JP2022017901A - Dispenser - Google Patents

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Abstract

To provide a dispenser effective in both reducing the size and accelerating the dispensing.SOLUTION: A dispenser 1 comprises: a plunger 100; a guide block 200 which guides the plunger 100 so that the plunger advances/retreats along an axial line L1; a dispenser unit 300 which discharges/suctions liquid according to the advancement/retreatment of a leading end surface 101; and a driving unit 400 that advances/retreats the plunger 100. The driving unit 400 has: a cylinder 410 to accommodate the plunger 100; an annular piston 450 that partitions the inside of the cylinder 410 into a first space 413 and a second space 414 between an outer peripheral surface of the plunger 100 and an inner peripheral surface of the cylinder 410; and a holding unit 461 to hold the piston 450 on the outer periphery of the plunger 100 while permitting the piston 450 to float in a direction perpendicular to the axial line L1.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本開示は、ディスペンサに関する。 The present disclosure relates to a dispenser.

特許文献１には、液体貯留部およびプランジャガイド内に導入された加圧液体に対し、上部よりプランジャを往復駆動させることにより、先端ノズルから液体を所定量吐出させる液体吐出バルブが開示されている。この液体吐出バルブは、プランジャの摺動方向に対しプランジャ駆動部の摺動方向がずれていても、プランジャの摺動方向に影響させないように、プランジャとプランジャ駆動部の摺動体との間に連結部を有する。 Patent Document 1 discloses a liquid discharge valve that discharges a predetermined amount of liquid from a tip nozzle by reciprocating a plunger from above with respect to a pressurized liquid introduced in a liquid storage unit and a plunger guide. .. This liquid discharge valve is connected between the plunger and the sliding body of the plunger drive unit so as not to affect the sliding direction of the plunger even if the sliding direction of the plunger drive unit deviates from the sliding direction of the plunger. Has a part.

特開２０１４－１６３３７２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-163372

本開示は、ディスペンスの高速化と信頼性との両立に有効なディスペンサを提供することを目的とする。 It is an object of the present disclosure to provide a dispenser effective for achieving both high speed and reliability of dispense.

本開示の一側面に係るディスペンサは、プランジャと、プランジャの先端面と基端面とに交差する軸線に沿って前進・後退するようにプランジャを案内するガイド部と、先端面の前進・後退に応じて液体を吐出・吸入するディスペンス部と、プランジャを収容するシリンダと、シリンダ内を第１空間と第２空間とに区画し、第１空間の加圧に応じてプランジャを前進させ、第２空間の加圧に応じてプランジャを後退させるピストンと、加圧源の圧力が第１空間に付与される第１状態と、加圧源の圧力が第２空間に付与される第２状態とを切り替えるピストン駆動部と、プランジャに対し、前進方向に向かって反発力を付与するスプリングと、スプリングによる反発力の付与を、加圧源の圧力により解除する解除部と、を備える。 The dispenser according to one aspect of the present disclosure includes a plunger, a guide portion that guides the plunger so as to move forward / backward along an axis intersecting the front end surface and the proximal end surface of the plunger, and a guide portion that guides the plunger to move forward / backward. The discharge section for discharging and sucking liquid, the cylinder for accommodating the plunger, and the inside of the cylinder are divided into the first space and the second space, and the plunger is advanced in response to the pressure of the first space to advance the second space. The piston that retracts the plunger in response to the pressurization of the pressure source switches between the first state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the first space and the second state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the second space. It includes a piston drive unit, a spring that applies a repulsive force to the plunger in the forward direction, and a release unit that releases the repulsive force applied by the spring by the pressure of the pressurizing source.

このディスペンサによれば、加圧源の圧力が供給されている場合には、スプリングによるピストンへの反発力の付与を解除してピストンの高速摺動を可能とし、加圧源の圧力が供給されない場合には、スプリングの反発力によってプランジャを前進限界位置に保持することができる。従って、ディスペンスの高速化と信頼性との両立に有効である。 According to this dispenser, when the pressure of the pressurizing source is supplied, the repulsive force applied to the piston by the spring is released to enable high-speed sliding of the piston, and the pressure of the pressurizing source is not supplied. In some cases, the repulsive force of the spring can hold the plunger in the forward limit position. Therefore, it is effective in achieving both high speed and reliability of dispense.

解除部は、第１状態及び第２状態のいずれにおいても加圧源の圧力が付与される第３空間をシリンダとの間に形成し、スプリングによる反発力の付与を第３空間の圧力によって解除してもよい。この場合、解除部の構成を簡素化することができる。 The release portion forms a third space between the cylinder and the cylinder to which the pressure of the pressurizing source is applied in both the first state and the second state, and releases the repulsive force by the spring by the pressure of the third space. You may. In this case, the configuration of the release portion can be simplified.

ピストンは環状であり、プランジャの外周面とシリンダの内周面との間においてシリンダ内を第１空間と第２空間とに区画し、スプリングは、プランジャの外周面と、シリンダの内周面との間において、ピストンに反発力を付与してもよい。この場合、プランジャの基端部の周囲のスペースをスプリング及び解除部の配置スペースとして有効活用することで、スプリング及び解除部の付加による大型化を抑制することができる。 The piston is annular, and the inside of the cylinder is divided into a first space and a second space between the outer peripheral surface of the plunger and the inner peripheral surface of the cylinder, and the spring is formed on the outer peripheral surface of the plunger and the inner peripheral surface of the cylinder. In between, a repulsive force may be applied to the piston. In this case, by effectively utilizing the space around the base end portion of the plunger as a space for arranging the spring and the release portion, it is possible to suppress the increase in size due to the addition of the spring and the release portion.

ディスペンサは、軸線に垂直な方向へのピストンの浮動を許容しつつ、ピストンをプランジャの外周に保持する保持部を更に備えていてもよい。この場合、軸線に垂直な方向へのピストンの浮動を許容する保持部により、ガイド部に対するプランジャの位置と、シリンダに対するピストンの位置との両方を適正化し、ピストン及びプランジャの摺動を高速化することが可能となる。 The dispenser may further include a retainer that holds the piston on the outer circumference of the plunger while allowing the piston to float in a direction perpendicular to the axis. In this case, the holding portion that allows the piston to float in the direction perpendicular to the axis optimizes both the position of the plunger with respect to the guide portion and the position of the piston with respect to the cylinder, and speeds up the sliding of the piston and the plunger. It becomes possible.

駆動部は、軸線に垂直な方向へのピストンの浮動を許容しつつ、ピストンとプランジャとの間をシールする環状のシール部を更に有していてもよい。この場合、ピストンが環状であることにより生じる隙間を全周に亘ってシールすることで、第１空間及び第２空間をしっかり加圧し、ピストンをより高速に駆動することができる。 The drive unit may further have an annular seal portion that seals between the piston and the plunger while allowing the piston to float in a direction perpendicular to the axis. In this case, by sealing the gap created by the annular shape of the piston over the entire circumference, the first space and the second space can be firmly pressurized and the piston can be driven at a higher speed.

ピストンは軸線に交差する面に沿った環状の第１シール面を有し、プランジャは第１シール面に対向する環状の第２シール面を有し、シール部は第１シール面と第２シール面とに接してピストンとプランジャとの間をシールしてもよい。この場合、第１シール面と第２シール面との間にシール部を介在させることによって、軸線に垂直な方向へのピストンの浮動性と、シール性との両立を図ることができる。また、軸線周りの全周に亘って、第１シール面と第２シール面との間にシール部が介在することによって、プランジャとピストンとの間の駆動力の作用箇所が全周に亘って分散する。これにより、プランジャとピストンの双方の姿勢が安定するので、より高速な摺動が可能となる。 The piston has an annular first sealing surface along a surface that intersects the axis, the plunger has an annular second sealing surface facing the first sealing surface, and the sealing portion has a first sealing surface and a second seal. It may be in contact with the surface to seal between the piston and the plunger. In this case, by interposing the sealing portion between the first sealing surface and the second sealing surface, it is possible to achieve both the floating property of the piston in the direction perpendicular to the axis and the sealing property. Further, by interposing the seal portion between the first seal surface and the second seal surface over the entire circumference around the axis, the place where the driving force acts between the plunger and the piston acts over the entire circumference. scatter. As a result, the postures of both the plunger and the piston are stabilized, so that higher speed sliding is possible.

ディスペンサは、ガイド部をシリンダに取り付ける締結部材を更に備えていてもよい。この場合、ガイド部とシリンダとが互いに別部材であり、ガイド部に対するシリンダの位置ずれが生じ易くなるので、ピストンの浮動性がより有益である。 The dispenser may further include a fastening member that attaches the guide portion to the cylinder. In this case, the guide portion and the cylinder are separate members from each other, and the displacement of the cylinder with respect to the guide portion is likely to occur, so that the floating property of the piston is more beneficial.

ディスペンサは、シリンダ内においてプランジャの基端面に対向し、プランジャの後退を規制する後退規制部と、軸線に沿う方向における後退規制部の位置を調節する後退限界調節部と、を更に備えていてもよい。この場合、後退規制部をシリンダに対しダイレクトに作用させ、プランジャの後退限界位置を高精度に調節することができる。 Even if the dispenser is further provided with a retreat control unit that faces the base end surface of the plunger in the cylinder and regulates the retreat of the plunger, and a retreat limit adjustment unit that adjusts the position of the retreat regulation unit in the direction along the axis. good. In this case, the retreat restricting portion acts directly on the cylinder, and the retreat limit position of the plunger can be adjusted with high accuracy.

本開示によれば、ディスペンスの高速化と信頼性との両立に有効なディスペンサを提供することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a dispenser that is effective in achieving both high speed and reliability of dispense.

ディスペンサの構成を例示する模式図である。It is a schematic diagram which illustrates the structure of a dispenser. ポンプユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the pump unit. ＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図である。It is sectional drawing along the line III-III. 図３におけるディスペンス部周辺の拡大図である。It is an enlarged view around the dispense part in FIG. 図３におけるピストン周辺の拡大図である。It is an enlarged view around the piston in FIG. 図３における前進規制ユニット周辺の拡大図である。It is an enlarged view around the forward control unit in FIG. 図３における後退規制ユニット周辺の拡大図である。It is an enlarged view around the retreat regulation unit in FIG. 図３における閉塞補助ユニット周辺の拡大図である。It is an enlarged view around the blockage auxiliary unit in FIG. 包囲部、シリンダ及びアウターキャップの連結部の構成を例示する模式図である。It is a schematic diagram which illustrates the structure of the connection part of the surrounding part, the cylinder and the outer cap. ピストン駆動部の構成を例示する模式図である。It is a schematic diagram which illustrates the structure of the piston drive part. 制御回路のハードウェア構成を例示する模式図である。It is a schematic diagram which illustrates the hardware configuration of a control circuit. 制御回路による制御手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control procedure by a control circuit.

以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the drawings. In the description, the same elements or elements having the same function are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.

〔ディスペンサ〕
図１に示すディスペンサ１は、液体を断続的に吐出する装置である。一例として、ディスペンサ１は、離れた塗布対象に向かって液滴を断続的に飛ばすジェット式のディスペンサである。吐出する液体の具体例としては、接着剤、潤滑剤、ソルダーペースト、フラックス、銀ペースト、試薬等が挙げられる。 [Dispenser]
The dispenser 1 shown in FIG. 1 is a device that intermittently discharges a liquid. As an example, the dispenser 1 is a jet-type dispenser that intermittently ejects droplets toward a distant application target. Specific examples of the liquid to be discharged include adhesives, lubricants, solder pastes, fluxes, silver pastes, reagents and the like.

ディスペンサ１は、ポンプユニット１０と、バレル２０と、制御装置３０とを有する。
ポンプユニット１０は、プランジャをガス（以下、「駆動ガス」という。）により加圧して往復させることで液体の吸入と吐出とを繰り返す。ポンプユニット１０は、プランジャに対する駆動ガスの供給方向を駆動電力により切り替えることで、プランジャを往復させる。バレル２０は、液体をガス（以下、「圧送ガス」という。）により加圧してポンプユニット１０に供給する。制御装置３０は、ポンプユニット１０に上記駆動ガス及び駆動電力を供給し、バレル２０に上記圧送ガスを供給する。以下、ポンプユニット１０、バレル２０、及び制御装置３０の構成を詳細に説明する。 The dispenser 1 has a pump unit 10, a barrel 20, and a control device 30.
The pump unit 10 repeats suction and discharge of liquid by pressurizing the plunger with a gas (hereinafter referred to as “driving gas”) and reciprocating the plunger. The pump unit 10 reciprocates the plunger by switching the supply direction of the driving gas to the plunger by the driving power. The barrel 20 pressurizes the liquid with a gas (hereinafter referred to as “pressing gas”) and supplies the liquid to the pump unit 10. The control device 30 supplies the driving gas and the driving power to the pump unit 10, and supplies the pumping gas to the barrel 20. Hereinafter, the configurations of the pump unit 10, the barrel 20, and the control device 30 will be described in detail.

（ポンプユニット）
図２及び図３に示すように、ポンプユニット１０は、プランジャ１００と、ガイドブロック２００と、ディスペンス部３００と、駆動部４００と、前進規制ユニット７００と、後退規制ユニット５００と、閉塞補助ユニット６００とを有する。 (Pumping unit)
As shown in FIGS. 2 and 3, the pump unit 10 includes a plunger 100, a guide block 200, a dispense unit 300, a drive unit 400, a forward control unit 700, a reverse control unit 500, and a blockage assist unit 600. And have.

プランジャ１００は、例えばステンレス、チタン合金、又は超硬合金等の金属材料により形成された棒状部材であり、先端面１０１と基端面１０２とを有する。以下、プランジャ１００の先端面１０１が面する方向を「前進方向」といい、当該方向への移動を「前進」という。また、プランジャ１００の基端面１０２が面する方向を「後退方向」といい、当該方向への移動を「後退」という。 The plunger 100 is a rod-shaped member made of a metal material such as stainless steel, titanium alloy, or cemented carbide, and has a front end surface 101 and a base end surface 102. Hereinafter, the direction in which the tip surface 101 of the plunger 100 faces is referred to as "forward direction", and the movement in that direction is referred to as "forward". Further, the direction in which the proximal end surface 102 of the plunger 100 faces is referred to as a "backward direction", and the movement in that direction is referred to as "backward".

プランジャ１００は、その外周にフランジ１３０を有する。フランジ１３０は、前面１３１と、後面１３２とを有する。前面１３１は前進方向に面し、後面１３２は後退方向に面している。フランジ１３０は、先端面１０１と基端面１０２との間において、基端面１０２寄りに位置している。例えば、先端面１０１から前面１３１までの距離は、基端面１０２から後面１３２までの距離よりも長い。 The plunger 100 has a flange 130 on its outer circumference. The flange 130 has a front surface 131 and a rear surface 132. The front surface 131 faces the forward direction, and the rear surface 132 faces the backward direction. The flange 130 is located closer to the proximal end surface 102 between the distal end surface 101 and the proximal end surface 102. For example, the distance from the front end surface 101 to the front surface 131 is longer than the distance from the base end surface 102 to the rear surface 132.

ガイドブロック２００（ガイド部）は、先端面１０１と基端面１０２とに交差（例えば直交）する軸線Ｌ１（例えばプランジャ１００の中心軸線）に沿って前進・後退するようにプランジャ１００を案内する。ガイドブロック２００は、例えばフッ素系樹脂又はエンジニアリングプラスチック材料により形成された円柱状のブロック材であり、先端面２１３と基端面２１４とを有する。先端面２１３は前進方向に面し、基端面２１４は後退方向に面している。 The guide block 200 (guide portion) guides the plunger 100 so as to move forward and backward along the axis L1 (for example, the central axis of the plunger 100) that intersects (for example, orthogonally) the distal end surface 101 and the proximal end surface 102. The guide block 200 is a columnar block material formed of, for example, a fluororesin or an engineering plastic material, and has a front end surface 213 and a base end surface 214. The tip surface 213 faces the forward direction, and the proximal end surface 214 faces the backward direction.

ガイドブロック２００は、軸線Ｌ１に沿って先端面２１３と基端面２１４との間を貫通するガイド孔２１５を有する。ガイド孔２１５には、基端面２１４から先端面２１３に向かってプランジャ１００が挿入され、先端面２１３より前方にプランジャ１００の先端部（先端面１０１及びその近傍部分）が突出し、基端面２１４より後方にプランジャ１００のフランジ１３０が配置される。ガイド孔２１５との嵌合によって、プランジャ１００は、軸線Ｌ１に沿って前進・後退するように案内される。 The guide block 200 has a guide hole 215 that penetrates between the tip end surface 213 and the base end surface 214 along the axis L1. The plunger 100 is inserted into the guide hole 215 from the proximal end surface 214 toward the distal end surface 213, and the distal end portion (advanced surface 101 and its vicinity) of the plunger 100 protrudes in front of the distal end surface 213 and rearward from the proximal end surface 214. The flange 130 of the plunger 100 is arranged in. By fitting with the guide hole 215, the plunger 100 is guided to move forward and backward along the axis L1.

ガイドブロック２００の先端部（先端面２１３及びその近傍部分）の外周面には先端嵌合部２１１が形成されている。ガイドブロック２００の基端部（基端面２１４及びその近傍部分）の外周面には基端嵌合部２１２が形成されている。 A tip fitting portion 211 is formed on the outer peripheral surface of the tip portion (tip surface 213 and its vicinity) of the guide block 200. A proximal end fitting portion 212 is formed on the outer peripheral surface of the proximal end portion (base end surface 214 and its vicinity) of the guide block 200.

ディスペンス部３００は、プランジャ１００の先端部（先端面１０１及びその近傍部分）を収容し、先端面１０１の前進・後退に応じて液体を吐出・吸入する。図４に拡大して示すように、例えばディスペンス部３００は、包囲部３１０と、ノズルユニット３４０と、ノズルシール３５１と、ノズルホルダ３６０と、プランジャシール３５２と、バレル取り付け部３８０とを有する。 The dispense unit 300 accommodates the tip portion (tip surface 101 and its vicinity) of the plunger 100, and discharges / sucks the liquid according to the advance / retreat of the tip surface 101. As shown enlarged in FIG. 4, for example, the dispense portion 300 has a surrounding portion 310, a nozzle unit 340, a nozzle seal 351 and a nozzle holder 360, a plunger seal 352, and a barrel mounting portion 380.

包囲部３１０は、軸線Ｌ１まわりに先端面１０１を包囲して収容室３１９を構成する。包囲部３１０は、例えばステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成されたブロック材であり、先端面３１１と、基端面３１２とを含む。先端面３１１は前進方向に面し、基端面３１２は後退方向に面している。 The surrounding portion 310 surrounds the tip surface 101 around the axis L1 to form a storage chamber 319. The surrounding portion 310 is a block material formed of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and includes a front end surface 311 and a base end surface 312. The front end surface 311 faces the forward direction, and the proximal end surface 312 faces the backward direction.

先端面３１１には、軸線Ｌ１を中心とする円形の凹部３１３が形成されており、凹部３１３の底面には、軸線Ｌ１を中心とする円形の凹部３１４が更に形成されている。基端面３１２には、軸線Ｌ１を中心とする円形の凹部３１６が形成されており、凹部３１６の底面には、軸線Ｌ１を中心とする円形の凹部３１７が更に形成されている。包囲部３１０は、軸線Ｌ１に沿って凹部３１４の底面３１５と、凹部３１７の底面３１８との間を貫通する円形の貫通孔３２１を更に含む。貫通孔３２１は収容室３１９を構成し、プランジャ１００の先端部を収容する。 A circular recess 313 centered on the axis L1 is formed on the tip surface 311, and a circular recess 314 centered on the axis L1 is further formed on the bottom surface of the recess 313. A circular recess 316 centered on the axis L1 is formed on the base end surface 312, and a circular recess 317 centered on the axis L1 is further formed on the bottom surface of the recess 316. The surrounding portion 310 further includes a circular through hole 321 penetrating between the bottom surface 315 of the recess 314 and the bottom surface 318 of the recess 317 along the axis L1. The through hole 321 constitutes a storage chamber 319 and houses the tip of the plunger 100.

包囲部３１０は、流入口３２３と、吸入口３２４と、流入流路３２５とを更に含む。流入口３２３は、収容室３１９内に開口し液体を収容室３１９内に受け入れる。例えば流入口３２３は、貫通孔３２１の内周面に開口している。吸入口３２４は、包囲部３１０の外周面に開口している。 The surrounding portion 310 further includes an inflow port 323, a suction port 324, and an inflow flow path 325. The inflow port 323 opens into the containment chamber 319 and receives the liquid in the containment chamber 319. For example, the inflow port 323 is open to the inner peripheral surface of the through hole 321. The suction port 324 is open on the outer peripheral surface of the surrounding portion 310.

流入流路３２５は、吸入口３２４と流入口３２３とを連通させるように包囲部３１０内に形成されている。例えば流入流路３２５は、包囲部３１０の外周面と貫通孔３２１の内周面との間を貫通する円形の貫通孔により形成されており、貫通孔３２１の内周面における流入流路３２５の開口が流入口３２３を形成し、包囲部３１０の外周面における流入流路３２５の開口が吸入口３２４を形成している。流入流路３２５は、軸線Ｌ１から遠ざかるにつれて先端面３１１から遠ざかるように、軸線Ｌ１に垂直な面に対し傾いている。このため、流入口３２３及び吸入口３２４は、軸線Ｌ１に沿って延びた楕円形状を呈している。 The inflow flow path 325 is formed in the surrounding portion 310 so as to communicate the suction port 324 and the inflow port 323. For example, the inflow flow path 325 is formed by a circular through hole penetrating between the outer peripheral surface of the surrounding portion 310 and the inner peripheral surface of the through hole 321. The opening forms the inflow port 323, and the opening of the inflow flow path 325 on the outer peripheral surface of the surrounding portion 310 forms the suction port 324. The inflow flow path 325 is inclined with respect to the plane perpendicular to the axis L1 so as to move away from the tip surface 311 as it goes away from the axis L1. Therefore, the inflow port 323 and the suction port 324 have an elliptical shape extending along the axis L1.

包囲部３１０の先端部（先端面３１１及びその近傍部分）の外周面には、ホルダ取り付け部３３１が形成されている。ホルダ取り付け部３３１の外周は、吸入口３２４が形成された包囲部３１０の外周面よりも内側に位置している。上述のとおり、流入流路３２５が、軸線Ｌ１から遠ざかるにつれて先端面３１１から遠ざかるように傾いていることにより、ホルダ取り付け部３３１の外周面と流入流路３２５との干渉が避けられている。 A holder mounting portion 331 is formed on the outer peripheral surface of the tip portion (tip surface 311 and its vicinity) of the surrounding portion 310. The outer circumference of the holder mounting portion 331 is located inside the outer peripheral surface of the surrounding portion 310 in which the suction port 324 is formed. As described above, since the inflow flow path 325 is inclined so as to move away from the tip surface 311 as it goes away from the axis L1, interference between the outer peripheral surface of the holder mounting portion 331 and the inflow flow path 325 is avoided.

ノズルユニット３４０（端部）は、軸線Ｌ１に沿ってプランジャ１００の先端面１０１に対向する。ノズルユニット３４０は、流出口３４３と、吐出口３４４と、吐出流路３４５とを含む。流出口３４３は、収容室３１９内に開口し液体を収容室３１９外に送り出す。吐出口３４４は、収容室３１９外に開放されている。吐出流路３４５は、逆止弁を介さずに流出口３４３と吐出口３４４とを接続する。 The nozzle unit 340 (end) faces the tip surface 101 of the plunger 100 along the axis L1. The nozzle unit 340 includes an outlet 343, a discharge port 344, and a discharge flow path 345. The outlet 343 opens in the containment chamber 319 and sends the liquid out of the containment chamber 319. The discharge port 344 is open to the outside of the storage chamber 319. The discharge flow path 345 connects the outlet 343 and the discharge port 344 without a check valve.

例えばノズルユニット３４０は、ノズルベース３４１と、ノズル３４２とを有する。ノズルベース３４１は、例えばフッ素系樹脂又はエンジニアリングプラスチック材料により形成された円板状の部分であり、凹部３１４内に嵌め込まれる。ノズルベース３４１は、軸線Ｌ１に沿った貫通孔３４６を含む。ノズル３４２は、例えばステンレス又はアルミ合金により形成された細管であり、貫通孔３４６に通された状態でノズルベース３４１に固定されている。ノズル３４２の内腔は吐出流路３４５を構成し、後退方向へのノズル３４２の開口は流出口３４３を構成し、前進方向へのノズル３４２の開口は吐出口３４４を構成する。 For example, the nozzle unit 340 has a nozzle base 341 and a nozzle 342. The nozzle base 341 is a disk-shaped portion formed of, for example, a fluororesin or an engineering plastic material, and is fitted in the recess 314. The nozzle base 341 includes a through hole 346 along the axis L1. The nozzle 342 is a thin tube made of, for example, stainless steel or an aluminum alloy, and is fixed to the nozzle base 341 in a state of being passed through the through hole 346. The lumen of the nozzle 342 constitutes the discharge flow path 345, the opening of the nozzle 342 in the backward direction constitutes the outlet 343, and the opening of the nozzle 342 in the forward direction constitutes the discharge port 344.

ノズルシール３５１は、ノズルユニット３４０と包囲部３１０との間をシールする。例えばノズルシール３５１はゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、ノズルベース３４１を囲んだ状態で凹部３１３内に収容される。 The nozzle seal 351 seals between the nozzle unit 340 and the surrounding portion 310. For example, the nozzle seal 351 is an annular seal material (for example, an O-ring) formed of a rubber material or the like, and is housed in the recess 313 in a state of surrounding the nozzle base 341.

ノズルホルダ３６０は、ノズルユニット３４０を保持して包囲部３１０に取り付けられる。例えばノズルホルダ３６０は、ステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成された部材であり、カバープレート３６１と、周壁３６３とを有する。カバープレート３６１は、包囲部３１０の先端面３１１を覆う。カバープレート３６１の中心部には開口３６２が形成されている。カバープレート３６１は、ノズル３４２が開口３６２に通された状態で、ノズルベース３４１及びノズルシール３５１を前進方向から保持する。周壁３６３は、カバープレート３６１の外周から後退方向に隆起してホルダ取り付け部３３１を囲む。 The nozzle holder 360 holds the nozzle unit 340 and is attached to the surrounding portion 310. For example, the nozzle holder 360 is a member made of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and has a cover plate 361 and a peripheral wall 363. The cover plate 361 covers the front end surface 311 of the surrounding portion 310. An opening 362 is formed in the center of the cover plate 361. The cover plate 361 holds the nozzle base 341 and the nozzle seal 351 from the forward direction with the nozzle 342 passed through the opening 362. The peripheral wall 363 rises in the receding direction from the outer periphery of the cover plate 361 and surrounds the holder mounting portion 331.

周壁３６３は、ホルダ取り付け部３３１に取り付けられる。例えば、ホルダ取り付け部３３１の外周にはおねじ３３２が形成され、周壁３６３の内周にはおねじ３３２に対応するめねじ３６４が形成され、めねじ３６４に対するおねじ３３２のねじ込みによって周壁３６３がホルダ取り付け部３３１に取り付けられる。めねじ３６４に対しおねじ３３２がねじ込まれることによって、カバープレート３６１は先端面３１１に近接し、ノズルベース３４１及びノズルシール３５１を後退方向に圧する。カバープレート３６１が先端面３１１に近接するにつれ、ノズルシール３５１が潰されることによって、ノズルユニット３４０と包囲部３１０との間のシールが強化される。更に、ノズルシール３５１によって、包囲部３１０の中心とノズルユニット３４０の中心とのずれが抑制される。 The peripheral wall 363 is attached to the holder mounting portion 331. For example, a male screw 332 is formed on the outer circumference of the holder mounting portion 331, a female screw 364 corresponding to the male screw 332 is formed on the inner circumference of the peripheral wall 363, and the peripheral wall 363 is a holder mounting portion by screwing the male screw 332 into the female screw 364. Attached to 331. By screwing the male screw 332 into the female screw 364, the cover plate 361 approaches the tip surface 311 and presses the nozzle base 341 and the nozzle seal 351 in the retracting direction. As the cover plate 361 approaches the tip surface 311 the nozzle seal 351 is crushed to strengthen the seal between the nozzle unit 340 and the enclosing portion 310. Further, the nozzle seal 351 suppresses the deviation between the center of the surrounding portion 310 and the center of the nozzle unit 340.

プランジャシール３５２（シール部）は、収容室３１９を挟んでノズルユニット３４０と対向し、包囲部３１０とプランジャ１００との間をシールする。例えばプランジャシール３５２は、樹脂材料等により形成された環状シール材であり、プランジャ１００の先端部を囲んだ状態で凹部３１７に収容される。 The plunger seal 352 (seal portion) faces the nozzle unit 340 with the accommodation chamber 319 interposed therebetween, and seals between the surrounding portion 310 and the plunger 100. For example, the plunger seal 352 is an annular seal material formed of a resin material or the like, and is housed in the recess 317 in a state of surrounding the tip of the plunger 100.

包囲部３１０の凹部３１６には、ガイドブロック２００が収容される。ガイドブロック２００の先端嵌合部２１１は凹部３１７に挿入され、凹部３１７の底面３１８との間にプランジャシール３５２を挟む。これにより、プランジャシール３５２が凹部３１７内に保持される。 The guide block 200 is housed in the recess 316 of the surrounding portion 310. The tip fitting portion 211 of the guide block 200 is inserted into the recess 317, and the plunger seal 352 is sandwiched between the tip fitting portion 211 and the bottom surface 318 of the recess 317. As a result, the plunger seal 352 is held in the recess 317.

バレル取り付け部３８０は、包囲部３１０の吸入口３２４とバレル２０とを接続する。例えばバレル取り付け部３８０は、支持アーム３８１と、取り付け口金３８２（図３参照）とを有する。支持アーム３８１は、包囲部３１０の外周のうち、吸入口３２４が形成された部分から外方（軸線Ｌ１から遠ざかる方向）に突出している。取り付け口金３８２は、吸入口３２４の端部から後退方向に突出しており、バレル２０から送り出された液体を受け入れる。支持アーム３８１内には、取り付け口金３８２内と吸入口３２４とを連通させる中継流路３８３が形成されている。 The barrel mounting portion 380 connects the suction port 324 of the surrounding portion 310 to the barrel 20. For example, the barrel mounting portion 380 has a support arm 381 and a mounting base 382 (see FIG. 3). The support arm 381 projects outward (in the direction away from the axis L1) from the portion of the outer circumference of the surrounding portion 310 where the suction port 324 is formed. The attachment port 382 projects in the retracting direction from the end of the suction port 324 and receives the liquid sent out from the barrel 20. In the support arm 381, a relay flow path 383 that communicates the inside of the attachment port 382 and the suction port 324 is formed.

このように構成されたディスペンス部３００においては、プランジャシール３５２が包囲部３１０とプランジャ１００との間をシールすることにより、流入口３２３及び流出口３４３以外において、収容室３１９が実質的に密封される。このため、プランジャ１００の先端面１０１の前進・後退により収容室３１９内の空き容積が変化する。 In the dispense portion 300 configured in this way, the plunger seal 352 seals between the surrounding portion 310 and the plunger 100, so that the accommodation chamber 319 is substantially sealed except for the inflow port 323 and the outflow port 343. Plunger. Therefore, the empty volume in the accommodation chamber 319 changes as the tip surface 101 of the plunger 100 moves forward and backward.

先端面１０１が前進すると、収容室３１９内の空き容積が小さくなり、これに伴い収容室３１９の内圧が大きくなる。これにより、液体が流入口３２３及び流出口３４３の両方から流出しようとするが、流入口３２３にはバレル２０による圧力が加えられているので、液体は流出口３４３から流出し、吐出口３４４から吐出される。先端面１０１が後退すると、収容室３１９内の空き容積が大きくなり、これに伴い収容室３１９の内圧が小さくなる。これにより、液体が流入口３２３から流入する。 When the tip surface 101 advances, the empty volume in the accommodation chamber 319 decreases, and the internal pressure of the accommodation chamber 319 increases accordingly. As a result, the liquid tries to flow out from both the inflow port 323 and the outflow port 343, but since the pressure from the barrel 20 is applied to the inflow port 323, the liquid flows out from the outflow port 343 and comes out from the discharge port 344. It is discharged. When the tip surface 101 retracts, the empty volume in the accommodation chamber 319 increases, and the internal pressure of the accommodation chamber 319 decreases accordingly. As a result, the liquid flows in from the inflow port 323.

吐出流路３４５における液体の挙動は、先端面１０１の後退による減圧と、バレル２０による加圧との関係（以下、「圧力関係」という。）による。例えば、プランジャ１００が後退する期間（以下、「後退期間」という。）の少なくとも一部において、収容室３１９の内圧が収容室３１９外の圧力（例えば大気圧）以下となるように圧力関係が調節されている場合、後退期間の少なくとも一部において吐出口３４４からの液体の吐出が停止する。 The behavior of the liquid in the discharge flow path 345 depends on the relationship between the depressurization due to the retreat of the tip surface 101 and the pressurization by the barrel 20 (hereinafter referred to as "pressure relationship"). For example, the pressure relationship is adjusted so that the internal pressure of the accommodation chamber 319 becomes equal to or less than the pressure outside the accommodation chamber 319 (for example, atmospheric pressure) during at least a part of the period in which the plunger 100 retreats (hereinafter referred to as “retreat period”). If so, the discharge of the liquid from the discharge port 344 is stopped at least a part of the retreat period.

ここで、流入口３２３は、プランジャシール３５２とノズルユニット３４０との間においてノズルユニット３４０寄りに位置していてもよい。流入口３２３からノズルユニット３４０までの距離（図４中の距離Ｄ１）が、プランジャ１００の先端面１０１の最大ストロークＨ１の半分以下であってもよい。最大ストロークＨ１は、最も後退した位置から最も前進した位置までの距離である。 Here, the inflow port 323 may be located closer to the nozzle unit 340 between the plunger seal 352 and the nozzle unit 340. The distance from the inflow port 323 to the nozzle unit 340 (distance D1 in FIG. 4) may be half or less of the maximum stroke H1 of the tip surface 101 of the plunger 100. The maximum stroke H1 is the distance from the most retracted position to the most advanced position.

最大ストロークＨ１の大半が流入口３２３と重複していてもよい。例えば、軸線Ｌ１に沿う方向における流入口３２３の開口高さＨ２は最大ストロークＨ１の半分以上であり、プランジャ１００が最も後退した状態においては先端面１０１が流入口３２３よりも後退方向に位置し、プランジャ１００が最も前進した状態においては先端面１０１が流入口３２３よりも前進方向に位置する。この場合、後退期間の初期において流入口３２３が開放されるので、収容室３１９内への液体の迅速な吸入が可能となる。また、後退期間の大半において、後退につれて流入口３２３の開口面積が大きくなるので、より迅速な吸入が可能となる。更に、プランジャ１００が前進する期間の大半において、前進につれて流入口３２３の開口面積が小さくなるので、流入口３２３への圧力の逃げを抑制し、液体を流出口３４３から迅速に送り出すことができる。 Most of the maximum stroke H1 may overlap with the inflow port 323. For example, the opening height H2 of the inflow port 323 in the direction along the axis L1 is more than half of the maximum stroke H1, and the tip surface 101 is located in the receding direction from the inflow port 323 in the state where the plunger 100 is most retracted. In the state where the plunger 100 is most advanced, the tip surface 101 is located in the forward direction with respect to the inflow port 323. In this case, since the inflow port 323 is opened at the beginning of the retreat period, the liquid can be rapidly sucked into the storage chamber 319. Further, in most of the retreat period, the opening area of the inflow port 323 increases as the retreat occurs, so that more rapid inhalation becomes possible. Further, for most of the period in which the plunger 100 advances, the opening area of the inlet 323 becomes smaller as the plunger 100 advances, so that the pressure escape to the inlet 323 can be suppressed and the liquid can be quickly discharged from the outlet 343.

駆動部４００は、プランジャ１００の基端部を上記駆動ガスにより前進・後退させる。図５に拡大して示すように、例えば駆動部４００は、シリンダ４１０と、ピストン４５０と、外シール４７１と、内シール４７２と、ピストン駆動部４８０とを有する。 The drive unit 400 moves the base end portion of the plunger 100 forward and backward by the drive gas. As shown enlarged in FIG. 5, for example, the drive unit 400 includes a cylinder 410, a piston 450, an outer seal 471, an inner seal 472, and a piston drive unit 480.

シリンダ４１０は、プランジャ１００の基端部を収容する。シリンダ４１０は、例えばステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成された筒状部材であり、先端面４１１と基端面４１２とを有する（図３参照）。先端面４１１は前進方向に面し、基端面４１２は後退方向に面している。シリンダ４１０は、前進方向から後退方向に順に並ぶ第２加圧孔４３２と第１加圧孔４３１とを有する。第２加圧孔４３２と第１加圧孔４３１とは、それぞれシリンダ４１０の内周面と外周面との間を貫通している。 The cylinder 410 accommodates the base end of the plunger 100. The cylinder 410 is a tubular member made of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and has a front end surface 411 and a base end surface 412 (see FIG. 3). The front end surface 411 faces the forward direction, and the proximal end surface 412 faces the backward direction. The cylinder 410 has a second pressurizing hole 432 and a first pressurizing hole 431 that are arranged in order from the forward direction to the backward direction. The second pressure hole 432 and the first pressure hole 431 penetrate between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the cylinder 410, respectively.

シリンダ４１０がプランジャ１００の基端部を収容した状態で、シリンダ４１０の先端部（先端面４１１及びその近傍部分）はディスペンス部３００に接続される。例えばシリンダ４１０の先端部は、ガイドブロック２００の基端嵌合部２１２に嵌合し、凹部３１６の周囲において包囲部３１０に接続される。 With the cylinder 410 accommodating the base end portion of the plunger 100, the tip end portion (tip surface 411 and its vicinity portion) of the cylinder 410 is connected to the dispense portion 300. For example, the tip of the cylinder 410 fits into the base end fitting portion 212 of the guide block 200 and is connected to the surrounding portion 310 around the recess 316.

ピストン４５０は、シリンダ４１０内を軸線Ｌ１に沿って第１空間４１３と第２空間４１４とに区画するようにシリンダ４１０に設けられる。第１空間４１３は、ピストン４５０よりも後退方向に位置する空間であり、第２空間４１４はピストン４５０よりも前進方向に位置する空間である。ピストン４５０は、第１空間４１３の加圧に応じてプランジャ１００を前進させ、第２空間４１４の加圧に応じてプランジャ１００を後退させる。 The piston 450 is provided in the cylinder 410 so as to partition the inside of the cylinder 410 into the first space 413 and the second space 414 along the axis L1. The first space 413 is a space located in the backward direction with respect to the piston 450, and the second space 414 is a space located in the forward direction with respect to the piston 450. The piston 450 advances the plunger 100 in response to the pressurization of the first space 413, and retracts the plunger 100 in response to the pressurization of the second space 414.

ピストン４５０は環状であり、プランジャ１００の外周面と、シリンダ４１０の内周面との間において、シリンダ４１０内を第１空間４１３と第２空間４１４とに区画してもよい。例えばピストン４５０は、ステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成された円環状の板材であり、先端面４５２と、基端面４５３と、貫通孔４５４とを含む。先端面４５２は前進方向に面し、基端面４５３は後退方向に面している。貫通孔４５４は先端面４５２と基端面４５３との間を軸線Ｌ１に沿って貫通している。貫通孔４５４の内径は、プランジャ１００の基端部の外径よりも大きい。ピストン４５０の外周面４５１には、軸線Ｌ１まわりの全周に亘って溝部４５５が形成されている。先端面４５２には、軸線Ｌ１を中心とする凹部４５６が形成されている。 The piston 450 is annular, and the inside of the cylinder 410 may be divided into a first space 413 and a second space 414 between the outer peripheral surface of the plunger 100 and the inner peripheral surface of the cylinder 410. For example, the piston 450 is an annular plate made of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and includes a tip surface 452, a base end surface 453, and a through hole 454. The front end surface 452 faces the forward direction, and the proximal end surface 453 faces the backward direction. The through hole 454 penetrates between the tip end surface 452 and the base end surface 453 along the axis L1. The inner diameter of the through hole 454 is larger than the outer diameter of the base end portion of the plunger 100. A groove portion 455 is formed on the outer peripheral surface 451 of the piston 450 over the entire circumference around the axis L1. A recess 456 centered on the axis L1 is formed on the tip surface 452.

ピストン４５０は、軸線Ｌ１に垂直な方向への浮動が可能となるようにプランジャ１００の基端部に取り付けられる。例えば駆動部４００は、保持部４６１を更に有する。保持部４６１は、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動を許容しつつ、ピストン４５０をプランジャ１００の基端部の外周に保持する。例えば保持部４６１は、貫通孔４５４にプランジャ１００の基端部が通された状態にて、フランジ１３０との間にピストン４５０を挟み込む。 The piston 450 is attached to the base end of the plunger 100 so that it can float in a direction perpendicular to the axis L1. For example, the drive unit 400 further includes a holding unit 461. The holding portion 461 holds the piston 450 on the outer periphery of the base end portion of the plunger 100 while allowing the piston 450 to float in the direction perpendicular to the axis L1. For example, the holding portion 461 sandwiches the piston 450 with the flange 130 in a state where the base end portion of the plunger 100 is passed through the through hole 454.

例えばプランジャ１００の基端部の外周面には軸線Ｌ１まわりの全周に亘って保持溝１２１が形成されている。ピストン４５０がフランジ１３０の後面１３２に接した状態にて、保持溝１２１はピストン４５０よりも後退方向に位置する。保持部４６１は、例えばＣ形のスナップリングであり、ピストン４５０よりも後退方向に位置する保持溝１２１に嵌め込まれている。これにより、フランジ１３０と保持部４６１との間にピストン４５０が挟まれる。上述のとおり、貫通孔４５４の内径は、プランジャ１００の基端部の外径よりも大きい。このため、貫通孔４５４の内径とプランジャ１００の基端部の外径との差分だけ、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動が許容される。 For example, a holding groove 121 is formed on the outer peripheral surface of the base end portion of the plunger 100 over the entire circumference around the axis L1. The holding groove 121 is located in the retracting direction with respect to the piston 450 in a state where the piston 450 is in contact with the rear surface 132 of the flange 130. The holding portion 461 is, for example, a C-shaped snap ring, and is fitted in a holding groove 121 located in a receding direction with respect to the piston 450. As a result, the piston 450 is sandwiched between the flange 130 and the holding portion 461. As described above, the inner diameter of the through hole 454 is larger than the outer diameter of the base end portion of the plunger 100. Therefore, the piston 450 is allowed to float in the direction perpendicular to the axis L1 by the difference between the inner diameter of the through hole 454 and the outer diameter of the base end portion of the plunger 100.

外シール４７１は、ピストン４５０と、シリンダ４１０との間をシールする。例えば外シール４７１は、ゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、溝部４５５に収容される。外シール４７１は、溝部４５５の底面と、シリンダ４１０の内周面とに接することで、ピストン４５０とシリンダ４１０との間をシールする。 The outer seal 471 seals between the piston 450 and the cylinder 410. For example, the outer seal 471 is an annular seal material (for example, an O-ring) formed of a rubber material or the like, and is housed in the groove portion 455. The outer seal 471 is in contact with the bottom surface of the groove portion 455 and the inner peripheral surface of the cylinder 410 to seal between the piston 450 and the cylinder 410.

内シール４７２（シール部）は、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動を許容しつつ、ピストン４５０とプランジャ１００との間をシールする。例えば内シール４７２は、ゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、プランジャ１００を囲んだ状態で凹部４５６に収容される。内シール４７２は、凹部４５６の底面４５７（環状の第１シール面）と、フランジ１３０の後面１３２（第１シール面に対向する環状の第２シール面）とに接してピストン４５０とプランジャ１００との間をシールする。 The inner seal 472 (seal portion) seals between the piston 450 and the plunger 100 while allowing the piston 450 to float in the direction perpendicular to the axis L1. For example, the inner seal 472 is an annular seal material (for example, an O-ring) formed of a rubber material or the like, and is housed in the recess 456 in a state of surrounding the plunger 100. The inner seal 472 is in contact with the bottom surface 457 (annular first sealing surface) of the recess 456 and the rear surface 132 (annular second sealing surface facing the first sealing surface) of the flange 130, and is in contact with the piston 450 and the plunger 100. Seal between.

底面４５７と後面１３２とは、軸線Ｌ１に交差する（例えば直交する）ので、軸線Ｌ１に垂直な方向にピストン４５０が浮動しても、ピストン４５０は底面４５７と後面１３２とに接した状態に保たれる。このため、ピストン４５０の浮動性と、ピストン４５０とプランジャ１００との間のシール性との両立が図られる。 Since the bottom surface 457 and the rear surface 132 intersect (for example, orthogonal to each other) the axis line L1, even if the piston 450 floats in the direction perpendicular to the axis line L1, the piston 450 is kept in contact with the bottom surface 457 and the rear surface 132. Dripping. Therefore, the floating property of the piston 450 and the sealing property between the piston 450 and the plunger 100 can be achieved at the same time.

ピストン駆動部４８０は、加圧源の圧力（上記駆動ガスの圧力）が第１空間４１３に付与される第１状態と、加圧源の圧力が第２空間４１４に付与される第２状態とを駆動電力の供給に応じて切り替える。例えばピストン駆動部４８０は、駆動電力の供給がない場合に第１空間４１３を加圧し、駆動電力の供給がある場合に第２空間４１４を加圧する。ピストン駆動部４８０の具体的な構造については後述する。 The piston drive unit 480 has a first state in which the pressure of the pressurizing source (the pressure of the driving gas) is applied to the first space 413 and a second state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the second space 414. Is switched according to the supply of drive power. For example, the piston drive unit 480 pressurizes the first space 413 when the drive power is not supplied, and pressurizes the second space 414 when the drive power is supplied. The specific structure of the piston drive unit 480 will be described later.

前進規制ユニット７００は、プランジャ１００の前進を規制する。例えば前進規制ユニット７００は、ガイドブロック２００とフランジ１３０との間に設けられ、フランジ１３０の前進を規制する。例えば前進規制ユニット７００は、第２空間４１４内に設けられ、シリンダ４１０の内周面とプランジャ１００の外周面との間を密封しつつ、フランジ１３０の前進を規制する。図６に拡大して示すように、一例として、前進規制ユニット７００は、前進規制ブロック７１０と、外シール７２１，７２２と、内シール７３１，７３２とを有する。 The forward control unit 700 regulates the advance of the plunger 100. For example, the forward control unit 700 is provided between the guide block 200 and the flange 130 to regulate the forward movement of the flange 130. For example, the forward control unit 700 is provided in the second space 414, and regulates the forward movement of the flange 130 while sealing between the inner peripheral surface of the cylinder 410 and the outer peripheral surface of the plunger 100. As shown enlarged in FIG. 6, as an example, the forward control unit 700 has a forward control block 710, outer seals 721 and 722, and inner seals 731 and 732.

前進規制ブロック７１０（前進規制部）は、例えばステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成された円柱状のブロック材であり、先端面７１１と基端面７１２とを有する。先端面７１１は前進方向に面し、基端面７１２は後退方向に面している。前進規制ブロック７１０は、軸線Ｌ１に沿って先端面７１１と基端面７１２との間を貫通するガイド孔７１３を有する。ガイド孔７１３には、基端面７１２から先端面７１１に向かってプランジャ１００が挿入される。前進規制ブロック７１０の基端面７１２は、フランジ１３０の前面１３１（規制面）と対向してフランジ１３０の前進を規制する。 The forward control block 710 (forward control section) is a columnar block material formed of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and has a front end surface 711 and a base end surface 712. The front end surface 711 faces the forward direction, and the proximal end surface 712 faces the backward direction. The forward control block 710 has a guide hole 713 that penetrates between the distal end surface 711 and the proximal end surface 712 along the axis L1. The plunger 100 is inserted into the guide hole 713 from the proximal end surface 712 toward the distal end surface 711. The base end surface 712 of the forward control block 710 faces the front surface 131 (regulatory surface) of the flange 130 and restricts the advance of the flange 130.

前進規制ブロック７１０の先端部（先端面７１１及びその近傍部分）の外周面には、軸線Ｌ１まわりの全周に亘って溝部７１４が形成されている。前進規制ブロック７１０の基端部（基端面７１２及びその近傍部分）の外周面には、軸線Ｌ１まわりの全周に亘って溝部７１５が形成されている。また、ガイド孔７１３の内周面には、軸線Ｌ１に沿って並ぶ溝部７１６，７１７が形成されている。溝部７１６，７１７のそれぞれは、軸線Ｌ１まわりの全周に亘っている。 A groove 714 is formed on the outer peripheral surface of the tip end portion (tip surface 711 and its vicinity portion) of the forward control block 710 over the entire circumference around the axis L1. A groove 715 is formed on the outer peripheral surface of the base end portion (base end surface 712 and its vicinity) of the forward control block 710 over the entire circumference around the axis L1. Further, on the inner peripheral surface of the guide hole 713, groove portions 716 and 717 arranged along the axis L1 are formed. Each of the grooves 716 and 717 extends over the entire circumference around the axis L1.

外シール７２１，７２２は、ゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、前進規制ブロック７１０とシリンダ４１０との間をシールする。例えば外シール７２１は前進規制ブロック７１０を囲んだ状態で溝部７１４に収容され、溝部７１４の底面とシリンダ４１０の内周面とに接して前進規制ブロック７１０とシリンダ４１０との間をシールする。外シール７２２は前進規制ブロック７１０を囲んだ状態で溝部７１５に収容され、溝部７１５の底面とシリンダ４１０の内周面とに接して前進規制ブロック７１０とシリンダ４１０との間をシールする。 The outer seals 721 and 722 are annular seal materials (for example, O-rings) formed of a rubber material or the like, and seal between the forward control block 710 and the cylinder 410. For example, the outer seal 721 is housed in the groove portion 714 in a state of surrounding the forward control block 710, and is in contact with the bottom surface of the groove portion 714 and the inner peripheral surface of the cylinder 410 to seal between the forward control block 710 and the cylinder 410. The outer seal 722 is housed in the groove portion 715 in a state of surrounding the forward control block 710, and is in contact with the bottom surface of the groove portion 715 and the inner peripheral surface of the cylinder 410 to seal between the forward control block 710 and the cylinder 410.

内シール７３１，７３２は、ゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、前進規制ブロック７１０とプランジャ１００との間をシールする。例えば内シール７３１はプランジャ１００を囲んだ状態で溝部７１６に収容され、溝部７１６の底面とプランジャ１００の外周面とに接して前進規制ブロック７１０とプランジャ１００との間をシールする。内シール７３２はプランジャ１００を囲んだ状態で溝部７１７に収容され、溝部７１７の底面とプランジャ１００の外周面とに接して前進規制ブロック７１０とプランジャ１００との間をシールする。 The inner seals 731 and 732 are annular seal materials (for example, O-rings) formed of a rubber material or the like, and seal between the forward control block 710 and the plunger 100. For example, the inner seal 731 is housed in the groove portion 716 in a state of surrounding the plunger 100, and is in contact with the bottom surface of the groove portion 716 and the outer peripheral surface of the plunger 100 to seal between the forward control block 710 and the plunger 100. The inner seal 732 is housed in the groove portion 717 in a state of surrounding the plunger 100, and is in contact with the bottom surface of the groove portion 717 and the outer peripheral surface of the plunger 100 to seal between the forward control block 710 and the plunger 100.

ポンプユニット１０は、前進限界調節部４２０を更に有する。前進限界調節部４２０は、軸線Ｌ１に沿う方向においてシリンダ４１０に対する前進規制ユニット７００の位置を調節する。例えば前進限界調節部４２０は、おねじ７１８と、めねじ４２１と、調節窓４２２とを有する。おねじ７１８は、溝部７１４と溝部７１５との間において前進規制ブロック７１０の外周に形成される。めねじ４２１は、シリンダ４１０の内周面のうち、おねじ７１８に対応する部分に形成される。前進規制ユニット７００は、めねじ４２１におねじ７１８がねじ込まれた状態でシリンダ４１０内に配置される。 The pump unit 10 further includes a forward limit adjusting unit 420. The forward limit adjusting unit 420 adjusts the position of the forward restricting unit 700 with respect to the cylinder 410 in the direction along the axis L1. For example, the forward limit adjusting unit 420 has a male screw 718, a female screw 421, and an adjusting window 422. The male screw 718 is formed on the outer periphery of the forward restricting block 710 between the groove portion 714 and the groove portion 715. The female thread 421 is formed on the inner peripheral surface of the cylinder 410 at the portion corresponding to the male thread 718. The forward control unit 700 is arranged in the cylinder 410 with the screw 718 screwed into the female screw 421.

調節窓４２２（図２参照）は、溝部７１４よりも前進方向の位置において、シリンダ４１０の内周面と外周面との間を貫通している。調節窓４２２は、前進規制ブロック７１０の外周の一部をシリンダ４１０外に露出させる。これにより、シリンダ４１０の外部から前進規制ブロック７１０の外周に軸線Ｌ１まわりの操作力を付与し、前進規制ブロック７１０を軸線Ｌ１まわりに回転させることができる。 The adjustment window 422 (see FIG. 2) penetrates between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the cylinder 410 at a position in the forward direction from the groove portion 714. The adjustment window 422 exposes a part of the outer circumference of the forward control block 710 to the outside of the cylinder 410. As a result, an operating force around the axis L1 can be applied to the outer periphery of the forward restricting block 710 from the outside of the cylinder 410, and the forward restricting block 710 can be rotated around the axis L1.

前進規制ブロック７１０を回転させることで、めねじ４２１に対しおねじ７１８が回転し、前進規制ブロック７１０が軸線Ｌ１に沿って変位する。これにより、シリンダ４１０に対する前進規制ユニット７００の位置が調節される。なお、上述した最大ストロークＨ１は、前進規制ユニット７００が最も前進方向に位置する状態におけるストロークである。 By rotating the forward restricting block 710, the male screw 718 is rotated with respect to the female screw 421, and the forward restricting block 710 is displaced along the axis L1. As a result, the position of the forward control unit 700 with respect to the cylinder 410 is adjusted. The above-mentioned maximum stroke H1 is a stroke in a state where the forward control unit 700 is located in the most forward direction.

後退規制ユニット５００は、プランジャ１００の後退を規制する。例えば後退規制ユニット５００は、シリンダ４１０の基端部に接続され、プランジャ１００の基端面１０２の後退を規制する。図７に拡大して示すように、例えば後退規制ユニット５００は、アウターキャップ５１０と、規制ロッド５２０と、後退限界調節部５３０と、インナーキャップ５４０と、外シール５５１と、内シール５５２とを有する。 The retreat control unit 500 regulates the retreat of the plunger 100. For example, the retreat control unit 500 is connected to the base end portion of the cylinder 410 to regulate the retreat of the base end surface 102 of the plunger 100. As shown enlarged in FIG. 7, for example, the retreat control unit 500 has an outer cap 510, a regulation rod 520, a retreat limit adjusting portion 530, an inner cap 540, an outer seal 551, and an inner seal 552. ..

アウターキャップ５１０は、ステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成された板状部材であり、シリンダ４１０の基端部を塞ぐ。アウターキャップ５１０はその中心部に開口５１１を有する。 The outer cap 510 is a plate-shaped member made of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and closes the base end portion of the cylinder 410. The outer cap 510 has an opening 511 in the center thereof.

規制ロッド５２０は、ステンレス又はアルミ合金などの金属材料により形成された棒状部材であり、軸線Ｌ１に沿って開口５１１に挿入されている。規制ロッド５２０は、先端面５２１と基端面５２２とを有する。先端面５２１は前進方向に面し、基端面５２２は後退方向に面している。先端面５２１（後退規制部）は、シリンダ４１０内においてプランジャ１００の基端面１０２に対向し、プランジャ１００の後退を規制する。基端面５２２はシリンダ４１０の外に位置する。 The regulation rod 520 is a rod-shaped member made of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and is inserted into the opening 511 along the axis L1. The regulation rod 520 has a front end surface 521 and a base end surface 522. The tip surface 521 faces the forward direction, and the proximal end surface 522 faces the backward direction. The tip surface 521 (retraction regulating portion) faces the proximal end surface 102 of the plunger 100 in the cylinder 410 and regulates the retreat of the plunger 100. The proximal surface 522 is located outside the cylinder 410.

後退限界調節部５３０は、シリンダ４１０外において規制ロッド５２０を収容する。後退限界調節部５３０はハンドル５３１を有し、軸線Ｌ１まわりのハンドル５３１の回転に応じて規制ロッド５２０を前進・後退させる。これにより、軸線Ｌ１に沿う方向における先端面５２１の位置が調節される。なお、上述した最大ストロークＨ１は、先端面５２１が最も後退方向に位置する状態におけるストロークである。 The retreat limit adjusting unit 530 accommodates the regulation rod 520 outside the cylinder 410. The retreat limit adjusting unit 530 has a handle 531 and advances / retracts the regulation rod 520 according to the rotation of the handle 531 around the axis L1. As a result, the position of the tip surface 521 in the direction along the axis L1 is adjusted. The above-mentioned maximum stroke H1 is a stroke in a state where the tip surface 521 is located in the most retracted direction.

インナーキャップ５４０と、外シール５５１と、内シール５５２とは、シリンダ４１０内において、シリンダ４１０と規制ロッド５２０との間を密封する。例えばインナーキャップ５４０は、その中心部に貫通孔５４２を有する。インナーキャップ５４０は、シリンダ４１０内に配置され、貫通孔５４２に規制ロッド５２０が通された状態でアウターキャップ５１０に固定されている。 The inner cap 540, the outer seal 551, and the inner seal 552 seal between the cylinder 410 and the regulation rod 520 in the cylinder 410. For example, the inner cap 540 has a through hole 542 in the center thereof. The inner cap 540 is arranged in the cylinder 410 and is fixed to the outer cap 510 in a state where the regulation rod 520 is passed through the through hole 542.

外シール５５１は、インナーキャップ５４０の外周面とシリンダ４１０の内周面とに接してインナーキャップ５４０とシリンダ４１０との間をシールする。インナーキャップ５４０の外周面にはフランジ５４３が形成されており、外シール５５１はフランジ５４３とアウターキャップ５１０との間に保持されている。 The outer seal 551 contacts the outer peripheral surface of the inner cap 540 and the inner peripheral surface of the cylinder 410 and seals between the inner cap 540 and the cylinder 410. A flange 543 is formed on the outer peripheral surface of the inner cap 540, and the outer seal 551 is held between the flange 543 and the outer cap 510.

内シール５５２は、貫通孔５４２の内周面と規制ロッド５２０の外周面とに接してインナーキャップ５４０と規制ロッド５２０との間をシールする。貫通孔５４２の内周面には内向きフランジ５４４が形成されており、内シール５５２は内向きフランジ５４４とアウターキャップ５１０との間に保持されている。 The inner seal 552 contacts the inner peripheral surface of the through hole 542 and the outer peripheral surface of the regulation rod 520, and seals between the inner cap 540 and the regulation rod 520. An inward flange 544 is formed on the inner peripheral surface of the through hole 542, and the inner seal 552 is held between the inward flange 544 and the outer cap 510.

閉塞補助ユニット６００は、加圧源の圧力がピストン駆動部４８０に供給されていない場合に、ピストン４５０に対し前進方向に向かって反発力を付与し、プランジャ１００を限界まで（前面１３１が前進規制ブロック７１０に接するまで）前進させた状態を保つ。これにより、プランジャ１００の先端面１０１がノズルユニット３４０に近接した状態に保たれるので、流出口３４３が実質的に閉塞した状態に保たれ、流出口３４３からの液体の漏出が防止される。 The blockage assisting unit 600 applies a repulsive force to the piston 450 in the forward direction when the pressure of the pressurizing source is not supplied to the piston drive unit 480, and pushes the plunger 100 to the limit (the front surface 131 regulates the forward movement). Keep forward (until it touches block 710). As a result, the tip surface 101 of the plunger 100 is kept close to the nozzle unit 340, so that the outlet 343 is kept substantially closed and the liquid is prevented from leaking from the outlet 343.

例えば閉塞補助ユニット６００は、スプリング６２０と、プッシャー６３０とを有する。例えばスプリング６２０は、プランジャ１００に対し前進方向に向かって反発力を付与する。例えばスプリング６２０は、規制ロッド５２０を囲むコイルスプリングであり、軸線Ｌ１方向に沿った圧縮に対する反発力を発生させる。プッシャー６３０は、スプリング６２０とピストン４５０との間に介在し、スプリング６２０の反発力をピストン４５０に伝える。この構成において、スプリング６２０は、プッシャー６３０を介し、プランジャ１００の外周面とシリンダ４１０の内周面との間においてピストン４５０に反発力を付与する。 For example, the blockage assisting unit 600 has a spring 620 and a pusher 630. For example, the spring 620 applies a repulsive force to the plunger 100 in the forward direction. For example, the spring 620 is a coil spring that surrounds the regulation rod 520 and generates a repulsive force against compression along the axis L1 direction. The pusher 630 is interposed between the spring 620 and the piston 450, and transmits the repulsive force of the spring 620 to the piston 450. In this configuration, the spring 620 applies a repulsive force to the piston 450 between the outer peripheral surface of the plunger 100 and the inner peripheral surface of the cylinder 410 via the pusher 630.

図８に拡大して示すように、プッシャー６３０は、ステンレス又はアルミ合金等の金属材料により形成された円柱状のブロック材であり、軸線Ｌ１に沿った状態でシリンダ４１０内に配置されている。プッシャー６３０は、先端面６４１と、基端面６４２とを有する。先端面６４１は前進方向に面し、基端面６４２は後退方向に面している。基端面６４２には、軸線Ｌ１を中心とする凹部６３４が形成されている。凹部６３４にはスプリング６２０が収容される。スプリング６２０は、凹部６３４の底面に反発力を付与する。 As shown enlarged in FIG. 8, the pusher 630 is a columnar block material formed of a metal material such as stainless steel or an aluminum alloy, and is arranged in the cylinder 410 along the axis L1. The pusher 630 has a front end surface 641 and a base end surface 642. The front end surface 641 faces the forward direction, and the proximal end surface 642 faces the backward direction. A recess 634 centered on the axis L1 is formed on the base end surface 642. A spring 620 is housed in the recess 634. The spring 620 applies a repulsive force to the bottom surface of the recess 634.

先端面６４１には、軸線Ｌ１を中心とする凹部６３５が形成されており、凹部６３５の底面には軸線Ｌ１を中心とする凹部６３６が更に形成されている。凹部６３６の底面と凹部６３４の底面との間には、軸線Ｌ１を中心とする開口６３７が形成されており、規制ロッド５２０が開口６３７に通されている。凹部６３５の底面と凹部６３４の底面との間には、複数の通気孔６３８が形成されている。これにより、ピストン４５０が配置される空間と、スプリング６２０が配置される空間との間が連通している。プッシャー６３０がピストン４５０に接する際に、凹部６３５は上記保持部４６１を受け入れ、凹部６３６はプランジャ１００の基端部を受け入れる。 A recess 635 centered on the axis L1 is formed on the tip surface 641, and a recess 636 centered on the axis L1 is further formed on the bottom surface of the recess 635. An opening 637 centered on the axis L1 is formed between the bottom surface of the recess 636 and the bottom surface of the recess 634, and the regulation rod 520 is passed through the opening 637. A plurality of ventilation holes 638 are formed between the bottom surface of the recess 635 and the bottom surface of the recess 634. As a result, the space in which the piston 450 is arranged and the space in which the spring 620 is arranged communicate with each other. When the pusher 630 contacts the piston 450, the recess 635 receives the holding portion 461 and the recess 636 receives the proximal end of the plunger 100.

ポンプユニット１０は、解除部４４０を更に有する。解除部４４０は、スプリング６２０によるピストン４５０への反発力の付与を、加圧源の圧力（例えば上記駆動ガスの圧力）により解除する。このため、加圧源の圧力が供給されている場合には、スプリング６２０の反発力がピストン４５０の摺動の抵抗とならず、ピストン４５０の高速摺動が可能となる。例えば解除部４４０は、上記第１状態及び第２状態のいずれにおいても加圧源の圧力が付与される第３空間をプッシャー６３０とシリンダ４１０との間に形成し、スプリング６２０による反発力の付与を第３空間の加圧によって解除する。一例として、解除部４４０は、切替シール６５１，６５２と、第３加圧孔４４３とを有する。 The pump unit 10 further has a release portion 440. The release unit 440 releases the repulsive force applied to the piston 450 by the spring 620 by the pressure of the pressurizing source (for example, the pressure of the driving gas). Therefore, when the pressure of the pressurizing source is supplied, the repulsive force of the spring 620 does not become the resistance of the sliding of the piston 450, and the piston 450 can be slid at high speed. For example, the release portion 440 forms a third space between the pusher 630 and the cylinder 410 to which the pressure of the pressurizing source is applied in both the first state and the second state, and applies a repulsive force by the spring 620. Is released by pressurizing the third space. As an example, the release portion 440 has a switching seal 651,652 and a third pressure hole 443.

シリンダ４１０において、プッシャー６３０を収容する部分の内径は、プッシャー６３０の先端部（先端面６４１及びその近傍部分）を収容する部分（以下、「第１収容部４４１」という。）と、プッシャー６３０の基端部（基端面６４２及びその近傍部分）を収容する部分（以下、「第２収容部４４２」という。）とで異なっている。具体的には、第２収容部４４２の内径が第１収容部４４１の内径よりも大きい。第１収容部４４１の内周面には、軸線Ｌ１まわりの全周に亘って溝部４４４が形成されている。プッシャー６３０の基端部の外周面には、フランジ６３１が形成されている。フランジ６３１の外周面には、軸線Ｌ１まわりの全周に亘って溝部６３３が形成されている。 In the cylinder 410, the inner diameter of the portion accommodating the pusher 630 is the portion accommodating the tip portion (tip surface 641 and its vicinity portion) of the pusher 630 (hereinafter referred to as "first accommodating portion 441") and the pusher 630. It is different from the portion (hereinafter referred to as "second accommodating portion 442") accommodating the proximal end portion (base end surface 642 and its vicinity portion). Specifically, the inner diameter of the second accommodating portion 442 is larger than the inner diameter of the first accommodating portion 441. A groove 444 is formed on the inner peripheral surface of the first accommodating portion 441 over the entire circumference around the axis L1. A flange 631 is formed on the outer peripheral surface of the base end portion of the pusher 630. A groove portion 633 is formed on the outer peripheral surface of the flange 631 over the entire circumference around the axis L1.

切替シール６５１は、プッシャー６３０と第１収容部４４１との間をシールする。例えば切替シール６５１は、ゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、プッシャー６３０の先端部を囲んだ状態で溝部４４４に収容されている。切替シール６５１は、溝部４４４の底面とプッシャー６３０の外周面とに接してプッシャー６３０と第１収容部４４１との間をシールする。 The switching seal 651 seals between the pusher 630 and the first accommodating portion 441. For example, the switching seal 651 is an annular sealing material (for example, an O-ring) formed of a rubber material or the like, and is housed in the groove portion 444 in a state of surrounding the tip portion of the pusher 630. The switching seal 651 is in contact with the bottom surface of the groove portion 444 and the outer peripheral surface of the pusher 630 to seal between the pusher 630 and the first accommodating portion 441.

切替シール６５２は、プッシャー６３０と第２収容部４４２との間をシールする。例えば切替シール６５２は、ゴム材料等により形成された環状シール材（例えばＯリング）であり、プッシャー６３０のフランジ６３１を囲んだ状態で溝部６３３に収容されている。切替シール６５２は、溝部６３３の底面と第２収容部４４２の内周面とに接してプッシャー６３０と第２収容部４４２との間をシールする。第３加圧孔４４３は、切替シール６５１，６５２の間において、シリンダ４１０の内周面と外周面との間を貫通している。第３加圧孔４４３は、上記第１状態及び第２状態のいずれにおいても加圧源に接続される。 The switching seal 652 seals between the pusher 630 and the second accommodating portion 442. For example, the switching seal 652 is an annular sealing material (for example, an O-ring) formed of a rubber material or the like, and is housed in the groove portion 633 in a state of surrounding the flange 631 of the pusher 630. The switching seal 652 contacts the bottom surface of the groove portion 633 and the inner peripheral surface of the second accommodating portion 442 and seals between the pusher 630 and the second accommodating portion 442. The third pressure hole 443 penetrates between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the cylinder 410 between the switching seals 651 and 652. The third pressurizing hole 443 is connected to the pressurizing source in both the first state and the second state.

以上の構成により、切替シール６５１と切替シール６５２との間には、第３加圧孔４４３以外において密封され、上記第１状態及び第２状態のいずれにおいても加圧源に接続される第３空間４４５が形成される。第３加圧孔４４３に加圧源の圧力が付加されると、これに応じ第３空間４４５を拡大させるように、プッシャー６３０が切替シール６５２と共に後退方向に移動する。これにより、プッシャー６３０がピストン４５０から離れ、スプリング６２０によるピストン４５０への反発力の付与が解除される。上述したように、プッシャー６３０に形成された複数の通気孔６３８によって、ピストン４５０が配置される空間と、スプリング６２０が配置される空間との間が連通しているので、これら２つの空間の間に圧力差が生じ難い。このため、プッシャー６３０は、第３空間４４５の加圧に応じてスムーズに後退する。 With the above configuration, the switching seal 651 and the switching seal 652 are sealed except for the third pressure hole 443, and are connected to the pressure source in both the first state and the second state. Space 445 is formed. When the pressure of the pressurizing source is applied to the third pressurizing hole 443, the pusher 630 moves in the retracting direction together with the switching seal 652 so as to expand the third space 445 accordingly. As a result, the pusher 630 is separated from the piston 450, and the repulsive force applied to the piston 450 by the spring 620 is released. As described above, since the space in which the piston 450 is arranged and the space in which the spring 620 is arranged are communicated with each other by the plurality of ventilation holes 638 formed in the pusher 630, between these two spaces. Pressure difference is unlikely to occur. Therefore, the pusher 630 smoothly retracts in response to the pressurization of the third space 445.

以上に説明したプランジャ１００と、ガイドブロック２００と、ディスペンス部３００と、駆動部４００と、前進規制ユニット７００と、後退規制ユニット５００と、閉塞補助ユニット６００とは、包囲部３１０と、シリンダ４１０と、アウターキャップ５１０とを連結することによって一体化される。 The plunger 100, the guide block 200, the dispense unit 300, the drive unit 400, the forward regulation unit 700, the backward regulation unit 500, and the blockage auxiliary unit 600 described above are the surrounding portion 310 and the cylinder 410. , Is integrated by connecting with the outer cap 510.

包囲部３１０と、シリンダ４１０と、アウターキャップ５１０とは、図９に示すように、後退方向からアウターキャップ５１０に挿入され、包囲部３１０に達する複数本の貫通ボルト１１（締結部材）により連結されていてもよい。この場合、液体を吐出するノズルユニット３４０の逆側から、貫通ボルト１１の取外し作業を行うことができるので、メンテナンス作業性が向上する。 As shown in FIG. 9, the surrounding portion 310, the cylinder 410, and the outer cap 510 are inserted into the outer cap 510 from the retracting direction, and are connected by a plurality of through bolts 11 (fastening members) reaching the surrounding portion 310. May be. In this case, the through bolt 11 can be removed from the opposite side of the nozzle unit 340 that discharges the liquid, so that the maintenance workability is improved.

ここで、上述したピストン駆動部４８０の構成を例示する。図１０に示すように、ピストン駆動部４８０は、加圧ポート４８１と、排気ポート４８２，４８３と、第１流路４８４と、第２流路４８５と、第３流路４８６と、ソレノイドバルブ４８７と、弾性部材４８８と、ソレノイド４８９とを有する。 Here, the configuration of the piston drive unit 480 described above will be exemplified. As shown in FIG. 10, the piston drive unit 480 includes a pressurizing port 481, an exhaust port 482, 483, a first flow path 484, a second flow path 485, a third flow path 486, and a solenoid valve 487. And an elastic member 488 and a solenoid 489.

加圧ポート４８１は、上記駆動ガスを供給するためのポートである。排気ポート４８２，４８３は、シリンダ４１０内のガスを排出するためのポートである。第１流路４８４は上記第１加圧孔４３１に接続された流路であり、第２流路４８５は上記第２加圧孔４３２に接続された流路である。第３流路４８６は加圧ポート４８１と上記第３加圧孔４４３とを接続する流路である。 The pressurizing port 481 is a port for supplying the driving gas. The exhaust ports 482 and 483 are ports for discharging the gas in the cylinder 410. The first flow path 484 is a flow path connected to the first pressure hole 431, and the second flow path 485 is a flow path connected to the second pressure hole 432. The third flow path 486 is a flow path connecting the pressurizing port 481 and the third pressurizing hole 443.

ソレノイドバルブ４８７は、第１位置と、第２位置との間を移動する。ソレノイドバルブ４８７は、第１位置にある際に、第１流路４８４と加圧ポート４８１とを接続し、第２流路４８５と排気ポート４８２とを接続する。以下、この状態を第１状態という。第１状態においては、第１空間４１３が駆動ガスにより加圧され、第２空間４１４のガスが排気ポート４８２から排出され、ピストン４５０が前進する。 The solenoid valve 487 moves between the first position and the second position. When the solenoid valve 487 is in the first position, it connects the first flow path 484 and the pressurizing port 481, and connects the second flow path 485 and the exhaust port 482. Hereinafter, this state is referred to as a first state. In the first state, the first space 413 is pressurized by the driving gas, the gas in the second space 414 is discharged from the exhaust port 482, and the piston 450 advances.

ソレノイドバルブ４８７は、第２位置にある際に、第２流路４８５と加圧ポート４８１とを接続し、第１流路４８４と排気ポート４８３とを接続する。以下、この状態を第２状態という。第２状態においては、第２空間４１４が駆動ガスにより加圧され、第１空間４１３のガスが排気ポート４８３から排出され、ピストン４５０が後退する。 When the solenoid valve 487 is in the second position, it connects the second flow path 485 and the pressurizing port 481, and connects the first flow path 484 and the exhaust port 483. Hereinafter, this state is referred to as a second state. In the second state, the second space 414 is pressurized by the driving gas, the gas in the first space 413 is discharged from the exhaust port 483, and the piston 450 retracts.

弾性部材４８８は、第２位置から第１位置に向かう弾性反発力をソレノイドバルブ４８７に付与する。ソレノイド４８９は、駆動電力の供給により、第１位置から第２位置に向かう駆動力をソレノイドバルブ４８７に付与する。このため、ソレノイド４８９に駆動電力が供給されない状態においては、弾性部材４８８の弾性反発力によってソレノイドバルブ４８７が第１位置に配置される。ソレノイド４８９に駆動電力が供給される状態においては、弾性反発力に抗する駆動力によってソレノイドバルブ４８７が第２位置に配置される。 The elastic member 488 applies an elastic repulsive force from the second position to the first position to the solenoid valve 487. The solenoid valve 489 applies a driving force from the first position to the second position to the solenoid valve 487 by supplying the driving power. Therefore, in a state where the driving power is not supplied to the solenoid 489, the solenoid valve 487 is arranged at the first position by the elastic rebound force of the elastic member 488. In the state where the driving power is supplied to the solenoid 489, the solenoid valve 487 is arranged at the second position by the driving force that opposes the elastic rebound force.

このような構成によれば、後述する制御装置３０の故障等に起因して駆動電力が供給されない場合であっても、駆動ガスの供給が継続される限りプランジャ１００が最も前進した状態に保たれる。これにより、流出口３４３が実質的に閉塞されるので、液体の漏出が防止される。 According to such a configuration, even if the driving power is not supplied due to a failure of the control device 30 described later or the like, the plunger 100 is kept in the most advanced state as long as the supply of the driving gas is continued. Is done. As a result, the outlet 343 is substantially blocked, so that the liquid is prevented from leaking.

第３加圧孔４４３は、第３流路４８６により加圧ポート４８１に直結される。このため、第１状態及び第２状態のいずれにおいても、第３空間４４５は駆動ガスにより加圧される。従って、駆動ガスが加圧ポート４８１に供給される限り、スプリング６２０によるピストン４５０への反発力の付与が解除され、ピストン４５０を高速に動作させ易くなる。 The third pressure hole 443 is directly connected to the pressure port 481 by the third flow path 486. Therefore, in both the first state and the second state, the third space 445 is pressurized by the driving gas. Therefore, as long as the driving gas is supplied to the pressurizing port 481, the repulsive force applied to the piston 450 by the spring 620 is released, and the piston 450 can be easily operated at high speed.

制御装置３０の故障等に起因して加圧ポート４８１への駆動ガスの供給が停止する場合には、第３空間４４５にも駆動ガスが供給されなくなるので、スプリング６２０によるピストン４５０への反発力の付与が再開され、プランジャ１００が最も前進した状態に保たれる。これにより、流出口３４３が実質的に閉塞されるので、液体の漏出が防止される。 When the supply of the drive gas to the pressurizing port 481 is stopped due to a failure of the control device 30 or the like, the drive gas is not supplied to the third space 445 as well, so that the repulsive force of the spring 620 to the piston 450 is obtained. Is resumed, and the plunger 100 is kept in the most advanced state. As a result, the outlet 343 is substantially blocked, so that the liquid is prevented from leaking.

（バレル）
バレル２０（圧送部）は、収容室３１９外から流入口３２３に液体を圧送する。図１に示すように、例えばバレル２０は、送出口２１と、加圧口２２とを有する。送出口２１は、バレル取り付け部３８０の取り付け口金３８２に取り付けられ、取り付け口金３８２を介して中継流路３８３に液体を送り出す。加圧口２２は、上述した圧送ガスを受け入れる。バレル２０は、加圧口２２から流入した圧送ガスにより液体を加圧し、送出口２１、取り付け口金３８２、中継流路３８３、吸入口３２４、及び流入流路３２５を経て流入口３２３に液体を圧送する。 (barrel)
The barrel 20 (pumping unit) pumps the liquid from the outside of the accommodation chamber 319 to the inflow port 323. As shown in FIG. 1, for example, the barrel 20 has a delivery port 21 and a pressure port 22. The delivery port 21 is attached to the mounting base 382 of the barrel mounting portion 380, and delivers the liquid to the relay flow path 383 via the mounting base 382. The pressurizing port 22 receives the pressure feed gas described above. The barrel 20 pressurizes the liquid with the pressure feed gas flowing in from the pressurizing port 22, and pressurizes the liquid to the inflow port 323 via the outlet 21, the attachment port 382, the relay flow path 383, the suction port 324, and the inflow flow path 325. do.

（制御装置）
図１０に示すように、制御装置３０は、エアー回路４０と、制御回路５０とを有する。エアー回路４０は、ポンプユニット１０に駆動ガスを供給し、バレル２０に圧送ガスを供給する。例えばエアー回路４０は、入力ホース７３を介してガス源に接続され、出力ホース７１を介してポンプユニット１０の加圧ポート４８１に接続され、出力ホース７２を介してバレル２０の加圧口２２に接続されている。 (Control device)
As shown in FIG. 10, the control device 30 includes an air circuit 40 and a control circuit 50. The air circuit 40 supplies the driving gas to the pump unit 10 and supplies the pumping gas to the barrel 20. For example, the air circuit 40 is connected to the gas source via the input hose 73, connected to the pressurizing port 481 of the pump unit 10 via the output hose 71, and connected to the pressurizing port 22 of the barrel 20 via the output hose 72. It is connected.

エアー回路４０は、入力ホース７３から流入したガス（以下、「入力ガス」という。）の一部を駆動ガスとして出力ホース７１に出力し、入力ガスの残りの一部を圧送ガスとして出力ホース７２に出力する。エアー回路４０は、レギュレータ４１と、電空レギュレータ４２と、バルブ４３と、圧力センサ４４，４５，４６とを有する。 The air circuit 40 outputs a part of the gas flowing from the input hose 73 (hereinafter referred to as “input gas”) to the output hose 71 as a driving gas, and outputs the remaining part of the input gas as a pumping gas to the output hose 72. Output to. The air circuit 40 includes a regulator 41, an electropneumatic regulator 42, a valve 43, and pressure sensors 44, 45, 46.

レギュレータ４１は、入力ガスの圧力を駆動ガスの供給圧力まで低下させて出力ホース７１及び電空レギュレータ４２に出力する。電空レギュレータ４２は、レギュレータ４１により低下した圧力を更に圧送ガスの供給圧力まで低下させて出力ホース７２に出力する。 The regulator 41 reduces the pressure of the input gas to the supply pressure of the driving gas and outputs the pressure to the output hose 71 and the electropneumatic regulator 42. The electropneumatic regulator 42 further reduces the pressure dropped by the regulator 41 to the supply pressure of the pumping gas and outputs the pressure to the output hose 72.

電空レギュレータ４２は、制御指令に従って、圧送ガスの供給圧力を変更する。バルブ４３は、例えばソレノイドバルブであり、制御指令に従って、電空レギュレータ４２と出力ホース７２との間を開閉する。 The electropneumatic regulator 42 changes the supply pressure of the pumping gas according to the control command. The valve 43 is, for example, a solenoid valve, and opens and closes between the electropneumatic regulator 42 and the output hose 72 according to a control command.

圧力センサ４４は、電空レギュレータ４２を通過する前の入力ガスの圧力を検出する。圧力センサ４５は、電空レギュレータ４２と出力ホース７１との間における駆動ガスの圧力を検出する。圧力センサ４６は、電空レギュレータ４２とバルブ４３との間における圧送ガスの圧力を検出する。 The pressure sensor 44 detects the pressure of the input gas before passing through the electropneumatic regulator 42. The pressure sensor 45 detects the pressure of the driving gas between the electropneumatic regulator 42 and the output hose 71. The pressure sensor 46 detects the pressure of the pumping gas between the electropneumatic regulator 42 and the valve 43.

制御回路５０は、エアー回路４０を制御する。また、制御回路５０はケーブル７４を介してピストン駆動部４８０に接続され、ピストン駆動部４８０を制御する。例えば制御回路５０は、機能上の構成（以下、「機能ブロック」という。）として、圧力監視部５１と、バレル圧力制御部５２と、吐出制御部５３とを有する。 The control circuit 50 controls the air circuit 40. Further, the control circuit 50 is connected to the piston drive unit 480 via the cable 74 and controls the piston drive unit 480. For example, the control circuit 50 has a pressure monitoring unit 51, a barrel pressure control unit 52, and a discharge control unit 53 as a functional configuration (hereinafter referred to as “functional block”).

圧力監視部５１（圧力調節部）は、バレル２０が液に付与する圧力を調節する。例えば圧力監視部５１は、バルブ４３の開閉により、圧送ガスの供給と停止を切り替える。バレル圧力制御部５２は、圧送ガスの供給圧力を目標圧力に追従させるように電空レギュレータ４２を制御する。目標圧力は、例えばユーザの設定入力に基づき定められる。設定入力は、後述の入力デバイス６６により取得される。吐出制御部５３は、所定の周期で上記第１状態と第２状態とを切り替えることを所定期間繰り返すように、ピストン駆動部４８０に駆動電力を供給する。例えば吐出制御部５３は、上位コントローラ８０からの吐出指令に従ってピストン駆動部４８０に駆動電力を供給する。吐出指令は、例えば上記所定の周期及び所定期間を含む。 The pressure monitoring unit 51 (pressure adjusting unit) adjusts the pressure applied to the liquid by the barrel 20. For example, the pressure monitoring unit 51 switches between supplying and stopping the pumping gas by opening and closing the valve 43. The barrel pressure control unit 52 controls the electropneumatic regulator 42 so that the supply pressure of the pumping gas follows the target pressure. The target pressure is determined, for example, based on the user's setting input. The setting input is acquired by the input device 66 described later. The discharge control unit 53 supplies drive power to the piston drive unit 480 so as to repeat switching between the first state and the second state at a predetermined cycle for a predetermined period. For example, the discharge control unit 53 supplies drive power to the piston drive unit 480 according to a discharge command from the host controller 80. The discharge command includes, for example, the above-mentioned predetermined cycle and predetermined period.

図１１は、制御回路５０のハードウェア構成を例示するブロック図である。図１１に示すように、制御回路５０は、一つまたは複数のプロセッサ６１と、メモリ６２と、ストレージ６３と、入出力ポート６４と、表示デバイス６５と、入力デバイス６６と、通信ポート６７とを含む。なお、図においては一つのプロセッサ６１を図示しているが、制御回路５０は複数のプロセッサ６１を有してもよい。この場合、制御回路５０はプロセッサ６１ごとにメモリ６２及びストレージ６３を有してもよい。 FIG. 11 is a block diagram illustrating a hardware configuration of the control circuit 50. As shown in FIG. 11, the control circuit 50 includes one or more processors 61, a memory 62, a storage 63, an input / output port 64, a display device 65, an input device 66, and a communication port 67. include. Although one processor 61 is shown in the figure, the control circuit 50 may have a plurality of processors 61. In this case, the control circuit 50 may have a memory 62 and a storage 63 for each processor 61.

ストレージ６３は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ６３は、上記各機能ブロックを制御回路５０に構成させるためのプログラムを記憶している。メモリ６２は、ストレージ６３の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ６１による演算結果を一時的に記憶する。メモリ６２は、例えばランダムアクセスメモリである。プロセッサ６１は、メモリ６２と協働して上記プログラムを実行することで、制御回路５０の各機能ブロックを構成する。入出力ポート６４は、プロセッサ６１からの指令に従って、バルブ４３、圧力センサ４４，４５，４６及びソレノイドバルブ４８７との間で電気信号の入出力を行う。表示デバイス６５は、例えば液晶パネル又は有機ＥＬパネルを含み、プロセッサ６１からの指令に従ったインタフェース画像を表示する。入力デバイス６６は、例えば入力キーを含み、入力キーへの入力（キー入力）を取得する。表示デバイス６５及び入力デバイス６６は、タッチパネル３３として一体化されていてもよい（図１参照）。通信ポート６７は、プロセッサからの指令に従って、上位コントローラ８０との間で情報通信を行う。 The storage 63 has a computer-readable storage medium, such as a non-volatile semiconductor memory. The storage 63 stores a program for configuring each of the functional blocks in the control circuit 50. The memory 62 temporarily stores the program loaded from the storage medium of the storage 63 and the calculation result by the processor 61. The memory 62 is, for example, a random access memory. The processor 61 constitutes each functional block of the control circuit 50 by executing the above program in cooperation with the memory 62. The input / output port 64 inputs / outputs an electric signal to / from the valve 43, the pressure sensors 44, 45, 46 and the solenoid valve 487 according to a command from the processor 61. The display device 65 includes, for example, a liquid crystal panel or an organic EL panel, and displays an interface image according to a command from the processor 61. The input device 66 includes, for example, an input key, and acquires an input (key input) to the input key. The display device 65 and the input device 66 may be integrated as a touch panel 33 (see FIG. 1). The communication port 67 communicates information with the host controller 80 according to a command from the processor.

制御回路５０は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば制御回路５０は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。 The control circuit 50 is not necessarily limited to the one that constitutes each function by a program. For example, the control circuit 50 may have at least a part of its functions configured by a dedicated logic circuit or an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) that integrates the logic circuit.

〔制御手順〕
以下、制御回路５０による制御手順を例示する。図１２に示すように、制御回路５０は、まずステップＳ０１，Ｓ０２を実行する。ステップＳ０１では、圧力監視部５１が、圧力センサ４４，４５，４６による圧力の検出結果を取得する。ステップＳ０２では、圧力センサ４４，４５，４６による圧力の検出結果が正常範囲であるかを圧力監視部５１が確認する。 [Control procedure]
Hereinafter, the control procedure by the control circuit 50 will be illustrated. As shown in FIG. 12, the control circuit 50 first executes steps S01 and S02. In step S01, the pressure monitoring unit 51 acquires the pressure detection result by the pressure sensors 44, 45, 46. In step S02, the pressure monitoring unit 51 confirms whether the pressure detection result by the pressure sensors 44, 45, 46 is within the normal range.

ステップＳ０２において圧力の検出結果が正常範囲でないと判定した場合、制御回路５０はステップＳ２１を実行する。ステップＳ２１では、圧力監視部５１が上位コントローラ８０にエラーを通知する。その後、制御回路５０は制御手順を終了する。 If it is determined in step S02 that the pressure detection result is not in the normal range, the control circuit 50 executes step S21. In step S21, the pressure monitoring unit 51 notifies the host controller 80 of the error. After that, the control circuit 50 ends the control procedure.

ステップＳ０２において圧力の検出結果が正常範囲であると判定した場合、制御回路５０はステップＳ０３，Ｓ０４を実行する。ステップＳ０３では、バレル圧力制御部５２が、バルブ４３を開いてバレル２０への圧送ガスの供給を開始する。ステップＳ０４では、吐出制御部５３が、上位コントローラ８０等からの吐出指令の有無を確認する。 If it is determined in step S02 that the pressure detection result is within the normal range, the control circuit 50 executes steps S03 and S04. In step S03, the barrel pressure control unit 52 opens the valve 43 and starts supplying the pressure feed gas to the barrel 20. In step S04, the discharge control unit 53 confirms the presence / absence of a discharge command from the host controller 80 or the like.

ステップＳ０４において吐出指令があると判定した場合、制御回路５０はステップＳ０５を実行する。ステップＳ０５では、吐出制御部５３が、吐出指令に従って液体の吐出と吸入とを繰り返すように、ピストン駆動部４８０に駆動電力を供給する。 If it is determined in step S04 that there is a discharge command, the control circuit 50 executes step S05. In step S05, the discharge control unit 53 supplies drive power to the piston drive unit 480 so as to repeat discharge and suction of the liquid according to the discharge command.

次に、制御回路５０は、ステップＳ０６，Ｓ０７を実行する。ステップＳ０４において吐出指令がないと判定した場合、制御回路５０は、ステップＳ０５を実行することなくステップＳ０６，Ｓ０７を実行する。ステップＳ０６では、圧力監視部５１が、圧力センサ４４，４５，４６による圧力の検出結果を取得する。ステップＳ０７では、圧力センサ４４，４５，４６による圧力の検出結果が正常範囲であるかを圧力監視部５１が確認する。 Next, the control circuit 50 executes steps S06 and S07. If it is determined in step S04 that there is no discharge command, the control circuit 50 executes steps S06 and S07 without executing step S05. In step S06, the pressure monitoring unit 51 acquires the pressure detection result by the pressure sensors 44, 45, 46. In step S07, the pressure monitoring unit 51 confirms whether the pressure detection result by the pressure sensors 44, 45, 46 is within the normal range.

ステップＳ０７において圧力の検出結果が正常範囲であると判定した場合、制御回路５０はステップＳ０８を実行する。ステップＳ０８では、バレル圧力制御部５２が、上位コントローラ８０から制御停止指令を受信しているかを確認する。 If it is determined in step S07 that the pressure detection result is within the normal range, the control circuit 50 executes step S08. In step S08, it is confirmed whether the barrel pressure control unit 52 has received the control stop command from the host controller 80.

ステップＳ０８において制御停止指令を受信していないと判定した場合、制御回路５０は処理をステップＳ０４に戻す。以後、圧力センサ４４，４５，４６の検出結果に異状が生じるか、上位コントローラ８０から制御停止指令を受信するまでは、吐出指令に応じてポンプユニット１０に液体を吐出させる制御が繰り返される。 If it is determined in step S08 that the control stop command has not been received, the control circuit 50 returns the process to step S04. After that, until an abnormality occurs in the detection results of the pressure sensors 44, 45, 46 or a control stop command is received from the host controller 80, the control of discharging the liquid to the pump unit 10 in response to the discharge command is repeated.

ステップＳ０７において圧力の検出結果が正常範囲でないと判定した場合、制御回路５０はステップＳ１１を実行する。ステップＳ１１では、圧力監視部５１が上位コントローラ８０にエラーを通知する。 If it is determined in step S07 that the pressure detection result is not in the normal range, the control circuit 50 executes step S11. In step S11, the pressure monitoring unit 51 notifies the host controller 80 of the error.

ステップＳ０８において制御停止指令を受信していると判定した場合、又はステップＳ１１の後、制御回路５０はステップＳ１２を実行する。ステップＳ１２では、バレル圧力制御部５２が、バルブ４３を閉じてバレル２０への圧送ガスの供給を停止する。その後、制御回路５０は制御手順を終了する。 When it is determined in step S08 that the control stop command is received, or after step S11, the control circuit 50 executes step S12. In step S12, the barrel pressure control unit 52 closes the valve 43 and stops the supply of the pressure feed gas to the barrel 20. After that, the control circuit 50 ends the control procedure.

〔本実施形態の効果〕
以上に説明したように、ディスペンサ１は、プランジャ１００と、プランジャ１００の先端面１０１と基端面１０２とに交差する軸線Ｌ１に沿って前進・後退するようにプランジャ１００を案内するガイドブロック２００と、先端面１０１の前進・後退に応じて液体を吐出・吸入するディスペンス部３００と、プランジャ１００を収容するシリンダ４１０と、シリンダ４１０内を第１空間４１３と第２空間４１４とに区画し、第１空間４１３の加圧に応じてプランジャ１００を前進させ、第２空間４１４の加圧に応じてプランジャ１００を後退させるピストン４５０と、加圧源の圧力が第１空間４１３に付与される第１状態と、加圧源の圧力が第２空間４１４に付与される第２状態とを切り替えるピストン駆動部４８０と、プランジャ１００に対し、前進方向に向かって反発力を付与するスプリング６２０と、スプリング６２０による反発力の付与を、加圧源の圧力により解除する解除部４４０と、を備える。 [Effect of this embodiment]
As described above, the dispenser 1 includes a plunger 100, a guide block 200 that guides the plunger 100 so as to move forward and backward along the axis L1 intersecting the tip end surface 101 and the proximal end surface 102 of the plunger 100, and a guide block 200. The discharge unit 300 that discharges and sucks the liquid according to the advance / retreat of the tip surface 101, the cylinder 410 that houses the plunger 100, and the inside of the cylinder 410 are divided into a first space 413 and a second space 414, and the first space is the first. A piston 450 that advances the plunger 100 in response to the pressurization of the space 413 and retracts the plunger 100 in response to the pressurization of the second space 414, and a first state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the first space 413. A piston drive unit 480 that switches between a second state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the second space 414, a spring 620 that applies a repulsive force to the plunger 100 in the forward direction, and a spring 620. A release unit 440 that releases the application of the repulsive force by the pressure of the pressurizing source is provided.

このディスペンサ１によれば、加圧源の圧力が供給されている場合には、スプリング６２０によるピストン４５０への反発力の付与を解除してピストン４５０の高速摺動を可能とし、加圧源の圧力が供給されない場合には、スプリング６２０の反発力によってプランジャ１００を前進限界位置に保持することができる。従って、ディスペンスの高速化と信頼性との両立に有効である。 According to this dispenser 1, when the pressure of the pressurizing source is supplied, the repulsive force applied to the piston 450 by the spring 620 is released to enable high-speed sliding of the piston 450, and the pressurizing source When no pressure is applied, the repulsive force of the spring 620 can hold the plunger 100 in the forward limit position. Therefore, it is effective in achieving both high speed and reliability of dispense.

解除部４４０は、第１状態及び第２状態のいずれにおいても加圧源の圧力が付与される第３空間４４５をシリンダ４１０との間に形成し、スプリング６２０による反発力の付与を第３空間４４５の圧力によって解除してもよい。この場合、解除部４４０の構成を簡素化することができる。 The release portion 440 forms a third space 445 in which the pressure of the pressurizing source is applied in both the first state and the second state between the cylinder 410 and the third space, and the repulsive force is applied by the spring 620. It may be released by the pressure of 445. In this case, the configuration of the release unit 440 can be simplified.

ピストン４５０は環状であり、プランジャ１００の外周面とシリンダ４１０の内周面との間においてシリンダ４１０内を第１空間４１３と第２空間４１４とに区画し、スプリング６２０は、プランジャ１００の外周面と、シリンダ４１０の内周面との間において、ピストン４５０に反発力を付与してもよい。この場合、プランジャ１００の基端部の周囲のスペースをスプリング６２０及び解除部４４０の配置スペースとして有効活用することで、スプリング６２０及び解除部４４０の付加による大型化を抑制することができる。 The piston 450 is annular, and the inside of the cylinder 410 is divided into a first space 413 and a second space 414 between the outer peripheral surface of the plunger 100 and the inner peripheral surface of the cylinder 410, and the spring 620 is an outer peripheral surface of the plunger 100. And the inner peripheral surface of the cylinder 410, a repulsive force may be applied to the piston 450. In this case, by effectively utilizing the space around the base end portion of the plunger 100 as the arrangement space for the spring 620 and the release portion 440, it is possible to suppress the increase in size due to the addition of the spring 620 and the release portion 440.

ディスペンサ１は、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動を許容しつつ、ピストン４５０をプランジャ１００の外周に保持する保持部４６１を更に備えていてもよい。この場合、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動を許容する保持部４６１により、ガイドブロック２００に対するプランジャ１００の位置と、シリンダ４１０に対するピストン４５０の位置との両方を適正化し、ピストン４５０及びプランジャ１００の摺動を高速化することが可能となる。 The dispenser 1 may further include a holding portion 461 that holds the piston 450 on the outer periphery of the plunger 100 while allowing the piston 450 to float in a direction perpendicular to the axis L1. In this case, the holding portion 461 that allows the piston 450 to float in the direction perpendicular to the axis L1 optimizes both the position of the plunger 100 with respect to the guide block 200 and the position of the piston 450 with respect to the cylinder 410, and the piston 450 and It is possible to speed up the sliding of the plunger 100.

駆動部４００は、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動を許容しつつ、ピストン４５０とプランジャ１００との間をシールする環状の内シール４７２を更に有していてもよい。この場合、ピストン４５０が環状であることにより生じる隙間を全周に亘ってシールすることで、第１空間４１３及び第２空間４１４をしっかり加圧し、ピストン４５０をより高速に駆動することができる。 The drive unit 400 may further have an annular inner seal 472 that seals between the piston 450 and the plunger 100 while allowing the piston 450 to float in a direction perpendicular to the axis L1. In this case, by sealing the gap created by the annular shape of the piston 450 over the entire circumference, the first space 413 and the second space 414 can be firmly pressed and the piston 450 can be driven at a higher speed.

ピストン４５０は軸線Ｌ１に交差する面に沿った環状の底面４５７を有し、プランジャ１００は底面４５７に対向する環状の後面１３２を有し、内シール４７２は底面４５７と後面１３２とに接してピストン４５０とプランジャ１００との間をシールしてもよい。この場合、底面４５７と後面１３２との間に内シール４７２を介在させることによって、軸線Ｌ１に垂直な方向へのピストン４５０の浮動性と、シール性との両立を図ることができる。また、軸線Ｌ１周りの全周に亘って、底面４５７と後面１３２との間に内シール４７２が介在することによって、プランジャ１００とピストン４５０との間の駆動力の作用箇所が全周に亘って分散する。これにより、プランジャ１００とピストン４５０の双方の姿勢が安定するので、より高速な摺動が可能となる。 The piston 450 has an annular bottom surface 457 along a surface intersecting the axis L1, the plunger 100 has an annular rear surface 132 facing the bottom surface 457, and the inner seal 472 is in contact with the bottom surface 457 and the rear surface 132. You may seal between the 450 and the plunger 100. In this case, by interposing the inner seal 472 between the bottom surface 457 and the rear surface 132, it is possible to achieve both the floating property of the piston 450 in the direction perpendicular to the axis L1 and the sealing property. Further, by interposing the inner seal 472 between the bottom surface 457 and the rear surface 132 over the entire circumference around the axis L1, the location where the driving force acts between the plunger 100 and the piston 450 is applied over the entire circumference. scatter. As a result, the postures of both the plunger 100 and the piston 450 are stabilized, so that higher speed sliding is possible.

ディスペンサ１は、ガイドブロック２００をシリンダ４１０に取り付ける貫通ボルト１１を更に備えていてもよい。この場合、ガイドブロック２００とシリンダ４１０とが互いに別部材であり、ガイドブロック２００に対するシリンダ４１０の位置ずれが生じ易くなるので、ピストン４５０の浮動性がより有益である。 The dispenser 1 may further include a through bolt 11 for attaching the guide block 200 to the cylinder 410. In this case, the guide block 200 and the cylinder 410 are separate members from each other, and the displacement of the cylinder 410 with respect to the guide block 200 is likely to occur, so that the floating property of the piston 450 is more beneficial.

ディスペンサ１は、シリンダ４１０内においてプランジャ１００の基端面１０２に対向し、プランジャ１００の後退を規制する先端面５２１と、軸線Ｌ１に沿う方向における先端面５２１の位置を調節する後退限界調節部５３０と、を更に備えていてもよい。この場合、先端面５２１をシリンダ４１０に対しダイレクトに作用させ、プランジャ１００の後退限界位置を高精度に調節することができる。 The dispenser 1 has a tip surface 521 facing the base end surface 102 of the plunger 100 in the cylinder 410 and restricting the retreat of the plunger 100, and a retreat limit adjusting portion 530 that adjusts the position of the tip surface 521 in the direction along the axis L1. , May be further provided. In this case, the tip surface 521 acts directly on the cylinder 410, and the retractable limit position of the plunger 100 can be adjusted with high accuracy.

以上、実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 Although the embodiments have been described above, the present disclosure is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various changes can be made without departing from the gist thereof.

１…ディスペンサ、１１…貫通ボルト（締結部材）、１００…プランジャ、１０１…先端面、１０２…基端面、１３２…後面（環状の第２シール面）、２００…ガイドブロック（ガイド部）、３００…ディスペンス部、４００…駆動部、４１０…シリンダ、４１３…第１空間、４１４…第２空間、４４０…解除部、４４５…第３空間、４５０…ピストン、４５７…底面（環状の第１シール面）、４６１…保持部、４８０…ピストン駆動部、５２１…先端面（後退規制部）、５３０…後退限界調節部、６２０…スプリング、Ｌ１…軸線。 1 ... Dispenser, 11 ... Through bolt (fastening member), 100 ... Plunger, 101 ... Tip surface, 102 ... Base end surface, 132 ... Rear surface (annular second sealing surface), 200 ... Guide block (guide portion), 300 ... Dispensing part, 400 ... Drive part, 410 ... Cylinder, 413 ... First space, 414 ... Second space, 440 ... Release part, 445 ... Third space, 450 ... Piston, 457 ... Bottom surface (annular first sealing surface) , 461 ... Holding part, 480 ... Piston drive part, 521 ... Tip surface (retracting regulation part), 530 ... Retreating limit adjusting part, 620 ... Spring, L1 ... Axis line.

Claims (8)

プランジャと、
前記プランジャの先端面と基端面とに交差する軸線に沿って前進・後退するように前記プランジャを案内するガイド部と、
前記先端面の前進・後退に応じて液体を吐出・吸入するディスペンス部と、
前記プランジャを収容するシリンダと、
前記シリンダ内を第１空間と第２空間とに区画し、前記第１空間の加圧に応じてプランジャを前進させ、前記第２空間の加圧に応じて前記プランジャを後退させるピストンと、
加圧源の圧力が前記第１空間に付与される第１状態と、前記加圧源の圧力が前記第２空間に付与される第２状態とを切り替えるピストン駆動部と、
前記プランジャに対し、前進方向に向かって反発力を付与するスプリングと、
前記スプリングによる反発力の付与を、前記加圧源の圧力により解除する解除部と、を備えるディスペンサ。 Plunger and
A guide portion that guides the plunger so as to move forward and backward along an axis intersecting the front end surface and the base end surface of the plunger, and a guide portion.
A dispenser that discharges and sucks liquid according to the advance and retreat of the tip surface,
The cylinder that accommodates the plunger and
A piston that divides the inside of the cylinder into a first space and a second space, advances the plunger in response to the pressurization of the first space, and retracts the plunger in response to the pressurization of the second space.
A piston drive unit that switches between a first state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the first space and a second state in which the pressure of the pressurizing source is applied to the second space.
A spring that applies a repulsive force to the plunger in the forward direction,
A dispenser including a release portion that releases the repulsive force applied by the spring by the pressure of the pressurizing source. 前記解除部は、前記第１状態及び前記第２状態のいずれにおいても前記加圧源の圧力が付与される第３空間を前記シリンダとの間に形成し、前記スプリングによる反発力の付与を前記第３空間の圧力によって解除する、請求項１記載のディスペンサ。 The release portion forms a third space between the cylinder and the cylinder to which the pressure of the pressurizing source is applied in both the first state and the second state, and applies the repulsive force by the spring. The dispenser according to claim 1, which is released by the pressure in the third space. 前記ピストンは環状であり、前記プランジャの外周面と前記シリンダの内周面との間において前記シリンダ内を前記第１空間と前記第２空間とに区画し、
前記スプリングは、前記プランジャの外周面と、前記シリンダの内周面との間において、前記ピストンに前記反発力を付与する、請求項１又は２記載のディスペンサ。 The piston is annular, and the inside of the cylinder is divided into the first space and the second space between the outer peripheral surface of the plunger and the inner peripheral surface of the cylinder.
The dispenser according to claim 1 or 2, wherein the spring applies the repulsive force to the piston between the outer peripheral surface of the plunger and the inner peripheral surface of the cylinder. 前記軸線に垂直な方向への前記ピストンの浮動を許容しつつ、前記ピストンを前記プランジャの外周に保持する保持部を更に備える、請求項３記載のディスペンサ。 The dispenser according to claim 3, further comprising a holding portion for holding the piston on the outer periphery of the plunger while allowing the piston to float in a direction perpendicular to the axis. 前記駆動部は、前記軸線に垂直な方向への前記ピストンの浮動を許容しつつ、前記ピストンと前記プランジャとの間をシールする環状のシール部を更に有する、請求項４記載のディスペンサ。 The dispenser according to claim 4, wherein the drive unit further includes an annular sealing portion that seals between the piston and the plunger while allowing the piston to float in a direction perpendicular to the axis. 前記ピストンは前記軸線に交差する面に沿った環状の第１シール面を有し、前記プランジャは前記第１シール面に対向する環状の第２シール面を有し、前記シール部は前記第１シール面と前記第２シール面とに接して前記ピストンと前記プランジャとの間をシールする、請求項５記載のディスペンサ。 The piston has an annular first sealing surface along a surface intersecting the axis, the plunger has an annular second sealing surface facing the first sealing surface, and the sealing portion has the first sealing surface. The dispenser according to claim 5, which is in contact with the sealing surface and the second sealing surface to seal between the piston and the plunger. 前記ガイド部を前記シリンダに取り付ける締結部材を更に備える、請求項４～６のいずれか一項記載のディスペンサ。 The dispenser according to any one of claims 4 to 6, further comprising a fastening member for attaching the guide portion to the cylinder. 前記シリンダ内において前記プランジャの基端面に対向し、前記プランジャの後退を規制する後退規制部と、
前記軸線に沿う方向における前記後退規制部の位置を調節する後退限界調節部と、を更に備える、請求項４～７のいずれか一項記載のディスペンサ。 A retreat regulating unit that faces the base end surface of the plunger in the cylinder and regulates the retreat of the plunger.
The dispenser according to any one of claims 4 to 7, further comprising a retreat limit adjusting unit for adjusting the position of the retreat restricting unit in a direction along the axis.
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