JP2022129764A - Optical semiconductor element encapsulation sheet - Google Patents

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Abstract

To provide an optical semiconductor element encapsulation sheet with excellent encapsulation properties of an optical semiconductor element, being less likely to occur a loss of a sheet and adhesion of sheets of adjacent optical semiconductor devices when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other.SOLUTION: An optical semiconductor element encapsulation sheet 1 is a sheet for encapsulating one or more optical semiconductor elements 6 arranged on a substrate 5. The optical semiconductor element encapsulation sheet 1 comprises a base material part 2, and an encapsulation part 3 provided on one surface of the base material part 2. The encapsulation part 3 encapsulates the optical semiconductor elements 6, having a radiation non-curable adhesive layer 32 and a radiation curable resin layer 31. The radiation curable resin layer 31 contains a polymer having a radiation polymerizable functional group.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光半導体素子封止用シートに関する。より具体的には、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a sheet for optical semiconductor element encapsulation. More specifically, it relates to a sheet for sealing one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate.

例えば液晶表示装置に使用されるバックライトは、基板上に複数のLEDが配置されており、上記複数のLEDが封止樹脂により封止された構造を有するものが知られている。上記封止樹脂を用いて上記複数のLEDを一括して封止する方法としては、複数のLEDが配置された領域に液状樹脂を流し込み、上記複数のLEDを埋没させた後、熱や紫外線照射により液状樹脂を硬化する方法が知られている(例えば特許文献1参照)。 For example, backlights used in liquid crystal display devices are known to have a structure in which a plurality of LEDs are arranged on a substrate and the plurality of LEDs are sealed with a sealing resin. As a method for collectively sealing the plurality of LEDs using the sealing resin, a liquid resin is poured into the region where the plurality of LEDs are arranged, and the plurality of LEDs are buried, and then heat or ultraviolet irradiation is performed. A method of curing a liquid resin is known (see, for example, Patent Document 1).

特開2017-66390号公報JP 2017-66390 A

しかしながら、液状樹脂を用いてLEDなどの光半導体素子を封止する方法では、液状樹脂を塗布する際に液だれが起こる、意図しない領域に液状樹脂が付着するなど、取り扱い性に劣るという問題があった。 However, in the method of encapsulating an optical semiconductor element such as an LED using a liquid resin, there are problems such as dripping when the liquid resin is applied and the liquid resin adhering to unintended areas, resulting in poor handling. there were.

これに対し、液状樹脂を用いるのではなく、光半導体素子を封止するための封止層を備える封止用シートの形式とすることで、容易であり、簡易な工程且つ短時間で光半導体素子を封止することが考えられる。ここで、上記封止用シートは、光半導体素子の封止性に優れ、光半導体素子を充分に封止すべく、光半導体素子や、光半導体素子を備える基板に対する密着性に優れることが重要である。 On the other hand, instead of using a liquid resin, by adopting the form of a sealing sheet provided with a sealing layer for sealing the optical semiconductor element, it is easy and simple to manufacture the optical semiconductor in a short time. It is conceivable to seal the device. Here, it is important that the sheet for encapsulation has excellent sealing properties of the optical semiconductor element and excellent adhesion to the optical semiconductor element or the substrate provided with the optical semiconductor element in order to sufficiently seal the optical semiconductor element. is.

ところで、4K、8Kなどの高画質化に伴い、より大画面の画像表示装置の需要が伸びている。また、屋外、公共施設等における広告表示や掲示板などのサイネージへの大画面の画像表示装置の利用も進んでいる。しかしながら、大画面の画像表示装置を製造すると歩留まりが低下し、製造コストが上昇するという問題が生じる。大画面画像表示装置をより低コストで製造するために、画像表示装置等の光半導体装置を複数、タイル状に並べる、タイリングディスプレイが検討されている。複数の光半導体装置をタイル状に並べる、すなわちタイリングの際、隣接して配置された光半導体装置同士で位置ずれなどが起こった場合や並び替えが必要となった場合に位置修正が行われる。 By the way, with the improvement of image quality such as 4K and 8K, the demand for image display devices with larger screens is increasing. In addition, the use of large-screen image display devices for signage such as advertisement displays and bulletin boards in outdoors and public facilities is also progressing. However, when a large-screen image display device is manufactured, there arises a problem that the yield is lowered and the manufacturing cost is increased. BACKGROUND ART In order to manufacture a large-screen image display device at a lower cost, a tiling display, in which a plurality of optical semiconductor devices such as an image display device are arranged in tiles, has been studied. When a plurality of optical semiconductor devices are arranged in a tiled manner, that is, when tiling, positional correction is performed when the adjacent optical semiconductor devices are misaligned or need to be rearranged. .

ここで、封止用シートにより光半導体素子が封止された状態の光半導体装置をタイリングする場合において、タイリング時に位置修正をするために隣接する光半導体装置を一旦引き離す必要がある。しかしながら、引き離す際、一方の光半導体装置における封止用シートと隣接する他方の光半導体装置における封止用シートとが密着して引き合い、一方の光半導体装置における封止用シートに欠損が生じる、他方の光半導体装置に一方の封止用シートの一部が転写して付着するといった不具合が生じる場合がある。光半導体素子や基板に対し密着性に優れる封止用シートは、このような不具合が特に生じやすい。 Here, when tiling the optical semiconductor devices in which the optical semiconductor element is sealed with the sealing sheet, it is necessary to temporarily separate the adjacent optical semiconductor devices in order to correct the position during tiling. However, when separating, the encapsulating sheet in one optical semiconductor device and the encapsulating sheet in the other adjacent optical semiconductor device are in close contact with each other, causing damage to the encapsulating sheet in one optical semiconductor device. There may be a problem that a part of one encapsulating sheet is transferred and attached to the other optical semiconductor device. Such defects are particularly likely to occur in the encapsulating sheet, which has excellent adhesion to optical semiconductor elements and substrates.

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、その目的は、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい光半導体素子封止用シートを提供することにある。 The present invention has been devised under such circumstances, and an object of the present invention is to provide excellent encapsulation properties for optical semiconductor elements, and to prevent sheet damage and damage when separating adjacent optical semiconductor devices from each other. To provide a sheet for encapsulating an optical semiconductor element to which the sheet of an adjacent optical semiconductor device hardly adheres.

本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、放射線非硬化性粘着剤層と放射線硬化性樹脂層とを有する封止部を備え、放射線硬化性樹脂層が放射線重合性官能基を有するポリマーを含有する光半導体素子封止用シートによれば、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくいことを見出した。本発明は、これらの知見に基づいて完成されたものである。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that a sealing portion having a non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer and a radiation-curable resin layer is provided, and the radiation-curable resin layer comprises a radiation-polymerizable functional group. According to the optical semiconductor element encapsulating sheet containing a polymer having a superior sealing property of the optical semiconductor element, when separating the adjacent optical semiconductor devices, the sheet is damaged or the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are separated. It was found that adhesion hardly occurs. The present invention has been completed based on these findings.

すなわち、本発明は、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
基材部と、上記基材部の一方の面に設けられた、上記光半導体素子を封止するための封止部とを備え、
上記封止部は、放射線非硬化性粘着剤層および放射線硬化性樹脂層を有し、
上記放射線硬化性樹脂層は、放射線重合性官能基を有するポリマーを含有する、光半導体素子封止用シートを提供する。
That is, the present invention provides a sheet for sealing one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate,
A base member, and a sealing portion provided on one surface of the base member for encapsulating the optical semiconductor element,
The sealing portion has a radiation non-curable adhesive layer and a radiation curable resin layer,
The radiation-curable resin layer provides a sheet for optical semiconductor element encapsulation containing a polymer having a radiation-polymerizable functional group.

上記光半導体素子封止用シートは、上述のように、放射線非硬化性粘着剤層と放射線硬化性樹脂層とが積層した封止部を備える。上記封止部は、上記光半導体素子封止用シートにおいて、光半導体素子を封止する領域である。そして、上記放射線硬化性樹脂層は、放射線重合性官能基を有するポリマーを含有する。放射線硬化性樹脂層中に存在する上記放射線重合性官能基を有するポリマーは、放射線硬化性樹脂層から当該層に積層した放射線非硬化性粘着剤層へ移行しにくい。このため、光半導体素子の封止後において放射線照射を行った際、放射線硬化性樹脂層は充分に硬化して封止用シート側面の密着性が低下し、そして放射線非硬化性粘着剤層は意図しない硬化が抑制されることで粘着力が低下しにくく、本来の密着性を発揮することができ、光半導体素子の封止性に優れる。これにより、光半導体素子の封止性に優れると同時に、タイリング状態において隣接する光半導体装置における封止部の側面同士の密着性が低く、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、光半導体装置側面におけるシートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。また、上記基材部は、上記封止部の支持体となり、上記基材部を備えることにより上記光半導体素子封止用シートは取り扱い性に優れる。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきを抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 The sheet for encapsulating an optical semiconductor element includes, as described above, a sealing portion in which a non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer and a radiation-curable resin layer are laminated. The said sealing part is an area|region which seals an optical-semiconductor element in the said sheet|seat for optical-semiconductor element sealing. The radiation-curable resin layer contains a polymer having a radiation-polymerizable functional group. The polymer having the radiation-polymerizable functional group present in the radiation-curable resin layer hardly migrates from the radiation-curable resin layer to the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer laminated thereon. Therefore, when the radiation is irradiated after sealing the optical semiconductor element, the radiation curable resin layer is sufficiently cured, the adhesion of the side surface of the sealing sheet is reduced, and the radiation non-curable adhesive layer is By suppressing unintended curing, the adhesive strength is less likely to decrease, the original adhesiveness can be exhibited, and the encapsulation of the optical semiconductor element is excellent. As a result, the sealing property of the optical semiconductor element is excellent, and at the same time, the adhesion between the side surfaces of the sealing portions of the adjacent optical semiconductor devices in the tiling state is low, and when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the optical semiconductor device Damage to the sheet on the side surface and adhesion of the sheet of the adjacent optical semiconductor device are less likely to occur. Moreover, the said base material part becomes a support body of the said sealing part, and by providing the said base material part, the said sheet|seat for optical-semiconductor element sealing is excellent in handleability. In addition, when dicing the optical semiconductor device after sealing the optical semiconductor element with the sheet for optical semiconductor element encapsulation to produce an optical semiconductor device, stickiness of the diced portion can be suppressed, and an optical semiconductor device having a good appearance can be produced. .

上記放射線硬化性樹脂層は上記放射線非硬化性粘着剤層よりも厚いことが好ましい。このような構成を有することにより、タイリング状態において隣接する光半導体装置における放射線非硬化性粘着剤層同士の高い密着性よりも、隣接する光半導体装置における放射線硬化性樹脂層の硬化後の低い密着性が支配的となるため、封止部同士の密着性がよりいっそう低く、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをよりいっそう抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 The radiation curable resin layer is preferably thicker than the radiation non-curable adhesive layer. By having such a configuration, the adhesion after curing of the radiation curable resin layers in the adjacent optical semiconductor devices is lower than the high adhesion between the radiation non-curable adhesive layers in the adjacent optical semiconductor devices in the tiling state. Since the adhesiveness is dominant, the adhesiveness between the sealing portions is even lower, and when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the damage of the sheet and adhesion of the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are much less likely to occur. Further, when dicing the optical semiconductor device after sealing the optical semiconductor element with the optical semiconductor element encapsulating sheet, stickiness of the diced portion can be further suppressed, and an optical semiconductor device having a good appearance can be produced. can be done.

上記封止部は着色剤を含む層を含んでいてもよい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、光半導体装置の使用時においては各光半導体素子が発する光の混色を抑制し、光半導体装置の不使用時においてはディスプレイの見栄えを調整することができる。 The sealing portion may include a layer containing a coloring agent. By having such a configuration, when the optical semiconductor device is applied to a display by tiling, color mixing of light emitted from each optical semiconductor element is suppressed when the optical semiconductor device is used, and the optical semiconductor device is improved. The appearance of the display can be adjusted when not in use.

上記光半導体素子封止用シートは、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、ディスプレイの光沢や光の反射を抑制し、ディスプレイの見栄えを良くすることができる。 The sheet for encapsulating optical semiconductor elements preferably comprises a layer having antiglare properties and/or antireflection properties. By having such a configuration, when the optical semiconductor device is applied to a display by tiling, glossiness and light reflection of the display can be suppressed, and the appearance of the display can be improved.

上記光半導体素子封止用シートは、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体素子封止用シートは耐熱性に優れ、高温環境下において光半導体素子封止用シートの熱膨張が抑制でき、寸法安定性が向上する。また、シートとしての剛性を付与することができるため、取り扱い性や保持性が向上する。 The optical semiconductor element encapsulating sheet preferably has a layer containing a polyester-based resin and/or a polyimide-based resin as a main component. By having such a structure, the sheet for optical semiconductor element encapsulation has excellent heat resistance, the thermal expansion of the sheet for optical semiconductor element encapsulation can be suppressed in a high temperature environment, and the dimensional stability is improved. In addition, since rigidity as a sheet can be imparted, handleability and holdability are improved.

上記放射線硬化性樹脂層の硬化後断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さは1.4MPa以上であることが好ましい。このような構成を有することにより、上記放射線硬化性樹脂層は硬化後において適度な硬さを有することとなり、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。 It is preferable that the cross section of the radiation-curable resin layer after curing has a hardness of 1.4 MPa or more by a nanoindentation method at a temperature of 23°C. With such a configuration, the radiation-curable resin layer has an appropriate hardness after curing, and when the adjacent optical semiconductor devices are separated in a tiling state, damage to the sheet or damage to the adjacent optical semiconductor devices may occur. Sticking of the sheets of the device is much less likely.

また、本発明は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートの上記放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える光半導体装置を提供する。このような光半導体装置は、上記放射線硬化性樹脂の硬化後において、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。また、ダイシングする際、ダイシング部分のべとつきを抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 Further, the present invention provides a substrate, an optical semiconductor element arranged on the substrate, and a cured product obtained by curing the radiation-curable resin layer of the optical semiconductor element encapsulating sheet for encapsulating the optical semiconductor element. to provide an optical semiconductor device comprising: In such an optical semiconductor device, when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other after the radiation-curable resin is cured, the sheets are less likely to be damaged or the sheets of the adjacent optical semiconductor devices to adhere to each other. Moreover, when dicing, stickiness of the diced portion can be suppressed, and an optical semiconductor device with a good appearance can be manufactured.

上記光半導体装置は液晶画面のバックライトであってもよい。また、上記光半導体装置は自発光型表示装置であってもよい。上記光半導体装置は、ディスプレイを有する光半導体装置に適用した際に見栄えが良いため、液晶画面のバックライトや自発光型表示装置として好ましく適用される。 The optical semiconductor device may be a backlight for a liquid crystal screen. Further, the optical semiconductor device may be a self-luminous display device. Since the optical semiconductor device has a good appearance when applied to an optical semiconductor device having a display, it is preferably applied as a backlight for a liquid crystal screen or a self-luminous display device.

また、本発明は、上記バックライトと表示パネルとを備える画像表示装置を提供する。 The present invention also provides an image display device comprising the above backlight and a display panel.

また、本発明は、上記自発光型表示装置を備える画像表示装置を提供する。 Further, the present invention provides an image display device including the self-luminous display device.

本発明の光半導体素子封止用シートによれば、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。このため、光半導体装置のタイリング後において、隣接する光半導体装置同士で位置ずれなどが起こった場合や並び替えが必要となった場合に不具合なく容易に位置修正を行うことができ、光半導体装置の損失を軽減でき、また見栄えが良いディスプレイを経済的に優れつつ製造することができる。 According to the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention, although the sealing property of the optical semiconductor element is excellent, when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, damage of the sheet and adhesion of the sheet of the adjacent optical semiconductor device occur. Hateful. Therefore, after the tiling of the optical semiconductor devices, if the positions of the adjacent optical semiconductor devices are misaligned or if rearrangement is necessary, the positions can be easily corrected without problems. Device loss can be reduced, and a good-looking display can be manufactured economically.

本発明の一実施形態に係る光半導体素子封止用シートの断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing of the sheet|seat for optical-semiconductor element sealing which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る光半導体素子封止用シートを用いた光半導体装置の断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing of the optical semiconductor device using the sheet|seat for optical-semiconductor element sealing which concerns on one Embodiment of this invention. 図2に示す光半導体装置がタイリングして作製された光半導体装置の一実施形態を示す外観図である。FIG. 3 is an external view showing an embodiment of an optical semiconductor device produced by tiling the optical semiconductor devices shown in FIG. 2 ; 光半導体装置の製造方法の一実施形態における封止工程の様子を示す断面図を表す。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state of a sealing step in one embodiment of a method for manufacturing an optical semiconductor device; 図4に示す封止工程後に得られる積層体を示す断面図を表す。FIG. 5 represents a cross-sectional view showing the laminate obtained after the sealing step shown in FIG. 4 ; 図5に示す積層体に放射線照射工程を実施して得られる積層体を示す断面図を表す。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a laminate obtained by subjecting the laminate shown in FIG. 5 to a radiation irradiation step; 図6に示す積層体のダイシング工程におけるダイシング位置を示す断面図を表す。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a dicing position in a dicing step of the laminate shown in FIG. 6;

[光半導体素子封止用シート]
本発明の光半導体素子封止用シートは、基材部と、上記基材部の一方の面に設けられた、光半導体素子を封止するための封止部とを少なくとも備える。なお、本明細書において、光半導体素子封止用シートとは、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートをいうものとする。また、本明細書において、「光半導体素子を封止する」とは、光半導体素子の少なくとも一部を封止部内に埋め込むことをいう。
[Sheet for optical semiconductor element encapsulation]
The sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention includes at least a substrate portion and a sealing portion provided on one surface of the substrate portion for sealing the optical semiconductor element. In this specification, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements refers to a sheet for encapsulating one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate. Moreover, in this specification, "encapsulating the optical semiconductor element" means embedding at least part of the optical semiconductor element in the sealing portion.

本発明の光半導体素子封止用シートは、上記基材部および上記封止部の他に、剥離ライナーを備えていてもよい。この場合、上記剥離ライナーは上記封止部の上記基材部とは反対側の表面に貼り合わせられる。剥離ライナーは上記封止部の保護材として用いられ、光半導体素子を封止する際に剥がされる。なお、剥離ライナーは必ずしも設けられなくてもよい。 The sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention may include a release liner in addition to the base member and the encapsulation portion. In this case, the release liner is attached to the surface of the sealing portion opposite to the base portion. The release liner is used as a protective material for the sealing portion, and is peeled off when sealing the optical semiconductor element. Note that the release liner does not necessarily have to be provided.

また、本発明の光半導体素子封止用シートは、上記基材部表面(上記封止部とは反対側の表面)に、表面保護フィルムを備えていてもよい。上記基材部として例えば後述の光学フィルムを用いる場合、光学フィルムを使用時まで保護することができる。なお、表面保護フィルムは必ずしも設けられなくてもよい。 In addition, the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention may have a surface protective film on the surface of the substrate portion (the surface opposite to the sealing portion). For example, when an optical film described later is used as the base material, the optical film can be protected until use. Note that the surface protective film may not necessarily be provided.

以下、本発明の光半導体素子封止用シートの一実施形態について説明する。図1は、本発明の光半導体素子封止用シートの一実施形態を示す断面図である。図1に示すように、光半導体素子封止用シート1は、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するために使用することのできるものであり、基材部2と、封止部3と、剥離ライナー4とを備える。封止部3は、基材部2の一方の面に設けられている。剥離ライナー4は、封止部3の表面(基材部2を有する側とは反対側の表面)に貼付されている。言い換えると、光半導体素子封止用シート1は、基材部2、封止部3、および剥離ライナー4をこの順に備える。基材部2は、光学フィルム21と、プラスチックフィルム23とを有する複層であり、光学フィルム21とプラスチックフィルム23とは粘着剤層22を介して貼り合わせられている。封止部3は放射線硬化性樹脂層31および放射線非硬化性粘着剤層32から構成される。 An embodiment of the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention will be described below. FIG. 1 is a cross-sectional view showing one embodiment of the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention. As shown in FIG. 1, the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 can be used for encapsulating one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate. A sealing part 3 and a release liner 4 are provided. The sealing portion 3 is provided on one surface of the base material portion 2 . The release liner 4 is attached to the surface of the sealing portion 3 (the surface opposite to the side having the base material portion 2). In other words, the sheet 1 for optical-semiconductor element encapsulation includes the substrate portion 2, the encapsulation portion 3, and the release liner 4 in this order. The base material part 2 is a multilayer having an optical film 21 and a plastic film 23 , and the optical film 21 and the plastic film 23 are bonded together with an adhesive layer 22 interposed therebetween. The sealing portion 3 is composed of a radiation curable resin layer 31 and a radiation non-curable adhesive layer 32 .

上記光半導体素子封止用シートは、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、ディスプレイの光沢や光の反射を抑制し、ディスプレイの見栄えを良くすることができる。上記アンチグレア性を有する層としてはアンチグレア処理層が挙げられる。上記反射防止性を有する層としては反射防止処理層が挙げられる。アンチグレア処理および反射防止処理は、それぞれ、公知乃至慣用の方法で実施することができる。上記アンチグレア性を有する層および上記反射防止性を有する層は、同一層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。 The sheet for encapsulating optical semiconductor elements preferably comprises a layer having antiglare properties and/or antireflection properties. By having such a configuration, when the optical semiconductor device is applied to a display by tiling, glossiness and light reflection of the display can be suppressed, and the appearance of the display can be improved. The layer having antiglare properties includes an antiglare treatment layer. Examples of the layer having antireflection properties include an antireflection treatment layer. Antiglare treatment and antireflection treatment can be carried out by known or common methods. The antiglare layer and the antireflection layer may be the same layer or different layers. The antiglare and/or antireflection layer may have only one layer, or may have two or more layers.

上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、上記基材部に含まれる層、上記封止部に含まれる層、あるいは上記基材部および上記封止部に含まれない他の層のいずれであってもよいが、上記基材部および/または上記封止部に含まれる層であることが好ましく、より好ましくは上記基材部に含まれる層である。 The antiglare and/or antireflection layer is a layer included in the substrate portion, a layer included in the sealing portion, or a layer not included in the substrate portion and the sealing portion. Although any layer may be used, it is preferably a layer contained in the base material part and/or the sealing part, and more preferably a layer contained in the base material part.

上記光半導体素子封止用シートは、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分(構成樹脂のうち最も質量割合の高い成分)とする層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体素子封止用シートは耐熱性に優れ、高温環境下において光半導体素子封止用シートの熱膨張が抑制でき、寸法安定性が向上する。また、シートとしての剛性を付与することができるため、取り扱い性や保持性が向上する。上記ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。 It is preferable that the sheet for optical semiconductor element encapsulation has a layer containing a polyester-based resin and/or a polyimide-based resin as a main component (a component having the highest mass ratio among constituent resins). By having such a structure, the sheet for optical semiconductor element encapsulation has excellent heat resistance, the thermal expansion of the sheet for optical semiconductor element encapsulation can be suppressed in a high temperature environment, and the dimensional stability is improved. In addition, since rigidity as a sheet can be imparted, handleability and holdability are improved. The layer containing the polyester-based resin and/or polyimide-based resin as a main component may have only one layer, or may have two or more layers.

上記ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層は、上記基材部に含まれる層、上記封止部に含まれる層、あるいは上記基材部および上記封止部に含まれない他の層のいずれであってもよいが、上記基材部および/または上記封止部に含まれる層であることが好ましく、より好ましくは上記基材部に含まれる層である。 The layer containing the polyester-based resin and/or the polyimide-based resin as a main component is not included in the layer included in the base material portion, the layer included in the sealing portion, or the base portion and the sealing portion. Although it may be any other layer, it is preferably a layer contained in the base material part and/or the sealing part, and more preferably a layer contained in the base material part.

<封止部>
上記封止部は、放射線照射により硬化する性質を有する樹脂層(放射線硬化性樹脂層)と、放射線照射により硬化する性質を有しない粘着剤層(放射線非硬化性粘着剤層)とを有する。
<Sealing part>
The sealing portion has a resin layer (radiation-curable resin layer) that is cured by irradiation with radiation and an adhesive layer that is not cured by radiation (non-radiation-curable adhesive layer).

(放射線硬化性樹脂層)
上記放射線硬化性樹脂層は、放射線重合性官能基を有するポリマーを少なくとも含む。放射線硬化性樹脂層中に存在する上記放射線重合性官能基を有するポリマーは、放射線硬化性樹脂層から当該層に積層した放射線非硬化性粘着剤層へ移行しにくい。このため、光半導体素子の封止後において放射線照射を行った際、放射線硬化性樹脂層は充分に硬化して封止用シート側面の密着性が低下し、そして放射線非硬化性粘着剤層は意図しない硬化が抑制されることで粘着力が低下しにくく、本来の密着性を発揮することができ、光半導体素子の封止性に優れる。これにより、光半導体素子の封止性に優れると同時に、タイリング状態において隣接する光半導体装置における封止部の側面同士の密着性が低く、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、光半導体装置側面におけるシートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。
(Radiation curable resin layer)
The radiation-curable resin layer contains at least a polymer having a radiation-polymerizable functional group. The polymer having the radiation-polymerizable functional group present in the radiation-curable resin layer hardly migrates from the radiation-curable resin layer to the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer laminated thereon. Therefore, when the radiation is irradiated after sealing the optical semiconductor element, the radiation curable resin layer is sufficiently cured, the adhesion of the side surface of the sealing sheet is reduced, and the radiation non-curable adhesive layer is By suppressing unintended curing, the adhesive strength is less likely to decrease, the original adhesiveness can be exhibited, and the encapsulation of the optical semiconductor element is excellent. As a result, the sealing property of the optical semiconductor element is excellent, and at the same time, the adhesion between the side surfaces of the sealing portions of the adjacent optical semiconductor devices in the tiling state is low, and when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the optical semiconductor device Damage to the sheet on the side surface and adhesion of the sheet of the adjacent optical semiconductor device are less likely to occur.

一方、放射線重合性を有しないポリマーをベースポリマーとして含み、且つ硬化性成分として放射線重合性を有するモノマーやオリゴマーを用いた、従来の放射線硬化性樹脂層を用いた場合、上記放射線重合性を有するモノマーやオリゴマーは積層した放射線非硬化性粘着剤層に移行しやすい。この場合、硬化性成分が減量したこのような放射線硬化性樹脂層を硬化させても、硬化が不充分となり、封止用シート側面の密着性が低下しにくく、側面のべたつきを充分に低下させることができない。また、硬化性成分が侵入した放射線非硬化性粘着剤層は、放射線照射の際に意図しない硬化が生じ、粘着力が低下して、本来の密着性を発揮することができず、光半導体素子の封止性が劣る結果となる。 On the other hand, when a conventional radiation-curable resin layer containing a non-radiation-polymerizable polymer as a base polymer and using a radiation-polymerizable monomer or oligomer as a curable component is used, the above radiation-polymerizable resin layer is used. Monomers and oligomers tend to migrate to the laminated non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer. In this case, even if such a radiation-curable resin layer with a reduced amount of the curable component is cured, the curing is insufficient, and the adhesion of the side surface of the sealing sheet is unlikely to decrease, and the stickiness of the side surface is sufficiently reduced. I can't. In addition, the non-radiation-curing pressure-sensitive adhesive layer into which the curable component has penetrated undergoes unintended curing upon exposure to radiation, resulting in a decrease in adhesive force and failure to exhibit the original adhesion, resulting in the optical semiconductor device. result in poor sealing performance.

また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきを抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。さらに、従来の放射線硬化性樹脂層を用いた場合、上記放射線重合性を有するモノマーやオリゴマーは放射線硬化性樹脂層内において相溶性が低く、硬化後において透明性が劣る。これに対し、本発明の光半導体素子封止用シートは、上記放射線硬化性樹脂層を備えるため、硬化後において透明性に優れる。 In addition, when dicing the optical semiconductor device after sealing the optical semiconductor element with the sheet for optical semiconductor element encapsulation to produce an optical semiconductor device, stickiness of the diced portion can be suppressed, and an optical semiconductor device having a good appearance can be produced. . Furthermore, when a conventional radiation-curable resin layer is used, the radiation-polymerizable monomers and oligomers have low compatibility in the radiation-curable resin layer, resulting in poor transparency after curing. On the other hand, the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention has the radiation-curable resin layer, and therefore has excellent transparency after curing.

上記放射線硬化性樹脂層は、粘着性を有する樹脂層、すなわち、放射線硬化性粘着剤層であることが好ましい。このような構成を有することにより、光半導体素子を封止する際、光半導体素子を容易に埋め込むことができ、また、放射線硬化前において基材部、放射線非硬化性粘着剤層や、光半導体素子に対する密着性に優れ、光半導体素子の封止性により優れる。上記放射線としては、例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、X線などの活性エネルギー線が挙げられる。中でも、紫外線が好ましい。 The radiation-curable resin layer is preferably an adhesive resin layer, that is, a radiation-curable adhesive layer. By having such a configuration, when encapsulating the optical semiconductor element, the optical semiconductor element can be easily embedded, and the base portion, the radiation non-curable adhesive layer, and the optical semiconductor element can be easily embedded before the radiation curing. It has excellent adhesion to the element, and is superior in the encapsulation of the optical semiconductor element. Examples of the radiation include active energy rays such as electron beams, ultraviolet rays, α rays, β rays, γ rays, and X rays. Among them, ultraviolet rays are preferred.

上記放射線硬化性樹脂層は、上記放射線重合性官能基を有するポリマーをベースポリマー(すなわち含有割合が最も高いポリマー)として含むことが好ましい。上記放射線硬化性樹脂層中の上記放射線重合性官能基を有するポリマーの含有割合は、上記放射線硬化性樹脂層の総量100質量%に対して、50質量%以上(例えば、50~100質量%)が好ましく、より好ましくは80質量%以上(例えば、80~100質量%)、さらに好ましくは90質量%以上(例えば、90~100質量%)である。上記含有割合が50質量%以上であると、放射線硬化性樹脂層の硬化性により優れ、放射線照射により側面の粘着性がより低下する。また、光半導体素子封止用シートの透明性がよりいっそう優れる。 The radiation-curable resin layer preferably contains the polymer having the radiation-polymerizable functional group as a base polymer (that is, the polymer having the highest content). The content of the polymer having a radiation-polymerizable functional group in the radiation-curable resin layer is 50% by mass or more (for example, 50 to 100% by mass) with respect to 100% by mass of the total amount of the radiation-curable resin layer. is preferred, more preferably 80% by mass or more (eg, 80 to 100% by mass), still more preferably 90% by mass or more (eg, 90 to 100% by mass). When the content is 50% by mass or more, the curability of the radiation-curable resin layer is excellent, and the adhesiveness of the side surface is further reduced by irradiation with radiation. In addition, the transparency of the optical semiconductor element encapsulating sheet is further improved.

上記放射線重合性官能基としては、エチレン性不飽和基等の炭素-炭素不飽和結合を含む基等の放射線ラジカル重合性基や、放射線カチオン重合性基などが挙げられる。上記炭素-炭素不飽和結合を含む基としては、例えば、ビニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。上記放射線カチオン重合性基としては、エポキシ基、オキセタニル基、オキソラニル基などが挙げられる。中でも、炭素-炭素不飽和結合を含む基が好ましく、より好ましくはアクリロイル基、メタクリロイル基である。上記放射線重合性官能基は、一種のみであってもよいし、二種以上であってもよい。上記放射線重合性官能基の位置は、ポリマー側鎖、ポリマー主鎖中、ポリマー主鎖末端のいずれであってもよい。 Examples of the radiation-polymerizable functional group include radiation-radical-polymerizable groups such as groups containing carbon-carbon unsaturated bonds such as ethylenically unsaturated groups, and radiation-cationically-polymerizable groups. Examples of the group containing a carbon-carbon unsaturated bond include vinyl group, propenyl group, isopropenyl group, acryloyl group and methacryloyl group. Examples of the radiation cationic polymerizable group include an epoxy group, an oxetanyl group, and an oxolanyl group. Among them, a group containing a carbon-carbon unsaturated bond is preferable, and an acryloyl group and a methacryloyl group are more preferable. The radiation-polymerizable functional group may be of one kind, or may be of two or more kinds. The position of the radiation-polymerizable functional group may be any of the side chain of the polymer, the inside of the main chain of the polymer, and the end of the main chain of the polymer.

上記放射線重合性官能基を有するポリマーは、例えば、反応性官能基(第1の官能基)を有するポリマーと、上記第1の官能基との間で反応を生じて結合を形成し得る官能基(第2の官能基)および上記放射線重合性官能基を有する化合物とを、上記放射線重合性官能基の放射線重合性を維持したまま反応させて結合させる方法により作製することができる。このため、上記放射線重合性官能基を有するポリマーは、上記第1の官能基を有するポリマーに由来する構造部と、上記第2の官能基および放射線重合性官能基を有する化合物に由来する構造部とを含むことが好ましい。 The polymer having a radiation-polymerizable functional group is, for example, a functional group capable of forming a bond by causing a reaction between a polymer having a reactive functional group (first functional group) and the first functional group. (Second functional group) and the compound having the radiation polymerizable functional group can be reacted and bonded while maintaining the radiation polymerizability of the radiation polymerizable functional group. Therefore, the polymer having a radiation-polymerizable functional group includes a structural portion derived from the polymer having the first functional group, and a structural portion derived from the compound having the second functional group and the radiation-polymerizable functional group. and preferably include

上記第1の官能基と上記第2の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基などが挙げられる。これらの中でも、反応追跡の容易さの観点から、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせ、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが好ましい。上記組み合わせは、一種のみであってもよいし、二種以上であってもよい。 Combinations of the first functional group and the second functional group include, for example, a carboxy group and an epoxy group, an epoxy group and a carboxy group, a carboxy group and an aziridyl group, an aziridyl group and a carboxy group, a hydroxy group and an isocyanate group, An isocyanate group, a hydroxy group, and the like are included. Among these, a combination of a hydroxy group and an isocyanate group, and a combination of an isocyanate group and a hydroxy group are preferred from the viewpoint of ease of reaction tracking. The combination may be of only one type, or two or more types.

上記放射線重合性官能基を有するポリマー、すなわち、上記第1の官能基を有するポリマーとしては、例えば、アクリル系ポリマー、ウレタンアクリレート系樹脂、エポキシ系樹脂、エポキシアクリレート系樹脂、オキセタン系樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂などが挙げられる。中でも、アクリル系ポリマーが好ましい。上記ポリマーは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Examples of the polymer having the radiation-polymerizable functional group, that is, the polymer having the first functional group include acrylic polymers, urethane acrylate resins, epoxy resins, epoxy acrylate resins, oxetane resins, and silicone resins. , silicone acrylic resins, polyester resins, and the like. Among them, acrylic polymers are preferred. Only one kind of the above polymer may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記アクリル系ポリマーは、ポリマーの構成単位として、アクリル系モノマー(分子中に(メタ)アクリロイル基を有するモノマー成分)に由来する構成単位を含むポリマーである。上記アクリル系ポリマーは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The above acrylic polymer is a polymer containing a structural unit derived from an acrylic monomer (a monomer component having a (meth)acryloyl group in the molecule) as a structural unit of the polymer. Only one type of the acrylic polymer may be used, or two or more types may be used.

上記アクリル系ポリマーは、(メタ)アクリル酸エステルに由来する構成単位を質量割合で最も多く含むポリマーであることが好ましい。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」および/または「メタクリル」(「アクリル」および「メタクリル」のうち、いずれか一方または両方)を表し、他も同様である。 The acrylic polymer is preferably a polymer containing the largest proportion of structural units derived from (meth)acrylic acid ester. In the present specification, "(meth)acrylic" means "acrylic" and/or "methacrylic" (one or both of "acrylic" and "methacrylic"), and the same applies to others. .

上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルにおける炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル等の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸アリールエステル等の芳香族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Examples of the (meth)acrylic acid esters include hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid esters that may have an alkoxy group. The hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester in the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester which may have an alkoxy group has a linear or branched aliphatic hydrocarbon group ( (Meth)acrylic acid alkyl esters, (meth)acrylic acid esters having an alicyclic hydrocarbon group such as (meth)acrylic acid cycloalkyl esters, (meth)acrylic acid aryl esters having an aromatic hydrocarbon group such as (meth)acrylates ) acrylic acid esters and the like. The hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester which may have an alkoxy group may be used alone or in combination of two or more.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸s-ブチル、(メタ)アクリル酸t-ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸イソペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2-エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸イソデシル、(メタ)アクリル酸ウンデシル、(メタ)アクリル酸ドデシル((メタ)アクリル酸ラウリル)、(メタ)アクリル酸トリデシル、(メタ)アクリル酸テトラデシル、(メタ)アクリル酸ペンタデシル、(メタ)アクリル酸ヘキサデシル、(メタ)アクリル酸ヘプタデシル、(メタ)アクリル酸オクタデシル、(メタ)アクリル酸ノナデシル、(メタ)アクリル酸エイコシルなどが挙げられる。 Examples of the (meth)acrylic acid alkyl ester include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, (meth)acrylate, ) isobutyl acrylate, s-butyl (meth)acrylate, t-butyl (meth)acrylate, pentyl (meth)acrylate, isopentyl (meth)acrylate, hexyl (meth)acrylate, heptyl (meth)acrylate , octyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, isooctyl (meth)acrylate, nonyl (meth)acrylate, isononyl (meth)acrylate, decyl (meth)acrylate, (meth)acrylic acid Isodecyl, undecyl (meth)acrylate, dodecyl (meth)acrylate (lauryl (meth)acrylate), tridecyl (meth)acrylate, tetradecyl (meth)acrylate, pentadecyl (meth)acrylate, (meth)acrylic acid hexadecyl, heptadecyl (meth)acrylate, octadecyl (meth)acrylate, nonadecyl (meth)acrylate, eicosyl (meth)acrylate and the like.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、中でも、炭素数が1~20(好ましくは1~14、より好ましくは2~10、さらに好ましくは2~8)の直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルが好ましい。上記炭素数が上記範囲内であると、上記アクリル系ポリマーのガラス転移温度の調整が容易であり、放射線硬化性樹脂層の粘着性をより適切なものとしやすい。 Among the (meth)acrylic acid alkyl esters, linear or branched fatty acids having 1 to 20 carbon atoms (preferably 1 to 14, more preferably 2 to 10, still more preferably 2 to 8) A (meth)acrylic acid alkyl ester having a group hydrocarbon group is preferred. When the number of carbon atoms is within the above range, the glass transition temperature of the acrylic polymer can be easily adjusted, and the adhesiveness of the radiation-curable resin layer can be made more appropriate.

上記脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸シクロペンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘプチル、(メタ)アクリル酸シクロオクチル等の一環式の脂肪族炭化水素環を有する(メタ)アクリル酸エステル;(メタ)アクリル酸イソボルニル等の二環式の脂肪族炭化水素環を有する(メタ)アクリル酸エステル;ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、トリシクロペンタニル(メタ)アクリレート、1-アダマンチル(メタ)アクリレート、2-メチル-2-アダマンチル(メタ)アクリレート、2-エチル-2-アダマンチル(メタ)アクリレート等の三環以上の脂肪族炭化水素環を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。中でも、一環式の脂肪族炭化水素環を有する(メタ)アクリル酸エステルが好ましく、より好ましくは(メタ)アクリル酸シクロヘキシルである。 Examples of (meth)acrylic acid esters having an alicyclic hydrocarbon group include cyclopentyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, cycloheptyl (meth)acrylate, cyclooctyl (meth)acrylate, and the like. (meth) acrylic acid ester having a monocyclic aliphatic hydrocarbon ring; (meth) acrylic acid ester having a bicyclic aliphatic hydrocarbon ring such as isobornyl (meth) acrylate; dicyclopentanyl (meth ) acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, tricyclopentanyl (meth) acrylate, 1-adamantyl (meth) acrylate, 2-methyl-2-adamantyl (meth) acrylate, 2-ethyl-2-adamantyl Examples thereof include (meth)acrylic acid esters having a tricyclic or higher aliphatic hydrocarbon ring such as (meth)acrylate. Among them, (meth)acrylic acid esters having a monocyclic aliphatic hydrocarbon ring are preferred, and cyclohexyl (meth)acrylate is more preferred.

上記芳香族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸フェニルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステルなどが挙げられる。 Examples of the (meth)acrylic acid ester having an aromatic hydrocarbon group include (meth)acrylic acid phenyl ester and (meth)acrylic acid benzyl ester.

アルコキシ基を有する炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、上記炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルにおける炭化水素基中の1以上の水素原子をアルコキシ基に置換したものが挙げられ、例えば、(メタ)アクリル酸の2-メトキシメチルエステル、2-メトキシエチルエステル、2-メトキシブチルエステルなどが挙げられる。 Examples of the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester having an alkoxy group include those in which one or more hydrogen atoms in the hydrocarbon group in the above hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester are substituted with an alkoxy group, Examples thereof include 2-methoxymethyl ester, 2-methoxyethyl ester and 2-methoxybutyl ester of (meth)acrylic acid.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、中でも、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルを含むことが好ましく、さらに脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルを含むことがより好ましい。この場合、放射線硬化性樹脂層の粘着性のバランスが良く、光半導体素子の封止性により優れる。 The hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester optionally having an alkoxy group includes, among others, a (meth)acrylic acid alkyl ester having a linear or branched aliphatic hydrocarbon group. is preferred, and it is more preferred to contain a (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group. In this case, the adhesion of the radiation-curable resin layer is well-balanced, and the encapsulation of the optical semiconductor element is excellent.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルによる粘着性や光半導体素子への密着性等の基本特性を放射線硬化性樹脂層において適切に発現させるためには、上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分における上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルの割合は、上記全モノマー成分の総量(100モル%)に対して、40モル%以上が好ましく、より好ましくは50モル%以上である。また、上記割合は、他のモノマー成分を共重合可能とし当該他のモノマー成分の効果を得る観点から、95モル%以下が好ましく、より好ましくは80モル%以下である。 In order to appropriately exhibit the basic properties such as adhesiveness and adhesion to optical semiconductor elements due to the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group, the radiation-curable resin layer has the following steps: The ratio of the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester which may have an alkoxy group in all the monomer components constituting the acrylic polymer having the first functional group is the total amount of all the monomer components (100 mol %), preferably 40 mol % or more, more preferably 50 mol % or more. In addition, the above ratio is preferably 95 mol % or less, more preferably 80 mol % or less, from the viewpoint of allowing the other monomer component to be copolymerized and obtaining the effect of the other monomer component.

上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分における直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルの割合は、上記全モノマー成分の総量(100モル%)に対して、30モル%以上が好ましく、より好ましくは40モル%以上である。また、上記割合は、90モル%以下が好ましく、より好ましくは70モル%以下である。 The ratio of (meth)acrylic acid alkyl ester having a linear or branched aliphatic hydrocarbon group in all monomer components constituting the acrylic polymer having the first functional group is the total amount of all the monomer components It is preferably 30 mol % or more, more preferably 40 mol % or more, relative to (100 mol %). Moreover, the above ratio is preferably 90 mol % or less, more preferably 70 mol % or less.

上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分における脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルの割合は、上記全モノマー成分の総量(100モル%)に対して、1モル%以上が好ましく、より好ましくは5モル%以上である。また、上記割合は、30モル%以下が好ましく、より好ましくは20モル%以下である。 The ratio of the (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group in all monomer components constituting the acrylic polymer having the first functional group is based on the total amount (100 mol%) of all the monomer components. , is preferably 1 mol % or more, more preferably 5 mol % or more. Moreover, the above ratio is preferably 30 mol % or less, more preferably 20 mol % or less.

上記アクリル系ポリマーは、上記第1の官能基を導入する目的や、凝集力、耐熱性等の改質を目的として、上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な他のモノマー成分に由来する構成単位を含んでいてもよい。上記他のモノマー成分としては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、窒素原子含有モノマー等の極性基含有モノマーなどが挙げられる。上記他のモノマー成分は、それぞれ、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 For the purpose of introducing the first functional group, and for the purpose of modifying the cohesive force, heat resistance, etc., the acrylic polymer is a hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid that may have the alkoxy group. It may contain structural units derived from other monomer components copolymerizable with the ester. Examples of other monomer components include polar groups such as carboxy group-containing monomers, acid anhydride monomers, hydroxyl group-containing monomers, glycidyl group-containing monomers, sulfonic acid group-containing monomers, phosphoric acid group-containing monomers, and nitrogen atom-containing monomers. Containing monomer etc. are mentioned. Only one kind of each of the other monomer components may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル(メタ)アクリレート、カルボキシペンチル(メタ)アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などが挙げられる。上記酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸などが挙げられる。 Examples of the carboxy group-containing monomer include acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl (meth)acrylate, carboxypentyl (meth)acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid. Examples of the acid anhydride monomer include maleic anhydride and itaconic anhydride.

上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸8-ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸10-ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸12-ヒドロキシラウリル、(4-ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。 Examples of the hydroxy group-containing monomer include 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth)acrylate, 8-hydroxyoctyl (meth)acrylate, 10-hydroxydecyl (meth)acrylate, 12-hydroxylauryl (meth)acrylate, (4-hydroxymethylcyclohexyl)methyl (meth)acrylate and the like.

上記グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸メチルグリシジルなどが挙げられる。 Examples of the glycidyl group-containing monomer include glycidyl (meth)acrylate and methylglycidyl (meth)acrylate.

上記スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2-(メタ)アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などが挙げられる。 Examples of the sulfonic acid group-containing monomer include styrenesulfonic acid, allylsulfonic acid, 2-(meth)acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, (meth)acrylamidopropanesulfonic acid, sulfopropyl (meth)acrylate, (meth) ) acryloyloxynaphthalenesulfonic acid and the like.

上記リン酸基含有モノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどが挙げられる。 Examples of the phosphoric acid group-containing monomer include 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate.

上記窒素原子含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリロイルモルホリン等のモルホリノ基含有モノマー、(メタ)アクリロニトリル等のシアノ基含有モノマー、(メタ)アクリルアミド等のアミド基含有モノマーなどが挙げられる。 Examples of the nitrogen atom-containing monomer include morpholino group-containing monomers such as (meth)acryloylmorpholine, cyano group-containing monomers such as (meth)acrylonitrile, and amide group-containing monomers such as (meth)acrylamide.

上記アクリル系ポリマーを構成する上記極性基含有モノマーとしてヒドロキシ基含有モノマーを含むことが好ましい。ヒドロキシ基含有モノマーを用いることで、第1の官能基の導入が容易である。また、アクリル系ポリマーおよび放射線硬化性樹脂層の耐水性に優れ、光半導体素子封止用シートは高湿度となる環境下で使用された場合であっても曇りにくく耐白化性に優れる。 It is preferable that a hydroxy group-containing monomer is included as the polar group-containing monomer constituting the acrylic polymer. Introduction of the first functional group is facilitated by using a hydroxyl group-containing monomer. In addition, the acrylic polymer and the radiation-curable resin layer have excellent water resistance, and the sheet for encapsulating optical semiconductor elements is resistant to fogging and has excellent whitening resistance even when used in a high-humidity environment.

上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチルが好ましく、より好ましくは(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチルである。 As the hydroxy group-containing monomer, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate and 4-hydroxybutyl (meth)acrylate are preferable, and 2-hydroxyethyl (meth)acrylate is more preferable.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルによる粘着性や光半導体素子への密着性等の基本特性を放射線硬化性樹脂層において適切に発現させるためには、上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分(100モル%)における、上記極性基含有モノマーの割合は、5~50モル%が好ましく、より好ましくは10~40モル%である。特に、放射線硬化性樹脂層の耐水性にもより優れる観点から、ヒドロキシ基含有モノマーの割合が上記範囲内であることが好ましい。 In order to appropriately exhibit the basic properties such as adhesiveness and adhesion to optical semiconductor elements due to the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group, the radiation-curable resin layer has the following steps: The ratio of the polar group-containing monomer in the total monomer components (100 mol%) constituting the acrylic polymer having the first functional group is preferably 5 to 50 mol%, more preferably 10 to 40 mol%. be. In particular, the ratio of the hydroxy group-containing monomer is preferably within the above range from the viewpoint of improving the water resistance of the radiation-curable resin layer.

上記アクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分と共重合可能な多官能(メタ)アクリレートに由来する構成単位を含んでいてもよい。上記多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。上記多官能(メタ)アクリレートは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The acrylic polymer may contain a structural unit derived from a polyfunctional (meth)acrylate copolymerizable with the monomer component constituting the acrylic polymer in order to form a crosslinked structure in the polymer skeleton. Examples of the polyfunctional (meth)acrylate include hexanediol di(meth)acrylate, (poly)ethylene glycol di(meth)acrylate, (poly)propylene glycol di(meth)acrylate, and neopentyl glycol di(meth)acrylate. , pentaerythritol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate and the like. Only one kind of the polyfunctional (meth)acrylate may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルによる粘着性や光半導体素子への密着性等の基本特性を放射線硬化性樹脂層において適切に発現させるためには、上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分(100モル%)における上記多官能(メタ)アクリレートの割合は、40モル%以下が好ましく、より好ましくは30モル%以下である。 In order to appropriately exhibit the basic properties such as adhesiveness and adhesion to optical semiconductor elements due to the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group, the radiation-curable resin layer has the following steps: The ratio of the polyfunctional (meth)acrylate in the total monomer components (100 mol%) constituting the acrylic polymer having the first functional group is preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less. .

上記第1の官能基と上記第2の官能基の組み合わせとしては、中でも、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製することは技術的難易度が高く、一方でヒドロキシ基を有するアクリル系ポリマーの作製および入手の容易性の観点から、上記第1の官能基がヒドロキシ基であり、上記第2の官能基がイソシアネート基である組み合わせが好ましい。 As a combination of the first functional group and the second functional group, among others, it is technically difficult to produce a polymer having a highly reactive isocyanate group, and on the other hand, an acrylic polymer having a hydroxy group. From the viewpoint of ease of production and availability, a combination in which the first functional group is a hydroxy group and the second functional group is an isocyanate group is preferable.

上記放射性重合性官能基およびイソシアネート基を有する化合物としては、メタクリロイルイソシアネート、2-アクリロイルオキシエチルイソシアネート、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)、m-イソプロペニル-α,α-ジメチルベンジルイソシアネートなどが挙げられる。上記化合物は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Examples of the compound having a radiation-polymerizable functional group and an isocyanate group include methacryloyl isocyanate, 2-acryloyloxyethyl isocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (MOI), m-isopropenyl-α,α-dimethylbenzyl isocyanate, and the like. be done. Only one kind of the above compounds may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記放射線重合性官能基を有するアクリル系ポリマー中の、上記第2の官能基および放射線重合性官能基を有する化合物に由来する構造部の含有量は、放射線硬化性樹脂層の硬化をより進行させることができる観点から、上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーに由来する構造部の総量100モルに対して、0.5モル以上が好ましく、より好ましくは1モル以上、さらに好ましくは3モル以上、さらに好ましくは10モル以上である。上記含有量は、例えば100モル以下である。 The content of the structural part derived from the compound having the second functional group and the radiation-polymerizable functional group in the acrylic polymer having the radiation-polymerizable functional group promotes curing of the radiation-curable resin layer. 0.5 mol or more, more preferably 1 mol or more, and still more preferably 3 mol with respect to 100 mol of the total amount of the structural portion derived from the acrylic polymer having the first functional group. 10 mol or more, more preferably 10 mol or more. The above content is, for example, 100 mol or less.

上記放射線重合性官能基を有するアクリル系ポリマー中の、上記第1の官能基に対する、上記第2の官能基のモル比[第2の官能基/第1の官能基]は、放射線硬化性樹脂層の硬化をより進行させることができる観点から、0.01以上が好ましく、より好ましくは0.05以上、さらに好ましくは0.2以上、特に好ましくは0.4以上である。また、上記モル比は、放射線硬化性樹脂層中の低分子量物質をより低減させる観点から、1.0未満が好ましく、より好ましくは0.9以下である。 The molar ratio of the second functional group to the first functional group in the acrylic polymer having the radiation-polymerizable functional group [second functional group/first functional group] is the radiation-curable resin From the viewpoint of allowing the curing of the layer to proceed further, it is preferably 0.01 or more, more preferably 0.05 or more, still more preferably 0.2 or more, and particularly preferably 0.4 or more. The molar ratio is preferably less than 1.0, more preferably 0.9 or less, from the viewpoint of further reducing low-molecular-weight substances in the radiation-curable resin layer.

上記放射線重合性官能基を有するアクリル系ポリマーは、例えば、第1の官能基を有するモノマー成分を含む原料モノマーを重合(共重合)させて第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを得た後、上記第2の官能基および放射線重合性官能基を有する化合物を、放射線重合性官能基の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法により作製することができる。 The acrylic polymer having a radiation-polymerizable functional group is prepared, for example, by polymerizing (copolymerizing) a raw material monomer containing a monomer component having a first functional group to obtain an acrylic polymer having a first functional group. , the compound having the second functional group and the radiation-polymerizable functional group can be prepared by a method of condensation reaction or addition reaction with an acrylic polymer while maintaining the radiation-polymerizable property of the radiation-polymerizable functional group. .

上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーは、上述の各種モノマー成分を重合することにより得られる。この重合方法としては、特に限定されないが、例えば、溶液重合方法、乳化重合方法、塊状重合方法、活性エネルギー線照射による重合方法(活性エネルギー線重合方法)などが挙げられる。また、得られるアクリル系ポリマーは、ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体などいずれであってもよい。 The acrylic polymer having the first functional group is obtained by polymerizing the various monomer components described above. The polymerization method is not particularly limited, but includes, for example, a solution polymerization method, an emulsion polymerization method, a bulk polymerization method, a polymerization method by active energy ray irradiation (active energy ray polymerization method), and the like. Moreover, the acrylic polymer to be obtained may be any of a random copolymer, a block copolymer, a graft copolymer, and the like.

モノマー成分の重合に際しては、各種の一般的な溶剤が用いられてもよい。上記溶剤としては、例えば、酢酸エチル、酢酸n-ブチル等のエステル類;トルエン、ベンゼン等の芳香族炭化水素類;n-ヘキサン、n-ヘプタン等の脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類などの有機溶剤が挙げられる。上記溶剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Various common solvents may be used in the polymerization of the monomer components. Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate and n-butyl acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene and benzene; aliphatic hydrocarbons such as n-hexane and n-heptane; cyclohexane, methylcyclohexane and the like. alicyclic hydrocarbons; and organic solvents such as ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone. Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used.

モノマー成分のラジカル重合に用いられる重合開始剤、連鎖移動剤、乳化剤などは特に限定されず適宜選択して使用することができる。なお、アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、重合開始剤、連鎖移動剤の使用量、反応条件により制御可能であり、これらの種類に応じて適宜のその使用量が調整される。 Polymerization initiators, chain transfer agents, emulsifiers and the like used for radical polymerization of the monomer components are not particularly limited and can be appropriately selected and used. The weight-average molecular weight of the acrylic polymer can be controlled by adjusting the amount of the polymerization initiator and the chain transfer agent used and the reaction conditions, and the amount used is appropriately adjusted according to these types.

モノマー成分の重合に用いられる重合開始剤としては、重合反応の種類に応じて、熱重合開始剤や光重合開始剤(光開始剤)などが使用可能である。上記重合開始剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 As the polymerization initiator used for polymerization of the monomer component, a thermal polymerization initiator, a photopolymerization initiator (photoinitiator), or the like can be used depending on the type of polymerization reaction. Only one kind of the polymerization initiator may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記熱重合開始剤としては、特に限定されないが、例えば、アゾ系重合開始剤、過酸化物系重合開始剤、レドックス系重合開始剤などが挙げられる。上記熱重合開始剤の使用量は、上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分の総量100質量部に対して、1質量部以下であることが好ましく、より好ましくは0.005~1質量部、さらに好ましくは0.02~0.5質量部である。 Examples of the thermal polymerization initiator include, but are not limited to, azo polymerization initiators, peroxide polymerization initiators, redox polymerization initiators, and the like. The amount of the thermal polymerization initiator used is preferably 1 part by mass or less, more preferably 0 part by mass, with respect to 100 parts by mass of the total amount of all monomer components constituting the acrylic polymer having the first functional group. 0.005 to 1 part by mass, more preferably 0.02 to 0.5 part by mass.

上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α-ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤などが挙げられる。中でも、アセトフェノン系光重合開始剤が好ましい。 Examples of the photopolymerization initiator include benzoin ether-based photopolymerization initiators, acetophenone-based photopolymerization initiators, α-ketol-based photopolymerization initiators, aromatic sulfonyl chloride-based photopolymerization initiators, and photoactive oxime-based photopolymerization initiators. Initiators, benzoin photoinitiators, benzyl photoinitiators, benzophenone photoinitiators, ketal photoinitiators, thioxanthone photoinitiators, acylphosphine oxide photoinitiators, titanocene photoinitiators A photoinitiator etc. are mentioned. Among them, an acetophenone-based photopolymerization initiator is preferable.

上記アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-(t-ブチル)ジクロロアセトフェノン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、メトキシアセトフェノンなどが挙げられる。 Examples of the acetophenone-based photopolymerization initiator include 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-(t-butyl ) Dichloroacetophenone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1 -one, methoxyacetophenone, and the like.

上記光重合開始剤の使用量は、上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分の総量100質量部に対して、0.005~1質量部であることが好ましく、より好ましくは0.01~0.7質量部、さらに好ましくは0.18~0.5質量部である。上記使用量が0.005質量部以上(特に、0.18質量部以上)であると、アクリル系ポリマーの分子量を小さく制御しやすく、放射線硬化性樹脂層の残留応力が高くなり段差吸収性がより良好となる傾向がある。 The amount of the photopolymerization initiator used is preferably 0.005 to 1 part by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of all monomer components constituting the acrylic polymer having the first functional group, and more It is preferably 0.01 to 0.7 parts by mass, more preferably 0.18 to 0.5 parts by mass. When the amount used is 0.005 parts by mass or more (especially 0.18 parts by mass or more), the molecular weight of the acrylic polymer can be easily controlled to be small, the residual stress of the radiation-curable resin layer increases, and the step absorbability is improved. tend to be better.

上記第1の官能基を有するアクリル系ポリマーと上記第2の官能基および放射線重合性官能基を有する化合物の反応は、例えば、溶剤中で、触媒の存在下撹拌して行うことができる。上記溶剤としては上述のものが挙げられる。上記触媒は、第1の官能基および第2の官能基の組み合わせに応じて適宜選択される。上記反応における反応温度は例えば5~100℃、反応時間は例えば1~36時間である。 The reaction between the acrylic polymer having the first functional group and the compound having the second functional group and the radiation-polymerizable functional group can be carried out, for example, in a solvent with stirring in the presence of a catalyst. Examples of the solvent include those mentioned above. The above catalyst is appropriately selected according to the combination of the first functional group and the second functional group. The reaction temperature in the above reaction is, for example, 5 to 100° C., and the reaction time is, for example, 1 to 36 hours.

上記放射線重合性官能基を有するアクリル系ポリマーは、架橋剤に由来する構造部を有していてもよい。例えば、上記アクリル系ポリマーを架橋させ、放射線硬化性樹脂層中の低分子量物質をより低減させることができる。また、アクリル系ポリマーの重量平均分子量を高めることができる。なお、上記架橋剤は、放射線重合性官能基以外の官能基同士(例えば、第1の官能基同士、第2の官能基同士、または第1の官能基と第2の官能基)を架橋するものである。上記架橋剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The acrylic polymer having a radiation-polymerizable functional group may have a structure derived from a cross-linking agent. For example, the above acrylic polymer can be crosslinked to further reduce low-molecular-weight substances in the radiation-curable resin layer. Also, the weight average molecular weight of the acrylic polymer can be increased. The cross-linking agent cross-links functional groups other than radiation-polymerizable functional groups (for example, first functional groups, second functional groups, or first functional groups and second functional groups). It is. Only one kind of the crosslinking agent may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤、シリコーン系架橋剤、シラン系架橋剤などが挙げられる。上記架橋剤としては、中でも、光半導体素子に対する密着性に優れる観点、不純物イオンが少ない観点から、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤が好ましく、より好ましくはイソシアネート系架橋剤である。 Examples of the cross-linking agent include isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, melamine-based cross-linking agents, peroxide-based cross-linking agents, urea-based cross-linking agents, metal alkoxide-based cross-linking agents, metal chelate-based cross-linking agents, and metal salt-based cross-linking agents. Cross-linking agents, carbodiimide-based cross-linking agents, oxazoline-based cross-linking agents, aziridine-based cross-linking agents, amine-based cross-linking agents, silicone-based cross-linking agents, silane-based cross-linking agents and the like. As the cross-linking agent, isocyanate-based cross-linking agents and epoxy-based cross-linking agents are preferable, and isocyanate-based cross-linking agents are more preferable, from the viewpoint of excellent adhesion to the optical semiconductor element and less impurity ions.

上記イソシアネート系架橋剤(多官能イソシアネート化合物)としては、例えば、1,2-エチレンジイソシアネート、1,4-ブチレンジイソシアネート、1,6-ヘキサメチレンジイソシアネートなどの低級脂肪族ポリイソシアネート類;シクロペンチレンジイソシアネート、シクロヘキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネートなどの脂環族ポリイソシアネート類;2,4-トリレンジイソシアネート、2,6-トリレンジイソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートなどの芳香族ポリイソシアネート類などが挙げられる。また、上記イソシアネート系架橋剤としては、例えば、トリメチロールプロパン/トリレンジイソシアネート付加物、トリメチロールプロパン/ヘキサメチレンジイソシアネート付加物、トリメチロールプロパン/キシリレンジイソシアネート付加物なども挙げられる。 Examples of the isocyanate-based cross-linking agent (polyfunctional isocyanate compound) include lower aliphatic polyisocyanates such as 1,2-ethylene diisocyanate, 1,4-butylene diisocyanate, and 1,6-hexamethylene diisocyanate; cyclopentylene diisocyanate; , cyclohexylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, hydrogenated tolylene diisocyanate, hydrogenated xylene diisocyanate and other alicyclic polyisocyanates; 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate and aromatic polyisocyanates such as xylylene diisocyanate. Examples of the isocyanate-based cross-linking agent include trimethylolpropane/tolylene diisocyanate adduct, trimethylolpropane/hexamethylene diisocyanate adduct, and trimethylolpropane/xylylene diisocyanate adduct.

上記架橋剤に由来する構造部の含有量は、特に限定されないが、上記放射線重合性官能基を有するアクリル系ポリマーの、上記架橋剤に由来する構造部を除く総量100質量部に対して、5質量部以下含有することが好ましく、より好ましくは0.001~5質量部、さらに好ましくは0.01~3質量部である。 The content of the structural part derived from the cross-linking agent is not particularly limited. It is preferably contained in parts by mass or less, more preferably 0.001 to 5 parts by mass, still more preferably 0.01 to 3 parts by mass.

上記放射線硬化性樹脂層は、本発明の効果を損なわない範囲で、上記放射線重合性官能基を有するポリマー以外のその他の成分を含んでいてもよい。上記その他の成分としては、架橋促進剤、粘着付与樹脂(ロジン誘導体、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール等)、オリゴマー、老化防止剤、充填剤(金属粉、有機充填剤、無機充填剤等)、着色剤(顔料や染料など)、酸化防止剤、可塑剤、軟化剤、界面活性剤、帯電防止剤、表面潤滑剤、レベリング剤、光安定剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、粒状物、箔状物などが挙げられる。上記その他の成分は、それぞれ、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The radiation-curable resin layer may contain components other than the radiation-polymerizable functional group-containing polymer within a range that does not impair the effects of the present invention. Other components include cross-linking accelerators, tackifying resins (rosin derivatives, polyterpene resins, petroleum resins, oil-soluble phenols, etc.), oligomers, anti-aging agents, fillers (metal powders, organic fillers, inorganic fillers, etc.). ), colorants (pigments, dyes, etc.), antioxidants, plasticizers, softeners, surfactants, antistatic agents, surface lubricants, leveling agents, light stabilizers, UV absorbers, polymerization inhibitors, granular materials , foil-like materials, and the like. Only one kind of each of the other components may be used, or two or more kinds thereof may be used.

(放射線非硬化性粘着剤層)
上記放射線非硬化性粘着剤層を形成する粘着剤としては、放射線硬化性を有しない、すなわち放射線硬化性を有する化合物を含有しない、公知乃至慣用の感圧型の粘着剤を用いることができる。但し、積層した他の層から移行して侵入する不可避の放射線硬化性を有する化合物を少量含み得る。上記粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤(天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等)、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、フッ素系粘着剤などが挙げられる。中でも、放射線非硬化性粘着剤層を構成する粘着剤としては、密着性、耐候性、コスト、粘着剤の設計のしやすさの点より、アクリル系粘着剤が好ましい。上記放射線非硬化性粘着剤層は、アクリル系粘着剤から構成されたアクリル系粘着剤層であることが好ましい。上記粘着剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。
(Radiation non-curable adhesive layer)
As the pressure-sensitive adhesive for forming the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer, a known or commonly used pressure-sensitive pressure-sensitive adhesive that is not radiation-curable, that is, does not contain a radiation-curable compound, can be used. However, it may contain a small amount of an unavoidable radiation-curing compound that migrates and penetrates from other laminated layers. Examples of the adhesive include acrylic adhesives, rubber adhesives (natural rubber, synthetic rubber, mixtures thereof, etc.), silicone adhesives, polyester adhesives, urethane adhesives, polyether system adhesives, polyamide-based adhesives, fluorine-based adhesives, and the like. Among them, acrylic pressure-sensitive adhesives are preferable as the pressure-sensitive adhesive constituting the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer from the viewpoints of adhesion, weather resistance, cost, and ease of designing the pressure-sensitive adhesive. The radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer is preferably an acrylic pressure-sensitive adhesive layer composed of an acrylic pressure-sensitive adhesive. Only one kind of the pressure-sensitive adhesive may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記アクリル系粘着剤層は、ベースポリマーとしてアクリル系ポリマーを含有する。上記アクリル系ポリマーは、ポリマーを構成するモノマー成分として、アクリル系モノマーを含むポリマーである。すなわち、上記アクリル系ポリマーは、アクリル系モノマーに由来する構成単位を含む。なお、アクリル系ポリマーは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The acrylic pressure-sensitive adhesive layer contains an acrylic polymer as a base polymer. The above acrylic polymer is a polymer containing an acrylic monomer as a monomer component constituting the polymer. That is, the acrylic polymer contains structural units derived from acrylic monomers. In addition, acrylic polymer may use only 1 type, and may use 2 or more types.

上記アクリル系粘着剤層中の上記アクリル系ポリマーの含有割合は、特に限定されないが、上記粘着剤層の総量100質量%に対して、50質量%以上(例えば、50~100質量%)が好ましく、より好ましくは80質量%以上(例えば、80~100質量%)、さらに好ましくは90質量%以上(例えば、90~100質量%)である。上記含有割合が50質量%以上であると、光半導体素子封止用シートの透明性がより優れる。 The content of the acrylic polymer in the acrylic pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited, but is preferably 50% by mass or more (for example, 50 to 100% by mass) with respect to 100% by mass of the total amount of the pressure-sensitive adhesive layer. , More preferably 80% by mass or more (eg, 80 to 100% by mass), still more preferably 90% by mass or more (eg, 90 to 100% by mass). When the content is 50% by mass or more, the transparency of the sheet for optical semiconductor element encapsulation is more excellent.

上記アクリル系ポリマーとしては、(メタ)アクリル酸アルキルエステルを必須のモノマー成分として構成(形成)された重合体であることが好ましい。すなわち、上記アクリル系ポリマーは、構成単位として、(メタ)アクリル酸アルキルエステルを含むことが好ましい。 The acrylic polymer is preferably a polymer composed (formed) of a (meth)acrylic acid alkyl ester as an essential monomer component. That is, the acrylic polymer preferably contains a (meth)acrylic acid alkyl ester as a structural unit.

上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルにおける炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、上記直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル、上記脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステル、上記芳香族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Examples of the (meth)acrylic acid esters include hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid esters that may have an alkoxy group. As the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester in the hydrocarbon group-containing (meth) acrylic acid ester which may have an alkoxy group, the above linear or branched aliphatic hydrocarbon group (Meth)acrylic acid alkyl esters, (meth)acrylic acid esters having the above-mentioned alicyclic hydrocarbon group, (meth)acrylic acid esters having the above-mentioned aromatic hydrocarbon group, and the like. The hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester which may have an alkoxy group may be used alone or in combination of two or more.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、中でも、炭素数が1~20(好ましくは1~14、より好ましくは2~10、さらに好ましくは2~8)の直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルが好ましい。上記炭素数が上記範囲内であると、上記アクリル系ポリマーのガラス転移温度の調整が容易であり、放射線非硬化性粘着剤層の粘着性をより適切なものとしやすい。 Among the (meth)acrylic acid alkyl esters, linear or branched fatty acids having 1 to 20 carbon atoms (preferably 1 to 14, more preferably 2 to 10, still more preferably 2 to 8) A (meth)acrylic acid alkyl ester having a group hydrocarbon group is preferred. When the number of carbon atoms is within the above range, the glass transition temperature of the acrylic polymer can be easily adjusted, and the adhesion of the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer can be easily made more appropriate.

上記脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、中でも、一環式の脂肪族炭化水素環を有する(メタ)アクリル酸エステルが好ましく、より好ましくは(メタ)アクリル酸シクロヘキシルである。 Among the (meth)acrylic acid esters having an alicyclic hydrocarbon group, preferred are (meth)acrylic acid esters having a monocyclic aliphatic hydrocarbon ring, more preferably cyclohexyl (meth)acrylate. .

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、中でも、直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルを含むことが好ましく、さらに脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルを含むことがより好ましい。この場合、放射線非硬化性粘着剤層の粘着性のバランスが良く、光半導体素子の封止性により優れる。 The hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester optionally having an alkoxy group includes, among others, a (meth)acrylic acid alkyl ester having a linear or branched aliphatic hydrocarbon group. is preferred, and it is more preferred to contain a (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group. In this case, the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer has a well-balanced adhesive property, and the optical semiconductor element sealing property is excellent.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルによる粘着性や光半導体素子への密着性等の基本特性を放射線非硬化性粘着剤層において適切に発現させるためには、上記アクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分における上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルの割合は、上記全モノマー成分の総量(100モル%)に対して、40モル%以上が好ましく、より好ましくは50モル%以上である。また、上記割合は、他のモノマー成分を共重合可能とし当該他のモノマー成分の効果を得る観点から、95モル%以下が好ましく、より好ましくは80モル%以下である。 In order to appropriately express basic properties such as adhesiveness and adhesion to optical semiconductor elements by the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group in the radiation non-curable adhesive layer The ratio of the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group in all the monomer components constituting the acrylic polymer is based on the total amount (100 mol%) of all the monomer components. is preferably 40 mol % or more, more preferably 50 mol % or more. In addition, the above ratio is preferably 95 mol % or less, more preferably 80 mol % or less, from the viewpoint of allowing the other monomer component to be copolymerized and obtaining the effect of the other monomer component.

上記アクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分における直鎖状または分岐鎖状の脂肪族炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルの割合は、上記全モノマー成分の総量(100モル%)に対して、30モル%以上が好ましく、より好ましくは40モル%以上である。また、上記割合は、90モル%以下が好ましく、より好ましくは70モル%以下である。 The ratio of (meth)acrylic acid alkyl ester having a linear or branched aliphatic hydrocarbon group in all the monomer components constituting the acrylic polymer is based on the total amount (100 mol%) of all the monomer components. is preferably 30 mol % or more, more preferably 40 mol % or more. Moreover, the above ratio is preferably 90 mol % or less, more preferably 70 mol % or less.

上記アクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分における脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルの割合は、上記全モノマー成分の総量(100モル%)に対して、1モル%以上が好ましく、より好ましくは5モル%以上である。また、上記割合は、30モル%以下が好ましく、より好ましくは20モル%以下である。 The ratio of (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group in all monomer components constituting the acrylic polymer is preferably 1 mol% or more with respect to the total amount (100 mol%) of all the monomer components. , more preferably 5 mol % or more. Moreover, the above ratio is preferably 30 mol % or less, more preferably 20 mol % or less.

上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性等の改質を目的として、上記極性基含有モノマー等の上記他のモノマー成分に由来する構成単位を含んでいてもよい。上記他のモノマー成分は、それぞれ、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The acrylic polymer may contain structural units derived from other monomer components such as the polar group-containing monomer for the purpose of improving cohesive strength, heat resistance, and the like. Only one type of each of the other monomer components may be used, or two or more types may be used.

上記アクリル系ポリマーを構成する上記極性基含有モノマーとしてヒドロキシ基含有モノマーを含むことが好ましい。この場合、アクリル系ポリマーおよび放射線非硬化性粘着剤層の耐水性に優れ、光半導体素子封止用シートは高湿度となる環境下で使用された場合であっても曇りにくく耐白化性に優れる。 It is preferable that a hydroxy group-containing monomer is included as the polar group-containing monomer constituting the acrylic polymer. In this case, the acrylic polymer and the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer have excellent water resistance, and the optical semiconductor element encapsulation sheet is resistant to fogging even when used in a high-humidity environment and has excellent whitening resistance. .

上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチルが好ましく、より好ましくは(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチルである。 As the hydroxy group-containing monomer, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate and 4-hydroxybutyl (meth)acrylate are preferable, and 2-hydroxyethyl (meth)acrylate is more preferable.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルによる粘着性や光半導体素子への密着性等の基本特性を放射線非硬化性粘着剤層において適切に発現させるためには、上記アクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分(100モル%)における、上記極性基含有モノマーの割合は、5~50モル%が好ましく、より好ましくは10~40モル%である。特に、放射線非硬化性粘着剤層の耐水性にもより優れる観点から、ヒドロキシ基含有モノマーの割合が上記範囲内であることが好ましい。 In order to appropriately express basic properties such as adhesiveness and adhesion to optical semiconductor elements by the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group in the radiation non-curable adhesive layer The proportion of the polar group-containing monomer in the total monomer components (100 mol %) constituting the acrylic polymer is preferably 5 to 50 mol %, more preferably 10 to 40 mol %. In particular, the ratio of the hydroxy group-containing monomer is preferably within the above range from the viewpoint of improving the water resistance of the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer.

上記アクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分と共重合可能な多官能性モノマーに由来する構成単位を含んでいてもよい。上記多官能性モノマーとしては、上記多官能(メタ)アクリレートの他、エポキシ(メタ)アクリレート(例えば、ポリグリシジル(メタ)アクリレート)、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート等の分子内に(メタ)アクリロイル基と他の反応性官能基を有する単量体などが挙げられる。上記多官能性モノマーは、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The acrylic polymer may contain a structural unit derived from a polyfunctional monomer copolymerizable with the monomer components constituting the acrylic polymer in order to form a crosslinked structure in the polymer skeleton. As the polyfunctional monomer, in addition to the polyfunctional (meth)acrylate, epoxy (meth)acrylate (e.g., polyglycidyl (meth)acrylate), polyester (meth)acrylate, urethane (meth)acrylate, etc. Examples thereof include monomers having a (meth)acryloyl group and other reactive functional groups. Only one kind of the polyfunctional monomer may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記アルコキシ基を有していてもよい炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルによる粘着性や光半導体素子への密着性等の基本特性を放射線非硬化性粘着剤層において適切に発現させるためには、上記アクリル系ポリマーを構成する全モノマー成分(100モル%)における上記多官能性モノマーの割合は、40モル%以下が好ましく、より好ましくは30モル%以下である。 In order to appropriately express basic properties such as adhesiveness and adhesion to optical semiconductor elements by the hydrocarbon group-containing (meth)acrylic acid ester that may have an alkoxy group in the radiation non-curable adhesive layer The proportion of the polyfunctional monomer in the total monomer components (100 mol %) constituting the acrylic polymer is preferably 40 mol % or less, more preferably 30 mol % or less.

上記アクリル系ポリマーは、上記架橋剤に由来する構造部を有していてもよい。例えば、上記アクリル系ポリマーを架橋させ、放射線硬化性樹脂層中の低分子量物質をより低減させることができる。また、アクリル系ポリマーの重量平均分子量を高めることができる。上記架橋剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The acrylic polymer may have a structure derived from the cross-linking agent. For example, the above acrylic polymer can be crosslinked to further reduce low-molecular-weight substances in the radiation-curable resin layer. Also, the weight average molecular weight of the acrylic polymer can be increased. Only one kind of the crosslinking agent may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記アクリル系ポリマーは、上述の第1の官能基を有するアクリル系ポリマーと同様の方法により作製することができる。 The acrylic polymer can be produced by the same method as for the acrylic polymer having the first functional group.

上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、特に限定されないが、10万~300万が好ましく、より好ましくは20万~250万である。上記重量平均分子量が上記範囲内であると、放射線非硬化性粘着剤層の粘着性のバランスが良く、光半導体素子の封止性により優れる。なお、上記重量平均分子量は、ゲルパーミネーション・クロマトグラフィー(GPC)により測定し、ポリスチレン換算により算出された値をいうものとする。 The weight average molecular weight of the acrylic polymer is not particularly limited, but is preferably 100,000 to 3,000,000, more preferably 200,000 to 2,500,000. When the weight-average molecular weight is within the above range, the adhesion of the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer is well-balanced, and the encapsulation of the optical semiconductor element is more excellent. The weight average molecular weight is measured by gel permeation chromatography (GPC) and calculated by polystyrene conversion.

上記放射線非硬化性粘着剤層は、本発明の効果を損なわない範囲で、上記ベースポリマー以外のその他の成分を含んでいてもよい。上記その他の成分としては、上述の放射線硬化性樹脂層が含み得るその他の成分として例示および説明されたものが挙げられる。上記その他の成分は、それぞれ、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer may contain components other than the base polymer as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of the other components include those exemplified and explained as other components that the radiation-curable resin layer may contain. Only one kind of each of the other components may be used, or two or more kinds thereof may be used.

(封止部)
上記封止部において、上記放射線非硬化性粘着剤層と上記放射線硬化性樹脂層とは積層している。上記放射線非硬化性粘着剤層と上記放射線硬化性樹脂層とは、他の層を介さずに直接積層していてもよいし、他の層を介して積層していてもよい。上記封止部が上記放射線非硬化性粘着剤層と上記放射線硬化性樹脂層とが直接積層した構造を有する場合であっても、上記放射線硬化性樹脂層中の上記放射線重合性官能基を有するポリマーが上記放射線非硬化性粘着剤層に移行しにくいため、本発明の光半導体素子封止用シートは、光半導体素子の封止性に優れ、また硬化後において側面のべたつきが抑制される。
(sealing part)
In the sealing portion, the radiation-noncurable adhesive layer and the radiation-curable resin layer are laminated. The non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer and the radiation-curable resin layer may be directly laminated with no other layer interposed therebetween, or may be laminated with another layer interposed therebetween. Even in the case where the sealing portion has a structure in which the radiation non-curable adhesive layer and the radiation curable resin layer are directly laminated, it has the radiation polymerizable functional group in the radiation curable resin layer. Since the polymer hardly migrates to the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention has excellent encapsulating properties for optical semiconductor elements and suppresses stickiness on the sides after curing.

上記放射線非硬化性粘着剤層および上記放射線硬化性樹脂層は、それぞれ、単層であってもよいし、同一または組成や厚さ等が異なる複層であってもよい。上記封止部が上記放射線非硬化性粘着剤層および上記放射線硬化性樹脂層のうちの少なくとも一方を複数有する場合、複数ある層は連続して積層していてもよく、他の層を介して積層していてもよい。 Each of the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer and the radiation curable resin layer may be a single layer, or may be multiple layers that are the same or different in composition, thickness, and the like. When the sealing portion has a plurality of at least one of the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer and the radiation-curable resin layer, the plurality of layers may be continuously laminated, with other layers interposed therebetween. It may be laminated.

上記封止層は、上記放射線非硬化性粘着剤層を、光半導体素子を封止する際において光半導体素子側となる封止部表面に有することが好ましい。具体的には、上記放射線非硬化性粘着剤層は、光半導体素子を封止する際において光半導体素子側となる光半導体素子封止用シート表面(剥離ライナーを備える場合は剥離ライナーを除くシート表面)に位置することが好ましい。上記放射線非硬化性粘着剤層が上記表面に位置する場合、上記光半導体素子封止用シートが光半導体素子を封止した際に、上記放射線非硬化性粘着剤層の光半導体素子および基板に直接密着することとなり、光半導体素子の封止性に優れる。 The sealing layer preferably has the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer on the surface of the sealing portion that faces the optical semiconductor element when the optical semiconductor element is sealed. Specifically, the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer is the sheet surface for optical semiconductor element encapsulation that is on the optical semiconductor element side when encapsulating the optical semiconductor element (when a release liner is provided, the sheet excluding the release liner surface). When the radiation non-curable adhesive layer is located on the surface, when the optical semiconductor element encapsulating sheet encapsulates the optical semiconductor element, the radiation non-curable adhesive layer adheres to the optical semiconductor element and the substrate. Direct contact is achieved, and excellent encapsulation of the optical semiconductor element is obtained.

上記放射線硬化性樹脂層は上記放射線非硬化性粘着剤層よりも厚いことが好ましい。このような構成を有することにより、タイリング状態において隣接する光半導体装置における放射線非硬化性粘着剤層同士の高い密着性よりも、隣接する光半導体装置における放射線硬化性樹脂層の硬化後の低い密着性が支配的となるため、封止部同士の密着性がよりいっそう低く、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをよりいっそう抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。なお、上記放射線硬化性樹脂層や上記放射線非硬化性粘着剤層を複数有する場合、上記厚さは、複層の合計厚さ(総厚さ)である。 The radiation curable resin layer is preferably thicker than the radiation non-curable adhesive layer. By having such a configuration, the adhesion after curing of the radiation curable resin layers in the adjacent optical semiconductor devices is lower than the high adhesion between the radiation non-curable adhesive layers in the adjacent optical semiconductor devices in the tiling state. Since the adhesiveness is dominant, the adhesiveness between the sealing portions is even lower, and when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the damage of the sheet and adhesion of the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are much less likely to occur. Further, when dicing the optical semiconductor device after sealing the optical semiconductor element with the optical semiconductor element encapsulating sheet, stickiness of the diced portion can be further suppressed, and an optical semiconductor device having a good appearance can be produced. can be done. In addition, when it has multiple said radiation curable resin layers or said radiation non-curable adhesive layers, the said thickness is the total thickness (total thickness) of a multiple layer.

上記放射線硬化性樹脂層の厚さ(総厚さ)は、上記光半導体素子封止用シートを構成する全ての層の中で最も厚いことが好ましい。特に、上記光半導体素子封止用シートは、1層の厚さが上記光半導体素子封止用シートを構成する全ての層の中で最も厚い放射線硬化性樹脂層を備えることが好ましい。なお、同一組成の複数の層を直接積層した層は1つの層として考えられる。また、最も厚い層を2以上有する場合、いずれの層も最も厚い層に該当する。 The thickness (total thickness) of the radiation-curable resin layer is preferably the thickest among all the layers constituting the sheet for optical semiconductor element encapsulation. In particular, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements preferably includes a radiation-curable resin layer having the largest thickness among all the layers constituting the sheet for encapsulating optical semiconductor elements. A layer obtained by directly laminating a plurality of layers having the same composition is considered as one layer. Moreover, when it has two or more thickest layers, any layer corresponds to the thickest layer.

例えば、図1に示す光半導体素子封止用シート1では、封止部3は放射線硬化性樹脂層31および放射線非硬化性粘着剤層32から構成される。放射線硬化性樹脂層31は封止部3内において基材部2側に位置する。放射線非硬化性粘着剤層32は、封止部3内において光半導体素子側表面に位置し、また、剥離ライナー4を除いて光半導体素子封止用シート1の基材部2とは反対側の表面に位置する。放射線硬化性樹脂層31は放射線非硬化性粘着剤層32よりも厚く、また封止部3内および光半導体素子封止用シート1内において最も厚い層である。 For example, in the sheet 1 for encapsulating an optical semiconductor element shown in FIG. The radiation curable resin layer 31 is positioned on the base material portion 2 side within the sealing portion 3 . The radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer 32 is located on the optical semiconductor element side surface in the sealing portion 3, and is on the opposite side of the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 from the base material portion 2 except for the release liner 4. located on the surface of The radiation curable resin layer 31 is thicker than the radiation non-curable adhesive layer 32 and is the thickest layer in the encapsulating portion 3 and the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 .

上記放射線硬化性樹脂層の厚さ(総厚さ)は、20~800μmであることが好ましく、より好ましくは30~700μm、さらに好ましくは50~600μmである。上記厚さが20μm以上であると、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。上記厚さが800μm以下であると、封止部の厚さを薄くすることができ、光半導体装置をより薄くすることができる。 The thickness (total thickness) of the radiation-curable resin layer is preferably 20 to 800 μm, more preferably 30 to 700 μm, still more preferably 50 to 600 μm. When the thickness is 20 μm or more, when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the damage of the sheet and the adhesion of the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are much less likely to occur. When the thickness is 800 μm or less, the thickness of the sealing portion can be reduced, and the optical semiconductor device can be made thinner.

上記放射線硬化性樹脂層の厚さ(総厚さ)の、光半導体素子封止用シートの総厚さ(但し、剥離ライナーおよび表面保護フィルムを除く)100%に対する割合は、5~90%が好ましく、より好ましくは10~85%、さらに好ましくは40~80%である。上記割合が5%以上であると、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。上記厚さが90%以下であると、封止部の厚さを薄くすることができ、光半導体装置をより薄くすることができる。 The ratio of the thickness (total thickness) of the radiation-curable resin layer to 100% of the total thickness of the optical semiconductor element encapsulating sheet (excluding the release liner and surface protective film) is 5 to 90%. It is preferably 10 to 85%, still more preferably 40 to 80%. When the ratio is 5% or more, when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, damage to the sheet and adhesion of the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are more unlikely to occur. When the thickness is 90% or less, the thickness of the sealing portion can be reduced, and the optical semiconductor device can be made thinner.

上記放射線硬化性樹脂層は、硬化後において、層断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さが1.2MPa以上であることが好ましく、より好ましくは1.4MPa以上、さらに好ましくは2.0MPa以上、さらに好ましくは15.0MPa以上、特に好ましくは50.0MPa以上である。上記ナノインデンテーション法による硬さは、圧子を対象表面に押し込んだときの、圧子への負荷荷重と押し込み深さとを、負荷時および除荷時に渡り連続的に測定し、得られた負荷荷重-押し込み深さ曲線から求められる。上記硬さが1.2MPa以上であると、上記放射線硬化性樹脂層は硬化後において適度な硬さを有することとなり、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。 After curing, the radiation-curable resin layer preferably has a hardness of 1.2 MPa or higher, more preferably 1.4 MPa or higher, and still more preferably 2 0 MPa or more, more preferably 15.0 MPa or more, and particularly preferably 50.0 MPa or more. The hardness by the nanoindentation method is obtained by continuously measuring the load applied to the indenter and the depth of indentation during loading and unloading when the indenter is pressed into the target surface. Obtained from the indentation depth curve. When the hardness is 1.2 MPa or more, the radiation-curable resin layer has an appropriate hardness after curing. Adhesion of the sheet of the optical semiconductor device to be performed is much less likely to occur.

上記放射線硬化性樹脂層は、硬化前において、層断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さが1.4MPa未満であることが好ましく、より好ましくは1.3MPa以下、さらに好ましくは1.2MPa以下である。上記硬さが1.4MPa未満であると、上記放射線硬化性樹脂層は硬化前において比較的やわらかく、光半導体素子を封止する際の封止性により優れる。 The radiation-curable resin layer preferably has a hardness of less than 1.4 MPa, more preferably 1.3 MPa or less, and even more preferably 1 .2 MPa or less. When the hardness is less than 1.4 MPa, the radiation-curable resin layer is relatively soft before curing, and is excellent in encapsulating properties when encapsulating an optical semiconductor element.

上記放射線硬化性樹脂層は、層断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さについて、硬化前に対する硬化後の比[硬化後/硬化前]が、1.0以上であることが好ましく、より好ましくは1.3以上、さらに好ましくは5.0以上、特に好ましくは10.0以上である。上記比が1.3以上であると、上記放射線硬化性樹脂層の硬化前において封止部は光半導体素子の封止性により優れ、且つ、硬化後において側面のべたつきがより抑制される。 In the radiation-curable resin layer, the ratio of hardness after curing to before curing [after curing/before curing] is preferably 1.0 or more with respect to the hardness measured by the nanoindentation method at a temperature of 23° C. in the cross section of the layer. , more preferably 1.3 or more, still more preferably 5.0 or more, and particularly preferably 10.0 or more. When the above ratio is 1.3 or more, the encapsulating portion is excellent in encapsulating properties of the optical semiconductor element before curing of the radiation-curable resin layer, and stickiness of the side surface is further suppressed after curing.

上記放射線硬化性樹脂層の硬化後における厚さ方向断面の算術平均高さSaは、85μm以下であることが好ましく、より好ましくは70μm以下、さらに好ましくは40μm以下、さらに好ましくは10μm以下、さらに好ましくは4μm以下、特に好ましくは1μm以下である。上記算術平均高さSaが85μm以下であると、露出した放射線硬化性樹脂層の硬化後の層である硬化封止層側面の面粗さが小さく、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。 The arithmetic mean height Sa of the cross section in the thickness direction after curing of the radiation-curable resin layer is preferably 85 μm or less, more preferably 70 μm or less, still more preferably 40 μm or less, even more preferably 10 μm or less, and even more preferably 10 μm or less. is 4 μm or less, particularly preferably 1 μm or less. When the arithmetic average height Sa is 85 μm or less, the surface roughness of the side surface of the cured sealing layer, which is the layer after curing of the exposed radiation-curable resin layer, is small, and when separating the adjacent optical semiconductor devices, the sheet Chipping of the optical semiconductor device and adhesion of the sheet of the adjacent optical semiconductor device are much less likely to occur.

上記光半導体素子封止用シートの表面(すなわち上記封止部の表面)に位置する放射線非硬化性粘着剤層の厚さは、1μm以上であることが好ましく、より好ましくは4μm以上、さらに好ましくは15μm以上である。上記厚さが1μm以上であると、光半導体素子封止用シートの光半導体素子や基板に対する密着性により優れる。上記厚さは、500μm以下であることが好ましく、より好ましくは300μm以下、さらに好ましくは200μm以下である。上記厚さが500μm以下であると、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がより起こりにくい。また、光半導体装置をダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをより抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 The thickness of the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer located on the surface of the sheet for optical semiconductor element encapsulation (that is, the surface of the sealing portion) is preferably 1 μm or more, more preferably 4 μm or more, and even more preferably. is 15 μm or more. When the thickness is 1 μm or more, the adhesiveness of the optical semiconductor element encapsulating sheet to the optical semiconductor element or the substrate is excellent. The thickness is preferably 500 μm or less, more preferably 300 μm or less, still more preferably 200 μm or less. When the thickness is 500 μm or less, when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, damage to the sheet and adhesion of the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are less likely to occur. Further, when the optical semiconductor device is diced, stickiness of the diced portion can be further suppressed, and an optical semiconductor device with a good appearance can be manufactured.

上記封止部は、上記放射線硬化性樹脂層および上記放射線非硬化性粘着剤層以外のその他の層を有していてもよい。但し、上記封止部の厚さ100%に対する、上記放射線硬化性樹脂層および上記放射線非硬化性粘着剤層の合計の厚さの割合は、70%以上であることが好ましく、より好ましくは80%以上、さらに好ましくは90%以上、特に好ましくは96%以上である。 The sealing portion may have a layer other than the radiation-curable resin layer and the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer. However, the ratio of the total thickness of the radiation-curable resin layer and the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer to 100% of the thickness of the sealing portion is preferably 70% or more, more preferably 80%. % or more, more preferably 90% or more, particularly preferably 96% or more.

上記封止部は、着色剤を含む層を含んでいてもよい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、光半導体装置の使用時においては各光半導体素子が発する光の混色を抑制し、光半導体装置の不使用時においてはディスプレイの見栄えを調整することができる。上記着色剤を含む層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。 The sealing portion may include a layer containing a coloring agent. By having such a configuration, when the optical semiconductor device is applied to a display by tiling, color mixing of light emitted from each optical semiconductor element is suppressed when the optical semiconductor device is used, and the optical semiconductor device is improved. The appearance of the display can be adjusted when not in use. The layer containing the coloring agent may have only one layer, or may have two or more layers.

上記着色剤を含む層は、上記放射線硬化性樹脂層、上記放射線非硬化性粘着剤層、およびこれら以外のその他の層であってもよいが、上記放射線硬化性樹脂層および/または上記放射線非硬化性粘着剤層が着色剤を含む層であることが好ましく、上記放射線非硬化性粘着剤層が着色剤を含む層であることがより好ましい。 The layer containing the colorant may be the radiation-curable resin layer, the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer, or other layers. The curable pressure-sensitive adhesive layer is preferably a layer containing a colorant, and the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer is more preferably a layer containing a colorant.

上記着色剤としては、黒系着色剤が好ましい。上記黒系着色剤としては、公知乃至慣用の黒色を呈するための着色剤(顔料、染料等)を用いることができ、例えば、カーボンブラック(ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック、ランプブラック、松煙等)、グラファイト、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、シアニンブラック、活性炭、フェライト(非磁性フェライト、磁性フェライト等)、マグネタイト、酸化クロム、酸化鉄、二硫化モリブデン、クロム錯体、アントラキノン系着色剤、窒化ジルコニウムなどが挙げられる。黒系着色剤は一種のみを用いてもよいし、二種以上を用いてもよい。また、黒色以外の色を呈する着色剤を組み合わせて配合して黒系着色剤として機能する着色剤を用いてもよい。 As the coloring agent, a black coloring agent is preferable. As the black colorant, known or commonly used colorants (pigments, dyes, etc.) for exhibiting black color can be used. For example, carbon black (furnace black, channel black, acetylene black, thermal black, lamp black, , pine smoke, etc.), graphite, copper oxide, manganese dioxide, aniline black, perylene black, titanium black, cyanine black, activated carbon, ferrite (non-magnetic ferrite, magnetic ferrite, etc.), magnetite, chromium oxide, iron oxide, molybdenum disulfide , chromium complexes, anthraquinone colorants, and zirconium nitride. Only one type of black colorant may be used, or two or more types may be used. Alternatively, a coloring agent that functions as a black coloring agent may be used by combining coloring agents exhibiting colors other than black.

<基材部>
上記基材部は、上記封止部の支持体となり、上記基材部を備えることにより上記光半導体素子封止用シートは取り扱い性に優れる。上記基材部は、単層であってもよいし、同一または組成や厚さ等が異なる複層であってもよい。上記基材部が複層である場合、各層は粘着剤層などの他の層により貼り合わせられていてもよい。なお、基材部に使用される基材層は、光半導体素子封止用シートを用いて光半導体素子を封止する際には、封止部とともに光半導体素子を備える基板に貼付される部分であり、光半導体素子封止用シートの使用時(貼付時)に剥離される剥離ライナーや、基材部表面を保護するに過ぎない表面保護フィルムは「基材部」には含まない。
<Base material part>
The substrate portion serves as a support for the sealing portion, and the sheet for optical semiconductor element encapsulation has excellent handleability by including the substrate portion. The base material portion may be a single layer, or may be a plurality of layers that are the same or different in composition, thickness, and the like. When the base material portion is a multilayer, each layer may be bonded with another layer such as an adhesive layer. In addition, when the optical semiconductor element is sealed using the optical semiconductor element encapsulating sheet, the base material layer used for the base material part is the part that is attached to the substrate including the optical semiconductor element together with the sealing part. A release liner that is peeled off when the optical semiconductor element encapsulating sheet is used (attached) and a surface protection film that only protects the surface of the base material are not included in the "base material".

上記基材部を構成する基材層としては、例えば、ガラスやプラスチック基材(特に、プラスチックフィルム)などが挙げられる。上記プラスチック基材を構成する樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、アイオノマー、エチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン-(メタ)アクリル酸エステル(ランダム、交互)共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン-プロピレン共重合体、環状オレフィン系ポリマー、エチレン-ブテン共重合体、エチレン-ヘキセン共重合体等のポリオレフィン樹脂;ポリウレタン;ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等のポリエステル;ポリカーボネート;ポリイミド系樹脂;ポリエーテルエーテルケトン;ポリエーテルイミド;アラミド、全芳香族ポリアミド等のポリアミド;ポリフェニルスルフィド;フッ素樹脂;ポリ塩化ビニル;ポリ塩化ビニリデン;トリアセチルセルロース(TAC)等のセルロース樹脂;シリコーン樹脂;ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル系樹脂;ポリサルフォン;ポリアリレート;ポリ酢酸ビニルなどが挙げられる。上記樹脂は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Examples of the substrate layer constituting the substrate portion include glass and plastic substrates (especially plastic films). Examples of the resin constituting the plastic substrate include low-density polyethylene, linear low-density polyethylene, medium-density polyethylene, high-density polyethylene, ultra-low-density polyethylene, random copolymerized polypropylene, block copolymerized polypropylene, and homopolypropylene. , polybutene, polymethylpentene, ionomer, ethylene-(meth)acrylic acid copolymer, ethylene-(meth)acrylic acid ester (random, alternating) copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), ethylene- Polyolefin resins such as propylene copolymers, cyclic olefin polymers, ethylene-butene copolymers, and ethylene-hexene copolymers; polyurethanes; polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, and polybutylene terephthalate (PBT); Polycarbonate; polyimide resin; polyether ether ketone; polyether imide; polyamide such as aramid and wholly aromatic polyamide; polyphenyl sulfide; fluorine resin; silicone resin; acrylic resin such as polymethyl methacrylate (PMMA); polysulfone; polyarylate; Only one kind of the above resin may be used, or two or more kinds thereof may be used.

上記基材層は、反射防止(AR)フィルム、偏光板、位相差板等の各種光学フィルムであってもよい。上記基材部が光学フィルムを有する場合、上記光半導体素子封止用シートは光学部材にそのまま適用することができる。 The substrate layer may be various optical films such as an antireflection (AR) film, a polarizing plate, and a retardation plate. When the substrate part has an optical film, the optical semiconductor element encapsulating sheet can be applied as it is to the optical member.

上記プラスチックフィルムは、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分(構成樹脂のうち最も質量割合の高い成分)として含むことが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体素子封止用シートは耐熱性に優れ、高温環境下において光半導体素子封止用シートの熱膨張が抑制でき、寸法安定性が向上する。また、シートとしての剛性を付与することができるため、取り扱い性や保持性が向上する。 The plastic film preferably contains a polyester resin and/or a polyimide resin as a main component (a component having the highest mass ratio among constituent resins). By having such a structure, the sheet for optical semiconductor element encapsulation has excellent heat resistance, the thermal expansion of the sheet for optical semiconductor element encapsulation can be suppressed in a high temperature environment, and the dimensional stability is improved. In addition, since rigidity as a sheet can be imparted, handleability and holdability are improved.

上記プラスチックフィルムの厚さは、20~200μmであることが好ましく、より好ましくは40~150μmである。上記厚さが20μm以上であると、光半導体素子封止用シートの支持性および取り扱い性がより向上する。上記厚さが200μm以下であると、光半導体素子封止用シートの厚さを薄くすることができ、光半導体装置をより薄くすることができる。 The thickness of the plastic film is preferably 20-200 μm, more preferably 40-150 μm. When the thickness is 20 μm or more, the supportability and handleability of the sheet for optical semiconductor element encapsulation are further improved. When the thickness is 200 µm or less, the thickness of the optical semiconductor element encapsulating sheet can be reduced, and the optical semiconductor device can be made thinner.

上記基材部は、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とするプラスチックフィルムと、光学フィルムとを含むことが好ましい。偏光板等の光学フィルムは一般的に支持性や取り扱い性に劣る傾向があり、上記プラスチックフィルムと組み合わせて用いることで、双方の長所を活かすことができる。この場合、特に、上記基材部において、上記プラスチックフィルムが上記封止部側であることが好ましい。 It is preferable that the base material includes a plastic film containing a polyester resin and/or a polyimide resin as a main component, and an optical film. Optical films such as polarizing plates generally tend to be inferior in supportability and handleability, and by using them in combination with the above plastic film, the advantages of both can be utilized. In this case, it is particularly preferable that the plastic film is located on the side of the sealing portion in the base portion.

上記基材部は、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えることが好ましい。上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、例えば、上記基材層の少なくとも一方の面に、アンチグレア処理および/または反射防止処理を施すことで、上記アンチグレア処理層や反射防止処理層として得られる。上記アンチグレア処理層および上記反射防止処理層は、同一層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。アンチグレア処理および反射防止処理は、それぞれ、公知乃至慣用の方法で実施することができる。 It is preferable that the substrate part has a layer having antiglare properties and/or antireflection properties. The layer having antiglare properties and/or antireflection properties can be formed, for example, by subjecting at least one surface of the base material layer to antiglare treatment and/or antireflection treatment, thereby forming the antiglare treatment layer or antireflection treatment layer. can get. The antiglare treatment layer and the antireflection treatment layer may be the same layer or different layers. Antiglare treatment and antireflection treatment can be carried out by known or common methods.

上記基材部の上記封止部を備える側の表面は、封止部との密着性、保持性等を高める目的で、例えば、コロナ放電処理、プラズマ処理、サンドマット加工処理、オゾン暴露処理、火炎暴露処理、高圧電撃暴露処理、イオン化放射線処理等の物理的処理;クロム酸処理等の化学的処理;コーティング剤(下塗り剤)による易接着処理等の表面処理が施されていてもよい。密着性を高めるための表面処理は、基材部における封止部側の表面全体に施されていることが好ましい。 The surface of the base material portion on the side provided with the sealing portion is subjected to, for example, corona discharge treatment, plasma treatment, sand mat processing, ozone exposure treatment, and so on for the purpose of enhancing adhesion, retention, etc. with the sealing portion. Physical treatments such as flame exposure treatment, high voltage shock exposure treatment, and ionizing radiation treatment; chemical treatments such as chromic acid treatment; and surface treatments such as easy adhesion treatment with a coating agent (undercoat). It is preferable that the surface treatment for enhancing adhesion is applied to the entire surface of the base member on the sealing portion side.

図1に示す光半導体素子封止用シート1において、基材部2は、光学フィルム21と、プラスチックフィルム23とを有する複層であり、光学フィルム21とプラスチックフィルム23とは粘着剤層22を介して貼り合わせられている。また、光学フィルム21のプラスチックフィルム23と対向する面には、アンチグレア処理および反射防止処理が施されている。 In the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 shown in FIG. glued together through The surface of the optical film 21 facing the plastic film 23 is subjected to antiglare treatment and antireflection treatment.

上記基材部の厚さは、支持体としての機能および表面の耐擦傷性に優れる観点から、5μm以上が好ましく、より好ましくは10μm以上である。上記基材部の厚さは、透明性により優れる観点から、300μm以下が好ましく、より好ましくは200μm以下である。 The thickness of the base material is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, from the viewpoint of function as a support and excellent scratch resistance of the surface. The thickness of the base material is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, from the viewpoint of better transparency.

<剥離ライナー>
上記剥離ライナーは、上記封止部表面を被覆して保護するための要素であり、光半導体素子が配置された基板に光半導体素子封止用シートを貼り合わせる際には当該シートから剥がされる。
<Release liner>
The release liner is an element for covering and protecting the surface of the sealing portion, and is peeled off from the sheet when the optical semiconductor element encapsulating sheet is attached to the substrate on which the optical semiconductor element is arranged.

上記剥離ライナーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、フッ素系剥離剤や長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙類などが挙げられる。 Examples of the release liner include polyethylene terephthalate (PET) film, polyethylene film, polypropylene film, plastic film and paper surface-coated with a release agent such as a fluorine release agent or a long-chain alkyl acrylate release agent. be done.

上記剥離ライナーの厚さは、例えば10~200μm、好ましくは15~150μm、より好ましくは20~100μmである。上記厚さが10μm以上であると、剥離ライナーの加工時に切り込みにより破断しにくい。上記厚さが200μm以下であると、使用時に上記封止部から剥離ライナーをより剥離しやすい。 The thickness of the release liner is, for example, 10-200 μm, preferably 15-150 μm, more preferably 20-100 μm. When the thickness is 10 μm or more, the release liner is less likely to break due to cutting during processing. When the thickness is 200 μm or less, the release liner can be easily peeled off from the sealing portion during use.

<光半導体素子封止用シート>
上記光半導体素子封止用シートにおける上記基材部および上記封止部の合計の厚さの割合は、上記光半導体素子封止用シートの厚さ(但し、剥離ライナーおよび表面保護フィルムを除く)100%に対し、80%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上である。また、基材部および封止部を含む、基材部表面から封止部表面までの厚さの割合が上記範囲内であることが好ましい。
<Sheet for optical semiconductor element encapsulation>
The ratio of the total thickness of the base portion and the sealing portion in the optical semiconductor element encapsulating sheet is the thickness of the optical semiconductor element encapsulating sheet (excluding the release liner and the surface protective film) With respect to 100%, it is preferably 80% or more, more preferably 90% or more. Moreover, it is preferable that the ratio of the thickness from the surface of the substrate portion to the surface of the sealing portion, including the substrate portion and the sealing portion, is within the above range.

上記光半導体素子封止用シートにおける上記基材部および上記封止部の合計の厚さは、100~900μmであることが好ましく、より好ましくは200~800μmである。また、基材部および封止部を含む、基材部表面から封止部表面までの厚さが上記範囲内であることが好ましい。 The total thickness of the base portion and the sealing portion in the sheet for optical semiconductor element encapsulation is preferably 100 to 900 μm, more preferably 200 to 800 μm. In addition, it is preferable that the thickness from the surface of the substrate portion to the surface of the sealing portion, including the substrate portion and the sealing portion, is within the above range.

本発明の光半導体素子封止用シートの製造方法の一実施形態について説明する。例えば、図1に示す光半導体素子封止用シート1は、下記の方法で作製することができる。まず、基材部2を構成するプラスチックフィルム23に、放射線硬化性樹脂層31を形成する。上記放射線硬化性樹脂層31は、放射線硬化性樹脂層31を形成する樹脂組成物をプラスチックフィルム23の一方の面に塗布して樹脂組成物層を形成した後、加熱による脱溶媒や熱硬化等の放射線照射以外の硬化を行い、該樹脂組成物層を固化させることによって作製することができる。放射線硬化性樹脂層31の厚さを厚くする場合、別途剥離ライナーの剥離処理面上に同様にして作製された放射線硬化性樹脂層を、上記プラスチックフィルム23上に形成された放射線硬化性樹脂層上に重ね合わせて積層してもよい。 One embodiment of the method for producing the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention will be described. For example, the sheet 1 for optical semiconductor element encapsulation shown in FIG. 1 can be produced by the following method. First, the radiation-curable resin layer 31 is formed on the plastic film 23 that constitutes the base material portion 2 . The radiation-curable resin layer 31 is formed by applying a resin composition for forming the radiation-curable resin layer 31 to one surface of the plastic film 23 to form a resin composition layer, and then removing the solvent by heating, heat curing, or the like. can be prepared by curing the resin composition layer by curing other than radiation irradiation. When the thickness of the radiation-curable resin layer 31 is increased, a radiation-curable resin layer prepared in the same manner on the release-treated surface of the release liner is added to the radiation-curable resin layer formed on the plastic film 23. It may be laminated on top of it.

上記放射線硬化性樹脂層を形成する樹脂組成物は、放射線重合性官能基の放射線重合性を損なわない限り、いずれの形態であってもよい。例えば、粘着剤組成物は、エマルジョン型、溶剤型(溶液型)、熱溶融型(ホットメルト型)などであってもよい。中でも、生産性に優れる粘着剤層が得やすい点より、溶剤型が好ましい。 The resin composition forming the radiation-curable resin layer may be in any form as long as it does not impair the radiation polymerizability of the radiation-polymerizable functional group. For example, the adhesive composition may be emulsion type, solvent type (solution type), thermal melting type (hot melt type), or the like. Among them, the solvent type is preferable because it is easy to obtain a pressure-sensitive adhesive layer with excellent productivity.

上記樹脂組成物は、上記放射線重合性官能基を有するポリマーおよび上記その他の成分以外に、上記架橋剤や上記光重合開始剤(光開始剤)を含んでいてもよい。上記架橋剤を含む場合、上記樹脂組成物層を加熱して放射線硬化性樹脂層を形成する際に、上記架橋剤による架橋が進行する。また、上記光重合開始剤を含む場合、放射線硬化性樹脂層を硬化させる際に上記放射線重合性官能基の重合が促進される。上記架橋剤および上記光重合開始剤は、それぞれ、一種のみを使用してもよく、二種以上を使用してもよい。 The resin composition may contain the crosslinking agent and the photopolymerization initiator (photoinitiator) in addition to the polymer having a radiation-polymerizable functional group and the other components. When the above-mentioned cross-linking agent is included, cross-linking by the above-mentioned cross-linking agent proceeds when the above-mentioned resin composition layer is heated to form a radiation-curable resin layer. Moreover, when the photopolymerization initiator is contained, the polymerization of the radiation-polymerizable functional group is accelerated when the radiation-curable resin layer is cured. Each of the crosslinking agent and the photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more.

一方、別途準備した剥離ライナー4の剥離処理面上に放射線非硬化性粘着剤層32を形成する。上記放射線非硬化性粘着剤層32は、放射線非硬化性粘着剤層32を形成する粘着剤組成物を剥離ライナー4の剥離処理面上に塗布して粘着剤組成物層を形成した後、加熱による脱溶媒や硬化を行い、該粘着剤組成物層を固化させることによって作製することができる。そして、上記放射線非硬化性粘着剤層を上記放射線硬化性樹脂層上に積層する。このようにして、[プラスチックフィルム23/放射線硬化性樹脂層31/放射線非硬化性粘着剤層32/剥離ライナー4]の構成を有する積層体が得られる。 On the other hand, a non-radiation-curable adhesive layer 32 is formed on the release-treated surface of the release liner 4 separately prepared. The radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer 32 is formed by applying a pressure-sensitive adhesive composition for forming the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer 32 onto the release-treated surface of the release liner 4 to form a pressure-sensitive adhesive composition layer, followed by heating. It can be prepared by removing the solvent and curing with and solidifying the pressure-sensitive adhesive composition layer. Then, the radiation non-curable adhesive layer is laminated on the radiation curable resin layer. Thus, a laminate having a configuration of [plastic film 23/radiation-curable resin layer 31/radiation non-curable adhesive layer 32/release liner 4] is obtained.

上記放射線非硬化性粘着剤層を形成する粘着剤組成物はいずれの形態であってもよい。例えば、粘着剤組成物は、エマルジョン型、溶剤型(溶液型)、活性エネルギー線硬化型、熱溶融型(ホットメルト型)などであってもよい。中でも、生産性に優れる粘着剤層が得やすい点より、溶剤型、活性エネルギー線硬化型の粘着剤組成物が好ましい。 The pressure-sensitive adhesive composition forming the radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer may be in any form. For example, the pressure-sensitive adhesive composition may be an emulsion type, a solvent type (solution type), an active energy ray-curable type, a heat-melting type (hot-melt type), or the like. Among them, solvent-type and active-energy-ray-curable adhesive compositions are preferred because they facilitate the formation of an adhesive layer with excellent productivity.

他方、光学フィルム21と粘着剤層22の積層体を作製する。具体的には、例えば、別途準備した剥離ライナーの剥離処理面上に、放射線非硬化性粘着剤層32と同様にして粘着剤層22を形成し、次いで光学フィルム21を粘着剤層22上に貼り合わせて作製することができる。そして、上記剥離ライナーを剥離して粘着剤層22を露出させ、上記積層体のプラスチックフィルム23の、放射線硬化性樹脂層31が形成されていない表面に貼り合わせる。上記樹脂組成物や粘着剤組成物の塗布手法としては、例えば、公知乃至慣用の塗布手法を採用でき、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工など挙げられる。また、各種層の積層は、公知のローラーやラミネーターを用いて行うことができる。このようにして、図1に示す光半導体素子封止用シート1を作製することができる。 On the other hand, a laminate of the optical film 21 and the adhesive layer 22 is produced. Specifically, for example, the adhesive layer 22 is formed on the release-treated surface of a separately prepared release liner in the same manner as the radiation non-curable adhesive layer 32, and then the optical film 21 is placed on the adhesive layer 22. It can be manufactured by laminating. Then, the release liner is peeled off to expose the pressure-sensitive adhesive layer 22, which is attached to the surface of the plastic film 23 of the laminate on which the radiation-curable resin layer 31 is not formed. As a coating method for the resin composition or the pressure-sensitive adhesive composition, for example, a known or commonly used coating method can be employed, and examples thereof include roll coating, screen coating, gravure coating, and the like. Lamination of various layers can be performed using a known roller or laminator. Thus, the sheet 1 for optical semiconductor element encapsulation shown in FIG. 1 can be produced.

なお、本発明の光半導体素子封止用シートは、上述の方法に限定されず、基材部が複層で構成される場合はまず基材部を作製し、基材部に、放射線硬化性樹脂層および放射線非硬化性粘着剤層を適宜組み合わせて順次積層して作製することができる。 In addition, the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention is not limited to the method described above. The resin layer and the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer can be appropriately combined and laminated in sequence.

本発明の光半導体装置封止用シートを用いて、光半導体素子が配置された基板上に本発明の光半導体装置封止用シートの封止部を貼り合わせて、封止部により光半導体素子を封止することで、光半導体装置を得ることができる。具体的には、まず、本発明の光半導体素子封止用シートから剥離ライナーを剥離して封止部を露出させる。そして、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子(好ましくは複数の光半導体素子)とを備える光学部材の、光半導体素子が配置された基板面に、本発明の光半導体素子封止用シートの露出面である封止部面を貼り合わせ、上記光学部材が複数の光半導体素子を備える場合はさらに複数の光半導体素子間の隙間を封止部が充填するように配置し、複数の光半導体素子を一括して封止する。このようにして、本発明の光半導体装置封止用シートを用いて光半導体素子を封止することができる。また、本発明の光半導体装置封止用シートを用いて、減圧環境下あるいは加圧しつつ貼り合わせることにより光半導体素子を封止してもよい。このような方法としては、例えば、特開2016-29689号公報や特開平6-97268に開示の方法が挙げられる。 Using the sheet for encapsulating an optical semiconductor device of the present invention, the encapsulating portion of the sheet for encapsulating an optical semiconductor device of the present invention is attached to a substrate on which an optical semiconductor element is arranged, and the optical semiconductor element is formed by the encapsulating portion. can be sealed to obtain an optical semiconductor device. Specifically, first, the release liner is peeled off from the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention to expose the encapsulation portion. Then, the optical semiconductor element encapsulation of the present invention is applied to the substrate surface on which the optical semiconductor elements are arranged, of an optical member comprising a substrate and optical semiconductor elements (preferably a plurality of optical semiconductor elements) arranged on the substrate. When the optical member includes a plurality of optical semiconductor elements, the sealing portion is further arranged so that the gap between the plurality of optical semiconductor elements is filled with the sealing portion, and a plurality of of optical semiconductor elements are collectively sealed. Thus, an optical semiconductor element can be sealed using the sheet for optical semiconductor device encapsulation of the present invention. Moreover, you may seal an optical-semiconductor element by bonding together under a pressure-reduced environment or pressurizing using the sheet|seat for optical-semiconductor-device sealing of this invention. Examples of such a method include the methods disclosed in JP-A-2016-29689 and JP-A-6-97268.

[光半導体装置]
本発明の光半導体素子封止用シートを用いて光半導体装置を作製することができる。本発明の光半導体素子封止用シートを用いて製造される光半導体装置は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する本発明の光半導体素子封止用シートが硬化した硬化物と、を備える。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線照射により硬化した硬化物であり、具体的には、本発明の光半導体素子封止用シートにおける放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化封止層を備える。
[Optical semiconductor device]
An optical semiconductor device can be produced using the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention. An optical semiconductor device manufactured using the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention comprises a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and an optical semiconductor element of the present invention for sealing the optical semiconductor element. and a cured product obtained by curing the sheet for sealing. The cured product is a cured product obtained by curing the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention by irradiation with radiation. and a cured sealing layer cured by.

上記光半導体素子としては、例えば、青色発光ダイオード、緑色発光ダイオード、赤色発光ダイオード、紫外線発光ダイオード等の発光ダイオード(LED)が挙げられる。 Examples of the optical semiconductor elements include light-emitting diodes (LEDs) such as blue light-emitting diodes, green light-emitting diodes, red light-emitting diodes, and ultraviolet light-emitting diodes.

上記光半導体装置において、本発明の光半導体素子封止用シートは、光半導体素子を凸部、複数の光半導体素子間の隙間を凹部としたときの凹凸への追従性に優れ光半導体素子の埋め込み性に優れるため、複数の光半導体素子を一括して封止していることが好ましい。 In the above optical semiconductor device, the optical semiconductor element encapsulating sheet of the present invention has excellent followability to irregularities when the optical semiconductor elements are convex portions and the gaps between the plurality of optical semiconductor elements are concave portions. It is preferable to collectively seal a plurality of optical semiconductor elements because of its excellent embeddability.

図2に、図1に示す光半導体素子封止用シート1を用いた光半導体装置の一実施形態を示す。図2に示す光半導体装置10は、基板5と、基板5の一方の面に配置された複数の光半導体素子6と、光半導体素子6を封止する光半導体素子封止用シートの硬化物1’とを備える。光半導体素子封止用シートの硬化物1’は光半導体素子封止用シート1から剥離ライナー4が剥離され、放射線硬化性樹脂層31が放射線照射により硬化して形成された硬化封止層31’が形成されたものである。複数の光半導体素子6は、一括して封止部に封止されている。封止部における放射線非硬化性粘着剤層32は、複数の光半導体素子6で形成された凹凸形状に追従して光半導体素子6および基板5に密着し、光半導体素子6を埋め込んでいる。 FIG. 2 shows an embodiment of an optical semiconductor device using the optical semiconductor element sealing sheet 1 shown in FIG. An optical semiconductor device 10 shown in FIG. 1'. The cured product 1' of the optical semiconductor element encapsulating sheet is a cured sealing layer 31 formed by peeling the release liner 4 from the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 and curing the radiation curable resin layer 31 by irradiation with radiation. ' is formed. The plurality of optical semiconductor elements 6 are collectively sealed in the sealing portion. The non-radiation-curable adhesive layer 32 in the sealing portion adheres closely to the optical semiconductor elements 6 and the substrate 5 by following the uneven shape formed by the plurality of optical semiconductor elements 6 , and embeds the optical semiconductor elements 6 .

なお、図2に示す光半導体装置10において、光半導体素子6は、放射線非硬化性粘着剤層32内に完全に埋め込まれて封止されており、且つ、硬化封止層31’により間接的に封止されている。上記光半導体装置は、このような態様に限定されず、光半導体素子6の一部が放射線非硬化性粘着剤層32から突出しており、当該一部が硬化封止層31’内に埋め込まれており、放射線非硬化性粘着剤層32と硬化封止層31’とで光半導体素子6が完全に埋め込まれて封止されている態様であってもよい。 In the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2, the optical semiconductor element 6 is completely embedded and sealed in the radiation non-curable adhesive layer 32, and is indirectly cured by the cured sealing layer 31'. is sealed in The optical semiconductor device is not limited to such an aspect, and a part of the optical semiconductor element 6 protrudes from the radiation non-curable adhesive layer 32, and the part is embedded in the cured sealing layer 31'. The optical semiconductor element 6 may be completely embedded and sealed by the radiation non-curable adhesive layer 32 and the cured sealing layer 31'.

上記光半導体装置は、上述のように、放射線非硬化性粘着剤層と、放射線硬化性樹脂層の硬化物である硬化封止層とにより光半導体素子を封止している。このため、光半導体素子は封止部に密着しており、光半導体素子の封止性に優れ、且つ、硬化封止層の側面の粘着性が低いため、タイリングされた状態において、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、容易に引き離すことができ、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。 As described above, the optical semiconductor device seals the optical semiconductor element with the radiation non-curable adhesive layer and the cured sealing layer that is the cured product of the radiation curable resin layer. For this reason, the optical semiconductor element is in close contact with the sealing portion, and the sealing property of the optical semiconductor element is excellent, and the adhesiveness of the side surface of the cured sealing layer is low. When the optical semiconductor devices are separated from each other, they can be easily separated, and damage to the sheet and adherence of the adjacent optical semiconductor device sheets to each other are less likely to occur.

上記光半導体装置は、個々の光半導体装置がタイリングされたものであってもよい。すなわち、上記光半導体装置は、複数の光半導体装置が平面方向にタイル状に配置されたものであってもよい。 The optical semiconductor device may be formed by tiling individual optical semiconductor devices. That is, the optical semiconductor device may be a plurality of optical semiconductor devices arranged in a tile shape in a planar direction.

図3に複数の光半導体装置が配置されて作製された光半導体装置の一実施形態を示す。図3に示す光半導体装置20は、複数の光半導体装置10が縦方向に4個、横方向に4個の計16個が平面方向にタイル状に配置(タイリング)されたものである。隣接する2つの光半導体装置10間の境界20aでは、光半導体装置10同士が隣接しているが、これらは容易に引き離すことができ、封止部側面の欠損や、隣接する光半導体装置の一方から他方に、上記封止部側面において欠損した樹脂の付着が起こりにくい。 FIG. 3 shows an embodiment of an optical semiconductor device manufactured by arranging a plurality of optical semiconductor devices. In the optical semiconductor device 20 shown in FIG. 3, a total of 16 optical semiconductor devices 10, ie, four in the vertical direction and four in the horizontal direction, are arranged (tiled) in a planar direction. At the boundary 20a between two adjacent optical semiconductor devices 10, the optical semiconductor devices 10 are adjacent to each other. On the other side, the resin that is missing on the side surface of the sealing portion is less likely to adhere to the other side.

上記光半導体装置は、液晶画面のバックライトであることが好ましく、特に全面直下型のバックライトであることが好ましい。また、上記バックライトと表示パネルとを組み合わせることで画像表示装置とすることができる。上記光半導体装置が液晶画面のバックライトである場合の光半導体素子はLED素子である。例えば、上記バックライトにおいて、上記基板上には、各LED素子に発光制御信号を送るための金属配線層が積層されている。赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色の光を発する各LED素子は、表示パネルの基板上に金属配線層を介して交互に配列されている。金属配線層は、銅などの金属によって形成されており、各LED素子の発光を反射して、画像の視認性を低下させる。また、RGBの各色の各LED素子が発する光が混色し、コントラストが低下する。 The optical semiconductor device is preferably a backlight for a liquid crystal screen, and more preferably a full-surface direct type backlight. An image display device can be obtained by combining the backlight and the display panel. When the optical semiconductor device is a backlight for a liquid crystal screen, the optical semiconductor element is an LED element. For example, in the backlight, a metal wiring layer for sending light emission control signals to each LED element is laminated on the substrate. The LED elements that emit red (R), green (G), and blue (B) lights are alternately arranged on the substrate of the display panel via metal wiring layers. The metal wiring layer is made of metal such as copper, and reflects the light emitted from each LED element to reduce the visibility of the image. In addition, the light emitted from each LED element of each color of RGB is mixed, and the contrast is lowered.

また、上記光半導体装置は、自発光型表示装置であることが好ましい。また、上記自発光型表示装置と、必要に応じて表示パネルとを組み合わせることで画像表示装置とすることができる。上記光半導体装置が自発光型表示装置である場合の光半導体素子はLED素子である。上記自発光型表示装置としては、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示装置などが挙げられる。例えば、上記自発光型表示装置において、上記基板上には、各LED素子に発光制御信号を送るための金属配線層が積層されている。赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色の光を発する各LED素子は、基板上に金属配線層を介して交互に配列されている。金属配線層は、銅などの金属によって形成されており、各LED素子の発光度合いを調整して各色を表示させる。 Further, the optical semiconductor device is preferably a self-luminous display device. An image display device can be obtained by combining the self-luminous display device and, if necessary, a display panel. When the optical semiconductor device is a self-luminous display device, the optical semiconductor element is an LED element. Examples of the self-luminous display device include an organic electroluminescence (organic EL) display device. For example, in the self-luminous display device, metal wiring layers for sending light emission control signals to the LED elements are laminated on the substrate. The LED elements that emit red (R), green (G), and blue (B) lights are alternately arranged on the substrate via metal wiring layers. The metal wiring layer is made of metal such as copper, and displays each color by adjusting the degree of light emission of each LED element.

本発明の光半導体素子封止用シートは、折り曲げて使用される光半導体装置、例えば、折り曲げ可能な画像表示装置(フレキシブルディスプレイ)(特に、折り畳み可能な画像表示装置(フォルダブルディスプレイ))を有する光半導体装置に用いることができる。具体的には、折り畳み可能なバックライトおよび折り畳み可能な自発光型表示装置などに使用することができる。 The sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention has an optical semiconductor device that is used by folding, for example, a foldable image display device (flexible display) (particularly, a foldable image display device (foldable display)). It can be used for an optical semiconductor device. Specifically, it can be used for a foldable backlight, a foldable self-luminous display device, and the like.

本発明の光半導体素子封止用シートは、光半導体素子の埋め込み性に優れるため、上記光半導体装置がミニLED表示装置である場合およびマイクロLED表示装置である場合のいずれにも好ましく使用することができる。 Since the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention is excellent in the embedding property of an optical semiconductor element, it is preferably used both when the optical semiconductor device is a mini LED display device and when it is a micro LED display device. can be done.

[光半導体装置の製造方法]
上記光半導体装置は、例えば、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、本発明の光半導体素子封止用シートの上記放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える積層体をダイシングして光半導体装置を得るダイシング工程とを少なくとも備える製造方法により製造することができる。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線照射により硬化した硬化物であり、具体的には、本発明の光半導体素子封止用シートにおける放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化封止層を備える。
[Method for manufacturing an optical semiconductor device]
The optical semiconductor device comprises, for example, a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and the radiation-curable resin layer of the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention, which seals the optical semiconductor element. and a dicing step of obtaining an optical semiconductor device by dicing the laminate comprising the cured product. The cured product is a cured product obtained by curing the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention by irradiation with radiation. and a cured sealing layer cured by.

放射線硬化性樹脂層を放射線照射して硬化する際、酸素が存在する側面においては硬化が阻害され、硬化が不充分となりやすい。これに対し、上記ダイシング工程を備える上記製造方法によれば、放射線照射により上記放射線硬化性樹脂層を硬化させた硬化封止層を含む光半導体素子封止用シートの硬化物を備える積層体について、上記ダイシング工程において硬化が不充分である側端部を切り落として除去することにより、充分に硬化して密着性が低下した領域が側面に露出した光半導体装置を得ることができる。このようにして製造された光半導体装置は、硬化後の放射線硬化性樹脂層側面の密着性が充分に低下しているため、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。 When the radiation-curable resin layer is cured by irradiating with radiation, curing is inhibited on the side where oxygen exists, and curing tends to be insufficient. On the other hand, according to the manufacturing method including the dicing step, a laminate including a cured product of a sheet for optical semiconductor element encapsulation including a cured sealing layer obtained by curing the radiation-curable resin layer by irradiation with radiation In the above dicing step, by cutting off and removing the side end portions where the curing is insufficient, it is possible to obtain an optical semiconductor device in which the regions where the adhesiveness is lowered due to the sufficient curing are exposed on the side surfaces. In the optical semiconductor device manufactured in this manner, since the adhesiveness of the side surface of the radiation-curable resin layer after curing is sufficiently lowered, when the adjacent optical semiconductor devices are separated in the tiling state, the sheet is not damaged. Also, adhesion of sheets of adjacent optical semiconductor devices is less likely to occur.

上記製造方法は、さらに、上記基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートと、を備える積層体に放射線を照射して上記放射線硬化性樹脂層を硬化させて上記硬化物を得る放射線照射工程を備えていてもよい。 The manufacturing method further includes irradiating a laminate comprising the substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and the optical semiconductor element sealing sheet for sealing the optical semiconductor element with radiation. A radiation irradiation step of curing the radiation-curable resin layer to obtain the cured product may be provided.

上記製造方法は、上記放射線照射工程の前に、上記光半導体素子封止用シートを、上記基板上に設けられた上記光半導体素子に貼り合わせて上記光半導体素子を上記封止部により封止する封止工程を備えていてもよい。 In the manufacturing method, before the radiation irradiation step, the optical semiconductor element encapsulating sheet is attached to the optical semiconductor element provided on the substrate, and the optical semiconductor element is sealed with the sealing portion. You may provide the sealing process which carries out.

また、上記製造方法は、さらに、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べるタイリング工程を備えていてもよい。以下、図2に示す光半導体装置10および図3に示す光半導体装置20の製造方法を適宜参酌して説明する。 The manufacturing method may further include a tiling step of arranging the plurality of optical semiconductor devices obtained in the dicing step so as to be in contact with each other in a plane direction. A method for manufacturing the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2 and the optical semiconductor device 20 shown in FIG. 3 will be described below with appropriate reference.

(封止工程)
上記封止工程では、本発明の光半導体素子封止用シートを、光半導体素子が配置された基板に貼り合わせ、封止部により光半導体素子を封止する。上記封止工程では、具体的には、図4に示すように、剥離ライナー4を剥離した光半導体素子封止用シート1の放射線非硬化性粘着剤層32を、基板5の光半導体素子6が配置された面に対向するように配置し、光半導体素子封止用シート1を基板5の光半導体素子6が配置された面に貼り合わせ、図5に示すように光半導体素子6を封止部3に埋め込む。図4に示すように、貼り合わせに使用される基板5は、図2に示す光半導体装置10における基板5よりも平面方向に広く延びており、基板5の端部付近には光半導体素子6が配置されていない。また、貼り合わせる光半導体素子封止用シート1は、貼り合わせに使用される基板5よりも平面方向に広く延びている。すなわち、封止工程において貼り合わせられる光半導体素子封止用シート1の基板5に対向する面の面積は、封止工程において貼り合わせられる基板5の光半導体素子封止用シート1に対向する面の面積よりも大きい。これは、光半導体素子封止用シート1および基板5の積層体において光半導体装置に使用される領域においては後の放射線照射工程において充分に硬化を進行させ、光半導体素子封止用シート1および基板5の、硬化が不充分である可能性のある端部付近は後のダイシング工程においてダイシングされて除去されるためである。
(sealing process)
In the sealing step, the sheet for optical semiconductor element encapsulation of the present invention is attached to the substrate on which the optical semiconductor element is arranged, and the optical semiconductor element is sealed by the sealing portion. In the sealing step, specifically, as shown in FIG. is arranged so as to face the surface on which the optical semiconductor element encapsulation sheet 1 is arranged, and the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 is attached to the surface of the substrate 5 on which the optical semiconductor element 6 is arranged, and the optical semiconductor element 6 is sealed as shown in FIG. Embed in the stop part 3. As shown in FIG. 4, the substrate 5 used for bonding extends wider in the planar direction than the substrate 5 in the optical semiconductor device 10 shown in FIG. is not placed. Moreover, the sheet 1 for encapsulating an optical semiconductor element to be bonded extends in a plane direction wider than the substrate 5 used for bonding. That is, the area of the surface facing the substrate 5 of the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 bonded in the sealing step is the surface of the optical semiconductor element encapsulating sheet 1 that is bonded in the sealing step larger than the area of In the laminate of the optical-semiconductor element encapsulating sheet 1 and the substrate 5, the area used for the optical semiconductor device is sufficiently cured in the subsequent radiation irradiation step, and the optical-semiconductor element encapsulating sheet 1 and the substrate 5 This is because the vicinity of the edge of the substrate 5 which may be insufficiently hardened is diced and removed in a later dicing process.

上記貼り合わせの際の温度は、例えば室温から110℃の範囲内である。また、上記貼り合わせの際、減圧または加圧してもよい。減圧や加圧により封止部と基板または光半導体素子との間に空隙が形成されるのを抑制することができる。また、上記封止工程では、減圧下で光半導体素子封止用シートを貼り合わせ、その後加圧することが好ましい。減圧する場合の圧力は例えば1~100Paであり、減圧時間は例えば5~600秒である。また、加圧する場合の圧力は例えば0.05~0.5MPaであり、減圧時間は例えば5~600秒である。 The temperature during the bonding is, for example, within the range of room temperature to 110°C. In addition, pressure may be reduced or pressurized during the bonding. It is possible to suppress the formation of a gap between the sealing portion and the substrate or the optical semiconductor element by depressurization or pressurization. Moreover, in the said sealing process, it is preferable to bond together the sheet|seat for optical-semiconductor element sealing under pressure reduction, and to pressurize after that. The pressure for decompression is, for example, 1 to 100 Pa, and the decompression time is, for example, 5 to 600 seconds. Further, the pressure when pressurizing is, for example, 0.05 to 0.5 MPa, and the pressure reduction time is, for example, 5 to 600 seconds.

(放射線照射工程)
上記放射線照射工程では、上記光半導体素子が配置された上記基板に上記光半導体素子封止用シートが貼り合わせられた積層体(例えば、上記封止工程で得られた積層体)に対し、放射線を照射して、上記放射線硬化性樹脂層を硬化させる。上記放射線照射工程では、具体的には、図6に示すように、放射線硬化性樹脂層31を硬化させて硬化封止層31’が形成され、光半導体素子封止用シート1の硬化物1’が得られる。上記放射線としては上述のように、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、X線などが挙げられる。中でも、紫外線が好ましい。放射線照射時の温度は、例えば室温から100℃の範囲内であり、照射時間は例えば1分~1時間である。
(Radiation irradiation step)
In the radiation irradiation step, the laminate (for example, the laminate obtained in the sealing step) in which the sheet for encapsulating the optical semiconductor element is attached to the substrate on which the optical semiconductor element is arranged is irradiated with radiation. to cure the radiation-curable resin layer. Specifically, in the radiation irradiation step, as shown in FIG. 6, the radiation-curable resin layer 31 is cured to form a cured sealing layer 31′, and the cured product 1 of the optical semiconductor element sealing sheet 1 is formed. ' is obtained. Examples of the radiation include electron beams, ultraviolet rays, α rays, β rays, γ rays, and X rays, as described above. Among them, ultraviolet rays are preferred. The temperature during irradiation is, for example, within the range of room temperature to 100° C., and the irradiation time is, for example, 1 minute to 1 hour.

(ダイシング工程)
上記ダイシング工程では、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、本発明の光半導体素子封止用シートの硬化物と、を備える積層体(例えば、上記放射線照射工程を経た積層体)をダイシングする。ここで、ダイシング工程に付す積層体において、光半導体素子封止用シートの硬化物1’および基板5は、上述のように、最終的に得られる光半導体装置10よりも平面方向に広く延びている。そして、上記ダイシング工程では、光半導体素子封止用シートの硬化物および基板の側端部をダイシングして除去する。具体的には、図7に示す鎖線の位置でダイシングを行い、側端部を除去する。上記ダイシングは、公知乃至慣用の方法により行うことができ、例えば、ダイシングブレードを用いた方法や、レーザー照射により行うことができる。このようにして、例えば図2に示す光半導体装置10を製造することができる。
(Dicing process)
In the dicing step, a laminate comprising a substrate, an optical semiconductor element arranged on the substrate, and a cured product of the optical semiconductor element sealing sheet of the present invention that seals the optical semiconductor element (for example, , the laminate that has undergone the radiation irradiation step) is diced. Here, in the laminate to be subjected to the dicing step, the cured product 1' of the optical semiconductor element encapsulating sheet and the substrate 5 extend wider in the planar direction than the finally obtained optical semiconductor device 10, as described above. there is In the dicing step, the cured product of the optical semiconductor element encapsulation sheet and the side edges of the substrate are removed by dicing. Specifically, dicing is performed at the position of the dashed line shown in FIG. 7 to remove the side edge. The dicing can be performed by a known or commonly used method, for example, a method using a dicing blade or by laser irradiation. Thus, for example, the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2 can be manufactured.

ここで、上記製造方法においては、例えば、上記放射線照射工程を経ること等により得られる、放射線硬化性樹脂層が硬化した状態においてダイシングを行うことが重要である。放射線硬化性樹脂層が硬化していない状態でダイシングを行った場合、ダイシング後に光半導体素子封止用シートの側端部を引き離して除去しようとする際、除去される側端部および残される光半導体装置における放射線硬化性樹脂層同士の粘着性が高く、密着して引き合い、残される光半導体装置中の放射線硬化性樹脂層に欠損が生じる、残される光半導体装置に除去される側端部の放射線硬化性樹脂層の一部が転写して付着するといった不具合が生じる場合がある。これに対し、放射線硬化性樹脂層が硬化した状態でダイシングを行う、上記ダイシング工程を備えることにより、放射線硬化性樹脂層は硬化して硬化封止層となっているため、ダイシング部分の側面の密着性が低く、上記不具合の発生を抑制することができる。 Here, in the above-described production method, it is important to perform dicing in a state in which the radiation-curable resin layer obtained through the above-described radiation irradiation step, for example, is cured. When dicing is performed in a state in which the radiation-curable resin layer is not cured, when the side edges of the optical semiconductor element encapsulation sheet are pulled apart after dicing and removed, the side edges to be removed and the remaining light The adhesiveness of the radiation-curable resin layers in the semiconductor device is high, and the radiation-curable resin layers in the remaining optical semiconductor device are in close contact with each other, causing damage to the radiation-curable resin layer. A problem may arise that a part of the radiation-curable resin layer is transferred and attached. On the other hand, by providing the dicing step in which dicing is performed in a cured state of the radiation-curable resin layer, the radiation-curable resin layer is cured to form a cured sealing layer. The adhesiveness is low, and the occurrence of the above problems can be suppressed.

また、放射線硬化性樹脂層を放射線照射して硬化する際、酸素が存在する側面においては硬化が阻害され、硬化が不充分となりやすい。これに対し、上記ダイシング工程を備える上記製造方法によれば、上記放射線硬化性樹脂層が硬化した状態で、上記ダイシング工程において硬化が不充分である端部を切り落として除去することにより、側面が充分に硬化して密着性が低下した光半導体装置を得ることができる。このようにして製造された光半導体装置は、放射線硬化性樹脂層の硬化後において側面の密着性が充分に低下しているため、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。一方、上記ダイシング工程を備えない場合、タイリングの際、硬化が不充分である側面が隣接する光半導体装置と接触することになるため、隣接する光半導体装置同士を引き離そうとする際、側面同士が密着して引き合い、一方の光半導体装置中の放射線硬化性樹脂層に欠損が生じたり、一方の光半導体装置に他方の光半導体装置における放射線硬化性樹脂層の一部が転写して付着したりするといった不具合が生じやすい。 In addition, when the radiation-curable resin layer is cured by irradiating it with radiation, curing is inhibited on the side where oxygen exists, and curing tends to be insufficient. On the other hand, according to the manufacturing method including the dicing step, in the cured state of the radiation-curable resin layer, the side surface is formed by cutting off and removing the edge portion that is insufficiently cured in the dicing step. It is possible to obtain an optical semiconductor device which is sufficiently cured and whose adhesion is lowered. In the optical semiconductor device manufactured in this way, the adhesiveness of the side surface is sufficiently lowered after the radiation-curable resin layer is cured. Defects and adhesion of sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to occur. On the other hand, if the dicing step is not provided, the side surfaces that are insufficiently cured will come into contact with the adjacent optical semiconductor devices during tiling. are in close contact with each other, causing defects in the radiation-curable resin layer in one optical semiconductor device, or part of the radiation-curable resin layer in one optical semiconductor device being transferred and attached to the other optical semiconductor device. It is easy to cause problems such as slipping.

(タイリング工程)
上記タイリング工程では、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べてタイリングする。このようにして、例えば図3に示す光半導体装置20を製造することができる。タイリングして得られた光半導体装置は、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。
(tiling process)
In the tiling step, the plurality of optical semiconductor devices obtained in the dicing step are arranged and tiled so as to be in contact with each other in the plane direction. Thus, for example, the optical semiconductor device 20 shown in FIG. 3 can be manufactured. The optical semiconductor device obtained by tiling is excellent in encapsulation of the optical semiconductor element, but when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the sheets are less likely to be damaged or the sheets of the adjacent optical semiconductor devices to adhere.

以下に実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples below, but the present invention is not limited to these Examples.

実施例1
<TACフィルム/バインダー粘着剤層>
モノマー成分として、アクリル酸2-エチルヘキシル(2EHA)69.7質量部、アクリル酸2-メトキシエチル(MEA)10質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)13質量部、N-ビニル-2-ピロリドン(NVP)6質量部、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド(HEAA)1.3質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.1質量部、および重合溶媒として酢酸エチル200質量部を、セパラブルフラスコに投入し、窒素ガスを導入しながら、1時間撹拌した。このようにして、重合系内の酸素を除去した後、63℃に昇温し、10時間反応させて、酢酸エチルを加え、固形分濃度30質量%のアクリル系ポリマー溶液を得た。上記アクリル系ポリマー100質量部に対して、架橋剤としてイソシアネート系架橋剤(商品名「タケネートD110N」、三井化学株式会社製)を0.2質量部、シランカップリング剤としてγ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「KBM-403」、信越化学工業株式会社製)0.15質量部、架橋促進剤としてエチレンジアミンにプロピレンオキシドを付加したポリオール(商品名「EDP-300」、株式会社ADEKA製)0.2質量部を加え、粘着剤組成物(溶液)を調製した。次に、上記粘着剤組成物(溶液)を、剥離ライナー(セパレータ)(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布し、常圧下、60℃で1分間および155℃で1分間加熱乾燥し、バインダー粘着剤層としての両面粘着シートを得た。そして、トリアセチルセルロース(TAC)フィルム(商品名「DSR3-LR」、大日本印刷株式会社製、総厚45μm、アンチグレア/反射防止処理)の非処理面に対して、ハンドローラーを用いて、バインダー粘着剤層の粘着面を気泡が入らないように貼り合わせた。このようにして、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。
Example 1
<TAC film/binder adhesive layer>
As monomer components, 2-ethylhexyl acrylate (2EHA) 69.7 parts by mass, 2-methoxyethyl acrylate (MEA) 10 parts by mass, 2-hydroxyethyl acrylate (HEA) 13 parts by mass, N-vinyl-2- Pyrrolidone (NVP) 6 parts by mass, N-hydroxyethyl acrylamide (HEAA) 1.3 parts by mass, 2,2'-azobisisobutyronitrile 0.1 parts by mass as a polymerization initiator, and ethyl acetate 200 as a polymerization solvent The parts by mass were put into a separable flask and stirred for 1 hour while nitrogen gas was introduced. After oxygen was removed from the polymerization system in this way, the temperature was raised to 63° C. and the mixture was allowed to react for 10 hours. Based on 100 parts by mass of the acrylic polymer, 0.2 parts by mass of an isocyanate-based cross-linking agent (trade name “Takenate D110N”, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) as a cross-linking agent, and γ-glycidoxypropyl as a silane coupling agent. Trimethoxysilane (trade name “KBM-403”, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 0.15 parts by mass, polyol obtained by adding propylene oxide to ethylenediamine as a cross-linking accelerator (trade name “EDP-300”, manufactured by ADEKA Co., Ltd. ) was added to prepare a pressure-sensitive adhesive composition (solution). Next, the pressure-sensitive adhesive composition (solution) is applied onto the release-treated surface of a release liner (separator) (trade name “MRF38”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying is 25 μm. and dried by heating at 60° C. for 1 minute and at 155° C. for 1 minute under normal pressure to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet as a binder pressure-sensitive adhesive layer. Then, using a hand roller, a binder The adhesive surface of the adhesive layer was adhered so as not to contain air bubbles. Thus, a laminate having a configuration of [TAC film/binder pressure-sensitive adhesive layer/release liner] was produced.

<PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層>
(紫外線硬化性粘着剤層)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)189.77質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)38.04質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)85.93質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.94質量部、および重合溶媒としてメチルエチルケトン379.31質量部を、1L丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、撹拌棒、撹拌羽が装備された重合用実験装置に投入し、撹拌しながら、常温で6時間、窒素置換した。その後、窒素を流入下、撹拌しながら、65℃下で4時間そして75℃下で2時間保持して重合し、樹脂溶液を得た。
次いで、得られた樹脂溶液を室温まで冷却した。その後、上記樹脂溶液に、重合性炭素-炭素二重結合を有する化合物として、2-イソシアナトエチルメタクリレート(MOI)(商品名「カレンズMOI」、昭和電工株式会社製)5.74質量部を加えた。さらにジラウリン酸ジブチルスズ(IV)(富士フイルム和光純薬株式会社製)0.03質量部を添加し、空気雰囲気下、50℃で24時間撹拌して、ベースポリマーを得た。
得られたベースポリマーの固形分100質量部に対して、イソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、東ソー株式会社製、固形分75質量%)1.5質量部、および、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)1質量部を混合した。トルエンを希釈溶剤として用いて、固形分率20~40質量%となるように調整し、粘着剤溶液(1)を得た。
<PET film/ultraviolet curable adhesive layer/radiation non-curable adhesive layer>
(Ultraviolet curable adhesive layer)
Butyl acrylate (BA) 189.77 parts by mass, cyclohexyl acrylate (CHA) 38.04 parts by mass, 2-hydroxyethyl acrylate (HEA) 85.93 parts by mass, 2,2'-azo as a polymerization initiator 0.94 parts by mass of bisisobutyronitrile and 379.31 parts by mass of methyl ethyl ketone as a polymerization solvent were placed in a 1 L round bottom separable flask, a separable cover, a separating funnel, a thermometer, a nitrogen inlet tube, a Liebig condenser, The mixture was placed in a polymerization experimental apparatus equipped with a vacuum seal, a stirring rod, and a stirring blade, and the mixture was replaced with nitrogen at room temperature for 6 hours while stirring. Thereafter, polymerization was carried out by holding at 65° C. for 4 hours and at 75° C. for 2 hours while stirring under flowing nitrogen to obtain a resin solution.
The resulting resin solution was then cooled to room temperature. After that, 5.74 parts by mass of 2-isocyanatoethyl methacrylate (MOI) (trade name “Karenzu MOI”, manufactured by Showa Denko KK) is added to the resin solution as a compound having a polymerizable carbon-carbon double bond. rice field. Further, 0.03 part by mass of dibutyltin dilaurate (IV) (manufactured by Fuji Film Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added, and the mixture was stirred at 50°C for 24 hours in an air atmosphere to obtain a base polymer.
Based on 100 parts by mass of the solid content of the obtained base polymer, 1.5 parts by mass of an isocyanate compound (trade name "Coronate L", manufactured by Tosoh Corporation, solid content 75% by mass), and 2,2-dimethoxy- 1 part by mass of 1,2-diphenyl-1-one (trade name “omnirad 651”, manufactured by IGM Resins Italia Srl) was mixed. Using toluene as a diluent solvent, the solid content was adjusted to 20 to 40% by mass to obtain an adhesive solution (1).

この粘着剤溶液(1)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(1)を形成した。他方、上記で得られた粘着剤溶液(1)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(2)を形成した。 This adhesive solution (1) was applied to the treated surface of a PET film (trade name “T912E75 (UE80-)”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so that the thickness after drying was 112.5 μm. and dried by heating at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes under normal pressure to form an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer (1). On the other hand, the pressure-sensitive adhesive solution (1) obtained above was applied onto the release-treated surface of a release liner (trade name “MRF38”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying was 112.5 μm. It was applied and dried by heating at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes under normal pressure to form an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer (2).

そして、PETフィルム上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの紫外線硬化性粘着剤層を形成した。その後剥離ライナーを剥離した。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the UV-curable adhesive layer (1) formed on the PET film and the UV-curable adhesive layer (2) formed on the release liner were placed together using a hand roller so as not to introduce air bubbles. They were bonded together to form one UV-curable adhesive layer. After that, the release liner was peeled off. Thus, a laminate having a configuration of [PET film/ultraviolet-curing pressure-sensitive adhesive layer] was produced.

(放射線非硬化性粘着剤層)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)189.77質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)38.04質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)85.93質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.94質量部、および重合溶媒としてメチルエチルケトン379.31質量部を、1L丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、撹拌棒、撹拌羽が装備された重合用実験装置に投入し、撹拌しながら、常温で6時間、窒素置換した。その後、窒素を流入下、撹拌しながら、65℃下で4時間そして75℃下で2時間保持して重合し、樹脂溶液を得た。
得られた樹脂溶液に、ベースポリマーの固形分100質量部に対して、イソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、東ソー株式会社製、固形分75質量%)1.5質量部を混合した。トルエンを希釈溶剤として用いて、固形分率20~40質量%となるように調整し、粘着剤溶液(2)を得た。
(Radiation non-curable adhesive layer)
Butyl acrylate (BA) 189.77 parts by mass, cyclohexyl acrylate (CHA) 38.04 parts by mass, 2-hydroxyethyl acrylate (HEA) 85.93 parts by mass, 2,2'-azo as a polymerization initiator 0.94 parts by mass of bisisobutyronitrile and 379.31 parts by mass of methyl ethyl ketone as a polymerization solvent were placed in a 1 L round bottom separable flask, a separable cover, a separating funnel, a thermometer, a nitrogen inlet tube, a Liebig condenser, The mixture was placed in a polymerization experimental apparatus equipped with a vacuum seal, a stirring rod, and a stirring blade, and the mixture was replaced with nitrogen at room temperature for 6 hours while stirring. Thereafter, polymerization was carried out by holding at 65° C. for 4 hours and at 75° C. for 2 hours while stirring under flowing nitrogen to obtain a resin solution.
1.5 parts by mass of an isocyanate compound (trade name: "Coronate L" manufactured by Tosoh Corporation, solid content: 75% by mass) was mixed with the resulting resin solution based on 100 parts by mass of the solid content of the base polymer. Using toluene as a diluting solvent, the solid content was adjusted to 20 to 40% by mass to obtain an adhesive solution (2).

この粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布し、常圧下、125℃で2分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層を形成した。 This pressure-sensitive adhesive solution (2) was applied onto the release-treated surface of a release liner (trade name “MRF38”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying was 25 μm, and the temperature was maintained at 125° C. under normal pressure. for 2 minutes to form a non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer.

(PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層)
上記放射線非硬化性粘着剤層を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層]の構成を有する積層体の紫外線硬化性粘着剤層面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。
(PET film/ultraviolet curable adhesive layer/radiation non-curable adhesive layer)
The non-radiation-curable adhesive layer is applied to the surface of the UV-curable adhesive layer of the laminate having the structure of [PET film/UV-curable adhesive layer] using a hand roller so as not to introduce air bubbles. Matched. In this way, a laminate having a structure of [PET film/ultraviolet curable adhesive layer/radiation non-curable adhesive layer/release liner] was produced.

<光半導体素子封止用シート>
[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、実施例1の光半導体素子封止用シートを作製した。
<Sheet for optical semiconductor element encapsulation>
The release liner is peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner], and the exposed binder adhesive layer surface is covered with [PET film/ultraviolet curable adhesive layer/radiation non-curable adhesive layer]. /Release liner] was laminated to the PET film surface of the laminate using a hand roller so as not to introduce air bubbles. After that, aging is performed at 50° C. for 48 hours, and Example 1 having a layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/ultraviolet curable adhesive layer/radiation non-curable adhesive layer/release liner]. A sheet for optical semiconductor element encapsulation was produced.

実施例2~5
紫外線硬化性粘着剤層の作製において、2-イソシアナトエチルメタクリレート(MOI)およびジラウリン酸ジブチルスズ(IV)の配合量を表に記載のように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2~5の光半導体素子封止用シートをそれぞれ作製した。
Examples 2-5
In the preparation of the UV-curable adhesive layer, in the same manner as in Example 1, except that the blending amounts of 2-isocyanatoethyl methacrylate (MOI) and dibutyltin dilaurate (IV) were changed as shown in the table. Sheets for encapsulating optical semiconductor elements of Examples 2 to 5 were prepared.

比較例1
実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ放射線非硬化性粘着剤層(1)を形成した。他方、実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層(2)を形成した。
Comparative example 1
The adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied to the treated surface of a PET film (trade name “T912E75 (UE80-)”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm), and the thickness after drying was 125 μm. and dried under normal pressure by heating at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form a radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer (1). On the other hand, the pressure-sensitive adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied onto the release-treated surface of a release liner (trade name “MRF38”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying was 125 μm. and dried by heating at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes under normal pressure to form a radiation non-curable pressure-sensitive adhesive layer (2).

そして、PETフィルム上に形成した放射線非硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した放射線非硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの放射線非硬化性粘着剤層を形成した。このようにして、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the radiation non-curable adhesive layer (1) formed on the PET film and the radiation non-curable adhesive layer (2) formed on the release liner are adhered to each other using a hand roller so that air bubbles do not enter. to form one radiation non-curable adhesive layer. Thus, a laminate having a configuration of [PET film/non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer/release liner] was produced.

実施例1で作製した[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、比較例1の光半導体素子封止用シートを作製した。 The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] prepared in Example 1, and the exposed binder adhesive layer surface was treated with [PET film/radiation non-curable adhesive layer/ [Release liner] was laminated to the PET film surface of the laminate using a hand roller so as not to introduce air bubbles. After that, it was aged at 50° C. for 48 hours, and had a layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/radiation non-curable adhesive layer/release liner] for optical semiconductor element encapsulation of Comparative Example 1. A sheet was produced.

比較例2
紫外線硬化性粘着剤層の作製において、2-イソシアナトエチルメタクリレート(MOI)およびジラウリン酸ジブチルスズ(IV)の配合量を表に記載のように変更したこと以外は、実施例1の粘着剤溶液(1)と同様にして、粘着剤溶液(3)を得た。
そして、作製した粘着剤溶液(3)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ紫外線硬化性粘着剤層(3)を形成した。他方、上記で作製した粘着剤溶液(3)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(4)を形成した。
Comparative example 2
In the preparation of the UV-curable adhesive layer, the adhesive solution of Example 1 ( Adhesive solution (3) was obtained in the same manner as in 1).
Then, the prepared adhesive solution (3) is applied to the treated surface of a PET film (trade name “T912E75 (UE80-)”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so that the thickness after drying becomes 125 μm. and dried under normal pressure by heating at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet curable adhesive layer (3). On the other hand, the pressure-sensitive adhesive solution (3) prepared above was applied onto the release-treated surface of a release liner (trade name “MRF38”, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying was 125 μm, Under normal pressure, it was dried by heating at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer (4).

そして、PETフィルム上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(3)と剥離ライナー上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(4)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの紫外線硬化性粘着剤層を形成した。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the UV-curable adhesive layer (3) formed on the PET film and the UV-curable adhesive layer (4) formed on the release liner were put together using a hand roller so as not to introduce air bubbles. They were bonded together to form one UV-curable adhesive layer. Thus, a laminate having a configuration of [PET film/ultraviolet-curing pressure-sensitive adhesive layer/release liner] was produced.

実施例1で作製した[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、比較例2の光半導体素子封止用シートを作製した。 The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] prepared in Example 1, and the exposed binder adhesive layer surface was covered with [PET film/ultraviolet curable adhesive layer/release Liner] was laminated to the PET film surface of the laminate using a hand roller so as not to introduce air bubbles. Thereafter, aging was performed at 50° C. for 48 hours, and the sheet for optical semiconductor element encapsulation of Comparative Example 2 having a layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/ultraviolet curable adhesive layer/release liner]. was made.

<評価>
実施例および比較例で得られた紫外線硬化性粘着剤層および光半導体素子封止用シートについて、以下の評価を行った。結果を表に示す。
<Evaluation>
The UV-curable pressure-sensitive adhesive layers and sheets for optical semiconductor element encapsulation obtained in Examples and Comparative Examples were evaluated as follows. The results are shown in the table.

(1)ナノインデンテーション法による硬さ
実施例および比較例でそれぞれ得られた光半導体素子封止用シートについて、紫外線硬化性粘着剤層の硬化前および硬化後における表面のナノインデンテーション法による硬さの測定を行った。紫外線硬化性粘着剤層の硬化は、TACフィルム側から下記の紫外線照射条件にて紫外線照射を行って実施した。そして、紫外線硬化性粘着剤層の硬化前後における光半導体素子封止用シートをそれぞれ、-40℃~-30℃で10~15分間凍結させた後、当該凍結条件下でウルトラミクロトームを用いて厚さ方向に切断して紫外線硬化性粘着剤層の断面を露出させた。そして、装置に付属している金属製ステージに断面が露出した光半導体素子封止用シートを、Pentel修正液(品番「XEZL1-W」)を固めることで固定した後、装置の窓等にポリイミドフィルムを貼り遮光した上で評価を行った。ナノインデンター(商品名「TriboIndenter」、HYSITRON Inc.社製)を用い、下記のナノインデンテーション測定条件で、硬化前後の紫外線硬化性粘着剤層の表面のナノインデンテーション測定を行った。そして、得られた硬さを表1に示す。
<紫外線照射条件>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:100秒
積算光量:5000mJ/cm2
<ナノインデンテーション測定条件>
使用圧子:Berkovich(三角錐型)
測定方法:単一押し込み測定
測定温度:23℃
押し込み深さ設定:3.0μm
負荷速度:500nm/s
除荷速度:500nm/s
(1) Hardness by nanoindentation method For the optical semiconductor element encapsulation sheets obtained in Examples and Comparative Examples, the surface hardness by nanoindentation method before and after curing of the UV-curable adhesive layer was measured. was measured. Curing of the UV-curable pressure-sensitive adhesive layer was performed by irradiating UV rays from the TAC film side under the following UV irradiation conditions. Then, after freezing the optical semiconductor element encapsulating sheet before and after curing the UV-curable adhesive layer at -40 ° C. to -30 ° C. for 10 to 15 minutes, the thickness using an ultramicrotome under the freezing conditions A cross section of the UV-curable adhesive layer was exposed by cutting in the longitudinal direction. Then, after fixing the optical semiconductor element encapsulation sheet with its cross section exposed on the metal stage attached to the device by hardening Pentel correction liquid (product number “XEZL1-W”), polyimide is applied to the window of the device, etc. Evaluation was performed after affixing a film to block light. Using a nanoindenter (trade name “TriboIndenter”, manufactured by HYSITRON Inc.), nanoindentation was measured on the surface of the UV-curable pressure-sensitive adhesive layer before and after curing under the following nanoindentation measurement conditions. Table 1 shows the hardness obtained.
<Ultraviolet irradiation conditions>
Ultraviolet irradiation device: product name “UM810” manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd. Light source: high-pressure mercury lamp Irradiation intensity: 50 mW/cm 2 (Measuring device: product name “Ultraviolet illuminance meter UT-101” manufactured by Ushio Inc.)
Irradiation time: 100 seconds Cumulative amount of light: 5000 mJ/cm 2
<Nanoindentation measurement conditions>
Indenter used: Berkovich (triangular pyramid type)
Measurement method: single indentation measurement Measurement temperature: 23°C
Push depth setting: 3.0 μm
Loading speed: 500 nm/s
Unloading speed: 500 nm/s

(2)ダイシング評価
実施例および比較例で得られた光半導体素子封止用シートについて、基板(商品名「鉛フリーユニバーサル基板ICB93SGPBF」、サンハヤト株式会社製)のパターン面に対して、剥離ライナーを剥離して露出した粘着剤層面全面をハンドローラーで貼り合わせ、試験サンプルを作製した。なお、光半導体素子封止用シートの粘着剤層面積は、貼り合わせられる基板の面積よりも大きい。貼り合わせは、温度22℃、湿度50%の環境下で、気泡が入らないようにして行った。その後、上記試験サンプルについてTACフィルム側から下記の紫外線照射条件(1)にて紫外線照射を行い、紫外線硬化性粘着剤層を硬化させた。なお、紫外線硬化性粘着剤層を有しない比較例1の光半導体素子封止用シートを用いた試験サンプルについては紫外線照射を行わなかった。
<紫外線照射条件(1)>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:100秒
積算光量:5000mJ/cm2
(2) Dicing evaluation For the optical semiconductor element encapsulation sheets obtained in Examples and Comparative Examples, a release liner was applied to the pattern surface of the substrate (trade name “Lead-free universal substrate ICB93SGPBF” manufactured by Sanhayato Co., Ltd.). A test sample was prepared by laminating the entire surface of the pressure-sensitive adhesive layer exposed by peeling with a hand roller. In addition, the area of the pressure-sensitive adhesive layer of the sheet for optical semiconductor element encapsulation is larger than the area of the substrate to be bonded. The bonding was performed in an environment of 22° C. temperature and 50% humidity, in such a way as not to introduce air bubbles. Thereafter, the above test sample was irradiated with ultraviolet rays from the TAC film side under the following ultraviolet irradiation conditions (1) to cure the ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive layer. The test sample using the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of Comparative Example 1, which did not have an ultraviolet-curing adhesive layer, was not irradiated with ultraviolet rays.
<Ultraviolet irradiation conditions (1)>
Ultraviolet irradiation device: product name “UM810” manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd. Light source: high-pressure mercury lamp Irradiation intensity: 50 mW/cm 2 (Measuring device: product name “Ultraviolet illuminance meter UT-101” manufactured by Ushio Inc.)
Irradiation time: 100 seconds Cumulative amount of light: 5000 mJ/cm 2

紫外線照射後、試験サンプルの光半導体素子封止用シートを貼付していない側である基板表面にダイシングテープ(商品名「NBD-5172K」、日東電工株式会社製)を貼付した。ダイシングテープの粘着剤面にはダイシングするためのダイシングリングを貼付した。貼付後、遮光下および温度22℃の環境下で30分放置した。その後、下記のダイシング条件で、試験サンプルおよびダイシングテープの積層体について、基板の側端から内側に向かって5mmの位置のブレードダイシングを行った。
<ダイシング条件>
ダイシング装置:商品名「DFD-6450」、株式会社ディスコ製
カット方式:シングルカット
ダイシング速度:30mm/秒
ダイシングブレード:商品名「P1A861 SDC400N75BR597」、株式会社ディスコ製
ダイシングブレード回転数:30,000rpm
ブレード高さ:85μm
水量:1.5L/分
ダイシング間隔:10mm
1回のダイシングの距離:試験サンプルの全長分
After the ultraviolet irradiation, a dicing tape (trade name “NBD-5172K” manufactured by Nitto Denko Corporation) was attached to the substrate surface of the test sample, which was the side to which the optical semiconductor element encapsulation sheet was not attached. A dicing ring for dicing was attached to the adhesive surface of the dicing tape. After application, the patch was allowed to stand for 30 minutes in a light-shielded environment at a temperature of 22°C. After that, under the following dicing conditions, the laminate of the test sample and the dicing tape was diced with a blade at a position 5 mm inward from the side edge of the substrate.
<Dicing conditions>
Dicing machine: Product name “DFD-6450” manufactured by Disco Co., Ltd. Cutting method: Single cut Dicing speed: 30 mm/sec Dicing blade: Product name “P1A861 SDC400N75BR597” manufactured by Disco Co., Ltd. Dicing blade rotation speed: 30,000 rpm
Blade height: 85 μm
Water volume: 1.5 L/min Dicing interval: 10 mm
Distance of one dicing: full length of test sample

なお、ダイシングに用いたブレードは、以下の方法でドレスダイシングを行ったものを用いた。
ダイシングテープ(商品名「NBD-7163K」、日東電工株式会社製)の粘着剤層に、ダイシングリングと、ボード(商品名「DRESSER BOARD BGCA0172」、株式会社ディスコ製)とを貼り付け、処理用のワークを作製した。次いで、得られたワークを下記のドレスダイシング条件でダイシングし、上記ブレードダイシング用のブレードを得た。
<ドレスダイシング条件>
ダイシング装置:製品名「DFD-6450」、株式会社ディスコ製
カット方式:シングルカット
ダイシング速度:55mm/秒
ダイシングブレード:商品名「P1A861 SDC400N75BR597」(新品)、株式会社ディスコ製
ダイシングブレード回転数:35,000rpm
ブレード高さ:500μm
水量:1.5L/分
1回のダイシングの距離:ボードの全長
ダイシング間隔:1mm刻み
ダイシング回数:100回
The blade used for dicing was subjected to dress dicing by the following method.
A dicing ring and a board (trade name “DRESSER BOARD BGCA0172”, manufactured by Disco Co., Ltd.) were attached to the adhesive layer of a dicing tape (trade name “NBD-7163K”, manufactured by Nitto Denko Corporation), and a processing was performed. A workpiece was produced. Then, the obtained workpiece was diced under the following dress dicing conditions to obtain a blade for the blade dicing.
<Dress dicing conditions>
Dicing device: Product name "DFD-6450", manufactured by Disco Co., Ltd. Cutting method: Single cut Dicing speed: 55 mm / sec Dicing blade: Product name "P1A861 SDC400N75BR597" (new), manufactured by Disco Co., Ltd. Dicing blade rotation speed: 35, 000rpm
Blade height: 500 μm
Water volume: 1.5 L/min Distance of one dicing: Full length of the board Dicing interval: 1 mm increment Number of dicing: 100 times

ブレードダイシング後、ダイシングテープ基材側からの下記の紫外線照射条件(2)で紫外線を照射し、基板に対するダイシングテープの剥離強度を低下させた。
<紫外線照射条件(2)>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:10秒
積算光量:500mJ/cm2
After blade dicing, ultraviolet rays were irradiated from the dicing tape substrate side under the following ultraviolet irradiation conditions (2) to reduce the peel strength of the dicing tape from the substrate.
<Ultraviolet irradiation conditions (2)>
Ultraviolet irradiation device: product name “UM810” manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd. Light source: high-pressure mercury lamp Irradiation intensity: 50 mW/cm 2 (Measuring device: product name “Ultraviolet illuminance meter UT-101” manufactured by Ushio Inc.)
Irradiation time: 10 seconds Accumulated amount of light: 500 mJ/cm 2

その後、ブレードダイシングによって短冊状に切断された、試験サンプルおよび基板の積層体をダイシングテープから剥離して、ダイシング中に試験サンプルの基板からの剥がれが確認されたものを「B」とし、剥がれが確認できかったものを「A」として評価した。 After that, the laminate of the test sample and the substrate, which was cut into strips by blade dicing, was peeled off from the dicing tape. Those that could not be confirmed were evaluated as "A".

(3)断面の算術平均高さSa
上記ダイシング評価において短冊状に切断された、試験サンプルおよび基板の積層体をダイシングテープから剥離した。そして、露出した紫外線硬化性樹脂層の硬化物の断面について算術平均高さSaの測定を行った。なお、紫外線硬化性樹脂層を有しない比較例1については放射線非硬化性粘着剤層の断面について算術平均高さSaの測定を行った。具体的には、未研削のSiミラーウエハの表面に両面粘着テープ(商品名「No.5000NS」、日東電工株式会社製)を貼付した。次いで、両面粘着テープの露出面(Siミラーウエハと接していない面)上に上記短冊状の積層体をピンセットで貼り付けた。なお、貼り付けは、ダイシング切断面と両面粘着テープとを貼り合わせるよう行い、最表面(両面粘着テープから最も離れた面)が、最後にダイシングされたダイシング切断面となるよう行った。最後にダイシングされたダイシング切断面に対して、レーザー顕微鏡(製品名「VK-X150」、株式会社キーエンス製)を用いて観察および測定を行った。PCソフトは「観察アプリケーションVK-H1XV2 バージョン2.5.0.0」(株式会社キーエンス製)を用いた。対物レンズは「20X/0.46 OFN25 WD 3.1」(株式会社ニコン製)を用いた。PCソフトの「形状測定」で、ダイシング切断面の粗さ測定を、以下の測定設定で行った。
<測定設定>
測定モード:透明体(最表面)
測定サイズ:標準(1024×768)
測定品質:高精度
ピッチ:0.75μm
(3) Arithmetic mean height Sa of cross section
The laminate of the test sample and substrate cut into strips in the dicing evaluation was peeled off from the dicing tape. Then, the arithmetic mean height Sa was measured for the cross section of the exposed cured product of the ultraviolet curable resin layer. For Comparative Example 1, which does not have an ultraviolet curable resin layer, the arithmetic mean height Sa was measured for the section of the non-radiation curable pressure-sensitive adhesive layer. Specifically, a double-sided adhesive tape (trade name “No. 5000NS” manufactured by Nitto Denko Corporation) was attached to the surface of an unground Si mirror wafer. Next, the strip-shaped laminate was attached to the exposed surface of the double-sided adhesive tape (the surface not in contact with the Si mirror wafer) using tweezers. The dicing cut surface and the double-sided adhesive tape were pasted together so that the outermost surface (the surface farthest from the double-sided adhesive tape) was the last diced cut surface. Finally, the diced cut surface was observed and measured using a laser microscope (product name “VK-X150”, manufactured by Keyence Corporation). "Observation application VK-H1XV2 version 2.5.0.0" (manufactured by KEYENCE CORPORATION) was used as PC software. The objective lens used was "20X/0.46 OFN25 WD 3.1" (manufactured by Nikon Corporation). The roughness of the dicing cut surface was measured using the PC software "shape measurement" with the following measurement settings.
<Measurement settings>
Measurement mode: transparent object (outermost surface)
Measurement size: standard (1024 x 768)
Measurement quality: High accuracy Pitch: 0.75 μm

次いで、測定により得られた3次元データを保存した。なお、画面の左端から右端まですべてに測定対象となる層断面が映っている状態とした(厚さ250μm以下の層の断面は画面内に収まった)。その後、PCソフトの「画像処理」の中にある「傾き補正」を行った。補正方法としては、面傾き補正(プロファイル)を選択し、得られた観察像の層中心に2本の線の中心を合わせた状態で、切断面が水平となるように傾き補正を実施した。傾き補正後、補正後の3次元データを保存した。次いで、解析用PCソフト「マルチファイル解析アプリケーション VK-H1XM バージョン1.1.22.87」(株式会社キーエンス製)を用いて3次元データの解析を行った。解析用PCソフトの「表面粗さ」を選び、像として映っている層断面全体を選択し、算術平均高さSa(μm)を計測した。 The three-dimensional data obtained by the measurements were then stored. Note that the cross section of the layer to be measured was displayed from the left end to the right end of the screen (the cross section of the layer with a thickness of 250 µm or less was within the screen). After that, "tilt correction" in the "image processing" of the PC software was performed. As a correction method, surface tilt correction (profile) was selected, and tilt correction was performed so that the cut surface was horizontal while the center of the two lines was aligned with the layer center of the observed image obtained. After correcting the tilt, the corrected three-dimensional data was saved. Then, the three-dimensional data was analyzed using PC software for analysis "multi-file analysis application VK-H1XM version 1.1.22.87" (manufactured by KEYENCE CORPORATION). The "surface roughness" of the analysis PC software was selected, the entire layer cross-section shown as an image was selected, and the arithmetic mean height Sa (μm) was measured.

(4)糸曳き評価
上記ダイシング評価において短冊状に切断された、試験サンプルおよび基板の積層体を2枚、ダイシングテープから剥離した。次いで、上記2枚の積層体を、ダイシングにより露出した切断面同士を接着させ、その状態で温度50℃の環境下で24時間放置した。その後、接着させた上記2枚の短冊を取り出し、温度22℃、湿度50%の環境下に3時間放置した。その後、接着させた切断面同士を手で引き剥がすことを試み、引き剥がせなかった、または、引き剥がせたが粘着剤層の糸曳きが顕著に確認できたものを「D」とし、引き剥がせたが粘着剤層の糸曳きがわずかに確認できたものを「C」とし、引き剥がすのに力は必要としたが粘着剤層の糸曳きなく引き剥がせたものを「B」とし、引き剥がすのに特に力を必要とせず粘着剤層の糸曳きなく引き剥がせたものを「A」として評価した。
(4) Stringing Evaluation Two laminates of the test sample and substrate cut into strips in the above dicing evaluation were separated from the dicing tape. Next, the cut surfaces of the two laminates exposed by dicing were adhered to each other, and left in this state for 24 hours in an environment at a temperature of 50°C. After that, the two strips adhered to each other were taken out and left for 3 hours in an environment with a temperature of 22° C. and a humidity of 50%. After that, an attempt was made to peel off the adhered cut surfaces by hand, and those that could not be peeled off, or those that could be peeled off but had noticeable stringiness of the adhesive layer were rated as "D" and pulled. "C" indicates that the adhesive layer could be peeled off but a slight stringiness of the adhesive layer was confirmed, and "B" indicates that the adhesive layer required force to be peeled off but could be peeled off without stringiness of the adhesive layer. The adhesive layer was evaluated as "A" when it could be peeled off without requiring a particular force and without stringiness of the adhesive layer.

Figure 2022129764000002
Figure 2022129764000002

表1に示すように、本発明の光半導体素子封止用シート(実施例)は、ダイシング評価の結果が良好であり、光半導体素子および基板に対するシートの密着性に優れ、光半導体素子の封止性に優れると評価された。また、糸曳き評価の結果が良好であり、封止部側面の密着性が低く、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくいと評価された。 As shown in Table 1, the sheets for optical semiconductor element encapsulation of the present invention (Examples) had good results in the dicing evaluation, excellent adhesion of the sheet to the optical semiconductor elements and the substrate, and excellent sealing properties of the optical semiconductor elements. It was evaluated as having excellent stopping properties. In addition, the result of the stringing evaluation was good, and the adhesiveness of the side surface of the sealing part was low, and when the adjacent optical semiconductor devices were separated from each other, it was evaluated that the damage of the sheet and the adhesion of the sheets of the adjacent optical semiconductor devices were unlikely to occur. was done.

一方、紫外線硬化性粘着剤層を有しない場合(比較例1)、糸曳き評価の結果が劣っていた。また、放射線非硬化性粘着剤層を有しない場合(比較例2)、ダイシング評価の結果が劣っており、光半導体素子の封止性に劣ると評価された。 On the other hand, when it did not have an ultraviolet curable adhesive layer (Comparative Example 1), the result of stringing evaluation was inferior. In the case of not having a non-radiation-curable adhesive layer (Comparative Example 2), the result of the dicing evaluation was inferior, and the optical semiconductor element encapsulation was evaluated as being inferior.

1 光半導体素子封止用シート
1’ 光半導体素子封止用シートの硬化物
2 基材部
21 光学フィルム
22 粘着剤層
23 プラスチックフィルム
3 封止部
31 放射線硬化性樹脂層
31’ 硬化封止層
32 放射線非硬化性粘着剤層
4 剥離ライナー
5 基板
6 光半導体装置
10,20 光半導体装置
1 sheet for optical semiconductor element encapsulation 1' cured product of sheet for optical semiconductor element encapsulation 2 base material part 21 optical film 22 adhesive layer 23 plastic film 3 encapsulation part 31 radiation curable resin layer 31' cured encapsulation layer 32 Radiation non-curable adhesive layer 4 Release liner 5 Substrate 6 Optical semiconductor device 10, 20 Optical semiconductor device

Claims (11)

基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
基材部と、前記基材部の一方の面に設けられた、前記光半導体素子を封止するための封止部とを備え、
前記封止部は、放射線非硬化性粘着剤層および放射線硬化性樹脂層を有し、
前記放射線硬化性樹脂層は、放射線重合性官能基を有するポリマーを含有する、光半導体素子封止用シート。
A sheet for sealing one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate,
A base member, and a sealing portion provided on one surface of the base member for encapsulating the optical semiconductor element,
The sealing portion has a radiation non-curable adhesive layer and a radiation curable resin layer,
The sheet for optical semiconductor element encapsulation, wherein the radiation-curable resin layer contains a polymer having a radiation-polymerizable functional group.
前記放射線硬化性樹脂層は前記放射線非硬化性粘着剤層よりも厚い、請求項1に記載の光半導体素子封止用シート。 2. The sheet for optical semiconductor element encapsulation according to claim 1, wherein said radiation curable resin layer is thicker than said radiation non-curable adhesive layer. 前記封止部は着色剤を含む層を含む、請求項1または2に記載の光半導体素子封止用シート。 The sheet for optical semiconductor element encapsulation according to claim 1 or 2, wherein the encapsulating portion includes a layer containing a coloring agent. アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備える、請求項1~3のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。 4. The sheet for optical semiconductor element encapsulation according to any one of claims 1 to 3, comprising a layer having antiglare properties and/or antireflection properties. ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層を備える、請求項1~4のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。 The sheet for encapsulating optical semiconductor elements according to any one of claims 1 to 4, comprising a layer containing a polyester resin and/or a polyimide resin as a main component. 前記放射線硬化性樹脂層の硬化後断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さが1.4MPa以上である、請求項1~5のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。 The optical semiconductor element encapsulation according to any one of claims 1 to 5, wherein the cured cross section of the radiation-curable resin layer has a hardness of 1.4 MPa or more at a temperature of 23°C by a nanoindentation method. sheet. 基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封止する、請求項1~6のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シートの前記放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える光半導体装置。 The radiation-curable resin of the sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to any one of claims 1 to 6, which seals a substrate, an optical semiconductor element arranged on the substrate, and the optical semiconductor element. and a cured product obtained by curing the layer. 液晶画面のバックライトである請求項7に記載の光半導体装置。 8. The optical semiconductor device according to claim 7, which is a backlight for a liquid crystal screen. 請求項8に記載のバックライトと表示パネルとを備える画像表示装置。 An image display device comprising the backlight according to claim 8 and a display panel. 自発光型表示装置である請求項7に記載の光半導体装置。 8. The optical semiconductor device according to claim 7, which is a self-luminous display device. 請求項10に記載の自発光型表示装置を備える画像表示装置。 An image display device comprising the self-luminous display device according to claim 10 .
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