JP2021151707A - Liquid jet head and liquid jet device - Google Patents

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陽平 惠美
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Abstract

To provide a technique that can suppress growth of air bubble accumulating in an ink chamber due to infiltration of air into the ink chamber from the outside through a sealing film.SOLUTION: A liquid jet head comprises: a nozzle surface in which a plurality of nozzles for jetting liquid are formed; a flow passage member that defines a portion of a common liquid chamber communicating with the plurality of nozzles, which has a side wall in which a first opening part communicating with the common liquid chamber is formed; and a first flexible film sealing the first opening part and having flexibility. The first flexible film has a displaceable first compliance region, and the first compliance region is provided below a position separated upward by a distance equal to three fourth of the maximum width of the common liquid chamber in a first direction perpendicular to the nozzle surface from the lowest position of the common liquid chamber.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本開示は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。 The present disclosure relates to a liquid injection head and a liquid injection device.

液体噴射ヘッドに関し、例えば、特許文献1には、ノズルに連通する個別流路に対してインクを供給するインク室が、各個別流路に対して共通に設けられている構成が開示されている。特許文献1に開示されたインク室の側面には、鉛直方向に沿って、可撓性の封止膜が設けられている。この封止膜により、インク室へのインク導入に伴う圧力変動が抑制され、吐出特性への影響が低減される。 Regarding the liquid injection head, for example, Patent Document 1 discloses a configuration in which an ink chamber for supplying ink to individual flow paths communicating with a nozzle is provided in common for each individual flow path. .. A flexible sealing film is provided on the side surface of the ink chamber disclosed in Patent Document 1 along the vertical direction. This sealing film suppresses pressure fluctuations associated with the introduction of ink into the ink chamber and reduces the effect on ejection characteristics.

特開2011−62827号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-62827

上記特許文献1に開示された構成では、インク室内において、インク室の天井壁と封止膜とが接する部分に気泡が滞留することがある。すると、封止膜を介して外部からインク室内に空気が透過し、その空気によって気泡が成長する可能性がある。 In the configuration disclosed in Patent Document 1, air bubbles may stay in a portion of the ink chamber where the ceiling wall of the ink chamber and the sealing film are in contact with each other. Then, air permeates into the ink chamber from the outside through the sealing film, and the air may grow bubbles.

本開示の第1の形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズル面と、前記複数のノズルと連通する共通液室の一部を画定する流路部材であって、前記共通液室に連通する第1開口部が形成された側壁を有する流路部材と、前記第1開口部を封止し、可撓性を有する第1可撓膜と、備え、前記第1可撓膜は、変位可能な第1コンプライアンス領域を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記共通液室の最も下方の位置から前記ノズル面に垂直な第1方向における前記共通液室の最大幅の4分の3の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられる。 According to the first aspect of the present disclosure, a liquid injection head is provided. The liquid injection head is a flow path member that defines a nozzle surface on which a plurality of nozzles for injecting liquid are formed and a part of a common liquid chamber that communicates with the plurality of nozzles, and communicates with the common liquid chamber. A flow path member having a side wall on which the first opening is formed, and a first flexible film that seals the first opening and has flexibility are provided, and the first flexible film is displaced. It has a possible first compliance region, which is 3/4 of the maximum width of the common liquid chamber in the first direction perpendicular to the nozzle surface from the lowest position of the common liquid chamber. It is provided below the position separated by a distance.

本開示の第2の形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズル面と、前記複数のノズルと連通する共通液室の一部を画定する流路部材であって、前記共通液室に連通する第1開口部が形成された側壁を有する流路部材と、前記第1開口部を封止し、可撓性を有する第1可撓膜と、備え、前記第1可撓膜は、変位可能な第1コンプライアンス領域を有し、前記流路部材は、前記共通液室へ液体を導入するために前記共通液室に連通する導入口を有し、前記共通液室は、前記導入口よりも上方となる部分を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記ノズル面に垂直な第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられる。 According to the second aspect of the present disclosure, a liquid injection head is provided. The liquid injection head is a flow path member that defines a nozzle surface on which a plurality of nozzles for injecting a liquid are formed and a part of a common liquid chamber that communicates with the plurality of nozzles, and communicates with the common liquid chamber. A flow path member having a side wall on which the first opening is formed, and a first flexible film that seals the first opening and has flexibility are provided, and the first flexible film is displaced. The flow path member has a possible first compliance region, the flow path member has an introduction port communicating with the common liquid chamber for introducing a liquid into the common liquid chamber, and the common liquid chamber is from the introduction port. The first compliance region is provided below the introduction port in the first direction perpendicular to the nozzle surface.

本開示の第3の形態によれば、上記形態のうちのいずれかの液体噴射ヘッドと、媒体を搬送する搬送部とを備える液体噴射装置が提供される。 According to the third aspect of the present disclosure, a liquid injection device including any of the above-mentioned liquid injection heads and a transport unit for transporting a medium is provided.

第1実施形態の液体噴射装置の概略図である。It is the schematic of the liquid injection apparatus of 1st Embodiment. 液体噴射ヘッドの斜視図である。It is a perspective view of the liquid injection head. 図2のIII−III線における断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 流路部材の側面図である。It is a side view of the flow path member. 第1コンプライアンス領域の配置を示す図である。It is a figure which shows the arrangement of the 1st compliance area. 液体噴射ヘッドの第2〜第5実施形態を示す図である。It is a figure which shows the 2nd to 5th Embodiment of a liquid injection head. 第6実施形態における共通液室の形状を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the shape of the common liquid chamber in 6th Embodiment. 第7実施形態における共通液室の形状を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the shape of the common liquid chamber in 7th Embodiment. 第8実施形態における共通液室の形状を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the shape of the common liquid chamber in 8th Embodiment. 第9実施形態における第1コンプライアンス領域の形態を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the form of the 1st compliance area in 9th Embodiment.

A.第1実施形態:
図1は、第1実施形態の液体噴射装置200の概略図である。第1実施形態において、液体噴射装置200はインクジェット式記録装置である。液体噴射装置200は、液体噴射ヘッド100と、液体供給機構2と、キャリッジ3と、装置本体4と、キャリッジ軸5と、駆動モーター6と、タイミングベルト7と、搬送部8と、制御部400と、を有する。
A. First Embodiment:
FIG. 1 is a schematic view of the liquid injection device 200 of the first embodiment. In the first embodiment, the liquid injection device 200 is an inkjet recording device. The liquid injection device 200 includes a liquid injection head 100, a liquid supply mechanism 2, a carriage 3, a device main body 4, a carriage shaft 5, a drive motor 6, a timing belt 7, a transport unit 8, and a control unit 400. And have.

液体噴射ヘッド100は、液体を吐出するノズルを備える。液体噴射ヘッド100は、キャリッジ3に搭載される。制御部400は、液体噴射装置200全体の動作を制御する。駆動モーター6は、図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に駆動力を伝達する。これにより、液体噴射ヘッド100を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5の軸方向に沿って往復移動される。 The liquid injection head 100 includes a nozzle for discharging a liquid. The liquid injection head 100 is mounted on the carriage 3. The control unit 400 controls the operation of the entire liquid injection device 200. The drive motor 6 transmits a driving force to the carriage 3 via a plurality of gears (not shown) and a timing belt 7. As a result, the carriage 3 on which the liquid injection head 100 is mounted is reciprocated along the axial direction of the carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4.

装置本体4は、筐体を形成する。装置本体4には、媒体を搬送する搬送部8が設けられている。搬送部8は、紙等の記録媒体である記録シートSを搬送するローラーとローラーを駆動するモーターとを備える。搬送部8は、記録シートSを搬送する搬送手段として、ローラーに限らずベルトやドラム等を備えてもよい。本実施形態では、記録シートSの搬送方向に沿った方向をX方向として、搬送方向を−X方向、搬送方向とは逆方向を+X方向とする。また、キャリッジ3の移動方向に沿った方向をY方向とする。また、X方向およびY方向に直交する方向をZ方向とする。−Z方向は鉛直方向であり、液体噴射ヘッド100から液体が吐出される吐出方向である。X方向は、後述する複数のノズルによってノズル列が形成される方向でもある。なお、以下の説明において各方向に符号を付さない場合には、その方向は正方向と負方向の両方を含むことを意味する。 The device body 4 forms a housing. The apparatus main body 4 is provided with a transport unit 8 for transporting the medium. The transport unit 8 includes a roller that transports the recording sheet S, which is a recording medium such as paper, and a motor that drives the roller. The transport unit 8 may include not only a roller but also a belt, a drum, or the like as a transport means for transporting the recording sheet S. In the present embodiment, the direction along the transport direction of the recording sheet S is the X direction, the transport direction is the −X direction, and the direction opposite to the transport direction is the + X direction. Further, the direction along the moving direction of the carriage 3 is defined as the Y direction. Further, the direction orthogonal to the X direction and the Y direction is defined as the Z direction. The −Z direction is the vertical direction, which is the discharge direction in which the liquid is discharged from the liquid injection head 100. The X direction is also a direction in which a nozzle row is formed by a plurality of nozzles described later. In the following description, when each direction is not designated, it means that the direction includes both the positive direction and the negative direction.

液体供給機構2は、液体の一例であるインクが貯留された液体タンクなどの液体貯留機構と、液体を圧送するポンプなどの加圧機構9とを有する。液体供給機構2は、装置本体4に固定されている。加圧機構9は、加圧した液体をフレキシブルチューブ等の供給管1を介して液体噴射ヘッド100に供給する。なお、液体供給機構2は、装置本体4に固定されたものに限定されない。例えば、インクカートリッジ等の液体供給機構2を液体噴射ヘッド100上に保持させて、液体供給機構を液体噴射ヘッド100と共にキャリッジ3で移動させるようにしてもよい。 The liquid supply mechanism 2 includes a liquid storage mechanism such as a liquid tank in which ink, which is an example of liquid, is stored, and a pressurizing mechanism 9 such as a pump that pumps liquid. The liquid supply mechanism 2 is fixed to the apparatus main body 4. The pressurizing mechanism 9 supplies the pressurized liquid to the liquid injection head 100 via a supply pipe 1 such as a flexible tube. The liquid supply mechanism 2 is not limited to the one fixed to the device main body 4. For example, the liquid supply mechanism 2 such as an ink cartridge may be held on the liquid injection head 100, and the liquid supply mechanism may be moved by the carriage 3 together with the liquid injection head 100.

図2は、液体噴射ヘッド100の斜視図である。図2以降の図におけるX方向,Y方向,Z方向は、液体噴射ヘッド100が液体噴射装置200に搭載された状態における方向を示している。Z方向のことを第1方向ともいい、X方向のことを第2方向ともいい、Y方向のことを第3方向ともいう。以下では、−Z方向のことを「下」、+Z方向のことを「上」ともいう。 FIG. 2 is a perspective view of the liquid injection head 100. The X, Y, and Z directions in the drawings after FIG. 2 indicate the directions in which the liquid injection head 100 is mounted on the liquid injection device 200. The Z direction is also referred to as a first direction, the X direction is also referred to as a second direction, and the Y direction is also referred to as a third direction. Hereinafter, the −Z direction is also referred to as “down”, and the + Z direction is also referred to as “up”.

本実施形態における液体噴射ヘッド100は、略直方体形状を有している。液体噴射ヘッド100の−Z方向の端部には、液体を噴射する複数のノズル21が形成されたノズル面24が備えられている。複数のノズル21は、ノズル面24に垂直なZ方向と直交するX方向に沿ってノズル面24に並んでいる。液体噴射ヘッド100の+Z方向の端部には、液体供給機構2から供給された液体を液体噴射ヘッド100内に導入するための液体導入部22が備えられている。また、液体噴射ヘッド100には、制御部400と電気的に接続された配線基板121が備えられている。 The liquid injection head 100 in this embodiment has a substantially rectangular parallelepiped shape. At the end of the liquid injection head 100 in the −Z direction, a nozzle surface 24 on which a plurality of nozzles 21 for injecting liquid are formed is provided. The plurality of nozzles 21 are arranged on the nozzle surface 24 along the X direction orthogonal to the Z direction perpendicular to the nozzle surface 24. At the end of the liquid injection head 100 in the + Z direction, a liquid introduction unit 22 for introducing the liquid supplied from the liquid supply mechanism 2 into the liquid injection head 100 is provided. Further, the liquid injection head 100 is provided with a wiring board 121 electrically connected to the control unit 400.

図3は、図2のIII−III線における断面図である。液体噴射ヘッド100は、流路部材39と、第1可撓膜13と、第1支持板23と、を備える。 FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. The liquid injection head 100 includes a flow path member 39, a first flexible film 13, and a first support plate 23.

流路部材39は、複数のノズル21と連通する共通液室26の一部を画定する部材である。本実施形態において、流路部材39は、ケース部材40と、ケース部材40の−Z方向側の面に接合される連通板15とを含む。ケース部材40の材料としては、例えば、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾールや液晶ポリマーなどの樹脂、もしくは、SUSなどの金属材料、セラミック等を用いることができる。特に、ケース部材40を金属材料によって形成することにより、樹脂で形成するよりもガスバリア性を高めることができる。 The flow path member 39 is a member that defines a part of the common liquid chamber 26 that communicates with the plurality of nozzles 21. In the present embodiment, the flow path member 39 includes a case member 40 and a communication plate 15 joined to the surface of the case member 40 on the −Z direction side. As the material of the case member 40, for example, a resin such as polyparaphenylene benzobisoxazole or a liquid crystal polymer, a metal material such as SUS, ceramic or the like can be used. In particular, by forming the case member 40 with a metal material, the gas barrier property can be enhanced as compared with the case of forming the case member 40 with a resin.

流路部材39は、共通液室26に連通する第1開口部33が形成された側壁34を有する。第1開口部33は、Y方向に沿って外側に開口する。第1開口部33の一部は、Z方向における共通液室26の中心よりも上方に設けられている。流路部材39は、共通液室26の上方に設けられた天井壁35を有している。本実施形態において、Z方向における天井壁35の位置と第1開口部33の上端の位置とは一致している。 The flow path member 39 has a side wall 34 in which a first opening 33 communicating with the common liquid chamber 26 is formed. The first opening 33 opens outward along the Y direction. A part of the first opening 33 is provided above the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction. The flow path member 39 has a ceiling wall 35 provided above the common liquid chamber 26. In the present embodiment, the position of the ceiling wall 35 in the Z direction and the position of the upper end of the first opening 33 coincide with each other.

天井壁35には、導入口44が形成されている。導入口44は、共通液室26へ液体を導入するために共通液室26に連通する開口である。導入口44の流路断面は、例えば、円形である。導入口44の上方には、液体導入部22が配置されている。液体供給機構2から供給された液体は、液体導入部22および導入口44を通じて共通液室26内に導入される。 An introduction port 44 is formed in the ceiling wall 35. The introduction port 44 is an opening that communicates with the common liquid chamber 26 in order to introduce the liquid into the common liquid chamber 26. The flow path cross section of the introduction port 44 is, for example, circular. A liquid introduction unit 22 is arranged above the introduction port 44. The liquid supplied from the liquid supply mechanism 2 is introduced into the common liquid chamber 26 through the liquid introduction unit 22 and the introduction port 44.

共通液室26の下方には、ケース部材40の底部をZ方向に貫くように形成された底部開口部42が配置されている。底部開口部42は、共通液室26の一部を画定している。底部開口部42は、Z方向に見て、X方向に長手方向を有する略矩形状の孔である。本実施形態における共通液室26には、この底部開口部42および後述する第3開口部53が含まれる。Z方向における共通液室26の最大幅W1は、Y方向における共通液室26の最大幅W2よりも大きい。 Below the common liquid chamber 26, a bottom opening 42 formed so as to penetrate the bottom of the case member 40 in the Z direction is arranged. The bottom opening 42 defines a part of the common liquid chamber 26. The bottom opening 42 is a substantially rectangular hole having a longitudinal direction in the X direction when viewed in the Z direction. The common liquid chamber 26 in the present embodiment includes the bottom opening 42 and the third opening 53 described later. The maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction is larger than the maximum width W2 of the common liquid chamber 26 in the Y direction.

共通液室26の第1開口部33に接合される第1可撓膜13は、可撓性を有しており、第1開口部33を封止する封止部分75を有している。第1可撓膜13は、共通液室26の一部の壁面を構成している。第1可撓膜13としては、例えば、ポリフェニレンサルファイド等によって形成された樹脂フィルムや、シリコーンゴム等のゴムを用いることができる。本実施形態において、第1可撓膜13のガスバリア性は、流路部材39のガスバリア性よりも低い。つまり、第1可撓膜13は、ケース部材40や連通板15よりも、気体を透過しやすい性質を有する。第1可撓膜13は、ケース部材40に対して接着されている。 The first flexible film 13 joined to the first opening 33 of the common liquid chamber 26 has flexibility and has a sealing portion 75 for sealing the first opening 33. The first flexible film 13 constitutes a part of the wall surface of the common liquid chamber 26. As the first flexible film 13, for example, a resin film formed of polyphenylene sulfide or the like, or rubber such as silicone rubber can be used. In the present embodiment, the gas barrier property of the first flexible membrane 13 is lower than the gas barrier property of the flow path member 39. That is, the first flexible film 13 has a property of more easily permeating gas than the case member 40 and the communication plate 15. The first flexible film 13 is adhered to the case member 40.

第1支持板23は、第1可撓膜13を挟んで流路部材39とは反対側に積層された部材である。第1支持板23は、共通液室26が位置する側とは反対側から第1可撓膜13を支持する。第1支持板23としては、例えば、SUS等の金属板を用いることができ、第1可撓膜13よりもガスバリア性が高い材料が選択される。第1支持板23には、第2開口部36が形成されている。本実施形態における第2開口部36は、X方向を長手方向とする略矩形形状である。第1支持板23は、第1可撓膜13に対して接着されている。 The first support plate 23 is a member laminated on the side opposite to the flow path member 39 with the first flexible film 13 interposed therebetween. The first support plate 23 supports the first flexible film 13 from the side opposite to the side where the common liquid chamber 26 is located. As the first support plate 23, for example, a metal plate such as SUS can be used, and a material having a gas barrier property higher than that of the first flexible film 13 is selected. A second opening 36 is formed in the first support plate 23. The second opening 36 in the present embodiment has a substantially rectangular shape with the X direction as the longitudinal direction. The first support plate 23 is adhered to the first flexible film 13.

Y方向に沿って外部から第1支持板23を見た場合に、第2開口部36からは、第1可撓膜13が露出している。本実施形態では、第1可撓膜13のうち、第2開口部36から露出した部分が、変位可能な第1コンプライアンス領域27として機能する。つまり、本実施形態において、第2開口部36は、第1可撓膜13の厚さ方向に見て、第1コンプライアンス領域27と重なる部分に設けられた開口である。なお、第1可撓膜13および第1支持板23からなる部材を、「第1コンプライアンス部」あるいは「第1コンプライアンス基板」と呼ぶことができる。 When the first support plate 23 is viewed from the outside along the Y direction, the first flexible film 13 is exposed from the second opening 36. In the present embodiment, the portion of the first flexible film 13 exposed from the second opening 36 functions as the displaceable first compliance region 27. That is, in the present embodiment, the second opening 36 is an opening provided at a portion overlapping the first compliance region 27 when viewed in the thickness direction of the first flexible film 13. The member composed of the first flexible film 13 and the first support plate 23 can be referred to as a "first compliance unit" or a "first compliance substrate".

液体噴射ヘッド100は、更に、流路形成基板10と、連通板15と、ノズルプレート20と、保護基板30と、第2可撓膜46と、第2支持板47とを備える。 The liquid injection head 100 further includes a flow path forming substrate 10, a communication plate 15, a nozzle plate 20, a protective substrate 30, a second flexible film 46, and a second support plate 47.

流路形成基板10は、ステンレス鋼(SUS)やニッケル(Ni)などの金属、ジルコニア(ZrO)あるいはアルミナ(Al)を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム(MgO)、ランタンアルミン酸(LaAlO)のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板10は、シリコン単結晶基板からなる。流路形成基板10には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12がX方向に沿って並設するように形成されている。また、流路形成基板10には、X方向に並設された複数の圧力発生室12からなる列が、Y方向に沿って2列設けられている。 The flow path forming substrate 10 is made of a metal such as stainless steel (SUS) or nickel (Ni) , a ceramic material typified by zirconia (ZrO 2 ) or alumina (Al 2 O 3 ), a glass ceramic material, and magnesium oxide (MgO). , Oxides such as lanthanum aluminic acid (LaAlO 3 ) can be used. In the present embodiment, the flow path forming substrate 10 is made of a silicon single crystal substrate. The flow path forming substrate 10 is formed so that pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are arranged side by side along the X direction by anisotropic etching from one side. Further, the flow path forming substrate 10 is provided with two rows of a plurality of pressure generating chambers 12 arranged side by side in the X direction along the Y direction.

流路形成基板10の−Z方向側には、連通板15と、ノズルプレート20とが順次積層されている。連通板15には、各種の流路が形成されている。ノズルプレート20は、板状の部材である。ノズルプレート20には、ノズルプレート20を貫通するノズル21が形成されている。ノズル21は、記録シートSに液体を吐出するための開口を有する。 A communication plate 15 and a nozzle plate 20 are sequentially laminated on the −Z direction side of the flow path forming substrate 10. Various flow paths are formed in the communication plate 15. The nozzle plate 20 is a plate-shaped member. The nozzle plate 20 is formed with a nozzle 21 that penetrates the nozzle plate 20. The nozzle 21 has an opening for discharging a liquid into the recording sheet S.

連通板15は、平面視で流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。連通板15には、圧力発生室12とノズル21とを連通するノズル連通路16が設けられている。このように圧力発生室12とノズルプレート20との間に連通板15を設けることによってノズルプレート20のノズル21と、流路形成基板10の圧力発生室12とを離せるため、圧力発生室12の中にある液体は、ノズル21付近における水分の蒸発によって生じる液体の増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート20は圧力発生室12とノズル21とを連通するノズル連通路16の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート20の面積を小さくすることができ、また、流路形成基板10の面積を連通板15より小さくできるので、コストの削減を図ることができる。連通板15の材料としては、例えば、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼やニッケルなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックス等を用いることができる。本実施形態では、連通板15は、シリコン単結晶基板からなる。 The communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10 in a plan view, and the nozzle plate 20 has a smaller area than the flow path forming substrate 10. The communication plate 15 is provided with a nozzle communication passage 16 that communicates the pressure generating chamber 12 and the nozzle 21. By providing the communication plate 15 between the pressure generating chamber 12 and the nozzle plate 20 in this way, the nozzle 21 of the nozzle plate 20 and the pressure generating chamber 12 of the flow path forming substrate 10 can be separated from each other, so that the pressure generating chamber 12 The liquid inside is less susceptible to the thickening of the liquid caused by the evaporation of water in the vicinity of the nozzle 21. Further, since the nozzle plate 20 only needs to cover the opening of the nozzle communication passage 16 that communicates the pressure generating chamber 12 and the nozzle 21, the area of the nozzle plate 20 can be reduced, and the flow path forming substrate 10 Since the area can be made smaller than the communication plate 15, the cost can be reduced. As the material of the communication plate 15, for example, a silicon single crystal substrate, a metal such as stainless steel or nickel, or ceramics such as zirconium can be used. In the present embodiment, the communication plate 15 is made of a silicon single crystal substrate.

連通板15は、第1連通路18と第2連通路19と第3開口部53とを有する。本実施形態では、流路形成基板10の複数の圧力発生室12がX方向に沿って並設されている。各圧力発生室12に連通する第1連通路18および第2連通路19は、各圧力発生室12に対して個別に設けられている。第1連通路18は、圧力発生室12の端部から−Z方向に延びて第2連通路19に連通する。第2連通路19は、Y方向に延びて第3開口部53に連通する。第3開口部53は、共通液室26の下方に位置する底部開口部42に連通する。第3開口部53は、連通板15を厚さ方向であるZ方向に貫通して設けられている。第2連通路19は、連通板15を厚さ方向に貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口した凹部として設けられている。第3開口部53の−Z方向の開口形状は、底部開口部42と同様に、X方向に長手方向を有する略矩形状である。 The communication plate 15 has a first communication passage 18, a second communication passage 19, and a third opening 53. In the present embodiment, a plurality of pressure generating chambers 12 of the flow path forming substrate 10 are arranged side by side along the X direction. The first communication passage 18 and the second communication passage 19 communicating with each pressure generating chamber 12 are individually provided for each pressure generating chamber 12. The first communication passage 18 extends from the end of the pressure generating chamber 12 in the −Z direction and communicates with the second communication passage 19. The second communication passage 19 extends in the Y direction and communicates with the third opening 53. The third opening 53 communicates with the bottom opening 42 located below the common liquid chamber 26. The third opening 53 is provided so as to penetrate the communication plate 15 in the Z direction, which is the thickness direction. The second communication passage 19 is provided as a recess opened on the nozzle plate 20 side of the communication plate 15 without penetrating the communication plate 15 in the thickness direction. The opening shape of the third opening 53 in the −Z direction is a substantially rectangular shape having a longitudinal direction in the X direction, similarly to the bottom opening 42.

ノズルプレート20には、各圧力発生室12とノズル連通路16を介して連通するノズル21が形成されている。ノズル21は、X方向に複数設けられることでノズル列を形成する。ノズル列は、Y方向に2列形成されている。ノズル21は、ノズル連通路16、圧力発生室12、第1連通路18、第2連通路19を介して共通液室26と連通する。 The nozzle plate 20 is formed with nozzles 21 that communicate with each pressure generating chamber 12 via the nozzle communication passage 16. A plurality of nozzles 21 are provided in the X direction to form a nozzle row. Two nozzle rows are formed in the Y direction. The nozzle 21 communicates with the common liquid chamber 26 via the nozzle communication passage 16, the pressure generating chamber 12, the first communication passage 18, and the second communication passage 19.

ノズルプレート20の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート20としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート20と連通板15との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。 As the material of the nozzle plate 20, for example, a metal such as stainless steel, an organic substance such as a polyimide resin, a silicon single crystal substrate, or the like can be used. By using a silicon single crystal substrate as the nozzle plate 20, the linear expansion coefficients of the nozzle plate 20 and the communicating plate 15 are made equal, and the occurrence of warpage due to heating and cooling, cracks due to heat, peeling, etc. is suppressed. can do.

流路形成基板10の+Z方向側の面には、振動板50が配置されている。本実施形態では、振動板50は、流路形成基板10側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜と、弾性膜上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜と、を備える。圧力発生室12は、流路形成基板10を一方面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室12の他方面は、振動板50によって壁面が構成される。 A diaphragm 50 is arranged on the surface of the flow path forming substrate 10 on the + Z direction side. In the present embodiment, the diaphragm 50 includes an elastic film made of silicon oxide provided on the flow path forming substrate 10 side and an insulator film made of zirconium oxide provided on the elastic film. The pressure generating chamber 12 is formed by anisotropically etching the flow path forming substrate 10 from one surface side, and the other surface of the pressure generating chamber 12 is formed by a diaphragm 50 as a wall surface.

振動板50の+Z方向側の面には、圧電アクチュエーター300が配置されている。圧電アクチュエーター300は、第1電極と、圧電体層と、第2電極とが積層配置されることで形成される。配線基板121に配置された駆動回路120から、両電極に電圧の印加されることにより、圧電アクチュエーター300に圧電歪みが生じ、振動板50を振動させる。この振動は、圧力発生室12の内部の液体に圧力の変化を発生させる。この圧力変化は、ノズル連通路16を経てノズル21に到達し、液体をノズル21から吐出させる。 A piezoelectric actuator 300 is arranged on the surface of the diaphragm 50 on the + Z direction side. The piezoelectric actuator 300 is formed by laminating the first electrode, the piezoelectric layer, and the second electrode. When a voltage is applied to both electrodes from the drive circuit 120 arranged on the wiring board 121, piezoelectric distortion occurs in the piezoelectric actuator 300, causing the diaphragm 50 to vibrate. This vibration causes a change in pressure in the liquid inside the pressure generating chamber 12. This pressure change reaches the nozzle 21 via the nozzle communication passage 16 and discharges the liquid from the nozzle 21.

流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と平面視での面積において略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。 A protective substrate 30 having substantially the same area as the flow path forming substrate 10 in a plan view is joined to the surface of the flow path forming substrate 10 on the piezoelectric actuator 300 side. The protective substrate 30 has a holding portion 31 which is a space for protecting the piezoelectric actuator 300.

連通板15の上方には、ケース部材40が固定されている。ケース部材40は、連通板15に接合されるとともに、上述した保護基板30にも接合される。ケース部材40は、流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で、凹部41のノズルプレート20側の開口面が、連通板15によって封止されている。 A case member 40 is fixed above the communication plate 15. The case member 40 is joined to the communication plate 15 and also to the protective substrate 30 described above. The case member 40 has a recess 41 having a depth for accommodating the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30. The opening surface of the recess 41 on the nozzle plate 20 side is sealed by the communication plate 15 in a state where the flow path forming substrate 10 and the like are housed in the recess 41.

ケース部材40には、配線基板121が挿通される接続口43+Z方向側の面に設けられている。接続口43は、保護基板30の貫通孔32に連通している。接続口43および貫通孔32を挿通された配線基板121は圧電アクチュエーター300に接続される。 The case member 40 is provided on the surface on the connection port 43 + Z direction side through which the wiring board 121 is inserted. The connection port 43 communicates with the through hole 32 of the protective substrate 30. The wiring board 121 through which the connection port 43 and the through hole 32 are inserted is connected to the piezoelectric actuator 300.

流路部材39は、共通液室26に連通する第3開口部53を有する底壁54を有している。本実施形態において、底壁54は、流路部材39のうちの連通板15に設けられている。本実施形態の液体噴射ヘッド100は、第3開口部53を封止するようにして底壁54に積層される第2可撓膜46を備えている。第2可撓膜46は、可撓性を有している。第2可撓膜46は、例えば、第1可撓膜13と同一の材料により形成される。第2可撓膜46は、底壁54に対して接着されている。 The flow path member 39 has a bottom wall 54 having a third opening 53 that communicates with the common liquid chamber 26. In the present embodiment, the bottom wall 54 is provided on the communication plate 15 of the flow path member 39. The liquid injection head 100 of the present embodiment includes a second flexible film 46 that is laminated on the bottom wall 54 so as to seal the third opening 53. The second flexible film 46 has flexibility. The second flexible film 46 is formed of, for example, the same material as the first flexible film 13. The second flexible film 46 is adhered to the bottom wall 54.

第2可撓膜46を挟んで流路部材39とは反対側には第2支持板47が備えられている。第2支持板47は、第2可撓膜46に接着されている。第2支持板47は、第1連通路18、第2連通路19、第3開口部53が位置する側とは反対側から第2可撓膜46を支持する。第2支持板47は、例えば、第1支持板23と同一の材料により形成される。本実施形態では、第2支持板47の厚みt2は、第1支持板23の厚みt1よりも薄い。換言すれば、第1支持板23の厚みt1は、第2支持板47の厚みt2よりも厚い。第2支持板47には、第4開口部55が形成されている。本実施形態における第4開口部55は、略矩形状であり、複数の第4開口部55が、X方向に沿って並ぶように、第2支持板47に形成されている。第4開口部55のY方向の大きさは、第3開口部53のY方向の大きさ以下である。本実施形態においては、第4開口部55のY方向の大きさは、第3開口部53のY方向の大きさよりも小さい。第3開口部53の少なくとも一部と第4開口部55とは、Z方向において対向する。 A second support plate 47 is provided on the side opposite to the flow path member 39 with the second flexible film 46 interposed therebetween. The second support plate 47 is adhered to the second flexible film 46. The second support plate 47 supports the second flexible film 46 from the side opposite to the side where the first passage 18, the second passage 19, and the third opening 53 are located. The second support plate 47 is formed of, for example, the same material as the first support plate 23. In the present embodiment, the thickness t2 of the second support plate 47 is thinner than the thickness t1 of the first support plate 23. In other words, the thickness t1 of the first support plate 23 is thicker than the thickness t2 of the second support plate 47. A fourth opening 55 is formed in the second support plate 47. The fourth opening 55 in the present embodiment has a substantially rectangular shape, and a plurality of fourth openings 55 are formed on the second support plate 47 so as to be arranged along the X direction. The size of the fourth opening 55 in the Y direction is equal to or less than the size of the third opening 53 in the Y direction. In the present embodiment, the size of the fourth opening 55 in the Y direction is smaller than the size of the third opening 53 in the Y direction. At least a part of the third opening 53 and the fourth opening 55 face each other in the Z direction.

Z方向に沿って外部から第2支持板47を見た場合に、第4開口部55からは、第2可撓膜46が露出している。本実施形態では、第2可撓膜46のうち、第4開口部55から露出した部分が、変位可能な第2コンプライアンス領域28として機能する。つまり、本実施形態において、第4開口部55は、第2可撓膜46の厚さ方向に見て、第2コンプライアンス領域28と重なる部分に設けられた開口である。なお、第2可撓膜46および第2支持板47からなる部材を、「第2コンプライアンス部」あるいは「第2コンプライアンス基板」と呼ぶことができる。第2コンプライアンス領域28の面積は、第1コンプライアンス領域27の面積よりも小さい。換言すれば、第1コンプライアンス領域27の面積は、第2コンプライアンス領域28の面積よりも大きい。なお、第2コンプライアンス領域28の面積とは、複数の第4開口部55の開口面積を合計した面積に等しい。 When the second support plate 47 is viewed from the outside along the Z direction, the second flexible film 46 is exposed from the fourth opening 55. In the present embodiment, the portion of the second flexible film 46 exposed from the fourth opening 55 functions as a displaceable second compliance region 28. That is, in the present embodiment, the fourth opening 55 is an opening provided at a portion overlapping the second compliance region 28 when viewed in the thickness direction of the second flexible film 46. The member composed of the second flexible film 46 and the second support plate 47 can be referred to as a "second compliance unit" or a "second compliance substrate". The area of the second compliance area 28 is smaller than the area of the first compliance area 27. In other words, the area of the first compliance area 27 is larger than the area of the second compliance area 28. The area of the second compliance area 28 is equal to the total area of the opening areas of the plurality of fourth openings 55.

第2可撓膜46および第2支持板47は、+Z方向に見て、連通板15と略同じ大きさを有している。第2可撓膜46および第2支持板47の中央部には、ノズルプレート20が露出する露出開口部45が設けられている。この露出開口部45からノズルプレート20を露出した状態で、第2可撓膜46および第2支持板47は、第1連通路18、第2連通路19、第3開口部53を封止している。 The second flexible film 46 and the second support plate 47 have substantially the same size as the communication plate 15 when viewed in the + Z direction. An exposed opening 45 from which the nozzle plate 20 is exposed is provided at the center of the second flexible film 46 and the second support plate 47. With the nozzle plate 20 exposed from the exposed opening 45, the second flexible film 46 and the second support plate 47 seal the first passage 18, the second passage 19, and the third opening 53. ing.

図4は、流路部材39の側面図である。図4には、第1可撓膜13および第1支持板23が設けられていない状態の流路部材39を−Y方向に見て示している。本実施形態において、共通液室26は、X方向に長尺な内部空間を有している。具体的には、共通液室26のX方向における最大幅W3は、Z方向における最大幅W1およびY方向における最大幅W2よりも大きい。 FIG. 4 is a side view of the flow path member 39. FIG. 4 shows the flow path member 39 in the state where the first flexible film 13 and the first support plate 23 are not provided, as viewed in the −Y direction. In the present embodiment, the common liquid chamber 26 has an internal space long in the X direction. Specifically, the maximum width W3 of the common liquid chamber 26 in the X direction is larger than the maximum width W1 in the Z direction and the maximum width W2 in the Y direction.

流路部材39の天井壁35は、導入口44から離れるに連れて上方へ傾斜する傾斜部56を有している。そのため、流路部材39の第1開口部33の一部は、Z方向において、導入口44よりも上方に設けられている。このような傾斜部56が設けられることにより、共通液室26は、導入口44よりも上方となる部分である上方部分29を有している。本実施形態では、導入口44は、天井壁35の最も下方となる部分である下方部分57に形成されている。 The ceiling wall 35 of the flow path member 39 has an inclined portion 56 that inclines upward as the distance from the introduction port 44 increases. Therefore, a part of the first opening 33 of the flow path member 39 is provided above the introduction port 44 in the Z direction. By providing such an inclined portion 56, the common liquid chamber 26 has an upper portion 29 which is a portion above the introduction port 44. In the present embodiment, the introduction port 44 is formed in the lower portion 57, which is the lowermost portion of the ceiling wall 35.

図5は、第1コンプライアンス領域27の配置を示す図である。図5には、液体噴射ヘッド100を−Y方向に見た状態を示している。図5には、液体噴射ヘッド100内に備えられた共通液室26の範囲を一点鎖線で示している。 FIG. 5 is a diagram showing the arrangement of the first compliance region 27. FIG. 5 shows a state in which the liquid injection head 100 is viewed in the −Y direction. In FIG. 5, the range of the common liquid chamber 26 provided in the liquid injection head 100 is shown by a alternate long and short dash line.

第1コンプライアンス領域27は、共通液室26の最も下方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅W1の4分の3の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられている。換言すれば、第1コンプライアンス領域27は、共通液室26の最も上方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅W1の1/4の距離だけ下方に離れた位置よりも下方に設けられている。更に換言すれば、第1コンプライアンス領域27は、共通液室26の最も上方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅W1の1/4の距離だけ下方に離れた位置までには存在していない。また、本実施形態では、第1コンプライアンス領域27は、Z方向において、導入口44よりも下方に設けられている。なお、本実施形態において、共通液室26の最も下方の位置とは、図3において、第3開口部53の最も下方の位置、すなわち、第2可撓膜46の+Z方向側の面の位置である。 The first compliance region 27 is provided below a position separated upward by a distance of 3/4 of the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction from the lowermost position of the common liquid chamber 26. In other words, the first compliance region 27 is provided below the position separated from the uppermost position of the common liquid chamber 26 by a distance of 1/4 of the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction. ing. In other words, the first compliance region 27 exists from the uppermost position of the common liquid chamber 26 to a position separated downward by a distance of 1/4 of the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction. Not. Further, in the present embodiment, the first compliance region 27 is provided below the introduction port 44 in the Z direction. In the present embodiment, the lowermost position of the common liquid chamber 26 is the lowermost position of the third opening 53, that is, the position of the surface of the second flexible film 46 on the + Z direction side in FIG. Is.

第1コンプライアンス領域27は、X方向及びZ方向において、長手方向及び短手方向を有する。第1コンプライアンス領域27が長手方向及び短手方向を有するとは、第1コンプライアンス領域27の縦横比が1:1以外のものをいう。本実施形態では、第1コンプライアンス領域27は、X方向に長手方向を有しており、Z方向に短手方向を有している。図5には、矩形状の第1コンプライアンス領域27を示しているが、第1コンプライアンス領域27の形状はこれに限らず、例えば、四角形以外の多角形でもよいし、楕円形でもよい。また、多角形状の場合、角部が丸められていてもよい。 The first compliance region 27 has a longitudinal direction and a lateral direction in the X direction and the Z direction. The term that the first compliance region 27 has the longitudinal direction and the lateral direction means that the aspect ratio of the first compliance region 27 is other than 1: 1. In the present embodiment, the first compliance region 27 has a longitudinal direction in the X direction and a lateral direction in the Z direction. Although FIG. 5 shows a rectangular first compliance region 27, the shape of the first compliance region 27 is not limited to this, and may be, for example, a polygon other than a quadrangle or an ellipse. Further, in the case of a polygonal shape, the corners may be rounded.

以上で説明した液体噴射ヘッド100には、第1コンプライアンス領域27と第2コンプライアンス領域28とが設けられている。そのため、第1コンプライアンス領域27によって、共通液室26、特に、底部開口部42よりも上方における共通液室26内の圧力変動を抑制できる。そして、第2コンプライアンス領域によって、連通板15における第3開口部53内の圧力変動を抑制できる。 The liquid injection head 100 described above is provided with a first compliance region 27 and a second compliance region 28. Therefore, the first compliance region 27 can suppress pressure fluctuations in the common liquid chamber 26, particularly in the common liquid chamber 26 above the bottom opening 42. Then, the pressure fluctuation in the third opening 53 in the communication plate 15 can be suppressed by the second compliance region.

共通液室26が第1可撓膜13のみによって封止され、第1可撓膜13が、変位しやすい樹脂フィルム等のような気体を透過する材料で形成されている場合、第1可撓膜13を介して共通液室26内の気泡が成長してしまうおそれがあり、その結果、気泡がノズル21側へ引き込まれてノズルを閉塞し、印字不良を引き起こすおそれがある。また、気泡が大きくなれば、ノズル21のクリーニング時に強制的に排出する液体の量も増大してしまうという問題があった。しかし、本実施形態では、第1可撓膜13と第1支持板23の第2開口部36とによって形成される第1コンプライアンス領域27が、共通液室26全体ではなく、共通液室26の最も下方の位置からの高さの4分の3以下の位置に設けられている。そのため、図5に示すように、共通液室26の上方に気泡101が滞留したとしても、第1コンプライアンス領域27を通じて外部から空気が透過してその空気によって気泡101が成長することを抑制できる。印刷中のように共通液室26内に液体の流れが生じている場合には、第1コンプライアンス領域27を透過した空気はノズル21に向かって流れるためである。特に、本実施形態では、図5に示すように、共通液室26が、導入口44よりも上方となる上方部分29を有しているものの、第1コンプライアンス領域27は、Z方向において、導入口44よりも下方に設けられている。そのため、液体の流れが発生しやすい領域以下の部分に、第1コンプライアンス領域27が設けられることになるので、共通液室26の上方に滞留した気泡が成長することを効果的に抑制できる。 When the common liquid chamber 26 is sealed only by the first flexible film 13, and the first flexible film 13 is made of a material that allows gas to pass through, such as a resin film that is easily displaced, the first flexible film 13 is first flexible. Bubbles in the common liquid chamber 26 may grow through the film 13, and as a result, the bubbles may be drawn toward the nozzle 21 to block the nozzle and cause printing defects. Further, if the bubbles become large, there is a problem that the amount of liquid forcibly discharged when cleaning the nozzle 21 also increases. However, in the present embodiment, the first compliance region 27 formed by the first flexible film 13 and the second opening 36 of the first support plate 23 is not the entire common liquid chamber 26 but the common liquid chamber 26. It is provided at a position of 3/4 or less of the height from the lowest position. Therefore, as shown in FIG. 5, even if the air bubbles 101 stay above the common liquid chamber 26, air can be prevented from permeating from the outside through the first compliance region 27 and the air bubbles 101 from growing due to the air. This is because when a liquid is flowing in the common liquid chamber 26 as in printing, the air that has passed through the first compliance region 27 flows toward the nozzle 21. In particular, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the common liquid chamber 26 has an upper portion 29 that is above the introduction port 44, but the first compliance region 27 is introduced in the Z direction. It is provided below the mouth 44. Therefore, since the first compliance region 27 is provided in the portion below the region where the liquid flow is likely to occur, it is possible to effectively suppress the growth of bubbles staying above the common liquid chamber 26.

また、本実施形態では、図5に示すように、導入口44は、共通液室26の上方に設けられた天井壁35の最も下方となる部分に形成されている。このような構成であれば、導入口44よりも下方に天井壁35が設けられていないので、導入口44よりも下方の部分に気泡が滞留することを抑制でき、効果的に気泡の成長を抑制できる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the introduction port 44 is formed in the lowermost portion of the ceiling wall 35 provided above the common liquid chamber 26. With such a configuration, since the ceiling wall 35 is not provided below the introduction port 44, it is possible to suppress the accumulation of air bubbles in the portion below the introduction port 44, and effectively grow the air bubbles. Can be suppressed.

また、本実施形態では、図3に示すように、第1可撓膜13を挟んで流路部材39とは反対側に積層される第1支持板23を備えており、第1支持板23が、第1可撓膜13の厚さ方向に見て、第1コンプライアンス領域27と重なる部分に設けられた開口である第2開口部36を有している。このように、本実施形態では、第1可撓膜13がその外側に設けられた第1支持板23によって支持されているので、第1可撓膜13が流路部材39から剥離することを抑制できる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, a first support plate 23 is provided which is laminated on the side opposite to the flow path member 39 with the first flexible film 13 sandwiched therein, and the first support plate 23 is provided. However, when viewed in the thickness direction of the first flexible film 13, it has a second opening 36 which is an opening provided at a portion overlapping the first compliance region 27. As described above, in the present embodiment, since the first flexible film 13 is supported by the first support plate 23 provided on the outside thereof, the first flexible film 13 is separated from the flow path member 39. Can be suppressed.

また、本実施形態では、図5に示すように、流路部材39の第1開口部33の一部は、Z方向における共通液室26の中心よりも上方に設けられている。また、第1開口部33の一部は、Z方向において導入口44よりも上方に設けられている。図3に示すように、第1可撓膜13は、この第1開口部33を封止する封止部分75を有しており、第1コンプライアンス領域27は、その封止部分75の一部である。第1支持板23の一部は、封止部分75のうち、第1可撓膜13の厚さ方向において第1コンプライアンス領域27と重なる部分以外と重なっている。このような構成により、第1支持板23の一部が、封止部分75を覆うことで気体の透過を抑制でき、気泡の成長を効果的に抑制できる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, a part of the first opening 33 of the flow path member 39 is provided above the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction. Further, a part of the first opening 33 is provided above the introduction port 44 in the Z direction. As shown in FIG. 3, the first flexible film 13 has a sealing portion 75 that seals the first opening 33, and the first compliance region 27 is a part of the sealing portion 75. Is. A part of the first support plate 23 overlaps with a portion of the sealing portion 75 other than the portion overlapping the first compliance region 27 in the thickness direction of the first flexible film 13. With such a configuration, a part of the first support plate 23 covers the sealing portion 75 to suppress the permeation of gas, and the growth of bubbles can be effectively suppressed.

また、本実施形態では、図5に示すように、流路部材39の天井壁35は、導入口44から離れるに連れて上方へ傾斜する傾斜部56を有している。そのため、この傾斜部56に沿って気泡101を共通液室26の上方部分29へ集めやすく、印刷中にノズル21から気泡が排出されることを抑制できる。上方部分29に溜まった気泡は、例えば、液体噴射装置200に備えられたクリーニング機構を用いて、ノズル21から強制的に液体を吸引する際に除去される。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the ceiling wall 35 of the flow path member 39 has an inclined portion 56 that inclines upward as the distance from the introduction port 44 increases. Therefore, the bubbles 101 can be easily collected in the upper portion 29 of the common liquid chamber 26 along the inclined portion 56, and the bubbles can be suppressed from being discharged from the nozzle 21 during printing. The air bubbles accumulated in the upper portion 29 are removed when the liquid is forcibly sucked from the nozzle 21 by using, for example, the cleaning mechanism provided in the liquid injection device 200.

また、本実施形態では、図3に示すように、Z方向における共通液室26の最大幅W1は、Y方向における共通液室26の最大幅W2よりも大きい。そのため、共通液室26のZ方向における幅が、他の方向における幅の中で最も小さい場合よりも、第1コンプライアンス領域27の面積を大きくでき、共通液室26内における圧力変動を効果的に抑制できる。なお、他の実施形態においては、Z方向における共通液室26の最大幅W1は、Y方向における共通液室26の最大幅W2よりも小さくてもよい。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction is larger than the maximum width W2 of the common liquid chamber 26 in the Y direction. Therefore, the area of the first compliance region 27 can be made larger than the case where the width of the common liquid chamber 26 in the Z direction is the smallest among the widths in the other directions, and the pressure fluctuation in the common liquid chamber 26 can be effectively changed. Can be suppressed. In another embodiment, the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction may be smaller than the maximum width W2 of the common liquid chamber 26 in the Y direction.

また、本実施形態では、液体噴射ヘッド100の側面に沿って設けられた第1コンプライアンス領域27の面積が、ノズル面24に沿った第2コンプライアンス領域28の面積よりも大きい。そのため、面積が大きい第1コンプライアンス領域27を設けることで、圧力変動を効果的に緩和しながらも、液体噴射ヘッド100のノズル面24に沿った方向への大型化を抑制できる。 Further, in the present embodiment, the area of the first compliance region 27 provided along the side surface of the liquid injection head 100 is larger than the area of the second compliance region 28 along the nozzle surface 24. Therefore, by providing the first compliance region 27 having a large area, it is possible to suppress the increase in size of the liquid injection head 100 in the direction along the nozzle surface 24 while effectively mitigating the pressure fluctuation.

また、本実施形態では、第1可撓膜13を支持する第1支持板23の厚みt1は、第2可撓膜46を支持する第2支持板47の厚みt2よりも厚い。このような構成であれば、第2コンプライアンス領域28の面積は大きいので、変位量が大きいものの、第1支持板23を厚くして剛性を高めることができるので、当該変位の応力による第1支持板23の変形を抑制できる。なお、本実施形態では、第1支持板23の厚みt1を第2支持板47の厚みt2よりも厚くすることで、第1支持板23の剛性を高めているが、例えば、第1支持板23の材料と第2支持板47の材料とを異なる材料とすることで、第1支持板23の剛性を高めてもよい。 Further, in the present embodiment, the thickness t1 of the first support plate 23 that supports the first flexible film 13 is thicker than the thickness t2 of the second support plate 47 that supports the second flexible film 46. With such a configuration, since the area of the second compliance region 28 is large, the amount of displacement is large, but the first support plate 23 can be made thicker to increase the rigidity, so that the first support due to the stress of the displacement is obtained. Deformation of the plate 23 can be suppressed. In the present embodiment, the rigidity of the first support plate 23 is increased by making the thickness t1 of the first support plate 23 thicker than the thickness t2 of the second support plate 47. For example, the first support plate The rigidity of the first support plate 23 may be increased by using different materials for the material of the 23 and the material of the second support plate 47.

B.第2〜第5実施形態:
図6は、液体噴射ヘッド100の第2〜第5実施形態を示す図である。図6には、第2実施形態から第5実施形態までの流路部材39および第1可撓膜13の態様と、第1支持板23の態様とを表形式で示している。図6の各部に示すハッチングは、断面ではなく、それぞれが異なる領域であることを示している。
B. Second to fifth embodiments:
FIG. 6 is a diagram showing the second to fifth embodiments of the liquid injection head 100. FIG. 6 shows in tabular form the modes of the flow path member 39 and the first flexible film 13 from the second embodiment to the fifth embodiment and the modes of the first support plate 23. The hatches shown in each part of FIG. 6 indicate that they are different regions, not cross sections.

図6に示す各実施形態においては、表の左側の列に示した流路部材39および第1可撓膜13に対して、表の右側の列に示した第1支持板が重畳して接合される。第2〜第5実施形態において、流路部材39の第1開口部33の全ては、Z方向における共通液室26の中心よりも下方に設けられている。Z方向における共通液室26の中心よりも下方とは、より具体的には、共通液室26の最も下方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅の2分の1の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方という意味である。そのため、第2〜第5実施形態では、第1開口部33のZ方向に沿った幅は、共通液室26のZ方向に沿った幅よりも小さい。なお、図6に示した各実施形態では、天井壁35は傾斜しておらず、X方向に平行であるものとする。 In each embodiment shown in FIG. 6, the first support plate shown in the right column of the table is superposed and joined to the flow path member 39 and the first flexible film 13 shown in the left column of the table. Will be done. In the second to fifth embodiments, all of the first openings 33 of the flow path member 39 are provided below the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction. Below the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction is, more specifically, above the lowest position of the common liquid chamber 26 by a distance of half the maximum width of the common liquid chamber 26 in the Z direction. It means below the position away from. Therefore, in the second to fifth embodiments, the width of the first opening 33 along the Z direction is smaller than the width of the common liquid chamber 26 along the Z direction. In each embodiment shown in FIG. 6, the ceiling wall 35 is not inclined and is parallel to the X direction.

第2実施形態では、第1可撓膜13は、流路部材39の側面全体ではなく、第1開口部33が形成された部分のみを封止している。第1支持板23は、第1開口部33と同様に、Z方向における共通液室の中心よりも下方において、第1開口部33と重なるように第2開口部36を備えている。そのため、第1コンプライアンス領域27は、Z方向における共通液室26の中心よりも下方に設けられる。このような態様であれば、共通液室26の上部に第1コンプライアンス領域27が形成されないので、流路部材39の側面全体が第1コンプライアンス領域27である場合よりも、外部からの気体の透過を抑制できる。また、流路部材39に対する第1支持板23の接着面積を大きくできるので、流路部材39に対する第1可撓膜13の固定力を高めることができる。 In the second embodiment, the first flexible film 13 seals not the entire side surface of the flow path member 39 but only the portion where the first opening 33 is formed. Like the first opening 33, the first support plate 23 includes a second opening 36 below the center of the common liquid chamber in the Z direction so as to overlap the first opening 33. Therefore, the first compliance region 27 is provided below the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction. In such an embodiment, since the first compliance region 27 is not formed in the upper part of the common liquid chamber 26, the permeation of gas from the outside is more than the case where the entire side surface of the flow path member 39 is the first compliance region 27. Can be suppressed. Further, since the adhesive area of the first support plate 23 to the flow path member 39 can be increased, the fixing force of the first flexible film 13 to the flow path member 39 can be increased.

第3実施形態における流路部材39の第1開口部33および第1可撓膜13の配置は、第2実施形態と同じである。第3実施形態では、第2実施形態よりも第1支持板23のZ方向における大きさが小さい。第3実施形態では、第1支持板23は、Z方向における共通液室26の中心よりも下方のみに設けられる。また、第1支持板23は、Z方向において、導入口44よりも下方に設けられる。このような態様であれば、第1支持板23の面積を小さくできるので、液体噴射ヘッド100の製造コストを低減できる。また、第2実施形態と同様に、共通液室26の上方側に第1コンプライアンス領域27が形成されないので、流路部材39の側面全体が第1コンプライアンス領域27である場合よりも、外部からの気体の透過を抑制できる。 The arrangement of the first opening 33 and the first flexible film 13 of the flow path member 39 in the third embodiment is the same as that in the second embodiment. In the third embodiment, the size of the first support plate 23 in the Z direction is smaller than that in the second embodiment. In the third embodiment, the first support plate 23 is provided only below the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction. Further, the first support plate 23 is provided below the introduction port 44 in the Z direction. In such an embodiment, the area of the first support plate 23 can be reduced, so that the manufacturing cost of the liquid injection head 100 can be reduced. Further, as in the second embodiment, since the first compliance region 27 is not formed on the upper side of the common liquid chamber 26, the entire side surface of the flow path member 39 is from the outside as compared with the case where the first compliance region 27 is formed. Permeation of gas can be suppressed.

第4実施形態における流路部材39の第1開口部33および第1支持板23の配置は、第3実施形態と同じである。第4実施形態では、第1可撓膜13が、流路部材39の側面全体を覆っている。このような態様であれば、第1可撓膜13の流路部材39に対する接着力を高めることができる。また、第3実施形態と同様に、第1支持板23の面積を小さくできるので、液体噴射ヘッド100の製造コストを低減できる。また、第2実施形態と同様に、共通液室26の上部に第1コンプライアンス領域27が形成されないので、流路部材39の側面全体が第1コンプライアンス領域27である場合よりも、外部からの気体の透過を抑制できる。 The arrangement of the first opening 33 and the first support plate 23 of the flow path member 39 in the fourth embodiment is the same as that in the third embodiment. In the fourth embodiment, the first flexible film 13 covers the entire side surface of the flow path member 39. In such an embodiment, the adhesive force of the first flexible film 13 to the flow path member 39 can be increased. Further, as in the third embodiment, the area of the first support plate 23 can be reduced, so that the manufacturing cost of the liquid injection head 100 can be reduced. Further, as in the second embodiment, since the first compliance region 27 is not formed in the upper part of the common liquid chamber 26, the gas from the outside is more than the case where the entire side surface of the flow path member 39 is the first compliance region 27. Permeation can be suppressed.

第5実施形態における流路部材39の第1開口部33および第1支持板23の配置は、第2実施形態と同じである。第5実施形態では、第1可撓膜13が、流路部材39の側面全体を覆っている。このような態様であれば、第1可撓膜13の流路部材39に対する接着力を高めることができる。また、第2実施形態と同様に、共通液室26の上部に第1コンプライアンス領域27が形成されないので、流路部材39の側面全体が第1コンプライアンス領域27である場合よりも、外部からの気体の透過を抑制できる。 The arrangement of the first opening 33 and the first support plate 23 of the flow path member 39 in the fifth embodiment is the same as that in the second embodiment. In the fifth embodiment, the first flexible film 13 covers the entire side surface of the flow path member 39. In such an embodiment, the adhesive force of the first flexible film 13 to the flow path member 39 can be increased. Further, as in the second embodiment, since the first compliance region 27 is not formed in the upper part of the common liquid chamber 26, the gas from the outside is more than the case where the entire side surface of the flow path member 39 is the first compliance region 27. Permeation can be suppressed.

上述した第2〜第5実施形態では、天井壁35はX方向に平行であるものとしたが、天井壁35は、第1実施形態と同様に、傾斜部56を備えていてもよい。また、第2〜第5実施形態では、流路部材39の第1開口部33の全てが、Z方向における共通液室26の中心よりも下方に設けられているものとしたが、第1実施形態と同様に、第1開口部33は、共通液室26の最も下方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅の4分の3の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に配置されてもよい。 In the second to fifth embodiments described above, the ceiling wall 35 is parallel to the X direction, but the ceiling wall 35 may include an inclined portion 56 as in the first embodiment. Further, in the second to fifth embodiments, it is assumed that all of the first openings 33 of the flow path member 39 are provided below the center of the common liquid chamber 26 in the Z direction. Similar to the embodiment, the first opening 33 is arranged below the position separated upward by a distance of 3/4 of the maximum width of the common liquid chamber 26 in the Z direction from the lowermost position of the common liquid chamber 26. May be done.

C.第6実施形態:
図7は、第6実施形態における共通液室26の形状を模式的に示す図である。図4に示したように、第1実施形態では、共通液室26の天井壁35が傾斜部56を有している。これに対して、第6実施形態では、図7に示すように、天井壁35が段差形状となっている。より具体的には、導入口44が設けられている部分の天井壁35よりも、上方部分29の天井壁35の高さ高くなるように、天井壁35に段差が形成されている。このような構成であっても、共通液室26の上方部分29に気泡が集まりやすいので、印刷中にノズル21から気泡が排出されることを抑制できる。
C. Sixth Embodiment:
FIG. 7 is a diagram schematically showing the shape of the common liquid chamber 26 in the sixth embodiment. As shown in FIG. 4, in the first embodiment, the ceiling wall 35 of the common liquid chamber 26 has an inclined portion 56. On the other hand, in the sixth embodiment, as shown in FIG. 7, the ceiling wall 35 has a stepped shape. More specifically, a step is formed in the ceiling wall 35 so that the height of the ceiling wall 35 in the upper portion 29 is higher than that in the ceiling wall 35 in the portion where the introduction port 44 is provided. Even with such a configuration, since air bubbles are likely to collect in the upper portion 29 of the common liquid chamber 26, it is possible to suppress the air bubbles from being discharged from the nozzle 21 during printing.

D.第7実施形態:
図8は、第7実施形態における共通液室26の形状を模式的に示す図である。第7実施形態では、第1実施形態と同様に、天井壁35が傾斜部56を有している。第1実施形態では、図4に示したように、導入口44が、天井壁35の最も下方となる位置に形成されているが、第4実施形態では、導入口44は、天井壁35の最も下方となる位置ではない位置、すなわち、傾斜部56の途中の部分に形成されている。このような構成であっても、共通液室26の上方部分29に気泡が集まりやすいので、印刷中にノズル21から気泡が排出されることを抑制できる。
D. Seventh Embodiment:
FIG. 8 is a diagram schematically showing the shape of the common liquid chamber 26 in the seventh embodiment. In the seventh embodiment, the ceiling wall 35 has the inclined portion 56 as in the first embodiment. In the first embodiment, as shown in FIG. 4, the introduction port 44 is formed at the lowermost position of the ceiling wall 35, but in the fourth embodiment, the introduction port 44 is the ceiling wall 35. It is formed at a position other than the lowermost position, that is, a portion in the middle of the inclined portion 56. Even with such a configuration, since air bubbles are likely to collect in the upper portion 29 of the common liquid chamber 26, it is possible to suppress the air bubbles from being discharged from the nozzle 21 during printing.

E.第8実施形態:
図9は、第8実施形態における共通液室26の形状を模式的に示す図である。第8実施形態では、第1実施形態と同様に、天井壁35が、導入口44から離れるに連れて上方へ傾斜する傾斜部56を有しているものの、この傾斜部56が、X方向において天井壁35のほぼ中央に設けられた導入口44の位置を境に、+X方向と−X方向の両側に配置されている。このような形態であっても、共通液室26の+X方向側と−X方向側の2箇所の上方部分29に気泡が集まりやすいので、印刷中にノズル21から気泡が排出されることを抑制できる。
E. Eighth embodiment:
FIG. 9 is a diagram schematically showing the shape of the common liquid chamber 26 in the eighth embodiment. In the eighth embodiment, as in the first embodiment, the ceiling wall 35 has an inclined portion 56 that inclines upward as it moves away from the introduction port 44, but the inclined portion 56 is in the X direction. It is arranged on both sides in the + X direction and the −X direction with the position of the introduction port 44 provided at the center of the ceiling wall 35 as a boundary. Even in such a form, air bubbles are likely to collect in the two upper portions 29 on the + X direction side and the −X direction side of the common liquid chamber 26, so that air bubbles are suppressed from being discharged from the nozzle 21 during printing. can.

F.第9実施形態:
図10は、第9実施形態における第1コンプライアンス領域27の形態を模式的に示す斜視図である。第9実施形態では、第1支持板23は、第2開口部36の縁部から第2開口部36の内側にZ方向に沿って突出する突出部70を有している。突出部70は、第2開口部36の+Z方向側の縁部から−Z方向に突出する第1突出部71と、−第2開口部36の−Z方向側の縁部から+Z方向に突出する第2突出部72とを含む。Z方向において、第1突出部71と第2突出部72との間には、隙間が形成されている。突出部70は、X方向に等間隔に複数設けられている。このような突出部70が第2開口部36に設けられていることにより、第1コンプライアンス領域27が必要以上に撓むことを抑制できる。また、第1突出部71と第2突出部72との間に隙間が設けられていることにより、第1コンプライアンス領域27の変位応答性を高めることができる。なお、突出部70は、第1突出部71と第2突出部72とに分離されているのではなく、Z方向に沿って第2開口部36を跨ぐように延びる直線状の形態であってもよい。
F. Ninth embodiment:
FIG. 10 is a perspective view schematically showing the form of the first compliance region 27 in the ninth embodiment. In the ninth embodiment, the first support plate 23 has a protrusion 70 that protrudes from the edge of the second opening 36 to the inside of the second opening 36 along the Z direction. The protrusion 70 protrudes in the + Z direction from the first protrusion 71 that protrudes in the −Z direction from the + Z direction edge of the second opening 36 and the −Z direction edge of the −2 opening 36. Includes a second protruding portion 72 to be formed. In the Z direction, a gap is formed between the first protruding portion 71 and the second protruding portion 72. A plurality of protrusions 70 are provided at equal intervals in the X direction. By providing such a protruding portion 70 in the second opening 36, it is possible to prevent the first compliance region 27 from bending more than necessary. Further, by providing a gap between the first protruding portion 71 and the second protruding portion 72, the displacement responsiveness of the first compliance region 27 can be improved. The protrusion 70 is not separated into the first protrusion 71 and the second protrusion 72, but has a linear shape extending so as to straddle the second opening 36 along the Z direction. May be good.

G.他の実施形態:
(G−1)上記実施形態において、図3に示す第2支持板47の下方には、ノズルプレート20の周囲に、カバー部材が設けられてもよい。カバー部材の外周端は、液体噴射ヘッド100の側面の下方を覆うように、上方に屈曲されていてもよい。このようなカバー部材が設けられていれば、液体噴射ヘッド100のノズル面24側、特に、第2コンプライアンス領域28を保護することができる。なお、第2可撓膜46の第2コンプライアンス領域28が変位できるように、カバー部材と第2可撓膜46と第2支持板47の第4開口部55とで画定される空間は大気開放されているのが望ましい。
G. Other embodiments:
(G-1) In the above embodiment, a cover member may be provided around the nozzle plate 20 below the second support plate 47 shown in FIG. The outer peripheral edge of the cover member may be bent upward so as to cover the lower side of the side surface of the liquid injection head 100. If such a cover member is provided, it is possible to protect the nozzle surface 24 side of the liquid injection head 100, particularly the second compliance region 28. The space defined by the cover member, the second flexible film 46, and the fourth opening 55 of the second support plate 47 is open to the atmosphere so that the second compliance region 28 of the second flexible film 46 can be displaced. It is desirable that it is done.

(G−2)上記実施形態では、共通液室26には、上方部分29が設けられている。これに対して、上方部分29は備えられていなくてもよい。つまり、天井壁35は、水平な壁であってもよい。 (G-2) In the above embodiment, the common liquid chamber 26 is provided with an upper portion 29. On the other hand, the upper portion 29 may not be provided. That is, the ceiling wall 35 may be a horizontal wall.

(G−3)上記実施形態では、液体噴射ヘッド100に対して、第1コンプライアンス領域27と第2コンプライアンス領域28との両方が備えられている。これに対して、液体噴射ヘッド100は、第2コンプライアンス領域28を備えていなくてもよい。 (G-3) In the above embodiment, the liquid injection head 100 is provided with both the first compliance region 27 and the second compliance region 28. On the other hand, the liquid injection head 100 does not have to include the second compliance region 28.

(G−4)上記実施形態において、流路部材39に対して第1可撓膜13および第1支持板23を接着する接着剤の剥離強度は、流路部材39に対して第2可撓膜46および第2支持板47を接着する接着剤の剥離強度よりも大きくてもよい。このような構成であれば、変位量が大きい第1コンプライアンス領域27を構成する第1可撓膜13および第1支持板23の流路部材39からの剥離を引き起こしにくい。このような剥離強度の関係を実現するため、例えば、第1可撓膜13および第1支持板23に使用する接着剤として、変成シリコーン/エポキシ樹脂系−液湿気効果型接着剤を用いることができ、第2可撓膜46および第2支持板47に使用する接着剤として、エポキシ樹脂混合物を用いることができる。接着剤の剥離強度は、例えば、表面・界面物性解析装置を用いることにより測定することができる。 (G-4) In the above embodiment, the peel strength of the adhesive that adheres the first flexible film 13 and the first support plate 23 to the flow path member 39 is the second flexibility with respect to the flow path member 39. It may be larger than the peel strength of the adhesive that adheres the film 46 and the second support plate 47. With such a configuration, it is unlikely that the first flexible film 13 and the first support plate 23 forming the first compliance region 27 having a large displacement amount are peeled off from the flow path member 39. In order to realize such a relationship of peel strength, for example, a modified silicone / epoxy resin-based-liquid moisture effect type adhesive may be used as the adhesive used for the first flexible film 13 and the first support plate 23. The epoxy resin mixture can be used as the adhesive used for the second flexible film 46 and the second support plate 47. The peel strength of the adhesive can be measured, for example, by using a surface / interface physical characteristic analyzer.

(G−5)上記実施形態では、第1コンプライアンス領域27は、共通液室26の最も下方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅W1の4分の3の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられている。これに対して、気泡の成長を抑制する観点から、第1コンプライアンス領域27は、共通液室26の最も下方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅W1の3分の2の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられていることがより好ましい。また、第1コンプライアンス領域27は、共通液室26の最も下方の位置からZ方向における共通液室26の最大幅W1の2分の1の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられていることが気泡の成長を抑制する観点から更に好ましい。 (G-5) In the above embodiment, the first compliance region 27 is separated upward by a distance of 3/4 of the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction from the lowest position of the common liquid chamber 26. It is provided below the position. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the growth of bubbles, the first compliance region 27 is only a distance of two-thirds of the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction from the lowest position of the common liquid chamber 26. It is more preferable that the position is provided below the position separated upward. Further, the first compliance region 27 is provided below a position separated upward by a distance of half the maximum width W1 of the common liquid chamber 26 in the Z direction from the lowermost position of the common liquid chamber 26. It is more preferable from the viewpoint of suppressing the growth of bubbles.

(G−6)第4開口部55は、+Z方向に見て、第1連通路18、第2連通路19および第3開口部53と重なる位置に設けられていてもよい。また、第4開口部55のY方向の大きさは、第1連通路18、第2連通路19、第3開口部53の各Y方向の大きさの合計と同じであってもよい。 (G-6) The fourth opening 55 may be provided at a position overlapping the first passage 18, the second passage 19, and the third opening 53 when viewed in the + Z direction. Further, the size of the fourth opening 55 in the Y direction may be the same as the total size of the first passage 18, the second passage 19, and the third opening 53 in the Y direction.

H.他の形態:
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、以下に記載する各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
H. Other forms:
The present disclosure is not limited to the above-described embodiment, and can be realized by various configurations within a range not deviating from the gist thereof. For example, the technical features of the embodiments corresponding to the technical features in each of the embodiments described below may solve some or all of the above problems, or achieve some or all of the above effects. Therefore, it is possible to replace or combine them as appropriate. Further, if the technical feature is not described as essential in the present specification, it can be deleted as appropriate.

(1)本開示の第1の形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズル面と、前記複数のノズルと連通する共通液室の一部を画定する流路部材であって、前記共通液室に連通する第1開口部が形成された側壁を有する流路部材と、前記第1開口部を封止し、可撓性を有する第1可撓膜と、備え、前記第1可撓膜は、変位可能な第1コンプライアンス領域を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記共通液室の最も下方の位置から前記ノズル面に垂直な第1方向における前記共通液室の最大幅の4分の3の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられる。
このような形態によれば、共通液室の高さの4分の3以下の位置に第1コンプライアンス領域が設けられているため、共通液室の上方に気泡が滞留した場合でも、その気泡の成長を抑制できる。
(1) According to the first aspect of the present disclosure, a liquid injection head is provided. The liquid injection head is a flow path member that defines a nozzle surface on which a plurality of nozzles for injecting liquid are formed and a part of a common liquid chamber that communicates with the plurality of nozzles, and communicates with the common liquid chamber. A flow path member having a side wall on which the first opening is formed, and a first flexible film that seals the first opening and has flexibility are provided, and the first flexible film is displaced. It has a possible first compliance region, which is 3/4 of the maximum width of the common liquid chamber in the first direction perpendicular to the nozzle surface from the lowest position of the common liquid chamber. It is provided below the position separated by a distance.
According to such a form, since the first compliance region is provided at a position of 3/4 or less of the height of the common liquid chamber, even if air bubbles stay above the common liquid chamber, the air bubbles remain. Growth can be suppressed.

(2)上記形態において、前記第1コンプライアンス領域は、前記共通液室の最も下方の位置から前記第1方向における前記共通液室の最大幅の2分の1の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられてもよい。このような形態であれば、気泡が成長する可能性をより低減できる。 (2) In the above embodiment, the first compliance region is separated from the lowest position of the common liquid chamber by a distance of half the maximum width of the common liquid chamber in the first direction. May be provided below. With such a form, the possibility of bubbles growing can be further reduced.

(3)上記形態において、前記流路部材は、前記共通液室へ液体を導入するために前記共通液室に連通する導入口を有し、前記共通液室は、前記導入口よりも上方となる部分を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられてもよい。このような形態であれば、液体の流れが発生しやすい領域以下の部分に、第1コンプライアンス領域が設けられるので、共通液室の上方に滞留した気泡の成長を効果的に抑制できる。 (3) In the above embodiment, the flow path member has an introduction port communicating with the common liquid chamber for introducing a liquid into the common liquid chamber, and the common liquid chamber is above the introduction port. The first compliance area may be provided below the introduction port in the first direction. In such a form, since the first compliance region is provided in the portion below the region where the liquid flow is likely to occur, the growth of bubbles staying above the common liquid chamber can be effectively suppressed.

(4)本開示の第2の形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズル面と、前記複数のノズルと連通する共通液室の一部を画定する流路部材であって、前記共通液室に連通する第1開口部が形成された側壁を有する流路部材と、前記第1開口部を封止し、可撓性を有する第1可撓膜と、備え、前記第1可撓膜は、変位可能な第1コンプライアンス領域を有し、前記流路部材は、前記共通液室へ液体を導入するために前記共通液室に連通する導入口を有し、前記共通液室は、前記導入口よりも上方となる部分を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記ノズル面に垂直な第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられる。
このような形態であれば、液体の流れが発生しやすい領域以下の部分に、第1コンプライアンス領域が設けられるので、共通液室の上方に気泡が滞留した場合でも、その気泡の成長を抑制できる。
(4) According to the second aspect of the present disclosure, a liquid injection head is provided. The liquid injection head is a flow path member that defines a nozzle surface on which a plurality of nozzles for injecting a liquid are formed and a part of a common liquid chamber that communicates with the plurality of nozzles, and communicates with the common liquid chamber. A flow path member having a side wall on which the first opening is formed, and a first flexible film that seals the first opening and has flexibility are provided, and the first flexible film is displaced. The flow path member has a possible first compliance region, the flow path member has an introduction port communicating with the common liquid chamber for introducing a liquid into the common liquid chamber, and the common liquid chamber is from the introduction port. The first compliance region is provided below the introduction port in the first direction perpendicular to the nozzle surface.
In such a form, since the first compliance region is provided in the portion below the region where the liquid flow is likely to occur, even if bubbles stay above the common liquid chamber, the growth of the bubbles can be suppressed. ..

(5)上記形態において、前記流路部材は、前記共通液室の上方に設けられた天井壁を有し、前記導入口は、前記天井壁の最も下方となる部分に形成された開口であってもよい。このような形態であれば、導入口よりも下方に天井壁が設けられないので、導入口よりも下方の部分に気泡が滞留することを抑制でき、効果的に気泡の成長を抑制できる。 (5) In the above embodiment, the flow path member has a ceiling wall provided above the common liquid chamber, and the introduction port is an opening formed in the lowermost portion of the ceiling wall. You may. In such a form, since the ceiling wall is not provided below the introduction port, it is possible to suppress the accumulation of air bubbles in the portion below the introduction port, and it is possible to effectively suppress the growth of air bubbles.

(6)上記形態において、前記第1可撓膜を挟んで前記流路部材とは反対側に積層される第1支持板を備え、前記第1支持板は、前記第1可撓膜の厚さ方向に見て、前記第1コンプライアンス領域と重なる部分に設けられた開口である第2開口部を有してもよい。このような形態であれば、第1支持板が備えられているので、第1可撓膜が流路部材から剥離することを抑制できる。 (6) In the above embodiment, the first support plate is provided on the side opposite to the flow path member with the first flexible film interposed therebetween, and the first support plate has the thickness of the first flexible film. It may have a second opening which is an opening provided in a portion overlapping the first compliance region when viewed in the longitudinal direction. In such a form, since the first support plate is provided, it is possible to prevent the first flexible film from peeling from the flow path member.

(7)上記形態において、前記第1開口部の一部は、前記第1方向における前記共通液室の中心よりも上方に設けられ、前記第1可撓膜は、前記第1開口部を封止する封止部分を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記封止部分の一部であり、前記第1支持板の一部は、前記封止部分のうち、前記厚さ方向において前記第1コンプライアンス領域と重なる部分以外と重なってもよい。このような形態であれば、第1支持板の一部が、封止部分を覆うことで気体の透過を抑制でき、気泡の成長を効果的に抑制できる。 (7) In the above embodiment, a part of the first opening is provided above the center of the common liquid chamber in the first direction, and the first flexible membrane seals the first opening. The first compliance region has a sealing portion to be stopped, the first compliance region is a part of the sealing portion, and a part of the first support plate is the first of the sealing portions in the thickness direction. 1 It may overlap with a part other than the part that overlaps with the compliance area. In such a form, a part of the first support plate covers the sealing portion to suppress the permeation of gas, and the growth of bubbles can be effectively suppressed.

(8)上記形態において、前記第1開口部の一部は、前記第1方向において、前記導入口よりも上方に設けられ、前記第1可撓膜は、前記第1開口部を封止する封止部分を有し、前記第1コンプライアンス領域は、前記封止部分の一部であり、前記第1支持板の一部は、前記封止部分のうち、前記厚さ方向において前記第1コンプライアンス領域と重なる部分以外と重なってもよい。このような形態であれば、第1支持板の一部が、封止部分を覆うことで気体の透過を抑制でき、気泡の成長を効果的に抑制できる。 (8) In the above embodiment, a part of the first opening is provided above the introduction port in the first direction, and the first flexible film seals the first opening. Having a sealing portion, the first compliance region is a part of the sealing portion, and a part of the first support plate is the first compliance of the sealing portion in the thickness direction. It may overlap with a part other than the part that overlaps with the area. In such a form, a part of the first support plate covers the sealing portion to suppress the permeation of gas, and the growth of bubbles can be effectively suppressed.

(9)上記形態において、前記第1開口部は、前記第1方向における前記共通液室の中心よりも下方に設けられてもよい。このような形態であれば、共通液室の上部には第1コンプライアンス領域が形成されていないので、全面が第1コンプライアンス領域である場合よりも、外部からの気体の透過を抑制できる。 (9) In the above embodiment, the first opening may be provided below the center of the common liquid chamber in the first direction. In such a form, since the first compliance region is not formed in the upper part of the common liquid chamber, the permeation of gas from the outside can be suppressed as compared with the case where the entire surface is the first compliance region.

(10)上記形態において、前記第1支持板は、前記第1方向における前記共通液室の中心よりも下方に設けられてもよい。このような形態であれば、第1支持板の面積を小さくできるので製造コストを低減できる。 (10) In the above embodiment, the first support plate may be provided below the center of the common liquid chamber in the first direction. With such a form, the area of the first support plate can be reduced, so that the manufacturing cost can be reduced.

(11)上記形態において、前記第1開口部は、前記第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられてもよい。このような形態であれば、導入口よりも上方側には第1コンプライアンス領域が形成されていないので、全面が第1コンプライアンス領域である場合よりも、外部からの気体の透過を抑制できる。 (11) In the above embodiment, the first opening may be provided below the introduction port in the first direction. In such a form, since the first compliance region is not formed on the upper side of the introduction port, it is possible to suppress the permeation of gas from the outside as compared with the case where the entire surface is the first compliance region.

(12)上記形態において、前記第1支持板は、前記第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられてもよい。このような形態であれば、第1支持板の面積を小さくできるので製造コストを低減できる。 (12) In the above embodiment, the first support plate may be provided below the introduction port in the first direction. With such a form, the area of the first support plate can be reduced, so that the manufacturing cost can be reduced.

(13)上記形態において、前記流路部材は、前記共通液室の上方に設けられた天井壁を有し、前記天井壁は、前記導入口から離れるに連れて上方へ傾斜する傾斜部を有してもよい。このような形態であれば、傾斜部に沿って気泡を上方へ集めやすい。 (13) In the above embodiment, the flow path member has a ceiling wall provided above the common liquid chamber, and the ceiling wall has an inclined portion that inclines upward as the distance from the introduction port increases. You may. With such a form, it is easy to collect bubbles upward along the inclined portion.

(14)上記形態において、前記第1可撓膜のガスバリア性は、前記流路部材のガスバリア性よりも低くてもよい。 (14) In the above embodiment, the gas barrier property of the first flexible membrane may be lower than the gas barrier property of the flow path member.

(15)上記形態において、前記複数のノズルは、前記第1方向と直交する第2方向に沿って並んでおり、前記第1方向における前記共通液室の最大幅は、前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向における前記共通液室の最大幅よりも大きくてもよい。このような形態であれば、共通液室の第1方向における幅が、第2方向および第3方向における幅に比べて最も小さい場合よりも、第1コンプライアンス領域の面積を大きくできる。 (15) In the above embodiment, the plurality of nozzles are arranged along a second direction orthogonal to the first direction, and the maximum width of the common liquid chamber in the first direction is the first direction and the said. It may be larger than the maximum width of the common liquid chamber in the third direction orthogonal to the second direction. In such a form, the area of the first compliance region can be made larger than the case where the width of the common liquid chamber in the first direction is the smallest as compared with the width in the second and third directions.

(16)上記形態において、前記流路部材は、前記共通液室に連通する第3開口部を有する底壁を有し、前記液体噴射ヘッドは、前記第3開口部を封止するようにして前記底壁に積層される、可撓性を有する第2可撓膜を備え、前記第2可撓膜は、変位可能な第2コンプライアンス領域を有し、前記第1コンプライアンス領域の面積は、前記第2コンプライアンス領域の面積よりも大きくてもよい。このような形態であれば、面積が大きい第1コンプライアンス領域を設けることで、圧力変動を効果的に緩和しながらも、液体噴射ヘッドのノズル面に沿った方向への大型化を抑制できる。 (16) In the above embodiment, the flow path member has a bottom wall having a third opening communicating with the common liquid chamber, and the liquid injection head seals the third opening. A flexible second flexible film laminated on the bottom wall is provided, the second flexible film has a displaceable second compliance region, and the area of the first compliance region is the said. It may be larger than the area of the second compliance area. In such a form, by providing the first compliance region having a large area, it is possible to suppress the increase in size of the liquid injection head in the direction along the nozzle surface while effectively mitigating the pressure fluctuation.

(17)上記形態において、前記第2可撓膜を挟んで前記流路部材とは反対側に積層される第2支持板を備え、前記第2支持板は、前記第2可撓膜の厚さ方向に見て、前記第2コンプライアンス領域と重なる部分に設けられた開口である第4開口部を有し、前記第1支持板の厚みは、前記第2支持板の厚みよりも厚くてもよい。このような形態であれば、第2コンプライアンス領域の面積は大きいので、変位量が大きいものの、第1支持板を厚くして剛性を高めることができるので、当該変位の応力による第1支持板の変形を抑制できる。 (17) In the above embodiment, the second support plate is provided on the side opposite to the flow path member with the second flexible film interposed therebetween, and the second support plate has the thickness of the second flexible film. When viewed in the longitudinal direction, it has a fourth opening which is an opening provided in a portion overlapping the second compliance region, and the thickness of the first support plate may be thicker than the thickness of the second support plate. good. In such a form, since the area of the second compliance region is large, the displacement amount is large, but the first support plate can be made thicker to increase the rigidity, so that the first support plate due to the stress of the displacement can be used. Deformation can be suppressed.

(18)本開示の第3の形態によれば、上記形態のうちのいずれかの液体噴射ヘッドと、媒体を搬送する搬送部とを備える液体噴射装置が提供される。 (18) According to the third aspect of the present disclosure, a liquid injection device including any one of the above-described liquid injection heads and a transport unit for transporting a medium is provided.

1…供給管、2…液体供給機構、3…キャリッジ、4…装置本体、5…キャリッジ軸、6…駆動モーター、7…タイミングベルト、8…搬送部、9…加圧機構、10…流路形成基板、12…圧力発生室、13…第1可撓膜、15…連通板、16…ノズル連通路、18…第1連通路、19…第2連通路、20…ノズルプレート、21…ノズル、22…液体導入部、23…第1支持板、24…ノズル面、26…共通液室、27…第1コンプライアンス領域、28…第2コンプライアンス領域、29…上方部分、30…保護基板、31…保持部、32…貫通孔、33…第1開口部、34…側壁、35…天井壁、36…第2開口部、39…流路部材、40…ケース部材、41…凹部、42…底部開口部、43…接続口、44…導入口、45…露出開口部、46…第2可撓膜、47…第2支持板、50…振動板、53…第3開口部、54…底壁、55…第4開口部、56…傾斜部、57…下方部分、70…突出部、71…第1突出部、72…第2突出部、75…封止部分、100…液体噴射ヘッド、101…気泡、120…駆動回路、121…配線基板、200…液体噴射装置、300…圧電アクチュエーター、400…制御部 1 ... Supply pipe, 2 ... Liquid supply mechanism, 3 ... Carriage, 4 ... Device body, 5 ... Carriage shaft, 6 ... Drive motor, 7 ... Timing belt, 8 ... Conveyor, 9 ... Pressurization mechanism, 10 ... Flow path Forming substrate, 12 ... Pressure generating chamber, 13 ... 1st flexible film, 15 ... Communication plate, 16 ... Nozzle communication passage, 18 ... 1st communication passage, 19 ... 2nd communication passage, 20 ... Nozzle plate, 21 ... Nozzle , 22 ... Liquid introduction part, 23 ... First support plate, 24 ... Nozzle surface, 26 ... Common liquid chamber, 27 ... First compliance area, 28 ... Second compliance area, 29 ... Upper part, 30 ... Protective substrate, 31 ... holding portion, 32 ... through hole, 33 ... first opening, 34 ... side wall, 35 ... ceiling wall, 36 ... second opening, 39 ... flow path member, 40 ... case member, 41 ... recess, 42 ... bottom Opening, 43 ... Connection port, 44 ... Introduction port, 45 ... Exposed opening, 46 ... Second flexible film, 47 ... Second support plate, 50 ... Vibrating plate, 53 ... Third opening, 54 ... Bottom wall , 55 ... 4th opening, 56 ... inclined part, 57 ... lower part, 70 ... protruding part, 71 ... first protruding part, 72 ... second protruding part, 75 ... sealing part, 100 ... liquid injection head, 101 ... bubble, 120 ... drive circuit, 121 ... wiring board, 200 ... liquid injection device, 300 ... piezoelectric actuator, 400 ... control unit

Claims (18)

液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズル面と、
前記複数のノズルと連通する共通液室の一部を画定する流路部材であって、前記共通液室に連通する第1開口部が形成された側壁を有する流路部材と、
前記第1開口部を封止し、可撓性を有する第1可撓膜と、
を備え、
前記第1可撓膜は、変位可能な第1コンプライアンス領域を有し、
前記第1コンプライアンス領域は、前記共通液室の最も下方の位置から前記ノズル面に垂直な第1方向における前記共通液室の最大幅の4分の3の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられる、
液体噴射ヘッド。
A nozzle surface on which multiple nozzles for injecting liquid are formed,
A flow path member that defines a part of a common liquid chamber that communicates with the plurality of nozzles and has a side wall having a first opening that communicates with the common liquid chamber.
A flexible first flexible film that seals the first opening and
With
The first flexible film has a displaceable first compliance region.
The first compliance region is below a position separated upward by a distance of 3/4 of the maximum width of the common liquid chamber in the first direction perpendicular to the nozzle surface from the lowest position of the common liquid chamber. Provided in
Liquid injection head.
前記第1コンプライアンス領域は、前記共通液室の最も下方の位置から前記第1方向における前記共通液室の最大幅の2分の1の距離だけ上方へ離れた位置よりも下方に設けられる、
請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
The first compliance region is provided below a position separated upward by a distance of half the maximum width of the common liquid chamber in the first direction from the lowest position of the common liquid chamber.
The liquid injection head according to claim 1.
前記流路部材は、前記共通液室へ液体を導入するために前記共通液室に連通する導入口を有し、
前記共通液室は、前記導入口よりも上方となる部分を有し、
前記第1コンプライアンス領域は、前記第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられる、
請求項1または2に記載の液体噴射ヘッド。
The flow path member has an introduction port that communicates with the common liquid chamber in order to introduce the liquid into the common liquid chamber.
The common liquid chamber has a portion above the introduction port, and has a portion above the introduction port.
The first compliance area is provided below the inlet in the first direction.
The liquid injection head according to claim 1 or 2.
液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズル面と、
前記複数のノズルと連通する共通液室の一部を画定する流路部材であって、前記共通液室に連通する第1開口部が形成された側壁を有する流路部材と、
前記第1開口部を封止し、可撓性を有する第1可撓膜と、
を備え、
前記第1可撓膜は、変位可能な第1コンプライアンス領域を有し、
前記流路部材は、前記共通液室へ液体を導入するために前記共通液室に連通する導入口を有し、
前記共通液室は、前記導入口よりも上方となる部分を有し、
前記第1コンプライアンス領域は、前記ノズル面に垂直な第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられる、
液体噴射ヘッド。
A nozzle surface on which multiple nozzles for injecting liquid are formed,
A flow path member that defines a part of a common liquid chamber that communicates with the plurality of nozzles and has a side wall having a first opening that communicates with the common liquid chamber.
A flexible first flexible film that seals the first opening and
With
The first flexible film has a displaceable first compliance region.
The flow path member has an introduction port that communicates with the common liquid chamber in order to introduce the liquid into the common liquid chamber.
The common liquid chamber has a portion above the introduction port, and has a portion above the introduction port.
The first compliance region is provided below the inlet in a first direction perpendicular to the nozzle surface.
Liquid injection head.
前記流路部材は、前記共通液室の上方に設けられた天井壁を有し、
前記導入口は、前記天井壁の最も下方となる部分に形成された開口である、
請求項3または4に記載の液体噴射ヘッド。
The flow path member has a ceiling wall provided above the common liquid chamber.
The inlet is an opening formed in the lowermost portion of the ceiling wall.
The liquid injection head according to claim 3 or 4.
前記第1可撓膜を挟んで前記流路部材とは反対側に積層される第1支持板を備え、
前記第1支持板は、前記第1可撓膜の厚さ方向に見て、前記第1コンプライアンス領域と重なる部分に設けられた開口である第2開口部を有する、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
A first support plate laminated on the side opposite to the flow path member with the first flexible film interposed therebetween is provided.
The first support plate has a second opening which is an opening provided in a portion overlapping the first compliance region when viewed in the thickness direction of the first flexible film.
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 5.
前記第1開口部の一部は、前記第1方向における前記共通液室の中心よりも上方に設けられ、
前記第1可撓膜は、前記第1開口部を封止する封止部分を有し、
前記第1コンプライアンス領域は、前記封止部分の一部であり、
前記第1支持板の一部は、前記封止部分のうち、前記厚さ方向において前記第1コンプライアンス領域と重なる部分以外と重なる、
請求項6に記載の液体噴射ヘッド。
A part of the first opening is provided above the center of the common liquid chamber in the first direction.
The first flexible membrane has a sealing portion for sealing the first opening.
The first compliance area is a part of the sealing portion and
A part of the first support plate overlaps with a portion of the sealing portion other than the portion overlapping the first compliance region in the thickness direction.
The liquid injection head according to claim 6.
前記第1開口部の一部は、前記第1方向において、前記導入口よりも上方に設けられ、
前記第1可撓膜は、前記第1開口部を封止する封止部分を有し、
前記第1コンプライアンス領域は、前記封止部分の一部であり、
前記第1支持板の一部は、前記封止部分のうち、前記厚さ方向において前記第1コンプライアンス領域と重なる部分以外と重なる、
請求項3〜5のいずれか一項を引用する請求項6に記載の液体噴射ヘッド。
A part of the first opening is provided above the introduction port in the first direction.
The first flexible membrane has a sealing portion for sealing the first opening.
The first compliance area is a part of the sealing portion and
A part of the first support plate overlaps with a portion of the sealing portion other than the portion overlapping the first compliance region in the thickness direction.
The liquid injection head according to claim 6, wherein any one of claims 3 to 5 is cited.
前記第1開口部は、前記第1方向における前記共通液室の中心よりも下方に設けられている、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The first opening is provided below the center of the common liquid chamber in the first direction.
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 6.
前記第1支持板は、前記第1方向における前記共通液室の中心よりも下方に設けられる、
請求項6を引用する請求項9に記載の液体噴射ヘッド。
The first support plate is provided below the center of the common liquid chamber in the first direction.
The liquid injection head according to claim 9, wherein the liquid injection head according to claim 6.
前記第1開口部は、前記第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられている、
請求項3〜5、および、請求項3〜5のいずれか一項を引用する請求項6、のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The first opening is provided below the introduction port in the first direction.
The liquid injection head according to any one of claims 3 to 5 and claim 6, which cites any one of claims 3 to 5.
前記第1支持板は、前記第1方向において、前記導入口よりも下方に設けられる、
請求項6を引用する請求項11に記載の液体噴射ヘッド。
The first support plate is provided below the introduction port in the first direction.
The liquid injection head according to claim 11, which cites claim 6.
前記流路部材は、前記共通液室の上方に設けられた天井壁を有し、
前記天井壁は、前記導入口から離れるに連れて上方へ傾斜する傾斜部を有する、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The flow path member has a ceiling wall provided above the common liquid chamber.
The ceiling wall has an inclined portion that inclines upward as it moves away from the inlet.
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 12.
前記第1可撓膜のガスバリア性は、前記流路部材のガスバリア性よりも低い、
請求項1〜13のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The gas barrier property of the first flexible membrane is lower than the gas barrier property of the flow path member.
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 13.
前記複数のノズルは、前記第1方向と直交する第2方向に沿って並んでおり、
前記第1方向における前記共通液室の最大幅は、前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向における前記共通液室の最大幅よりも大きい、
請求項1〜14のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The plurality of nozzles are arranged along a second direction orthogonal to the first direction.
The maximum width of the common liquid chamber in the first direction is larger than the maximum width of the common liquid chamber in the third direction orthogonal to the first direction and the second direction.
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 14.
前記流路部材は、前記共通液室に連通する第3開口部を有する底壁を有し、
前記液体噴射ヘッドは、前記第3開口部を封止するようにして前記底壁に積層される、可撓性を有する第2可撓膜を備え、
前記第2可撓膜は、変位可能な第2コンプライアンス領域を有し、
前記第1コンプライアンス領域の面積は、前記第2コンプライアンス領域の面積よりも大きい、
請求項1〜15のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The flow path member has a bottom wall having a third opening communicating with the common liquid chamber.
The liquid injection head comprises a flexible second flexible membrane laminated on the bottom wall so as to seal the third opening.
The second flexible film has a displaceable second compliance region.
The area of the first compliance area is larger than the area of the second compliance area.
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 15.
前記第2可撓膜を挟んで前記流路部材とは反対側に積層される第2支持板を備え、
前記第2支持板は、前記第2可撓膜の厚さ方向に見て、前記第2コンプライアンス領域と重なる部分に設けられた開口である第4開口部を有し、
前記第1支持板の厚みは、前記第2支持板の厚みよりも厚い、
請求項6を直接的または間接的に引用する請求項16に記載の液体噴射ヘッド。
A second support plate laminated on the side opposite to the flow path member with the second flexible film interposed therebetween is provided.
The second support plate has a fourth opening which is an opening provided in a portion overlapping the second compliance region when viewed in the thickness direction of the second flexible film.
The thickness of the first support plate is thicker than the thickness of the second support plate.
The liquid injection head according to claim 16, which directly or indirectly cites claim 6.
請求項1〜17のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
媒体を搬送する搬送部と、
を備える液体噴射装置。
The liquid injection head according to any one of claims 1 to 17,
A transport unit that transports the medium and
A liquid injection device including.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022163625A1 (en) * 2021-01-27 2022-08-04 コニカミノルタ株式会社 Inkjet head and image formation device

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