使用して、前記可変リアクタンスセクションのモデルにアクセスし、前記整合ネットワークの前記第２の側における少なくとも１つの期待属性を取得することと、
    前記少なくとも１つの測定ベースの属性を前記少なくとも１つの期待属性と対比し、前記整合ネットワークが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定することと
    を行うための命令を含む、命令と
    を備える、非一過性コンピュータ可読媒体と
    を備える、整合システム。
  15. 前記１つ以上の出力パラメータを測定するための命令は、前記整合ネットワークの前記出力における電圧または電流のうちの少なくとも１つを取得するための命令を含み、
    前記１つ以上の入力パラメータを測定するための命令は、前記整合ネットワークの前記入力における電圧または電流のうちの少なくとも１つを取得するための命令を含む、請求項１４に記載の整合システム。
  16. 前記少なくとも１つの測定ベースの出力属性は、測定電圧値を含み、前記少なくとも１つの期待属性は、期待電圧値を含む、請求項１５に記載の整合システム。
  17. 前記少なくとも１つの測定ベースの出力属性は、測定電流値を含み、前記少なくとも１つの期待出力属性は、期待電流値を含む、請求項１５に記載の整合システム。
  18. 前記少なくとも１つの測定ベースの出力属性は、測定電圧値および測定電流値の両方を含み、前記少なくとも１つの期待出力属性は、期待電圧値および期待電流値の両方を含み、前記対比するための命令は、
    前記測定電圧値と前記期待電圧値との間の差異を判定することと、
    前記測定電流値と前記期待電流値との間の差異を判定することと
    を行うための命令を含み、
    前記測定電圧値と前記期待電圧値との間の差異、または、前記測定電流値と前記期待電流値との間の差異のうちの少なくとも１つが、対応する閾値を超過する、請求項１５に記載の整合システム。
  19. 前記測定ベースの出力属性は、前記整合ネットワークの前記出力において測定される前記電圧および電流に基づいて計算される出力インピーダンスを含み、
    前記測定ベースの属性は、前記１つ以上の測定入力パラメータ値に基づいて計算される入力インピーダンスを含み、
    前記期待属性は、前記整合ネットワークの前記入力インピーダンスおよび前記現在のリアクタンス設定を使用して前記モデルにアクセスすることによって取得される前記整合ネットワークの前記出力における期待インピーダンスを含み、
    前記対比するための命令は、前記整合の前記出力における前記出力インピーダンスを、前記整合の前記出力における前記期待インピーダンスと対比し、前記整合ネットワークが損傷を受けているかまたは仕様から外れて動作しているかのうちの少なくとも１つであるかどうかを査定するための命令を含む、請求項１５に記載の整合システム。
  20. 前記可変リアクタンスセクションは、固体スイッチとの組み合わせにおける可変コンデンサまたは固定コンデンサのうちの少なくとも１つを含む、請求項１４に記載の整合システム。
  21. 前記可変リアクタンスセクション、前記少なくとも１つの入力センサ、前記少なくとも１つの出力センサ、および前記非一過性コンピュータ可読媒体は、共通筐体と統合されるかまたは２つ以上の別個のコンポーネント間に分散されるかのうちの１つである、請求項１４に記載の整合システム。
  22. 前記１つ以上の出力パラメータを測定するための命令は、前記整合ネットワークの前記出力における順方向電力または反射電力のうちの少なくとも１つを取得するための命令を含み、
    前記１つ以上の入力パラメータを測定するための命令は、前記整合ネットワークの前記入力における順方向電力または反射電力のうちの少なくとも１つを取得するための命令を含む、請求項１４に記載の整合システム。
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