JP2022084082A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、特許文献1の検出装置は、候補領域抽出部と、画像生成部と、第1学習器と、検出部を有したものである。そして、特許文献1の検出装置は、候補領域抽出部によって第1画像を画像処理して検出対象候補が含まれる候補領域を抽出し、画像生成部によって候補領域が含まれる第2画像を生成し、さらに第2画像をニューラルネットワークで構成された第1学習器に入力して検出部が検出対象の有無を検出する。特許文献1によれば、こうすることで、微小な検出対象を精度良く検出できるとされている。
また、太陽電池セルの色表現のばらつきによって、異常箇所の色表現も影響されるため、異常の定義を一義的に設定することが困難であり、既存の定義に当てはまらない稀な異常も検知する必要がある。
この点、特許文献1の検出装置は、画像そのものを第1学習器に入力し、教師あり学習により学習するため、上記した欠陥も検出できる。
しかしながら、特許文献1の検出装置は、欠陥を検出する場合、膨大な量の学習サンプルが必要となり、その分類及び属性の紐づけに係る工程が多くなってしまう問題がある。
外観検査装置1は、図1のように、評価装置2(評価部)と、1又は複数のカメラ装置3(画像取得部)と、照明装置5を備えている。
評価装置2は、主に制御装置と、演算装置と、記憶装置と、入力装置と、出力装置を有しており、図1のように、画像処理部10と、画像解析部11と、クラスター分類部12と、係数計算部13と、確率計算部14と、評価指数計算部15と、データ記憶部16と、報知手段17を構成している。
画像処理は、特に限定されるものではないが、典型的には、濃度補正、雑音除去、エッジ検出、特徴量抽出などがある。
画像解析部11は、画像処理部10によって画像処理された画像に対して解析し、特徴量ベクトルを算出するものである。
クラスター分類部12は、画像解析部11で算出された特徴量ベクトルを複数のクラスターに分類するものである。クラスター分類部12は、統計学的にクラスターを分類してもよいし、機械学習によってクラスターを分類してもよい。
クラスター分類部12は、機械学習によってクラスターを分類する場合には、入力層と中間層(隠れ層)と出力層を持ったニューラルネットワークを備えていることが好ましい。
係数計算部13は、クラスター分類部12で分類された各クラスターに対して評価係数を計算するものである。
確率計算部14は、評価対象の太陽電池パネル100の特徴量ベクトルが各クラスターに属する確率を算出するものである。
評価指数計算部15は、各クラスターに属する確率と、各クラスターに割り当てられた評価係数から評価指数を算出するものである。
データ記憶部16は、撮影した画像や画像処理された画像、各クラスター、各クラスターに割り当てられた評価係数、各クラスターに属する確率に関するデータを記憶するものである。
報知手段17は、光や音等によって使用者に所定の報知を行うものである。
照明装置5は、太陽電池パネル100の受光面を照らす照明であり、具体的には、LED照明である。なお、照明装置5は、面状光源であって拡散光を照射する有機EL照明装置であってもよい。
太陽電池パネル100は、図2のように、受光側電極層101と、裏面側電極層102と、受光側電極層101と裏面側電極層102でPN接合又はPIN接合を有した光電変換部103を挟んだ断面形状を有している。
電極層101,102は、それぞれ透明電極層105(105a,105b)上にバスバー電極部110(110a,110b)とフィンガー電極部111(111a,111b)を有している。
太陽電池パネル100は、平面視したときに、バスバー電極部110とフィンガー電極部111によって縦方向及び横方向において複数の小領域112に区画されている。
太陽電池パネル100は、結晶シリコン型太陽電池パネルであり、受光面に結晶シリコンの色が反映されるものである。すなわち、太陽電池パネル100は、外観上の特性が一定でなく、外観上、色にばらつきが生じて個体差がある。
事前学習工程では、あらかじめランダムに抽出された多数(例えば、100個)の太陽電池パネル100(以下、基準太陽電池パネルともいう)を、図3のように載置部120に載置し、基準太陽電池パネルの受光面をそれぞれカメラ装置3によって撮影する(ステップS1-1)。
このとき、載置部120は、基準太陽電池パネルの色によって影響を受けない色(例えば、白色)となっている。
また、載置部120は、載置台の天面で構成されていてもよいし、太陽電池パネル100を2つのエリア間を搬送する搬送装置の搬送面で構成されていてもよい。
非階層的手法としては、例えばk平均法などが挙げられる。
また、クラスター数Sは、次元数N以下の値であり、任意の数でも計算により求められた数でもよい。
クラスター数Sは、例えば、エルボー法やシルエット法などの公知の計算手法により求めることができる。
本実施形態では、図4のように、クラスター数Sは4であり、クラスターにはクラスターC1~C4があるものとして以下、説明する。
評価工程では、ステップS2-1からステップS2-5までの動作が事前学習工程のステップS1-1からステップS1-5までの動作と同様である。
カメラ装置3によって撮影された画像を載置部120の色を基準として小領域112で区画して分類し(ステップS2-2)、各小領域112におけるエッジを抽出する(ステップS2-3)。
各小領域112においてN個の評価項目a1~aNによって評価してそれぞれ特徴量を算出し、それぞれの特徴量からN次元のベクトル空間における特徴量ベクトルA1~ANを算出していく(ステップS2-4)。そして、各小領域112における特徴量ベクトルA1~ANの合成ベクトルたる全体の特徴量ベクトルATotalを算出する(ステップS2-5)。
すなわち、評価太陽電池パネルの特徴量ベクトルATotalからクラスターC1に属する確率P1、クラスターC2に属する確率P2、クラスターC3に属する確率P3、クラスターC4に属する確率P4、及びいずれのクラスターC1~C4にも属さない確率PTotalをそれぞれ統計処理により算出する。
本実施形態の場合、クラスター数が4であるから、本実施形態では、所定の基準範囲T2が1.6以上3.6以下の範囲であることが好ましい。
使用者は、報知手段17によって新たなクラスターである旨の報知を受けると、使用者が評価太陽電池パネルを評価し、クラスターの再構築が必要と判断して外観検査装置1に対してクラスターに関する定義を要求する。外観検査装置1は使用者から定義を要求されると(ステップS2-14でYES)、評価太陽電池パネルの特徴量ベクトルを中心座標とし、所定の半径Rにより規定されるN次元球中に、所定の密度Dに基づきランダム配置された座標点群からなる疑似クラスターを生成して、再度クラスター分析を行い(ステップS2-15)、クラスターを再規定したクラスターモデルを再構築する(ステップS2-16)。
ステップS2-14において、使用者がクラスターの再構築が必要ないと判断し、定義を要求しない場合には(ステップS2-14でNO)、クラスターモデルを変更せずに終了する。
そして、第2実施形態の外観検査装置は、事前学習工程のステップS1-6において、各基準太陽電池パネルの特徴量ベクトルにおいて、階層的手法によってクラスター分析を行う(ステップS1-6)。
本実施形態では、複数の正常基準太陽電池パネルで構成される正常基準クラスターC1と、複数の異常基準太陽電池パネルで構成される異常基準クラスターC2~C4の4つのクラスターC1~C4に分類する。
異常基準クラスターC2~C4は、各外観条件で基準太陽電池パネルごとに割り当てて階層を形成している。
階層的手法としては、例えば、最短距離法や、最長距離法、メディアン法、群平均法、重心法、ウォード法、可変法などが挙げられる。
(A1)電極部110,111を構成する導電性ペーストの印刷ズレ
(A2)チッピング
(A3)欠け
(A4)色むら
(A5)フィンガー電極部111の断線
(A6)電極部110,111を構成する導電性ペーストのムラ
(A7)透明電極層105の不形成部分
(A8)コンタミネーション
(A9)電極部110,111を構成する導電性ペーストの不形成部分
(A10)傷
(A11)バスバー電極部110の幅
(A12)粉
(A13)白濁汚れ
(A14)色
すなわち、図7のように、評価工程のステップS2-6にて各クラスターにおける確率を算出し、正常基準クラスターに属する確率が正常基準値T3以上である場合には(ステップS3-7でYES)、外観評価として正常であると評価する(ステップS3-8)。
このとき、正常基準値T3は、50%以上100%未満の値であることが好ましく、70%以上90%以下の値であることがより好ましい。
第n異常基準クラスターに属する確率が異常基準値T4以上の場合には(ステップS3-10でYES)、外観評価として異常であると評価し(ステップS3-11)、報知手段17で異常を報知する(ステップS3-12)。
このとき、異常基準値T4は、0%超過50%以下の値であることが好ましく、20%以上30%以下の値であることがより好ましい。
各第n異常基準クラスターにおける異常基準値T4は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
また各第n異常基準クラスターにおける異常基準値T4は、正常基準クラスターにおける正常基準値T3と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
使用者は、報知手段17によって新たなクラスターである旨の報知を受けると、使用者が評価太陽電池パネルを評価し、クラスターの再構築が必要と判断して外観検査装置1に対してクラスターに関する定義を要求する。外観検査装置1は使用者から定義を要求されると(ステップS3-16でYES)、評価太陽電池パネルの特徴量ベクトルを中心座標とし、所定の半径Rにより規定されるN次元球中に、所定の密度Dに基づきランダム配置された座標点群からなる疑似クラスターを生成して、再度クラスター分析を行い(ステップS3-17)、クラスターを再規定したクラスターモデルを再構築する(ステップS3-18)。
この場合、小領域152は、図8のように、太陽電池パネル100の縁とバスバー配線とに囲まれた領域とすることが好ましい。
また、各第n基準クラスターに属する確率を異常基準値T4と比較する工程の間に正常基準クラスターに属する確率を正常基準値T3と比較する工程を行ってもよい。
2 評価装置(評価部)
3 カメラ装置(画像取得部)
100 太陽電池パネル(太陽電池、基準太陽電池)
112,152 小領域
150 太陽電池モジュール(太陽電池、基準太陽電池)
Claims (8)
- 多次元のベクトル空間により、太陽電池の外観特性を評価することで前記太陽電池の外観検査を行う外観検査装置であって、
前記太陽電池の全体に関する画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部によって取得された一又は複数の画像内の前記太陽電池が占める領域を複数の小領域に細分化し、各小領域のそれぞれにおいて複数の特徴量を算出し、前記複数の特徴量を用いて前記画像内の前記太陽電池全体の特徴量ベクトルを算出し、さらに前記特徴量ベクトルが前記多次元のベクトル空間内の所定のクラスターに属する確率を算出する評価部を有する、外観検査装置。 - 前記評価部は、前記太陽電池の前記特徴量ベクトルが前記多次元のベクトル空間内の複数のクラスターに属する確率をそれぞれ算出し、各確率に基づいて前記太陽電池の外観評価を行う、請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記評価部は、前記各確率に基づいて評価指数を算出し、前記評価指数が基準範囲内である場合に正常と判定する、請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記評価部は、前記複数のクラスターのいずれにも属さない確率が所定の基準値以上であることを条件として、新たなクラスターとして報知し、前記新たなクラスターに関する定義を要求し、前記定義を受信したときに前記定義に基づきクラスターモデルの再規定を行う、請求項2又は3に記載の外観検査装置。
- 前記所定のクラスターは、複数の外観条件を全て満たす複数の基準太陽電池の前記特徴量ベクトルが全て属する正常基準クラスターである、請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記評価部は、前記正常基準クラスターに属する確率が所定の基準値未満である場合に、前記太陽電池の前記特徴量ベクトルが前記多次元のベクトル空間内の異常基準クラスターに属する確率を算出するものであり、
前記異常基準クラスターは、前記複数の外観条件のうち、少なくとも所定の外観条件を満たさない複数の基準太陽電池の前記特徴量ベクトルによって、支配的に規定される、請求項5に記載の外観検査装置。 - 前記多次元のベクトル空間内において、外観条件ごとに、当該外観条件を満たさない複数の基準太陽電池の前記特徴量ベクトルによって支配的に規定される異常基準クラスターをそれぞれ算出し、
前記評価部は、前記太陽電池の前記特徴量ベクトルが、前記正常基準クラスターに属する確率と、各異常基準クラスターに属する確率をそれぞれ算出し、全ての確率が所定の基準値未満であることを条件として、新たな異常として報知する、請求項5又は6に記載の外観検査装置。 - 前記評価部は、前記全ての確率が前記所定の基準値未満であることを条件として、新たなクラスターとして報知し、前記新たなクラスターに関する定義を要求し、前記定義を受信したときに前記定義に基づきクラスターモデルの再規定を行う、請求項7に記載の外観検査装置。
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JP2020195687A JP7575922B2 (ja) | 2020-11-26 | 外観検査装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024132592A1 (de) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von anomaliekarten von fertigungsobjekten |
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WO2024132592A1 (de) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von anomaliekarten von fertigungsobjekten |
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