JP2021168541A - 光スイッチング昇圧コンバータ回路、これを用いた電力伝送方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】入力された光によって高効率で電力を発生させる小型の昇圧コンバータ回路を得る。【解決手段】光電変換素子11の両端にはインダクタLが接続され、インダクタLの両端には、コンデンサCcとダイオードD1がそれぞれ接続される。光スイッチング部10においては、光電変換素子11がパルス状の入力光P1を受光するに際して、入力光P1がオンの間は光電変換素子11に光電流が流れ、オフの間は電流が流れない。この光電流はインダクタLに流れるが、この際、このような電流の変化に伴う自己誘導によって、インダクタLに起電力が発生する。この起電力が光スイッチング部10の出力となる。整流部20は、この出力を整流・平滑化してVOUTとして出力する。【選択図】図1

Description

本発明は、光を受信して電力を発生させる光スイッチング昇圧コンバータ回路、これを用いた電力伝送方法に関する。
電力を無線で伝送する手法として、レーザー光を用いた無線電力伝送技術がある。レーザー光は指向性が高く遠距離でも高強度とすることができ、かつこれを太陽電池等で受光して電力を発生させることができるため、たとえばIoT技術において用いられる各種の電子デバイスを駆動するための電力にこの技術を用いることによって、特にIoT技術の利便性を高めることができる。
この場合には、無線電力伝送技術によって、電子デバイスを駆動させるのに適した電圧で電力を発生させる必要がある。これに対して、一般的な太陽電池単体の出力電圧は1V以下であるため、これを昇圧させる必要がある場合が多い。このための最も単純な昇圧方法として、多数の太陽電池を直列に接続する手法がある。また、直流電圧を昇圧するブーストコンバータ(DC−DCコンバータ)を用いることも可能である。また、特許文献1には、照射する光を周期的なパルス状とし、これを光電変換した交流の出力電圧を変圧器を用いて昇圧する技術が記載されている。
特開平2−179232号公報
多数の太陽電池を直列接続する手法においては、全体の出力は、最も出力の小さな太陽電池の影響により限定されるため、全ての太陽電池から一定以上の出力が一様に得られる場合において有効である。これに対して、上記のようにレーザー光を用いる場合、太陽光で発電する一般的な太陽電池の使用法とは異なり、小さなスポット状のレーザー光による単一の太陽電池からの出力は小さく、かつ各太陽電池からの出力を均一とすることも困難であった。このため、この手法は、特に電力の伝送のためには適用が困難であった。
また、ブーストコンバータを用いる場合には、直流電圧を交流化するための発振回路が必要であり、この発振回路の電源が必要となる。このため、上記のような無線での電力伝送においては、この手法は適用ができない場合があった。
また、特許文献1に記載の技術においては、変圧器を構成する一組の大型のコイルが必要となり、装置構成が大型で重くなった。このため、IoT技術で用いられるような各種の小型の電子デバイス等においては、この技術を適用することは困難であった。また、このように変圧器を用いた場合には、昇圧されるのは交流成分のみであるため、直流成分が重畳した電圧を昇圧する場合には、これを効率的に昇圧することは困難であった。更に、様々な電子デバイスの電源として用いるためには、複数種類の異なる直流電圧が要求される場合もある。こうした場合において、変圧器を用いた場合にはコイルの巻線比で出力電圧が定まるため、複数種類の異なる変圧器が必要となり、利便性が低かった。
このため、入力された光によって高効率で電力を発生させる小型の昇圧コンバータ回路が求められた。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、上記問題点を解決する発明を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
本発明の光スイッチング昇圧コンバータ回路は、入力光を吸収することによって光電流を発生させる光電変換素子と、前記光電変換素子に接続され、強弱の状態が繰り返されて変化する前記光電流が流されるインダクタと、前記インダクタの一端から得られる電圧を、前記光電流が弱い状態における前記インダクタの自己誘導による誘導電圧が取り出されるように整流して直流電力として出力する整流部と、を具備することを特徴とする。
本発明の光スイッチング昇圧コンバータ回路において、前記光電変換素子は、強弱の状態が繰り返されて変化する前記入力光を受光することによって、強弱の状態が繰り返されて変化する前記光電流を前記インダクタに供給することを特徴とする。
本発明の光スイッチング昇圧コンバータ回路において、前記光電変換素子は、連続光である前記入力光を受光し、強弱の状態が繰り返されて変化し前記入力光とは独立したスイッチング光を受光することによって、前記光電流のオン・オフを制御する光スイッチング素子を具備することを特徴とする。
本発明の光スイッチング昇圧コンバータ回路において、前記光電変換素子はpnダイオードであり、前記光スイッチング素子はバイポーラトランジスタであることを特徴とする。
本発明の光スイッチング昇圧コンバータ回路は、半導体基板において形成されたp型またはn型の複数の層を用いて前記pnダイオード及び前記バイポーラトランジスタが前記半導体基板において形成されると共に、前記複数の層のうちの少なくとも一つが前記pnダイオードと前記バイポーラトランジスタの間で共通とされて用いられたことを特徴とする。
本発明の電力伝送方法は、送電側から受電側に電力を伝送する電力伝送方法であって、前記送電側において、伝送される電力を光に変換した入力光を生成して送信し、前記受電側において、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の光スイッチング昇圧コンバータ回路によって前記入力光を受光して前記直流電力を出力させることを特徴とする。
本発明は以上のように構成されているので、入力された光によって高効率で電力を発生させる小型の昇圧コンバータ回路を得ることができる。
本発明の第1の実施の形態に係る光スイッチング昇圧コンバータ回路の回路図である。 本発明の第1の実施の形態における入力光がオンの場合(a)、オフの場合(b)における光スイッチング部を流れる電流を示す図である。 本発明の第1の実施の形態の実施例における入力光のオン・オフの状況とこれに対応したVx、VOUTの時間変化を実測した結果である。 本発明の第1の実施の形態の実施例における出力電圧VOUTと出力POUTの関係を動作周波数毎に測定した結果である。 本発明の第1の実施の形態の実施例において、入力光のデューティ比と出力電圧VOUTの関係を測定した結果である。 本発明の第1の実施の形態の実施例において、出力POUTの動作周波数fMOD依存性を負荷を変えて測定した結果である。 本発明の第1の実施の形態に係る光スイッチング昇圧コンバータ回路の変形例の回路図である。 本発明の第2の実施の形態に係る光スイッチング昇圧コンバータ回路の回路図である。 本発明の第2の実施の形態において用いられる半導体チップの構成を示す断面図(a)、その回路図との間の対応関係を示す図(b)である。 本発明の第2の実施の形態の実施例における入力光のオン・オフの状況とこれに対応したVPV、Vx、VOUTの時間変化を実測した結果である。 本発明の第2の実施の形態の実施例における出力電圧VOUTと出力POUTの関係を動作周波数毎に測定した結果である。 本発明の第2の実施の形態の実施例における出力電圧VOUTと出力POUTの関係をスイッチング光のデューティ比毎に測定した結果である。 本発明の第2の実施の形態に係る光スイッチング昇圧コンバータ回路の第1の変形例の回路図である。 本発明の第2の実施の形態の第1の変形例において用いられる半導体チップの構成を示す断面図(a)、その回路図との間の対応関係を示す図(b)である。 本発明の第2の実施の形態に係る光スイッチング昇圧コンバータ回路の第2の変形例の回路図である。 本発明の第2の実施の形態の第2の変形例において用いられる半導体チップの構成を示す断面図(a)、その回路図との間の対応関係を示す図(b)である。
本発明の実施の形態に係る昇圧コンバータ回路(光スイッチング昇圧コンバータ回路)においては、パルス状に発振されたレーザー光、あるいは連続光とされたレーザー光が入力光として用いられる。この入力光は光電変換素子によって受光され、これによって生成された光電流がインダクタ(コイル)を流れる。このインダクタを流れる光電流は強弱の状態(あるいはオン・オフ)が繰り返されるように制御され、この光電流の強度が低い状態(オフ時)においてインダクタで自己誘導により誘起される誘導電圧が、整流されて出力される。
また、本発明の実施の形態に係る電力伝送方法においては、この入力光は、送電側から受電側に伝送される電力に対応する。上記の昇圧コンバータ回路が、この入力光から上記のように出力される直流電力を出力することによって、この電力が伝送される。この電力伝送方法については以下に説明される昇圧コンバータ回路のいずれを用いた場合につても共通であるため、以下では実施の形態として、主に昇圧コンバータ回路について説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る昇圧コンバータ回路1(光スイッチング昇圧コンバータ回路)の回路図である。この昇圧コンバータ回路1においては、光電変換素子11は、オン・オフの状態が繰り返されたパルス状に変調された入力光P1を受光する。光電変換素子11は、フォトダイオードであり、太陽電池と等価である。光電変換素子11の両端にはインダクタLが接続され、インダクタLの両端には、コンデンサCcとダイオードD1がそれぞれ接続される。ダイオードD1の両端には、ダイオードD2とコンデンサ(電解コンデンサ)Csが接続され、コンデンサCsの両端から出力電圧VOUTが取り出されて負荷LDに供給される。
この構成においては、光電変換素子11とインダクタLで光スイッチング部10が構成され、コンデンサCc、ダイオードD1、ダイオードD2、コンデンサCsで構成される整流部20で、光スイッチング部10からの出力電圧が整流・平滑化されて負荷LDに供給される。これらの構成により、整流部20は、周知の半波倍電圧整流回路として機能する。
光スイッチング部10においては、光電変換素子11がパルス状の入力光P1を受光するに際して、入力光P1がオンの間は光電変換素子11に光電流が流れ、オフの間は電流が流れない。この光電流はインダクタLに流れるが、この際、このような電流の変化に伴う自己誘導によって、インダクタLに起電力(逆起電力)が発生する。この起電力が光スイッチング部10の出力となる。整流部20は、この出力を整流・平滑化してVOUTとして出力する。
図2は、入力光P1のオン(a)、オフ(b)の状況に応じた光スイッチング部10における電流が流れる状況を示す。オンの場合(a)においては、光電変換素子11において光電流が順方向とは逆向きに流れ、この電流はインダクタLを図中に示された向きに流れる。オフの場合(b)においては、この光電流は零となるが、このような変化に際して、インダクタLにはこのようにオンからオフとなる際の電流の変化を打ち消す方向の誘導起電力が自己誘導によって生ずる。この誘導起電力の向きはフォトダイオードである光電変換素子11にとって逆バイアスとなる。
図3は、図1におけるVx、VOUTの時間変化を実測した結果であり、図3における下段は、これに対応した入力光P1のオン、オフの状態を示す。VxはCcを介して取り出された光スイッチング部10の出力電圧であり、VOUTはこの昇圧コンバータ回路1の出力電圧となる。ここで、入力光P1を波長655nm、周波数fMOD(この昇圧コンバータ回路1の動作周波数)を2kHz、デューティ比(1周期内におけるオン時間の周期に対する比率)を50%、最大出力を4.5mWとしたレーザー光とし、インダクタLのインダクタンスを50mH、Ccを1μF、Csを100μF、ダイオードD2のV(順方向電圧降下)を0.2Vとしている。
Vxは入力光P1のオン時には−0.2Vであるのに対し、オフ時には約+1.2Vまで上昇する。この電圧はこれにより順バイアスとなるダイオードD2のVを超えているため、ダイオードD2がオンとなり、平滑化コンデンサとして機能するコンデンサCsによって、VOUTとして約1Vで一定の出力が得られる。
図3において入力光P1がオンからオフになる時刻とVxが立ち上がる時刻との間には、30μs程度の遅延時間が存在する。この遅延時間は、入力光P1がオン時において光スイッチング10において蓄積された電力がその後に放出されるまでの時間に対応し、この遅延時間によって、この昇圧コンバータ回路1の特性の動作周波数依存性が定まる。図4は、この昇圧コンバータ回路1において、負荷LDを変化させてVOUTとこれによる出力(出力される電力)POUTの関係をfMODを1kHz、2kHz、5kHz、10kHzとして測定した結果である。この結果より、fMODには最適値が存在し、この中では2KHzで最も高いPOUTが得られ、特にVOUTが1V程度が最も高効率となる。
また、図5は、fMOD=2kHz、負荷LDを4.7kΩに固定し、入力光P1のデューティ比を変化させた場合におけるVOUTの変化を実測した結果である。この結果より、VOUTはデューティ比で変化し、デューティ比が80%で最大となり、デューティ比が80%よりも大きくなると、VOUTは急激に低下する。これは、前記のような入力光P1がオフになる時刻からVxが立ち上がる時刻までの遅延時間が存在するのに対して、デューティ比が大きくなってオフ時間が短くなり、インダクタLからの起電力が取り出される時間が実質的に短くなったことに起因する。
図6は、このデューティ比を50%に固定し、負荷LDを1kΩ、4.7kΩ、10kΩ、47kΩとして、POUTのfMOD依存性を測定した結果である。この結果より、負荷LDの値によらず、fMODが0〜1.3kHz程度まではfMODの増加に従いPOUTが増大し、fMODがこれを超えるとPOUTが徐々に減少するという共通の傾向が見られる。この1.3KHzという周波数は、光スイッチング部10におけるインダクタLと容量成分とで構成されるLC回路の共振周波数に対応する。
以上より、上記の昇圧コンバータ回路1においては、インダクタLのインダクタンス等、昇圧コンバータ回路1内の構成要素の設定だけでなく、入力光P1におけるfMOD、デューティ比等の調整によって、VOUT、POUTを調整することができる。すなわち、同一の昇圧コンバータ回路1を用いた場合でも、入力光P1の設定によって、その出力特性(VOUT、POUT)を調整することができる。なお、上記の例では整流部20として半波倍電圧整流回路が用いられたが、上記と同様に入力光P1のオフ時におけるインダクタLからの起電力が整流されて出力として取り出される限りにおいて、他の形式の整流回路、例えば半波整流回路等を用いても同様である。
この昇圧コンバータ回路1においては、変圧器は用いられず、代わりに小型のインダクタLが用いられるため、昇圧コンバータ回路1全体を小型軽量化することができる。また、昇圧コンバータ回路1側でクロックを発生させる必要はないため、発振回路は不要である。更に、前記のように、同一の昇圧コンバータ回路1を用いた場合でも、入力光P1の設定によって、その出力特性を調整することができる。このため、各種の電子デバイスの電源としてこの昇圧コンバータ回路1を好ましく用いることができ、上記の入力光P1を光電変換素子11に照射することによって、この昇圧コンバータ回路1に電力を無線で伝送することができる。このように、上記の入力光P1を生成してこの昇圧コンバータ回路1に受光させて直流電圧を発生させる電力伝送方法は、様々な用途に用いることができる。
次に、上記の昇圧コンバータ回路1の変形例について説明する。図7は、この昇圧コンバータ回路2の回路図である。この昇圧コンバータ回路2においては、入力光P0は連続光とされ、これによってインダクタLに流れる電流が光スイッチング部30内でスイッチングされることによって上記と同様の動作が行われる。このスイッチング動作は、入力光P0とは別の光であり前記の入力光P1と同様な周期的なパルス光であるスイッチング光P2の照射によって行われる。スイッチング光P2の周波数は前記の入力光P1におけるfMODに対応する。
ここで用いられる光スイッチング部30では、光電変換素子11とインダクタLとが直列接続されて、npn型の光トランジスタである光スイッチング素子12のコレクタに接続される。光スイッチング素子12のオン・オフはスイッチング光P2のオン・オフで制御され、スイッチング光P2がオンの状態は図2における入力光P1がオンの状態に対応し、スイッチング光P2がオフの状態は図2における入力光P1がオフの状態に対応する。このため、光スイッチング部30からは、図2におけるVxと同様の出力が得られる。
また、ここで用いられる整流部40は、単一のダイオードD2のみによる半波整流回路となっている。ただし、前記の昇圧コンバータ回路1と同様に、整流部40として、他の形式のものを用いることもできる。
この場合において伝送される電力は、連続光である入力光P0に対応し、スイッチング光P2は光スイッチング素子12のスイッチング動作のみのために用いられる。このため、入力光P0のパワーは要求される電力に応じて大きなことが好ましいが、スイッチング光P2のパワーは、光スイッチング素子12のスイッチング動作が可能であれば小さくともよい。入射光P0、スイッチング光P2は、共に前記の入力光P1と同様に、外部から光電変換素子11、光スイッチング素子12に対してそれぞれ照射される。
この構成によれば、昇圧コンバータ回路側の構成をより単純化することができるため、電源としての用途や電力伝送方法における使用が可能な範囲が特に広くなる。また、電力源となる大パワーの入力光P0をパルス変調することは不要となる。パルス変調されたスイッチング光P2の光源を入力光P0の光源とは別に設ける必要があるが、スイッチング光P2に対しては大きなパワーは要求されないため、その光源としては各種のものを用いることが可能である。前記のようなfMOD、デューティ比の調整による出力特性の調整は、スイッチング光P2において行うことができる。
(第2の実施の形態)
上記の昇圧コンバータ回路1、2は、図1、7に示された各構成要素(光電変換素子11、インダクタL等)を図示された回路構成で接続することによって実現することができる。これに対して、第2の実施の形態に係る昇圧コンバータ回路においては、図7の昇圧コンバータ回路2と同様に光電変換素子と光スイッチング素子(光トランジスタ)が用いられるが、ここでは光電変換素子と光スイッチング素子とが共通の半導体基板上に形成されるため、実質的にこれらを1チップ化した素子を用いることができ、全体を特に小型化することができる。
図8は、この昇圧コンバータ回路3の回路図である。図1、7においては接地側が下側とされていたのに対し、便宜上ここでは接地側が上側とされている。ここで用いられる光スイッチング部50で用いられる光スイッチング素子13は、前記のスイッチング素子12とは異なりpnp型の光トランジスタである。これに伴って、前記の昇圧コンバータ回路2とは逆に、出力電圧であるVOUTは負側の電圧となる。また、ここでは光電変換素子11の両端にコンデンサ(電解コンデンサ)Csが接続されている。光電変換素子11に連続光である入力光P0が、光スイッチング素子13にスイッチング光P2がそれぞれ入力し、入力光P0が電力源となる点については同様である。
整流部60においては、前記の整流部40と同様にコンデンサC1、ダイオードD2が用いられるが、前記のような出力電圧の符号が異なることに伴ってダイオードD2の接続箇所及び向きが変更されているが、機能は同様である。
ここで、光電変換素子11と光スイッチング素子13は、これらが共通の半導体基板に形成された半導体チップとして得ることができる。図9(a)は、この半導体チップ70の構成を示す断面図であり、図9(b)は、この場合における回路図(図8)との間の対応関係を示す図である。
図9(a)に示されるように、この半導体基板70Aにおいては、p型基板71の表面において図中左側にn型拡散層72が形成され、図中右側においてn型拡散層72よりも深くn型のnウェル73が形成される。また、n型拡散層72とnウェル73の間には、p型基板71よりも高濃度のp型であるp型拡散層74が形成される。また、nウェル73の中における半導体基板70Aの表面には、p型拡散層75が形成される。
この構造により、図9(b)に示されるように、半導体基板70Aにおいては、p型基板71とn型拡散層72によりpnダイオードが形成され、p型基板71、nウェル73、p型拡散層75によってpnp型のバイポーラトランジスタが形成される。この半導体基板70Aの表面側から光が照射されれば、このpnダイオードを光電変換素子11、このバイポーラトランジスタを光トランジスタ(光スイッチング素子13)とすることができる。p型拡散層74はp型基板71の電位を接地電位に固定するためのコンタクト層として機能し、上記の光電変換素子11と光スイッチング素子13はp型基板71を介して接続される。すなわち、この半導体チップ70を、図8における光電変換素子11と光スイッチング素子13とが一体化された素子として使用することができる。この際、n型拡散層72側には入力光P0、p型拡散層75側にはスイッチング光P2が照射される。
このため、この半導体チップ70に対して、図9(b)に示されたようにコンデンサCs、インダクタL、整流部60が接続されれば、上記の昇圧コンバータ回路3が形成される。
図3と同様に、この昇圧コンバータ回路3において、図8におけるVPV(太陽電池の出力電圧に相当)、Vx(整流部60への入力電圧)、VOUT(出力電圧)を実測した結果を、スイッチング光P2のオン/オフの状態と共に図10に示す。スイッチング光P2のオン/オフの状況は上段に示されている。また、前記の通り、上記の電圧はいずれも負側の値であるため、形状としては図3と上下が逆転している。ここで、入力光P0は波長670nm、2.8mWのレーザー光とされ、スイッチング光P2は波長655nm、fMOD=4kHz、0.175mW(デューティ比50%における平均値)とした。
この結果より、Vx、VOUTとして、図3と同様の特性が得られていることが確認できる。また、VPVよりも大きなVOUTが得られており、インダクタLの使用によって昇圧が行われていることが確認できる。
図11は、この昇圧コンバータ回路3におけるVOUTと出力POUTの関係を、スイッチング光P2のfMODを2kHz、4kHz、6kHzとして測定した結果であり、図4に対応する。この結果より、POUTを大きくするためにはfMODには最適値が存在し、この中では4KHzで最も高いPOUTが得られ、特にVOUTが−0.65V程度が最も高効率となる。
また、図12は、スイッチング光P2のfMODを4kHzと固定し、デューティ比を30%、50%、70%とした場合のPOUTとVOUTの関係を測定した結果である。この結果より、POUTを大きくするためにはデューティ比にも最適値が存在する。デューティ比が大きくなると、POUTの最大値は低下するが、この最大値が得られるVOUTの絶対値は大きくなる。このような傾向も、前記のようなスイッチング光P2がオンからオフになる時刻からVxが立ち上がる時刻までの遅延時間に起因する。
このように、このこの昇圧コンバータ回路3においても、その出力特性をスイッチング光P2の設定によって調整することができる。また、前記のようにこれを特に小型化することができるため、その電源としての用途や電力伝送方法における使用が可能な範囲が特に広くなる。
上記の昇圧コンバータ回路3と同様に、光電変換素子と光スイッチング素子とを1チップ化することを前提とした昇圧コンバータ回路の他の例(第2の実施の形態の変形例)を以下に説明する。
この第1の変形例となる昇圧コンバータ回路4の回路図を図13に、ここで用いられる半導体チップ80の構成を示す断面図(a)、その回路図との対応関係(b)を図14にそれぞれ示す。図13、図14はそれぞれ図8、9に対応する。
図13において、整流部60は前記の昇圧コンバータ回路3と同様である。光スイッチング部51においても、光電変換素子11、pnp型の光トランジスタである光スイッチング素子13、インダクタLが設けられているが、これらの接続が前記の光スイッチング部50とは異なる。ここでは、光スイッチング素子13のベースとエミッタ間に光電変換素子11(pnダイオード)が、光電流がエミッタ・コレクタ間を流れるように接続され、インダクタLがコレクタと光電変換素子11のn側(光スイッチング素子13のベース)と接続されている。この構成においても、光電変換素子11に入力光P0、光スイッチング素子13にスイッチング光P2が照射されれば、スイッチング動作された光電流がインダクタLを流れ、オフ時におけるその誘導電圧が整流部60に出力され、前記の昇圧コンバータ回路3と同様の動作が行われる。
図14(a)に示されるように、この半導体基板80Aにおいては、p型基板81の表面において図中左側にp型基板81よりも高濃度のp型であるp型拡散層82が形成され、図中右側においてn型のnウェル83が深く形成される。また、nウェル83の中には、表面において左側にnウェル83よりも高濃度のn型であるn型拡散層84が、右側にp型拡散層85が形成される。
この構造により、図14(b)に示されるように、半導体基板80Aにおいては、p型基板81とnウェル83によりpnダイオードが形成され、n型拡散層84はこのpnダイオードのn側のコンタクト層となる。一方、p型基板81、nウェル83、p型拡散層85によって、前記の半導体チップ70と同様に、pnp型のバイポーラトランジスタが形成される。この半導体基板80Aの表面側から光が照射されれば、このpnダイオードを光電変換素子11、このバイポーラトランジスタを光トランジスタ(光スイッチング素子13)とすることができる。p型拡散層82はp型基板81の電位を接地電位に固定するためのコンタクト層として機能する。上記の光電変換素子11と光スイッチング素子13はnウェル83を介して接続される。すなわち、この場合にはp型基板81とnウェル83が光電変換素子11と光スイッチング素子13で共通化して用いられた状態で、この半導体チップ80を、図13における光電変換素子11と光スイッチング素子13とが一体化された素子として使用することができる。この際、n型拡散層84側には入力光P0、p型拡散層85側にはスイッチング光P2が照射される。
前記の半導体チップ70(図9)においては、左側に光電変換素子11が、右側に光スイッチング素子13がそれぞれ形成され、共通化されて用いられるp型基板71は両者の電気的接続のための配線層として機能する。これに対し、この半導体チップ80(図14)においては、nウェル83が共通化されているために、光電変換素子11と光スイッチング素子13が共にnウェル83内に形成されるため、共通化されて用いられるnウェル83は、配線層として機能するだけではなく、光電変換素子11におけるn型層、光スイッチング素子13におけるベースとして機能する。このため、前記の半導体チップ70(図9)では光電変換素子11と光スイッチング素子13が左右に分離されて形成されたのに対し、この半導体チップ80(図14)においては、光電変換素子11と光スイッチング素子13とが平面視において部分的に重複して形成されている。このため、この半導体チップ80を特に小型化することができる。
第2の変形例となる昇圧コンバータ回路5の回路図を図15に、ここで用いられる半導体チップ90の構成を示す断面図(a)、その回路図との対応関係(b)を図16に、第1の変形例と同様にそれぞれ示す。
図15においては、出力電圧の符号が前記の昇圧コンバータ回路1、2と同様であり前記の昇圧コンバータ回路4とは逆である。このため、ここでは前記の昇圧コンバータ回路2と同様の整流部40が用いられる。
光スイッチング部52においては、pnダイオードである光電変換素子11と、昇圧コンバータ回路2と同様のnpn型の光トランジスタである光スイッチング素子12と、インダクタLが設けられている。ここでは、光電変換素子11のn側及び光スイッチング素子12のエミッタが接地電位とされ、光電変換素子11のp側がインダクタLを介して光スイッチング素子12のコレクタ側と接続されることによって、光電流がエミッタ・コレクタ間を流れる。この構成においても、光電変換素子11に入力光P0、光スイッチング素子12にスイッチング光P2が照射されれば、スイッチング動作された光電流がインダクタLを流れ、オフ時におけるその誘導電圧が整流部40に出力され、前記の昇圧コンバータ回路3と同様の動作が行われる。
図16(a)に示されるように、この半導体基板90Aにおいては、p型基板91の表面において図中左側にp型基板91よりも高濃度のp型であるp型拡散層92が形成され、図中右側においてn型のnウェル93が深く形成される。また、nウェル93の中には、p型のpウェル94が形成され、更にその中にn型拡散層95が形成される。nウェル93中におけるpウェル94よりも右側にはnウェル93よりも高濃度のn型であるn型拡散層96が形成される。
この構造により、図16(b)に示されるように、半導体基板90Aにおいては、p型基板91とnウェル93によりpnダイオードが形成され、n型拡散層96はnウェルを接地電位とするためのコンタクト層となる。一方、nウェル93、pウェル94、n型拡散層95によって、npn型のバイポーラトランジスタが形成される。この半導体基板90Aの表面側から光が照射されれば、このpnダイオードを光電変換素子11、このバイポーラトランジスタを光トランジスタ(光スイッチング素子12)とすることができる。上記の光電変換素子11と光スイッチング素子12は接地電位とされたnウェル93を介して接続される。すなわち、この場合にはnウェル93が光電変換素子11と光スイッチング素子12で共通化して用いられた状態で、この半導体チップ90を、図15における光電変換素子11と光スイッチング素子12とが一体化された素子として使用することができる。この際、n型拡散層96側には入力光P0、n型拡散層95側にはスイッチング光P2が照射される。
この半導体チップ90においてもnウェル93が光電変換素子11と光スイッチング素子12において共通化されて用いられるために、この半導体チップ90を小型化することができる。ただし、前記の半導体チップ80(図14(b))においては光電変換素子11と光スイッチング素子13がnウェル83内でそれぞれ左側、右側に形成されたのに対し、この半導体チップ90(図16(b))においては、光電変換素子11が下側、光スイッチング素子12が上側となるように積層して形成される。このため、この半導体チップ90の小型化が特に容易となる。
特に上記の半導体チップ80、90に対しては、入力光P0とスイッチング光P2をnウェルの表面における非常に近接した場所に入射させる必要がある。この場合において、スイッチング光P2によって動作する光スイッチング素子のオン・オフの動作に対して、連続光である入力光P0が悪影響を与えないことが好ましい。このためには、入力光P0とスイッチング光P2が半導体基板中で吸収される深さが変わるように、これらの波長を変えることが好ましい。前記の半導体チップ80、90のどちらにおいても、光スイッチング素子は光電変換素子11よりも表面に近い側に形成されるため、この場合には、スイッチング光P2が浅い位置で吸収され、入力光P0が深い位置で吸収されることが好ましく、このためには、例えばスイッチング光P2の波長を短く(例えば405nm:シリコンへの侵入深さが0.2μm程度)、入力光P0の波長を長く(例えば655nm:シリコンへの侵入深さが5μm程度)することができる。
以上のように、光電変換素子、光スイッチング素子はいずれもp型の層とn型の層の組み合わせによって構成されるため、半導体基板における少なくともこれらの層のうちのいずれかを共通化して用いることができる。このような構成は光電変換素子やスイッチング素子の構成に応じて適宜設定が可能であり、上記のようなp型基板やnウェル以外の層を共通化することもできる。また、図14、図16の構成でp型とn型を全て反転させても同様の構成を実現することができる。いずれの場合においても、このように光電変換素子とスイッチング素子の間で共通化される層を設けることによって、これらを単一の半導体基板に形成することが容易となり、この昇圧コンバータ回路を小型化することができる。この際、前記のような入力光、スイッチング光の波長の設定も、この構造に応じて適宜設定される。
また、上記の回路以外の構成においても、インダクタに流される光電流がスイッチング制御され、この電流がオフ時におけるインダクタの起電力が整流、平滑化されて出力できる構成であれば、他の回路構成が可能である。更に、上記の具体的な例ではインダクタに流される光電流のオン・オフが制御されるものとしたが、厳密にはオフ時にこの電流が零となることは不要であり、この電流の強弱が繰り返し制御されていればよい。同様に、スイッチング光についても、光スイッチング素子のオン・オフが制御可能な限りにおいて、その強度のオン・オフが厳密に制御されていることは不要である。
1、2、3、4、5 光スイッチング昇圧コンバータ回路(昇圧コンバータ回路)
10、30、50、51、52 光スイッチング部
11 光電変換部
12、13 光スイッチング素子
20、40、60 整流部
70、80、90 半導体チップ
70A、80A、90A 半導体基板
71、81、91 p型基板
72、84、95、96 n型拡散層
73、83、93 nウェル
74、75、82、85、92 p型拡散層
94 pウェル
L インダクタ
LD 負荷
P0、P1 入力光
P2 スイッチング光

Claims (6)

  1. 入力光を吸収することによって光電流を発生させる光電変換素子と、
    前記光電変換素子に接続され、
    強弱の状態が繰り返されて変化する前記光電流が流されるインダクタと、
    前記インダクタの一端から得られる電圧を、前記光電流が弱い状態における前記インダクタの自己誘導による誘導電圧が取り出されるように整流して直流電力として出力する整流部と、
    を具備することを特徴とする光スイッチング昇圧コンバータ回路。
  2. 前記光電変換素子は、強弱の状態が繰り返されて変化する前記入力光を受光することによって、強弱の状態が繰り返されて変化する前記光電流を前記インダクタに供給することを特徴とする請求項1に記載の光スイッチング昇圧コンバータ回路。
  3. 前記光電変換素子は、連続光である前記入力光を受光し、
    強弱の状態が繰り返されて変化し前記入力光とは独立したスイッチング光を受光することによって、前記光電流のオン・オフを制御する光スイッチング素子を具備することを特徴とする請求項1に記載の光スイッチング昇圧コンバータ回路。
  4. 前記光電変換素子はpnダイオードであり、
    前記光スイッチング素子はバイポーラトランジスタであることを特徴とする請求項3に記載の光スイッチング昇圧コンバータ回路。
  5. 半導体基板において形成されたp型またはn型の複数の層を用いて前記pnダイオード及び前記バイポーラトランジスタが前記半導体基板において形成されると共に、前記複数の層のうちの少なくとも一つが前記pnダイオードと前記バイポーラトランジスタの間で共通とされて用いられたことを特徴とする請求項4に記載の光スイッチング昇圧コンバータ回路。
  6. 送電側から受電側に電力を伝送する電力伝送方法であって、
    前記送電側において、伝送される電力を光に変換した入力光を生成して送信し、
    前記受電側において、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の光スイッチング昇圧コンバータ回路によって前記入力光を受光して前記直流電力を出力させることを特徴とする電力伝送方法。
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