JP4024076B2 - Hydraulic actuated valve - Google Patents

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JP4024076B2
JP4024076B2 JP2002134599A JP2002134599A JP4024076B2 JP 4024076 B2 JP4024076 B2 JP 4024076B2 JP 2002134599 A JP2002134599 A JP 2002134599A JP 2002134599 A JP2002134599 A JP 2002134599A JP 4024076 B2 JP4024076 B2 JP 4024076B2
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良二 金井
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株式会社コガネイ
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Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は空気圧などの流体圧を使用して弁体を作動させる流体圧作動弁に係り、特に弁体の開度位置範囲を規制する位置決め部材を備えた流体圧作動弁に関する。 The present invention relates to a fluid pressure actuated valve for actuating the valve body using a fluid pressure such as air pressure, to a hydraulic actuated valve particularly comprises a positioning member for regulating the opening degree position range of the valve body.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
半導体ウエハの製造技術分野を始め、液晶基板製造技術分野や多層配線基板製造技術などの分野では、フォトレジスト液、アルカリ性や酸性の処理液などの薬液が使用されている。 It started the art of making semiconductor wafers, in the field of liquid crystal substrate manufacturing art and the multilayer wiring board manufacturing technique, a photoresist solution, chemical solution such as alkaline or acidic treatment liquid are used. それぞれの薬液を供給するために、容器とこの中に収容された薬液を供給するポンプとこのポンプの作動により流路を介して案内された薬液を吐出するノズルとを有する薬液供給装置が使用されている。 In order to supply the respective chemical, chemical supply apparatus having a nozzle for discharging the chemical liquid is guided through the flow path by the operation of the pump and pump supplying the chemical contained therein and the container is used ing. このような薬液供給装置としては、たとえば、米国特許第5,061,156 号公報に開示されているようなものが開発されている。 Such chemical supply apparatus, for example, those as disclosed in U.S. Patent No. 5,061,156 have been developed.
【0003】 [0003]
この薬液供給装置は、容器に収容されたレジスト液(薬液)を半導体ウエハに塗布するために使用されている。 The chemical liquid supply apparatus is used to apply the resist solution stored in container (liquid medicine) to the semiconductor wafer. ウエハにレジスト液を吐出するノズルと容器とを結ぶ配管には、容器側から順に、ノズルに向けて薬液を供給するポンプと、薬液を濾過するフィルターとが設けられ、さらに、配管内の流路を開閉する開閉バルブと、サックバックバルブとが直列に接続されている。 The piping connecting the nozzle and the container for discharging the resist solution to the wafer, in order from the container side, a pump for supplying a chemical liquid toward the nozzle, and a filter for filtering the drug solution provided further channel of the pipe an opening and closing valve for opening and closing and a suck back valve is connected in series.
【0004】 [0004]
このうちサックバックバルブは吸い戻し弁とも言われ、ノズルから所定の量の薬液を吐出した後においてノズルから液垂れするのを防止するために使用されるものである。 Among suck back valve is said to suck back valve, and is used to prevent the dripping from the nozzle after the discharged a predetermined amount of liquid medicine from the nozzle. 具体的には、開閉バルブを作動させて流路を閉じた後にノズルの先端面から薬液が突出している状態となっているところ、このサックバックバルブを作動させることにより、この突出分の薬液をすべてノズルの先端部内に吸引されて収まるようにしている。 Specifically, when that is from the distal end surface of the nozzle in a state where the chemical liquid is projected after closing the flow path by actuating the on-off valve, by operating the suck back valve, the projecting amount of the chemical all have to fit is aspirated into the tip of the nozzle. これらのポンプ、開閉バルブおよびサックバックバルブの作動は、システム制御部からの信号によって制御される。 These pumps, operation of the opening and closing valve and the suck back valve is controlled by a signal from the system controller.
【0005】 [0005]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
サックバックバルブとしては、流路にサックバックチャンバを設け、その容積を調整する弁体としてダイヤフラムを有するタイプのものが使用されている。 The suck back valve, the suck-back chamber formed in the flow path, of a type having a diaphragm is used as a valve body for adjusting the volume. ノズルから薬液を吐出する際にはそのダイヤフラムを小さい開度位置に作動させてサックバックチャンバの容積を少なくさせており、ノズルからの薬液の吐出を停止するために開閉バルブを閉じた後には、ダイヤフラムを大きい開度位置に作動させてサックバックチャンバの容積を大きくするようにしている。 When discharging the chemical liquid from the nozzle is allowed to reduce the volume of the suck-back chamber by operating the diaphragm to a smaller opening position, after closing the opening and closing valve to stop the discharge of the chemical liquid from the nozzle, actuate the diaphragm to a larger opening position and so as to increase the volume of the suck-back chamber. チャンバ容積を大きくすることによって、ノズルの先端部内の薬液はノズルの内部に引き込まれることになる。 By increasing the chamber volume, drug solution in the tip portion of the nozzle will be pulled into the nozzle. ダイヤフラムの作動は空気圧によって行われており、サックバックチャンバの最大容積はダイヤフラムの変形量、すなわちダイヤフラムの開度位置範囲を規制する調整ねじによって設定される。 Operation of the diaphragm are performed by a pneumatic, the maximum volume of the suck-back chamber deformation of the diaphragm, that is set by the adjusting screw for regulating the opening degree position range of the diaphragm. この場合には、システム制御部からの信号によって空気圧が制御され、サックバックバルブ内のダイヤフラムが作動することになる。 In this case, the air pressure is controlled by a signal from the system controller, the diaphragm in the suck back valve will operate. サックバックバルブを電空レギュレータによって作動するようにしたタイプのものもあり、この場合にはダイヤフラムの移動量や速度を任意に設定することができる。 The suck back valve also has a type which is adapted to operate by the electropneumatic regulator, in this case, it is possible to arbitrarily set the amount of movement and speed of the diaphragm.
【0006】 [0006]
これらの何れかのタイプのサックバックバルブを用いた薬液供給装置にあっては、調整ねじによりダイヤフラムの最大変形量を規制してサックバックチャンバの最大容積を設定しているが、そのように常に一定の変形量でダイヤフラムを作動させても、ノズル内の液面位置が一定とならない場合がある。 In the chemical liquid supply apparatus using any of these types of suck back valve, but has set maximum volume of the suck-back chamber to regulate the maximum deformation amount of the diaphragm by adjusting screws, so always also actuates the diaphragm at a constant amount of deformation, there is a case where the liquid level in a nozzle not constant. その理由としては、薬液の温度変化による膨張収縮や粘度変化が考えられ、さらには、周囲温度の変化による開閉バルブやサックバックバルブおよび配管などの膨張収縮が考えられる。 The reason is that expansion and contraction and viscosity change due to temperature change of the chemical is considered, furthermore, conceivable expansion and contraction of the opening and closing valve and the suck back valve and piping due to the change in ambient temperature. また、ノズルは塗布位置と待機位置との間を移動することになるので、配管チューブ内の曲がり部の曲率が経時変化して配管内の体積が変化することもあり、また開閉バルブおよびサックバックバルブ内にそれぞれ組み込まれたダイヤフラムが経時変化することもある。 Moreover, the nozzle will be moved between the standby position and the application position, sometimes the curvature of the bend in the pipe tube changes the volume in the pipe changes with time, also the opening and closing valve and suck-back each embedded diaphragm in the valve is also aging. これらの経時変化が発生すると、それぞれのバルブ内あるいは管路内の薬液案内部の容積が変化し、ノズル内の液面位置が変化する原因となる。 When these aging occurs, the volume of the liquid medicine guiding unit within each or duct valve is changed, the liquid level position in the nozzle causes varying.
【0007】 [0007]
このようにノズル内の液面位置は不安定となりやすいものであり、そのうちサックバック量が少な過ぎた場合、すなわち薬液がノズルの先端面よりも突出した状態となった場合には、この突出部分の薬液が自重によって落下しやすくなる。 Thus the liquid level in a nozzle are those likely to be unstable, if them too small suck-back amount, that is, when the chemical solution in a state of being protruded from the tip surface of the nozzle, the projecting portion chemical tends to fall by the weight of the. このように余分な薬液が落下してしまうと、適正量を超える薬液をウエハに塗布してしまうばかりでなく、塗布終了後にノズルを初期位置に戻す際に被塗布物に薬液がぼた落ちして均一な分布の塗布表面にムラが生じてしまうことになる。 Thus extra chemical ends up falling, not only results in applying the chemical solution more than an appropriate amount to the wafer, the chemical liquid Shi fall button on the coating object when returning to the initial position of the nozzle after the coating end so that unevenness occurs in coating the surface of the uniform distribution Te.
【0008】 [0008]
一方、サックバック量が多過ぎると、ノズル先端部内の薬液の液面位置が上昇し過ぎて、薬液の内部に外部空気を巻き込んで気泡が形成されてしまう。 On the other hand, when the suck-back amount is too large, the liquid surface position of the chemical liquid in the nozzle tip is excessively increased, resulting in the bubbles formed by involving external air into the drug solution. このように気泡が形成されると、次の薬液吐出工程において所定量の薬液を塗布することができなくなる。 With such air bubbles are formed, it is impossible to apply the predetermined amount of liquid medicine in the next solution discharge step.
【0009】 [0009]
そしてこのようなサックバック量の過少量と過多量の間の適正範囲は非常に狭いものであり、そのためチャンバの最大容積の調整、すなわちダイヤフラムの最大変形量の調整にはかなり高い精度が要求されている。 The proper range of between too little amount and overage of such suck-back volume is a very small, adjustment of maximum volume of this reason the chamber, that is, considerably high accuracy is required for the adjustment of the maximum deformation amount of the diaphragm ing. しかしながら従来このようなチャンバ容積の調整には、ダイヤフラムに当接しつつ軸方向に移動可能に設置される調整ねじが用いられるのが一般的であり、現在通常に製造されるねじのピッチ精度では、そのような高い精度での微調整を行うことは困難であった。 However the adjustment of conventional such chamber volume, is common for movably installed are adjusting screw is used in the axial direction while in contact with the diaphragm, the pitch accuracy of the screw that is currently produced normally, to perform a fine adjustment in such high precision is difficult.
【0010】 [0010]
また開閉バルブについても、その開弁時の状態は流路開口量を適切に維持する流量制御弁として機能するものであるが、サックバックバルブと同様にその弁体であるダイヤフラムの開度位置を高い精度で微調整できるものがなかった。 Regarding even-off valve, the but open when the state is to function as a flow control valve to properly maintain the channel opening amount, the opening degree position of the diaphragm which is a valve body similar to the suck back valve There was no one that can be fine-tuned with a high degree of accuracy.
【0011】 [0011]
本発明の目的は、弁体の開度位置を高い精度で微調整可能な流体圧作動弁を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a tunable hydraulic actuated valve opening position of the valve body with high accuracy.
【0012】 [0012]
本発明のその他の目的は、ダイヤフラムの最大変形量を高い精度で調整して適正範囲の狭いサックバック量を適正に設定可能な流体圧作動弁を提供することにある。 Other objects of the present invention is to adjust the maximum amount of deformation of the diaphragm with high precision to provide a narrow suck-back amount properly settable hydraulic actuated valve with appropriate range.
【0013】 [0013]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
本発明の流体圧作動弁は、 液体が流入する流入側流路と流出する流出側流路とこれらの流路を結ぶ連通開口部と前記流出側流路に連通するサックバックチャンバとが形成されたハウジングと、前記ハウジングに装着され、前記連通開口部を閉じる前進限位置と開く後退限位置とに変形自在の第1の弁体と、前記ハウジングに装着され、前記サックバックチャンバを形成するとともに前記サックバックチャンバを縮小させる前進限位置と拡張させる後退限位置とに変形自在の第2の弁体と、それぞれ前記ハウジングに軸方向に移動自在に装着され、一方が加圧室となった前進用室と後退用室とを形成し、それぞれ前記第1の弁体と第2の弁体が取り付けられる第1と第2のピストンと、前記第1のピストンの後退限位置を規制する第1のストッ Fluid pressure operated valve of the present invention, the suck-back chamber communicating with the communication opening and the outflow side flow passage connecting the outflow side flow passage and these channels that inflow and outflow side flow passage the liquid flows are formed a housing and, mounted in said housing, a first valve body deformable to a retreat limit position to open the forward limit position closing the communicating opening, it is attached to the housing, thereby forming the suck-back chamber advancing said and suck back the advance limit reduces the chamber position and the second valve body deformable to a retreat limit position for extended, are freely mounted axially on each of the housing, one became pressurizing chamber forming a use chamber and retreating chamber, first to regulate the first, each of the first valve body and second valve body is mounted and the second piston, a retreat limit position of the first piston stock of の位置を調整する第1の調整ねじ組立体と、前記第2のピストンの後退限位置を規制する第2のストッパの位置を調整する第2の調整ねじ組立体とを有し、前記第1のストッパを前記ハウジングに対して回転することなく軸方向にのみ摺動可能に設け、前記第1のストッパに設けられる差動ねじ部材と、前記差動ねじ部材の雄ねじにねじ結合する中空孔を有するとともに前記雄ねじと相違するピッチで前記ハウジングに形成された大径雌ねじに結合する調整ねじ部材とにより前記第1の調整ねじ組立体を形成し、前記調整ねじ部材を回転させることにより前記差動ねじ部材を介して前記第1のストッパの位置を調整することを特徴とする。 A first adjustment screw assembly to adjust the position, and a second adjusting screw assembly for adjusting the position of the second stopper for restricting the retreat limit position of the second piston, the first provided stopper slidably only in the axial direction without rotating relative to the housing, and the differential screw member provided on said first stopper, a hollow hole is screwed to the male screw of the differential screw member by the adjustment screw member which binds to a large径雌threads formed in said housing at a pitch which differs from the external thread as well as organic form the first adjusting screw assembly, said difference by rotating the adjusting screw member through the dynamic screw member and adjusting a position of the first stopper.
【0014】 [0014]
本発明の流体圧作動弁は、 前記第1のストッパに前記ハウジングに接触するOリングを設けることを特徴とする。 Fluid pressure operated valve of the present invention is characterized by providing an O-ring in contact with said housing to said first stopper.
【0015】 [0015]
本発明の流体圧作動弁は、 前記第2のストッパを前記ハウジングに対して回転することなく軸方向にのみ摺動可能に設け、前記第2のストッパに設けられる差動ねじ部材と、前記差動ねじ部材の雄ねじにねじ結合する中空孔を有するとともに前記雄ねじと相違するピッチで前記ハウジングに形成された大径雌ねじに結合する調整ねじ部材とにより前記第2の調整ねじ組立体を形成し、 前記第2の調整ねじ組立体の前記調整ねじ部材を回転させることにより前記差動ねじ部材を介して前記第2のストッパの位置を調整することを特徴とする。 Fluid pressure operated valve of the present invention, the axially slidably provided only differential screw member provided in the second stopper without rotating the second stopper with respect to said housing, said difference by the adjustment screw member which binds to a large径雌threads formed in said housing at a pitch which differs from the external thread as well as have a hollow hole screwed to the male screw of the dynamic screw member forming said second adjustment screw assembly , and adjusting the position of said second adjustment screw assembly wherein the differential screw member the second stopper through by rotating the adjusting screw member.
【0016】 [0016]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。 It will be described in detail with reference to embodiments of the present invention with reference to the drawings.
【0017】 [0017]
図1は、本発明の一実施の形態である流体圧作動弁を用いた薬液供給装置の構成概要図であり、レジスト液Lが収容されたタンクつまり容器1と、ウエハWにレジスト液Lを吐出するノズル2とを結ぶ配管3には、ノズル2に向けてレジスト液Lを供給するポンプ4と、レジスト液Lを濾過するフィルター5とが設けられ、さらに、配管3内の流路を開閉する開閉バルブ6とサックバックバルブ7が一体のバルブ組立体8として形成されて配管3に設けられている。 Figure 1 is a schematic configuration diagram of a chemical liquid supply apparatus using a fluid pressure operated valve according to an embodiment of the present invention, the tank, that the container 1 the resist solution L is contained, a resist solution L to the wafer W the piping 3 connecting the nozzle 2 to be discharged, a pump 4 for supplying the resist liquid L toward the nozzle 2, a filter 5 for filtering is provided a resist solution L, further opening and closing a flow path in the pipe 3 off valve 6 and the suck back valve 7 is provided in the pipe 3 is formed as a valve assembly 8 of the integral of.
【0018】 [0018]
ポンプ4、開閉バルブ6およびサックバックバルブ7の作動を制御するためにシステム制御部10が設けられており、このシステム制御部10からポンプ4には作動信号が送られ、開閉バルブ6およびサックバックバルブ7にはそれぞれ図示しない空気圧制御弁により生成された制御用空気圧が送られるようになっている。 Pump 4, closing and system control unit 10 is provided for controlling the operation of the valve 6 and suck back valve 7, actuation signal to the pump 4 from the system control unit 10 is sent, closing valves 6 and suck-back controlling air pressure generated by the air pressure control valve is a valve 7 which is not shown are respectively adapted to be sent.
【0019】 [0019]
後述するようにバルブ組立体8内部の流路にはレジスト液Lを貯留可能なサックバックチャンバ11が設けられており、サックバックバルブ7はシステム制御部10の制御によってこのサックバックチャンバ11の容積を拡大させるサックバック動作と、サックバックチャンバ11の容積を減少させる逆サックバック動作とを行うことができる。 The flow path of the internal valve assembly 8 as will be described later and the resist solution L possible reservoir of the suck back chamber 11 is provided, the volume of the suck-back chamber 11 suck back valve 7 is under the control of the system controller 10 it is possible to perform the suck-back operation to expand, and a reverse suck back operation to reduce the volume of the suck-back chamber 11.
【0020】 [0020]
次にこの薬液供給装置の作動を説明する。 Next will be described the operation of the chemical liquid supply device. まずウエハWへの薬液塗布時には、図示しない駆動手段によりウエハWが一定速度で回転しており、またノズル2が図示しない移動手段により塗布位置であるウエハWの回転中心の真上に位置されている。 First, when chemical solution application to the wafer W is positioned directly above the rotation center of the wafer W is applied position by the moving means is rotating the wafer W at a constant speed by a driving means (not shown), also the nozzle 2 not shown there.
【0021】 [0021]
この状態でシステム制御部10からの制御によりポンプ4が駆動を始め、規定の薬液圧送圧に達した時点で開閉バルブ6が流路を開き、ノズル2よりレジスト液Lを吐出させる。 Pump 4 starts to drive the control of the system control unit 10 in this state, the opening and closing valve 6 at which point chemical pumping pressure prescribed opens the flow path to eject resist liquid L from the nozzle 2. 回転しているウエハWの表面上に適量に吐出されたレジスト液Lは、遠心力により外周に向かって拡散し、その表面全体に薄く均一に塗布される。 Resist liquid L discharged in an appropriate amount on the surface of the rotating wafer W is diffused toward the outer periphery by the centrifugal force, it is thinly and uniformly applied to the entire surface thereof. またこのレジスト液Lを吐出している最中には、サックバックバルブ7が逆サックバック動作を行いサックバックチャンバ11の容積を減少させている。 Also in the middle of ejecting the resist liquid L, suck back valve 7 is reduced the volume of the suck-back chamber 11 performs the inverse suck-back operation. そして規定量のレジスト液Lを吐出した後に開閉バルブ6が流路を閉じる。 And closing the opening and closing valve 6 the flow path after discharging the resist solution L defined amounts. そしてこのレジスト液Lの吐出終了後にサックバックバルブ7によるサックバック動作が行われる。 The suck-back operation by the suck back valve 7 is performed after the discharge end of the resist solution L.
【0022】 [0022]
図2はこのサックバック動作が行われる前後のノズル2の先端部における液面位置の変化を示す断面図であり、図2(A)はサックバック動作前の図であり、図2(B)はサックバック動作後の図である。 Figure 2 is a sectional view showing a variation of the liquid level position at the tip of the front and rear of the nozzle 2 the suck back operation is carried out, FIG. 2 (A) is a diagram of a prior suck back operation, and FIG. 2 (B) is a view after the suck-back operation.
【0023】 [0023]
図2(A)に示すように吐出終了時にはレジスト液Lの液面がノズル2の先端面より下方に突出してしまい、自重によって液滴が落下しやすい状態となっている。 Figure 2 to the discharge end as shown in (A) will be the liquid surface of the resist liquid L projects downward from the tip surface of the nozzle 2, the droplets are in a state of easily fall by its own weight. しかしこの状態からサックバックバルブ7がサックバック動作を行うことによりサックバックチャンバ11の容積が拡大され、その拡大分の容積だけ流路内のレジスト液Lが引き込まれる。 However suck back valve 7 in this state is enlarged in volume of the suck-back chamber 11 by performing the suck-back operation, the resist solution L in the flow path only the volume of the expansion amount is drawn. その結果、図2(B)に示すようにレジスト液Lの液面位置がノズル2の先端部内に引き上げられ、落下しにくい安定した状態となる。 As a result, the liquid level position of the resist solution L as shown in FIG. 2 (B) is pulled in the distal end portion of the nozzle 2, a stable state is not easily fall. ここで、レジスト液Lの液面位置が引き上げられる高さは、サックバック動作によるサックバックチャンバ11の拡大容積、すなわちサックバック量に比例することになる。 Here, the height of the liquid level position of the resist solution L is raised, the larger the volume of the suck-back chamber 11 due to suck-back operation, that is, proportional to the suck-back amount.
【0024】 [0024]
一方、レジスト液Lの液面位置を引き上げすぎた場合には、レジスト液Lの内部に外部空気を巻き込んで気泡を形成しやすく、次の薬液吐出工程で所定量の吐出ができなくなる。 On the other hand, if too raised the level position of the resist solution L is likely to form bubbles by involving external air into the resist liquid L, can not be a predetermined amount of discharge in the next solution discharge step. したがってレジスト液Lの液面を適正な位置に引き上げることができるよう、サックバック動作前後のサックバックチャンバ11の容積変化量を調整する必要がある。 Thus to be able to raise the liquid level of the resist liquid L in the proper position, it is necessary to adjust the volume change amount of the suck-back operation before and after the suck-back chamber 11.
【0025】 [0025]
またウエハWへのレジスト液Lの吐出量も過不足なく適量で供給できるよう調整する必要があるが、この吐出量は開閉バルブ6の開弁時間と流路開口量、およびポンプ4からの圧送圧に比例するものであり、そのうち開閉バルブ6の開弁時間は適切に調整することが難しく、またポンプ4からの圧送圧はむやみに調整すると圧送圧の安定性を阻害してしまうことから、レジスト液Lの吐出量を調整する場合は開弁時における開閉バルブ6の流路開口量を調整するのが望ましい。 The discharge amount of the resist solution L to the wafer W also has to be adjusted to be supplied in just proportion appropriate amount, but pumping of the opening time and the passage opening of the discharge amount-off valve 6, and from the pump 4 and in proportion to the pressure, of which the valve opening time of the opening and closing valve 6 it is difficult to properly adjust, and since pumping pressure from the pump 4 is that would inhibit the stability of the pumping pressure to adjust recklessly, when adjusting the discharge amount of the resist liquid L it is desirable to adjust the flow path opening amount of the opening and closing valve 6 during valve opening.
【0026】 [0026]
図3は、図1に示された本実施の形態の流体圧作動弁であるバルブ組立体8を拡大して示す断面図である。 Figure 3 is an enlarged sectional view showing the valve assembly 8 is a fluid pressure actuated valve of the present embodiment shown in FIG. 図3に示すようにバルブ組立体8は、全体を収容するハウジングとして、1つの本体ブロック12に、開閉バルブ6の筒型ケーシング13とサックバックバルブ7の筒型ケーシング14を並設した構成となっている。 Valve assembly 8 as shown in FIG. 3, as a housing for accommodating the entire, in one body block 12, configured and arranged side by side a cylindrical casing 13 and the cylindrical casing 14 of the suck back valve 7 opens the valve 6 going on. それぞれの筒型ケーシング13,14は図中上端から下方に向けて順次配置されるカバー13a,14aと、シリンダチューブ13b,14bとにより形成されており、これらは本体ブロック12と図中下端に位置するプレート15とともに図示しないねじ部材により組み付けられている。 Cover 13a Each of the cylindrical casing 13, 14 that are sequentially arranged downward from the upper end in the figure, and 14a, the cylinder tube 13b, are formed by a 14b, which are positioned at the lower end in the figure and the body block 12 It is assembled by screw members (not shown) together with the plate 15 to.
【0027】 [0027]
本体ブロック12には、流入ポート16aに連通しレジスト液Lなどの薬液が流入する流入側流路16と、薬液が流出する流出ポート17aに連通する流出側流路17とが形成され、開閉バルブ6の筒型ケーシング13と本体ブロック12とを接続する部分であって流入側流路16と流出側流路17を結ぶ位置に連通開口部18が形成されており、サックバックバルブ7の筒型ケーシング14の近傍で本体ブロック12内の流出側流路17の途中位置には薬液の貯留室であるサックバックチャンバ11が形成されている。 The body block 12, the inlet-side passage 16 which chemical such as communication with a resist solution L to the inlet port 16a flows, and an outflow side flow path 17 communicating with the outlet port 17a of the chemical solution flows out is formed, the opening and closing valve and communicating opening 18 is formed a portion for connecting the sixth and cylindrical casing 13 and the body block 12 and the inflow-side passage 16 in a position connecting the outflow side flow path 17, cylindrical of the suck back valve 7 suck back chamber 11 in the middle position of the outflow side flow path 17 of the main body block 12 is a storage chamber of the chemical in the vicinity of the casing 14 is formed.
【0028】 [0028]
以下、開閉バルブ6の構成について説明すると、開閉バルブ6の筒型ケーシング13内には軸方向に往復動自在に駆動軸19が装着されており、この駆動軸19の先端にはダイヤフラム式の開閉弁体20が設けられている。 Explaining the configuration of the opening and closing valve 6, is in the cylindrical casing 13 of the opening and closing valve 6 is reciprocably driven shaft 19 in the axial direction is mounted, opening and closing of the diaphragm to the distal end of the drive shaft 19 the valve body 20 is provided. この開閉弁体20は駆動軸19の先端部にねじ結合される軸部20aと、弾性変形自在のディスク部20bとを有し、ディスク部20bの外周部は、本体ブロック12とシリンダチューブ13bの間に挟み付けられている。 A shaft portion 20a-off valve body 20 which is screwed to the distal end portion of the drive shaft 19, and a disk portion 20b of the elastically deformable, the outer peripheral portion of the disc portion 20b of the body block 12 and the cylinder tube 13b It is sandwiched between. 本体ブロック12と開閉弁体20は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などのフッ素樹脂により形成されている。 Shutoff valve body and the main body block 12 20 is formed by a fluororesin such as polytetrafluoroethylene (PTFE).
【0029】 [0029]
駆動軸19を軸方向に移動させることにより、連通開口部18を形成する弁座21と開閉弁体20との間の隙間を変化させると、流入側流路16と流出側流路17との間の連通開口部18の開度すなわち流路開口量が変化して、流出側流路17に向けて流出する液体の流量が変化する。 By moving the drive shaft 19 in the axial direction, varying the gap between the valve seat 21 to form a communication opening portion 18 and the opening-closing valve body 20, an inflow-side passage 16 and the outflow-side passage 17 of the changing the opening degree i.e. the passage opening amount of the communication opening 18 between the flow rate of the liquid flowing out changes toward the outflow side flow path 17.
【0030】 [0030]
駆動軸19の図中上端部にはピストン22が一体となっており、ピストン22には駆動軸19を介して開閉弁体20が取り付けられている。 The figure the upper end of the drive shaft 19 and piston 22 together, the shutoff valve body 20 through the drive shaft 19 is attached to the piston 22. このピストン22により筒型ケーシング13のシリンダチューブ13b内にはピストン22の前端面側つまり開閉弁体20側に開弁用加圧室23が区画形成され、この開弁用加圧室23に連通させてシリンダチューブ13bには開閉用流体給排ポート24が形成されている。 This is in the cylinder tube 13b of the cylindrical casing 13 by a piston 22 the front face side, that the shutoff valve body 20 side valve-opening pressure chamber 23 to the piston 22 is partitioned and formed, communicating with the valve opening pressure chamber 23 closing fluid supply and discharge port 24 is formed in the cylinder tube 13b by. 筒型ケーシング13のカバー13a内にはピストン22の後端面に対向する筒部25が形成されており、さらにその内周側には調整ねじ組立体50がねじ結合され、この調整ねじ組立体50の前端部にはストッパ51が固定されている。 The inside cover 13a of the cylindrical casing 13 cylindrical section 25 which faces the rear end surface of the piston 22 is formed, and further adjusting screw assembly 50 is screwed to the inner peripheral side thereof, the adjustment screw assembly 50 stopper 51 is fixed to the front end.
【0031】 [0031]
開閉用流体給排ポート24から開弁用加圧室23内に圧縮空気を供給すると、駆動軸19は後退する方向、つまり一方向に押圧され、ピストン22は筒部25またはその内周側のストッパ51のいずれか先に接触する後退限位置まで駆動されて開閉弁体20を後退限位置まで作動させることになる。 When the closing fluid supply and discharge port 24 for supplying compressed air to the valve opening pressure chamber 23, the direction of the driving shaft 19 is retracted, i.e. is pressed in one direction, the piston 22 of the cylindrical portion 25 or the inner peripheral side is driven to a retracted limit position in contact with whichever of the stopper 51 so that actuating the shutoff valve body 20 to the retracted limit position.
【0032】 [0032]
図3は開閉弁体20が前進限位置となって弁座21に接触しており、筒部25とストッパ51が同じ位置となっている状態を示す。 Figure 3 is the shutoff valve body 20 is in contact with the valve seat 21 becomes forward limit position, showing a state where the cylindrical portion 25 and the stopper 51 is in the same position. ピストン22はその前進限位置から後退限位置までのストロークS 1の範囲で前進後退移動するようになっており、ピストン22が後退限位置となると開閉弁体20により連通開口部18は最大の開度に設定される。 The piston 22 from its forward limit position is adapted to forward and backward movement within a range of the stroke S 1 to the retreat limit position, the communication opening portion 18 by the opening-closing valve body 20 the piston 22 is retracted limit position up to the open It is set each time.
【0033】 [0033]
ピストン22の後端面側にはばね室26が形成され、このばね室26内には駆動軸19を前記一方向とは逆の方向、つまり前進させる方向に押圧し、ピストン22および開閉弁体20を前進限位置に向けて押圧するための付勢手段として閉弁用ばね部材27が設けられている。 The rear end face side of the piston 22 the spring chamber 26 is formed, the spring chamber opposite direction to the one direction the driving shaft 19 is within 26, and pressed in the direction in which that is forward, the piston 22 and the on-off valve 20 valve closing spring member 27 is provided as a biasing means for pressing toward the forward limit position. したがって、開閉用流体給排ポート24から圧縮空気を開弁用加圧室23内に供給すると、開閉弁体20は流路を全開する。 Therefore, when supplied to the valve-opening pressure chamber 23 to the compressed air from the closing fluid supply and discharge ports 24, opening-closing valve body 20 fully opens the flow path. そして、圧縮空気の供給を停止して開弁用加圧室23内に空気を外部に排出させると、閉弁用ばね部材27のばね力により開閉弁体20は流路を閉塞する。 Then, when the stop the supply of compressed air the air in the valve opening pressure chamber 23 is discharged to the outside, opening-closing valve body 20 by the spring force of the valve-closing spring member 27 closes the flow path. ただし、ばね室26を閉弁用加圧室とし、この中に圧縮空気を供給することにより、駆動軸19を逆方向に押圧し、ピストン22に対して前進限位置に向かう付勢力を加えるようにしてもよい。 However, the spring chamber 26 and the valve-closing pressure chamber, by supplying compressed air into the presses the drive shaft 19 in the opposite direction, so as to apply a biasing force toward the forward limit position relative to the piston 22 it may be.
【0034】 [0034]
なお、駆動軸19の往復動に際してこれを円滑に行わせるために、筒型ケーシング13に形成されたばね室26のスペースとその外部とを連通させ、そのスペース内への空気の流出入を行うためにブリード孔28が筒型ケーシング13に形成されている。 In order to smoothly perform this upon reciprocation of the drive shaft 19, it communicates the space of the spring chamber 26 formed in the cylindrical casing 13 and its outer, in order to perform the inflow and outflow of air into the space inside the bleed holes 28 are formed in the cylindrical casing 13 in. また、相互に摺動関係となる部材相互間には、Oリング29やパッキン30などのシール材が設けられている。 Further, between the members mutually the sliding interrelated sealing member such as an O-ring 29 and a packing 30 is provided.
【0035】 [0035]
また、流路内を流れる流体が薬液などの金属腐食性の液体であることから、本体ブロック12は開閉弁体20と同様にPTFEにより形成されており、他に筒型ケーシング13を構成するカバー13aおよびシリンダチューブ13bについても同様の樹脂により形成するようにしてもよい。 The cover constituting Since the fluid flowing in the flow path is metal corrosive liquid such as liquid medicine, the body block 12 is formed by PTFE like the opening-closing valve body 20, other a cylindrical casing 13 it may be formed of the same resin also 13a and the cylinder tube 13b.
【0036】 [0036]
ここで調整ねじ組立体50について詳述すると、直径の大きい円管形状であって外周と内周にそれぞれねじ部を形成した調整ねじ部材52と、その内周の雌ねじ部にねじ結合された直径の小さい差動ねじ部材53の二重構造となっており、調整ねじ部材52の後端部には調整つまみナット54が固定され、ストッパ51は差動ねじ部材53の前端部に固定されている。 Now it will be described in detail the adjusting screw assembly 50, the adjusting screw member 52 formed with a large circular tube shape periphery and an inner, respectively the peripheral screw portion of the diameter of a screw coupled diameter female screw portion of the inner periphery thereof has a small double structure of the differential screw member 53, adjusting the rear end of the screw member 52 adjusting knob nut 54 is fixed, the stopper 51 is fixed to the front end of the differential screw member 53 . また調整ねじ部材52とカバー13aとの間で結合するねじ部52aのピッチが0.5mmであり、また調整ねじ部材52と差動ねじ部材53との間で結合するねじ部53aのピッチが0.45mmであってどちらのねじ部52a,53aも同じ右ねじ方向にねじが形成されている。 Also the pitch of the screw portion 52a for coupling 0.5mm between the adjusting screw member 52 and the cover 13a, also the pitch of the screw portion 53a for coupling between the adjusting screw member 52 and the differential screw member 53 is 0 a .45mm either screw portion 52a, 53a has also been screw formed in the same right-hand screw direction. さらにストッパ51は先端が二股に割れた構造となっており、その割れた隙間に、筒部25の先端部を径方向に貫通したピン25aを挟むようにして筒部25内に挿入している。 Furthermore a stopper 51 is a structure in which the tip is broken into two, its broken gap, are inserted into the cylinder portion 25 so as to sandwich the pin 25a extending through the distal end portion of the cylindrical portion 25 in the radial direction. そのためストッパ51は、筒部25の内周に対して回転することなく軸方向にのみ摺動可能に挿入されている。 Therefore stopper 51 is slidably inserted only in the axial direction without rotating with respect to the inner periphery of the cylindrical portion 25. また調整ねじ組立体50を筒型ケーシング13に対して締結するために、調整ねじ部材52の雄ねじ部にロックナット55がねじ結合している。 In order to fasten the adjusting screw assembly 50 relative to the cylindrical casing 13, and a lock nut 55 screwed to the male screw portion of the adjusting screw member 52.
【0037】 [0037]
次に、前記した開閉バルブ6の動作について説明すると、開弁用加圧室23内に作動制御用の空気圧が供給されていない状態では、閉弁用ばね部材27のばね力により、駆動軸19と開閉弁体20は前進限位置となる。 Next, the operation of the opening and closing valve 6 described above, in the state in which the air pressure control operation is not supplied to the valve opening pressure chamber 23 by the spring force of the valve-closing spring 27, the drive shaft 19 the shutoff valve body 20 and becomes a forward limit position. 図示する場合には、前進限位置において開閉弁体20が弁座21に接触して連通開口部18を閉塞する位置となっており、流路中の液体の流れは停止される。 In the illustrated case, the shutoff valve body 20 in the forward limit position has become a position for closing the communicating opening 18 in contact with the valve seat 21, the flow of the liquid in the channel is stopped. また図示する場合には、調整ねじ組立体50の調整によりストッパ51の前端面が筒部25の前端部と同じ軸方向位置となっている。 Also in the illustrated case, the front end surface of the stopper 51 by the adjustment of the adjusting screw assembly 50 is in the same axial position as the front end portion of the cylindrical portion 25.
【0038】 [0038]
この状態のもとで、開閉用流体給排ポート24から開弁用加圧室23に圧縮空気を供給すると、ピストン22は閉弁用ばね部材27のばね力に抗してストッパ51および筒部25に接触する後退限の位置まで移動し、開閉弁体20は後退限位置となり、連通開口部18は全開状態となってその開度は最大の設定で開いた状態となる。 Under this state, if the closing fluid supply and discharge port 24 for supplying compressed air to the valve opening pressure chamber 23, the piston 22 is a stopper 51 and the cylindrical portion against the spring force of the valve-closing spring 27 moves to a position of retreat limit in contact with 25, opening-closing valve body 20 becomes retracted limit position, the communication opening portion 18 opening thereof fully opened state is an open state at the maximum setting. この状態では、ポンプ4からの圧送圧の条件が同じであれば最も大きい流量が得られることになる。 In this state, the largest flow rate if conditions pumping pressure from the pump 4 is the same as is obtained.
【0039】 [0039]
ここで開弁時における開閉バルブ6の通過流量の設定、すなわち全開状態における連通開口部18の開度の設定は、開閉弁体20、ピストン22の後退限位置を規制するストッパ51の位置を調整することにより調整される。 Here the setting of the flow rate through the opening and closing valve 6 during opening, i.e. the degree of opening of the setting of the communication opening 18 in the fully open state, adjust the position of the opening-closing valve body 20, a stopper 51 for restricting the retreat limit position of the piston 22 It is adjusted by. そしてこのストッパ51の位置調整は、位置決め部材である調整ねじ組立体50の調整つまみナット54の回転量を調整して行われる。 The position adjustment of the stopper 51 is performed by adjusting the amount of rotation of the adjustment knob nut 54 of the adjusting screw assembly 50 is positioned member. 例えば調整つまみナット54を図中矢印Rに示す右回転方向に回すことにより、ストッパ51の軸方向位置を前進側に移動させて連通開口部18の最大開度の設定を下げ、すなわち開閉バルブ6の通過流量を減少させるよう調整することが可能となる。 For example, by turning the adjustment knob nut 54 in the clockwise direction in FIG arrow R, reducing the set of maximum opening of the communicating opening 18 by moving the axial position of the stopper 51 to the forward side, that is the opening and closing valve 6 it is possible to adjust so as to reduce the flow rate through. また逆に調整つまみナット54を左回転方向に回すことにより、開閉バルブ6の通過流量を増加させるよう調整することができる。 Also by rotating the nut 54 knob adjusted back to the left rotation direction, it can be adjusted to increase the flow rate through the opening and closing valve 6.
【0040】 [0040]
このとき、調整ねじ組立体50が前述した構成となっていることにより、ストッパ51の軸方向位置を高い精度で調整することができる。 At this time, by the adjustment screw assembly 50 has a configuration as described above, it is possible to adjust the axial position of the stopper 51 with high accuracy. 例えば調整つまみナット54を右方向に1回転回した場合には、調整ねじ部材52自体はカバー13aとの間のねじ部のピッチに従って0.5mmだけ前進側に移動する。 For example, when the adjustment knob nut 54 turned one rotation in the right direction, the adjusting screw member 52 itself is moved to the forward side 0.5mm accordance pitch of the thread between the cover 13a. 一方、ストッパ51に固定されている差動ねじ部材53自体は中心軸周りに回転することができないため、調整ねじ部材52に対して相対的に左方向へ1回転し、それにより調整ねじ部材52と差動ねじ部材53の間のねじ部のピッチに従い差動ねじ部材53は調整ねじ部材52に対して相対的に0.45mm後退側に移動する。 Meanwhile, since the differential screw member 53 itself is fixed to the stopper 51 can not rotate around the central axis, one rotation to the relatively left direction with respect to the adjusting screw member 52, thereby adjusting screw member 52 a differential screw member 53 in accordance with the pitch of the thread between the differential screw member 53 is moved relative to the adjusting screw member 52 relatively 0.45mm retreating side. 以上により差動ねじ部材53の前端部に固定されているストッパ51は結果的に0.05mmだけ前進側に移動したことになる。 A stopper 51 fixed to the front end of the differential screw member 53 by the above will be moved by the forward side consequently 0.05 mm. これにより調整ねじ組立体50は、通常の調整ねじでは得ることの困難な0.05mmという高いピッチ精度で調整するよう機能することになる。 Thus adjustment screw assembly 50 will serve to adjust with high pitch accuracy of hard 0.05mm of getting the usual adjusting screw.
【0041】 [0041]
図4は、ポンプ4からの圧送圧が0.1MPaの場合で開閉バルブにおける調整つまみの回転量と液体の通過流量との関係を示す特性線図であり、図中には本発明による開閉バルブ6の特性線と、他に比較例として通常のピッチ精度の調整ねじを用いた開閉バルブA,Bの特性線が記載されている。 Figure 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the pumping pressure is the amount of rotation and the flow rate through the liquid of the adjustment knob in the on-off valve in case of 0.1MPa from the pump 4, the opening and closing valve according to the present invention in FIG. 6 and the characteristic line of the opening and closing valves a using an ordinary pitch accuracy of the adjusting screw as a comparative example other, characteristic line B is described. なお、本発明の開閉バルブ6における弁座21の開口部オリフィスの直径が2mmであるのに対し、開閉バルブA,Bそれぞれの開口部オリフィスの直径は2mm、0.8mmとなっている。 Incidentally, while the diameter of the opening orifice of the valve seat 21 in the opening and closing valve 6 of the present invention is 2 mm, the opening and closing valves A, the diameter of the B respective openings orifice is made 2 mm, and 0.8 mm.
【0042】 [0042]
図4に示すように、調整つまみを4/8回転(1/2回転)回した時点での流量が、開閉バルブA,Bの場合は約650,250ml/minであるのに対し、本発明による開閉バルブ6は100ml/minにも満たない値となっている。 As shown in FIG. 4, the flow rate at the time of turning the adjustment knob 4/8 rotation (1/2 turn) is, while the opening and closing valves A, for B is about 650,250ml / min, the present invention off valve 6 by has a value not less than the 100 ml / min. また1回転回した時点では開閉バルブA,Bはそれぞれ約850,280ml/minを超える最大流量に達して流路が開き切った状態となっているのに対し、本発明による開閉バルブ6は4回転回した時点でもまだ700ml/minに達せず、さらに安定して流量の増減調整が可能な状態となっている。 The contrast at the time of turning one revolution in the state close valve A, B is the flow path reaches a maximum flow rate, each greater than about 850,280ml / min taken opened, the opening and closing valve 6 according to the present invention 4 still not reached 700 ml / min at the time of turning the rotation is more stable becomes increased or decreased adjustment possible state of flow. これより本発明による開閉バルブ6は、調整ねじを広い回転範囲に渡って操作して安定的に流量の増減調整を行えることがわかる。 Off valve 6 than by the present invention which is stable it can be seen that allows an increase or decrease adjustment of the flow rate by operating over the adjusting screw in a wide range of rotation.
【0043】 [0043]
また各特性線の線形比例範囲における傾きを見た場合でも、本発明による開閉バルブ6の傾きが他の2つと比較して大幅に小さく、このことは調整つまみの回転数に対する通過流量の変化の割合が小さいことを意味している。 Even when viewed slope in the linear proportional range of each characteristic line of the opening and closing valve 6 according to the present invention the tilt is significantly smaller than the other two, the flow rate through the change of the relative rotational speed of this adjustment knob which means that the percentage is small. すなわち本発明による開閉バルブ6が通過流量を調整する際の精度としては、開口部オリフィスの直径が同じである開閉バルブAと比較しても高いばかりでなく、開口部オリフィスの直径が半分以下である開閉バルブBと比較した場合でもかなり高いことがわかる。 That is, as the precision with which the opening and closing valve 6 according to the present invention is to adjust the flow rate through, not only high in comparison with the opening and closing valve A diameter of the opening orifice are the same, the diameter of the opening orifice at less than half it can be seen that significantly higher even when compared to some off valve B.
【0044】 [0044]
以上により、図3に示す本実施の形態のバルブ組立体8が備える開閉バルブ6は、連通開口部18の開度、すなわち流路開口量を調整して薬液などの流体の通過流量を高い精度で調整することができる。 By the above, the opening and closing valve 6 of the valve assembly 8 of the present embodiment is provided as shown in FIG. 3, the opening degree of the communicating opening 18, i.e. higher the flow rate through a fluid such as by adjusting the passage opening of the drug solution accuracy in can be adjusted.
【0045】 [0045]
図3に戻り、サックバックバルブ7の構成について説明する。 Returning to FIG. 3, the configuration of the suck back valve 7. 前記開閉バルブ6における部材と共通する部材には同一の符号が付されている。 The members common to the members in the opening and closing valve 6 are denoted by the same reference numerals. サックバックバルブ7の筒型ケーシング14内には軸方向に往復動自在に駆動軸31が装着されており、この駆動軸31の先端にはダイヤフラム式のサックバック弁体32が設けられている。 The suck back valve 7 of the cylindrical casing 14 and the drive shaft 31 in the axial direction reciprocably is mounted, the suck back valve 32 of the diaphragm is provided at the distal end of the drive shaft 31. このサックバック弁体32は駆動軸31の先端部にねじ結合される軸部32aと、弾性変形自在のディスク部32bとを有し、ディスク部32bの外周部はガイドワッシャ33とともに本体ブロック12とシリンダチューブ14bの間に挟み付けられている。 A shaft portion 32a the suckback valve 32 is screw-coupled to the distal end of the drive shaft 31, and a disk portion 32b of the elastically deformable, the outer peripheral portion of the disc portion 32b and the body block 12 with the guide washer 33 It is sandwiched between the cylinder tube 14b.
【0046】 [0046]
駆動軸31を軸方向に移動させることにより、サックバックチャンバ11の一壁面を形成するサックバック弁体32の全体的な軸方向位置を変化させると、流出側流路17に形成したサックバックチャンバ11の容積が変化して、流路内の液体を押し出す逆サックバック動作、または流路内の液体を引き込むサックバック動作が行われる。 By moving the drive shaft 31 in the axial direction, when changing the overall axial position of the suck-back valve body 32 forming the one wall surface of the suck-back chamber 11, the suck-back chamber formed in the outflow-side passage 17 11 volume is changed, the suck-back operation of pulling the liquid opposite the suck-back operation, or the flow channel pushes the liquid in the channel is performed.
【0047】 [0047]
駆動軸31の図中上端部にはピストン34が設けられており、このピストン34により筒型ケーシング内にはピストン34の後端面側つまりカバー14a側に逆サックバック用加圧室35が区画形成され、この逆サックバック用加圧室35に連通させてカバー14aにはサックバック用流体給排ポート36が形成されている。 The figure the upper end of the drive shaft 31 and the piston 34 is provided, the rear end face side, that the cover 14a opposite the suck-back pressure chamber 35 on the side of the inside cylindrical casing by a piston 34 the piston 34 is partitioned and formed is, suckback fluid supply and discharge port 36 is formed in the cover 14a and communicated with the reverse suck-back pressure chamber 35. サックバック用流体給排ポート36から逆サックバック用加圧室35内に圧縮空気を供給すると、駆動軸31は前進する方向、つまり一方向に押圧され、サックバック弁体32がその変形が最大となる前進限位置まで作動させることになる。 When compressed air is supplied to the reverse suck-back pressure chamber 35 from the suck back fluid supply and discharge ports 36, the direction of the drive shaft 31 is advanced, i.e. is pressed in one direction, the maximum suck back valve 32 is a variant thereof It will be operated to the forward limit position where the.
【0048】 [0048]
筒型ケーシング14のカバー14a内にはピストン34の後端面に対向する筒部37が形成されており、さらにその内周側には開閉バルブ6に設けたものと同じ調整ねじ組立体50がねじ結合されている。 The inside cover 14a of the cylindrical casing 14 has cylindrical portion 37 which faces the rear end surface of the piston 34 is formed, further the inner in periphery same adjustment screw assembly 50 threaded to that provided in the opening and closing valve 6 It is coupled.
【0049】 [0049]
図3は筒部37とストッパ51が同じ位置にあり、ピストン34が後退限位置となって筒部37およびストッパ51に接触している状態を示す。 Figure 3 is cylindrical portion 37 and the stopper 51 are in the same position, showing a state where the piston 34 is in contact with the cylindrical portion 37 and the stopper 51 becomes retreat limit position. ピストン34はその後退限位置から前進限位置までのストロークの範囲で前進後退移動するようになっており、ピストン34が図示するような筒部37に接触する後退限位置となるとサックバック弁体32によりサックバックチャンバ11の容積は最大に設定される。 The piston 34 is adapted to forward and backward movement within a range of the stroke up to the forward limit position from its retracted limit position, the piston 34 is retracted limit position in contact with the cylindrical portion 37 as illustrated suckback valve 32 volume of the suck-back chamber 11 is set to the maximum by.
【0050】 [0050]
ピストン34の前端面側にはばね室38が形成され、このばね室38内には駆動軸31を前記一方向とは逆の方向、つまり後退させる方向に押圧し、ピストン34およびサックバック弁体32を後退限位置に向けて押圧するための付勢手段としてサックバック用ばね部材39が設けられている。 The front face of the piston 34 the spring chamber 38 is formed, the direction opposite to the one direction the driving shaft 31 to the spring chamber 38, and pressed in other words the direction retracting the piston 34 and the suck-back valve 32 suck back spring member 39 is provided as a biasing means for pressing toward the backward limit position. したがって、圧縮空気の供給を停止して逆サックバック用加圧室35内の空気を外部に排出させると、サックバック用ばね部材39のばね力によりサックバック弁体32はサックバックチャンバ11の容積を増加させる。 Thus, when the by stopping the supply of compressed air the air inverse suck-back pressure chamber 35 is discharged to the outside, the volume of the suck-back valve 32 is suck back chamber 11 by the spring force of the suck-back spring member 39 increase. そしてサックバック用流体給排ポート36から圧縮空気を逆サックバック用加圧室35に供給すると、サックバック弁体32はサックバックチャンバ11の容積を減少させる。 When compressed air is supplied to the reverse suck-back pressure chamber 35 from the suck back fluid supply and discharge port 36, the suck-back valve 32 reduces the volume of the suck-back chamber 11. ただし、ばね室38をサックバック用加圧室とし、この中に圧縮空気を供給することにより、駆動軸31を逆方向に押圧し、ピストン34に対して前進限位置に向かう付勢力を加えるようにしてもよい。 However, the spring chamber 38 and suck-back pressure chamber, by supplying compressed air into the presses the drive shaft 31 in the opposite direction, so as to apply a biasing force toward the forward limit position relative to the piston 34 it may be.
【0051】 [0051]
サックバックバルブ7に設けた調整ねじ組立体50もまた開閉バルブ6に設けたものと同様に調整ねじ部材52の内周に差動ねじ部材53をねじ結合させた二重構造となっており、調整ねじ部材52の後端部には調整つまみナット54が固定され、差動ねじ部材53の前端部には回転しないストッパ51が固定されている。 Suck back valve 7 to the adjustment screw assembly is provided assembly 50 also has a double structure in which a differential screw member 53 on the inner periphery of the opening and closing those provided in the valve 6 as well as adjusting screw member 52 was screwed, adjustment knob nut 54 to a rear end portion of the adjusting screw member 52 is fixed, a stopper 51 which does not rotate at the front end of the differential screw member 53 is fixed. 調整ねじ部材52とカバーとの間のねじ部のピッチが0.5mmであり、調整ねじ部材52と差動ねじ部材53の間のねじ部のピッチが0.45mmであってどちらも同じ右ねじ方向にねじが形成されている。 Adjusting the pitch of the thread between the threaded member 52 and the cover is 0.5 mm, the adjusting screw member 52 and the differential screw portion neither the same right-hand thread pitch a 0.45mm of between threaded member 53 screw is formed in the direction.
【0052】 [0052]
次に、前記したサックバックバルブ7の動作について説明すると、サックバック用流体給排ポート36から逆サックバック用加圧室35に圧縮空気を供給している状態では、ピストン34はサックバック用ばね部材39のばね力に抗してサックバック弁体32が最大に変形する前進限の位置まで移動し、サックバック弁体32は前進限位置となり、サックバックチャンバ11の容積は最小となる。 Next, the operation of the suck back valve 7 described above, in the state where the suck back fluid supply and discharge ports 36 are supplied with compressed air in the opposite suck-back pressure chamber 35, the piston 34 is spring suckback against the spring force of the member 39 to move the suck back valve 32 to the position of the forward limit of maximum deformation, suck back valve 32 becomes forward limit position, the volume of the suck-back chamber 11 is minimized. この逆サックバック動作は開閉バルブ6が開弁して液体が吐出されている間に行われる。 The reverse suck-back operation is performed while the opening and closing valve 6 is opened the liquid is discharged.
【0053】 [0053]
また図示する場合には、調整ねじ組立体50の調整によりストッパ51の前端面が筒部37の前端部と同じ軸方向位置となっている。 Also in the illustrated case, the front end surface of the stopper 51 by the adjustment of the adjusting screw assembly 50 is in the same axial position as the front end portion of the cylindrical portion 37. 開閉バルブ6が閉弁して液体の吐出が止められた後、圧縮空気の供給を停止して逆サックバック用加圧室35内の空気を外部に排出させると、サックバック用ばね部材39のばね力により、ピストン34がストッパ51および筒部37に接触する後退限の位置まで移動し、サックバック弁体32は後退限位置となり、図示するようにサックバックチャンバ11の容積は最大となってサックバック弁体32の開度は最大の設定で開いた状態となる。 After closing the valve 6 is stopped is closed discharge of the liquid, by stopping the supply of compressed air the air inverse suck-back pressure chamber 35 when the discharged to the outside, the suck-back spring member 39 by the spring force, the piston 34 is moved to the position of the retreat limit in contact with the stopper 51 and the cylindrical portion 37, the suck-back valve 32 becomes retracted limit position, the volume of the suck-back chamber 11 as shown is the maximum opening of the suck back valve 32 is opened at the maximum setting. この状態とするサックバック動作は、流路からサックバックチャンバ11への液体の引き込み量、すなわちサックバック量が最も多く、ノズル2内の液面位置を最も引き上げることになる。 Suck-back operation to this state, the pull-in amount of the liquid into the suck-back chamber 11 from the flow path, i.e. most often suck-back amount, so that the pulling most level position in the nozzle 2.
【0054】 [0054]
ここでサックバック量の設定、すなわちサックバックチャンバ11の容積変化量の設定は、サックバック弁体32、ピストン34の後退限位置を規制するストッパ51の位置を調整することにより調整される。 Here setting of the suck-back amount, i.e. setting of the volumetric change of the suck-back chamber 11 is adjusted by adjusting the position of the suck-back valve 32, a stopper 51 for restricting the retreat limit position of the piston 34. そしてこのストッパ51の位置調整は、位置決め部材である調整ねじ組立体50の調整つまみナット54の回転量を調整して行われる。 The position adjustment of the stopper 51 is performed by adjusting the amount of rotation of the adjustment knob nut 54 of the adjusting screw assembly 50 is positioned member. 例えば調整つまみナット54を図中矢印Rに示す右回転方向に回すことにより、ストッパ51の軸方向位置を前進側に移動させてサックバックチャンバ11の容積変化量を減少させるよう設定し、すなわちサックバック量を減少させるよう調整することが可能となる。 For example, by turning the adjustment knob nut 54 in the clockwise direction in FIG arrow R, by moving the axial position of the stopper 51 on the forward side is set so as to reduce the volume change amount of the suck-back chamber 11, i.e. sacks it is possible to adjust so as to reduce the back amount. また逆に調整つまみナット54を左回転方向に回すことにより、サックバック量を増加させるよう調整することができる。 Also by rotating the nut 54 knob adjusted back to the left rotation direction, it can be adjusted to increase the suck back amount.
【0055】 [0055]
このとき調整ねじ組立体50が前述の開閉バルブ6が備えるものと同じ構成であるため、通常の調整ねじでは得ることの困難な0.05mmという高いピッチ精度でストッパ51の軸方向位置を調整することができる。 In this case adjusting screw assembly 50 to adjust the axial position of the stopper 51 because the same configuration as that provided in the opening and closing valve 6 of the foregoing, high pitch accuracy of hard 0.05mm of getting the usual adjusting screw be able to.
【0056】 [0056]
以上により、本実施の形態のバルブ組立体8が備えるサックバックバルブ7は、サックバック量を調整して、サックバック動作後のノズル2内の薬液の液面位置を高い精度で調整することができる。 By the above, suck back valve 7 the valve assembly 8 of the present embodiment comprises adjusts the suck back amount, to adjust the liquid level of the chemical liquid in the nozzle 2 after the suck-back operation with high precision it can.
【0057】 [0057]
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible without departing from the scope of the invention. たとえば、図示する薬液供給装置は、半導体ウエハWを被塗布物としてこれにレジスト液Lを塗布するために使用されているが、薬液としてはレジスト液Lに限られず、また被塗布物もウエハWに限られず、それぞれ種々のものを対象とすることができる。 For example, the chemical supply apparatus shown in the drawing, although the semiconductor wafer W is used to apply it to resist liquid L as the coating object, as a drug solution is not limited to the resist solution L, also object to be coated is also the wafer W not limited to, each can be targeted to any of various. また前記実施の形態においては、開閉バルブ6とサックバックバルブ7を一体に構成したが、個別に独立して構成してもよい。 Also in the above embodiment, although the opening and closing valve 6 and suck back valve 7 is constructed by integrating, it may be configured independently separately. また調整ねじ組立体50における調整ねじ部材52と差動ねじ部材53のそれぞれの外周のねじ部のピッチは0.5mm、0.45mmに限られず、2つのピッチ差が調整ねじ組立体50全体のピッチとなるため両方のピッチが近いほど調整精度が向上する。 Also each of the peripheral pitch of the thread of 0.5mm of the adjusting screw member 52 and the differential screw member 53 in the adjustment screw assembly 50 is not limited to 0.45 mm, the difference of two pitch adjusting screw assembly 50 of the total higher adjustment accuracy is improved near both pitch for the pitch. さらに調整ねじ部材52と差動ねじ部材53のそれぞれの外周のねじ部は、ともに同じ右ねじ方向にねじが形成されていたが、ともに同じ左ねじ方向にねじを形成してもよい。 Furthermore threaded portion of the outer periphery of each of the adjusting screw member 52 and the differential screw member 53, which had been both screws in the same right-hand screw direction is formed, may be formed together screw in the same left-hand screw direction. この場合には、調整つまみナット54を左方向に回すことにより各弁体20,32の後退限位置を前進させ、右方向に回すことにより各弁体20,32の後退限位置を後退させる。 In this case, to advance the retreat limit position of the valve body 20, 32 by turning the adjustment knob nut 54 to the left, retract the retreat limit position of the valve body 20, 32 by turning to the right. またバルブ組立体8に設けた開閉バルブ6とサックバックバルブ7の一方のみに調整ねじ組立体50を取り付け、他方に通常の調整ねじを取り付けてもよい。 The mounting on only one adjusting screw assembly 50 of the opening and closing valve 6 and suck back valve 7 provided in the valve assembly 8 may be other to attach the conventional adjusting screw. なお、前記実施の形態においては、各バルブ6,7を作動制御する流体圧を圧縮空気による空気圧としたが空気圧に限定されるものではない。 Incidentally, in the above embodiment, although the air pressure is not limited to the air pressure due to the compressed air fluid pressure actuated control valves 6,7.
【0058】 [0058]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
本発明によれば、通常の調整ねじでは得られない高いピッチ精度の調整ねじ組立体を用いることにより、サックバック弁体の開度位置を高い精度で微調整できるため、適正範囲の狭いサックバック量の設定を容易化し、作業時間の短縮、設定再現性の向上を図ることができる。 According to the present invention, by using the adjustment screw assembly is not obtained a high pitch accuracy in normal adjustment screw, it is possible to finely adjust the opening position of the suck-back valve body with high precision, narrow appropriate range suckback the setting of the quantity and facilitated, shortening of work time, it is possible to improve the setting reproducibility.
【0059】 [0059]
本発明によれば、通常の調整ねじでは得られない高いピッチ精度の調整ねじ組立体を用いることにより、開閉弁体の開度位置を高い精度で微調整できるため、薬液などの流体の通過流量の設定を容易化し、作業時間の短縮、設定再現性の向上を図ることができる。 According to the present invention, by using the adjustment screw assembly is not obtained a high pitch accuracy in normal adjustment screw, since the opening position of the opening-closing valve body can be finely adjusted with high accuracy, the flow rate through the fluid such as liquid medicine to facilitate the setting, shortening of work time, it is possible to improve the setting reproducibility.
【0060】 [0060]
本発明によれば、開閉バルブとサックバックバルブを一体に構成することにより、この種の制御バルブの小型化や薬液供給装置の構造の簡素化を図ることができる。 According to the present invention, the opening and closing valve and the suck back valve by integrally formed, it is possible to simplify the structure of the size and chemical supply apparatus of this type of control valve.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】本発明の一実施の形態である流体圧作動弁を用いた薬液供給装置の構成概要図である。 1 is a schematic configuration diagram of a chemical liquid supply apparatus using a fluid pressure operated valve according to an embodiment of the present invention.
【図2】サックバック動作が行われる前後のノズル先端部における液面位置の変化を示す断面図であり、(A)はサックバック動作前の図であり、(B)はサックバック動作後の図である。 Figure 2 is a cross sectional view showing a variation of the liquid level position in the nozzle tip before and after the suck-back operation is performed, (A) is a diagram of a prior suck back operation, (B) is after the suck-back operation it is a diagram.
【図3】図1に示されたバルブ組立体を拡大して示す断面図である。 3 is an enlarged cross-sectional view showing the valve assembly shown in Figure 1.
【図4】開閉バルブにおける調整つまみの回転量と液体の通過流量との関係を示す特性線図である。 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the flow rate through the rotation amount and the liquid of the adjustment knob in the on-off valve.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
1 容器2 ノズル3 配管4 ポンプ5 フィルター6 開閉バルブ7 サックバックバルブ8 バルブ組立体10 システム制御部11 サックバックチャンバ12 本体ブロック13 筒型ケーシング(開閉バルブ) 1 container 2 nozzle 3 pipe 4 pump 5 Filter 6-off valve 7 suck back valve 8 the valve assembly 10 the system controller 11 suck back chamber 12 the body block 13 cylindrical casing (close valve)
13a カバー13b シリンダチューブ14 筒型ケーシング(サックバックバルブ) 13a cover 13b cylinder tube 14 cylindrical casing (suck back valve)
14a カバー14b シリンダチューブ15 プレート16 流入側流路16a 流入ポート17 流出側流路17a 流出ポート18 連通開口部19 駆動軸20 開閉弁体20a 軸部20b ディスク部21 弁座22 ピストン23 開弁用加圧室24 開閉用流体給排ポート25 筒部25a ピン26 ばね室27 閉弁用ばね部材28 ブリード孔29 Oリング30 パッキン31 駆動軸32 サックバック弁体32a 軸部32b ディスク部33 ガイドワッシャ34 ピストン35 逆サックバック用加圧室36 サックバック用用流体給排ポート37 筒部38 ばね室39 サックバック用ばね部材50 調整ねじ組立体51 ストッパ52 調整ねじ部材52a ねじ部53 差動ねじ部材53a ねじ部54 調整つまみナット55 ロックナットL レジスト液W 14a cover 14b cylinder tube 15 plate 16 inlet side passage 16a inlet port 17 outlet side passage 17a outlet port 18 communicating opening 19 the drive shaft 20 opening-closing valve body 20a shaft portion 20b disc portion 21 valve seat 22 a piston 23 the valve-opening pressure chamber 24 for opening and closing the fluid supply and discharge port 25 cylinder part 25a the pin 26 the spring chamber 27 valve-closing spring 28 bleed hole 29 O-ring 30 gasket 31 drive shaft 32 suck back valve 32a shaft portion 32b disc portion 33 guide washer 34 piston 35 opposite the suck-back pressure chamber 36 fluid supply and discharge ports for a suck-back 37 cylindrical portion 38 spring chamber 39 suck back spring member 50 adjusting screw assembly 51 stopper 52 adjusting screw member 52a threaded portion 53 a differential screw member 53a screw part 54 adjustment knob nut 55 lock nut L resist solution W ウエハ Wafer

Claims (3)

  1. 液体が流入する流入側流路と流出する流出側流路とこれらの流路を結ぶ連通開口部と前記流出側流路に連通するサックバックチャンバとが形成されたハウジングと、 A housing and a suck-back chamber is formed communicating with the communication opening and the outflow side flow passage connecting the outflow side flow passage and these channels that inflow and outflow side flow passage the liquid flows,
    前記ハウジングに装着され、前記連通開口部を閉じる前進限位置と開く後退限位置とに変形自在の第1の弁体と、 It is attached to the housing, a first valve body deformable to a retreat limit position to open the forward limit position closing the communicating opening,
    前記ハウジングに装着され、前記サックバックチャンバを形成するとともに前記サックバックチャンバを縮小させる前進限位置と拡張させる後退限位置とに変形自在の第2の弁体と、 Is attached to the housing, and the suck-back forward limit position to reduce the chamber and the deformable in the retreat limit position for extended second valve body together forming the suck-back chamber,
    それぞれ前記ハウジングに軸方向に移動自在に装着され、一方が加圧室となった前進用室と後退用室とを形成し、それぞれ前記第1の弁体と第2の弁体が取り付けられる第1と第2のピストンと、 Are freely mounted axially on each of the housing, first one forms a retraction chamber and forward chamber became pressurizing chamber, respectively the first valve body and second valve body is mounted 1 and the second piston,
    前記第1のピストンの後退限位置を規制する第1のストッパの位置を調整する第1の調整ねじ組立体と、 A first adjusting screw assembly for adjusting the position of the first stopper for restricting the retreat limit position of the first piston,
    前記第2のピストンの後退限位置を規制する第2のストッパの位置を調整する第2の調整ねじ組立体とを有し、 And a second adjusting screw assembly for adjusting the position of the second stopper for restricting the retreat limit position of the second piston,
    前記第1のストッパを前記ハウジングに対して回転することなく軸方向にのみ摺動可能に設け、 Provided only slidably said first stopper in the axial direction without rotating relative to the housing,
    前記第1のストッパに設けられる差動ねじ部材と、前記差動ねじ部材の雄ねじにねじ結合する中空孔を有するとともに前記雄ねじと相違するピッチで前記ハウジングに形成された大径雌ねじに結合する調整ねじ部材とにより前記第1の調整ねじ組立体を形成し、 Binds to said differential screw member provided on the first stopper, the differential atmospheric径雌threads formed on the housing at a pitch which differs from the male screw together with the male screw of the screw member to have a hollow hole screw connection by the adjusting screw member to form the first adjusting screw assembly,
    前記調整ねじ部材を回転させることにより前記差動ねじ部材を介して前記第1のストッパの位置を調整することを特徴とする流体圧作動弁。 Hydraulic actuated valve, characterized by adjusting the position of the first stopper through the differential screw member by rotating said adjusting screw member.
  2. 請求項1記載の流体圧作動弁において、前記第1のストッパに前記ハウジングに接触するOリングを設けることを特徴とする流体圧作動弁。 A fluid pressure operated valve according to claim 1, the fluid pressure actuated valve, characterized in that providing the O-ring in contact with said housing to said first stopper.
  3. 請求項1または2記載の流体圧作動弁において、前記第2のストッパを前記ハウジングに対して回転することなく軸方向にのみ摺動可能に設け、前記第2のストッパに設けられる差動ねじ部材と、前記差動ねじ部材の雄ねじにねじ結合する中空孔を有するとともに前記雄ねじと相違するピッチで前記ハウジングに形成された大径雌ねじに結合する調整ねじ部材とにより前記第2の調整ねじ組立体を形成し、 前記第2の調整ねじ組立体の前記調整ねじ部材を回転させることにより前記差動ねじ部材を介して前記第2のストッパの位置を調整することを特徴とする流体圧作動弁。 According to claim 1 or 2 hydraulic actuated valve, wherein the second stopper provided only slidably in the axial direction without rotating relative to the housing, a differential screw member provided in the second stopper When the differential screw member of the male screw in threaded connection to said second adjustment screw sets by an adjusting screw member which binds to a large径雌threads formed in said housing at a pitch which differs from the external thread as well as have a hollow hole forming a three-dimensional, fluid pressure actuated valve, characterized by adjusting the position of said through said differential screw member by rotating the second of said adjusting screw member of the adjusting screw assembly second stopper .
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