JP2022520542A - 蛍光顕微鏡検査システム、装置および方法 - Google Patents
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Claims (19)
- 顕微鏡システムであって、
フレームと、
前記フレームに連結される1つまたは複数の非コヒーレント光源であって、試料が蛍光を発するのを引き起こす第1の波長の光と、試料が蛍光を発するのを引き起こさない第2の波長の光と、を少なくとも放出するように構成され、前記放出された光が、前記試料に方向付けされるように構成される、1つまたは複数の非コヒーレント光源と、
前記フレームに連結され、前記1つまたは複数の非コヒーレント光源からの光をフィルタリングするように構成され、前記フィルタリングされた光が、前記試料に関連する所定のバンドギャップエネルギに匹敵するように構成される、励起フィルタと、
前記フレームに連結され、明視野チャネルおよび暗視野チャネルを含む、対物レンズと、
取付け具を介して前記対物レンズに連結されるノーズピースと、
前記フレームに連結され、前記対物レンズと前記1つまたは複数の非コヒーレント光源との間の光路に沿って配置されるスライダであって、光を傾斜角で前記試料に方向付けるように構成される少なくとも暗視野チャネルに前記光路に沿って光を伝達するように構成される少なくとも1つの構成を含む、スライダと、
前記フレームに連結され、前記試料から受信カメラに反射された光の選択された波長をフィルタリングするために構成される放出フィルタと、
1つまたは複数のプロセッサと、
命令を記憶するメモリと、を含み、
前記命令が、前記1つまたは複数のプロセッサによって実行された結果として、前記顕微鏡システムに、
前記受信カメラから画像データを取得することであって、前記画像データが、前記試料から反射された前記方向付けされた光に基づく、画像データを取得すること、
前記受信された画像データに基づき、トレーニングされた分類器で前記試料を分類すること、
前記試料の前記分類に関連する記憶されたシステム構成を検索すること、
前記非コヒーレント光源、前記励起フィルタ、前記放出フィルタ、または前記受信カメラのうちの1つまたは複数に、前記システム構成を適用すること、
前記受信カメラから追加画像データを取得することであって、前記追加画像データが、前記システム構成が適用された後に取得される、追加画像データを取得すること、
前記取得された追加画像データに基づき、画像データモデルで試料欠陥を識別すること、および
前記試料欠陥に基づき特徴マップを生成すること、を引き起こさせる、顕微鏡システム。 - 前記スライダの前記少なくとも1つの構成は、前記明視野チャネルおよび前記暗視野チャネルの双方に光を伝達するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記スライダは、
前記フレームに連結され、暗視野インサートの下方に配置されるフィルタスライダであって、複数タイプの励起フィルタを提供するように構成される、フィルタスライダ、および、
前記明視野チャネルまたは前記暗視野チャネルのうちの1つまたは複数のための1つまたは複数の追加放出フィルタ、
である、請求項1に記載のシステム。 - 少なくとも第2のカメラを更に含み、前記放出光は、それぞれのカメラに方向付けされた可視光および非可視光を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記フレームに連結された1つまたは複数の追加カメラを更に含み、各追加カメラは、光のそれぞれの固有の波長を受信するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 1つまたは複数のプロセッサと、
命令を記憶するメモリと、を更に含み、
前記命令が、前記1つまたは複数のプロセッサによる実行時に、前記1つまたは複数のプロセッサに、
前記受信カメラから画像データを受信することであって、前記画像データが、前記試料からの前記方向付けされた光に基づく、画像データを受信すること、
前記受信された画像データに基づき、トレーニングされた分類器で前記試料を分類すること、
前記試料の前記分類に関連する記憶されたシステム構成を検索すること、および
前記光源、前記励起フィルタ、前記放出フィルタ、または前記受信カメラのうちの1つまたは複数に、前記システム構成を適用すること、を引き起こさせる、請求項1に記載のシステム。 - 前記メモリは、
前記受信カメラから追加画像データを受信することであって、前記追加画像データが、前記システム構成が適用された後に受信される、追加画像データを受信すること、
前記受信された追加画像データに基づき、画像データモデルで試料欠陥を識別すること、および
前記試料欠陥に基づき特徴マップを生成すること、を行う更なる命令を記憶する、請求項6に記載のシステム。 - 前記1つまたは複数の非コヒーレント光源は、
前記フレームに連結され、前記1つまたは複数の非コヒーレント光源から前記試料に反射光を放出するように構成された第1の光源と、
前記試料の下方の前記フレームに取り付けられ、前記1つまたは複数の非コヒーレント光源によって放出される光と同時に前記試料に方向付けされた光を放出することによって前記試料上の光の強度を増加させるように構成された追加光源と、を更に含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記フレームに連結され、放出光を前記試料に向けて方向付けするように構成されたビームスプリッタを更に含む、請求項1に記載のシステム。
- 1つまたは複数の非コヒーレント光源から、試料が蛍光を発するのを引き起こす第1の波長の光と、前記試料が蛍光を発するのを引き起こさない第2の波長の光と、を少なくとも放出することであって、前記放出された光が前記試料に方向付けされる、放出することと、
励起フィルタを通して前記放出光をフィルタリングすることであって、前記フィルタリングされた光が、所定のバンドギャップエネルギに匹敵する、フィルタリングすることと、
スライダを通して前記試料まで対物レンズの暗視野チャネルを介して傾斜角で前記放出光を伝達することと、
放出フィルタを使用して、前記試料から反射された光を受信カメラに方向付けすることであって、前記反射光が前記方向付けされてフィルタリングされた光に応答し、前記試料から反射された前記方向付けされた光が選択された波長を含む、方向付けすることと、
前記受信カメラから、前記試料から反射された前記方向付けされた光に基づく画像データを取得することと、
前記画像データに基づき、トレーニングされた分類器で前記試料を分類することと、
前記試料の分類に関連する記憶されたシステム構成を検索することと、
前記非コヒーレント光源、前記励起フィルタ、前記放出フィルタ、または前記受信カメラのうちの1つまたは複数に、前記システム構成を適用することと、
前記受信カメラから追加画像データを取得することであって、前記追加画像データが、前記システム構成が適用された後に取得される、追加画像データを取得することと、
前記取得された追加画像データに基づき、画像データモデルで試料欠陥を識別することと、
前記試料欠陥に基づき特徴マップを生成することと、を含む、方法。 - 前記試料への前記フィルタリングされた光を、前記スライダを通して前記対物レンズの明視野チャネルに伝達することを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記対物レンズの前記暗視野チャネルの上方に配置され、リング状の光部を含む暗視野インサートは、前記対物レンズの前記暗視野チャネルを介して傾斜角で前記試料に光を放出する、請求項10に記載の方法。
- 前記放出光は、可視光および非可視光を含み、第2のカメラによって、前記試料から反射された前記方向付けされた光の少なくとも一部を受信することを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 1つまたは複数の追加カメラによって、前記試料から反射された前記光の固有の波長を受信することを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記受信カメラから画像データを受信することであって、前記画像データが、前記試料から反射された前記方向付けされた光に基づく、画像データを受信することと、
前記受信された画像データに基づき、トレーニングされた分類器で前記試料を分類することと、
前記試料の前記分類に関連する記憶されたシステム構成を検索することと、
前記光源、前記励起フィルタ、前記放出フィルタ、または前記受信カメラのうちの1つまたは複数に、前記システム構成を適用することと、を更に含む、請求項10に記載の方法。 - 前記受信カメラから追加画像データを受信することであって、前記追加画像データが、前記システム構成が適用された後に受信される、追加画像データを受信することと、
前記受信された追加画像データに基づき、画像データモデルで試料欠陥を識別することと、
前記試料欠陥に基づき特徴マップを生成することと、を更に含む、請求項15に記載の方法。 - 前記試料に向けて前記1つまたは複数の非コヒーレント光源のうちの第1の光源から第1の光を放出することと、
前記試料の下方から、前記1つまたは複数の非コヒーレント光源のうちの追加光源から前記試料に方向付けされた第2の光を放出することによって、前記試料上の光の強度を増加させることと、
を更に含み、
前記追加光は、前記1つまたは複数の非コヒーレント光源のうちの前記第1の光源によって放出される光と同時に放出される、請求項10に記載の方法。 - 前記放出光を前記試料に向けてビームスプリッタで方向付けすることを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 顕微鏡装置であって、
試料が蛍光を発するのを引き起こす第1の波長の光と、前記試料が蛍光を発するのを引き起こさない第2の波長の光と、を少なくとも放出するように構成され、前記放出された光が、前記試料に方向付けされるように構成される、1つまたは複数の非コヒーレント光源と、
前記1つまたは複数の光源からの光をフィルタリングするように構成され、前記フィルタリングされた光が、前記試料に関連する所定のバンドギャップエネルギに匹敵するように構成される、励起フィルタと、
明視野チャネルおよび暗視野チャネルを含む対物レンズと、
取付け具を介して前記対物レンズに連結されるノーズピースと、
前記取付け具に締結され、前記対物レンズの前記暗視野チャネルの上方に配置される暗視野インサートであって、前記暗視野インサートが光を前記試料に傾斜角で投射するように構成されるリング状の光部を含む、暗視野インサートと、
前記試料から受信カメラに反射された光の選択された波長をフィルタリングするために構成される放出フィルタと、
1つまたは複数のプロセッサと、
命令を記憶するメモリと、を含み、
前記命令が、前記1つまたは複数のプロセッサによる実行時に、前記1つまたは複数のプロセッサに、
前記受信カメラから画像データを受信することであって、前記画像データが、前記試料から反射された前記方向付けされた光に基づく、画像データを受信すること、
前記受信された画像データに基づき、トレーニングされた分類器で前記試料を分類すること、
前記試料の前記分類に関連する記憶されたシステム構成を検索すること、
前記光源、前記励起フィルタ、前記放出フィルタ、または前記受信カメラのうちの1つまたは複数に、前記システム構成を適用すること、
前記受信カメラから追加画像データを受信することであって、前記追加画像データが、前記システム構成が適用された後に受信される、追加画像データを受信すること、
前記受信された追加画像データに基づき、画像データモデルで試料欠陥を識別すること、および
前記試料欠陥に基づき特徴マップを生成すること、を引き起こさせる、顕微鏡装置。
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