JP2022156161A

JP2022156161A - electric pump

Info

Publication number: JP2022156161A
Application number: JP2021059714A
Authority: JP
Inventors: 将之藤來; Masayuki Fujiki; 数人丸山; Kazuto Maruyama; 智己石川; Tomoki Ishikawa; 雅史高巣; Masafumi Takasu
Original assignee: Aisin Corp
Current assignee: Aisin Corp
Priority date: 2021-03-31
Filing date: 2021-03-31
Publication date: 2022-10-14

Abstract

To provide an electric pump which can efficiently supply a liquid to an artificial muscle according to a request while inhibiting increase in the size.SOLUTION: An electric pump contained in a liquid supply device of a robot device of the disclosure pumps the liquid to an artificial muscle which is supplied with the liquid to operate and drives the robot device. The electric pump includes: a pump part which suctions the liquid and discharges the liquid; two electric motors; and a speed reduction transmission mechanism which reduces a speed of power from the two electric motors to transmit the power to the pump part.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本開示は、液体の供給を受けて作動すると共にロボット装置を駆動する人工筋肉に当該液体を圧送する電動ポンプに関する。 FIELD OF THE DISCLOSURE The present disclosure relates to an electric pump that receives a supply of liquid and pumps the liquid to an artificial muscle that operates and drives a robotic device.

従来、両端部が栓体で閉じられたゴムチューブと、当該ゴムチューブを覆う網体とを有する２つの人工筋肉（ゴム人工筋）を含む関節装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この関節装置は、２つの人工筋肉に加えて、基台と、支持部材を介して基台により支持されたプーリと、プーリに固定されたアームと、プーリの回転中立に対して両側に位置するように基台に取り付けられると共に人工筋肉の一端がそれぞれ連結される２つの係止ブラケットと、２つの人工筋肉の他端に連結されると共にプーリに巻き掛けられるロープとを含む。また、各人工筋肉の出入口は、導電性作動液を圧送する液圧源に圧力制御弁を介して接続されている。これにより、各人工筋肉は、出入口に作動液が流入することで、軸方向に収縮しながら径方向に膨張し、出入口から作動液が流出することで、径方向に収縮しながら軸方向に伸長する。 Conventionally, there has been known a joint device including two artificial muscles (rubber artificial muscles) each having a rubber tube whose both ends are closed with plugs and a net covering the rubber tube (see, for example, Patent Document 1). ). In addition to the two artificial muscles, the joint device includes a base, a pulley supported by the base via a support member, an arm fixed to the pulley, and positioned on either side of the pulley's rotational neutrality. and a rope connected to the other end of the two artificial muscles and wound around a pulley. In addition, the inlet and outlet of each artificial muscle are connected via a pressure control valve to a hydraulic pressure source for pumping the conductive hydraulic fluid. As a result, each artificial muscle expands in the radial direction while contracting in the axial direction when hydraulic fluid flows into the inlet and outlet, and expands in the axial direction while contracting in the radial direction when the hydraulic fluid flows out of the inlet and outlet. do.

また、従来、複数のアームと、複数の脚部と、複数のアームおよび複数の脚部が連結される胴体部とを含む自律型筋肉ロボットが知られている（例えば、特許文献２参照）。この自律型筋肉ロボットにおいて、アームおよび脚部は、液圧により駆動されるアクチュエータによって任意位置に制御される。また、胴体部の内部には、アームおよび脚部のアクチュエータに液圧を供給するためのタンク、ポンプ、複数の電磁弁を含むと共に液圧をアクチュエータに供給する電磁弁ユニット、バッテリ、通信モジュール、制御ユニット等が配置されている。 Also, conventionally, an autonomous muscle robot is known that includes a plurality of arms, a plurality of legs, and a body to which the plurality of arms and legs are connected (see, for example, Patent Document 2). In this autonomous muscular robot, arms and legs are controlled to arbitrary positions by actuators driven by hydraulic pressure. In addition, inside the body, there are a tank for supplying hydraulic pressure to the actuators of the arms and legs, a pump, a solenoid valve unit including a plurality of solenoid valves and supplying hydraulic pressure to the actuators, a battery, a communication module, A control unit and the like are arranged.

特開昭６３－２１６６９１号公報JP-A-63-216691 特開２０１６－２０３３３０号公報JP 2016-203330 A

特許文献１に記載されたような人工筋肉をスムースかつ安定に作動させるためには、当該人工筋肉に対して比較的高圧かつ大流量の液体を供給することが要求される。ただし、電動ポンプから人工筋肉に高圧かつ大流量の液体を供給する場合、効率が悪化したり、電動ポンプが大型化してしまったりするおそれがある。 In order to smoothly and stably operate the artificial muscle described in Patent Document 1, it is required to supply the artificial muscle with a relatively high pressure and a large flow rate of liquid. However, when supplying a high-pressure, high-flow liquid from an electric pump to an artificial muscle, there is a risk that the efficiency will deteriorate or the size of the electric pump will increase.

そこで、本開示は、サイズアップを抑制しつつ、人工筋肉に要求に応じた液体を効率よく供給することができる電動ポンプの提供を主目的とする。 Therefore, the main object of the present disclosure is to provide an electric pump that can efficiently supply a required liquid to an artificial muscle while suppressing an increase in size.

本開示の電動ポンプは、液体の供給を受けて作動すると共にロボット装置を駆動する人工筋肉に前記液体を圧送する電動ポンプにおいて、前記液体を吸入して吐出するポンプ部と、２つの電動モータと、前記２つの電動モータからの動力を減速して前記ポンプ部に伝達する減速伝達機構とを含むものである。 The electric pump of the present disclosure is an electric pump that operates by receiving a supply of liquid and pressure-feeds the liquid to an artificial muscle that drives a robot device, comprising: a pump unit for sucking and discharging the liquid; and a reduction transmission mechanism for reducing the power from the two electric motors and transmitting the power to the pump unit.

本開示の電動ポンプは、２つの電動モータを含み、当該２つの電動モータは、減速伝達機構を介してポンプ部に連結される。これにより、単一のモータによりポンプ部を駆動する場合に比べて、２つの電動モータとして、扁平（小径）なものを用いることができるので、電動ポンプ全体のサイズアップを抑制すると共に、電動ポンプを扁平化することが可能となる。更に、出力を保ったまま電動モータを小型化した場合、一般に当該電動モータを効率よく作動させる回転数が高くなるのに対して、ポンプ部を効率よく作動させる回転数は、小型かつ高出力の電動モータを効率よく作動させる回転数よりも低くなる。従って、減速伝達機構を介して２つの電動モータをポンプ部に連結することで、小型かつ高出力化の電動モータを用いて電動ポンプのサイズアップを抑制すると共に、当該電動ポンプの効率を向上させることができる。この結果、本開示の電動ポンプによれば、サイズアップを抑制しつつ、人工筋肉に要求に応じた液体を効率よく供給することが可能となる。加えて、本開示の電動ポンプでは、２つの電動モータの一方が失陥したとしても、他方の電動モータを作動させて人工筋肉に液体を継続して供給することができる。 An electric pump of the present disclosure includes two electric motors, and the two electric motors are connected to a pump section via a speed reduction transmission mechanism. As a result, flat (small diameter) motors can be used as the two electric motors compared to the case where the pump unit is driven by a single motor. can be flattened. Furthermore, when the electric motor is downsized while maintaining its output, the number of rotations for efficient operation of the electric motor generally increases. This is lower than the number of revolutions required to operate the electric motor efficiently. Therefore, by connecting the two electric motors to the pump unit via the speed reduction transmission mechanism, it is possible to suppress an increase in the size of the electric pump and to improve the efficiency of the electric pump by using a small, high-output electric motor. be able to. As a result, according to the electric pump of the present disclosure, it is possible to efficiently supply the artificial muscle with the required liquid while suppressing an increase in size. In addition, in the electric pump of the present disclosure, even if one of the two electric motors fails, the other electric motor can be operated to continuously supply liquid to the artificial muscle.

本開示の電動ポンプが適用されるロボット装置を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram showing a robot device to which an electric pump of the present disclosure is applied; FIG. 図１のロボット装置を示す拡大図である。2 is an enlarged view showing the robot apparatus of FIG. 1; FIG. 本開示の電動ポンプを含む流体供給装置を示す系統図である。1 is a system diagram showing a fluid supply device including an electric pump of the present disclosure; FIG. 本開示の電動ポンプを示す平面図である。1 is a plan view of an electric pump of the present disclosure; FIG.

次に、図面を参照しながら、本開示の発明を実施するための形態について説明する。 Next, embodiments for carrying out the invention of the present disclosure will be described with reference to the drawings.

図１は、本開示の電動ポンプ３０が適用されるロボット装置１を示す概略構成図であり、図２は、ロボット装置１を示す拡大図である。これらの図面に示すロボット装置１は、ロボットアーム２と、電動ポンプ３０を含む流体供給装置（液体供給装置）１０とを有する。本実施形態において、ロボット装置１は、指定された目的位置まで自走可能な、いわゆる無人搬送車（ＡＧＶ）である搬送台車２０に搭載される。ただし、ロボット装置１は、搬送台車２０に搭載されるものに限られず、予め定められた設置箇所に定置されてもよい。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a robot device 1 to which an electric pump 30 of the present disclosure is applied, and FIG. 2 is an enlarged view showing the robot device 1. As shown in FIG. A robot apparatus 1 shown in these drawings has a robot arm 2 and a fluid supply device (liquid supply device) 10 including an electric pump 30 . In this embodiment, the robot device 1 is mounted on a carrier 20, which is a so-called automated guided vehicle (AGV) capable of self-propelled to a designated target position. However, the robot device 1 is not limited to being mounted on the carriage 20, and may be fixed at a predetermined installation location.

ロボットアーム２は、複数（本実施形態では、３つ）の関節（ピン結合部）Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３と、複数（本実施形態では、３つ）のアーム（リンク）３と、関節Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３ごとに例えば偶数個（本実施形態では、２つ）ずつ設けられる人工筋肉としての複数の流体アクチュエータ（液圧アクチュエータ）Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６と、先端側のアーム３に取り付けられる把持部（手先）としてのハンド部（ロボットハンド）４とを含む多関節アームである。ロボットアーム２のハンド部４は、対象となる物体（以下、「把持対象」という。）を把持するようにロボット装置１の制御装置１００（図３参照）により制御される。また、流体供給装置１０は、当該制御装置１００により制御されて各流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に流体（作動流体）としての作動油（液体）を給排する。これにより、ロボットアーム２を油圧（液圧）により駆動してハンド部４を所望の位置に移動させることができる。 The robot arm 2 includes a plurality of (three in this embodiment) joints (pin joints) J1, J2, and J3, a plurality of (three in this embodiment) arms (links) 3, joints J1, A plurality of fluid actuators (hydraulic pressure actuators) M1, M2, M3, M4, M5, M6 as artificial muscles provided, for example, in an even number (two in this embodiment) for each of J2 and J3, and an arm on the tip side. It is a multi-joint arm including a hand portion (robot hand) 4 as a grasping portion (tip) attached to the arm 3. The hand portion 4 of the robot arm 2 is controlled by the control device 100 (see FIG. 3) of the robot device 1 so as to grip a target object (hereinafter referred to as a "gripping target"). Further, the fluid supply device 10 is controlled by the control device 100 to supply and discharge working oil (liquid) as a fluid (working fluid) to each of the fluid actuators M1 to M6. As a result, the robot arm 2 can be hydraulically driven to move the hand portion 4 to a desired position.

ロボットアーム２の各流体アクチュエータＭ１－Ｍ６は、図２に示すように、作動油の圧力によって膨張するチューブＴと、当該チューブＴを覆う編組スリーブＳとを含む、いわゆるマッキベン型の人工筋肉である。チューブＴは、高い耐油性をもった例えばゴム材等の弾性材により円筒状に形成されており、当該チューブＴの両端部は、封止部材Ｃにより封止されている。チューブＴの基端側（流体供給装置１０側、図２中下端側）の封止部材Ｃには、作動油の出入口ＩＯが形成されている。編組スリーブＳは、所定方向に配向された複数のコードを互いに交差するように編み込むことにより円筒状に形成されており、軸方向および径方向に収縮可能である。編組スリーブＳを形成するコードとしては、繊維コード、高強度繊維、極細のフィラメントによって構成される金属製コード等を採用することができる。このような流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴ内に上記出入口ＩＯから作動油を供給して当該チューブＴ内の作動油の圧力を高めることで、チューブＴは、編組スリーブＳの作用により径方向に膨張すると共に軸方向に収縮し、内部の作動油の圧力に応じた収縮力を発生する。 Each of the fluid actuators M1-M6 of the robot arm 2 is a so-called McKibben-type artificial muscle that includes a tube T that expands under the pressure of hydraulic fluid and a braided sleeve S that covers the tube T, as shown in FIG. . The tube T is formed in a cylindrical shape from an elastic material such as a rubber material having high oil resistance. A hydraulic oil inlet/outlet IO is formed in a sealing member C on the base end side of the tube T (on the fluid supply device 10 side, the lower end side in FIG. 2). The braided sleeve S is formed in a cylindrical shape by weaving a plurality of cords oriented in a predetermined direction so as to intersect each other, and is contractible in the axial and radial directions. As the cords forming the braided sleeve S, fiber cords, high-strength fibers, metal cords composed of ultrafine filaments, and the like can be used. Hydraulic fluid is supplied from the inlet/outlet IO into the tubes T of the fluid actuators M1 to M6 to increase the pressure of the hydraulic fluid in the tubes T, so that the tubes T move radially due to the action of the braided sleeve S. It expands and contracts in the axial direction, generating a contraction force according to the pressure of the hydraulic oil inside.

図１および図２に示すように、複数のアーム３のうち、最基端側（最も流体供給装置１０側）のアーム３は、関節Ｊ１を介してリンクとしての支持部材５により回動自在に支持される。また、２つのアーム３同士が、関節Ｊ２またはＪ３を介して互いに回動自在に連結される。更に、流体供給装置１０側の２つのアーム３の先端部（手先側の端部）には、連結部材６が固定されている。図示するように、支持部材５は、最基端側の関節Ｊ１に対応した流体アクチュエータＭ１の基端側の封止部材Ｃを第１の連結軸を介して回動自在に支持すると共に、当該関節Ｊ１に対応した流体アクチュエータＭ２の基端側の封止部材Ｃを第２の連結軸を介して回動自在に支持する。 As shown in FIGS. 1 and 2, among the plurality of arms 3, the arm 3 closest to the proximal end (the side closest to the fluid supply device 10) is rotatable by a support member 5 as a link via a joint J1. Supported. Also, the two arms 3 are rotatably connected to each other via a joint J2 or J3. Further, a connecting member 6 is fixed to the distal ends (tip-side ends) of the two arms 3 on the fluid supply device 10 side. As shown in the figure, the support member 5 rotatably supports the sealing member C on the proximal side of the fluid actuator M1 corresponding to the joint J1 on the most proximal side via the first connecting shaft, A sealing member C on the base end side of the fluid actuator M2 corresponding to the joint J1 is rotatably supported via a second connecting shaft.

また、各連結部材６は、基端側に位置する関節Ｊ１またはＪ２に対応した流体アクチュエータＭ１またはＭ３の先端側（手先側）の封止部材Ｃを第１の連結軸を介して回動自在に支持すると共に、関節Ｊ１またはＪ２に対応した流体アクチュエータＭ２またはＭ４の先端側（手先側）の封止部材Ｃを第２の連結軸を介して回動自在に支持する。更に、各連結部材６は、先端側に位置する関節Ｊ２またはＪ３に対応した流体アクチュエータＭ３またはＭ５の基端側の封止部材Ｃを第１の連結軸を介して回動自在に支持すると共に、関節Ｊ２またはＪ３に対応した流体アクチュエータＭ４またはＭ６の基端側の封止部材Ｃを第２の連結軸を介して回動自在に支持する。 In addition, each connecting member 6 rotates the sealing member C on the distal side (hand side) of the fluid actuator M1 or M3 corresponding to the joint J1 or J2 located on the proximal side via the first connecting shaft. Also, the sealing member C on the distal end side (hand side) of the fluid actuator M2 or M4 corresponding to the joint J1 or J2 is rotatably supported via the second connecting shaft. Further, each connecting member 6 rotatably supports the sealing member C on the base end side of the fluid actuator M3 or M5 corresponding to the joint J2 or J3 positioned on the distal end side through the first connecting shaft. , the sealing member C on the base end side of the fluid actuator M4 or M6 corresponding to the joint J2 or J3 is rotatably supported via the second connecting shaft.

これにより、関節Ｊ１－Ｊ３の関節軸から手先側（ハンド部４側）に延びる各アーム３の両側には、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のうちの対応する２つが当該アーム３と平行に配列される。そして、各アーム３の一側に配置される流体アクチュエータＭ１，Ｍ３，Ｍ５は、１つの関節Ｊ１，Ｊ２またはＪ３に対応した第１の人工筋肉（一方の拮抗筋）を構成し、各アーム３の他側に配置される２つの流体アクチュエータＭ２，Ｍ４，Ｍ６は、当該第１の人工筋肉と対をなす１つの関節Ｊ１，Ｊ２またはＪ３に対応した第２の人工筋肉を構成する。 As a result, on both sides of each arm 3 extending from the joint axis of the joints J1 to J3 to the hand side (hand portion 4 side), corresponding two of the fluid actuators M1 to M6 are arranged in parallel with the arm 3. . Fluid actuators M1, M3 and M5 arranged on one side of each arm 3 constitute a first artificial muscle (one antagonistic muscle) corresponding to one joint J1, J2 or J3. Two fluid actuators M2, M4, M6 arranged on the other side constitute a second artificial muscle corresponding to one joint J1, J2 or J3 paired with the first artificial muscle.

ただし、第１および第２の人工筋肉は、それぞれ２つ以上（同数）の流体アクチュエータにより構成されてもよく、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの数と、第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの数とが異なっていてもよい。更に、本実施形態において、１つの関節Ｊ１，Ｊ２またはＪ３に対して設けられる複数（２つ）の流体アクチュエータＭ１，Ｍ２等は、互いに同一の諸元を有するが、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの諸元と、第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータの諸元とが異なっていてもよい。 However, the first and second artificial muscles may each be composed of two or more (same number) fluid actuators, and the number of fluid actuators constituting the first artificial muscle and the number of fluid actuators constituting the second artificial muscle A different number of fluid actuators may be used. Furthermore, in the present embodiment, the plurality (two) fluid actuators M1, M2, etc. provided for one joint J1, J2 or J3 have the same specifications, but constitute the first artificial muscle. The specification of the fluid actuator that constitutes the second artificial muscle may be different from the specification of the fluid actuator that constitutes the second artificial muscle.

また、本実施形態において、各アーム３は、中空に形成されており、各アーム３の内部には、流体供給管としての複数のホースＨ（図２における破線参照）が配置される。各ホースＨは、対応する流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の基端側の封止部材Ｃに形成された出入口ＩＯに接続され、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴ内には、ホースＨを介して流体供給装置１０からの作動油（油圧）が供給される。 Further, in this embodiment, each arm 3 is formed hollow, and a plurality of hoses H (see broken lines in FIG. 2) as fluid supply pipes are arranged inside each arm 3 . Each hose H is connected to an inlet/outlet IO formed in the sealing member C on the base end side of the corresponding fluid actuator M1-M6, and the fluid is supplied through the hose H into the tube T of the fluid actuator M1-M6. Hydraulic oil (hydraulic pressure) from the device 10 is supplied.

従って、制御装置１００により流体供給装置１０を制御することで、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ１等のチューブＴ内の油圧と、第１の人工筋肉と対をなす第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ２等のチューブＴ内の油圧とを互いに異ならせることができる。これにより、互いに拮抗するように配置された２つの流体アクチュエータＭ１，Ｍ２等すなわち対をなす（１組の）第１および第２の人工筋肉から連結部材６を介して各アーム３に力（回転トルク）を伝達し、支持部材５または基端側のアーム３に対して各アーム３を回動させて関節Ｊ１－Ｊ３の関節角度を変化させることが可能となる。本実施形態において、第１の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ１等と、第１の人工筋肉と対をなす第２の人工筋肉を構成する流体アクチュエータＭ２等とは、チューブＴが自然状態から所定量（例えば、自然長の１０％程度）だけ軸方向に収縮した状態を初期状態として流体供給装置１０からの油圧により駆動される。 Therefore, by controlling the fluid supply device 10 with the control device 100, the hydraulic pressure in the tube T such as the fluid actuator M1 constituting the first artificial muscle and the second artificial muscle paired with the first artificial muscle are controlled. can be made different from the hydraulic pressure in the tube T of the fluid actuator M2 or the like that constitutes . As a result, a force (rotational force) is applied to each arm 3 via the connecting member 6 from the two fluid actuators M1, M2, etc., which are arranged to oppose each other, that is, a pair of first and second artificial muscles. torque) to rotate each arm 3 with respect to the support member 5 or the arm 3 on the base end side, thereby changing the joint angles of the joints J1 to J3. In this embodiment, the fluid actuators M1 and the like that constitute the first artificial muscle and the fluid actuators M2 and the like that constitute the second artificial muscle paired with the first artificial muscle are configured such that the tube T is positioned from the natural state. It is driven by the hydraulic pressure from the fluid supply device 10 with a state in which it is contracted in the axial direction by a fixed amount (for example, about 10% of its natural length) as an initial state.

上記流体アクチュエータＭ１－Ｍ６等に作動油を供給するロボット装置１の流体供給装置１０は、図１に示すように、作動油貯留部（流体貯留部）を画成するタンク１１と、当該タンク１１を上下方向に延びる回転軸（図１における一点鎖線参照）の周りに回転自在に支持するベース部１２とを含む。タンク１１は、例えば上端および下端が閉鎖された筒体であり、内部に作動油を貯留可能なものである。本実施形態において、ロボットアーム２の支持部材５は、タンク１１の回転軸と同軸に延在するように、タンク１１の上壁部１１ｕに図示しないボルト等を介して固定される（図２参照）。すなわち、ロボットアーム２は、流体供給装置１０のタンク１１（上壁部１１ｕ）により支持される。 As shown in FIG. 1, the fluid supply device 10 of the robot device 1 that supplies hydraulic fluid to the fluid actuators M1 to M6 and the like includes a tank 11 that defines a hydraulic fluid reservoir (fluid reservoir), and the tank 11 and a base portion 12 rotatably supported around a rotating shaft extending in the vertical direction (see one-dot chain line in FIG. 1). The tank 11 is, for example, a cylindrical body with closed upper and lower ends, and can store hydraulic oil therein. In this embodiment, the support member 5 of the robot arm 2 is fixed to the upper wall portion 11u of the tank 11 via a bolt or the like (not shown) so as to extend coaxially with the rotation axis of the tank 11 (see FIG. 2). ). That is, the robot arm 2 is supported by the tank 11 (upper wall portion 11 u) of the fluid supply device 10 .

ベース部１２は、ロボットアーム２およびタンク１１の下方に位置するように搬送台車２０に搭載（固定）される。また、ベース部１２は、タンク１１を上記回転軸の周りに所定角度（例えば３６０°）だけ回転させる図示しない回転駆動ユニットを支持している。これにより、回転駆動ユニットを作動させることで、ロボットアーム２を当該回転軸の周りにタンク１１と一体に回転させることが可能となる。本実施形態において、回転駆動ユニットは、流体供給装置１０から供給される油圧により駆動される揺動モータである。ただし、当該回転駆動ユニットは、電動モータやギヤ機構等を含むものであってもよい。 The base portion 12 is mounted (fixed) on the carriage 20 so as to be positioned below the robot arm 2 and the tank 11 . The base portion 12 also supports a rotation drive unit (not shown) that rotates the tank 11 about the rotation axis by a predetermined angle (eg, 360°). Accordingly, by operating the rotation drive unit, the robot arm 2 can be rotated integrally with the tank 11 around the rotation axis. In this embodiment, the rotary drive unit is a swing motor driven by hydraulic pressure supplied from the fluid supply device 10 . However, the rotary drive unit may include an electric motor, a gear mechanism, or the like.

更に、流体供給装置１０は、図３に示すように、タンク１１、ベース部１２および流体供給源としての電動ポンプ３０に加えて、と、タンク１１内に配置される図示しないバルブボディと、リリーフ弁（圧力制御弁）ＲＶと、逆止弁ＣＶと、アキュムレータ（蓄圧器）１４と、流体調整バルブ（流体調整部）としての複数のリニアソレノイドバルブ１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６およびコントロールバルブ（圧力制御弁）１６とを含む。 Further, as shown in FIG. 3, the fluid supply device 10 includes a tank 11, a base portion 12, an electric pump 30 as a fluid supply source, a valve body (not shown) arranged in the tank 11, and a relief valve. a valve (pressure control valve) RV, a check valve CV, an accumulator (pressure accumulator) 14, a plurality of linear solenoid valves 151, 152, 153, 154, 155, 156 as fluid adjustment valves (fluid adjustment units), and and a control valve (pressure control valve) 16 .

リリーフ弁ＲＶは、電動ポンプ３０により吐出された作動油の圧力を予め定められた一定の上限圧Ｐｌｉｍ（上限値、本実施形態では、例えば６－７ＭＰａ程度）を超えないように制限するものである。逆止弁ＣＶは、電動ポンプ３０（およびリリーフ弁ＲＶ）側からの作動油を油路ＬＬに流出させると共に、油路ＬＬ側から電動ポンプ３０（およびリリーフ弁ＲＶ）側への作動油の流通を規制する。アキュムレータ１４は、逆止弁ＣＶの下流側で油路ＬＬに接続（直結）された作動油の出入口を有しており、電動ポンプ３０側からの油圧を蓄える。また、アキュムレータ１４としては、最高作動圧が上記上限圧Ｐｌｉｍ以上であるものが用いられる。更に、油路ＬＬには、逆止弁ＣＶの下流側かつアキュムレータ１４の上流側で当該油路ＬＬにおける作動油の圧力（元圧）を検出する元圧センサＰＳが設置されている。 The relief valve RV limits the pressure of the hydraulic oil discharged by the electric pump 30 so as not to exceed a predetermined upper limit pressure Plim (upper limit value, for example, about 6-7 MPa in this embodiment). be. The check valve CV allows the hydraulic fluid from the electric pump 30 (and relief valve RV) side to flow out to the oil passage LL, and also allows the hydraulic fluid to flow from the oil passage LL side to the electric pump 30 (and relief valve RV) side. to regulate. The accumulator 14 has a hydraulic fluid inlet/outlet connected (directly connected) to the oil passage LL on the downstream side of the check valve CV, and stores hydraulic pressure from the electric pump 30 side. As the accumulator 14, one having a maximum working pressure equal to or higher than the upper limit pressure Plim is used. Further, in the oil passage LL, a source pressure sensor PS is installed downstream of the check valve CV and upstream of the accumulator 14 to detect the pressure (original pressure) of the working oil in the oil passage LL.

リニアソレノイドバルブ１５１－１５６は、共通の構成を有しており、それぞれバルブボディ内に配置されると共に制御装置１００により制御される。本実施形態において、リニアソレノイドバルブ１５１は、コントロールバルブ１６への信号圧を調整し、リニアソレノイドバルブ１５２は、流体アクチュエータＭ２への油圧（駆動圧）を調整する。また、リニアソレノイドバルブ１５３は、流体アクチュエータＭ３への油圧（駆動圧）を調整し、リニアソレノイドバルブ１５４は、流体アクチュエータＭ４への油圧（駆動圧）を調整する。更に、リニアソレノイドバルブ１５５は、流体アクチュエータＭ５への油圧（駆動圧）を調整し、リニアソレノイドバルブ１５６は、流体アクチュエータＭ６への油圧（駆動圧）を調整する。 The linear solenoid valves 151 - 156 have a common configuration, are each arranged in a valve body and controlled by the controller 100 . In this embodiment, the linear solenoid valve 151 adjusts the signal pressure to the control valve 16, and the linear solenoid valve 152 adjusts the hydraulic pressure (driving pressure) to the fluid actuator M2. Also, the linear solenoid valve 153 adjusts the hydraulic pressure (driving pressure) to the fluid actuator M3, and the linear solenoid valve 154 adjusts the hydraulic pressure (driving pressure) to the fluid actuator M4. Furthermore, the linear solenoid valve 155 adjusts the hydraulic pressure (driving pressure) to the fluid actuator M5, and the linear solenoid valve 156 adjusts the hydraulic pressure (driving pressure) to the fluid actuator M6.

図３に示すように、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６は、制御装置１００により通電制御される電磁部１５ｅと、バルブボディにより保持されるスリーブ内に軸方向に移動可能に配置されるスプール１５ｓと、スプール１５ｓを電磁部１５ｅ側（出力ポート１５ｏ側から入力ポート１５ｉ側、図３中上側）に付勢するスプリング１５ｓｐとを含む。更に、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６は、入力ポート１５ｉと、出力ポート１５ｏと、出力ポート１５ｏに連通するフィードバックポート１５ｆと、入力ポート１５ｉおよび出力ポート１５ｏと連通可能なドレンポート１５ｄとを含む。リニアソレノイドバルブ１５１－１５６の入力ポート１５ｉは、アキュムレータ１４の下流側で油路ＬＬにそれぞれ連通する。また、リニアソレノイドバルブ１５２－１５６の出力ポート１５ｏは、バルブボディに形成された油路やホースＨ等を介して対応する流体アクチュエータＭ２－Ｍ６（チューブＴ）の作動油の出入口ＩＯに連通する。更に、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６のドレンポート１５ｄは、それぞれ油路ＬＤを介してタンク１１内の作動油貯留部に連通する。 As shown in FIG. 3, each of the linear solenoid valves 151-156 includes an electromagnetic portion 15e that is energized and controlled by the control device 100, a spool 15s that is axially movably disposed within a sleeve held by the valve body, and a spring 15sp that biases the spool 15s toward the electromagnetic portion 15e (from the output port 15o side to the input port 15i side, the upper side in FIG. 3). Furthermore, the linear solenoid valves 151-156 include an input port 15i, an output port 15o, a feedback port 15f communicating with the output port 15o, and a drain port 15d communicating with the input port 15i and the output port 15o. The input ports 15i of the linear solenoid valves 151-156 communicate with the oil passage LL on the downstream side of the accumulator 14, respectively. Also, the output ports 15o of the linear solenoid valves 152-156 communicate with hydraulic oil inlets and outlets IO of the corresponding fluid actuators M2-M6 (tube T) via oil passages, hoses H, etc. formed in the valve bodies. Further, the drain ports 15d of the linear solenoid valves 151-156 communicate with the hydraulic oil reservoirs in the tank 11 via oil passages LD, respectively.

本実施形態において、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６は、電磁部１５ｅに電流が供給される際に開弁する常閉弁であり、各電磁部１５ｅは、印加される電流に応じて入力ポート１５ｉと出力ポート１５ｏとを連通させるようにスプール１５ｓを軸方向に移動させる。これにより、電磁部１５ｅ（コイル）への給電により発生する推力と、スプリング１５ｓｐの付勢力と、出力ポート１５ｏからフィードバックポート１５ｆに供給された油圧（駆動圧）によりスプール１５ｓに作用する電磁部１５ｅ側への推力とをバランスさせることで、入力ポート１５ｉに供給された電動ポンプ３０（およびリリーフ弁ＲＶ）側からの作動油を所望の圧力に調整して出力ポート１５ｏから流出させることができる。 In this embodiment, the linear solenoid valves 151-156 are normally closed valves that open when current is supplied to the electromagnetic part 15e. The spool 15s is axially moved so as to communicate with the output port 15o. As a result, the electromagnetic portion 15e acts on the spool 15s due to the thrust generated by the power supply to the electromagnetic portion 15e (coil), the biasing force of the spring 15sp, and the hydraulic pressure (driving pressure) supplied from the output port 15o to the feedback port 15f. By balancing the thrust to the side, the hydraulic oil from the electric pump 30 (and relief valve RV) side supplied to the input port 15i can be adjusted to a desired pressure and flowed out from the output port 15o.

また、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６側に供給される油圧（信号圧または駆動圧）をリニアソレノイドバルブ１５１－１５６にフィードバックすることで、人工筋肉としての流体アクチュエータＭ１－Ｍ６により駆動されるロボットアーム２に当該流体アクチュエータＭ１－Ｍ６以外からの外力が加えられたときに、当該外力による流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴの体積変化に応じた油圧の変動を吸収することができる。加えて、当該外力が無くなった後には、速やかに要求に応じた油圧（駆動圧）を流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に供給することが可能となる。 In addition, by feeding back the hydraulic pressure (signal pressure or drive pressure) supplied to the fluid actuators M1-M6 to the linear solenoid valves 151-156, the robot arm 2 driven by the fluid actuators M1-M6 as artificial muscles When an external force is applied from a source other than the fluid actuators M1-M6, it is possible to absorb oil pressure fluctuations according to volume changes of the tubes T of the fluid actuators M1-M6 due to the external force. In addition, after the external force disappears, it is possible to quickly supply hydraulic pressure (driving pressure) to the fluid actuators M1 to M6 according to the demand.

コントロールバルブ１６は、リニアソレノイドバルブ１５１からの信号圧に応じて油路ＬＬからの作動油の圧力を調整し、要求出力（収縮力と収縮速度との積）の最大値が全流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の中で最大となる流体アクチュエータＭ１のチューブＴに供給するものである。コントロールバルブ１６は、バルブボディ内に配置されるスプール１６ｓおよび当該スプール１６ｓを付勢するスプリング１６ｓｐを含むスプールバルブである。また、コントロールバルブ１６は、図３に示すように、入力ポート１６ｉと、出力ポート１６ｏと、フィードバックポート１６ｆと、信号圧入力ポート１６ｃと、ドレンポート１６ｄとを含む。 The control valve 16 adjusts the pressure of the working oil from the oil passage LL according to the signal pressure from the linear solenoid valve 151, and the maximum value of the required output (the product of the contraction force and the contraction speed) is the maximum value for all the fluid actuators M1- It is supplied to the tube T of the fluid actuator M1, which is the largest among M6. The control valve 16 is a spool valve that includes a spool 16s arranged in a valve body and a spring 16sp that biases the spool 16s. 3, the control valve 16 includes an input port 16i, an output port 16o, a feedback port 16f, a signal pressure input port 16c and a drain port 16d.

入力ポート１６ｉは、アキュムレータ１４の下流側で油路ＬＬに連通する。出力ポート１６ｏは、バルブボディに形成された油路やホースＨ等を介して流体アクチュエータＭ１（チューブＴ）の作動油の出入口ＩＯに連通する。フィードバックポート１６ｆは、バルブボディに形成された油路を介して出力ポート１６ｏに連通する。信号圧入力ポート１６ｃは、バルブボディに形成された油路を介してリニアソレノイドバルブ１５１の出力ポート１５ｏに連通する。ドレンポート１６ｄは、油路ＬＤを介してタンク１１内の作動油貯留部に連通する。 The input port 16i communicates with the oil passage LL downstream of the accumulator 14 . The output port 16o communicates with the hydraulic fluid inlet/outlet IO of the fluid actuator M1 (tube T) via an oil passage formed in the valve body, a hose H, and the like. The feedback port 16f communicates with the output port 16o through an oil passage formed in the valve body. The signal pressure input port 16c communicates with the output port 15o of the linear solenoid valve 151 through an oil passage formed in the valve body. The drain port 16d communicates with the hydraulic oil reservoir in the tank 11 via the oil passage LD.

かかるコントロールバルブ１６のスプール１６ｓは、電磁部１５ｅに印加される電流に応じたリニアソレノイドバルブ１５１からの信号圧が作用することで、スプリング１６ｓｐの付勢力に抗して軸方向に移動する。これにより、信号圧の作用によりスプール１６ｓに付与される推力と、スプリング１６ｓｐの付勢力と、出力ポート１６ｏからフィードバックポート１６ｆに供給された油圧（駆動圧）によりスプール１６ｓに作用する推力とをバランスさせることで、入力ポート１６ｉに供給された電動ポンプ３０（リリーフ弁ＲＶ）側からの作動油の一部を適宜ドレンポート１６ｄを介してドレンして出力ポート１６ｏから流体アクチュエータＭ１のチューブＴへと供給される作動油を所望の圧力に調整することができる。 The spool 16s of the control valve 16 moves in the axial direction against the biasing force of the spring 16sp due to the signal pressure from the linear solenoid valve 151 corresponding to the current applied to the electromagnetic portion 15e. This balances the thrust applied to the spool 16s by the action of the signal pressure, the biasing force of the spring 16sp, and the thrust acting on the spool 16s by the hydraulic pressure (driving pressure) supplied from the output port 16o to the feedback port 16f. As a result, a portion of the hydraulic oil from the electric pump 30 (relief valve RV) side supplied to the input port 16i is drained appropriately through the drain port 16d, and is discharged from the output port 16o to the tube T of the fluid actuator M1. The supplied hydraulic fluid can be adjusted to the desired pressure.

ロボット装置１の制御装置１００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース等を含むマイクロコンピュータや各種ロジックＩＣ等（何れも図示省略）を含む。制御装置１００は、上記元圧センサＰＳや、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６等の電源の電圧を検出する図示しない電圧センサ等の検出値を入力する。また、制御装置１００は、元圧センサＰＳにより検出される油路ＬＬにおける油圧（元圧）が目標値になるように、電動ポンプ３０を制御する。更に、制御装置１００は、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６の電磁部１５ｅに供給される電流を制御する。 A control device 100 of the robot device 1 includes a microcomputer including a CPU, a ROM, a RAM, an input/output interface, etc., and various logic ICs (all not shown). The control device 100 inputs the detection values of the source pressure sensor PS and voltage sensors (not shown) for detecting the voltage of the power sources of the linear solenoid valves 151 to 156 and the like. Further, the control device 100 controls the electric pump 30 so that the oil pressure (source pressure) in the oil passage LL detected by the source pressure sensor PS becomes a target value. Further, the controller 100 controls the current supplied to the electromagnetic portions 15e of the linear solenoid valves 151-156.

図４は、電動ポンプ３０を示す平面図である。同図に示すように、電動ポンプ３０は、ハウジング３１と、インナーギヤ３２と、アウターギヤ３３とを含む内接ギヤポンプである。更に、電動ポンプ３０は、２つの電動モータ３４，３５と、減速伝達機構３６とを含む。 FIG. 4 is a plan view showing the electric pump 30. FIG. As shown in the figure, the electric pump 30 is an internal gear pump including a housing 31 , an inner gear 32 and an outer gear 33 . Furthermore, the electric pump 30 includes two electric motors 34 and 35 and a reduction transmission mechanism 36 .

ハウジング３１は、インナーギヤ３２およびアウターギヤ３３を収容するポンプハウジング３１ｐと、２つの電動モータ３４，３５を収容するモータハウジング３１ｍと、ポンプハウジング３１ｐとモータハウジング３１ｍとの間で減速伝達機構３６を収容するギヤハウジング３１ｇとを含む。また、ポンプハウジング３１ｐには、電動ポンプ３０の吸入口３０ｉおよび吐出口３０ｏが形成されている。更に、モータハウジング３１ｍには、当該モータハウジング３１ｍ内の対応する電動モータ３４または３５をそれぞれ冷却する２つの冷却ファン（電動ファン）３９が取り付けられている。本実施形態において、ハウジング３１のポンプハウジング３１ｐは、タンク１１内すなわち作動油貯留部（液中）に配置され、モータハウジング３１ｍおよびギヤハウジング３１ｇは、タンク１１の外部に配置される。 The housing 31 includes a pump housing 31p containing an inner gear 32 and an outer gear 33, a motor housing 31m containing two electric motors 34 and 35, and a reduction transmission mechanism 36 between the pump housing 31p and the motor housing 31m. and a gear housing 31g that accommodates them. A suction port 30i and a discharge port 30o of the electric pump 30 are formed in the pump housing 31p. Further, the motor housing 31m is provided with two cooling fans (electric fans) 39 for respectively cooling the corresponding electric motors 34 or 35 in the motor housing 31m. In this embodiment, the pump housing 31 p of the housing 31 is arranged inside the tank 11 , that is, in the hydraulic oil reservoir (under the liquid), and the motor housing 31 m and the gear housing 31 g are arranged outside the tank 11 .

インナーギヤ３２およびアウターギヤ３３は、ポンプハウジング３１ｐと共にタンク１１（作動油貯留部）内の作動油を吸引して吐出するポンプ部３０ｐを構成する。インナーギヤ３２は、複数の外歯（図示省略）を有し、ポンプハウジング３１ｐ内に回転自在に配置される。アウターギヤ３３は、インナーギヤ３２の外歯の総数よりも１つ多い数の内歯を有し、何れか１つまたは複数の内歯がインナーギヤ３２の対応する外歯に噛合すると共にインナーギヤ３２に対して偏心した状態でポンプハウジング３１ｐ内に回転自在に配置される。インナーギヤ３２とアウターギヤ３３との間には、基本的に、隣り合う２つの外歯と隣り合う２つの内歯とにより図示しない複数の歯間室（ポンプ室）が形成される。 The inner gear 32 and the outer gear 33 together with the pump housing 31p form a pump portion 30p that sucks and discharges hydraulic oil in the tank 11 (hydraulic oil reservoir). The inner gear 32 has a plurality of external teeth (not shown) and is rotatably arranged inside the pump housing 31p. The outer gear 33 has one more internal tooth than the total number of external teeth of the inner gear 32, and any one or more internal teeth mesh with corresponding external teeth of the inner gear 32 and 32 and is rotatably disposed within the pump housing 31p. Between the inner gear 32 and the outer gear 33, basically, two adjacent external teeth and two adjacent internal teeth form a plurality of inter-tooth chambers (pump chambers) (not shown).

電動モータ３４，３５は、同一の諸元を有するアウターロータ型の交流モータであり、軸心同士が平行をなすようにモータハウジング３１ｍ内に隣り合わせにして固定される。また、電動モータ３４，３５は、アウターロータ３４ｒまたは３５ｒと、アウターロータ３４ｒ，３５ｒ内に配置されるインナーステータ３４ｓまたは３５ｓとをそれぞれ含み、アウターロータ３４ｒ，３５ｒには、モータシャフト３４ａ，３５ａが同軸に固定されている。各電動モータ３４，３５は、図示しないインバータ（駆動回路）を介してロボット装置１の制御装置１００により制御される。 The electric motors 34 and 35 are outer rotor type AC motors having the same specifications, and are fixed side by side in the motor housing 31m so that their shaft centers are parallel to each other. The electric motors 34 and 35 each include an outer rotor 34r or 35r and an inner stator 34s or 35s disposed within the outer rotor 34r or 35r. The outer rotors 34r and 35r have motor shafts 34a and 35a. fixed coaxially. Each of the electric motors 34 and 35 is controlled by the controller 100 of the robot apparatus 1 via an inverter (drive circuit) (not shown).

減速伝達機構３６は、互いに同一の諸元を有する２つのドライブギヤ３７と、当該２つのドライブギヤ３７の歯数よりも多い歯数を有するドリブンギヤ３８とを含む減速ギヤ機構である。２つのドライブギヤ３７は、それぞれ対応する電動モータ３４または３５のモータシャフト３４ａまたは３５ａに一体回転するように固定される。また、ドリブンギヤ３８は、２つのドライブギヤ３７の間で両者に噛合し、モータシャフト３４ａまたは３５ａと平行に延在するポンプシャフト３２ｓを介してインナーギヤ３２に連結される。本実施形態において、２つのドライブギヤ３７およびドリブンギヤ３８は、図示するように、何れもはすば歯車である。 The reduction transmission mechanism 36 is a reduction gear mechanism including two drive gears 37 having the same specifications and a driven gear 38 having a larger number of teeth than those of the two drive gears 37 . The two drive gears 37 are fixed to the motor shafts 34a and 35a of the corresponding electric motors 34 and 35 so as to rotate together. Also, the driven gear 38 meshes between the two drive gears 37 and is connected to the inner gear 32 via a pump shaft 32s extending parallel to the motor shaft 34a or 35a. In this embodiment, the two drive gears 37 and the driven gear 38 are both helical gears as shown.

続いて、上述のように構成されるロボット装置１の動作について説明する。 Next, the operation of the robot apparatus 1 configured as described above will be described.

図示しない起動スイッチがオフされてロボット装置１の動作が完全に停止している際、ハンド部４は、図示しない支持台に形成された係止部により保持される。これにより、ロボットアーム２の姿勢は、予め定められた待機姿勢に強制的に保持される。また、ロボット装置１の起動スイッチがオンされてシステム起動が完了すると、制御装置１００は、元圧センサＰＳの検出値に基づいて、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６に供給される油路ＬＬにおける油圧（元圧）が予め定められた待機圧Ｐｓｔ（例えば１０００ｋＰａ程度）になるように電動ポンプ３０を制御する。本実施形態において、待機圧Ｐｓｔは、複数の流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の各々を自然状態から上記初期状態まで軸方向に収縮させることができる圧力（例えば７００－９００ｋＰａ程度）よりも所定値だけ高い圧力に定められている。 When a start switch (not shown) is turned off and the operation of the robot device 1 is completely stopped, the hand part 4 is held by a locking part formed on a support base (not shown). As a result, the posture of the robot arm 2 is forcibly held at the predetermined standby posture. Further, when the start switch of the robot device 1 is turned on and the system start-up is completed, the control device 100 controls the oil pressure ( The electric pump 30 is controlled so that the original pressure) becomes a predetermined standby pressure Pst (for example, about 1000 kPa). In this embodiment, the standby pressure Pst is a pressure higher than the pressure (for example, about 700 to 900 kPa) that can axially contract each of the plurality of fluid actuators M1 to M6 from the natural state to the initial state by a predetermined value. stipulated in

次いで、制御装置１００は、予め定められた順番で流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴに作動油を充填して各チューブＴを上記初期状態とするようにリニアソレノイドバルブ１５１－１５６の電磁部１５ｅへの電流を制御する。これにより、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴには、コントロールバルブ１６およびリニアソレノイドバルブ１５２－１５６の対応する何れかから作動油が供給され、各チューブＴは、自然状態から所定量（例えば、自然長の１０％程度）だけ軸方向に収縮する。これ以後、ハンド部４が上記支持台等に載置されてロボット装置１の動作が停止されるまで、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６の各電磁部１５ｅには継続して電流が供給され、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６は、電動ポンプ３０側からの作動油の圧力を電磁部１５ｅに供給される電流に応じて調整する。 Next, the control device 100 fills the tubes T of the fluid actuators M1-M6 with hydraulic oil in a predetermined order, and directs the electromagnetic portions 15e of the linear solenoid valves 151-156 to bring the tubes T into the initial state. to control the current of As a result, hydraulic fluid is supplied to the tubes T of the fluid actuators M1-M6 from any one of the control valve 16 and the linear solenoid valves 152-156, and each tube T moves from its natural state to a predetermined amount (for example, natural about 10% of the length) in the axial direction. After that, current is continuously supplied to each electromagnetic part 15e of the linear solenoid valves 151 to 156 until the hand part 4 is placed on the support base or the like and the operation of the robot apparatus 1 is stopped. The valves 151-156 adjust the pressure of hydraulic fluid from the electric pump 30 side according to the current supplied to the electromagnetic portion 15e.

上述のようなロボット装置１の作業開始準備の完了後、ロボットアーム２およびハンド部４を用いた作業の開始が指示されると、制御装置１００は、元圧センサＰＳの検出値に基づいて、油路ＬＬにおける油圧（元圧）が予め定められた比較的高い常用圧Ｐｗ（本実施形態では、例えば５－６ＭＰａ程度）になるように電動ポンプ３０を制御する。この際、電動ポンプ３０では、各電動モータ３４，３５をポンプ部３０ｐすなわちインナーギヤ３２に要求される回転数よりも高い回転数で回転させることが可能となるので、ポンプ部３０ｐと各電動モータ３４，３５とを効率よく作動させることができる。本実施形態において、常用圧Ｐｗは、上記待機圧Ｐｓｔよりも高く、上限圧Ｐｌｉｍよりも低く、かつアキュムレータ１４の最低作動圧以上に定められている。 After completion of the work start preparation of the robot device 1 as described above, when the start of work using the robot arm 2 and the hand unit 4 is instructed, the control device 100, based on the detection value of the source pressure sensor PS, The electric pump 30 is controlled so that the hydraulic pressure (original pressure) in the oil passage LL becomes a predetermined relatively high normal pressure Pw (eg, about 5-6 MPa in this embodiment). At this time, in the electric pump 30, the electric motors 34 and 35 can be rotated at a higher rotation speed than the rotation speed required for the pump portion 30p, that is, the inner gear 32. 34 and 35 can be operated efficiently. In this embodiment, the normal pressure Pw is higher than the standby pressure Pst, lower than the upper limit pressure Plim, and higher than the minimum operating pressure of the accumulator 14 .

更に、制御装置１００は、外部（支持台）からの強制力無しにロボットアーム２を上記待機姿勢に保持するのに要求される油圧を予め定められた順番で流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴに供給するようにリニアソレノイドバルブ１５１－１５６の電磁部１５ｅへの電流を制御する。次いで、制御装置１００は、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６から各流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に対してロボットアーム２への要求に応じた油圧が供給されるように各電磁部１５ｅへの電流指令値を設定し、当該電流指令値に基づいて各電磁部１５ｅに供給される電流を制御する。これにより、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴに対し、コントロールバルブ１６およびリニアソレノイドバルブ１５２－１５６により要求に応じて調整された油圧（駆動圧）を供給することが可能となる。この結果、複数の流体アクチュエータＭ１－Ｍ６により各アーム３を回動させてロボット装置１のハンド部４を所望の位置に移動させることができる。 Further, the control device 100 supplies the hydraulic pressure required to hold the robot arm 2 in the standby posture without external force (support base) to the tubes T of the fluid actuators M1 to M6 in a predetermined order. The current to the electromagnetic portion 15e of the linear solenoid valves 151-156 is controlled to supply the current. Next, the control device 100 sets the current command value to each electromagnetic part 15e so that the hydraulic pressure corresponding to the request to the robot arm 2 is supplied from the linear solenoid valves 151 to 156 to each fluid actuator M1 to M6. Then, the current supplied to each electromagnetic portion 15e is controlled based on the current command value. As a result, hydraulic pressure (driving pressure) adjusted according to demand by the control valve 16 and the linear solenoid valves 152-156 can be supplied to the tubes T of the fluid actuators M1-M6. As a result, each arm 3 can be rotated by a plurality of fluid actuators M1 to M6 to move the hand section 4 of the robot device 1 to a desired position.

また、電動ポンプ３０は、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６のチューブＴの収縮状態等に起因した油路ＬＬにおける油圧（元圧）の変動に応じて制御されるが、電動ポンプ３０の回転数がオーバーシュートして吐出量が過剰になった場合、入力ポートｉ１に供給される作動油の圧力が上限圧Ｐｌｉｍに達することで第１リリーフ弁ＲＶ１は上記第２連通状態を形成する。これにより、電動ポンプ３０から吐出される作動油の一部は、第１リリーフ弁ＲＶ１（入力ポートｉ１および第２排出ポートｄｂ１）、第２リリーフ弁ＲＶ２および油路Ｌ０を介してタンク１１の流体貯留部へと流出させられ、第１リリーフ弁ＲＶ１によって油路ＬＬにおける油圧（元圧）が上限圧Ｐｌｉｍを超えないように調整されることになる。更に、流体供給装置１０は、逆止弁ＣＶと流体アクチュエータＭ１－Ｍ６とを結ぶ油路（流体通路）ＬＬに接続されたアキュムレータ１４を含む。これにより、ロボットアーム２の動作中（運動中）に電動ポンプ３０が停止したとしても、しばらくの間、コントロールバルブ１６およびリニアソレノイドバルブ１５２－１５６を介してアキュムレータ１４からの作動油を流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に供給することができる。この結果、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６（チューブＴ）の状態の急変を抑えることが可能となる。 Also, the electric pump 30 is controlled in accordance with fluctuations in the oil pressure (original pressure) in the oil passage LL caused by contraction of the tubes T of the fluid actuators M1-M6. When the discharge amount becomes excessive, the pressure of the hydraulic fluid supplied to the input port i1 reaches the upper limit pressure Plim, and the first relief valve RV1 forms the second communication state. As a result, part of the hydraulic fluid discharged from the electric pump 30 is transferred to the fluid in the tank 11 via the first relief valve RV1 (the input port i1 and the second discharge port db1), the second relief valve RV2 and the oil passage L0. The hydraulic pressure (original pressure) in the oil passage LL is adjusted by the first relief valve RV1 so as not to exceed the upper limit pressure Plim. Further, the fluid supply device 10 includes an accumulator 14 connected to an oil passage (fluid passage) LL connecting the check valve CV and the fluid actuators M1-M6. As a result, even if the electric pump 30 stops while the robot arm 2 is operating (exercising), the hydraulic fluid from the accumulator 14 is supplied to the fluid actuator M1 through the control valve 16 and the linear solenoid valves 152 to 156 for a while. - can be supplied to the M6; As a result, it is possible to suppress sudden changes in the state of the fluid actuators M1-M6 (tube T).

そして、流体供給装置１０の電動ポンプ３０は、２つの電動モータ３４，３５を含み、当該２つの電動モータ３４，３５は、減速伝達機構３６を介してポンプ部３０ｐ（内接ギヤポンプ）を構成するインナーギヤ３２に連結される。これにより、単一のモータによりポンプ部３０ｐすなわちインナーギヤ３２を駆動する場合に比べて、２つの電動モータ３４，３５として、扁平（小径）なものを用いることができるので、電動ポンプ３０全体のサイズアップを抑制すると共に、電動ポンプ３０を扁平化することが可能となる。 The electric pump 30 of the fluid supply device 10 includes two electric motors 34 and 35, and the two electric motors 34 and 35 constitute a pump section 30p (internal gear pump) via a reduction transmission mechanism 36. It is connected to the inner gear 32 . As compared with the case where the pump portion 30p, ie, the inner gear 32, is driven by a single motor, flat (small diameter) motors can be used as the two electric motors 34 and 35. It is possible to suppress an increase in size and to flatten the electric pump 30 .

更に、油路ＬＬにおける油圧（元圧）の設定に際して、各電動モータ３４，３５をポンプ部３０ｐすなわちインナーギヤ３２に要求される回転数よりも高い回転数で回転させることが可能となるので、ポンプ部３０ｐと各電動モータ３４，３５とを効率よく作動させることができる。すなわち、出力を保ったまま電動モータを小型化した場合、一般に当該電動モータを効率よく作動させる回転数が高くなるのに対して、ポンプ部３０ｐを効率よく作動させる回転数は、小型かつ高出力の電動モータを効率よく作動させる回転数よりも低くなる。従って、減速伝達機構３６を介して２つの電動モータ３４，３５をポンプ部３０ｐ（インナーギヤ３２）に連結することで、小型かつ高出力化の電動モータ３４，３５を用いて電動ポンプ３０のサイズアップを抑制すると共に、当該電動ポンプ３０の効率を向上させることができる。 Furthermore, when setting the hydraulic pressure (original pressure) in the oil passage LL, it is possible to rotate the electric motors 34 and 35 at a higher rotational speed than the pump portion 30p, that is, the inner gear 32. The pump portion 30p and the electric motors 34, 35 can be operated efficiently. That is, when the electric motor is downsized while maintaining its output, the number of rotations for efficiently operating the electric motor generally increases, whereas the number of rotations for efficiently operating the pump portion 30p is small and has high output. lower than the number of revolutions required to efficiently operate the electric motor. Therefore, by connecting the two electric motors 34 and 35 to the pump portion 30p (inner gear 32) via the speed reduction transmission mechanism 36, the size of the electric pump 30 can be reduced by using the electric motors 34 and 35 which are small and have high output. It is possible to suppress the rise and improve the efficiency of the electric pump 30 .

この結果、電動ポンプ３０によれば、サイズアップを抑制しつつ、ロボットアーム２（ロボット装置１）を駆動する複数の流体アクチュエータ（人工筋肉）Ｍ１－Ｍ６に要求に応じた圧力の作動油を効率よく安定に供給することが可能となり、ロボット装置１の動作の安定性や信頼性をより向上させることができる。加えて、電動ポンプ３０では、２つの電動モータ３４，３５の一方が失陥したとしても、電動モータ３４，３５の他方を作動させて複数の流体アクチュエータ（人工筋肉）Ｍ１－Ｍ６に作動油を継続して供給し、ロボットアーム２を安全に待機姿勢まで戻すことが可能となる。 As a result, according to the electric pump 30, while suppressing an increase in size, the plurality of fluid actuators (artificial muscles) M1 to M6 that drive the robot arm 2 (robot apparatus 1) can efficiently supply hydraulic oil at a pressure that meets the requirements. It is possible to stably supply the fuel, and the stability and reliability of the operation of the robot apparatus 1 can be further improved. In addition, in the electric pump 30, even if one of the two electric motors 34, 35 fails, the other of the electric motors 34, 35 is operated to supply hydraulic fluid to the plurality of fluid actuators (artificial muscles) M1-M6. The robot arm 2 can be safely returned to the standby posture by continuously supplying the liquid.

また、２つの電動モータ３４，３５は、減速伝達機構３６を介してインナーギヤ３２（ポンプ部３０ｐ）に連結されるアウターロータ３４ｒ，３５ｒと、アウターロータ３４ｒ，３５ｒ内に配置されるインナーステータ３４ｓ，３５ｓとをそれぞれ含む。かかるアウターロータ型の電動モータ３４，３５では、インナーロータ型の電動モータに比べて、出力密度を大きくすると共に低回数域における効率を向上させることができる。従って、当該電動モータ３４，３５および減速伝達機構３６のコンパクト化すなわちドライブギヤ３７やドリブンギヤ３８の小径化を図って電動ポンプ３０をより小型化することが可能となる。加えて、アウターロータ型の電動モータ３４，３５は冷却性に優れるものであり、冷却ファン３９により電動モータ３４，３５を冷却することで、電動ポンプ３０を継続して安定に作動させることができる。 The two electric motors 34, 35 are composed of outer rotors 34r, 35r connected to the inner gear 32 (pump portion 30p) via a speed reduction transmission mechanism 36, and an inner stator 34s disposed within the outer rotors 34r, 35r. , 35s, respectively. In the outer rotor type electric motors 34 and 35, the output density can be increased and the efficiency in the low speed range can be improved as compared with the inner rotor type electric motor. Therefore, the electric pump 30 can be further miniaturized by miniaturizing the electric motors 34 and 35 and the reduction transmission mechanism 36, that is, by reducing the diameters of the drive gear 37 and the driven gear 38. FIG. In addition, the outer rotor type electric motors 34 and 35 are excellent in cooling performance, and by cooling the electric motors 34 and 35 with the cooling fan 39, the electric pump 30 can be continuously and stably operated. .

更に、上記実施形態において、２つの電動モータ３４，３５は、互いに同一の諸元を有する。また、減速伝達機構３６は、それぞれ対応する電動モータ３４，３５に連結される２つのドライブギヤ３７と、２つのドライブギヤ３７に噛合すると共にインナーギヤ３２（ポンプ部３０ｐ）に連結されるドリブンギヤ３８とを含む。更に、２つのドライブギヤ３７およびドリブンギヤ３８は、何れもはすば歯車である。これにより、各ドライブギヤ３７とドリブンギヤ３８との同時に噛み合う歯数を増やすことができるので、ドライブギヤ３７およびドリブンギヤ３８を小型化（小径化あるいは薄肉化）して減速伝達機構３６をよりコンパクトにすることが可能となる。 Furthermore, in the above embodiment, the two electric motors 34, 35 have the same specifications. The speed reduction transmission mechanism 36 also includes two drive gears 37 connected to the corresponding electric motors 34 and 35, and a driven gear 38 that meshes with the two drive gears 37 and is connected to the inner gear 32 (pump portion 30p). including. Furthermore, the two drive gears 37 and the driven gear 38 are both helical gears. As a result, it is possible to increase the number of teeth of each drive gear 37 and driven gear 38 that mesh with each other at the same time. becomes possible.

また、電動ポンプ３０のポンプ部３０ｐは、吸入口３０ｉおよび吐出口３０ｏを有するポンプハウジング３１ｐと、複数の外歯を有すると共に減速伝達機構３６に連結されるインナーギヤ３２と、それぞれインナーギヤ３２の外歯に噛合可能な複数の内歯を有するアウターギヤ３３とを含む。これにより、ポンプ部３０ｐの効率が良好に確保され得る回転数域を拡げることができるので、電動ポンプ３０の効率をより向上させることが可能となる。 A pump portion 30p of the electric pump 30 includes a pump housing 31p having a suction port 30i and a discharge port 30o; and an outer gear 33 having a plurality of internal teeth that can mesh with the external teeth. As a result, it is possible to expand the rotation speed range in which the efficiency of the pump portion 30p can be satisfactorily ensured, so that the efficiency of the electric pump 30 can be further improved.

なお、電動ポンプ３０を作動させる際には、必ずしも２つの電動モータ３４，３５の双方を常時作動させる必要はなく、ロボット装置１の状態等に応じて２つの電動モータ３４，３５の一方のみを作動させてもよい。例えば、油路ＬＬにおける油圧（元圧）が待機圧Ｐｓｔに設定される際には、２つの電動モータ３４，３５の一方のみを作動させてもよい。また、ロボット装置１の始動に応じて油路ＬＬにおける油圧（元圧）を待機圧Ｐｓｔに設定する際に、２つの電動モータ３４，３５が交互に使用されてもよい。 When operating the electric pump 30, it is not always necessary to operate both the two electric motors 34 and 35 all the time. may be activated. For example, only one of the two electric motors 34 and 35 may be operated when the hydraulic pressure (original pressure) in the oil passage LL is set to the standby pressure Pst. Further, when the hydraulic pressure (original pressure) in the oil passage LL is set to the standby pressure Pst in accordance with the startup of the robot device 1, the two electric motors 34 and 35 may be alternately used.

更に、流体供給装置１０において、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６の少なくとも何れか１つは、常開弁であってもよい。この場合、当該常開弁は、電磁部からの推力および当該電磁部からの推力と同方向に作用するようにフィードバックポートに供給された液圧による推力を、スプリングの付勢力とバランスさせるものであってもよい。また、リニアソレノイドバルブ１５１－１５６の少なくとも何れか１つは、専用のフィードバックポートをもたず、スプールを収容するスリーブの内側で出力圧（駆動圧）をフィードバック圧としてスプールに作用させるように構成されたものであってもよい（例えば、特開２０２０－４１６８７号公報参照）。同様に、コントロールバルブ１６も、出力圧（駆動圧）をスプールの内部でフィードバック圧として当該スプールに作用させるように構成されたものであってもよい。更に、流体供給装置１０において、コントロールバルブ１６が省略されてもよく、流体アクチュエータＭ１にリニアソレノイドバルブ１５１から油圧（駆動圧）が供給されてもよい。 Furthermore, in the fluid supply device 10, at least one of the linear solenoid valves 151-156 may be a normally open valve. In this case, the normally open valve balances the thrust from the electromagnetic section and the thrust from the hydraulic pressure supplied to the feedback port so as to act in the same direction as the thrust from the electromagnetic section with the biasing force of the spring. There may be. In addition, at least one of the linear solenoid valves 151-156 does not have a dedicated feedback port, and is configured so that the output pressure (driving pressure) acts on the spool as feedback pressure inside the sleeve that accommodates the spool. (See, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2020-41687). Similarly, the control valve 16 may also be configured so that the output pressure (driving pressure) acts on the spool as feedback pressure inside the spool. Furthermore, in the fluid supply device 10, the control valve 16 may be omitted, and hydraulic pressure (driving pressure) may be supplied from the linear solenoid valve 151 to the fluid actuator M1.

また、流体供給装置１０は、流体調整バルブ（流体調整部）として、例えば圧力センサにより検出される液圧（流体圧）が要求に応じた圧力になるように流体アクチュエータＭ１－Ｍ６への液体（流体）の流量を制御する流量制御弁を含むものであってもよい。そして、流体供給装置１０は、水等の作動油以外の液体を流体アクチュエータＭ１－Ｍ６に供給するものであってもよい。 In addition, the fluid supply device 10 functions as a fluid adjustment valve (fluid adjustment unit) to supply the fluid (fluid pressure) to the fluid actuators M1 to M6 so that the fluid pressure (fluid pressure) detected by a pressure sensor, for example, becomes the pressure required. It may also include a flow control valve that controls the flow rate of the fluid). The fluid supply device 10 may supply liquid other than hydraulic oil, such as water, to the fluid actuators M1-M6.

更に、ロボット装置１は、関節を１つだけ含むものであってもよく、人工筋肉としての流体アクチュエータを１つまたは２つだけ含むものであってもよい。また、ロボット装置１は、少なくとも１つの流体アクチュエータＭ１等とハンド部４とを有するロボットアーム２を含むものに限られず、少なくとも１つの流体アクチュエータと、例えばドリルビット等の工具や例えばスイッチ等を押圧する押圧部材といったハンド部４以外の要素が手先に取り付けられたロボットアームとを含むものであってもよい。更に、ロボット装置１は、歩行ロボットや、ウェアラブルロボット等であってもよい。 Furthermore, the robot apparatus 1 may include only one joint, or may include only one or two fluid actuators as artificial muscles. Further, the robot device 1 is not limited to one including the robot arm 2 having at least one fluid actuator M1 or the like and the hand portion 4, and at least one fluid actuator and a tool such as a drill bit or a switch can be pressed. It may also include a robot arm to which elements other than the hand unit 4, such as a pressing member, are attached to the hand. Furthermore, the robot device 1 may be a walking robot, a wearable robot, or the like.

また、ロボット装置１のロボットアーム２は、アーム３を駆動する流体アクチュエータとして揺動モータ（例えば、ハンド部４の根元（手首部）を回転させる揺動モータ）を含むものであってもよい。すなわち、ロボット装置１のロボット本体は、人工筋肉としての流体アクチュエータと揺動モータとの少なくとも何れか１つを含むものであってもよい。更に、ロボット装置１のロボットアーム２は、流体アクチュエータとして油圧シリンダ等の液圧シリンダを含むものであってもよい。また、関節Ｊ１－Ｊ３を介して連結された２つのアーム３等のすべてに必ずしも対をなす複数の流体アクチュエータ（人工筋肉）Ｍが設けられる必要はなく、何れか１組の２つのアーム３等に、１つまたは複数の流体アクチュエータと、当該流体アクチュエータと拮抗するように配置されるスプリングやゴム材等の弾性体とが連結されてもよい。加えて、ロボット装置１において、タンク１１がロボットアーム２といったロボット本体により支持されてもよい。 Further, the robot arm 2 of the robot device 1 may include a swing motor (for example, a swing motor that rotates the base (wrist) of the hand portion 4) as a fluid actuator that drives the arm 3. FIG. That is, the robot main body of the robot apparatus 1 may include at least one of a fluid actuator as an artificial muscle and a swing motor. Furthermore, the robot arm 2 of the robot device 1 may include a hydraulic cylinder such as a hydraulic cylinder as a fluid actuator. Further, it is not always necessary to provide a plurality of pairs of fluid actuators (artificial muscles) M for all of the two arms 3 etc. connected via the joints J1-J3. Alternatively, one or more fluid actuators may be connected to an elastic body such as a spring or rubber material arranged to oppose the fluid actuators. Additionally, in the robot device 1 , the tank 11 may be supported by a robot body such as the robot arm 2 .

更に、上記実施形態において、人工筋肉としての流体アクチュエータＭ１－Ｍ６は、内部に作動油が供給されると共に当該内部の油圧の上昇に応じて径方向に膨張しながら軸方向に収縮するチューブＴと、当該チューブＴを覆う編組スリーブＳとを含むマッキベン型の人工筋肉であるが、ロボット装置１における流体アクチュエータＭ１－Ｍ６の構成は、これに限られるものではない。すなわち、流体アクチュエータＭ１－Ｍ６は、流体が供給された際に径方向に膨張しながら軸方向に収縮するチューブを含むものであればよく、例えば弾性体により形成された内側筒状部材と、弾性体により形成されると共に内側筒状部材の外側に同軸に配置され外側筒状部材と、内側筒状部材と外側筒状部材との間に配置された繊維層とを含む軸方向繊維強化型の流体アクチュエータ（例えば、特開２０１１－１３７５１６号参照）であってもよい。 Furthermore, in the above embodiment, the fluid actuators M1-M6 as artificial muscles are provided with a tube T that radially expands and axially contracts in response to an increase in the hydraulic pressure inside the fluid actuators M1 to M6 supplied with hydraulic oil. , and a braided sleeve S covering the tube T, the configuration of the fluid actuators M1 to M6 in the robot apparatus 1 is not limited to this. That is, the fluid actuators M1 to M6 may include a tube that expands in the radial direction and contracts in the axial direction when supplied with fluid. Axial fiber reinforced axial fiber reinforced body comprising an outer tubular member formed by a body and coaxially disposed outside the inner tubular member; and a fiber layer disposed between the inner tubular member and the outer tubular member. It may be a fluid actuator (see, for example, JP-A-2011-137516).

また、本開示の発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の外延の範囲内において様々な変更をなし得ることはいうまでもない。更に、上記実施形態は、あくまで発明の概要の欄に記載された発明の具体的な一形態に過ぎず、発明の概要の欄に記載された発明の要素を限定するものではない。 Further, the invention of the present disclosure is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made within the scope of the present disclosure. Furthermore, the above-described embodiment is merely one specific form of the invention described in the Summary of the Invention column, and does not limit the elements of the invention described in the Summary of the Invention column.

本開示の発明は、液体の供給を受けて作動すると共にロボット装置を駆動する人工筋肉に当該液体を圧送する電動ポンプの製造産業等において利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The invention of the present disclosure can be used in, for example, the manufacturing industry of an electric pump that operates by receiving a supply of liquid and pumps the liquid to an artificial muscle that drives a robot device.

１ロボット装置、２ロボットアーム、３アーム、５支持部材、１０流体供給装置、１１タンク、１４アキュムレータ、１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６リニアソレノイドバルブ、１６コントロールバルブ、３０電動ポンプ、３０ｉ吸入口、３０ｏ吐出口、３０ｐポンプ部、３２インナーギヤ、３３アウターギヤ、３４，３５電動モータ、３４ｒ，３５ｒアウターロータ、３４ｓ，３５ｓインナーステータ、３６減速伝達機構、３７ドライブギヤ、３８ドリブンギヤ、Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３関節、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６流体アクチュエータ（人工筋肉）。 1 robot device, 2 robot arm, 3 arm, 5 support member, 10 fluid supply device, 11 tank, 14 accumulator, 151, 152, 153, 154, 155, 156 linear solenoid valve, 16 control valve, 30 electric pump, 30i Intake port 30o Discharge port 30p Pump section 32 Inner gear 33 Outer gear 34, 35 Electric motor 34r, 35r Outer rotor 34s, 35s Inner stator 36 Reduction transmission mechanism 37 Drive gear 38 Driven gear J1 , J2, J3 joints, M1, M2, M3, M4, M5, M6 fluid actuators (artificial muscles).

Claims

In an electric pump that operates by receiving a liquid supply and pumps the liquid to an artificial muscle that drives a robot device,
a pump unit for sucking and discharging the liquid;
two electric motors;
and a deceleration transmission mechanism for decelerating power from the two electric motors and transmitting the power to the pump unit.

The electric pump according to claim 1,
The two electric motors each include an outer rotor connected to the pump section via the speed reduction transmission mechanism, and an inner stator arranged in the outer rotor.

The electric pump according to claim 1 or 2,
the two electric motors have the same specifications,
The reduction transmission mechanism includes two drive gears connected to the corresponding electric motors, and a driven gear that meshes with the two drive gears and is connected to the pump unit,
The electric pump, wherein the two drive gears and the driven gear are both helical gears.

In the electric pump according to any one of claims 1 to 3,
The pump section includes an inner gear having a plurality of external teeth and connected to the reduction transmission mechanism, and an outer gear having a plurality of internal teeth that can mesh with the external teeth of the inner gear.

In the electric pump according to any one of claims 1 to 4,
The robot apparatus is an electric pump including a plurality of joints, a plurality of links, and a plurality of the artificial muscles that relatively rotate the corresponding two links that are connected via the joints.