JP2022021006A

JP2022021006A - Processing device

Info

Publication number: JP2022021006A
Application number: JP2020124337A
Authority: JP
Inventors: 正博濱砂; Masahiro Hamasuna; 佑太中西; Yuta Nakanishi; 健太郎寺師; Kentaro Terashi; 拓人上村; Takuto Kamimura
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-07-21
Filing date: 2020-07-21
Publication date: 2022-02-02

Abstract

To provide a processing device which can reduce operations with use of an operator's hand.SOLUTION: A processing device 1 has: a holding table 10 for holding a work-piece 200; a cutting unit 20 for cutting the work-piece 200 held by the holding table 10; a cassette installation base 30 on which a cassette 31 that accommodates a plurality of work-pieces 200, is installed; an exterior cover 5 which covers the processing device 1; and a foot switch 3 for operating each unit of the processing device 1. The exterior cover 5 includes a door 6 which blocks a port 53 that enables loading and unloading of the cassette 31 installed on the cassette installation base 30; and an air cylinder which is a unit for opening/closing the door 6. The foot switch 3 is connected to the air cylinder. The processing device 1 opens/closes the door 6 by operating the foot switch 3.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、加工装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus.

切削装置や研削装置、レーザー加工装置などの被加工物を加工する加工装置は、被加工物を複数収容したカセットが設置され、オペレータがカセット交換を行う際、カセットが載置されるカセット載置台を覆うカバーの扉を開閉する必要がある（例えば、特許文献１参照）。 Processing equipment that processes workpieces such as cutting equipment, grinding equipment, and laser processing equipment is equipped with cassettes that accommodate multiple workpieces, and when the operator replaces the cassette, the cassette mounting stand on which the cassette is placed. It is necessary to open and close the door of the cover covering the laser (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１４－１１３６６９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-113669

しかしながら、オペレータがカセットを両手で保持している場合、扉を手で開けることができないという問題がある。また、装置を操作するオペレータが複数人いる場合、複数人が一つの扉の取っ手に触ることは衛生上ふさわしくないという問題があった。 However, when the operator holds the cassette with both hands, there is a problem that the door cannot be opened by hand. Further, when there are a plurality of operators who operate the device, there is a problem that it is not suitable for hygiene for a plurality of people to touch the handle of one door.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、オペレータの手を用いた操作を低減することができる加工装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of reducing operations using the hands of an operator.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、加工装置の各ユニットを操作するフットスイッチと、を有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the processing apparatus of the present invention includes a holding table for holding a workpiece and a machining unit for machining the workpiece held on the holding table. The apparatus is characterized by having a foot switch for operating each unit of the processing apparatus.

前記加工装置において、該加工装置は、複数の被加工物を収容するカセットを設置するカセット載置台と、該加工装置を囲う外装カバーと、を備え、該外装カバーは、該カセット載置台に設置されるカセットを出し入れ可能とする出し入れ口を閉塞する扉と、該扉を開閉させる該ユニットである駆動部とを含み、該フットスイッチは、該駆動部と接続され、該フットスイッチを操作することで該扉を開閉しても良い。 In the processing apparatus, the processing apparatus includes a cassette mounting table for installing a cassette for accommodating a plurality of workpieces, and an exterior cover surrounding the processing device, and the exterior cover is installed on the cassette mounting table. The foot switch includes a door that closes a door that allows the cassette to be taken in and out, and a drive unit that is a unit that opens and closes the door, and the foot switch is connected to the drive unit to operate the foot switch. You may open and close the door with.

前記加工装置において、該フットスイッチは、電源と、該加工装置の各ユニットを制御する該ユニットである制御基板とに接続され、該フットスイッチを操作することで加工装置への電力の供給を開始または停止しても良い。 In the processing apparatus, the foot switch is connected to a power source and a control board which is the unit that controls each unit of the processing apparatus, and by operating the foot switch, power supply to the processing apparatus is started. Or you may stop.

前記加工装置において、該制御基板は、エア供給源と接続された第１の弁と、水供給源と接続された第２の弁とに接続され、該フットスイッチが操作され、該制御基板への電力の供給を開始または停止するとともに、該制御基板が該第１の弁と、該第２の弁と、の少なくともいずれかを開閉し、該加工装置への水とエアとの少なくともいずれかの供給を開始または停止しても良い。 In the processing apparatus, the control board is connected to a first valve connected to an air supply source and a second valve connected to a water supply source, and the foot switch is operated to the control board. While starting or stopping the supply of electric power, the control board opens and closes at least one of the first valve and the second valve, and at least one of water and air to the processing apparatus. Supply may be started or stopped.

本発明は、オペレータの手を用いた操作を低減することができるという効果を奏する。 The present invention has the effect that the operation using the operator's hand can be reduced.

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the processing apparatus according to the first embodiment. 図２は、図１に示された加工装置の扉の閉じた状態を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view schematically showing a closed state of the door of the processing apparatus shown in FIG. 図３は、図２に示された扉が開いた状態を模式的に示す平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing a state in which the door shown in FIG. 2 is open. 図４は、図１に示された加工装置の要部の構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a main part of the processing apparatus shown in FIG. 図５は、実施形態２に係る加工装置の要部の構成を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a main part of the processing apparatus according to the second embodiment. 図６は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a configuration example of a processing apparatus according to a modification of the first embodiment and the second embodiment. 図７は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置の要部の構成を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of a main part of a processing apparatus according to a modification of the first embodiment and the second embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の扉の閉じた状態を模式的に示す平面図である。図３は、図２に示された扉が開いた状態を模式的に示す平面図である。図４は、図１に示された加工装置の要部の構成を示すブロック図である。 [Embodiment 1]
The processing apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the processing apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a plan view schematically showing a closed state of the door of the processing apparatus shown in FIG. FIG. 3 is a plan view schematically showing a state in which the door shown in FIG. 2 is open. FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a main part of the processing apparatus shown in FIG.

（加工装置）
実施形態１に係る図１に示す加工装置１は、被加工物２００を切削（加工）する切削装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。 (Processing equipment)
The processing device 1 shown in FIG. 1 according to the first embodiment is a cutting device that cuts (processes) the workpiece 200. In the first embodiment, the workpiece 200 is a wafer such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer whose base material is silicon, sapphire, gallium, or the like. In the workpiece 200, the device 203 is formed in a region partitioned in a grid pattern by a plurality of scheduled division lines 202 formed in a grid pattern on the surface 201.

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェーハでもよく、ウェーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックスで構成されたセラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。 Further, the workpiece 200 of the present invention may be a so-called TAIKO (registered trademark) wafer in which a central portion is thinned and a thick portion is formed in an outer peripheral portion. In addition to the wafer, a device sealed with a resin is used. A rectangular package substrate having a plurality of wafers, a ceramics substrate composed of ceramics, a ferrite substrate, a substrate containing at least one of nickel and iron, a glass substrate, or the like may be used. In the first embodiment, the workpiece 200 has a back surface 204 attached to an adhesive tape 206 having an annular frame 205 attached to the outer peripheral edge thereof, and is supported by the annular frame 205.

図１に示された加工装置１は、被加工物２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、加工装置本体２と、フットスイッチ３と、を有する。 The machining apparatus 1 shown in FIG. 1 is a cutting apparatus that holds the workpiece 200 on the holding table 10 and cuts the workpiece 200 along the scheduled division line 202 with the cutting blade 21. As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 has a processing apparatus main body 2 and a foot switch 3.

加工装置本体２は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を切削ブレード２１で切削加工する加工ユニットである切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する図示しない撮像ユニットと、制御ユニット１００とを備える。 As shown in FIG. 1, the processing apparatus main body 2 includes a holding table 10 that holds the workpiece 200 on the holding surface 11 and a machining unit that cuts the workpiece 200 held on the holding table 10 with a cutting blade 21. The cutting unit 20 is provided, an imaging unit (not shown) for photographing the workpiece 200 held on the holding table 10, and a control unit 100.

また、加工装置本体２は、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる図示しない移動ユニットを備える。移動ユニットは、保持テーブル１０を水平方向及び移動ユニット等を設置した装置本体４の短手方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０を水平方向及び装置本体４の長手方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニットと、保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転するとともにＸ軸移動ユニットにより保持テーブル１０とともにＸ軸方向に加工送りされる回転移動ユニットとを備える。加工装置１は、加工装置本体２が切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。 Further, the processing apparatus main body 2 includes a moving unit (not shown) that relatively moves the holding table 10 and the cutting unit 20. The moving unit includes an X-axis moving unit that processes and feeds the holding table 10 in the horizontal direction and in the X-axis direction parallel to the lateral direction of the device main body 4 in which the moving unit and the like are installed, and the cutting unit 20 in the horizontal direction and the device main body 4. A Y-axis moving unit that indexes and feeds in the Y-axis direction that is parallel to the longitudinal direction of the A Z-axis moving unit that cuts and feeds in the direction and a rotary moving unit that rotates the holding table 10 around the axis parallel to the Z-axis direction and is machined and fed in the X-axis direction together with the holding table 10 by the X-axis moving unit. Be prepared. The processing device 1 is a so-called facing dual type cutting device in which the processing device main body 2 is provided with two cutting units 20, that is, a two-spindle dier.

保持テーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより被加工物２００が搬入出される搬入出領域と、被加工物２００が切削ユニット２０により切削加工される加工領域とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニットによりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。 The holding table 10 has a disk shape, and the holding surface 11 for holding the workpiece 200 is formed of porous ceramic or the like. Further, the holding table 10 is movable in the X-axis direction over a loading / unloading region where the workpiece 200 is loaded / unloaded by the X-axis moving unit and a machining region where the workpiece 200 is machined by the cutting unit 20. And is rotatably provided around the axis parallel to the Z-axis direction by a rotary movement unit. The holding table 10 is connected to a vacuum suction source (not shown) and is sucked by the vacuum suction source to suck and hold the workpiece 200 placed on the holding surface 11. In the first embodiment, the holding table 10 sucks and holds the back surface 204 side of the workpiece 200 via the adhesive tape 206.

また、保持テーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。クランプ部１２は、図２に示す圧縮エア供給源から供給される圧縮エアにより駆動するロータリエアアクチュエータにより環状フレーム２０５をクランプする状態と、環状フレーム２０５のクランプを解除する状態とに亘って回転される。 Further, as shown in FIG. 1, a plurality of clamp portions 12 for clamping the annular frame 205 are provided around the holding table 10. The clamp portion 12 is rotated between a state in which the annular frame 205 is clamped by a rotary air actuator driven by compressed air supplied from the compressed air supply source shown in FIG. 2 and a state in which the clamp of the annular frame 205 is released. To.

切削ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した加工ユニットである。切削ユニット２０は、それぞれ、保持テーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。 The cutting unit 20 is a processing unit to which a cutting blade 21 for cutting the workpiece 200 held on the holding table 10 is detachably attached. Each of the cutting units 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving unit with respect to the workpiece 200 held in the holding table 10, and is movable in the Z-axis direction by the Z-axis moving unit. It is provided in. The cutting unit 20 can position the cutting blade 21 at an arbitrary position on the holding surface 11 of the holding table 10 by the Y-axis moving unit and the Z-axis moving unit.

切削ユニット２０は、図１に示すように、切削ブレード２１と、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットによりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転可能に設けられかつ図示しないモータにより回転されるとともに先端に切削ブレード２１が装着されるスピンドル２３と、切削ブレード２１に切削水を供給する図示しないノズルとを備える。 As shown in FIG. 1, the cutting unit 20 is formed on a cutting blade 21, a spindle housing 22 movably provided in the Y-axis direction and the Z-axis direction by a Y-axis moving unit and a Z-axis moving unit, and a spindle housing 22. It includes a spindle 23 that is rotatably provided around the axis and is rotated by a motor (not shown) and has a cutting blade 21 mounted on the tip thereof, and a nozzle (not shown) that supplies cutting water to the cutting blade 21.

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、円環状の円形基台と、円形基台の外周縁に配設されて被加工物２００を切削する円環状の切り刃とを備える所謂ハブブレードである。切り刃は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。なお、切削ユニット２０の切削ブレード２１及びスピンドル２３の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。 The cutting blade 21 is an ultra-thin cutting wheel having a substantially ring shape. In the first embodiment, the cutting blade 21 is a so-called hub blade including an annular circular base and an annular cutting blade disposed on the outer peripheral edge of the circular base to cut the workpiece 200. The cutting edge is composed of abrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride) and a bond material (bonding material) such as metal and resin, and is formed to have a predetermined thickness. In the present invention, the cutting blade 21 may be a so-called washer blade composed of only the cutting blade. The axes of the cutting blade 21 and the spindle 23 of the cutting unit 20 are parallel to the Y-axis direction.

撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニットは、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。 The image pickup unit includes an image pickup element that captures a region to be divided of the workpiece 200 before cutting held on the holding table 10. The image sensor is, for example, a CCD (Charge-Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary MOS) image sensor. The image pickup unit photographs the workpiece 200 held on the holding table 10 to obtain an image for performing alignment for aligning the workpiece 200 and the cutting blade 21, and controls the obtained image. Output to unit 100.

また、加工装置本体２は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。 Further, the processing apparatus main body 2 has an X-axis direction position detection unit (not shown) for detecting the position of the holding table 10 in the X-axis direction and a Y-axis direction (not shown) for detecting the position of the cutting unit 20 in the Y-axis direction. It includes a position detection unit and a Z-axis direction position detection unit for detecting the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction. The X-axis direction position detection unit and the Y-axis direction position detection unit can be configured by a linear scale parallel to the X-axis direction or the Y-axis direction and a reading head.

Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置本体２の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。 The Z-axis direction position detection unit detects the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction by the pulse of the motor. The X-axis direction position detection unit, the Y-axis direction position detection unit, and the Z-axis direction position detection unit output the position of the holding table 10 in the X-axis direction, the cutting unit 20 in the Y-axis direction, or the Z-axis direction to the control unit 100. .. In the first embodiment, the positions of each component of the processing apparatus main body 2 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction are determined with reference to a predetermined reference position (not shown).

また、加工装置本体２は、切削前後の複数の被加工物２００を収容するカセット３１を設置しかつカセット３１をＺ軸方向に移動させるカセット載置台３０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニットと、カセット３１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する搬送ユニットを備える。 Further, the processing apparatus main body 2 installs a cassette 31 for accommodating a plurality of workpieces 200 before and after cutting, and cleans the cassette mounting table 30 for moving the cassette 31 in the Z-axis direction and the workpiece 200 after cutting. A cleaning unit is provided, and a transport unit for loading and unloading the workpiece 200 into and out of the cassette 31 and transporting the workpiece 200 is provided.

また、加工装置本体２は、図１に示すように、装置本体４を覆う外装カバー５を備える。外装カバー５は、装置本体４の上面の外縁から立設した複数の側壁５１と、複数の側壁５１の上端に連なって複数の側壁５１の上端間を塞ぐ天井壁５２とを有する。また、外装カバー５は、カセット載置台３０に設置されるカセット３１を出し入れ可能とする出し入れ口５３が設けられている。 Further, as shown in FIG. 1, the processing apparatus main body 2 includes an exterior cover 5 that covers the apparatus main body 4. The exterior cover 5 has a plurality of side walls 51 erected from the outer edge of the upper surface of the apparatus main body 4, and a ceiling wall 52 that is connected to the upper ends of the plurality of side walls 51 and closes between the upper ends of the plurality of side walls 51. Further, the exterior cover 5 is provided with an loading / unloading port 53 that allows the cassette 31 installed on the cassette mounting table 30 to be loaded / unloaded.

出し入れ口５３は、カセット３１を外装カバー５内に出し入れ可能とする開口である。外装カバー５内に搬入されるカセット３１は、出し入れ口５３を通って、カセット載置台３０に設置される。カセット載置台３０に設置されたカセット３１は、出し入れ口５３を通って、外装カバー５即ち加工装置１外に搬出される。 The loading / unloading port 53 is an opening that allows the cassette 31 to be loaded / unloaded into the exterior cover 5. The cassette 31 carried into the exterior cover 5 is installed on the cassette mounting table 30 through the loading / unloading port 53. The cassette 31 installed on the cassette mounting table 30 is carried out of the exterior cover 5, that is, the processing device 1, through the loading / unloading port 53.

また、外装カバー５は、図２及び図３に示すように、出し入れ口５３を開閉可能な扉６と、扉６を開閉させる駆動部であるエアシリンダ７とを備える。扉６は、平面形状が出し入れ口５３の平面形状と同等の大きさの板状に形成されている。扉６は、水平方向の一端がＺ軸方向と平行な軸心６１回りに回転自在に外装カバー５に支持されている。扉６は、図１中の実線で示す出し入れ口５３を閉塞した状態と、図１中の二点鎖線で示す出し入れ口５３を開放する状態とに亘って軸心回りに回転される。即ち、扉６は、出し入れ口５３を閉塞する。なお、実施形態１では、外装カバー５は、出し入れ口５３を閉塞した状態で加工装置本体２の外側に突出してオペレータが把持することが可能な取っ手６２（図１に示し、図２及び図３では省略している）が取り付けられている。 Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the exterior cover 5 includes a door 6 capable of opening and closing the entrance / exit 53, and an air cylinder 7 which is a drive unit for opening and closing the door 6. The door 6 is formed in a plate shape having a planar shape equivalent to the planar shape of the entrance / exit 53. The door 6 is rotatably supported by the exterior cover 5 at one end in the horizontal direction around an axis 61 parallel to the Z-axis direction. The door 6 is rotated about the axis center over a state in which the entrance / exit 53 shown by the solid line in FIG. 1 is closed and a state in which the entrance / exit 53 shown by the alternate long and short dash line in FIG. 1 is opened. That is, the door 6 closes the entrance / exit 53. In the first embodiment, the exterior cover 5 protrudes to the outside of the processing apparatus main body 2 with the entrance / exit 53 closed, and the handle 62 (shown in FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3) can be gripped by the operator. (Omitted) is attached.

エアシリンダ７は、図２及び図３に示すように、筒状のシリンダ本体７１と、シリンダ本体７１の一端から伸縮自在なロッド７２とを備える。シリンダ本体７１の他端は、出し入れ口５３を囲みかつ外装カバー５又は装置本体４に取り付けられた梁５４の軸心６１寄りの端部に、Ｚ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に取り付けられている。ロッド７２は、シリンダ本体７１から離れた先端部が扉６の軸心６１から離れた側の端部にＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に取り付けられている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the air cylinder 7 includes a cylindrical cylinder body 71 and a rod 72 that can be expanded and contracted from one end of the cylinder body 71. The other end of the cylinder body 71 surrounds the entrance / exit 53 and is rotatably around the axis parallel to the Z-axis direction at the end of the beam 54 attached to the exterior cover 5 or the device body 4 near the axis 61. It is attached. The rod 72 is rotatably attached around the axis parallel to the Z-axis direction at the end of the door 6 on the side where the tip portion away from the cylinder body 71 is away from the axis 61.

エアシリンダ７は、ロッド７２がシリンダ本体７１から伸縮自在である。エアシリンダ７は、ロッド７２が縮小すると、図２に示すように、扉６を出し入れ口５３を閉塞した状態とし、ロッド７２が伸長すると、図３に示すように、扉６を出し入れ口５３を開放する状態とする。 In the air cylinder 7, the rod 72 can be expanded and contracted from the cylinder body 71. When the rod 72 contracts, the air cylinder 7 closes the door 6 in and out as shown in FIG. 2, and when the rod 72 extends, the door 6 opens in and out as shown in FIG. It will be open.

なお、前述した保持テーブル１０、切削ユニット２０、カセット載置台３０、搬送ユニット及びエアシリンダ７は、加工装置１を構成するユニットである。 The holding table 10, the cutting unit 20, the cassette mounting table 30, the transport unit, and the air cylinder 7 described above are units constituting the processing device 1.

制御ユニット１００は、加工装置１の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施して、加工装置本体２を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介して加工装置１の上述した構成要素に出力する。 The control unit 100 controls each of the above-mentioned units of the machining apparatus 1 to cause the machining apparatus 1 to perform a machining operation on the workpiece 200. The control unit 100 is an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and input / output. It is a computer having an interface device. In the arithmetic processing unit of the control unit 100, the arithmetic processing unit performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and processes a control signal for controlling the processing apparatus main body 2 via an input / output interface device. Output to the above-mentioned components of the device 1.

また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。 Further, the control unit 100 is connected to a display unit 101 composed of a liquid crystal display device or the like that displays a state of machining operation, an image, or the like, and an input unit used by an operator to register machining content information or the like. .. The input unit is composed of at least one of a touch panel provided on the display unit 101 and an external input device such as a keyboard.

また、加工装置１は、各ユニットを動作させるための電力を供給する電源４１、各ユニットを動作させるためのエアを供給するエア供給源４２、及び各ユニットを動作させるための水を供給するための水供給源４３に接続している。加工装置１は、各ユニットに電源４１からの電力が供給され、各ユニットにエア供給源４２からエアが供給され、各ユニットに水供給源から純水が供給される。なお、エア供給源４２は、例えばエアシリンダ７にロッド７２を伸縮するためのエアを供給する。 Further, the processing device 1 is for supplying a power supply 41 for supplying electric power for operating each unit, an air supply source 42 for supplying air for operating each unit, and water for operating each unit. It is connected to the water supply source 43 of. In the processing apparatus 1, electric power is supplied to each unit from the power supply 41, air is supplied to each unit from the air supply source 42, and pure water is supplied to each unit from the water supply source. The air supply source 42 supplies, for example, air to the air cylinder 7 for expanding and contracting the rod 72.

フットスイッチ３は、加工装置本体２が設置される床上などに設置され、オペレータが足で操作可能であり、例えば、足などで踏まれるとオンを示す信号を入力し、踏まれなくなるとオフを示す信号を入力するスイッチである。フットスイッチ３は加工装置１の各ユニットを操作するものである。フットスイッチ３は、図４に示すように、加工装置本体２の制御ユニット１００に接続し、オンを示す信号、オフを示す信号を制御ユニット１００に出力する。また、制御ユニット１００が加工装置１の各ユニットに接続しているので、フットスイッチ３は、制御ユニット１００を介してエアシリンダ７と接続されている。 The foot switch 3 is installed on the floor where the processing apparatus main body 2 is installed and can be operated by the operator. For example, when the foot switch 3 is stepped on, a signal indicating on is input, and when the foot switch is not stepped on, the foot switch 3 is turned off. It is a switch that inputs the indicated signal. The foot switch 3 operates each unit of the processing device 1. As shown in FIG. 4, the foot switch 3 is connected to the control unit 100 of the processing apparatus main body 2 and outputs a signal indicating on and a signal indicating off to the control unit 100. Further, since the control unit 100 is connected to each unit of the processing device 1, the foot switch 3 is connected to the air cylinder 7 via the control unit 100.

実施形態１において、制御ユニット１００は、扉６が出し入れ口５３を閉塞している状態で、オペレータがフットスイッチ３を一度踏むと、エアシリンダ７のロッド７２を伸長させて、出し入れ口５３を開放する状態に扉６を位置づける。フットスイッチ３が一度オペレータに踏まれるとは、フットスイッチ３がオペレータに踏まれた後、オペレータがフットスイッチ３から足を離す動作を示す。このときフットスイッチ３から一旦オンを示す信号が入力され、後にオフを示す信号が入力される。 In the first embodiment, when the operator steps on the foot switch 3 once while the door 6 closes the entrance / exit 53, the control unit 100 extends the rod 72 of the air cylinder 7 to open the entrance / exit 53. Position the door 6 in the state of being When the foot switch 3 is stepped on by the operator once, it means that the operator takes his / her foot off the foot switch 3 after the foot switch 3 is stepped on by the operator. At this time, a signal indicating on is once input from the foot switch 3, and a signal indicating off is input later.

また、制御ユニット１００は、扉６が出し入れ口５３を開放している状態で、フットスイッチ３から一旦オンを示す信号が入力され、後にオフを示す信号が入力されると、エアシリンダ７のロッド７２を縮小させて、出し入れ口５３を閉塞する状態に扉６を位置付ける。このために、加工装置１は、扉６が出し入れ口５３を開放している状態で、フットスイッチ３がオペレータに踏まれるなどして操作された後、踏まれなくなると、即ち、フットスイッチ３が一度オペレータに踏まれると、出し入れ口５３を閉塞する。このように、実施形態１に係る加工装置１は、フットスイッチ３を操作することで、エアシリンダ７の動作を操作して、扉６を開閉する。 Further, in the control unit 100, when the door 6 opens the entrance / exit 53, a signal indicating on is once input from the foot switch 3, and then a signal indicating off is input, the rod of the air cylinder 7 The door 6 is positioned so that the 72 is reduced and the entrance / exit 53 is closed. For this reason, in the processing device 1, the foot switch 3 is operated by being stepped on by the operator while the door 6 is open, and then the foot switch 3 is not stepped on, that is, the foot switch 3 is pressed. Once stepped on by the operator, the entrance / exit 53 is closed. As described above, the processing apparatus 1 according to the first embodiment operates the foot switch 3 to operate the air cylinder 7 to open and close the door 6.

以上説明したように、実施形態１に係る加工装置１は、足で操作可能なフットスイッチ３を操作することで、エアシリンダ７を動作させるので、オペレータが加工装置１に触れずに、扉６を開閉することができる。その結果、加工装置１は、オペレータの手を用いた操作を低減することができるという効果を奏する。 As described above, the processing device 1 according to the first embodiment operates the air cylinder 7 by operating the foot switch 3 that can be operated by the foot, so that the operator does not touch the processing device 1 and the door 6 Can be opened and closed. As a result, the processing apparatus 1 has an effect that the operation using the operator's hand can be reduced.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置を図面に基いて説明する。図５は、実施形態２に係る加工装置の要部の構成を示すブロック図である。なお、図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。実施形態２に係る加工装置１は、フットスイッチである第２フットスイッチ８を備え、第２フットスイッチ８が、図５に示すように、電源４１と、加工装置１の加工装置本体２を構成するユニットである制御基板１０２とに接続していること以外、実施形態１と同じである。 [Embodiment 2]
The processing apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a main part of the processing apparatus according to the second embodiment. In FIG. 5, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. The processing apparatus 1 according to the second embodiment includes a second foot switch 8 which is a foot switch, and the second foot switch 8 constitutes a power supply 41 and a processing apparatus main body 2 of the processing apparatus 1 as shown in FIG. It is the same as the first embodiment except that it is connected to the control board 102 which is a unit to be used.

なお、エア供給源４２は、第１の弁４４を介して加工装置本体２に接続して加工装置本体２にエアを供給し、水供給源４３は、第２の弁４５を介して加工装置本体２に接続している。このために、第１の弁４４は、エア供給源４２と接続されており、第２の弁４５は、水供給源４３と接続されている。第１の弁４４及び第２の弁４５は、所謂開閉弁である。 The air supply source 42 is connected to the processing device main body 2 via the first valve 44 to supply air to the processing device main body 2, and the water supply source 43 is connected to the processing device main body 2 via the second valve 45. It is connected to the main body 2. For this purpose, the first valve 44 is connected to the air supply source 42, and the second valve 45 is connected to the water supply source 43. The first valve 44 and the second valve 45 are so-called on-off valves.

制御基板１０２は、制御ユニット１００に接続して、制御ユニット１００と協同して、加工装置１の各ユニットを制御するユニットである。制御基板１０２は、実施形態１では、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御基板１０２の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施して、加工装置本体２を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各ユニットに出力する。また、制御基板１０２は、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサー、又は並列プログラム化したプロセッサー等の専用の処理回路（ハードウェア）で構成されても良く、制御ユニット１００に組み込まれて、制御ユニット１００の一部分であっても良い。制御基板１０２は、第１の弁４４と第２の弁４５とに接続され、第１の弁４４と第２の弁４５とを開閉する。 The control board 102 is a unit that is connected to the control unit 100 and cooperates with the control unit 100 to control each unit of the processing apparatus 1. In the first embodiment, the control board 102 includes an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit) and a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory). , A computer with an input / output interface device. In the arithmetic processing unit of the control board 102, the arithmetic processing unit performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and processes a control signal for controlling the processing apparatus main body 2 via an input / output interface device. Output to each unit of device 1. Further, the control board 102 may be composed of a dedicated processing circuit (hardware) such as a single circuit, a composite circuit, a programmed processor, or a parallel programmed processor, and is incorporated in the control unit 100. It may be a part of the control unit 100. The control board 102 is connected to the first valve 44 and the second valve 45, and opens and closes the first valve 44 and the second valve 45.

第２フットスイッチ８は、フットスイッチ３と同様に、加工装置本体２が設置される床上などに設置され、オペレータが足で操作可能であり、例えば、足などで踏まれるとオンとなり、踏まれなくなるとオフとなるスイッチである。第２フットスイッチ８は、フットスイッチ３と同様に、加工装置１の各ユニットを操作するものである。第２フットスイッチ８は、制御基板１０２に接続し、オンを示す信号、オフを示す信号を制御基板１０２に出力する。また、制御基板１０２が第１の弁４４及び第２の弁に接続しているので、第２フットスイッチ８は、制御基板１０２を介して第１の弁４４と第２の弁４５とに接続されている。 Like the foot switch 3, the second foot switch 8 is installed on the floor where the processing apparatus main body 2 is installed and can be operated by the operator with a foot. For example, when the foot switch 8 is stepped on, the second foot switch 8 is turned on and stepped on. It is a switch that turns off when it runs out. The second foot switch 8 operates each unit of the processing device 1 in the same manner as the foot switch 3. The second foot switch 8 is connected to the control board 102, and outputs a signal indicating on and a signal indicating off to the control board 102. Further, since the control board 102 is connected to the first valve 44 and the second valve, the second foot switch 8 is connected to the first valve 44 and the second valve 45 via the control board 102. Has been done.

実施形態２において、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されていない状態で、第２フットスイッチ８から一旦オンを示す信号が入力し、後にオフを示す信号が入力すると、電源４１からの電力を加工装置本体２に供給する。このために、加工装置１は、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されていない状態で、第２フットスイッチ８がオペレータに踏まれるなどして操作された後、踏まれなくなると、即ち、第２フットスイッチ８が一度オペレータに踏まれると、電源４１からの電力が制御基板１０２及び加工装置本体２に供給される。 In the second embodiment, when the power from the power supply 41 is not supplied to the processing apparatus main body 2, a signal indicating on is once input from the second foot switch 8, and then a signal indicating off is input from the power supply 41. Power is supplied to the processing apparatus main body 2. For this reason, when the processing device 1 is operated such that the second foot switch 8 is stepped on by the operator while the power from the power supply 41 is not supplied to the processing device main body 2, the processing device 1 is not stepped on. That is, once the second foot switch 8 is stepped on by the operator, the electric power from the power supply 41 is supplied to the control board 102 and the processing apparatus main body 2.

また、制御基板１０２は、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されている状態で、第２フットスイッチ８からオンを示す信号とオフを示す信号とが所定時間内に２回ずつ交互に入力すると、電源４１からの制御基板１０２への電力の供給を停止するとともに、電源４１からの加工装置本体２への電力の供給を停止する。このために、加工装置１は、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されている状態で、第２フットスイッチ８がオペレータに踏まれるなどして所定時間内に２回操作されると、即ち、第２フットスイッチ８が所定時間内にオペレータに二度踏まれると、電源４１からの制御基板１０２及び加工装置本体２への電力の供給を停止する。このように、実施形態２に係る加工装置１は、第２フットスイッチ８を操作することで、加工装置１への電力の供給を開始または停止する。 Further, in the control board 102, the signal indicating on and the signal indicating off are alternately alternated twice within a predetermined time from the second foot switch 8 in a state where the electric power from the power supply 41 is supplied to the processing apparatus main body 2. When input to, the power supply from the power supply 41 to the control board 102 is stopped, and the power supply from the power supply 41 to the processing apparatus main body 2 is stopped. Therefore, when the processing apparatus 1 is operated twice within a predetermined time by the operator stepping on the second foot switch 8 while the electric power from the power supply 41 is supplied to the processing apparatus main body 2. That is, when the second foot switch 8 is stepped on twice by the operator within a predetermined time, the power supply from the power supply 41 to the control board 102 and the processing apparatus main body 2 is stopped. As described above, the processing apparatus 1 according to the second embodiment starts or stops the supply of electric power to the processing apparatus 1 by operating the second foot switch 8.

また、実施形態２において、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されていない状態で第２フットスイッチ８から一旦オンを示す信号が入力し、後にオフを示す信号が入力すると、加工装置本体２に電力が供給される。そして、制御基板１０２が第１の弁４４を開いて、エア供給源４２から加工装置本体２へのエアの供給を開始するとともに、第２の弁４５を開いて、水供給源４３から加工装置本体２への純水の供給を開始する。このために、加工装置１は、第２フットスイッチ８がオペレータに踏まれるなどして操作された後、踏まれなくなると、即ち、第２フットスイッチ８が一度オペレータに踏まれると、エア及び純水を加工装置本体２に供給する。 Further, in the second embodiment, when the power from the power supply 41 is not supplied to the processing apparatus main body 2 and the signal indicating on is once input from the second foot switch 8 and the signal indicating off is input later, the processing apparatus is used. Power is supplied to the main body 2. Then, the control board 102 opens the first valve 44 to start supplying air from the air supply source 42 to the processing apparatus main body 2, and opens the second valve 45 to process the processing apparatus from the water supply source 43. The supply of pure water to the main body 2 is started. Therefore, when the second foot switch 8 is operated by the operator and then cannot be stepped on, that is, once the second foot switch 8 is stepped on by the operator, the processing apparatus 1 is air and pure. Water is supplied to the processing apparatus main body 2.

また、制御基板１０２は、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されている状態で、第２フットスイッチ８からオンを示す信号とオフを示す信号とが所定時間内に２回ずつ交互に入力すると、エア供給源４２からの加工装置本体２へのエアの供給を停止するとともに、水供給源４３からの加工装置本体２への水の供給を停止した後、加工装置本体２への電力の供給を停止する。このために、加工装置１は、電源４１からの電力が加工装置本体２に供給されている状態で、第２フットスイッチ８がオペレータに踏まれるなどして所定時間内に２回操作されると、即ち、第２フットスイッチ８が所定時間内にオペレータに二度踏まれると、エア供給源４２からの加工装置本体２へのエアの供給を停止するとともに、水供給源４３からの加工装置本体２への純水の供給を停止した後、加工装置本体２への電力の供給を停止する。 Further, in the control board 102, the signal indicating on and the signal indicating off are alternately alternated twice within a predetermined time from the second foot switch 8 in a state where the electric power from the power supply 41 is supplied to the processing apparatus main body 2. When input to, the supply of air from the air supply source 42 to the processing device main body 2 is stopped, the supply of water from the water supply source 43 to the processing device main body 2 is stopped, and then the processing device main body 2 is stopped. Stop the power supply. Therefore, when the processing apparatus 1 is operated twice within a predetermined time by the operator stepping on the second foot switch 8 while the electric power from the power supply 41 is supplied to the processing apparatus main body 2. That is, when the second foot switch 8 is stepped on twice by the operator within a predetermined time, the supply of air from the air supply source 42 to the processing apparatus main body 2 is stopped, and the processing apparatus main body from the water supply source 43 is stopped. After stopping the supply of pure water to 2, the supply of electric power to the processing apparatus main body 2 is stopped.

このように、実施形態２に係る加工装置１は、第２フットスイッチ８を操作することで、加工装置１への純水及びエアの供給を開始または停止する。また、実施形態２に係る加工装置１の制御基板１０２は、第２フットスイッチ８が操作されて、制御基板１０２への電力の供給を開始または停止するとともに、制御基板１０２が第１の弁４４と第２の弁４５を開閉して、加工装置１への純水とエアとの供給を開始または停止する。 As described above, the processing apparatus 1 according to the second embodiment starts or stops the supply of pure water and air to the processing apparatus 1 by operating the second foot switch 8. Further, in the control board 102 of the processing apparatus 1 according to the second embodiment, the second foot switch 8 is operated to start or stop the supply of electric power to the control board 102, and the control board 102 is the first valve 44. And the second valve 45 are opened and closed to start or stop the supply of pure water and air to the processing apparatus 1.

実施形態２に係る加工装置１は、足で操作可能なフットスイッチ３を操作することで、電源４１からの電力の供給を開始または停止するので、オペレータが加工装置１に触れずに、電力の供給を開始または停止、即ち加工装置１の電源をオンオフすることができる。その結果、加工装置１は、オペレータの手を用いた操作を低減することができるという効果を奏する。 Since the processing apparatus 1 according to the second embodiment starts or stops the supply of electric power from the power supply 41 by operating the foot switch 3 that can be operated by the foot, the operator does not touch the processing apparatus 1 and the electric power is supplied. The supply can be started or stopped, that is, the power of the processing apparatus 1 can be turned on and off. As a result, the processing apparatus 1 has an effect that the operation using the operator's hand can be reduced.

また、実施形態２に係る加工装置１は、足で操作可能なフットスイッチ３を操作することで、電源４１から加工装置１への電力の供給と、エア供給源４２からのエア及び水供給源４３から純水の供給と、を開始または停止するので、オペレータが加工装置１に触れずに、電力と、エア及び純水と、の供給を開始または停止することができる。その結果、加工装置１は、オペレータの手を用いた操作を低減することができるという効果を奏する。 Further, the processing apparatus 1 according to the second embodiment supplies electric power from the power supply 41 to the processing apparatus 1 and air and water supply sources from the air supply source 42 by operating the foot switch 3 that can be operated by the foot. Since the supply of pure water is started or stopped from 43, the operator can start or stop the supply of electric power, air, and pure water without touching the processing device 1. As a result, the processing apparatus 1 has an effect that the operation using the operator's hand can be reduced.

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置を図面に基いて説明する。図６は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図７は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置の要部の構成を示すブロック図である。なお、図６及び図７は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Modification example]
The processing apparatus according to the first and second embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a perspective view showing a configuration example of a processing apparatus according to a modification of the first embodiment and the second embodiment. FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of a main part of a processing apparatus according to a modification of the first embodiment and the second embodiment. In FIGS. 6 and 7, the same parts as those in the first and second embodiments are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

変形例に係る加工装置１は、図６及び図７に示すように、フットスイッチ３を備えることに加え、実施形態２と同様に、フットスイッチである第２フットスイッチ８を備え、第２フットスイッチ８が制御基板１０２に接続していること以外、実施形態１と同じである。 As shown in FIGS. 6 and 7, the processing apparatus 1 according to the modified example includes, in addition to the foot switch 3, a second foot switch 8 which is a foot switch, and a second foot, as in the second embodiment. It is the same as the first embodiment except that the switch 8 is connected to the control board 102.

変形例に係る加工装置１は、フットスイッチ３と第２フットスイッチ８とを備えるので、実施形態１及び実施形態２と同様に、オペレータの手を用いた操作を低減することができるという効果を奏する。 Since the processing apparatus 1 according to the modified example includes the foot switch 3 and the second foot switch 8, the effect that the operation using the operator's hand can be reduced as in the first and second embodiments. Play.

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。前述した実施形態１及び実施形態２等では、加工装置１は、被加工物２００を切削する切削装置であったが、本発明では、切削装置に限定されず、例えば、被加工物２００を研削する研削装置、被加工物２００を研磨する研磨装置、又は被加工物２００をレーザー加工するレーザー加工装置等の被加工物２００に種々の加工を施す種々の加工装置でも良い。また、実施形態２では、第２フットスイッチ８が操作され、制御基板１０２への電力の供給を開始または停止するとともに、制御基板１０２が第１の弁４４と第２の弁４５を開閉して、加工装置１への純水とエアとの供給を開始または停止したが、実施形態２では、第２フットスイッチ８が操作され、制御基板１０２への電力の供給を開始または停止するとともに、制御基板１０２が第１の弁４４と第２の弁４５との少なくともいずれかを開閉して、加工装置１への純水とエアとの少なくともいずれかの供給を開始または停止しても良い。 The present invention is not limited to the above embodiments and modifications. That is, it can be variously modified and carried out within a range that does not deviate from the gist of the present invention. In the above-described first and second embodiments, the processing device 1 is a cutting device that cuts the workpiece 200, but the present invention is not limited to the cutting device, and for example, the workpiece 200 is ground. Various processing devices such as a grinding device for polishing a work piece 200, a polishing device for polishing a work piece 200, or a laser processing device for laser processing a work piece 200 may be used. Further, in the second embodiment, the second foot switch 8 is operated to start or stop the supply of electric power to the control board 102, and the control board 102 opens and closes the first valve 44 and the second valve 45. , The supply of pure water and air to the processing device 1 was started or stopped, but in the second embodiment, the second foot switch 8 is operated to start or stop the supply of electric power to the control board 102 and control the control board 102. The substrate 102 may open and close at least one of the first valve 44 and the second valve 45 to start or stop the supply of at least one of pure water and air to the processing apparatus 1.

１加工装置
３フットスイッチ
５外装カバー
６扉
７エアシリンダ（駆動部、ユニット）
８第２フットスイッチ（フットスイッチ）
１０保持テーブル
２０切削ユニット（加工ユニット）
３０カセット載置台
３１カセット
４２エア供給源
４３水供給源
４４第１の弁（ユニット）
４５第２の弁（ユニット）
５３出し入れ口
１０２制御基板（ユニット）
２００被加工物 1 Processing equipment 3 Foot switch 5 Exterior cover 6 Door 7 Air cylinder (drive unit, unit)
8 Second foot switch (foot switch)
10 Holding table 20 Cutting unit (machining unit)
30 Cassette mount 31 Cassette 42 Air supply source 43 Water supply source 44 First valve (unit)
45 Second valve (unit)
53 Door-in / out port 102 Control board (unit)
200 Work piece

Claims

A holding table that holds the work piece,
A processing device provided with a processing unit for processing a workpiece held on a holding table.
A processing device having a foot switch for operating each unit of the processing device.

The processing device is
A cassette stand for installing cassettes that accommodate multiple workpieces, and
With an exterior cover that surrounds the processing device,
The exterior cover is
It includes a door that closes a door that allows the cassette installed on the cassette mounting table to be taken in and out, and a drive unit that is a unit that opens and closes the door.
The foot switch is connected to the drive unit and is connected to the drive unit.
The processing apparatus according to claim 1, wherein the door is opened and closed by operating the foot switch.

The foot switch is
It is connected to the power supply and the control board which is the unit that controls each unit of the processing apparatus.
The processing apparatus according to claim 1, wherein the supply of electric power to the processing apparatus is started or stopped by operating the foot switch.

The control board is
Connected to a first valve connected to an air source and a second valve connected to a water source,
The foot switch is operated
While starting or stopping the supply of electric power to the control board,
The control board opens and closes at least one of the first valve and the second valve.
The processing apparatus according to claim 3, wherein the supply of at least one of water and air to the processing apparatus is started or stopped.