JP2021533999A - レーザビームを用いてワークを加工するためのレーザ加工システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- レーザビーム(10)を用いてワーク(1)を加工するためのレーザ加工システム(100)であって、
前記レーザビーム(10)を加工ヘッド(101)から放出するための開口部(212)を有するハウジング(210)と、測定ビームを反射するための少なくとも1つの反射性参照体(214)とを備えた加工ヘッド(101)と、
光測定ビーム(13)を、前記開口部(212)を通じて前記ワーク(1)上および前記反射性参照体(214)上に方向付けるように構成された測定デバイス(120)であって、前記光測定ビーム(13)は、前記レーザビーム(10)と実質的に平行に前記開口部(212)を通過する、測定デバイス(120)と、
を備え、
前記測定デバイス(120)は、前記反射性参照体(214)からの前記光測定ビーム(13)の第1の反射(A)、および前記ワーク(1)からの前記光測定ビーム(13)の第2の反射(B)に基づいて、前記加工ヘッド(101)と前記ワーク(1)との間の距離(d1)を決定し、前記第1の反射(A)と前記レーザビームの(10)の加工点からの第3の反射(C)とに基づいて、加工深度および/または加工グラウンドに対する距離を決定するように更に構成されることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。 - 請求項1に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記測定デバイス(120)は、前記反射性参照体(214)と、前記開口部(212)を含む前記加工ヘッド(101)の端部(216)との間の既知のオフセット(z)を考慮に入れながら、前記端部(216)と前記ワーク(1)との間の前記距離(d1)を決定するように構成されることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- 請求項1または2に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記反射性参照体(214)は、前記ハウジング内にかつ/または前記開口部(212)に隣接して配設されることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記光測定ビーム(13)は、前記開口部(212)を通じて前記レーザビーム(10)と同軸に方向付けられることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記ハウジング(210)は、前記開口部(212)および前記反射性参照体(214)を含むノズルを備えることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記測定デバイス(120)は光干渉断層計を備えることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記光測定ビーム(13)は、前記第1の反射(A)、前記第2の反射(B)および前記第3の反射(C)を同時に取得するために、前記ハウジング(210)の前記開口部(212)の直径よりも大きな円径を有する連続測定ビームであることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のレーザ加工システム(100)であって、前記光測定ビーム(13)は2つ以上の部分ビームを含み、少なくとも第1の部分ビームは、前記反射性参照体(214)に対し方向付けることができ、少なくとも第2の部分ビームは、前記開口部(212)に対し方向付けることができることを特徴とする、レーザ加工システム(100)。
- レーザビーム(10)を用いてワーク(1)を加工するための方法(400)であって、
前記レーザビーム(10)を加工ヘッド(101)から放出するための開口部(212)を有するハウジング(210)と、測定ビームを反射するための少なくとも1つの反射性参照体(214)とを備えた加工ヘッド(101)を提供することと、
光測定ビーム(13)を、前記開口部(212)を通じて前記ワーク(1)上および前記反射性参照体(214)上に方向付けること(420)であって、前記光測定ビーム(13)は、前記レーザビーム(10)と少なくとも部分的に平行であることと、
前記少なくとも1つの反射性参照体(214)からの前記光測定ビーム(13)の第1の反射(A)、および前記ワーク(1)からの前記光測定ビーム(13)の第2の反射(B)に基づいて、前記加工ヘッド(101)と前記ワーク(1)との間の距離(d1)を決定し、前記第1の反射(A)と前記レーザビームの(10)の加工点からの第3の反射(C)とに基づいて、加工グラウンドに対する距離および/または加工深度を決定すること(430)と、
を含むことを特徴とする、方法(400)。
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