JP2022505459A - 輝度ヒストグラムを用いた残留物検知 - Google Patents
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Abstract
Description
基板の画像を取得することと、
画像について輝度平面の強度値を取得することと、
輝度平面の強度値から強度ヒストグラムを生成することと、
強度ヒストグラムを解析して、強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定すること
を含む。
命令であって、1つ以上のプロセッサに、
基板の画像を受信することと、
画像について輝度平面の強度値を取得することと、
輝度平面の強度値から強度ヒストグラムを生成することと、
強度ヒストグラムを解析して、強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定すること
を行わせる命令を含む。
集積回路製造のための基板を保持するための支持体と、
基板の少なくとも一部の画像を撮像するための光学アセンブリと、
コントローラと
を含む。コントローラは、
光学アセンブリから画像を受信し、
画像について輝度平面の強度値を取得し、
輝度平面の強度値から強度ヒストグラムを生成し、及び、
強度ヒストグラムを解析して、強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定するよう構成される。
基板の少なくとも1つの輝度チャネルを有する画像を取得することと、
画像について輝度平面の強度値から強度ヒストグラムを生成することと、
強度ヒストグラムを解析して、強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定すること
を含む。
第1の誘電体層が低誘電率(low-κ)材料であってよく、第2の誘電体層がSiNであってよい。
Claims (15)
- 基板が適切に研磨されているかどうかを判定する方法であって、
前記基板の画像を取得することと、
前記画像について輝度平面の強度値を取得することと、
前記輝度平面の前記強度値から強度ヒストグラムを生成することと、
前記強度ヒストグラムを解析して、前記強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定すること
を含む方法。 - 前記画像を取得することは、3つの色平面を有する原画像を取得することを含み、前記輝度平面についての前記強度値を取得することは、前記色平面における値に基づいて、前記輝度平面についての前記強度値を計算することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記輝度平面を計算することは、前記原画像を、RGB色空間から色相-彩度-輝度色空間へと変換することを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記強度ヒストグラムを解析することは、前記強度ヒストグラムにおいて、閾値より下のピーク又はピークの一部の存在を検出することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記強度ヒストグラムを解析することは、前記強度ヒストグラムにおけるピークのピーク幅、ピーク形状、又は非対称度のうちの1つ以上を特定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記強度ヒストグラムが前記1つ以上の基準を満たさないと判定することと、前記基板上の残留物の存在を示す信号を生成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、第1の誘電体層を含み、第1の誘電体層が、第2の誘電体層の上に配置されている、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の誘電体層が、低誘電率(low-κ)材料であり、前記第2の誘電体層がSiNである、請求項7に記載の方法。
- 非一過性のコンピュータ可読媒体において有形に具現化されるコンピュータプログラム製品であって、命令を含み、
前記命令は、1つ以上のプロセッサに、
基板の画像を受信することと、
前記画像について輝度平面の強度値を取得することと、
前記輝度平面の前記強度値から強度ヒストグラムを生成することと、
前記強度ヒストグラムを解析して、前記強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定すること
を行わせる、コンピュータプログラム製品。 - 前記強度値を取得するための前記命令が、前記画像からの3つの色平面における値に基づいて前記強度値を計算するための命令を含む、請求項9に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記強度値を計算するための前記命令が、前記画像を、RGB色空間から色相-彩度-輝度色空間へと変換するための命令を含む、請求項10に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記強度ヒストグラムを解析するための前記命令が、前記強度ヒストグラムにおいて、閾値より下のピーク又はピークの一部の存在を検出するための命令を含む、請求項9に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記強度ヒストグラムを解析するための前記命令が、前記強度ヒストグラムにおけるピークのピーク幅、ピーク形状、又は非対称度のうちの1つ以上を特定するための命令を含む、請求項9に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記強度ヒストグラムが前記1つ以上の基準を満たさない場合に、前記基板上の残留物の存在を示す信号を生成するための命令を含む、請求項9に記載のコンピュータプログラム製品。
- 基板上の層の厚さを表す測定値を取得するためのシステムであって、
集積回路製造のための基板を保持するための支持体と、
前記基板の少なくとも一部の画像を撮像するための光学アセンブリと、
コントローラであって、
前記光学アセンブリから前記画像を受信し、
前記画像について輝度平面の強度値を取得し、
前記輝度平面の前記強度値から強度ヒストグラムを生成し、及び、
前記強度ヒストグラムを解析して、前記強度ヒストグラムが1つ以上の基準を満たすかどうかを判定する
よう構成されたコントローラと、
を含む、システム。
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