JP2022163429A - Thermal print head and manufacturing method of the same and thermal printer - Google Patents

Thermal print head and manufacturing method of the same and thermal printer Download PDF

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Abstract

To provide a thermal print head which secures good printing performance, and to provide a manufacturing method of the thermal print head and a thermal printer including the thermal print head.SOLUTION: A thermal print head 100 includes: an insulator; a heat accumulation layer 33 disposed on the insulator; a protection film 34A disposed on the heat accumulation layer 33 and having a groove part 38; a heating resistance element 40 disposed on the heat accumulation layer 33 and embedded in the groove part 38; an individual electrode 31 electrically connected to the heating resistance element 40; a common electrode 32 having a comb teeth part 32A electrically connected with the heating resistance element 40; and a protection film 34B which covers the heating resistance element 40 and the protection film 34A. The individual electrode 31 is spaced apart from the comb teeth part 32A of the common electrode 32 and faces the comb teeth part 32A.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本実施形態は、サーマルプリントヘッド及びその製造方法、並びにサーマルプリンタに関する。 The present embodiment relates to a thermal printhead, a method for manufacturing the same, and a thermal printer.

サーマルプリントヘッドは、例えば、ヘッド基板上に主走査方向に並ぶ多数の発熱部を備えている。各発熱部は、ヘッド基板にグレーズ層を介して形成した抵抗体層上に、その一部を露出させるようにして、共通電極と個別電極をそれらの端部を対向させて積層することにより形成されている。共通電極と個別電極間を通電することにより、上記抵抗体層の露出部(発熱部)がジュール熱により発熱する。当該熱を印刷媒体(バーコードシートやレシートを作成するための感熱紙等)に伝えることにより、印刷媒体への印刷がなされる。 A thermal print head, for example, has a large number of heat generating portions arranged in the main scanning direction on a head substrate. Each heat generating portion is formed by laminating a common electrode and an individual electrode on a resistor layer formed on a head substrate with a glaze layer interposed therebetween, with their ends facing each other, with a portion of the resistor layer exposed. It is By energizing between the common electrode and the individual electrodes, the exposed portion (heat generating portion) of the resistor layer generates heat due to Joule heat. By transferring the heat to a print medium (a bar code sheet, thermal paper for creating a receipt, etc.), printing is performed on the print medium.

例えば、物流センター等では、物品の仕分け、内容明細、及び伝票番号をラベルに印刷して、当該ラベルを用いることで、検品作業の簡素化や効率化を図っている。 For example, in a distribution center or the like, the sorting of goods, the details of the contents, and the slip number are printed on a label, and the label is used to simplify and improve the efficiency of inspection work.

しかしながら、近年、トレーサビリティが重要視され、製造所固有記号や製造年月日、消費期限など、あらゆる情報がラベルやレシートなどの印刷媒体に記載されるようになり、さらに食料品などでは、栄養成分表示の義務化やアレルギー表示の変更など、物流分野における印字情報量及びラベル印刷量が増加傾向にある。 However, in recent years, traceability has become more important, and all kinds of information, such as factory unique codes, manufacturing dates, and expiry dates, are now printed on labels, receipts, and other printed media. The amount of printed information and the amount of label printing in the field of logistics are on the rise, such as mandatory labeling and changes to allergy labeling.

増加傾向にある大量の印刷を可能にするためには、サーマルプリントヘッドが高速且つ高精細で印刷媒体に情報を印字する必要がある。高速且つ高精細で印刷する(印字性能を良好にする)ためには発熱部ピッチを狭くする必要がある。 In order to enable high-volume printing, which is on the rise, thermal printheads need to print information on print media at high speed and with high definition. In order to print at high speed and high definition (improve printing performance), it is necessary to narrow the pitch of the heating portions.

特開2006-159866号公報JP 2006-159866 A

発熱部はグレーズ層のうち上方に膨出した部分に形成されており、発熱部を覆うように保護膜が配置されている。しかしながら、保護膜によって発熱部の端部を完全に覆うためには、発熱部の端部の被覆性を考慮して保護膜を厚く形成する必要がある。保護膜を介して印刷媒体に発熱部から発生する熱を伝えるため、保護膜が厚すぎると印刷媒体に効率よく熱を伝えられず、印字性能が低下せるおそれがある。本実施形態の一態様は、良好な印字性能を確保したサーマルプリントヘッドを提供する。また、本実施形態の他の一態様は、当該サーマルプリントヘッドの製造方法を提供する。また、本実施形態の他の一態様は、当該サーマルプリントヘッドを備えたサーマルプリンタを提供する。 A heat-generating portion is formed in a portion of the glaze layer that bulges upward, and a protective film is arranged so as to cover the heat-generating portion. However, in order to completely cover the end portion of the heat generating portion with the protective film, it is necessary to form the protective film thick in consideration of the coverage of the end portion of the heat generating portion. Since the heat generated from the heat-generating portion is transferred to the printing medium through the protective film, if the protective film is too thick, the heat cannot be efficiently transferred to the printing medium, and printing performance may deteriorate. One aspect of the present embodiment provides a thermal printhead that ensures good printing performance. Another aspect of the present embodiment provides a method for manufacturing the thermal printhead. Another aspect of the present embodiment provides a thermal printer including the thermal print head.

本実施形態は、溝部を有する第1の保護膜を用いて、個別電極及び共通電極と電気的に接続する発熱抵抗体を溝部に形成し、発熱抵抗体を覆う第2の保護膜を薄く形成することにより、サーマルプリントヘッドの印字性能を良好にすることができる。本実施形態の一態様は以下のとおりである。 In this embodiment, a first protective film having a groove is used to form a heating resistor electrically connected to an individual electrode and a common electrode in the groove, and a thin second protective film covering the heating resistor is formed. By doing so, the printing performance of the thermal print head can be improved. One aspect of this embodiment is as follows.

本実施形態の一態様は、絶縁体と、前記絶縁体上に配置されている蓄熱層と、前記蓄熱層上に配置され、かつ、溝部を有する第1の保護膜と、前記蓄熱層上に配置され、かつ、前記溝部に埋め込まれている発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体に電気的に接続している個別電極と、前記発熱抵抗体に電気的に接続している櫛歯部を有する共通電極と、前記発熱抵抗体及び前記第1の保護膜を覆う第2の保護膜と、を備え、前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドである。 One aspect of the present embodiment includes an insulator, a heat storage layer disposed on the insulator, a first protective film disposed on the heat storage layer and having a groove, and It has a heating resistor arranged and embedded in the groove, an individual electrode electrically connected to the heating resistor, and a comb tooth portion electrically connected to the heating resistor. A common electrode and a second protective film covering the heating resistor and the first protective film, wherein the individual electrode is spaced apart from the comb tooth portion of the common electrode and the comb tooth portion. Facing, thermal printheads.

また、本実施形態の他の一態様は、上記サーマルプリントヘッドを備えるサーマルプリンタである。 Another aspect of the present embodiment is a thermal printer including the thermal print head.

また、本実施形態の他の一態様は、絶縁体上に蓄熱層を形成し、前記蓄熱層上に、櫛歯部を有する共通電極、及び個別電極を形成し、前記蓄熱層上、前記個別電極上、及び前記櫛歯部上にレジストを形成し、前記レジストを用いて、溝部を有する第1の保護膜を形成し、前記溝部に、前記個別電極及び前記共通電極と電気的に接続する発熱抵抗体を形成し、前記発熱抵抗体及び前記第1の保護膜を覆う第2の保護膜を形成し、前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドの製造方法である。 In another aspect of the present embodiment, a heat storage layer is formed on an insulator, a common electrode having a comb tooth portion and individual electrodes are formed on the heat storage layer, and the individual electrodes are formed on the heat storage layer. A resist is formed on the electrodes and the comb teeth, a first protective film having grooves is formed using the resist, and the grooves are electrically connected to the individual electrodes and the common electrode. A heating resistor is formed, a second protective film is formed to cover the heating resistor and the first protective film, the individual electrode is spaced apart from the comb teeth of the common electrode, and the comb teeth are separated from each other. and a method of manufacturing a thermal printhead.

また、本実施形態の他の一態様は、絶縁体上に蓄熱層を形成し、前記蓄熱層上にレジストを形成し、前記レジストを用いて、溝部を有する第1の保護膜を形成し、前記溝部に発熱抵抗体を形成し、前記発熱抵抗体上及び前記第1の保護膜上に、櫛歯部を有する共通電極、及び個別電極を形成し、前記発熱抵抗体、前記第1の保護膜、前記共通電極、及び前記個別電極を覆う第2の保護膜を形成し、前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドの製造方法である。 In another aspect of the present embodiment, a heat storage layer is formed on an insulator, a resist is formed on the heat storage layer, a first protective film having a groove is formed using the resist, forming a heating resistor in the groove, forming a common electrode having a comb tooth portion and individual electrodes on the heating resistor and the first protective film, and forming the heating resistor and the first protective film; forming a second protective film covering the film, the common electrode, and the individual electrodes, the individual electrodes being spaced apart from and facing the comb teeth of the common electrode; A method of manufacturing a printhead.

本実施形態によれば、良好な印字性能を確保したサーマルプリントヘッドを提供することができる。また、当該サーマルプリントヘッドの製造方法を提供することができる。さらに、当該サーマルプリントヘッドを備えたサーマルプリンタを提供することができる。 According to this embodiment, it is possible to provide a thermal print head that ensures good printing performance. Also, a method for manufacturing the thermal print head can be provided. Furthermore, it is possible to provide a thermal printer equipped with the thermal print head.

図1は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドを説明する部分斜視図である。FIG. 1 is a partial perspective view illustrating a thermal printhead according to the first embodiment. 図2は、主走査方向Xにおける図1のA-A線に沿う部分断面図である。2 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 1 in the main scanning direction X. FIG. 図3は、副走査方向Yにおける図1のB-B線に沿う部分断面図である。3 is a partial cross-sectional view along the line BB in FIG. 1 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図4は、発熱抵抗体周辺の拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the periphery of the heating resistor. 図5は、発熱抵抗体の拡大斜視図である。FIG. 5 is an enlarged perspective view of a heating resistor. 図6は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その1)。FIG. 6 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the first embodiment (No. 1). 図7は、主走査方向Xにおける図6のA-A線に沿う部分断面図である。7 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 6 in the main scanning direction X. FIG. 図8は、副走査方向Yにおける図6のB-B線に沿う部分断面図である。8 is a partial cross-sectional view along the line BB in FIG. 6 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図9は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その2)。FIG. 9 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the first embodiment (No. 2). 図10は、主走査方向Xにおける図9のA-A線に沿う部分断面図である。10 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 9 in the main scanning direction X. FIG. 図11は、副走査方向Yにおける図9のB-B線に沿う部分断面図である。11 is a partial cross-sectional view along the line BB in FIG. 9 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図12は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その3)。FIG. 12 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the first embodiment (No. 3). 図13は、主走査方向Xにおける図12のA-A線に沿う部分断面図である。13 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 12 in the main scanning direction X. FIG. 図14は、副走査方向Yにおける図12のB-B線に沿う部分断面図である。14 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 12 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図15は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その4)。FIG. 15 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the first embodiment (No. 4). 図16は、主走査方向Xにおける図15のA-A線に沿う部分断面図である。16 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 15 in the main scanning direction X. FIG. 図17は、副走査方向Yにおける図15のB-B線に沿う部分断面図である。17 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 15 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図18は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その5)。FIG. 18 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the first embodiment (No. 5). 図19は、主走査方向Xにおける図18のA-A線に沿う部分断面図である。19 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 18 in the main scanning direction X. FIG. 図20は、副走査方向Yにおける図18のB-B線に沿う部分断面図である。20 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 18 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図21は、第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その6)。FIG. 21 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the first embodiment (No. 6). 図22は、主走査方向Xにおける図21のA-A線に沿う部分断面図である。22 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 21 in the main scanning direction X. FIG. 図23は、副走査方向Yにおける図21のB-B線に沿う部分断面図である。23 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 21 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図24は、第2の実施形態に係るサーマルプリントヘッドを説明する断面図である。FIG. 24 is a cross-sectional view for explaining a thermal printhead according to the second embodiment. 図25は、主走査方向Xにおける図24のA-A線に沿う部分断面図である。25 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 24 in the main scanning direction X. FIG. 図26は、副走査方向Yにおける図24のB-B線に沿う部分断面図である。26 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 24 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図27は、第2の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その1)。FIG. 27 is a partial perspective view explaining a method of manufacturing a thermal print head according to the second embodiment (No. 1). 図28は、主走査方向Xにおける図27のA-A線に沿う部分断面図である。28 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 27 in the main scanning direction X. FIG. 図29は、副走査方向Yにおける図27のB-B線に沿う部分断面図である。29 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 27 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図30は、第2の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その2)。FIG. 30 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the second embodiment (No. 2). 図31は、主走査方向Xにおける図30のA-A線に沿う部分断面図である。31 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 30 in the main scanning direction X. FIG. 図32は、副走査方向Yにおける図30のB-B線に沿う部分断面図である。32 is a partial cross-sectional view along the line BB in FIG. 30 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図33は、第2の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その3)。FIG. 33 is a partial perspective view explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the second embodiment (No. 3). 図34は、主走査方向Xにおける図33のA-A線に沿う部分断面図である。34 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 33 in the main scanning direction X. FIG. 図35は、副走査方向Yにおける図33のB-B線に沿う部分断面図である。35 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 33 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図36は、第2の実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法を説明する部分斜視図である(その4)。FIG. 36 is a partial perspective view for explaining the method of manufacturing the thermal print head according to the second embodiment (No. 4). 図37は、主走査方向Xにおける図36のA-A線に沿う部分断面図である。37 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 36 in the main scanning direction X. FIG. 図38は、副走査方向Yにおける図36のB-B線に沿う部分断面図である。38 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 36 in the sub-scanning direction Y. FIG. 図39は、サーマルプリントヘッドを説明する断面図である。FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating a thermal printhead.

次に、図面を参照して、本実施形態について説明する。以下に説明する図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各構成部品の厚みと平面寸法との関係等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。 Next, this embodiment will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings described below, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, it should be noted that the drawings are schematic, and the relationship between the thickness of each component and the planar dimensions, etc., differs from the actual one. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined with reference to the following description. In addition, it goes without saying that there are portions with different dimensional relationships and ratios between the drawings.

また、以下に示す実施形態は、技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、各構成部品の材質、形状、構造、配置等を特定するものではない。本実施形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。 Further, the embodiments shown below are examples of apparatuses and methods for embodying technical ideas, and do not specify the material, shape, structure, arrangement, etc. of each component. Various modifications can be made to this embodiment within the scope of the claims.

具体的な本実施形態の一態様は、以下の通りである。 One specific aspect of this embodiment is as follows.

<1> 絶縁体と、前記絶縁体上に配置されている蓄熱層と、前記蓄熱層上に配置され、かつ、溝部を有する第1の保護膜と、前記蓄熱層上に配置され、かつ、前記溝部に埋め込まれている発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体に電気的に接続している個別電極と、前記発熱抵抗体に電気的に接続している櫛歯部を有する共通電極と、前記発熱抵抗体及び前記第1の保護膜を覆う第2の保護膜と、を備え、前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッド。 <1> an insulator, a heat storage layer placed on the insulator, a first protective film placed on the heat storage layer and having a groove, a first protective film placed on the heat storage layer, and a heating resistor embedded in the groove, an individual electrode electrically connected to the heating resistor, a common electrode having a comb tooth electrically connected to the heating resistor, and a second protective film covering the heating resistor and the first protective film, wherein the individual electrode is spaced apart from the comb tooth portion of the common electrode and faces the comb tooth portion; thermal print head.

<2> 前記発熱抵抗体は、前記個別電極上及び前記櫛歯部上に配置されている、<1>に記載のサーマルプリントヘッド。 <2> The thermal print head according to <1>, wherein the heat generating resistors are arranged on the individual electrodes and on the comb tooth portion.

<3> 前記個別電極及び前記共通電極は、前記発熱抵抗体上及び前記第1の保護膜上に配置されている、<1>に記載のサーマルプリントヘッド。 <3> The thermal printhead according to <1>, wherein the individual electrodes and the common electrode are arranged on the heating resistor and the first protective film.

<4> 前記発熱抵抗体と前記第2の保護膜と第1の保護膜と前記第2の保護膜との境界面より前記絶縁体側にある、<1>~<3>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 <4> Any one of <1> to <3>, located on the insulator side of the interface between the heating resistor, the second protective film, the first protective film, and the second protective film The thermal printhead described in .

<5> 前記第2の保護膜の、前記第1の保護膜が位置する側の反対側の主面のうち、前記主面の法線方向から視て前記発熱抵抗体と重畳している部分は平坦面である、<1>~<4>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 <5> A portion of the main surface of the second protective film on the side opposite to the side on which the first protective film is located, which overlaps the heating resistor when viewed from the normal direction of the main surface is a flat surface, the thermal print head according to any one of <1> to <4>.

<6> 前記発熱抵抗体の、前記第2の保護膜が位置する側の主面が凹状の曲面を有する、<1>~<5>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 <6> The thermal printhead according to any one of <1> to <5>, wherein the main surface of the heating resistor on the side where the second protective film is located has a concave curved surface.

<7> 前記絶縁体は、基板である、<1>~<6>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 <7> The thermal printhead according to any one of <1> to <6>, wherein the insulator is a substrate.

<8> 前記基板は、セラミックからなる、<7>に記載のサーマルプリントヘッド。 <8> The thermal print head according to <7>, wherein the substrate is made of ceramic.

<9> <1>~<8>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドを備えるサーマルプリンタ。 <9> A thermal printer comprising the thermal print head according to any one of <1> to <8>.

<10> 絶縁体上に蓄熱層を形成し、前記蓄熱層上に、櫛歯部を有する共通電極、及び個別電極を形成し、前記蓄熱層上、前記個別電極上、及び前記櫛歯部上にレジストを形成し、前記レジストを用いて、溝部を有する第1の保護膜を形成し、前記溝部に、前記個別電極及び前記共通電極と電気的に接続する発熱抵抗体を形成し、前記発熱抵抗体及び前記第1の保護膜を覆う第2の保護膜を形成し、前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドの製造方法。 <10> A heat storage layer is formed on an insulator, a common electrode having a comb tooth portion and an individual electrode are formed on the heat storage layer, and the heat storage layer, the individual electrode, and the comb tooth portion are formed. a first protective film having grooves is formed using the resist; a heating resistor electrically connected to the individual electrode and the common electrode is formed in the groove; Thermal printing, wherein a second protective film is formed to cover the resistor and the first protective film, and the individual electrodes are separated from and face the comb teeth of the common electrode. How the head is made.

<11> 絶縁体上に蓄熱層を形成し、前記蓄熱層上にレジストを形成し、前記レジストを用いて、溝部を有する第1の保護膜を形成し、前記溝部に発熱抵抗体を形成し、前記発熱抵抗体上及び前記第1の保護膜上に、櫛歯部を有する共通電極、及び個別電極を形成し、前記発熱抵抗体、前記第1の保護膜、前記共通電極、及び前記個別電極を覆う第2の保護膜を形成し、前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドの製造方法。 <11> A heat storage layer is formed on an insulator, a resist is formed on the heat storage layer, a first protective film having a groove is formed using the resist, and a heating resistor is formed in the groove. , a common electrode having a comb tooth portion and individual electrodes are formed on the heating resistor and the first protective film, and the heating resistor, the first protective film, the common electrode, and the individual electrodes are formed. A method of manufacturing a thermal print head, wherein a second protective film is formed to cover electrodes, and the individual electrodes are separated from and face the comb teeth of the common electrode.

<12> 前記第1の保護膜は、前記第1の保護膜となる材料ペーストを焼成することにより形成される、<10>又は<11>に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <12> The method of manufacturing a thermal print head according to <10> or <11>, wherein the first protective film is formed by baking a material paste that becomes the first protective film.

<13> 前記発熱抵抗体は、抵抗体ペーストを前記第1の保護膜の前記溝部に埋め込み、前記抵抗体ペーストを焼成することにより形成される、<10>~<12>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <13> Any one of <10> to <12>, wherein the heating resistor is formed by embedding a resistor paste in the groove of the first protective film and firing the resistor paste. 3. A method of manufacturing a thermal printhead according to .

<14> 前記発熱抵抗体はスクリーン印刷により形成される、<10>~<13>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <14> The method of manufacturing a thermal print head according to any one of <10> to <13>, wherein the heating resistor is formed by screen printing.

<15> 前記発熱抵抗体はマスクを用いて形成される、<10>~<13>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <15> The method of manufacturing a thermal print head according to any one of <10> to <13>, wherein the heating resistor is formed using a mask.

<16> 前記マスクはステンシルマスクである、<15>に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <16> The method of manufacturing a thermal printhead according to <15>, wherein the mask is a stencil mask.

<17> 前記第1の保護膜は焼成工程を経て形成され、前記レジストは、前記焼成工程及び有機剥離工程からなる群から選択される1工程以上の工程により除去される、<10>~<16>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <17> The first protective film is formed through a baking step, and the resist is removed by one or more steps selected from the group consisting of the baking step and an organic peeling step, <10> to < 16>.

<18> 前記発熱抵抗体の、前記第2の保護膜が位置する側の主面が凹状の曲面を有する、<10>~<17>のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 <18> The method of manufacturing a thermal print head according to any one of <10> to <17>, wherein the main surface of the heating resistor on the side where the second protective film is located has a concave curved surface. .

<サーマルプリントヘッド>
(第1の実施形態)
本実施形態に係るサーマルプリントヘッドについて図面を用いて説明する。
<Thermal print head>
(First embodiment)
A thermal print head according to this embodiment will be described with reference to the drawings.

図1は、サーマルプリントヘッドを示す部分斜視図である。図2は、主走査方向Xにおける図1のA-A線に沿う部分断面図である。図3は、副走査方向Yにおける図1のB-B線に沿う部分断面図である。図1~図3は、サーマルプリントヘッドの一部分(1個のサーマルプリントヘッドに相当)を示しており、本実施形態では、この1個のサーマルプリントヘッドを個片状のサーマルプリントヘッド100とする。サーマルプリントヘッド100は、絶縁体である基板15と、基板15上の蓄熱層33と、蓄熱層33上の複数の個別電極31と、蓄熱層33上の共通電極32と、蓄熱層33上、複数の個別電極31上、及び共通電極32上の、溝部38を有する保護膜34Aと、蓄熱層33上、個別電極31上、及び共通電極32上に配置され、かつ、溝部38に埋め込まれている複数の発熱抵抗体40と、複数の発熱抵抗体40及び保護膜34Aを覆う保護膜34Bと、を備える。発熱抵抗体40は、個別電極31及び共通電極32と電気的に接続している。個別電極31のそれぞれは、発熱抵抗体40のそれぞれを挟むように共通電極32の櫛歯部32Aと離間し、かつ、櫛歯部32Aと対向している。また、発熱抵抗体40は個別電極31及び共通電極32を流れる電流により発熱する発熱抵抗部41を含む。複数の発熱抵抗部41は、個別電極31及び共通電極32の間において、各発熱抵抗部41が独立して形成されている。図1は、複数の発熱抵抗部41の図示を省略している。複数の発熱抵抗部41は、蓄熱層33上において直線状に配置されている。 FIG. 1 is a partial perspective view showing a thermal printhead. 2 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 1 in the main scanning direction X. FIG. 3 is a partial cross-sectional view along the line BB in FIG. 1 in the sub-scanning direction Y. FIG. 1 to 3 show a portion of a thermal print head (corresponding to one thermal print head), and in this embodiment, this one thermal print head is assumed to be an individual thermal print head 100. . The thermal print head 100 includes a substrate 15 that is an insulator, a heat storage layer 33 on the substrate 15, a plurality of individual electrodes 31 on the heat storage layer 33, a common electrode 32 on the heat storage layer 33, on the heat storage layer 33, A protective film 34A having grooves 38 on the plurality of individual electrodes 31 and the common electrode 32; and a protective film 34B covering the plurality of heat generating resistors 40 and the protective film 34A. The heating resistor 40 is electrically connected to the individual electrodes 31 and the common electrode 32 . Each of the individual electrodes 31 is separated from the comb tooth portion 32A of the common electrode 32 so as to sandwich each of the heating resistors 40, and faces the comb tooth portion 32A. Also, the heating resistor 40 includes a heating resistor portion 41 that generates heat by current flowing through the individual electrodes 31 and the common electrode 32 . The plurality of heat generating resistors 41 are formed independently between the individual electrodes 31 and the common electrode 32 . FIG. 1 omits illustration of the plurality of heating resistors 41 . The plurality of heat generating resistors 41 are linearly arranged on the heat storage layer 33 .

本実施形態において、複数の発熱抵抗部41が直線状に延びる方向を主走査方向X、主走査方向Xに対して垂直で、かつ、基板15の上面に対して平行な方向を副走査方向Y、基板15の厚さに対応する方向を厚さ方向Zとする。言い換えれば、厚さ方向Zは、主走査方向X及び副走査方向Yのそれぞれに対して垂直な方向である。また、基板15から視て蓄熱層33が位置している方向を上方向、蓄熱層33から視て基板15が位置している方向を下方向とする。 In this embodiment, the main scanning direction X is the direction in which the plurality of heating resistors 41 extend linearly, and the sub-scanning direction Y is the direction perpendicular to the main scanning direction X and parallel to the upper surface of the substrate 15 . , the direction corresponding to the thickness of the substrate 15 is defined as a thickness direction Z. As shown in FIG. In other words, the thickness direction Z is a direction perpendicular to the main scanning direction X and the sub-scanning direction Y, respectively. Also, the direction in which the heat storage layer 33 is located when viewed from the substrate 15 is defined as the upward direction, and the direction in which the substrate 15 is located when viewed from the heat storage layer 33 is defined as the downward direction.

基板15は、絶縁体であり、例えば、セラミックからなる。セラミックとしては、例えば、アルミナ等を用いることができる。放熱性の観点から、比較的、熱伝導率が大きいアルミナを基板15に用いることが好ましい。 The substrate 15 is an insulator and is made of ceramic, for example. As the ceramic, for example, alumina or the like can be used. From the viewpoint of heat dissipation, it is preferable to use alumina, which has relatively high thermal conductivity, for the substrate 15 .

基板15上には、熱を蓄積する機能を有する蓄熱層33(グレーズ層ともいう)が積層されている。蓄熱層33は、後述の発熱抵抗部41から発生する熱を蓄積する。蓄熱層33は、絶縁性材料を用いることができ、例えば、ガラスの主成分である酸化シリコン、窒化シリコンを用いることができる。蓄熱層33の厚さ方向Zにおける寸法は、特に限定されず、例えば、5~100μmであり、好ましくは10~30μmである。 A heat storage layer 33 (also referred to as a glaze layer) having a function of storing heat is laminated on the substrate 15 . The heat storage layer 33 accumulates heat generated from the heating resistor section 41, which will be described later. An insulating material can be used for the heat storage layer 33, and for example, silicon oxide and silicon nitride, which are main components of glass, can be used. The dimension of the heat storage layer 33 in the thickness direction Z is not particularly limited, and is, for example, 5 to 100 μm, preferably 10 to 30 μm.

蓄熱層33上には、金属ペーストから形成される、個別電極31及び共通電極32が設けられている。個別電極31及び共通電極32は、金属ペーストをスクリーン印刷等によって塗布し、その後焼成し、電極パターンを形成することにより得られる。 An individual electrode 31 and a common electrode 32 made of metal paste are provided on the heat storage layer 33 . The individual electrodes 31 and the common electrode 32 are obtained by applying a metal paste by screen printing or the like and then baking it to form an electrode pattern.

金属ペーストとしては、例えば、銅、銀、パラジウム、イリジウム、白金、及び金等の金属粒子などを含むペーストを用いることができる。金属の特性及びイオン化傾向の観点から、銅、銀、白金、及び金であることが好ましく、金属の特性、イオン化傾向及びコスト低減の観点から、銀であることがより好ましい。また、金属ペーストに含まれる溶剤は、金属粒子を均一に分散させる機能を有し、例えば、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、グリコールエーテル系溶剤、脂肪族系溶剤、脂環族系溶剤、芳香族系溶剤、アルコール系溶剤、水等の1種または2種以上を混合したものなどが挙げられるがこれに限られない。 As the metal paste, for example, a paste containing metal particles such as copper, silver, palladium, iridium, platinum, and gold can be used. Copper, silver, platinum, and gold are preferred from the viewpoint of metal properties and ionization tendency, and silver is more preferred from the viewpoint of metal properties, ionization tendency, and cost reduction. In addition, the solvent contained in the metal paste has a function of uniformly dispersing the metal particles, and examples thereof include ester solvents, ketone solvents, glycol ether solvents, aliphatic solvents, alicyclic solvents, and aromatic solvents. Examples include, but are not limited to, one or a mixture of two or more of solvent, alcohol, water, and the like.

エステル系溶剤としては、例えば、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸n-ブチル、酢酸イソブチル、酢酸アミル、乳酸エチル、炭酸ジメチル等が挙げられる。ケトン系溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンベンゼン、ジイソブチルケトン、ジアセトンアルコール、イソホロン、シクロヘキサンノン等が挙げられる。グリコールエーテル系溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル等、これらモノエーテル類の酢酸エステル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等や、これらモノエーテル類の酢酸エステル等である。 Examples of ester solvents include ethyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl acetate, ethyl lactate and dimethyl carbonate. Ketone solvents include, for example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone benzene, diisobutyl ketone, diacetone alcohol, isophorone, cyclohexanone and the like. Glycol ether-based solvents include, for example, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether and the like, acetic acid esters of these monoethers, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and diethylene glycol monobutyl ether. , propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, acetic acid esters of these monoethers, and the like.

脂肪族系溶剤としては、例えば、n-ヘプタン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等が挙げられる。脂環族系溶剤としては、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、シクロヘキサン等が挙げられる。芳香族系溶剤としては、トルエン、キシレン、テトラリン等が挙げられる。アルコール系溶剤(上述のグリコールエーテル系溶剤を除く)としては、エタノール、プロパノール、ブタノール等が挙げられる。 Examples of aliphatic solvents include n-heptane, n-hexane, cyclohexane, methylcyclohexane, ethylcyclohexane and the like. Examples of alicyclic solvents include methylcyclohexane, ethylcyclohexane, cyclohexane and the like. Examples of aromatic solvents include toluene, xylene, tetralin, and the like. Alcohol-based solvents (excluding the above-mentioned glycol ether-based solvents) include ethanol, propanol, butanol, and the like.

金属ペーストは、必要に応じて、分散剤、表面処理剤、耐摩擦向上剤、赤外線吸収剤、紫外線吸収剤、芳香剤、酸化防止剤、有機顔料、無機顔料、消泡剤、シランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、可塑剤、難燃剤、保湿剤、イオン捕捉剤等を含有することができる。 The metal paste may contain dispersants, surface treatment agents, anti-friction agents, infrared absorbers, ultraviolet absorbers, fragrances, antioxidants, organic pigments, inorganic pigments, antifoaming agents, silane coupling agents, if necessary. , a titanate-based coupling agent, a plasticizer, a flame retardant, a humectant, an ion scavenger, and the like.

各個別電極31は、概ね副走査方向Yに延伸する帯状をしており、それらは、互いに導通していない。そのため、各個別電極31には、サーマルプリントヘッドが組み込まれたプリンタが使用される際に、個別に、互いに異なる電位が付与されうる。各個別電極31の端部には、図示しない個別パッド部が接続されている。 Each individual electrode 31 has a strip shape extending generally in the sub-scanning direction Y, and they are not electrically connected to each other. Therefore, each individual electrode 31 can be individually given different potentials when a printer incorporating a thermal print head is used. An end portion of each individual electrode 31 is connected to an individual pad portion (not shown).

共通電極32は、サーマルプリントヘッドが組み込まれたプリンタが使用される際に複数の個別電極31に対して電気的に逆極性となる部位である。共通電極32は、櫛歯部32Aと、櫛歯部32Aを共通につなげる共通部32Bと、を有する。共通部32Bは基板15の上方側の縁に沿って主走査方向Xに形成される。なお、副走査方向Yにおいて、個別電極31から視て共通電極32がある方向を副走査方向Yの上方側とする。各櫛歯部32Aは、副走査方向Yに延伸する帯状をしている。各櫛歯部32Aの先端部は、各個別電極31の先端部に対して副走査方向Yに沿って所定間隔を隔てて対向させられている。このような構成にすることにより、発熱抵抗体40のピッチを狭くすることができるため、高精細な印字が可能となる。 The common electrode 32 is a portion electrically opposite in polarity to the plurality of individual electrodes 31 when a printer incorporating a thermal print head is used. The common electrode 32 has a comb tooth portion 32A and a common portion 32B that commonly connects the comb tooth portions 32A. The common portion 32B is formed in the main scanning direction X along the edge of the substrate 15 on the upper side. In the sub-scanning direction Y, the direction in which the common electrode 32 is located when viewed from the individual electrodes 31 is defined as the upper side of the sub-scanning direction Y. FIG. Each comb tooth portion 32A has a strip shape extending in the sub-scanning direction Y. As shown in FIG. The tip of each comb tooth portion 32A faces the tip of each individual electrode 31 along the sub-scanning direction Y with a predetermined gap therebetween. With such a configuration, the pitch of the heating resistors 40 can be narrowed, so that high-definition printing is possible.

保護膜34Aは、溝部38を有する。個別電極31及び共通電極32等は、保護膜34Aで覆われており、個別電極31及び共通電極32等を摩耗、腐食、酸化等から保護する。保護膜34Aは絶縁性の材料を用いることができ、例えば、非晶質ガラスからなる。保護膜34Aはガラスペーストを厚膜印刷した後、焼成することにより形成される。保護膜34Aの厚さ方向Zにおける寸法は、例えば、1~10μm程度である。 The protective film 34A has grooves 38 . The individual electrodes 31, the common electrode 32, etc. are covered with a protective film 34A to protect the individual electrodes 31, the common electrode 32, etc. from abrasion, corrosion, oxidation, and the like. The protective film 34A can be made of an insulating material, such as amorphous glass. The protective film 34A is formed by printing a thick film of glass paste and then baking it. The dimension in the thickness direction Z of the protective film 34A is, for example, about 1 to 10 μm.

発熱抵抗体40は、個別電極31及び共通電極32と電気的に接続しており、個別電極31及び共通電極32からの電流が流れた部分が発熱する。具体的には、外部から駆動IC等に送信される印字信号に従って発熱用電圧が個別に印加される発熱抵抗体40(発熱抵抗部41)が、選択的に発熱させられる。発熱抵抗部41は、印字信号に従って個別に通電されることにより、選択的に発熱させられる。このように発熱することによって印字ドットが形成される。発熱抵抗体40は、個別電極31及び共通電極32を構成する材料よりも抵抗率が高い材料を用い、例えば、酸化ルテニウムなどを用いることができる。 The heating resistor 40 is electrically connected to the individual electrode 31 and the common electrode 32, and heat is generated in the portion to which the current from the individual electrode 31 and the common electrode 32 flows. Specifically, the heating resistors 40 (heating resistor portions 41) to which a heating voltage is individually applied in accordance with a print signal sent from the outside to the driving IC or the like are selectively caused to generate heat. The heating resistors 41 are selectively heated by being individually energized according to the print signal. Print dots are formed by such heat generation. The heating resistor 40 is made of a material having a higher resistivity than the material of the individual electrodes 31 and the common electrode 32, such as ruthenium oxide.

発熱抵抗体40は、保護膜34Aの溝部38に抵抗体ペーストを埋め込み、焼成することによって形成することができる。本実施形態では、発熱抵抗体40の厚さ方向Zにおける寸法は、例えば、1~10μm程度である。 The heating resistor 40 can be formed by embedding resistor paste in the grooves 38 of the protective film 34A and firing the paste. In this embodiment, the dimension in the thickness direction Z of the heating resistor 40 is, for example, about 1 to 10 μm.

発熱抵抗体40となる抵抗体ペーストは、焼成することにより、収縮する。例えば、溝部38を完全に埋めるように抵抗体ペーストを供給したとしても焼成により、図4に示すように微視的に視ると発熱抵抗体40の保護膜34Bと接している面は、保護膜34Aの保護膜34Bと接している面より基板15側にある。言い換えると、発熱抵抗体40と保護膜34Bとの境界面は、保護膜34Aと保護膜34Bとの境界面より基板15側(下側)にある。なお、保護膜34Aと保護膜34Bとが互いに同じ材料等で境界を判別しにくい場合は、保護膜34Bの主面(保護膜34Bの、保護膜34Aが位置する側の反対側の主面)から保護膜34Bの厚さ分離れた部分を保護膜34Aと保護膜34Bとの境界面とする。発熱抵抗体40と保護膜34Bとの境界面が保護膜34Aと保護膜34Bとの境界面より基板15側にあると、発熱抵抗体40の端部が保護膜34Aと保護膜34Bとの境界面より基板15側にあるため、保護膜34Bにより発熱抵抗体40の端部を完全に覆うことができるため好ましい。 The resistor paste that forms the heating resistor 40 shrinks when fired. For example, even if the resistor paste is supplied so as to completely fill the grooves 38, the surface in contact with the protective film 34B of the heat generating resistor 40 is protected by baking as shown in FIG. It is closer to the substrate 15 than the surface of the film 34A in contact with the protective film 34B. In other words, the interface between the heating resistor 40 and the protective film 34B is closer to the substrate 15 (lower side) than the interface between the protective films 34A and 34B. In addition, when the protective film 34A and the protective film 34B are made of the same material and it is difficult to distinguish the boundary, the main surface of the protective film 34B (the main surface of the protective film 34B opposite to the side where the protective film 34A is located) A boundary surface between the protective film 34A and the protective film 34B is defined as a portion separated from the protective film 34B by the thickness of the protective film 34B. When the boundary surface between the heating resistor 40 and the protective film 34B is closer to the substrate 15 than the boundary surface between the protective films 34A and 34B, the edge of the heating resistor 40 is located at the boundary between the protective films 34A and 34B. Since it is located on the substrate 15 side of the plane, it is possible to completely cover the ends of the heating resistor 40 with the protective film 34B, which is preferable.

また、保護膜34Bの、保護膜34Aが位置する側の反対側の主面のうち、当該主面の法線方向から視て発熱抵抗体40と重畳している部分は平坦面であってもよい。本明細書等において、「平坦面」とは、平均面粗さが0.5μm以下の表面を含む。なお、平均面粗さは、例えば、JIS B 0601:2013やISO 25178に準拠して求めることができる。発熱抵抗体40と重畳している部分が平坦面であると、サーマルプリントヘッドのプラテンローラと接しやすくなるため好ましい。 Further, of the main surface of the protective film 34B opposite to the side where the protective film 34A is located, even if the portion overlapping the heating resistor 40 when viewed from the normal direction of the main surface is a flat surface. good. In this specification and the like, the term “flat surface” includes a surface having an average surface roughness of 0.5 μm or less. Note that the average surface roughness can be obtained in accordance with JIS B 0601:2013 and ISO 25178, for example. It is preferable that the portion overlapping with the heating resistor 40 is a flat surface because it can easily come into contact with the platen roller of the thermal print head.

発熱抵抗体40は、図5に示すように、主面(蓄熱層33が位置する側の面と反対側の面)が凹状の曲面40Aを有していてもよい。発熱抵抗体40を形成する工程において、抵抗体ペーストが保護膜34Aの溝部38に埋め込まれて焼成されるため、抵抗体ペーストが保護膜34Aとの表面張力により主面が凹状の曲面40Aを有する場合がある。発熱抵抗体40の主面が凹状の曲面40Aを有していると、被覆よく保護膜34B等を形成することできるため好ましい。 As shown in FIG. 5, the heating resistor 40 may have a concave curved surface 40A on the main surface (the surface opposite to the surface on which the heat storage layer 33 is located). In the step of forming the heating resistor 40, the resistor paste is embedded in the grooves 38 of the protective film 34A and fired, so that the resistor paste has a concave curved surface 40A due to the surface tension between the resistor paste and the protective film 34A. Sometimes. It is preferable that the main surface of the heating resistor 40 has a concave curved surface 40A because the protective film 34B and the like can be formed with good coverage.

発熱抵抗体40及び保護膜34A等は、保護膜34Bで覆われており、保護膜34Bは、発熱抵抗体40及び保護膜34A等を摩耗、腐食、酸化等から保護する。保護膜34Bは絶縁性の材料を用いることができ、例えば、非晶質ガラスからなる。保護膜34Bはガラスペーストを厚膜印刷した後、焼成することにより形成される。保護膜34Bの厚さ方向Zにおける寸法は、例えば、2~8μm程度である。この範囲の厚さであると、耐圧不良を抑制でき、かつ、良好な印字品質を維持することが可能なサーマルプリントヘッド100を得ることができるため好ましい。保護膜34Bを薄くしても発熱抵抗体40の端部を完全に覆うことができ、サーマルプリントヘッド100の印字性能を良好にすることができる。 The heating resistor 40, the protective film 34A, and the like are covered with a protective film 34B, which protects the heating resistor 40, the protective film 34A, and the like from wear, corrosion, oxidation, and the like. The protective film 34B can be made of an insulating material, such as amorphous glass. The protective film 34B is formed by printing a thick film of glass paste and then baking it. The dimension in the thickness direction Z of the protective film 34B is, for example, about 2 to 8 μm. A thickness within this range is preferable because it is possible to obtain the thermal print head 100 capable of suppressing defective pressure resistance and maintaining good print quality. Even if the protective film 34B is thin, it can completely cover the ends of the heating resistors 40, and the printing performance of the thermal print head 100 can be improved.

ここで、本実施形態のサーマルプリントヘッド100の製造方法について説明する。 Here, a method for manufacturing the thermal print head 100 of this embodiment will be described.

図6~図8に示すように、まず、基板15を用意し、基板15上に蓄熱層33を形成する。次に、蓄熱層33上に配線層30を形成する。 As shown in FIGS. 6 to 8, first, the substrate 15 is prepared, and the heat storage layer 33 is formed on the substrate 15. As shown in FIGS. Next, the wiring layer 30 is formed on the heat storage layer 33 .

蓄熱層33は、例えば、ガラスペーストをスクリーン印刷等により塗布し、塗布されたガラスペーストを乾燥させ、その後、焼成処理を行うことにより形成することができる。焼成処理は、例えば、800~1200℃で10分~1時間行う。蓄熱層33の厚さ方向Zにおける寸法は、例えば、25μmである。 The heat storage layer 33 can be formed by, for example, applying a glass paste by screen printing or the like, drying the applied glass paste, and then performing a firing treatment. The baking treatment is performed, for example, at 800 to 1200° C. for 10 minutes to 1 hour. The dimension in the thickness direction Z of the heat storage layer 33 is, for example, 25 μm.

配線層30は、後に形成される個別電極31及び共通電極32となる。配線層30は、個別電極31及び共通電極32となる上述の金属ペーストをスクリーン印刷等によって塗布し、その後焼成することで得られる。 The wiring layer 30 becomes individual electrodes 31 and a common electrode 32 which are formed later. The wiring layer 30 is obtained by applying the above-described metal paste, which will become the individual electrodes 31 and the common electrode 32, by screen printing or the like, and then baking the paste.

次に、図9~図11に示すように、配線層30をエッチングして個別電極31及び共通電極32を形成する。 Next, as shown in FIGS. 9 to 11, the wiring layer 30 is etched to form individual electrodes 31 and a common electrode 32. Next, as shown in FIGS.

次に、図12~図14に示すように、蓄熱層33上、個別電極31上、及び共通電極32上にレジスト36を形成する。当該レジスト36が存在する領域には、後に発熱抵抗体40が形成される。レジスト36の形状パターンの不良は、後に形成される発熱抵抗体40の形状パターンの不良と関連するため、エッチング条件を適宜調整して精度よくレジスト36を形成することが好ましい。レジスト36を所望の形状にすることにより所望の形状の溝部38を形成でき、溝部38により所望の発熱抵抗体40を得ることができる。このため、レジスト36の形状パターンを精度よく加工することにより、発熱抵抗体40の形状パターンの不良を低減することができる。 Next, as shown in FIGS. 12 to 14, a resist 36 is formed on the heat storage layer 33, the individual electrodes 31, and the common electrode 32. Next, as shown in FIGS. A heating resistor 40 will be formed later in the region where the resist 36 exists. Since a defective shape pattern of the resist 36 is related to a defective shape pattern of the heating resistor 40 to be formed later, it is preferable to appropriately adjust the etching conditions to form the resist 36 with high accuracy. A groove portion 38 having a desired shape can be formed by forming the resist 36 into a desired shape, and a desired heating resistor 40 can be obtained from the groove portion 38 . Therefore, by processing the shape pattern of the resist 36 with high accuracy, it is possible to reduce defects in the shape pattern of the heating resistor 40 .

次に、図15~図17に示すように、レジスト36が設けられていない、蓄熱層33上、個別電極31上、及び共通電極32上に保護膜34Aを形成する。保護膜34Aは、例えば、非晶質ガラスからなる。保護膜34Aは、保護膜34Aとなる材料ペースト(例えばガラスペースト)を厚膜印刷した後、焼成することにより形成される。 Next, as shown in FIGS. 15 to 17, a protective film 34A is formed on the heat storage layer 33, the individual electrodes 31, and the common electrode 32 where the resist 36 is not provided. The protective film 34A is made of amorphous glass, for example. The protective film 34A is formed by printing a material paste (for example, glass paste) for the protective film 34A in a thick film and then baking the printed material.

次に、図18~図20に示すように、保護膜34Aを形成する際における焼成工程によりレジスト36が除去されて保護膜34Aに溝部38が形成される。レジスト36は、有機剥離工程を施して除去してもよい。有機剥離工程に用いることができる溶剤は、例えば、東京応化工業株式会社製の剥離液10等が挙げられる。 Next, as shown in FIGS. 18 to 20, the resist 36 is removed by the baking process for forming the protective film 34A, and grooves 38 are formed in the protective film 34A. Resist 36 may be removed using an organic stripping process. Solvents that can be used in the organic stripping step include stripping solution 10 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., for example.

このように、レジスト36を用いて保護膜34Aを形成することにより、フッ酸等の取り扱いに十分注意する必要があるエッチャントを用いなくても容易に保護膜34Aに溝部38を形成することができる。 By forming the protective film 34A using the resist 36 in this manner, the grooves 38 can be easily formed in the protective film 34A without using an etchant such as hydrofluoric acid that requires careful handling. .

次に、図21~図23に示すように、溝部38を埋め込むように発熱抵抗体40(発熱抵抗部41)となる抵抗体ペーストを形成する。溝部38には、スクリーン印刷又はステンシルマスクなどのマスクを用いて抵抗体ペーストが供給される。例えば、ステンシルマスクを用いて抵抗体ペーストを供給することにより、印字の精度が向上するため好ましい。抵抗体ペーストは、例えば、酸化ルテニウムを含む。 Next, as shown in FIGS. 21 to 23, a resistor paste that will become the heating resistor 40 (heating resistor portion 41) is formed so as to fill the groove portion 38. Next, as shown in FIG. Resistor paste is supplied to the grooves 38 using a mask such as screen printing or a stencil mask. For example, it is preferable to supply the resistor paste using a stencil mask because the printing accuracy is improved. The resistor paste contains, for example, ruthenium oxide.

次に、上述の抵抗体ペーストを焼成することにより、発熱抵抗体40(発熱抵抗部41)を形成する。 Next, the heating resistor 40 (heating resistor portion 41) is formed by firing the resistor paste described above.

発熱抵抗体40を形成する工程において、抵抗体ペーストが保護膜34Aの溝部38に埋め込まれて焼成されるため、抵抗体ペーストが保護膜34Aとの表面張力により発熱抵抗体40の主面が凹状の曲面40Aを有する場合がある。発熱抵抗体40の主面が凹状の曲面40Aを有していると、被覆よく保護膜34B等を形成することできるため好ましい。 In the step of forming the heating resistor 40, the resistor paste is embedded in the grooves 38 of the protective film 34A and fired, so that the surface tension between the resistor paste and the protective film 34A causes the main surface of the heating resistor 40 to be concave. curved surface 40A. It is preferable that the main surface of the heating resistor 40 has a concave curved surface 40A because the protective film 34B and the like can be formed with good coverage.

次に、図1~図3に示したように、保護膜34Bを形成する。保護膜34Bは、例えば、非晶質ガラスからなる。保護膜34Bはガラスペーストを厚膜印刷した後、焼成することにより形成される。 Next, as shown in FIGS. 1 to 3, a protective film 34B is formed. The protective film 34B is made of amorphous glass, for example. The protective film 34B is formed by printing a thick film of glass paste and then baking it.

以上の工程により、本実施形態のサーマルプリントヘッド100を製造することができる。 Through the steps described above, the thermal print head 100 of the present embodiment can be manufactured.

本実施形態によれば、溝部38に埋め込まれるように発熱抵抗体40が形成されるため、保護膜34Bを薄くしても発熱抵抗体40の端部を完全に覆うことができ、サーマルプリントヘッド100の印字性能を良好にすることができる。また、1つの発熱抵抗体を基にウェットエッチング等により複数の発熱抵抗体を形成することなく、保護膜34Aの溝部38に発熱抵抗体40を形成するため、個々の発熱抵抗体のパターン形状の不良を低減することができる。 According to this embodiment, since the heat generating resistor 40 is formed so as to be embedded in the groove 38, even if the protective film 34B is thin, the edge of the heat generating resistor 40 can be completely covered, and the thermal print head can be easily mounted. 100 can be improved. In addition, since the heating resistor 40 is formed in the groove 38 of the protective film 34A without forming a plurality of heating resistors by wet etching or the like based on one heating resistor, the pattern shape of each heating resistor can be changed. Defects can be reduced.

(第2の実施形態)
本実施形態に係るサーマルプリントヘッドについて図面を用いて説明する。
(Second embodiment)
A thermal print head according to this embodiment will be described with reference to the drawings.

図24は、サーマルプリントヘッドを示す部分斜視図である。図25は、主走査方向Xにおける図24のA-A線に沿う部分断面図である。図26は、副走査方向Yにおける図24のB-B線に沿う部分断面図である。図24~図26は、サーマルプリントヘッドの一部分(1個のサーマルプリントヘッドに相当)を示しており、本実施形態では、この1個のサーマルプリントヘッドを個片状のサーマルプリントヘッド100Aとする。サーマルプリントヘッド100Aは、絶縁体である基板15と、基板15上の蓄熱層33と、蓄熱層33上の溝部38を有する保護膜34Aと、蓄熱層33上に配置され、かつ、溝部38に埋め込まれている複数の発熱抵抗体40と、発熱抵抗体40上及び保護膜34A上の、共通電極32及び複数の個別電極31と、複数の発熱抵抗体40、保護膜34A、共通電極32、及び複数の個別電極31を覆う保護膜34Bと、を備える。 FIG. 24 is a partial perspective view showing a thermal printhead. 25 is a partial cross-sectional view along line AA in FIG. 24 in the main scanning direction X. FIG. 26 is a partial cross-sectional view along line BB in FIG. 24 in the sub-scanning direction Y. FIG. 24 to 26 show a portion of the thermal printhead (corresponding to one thermal printhead), and in this embodiment, this one thermal printhead is a piece-like thermal printhead 100A. . The thermal print head 100A includes a substrate 15 that is an insulator, a heat storage layer 33 on the substrate 15, a protective film 34A having grooves 38 on the heat storage layer 33, A plurality of embedded heating resistors 40, a common electrode 32 and a plurality of individual electrodes 31 on the heating resistors 40 and the protective film 34A, a plurality of the heating resistors 40, the protective film 34A, the common electrode 32, and a protective film 34B covering the plurality of individual electrodes 31.

本実施形態に係るサーマルプリントヘッド100Aが第1の実施形態に係るサーマルプリントヘッド100と異なる点は、個別電極31及び共通電極32が、発熱抵抗体40上及び保護膜34A上に配置されている点である。本実施形態において、第1の実施形態と共通する点は第1の実施形態の説明を援用し、以下、異なる点について説明する。 The thermal print head 100A according to this embodiment differs from the thermal print head 100 according to the first embodiment in that the individual electrodes 31 and the common electrode 32 are arranged on the heating resistors 40 and the protective film 34A. It is a point. In this embodiment, the description of the first embodiment is used for common points with the first embodiment, and different points are described below.

発熱抵抗体40上及び保護膜34A上に個別電極31及び共通電極32が配置していると、個別電極31及び共通電極32が発熱抵抗体40の主面(蓄熱層33が位置する側の面と反対側の面)側において発熱するため発生した熱を効率よく印刷媒体を伝えることができるため、サーマルプリントヘッド100Aの印字性能をより良好にすることができる When the individual electrode 31 and the common electrode 32 are arranged on the heating resistor 40 and the protective film 34A, the individual electrode 31 and the common electrode 32 are arranged on the main surface of the heating resistor 40 (the surface on which the heat storage layer 33 is located). Since heat is generated on the side opposite to the side), the generated heat can be efficiently transferred to the print medium, so the printing performance of the thermal print head 100A can be improved.

ここで、本実施形態のサーマルプリントヘッド100Aの製造方法について説明する。 Here, a method for manufacturing the thermal print head 100A of this embodiment will be described.

図27~図29に示すように、まず、基板15を用意し、基板15上に蓄熱層33を形成する。次に、蓄熱層33上にレジスト36を形成する。当該レジスト36が存在する領域には、後に発熱抵抗体40が形成される。 As shown in FIGS. 27 to 29, first, the substrate 15 is prepared, and the heat storage layer 33 is formed on the substrate 15. As shown in FIGS. Next, a resist 36 is formed on the heat storage layer 33 . A heating resistor 40 will be formed later in the region where the resist 36 exists.

次に、図30~図32に示すように、レジスト36が設けられていない、蓄熱層33上に保護膜34Aを形成する。 Next, as shown in FIGS. 30 to 32, a protective film 34A is formed on the heat storage layer 33 where the resist 36 is not provided.

次に、図33~図35に示すように、保護膜34Aを形成する際における焼成工程によりレジスト36が除去されて保護膜34Aに溝部38が形成される。レジスト36は、有機剥離工程を施して除去してもよい。 Next, as shown in FIGS. 33 to 35, the resist 36 is removed by the baking process for forming the protective film 34A, and grooves 38 are formed in the protective film 34A. Resist 36 may be removed using an organic stripping process.

このように、レジスト36を用いて保護膜34Aを形成することにより、フッ酸等の取り扱いに十分注意する必要があるエッチャントを用いなくても容易に保護膜34Aに溝部38を形成することができる。 By forming the protective film 34A using the resist 36 in this manner, the grooves 38 can be easily formed in the protective film 34A without using an etchant such as hydrofluoric acid that requires careful handling. .

次に、図36~図38に示すように、溝部38を埋め込むように発熱抵抗体40(発熱抵抗部41)となる抵抗体ペーストを形成する。次に、上述の抵抗体ペーストを焼成することにより、発熱抵抗体40(発熱抵抗部41)を形成する。 Next, as shown in FIGS. 36 to 38, a resistor paste that will become the heating resistor 40 (heating resistor portion 41) is formed so as to fill the groove portion 38. Next, as shown in FIG. Next, the heating resistor 40 (heating resistor portion 41) is formed by firing the resistor paste described above.

次に、図24~図26に示したように、保護膜34Bを形成する。保護膜34Bは、例えば、非晶質ガラスからなる。保護膜34Bはガラスペーストを厚膜印刷した後、焼成することにより形成される。 Next, as shown in FIGS. 24 to 26, a protective film 34B is formed. The protective film 34B is made of amorphous glass, for example. The protective film 34B is formed by printing a thick film of glass paste and then baking it.

以上の工程により、本実施形態のサーマルプリントヘッド100Aを製造することができる。 Through the above steps, the thermal print head 100A of this embodiment can be manufactured.

本実施形態によれば、溝部38に埋め込まれるように発熱抵抗体40が形成されるため、保護膜34Bを薄くしても発熱抵抗体40の端部を完全に覆うことができ、サーマルプリントヘッド100Aの印字性能を良好にすることができる。また、1つの発熱抵抗体を基にウェットエッチング等により複数の発熱抵抗体を形成することなく、保護膜34Aの溝部38に発熱抵抗体40を形成するため、個々の発熱抵抗体のパターン形状の不良を低減することができる。 According to this embodiment, since the heat generating resistor 40 is formed so as to be embedded in the groove 38, even if the protective film 34B is thin, the edge of the heat generating resistor 40 can be completely covered, and the thermal print head can be easily mounted. 100A printing performance can be improved. In addition, since the heating resistor 40 is formed in the groove 38 of the protective film 34A without forming a plurality of heating resistors by wet etching or the like based on one heating resistor, the pattern shape of each heating resistor can be changed. Defects can be reduced.

(その他の実施形態)
上述のように、一実施形態について記載したが、開示の一部をなす論述及び図面は例示的なものであり、限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替の実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。このように、本実施形態は、ここでは記載していない様々な実施形態等を含む。
(Other embodiments)
As noted above, although one embodiment has been described, the discussion and drawings forming part of the disclosure are to be understood as illustrative and not limiting. Various alternative embodiments, implementations and operational techniques will become apparent to those skilled in the art from this disclosure. Thus, this embodiment includes various embodiments and the like that are not described here.

<サーマルプリンタ>
サーマルプリントヘッド(例えば、サーマルプリントヘッド100)は、さらに図39に示すように、基板15(基板15上の蓄熱層33等は図示せず)、接続基板5、放熱部材8、駆動IC7と、複数のワイヤ81と、樹脂部82と、コネクタ59と、を備える。基板15及び接続基板5は、放熱部材8上に副走査方向Yに隣接させて搭載されている。基板15には、主走査方向Xに配列される複数の発熱抵抗部41が形成されている。当該発熱抵抗部41は、接続基板5上に搭載された駆動IC7により選択的に発熱するように駆動される。当該発熱抵抗部41は、コネクタ59を介して外部から送信される印字信号にしたがって、プラテンローラ91により発熱抵抗部41に押圧される感熱紙等の印刷媒体92に印字を行う。
<Thermal printer>
Further, as shown in FIG. 39, the thermal print head (for example, the thermal print head 100) includes a substrate 15 (the heat storage layer 33 and the like on the substrate 15 are not shown), a connection substrate 5, a heat dissipation member 8, a drive IC 7, A plurality of wires 81 , a resin portion 82 and a connector 59 are provided. The substrate 15 and the connection substrate 5 are mounted adjacent to each other in the sub-scanning direction Y on the heat dissipation member 8 . A plurality of heating resistors 41 arranged in the main scanning direction X are formed on the substrate 15 . The heat generating resistor portion 41 is driven to selectively generate heat by the drive IC 7 mounted on the connection substrate 5 . The heating resistor section 41 prints on a printing medium 92 such as thermal paper that is pressed against the heating resistor section 41 by the platen roller 91 according to a print signal transmitted from the outside through the connector 59 .

接続基板5は、例えば、プリント配線基板を用いることができる。接続基板5は、基材層と図示しない配線層とが積層された構造を有する。基材層は、例えば、ガラスエポキシ樹脂などを用いることができる。配線層は、例えば、銅、銀、パラジウム、イリジウム、白金、及び金等の金属などを用いることができる。 A printed wiring board, for example, can be used as the connection board 5 . The connection board 5 has a structure in which a base material layer and a wiring layer (not shown) are laminated. For example, a glass epoxy resin or the like can be used for the base material layer. Metals such as copper, silver, palladium, iridium, platinum, and gold can be used for the wiring layer, for example.

放熱部材8は、基板15からの熱を放散させる機能を有する。放熱部材8には、基板15及び接続基板5が取り付けられている。放熱部材8は、例えば、アルミニウムなどの金属を用いることができる。 The heat dissipation member 8 has a function of dissipating heat from the substrate 15 . A substrate 15 and a connection substrate 5 are attached to the heat dissipation member 8 . Metal such as aluminum can be used for the heat dissipation member 8, for example.

ワイヤ81は、例えば、金などの導体を用いることができる。ワイヤ81は複数あり、その一部はボンディングにより、駆動IC7と各個別電極とが導通している。また、他のワイヤ81のうちの一部はボンディングにより、接続基板5における配線層を介して、駆動IC7とコネクタ59とが導通している。 A conductor such as gold can be used for the wire 81, for example. There are a plurality of wires 81, some of which are bonded to electrically connect the driving IC 7 and each individual electrode. Some of the other wires 81 are bonded to connect the drive IC 7 and the connector 59 through the wiring layer of the connection board 5 .

樹脂部82は、例えば、黒色の樹脂を用いることができる。樹脂部82としては、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などを使用することができる。樹脂部82は、駆動IC7及び複数のワイヤ81等を覆っており、駆動IC7及び複数のワイヤ81を保護している。コネクタ59は、接続基板5に固定されている。コネクタ59には、サーマルプリントヘッドの外部からサーマルプリントヘッドへ電力を供給し、及び、駆動IC7を制御するための配線が接続される。 For example, black resin can be used for the resin portion 82 . As the resin portion 82, for example, epoxy resin, silicone resin, or the like can be used. The resin portion 82 covers the driving IC 7 and the plurality of wires 81 and protects the driving IC 7 and the plurality of wires 81 . The connector 59 is fixed to the connection board 5 . The connector 59 is connected with wiring for supplying electric power to the thermal print head from outside the thermal print head and for controlling the drive IC 7 .

サーマルプリンタは、上述のサーマルプリントヘッドを備えることができる。サーマルプリンタは、副走査方向Yに沿って搬送される印刷媒体に印刷を施す。通常、印刷媒体は、コネクタ59側から発熱抵抗部41側に向かって搬送される。印刷媒体としては、例えば、バーコードシートやレシートを作成するための感熱紙等が挙げられる。 A thermal printer can comprise a thermal printhead as described above. A thermal printer prints on a print medium conveyed along the sub-scanning direction Y. As shown in FIG. Normally, the print medium is conveyed from the connector 59 side toward the heating resistor section 41 side. Print media include, for example, thermal paper for creating barcode sheets and receipts.

サーマルプリンタは、例えば、サーマルプリントヘッド100と、プラテンローラ91と、主電源回路と、計測用回路と、制御部と、を備える。プラテンローラ91は、サーマルプリントヘッド100に正対している。 The thermal printer includes, for example, a thermal print head 100, a platen roller 91, a main power supply circuit, a measurement circuit, and a control section. A platen roller 91 faces the thermal print head 100 .

主電源回路は、サーマルプリントヘッド100における複数の発熱抵抗部41に電力を供給する。計測用回路は、複数の発熱抵抗部41の各々の抵抗値を計測する。計測用回路は、例えば、印刷媒体への印字を行わない時に、複数の発熱抵抗部41の各々の抵抗値を計測する。これにより、発熱抵抗部41の寿命や故障した発熱抵抗部41の有無が確認されうる。制御部は、主電源回路及び計測用回路の駆動状態を制御する。制御部は、複数の発熱抵抗部41の各々の通電状態を制御する。計測用回路は省略される場合がある。 The main power supply circuit supplies power to the plurality of heating resistors 41 in the thermal print head 100 . The measuring circuit measures the resistance value of each of the plurality of heating resistors 41 . The measuring circuit measures the resistance value of each of the plurality of heating resistors 41, for example, when printing on a print medium is not performed. As a result, it is possible to check the life of the heat generating resistor 41 and the presence or absence of a malfunctioning heat generating resistor 41 . The control unit controls driving states of the main power supply circuit and the measurement circuit. The controller controls the energized state of each of the plurality of heating resistors 41 . The measuring circuit may be omitted.

コネクタ59は、サーマルプリントヘッド100外の装置と通信するために用いられる。コネクタ59を介して、サーマルプリントヘッド100は、主電源回路及び計測用回路に電気的に接続している。コネクタ59を介して、サーマルプリントヘッド100は、制御部に電気的に接続している。 Connector 59 is used to communicate with devices outside thermal printhead 100 . Through connector 59, thermal print head 100 is electrically connected to the main power supply circuit and the measurement circuit. The thermal printhead 100 is electrically connected to the controller via the connector 59 .

駆動IC7は、コネクタ59を介して、制御部から信号を受ける。駆動IC7は制御部から受けた当該信号に基づき、複数の発熱抵抗部41の各々の通電状態を制御する。具体的には、駆動IC7は、複数の個別電極を選択的に通電させることにより、複数の発熱抵抗部41のいずれかを任意に発熱させる。 The drive IC 7 receives signals from the control section via the connector 59 . The driving IC 7 controls the energization state of each of the plurality of heating resistors 41 based on the signal received from the control section. Specifically, the drive IC 7 selectively energizes a plurality of individual electrodes to arbitrarily generate heat in any one of the plurality of heating resistor portions 41 .

また、サーマルプリントヘッドは、上述の構成に限られず、例えば、接続基板5を設けずに駆動IC7を直接基板15に搭載させる構成であってもよいし、フリップチップ実装によりワイヤ81を設けない構成であってもよいし、放熱部材8を設けない構成であってもよい。 Moreover, the thermal print head is not limited to the above-described configuration. For example, the configuration may be one in which the drive IC 7 is directly mounted on the substrate 15 without providing the connection substrate 5, or a configuration in which the wires 81 are not provided by flip-chip mounting. or a configuration in which the heat radiating member 8 is not provided.

次に、サーマルプリンタの使用方法について説明する。 Next, how to use the thermal printer will be described.

印刷媒体への印刷時には、コネクタ59に、主電源回路から、電位V1として電位v11が付与される。この場合、複数の発熱抵抗部41が選択的に通電し、発熱する。当該熱を印刷媒体に伝えることにより、印刷媒体への印刷がなされる。上述のとおり、コネクタ59に、主電源回路から、電位V1として電位v11が付与されている場合、複数の発熱抵抗部41の各々への通電経路が確保されている。 During printing on a print medium, a potential v11 is applied from the main power supply circuit to the connector 59 as the potential V1. In this case, the plurality of heating resistors 41 are selectively energized to generate heat. By transferring the heat to the print medium, printing is performed on the print medium. As described above, when the potential v11 is applied from the main power supply circuit to the connector 59 as the potential V1, an energization path to each of the plurality of heating resistors 41 is secured.

印刷媒体への印字を行わない時には、各発熱抵抗部41の抵抗値を計測する。当該計測時には、主電源回路からコネクタ59に電位は付与されない。各発熱抵抗部41の抵抗値の計測時には、コネクタ59に、計測用回路から、電位V1として電位v12が付与される。この場合、複数の発熱抵抗部41が順番に(例えば、主走査方向Xの端に位置する発熱抵抗部41から順番に)通電する。発熱抵抗部41に流れる電流の値および電位v12に基づき、計測用回路は、各発熱抵抗部41の抵抗値を計測する。上述のとおり、コネクタ59に、主電源回路から、電位V1として電位v11が付与されている場合、複数の発熱抵抗部41の各々への通電経路が実質的に遮断される。これにより、計測用回路によって、より正確に各発熱抵抗部41の抵抗値を計測でき、発熱抵抗部41の寿命や故障した発熱抵抗部41の有無が確認されうる。 When printing on the print medium is not performed, the resistance value of each heating resistor portion 41 is measured. During the measurement, no potential is applied to the connector 59 from the main power supply circuit. When measuring the resistance value of each heating resistor portion 41, a potential v12 is applied to the connector 59 from the measuring circuit as the potential V1. In this case, the plurality of heating resistors 41 are energized in order (for example, in order from the heating resistor 41 positioned at the end in the main scanning direction X). The measuring circuit measures the resistance value of each heating resistor 41 based on the value of the current flowing through the heating resistor 41 and the potential v12. As described above, when the potential v11 is applied from the main power supply circuit to the connector 59 as the potential V1, the energization path to each of the plurality of heating resistors 41 is substantially cut off. As a result, the resistance value of each heat generating resistor 41 can be measured more accurately by the measurement circuit, and the life of the heat generating resistor 41 and the presence or absence of a malfunctioning heat generating resistor 41 can be confirmed.

上記によれば、良好な印字性能を確保したサーマルプリンタを得ることができる。 According to the above, it is possible to obtain a thermal printer that ensures good printing performance.

5 接続基板
7 駆動IC
8 放熱部材
15 基板
30 配線層
31 個別電極
32 共通電極
33 蓄熱層
34A、34B 保護膜
36 レジスト
38 溝部
40 発熱抵抗体
40A 曲面
41 発熱抵抗部
59 コネクタ
81 ワイヤ
82 樹脂部
91 プラテンローラ
92 印刷媒体
100、100A サーマルプリントヘッド
5 connection board 7 drive IC
8 Heat dissipation member 15 Substrate 30 Wiring layer 31 Individual electrode 32 Common electrode 33 Heat storage layers 34A, 34B Protective film 36 Resist 38 Groove 40 Heating resistor 40A Curved surface 41 Heating resistor 59 Connector 81 Wire 82 Resin portion 91 Platen roller 92 Print medium 100 , 100A thermal print head

Claims (18)

絶縁体と、
前記絶縁体上に配置されている蓄熱層と、
前記蓄熱層上に配置され、かつ、溝部を有する第1の保護膜と、
前記蓄熱層上に配置され、かつ、前記溝部に埋め込まれている発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体に電気的に接続している個別電極と、
前記発熱抵抗体に電気的に接続している櫛歯部を有する共通電極と、
前記発熱抵抗体及び前記第1の保護膜を覆う第2の保護膜と、を備え、
前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッド。
an insulator;
a heat storage layer disposed on the insulator;
a first protective film disposed on the heat storage layer and having a groove;
a heating resistor disposed on the heat storage layer and embedded in the groove;
an individual electrode electrically connected to the heating resistor;
a common electrode having comb teeth electrically connected to the heating resistor;
a second protective film covering the heating resistor and the first protective film,
The thermal print head, wherein the individual electrodes are separated from the comb teeth of the common electrode and face the comb teeth.
前記発熱抵抗体は、前記個別電極上及び前記櫛歯部上に配置されている、請求項1に記載のサーマルプリントヘッド。 2. A thermal printhead according to claim 1, wherein said heat generating resistors are arranged on said individual electrodes and said comb tooth portion. 前記個別電極及び前記共通電極は、前記発熱抵抗体上及び前記第1の保護膜上に配置されている、請求項1に記載のサーマルプリントヘッド。 2. A thermal printhead according to claim 1, wherein said individual electrodes and said common electrode are arranged on said heating resistor and said first protective film. 前記発熱抵抗体と前記第2の保護膜との境界面は、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜との境界面より前記絶縁体側にある、請求項1~3のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 4. Any one of claims 1 to 3, wherein a boundary surface between said heating resistor and said second protective film is closer to said insulator than a boundary surface between said first protective film and said second protective film. A thermal print head according to the paragraph. 前記第2の保護膜の、前記第1の保護膜が位置する側の反対側の主面のうち、前記主面の法線方向から視て前記発熱抵抗体と重畳している部分は平坦面である、請求項1~4のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 Of the main surface of the second protective film on the side opposite to the side on which the first protective film is located, a portion that overlaps with the heating resistor when viewed from the normal direction of the main surface is a flat surface. The thermal print head according to any one of claims 1 to 4, wherein 前記発熱抵抗体の、前記第2の保護膜が位置する側の主面が凹状の曲面を有する、請求項1~5のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 6. The thermal printhead according to claim 1, wherein a main surface of said heating resistor on a side where said second protective film is located has a concave curved surface. 前記絶縁体は、基板である、請求項1~6のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 A thermal printhead according to any one of claims 1 to 6, wherein said insulator is a substrate. 前記基板は、セラミックからなる、請求項7に記載のサーマルプリントヘッド。 8. The thermal printhead of claim 7, wherein said substrate is made of ceramic. 請求項1~8のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドを備えるサーマルプリンタ。 A thermal printer comprising the thermal print head according to any one of claims 1 to 8. 絶縁体上に蓄熱層を形成し、
前記蓄熱層上に、櫛歯部を有する共通電極、及び個別電極を形成し、
前記蓄熱層上、前記個別電極上、及び前記櫛歯部上にレジストを形成し、
前記レジストを用いて、溝部を有する第1の保護膜を形成し、
前記溝部に、前記個別電極及び前記共通電極と電気的に接続する発熱抵抗体を形成し、
前記発熱抵抗体及び前記第1の保護膜を覆う第2の保護膜を形成し、
前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドの製造方法。
forming a heat storage layer on the insulator,
forming a common electrode having a comb tooth portion and an individual electrode on the heat storage layer;
forming a resist on the heat storage layer, the individual electrodes, and the comb teeth;
forming a first protective film having a groove using the resist;
forming a heating resistor electrically connected to the individual electrode and the common electrode in the groove;
forming a second protective film covering the heating resistor and the first protective film;
The method of manufacturing a thermal print head, wherein the individual electrodes are spaced apart from the comb teeth of the common electrode and face the comb teeth.
絶縁体上に蓄熱層を形成し、
前記蓄熱層上にレジストを形成し、
前記レジストを用いて、溝部を有する第1の保護膜を形成し、
前記溝部に発熱抵抗体を形成し、
前記発熱抵抗体上及び前記第1の保護膜上に、櫛歯部を有する共通電極、及び個別電極を形成し、
前記発熱抵抗体、前記第1の保護膜、前記共通電極、及び前記個別電極を覆う第2の保護膜を形成し、
前記個別電極は、前記共通電極の櫛歯部と離間し、かつ、前記櫛歯部と対向している、サーマルプリントヘッドの製造方法。
forming a heat storage layer on the insulator,
forming a resist on the heat storage layer;
forming a first protective film having a groove using the resist;
forming a heating resistor in the groove;
forming a common electrode having a comb tooth portion and individual electrodes on the heating resistor and the first protective film;
forming a second protective film covering the heating resistor, the first protective film, the common electrode, and the individual electrodes;
The method of manufacturing a thermal print head, wherein the individual electrodes are spaced apart from the comb teeth of the common electrode and face the comb teeth.
前記第1の保護膜は、前記第1の保護膜となる材料ペーストを焼成することにより形成される、請求項10又は11に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 12. The method of manufacturing a thermal print head according to claim 10, wherein said first protective film is formed by baking a material paste that will become said first protective film. 前記発熱抵抗体は、抵抗体ペーストを前記第1の保護膜の前記溝部に埋め込み、前記抵抗体ペーストを焼成することにより形成される、請求項10~12のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 The thermal print according to any one of claims 10 to 12, wherein the heating resistor is formed by embedding a resistor paste in the groove of the first protective film and firing the resistor paste. How the head is made. 前記発熱抵抗体はスクリーン印刷により形成される、請求項10~13のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 14. The method of manufacturing a thermal printhead according to claim 10, wherein the heating resistor is formed by screen printing. 前記発熱抵抗体はマスクを用いて形成される、請求項10~13のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 14. The method of manufacturing a thermal printhead according to claim 10, wherein the heating resistor is formed using a mask. 前記マスクはステンシルマスクである、請求項15に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 16. The method of manufacturing a thermal printhead according to claim 15, wherein said mask is a stencil mask. 前記第1の保護膜は焼成工程を経て形成され、
前記レジストは、前記焼成工程及び有機剥離工程からなる群から選択される1工程以上の工程により除去される、請求項10~16のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
The first protective film is formed through a baking process,
17. The method of manufacturing a thermal printhead according to claim 10, wherein said resist is removed by one or more steps selected from the group consisting of said baking step and organic stripping step.
前記発熱抵抗体の、前記第2の保護膜が位置する側の主面が凹状の曲面を有する、請求項10~17のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 18. The method of manufacturing a thermal printhead according to claim 10, wherein the main surface of the heating resistor on the side where the second protective film is located has a concave curved surface.
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