JP2022501161A - 電極作製及び設計 - Google Patents
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Abstract
Description
非適用(NOT APPLICABLE)
図1A〜9は種々の電極構成を示す。種々の実施形態において、多くの異なるスレッド及び電極タイプを電極アレイに使用することができ、図1A〜9の実施例で説明される設計並びに任意な他の設計が含まれ、またこれは本開示によって限定されない。スレッドは、5〜50μmの範囲にわたる幅で作製することができ、また図1A〜9の実施例で説明される設計並びに任意な他の設計のような幾つかのジオメトリの記録部位を組み入れることができる。
図1Aは、本発明実施形態による、線形端縁形態をした電極スレッド100の概略的頂面図を示す。幾つかの実施形態において、電極スレッド100の線形端縁形態は、以下に記載する幾つかの他の電極形態における好ましい技術的形体を組み合わせることができる。この実施例において、複数の電極ワイヤ配線102は、金又は他の金属の薄膜のような導体から形成することができ、またポリイミドのような柔軟生体適合性生体埋込み型誘電材料のベース104上に堆積することができる。代表的実施例において、単一スレッド100上に32本の配線を存在させることができる。ワイヤ配線102は、互いにまた誘電ベース104の長さに対してほぼ平行とすることができる。
従来型埋込み型デバイスは、挿入部位における慢性炎症及び/又は急性免疫反応を生じ易く、これは電極の挿入部位における刺激又は記録する能力に干渉するおそれがある。幾つかの実施形態において、開示したシステム及び方法は、生体組織内に挿入するための極めて小さい断面積を呈するとともに、組織に対する挿入外傷部位を越えて突出するよう構成された多重電極をもたらすことによって、このような問題を回避又は大幅に減少することができる。とくに、幾つかの実施形態において、開示した電極アレイはほぼ樹状(ツリー)構造に構成することができ、この構造は、挿入瘢痕又は他の免疫系反応からのこのような干渉を回避又は大幅に減少することができる。
他の実施形態において、開示した電極アレイは、時間的期間にわたり挿入部位を越えて延在することができる多重の細い可撓性電極を設けることによって、電極機能に対する免疫反応干渉の問題を解決することができる。とくに、電極アレイは、本明細書で「4本脚(quadrapus)」及び/又は「8本脚(octopus)」と称される構造で構成することができる。さらに、埋め込むとき、この実施形態における活性部位は関心対象物(例えば、神経系構造)を包囲することができ、関心対象物の3次元的記録及び/又は刺激をもたらすことができる。
或る実施形態において、電極アレイは、埋込み中に標的生体組織の免疫反応を最小限にするため、極小サイズを有するよう設計することができる。図7は、本発明実施形態による、極小サイズ形態の2つの線形的アレイ700を示す。各々は係合形体701を有し、また支持層(例えば、パリレン)における複数の開口703は1つ又はそれ以上の電極705を有するよう構成される。電気配線707は、開口703及び電極705を集積回路(図示せず)に接続することができる。その理由のため、電極アレイ700は直径10マイクロメートル以下のサイズに構成することができ、例えば、電極705は2〜10μmの間におけるサイズとすることができる。或る実施形態において、線形的アレイ700のサイズを一層減少させるために、線形的アレイ700は、生体組織の免疫反応を最小限にするようより少ない数の開口703及び/又は電極705を有するよう構成することができる。
図9は係合形体901、骨格903、及び骨格903に連結される1つ又はそれ以上の電気配線905を有する電極アレイ900を示す。各電気配線905は、生体組織を記録及び/又は刺激するよう構成された1つ又はそれ以上の電極907を含むことができる。幾つかの実施形態において、骨格903は、ポリイミド又は同様の材料を含むことができる。図9に示す電極アレイは、図5に示すツリー状電極構造の態様を図6の構造に組み合わせるものである。幾つかの実施形態において、電極の各ストランドは、直径約6μm以下のサイズとすることができる。さらに、幾つかの実施形態において、ポリイミドの骨格は、ほぼ3つの電気配線に連結することができ、各配線は約500nm〜1000nmの間における長さを有する。例えば、幾つかの実施形態において、金属配線は約750nm以下とすることができる。幾つかの実施形態において、図9に示す電極アレイ900は、30又はそれ以上の記録及び/又は刺激部位を生ずるよう電極907のような30個又はそれ以上の電極を含むことができる。30又はそれ以上の記録及び/又は刺激部位を有するにも係わらず、電極アレイ全体を1回のニードル挿入で生体組織内に埋め込むことができる。とくに、埋込みシステムは、図9に示すような複雑で多孔質のジオメトリで可撓性電極を埋め込むことができる。埋込み(又は挿入)中、可撓性電極が延在した構造は、小さい挿入穴内に嵌入するよう密集化することができる。埋め込んだ後、電極はセルが挿入エリア内に成長し、また創傷が修復する時間経過につれて拡開する。
種々の実施形態において、図1〜9に示した電極アレイのうち1つ又はそれ以上は、電極アレイを創成するよう任意の適当な組合せで改変、組合せ又は分散させることができる。例えば、幾つかの実施形態において、図5に示すツリー状構造は、図6の4本脚形態におけるように、多数のスレッド又はストランドから分岐させることができる。このような形態は、挿入中における電極アレイが呈するサイズを減少するとともに、可撓性をもたらし、また挿入部位から活性部位を分離させることもする。
図1〜9に示す電極アレイは図10〜19に示す作製プロセスによって製造することができる。幾つかの実施形態において、電極アレイは、多数(例えば、32、64、128、256)個の電極を単一プローブ上にパターン形成することができるステッパリソグラフィを用いて作製することができる。或る実施形態において、ウェハーレベルの微細作製プロセスはデバイスの高生産性製造を可能にする。例えば、10個の薄膜アレイを単一ウェハー上にパターン形成することができ、48又は96本のスレッドを有する各薄膜アレイは、3,072個の電極接点を有する。或る実施形態において、開示した電極アレイは、標的組織の変位が最小限であり、また多様な生体適合性薄膜材料を含む神経プローブを生産するため特注プロセスにより作製することができる。
Claims (29)
- 頂面及び誘電体の長さに沿う側面によって画定される頂端縁を有する、生体適合性の柔軟な誘電体と、
生体適合性誘電体内で前記誘電体の前記長さに実質的に沿って指向する電気配線であって、前記電気配線それぞれが前記電気配線の第2電気配線から絶縁されている、電気配線と、
前記誘電体の前記長さに沿う前記側面に位置する電極接点であって、電極接点それぞれの露出部分が前記誘電体の前記頂端縁から突出し、また前記電極接点それぞれが対応する前記電気配線に結合されている、電極接点と、
を備える、柔軟電極装置。 - 請求項1記載の柔軟電極装置において、さらに、生体組織内の流体から基準信号を読み取るよう構成されるとともに前記電気配線のうち1つに接続される基準電極を備える、柔軟電極装置。
- 請求項1記載の柔軟電極装置において、前記電極接点は、前記誘電体の前記長さに沿って互いに離間した20〜50個の電極接点を有し、前記電極接点の中心間間隔は45マイルロメートル〜55マイクロメートルであり、また各電極接点の面積は350平方マイクロメートル未満である、柔軟電極装置。
- 請求項1記載の柔軟電極装置において、前記電極接点それぞれは、ほぼ楕円形状を有している、柔軟電極装置。
- 請求項1記載の柔軟電極装置において、生体適合性誘電体はポリイミドを有し、また前記電気配線及び前記電極接点は、金又は他の金属を有する、柔軟電極装置。
- 請求項1記載の柔軟電極装置において、前記生体適合性誘電体は、エポキシ、ポリパラキシレン、パリレン及びアクリルのうち1つ以上を有する、
柔軟電極装置。 - 請求項1記載の柔軟電極装置において、さらに、挿入ニードルに着脱可能に連結するため、前記誘電体の端部に連結した係合コンポーネントを備える、柔軟電極装置。
- 請求項1記載の柔軟電極装置において、前記誘電体の厚さは4マイクロメートル〜8マイクロメートルであり、また前記誘電体の前記長さは15ミリメートル〜25ミリメートルである、柔軟電極装置。
- 請求項1記載の柔軟電極装置において、前記電極接点それぞれの突出している露出部分の底部は前記誘電体でカバーされる、柔軟電極装置。
- 幹構造から枝分かれする複数の分岐を有する生体適合性の柔軟な誘電体と、
前記複数の分岐における1つ以上の分岐に位置する電極接点と、
それぞれが、少なくとも部分的に対応する分岐内に位置し、対応する電極接点に結合され、第2電気配線から絶縁される、複数の電気配線と、
を備える、柔軟電極装置。 - 請求項10記載の柔軟電極装置において、前記複数の分岐は、少なくとも4本の可撓性ストランドを有し、また前記電極接点は前記少なくとも4本の可撓性ストランド上に位置する、柔軟電極装置。
- 請求項11記載の柔軟電極装置において、前記電極接点は、前記少なくとも4本の可撓性ストランドに沿って互いに異なる位置に位置する、柔軟電極装置。
- 請求項10記載の柔軟電極装置において、
生体適合性柔軟誘電体の前記幹構造は主ロッドを有し、
各前記分岐は前記主ロッドから枝分かれする二次ロッドを有し、また
各前記電極接点は前記主ロッドから枝分かれする前記二次ロッドに位置する、
柔軟電極装置。 - 請求項13記載の柔軟電極装置において、
前記電極接点はほぼ二次ロッドの端部に位置し、
前記二次ロッドのうち1つ以上は、前記電極接点が前記主ロッドから分離するよう、前記主ロッドから角度をなして枝分かれする、
柔軟電極装置。 - 請求項10記載の柔軟電極装置において、前記誘電体の前記幹構造は、埋め込み中折れ曲がるよう構成される柔軟な骨格を有する、柔軟電極装置。
- 請求項10記載の柔軟電極装置において、前記電極接点の最大形体サイズは10マイクロメートルであり、また前記電極接点それぞれの面積は350平方マイクロメートル未満である、柔軟電極装置。
- 請求項10記載の柔軟電極装置において、前記電極接点は少なくとも20個の電極接点を含む、柔軟電極装置。
- 請求項10記載の柔軟電極装置において、生体適合性誘電体はポリイミドを有し、また前記電気配線及び前記電極接点は、金又は他の金属を有する、柔軟電極装置。
- 請求項10記載の柔軟電極装置において、生体適合性誘電体は、エポキシ、ポリパラキシレン、パリレン及びアクリルのうち1つ以上を有する、柔軟電極装置。
- 請求項10記載の柔軟電極装置において、さらに、挿入ニードルに着脱可能に連結するため、前記誘電体の端部に係合コンポーネントを備え、前記係合コンポーネントは40マイクロメートル〜60マイクロメートルの長さのループを有する、柔軟電極装置。
- 生体適合性柔軟誘電体の第1層を堆積するステップと、
前記生体適合性柔軟誘電体の前記第1層上に電気配線を堆積するステップであり、前記電気配線がほぼ誘電体の長さに沿って指向し、また前記電気配線におけるそれぞれの電気配線が前記電気配線の第2電気配線から絶縁されるよう、堆積するステップと、
生体適合性誘電体の長さに沿う側面に電極接点を堆積するステップと、
前記第1層、前記電気配線及び前記電極接点の上に、電極接点それぞれの露出部分が、前記誘電体の頂面及び前記誘電体の前記長さに沿う側面によって画定される頂端縁を越えて突出して残るよう、前記生体適合性柔軟誘電体の第2層を堆積するステップであり、また前記電極接点それぞれが対応する前記電気配線に結合されている、ステップと、
を含む、生体適合性柔軟電極装置製造方法。 - 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、さらに、生体組織内の流体から基準信号を読み取るよう構成されるとともに、前記電気配線のうち1つに接続される基準電極を堆積するステップを備える、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、前記電極接点は、前記誘電体の前記長さに沿って互いに離間した20〜50個の電極接点を有し、前記電極接点の中心間間隔は45マイルロメートル〜55マイクロメートルであり、また各電極接点の面積は350平方マイクロメートル未満である、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、前記電極接点それぞれは、ほぼ楕円形状を有している、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、生体適合性誘電体はポリイミドを有し、また前記電気配線及び前記電極接点は、金又は他の金属を有する、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、生体適合性誘電体は、エポキシ、ポリパラキシレン、パリレン及びアクリルのうち1つ以上を有する、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、さらに、挿入ニードルに着脱可能に連結するよう構成される係合コンポーネントを形成し前記誘電体の端部に連結するステップを含む、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項27記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、前記係合コンポーネントは40マイクロメートル〜60マイクロメートルの長さのループを有する、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
- 請求項21記載の生体適合性柔軟電極装置製造方法において、前記誘電体の厚さは4マイクロメートル〜8マイクロメートルであり、また前記誘電体の前記長さは15ミリメートル〜25ミリメートルである、生体適合性柔軟電極装置製造方法。
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