JP2022108916A

JP2022108916A - Cantilever structure for atomic force microscope and atomic force microscope

Info

Publication number: JP2022108916A
Application number: JP2021004144A
Authority: JP
Inventors: 則遠小谷; Norito Kotani
Original assignee: Research Institute of Biomolecule Metrology Co Ltd
Current assignee: Research Institute of Biomolecule Metrology Co Ltd
Priority date: 2021-01-14
Filing date: 2021-01-14
Publication date: 2022-07-27

Abstract

To provide a cantilever structure for an atomic force microscope capable of easily exchanging cantilevers when measuring a sample in an organic solvent, and an atomic force microscope.SOLUTION: A cantilever structure for an atomic force microscope which has a cantilever 11 provided with a probe 11a at an end part and measures a sample by contacting or approximating the probe 11a with/to a sample has a magnet 16 fixed to the cantilever 11. Moreover, it has a groove part 53 housing the magnet 16 and has a holder 12 fixed to the scanner 14 scanning the cantilever 11. By releasing a magnetic force between the magnet 16 and the holder 12, it is possible to easily fit/remove the cantilever 11 to/from the holder 12, and sample measurement in an organic solvent can be easily performed.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、原子間力顕微鏡のカンチレバー構造、及び原子間力顕微鏡に関する。 The present invention relates to a cantilever structure for an atomic force microscope and an atomic force microscope.

例えば、原子間力顕微鏡を用いてタンパク質等の試料を測定する場合には、試料を液体中で測定する。即ち、タンパク質は乾燥に弱いので、液体中で測定する必要がある（特許文献１）。 For example, when measuring a sample such as protein using an atomic force microscope, the sample is measured in a liquid. That is, since protein is vulnerable to drying, it is necessary to measure in a liquid (Patent Document 1).

図１１は、従来における原子間力顕微鏡を用いて、液体中の試料を測定する装置の概略構成を示す説明図である。図１１に示すように、ステージ７６上に載置されたカバーガラス７７の上に、試料が含まれる液体を滴下し、凸状のメニスカス７９（曲面）を形成し、液体中の試料をカンチレバー７１で走査して試料を測定する。 FIG. 11 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of an apparatus for measuring a sample in liquid using a conventional atomic force microscope. As shown in FIG. 11, a liquid containing a sample is dropped onto a cover glass 77 placed on a stage 76 to form a convex meniscus 79 (curved surface). , and measure the sample.

カンチレバー７１は、ホルダ７２を用いてピエゾアクチュエータ７３に固定されている。更に、本体７５に固定されたスキャナ７４を走査して、試料の表面形状を測定する。 A cantilever 71 is fixed to a piezo actuator 73 using a holder 72 . Furthermore, the scanner 74 fixed to the main body 75 is scanned to measure the surface shape of the sample.

ホルダ７２は図１２に示すように、底面６１と、該底面６１に対して傾斜した表面６２を有する側面視台形状をなしている。表面６２の一部がコ字形状にくり抜かれており、くり抜かれた部分が溝部６３とされ、開口部６４が形成されている。カンチレバー７１は、開口部６４から挿入してホルダ７２の溝部６３に収容され、更に、アセトン等の薬品を用いて剥離可能な接着剤（例えば、マニキュア）を用いてホルダ７２に固定されている。 As shown in FIG. 12, the holder 72 has a trapezoidal shape when viewed from the side, having a bottom surface 61 and a surface 62 inclined with respect to the bottom surface 61 . A portion of the surface 62 is hollowed out in a U-shape, and the hollowed out portion serves as a groove portion 63 and an opening portion 64 is formed. The cantilever 71 is inserted through the opening 64 and accommodated in the groove 63 of the holder 72, and is fixed to the holder 72 using an adhesive (for example, nail polish) that can be peeled off using a chemical such as acetone.

図１１に示す原子間力顕微鏡は、ホルダ７２に対してマニキュアを用いてカンチレバー７１を接着することにより、測定終了後には、アセトンを用いてホルダ７２から容易にカンチレバー７１を取り外せるという利点がある。 The atomic force microscope shown in FIG. 11 has the advantage that the cantilever 71 can be easily removed from the holder 72 using acetone after the measurement is completed by bonding the cantilever 71 to the holder 72 with nail polish.

しかし、試料の測定時に用いる液体が有機溶媒である場合には、ホルダ７２及び該ホルダ７２に接着固定されているカンチレバー７１が有機溶媒に浸るので、マニキュアが有機溶媒に溶け出してしまい、試料の測定中にカンチレバー７１がホルダ７２から脱落するという問題が発生する。そこで、エポキシ接着剤等の、有機溶媒内で溶け出さない素材の接着剤を使用すると、カンチレバー７１の交換作業を容易に行うことができなくなる。 However, if the liquid used for sample measurement is an organic solvent, the holder 72 and the cantilever 71 adhesively fixed to the holder 72 are immersed in the organic solvent. A problem arises that the cantilever 71 falls out of the holder 72 during the measurement. Therefore, if an adhesive made of a material that does not dissolve in an organic solvent, such as an epoxy adhesive, is used, the cantilever 71 cannot be easily replaced.

即ち、試料の測定中にカンチレバーに損傷や汚れが発生した場合には、試料の測定中にカンチレバーを交換する必要がある。しかし、エポキシ樹脂を用いてカンチレバー７１を接着すると、カンチレバー７１をホルダ７２から簡単に取り外すことができなくなり、カンチレバー７１の取り外し及び取り付け作業に多くの手間がかかるという問題が発生する。 That is, if the cantilever is damaged or soiled during sample measurement, it is necessary to replace the cantilever during sample measurement. However, when the cantilever 71 is adhered using the epoxy resin, the cantilever 71 cannot be easily removed from the holder 72, and the removal and attachment of the cantilever 71 is troublesome.

また、接着剤を使用せずにカンチレバーを着脱する従来例として、例えば、図１３に示すカンチレバー構造が知られている。図１２に示す従来例では、スキャナなどの固定板１１１に対してピエゾアクチュエータ１１３を固定し、該ピエゾアクチュエータ１１３の上面にカンチレバー１１６を設置する。更に、ピエゾアクチュエータ１１３の左右に支柱１１２ａ、１１２ｂを設置し、２つの支柱１１２ａ、１１２ｂの上面どうしを架け渡すように平板形状の押さえ板１１４を配置する。 As a conventional example of attaching and detaching a cantilever without using an adhesive, for example, a cantilever structure shown in FIG. 13 is known. In the conventional example shown in FIG. 12, a piezoelectric actuator 113 is fixed to a fixed plate 111 such as a scanner, and a cantilever 116 is installed on the upper surface of the piezoelectric actuator 113 . Furthermore, struts 112a and 112b are installed on the left and right sides of the piezo actuator 113, and a flat presser plate 114 is arranged so as to bridge the upper surfaces of the two struts 112a and 112b.

各支柱１１２ａ、１１２ｂの上面にはそれぞれネジ孔１２２ａ、１２２ｂが穿設されている。また、押さえ板１１４の長尺辺の両端側にはそれぞれ開口部１２１ａ、１２１ｂが穿設されている。開口部１２１ａとネジ孔１２２ａ、開口部１２１ｂとネジ孔１２２ｂにネジ（図示省略）を挿通し螺合することにより、カンチレバー１１６のプレート部を、ピエゾアクチュエータ１１３と押さえ板１１４により挟持して固定することができる。 Screw holes 122a and 122b are formed in the upper surfaces of the posts 112a and 112b, respectively. Openings 121a and 121b are formed at both ends of the long sides of the pressing plate 114, respectively. The plate portion of the cantilever 116 is clamped and fixed between the piezo actuator 113 and the pressing plate 114 by inserting and screwing screws (not shown) through the opening 121a and the screw hole 122a, and through the opening 121b and the screw hole 122b. be able to.

このような構成とすれば、接着剤を使用することなくピエゾアクチュエータ１１３にカンチレバー１１６を固定することができる。 With such a configuration, the cantilever 116 can be fixed to the piezo actuator 113 without using an adhesive.

特開２００１－９１４４０号公報JP-A-2001-91440

上述した図１１に示したように、エポキシ接着剤等の有機溶媒で溶け出さない素材の接着剤を使用して固定すると、カンチレバー７１の交換作業に多くの労力を要することになる。 As shown in FIG. 11 described above, if the cantilever 71 is fixed using an adhesive such as an epoxy adhesive, which is a material that does not dissolve in an organic solvent, much labor is required to replace the cantilever 71 .

また、図１３に示したように、押さえ板１１４を用いてカンチレバー１１６をピエゾアクチュエータ１３に固定する方法では、接着剤を使用する必要はないものの、カンチレバー１１６の交換時において、２つのネジ１１７ａ、１１７ｂを取り外すか、或いは緩める必要がある。即ち、カンチレバー１１６を取り外す際には２つのネジ１１７ａ、１１７ｂを緩めて押さえ板１１４による締め付けを解除する。その後、カンチレバー１１６を固定する際には、該カンチレバー１１６のプレート部を挟持した状態で再度２つのネジ１１７ａ、１１７ｂを螺合させる必要がある。このため、ユーザによる多くの作業が必要になる。 Also, as shown in FIG. 13, in the method of fixing the cantilever 116 to the piezo actuator 13 using the presser plate 114, although it is not necessary to use an adhesive, when replacing the cantilever 116, two screws 117a, 117b must be removed or loosened. That is, when removing the cantilever 116, the two screws 117a and 117b are loosened to release the tightening by the pressing plate 114. FIG. After that, when fixing the cantilever 116, it is necessary to screw the two screws 117a and 117b together again while holding the plate portion of the cantilever 116 therebetween. This requires a lot of work by the user.

本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、カンチレバーの着脱を容易に実施することが可能な原子間力顕微鏡のカンチレバー構造、及び原子間力顕微鏡を提供することにある。 The present invention has been made to solve such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a cantilever structure for an atomic force microscope capable of easily attaching and detaching the cantilever, and an atomic force microscope. To provide a force microscope.

上記目的を達成するため、本発明に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造は、先端部に探針が設けられたカンチレバーを有し、前記探針を試料に接触または接近させて前記試料を測定する原子間力顕微鏡のカンチレバー構造であって、前記カンチレバーに固定された固定片と、前記固定片を収容する溝部を有し、前記カンチレバーを走査するスキャナに直接または間接的に固定されたホルダと、を有し、前記固定片及び前記ホルダのうち、一方が磁石を含み他方が金属を含む、または、双方が磁石を含むことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the cantilever structure of an atomic force microscope according to the present invention has a cantilever with a probe provided at its tip, and the probe is brought into contact with or close to a sample to measure the sample. a cantilever structure of an atomic force microscope, comprising: a fixed piece fixed to the cantilever; a holder having a groove for accommodating the fixed piece; and fixed directly or indirectly to a scanner that scans the cantilever; and one of the fixed piece and the holder contains a magnet and the other contains a metal, or both contain a magnet.

また、他の発明に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造は、先端部に探針が設けられたカンチレバーを有し、前記探針を試料に接触または接近させて前記試料を測定する原子間力顕微鏡のカンチレバー構造であって、前記カンチレバーを収容する溝部を有し、前記カンチレバーを走査するスキャナに直接または間接的に固定されたホルダと、前記ホルダの近傍に設けられた支柱と、長尺の平板形状をなし、長尺方向の一方の端部側に開口部が形成された押さえ板と、前記開口部に挿通され、前記支柱の表面に形成されたネジ孔に螺合して、前記押さえ板を前記支柱の表面に固定するネジと、を備え、前記押さえ板を、前記溝部に収容された前記カンチレバーに重複させ、前記ネジを締め付けることにより、前記カンチレバーを前記ホルダに固定することを特徴とする。 A cantilever structure of an atomic force microscope according to another aspect of the invention has a cantilever with a probe at its tip, and the probe is brought into contact with or close to a sample to measure the sample. A cantilever structure of No. 1, comprising: a holder having a groove for accommodating the cantilever and directly or indirectly fixed to a scanner that scans the cantilever; a post provided near the holder; a pressing plate having a shape and having an opening formed on one end side in the longitudinal direction; to the surface of the post, and the holding plate is overlapped with the cantilever housed in the groove, and the cantilever is fixed to the holder by tightening the screw. do.

本発明に係る原子間力顕微鏡は、先端部に探針が設けられたカンチレバーを有し、前記探針を試料に接触または接近させて前記試料を測定する原子間力顕微鏡であって、前記カンチレバーに固定された固定片と、前記固定片を収容する溝部を有するホルダと、前記ホルダを直接的、或いは間接的に固定するスキャナと、前記カンチレバーを走査し、該カンチレバーの変位量を検出して前記試料を測定する測定回路と、を備え、前記固定片及び前記ホルダのうち、一方が磁石を含み他方が金属を含む、または、双方が磁石を含む、ことを特徴とする。 An atomic force microscope according to the present invention is an atomic force microscope that has a cantilever provided with a probe at its tip, and measures the sample by bringing the probe into contact with or close to the sample, wherein the cantilever a holder having a groove for accommodating the fixed piece; a scanner that directly or indirectly fixes the holder; a measurement circuit for measuring the sample, wherein one of the fixed piece and the holder contains a magnet and the other contains a metal, or both contain a magnet.

また、他の発明に係る原子間力顕微鏡は、先端部に探針が設けられたカンチレバーを有し、前記探針を試料に接触または接近させて前記試料を測定する原子間力顕微鏡であって、前記カンチレバーを収容する溝部を有するホルダと、前記ホルダを直接的、或いは間接的に固定するスキャナと、前記ホルダの近傍に設けられた支柱と、長尺の平板形状をなし、長尺方向の一方の端部側に開口部が形成された押さえ板と、前記開口部に挿通され、前記支柱の表面に形成されたネジ孔に螺合して、前記押さえ板を前記支柱の表面に固定するネジと、前記カンチレバーを走査し、該カンチレバーの変位量を検出して前記試料を測定する測定回路と、を備え、前記押さえ板を前記カンチレバーに重複させ、前記ネジを締め付けることにより、前記カンチレバーを前記ホルダに固定することを特徴とする。 Further, an atomic force microscope according to another aspect of the invention is an atomic force microscope that has a cantilever with a probe at its tip, and measures the sample by bringing the probe into contact with or close to the sample. , a holder having a groove for accommodating the cantilever, a scanner for directly or indirectly fixing the holder, a post provided in the vicinity of the holder, and an elongated flat plate shape extending in the elongated direction. A pressing plate having an opening formed on one end thereof is inserted through the opening and screwed into a screw hole formed on the surface of the column to fix the pressing plate to the surface of the column. a screw, and a measuring circuit that scans the cantilever and detects the amount of displacement of the cantilever to measure the sample. It is characterized in that it is fixed to the holder.

本発明によれば、ピエゾアクチュエータに対して簡単な操作でカンチレバーを着脱することが可能になる。 According to the present invention, it is possible to attach and detach the cantilever to and from the piezo actuator by a simple operation.

図１は、本発明の第１実施形態に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造を模式的に示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing the cantilever structure of the atomic force microscope according to the first embodiment of the present invention. 図２は、カンチレバーをピエゾアクチュエータに固定するホルダの構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of a holder that fixes the cantilever to the piezo actuator. 図３は、カンチレバー、及びカンチレバーに取り付けられる磁石の構造を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the structure of a cantilever and a magnet attached to the cantilever. 図４は、カバーガラスの上に設けて有機溶媒を充填するためのプールの構成を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of a pool provided on a cover glass and filled with an organic solvent. 図５は、本発明の第２実施形態に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造を模式的に示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view schematically showing the cantilever structure of the atomic force microscope according to the second embodiment of the present invention. 図６は、第２実施形態に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造を模式的に示す側面図であり、カンチレバーを固定している状態を示す。FIG. 6 is a side view schematically showing the cantilever structure of the atomic force microscope according to the second embodiment, showing a state in which the cantilever is fixed. 図７は、カンチレバーをピエゾアクチュエータに固定するホルダの構成を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing the configuration of a holder that fixes the cantilever to the piezo actuator. 図８は、押さえ板の構造を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the structure of the pressing plate. 図９は、第２実施形態に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造を模式的に示す側面図であり、カンチレバーを解放している状態を示す。FIG. 9 is a side view schematically showing the cantilever structure of the atomic force microscope according to the second embodiment, showing a state in which the cantilever is released. 図１０は、第２実施形態に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造の変形例を模式的に示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram schematically showing a modification of the cantilever structure of the atomic force microscope according to the second embodiment. 図１１は、第１の従来例に係る原子間力顕微鏡のカンチレバーの構造を模式的に示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory view schematically showing the structure of the cantilever of the atomic force microscope according to the first conventional example. 図１２は、第１の従来例に係るカンチレバーをピエゾアクチュエータに固定するホルダの構成を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing the configuration of a holder for fixing the cantilever to the piezo actuator according to the first conventional example. 図１３は、第２の従来例に係る原子間力顕微鏡のカンチレバーの構造を模式的に示す説明図である。FIG. 13 is an explanatory view schematically showing the structure of the cantilever of the atomic force microscope according to the second conventional example.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る原子間力顕微鏡の、カンチレバー、及び試料載置用のステージの構成を模式的に示す説明図である。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing the configuration of a cantilever and a sample mounting stage of an atomic force microscope according to the first embodiment of the present invention.

図１に示すように、第１実施形態に係る原子間力顕微鏡は、金属製のステージ２１を有しており、該ステージ２１の上面には透明のカバーガラス２２が設けられている。カバーガラス２２の上面には、図４に示すように、周囲が矩形状の枠体で囲繞されたプール２３が載置されている。更に、該プール２３内には、有機溶媒等の液体及び測定対象となる試料（例えば、タンパク質）が充填されている。プール２３は、例えばプラスチック、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等で形成されている。 As shown in FIG. 1, the atomic force microscope according to the first embodiment has a stage 21 made of metal, and a transparent cover glass 22 is provided on the upper surface of the stage 21 . As shown in FIG. 4, a pool 23 surrounded by a rectangular frame is placed on the top surface of the cover glass 22 . Furthermore, the pool 23 is filled with a liquid such as an organic solvent and a sample to be measured (for example, protein). The pool 23 is made of, for example, plastic, polyetheretherketone (PEEK), or the like.

なお、プール２３は、表面張力の小さい有機溶媒を測定する際に必要であり、表面張力が大きい液体を計測する場合には、プール２３の使用は必須ではない。例えば、カバーガラス２２上に有機溶媒の液体を滴下し、凸状のメニスカス１９（曲面）を形成した状態で有機溶媒の表面を計測することが可能である。 The pool 23 is necessary when measuring an organic solvent with a low surface tension, and the use of the pool 23 is not essential when measuring a liquid with a high surface tension. For example, it is possible to drop the liquid of the organic solvent onto the cover glass 22 and measure the surface of the organic solvent in a state in which a convex meniscus 19 (curved surface) is formed.

カバーガラス２２の上方には、本体１５に取り付けられたスキャナ１４が設けられている。スキャナ１４には、ピエゾアクチュエータ１３及びレーザ導入ガラス１７が固定されている。ピエゾアクチュエータ１３には、ホルダ１２を介してカンチレバー１１が取り付けられている。即ち、ホルダ１２は、スキャナ１４に間接的に固定されている。また、ホルダ１２がスキャナ１４に直接的に固定されていてもよい。 A scanner 14 attached to a main body 15 is provided above the cover glass 22 . A piezo actuator 13 and a laser introduction glass 17 are fixed to the scanner 14 . A cantilever 11 is attached to the piezo actuator 13 via a holder 12 . That is, the holder 12 is indirectly fixed to the scanner 14 . Alternatively, the holder 12 may be directly fixed to the scanner 14 .

図３は、カンチレバー１１の斜視図である。図３に示すように、カンチレバー１１は、平板形状のプレート部を有しており、片持ちバネ構造を有している。カンチレバー１１の先端部には、探針１１ａが設けられている。プレート部の上面には直方体形状の磁石１６（固定片）が設けられている。磁石１６は、例えば、平面形状が２ｍｍ×２ｍｍの大きさとすることができる。 FIG. 3 is a perspective view of the cantilever 11. FIG. As shown in FIG. 3, the cantilever 11 has a flat plate portion and has a cantilever spring structure. A probe 11 a is provided at the tip of the cantilever 11 . A rectangular parallelepiped magnet 16 (fixed piece) is provided on the upper surface of the plate portion. The magnet 16 can have a planar shape of 2 mm×2 mm, for example.

図１に示すピエゾアクチュエータ１３を駆動させることにより、カンチレバー１１を水平方向及び鉛直方向にナノメートル（ｎｍ）のオーダーで微細にスライド移動させることができる。カンチレバー１１のたわみ量が一定になるように、スキャナ１４を上下方向に変位させ、この変位量に基づいて試料の形状を計測する。 By driving the piezo actuator 13 shown in FIG. 1, the cantilever 11 can be finely slid horizontally and vertically on the order of nanometers (nm). The scanner 14 is vertically displaced so that the amount of deflection of the cantilever 11 is constant, and the shape of the sample is measured based on this amount of displacement.

即ち、探針１１ａの背面側（図中、上側）にレーザ導入ガラス１７（図１参照）を通過して導入されるレーザを照射し、該レーザの反射光を検出することにより、図示省略の測定回路で試料の形状を測定することができる。なお、カンチレバー１１による試料の測定方法の詳細は、周知の技術であるので、説明を省略する。 That is, by irradiating the rear side (upper side in the figure) of the probe 11a with a laser introduced through the laser introduction glass 17 (see FIG. 1) and detecting the reflected light of the laser, the A measurement circuit can measure the shape of the sample. The details of the method for measuring the sample using the cantilever 11 are well-known techniques, so the description thereof is omitted.

図２は、図１に示したホルダ１２の構成を示す斜視図である。図２に示すように、ホルダ１２は、底面５１に対して表面５２が傾斜した側面視台形形状をなしている。また、表面から内側にくり抜かれた溝部５３が形成され、該溝部５３の底面は表面５２に対して略平行とされている。即ち、溝部５３は、周囲が側壁に囲繞された形状（凹部形状）をなしている。溝部５３は、例えば、２ｍｍ×２ｍｍの大きさとすることができる。 FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the holder 12 shown in FIG. 1. As shown in FIG. As shown in FIG. 2 , the holder 12 has a trapezoidal shape in a side view in which a surface 52 is inclined with respect to a bottom surface 51 . A groove portion 53 is formed by hollowing out from the surface inward, and the bottom surface of the groove portion 53 is substantially parallel to the surface 52 . That is, the groove portion 53 has a shape (concave shape) surrounded by side walls. The groove portion 53 can have a size of 2 mm×2 mm, for example.

また、溝部５３周囲の、対向する２つの側壁の一部が切り欠かれて、スリット５４とされている。溝部５３は、前述した直方体形状の磁石１６（図３参照）が丁度収容される大きさに形成されている。即ち、カンチレバー１１のプレート部に固定された磁石１６を溝部５３に収容することにより、該カンチレバー１１をホルダ１２に対して精密な位置に固定することが可能とされている。 A slit 54 is formed by cutting out a part of two opposing side walls around the groove 53 . The groove portion 53 is formed to have a size to accommodate the above-described rectangular parallelepiped magnet 16 (see FIG. 3). That is, by accommodating the magnet 16 fixed to the plate portion of the cantilever 11 in the groove portion 53, the cantilever 11 can be fixed to the holder 12 at a precise position.

カンチレバー１１と磁石１６は、有機溶媒に浸されても溶解しない素材の接着剤、例えば、エポキシ接着剤を用いて固定されている。また、図１の符号１１Ｇに示しているように、磁石１６が固定されたカンチレバー１１が、交換用のカンチレバー群１１Ｇとして複数用意されている。 The cantilever 11 and the magnet 16 are fixed using an adhesive made of a material that does not dissolve even when immersed in an organic solvent, such as an epoxy adhesive. Further, as indicated by reference numeral 11G in FIG. 1, a plurality of cantilevers 11 to which magnets 16 are fixed are prepared as a group of replacement cantilevers 11G.

ホルダ１２は、鉄等の金属で構成されており、該ホルダ１２の溝部５３内に磁石１６が収容されると、磁力により磁石１６とホルダ１２が堅固に固定される。また、図２に示すように、ホルダ１２の２箇所にはスリット５４が形成されているので、各スリット５４からピンセットを挿入して、磁石１６を摘んで、容易に取り外し及び取り付け作業を行うことができる。 The holder 12 is made of metal such as iron, and when the magnet 16 is accommodated in the groove 53 of the holder 12, the magnet 16 and the holder 12 are firmly fixed by magnetic force. In addition, as shown in FIG. 2, since two slits 54 are formed in the holder 12, tweezers can be inserted through each slit 54 to pick up the magnet 16 for easy removal and attachment. can be done.

次に、第１実施形態に係る原子間力顕微鏡の作用について説明する。有機溶媒中の試料を計測する際には、図１に示すプール２３内に、試料を含んだ有機溶媒を充填する。この状態で、有機溶媒中の試料にカンチレバー１１を接触、或いは接近させて、スキャナ１４、及びピエゾアクチュエータ１３を駆動させ、該カンチレバー１１を走査して試料の表面形状を測定する。上述したように、カンチレバー１１と磁石１６は、エポキシ接着剤で固定されており、有機溶媒内に浸ることにより溶け出すことがない。従って、試料の測定中にカンチレバー１１が脱落することがなく、試料を高精度に測定することができる。 Next, operation of the atomic force microscope according to the first embodiment will be described. When measuring a sample in an organic solvent, the pool 23 shown in FIG. 1 is filled with the organic solvent containing the sample. In this state, the cantilever 11 is brought into contact with or close to the sample in the organic solvent, the scanner 14 and the piezo actuator 13 are driven, and the cantilever 11 is scanned to measure the surface shape of the sample. As described above, the cantilever 11 and the magnet 16 are fixed with an epoxy adhesive and will not dissolve out when immersed in an organic solvent. Therefore, the cantilever 11 does not fall off during sample measurement, and the sample can be measured with high accuracy.

一方、試料の測定が行われることにより、カンチレバー１１の探針１１ａに傷がついたり、或いは汚れが付着した場合には、該カンチレバー１１を交換する必要がある。 On the other hand, if the probe 11a of the cantilever 11 is damaged or soiled due to the measurement of the sample, the cantilever 11 needs to be replaced.

この場合には、ユーザがピンセットを使用して、図２に示したスリット５４からピンセットの先端を挿入して磁石１６を摘んで引き上げる。その結果、磁力による連結が解放されてカンチレバー１１を取り出すことができる。 In this case, the user uses tweezers to insert the tip of the tweezers through the slit 54 shown in FIG. As a result, the connection by the magnetic force is released and the cantilever 11 can be taken out.

更に、予め用意している予備のカンチレバー（図１に示すカンチレバー群１１Ｇ）の磁石１６をピンセットで摘んで、ホルダ１２内の溝部５３内に収容する。こうすることにより、新たなカンチレバー１１の磁石１６と金属製のホルダ１２が磁力により堅固に固定され、ピエゾアクチュエータ１３に新たなカンチレバー１１を取り付けることができる。 Furthermore, the magnet 16 of the spare cantilever (cantilever group 11G shown in FIG. 1) prepared in advance is picked up with tweezers and accommodated in the groove 53 in the holder 12 . By doing so, the magnet 16 of the new cantilever 11 and the metal holder 12 are firmly fixed by magnetic force, and the new cantilever 11 can be attached to the piezo actuator 13 .

上記の作業を繰り返すことにより、カンチレバー１１を簡単な操作で交換しながら、試料の計測を行うことができる。 By repeating the above operations, the sample can be measured while exchanging the cantilever 11 with a simple operation.

また、使用済みのカンチレバー１１は、エポキシ接着剤で磁石１６が固定されており、即時に取り外すことは難しいが、緊急性を必要としないので、例えばクロロホルムに浸け置く等により、多くの手間をかけることなく試料測定の終了後に取り外すことができる。 In addition, the used cantilever 11 has the magnet 16 fixed with an epoxy adhesive, and it is difficult to remove it immediately. can be removed after the end of the sample measurement without

このようにして、第１実施形態に係る原子間力顕微鏡のカンチレバー構造では、ピエゾアクチュエータ１３の表面に、溝部５３が形成されたホルダ１２を設置し、更に、磁石１６を固定したカンチレバー１１を、溝部５３内に収容して固定している。この際、磁石１６が溝部５３内に丁度収まるように、溝部５３、及び磁石１６の形状が設定されている。 Thus, in the cantilever structure of the atomic force microscope according to the first embodiment, the holder 12 having the groove 53 formed on the surface of the piezo actuator 13 is installed, and the cantilever 11 to which the magnet 16 is fixed is It is accommodated and fixed in the groove portion 53 . At this time, the shapes of the groove 53 and the magnet 16 are set so that the magnet 16 can be just accommodated in the groove 53 .

従って、カンチレバー１１の背面に設けた磁石１６を溝部５３内に収容することにより、磁石１６とホルダ１２が磁力により堅固に固定されることになり、ひいてはカンチレバー１１をピエゾアクチュエータ１３に高精度に位置合わせして固定することができる。 Therefore, by accommodating the magnet 16 provided on the back surface of the cantilever 11 in the groove 53, the magnet 16 and the holder 12 are firmly fixed by the magnetic force, and the cantilever 11 can be positioned on the piezoelectric actuator 13 with high accuracy. Can be fixed together.

また、接着剤の乾燥時間、取り外し時間を短縮でき、実験中のカンチレバー交換作業を素早く、且つ容易に行うことができる。 In addition, the drying time and removal time of the adhesive can be shortened, and the cantilever replacement work during the experiment can be performed quickly and easily.

更に、磁石１６とカンチレバー１１は、エポキシ接着剤等の、有機溶媒に溶けない素材の接着剤を用いて固定するので、従来のように接着剤が有機溶媒に溶け出してカンチレバー１１が脱落するという問題を回避できる。 Furthermore, since the magnet 16 and the cantilever 11 are fixed using an adhesive such as an epoxy adhesive, which is a material that does not dissolve in an organic solvent, the adhesive dissolves in the organic solvent and the cantilever 11 falls off as in the conventional case. can avoid the problem.

また、ホルダ１２に形成される溝部５３は、磁石１６が丁度収まるように加工されているので、カンチレバー１１を確実に所望の位置に合わせて固定することができる。 In addition, since the groove 53 formed in the holder 12 is processed so that the magnet 16 is just received therein, the cantilever 11 can be reliably fixed at a desired position.

更に、ホルダ１２の溝部５３には、互いに対向する側壁にそれぞれスリット５４が設けられているので、ユーザはスリット５４からピンセットを挿入して磁石１６を摘むことができ、カンチレバー１１の取り付け、取り外しの作業を容易に行うことができる。 Furthermore, since slits 54 are provided in the side walls facing each other in the groove portion 53 of the holder 12 , the user can insert tweezers through the slits 54 to pick up the magnet 16 , thereby attaching and detaching the cantilever 11 . Work can be done easily.

なお、上述した第１実施形態では、カンチレバー１１のプレート部に磁石１６を設け、ホルダ１２を磁性を有する金属で構成する例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、プレート部に立方体形状の金属（固定片）を設置し、ホルダ１２の全体或いはその一部を磁石で形成することや、双方を磁石で形成して互いに引き付け合う極性にする構成とすることも可能である。即ち、固定片及びホルダのうち、一方が磁石を含み、他方が金属を含む、或いは、双方が磁石を含む構成としても本発明の効果を達成することが可能である。 In the above-described first embodiment, the magnet 16 is provided on the plate portion of the cantilever 11, and the holder 12 is made of a magnetic metal. It is also possible to install a cube-shaped metal (fixing piece) on the part and form the whole or part of the holder 12 with a magnet, or form both parts with a magnet so that they have a polarity that attracts each other. be. That is, it is possible to achieve the effects of the present invention even if one of the fixed piece and the holder contains a magnet and the other contains a metal, or both of them contain a magnet.

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図５は、第２実施形態に係るカンチレバー構造を模式的に示す斜視図、図６は同側面図である。図５、図６に示すように、第２実施形態に係るカンチレバー構造は、スキャナ１４の表面にピエゾアクチュエータ１３が設けられ、更に、該ピエゾアクチュエータ１３の近傍に、支柱８１が立設された構成を有している。ピエゾアクチュエータ１３の表面にはホルダ１２が設けられている。 [Second embodiment]
Next, a second embodiment of the invention will be described. FIG. 5 is a perspective view schematically showing a cantilever structure according to the second embodiment, and FIG. 6 is a side view of the same. As shown in FIGS. 5 and 6, the cantilever structure according to the second embodiment has a piezoelectric actuator 13 provided on the surface of the scanner 14, and a post 81 erected in the vicinity of the piezoelectric actuator 13. have. A holder 12 is provided on the surface of the piezo actuator 13 .

なお、図５、図６では、スキャナ１４の上方にピエゾアクチュエータ１３、カンチレバー１１が設置される構成を示しているが、使用時には図１に示したように、上下を逆にする。 5 and 6 show a structure in which the piezo actuator 13 and the cantilever 11 are installed above the scanner 14, but when used, the scanner is turned upside down as shown in FIG.

図７は、ホルダ１２の構成を示す斜視図である。ホルダ１２は、底面１２ａと、該底面１２ａに対して傾斜した表面１２ｂを有する側面視台形状をなしている。表面１２ｂの一部がコ字形状にくり抜かれており、くり抜かれた部分が溝部１２ｃとされ、開口部１２ｄが形成されている。カンチレバー１１のプレート部は、開口部１２ｄから挿入してホルダ１２の溝部１２ｃに収容される。 FIG. 7 is a perspective view showing the configuration of the holder 12. As shown in FIG. The holder 12 has a trapezoidal shape when viewed from the side, having a bottom surface 12a and a surface 12b inclined with respect to the bottom surface 12a. A portion of the surface 12b is hollowed out in a U-shape, and the hollowed out portion serves as a groove 12c and an opening 12d. The plate portion of the cantilever 11 is inserted through the opening 12 d and accommodated in the groove 12 c of the holder 12 .

即ち、ホルダ１２に形成された溝部１２ｃは、カンチレバー１１のプレート部が丁度収容される大きさに形成されており、溝部１２ｃ内に収容されたプレート部は、該プレート部の面に平行な方向に対して堅固に固定される。 That is, the groove portion 12c formed in the holder 12 is formed to have a size to accommodate the plate portion of the cantilever 11, and the plate portion accommodated in the groove portion 12c is oriented parallel to the surface of the plate portion. firmly fixed against.

また、図５に示すように、カンチレバー１１の先端には探針１１ａが設けられている。 Further, as shown in FIG. 5, the tip of the cantilever 11 is provided with a probe 11a.

図５、図６に示す支柱８１は例えば金属で形成されており、該支柱８１の表面は傾斜面８１ａとされている。傾斜面８１ａの傾斜角度は、上述したホルダ１２の傾斜角度とほぼ同一とされている。即ち、傾斜面８１ａとスキャナ１４表面のなす角度は、ホルダ１２の底面１２ａ（図７参照）と表面１２ｂのなす角度とほぼ同一とされている。 The support 81 shown in FIGS. 5 and 6 is made of metal, for example, and has an inclined surface 81a. The inclination angle of the inclined surface 81a is substantially the same as the inclination angle of the holder 12 described above. That is, the angle formed by the inclined surface 81a and the surface of the scanner 14 is substantially the same as the angle formed by the bottom surface 12a (see FIG. 7) of the holder 12 and the surface 12b.

図６に示すように、支柱８１の傾斜面８１ａには、該傾斜面８１ａに対して直交する方向にネジ孔８２が穿設されている。傾斜面８１ａには、長尺平板形状をなす押さえ板８３が設置されている。図８は押さえ板８３の構成を示す斜視図である。 As shown in FIG. 6, the inclined surface 81a of the post 81 is provided with a screw hole 82 in a direction perpendicular to the inclined surface 81a. A pressing plate 83 having a long flat plate shape is installed on the inclined surface 81a. FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of the pressing plate 83. As shown in FIG.

図８に示すように、押さえ板８３の長尺方向の一方の端部８３ａ側には、開口部８４が穿設されている。該開口部８４にはネジ８５が挿通され、該ネジ８５はネジ孔８２に螺合されている。 As shown in FIG. 8, an opening 84 is formed in one end 83a of the holding plate 83 in the longitudinal direction. A screw 85 is inserted through the opening 84 and is screwed into the screw hole 82 .

従って、ネジ８５を締め付けることにより、押さえ板８３を傾斜面８１ａに圧接することができる。また、ネジ８５を緩めることにより、該ネジ８５を中心として、押さえ板８３を回転させることができる。 Therefore, by tightening the screw 85, the pressing plate 83 can be brought into pressure contact with the inclined surface 81a. Further, by loosening the screw 85 , the holding plate 83 can be rotated around the screw 85 .

また、図５、図６に示すように、開口部８４を中心として押さえ板８３を回転させて、他方の端部８３ｂがカンチレバー１１側になるように配置すると、該押さえ板８３の面がカンチレバー１１のプレート部に丁度重複するように配置されている。 Further, as shown in FIGS. 5 and 6, when the holding plate 83 is rotated about the opening 84 and arranged so that the other end 83b faces the cantilever 11, the surface of the holding plate 83 becomes the cantilever. It is arranged so as to exactly overlap the 11 plate portions.

従って、図６に示すように、押さえ板８３をプレート部に重複させた状態で矢印Ｙ１の方向にネジ８５を締め付けると、該押さえ板８３によりプレート部を溝部１２ｃ（図７参照）に固定させることができ、ひいては、カンチレバー１１をホルダ１２に固定することができる。 Therefore, as shown in FIG. 6, when the screw 85 is tightened in the direction of the arrow Y1 with the pressing plate 83 overlapping the plate portion, the pressing plate 83 fixes the plate portion to the groove portion 12c (see FIG. 7). , and thus the cantilever 11 can be fixed to the holder 12 .

一方、図９に示すように、ネジ８５を緩めて矢印Ｙ２の方向に移動させることにより、押さえ板８３によるカンチレバー１１の締め付けを解除することができる。更に、押さえ板８３をほぼ１８０°回転させることにより、カンチレバー１１をホルダ１２から解放することができる。従って、カンチレバー１１をホルダ１２の溝部１２ｃから取り外すことができる。 On the other hand, as shown in FIG. 9, by loosening the screw 85 and moving it in the direction of the arrow Y2, the tightening of the cantilever 11 by the pressing plate 83 can be released. Furthermore, the cantilever 11 can be released from the holder 12 by rotating the pressing plate 83 by approximately 180°. Therefore, the cantilever 11 can be removed from the groove 12c of the holder 12. FIG.

次に、第２実施形態に係るカンチレバーの取り付け構造の作用について説明する。ホルダ１２にカンチレバー１１を設置する際には、ユーザは、カンチレバー１１をピンセットで摘まみ、該カンチレバー１１のプレート部を溝部１２ｃ内に挿入する。 Next, the operation of the cantilever mounting structure according to the second embodiment will be described. When installing the cantilever 11 in the holder 12, the user picks up the cantilever 11 with tweezers and inserts the plate portion of the cantilever 11 into the groove portion 12c.

次いで、ネジ８５を緩めて押さえ板８３を回転可能とし、該押さえ板８３をカンチレバー１１のプレート部に重複させる。 Next, the screw 85 is loosened to make the pressing plate 83 rotatable, and the pressing plate 83 is overlapped with the plate portion of the cantilever 11 .

この状態でネジ８５を締め付けて、押さえ板８３によりプレート部を溝部１２ｃ内に固定する。 In this state, the screw 85 is tightened, and the plate portion is fixed in the groove portion 12c by the pressing plate 83. As shown in FIG.

前述したように、プレート部は、溝部１２ｃに収容されることによりプレート面の方向について堅固に固定される。更に、押さえ板８３によりプレート面に対して直交する方向に堅固に固定される。従って、接着剤を使用することなく、カンチレバー１１をホルダ１２に固定することができる。 As described above, the plate portion is firmly fixed in the direction of the plate surface by being accommodated in the groove portion 12c. Furthermore, it is firmly fixed in the direction perpendicular to the plate surface by the pressing plate 83 . Therefore, the cantilever 11 can be fixed to the holder 12 without using an adhesive.

また、カンチレバー１１を取り外す際には、ネジ８５を緩めて押さえ板８３を回転させる。その結果、図９に示したように、プレート部が解放されるのでユーザはピンセットを用いることにより、カンチレバー１１を溝部１２ｃ内から容易に取り外すことができる。 Further, when removing the cantilever 11, the screw 85 is loosened and the holding plate 83 is rotated. As a result, the plate portion is released as shown in FIG. 9, so that the user can easily remove the cantilever 11 from the groove portion 12c by using tweezers.

即ち、一つのネジ８５を締め付けたり、緩めたりすることでカンチレバー１１をホルダ１２から着脱することができる。この際、ネジ８５をネジ孔８２から完全に取り外すのではなく、ネジ８５を緩めたり、締め付けたりするだけでカンチレバー１１の着脱が可能となるので、ネジ８５をネジ孔８２に装着するという細かい作業が不要となり、カンチレバー１１の交換作業を容易に実施することが可能となる。 That is, the cantilever 11 can be removed from the holder 12 by tightening or loosening one screw 85 . At this time, the cantilever 11 can be attached and detached simply by loosening or tightening the screw 85 instead of completely removing the screw 85 from the screw hole 82 . becomes unnecessary, and the replacement work of the cantilever 11 can be easily performed.

このように、第２実施形態に係るカンチレバー１１の取り付け構造では、一つのネジ８５を緩めたり、締め付けたりするという簡便な操作により容易にカンチレバー１１の交換作業を実施することが可能になる。 As described above, in the mounting structure of the cantilever 11 according to the second embodiment, the cantilever 11 can be easily replaced by a simple operation of loosening or tightening one screw 85 .

［第２実施形態の変形例］
次に、上述した第２実施形態の変形例について説明する。図１０は、変形例に係るカンチレバーの取り付け構造の模式的な側面図である。 [Modification of Second Embodiment]
Next, a modification of the above-described second embodiment will be described. FIG. 10 is a schematic side view of a cantilever mounting structure according to a modification.

図１０に示すように変形例では、カンチレバー１１のプレート部に、更に平板形状をなすプラスチック基板９１（平板部材）を接着固定する。例えば、カンチレバー１１のプレート部の幅が２ｍｍである場合に、プラスチック基板９１の幅を４ｍｍ程度とする。即ち、プラスチック基板９１は、カンチレバー１１よりも広幅の平板部材である。 As shown in FIG. 10, in a modification, a plate-shaped plastic substrate 91 (flat plate member) is further adhesively fixed to the plate portion of the cantilever 11 . For example, when the width of the plate portion of the cantilever 11 is 2 mm, the width of the plastic substrate 91 is set to about 4 mm. That is, the plastic substrate 91 is a flat plate member wider than the cantilever 11 .

また、ホルダ１２に形成される溝部１２ｃ（図７参照）は、プラスチック基板９１の大きさに合わせて形成される。そして、このプラスチック基板９１を溝部１２ｃ内に挿入し、押さえ板８３により該プラスチック基板９１を固定する。即ち、変形例に係るホルダ１２の溝部１２ｃは、プラスチック基板９１を収容可能な大きさとされている。 Further, the groove portion 12 c (see FIG. 7) formed in the holder 12 is formed in accordance with the size of the plastic substrate 91 . Then, the plastic substrate 91 is inserted into the groove portion 12c, and the plastic substrate 91 is fixed by the pressing plate 83. As shown in FIG. That is, the groove portion 12c of the holder 12 according to the modified example is sized to accommodate the plastic substrate 91 therein.

このように、プレート部の幅よりも大きく構成したプラスチック基板９１を用いることにより、ユーザはピンセットを用いて容易にカンチレバー１１を着脱することが可能となり、操作性を向上させることができる。 In this way, by using the plastic substrate 91 configured to be wider than the width of the plate portion, the user can easily attach and detach the cantilever 11 using tweezers, and the operability can be improved.

なお、図１０に示した例では、平板部材としてプラスチック基板９１を用いる例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の材質の平板部材を用いることも可能である。 In the example shown in FIG. 10, the example using the plastic substrate 91 as the flat plate member has been described, but the present invention is not limited to this, and it is also possible to use flat plate members made of other materials.

以上、本発明の実施形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。 Although embodiments of the present invention have been described above, the statements and drawings forming part of this disclosure should not be construed as limiting the present invention. Various alternative embodiments, implementations and operational techniques will become apparent to those skilled in the art from this disclosure.

１１カンチレバー
１１ａ探針
１２ホルダ
１３ピエゾアクチュエータ
１４スキャナ
１５本体
１６磁石
１７レーザ導入ガラス
１９メニスカス
２１ステージ
２２カバーガラス
２３プール
５１底面
５２表面
５３溝部
５４スリット
８１支柱
８１ａ傾斜面
８２ネジ孔
８３押さえ板
８３ａ、８３ｂ端部
８４開口部
８５ネジ
９１プラスチック基板（平板部材）
１１１固定板
１１２ａ、１１２ｂ支柱
１１３ピエゾアクチュエータ
１１４押さえ板
１１６カンチレバー
１１７ａ、１１７ｂネジ
１２１ａ、１２１ｂ開口部
１２２ａ、１２２ｂネジ孔 11 Cantilever 11a Probe 12 Holder 13 Piezo Actuator 14 Scanner 15 Main Body 16 Magnet 17 Laser Introduction Glass 19 Meniscus 21 Stage 22 Cover Glass 23 Pool 51 Bottom 52 Surface 53 Groove 54 Slit 81 Post 81a Inclined Surface 82 Screw Hole 83 Holding Plate 83a, 83b end 84 opening 85 screw 91 plastic substrate (flat member)
111 fixed plate 112a, 112b post 113 piezo actuator 114 holding plate 116 cantilever 117a, 117b screw 121a, 121b opening 122a, 122b screw hole

Claims

A cantilever structure of an atomic force microscope having a cantilever with a probe provided at its tip, and measuring the sample by bringing the probe into contact with or approaching the sample,
a fixed piece fixed to the cantilever;
a holder that has a groove that accommodates the fixed piece and that is directly or indirectly fixed to a scanner that scans the cantilever;
A cantilever structure for an atomic force microscope, wherein one of the fixed piece and the holder contains a magnet and the other contains a metal, or both contain a magnet.

2. The cantilever structure of an atomic force microscope according to claim 1, wherein said groove has a concave shape surrounded by side walls.

3. The cantilever structure for an atomic force microscope according to claim 2, wherein a slit is formed in a part of said side wall.

The cantilever structure of an atomic force microscope according to any one of claims 1 to 3, wherein the fixed piece is fixed to the cantilever using an adhesive that does not dissolve in an organic solvent.

5. The cantilever structure of an atomic force microscope according to claim 4, wherein said adhesive is an epoxy adhesive.

A cantilever structure of an atomic force microscope having a cantilever with a probe provided at its tip, and measuring the sample by bringing the probe into contact with or approaching the sample,
a holder having a groove for accommodating the cantilever and fixed directly or indirectly to a scanner that scans the cantilever;
a post provided near the holder;
a pressing plate having a long flat plate shape and having an opening formed at one end in the longitudinal direction;
a screw that is inserted through the opening and screwed into a screw hole formed in the surface of the support to fix the holding plate to the surface of the support;
with
A cantilever structure for an atomic force microscope, wherein the cantilever is fixed to the holder by overlapping the pressing plate with the cantilever housed in the groove and tightening the screw.

further comprising a flat plate member attached to the cantilever and wider than the cantilever;
The holder has a groove capable of accommodating the flat plate member,
7. The atom according to claim 6, wherein the cantilever is fixed to the holder by overlapping the pressing plate on the flat plate member while the flat plate member is accommodated in the groove, and tightening the screw. Cantilever structure of force microscopy.

An atomic force microscope that has a cantilever with a probe at its tip and measures the sample by bringing the probe into contact with or close to the sample,
a fixed piece fixed to the cantilever;
a holder having a groove for accommodating the fixed piece;
a scanner that directly or indirectly fixes the holder;
a measurement circuit that scans the cantilever and detects the amount of displacement of the cantilever to measure the sample;
one of the fixed piece and the holder contains a magnet and the other contains a metal, or both contain a magnet;
An atomic force microscope characterized by:

An atomic force microscope that has a cantilever with a probe at its tip and measures the sample by bringing the probe into contact with or close to the sample,
a holder having a groove for accommodating the cantilever;
a scanner that directly or indirectly fixes the holder;
a post provided near the holder;
a pressing plate having a long flat plate shape and having an opening formed at one end in the longitudinal direction;
a screw that is inserted through the opening and screwed into a screw hole formed in the surface of the support to fix the holding plate to the surface of the support;
a measurement circuit that scans the cantilever and detects the amount of displacement of the cantilever to measure the sample;
An atomic force microscope, wherein the cantilever is fixed to the holder by overlapping the pressing plate on the cantilever and tightening the screw.