JP2022075494A - 真空ポンプを運転する方法 - Google Patents
真空ポンプを運転する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022075494A JP2022075494A JP2021127232A JP2021127232A JP2022075494A JP 2022075494 A JP2022075494 A JP 2022075494A JP 2021127232 A JP2021127232 A JP 2021127232A JP 2021127232 A JP2021127232 A JP 2021127232A JP 2022075494 A JP2022075494 A JP 2022075494A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- bearing
- wear
- vacuum pump
- safety
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 claims description 82
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 27
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 claims description 22
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 17
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 10
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 24
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 20
- 230000009471 action Effects 0.000 description 14
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 12
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 12
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 9
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 9
- 230000000739 chaotic effect Effects 0.000 description 8
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 6
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 6
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 6
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 6
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 5
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012913 prioritisation Methods 0.000 description 2
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 2
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- WNEODWDFDXWOLU-QHCPKHFHSA-N 3-[3-(hydroxymethyl)-4-[1-methyl-5-[[5-[(2s)-2-methyl-4-(oxetan-3-yl)piperazin-1-yl]pyridin-2-yl]amino]-6-oxopyridin-3-yl]pyridin-2-yl]-7,7-dimethyl-1,2,6,8-tetrahydrocyclopenta[3,4]pyrrolo[3,5-b]pyrazin-4-one Chemical compound C([C@@H](N(CC1)C=2C=NC(NC=3C(N(C)C=C(C=3)C=3C(=C(N4C(C5=CC=6CC(C)(C)CC=6N5CC4)=O)N=CC=3)CO)=O)=CC=2)C)N1C1COC1 WNEODWDFDXWOLU-QHCPKHFHSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012432 intermediate storage Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/02—Surge control
- F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/058—Bearings magnetic; electromagnetic
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
12 ロータ
14 ターボロータディスク
16 モータ
18 ロータ軸線
20 第1のラジアル軸受
22 スラスト軸受
24 第2のラジアル軸受
26 第1のラジアルセンサアセンブリ
28 第2のラジアルセンサアセンブリ
30 構成部材
32 モータ室
34 ラジアルセンサアセンブリ
36 ボード
38 コイル
111 ターボ分子ポンプ
113 吸気口フランジ
115 ポンプ吸気口
117 ポンプ排気口
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モータ
127 アクセサリ接続部
129 データインタフェース
131 電流供給接続部
133 通気用吸気口
135 シールガス接続部
137 モータ室
139 冷却剤接続部
141 下面
143 ねじ
145 軸受カバー
147 固定孔
148 冷却剤管路
149 ロータ
151 回転軸線
153 ロータシャフト
155 ロータディスク
157 ステータディスク
159 スペーサリング
161 ロータハブ
163 ホルベックロータスリーブ
165 ホルベックロータスリーブ
167 ホルベックステータスリーブ
169 ホルベックステータスリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 転がり軸受
183 永久磁石式の磁気軸受
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ロータ側の軸受半部
193 ステータ側の軸受半部
195 リング磁石
197 リング磁石
199 軸受間隙
201 支持部分
203 支持部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 皿ばね
215 非常用軸受又は安全軸受
217 モータステータ
219 中間室
221 壁部
223 ラビリンスシール
300 真空ポンプを運転する方法
310 検出されたトラブル事象
315-1 推定された摩耗増加量
315-2 初期化された摩耗増加量
315-3 初期化された摩耗増加量
320 メモリ
325 安全軸受の総摩耗についての変数
330 真空ポンプについての運転設定値のセット
340 総摩耗についての変数と運転設定値のセットとの間の仲介
350 ロータの安定化?
360 真空ポンプシャットダウン
370 安定化成功?
380 真空ポンプの通常運転
390 待機時間
395 矢印
Claims (15)
- ロータ(12、149)と、ステータと、ロータ(12、149)を軸支する能動制御型の磁気軸受(20、22)と、ロータ(12、149)用の安全軸受(215)とを有する真空ポンプ(10、111)を運転する方法において、
方法は、
真空ポンプ(10、111)についての運転設定値のセット(330)を用意し、運転設定値のセット(330)は、真空ポンプ(10、111)の、トラブル事象のときに達成されるべき少なくとも1つの運転状態を有し、
トラブル事象を検出し、トラブル事象のとき、ロータ(12、149)は、ステータに対して、ロータ(12、149)に対して設定された空間領域から離反し、安全軸受(215)に摩耗が発生し、
検出されたトラブル事象に基づいて、安全軸受(215)についての摩耗増加量(315-1)を推定し、
摩耗増加量(315-1)を、安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)に加え、
真空ポンプ(10、111)についての運転設定値のセット(330)に基づいて、及び安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)に基づいて、ロータ(12、149)を安定化させる手段を実行するか判定する、
ことを有する、方法。 - ロータ(12、149)を安定化させる手段を実行しないと判定するときには、真空ポンプ(10、111)をシャットダウンする、請求項1に記載の方法。
- ロータ(12、149)を安定化させる手段が成功したかチェックし、次に、この手段が失敗したとき、所定の待機時間(390)の後に、ロータ(12、149)を安定化させる手段を新たに実行するか判定し、その際、別の摩耗増加量(315-2、315-3)を特定し、別の摩耗増加量(315-2、315-3)を、安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)に加える、請求項1又は2に記載の方法。
- 安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)が、特定の閾値より上回ると、真空ポンプ(10、111)をシャットダウンする、及び/又はエラー通知を出力する、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 摩耗増加量(315-1、315-2、315-3)の値を、実験データに基づいて及び/又は経験値に基づいて推定する、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 摩耗増加量(315-1、315-2、315-3)の値を、トラブル事象の間に特定される、少なくとも1つのセンサ(26、28)の測定値に基づいて推定する、請求項5に記載の方法。
- 摩耗増加量(315-1、315-2、315-3)の値を、トラブル事象が始まるときのロータ(12、149)の回転数に依存して、及び/又は真空ポンプ(10、111)の設置姿勢に依存して推定する、請求項1から6までのいずれか一項に記載の方法。
- 摩耗増加量(315-1、315-2、315-3)は、少なくとも2つの部分を含み、そのうちの第1の部分は、トラブル事象が始まるときの安全軸受(215)の初期の加速度に基づき、第2の部分は、ロータ(12、149)の安定化の間に又はロータ(12、149)が停止するまでのロータ(12、149)の停止作動の間に予想される安全軸受(215)の摩耗に基づく、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 真空ポンプ(10、111)についての運転設定値のセット(330)は、トラブル事象のときに達成されるべき真空ポンプ(10、111)の少なくとも2つの運転状態を有し、運転状態は、真空ポンプ(10、111)内の真空の維持と真空ポンプ(10、111)のシャットダウンとを含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- トラブル事象のときに達成されるべき運転状態を、真空ポンプ(10、111)のユーザによって及び/又は学習アルゴリズムによって優先付ける、請求項9に記載の方法。
- 検出されたトラブル事象に基づいて推定された、安全軸受(215)についての摩耗増加量(315-1)を、ロータ(12、149)を安定化させる手段の間に又は真空ポンプ(10、111)のシャットダウンの間に更新し、更新された摩耗増加量(315-2、315-3)を、以前に推定された摩耗増加量(315-1)に代えて、安全軸受(325)の総摩耗についての変数(325)に加える、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 安全軸受(215)は、複数の軸受箇所を有し、方法は、各軸受箇所についての各々の摩耗増加量(315-1、315-2、315-3)を特定し、各々の軸受箇所における総摩耗についての各々の変数(325)に加えることを更に有する、請求項1から11までのいずれか一項に記載の方法。
- 真空ポンプ(10、111)において、
ロータ(12、149)と、
ステータと、
ロータ(12、149)を軸支する能動制御型の磁気軸受(20、22)と、
ロータ(12、149)用の安全軸受(215)と、
トラブル事象を検出する少なくとも1つの手段であって、トラブル事象のとき、ロータ(12、149)が、ステータに対して、ロータ(12、149)に対して設定された空間領域から離反し、安全軸受(215)に摩耗が生じる、トラブル事象を検出する少なくとも1つの手段と、
制御装置と、
安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)を含むメモリ(320)と、
を備え、
制御装置は、請求項1から12のいずれか一項に記載の方法を実行するように構成されている、真空ポンプ(10、111)。 - メモリ(320)は、安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)に、安全軸受(215)についての摩耗増加量を加えることだけが可能であり、そうでないとき、安全軸受(215)の総摩耗についての変数(325)を、安全軸受(215)の総耐用期間の間、不変に維持するように構成されている、請求項13に記載の真空ポンプ(10、111)。
- トラブル事象を検出する少なくとも1つの手段は、ロータ(12、149)の空間位置を検出するように構成されたセンサ(26、28)及び/又はステータに取り付けられた振動センサ及び/又は加速度センサを有する、請求項13又は14に記載の真空ポンプ(10、111)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP20205911 | 2020-11-05 | ||
EP20205911.9A EP3832141B1 (de) | 2020-11-05 | 2020-11-05 | Verfahren zum betreiben einer vakuumpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022075494A true JP2022075494A (ja) | 2022-05-18 |
JP7209054B2 JP7209054B2 (ja) | 2023-01-19 |
Family
ID=73138687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021127232A Active JP7209054B2 (ja) | 2020-11-05 | 2021-08-03 | 真空ポンプを運転する方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3832141B1 (ja) |
JP (1) | JP7209054B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4137699A1 (de) * | 2022-12-15 | 2023-02-22 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumgerät und verfahren zum betreiben eines solchen |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002295398A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-09 | Boc Edwards Technologies Ltd | ターボ分子ポンプの保護装置、及びターボ分子ポンプの保護方法 |
JP2005028156A (ja) * | 1995-08-08 | 2005-02-03 | Kyocera Corp | 血液ポンプ |
US20110210631A1 (en) * | 2008-07-18 | 2011-09-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Bearing arrangement and bearing block having a magnetic radial bearing and a safety bearing for a rotating machine |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4022523A1 (de) * | 1990-07-16 | 1992-01-23 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Einrichtung zum fluten von schnell rotierenden vakuumpumpen |
CN102472685A (zh) * | 2009-07-22 | 2012-05-23 | 江森自控科技公司 | 用于确定利用电磁轴承的涡轮机械的机械备用轴承的间隙的装置和方法 |
EP3473858B1 (de) * | 2017-10-17 | 2020-07-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur lebensdaueroptimierung von wälzlagern einer vakuumpumpe |
EP3653885B1 (de) * | 2019-11-06 | 2022-01-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum ermitteln einer zustandsinformation in einem vakuumgerät |
-
2020
- 2020-11-05 EP EP20205911.9A patent/EP3832141B1/de active Active
-
2021
- 2021-08-03 JP JP2021127232A patent/JP7209054B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005028156A (ja) * | 1995-08-08 | 2005-02-03 | Kyocera Corp | 血液ポンプ |
JP2002295398A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-09 | Boc Edwards Technologies Ltd | ターボ分子ポンプの保護装置、及びターボ分子ポンプの保護方法 |
US20110210631A1 (en) * | 2008-07-18 | 2011-09-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Bearing arrangement and bearing block having a magnetic radial bearing and a safety bearing for a rotating machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3832141A1 (de) | 2021-06-09 |
EP3832141B1 (de) | 2023-01-04 |
JP7209054B2 (ja) | 2023-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102237805B1 (ko) | 진공 펌프 | |
US20120063918A1 (en) | Apparatus and method for determining clearance of mechanical back-up bearings of turbomachinery utilizing electromagnetic bearings | |
US8347648B2 (en) | Air cycle refrigerating/cooling system and turbine unit used therefor | |
US7932656B2 (en) | Magnetic bearing device | |
JP5588863B2 (ja) | フライホイール電力貯蔵システムのためのリフトマグネット機構 | |
US8336328B2 (en) | Air cycle refrigerating/cooling system and turbine unit used therefor | |
JP7209054B2 (ja) | 真空ポンプを運転する方法 | |
JP3215842B2 (ja) | 磁気軸受保護装置及びターボ分子ポンプ | |
JP5124021B2 (ja) | 電磁軸受を利用するターボ機械内にてシールを位置決めする方法 | |
JP2002295398A (ja) | ターボ分子ポンプの保護装置、及びターボ分子ポンプの保護方法 | |
CN111308252A (zh) | 磁悬浮系统的检测方法、装置、存储介质和处理器 | |
EP2390511A1 (en) | Additional support for AMB supported rotors by means of permanent magnet bearings | |
JP2020139504A (ja) | 真空ポンプ | |
WO2008015777A1 (fr) | Unité de turbine de machine refrigérante à cycle à air | |
KR20130122885A (ko) | 공기 하이브리드 베어링을 보조 베어링으로 사용한 능동형 자기 복합 베어링 시스템 | |
US11644227B2 (en) | Start-stop control systems and methods for gas foil bearing machine | |
JP7418269B2 (ja) | 真空ポンプのロータの回転数制御 | |
JP2005105846A (ja) | 真空ポンプ | |
JP7408618B2 (ja) | 真空ポンプ及び制御装置 | |
JP7160978B2 (ja) | 真空ポンプ及び真空ポンプを監視する方法 | |
JP2003269452A (ja) | 磁気軸受装置 | |
CN114941653B (zh) | 磁悬浮轴承的控制方法、装置、磁轴承系统和存储介质 | |
Keogh et al. | Activities of ISO/TC 108/SC 2/WG 7 in the Development of Standards for AMB Systems | |
JP2021148132A (ja) | タッチダウン軸受 | |
CN116950995A (zh) | 一种轴承组件及其控制方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7209054 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |