JP2022185661A

JP2022185661A - Inspection device of planar shape measurement system

Info

Publication number: JP2022185661A
Application number: JP2021093423A
Authority: JP
Inventors: 公平射場; Kohei Iba; 昌之杉山; Masayuki Sugiyama
Original assignee: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Current assignee: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Priority date: 2021-06-03
Filing date: 2021-06-03
Publication date: 2022-12-15
Anticipated expiration: 2041-06-03
Also published as: JP7431195B2

Abstract

To provide an inspection device of a planar shape measurement system which can easily perform inspection.SOLUTION: An inspection device 10 according to an embodiment inspects a planar shape measurement system comprising: a light projection device 2 which emits two parallel slit-like light beams; an imaging device 3 which is provided so as to capture reflection images of the two parallel slit-like light beams from an oblique direction; and a planar shape measurement device 20 which converts each of the two parallel slit-like light beams of the imaged reflection image data into data of coordinates of the surface height and outputs the data. The inspection device can record and output the reflection image data together with the acquisition date and time, and outputs determination data of the inspection result of the planar shape measurement system on the basis of the data output by the planar shape measurement device. An inspection jig 1 has a length over the second direction of a measurement area in the plan view and is bent due to dead weight when being set in the measurement area. The determination data includes a bending amount of the inspection jig output by the planar shape measurement device.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明の実施形態は、鉄鋼製造設備において搬送される帯状鋼板の平面形状を測定する平面形状測定システムの点検装置に関する。 An embodiment of the present invention relates to an inspection device for a planar shape measuring system that measures the planar shape of a strip steel plate conveyed in a steel manufacturing facility.

鉄鋼の圧延ライン等において、搬送される帯状鋼板にスリット状光を照射して、その帯状鋼板の表面波高さや急峻度、伸び率等を測定する平面形状測定システムが知られている（たとえば、特許文献１等）。 In a steel rolling line or the like, there is known a planar shape measurement system that measures the surface wave height, steepness, elongation, etc. of the conveyed steel strip by irradiating a slit-like light on the steel strip (for example, patent Reference 1, etc.).

このような平面形状測定システムは、光源、撮像装置および平面形状測定装置を有している。光源は、スリット状光を帯状鋼板に照射する。撮像装置は、スリット状光が照射された帯状鋼板の表面の画像を撮像して画像データを出力する。平面形状測定装置は、出力された画像データを画像処理し、画像処理されたデータに座標変換処理等を施して、その帯状鋼板の平面形状を表す各種数値を計算し、出力する。 Such a planar shape measuring system has a light source, an imaging device and a planar shape measuring device. A light source irradiates a strip|belt-shaped steel plate with slit-shaped light. The imaging device captures an image of the surface of the strip-shaped steel plate irradiated with the slit-shaped light and outputs image data. The planar shape measuring device performs image processing on the output image data, performs coordinate conversion processing and the like on the image-processed data, calculates various numerical values representing the planar shape of the steel strip, and outputs the calculated values.

平面形状測定システムは、定期あるいは不定期に点検が行われ、その健全性が確認される。平面形状測定システムの代表的な点検方法では、表面の波高さや波のピッチ等があらかじめ規定された点検用波板を用いることにより行われる。点検用波板は、平面形状測定システムの測定エリア内に固定され、その表面にスリット状光が照射される。平面形状測定装置は、点検用波板の表面の画像データを取得して、点検用波板の表面形状を表す数値を計算する。計算され、出力された表面形状に関するデータは、点検用波板の基準値と比較され、平面形状測定システムによる計測が健全であるか否かが判定される。 The planar shape measurement system is inspected regularly or irregularly to confirm its soundness. A typical inspection method for a planar shape measurement system is to use an inspection corrugated plate whose surface wave height, wave pitch, etc. are predetermined. The corrugated plate for inspection is fixed within the measurement area of the planar shape measurement system, and the surface thereof is irradiated with slit-like light. The planar shape measuring device acquires image data of the surface of the corrugated plate for inspection and calculates a numerical value representing the surface shape of the corrugated plate for inspection. The calculated and output surface shape data is compared with the reference value of the inspection corrugated plate to determine whether the measurement by the planar shape measurement system is sound.

点検用波板は、計測の基準となるので、その表面形状を厳密に規定する必要がある。そのため、点検用波板は、金属材料で形成され、高重量とならざるを得ない。また、点検用波板を測定エリアに載置したときに、変形しないように長手方向の寸法が制限される。測定エリアは、平面形状測定システムが設けられる圧延ラインの幅であり、数メートルにおよぶ場合があり、そのような場合には、複数台の点検用波板を測定エリアにわたって正確に並べて固定する必要がある。 Since the corrugated sheet for inspection serves as a reference for measurement, it is necessary to strictly define its surface shape. Therefore, the corrugated plate for inspection is made of a metal material and is inevitably heavy. In addition, when the corrugated plate for inspection is placed on the measurement area, the longitudinal dimension is restricted so as not to deform. The measurement area is the width of the rolling line where the planar shape measurement system is installed, and can be several meters long. There is

点検のたびに上述のような点検用波板を配置し固定するのでは、作業性が悪く、多大な労力、時間を要することとなり、改善が求められている。 Arranging and fixing the corrugated sheet for inspection as described above each time an inspection is performed is inefficient and requires a great deal of labor and time.

また、上述の点検方法では、平面形状測定装置の出力値より異常の有無を検出することはできるが、平面形状測定システムのどこに異常原因が存在するのか調査が容易でないとの問題も指摘されている。 Also, with the inspection method described above, it is possible to detect the presence or absence of an abnormality from the output value of the planar shape measuring device, but it has been pointed out that it is not easy to investigate where the cause of the abnormality exists in the planar shape measuring system. there is

特開２０１２－２５１８１６号公報JP 2012-251816 A

本発明の実施形態は、平面形状測定システムの点検を容易に行える平面形状測定システムの点検装置を得ることを目的とする。 An object of an embodiment of the present invention is to provide an inspection apparatus for a planar shape measuring system that facilitates inspection of the planar shape measuring system.

本発明の実施形態に係る平面形状測定システムの点検装置は、被測定物体が鋼板である場合の鋼板の搬送方向である第１方向および前記第１方向に直交する第２方向を含む平面に設けられた測定エリア内の前記被測定物体の表面に２本の平行スリット状光を前記第１方向に直交して照射するように設けられた投光装置と、前記測定エリア内の前記被測定物体の表面の全体を前記第１方向の上流側の斜め方向または下流側の斜め方向から撮像するように設けられた撮像装置と、前記撮像装置によって撮像された、前記被測定物体の表面の反射画像データの前記２本の平行スリット状光のそれぞれに対応する輝線を、前記第２方向の座標に関連付けられた、前記第１方向および前記第２方向に直交する第３方向の座標のデータに変換して前記被測定物体の第１表面高さのデータとして出力し、前記輝線ごとの前記第１表面高さのデータの偏差のデータにもとづいて、前記反射画像データの時間変動を軽減した第２表面高さのデータを出力する平面形状測定装置と、を含む平面形状測定システムの点検装置である。この点検装置は、前記反射画像データを取得日時とともに記録し、出力可能とする点検画像記録手段と、前記平面形状測定装置が出力するデータにもとづいて前記平面形状測定システムの点検結果を判定するための判定データを出力する点検判定手段と、を備える。前記被測定物体は、前記測定エリアの前記第２方向の長さにわたる長さを有し、平坦な表面を有する板材であり、前記測定エリアに静止して設置されたときに、前記平面形状測定システムの測定精度により検出可能な自身の重量によるたわみを生ずるように設けられた点検用治具である。前記判定データは、前記平面形状測定装置が演算して出力した前記点検用治具のたわみ量を含む。 An inspection device for a planar shape measuring system according to an embodiment of the present invention is provided on a plane including a first direction, which is a conveying direction of a steel plate when the object to be measured is a steel plate, and a second direction orthogonal to the first direction. a light projecting device provided to irradiate the surface of the object to be measured within the measurement area with two parallel slit-shaped lights perpendicular to the first direction; and the object to be measured within the measurement area. an imaging device provided to capture an image of the entire surface of the object from an upstream oblique direction or a downstream oblique direction in the first direction; and a reflected image of the surface of the object to be measured captured by the imaging device. Bright lines corresponding to the two parallel slit-shaped lights of data are converted into data of coordinates in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction, which are associated with the coordinates in the second direction. and output as first surface height data of the object to be measured, and based on the deviation data of the first surface height data for each bright line, the second and a planar shape measuring device that outputs surface height data. This inspection device includes inspection image recording means for recording and outputting the reflection image data together with the date and time of acquisition, and for judging the inspection result of the planar shape measuring system based on the data output by the planar shape measuring device. and inspection determination means for outputting determination data of. The object to be measured is a plate member having a flat surface and a length that spans the length of the measurement area in the second direction. A check fixture provided to produce deflection due to its own weight that can be detected by the measurement accuracy of the system. The determination data includes the deflection amount of the inspection jig calculated and output by the planar shape measuring device.

本実施形態では、平面形状測定システムの点検を容易に行える平面形状測定装置の点検装置が実現される。 In this embodiment, an inspection apparatus for a planar shape measuring apparatus that can easily inspect a planar shape measuring system is realized.

実施形態に係る平面形状測定システムの点検装置を例示する模式的なブロック図である。1 is a schematic block diagram illustrating an inspection device of a planar shape measuring system according to an embodiment; FIG. 図２（ａ）は、画像データの一例を模式的に示す図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）の画像データに対して実行する画像処理を説明するための模式図である。FIG. 2A is a diagram schematically showing an example of image data. FIG. 2(b) is a schematic diagram for explaining image processing to be performed on the image data of FIG. 2(a). 実施形態の点検装置の動作時の平面形状測定装置の動作を説明するための模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the operation of the planar shape measuring device when the inspection device of the embodiment is in operation; 実施形態の平面形状測定システムの点検装置が出力する模式的な点検画面の例である。It is an example of a schematic inspection screen output by the inspection device of the planar shape measurement system of the embodiment. 比較例の平面形状測定システムの点検方法を例示する模式的なブロック図である。FIG. 5 is a schematic block diagram illustrating an inspection method for a planar shape measuring system of a comparative example; 比較例の平面形状測定システムの点検方法により出力された点検画面の例である。It is an example of the inspection screen output by the inspection method of the planar shape measuring system of a comparative example.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して詳細な説明を適宜省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
Note that the drawings are schematic or conceptual, and the relationship between the thickness and width of each portion, the size ratio between portions, and the like are not necessarily the same as the actual ones. Also, even when the same parts are shown, the dimensions and ratios may be different depending on the drawing.
In addition, in the present specification and each figure, the same reference numerals are given to the same elements as those described above with respect to the previous figures, and detailed description thereof will be omitted as appropriate.

図１は、実施形態に係る平面形状測定システムの点検装置を例示する模式的なブロック図である。
図１には、点検装置１０のほか、点検用治具１、平面形状測定装置２０、投光装置２および撮像装置３が示されている。平面形状測定装置２０、投光装置２および撮像装置３は、平面形状測定システムを構成する。 FIG. 1 is a schematic block diagram illustrating an inspection device of a planar shape measuring system according to an embodiment.
In addition to the inspection device 10, FIG. 1 shows an inspection jig 1, a planar shape measuring device 20, a light projecting device 2, and an imaging device 3. As shown in FIG. The planar shape measuring device 20, the light projecting device 2 and the imaging device 3 constitute a planar shape measuring system.

実施形態の点検装置１０では、点検用治具１を用いて、平面形状測定装置２０を含む平面形状測定システムの異常の有無を点検する。点検用治具１は、平坦な表面を有する板状部材である。点検用治具１は、測定エリア１ａの幅方向にわたる十分な長さを有している。そのため、１つの点検用治具１を測定エリア１ａに一度載置し、固定することによって、点検のための環境設定を完了させることができる。 In the inspection device 10 of the embodiment, the inspection jig 1 is used to inspect whether or not there is an abnormality in the planar shape measuring system including the planar shape measuring device 20 . The inspection jig 1 is a plate-like member having a flat surface. The inspection jig 1 has a sufficient length across the width of the measurement area 1a. Therefore, once one inspection jig 1 is placed on the measurement area 1a and fixed, the environment setting for inspection can be completed.

測定エリア１ａの幅が、たとえば５［ｍ］の場合には、点検用治具１の長手方向の長さは、５［ｍ］程度とされ、好ましくは、測定エリア１ａの幅方向の全体にわたるように設定される。点検用治具１の短手方向の長さは、２本のスリット状光を照射し、その照射光を反射できる程度の十分な長さとされる。点検用治具１の厚さは、任意とすることができるが、点検用治具１の材質や寸法に応じて適切に設定される。点検用治具１の照射面は、平坦面とされ、好ましくは、照射光の反射時の輝度が十分となるように表面処理されている。重量等の観点から、点検用治具１は、たとえばアルミニウムやその合金で形成され、安定した画像形成等の観点から表面に酸化膜（アルマイト）形成処理がなされたものが用いられる。 When the width of the measurement area 1a is, for example, 5 [m], the length of the inspection jig 1 in the longitudinal direction is about 5 [m]. is set to The length of the inspection jig 1 in the short direction is set to a length sufficient to irradiate two slit-shaped lights and to reflect the irradiated lights. Although the thickness of the inspection jig 1 can be arbitrary, it is appropriately set according to the material and dimensions of the inspection jig 1 . The irradiation surface of the inspection jig 1 is a flat surface, and is preferably surface-treated so as to provide sufficient brightness when the irradiation light is reflected. From the viewpoint of weight and the like, the inspection jig 1 is made of, for example, aluminum or its alloy, and from the viewpoint of stable image formation, etc., the surface thereof is subjected to an oxide film (alumite) formation treatment.

点検用治具１は、測定エリア１ａの幅方向に一定の間隔で設けられた支持部材１ｂ上に固定される。支持部材１ｂは、測定エリア１ａの幅に応じた数が設けられる。この例では、支持部材１ｂは、点検用治具１の幅方向の両端に１つずつ、合計２つ設けられている。点検用治具１は、支持部材１ｂ間で自身の重量によりたわみを生じ、点検装置１０および平面形状測定システムによってそのたわみを測定して、点検用治具１の表面高さの測定値の妥当性の判断を可能にする。点検用治具１の材質や形状等によって生じるたわみの大きさは、平面形状測定装置２０の測定精度で検出できるように支持部材１ｂの設置間隔が設定される。 The inspection jig 1 is fixed on support members 1b provided at regular intervals in the width direction of the measurement area 1a. The number of support members 1b is provided according to the width of the measurement area 1a. In this example, two support members 1b are provided, one at each end of the inspection jig 1 in the width direction. The inspection jig 1 flexes due to its own weight between the support members 1b, and the deflection is measured by the inspection device 10 and the planar shape measurement system to determine the validity of the measured value of the surface height of the inspection jig 1. Allows for gender determination. The installation interval of the support member 1b is set so that the amount of deflection caused by the material, shape, etc. of the inspection jig 1 can be detected with the measurement accuracy of the planar shape measuring device 20. FIG.

点検装置１０は、平面形状測定装置２０および撮像装置３に接続されている。投光装置２は、測定エリア１ａに載置された点検用治具１の表面に２本のスリット状光を照射する。撮像装置３は、測定エリア１ａの全体にわたる領域の画像を撮像するように設けられている。撮像装置３は、測定エリア１ａに載置された点検用治具１の表面にスリット状光が照射された画像を撮像し、画像データに変換する。 The inspection device 10 is connected to the planar shape measuring device 20 and the imaging device 3 . The light projecting device 2 irradiates two slit-like lights onto the surface of the inspection jig 1 placed on the measurement area 1a. The imaging device 3 is provided to capture an image of the entire measurement area 1a. The imaging device 3 captures an image in which the surface of the inspection jig 1 placed on the measurement area 1a is irradiated with slit light, and converts the image into image data.

なお、測定エリア１ａは、平面形状測定システムの通常の測定動作および点検装置１０による点検動作で共通の測定エリアであり、搬送される鋼板や点検用治具１を撮像装置３によって撮像する領域である。より具体的には、測定エリア１ａの搬送方向の長さは、２本のスリット状光の反射画像を撮像できるように設定される。スリット状光は、搬送方向にほぼ直交して照射される。測定エリア１ａの搬送方向に直交する方向の長さについては、搬送方向に沿って搬送されてくる鋼板の幅にわたってスリット状光の反射画像を含むように設定される。以下では、鋼材の搬送方向に沿う方向をＬ方向といい、Ｌ方向に直交する方向をＣ方向ということがある。測定エリア１ａは、Ｌ方向（第１方向）およびＣ方向（第２方向）の両方を含む平面であるものとする。鋼板が搬送される場合には、鋼板は、Ｌ方向の上流側から下流側に搬送される。 The measurement area 1a is a common measurement area for the normal measurement operation of the planar shape measurement system and the inspection operation by the inspection device 10, and is an area where the conveyed steel plate and the inspection jig 1 are imaged by the imaging device 3. be. More specifically, the length of the measurement area 1a in the transport direction is set so that two slit-like light reflection images can be captured. The slit-like light is irradiated substantially perpendicularly to the conveying direction. The length of the measurement area 1a in the direction orthogonal to the conveying direction is set so that the reflected image of the slit light is included over the width of the steel plate conveyed along the conveying direction. Hereinafter, the direction along the conveying direction of the steel material may be referred to as the L direction, and the direction orthogonal to the L direction may be referred to as the C direction. The measurement area 1a is assumed to be a plane including both the L direction (first direction) and the C direction (second direction). When the steel plate is conveyed, the steel plate is conveyed from the upstream side in the L direction to the downstream side.

点検装置１０は、撮像装置３によって取得された画像データを点検画像として記録し、記録された画像を過去の取得画像のデータとともに、出力することができる。点検装置１０の操作者は、現在取得された画像データや過去に取得された画像データをモニタ等に表示させて、表面形状測定システムの異常の有無を目視で判定することができる。 The inspection device 10 can record image data acquired by the imaging device 3 as an inspection image, and output the recorded image together with data of previously acquired images. An operator of the inspection device 10 can visually determine whether or not there is an abnormality in the surface profile measurement system by displaying the currently acquired image data and the image data acquired in the past on a monitor or the like.

平面形状測定装置２０は、撮像装置３に接続されており、撮像装置３から取得した画像データにもとづいて、点検用治具１の幅方向の座標における表面高さの座標を表面高さのデータとして演算し、出力する。点検装置１０は、平面形状測定装置２０が演算した表面高さのデータを用いて、平面形状測定装置２０による演算結果が適切か否かを判定した結果を出力することができる。 The planar shape measuring device 20 is connected to the imaging device 3, and based on the image data acquired from the imaging device 3, converts the surface height coordinates in the width direction coordinates of the inspection jig 1 into surface height data. Calculate and output as The inspection device 10 can use the data of the surface height calculated by the planar shape measuring device 20 to output the result of determining whether the calculation result by the planar shape measuring device 20 is appropriate.

平面形状測定システムの通常の測定動作では、鋼板が搬送され移動している状態で画像データが取得される。鋼板は、搬送にともなって振動しており、画像データから演算される表面高さのデータには、鋼板の振動による時間変動分が含まれている。そこで、平面形状測定装置２０は、近接して平行して照射される２本のスリット状光の反射画像にもとづく表面高さのデータを用いることによって、座標データの時間変動の影響を相殺し、変動分が軽減あるいは除去された表面高さのデータを演算することができる。点検装置１０は、平面形状測定装置２０のこのような動作が適切であるか否かを判定することができる。 In a normal measurement operation of the planar shape measurement system, image data is acquired while the steel plate is conveyed and moved. The steel plate vibrates as it is conveyed, and the surface height data calculated from the image data includes time fluctuation due to the vibration of the steel plate. Therefore, the planar shape measuring apparatus 20 uses surface height data based on reflected images of two slit-shaped lights that are irradiated in parallel in close proximity to cancel out the influence of time fluctuations of the coordinate data. It is possible to calculate surface height data with the variation reduced or removed. The inspection device 10 can determine whether such operation of the planar shape measuring device 20 is appropriate.

実施形態の平面形状測定システムの点検装置１０の構成について詳細に説明する。
点検装置１０の構成の説明にあたり、図１を参照して、まず平面形状測定システムの構成について説明する。
平面形状測定システムの通常の測定動作では、鋼板の搬送方向に沿って測定エリア１ａに搬送されてきた鋼板（図示せず）の平面形状を測定する。この平面形状測定システムは、特許文献１等に記載されているように、周知の技術を用いて鋼板（図示せず）の表面形状を測定する。より具体的には、平面形状測定装置２０、投光装置２および撮像装置３は、以下のように構成され、動作する。 The configuration of the inspection device 10 of the planar shape measurement system of the embodiment will be described in detail.
Before describing the configuration of the inspection device 10, first, the configuration of the planar shape measuring system will be described with reference to FIG.
In a normal measurement operation of the planar shape measuring system, the planar shape of a steel plate (not shown) conveyed to the measurement area 1a along the conveying direction of the steel plate is measured. This planar shape measuring system measures the surface shape of a steel plate (not shown) using a well-known technique, as described in Patent Document 1 and the like. More specifically, the planar shape measuring device 20, the light projecting device 2 and the imaging device 3 are configured and operated as follows.

投光装置２は、２つの光源２ａ，２ｂを有する。光源２ａ，２ｂは、測定エリア１ａ内にほぼ平行なスリット状光を照射する位置に設けられる。たとえば、光源２ａ，２ｂは、測定エリア１ａの斜め上方に設けられる。光源２ａ，２ｂの出射光の光軸は、鋼板の搬送方向に交差するように設定され、好ましくは、鋼板の搬送方向にほぼ直交するように設定される。 The floodlighting device 2 has two light sources 2a and 2b. The light sources 2a and 2b are provided at positions that irradiate the measurement area 1a with substantially parallel slit-like light. For example, the light sources 2a and 2b are provided obliquely above the measurement area 1a. The optical axes of the light emitted from the light sources 2a and 2b are set so as to intersect the direction in which the steel plate is conveyed, and preferably so as to be substantially orthogonal to the direction in which the steel plate is conveyed.

撮像装置３は、測定エリア１ａの全体を撮像できるように、１台以上のカメラを含んでいる。この例では、撮像装置３は、３台のカメラ３ａ～３ｃを含んでいる。３台のカメラ３ａ～３ｃが出力する画像データをＣ方向に結合することによって、測定エリア１ａのＣ方向にわたる鋼板の画像データを得ることができる。カメラ３ａ～３ｃは、測定エリア１ａの斜め上方に設けられる。測定エリア１ａ上の鋼板の表面の高さを測定するために、カメラ３ａ～３ｃの光軸は、Ｃ方向から角度を付けて設けられている。Ｃ方向からの角度は、Ｌ方向の上流側に付けてもよいし、Ｌ方向の下流側に付けてもよい。 The imaging device 3 includes one or more cameras so as to capture an image of the entire measurement area 1a. In this example, the imaging device 3 includes three cameras 3a-3c. By combining the image data output from the three cameras 3a to 3c in the C direction, the image data of the steel plate over the C direction of the measurement area 1a can be obtained. The cameras 3a to 3c are provided obliquely above the measurement area 1a. In order to measure the surface height of the steel plate on the measurement area 1a, the optical axes of the cameras 3a to 3c are angled from the C direction. The angle from the C direction may be on the upstream side in the L direction or on the downstream side in the L direction.

撮像装置３は、カメラ３ａ～３ｃによって、鋼板の表面に照射された２本のスリット状光の反射画像が撮像され、画像データとして平面形状測定装置２０に送信される。撮像装置３は、２本のスリット状光の反射画像を複数回にわたって撮像する。撮像の回数は、あらかじめ設定されており、たとえば、画像データは、カメラ３ａ～３ｃのフレーム周期を数周期にわたって取得される。より具体的な例で説明すると、カメラ３ａ～３ｃは、フレーム周期６０Ｈｚの画像データ取得を１０秒間継続し、６００個の画像データをそれぞれ取得する。各画像データには、そのデータの取得日時が関連付けられる。 The imaging device 3 captures reflection images of the two slit-shaped lights irradiated on the surface of the steel plate by the cameras 3a to 3c, and transmits them to the planar shape measuring device 20 as image data. The imaging device 3 captures reflected images of the two slit-like lights a plurality of times. The number of times of imaging is set in advance. For example, image data is obtained over several frame periods of the cameras 3a to 3c. In a more specific example, the cameras 3a to 3c continue acquiring image data at a frame cycle of 60 Hz for 10 seconds, acquiring 600 pieces of image data. Each image data is associated with the acquisition date and time of the data.

表面座標変換部２２は、カメラ３ａ～３ｃによって取得された画像データを受信し、画像データごとにスリット状光の座標変換を実行する。座標変換されたデータは、Ｃ方向の座標に関連付けられた表面高さのデータとして出力される。なお、平面形状測定装置２０の通常の動作では、鋼板がＬ方向に搬送されるので、Ｃ方向にわたるスリット状光の表面高さのデータは、その鋼板のＬ方向の座標も有することとなる。 The surface coordinate transformation unit 22 receives image data acquired by the cameras 3a to 3c, and executes coordinate transformation of the slit-shaped light for each image data. The coordinate-transformed data is output as surface height data associated with coordinates in the C direction. In the normal operation of the planar shape measuring apparatus 20, the steel plate is conveyed in the L direction, so the surface height data of the slit-shaped light extending in the C direction also has the coordinates of the steel plate in the L direction.

表面座標変換部２２は、２本のスリット状光の表面高さのデータを１組の表面高さデータとして出力する。凹凸形状演算部２４は、スリット状光ごとの１組の表面高さデータを入力して、１組の表面高さのデータの偏差を計算する。凹凸形状演算部２４は、１組の表面高さデータの偏差を、関連付けられている日時のデータ順に順次積算して配列し、結果を表面形状マップのデータとして出力する。なお、平面形状測定装置２０の通常の動作では、時刻ごとに鋼板のＬ方向の座標が変化するので、凹凸形状演算部２４は、Ｃ方向座標×Ｌ方向座標にわたって、時間変動分が軽減された、鋼板の２次元の表面高さのデータである表面形状マップのデータを出力することになる。 The surface coordinate conversion unit 22 outputs the surface height data of the two slit-shaped lights as a set of surface height data. The irregular shape calculator 24 receives a set of surface height data for each slit-shaped light and calculates the deviation of the set of surface height data. The irregular shape calculator 24 sequentially accumulates and arranges the deviations of a set of surface height data in the order of associated date and time data, and outputs the results as surface shape map data. In the normal operation of the planar shape measuring apparatus 20, the coordinates of the steel plate in the L direction change at each time. , the data of the surface shape map, which is the data of the two-dimensional surface height of the steel plate, is output.

凹凸形状演算部２４は、表面形状マップのデータにもとづいて、その鋼板の表面形状、たとえば、表面波高さ等を演算し、結果を出力することができる。 The irregular shape calculator 24 can calculate the surface shape of the steel plate, for example, the surface wave height, etc., based on the data of the surface shape map, and output the result.

計測結果表示部２６は、表面形状マップのデータや表面形状のデータを所望の形式で出力する。 The measurement result display unit 26 outputs surface profile map data and surface profile data in a desired format.

平面形状測定システムは、点検装置１０を用いた点検動作においては、あらかじめ設定された期間にわたり、上述の動作をするように設定されている。つまり、点検動作において、点検装置１０は、平面形状測定システムを動作させることによって、撮像装置３および平面形状測定装置２０から上述の各部の動作によるデータを取得する。点検装置１０は、取得したデータにもとづいて、各部が適切に動作しているか否かを判定するためのデータを演算して出力する。 In the inspection operation using the inspection device 10, the planar shape measurement system is set to perform the above operation over a preset period. In other words, in the inspection operation, the inspection device 10 acquires data from the operations of the above-described parts from the imaging device 3 and the planar shape measuring device 20 by operating the planar shape measuring system. Based on the acquired data, the inspection device 10 calculates and outputs data for determining whether each part is operating properly.

点検装置１０の構成について説明する。
点検装置１０を用いた表面形状測定システムの点検では、Ｌ方向に搬送される鋼板に代えて、点検用治具１が測定エリア１ａのＣ方向にわたって、静止状態で載置、固定される。点検用治具１は、上述したように、平面形状測定システムの測定精度で十分に検出できるたわみを生じるように設けられる。点検装置１０は、点検画像記録部１２および点検判定部１４を備える。点検装置１０は点検結果表示部１６をさらに備える。 A configuration of the inspection device 10 will be described.
In the inspection of the surface profile measuring system using the inspection device 10, instead of the steel plate conveyed in the L direction, the inspection jig 1 is placed and fixed in a stationary state over the C direction of the measurement area 1a. As described above, the inspection jig 1 is provided so as to generate deflection that can be sufficiently detected with the measurement accuracy of the planar shape measurement system. The inspection device 10 includes an inspection image recording section 12 and an inspection determination section 14 . The inspection device 10 further includes an inspection result display section 16 .

点検画像記録部（点検画像記録手段）１２は、撮像装置３から画像データを取得する。撮像装置３から取得する画像データは、固定された点検用治具１の表面に照射された２本のスリット状光の反射画像を含む画像データである。点検画像記録部１２は、画像データを、画像データの取得日時とともに記録する。点検画像記録部１２は、画像データの取得日時に関連付けられた画像データを記録し、操作者の指定にもとづいて、所望の画像データを、たとえばデータの取得日時とともに出力することができる。 An inspection image recording unit (inspection image recording means) 12 acquires image data from the imaging device 3 . The image data acquired from the imaging device 3 is image data including reflected images of two slit-shaped lights irradiated on the surface of the fixed inspection jig 1 . The inspection image recording unit 12 records the image data together with the acquisition date and time of the image data. The inspection image recording unit 12 can record image data associated with the acquisition date and time of the image data, and output desired image data, for example, along with the data acquisition date and time, based on the designation of the operator.

点検画像記録部１２は、好ましくは、取得した画像データの画像処理および演算機能を有する。点検画像記録部１２は、取得した画像データを画像処理して、スリット状光の反射画像に関するデータを演算して出力する。点検装置１０の操作者は、所望の日時の画像データの表示とともに、その画像データの画像処理演算結果を出力することができる。そのため、操作者は、画像データやその画像処理演算結果を目視にて判断することができ、投光装置２や撮像装置３等の画像データを生成する系統や画像データを取得する系統の異常の有無を判定することができる。 The inspection image recording unit 12 preferably has image processing and arithmetic functions for the acquired image data. The inspection image recording unit 12 performs image processing on the acquired image data, calculates data relating to the reflected image of the slit light, and outputs the calculated data. The operator of the inspection device 10 can display the image data of a desired date and time and output the image processing operation result of the image data. Therefore, the operator can visually determine the image data and the result of the image processing operation, and can detect an abnormality in the image data generating system such as the light projecting device 2 and the imaging device 3 and the image data acquiring system. Presence or absence can be determined.

点検判定部（点検判定手段）１４は、表面座標変換部２２からＣ方向座標に関連付けられたスリット状光ごとの表面座標のデータを表面高さのデータ（第１表面高さのデータ）として取得する。点検判定部１４は、表面高さのデータにもとづいて、測定の妥当性を判断するためのデータを演算し、結果を出力する。 The inspection determination unit (inspection determination means) 14 acquires surface coordinate data for each slit-shaped light associated with the C-direction coordinates from the surface coordinate conversion unit 22 as surface height data (first surface height data). do. The inspection judging section 14 calculates data for judging the validity of the measurement based on the surface height data, and outputs the result.

点検判定部１４は、凹凸形状演算部２４から、２本のスリット状光の表面高さの偏差のデータを取得する。点検判定部１４は、Ｃ方向にわたる表面高さの偏差のデータの有効性を判定することによって、測定の妥当性を判断することができる。 The inspection determination unit 14 acquires data on the surface height deviation of the two slit-like lights from the uneven shape calculation unit 24 . The inspection determination unit 14 can determine the validity of the measurement by determining the validity of the surface height deviation data over the C direction.

点検判定部１４によって、測定の妥当性を判断するためのデータは、たとえば、点検用治具１の幅の測定値、表面高さデータの有効率、表面高さの偏差の有効率、撮像データの安定度および２本のスリット状光のうち少なくとも一方の表面高さデータにもとづくたわみ量等である。 Data for judging the validity of the measurement by the inspection judging section 14 include, for example, the measured value of the width of the inspection jig 1, the effective rate of the surface height data, the effective rate of the deviation of the surface height, and the imaging data. and the deflection amount based on the surface height data of at least one of the two slit-shaped lights.

点検用治具１の幅の測定値、表面高さの有効率、撮像データの安定度およびたわみ量は、この例では、Ｃ方向にわたって出力される表面高さのデータにもとづいて演算される。Ｃ方向にわたる表面高さのデータは、表面座標変換部２２から出力される。
表面高さの偏差の有効率は、この例では、Ｃ方向にわたって出力される表面高さの偏差のデータにもとづいて演算される。Ｃ方向にわたる表面高さの偏差のデータは、凹凸形状演算部２４から出力される。 In this example, the measured value of the width of the inspection jig 1, the effective rate of the surface height, the stability of the imaging data, and the amount of deflection are calculated based on the surface height data output over the C direction. Surface height data in the C direction is output from the surface coordinate conversion unit 22 .
The surface height deviation effectiveness rate is calculated in this example based on the surface height deviation data output over the C direction. Data on the surface height deviation in the C direction is output from the irregular shape calculator 24 .

ここで、表面高さデータの有効率とは、２本のスリット状光のそれぞれについて、Ｃ方向の各座標における表面高さのデータが所定範囲内の場合に有効とし、その有効である座標数のＣ方向全座標数に対する割り合いをいう。 Here, the effective rate of the surface height data means that the surface height data at each coordinate in the C direction for each of the two slit-shaped lights is valid when it is within a predetermined range, and the number of valid coordinates. refers to the ratio of the total number of coordinates in the C direction.

また、偏差の有効率とは、２本のスリット状光のＣ方向の各座標における表面高さの偏差のデータが所定範囲内の場合に有効とし、その有効である座標数のＣ方向全座標数に対する割り合いをいう。 The effective rate of the deviation is defined as valid when the data of the deviation of the surface height at each coordinate in the C direction of the two slit-shaped lights is within a predetermined range, and A ratio to a number.

また、撮像データの安定度とは、２本のスリット状光の少なくとも一方について、所定回数分（たとえば、６００回分）の撮像データの表面高さのデータの標準偏差をいう。このときの表面高さのＣ方向の座標は、あらかじめ１つ以上設定され、座標ごと標準偏差について判定される。 Further, the stability of imaging data refers to the standard deviation of surface height data of imaging data for a predetermined number of times (for example, 600 times) for at least one of the two slit-shaped lights. At this time, one or more coordinates of the surface height in the C direction are set in advance, and the standard deviation is determined for each coordinate.

また、たわみ量とは、Ｃ方向両端の座標の１／２の位置の座標における表面高さの座標（中央座標という）と、Ｃ方向両端の座標の表面高さの座標を結んだ直線の中央座標における表面高さの座標の差をいう。 In addition, the amount of deflection is the center of a straight line connecting the coordinates of the surface height (referred to as the central coordinate) at the coordinates of half the coordinates at both ends in the C direction and the coordinates of the surface height at the coordinates at both ends in the C direction. Refers to the difference in surface height coordinates in coordinates.

点検結果表示部１６は、操作者の指定にしたがって、点検画像記録部１２および点検判定部１４によって出力されたデータを所定の形式に変換等して、モニタ等の表示装置（図示せず）にデータを表示させる。 The inspection result display unit 16 converts the data output by the inspection image recording unit 12 and the inspection determination unit 14 into a predetermined format according to the operator's designation, and displays the data on a display device (not shown) such as a monitor. display the data.

また、この例のように、点検結果表示部１６は、表面座標変換部２２から出力される２本のスリット状光による表面高さのデータを入力し、たとえばＣ方向にわたって表示することにより点検用治具１のＣ方向のたわみとして表示させることもできる。 Further, as in this example, the inspection result display unit 16 receives surface height data obtained by two slit-shaped lights output from the surface coordinate conversion unit 22, and displays them for inspection in the C direction, for example. It can also be displayed as the deflection of the jig 1 in the C direction.

また、この例のように、点検結果表示部１６は、凹凸形状演算部２４から出力されたデータ（第２表面高さのデータ）を時系列に展開して、表面形状マップのデータとして出力することができる。このときの表面形状マップのデータは、点検用治具１が静止しているので、同一のＬ方向座標について、時間変動分除去演算の実行により、擬似的な２次元状データとして出力される。操作者は、この２次元状データを目視判断することによって、凹凸形状演算部２４の処理等に異常があるか否かを判定することができる。 Further, as in this example, the inspection result display unit 16 develops the data (second surface height data) output from the uneven shape calculation unit 24 in time series, and outputs the data as surface shape map data. be able to. Since the inspection jig 1 is stationary, the data of the surface shape map at this time is output as pseudo two-dimensional shape data by executing time variation removal calculation for the same L-direction coordinates. The operator can determine whether or not there is an abnormality in the processing of the concave-convex shape calculation unit 24 by visually checking the two-dimensional data.

実施形態の点検装置１０の使用方法および動作について説明する。
実施形態の点検装置１０の点検動作では、準備段階と、点検動作段階とを含む。点検動作段階は、準備段階の終了後に実行される。 A usage method and operation of the inspection device 10 of the embodiment will be described.
The inspection operation of the inspection device 10 of the embodiment includes a preparation stage and an inspection operation stage. The check operation phase is performed after the preparatory phase is completed.

準備段階では、点検用治具１が測定エリア１ａに設置される。点検用治具１は、上述したように、測定エリア１ａのＣ方向にわたって点検用治具１が載置され、固定される。なお、たわみ量の基準値があらかじめ測定され、設定される。たわみ量の基準値は、他の測定システムを用いて測定してもよいし、この点検装置１０および表面形状測定システムによって計測されてもよい。また、点検装置１０には、過去の測定値が記録されるようにしてもよく、点検装置１０は、測定値と所定の基準値との比較のほか、測定値と過去の測定値との比較を行うようしてもよく、基準値か過去の測定値かを選択できるようにしてもよい。 In the preparation stage, the inspection jig 1 is installed in the measurement area 1a. As described above, the inspection jig 1 is placed and fixed over the C direction of the measurement area 1a. A reference value for the amount of deflection is measured and set in advance. The deflection amount reference value may be measured using another measurement system, or may be measured by this inspection device 10 and the surface shape measurement system. In addition, the inspection device 10 may record past measured values, and the inspection device 10 compares the measured value with a predetermined reference value, and also compares the measured value with the past measured value. may be performed, and either the reference value or the past measurement value may be selected.

点検装置１０には、他の点検データの判定のための基準値等があらかじめ設定される。
なお、たわみ量を含む点検データの妥当性有無を判定するための基準値は、あらかじめ測定されたデータ等を用いてもよいし、過去に測定され、演算された値を、たとえば統計処理することによって、基準値としてもよい。 Reference values and the like for determining other inspection data are set in advance in the inspection device 10 .
In addition, as the reference value for judging the validity of the inspection data including the amount of deflection, the data measured in advance may be used, or the values measured and calculated in the past may be statistically processed, for example. may be used as a reference value.

投光装置２は、２本のスリット状光が点検用治具１の表面に照射されるように設定される。撮像装置３は、測定エリア１ａ内の点検用治具１を撮像するように設定される。 The light projecting device 2 is set so that the surface of the inspection jig 1 is irradiated with two slit-shaped lights. The imaging device 3 is set to capture an image of the inspection jig 1 within the measurement area 1a.

このような状態で、点検動作段階が実行される。点検動作段階では、点検装置１０、投光装置２、撮像装置３および平面形状測定装置２０を動作させて、点検装置１０は、必要なデータを収集し、演算処理等し、出力する。 In such a state, the inspection operation stage is performed. In the inspection operation stage, the inspection device 10, the light projection device 2, the imaging device 3, and the planar shape measurement device 20 are operated, and the inspection device 10 collects necessary data, performs arithmetic processing, and outputs the data.

点検装置１０の点検データの測定および演算方法について説明する。
まず、点検画像記録部１２による点検データの測定および演算方法について説明する。
図２（ａ）は、画像データの一例を模式的に示す図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）の画像データに対して実行する画像処理を説明するための模式図である。
図２（ａ）には、２本スリット状光の輝線Ｇ１，Ｇ２を含む画像データＤＩ１の例が模式的に示されている。
図２（ａ）に示すように、画像データＤＩ１では、２次元状に画素データを含んでおり、２次元の座標を、画像データＤＩ１の行方向および列方向で表している。画素データは、輝度の大きさを表すデータを含んでいる。この例では、画素データは、行方向にほぼ等間隔で配列され列データを構成しているものとする。列データＲ１～Ｒｎは、列方向にほぼ等間隔で配列されている。なお、撮像装置３は、行方向の上流側（または下流側）に角度をもった位置から反射画像を撮像しているので、輝線Ｇ１，Ｇ２は、画像データＤＩ１上では、斜め方向に走る輝線として撮像されている。 A method of measuring and calculating inspection data of the inspection device 10 will be described.
First, a method of measuring and calculating inspection data by the inspection image recording unit 12 will be described.
FIG. 2A is a diagram schematically showing an example of image data. FIG. 2(b) is a schematic diagram for explaining image processing to be performed on the image data of FIG. 2(a).
FIG. 2A schematically shows an example of image data DI1 including bright lines G1 and G2 of two slit-shaped lights.
As shown in FIG. 2A, the image data DI1 includes two-dimensional pixel data, and the two-dimensional coordinates are expressed in the row and column directions of the image data DI1. The pixel data includes data representing the magnitude of luminance. In this example, it is assumed that the pixel data are arranged at substantially equal intervals in the row direction to form column data. The column data R1 to Rn are arranged at substantially equal intervals in the column direction. Since the imaging device 3 captures the reflected image from a position angled upstream (or downstream) in the row direction, the bright lines G1 and G2 are bright lines running diagonally on the image data DI1. is imaged as

点検画像記録部１２は、このような画像データを取得すると、列データＲ１～Ｒｎごとに輝度データの分布を演算する。
図２（ｂ）では、列データＲ１に対応する輝度データＢＲ１、列データＲ２に対応する輝度データＢＲ２が示されており、以降同様にして、ｎ番目の列データＲｎに対応する輝度データＢＲｎが示されている。図２（ｂ）の輝度データＢＲ１～ＢＲｎのそれぞれは、縦軸が行方向の座標を表しており、横軸が輝度の大きさを表している。 After obtaining such image data, the inspection image recording unit 12 calculates the distribution of luminance data for each of the row data R1 to Rn.
FIG. 2B shows luminance data BR1 corresponding to column data R1 and luminance data BR2 corresponding to column data R2. It is shown. In each of the brightness data BR1 to BRn in FIG. 2(b), the vertical axis represents coordinates in the row direction, and the horizontal axis represents the magnitude of brightness.

図２（ｂ）に示すように、１つの列データの中で、最大の輝度を有する２点の座標に対応する輝度の大きさは、輝線Ｇ１，Ｇ２の輝度の大きさに対応している。たとえば、輝度データＢＲ１では、ＢＧ１１，ＢＧ２１が輝線Ｇ１，Ｇ２にそれぞれ対応する輝度の大きさを表しており、これを最大輝度点という。点検画像記録部１２は、最大輝度点の輝度の大きさを、輝線ごとに列方向に加算して、列数で除することによって、輝線Ｇ１の最大輝度点の輝度の平均値および輝線Ｇ２の最大輝度点の輝度の平均値を算出して出力する。 As shown in FIG. 2(b), the magnitude of luminance corresponding to the coordinates of two points having the maximum luminance in one column data corresponds to the magnitude of luminance of bright lines G1 and G2. . For example, in the brightness data BR1, BG11 and BG21 represent the magnitude of brightness corresponding to the bright lines G1 and G2, respectively, and are called maximum brightness points. The inspection image recording unit 12 adds the magnitude of the luminance of the maximum luminance point in the row direction for each bright line and divides it by the number of rows to obtain the average value of the luminance of the maximum luminance points of the bright line G1 and the luminance of the bright line G2. Calculate and output the average luminance value of the maximum luminance point.

最大輝度点に挟まれた範囲、すなわち図２（ｂ）において、円で囲った領域の輝度の大きさは、２本の輝線Ｇ１，Ｇ２を分離する暗部を表しており、輝線分離領域という。図では、輝線分離領域の輝度の大きさは、ＢＤ１～ＢＤｎと表されている。点検画像記録部１２は、輝線分離領域の輝度の大きさＢＤ１～ＢＤｎを列方向に加算して、列数で除することによって、輝線Ｇ１，Ｇ２の間の輝線分離領域の輝度の平均値を算出して出力する。 The range sandwiched between the maximum brightness points, that is, the brightness of the circled area in FIG. In the figure, the magnitudes of luminance in the bright line separation regions are represented by BD1 to BDn. The inspection image recording unit 12 adds the brightness levels BD1 to BDn of the bright line separation regions in the column direction and divides the result by the number of columns to obtain the average brightness of the bright line separation regions between the bright lines G1 and G2. Calculate and output.

このように、輝線Ｇ１，Ｇ２ごとの最大輝度点の輝度の平均値および輝線Ｇ１，Ｇ２間の輝線分離領域の輝度の平均値は、画像データごとに算出され、出力される。したがって、取得された画像データには、画像データの取得日時のデータのほか、輝線Ｇ１，Ｇ２ごとの最大輝度点の輝度の平均値および輝線Ｇ１，Ｇ２間の輝線分離領域の輝度の平均値のデータが関連付けられて記録される。 In this manner, the average luminance value of the maximum luminance point for each of the bright lines G1 and G2 and the average luminance value of the bright line separation region between the bright lines G1 and G2 are calculated and output for each image data. Therefore, in the acquired image data, in addition to data of the acquisition date and time of the image data, the average value of the brightness of the maximum brightness point for each of the bright lines G1 and G2 and the average value of the brightness of the bright line separation area between the bright lines G1 and G2 are included. Data are associated and recorded.

点検画像記録部１２が出力するデータは、点検結果表示部１６および表示装置を介して、表示される。点検装置１０の操作者は、表示装置に表示されたこれらのデータを目視して、異常の有無を判断することができる。点検画像記録部１２が出力するデータは、撮像装置３が撮像する点検用治具１の表面を撮像した画像データである。そのため、操作者は、これらのデータを確認することによって、撮像装置３の異常、たとえばカメラ３ａ～３ｃのいずれかの故障や、光源２ａ，２ｂのいずれかの異常を判断することができる。 The data output by the inspection image recording unit 12 is displayed via the inspection result display unit 16 and the display device. The operator of the inspection device 10 can visually check these data displayed on the display device to determine whether or not there is an abnormality. The data output by the inspection image recording unit 12 is image data of the surface of the inspection jig 1 imaged by the imaging device 3 . Therefore, by checking these data, the operator can determine an abnormality of the imaging device 3, for example, a failure of one of the cameras 3a to 3c or an abnormality of one of the light sources 2a and 2b.

具体的には、画像データが真っ黒であったり、逆に真っ白であったり、輝度データがゼロであったり、異常値であったりする場合には、その画像データに対応するカメラ３ａ～３ｃのいずれかに異常があることが考えられる。
あるいは、画像データ中に輝線が１本しかないような場合には、その輝線に対応する光源の他方の光源に異常があることが考えられる。
さらに、操作者は、現時点で取得したデータのほかに、過去に取得されたデータを同時に出力させ、表示させることができるので、過去のデータとの相対的な比較によっても異常の有無を検知することが可能になる。 Specifically, if the image data is pure black or pure white, or if the luminance data is zero or has an abnormal value, one of the cameras 3a to 3c corresponding to the image data is It is conceivable that there is some abnormality.
Alternatively, if there is only one bright line in the image data, it is conceivable that the other light source corresponding to that bright line is abnormal.
Furthermore, since the operator can simultaneously output and display the data acquired in the past in addition to the data acquired at the present time, the presence or absence of an abnormality can be detected by relative comparison with the past data. becomes possible.

次に、点検判定部１４による点検データの測定および演算方法について説明する。
点検判定部１４は、平面形状測定装置２０の表面座標変換部２２から、２本のスリット状光ごとに座標変換され、演算された表面高さのデータを取得する。
図３は、実施形態の点検装置の動作時の平面形状測定装置の動作を説明するための模式図である。
図３では、表面座標変換部２２が入力する画像データおよび表面座標変換部２２が出力する表面高さのデータの関係が模式的に示されている。
図３の矢印の上段の図は、３台のカメラ３ａ～３ｃがそれぞれ撮像した画像データＤＩ１～ＤＩ３を模式的に表している。画像データＤＩ１～ＤＩ３中の輝線Ｇ１，Ｇ２は、スリット状光の反射画像を表している。この例では、カメラ３ａ～３ｃは、Ｃ方向から角度をもって配置されているので、輝線Ｇ１，Ｇ２は、画像データには斜めの輝線として記録されている。
図３の矢印の下段の図は、表面座標変換部２２が出力する表面高さのデータを模式的に表している。この図では、横軸がＣ方向の座標を表しており、縦軸が表面高さを表す座標を表している。この例では、輝線Ｇ１，Ｇ２の表面高さに相違があるように示されている。 Next, a method of measuring and calculating inspection data by the inspection determination unit 14 will be described.
The inspection determination unit 14 acquires surface height data that has been coordinate-transformed and calculated for each of the two slit-shaped lights from the surface coordinate transformation unit 22 of the planar shape measuring device 20 .
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the operation of the planar shape measuring apparatus when the inspection apparatus of the embodiment operates.
FIG. 3 schematically shows the relationship between the image data input by the surface coordinate transformation unit 22 and the surface height data output by the surface coordinate transformation unit 22 .
The upper arrows in FIG. 3 schematically represent the image data DI1 to DI3 captured by the three cameras 3a to 3c, respectively. Bright lines G1 and G2 in the image data DI1 to DI3 represent reflected images of slit-like light. In this example, the cameras 3a to 3c are arranged at an angle from the direction C, so the bright lines G1 and G2 are recorded as oblique bright lines in the image data.
The diagram below the arrow in FIG. 3 schematically represents surface height data output by the surface coordinate conversion unit 22 . In this figure, the horizontal axis represents coordinates in the C direction, and the vertical axis represents coordinates representing surface height. In this example, the bright lines G1 and G2 are shown to have different surface heights.

平面形状測定装置２０の表面座標変換部２２は、画像データＤＩ１～ＤＩ３を入力して、座標変換を施して、Ｃ方向座標に関連付けられた輝線Ｇ１，Ｇ２の表面高さのデータを出力する。点検判定部１４は、表面座標変換部２２から、輝線Ｇ１，Ｇ２の表面高さのデータを取得する。点検判定部１４は、輝線Ｇ１，Ｇ２の端部の座標Ｅ１，Ｅ２の間の距離を演算し、点検用治具１の幅の測定値として出力する。点検判定部１４は、あからじめ点検用治具１の幅の基準値を有しており、測定した点検用治具１の幅のデータと基準値とを出力する。測定値と基準値との乖離の有無を判定することによって、表面座標変換部２２が適切に動作しているか否かを判定することができる。 The surface coordinate transformation unit 22 of the planar shape measuring device 20 receives the image data DI1 to DI3, performs coordinate transformation, and outputs surface height data of the bright lines G1 and G2 associated with the C-direction coordinates. The inspection determination unit 14 acquires surface height data of the bright lines G<b>1 and G<b>2 from the surface coordinate conversion unit 22 . The inspection determination unit 14 calculates the distance between the coordinates E1 and E2 of the ends of the bright lines G1 and G2, and outputs it as the measured value of the width of the inspection jig 1. FIG. The inspection determining unit 14 has a reference value of the width of the inspection jig 1 in advance, and outputs data of the measured width of the inspection jig 1 and the reference value. By determining whether or not there is a deviation between the measured value and the reference value, it is possible to determine whether the surface coordinate conversion section 22 is operating properly.

点検判定部１４は、輝線Ｇ１，Ｇ２のそれぞれの表面高さのデータをＣ方向の座標ごとに所定の範囲内であるか否かを判定する。図では、所定の範囲内を下限値ＬＬ～上限値ＵＬとして示している。点検判定部１４は、表面高さのデータが所定の範囲内の場合に有効なデータであるとして、有効データを有する座標数をＣ方向の全座標数で除することによって、表面高さデータの有効率を演算する。図３の例の場合には、輝線Ｇ１の表面高さのデータ数は、端部の座標Ｅ１，Ｅ２間の座標の数である。表面高さのデータが所定の範囲内であるとは、異常値を有するデータを排除する目的である。つまり、画像処理や座標変換等によって、輝度データの欠損が生じる場合等があり、そのような異常データが十分に少ない場合に表面座標変換部２２の動作が妥当であると判断することが可能になる。 The inspection determination unit 14 determines whether the surface height data of each of the bright lines G1 and G2 is within a predetermined range for each coordinate in the C direction. In the figure, the predetermined range is shown as the lower limit value LL to the upper limit value UL. The inspection determination unit 14 divides the number of coordinates having valid data by the total number of coordinates in the C direction, assuming that the surface height data is valid when the data is within a predetermined range. Calculate the effective rate. In the example of FIG. 3, the number of data on the surface height of the bright line G1 is the number of coordinates between the coordinates E1 and E2 of the ends. The surface height data being within a predetermined range is intended to exclude data with outliers. In other words, image processing, coordinate conversion, etc. may cause loss of luminance data, and when such abnormal data is sufficiently small, it is possible to determine that the operation of the surface coordinate conversion unit 22 is appropriate. Become.

点検判定部１４は、輝線Ｇ１，Ｇ２のそれぞれの表面高さのデータの偏差をＣ方向の座標ごとに演算する。演算されたＣ方向の座標ごとの表面高さのデータの偏差は、所定の範囲内の場合に有効であるとして、有効である座標数をＣ方向の全座標数で除することによって、表面高さデータの偏差の有効率を演算する。同一座標に２本の輝線Ｇ１，Ｇ２の表面高さのデータが正常な範囲内であっても、その偏差を演算した場合に、異常となる場合があり、多数の異常がある場合には、凹凸形状演算部２４による表面形状マップの演算結果におよぼすので、そのような異常をあらかじめ検出し、判断することが有用である。なお、この例では、表面高さのデータの偏差のデータは、凹凸形状演算部２４から取得されるものとしたが、点検判定部１４によって、表面座標変換部２２から出力される１組の表面高さのデータの偏差を演算してもよい。 The inspection determination unit 14 calculates the deviation of the surface height data of each of the bright lines G1 and G2 for each coordinate in the C direction. The calculated deviation of the surface height data for each coordinate in the C direction is considered valid within a predetermined range, and the number of valid coordinates is divided by the total number of coordinates in the C direction. Calculate the validity rate of the deviation of the data. Even if the data of the surface heights of the two bright lines G1 and G2 at the same coordinates are within a normal range, when the deviation is calculated, an abnormality may occur. It is useful to detect and judge such anomalies in advance since they affect the results of calculation of the surface profile map by the irregularity calculator 24 . In this example, the deviation data of the surface height data is obtained from the uneven shape calculation unit 24, but the inspection determination unit 14 sets the surface height output from the surface coordinate conversion unit 22. A deviation of the height data may be calculated.

点検判定部１４は、撮像データの安定度を演算して出力する。撮像データの安定度は、上述したとおり、撮像装置３のフレーム周期のたとえば数周期分の表面高さのデータの変動を演算するものである。点検用治具１は、Ｃ方向に十分に長いため、点検用治具１の設置時の振動等がある場合には、正確なデータを取得して点検を行うことが困難となるため、実際の測定状態を把握するために行われる。 The inspection determination unit 14 calculates and outputs the stability of the imaging data. As described above, the stability of the imaging data is calculated by calculating the fluctuation of the surface height data for several cycles of the frame period of the imaging device 3 . Since the inspection jig 1 is sufficiently long in the C direction, if there is vibration or the like during installation of the inspection jig 1, it will be difficult to obtain accurate data for inspection. This is done to grasp the measurement status of

点検判定部１４は、点検用治具１のたわみ量を演算し、あらかじめ設定された基準値と比較することによって、表面座標変換部２２の動作が適切に実行されているか否かを判定することができる。 The inspection determination unit 14 determines whether the operation of the surface coordinate conversion unit 22 is properly executed by calculating the deflection amount of the inspection jig 1 and comparing it with a preset reference value. can be done.

図４は、実施形態の平面形状測定システムの点検装置が出力する模式的な点検画面の例である。
図４には、表示装置に表示される点検画面５０の例が示されている。
図４に示すように、点検画面５０は、この例では、Ｃ方向たわみグラフ表示部５１、表面形状マップグラフ表示部５２、画像データ表示部５３および測定結果表示部５４を含んでいる。どのようなグラフやデータをどのように配置するかについては、適切なものを任意に選定することができるのはいうまでもない。 FIG. 4 is an example of a schematic inspection screen output by the inspection device of the planar shape measurement system of the embodiment.
FIG. 4 shows an example of an inspection screen 50 displayed on the display device.
As shown in FIG. 4, the inspection screen 50 includes a C-direction deflection graph display portion 51, a surface shape map graph display portion 52, an image data display portion 53, and a measurement result display portion 54 in this example. It goes without saying that appropriate graphs and data layouts can be arbitrarily selected.

Ｃ方向たわみグラフ表示部５１には、その点検時に取得した点検画像のＣ方向にわたる表面高さデータが、点検結果表示部１６によってグラフ化されて表示される。グラフ化のためのデータは、この例では、表面座標変換部２２から出力され、そのデータを点検結果表示部１６が処理することによって表示される。
表面形状マップグラフ表示部５２には、凹凸形状演算部２４によって演算されたデータが点検結果表示部１６によって２次元グラフ化されて表示される。グラフ化のためのデータは、凹凸形状演算部２４から出力され、そのデータを点検結果表示部１６が処理することによって表示される。 In the C-direction deflection graph display section 51, surface height data in the C direction of the inspection image obtained during the inspection is graphed by the inspection result display section 16 and displayed. In this example, data for graphing is output from the surface coordinate conversion unit 22 and displayed by the inspection result display unit 16 processing the data.
The surface shape map graph display unit 52 displays the data calculated by the uneven shape calculation unit 24 as a two-dimensional graph by the inspection result display unit 16 . Data for graphing is output from the irregular shape calculation unit 24 and displayed by the inspection result display unit 16 processing the data.

画像データ表示部５３には、その点検時に取得した画像データが表示される。この例では、点検画像表示部５３ａにカメラ３ａ～３ｃ（図では、ＣＡＭ１～ＣＡＭ３がカメラ３ａ～３ｃにそれぞれ対応）が撮像した画像データを表示し、同時に、操作者が選択した過去の画像データを記録画像表示部５３ｂに表示することができる。 The image data display section 53 displays the image data obtained during the inspection. In this example, image data captured by the cameras 3a to 3c (CAM1 to CAM3 correspond to the cameras 3a to 3c, respectively) are displayed on the inspection image display unit 53a, and at the same time, past image data selected by the operator are displayed. can be displayed on the recorded image display section 53b.

表示した画像データには、その画像データに関連付けられている最大輝度点の輝度の平均値と輝線分離領域の輝度の平均値が同時に表示されている。たとえば、ＣＡＭ１の２４０／２４０／３０のうち“２４０／２４０”とあるのは、２本の輝線Ｇ１，Ｇ２それぞれの輝度の平均値を示しており、“３０”とあるのは、輝線分離領域の輝度の平均値を表している。 In the displayed image data, the average luminance value of the maximum luminance point and the average luminance value of the bright line separation area associated with the image data are simultaneously displayed. For example, out of 240/240/30 of CAM1, "240/240" indicates the average luminance value of each of the two bright lines G1 and G2, and "30" indicates the bright line separation area. represents the average brightness of

測定結果表示部５４には、計測板幅として、点検用治具１の幅の測定値５４ａが示されている。また、幅有効率として、その点検時に取得された画像データのＣ方向にわたる表面高さの有効率の演算値５４ｂが表示されている。長さ有効率として、その点検時に取得された画像データの２本の表面高さの偏差の有効率の演算値５４ｃが表示されている。また、Ｌ方向安定度として、その点検時の撮像データの安定度の演算値５４ｄが表示されている。その点検時のＣ方向のたわみ量の測定値５４ｅが基準値５４ｆとともに表示されている。 A measured value 54a of the width of the inspection jig 1 is displayed in the measurement result display section 54 as the measurement plate width. Also, as the width effective ratio, a calculated value 54b of the surface height effective ratio over the C direction of the image data acquired during the inspection is displayed. As the length validity rate, the calculated value 54c of the validity rate of the deviation of the height of the two surfaces of the image data acquired during the inspection is displayed. Also, as the L-direction stability, a calculated value 54d of the stability of the imaging data at the time of inspection is displayed. A measured value 54e of the amount of deflection in the C direction at the time of inspection is displayed together with a reference value 54f.

点検装置１０の操作者は、画像データ表示部５３の画像データを目視して、投光装置２や撮像装置３の異常の有無を判断する。また、点検装置１０の操作者は、Ｃ方向たわみグラフ表示部５１、表面形状マップグラフ表示部５２および測定結果表示部５４を目視して、平面形状測定装置２０の異常の有無を判断する。 The operator of the inspection device 10 visually checks the image data on the image data display unit 53 to determine whether the light projecting device 2 or the imaging device 3 is abnormal. Also, the operator of the inspection device 10 visually checks the C-direction deflection graph display portion 51, the surface profile map graph display portion 52, and the measurement result display portion 54 to determine whether or not the planar shape measuring apparatus 20 is abnormal.

このようにして、平面形状測定システムの点検装置１０は、動作し、使用することができる。 In this way, the inspection device 10 of the planar shape measurement system can be operated and used.

実施形態の平面形状測定システムの点検装置１０の効果について、比較例を参照しつつ説明する。
図５は、比較例の平面形状測定システムの点検方法を例示する模式的なブロック図である。
図５に示すように、平面形状測定システムは、投光装置２、撮像装置３および平面形状測定装置１２０を備えてなり、点検用波板１０１の表面高さを測定して、基準値と比較することによって、平面形状測定システムの異常の有無を点検する。 Effects of the inspection device 10 of the planar shape measurement system of the embodiment will be described with reference to a comparative example.
FIG. 5 is a schematic block diagram illustrating an inspection method of the planar shape measuring system of the comparative example.
As shown in FIG. 5, the planar shape measuring system comprises a light projecting device 2, an imaging device 3, and a planar shape measuring device 120, measures the surface height of the inspection corrugated plate 101, and compares it with a reference value. Check for abnormalities in the planar shape measurement system.

投光装置２や撮像装置３の構成については、上述した実施形態の場合と同様であり、説明を省略する。点検用波板１０１は、測定エリア１０１ａの幅よりも短い幅を有しており、金属材料で形成されている。変形を防止して表面形状を維持するために、十分な厚みを有しており、高重量である。 The configurations of the light projecting device 2 and the imaging device 3 are the same as those in the above-described embodiment, and description thereof will be omitted. The inspection corrugated plate 101 has a width shorter than the width of the measurement area 101a, and is made of a metal material. It has a sufficient thickness and a high weight to prevent deformation and maintain its surface shape.

点検用波板１０１の幅では、測定エリア１０１ａのうち、１台のカメラの撮像エリアしかカバーできない場合には、カメラの台数分の点検用波板１０１を設置するか、点検用波板１０１の幅方向の位置をずらして、カメラの台数分の点検作業を繰り返す必要がある。この例では、３台のカメラ３ａ～３ｃによって、測定エリア１０１ａをカバーしているので、３個の点検用波板１０１を設置するか、点検用波板１０１の設置位置をずらして、３回点検を行う必要がある。 If the width of the inspection corrugated plate 101 can only cover the imaging area of one camera in the measurement area 101a, install the inspection corrugated plate 101 for the number of cameras, or install the inspection corrugated plate 101. It is necessary to shift the position in the width direction and repeat the inspection work for the number of cameras. In this example, the measurement area 101a is covered by the three cameras 3a to 3c. It is necessary to carry out an inspection.

高重量の点検用波板１０１を十分な精度で測定エリア１０１ａ内の所望の位置に複数個あるいは複数回配置するのは、多大な工数、労力を要するのは明らかである。 It is obvious that it takes a lot of man-hours and labor to arrange the heavy inspection corrugated plate 101 at desired positions in the measurement area 101a with sufficient accuracy.

比較例の平面形状測定システムの点検方法では、平面形状測定装置１２０が点検結果表示部２８を有しており、点検結果表示部２８を介して、表面座標変換部２２が演算し、出力したデータを表示装置等に出力する。 In the inspection method of the planar shape measuring system of the comparative example, the planar shape measuring device 120 has the inspection result display unit 28, and the surface coordinate conversion unit 22 calculates and outputs data via the inspection result display unit 28. is output to a display device or the like.

点検結果表示部２８は、データを表示装置に表示させるためのデータ変換を行うだけでなく、点検用波板１０１の波高さや、波のピッチ等を演算して出力することができる。 The inspection result display unit 28 can not only perform data conversion for displaying data on a display device, but also can calculate and output the wave height and wave pitch of the inspection corrugated plate 101 .

図６は、比較例の平面形状測定システムの点検方法により出力された点検画面の例である。
図６に示すように、比較例の点検方法では、点検用波板１０１の表面の測定結果を表面高さのデータとして、点検画面１５０に表示させることができる。したがって、投光装置２や撮像装置３にハードウェア的な異常がないことがあらかじめ判明している場合に、点検画面１５０に出力されるデータに異常があると認められるときには、平面形状測定装置１２０に異常があるものと推定することが可能になる。 FIG. 6 is an example of an inspection screen output by the inspection method of the planar shape measuring system of the comparative example.
As shown in FIG. 6, in the inspection method of the comparative example, the measurement result of the surface of the inspection corrugated sheet 101 can be displayed on the inspection screen 150 as surface height data. Therefore, when it is known in advance that there is no hardware abnormality in the light projecting device 2 or the imaging device 3, and it is recognized that there is an abnormality in the data output to the inspection screen 150, the planar shape measuring device 120 It is possible to estimate that there is an abnormality in

しかしながら、投光装置２や撮像装置３にハードウェア的な異常がない場合であっても、撮像装置３の露光量等が適切でない場合には、取得される画像データを適切に画像処理できないことがあり得る。取得した画像データを適切に画像処理できない場合にも、点検画面１５０には、異常値が出力され得る。 However, even if there is no hardware abnormality in the light projecting device 2 or the imaging device 3, if the exposure amount of the imaging device 3 is not appropriate, the acquired image data cannot be appropriately image-processed. can be. An abnormal value may be output to the inspection screen 150 also when the acquired image data cannot be appropriately image-processed.

実施形態の平面形状測定システムの点検装置１０では、点検用波板１０１に代えて、測定精度で検出できるたわみを生じる点検用治具１が用いられる。点検用治具１は、平板であり、測定エリア１ａにわたる幅とすることができる。したがって、点検用治具１の測定エリア１ａへの設置作業は、１個の点検用治具１を１回設置すれば完了する。そのため、点検用治具１の設置工数や労力を大幅に削減することができる。 In the inspection device 10 of the planar shape measurement system of the embodiment, instead of the inspection corrugated plate 101, an inspection jig 1 that produces deflection that can be detected with measurement accuracy is used. The inspection jig 1 is a flat plate and can have a width covering the measurement area 1a. Therefore, the installation work of the inspection jig 1 in the measurement area 1a is completed by installing one inspection jig 1 once. Therefore, man-hours and labor for installing the inspection jig 1 can be greatly reduced.

また、点検用治具１は、測定したたわみを基準値と比較することによって、表面高さのデータの妥当性の判定に利用することができる。 Also, the inspection jig 1 can be used to determine the validity of surface height data by comparing the measured deflection with a reference value.

点検装置１０は、撮像装置３に接続された点検画像記録部１２を備えているので、カメラごとの画像データを表示することによって、画像データ上の異常の有無を確認することができる。画像データにおける異常の有無は、画像欠損等の明白なものに限らず、過去の画像データと目視による比較を行うことによって、微細な異常や異常の前兆等を発見することが可能になる。 Since the inspection device 10 includes an inspection image recording unit 12 connected to the imaging device 3, it is possible to check whether there is an abnormality in the image data by displaying image data for each camera. The presence or absence of abnormality in image data is not limited to obvious defects such as image defects, and by visually comparing past image data, it is possible to discover minute abnormalities and signs of abnormalities.

点検画像記録部１２は、カメラごとの画像データを画像処理演算することによって、操作者の目視では困難なより微細な異常や異常の前兆等を発見することが可能になる。 The inspection image recording unit 12 performs image processing calculations on the image data of each camera, thereby making it possible to discover more minute abnormalities and signs of abnormalities that are difficult for the operator to visually observe.

点検装置１０は、平面形状測定装置２０が出力する点検用治具１の表面高さのデータにもとづいて、測定の妥当性を判定するためのデータを出力する点検判定部１４を備えているので、平面形状測定装置２０の異常の有無を容易に判断することができる。 The inspection device 10 includes an inspection determination unit 14 that outputs data for determining the validity of the measurement based on the surface height data of the inspection jig 1 output by the planar shape measurement device 20. , the presence or absence of an abnormality in the planar shape measuring apparatus 20 can be easily determined.

点検判定部１４は、２本のスリット状光の反射画像にもとづく表面高さのデータの有効率や偏差の有効率を演算することによって、目視では困難な１つの画像データ内の座標単位の異常の有無を測定限度レベルで検出することが可能になる。 The inspection determination unit 14 calculates the effective rate of the surface height data and the effective rate of the deviation based on the reflected images of the two slit-shaped lights, thereby detecting abnormalities in coordinate units in one image data that are difficult to see with the naked eye. It becomes possible to detect the presence or absence of at the measurement limit level.

点検装置１０は、点検結果表示部１６を備えており、点検判定部１４によって演算され、判定された結果を適切に表示できるデータに変換して出力することができる。 The inspection device 10 includes an inspection result display unit 16, and can convert the result calculated and determined by the inspection determination unit 14 into data that can be displayed appropriately and output the data.

点検結果表示部１６は、平面形状測定装置２０が出力するスリット状光の反射画像にもとづく表面高さのデータをＣ方向にわたってグラフ表示することもできる。また、点検結果表示部１６は、表面高さのデータの偏差のデータを時系列に並べてグラフ表示することもできる。そのため平面形状測定装置２０の表面座標変換処理や、表面形状マップ再現処理の異常の有無を容易に検出することができる。 The inspection result display unit 16 can also graphically display the surface height data in the C direction based on the reflection image of the slit light output from the planar shape measuring device 20 . In addition, the inspection result display unit 16 can display the deviation data of the surface height data arranged in chronological order in a graph. Therefore, it is possible to easily detect whether or not there is an abnormality in the surface coordinate conversion processing and the surface shape map reproduction processing of the planar shape measuring device 20 .

点検装置１０の各構成要素は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してももちろんよいし、ハードウェアとソフトウェアを適宜組み合わせて実現してもよい。点検装置１０は、ソフトウェアで構成される場合には、たとえば、コンピュータ装置やプログラマブルロジックコントローラ等の記憶装置に格納されたプログラムを演算処理回路で逐次実行するようにしてもよい。点検装置１０の各構成要素は、プログラムの１つ以上のステップにより実現されることができる。 Each component of the inspection device 10 may be configured by hardware, may be configured by software, or may be realized by appropriately combining hardware and software. When the inspection device 10 is composed of software, for example, a program stored in a storage device such as a computer device or a programmable logic controller may be sequentially executed by an arithmetic processing circuit. Each component of inspection device 10 can be implemented by one or more steps of a program.

以上説明した実施形態によれば、平面形状測定システムの点検を容易に行える平面形状測定システムの点検装置を実現することができる。 According to the embodiments described above, it is possible to realize an inspection apparatus for a planar shape measuring system that facilitates inspection of the planar shape measuring system.

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他のさまざまな形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明およびその等価物の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。 Although several embodiments of the invention have been described above, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be embodied in various other forms, and various omissions, replacements, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included within the scope and spirit of the invention, and are included within the scope of the invention described in the claims and equivalents thereof. Moreover, each of the above-described embodiments can be implemented in combination with each other.

１点検用治具、２投光装置、３撮像装置、１０点検装置、１２点検画像記録部、１４点検判定部、１６点検結果表示部、２０平面形状測定装置、２２表面座標変換部、２４凹凸形状演算部、２６計測結果表示部 1 inspection jig, 2 light projection device, 3 imaging device, 10 inspection device, 12 inspection image recording unit, 14 inspection determination unit, 16 inspection result display unit, 20 plane shape measuring device, 22 surface coordinate conversion unit, 24 unevenness shape calculation unit 26 measurement result display unit

Claims

In the case where the object to be measured is a steel plate, the measurement area is provided on a plane including a first direction, which is the conveying direction of the steel plate, and a second direction perpendicular to the first direction. a light projecting device provided to irradiate parallel slit-shaped light orthogonally to the first direction;
an imaging device provided to capture an image of the entire surface of the object to be measured within the measurement area from an upstream oblique direction or a downstream oblique direction in the first direction;
Bright lines corresponding to each of the two parallel slit-like lights in the reflected image data of the surface of the object to be measured captured by the imaging device are aligned with the coordinates in the second direction in the first direction. and coordinate data in a third direction orthogonal to the second direction and output as data of the first surface height of the object to be measured, and the deviation of the data of the first surface height for each bright line a planar shape measuring device for outputting second surface height data with reduced time variation of the reflected image data based on the data;
An inspection device for a planar shape measurement system comprising
inspection image recording means for recording and outputting the reflection image data together with the date and time of acquisition;
inspection determination means for outputting determination data for determining inspection results of the planar shape measuring system based on data output by the planar shape measuring device;
with
The object to be measured is a plate member having a flat surface and a length that spans the length of the measurement area in the second direction. An inspection jig provided to produce deflection due to its own weight that can be detected by the measurement accuracy of the system;
The inspection device of the planar shape measuring system, wherein the determination data includes the amount of deflection of the jig for inspection calculated and output by the planar shape measuring device.

The image recording means has an image processing operation function of the reflected image data of the two parallel slit-shaped lights,
2. The inspection device for a planar shape measuring system according to claim 1, wherein said image processing operation function calculates and outputs luminance data of said reflection image data.

The inspection determination means is
calculating the number of coordinates within the predetermined range by determining whether the data of the first surface height in the second direction is within the predetermined range;
3. The plane according to claim 1, wherein it is determined whether or not the deviation data in the second direction is within a predetermined range, and the number of coordinates within the predetermined range is calculated and output as the determination data. Inspection device for shape measurement system.

displaying data representing the shape of the object to be measured over the second direction based on the data of the first surface height;
Further comprising inspection result display means for converting data so as to display data of a pseudo two-dimensional surface shape of the object to be measured based on the data of the second surface height in the second direction and outputting the data. An inspection device for a planar shape measuring system according to any one of claims 1 to 3.

The inspection determination means compares the amount of deflection of the jig for inspection with a preset reference value, or compares the amount of deflection of the jig for inspection with the amount of deflection measured in the past. 5. The inspection device for a planar shape measuring system according to any one of claims 1 to 4, wherein .