JP2022027780A - カラー撮像素子および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本実施形態1における撮像素子の構成の概略について説明する。
φ=(neff-n0)×2πh/λ (1)
で表わされる。この位相遅延量は光の波長λによって異なるため、同一の柱状構造体121に入射した光に対して波長域(色成分)に応じて異なる位相遅延量を与えることができる。また、柱状構造体121の底面および上面が正方形であるため、偏光方向を変化させた場合においても、位相遅延効果を含む光学特性に変化はない。さらに、neffは構造寸法の関数であることが知られており、n0<neff<n1の値をとる。したがって、図4(a)、(b)に示す例では、柱状構造体121の幅wを変化させることで、任意の位相遅延量を設定することが可能である。
次に、本発明の実施形態2に係る撮像素子について説明する。
次に、本発明の実施形態3に係る撮像素子について説明する。
次に、本発明の実施形態4に係る撮像素子について説明する。
10 撮像装置
11 レンズ光学系
12 撮像素子
13 信号処理部
100、200、300、400、500、600、610、620 撮像素子
101 微小分光素子
102 画素
103 マイクロレンズ
104 色フィルタ
111 透明層
112 配線層
121 柱状構造体
601 配線層
602 画素
603 透明層
604 色フィルタ
605 マイクロレンズ
606、607 微細構造
Claims (4)
- 基板上に光電変換素子を含む複数の画素が配列された画素アレイと、
前記画素アレイ上に形成された透明層と、
前記透明層の内部または上に、複数の分光素子が配列された分光素子アレイとを備え、
前記分光素子の各々は、前記透明層の屈折率よりも高い屈折率を有する材料から形成された複数の微細構造体からなる1組の微細構造体を含み、前記1組の微細構造体は、前記画素アレイに対して水平方向の形状が異なり、構造底面および上面が、中心を対称軸として回転対称な形状を有し、一定の間隔で配置された複数の微細構造体からなり、前記分光素子に入射した光の少なくとも一部は、波長に応じて伝搬方向が異なる第1~第3の偏向光に分離されて前記分光素子から出射し、前記画素アレイの一方向に連続して配置された3つの前記画素にそれぞれ入射することを特徴とする撮像素子。 - 基板上に光電変換素子を含む複数の画素が配列された画素アレイと、
前記画素アレイ上に形成された透明層と、
前記透明層の内部または上に、複数の分光素子が配列された分光素子アレイとを備え、
前記分光素子の各々は、複数の微細構造体からなる1組の微細構造体を含み、前記1組の微細構造体は、前記画素アレイに対して水平方向の形状が異なる、複数の微細構造体からなり、前記画素アレイは前記複数の分光素子により波長に応じた方向に分光された光を受光する位置に配置され、
前記1組の微細構造体の前記複数の微細構造体の各々の形状の一部が、配置された微細構造体の形状の一部と異なることを特徴とする撮像素子。 - 前記微細構造体は、構造底面および上面が、中心を対称軸として回転対称な形状を有することを特徴とする請求項2に記載の撮像素子。
- 請求項1または2に記載の撮像素子と、
前記撮像素子の撮像面に光学像を形成するための撮像光学系と、
前記撮像素子が出力する電気信号を処理する信号処理部と、
を備えたことを特徴とする撮像装置。
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---|---|---|---|---|
WO2009019818A1 (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-12 | Panasonic Corporation | 撮像用光検出装置 |
WO2009153937A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2010016195A1 (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-11 | パナソニック株式会社 | 撮像用光検出装置 |
WO2010070869A1 (ja) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
JP2012049620A (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-08 | Panasonic Corp | 固体撮像素子および撮像装置 |
WO2013094178A1 (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
WO2014033976A1 (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-06 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置および信号処理方法 |
JP2014138142A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Panasonic Corp | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP2015215616A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 色分離素子、及び該色分離素子を含むイメージセンサ |
US20150364521A1 (en) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stacked type image sensor including color separation element and image pickup apparatus including the stacked type image sensor |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009019818A1 (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-12 | Panasonic Corporation | 撮像用光検出装置 |
WO2009153937A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2010016195A1 (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-11 | パナソニック株式会社 | 撮像用光検出装置 |
WO2010070869A1 (ja) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
JP2012049620A (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-08 | Panasonic Corp | 固体撮像素子および撮像装置 |
WO2013094178A1 (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
WO2014033976A1 (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-06 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置および信号処理方法 |
JP2014138142A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Panasonic Corp | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP2015215616A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 色分離素子、及び該色分離素子を含むイメージセンサ |
US20150364521A1 (en) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stacked type image sensor including color separation element and image pickup apparatus including the stacked type image sensor |
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