JP2022030121A - 真空紫外1光子イオン化質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記のような知見に基づき完成された本発明の要旨は、以下の通りである。
試料を前記真空紫外線レーザーにより1光子イオン化し、対象イオンを生成するイオン発生部と、
前記対象イオンを検出するとともに、前記対象イオンの質量を測定する、多重周回飛行時間型質量分析部と、を備え、
前記真空紫外線発生部は、紫外線レーザーを前記真空紫外線レーザーに変換する変換部と、前記真空紫外線レーザーを集光して前記イオン発生部に導入する集光レンズと、を有し、
前記イオン発生部は、
前記試料に前記真空紫外線レーザーを照射させるとともに1光子イオン化した前記対象イオンを前記多重周回飛行時間型質量分析部へ押し出すイオン化部と、
前記イオン化部と前記集光レンズとの間に、かつ前記真空紫外線レーザーの光軸に沿って配置される、第1のアパーチャーと、
前記イオン化部と前記第1のアパーチャーとの間に、かつ前記真空紫外線レーザーの光軸に沿って配置される、第2のアパーチャーとを有する、真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(2) 前記第2のアパーチャーは、前記イオン化部と隣接して配置される、(1)に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(3) 前記第2のアパーチャーは、接地されている、(1)または(2)に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(4) 前記第2のアパーチャーは、前記第1のアパーチャーと対向する面が、前記真空紫外線レーザーの光軸に対し、傾斜した傾斜面である、(1)~(3)のいずれか一項に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(5) 前記イオン発生部は、前記傾斜面にて反射した前記紫外線レーザーを透過可能な、ビューポートを備える、(4)に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(6) さらに、前記第2のアパーチャーの前記傾斜面が反射した前記紫外線レーザーを検出する紫外線検出部を有する、(4)または(5)に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(7) 前記紫外線検出部が検出した前記紫外線レーザーの位置および/または強度に応じて、前記真空紫外線レーザーの光軸および/または光量を調節する、調整機構を有する、(6)に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(8) 前記真空紫外線レーザーの光軸は、前記多重周回飛行時間型質量分析部における前記対象イオンの周回軌道が形成する面と直交する、(1)~(7)のいずれか一項に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
(9) 前記イオン化部は、さらに、前記真空紫外線レーザーの光軸と直交するように電子線を前記試料に対し照射可能な電子銃を有する、(1)~(8)のいずれか一項に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
まず、本実施形態に係る真空紫外1光子イオン化質量分析装置について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る真空紫外1光子イオン化質量分析装置の概略を模式的に示す模式図、図2は、図1に示す真空紫外1光子イオン化質量分析装置のイオン発生部の構成を説明する拡大模式図、図3は、図1に示す真空紫外1光子イオン化質量分析装置のa-a線断面における模式図である。なお、図中、説明の容易化のため、各構成要素は適宜拡大・縮小しており、実際の寸法を示すものではない。また、各図中、説明の容易化のため、説明に不要な部材については省略した。さらに、各図中の紫外線レーザー、真空紫外線レーザーや、試料等の物質の移動については、これらの代表的な移動方向、例えば紫外線レーザー、真空紫外線レーザーの光軸のみ表示し、詳細な広がり等の記載を省略した。
ビューポート215は、紫外線レーザーUVに対する耐性を有する材料、例えば、合成石英等により構成される。
以上、本実施形態に係る真空紫外1光子イオン化質量分析装置1について説明した。
次に、本実施形態に係る真空紫外1光子イオン化質量分析装置の動作について、真空紫外1光子イオン化質量分析装置1の動作を例に、説明する。
真空紫外1光子イオン化質量分析を行う際の真空紫外1光子イオン化質量分析装置1の動作について説明する。
この場合、まず、導入部40より試料Sがイオン発生部20内に連続的に噴射される。噴射される試料Sは、イオン化部23のイオン生成領域236に到達し、ここで、真空紫外線レーザーVUVが照射される。
以上、真空紫外1光子イオン化質量分析装置1を用いた真空紫外1光子イオン化質量分析について説明した。
次に、電子イオン化質量分析を行う際の真空紫外1光子イオン化質量分析装置1の動作について説明する。電子イオン化質量分析においては、真空紫外1光子イオン化質量分析の場合と比較して、真空紫外線発生部10からの真空紫外線レーザーVUVの使用に代えて電子銃29からの電子線EBを試料Sのイオン化に使用する点が主に異なる。したがって、この点を主に説明し、同様の事項については説明を省略する。
10 真空紫外線発生部
11 導光レンズ
13 変換部
131 希ガス導入口
15 集光レンズ
20 イオン発生部
21 真空チャンバー
211 空間
215 ビューポート
23 イオン化部
231 押し出し電極
232 引き出し電極
233 引き込み電極
234、235、238、239 孔
236 イオン生成領域
237 イオン通過部
25 第1のアパーチャー
251 孔
27 第2のアパーチャー
271 孔
273 面
29 電子銃
30 多重周回飛行時間型質量分析部
31 入射電極
33 周回電極
35 イオンゲート
37 出射電極
39 検出器
40 導入部
50 紫外線検出部
Claims (9)
- 真空紫外線レーザーを発生させる真空紫外線発生部と、
試料を前記真空紫外線レーザーにより1光子イオン化し、対象イオンを生成するイオン発生部と、
前記対象イオンを検出するとともに、前記対象イオンの質量を測定する、多重周回飛行時間型質量分析部と、を備え、
前記真空紫外線発生部は、紫外線レーザーを前記真空紫外線レーザーに変換する変換部と、前記真空紫外線レーザーを集光して前記イオン発生部に導入する集光レンズと、を有し、
前記イオン発生部は、
前記試料に前記真空紫外線レーザーを照射させるとともに1光子イオン化した前記対象イオンを前記多重周回飛行時間型質量分析部へ押し出すイオン化部と、
前記イオン化部と前記集光レンズとの間に、かつ前記真空紫外線レーザーの光軸に沿って配置される、第1のアパーチャーと、
前記イオン化部と前記第1のアパーチャーとの間に、かつ前記真空紫外線レーザーの光軸に沿って配置される、第2のアパーチャーとを有する、真空紫外1光子イオン化質量分析装置。 - 前記第2のアパーチャーは、前記イオン化部と隣接して配置される、請求項1に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- 前記第2のアパーチャーは、接地されている、請求項1または2に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- 前記第2のアパーチャーは、前記第1のアパーチャーと対向する面が、前記真空紫外線レーザーの光軸に対し、傾斜した傾斜面である、請求項1~3のいずれか一項に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- 前記イオン発生部は、前記傾斜面にて反射した前記紫外線レーザーを透過可能な、ビューポートを備える、請求項4に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- さらに、前記第2のアパーチャーの前記傾斜面が反射した前記紫外線レーザーを検出する紫外線検出部を有する、請求項4または5に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- 前記紫外線検出部が検出した前記紫外線レーザーの位置および/または強度に応じて、前記真空紫外線レーザーの光軸および/または光量を調節する、調整機構を有する、請求項6に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- 前記真空紫外線レーザーの光軸は、前記多重周回飛行時間型質量分析部における前記対象イオンの周回軌道が形成する面と直交する、請求項1~7のいずれか一項に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
- 前記イオン化部は、さらに、前記真空紫外線レーザーの光軸と直交するように電子線を前記試料に対し照射可能な電子銃を有する、請求項1~8のいずれか一項に記載の真空紫外1光子イオン化質量分析装置。
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