JP2022092173A - 複合粒子 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、カラーフィルターのブラックマトリックス等の黒色成分として好適な、高い遮光性を有する黒色複合微粒子が記載されている。黒色複合微粒子は、チタン窒化物粒子と金属微粒子からなる黒色複合微粒子であり、組成式:TiNxOy・zX(組成式中、Tiはチタン原子、Nは窒素原子、Oは酸素原子、Xは金属原子を表す。xは、0より大きく2未満の数、yは0以上2未満の数、zは0より大きく10未満の数を表す)で表される。
特許文献3には、BET法により測定される比表面積が20~90m2/gであって、窒化ジルコニウムを主成分とし、マグネシウム及び/又はアルミニウムを含有する黒色遮光膜形成用粉末であって、マグネシウムを含有するとき、マグネシウムの含有割合が黒色遮光膜形成用粉末100質量%に対して0.01~1.0質量%であり、アルミニウムを含有するとき、アルミニウムの含有割合が黒色遮光膜形成用粉末100質量%に対して0.01~1.0質量%である黒色遮光膜形成用粉末が記載されている。特許文献3の黒色遮光膜形成用粉末は、ナノ粒子化した窒化ジルコニウム粒子の極表面層にアルミニウムないしはマグネシウムの酸化被膜層または窒化被膜層が生じたものである。
非特許文献2には、窒素ガス流通下(150~200ml/min)、500℃~1100℃の温度範囲でMg還元によってZrO2から合成されたZrN粉末が記載されている。また、非特許文献2には、ZrN粉末はX線回折試験によりZrN単相であることが確かめられている。
上述の非特許文献1および非特許文献2に記載されているようにZrN微粒子が知られている。このZrN(窒化ジルコニウム)微粒子の性質として、紫外光領域における透過率が高く、波長400~800nmの可視光領域における透過率が低いことが知られている。しかしながら、工業的には、特許文献2のように窒化ジルコニウム単相が得られていないのが現状である。
また、特許文献3の黒色遮光膜形成用粉末は、ナノ粒子化した窒化ジルコニウム粒子の極表面層にアルミニウムないしはマグネシウムの酸化被膜層または窒化被膜層が生じたものであるが、アルミニウムの含有割合が1.0質量%を超えると、黒色遮光膜の遮光性能が低下することが記載されている。
さらには、微粒子に関し、更なる用途の拡大、および他の機能の付加等が現状では要求されている。現在、窒化ジルコニウム単相が有する光学特性に比して、可視光領域における高い遮光性は維持したまま、紫外光領域において透過率がより高いことが求められている。さらには、可視光領域に比して、波長が1000nm以上の近赤外光領域においても高い透過率が要求されている。
Alの含有量は14~38質量%であることが好ましい。
粒径が1~200nmであることが好ましい。
なお、以下に説明する図は、本発明を説明するための例示的なものであり、以下に示す図に本発明が限定されるものではない。
複合粒子は、窒化ジルコニウム(ZrN)と、アルミニウム(Al)とが複合化された、窒化ジルコニウム(ZrN)の粒子を含有する粒子であり、アルミニウム(Al)の含有量が9.5~43質量%である。
上述のZrNとAlとの複合化とは、ZrNと、Alとを単一粒子内に含めることであり、その場合Alの形態は、特に限定されるものではなく、金属単体のみならず、窒化物、酸化物、酸窒化物、不定比酸化物および不定比窒化物等の化合物の形態であってもよく、ZrN粒子内に固溶してもよく、ZrN粒子内に固溶せずに存在してもよい。また、複合粒子とは、上述の複合化された粒子を含有する粒子である。
なお、窒化ジルコニウム(ZrN)とアルミニウム(Al)とが複合化された粒子を含有する粒子を窒化ジルコニウム(ZrN)とアルミニウム(Al)との複合粒子ともいう。
なお、上述のAl(アルミニウム)の含有量(質量%)は、XRF(蛍光X線分析)で測定して求めることができるが、Alの含有量(質量%)は、不純物を省いて得られたものである。
具体的には、Alの含有量は、XRF(蛍光X線分析)で測定して求めた各元素の含有量(質量%)からZrとAl以外の元素の含有量(質量%)を省いてZrとAlの合計質量%が100となるようにした際のAlの質量%のことである。
次に、複合粒子の製造装置の一例について説明する。複合粒子の製造装置は下記図1に示すものに限定されるものではない。
図1は本発明の実施形態に係る複合粒子の製造に用いられる微粒子製造装置の一例を示す模式図である。
図1に示す微粒子製造装置10(以下、単に製造装置10という)により、窒化ジルコニウム(ZrN)とアルミニウム(Al)との複合粒子が製造される。
製造装置10は、熱プラズマを発生させるプラズマトーチ12と、複合粒子の原料粉末をプラズマトーチ12内へ供給する材料供給装置14と、複合粒子の1次微粒子15を生成させるための冷却槽としての機能を有するチャンバ16と、複合粒子の1次微粒子15から任意に規定された粒径以上の粒径を有する粗大粒子を除去するサイクロン19と、サイクロン19により分級された所望の粒径を有する複合粒子の2次微粒子18を回収する回収部20とを有する。
材料供給装置14、チャンバ16、サイクロン19、回収部20については、例えば、特開2007-138287号公報の各種装置を用いることができる。なお、複合粒子の1次微粒子15のことを単に1次微粒子15ともいう。
原料粉末に用いる窒化ジルコニウム(ZrN)の粉末と、アルミニウム(Al)の粉末とは、いずれも熱プラズマ炎中で容易に蒸発するように、その平均粒径が適宜設定されるが、平均粒径は、例えば、100μm以下であり、好ましくは10μm以下、さらに好ましくは5μm以下である。
気体供給部22aにアルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスが貯蔵される。プラズマガス供給源22の気体供給部22aからアルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスが配管22bを介してプラズマガス供給口12cを経て、矢印Pで示す方向と矢印Sで示す方向からプラズマトーチ12内に供給される。なお、矢印Pで示す方向にはアルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスだけを供給してもよい。
高周波発振用コイル12bに高周波電圧が印加されると、プラズマトーチ12内で熱プラズマ炎24が発生する。
また、プラズマトーチ12内における圧力雰囲気は、大気圧以下であることが好ましい。ここで、大気圧以下の雰囲気については、特に限定されないが、例えば、0.5~100kPaである。
また、プラズマガスには、例えば、アルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスを用いたが、これに限定されるものではなく、アルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスとヘリウムガスとの組合せ、アルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスと水素ガスとの組合せでもよい。
材料供給装置14は、原料粉末の凝集を防止し、分散状態を維持したまま、原料粉末をプラズマトーチ12内に散布することができるものであれば、その構成は特に限定されるものではない。キャリアガスには、例えば、アルゴンガス等の不活性ガスが用いられる。キャリアガス流量は、例えば、フロート式流量計等の流量計を用いて制御することができる。また、キャリアガスの流量値とは、流量計の目盛り値のことである。
気体供給装置28は、さらに、チャンバ16内に供給する冷却ガスに押出し圧力をかけるコンプレッサ、またはブロア等の圧力付与手段(図示せず)を有する。気体供給源28aから圧力付与手段により、配管28bを介して冷却ガスが供給され、配管28dを介して窒化ガスが供給される。
例えば、気体供給源28aにアルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスが貯蔵されている。冷却ガスはアルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスであり、窒化ガスは窒素ガスである。
複合粒子の1次微粒子15の生成直後の微粒子同士が衝突し、凝集体を形成することで粒径の不均一が生じると、品質低下の要因となる。しかしながら、熱プラズマ炎の尾部(終端部)に向かって矢印Qの方向に供給される冷却ガスが1次微粒子15を希釈することで、微粒子同士が衝突して凝集することが防止される。
また、矢印R方向に冷却ガスにより、1次微粒子15の回収の過程において、1次微粒子15のチャンバ16の内側壁16aへの付着が防止され、生成した1次微粒子15の収率が向上する。
冷却ガスと窒化ガスとは同じであってもよく、違っていてもよい。冷却ガスと窒化ガスとが異なる場合、冷却ガスおよび窒化ガス毎に気体供給源28aを設ける。
そして、上述の下降する旋回流が反転し、上昇流になったとき、遠心力と抗力のバランスにより、粗大粒子は、上昇流にのることができず、円錐台部19c側面に沿って下降し、粗大粒子回収チャンバ19dで回収される。また、遠心力よりも抗力の影響をより受けた微粒子は、円錐台部19c内壁での上昇流とともに内管19eから系外に排出される。
なお、上述の製造装置10において、使用するサイクロンの個数は、1つに限定されず、2つ以上でもよい。
次に、複合粒子の製造方法の一例を、上述の製造装置10を用いて説明する。
まず、複合粒子の原料粉末として、窒化ジルコニウム(ZrN)の粉末と、アルミニウム(Al)の粉末とを用意する。原料粉末を材料供給装置14に投入する。
原料粉末は、作製する複合粒子におけるAlの含有量に応じて適宜決定されるものであり、例えば、ZrNの粉末の量、およびAlの粉末の量は、Alの含有量に応じて適宜調整される。
原料粉末において、ZrNの粉末およびAlの粉末は、いずれもサイズが製造方法等によって、適宜決定されるものであるが、上述のように熱プラズマ炎を用いる場合には、熱プラズマ炎中で容易に蒸発するように、ZrNの粉末およびAlの粉末は、それぞれ平均粒径が、例えば、100μm以下であり、好ましくは10μm以下、さらに好ましくは5μm以下である。
また、気体供給装置28から熱プラズマ炎24の尾部、すなわち、熱プラズマ炎24の終端部に、矢印Qの方向に、冷却ガスとして、例えば、アルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスを供給する。このとき、矢印Rの方向にも、冷却ガスとして、アルゴンガスおよび窒素ガスのうち、少なくとも一方のガスを供給する。さらに、窒化ガスとして、窒素ガスを矢印Gの方向に供給する。
なお、上述のように、原料粉末が分散されたキャリアガスを熱プラズマ炎中に供給する工程と、熱プラズマ炎の終端部に、冷却用ガスを供給して、複合粒子を生成する工程とを有する複合粒子を製造する方法のことを熱プラズマ法という。
このように、窒化ジルコニウム(ZrN)とアルミニウム(Al)との複合粒子(ZrN+Al複合粒子)は、窒化ジルコニウム(ZrN)の粉末と、Alの粉末とをプラズマ処理するだけで容易かつ確実に得ることができる。
しかも、本実施形態の複合粒子の製造方法により製造される複合粒子は、その粒度分布幅が狭い、すなわち、均一な粒径を有し、1μm以上の粗大粒子の混入が殆どない。
気相の状態の原料粉末とは、例えば、上述のキャリアガスに原料粉末が分散した状態のことをいう。液相の状態の原料粉末とは、原料粉末が溶媒に分散した状態のことをいう。
なお、冷却ガスは、上述の熱プラズマ法と同じものを用いることができる。また、原料粉末についても、上述の熱プラズマ炎と同じものを用いることができる。原料粉末としては、上述のように、ZrNの粉末とAlの粉末とを用いる。
次に、窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の光学特性について説明する。
図2は窒化ジルコニウムとアルミニウムとが複合化された複合粒子の透過率を示すグラフである。図2の横軸は波長(nm)であり、縦軸は透過率(%)である。図2の測定線50、52で示される透過率は、それぞれ波長600nmの透過率の値で規格化されている。また、図2の符号53は波長365nm(i線)を示す線である。波長365nmは、i線と呼ばれる紫外光領域の波長である。なお、波長1100nmは近赤外光領域の波長である。
以下、透過率の測定方法について説明する。
まず、測定対象の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子(ZrN+Al複合粒子)の粉末を0.005g秤量し、全量が50gとなるようにエタノールを加え、超音波装置(日科機バイオス株式会社製、Tetora150)で5分間分散処理を行う。次に、得られた溶液から10g採取し、全量が50gとなるようにエタノールを加え、超音波装置で1分間分散処理を行い質量濃度20ppmの溶液を得る。そして、得られた溶液を紫外可視近赤外分光光度計(日本分光株式会社(JASCO Corporation)製、V-670)を用いて透過率を測定する。
また、測定線52は、Alの含有量が3.5質量%である、窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。なお、測定線52の複合粒子はAlの含有量が本発明の範囲外である。測定線52の複合粒子の粒径は29.8nmである。
なお、図2に示す測定線50の複合粒子の粒径、および測定線52の複合粒子の粒径は、いずれもBET法を用いて測定された平均粒径である。
測定線50と測定線52とを比較した場合、測定線50に示される本発明の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子は、本発明の範囲外の複合粒子(測定線52)に比して、紫外光領域における透過率が高く、さらには、近赤外光領域における透過率も高い光学特性を有する。
このように、本発明の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子は、可視光領域における高い遮光性を維持したまま、すなわち、可視光領域において透過率が低い状態を維持して、可視光領域に比して、紫外光領域において透過率がより高く、さらには、近赤外光領域において透過率が高い光学特性を有する粒子である。
図3は窒化ジルコニウムとアルミニウムとが複合化された複合粒子、および窒化ジルコニウムと窒化アルミニウムとの混合粒子の透過率を示すグラフである。図3の横軸は波長(nm)であり、縦軸は透過率(%)である。図3に示す各測定線で示される透過率は、それぞれ測定線毎に波長600nmの透過率の値で規格化されている。図3の符号53は波長365nm(i線)を示す線である。
図3に示す測定線60は、Alの含有量が9.7質量%の窒化ジルコニウム(ZrN)とアルミニウム(Al)との複合粒子の透過率を示す。測定線62は、Alの含有量が12.4質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線64は、Alの含有量が14.3質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。
測定線60の複合粒子の粒径は33.8nmであり、測定線62の複合粒子の粒径は35.1nmであり、測定線64の複合粒子の粒径は31.1nmである。
測定線66は、Alの含有量が17.9質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線68は、Alの含有量が22.3質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線70は、Alの含有量が27.3質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線72は、Alの含有量が32.7質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線72は図2に示す測定線50である。測定線74は、Alの含有量が42.2質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。
測定線66の複合粒子の粒径は33.0nmであり、測定線68の複合粒子の粒径は26.8nmであり、測定線70の複合粒子の粒径は29.4nmであり、測定線72の複合粒子の粒径は28.1nmであり、測定線74の複合粒子の粒径は28.8nmである。
測定線104は、窒化ジルコニウムと、窒化アルミニウムとの混合粒子の透過率を示す。混合粒子において、アルミニウムの含有量は37質量%である。
混合粒子は、窒化ジルコニウムの微粒子と、窒化アルミニウムの微粒子とを、アルミニウムの含有量が37質量%になるように混合したものである。混合粒子において、窒化ジルコニウムの微粒子は、Alの含有量が3.5質量%であり、粒径が29.8nmである。窒化アルミニウムの微粒子は、粒径が30.9nmである。
測定線106は、Alの含有量が44質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線108は、Alの含有量が56.1質量%の窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子の透過率を示す。測定線106の複合粒子の粒子は、29.2nmである。測定線108の複合粒子の粒子は、31.5nmである。
なお、図3に示す複合粒子の粒径、および混合粒子の粒径は、いずれもBET法を用いて測定された平均粒径である。
また、窒化ジルコニウムと、窒化アルミニウムとの混合粒子についても、窒化ジルコニウムとアルミニウムとの複合粒子と同様にして透過率を測定した。
本発明の範囲内の測定線60、62、64、66、68、70、72、74は、本発明の範囲外の測定線100、102、104、106、108に比して、紫外光領域および近赤外光領域の透過率が高い。また、Alの含有量が9.5~43質量%の範囲において、Alの含有量を変えることにより、測定線100、102、104、106、108に比して紫外光領域および近赤外光領域の透過率が高い状態を維持したまま、透過率を変えることができる。
図4は窒化ジルコニウムとアルミニウムとが複合化された複合粒子、および窒化ジルコニウムと窒化アルミニウムとの混合粒子について、波長600nmを基準とした、波長365nmの透過率比TUV、および波長1100nmの透過率比TIRを示すグラフである。
図4において、▲は透過率比TUVを示し、●は透過率比TIRを示す。図4の横軸はAlの含有量(質量%)であり、縦軸は透過率比である。透過率比は上述のTUVおよびTIRである。
なお、透過率比TUVおよび透過率比TIRは、下記式により得られた値である。
透過率比TUV=(波長365nmの透過率)/(波長600nmの透過率)
透過率比TIR=(波長1100nmの透過率)/(波長600nmの透過率)
また、Alの含有量が14~38質量%であれば、上述の透過率比TUVおよび透過率比TIRのいずれもが、1.60を超えており、紫外光領域および近赤外領域の透過率が更に高くなるため、Alの含有量は14~38質量%であることが好ましい。
さらには、Alの含有量が14~20質量%であれば、上述の透過率比TUVが、1.90以上であり、紫外光領域の透過率比TUVが更に一層高くなるため、Alの含有量は14~20質量%であることがさらに好ましい。
以下、複合粒子の用途について説明する。複合粒子は、可視光領域で遮光が必要な用途、例えば、液晶表示装置、有機EL表示装置等のブラックマトリックスで使用することができる。この様な用途では、フォトリソグラフィ技術を利用して基板上にパターンを作成するものがあり、高圧水銀灯の輝線の一つであるi線を利用してパターンが生成されるフォトレジスト樹脂が普及している。複合粒子をフォトレジスト樹脂に分散させたとき、複合粒子がi線を吸収しないため、フォトレジスト樹脂の光化学反応を邪魔せず、良好な可視光域における遮光性能を持ったパターンを基板上に得ることができる。
また、複合粒子は、上述以外に、印刷インク、インクジェットインク、フォトマスク作製材料、印刷用プルーフ作製用材料、エッチングレジスト、ソルダーレジストにも利用することができる。
また、光電変換素子、および光熱変換素子にも利用することができる。
また、金属、酸化物、プラスチック等と混合し、色調を調整する顔料等にも利用することができる。
その他、半導体基板、プリント基板、各種電気絶縁部品等の電気絶縁材料、切削工具、ダイス、軸受等の高硬度高精度の機械工作材料、粒界コンデンサ、湿度センサ等の機能性材料、精密焼結成形材料等の焼結体の製造、エンジンバルブ等の高温耐摩耗性が要求される材料等の溶射部品製造、さらには燃料電池の電極、電解質材料および各種触媒等に用いることができる。
本実施形態においては、窒化物微粒子の粒径をナノサイズにできるため、例えば、焼結体に利用する場合、焼結性を高めることができ、高い強度の焼結体を得ることができる。これより、例えば、切削性が良好な工具を得ることができる。
12 プラズマトーチ
14 材料供給装置
15 1次微粒子
16 チャンバ
18 2次微粒子
19 サイクロン
20 回収部
22 プラズマガス供給源
24 熱プラズマ炎
28 気体供給装置
30 真空ポンプ
50、52、60、62、64、66、68、70、72、74 測定線
100、102、104、106、108 測定線
Claims (3)
- ZrNと、Alとが複合化され、
前記Alの含有量が9.5~43質量%であることを特徴とする複合粒子。 - 前記Alの含有量は14~38質量%である、請求項1に記載の複合粒子。
- 粒径が1~200nmである、請求項1または2に記載の複合粒子。
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