JP2022009730A - 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 - Google Patents
光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022009730A JP2022009730A JP2021177371A JP2021177371A JP2022009730A JP 2022009730 A JP2022009730 A JP 2022009730A JP 2021177371 A JP2021177371 A JP 2021177371A JP 2021177371 A JP2021177371 A JP 2021177371A JP 2022009730 A JP2022009730 A JP 2022009730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- container
- signal
- optical sensor
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 65
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract 5
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 30
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 10
- 238000000041 tunable diode laser absorption spectroscopy Methods 0.000 claims description 8
- 238000004847 absorption spectroscopy Methods 0.000 claims description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 2
- 238000001285 laser absorption spectroscopy Methods 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 201
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 4
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001307 laser spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000008450 motivation Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 1
- 238000012306 spectroscopic technique Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/02—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
- G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
- G01M3/3281—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/38—Investigating fluid-tightness of structures by using light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1717—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
- G01N2021/396—Type of laser source
- G01N2021/399—Diode laser
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/359—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using near infrared light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
容器を光学センサに非侵入的にさらし、センサは、少なくとも1つのガスに敏感であり、容器内の少なくとも1つのガスを検出するように構成される。容器内のガス圧、ガス濃度、ガス組成、またはガス圧、ガス濃度、およびガス組成の任意の組み合わせに関連する光学センサからの信号を読み取る。信号の挙動は、容器の完全性における欠陥を示している。
負圧または過小圧力をかけることに伴う利点は、容器の内部から外部へのガスの拡散を増加させることである。検出された容器内のガスの減少は、漏洩が生じている可能性があることを意味している。
過剰圧力をかけることに伴う利点は、ガスを容器内に送り込むことによって拡散を増加させることである。ガスは、容器内に事前に存在しないガスであってもよい。新たなガスが容器内で検出された場合、漏洩が生じている可能性がある。代替的および/または追加的に、容器内に既に存在しているガスを加えてもよい。容器内でガス濃度の上昇が検出された場合、漏洩が生じている可能性がある。
少なくとも2つのガスの混合物を加える利点は、例えば、漏洩を検出する際の改善された感度が達成され得ることである。また、異なる拡散率を有する少なくとも2つのガスを測定することによって、漏洩の程度を推定することができる。
容器内のガスとは異なる単一のガスを加えて、容器内の両方のガスの濃度を測定することによって同様の技術を利用してもよい。両方のガスを測定することにより、漏洩の検出感度を高めることができる。また、ガスが異なる速度で容器の内外に拡散する場合、漏洩の程度を推定することができる。
代替的および/または追加的に、第1のガスまたはガスの混合物が周囲部に加えられ、信号の変化が検出され、その後に第2のガスまたはガスの混合物が周囲部に加えられ、信号の変化が再び検出される。異なる分子間の大きさまたは双極子モーメントなどの特性の差は、分子が孔および通路を通って拡散する態様に影響を及ぼす可能性がある。これは、漏洩を検出し、かつ、その漏洩を特徴付けるために利用してもよい。
この方法の一例では、光学センサは、波長可変ダイオードレーザ吸収分光法(TDLAS)に基づいている。
この方法の一例では、光学センサは、散乱媒体吸収分光法におけるガス(GASMAS)技術に基づいている。
異なる種類の容器が別様に過小圧力および過剰圧力に耐えることができるので、漏出を検出するための基準容器を使用することが有利な場合がある。基準容器を使用することによって、絶対値を得るための較正は必要ではなく、代わりに、試験では、基準容器からの検出信号と比較した容器からの検出信号の比較を行う。測定信号の差は、漏洩が生じていることを示している可能性がある。
この方法の一例では、同じ容器上の時間ごとの光信号の変化を用いて漏洩を検出する。
この過程を経時的に研究することによって、漏洩の変化を検出することができる。小さな漏洩を検出するために使用してもよい。
この方法の一例では、容器内のガスの濃度が決定される。
この方法の一例では、容器内の少なくとも1つのガスの絶対圧力または相対圧力が決定される。
この方法の一例では、漏洩の程度の尺度は、光信号を連続的にまたは反復的に測定して、信号の変化率を測定することによって決定される。
このシステムの一例では、過剰圧力が周囲部にかけられる。
このシステムの一例では、ガスまたはガスの混合物が周囲部に加えられる。
このシステムの一例では、過剰圧力、過小圧力、少なくとも1つのガス、またはガスの混合物を周囲部に順に加えるステップの任意の組み合わせが順に適用される。
このシステムの一例では、光学センサは、波長可変ダイオードレーザ吸収分光法(TDLAS)に基づいている。
このシステムの一例では、光学センサは、散乱媒体吸収分光法におけるガス(GASMAS)技術に基づいている。
このシステムの一例では、漏洩がないか、または既知の特性の漏洩があることが知られている基準容器がベースライン信号を提供するために使用され、ベースライン信号と比較した光信号の差異が、後続の容器内の漏洩を検出するために使用される。
このシステムの一例では、同じ容器上の時間ごとの光信号の変化を用いて漏洩を検出する。
このシステムの一例では、容器内のガスの絶対圧力または相対圧力が決定される。
このシステムの一例では、漏洩の程度の尺度は、光信号を連続的にまたは反復的に測定して、信号の変化率を測定することによって決定される。
本明細書中で使用される場合、「含む/含んでいる」という用語は、記載の特徴、整数、ステップまたは構成要素の存在を特定するために使用されるが、1つ以上の他の特徴、整数、ステップ、構成要素またはそれらの群の存在または追加を除外するものではない。
しかし、本開示は、多くの異なる形態で実施されてもよく、本明細書に記載の例に限定されると解釈されるべきではなく、むしろ、これらの例は、本開示が徹底して完全となるように、かつ、当業者に本開示の範囲を全て伝えることができるように提供される。
いくつかの例では、光学センサは、光音響検出用のセンサからなる。
いくつかの例では、光学センサは、容器内のガスのラマン分光用のセンサからなる。
いくつかの例では、光学センサは、広波長光源および分光計からなる。
いくつかの例では、光学センサは、容器内のガスのレーザ誘起分解分光用のセンサからなる。
いくつかの例では、光学センサは反射モードで動作しており、すなわち、光送信器は容器の光検出器と同じ側に位置し、光検出器は容器からの後方散乱光を記録する。
いくつかの例では、光送信器および光検出器は、容器上で互いに関連して任意の位置に位置決めされ、光検出器は、容器からの散乱光を記録する。
容器は、少なくとも部分的に、単一または複数のガスの検出に適した波長の光を少なくとも部分的に透過する材料で製造される必要がある。容器内に漏洩が生じている場合は、漏洩のない容器と比較した、漏洩している容器のセンサからの信号の差によって示されるか、または、容器が不完全な真空にされた前後の信号の差によって単純に示される。
あるいは、センサからの信号を使用して、容器内のガスの絶対濃度または圧力を決定することができ、その情報は、漏洩が生じているか否かを決定するために使用される。
Claims (14)
- 密閉容器の完全性を判定する方法であって、前記方法は、
容器を周囲部に配置するステップと、
前記周囲部のガス圧、ガス組成、ガス濃度、またはガス圧、ガス濃度およびガス組成の任意の組み合わせを変化させるステップと、
前記容器を光学センサに非侵入的にさらすステップと
を含み、
前記光学センサが、少なくとも1つのガスに敏感であり、前記光学センサが、前記容器内の前記少なくとも1つのガスを検出し、前記光学センサは、波長可変ダイオード光源と光検出器を含む波長可変ダイオードレーザ吸収分光センサであり、前記波長可変ダイオード光源が、駆動電流を変化させることによって前記少なくとも1つのガスの吸収線にわたって繰り返し波長変調される光信号を、前記容器を介して伝送し、
前記光検出器により、前記容器を介して伝送される、前記容器内のガス圧、またはガス圧、ガス濃度、およびガス組成の組み合わせに関連する前記光信号を検出するステップと、
前記容器の完全性における欠陥を示すとともに前記周囲部の変化により変化する前記光信号を分析するステップと、を含み、
漏洩の程度の尺度は、前記光信号を連続的にまたは反復的に測定して、前記光信号の変化率を測定することによって決定され、
前記分析するステップにおいて、前記ガス濃度の変化は、Beer-Lambertsの法則により決定され、前記ガス圧の変化は、前記吸収線の幅により検出される方法。 - 負圧または過小圧力が前記周囲部にかけられるか、もしくは、過剰圧力が前記周囲部にかけられるか、もしくは、ガスまたはガス混合物が前記周囲部に加えられる、請求項1に記載の方法。
- 漏洩がないか、または既知の特性の漏洩があることが知られている基準容器がベースライン信号を提供するために使用され、前記ベースライン信号と比較した前記光信号の差異が、後続の前記容器内の漏洩を検出するために使用される、請求項1または2に記載の方法。
- 同じ容器上の時間ごとの光信号の変化を用いて漏洩を検出する、請求項1~3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記容器内のガスの濃度が決定されるか、もしくは、前記容器内のガスの絶対圧力または相対圧力が決定される、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。
- 密閉容器の完全性を判定する方法であって、前記方法は、
容器を周囲部に配置するステップと、
前記周囲部のガス圧、ガス組成、ガス濃度、またはガス圧、ガス濃度およびガス組成の任意の組み合わせを変化させるステップと、
前記容器を光学センサに非侵入にさらすステップと、
を含み、
前記光学センサは少なくとも1つのガスに敏感であり、前記光学センサは、前記容器内の少なくとも1つのガスを検出し、前記光学センサは、波長可変ダイオード光源と光検出器を含むTDLAS(波長可変ダイオードレーザ吸収分光法)センサであり、前記波長可変ダイオード光源が、駆動電流を変化させることにより前記少なくとも1つのガスの吸収線にわたって繰り返し波長調整される光信号を、前記容器を介して伝送し、
前記光検出器により、前記容器を通過した前記光信号を検出するステップと、
前記容器内のガス圧、またはガス圧、ガス濃度、およびガス組成の組み合わせに関連する信号を取得するステップと、
前記容器の完全性における欠陥を示すとともに前記周囲部の変化により変化する前記信号を分析するステップと、
を含み、
前記ガス圧の変化は、前記吸収線の幅により検出される方法。 - 密閉容器の完全性を判定するシステムであって、前記システムは、
容器を配置するように構成され、ガス圧、ガス組成、ガス濃度、またはガス圧、ガス濃度およびガス組成の任意の組み合わせを変化させるように構成される周囲部と、
少なくとも1つのガスに敏感な非侵入型光学センサと
を備え、
前記非侵入型光学センサが前記容器内の前記少なくとも1つのガスを検出し、前記非侵入型光学センサは、波長可変ダイオード光源と光検出器を含む波長可変ダイオードレーザ吸収分光センサであり、
前記波長可変ダイオード光源が、駆動電流を変化させることによって前記少なくとも1つのガスの吸収線に渡って繰り返し波長変調しながら、前記容器を介して光信号を伝送し、
前記光検出器が、前記容器を介して伝送された前記光信号を検出し、
前記容器内のガス圧、ガス濃度、ガス組成、またはガス圧、ガス濃度、およびガス組成の任意の組み合わせに関連する前記光検出器からの信号を読み取り、前記容器の完全性における欠陥を示すとともに前記周囲部の変化により変化する前記信号を分析するための制御ユニットを備え、
前記制御ユニットは、漏洩の程度の尺度を、前記光信号を連続的にまたは反復的に測定して、前記光信号の変化率を測定することによって決定し、
前記制御ユニットにより、前記ガス濃度の変化は、Beer-Lambertsの法則により決定され、前記ガス圧の変化は、前記吸収線の幅により検出される、システム。 - 負圧または過小圧力が前記周囲部にかけられるか、もしくは、過剰圧力が前記周囲部にかけられるか、もしくは、ガスまたはガス混合物が前記周囲部に加えられるように構成されるポンプをさらに含む、請求項7に記載のシステム。
- 前記非侵入型光学センサが、ガス検出の任意の分光学的手段または光学的手段に基づくか、もしくは、波長可変ダイオードレーザ吸収分光法(TDLAS)に基づくか、もしくは、散乱媒体吸収分光法におけるガス(GASMAS)技術に基づく、請求項7または8に記載のシステム。
- 前記制御ユニットは、漏洩がないか、または既知の特性の漏洩があることが知られている基準容器をベースライン信号を提供するために使用し、前記ベースライン信号と比較した光信号の差異を、後続の前記容器内の漏洩を検出するために使用するように構成される、請求項7~9のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記制御ユニットは、同じ容器上の時間ごとの光信号の変化を用いて漏洩を検出するように構成される、請求項7~10のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記制御ユニットは、前記非侵入型光学センサからの信号を用いて、前記容器内のガスの濃度を決定するように構成される、請求項7~11のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記制御ユニットは、前記非侵入型光学センサからの信号を用いて、前記容器内のガスの絶対圧力または相対圧力を決定するように構成される、請求項7~12のいずれか一項に記載のシステム。
- 密閉容器の完全性を判定するシステムであって、前記システムは、
容器を配置するように構成され、ガス圧、ガス組成、ガス濃度、またはガス圧、ガス濃度およびガス組成の任意の組み合わせを変化させるように構成される周囲部と、
少なくとも1つのガスに敏感な非侵入型光学センサと
を備え、
前記非侵入型光学センサが前記容器内の前記少なくとも1つのガスを検出し、前記非侵入型光学センサは、波長可変ダイオード光源と光検出器を含む波長可変ダイオードレーザ吸収分光センサであり、前記波長可変ダイオード光源が、駆動電流を変化させることによって前記少なくとも1つのガスの吸収線に渡って繰り返し波長変調しながら、前記容器を介して光信号を伝送するように構成されており、前記光検出器が、前記容器を介して伝送された前記光信号を検出し、
前記容器内のガス圧、またはガス圧、ガス濃度、およびガス組成の任意の組み合わせに関連する前記非侵入型光学センサからの信号を読み取り、前記周囲部の変化による前記信号の変化が前記容器の完全性における欠陥を示すように前記信号を分析する制御ユニット、を備え、
前記ガス圧の変化は、前記吸収線の幅により検出されるシステム。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE1530046A SE538814C2 (sv) | 2015-04-02 | 2015-04-02 | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement |
SE1530046-0 | 2015-04-02 | ||
JP2017550746A JP2018510346A (ja) | 2015-04-02 | 2016-04-04 | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
PCT/EP2016/057382 WO2016156622A1 (en) | 2015-04-02 | 2016-04-04 | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017550746A Division JP2018510346A (ja) | 2015-04-02 | 2016-04-04 | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022009730A true JP2022009730A (ja) | 2022-01-14 |
JP7300490B2 JP7300490B2 (ja) | 2023-06-29 |
Family
ID=55650437
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017550746A Ceased JP2018510346A (ja) | 2015-04-02 | 2016-04-04 | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
JP2021177371A Active JP7300490B2 (ja) | 2015-04-02 | 2021-10-29 | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017550746A Ceased JP2018510346A (ja) | 2015-04-02 | 2016-04-04 | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10101239B2 (ja) |
EP (1) | EP3278074B1 (ja) |
JP (2) | JP2018510346A (ja) |
SE (1) | SE538814C2 (ja) |
WO (1) | WO2016156622A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE538814C2 (sv) | 2015-04-02 | 2016-12-13 | Gasporox Ab | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement |
EP3392242B1 (en) * | 2016-07-20 | 2021-02-24 | LG Chem, Ltd. | Novel heterocyclic compound and organic light-emitting device using same |
AT519690B1 (de) * | 2017-02-21 | 2018-12-15 | Acm Automatisierung Computertechnik Mess Und Regeltechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Konzentration eines vorbestimmten Gases |
SE541253C2 (en) | 2017-10-18 | 2019-05-14 | Gasporox Ab | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement |
US20210048365A1 (en) | 2018-03-06 | 2021-02-18 | Gasporox Ab | System and method for determining the integrity of containers |
JP7321453B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2023-08-07 | ゼネラルパッカー株式会社 | レーザー式ガス濃度計 |
WO2021170755A1 (en) * | 2020-02-25 | 2021-09-02 | Gasporox Ab | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement |
EP4143542A1 (en) * | 2020-05-01 | 2023-03-08 | GasPorOx AB | System and method for determining at least one property of a porous medium |
DE102023200859A1 (de) * | 2023-02-02 | 2024-08-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Prüfsystem mit einer vakuumisierbaren Prüfkammer |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10185752A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-14 | Teijin Seiki Co Ltd | 密封体の漏れ検査方法および装置 |
JP2006153835A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Kumamoto Univ | 漏洩検査方法および漏洩検査装置 |
JP2007508567A (ja) * | 2003-10-15 | 2007-04-05 | ライトハウス インスツルメンツ, エルエルシー | 自動ヘッドスペース分析のためのシステム及び方法 |
JP2010025684A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Ulvac Japan Ltd | ヘリウム検出ユニット |
JP2012526973A (ja) * | 2009-05-11 | 2012-11-01 | ガスポロックス エイビー | 容器内のガスを非侵入的に評価する装置および方法 |
JP2014511995A (ja) * | 2011-03-16 | 2014-05-19 | ノルデン・マシーナリー・アーベー | 漏れ検出方法および装置 |
JP2018510346A (ja) * | 2015-04-02 | 2018-04-12 | ガスポロックス エイビー | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002328196A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 輸送貯蔵用密閉容器および輸送貯蔵用密閉容器における漏洩ガス検出方法 |
ITTO20060778A1 (it) * | 2006-10-30 | 2008-04-30 | Consiglio Nazionale Ricerche | Apparecchiatura per la misura di pressione di gas in contenitori |
IT1401562B1 (it) | 2010-06-28 | 2013-07-26 | L Pro S R L | Apparecchiatura per la misura della concentrazione di un gas in un contenitore chiuso |
JP6588426B2 (ja) | 2013-05-27 | 2019-10-09 | ガスポロックス エービー | 容器中の気体の濃度を判定するためのシステムおよび方法 |
DE102014202596B4 (de) | 2014-02-13 | 2024-03-21 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Dichtigkeitsprüfung eines abgeschlossenen Behälters |
EP3201588B1 (en) | 2014-09-30 | 2023-11-29 | Ft System S.r.l. | Group and method for measuring the pressure in closed containers |
-
2015
- 2015-04-02 SE SE1530046A patent/SE538814C2/sv unknown
-
2016
- 2016-04-04 US US15/563,255 patent/US10101239B2/en active Active
- 2016-04-04 WO PCT/EP2016/057382 patent/WO2016156622A1/en active Application Filing
- 2016-04-04 EP EP16713925.2A patent/EP3278074B1/en active Active
- 2016-04-04 JP JP2017550746A patent/JP2018510346A/ja not_active Ceased
-
2021
- 2021-10-29 JP JP2021177371A patent/JP7300490B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10185752A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-14 | Teijin Seiki Co Ltd | 密封体の漏れ検査方法および装置 |
JP2007508567A (ja) * | 2003-10-15 | 2007-04-05 | ライトハウス インスツルメンツ, エルエルシー | 自動ヘッドスペース分析のためのシステム及び方法 |
JP2006153835A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Kumamoto Univ | 漏洩検査方法および漏洩検査装置 |
JP2010025684A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Ulvac Japan Ltd | ヘリウム検出ユニット |
JP2012526973A (ja) * | 2009-05-11 | 2012-11-01 | ガスポロックス エイビー | 容器内のガスを非侵入的に評価する装置および方法 |
JP2014511995A (ja) * | 2011-03-16 | 2014-05-19 | ノルデン・マシーナリー・アーベー | 漏れ検出方法および装置 |
JP2018510346A (ja) * | 2015-04-02 | 2018-04-12 | ガスポロックス エイビー | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018510346A (ja) | 2018-04-12 |
EP3278074B1 (en) | 2019-06-05 |
SE1530046A1 (sv) | 2016-10-03 |
WO2016156622A1 (en) | 2016-10-06 |
SE538814C2 (sv) | 2016-12-13 |
US10101239B2 (en) | 2018-10-16 |
US20180095000A1 (en) | 2018-04-05 |
JP7300490B2 (ja) | 2023-06-29 |
EP3278074A1 (en) | 2018-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7300490B2 (ja) | 光学的測定による容器の完全性を判定するためのシステムおよび方法 | |
CN101595375B (zh) | 泄漏检测系统和方法 | |
US11378483B2 (en) | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement | |
US7755763B2 (en) | Attenuated total reflection sensor | |
US20230088151A1 (en) | System and method for determining the integrity of containers by optical measurement | |
EP3762699B1 (en) | System and method for determining the integrity of containers | |
Cai et al. | Sensor for headspace pressure and H2O concentration measurements in closed vials by tunable diode laser absorption spectroscopy | |
US20140013824A1 (en) | Method and apparatus for increasing the speed and/or resolution of gas permeation measurements | |
Lundin et al. | Non-intrusive headspace gas measurements by laser spectroscopy–Performance validation by a reference sensor | |
JP7357918B2 (ja) | 包装袋内のガス濃度測定装置 | |
Cocola et al. | Validation of an in-line non-destructive headspace oxygen sensor | |
RU2798257C2 (ru) | Система и способ определения целостности контейнеров путем оптического измерения | |
CN118382795A (zh) | 一种测量容器内气体特性的系统及方法 | |
Chen et al. | Detection of vacuum level inside sealed field emission displays by infra red spectroscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7300490 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |