JP2021151002A - Direct drive motor - Google Patents

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Abstract

To provide a direct drive motor which makes grease of a bearing less likely to be discharged to the outside without increasing the number of components.SOLUTION: A direct drive motor includes: a first housing; a bearing fitted on the first housing; an outer shaft fitted on the bearing; and an angle detector. The first housing has a first protruding part which contacts with an end surface of an inner ring. The output shaft has: a second protruding part which contacts with an end surface of an outer ring; and a large diameter cylinder part extending in an opposite direction of the outer ring. The first protruding part has a first attachment surface located at the opposite side of a first contact surface which contacts with the inner ring. The second protruding part has a second attachment surface which is located at the opposite side of a second contact surface which contacts with the outer ring and closer to the bearing than the first attachment surface. The angle detector has: a sensor substrate which is attached to the first attachment surface and covers the second attachment surface; and a rotating body which is attached to the second attachment surface and faces the sensor substrate. An outer edge of the sensor substrate is located close to an inner peripheral surface of the large diameter cylinder part.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ダイレクトドライブモータに関する。 The present invention relates to a direct drive motor.

ダイレクトドライブモータは、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する電動機である。このようなダイレクトドライブモータは、下記特許文献1に示すように、ハウジングと、ハウジングに回転自在に支持される出力軸と、角度検出装置と、を備える。そして、角度検出装置により出力軸の回転角度を検出し、対象物の向きや位置などを把握する。 A direct drive motor is an electric motor that directly transmits the generated power to an object without going through a reduction mechanism. As shown in Patent Document 1 below, such a direct drive motor includes a housing, an output shaft rotatably supported by the housing, and an angle detection device. Then, the rotation angle of the output shaft is detected by the angle detection device, and the direction and position of the object are grasped.

ところで、ハウジングと出力軸との間には軸受が介在し、ハウジングと出力軸とは接触していない。つまり、出力軸とハウジングとの間には、出力軸と平行に延びる隙間が設けられている。そして、軸受の内部のグリースは、出力軸とハウジングとの隙間を通じて、ダイレクトドライブモータの外部に漏出する可能性がある。下記特許文献1のダイレクトドライブモータは、軸受を固定する固定部材やハウジングに突起を設け、軸受の外輪と内輪との隙間を覆っている。このため、出力軸とハウジングとの隙間にグリースが流出し難くなっている。 By the way, a bearing is interposed between the housing and the output shaft, and the housing and the output shaft are not in contact with each other. That is, a gap extending parallel to the output shaft is provided between the output shaft and the housing. Then, the grease inside the bearing may leak to the outside of the direct drive motor through the gap between the output shaft and the housing. In the direct drive motor of Patent Document 1 below, protrusions are provided on a fixing member for fixing the bearing and a housing to cover the gap between the outer ring and the inner ring of the bearing. Therefore, it is difficult for grease to flow out into the gap between the output shaft and the housing.

特開2014−75879号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-75879

上記特許文献1の構造によれば、グリースが固定部材や突起を超えてしまうと、グリースがダイレクトドライブモータの外部に容易に流出してしまう。これに対し、漏出防止用のシールを新に設けると、部品点数が増加する。また、シールを配置するためのスペースを確保する必要があり、ダイレクトドライブモータが軸方向に大型化する。よって、ダイレクトドライブモータに利用されている既存の部品を利用しつつ、軸受のグリースが外部に排出され難くなることが望まれている。 According to the structure of Patent Document 1, when the grease exceeds the fixing member or the protrusion, the grease easily flows out to the outside of the direct drive motor. On the other hand, if a new seal for preventing leakage is provided, the number of parts will increase. In addition, it is necessary to secure a space for arranging the seal, and the direct drive motor becomes larger in the axial direction. Therefore, it is desired that the grease of the bearing is less likely to be discharged to the outside while utilizing the existing parts used in the direct drive motor.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、部品点数を増加することなく、軸受のグリースが外部に排出し難いダイレクトドライブモータを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a direct drive motor in which grease of a bearing is hard to be discharged to the outside without increasing the number of parts.

上記の目的を達成するため、本開示の一態様に係るダイレクトドライブモータは、第1ハウジング及び前記第1ハウジングの外周を囲む第2ハウジングを有するハウジングと、内輪が前記第1ハウジングに外嵌された軸受と、前記軸受の外輪に外嵌された筒状の出力軸と、前記出力軸に外嵌されたロータと、前記第2ハウジングに内嵌されたステータと、前記出力軸の回転角度を検出する角度検出装置と、を備える。前記第1ハウジングは、前記内輪が外嵌される第1嵌合面と、前記第1嵌合面よりも径方向外側に突出し、前記内輪の端面に当接する第1突出部と、を有する。前記出力軸は、前記外輪が内嵌される第2嵌合面と、前記第2嵌合面よりも径方向内側に突出して前記外輪の端面に当接する第2突出部と、内径が前記第2突出部の内径より大径に形成され、前記外輪と反対方向に延出する大径筒部と、を有する。前記第1突出部は、前記内輪と当接する第1当接面と、前記第1当接面と反対側に位置する第1取付面を有する。前記第2突出部は、前記外輪と当接する第2当接面と、前記第2当接面と反対側に位置し、かつ前記第1取付面よりも前記軸受寄りに位置している第2取付面を有する。前記角度検出装置は、磁気センサを有し、前記第1取付面に取り付けられて前記第2取付面を覆うリング状のセンサ基板と、永久磁石を有し、前記第2取付面に取り付けられて前記センサ基板と対向するリング状の回転体と、を有する。前記センサ基板の外縁は、前記大径筒部の内周面に近接している。 In order to achieve the above object, in the direct drive motor according to one aspect of the present disclosure, a housing having a first housing and a second housing surrounding the outer periphery of the first housing, and an inner ring are externally fitted to the first housing. A bearing, a tubular output shaft outerly fitted to the outer ring of the bearing, a rotor outerly fitted to the output shaft, a stator fitted internally to the second housing, and a rotation angle of the output shaft. It is provided with an angle detection device for detecting. The first housing has a first fitting surface on which the inner ring is externally fitted, and a first protruding portion that projects radially outward from the first fitting surface and abuts on the end surface of the inner ring. The output shaft has a second fitting surface into which the outer ring is internally fitted, a second protruding portion that projects radially inward from the second fitting surface and abuts on the end surface of the outer ring, and the inner diameter is the first. (2) It has a large-diameter tubular portion that is formed to have a diameter larger than the inner diameter of the protruding portion and extends in the direction opposite to the outer ring. The first protruding portion has a first contact surface that comes into contact with the inner ring and a first mounting surface that is located on the side opposite to the first contact surface. The second protruding portion is located on the side opposite to the second contact surface and the second contact surface that abuts on the outer ring, and is located closer to the bearing than the first mounting surface. Has a mounting surface. The angle detection device has a magnetic sensor, a ring-shaped sensor substrate that is mounted on the first mounting surface and covers the second mounting surface, and a permanent magnet, and is mounted on the second mounting surface. It has a ring-shaped rotating body facing the sensor substrate. The outer edge of the sensor substrate is close to the inner peripheral surface of the large-diameter tubular portion.

軸受のグリースは、第1突出部と第2突出部との隙間と、回転体とセンサ基板との隙間と、センサ基板の外縁と大径筒部との隙間と、を通過しないと、ダイレクトドライブモータの外部に排出されない。ここで、回転体とセンサ基板との隙間は、径方向に延在し、軸方向に延在する場合よりも経路が長くなっている。また、センサ基板の外縁と大径筒部との隙間は微小である。このため、グリースは、回転体とセンサ基板との隙間や、センサ基板の外縁と大径筒部との隙間を通過し難い。よって、従来のダイレクトドライブモータよりも、グリースがダイレクトドライブモータの外部に排出され難い。また、上記した経路は、第1ハウジング、出力軸、及び角度検出装置により作られ、新規の部品を利用していない。よって、部品点数の増加を抑えられる。また、ダイレクトドライブモータの軸方向への大型化が回避される。 Bearing grease must pass through the gap between the first protrusion and the second protrusion, the gap between the rotating body and the sensor board, and the gap between the outer edge of the sensor board and the large-diameter cylinder, or a direct drive. It is not discharged to the outside of the motor. Here, the gap between the rotating body and the sensor substrate extends in the radial direction, and the path is longer than in the case where it extends in the axial direction. Further, the gap between the outer edge of the sensor substrate and the large-diameter cylinder portion is very small. Therefore, it is difficult for the grease to pass through the gap between the rotating body and the sensor substrate and the gap between the outer edge of the sensor substrate and the large-diameter cylinder portion. Therefore, the grease is less likely to be discharged to the outside of the direct drive motor than the conventional direct drive motor. Further, the above-mentioned path is made by the first housing, the output shaft, and the angle detection device, and does not utilize new parts. Therefore, the increase in the number of parts can be suppressed. In addition, it is possible to avoid increasing the size of the direct drive motor in the axial direction.

上記のダイレクトドライブモータの一態様として、前記第1取付面と前記センサ基板との間に介在するリング状の第1スペーサと、前記第2取付面と前記回転体との間に介在するリング状の第2スペーサと、を備えることが好ましい。 As one aspect of the direct drive motor, a ring-shaped first spacer interposed between the first mounting surface and the sensor substrate, and a ring-shaped first spacer interposed between the second mounting surface and the rotating body. It is preferable to include the second spacer of the above.

上記のダイレクトドライブモータの一態様として、前記回転体は、内縁から前記第1突出部と前記第2突出部との間に入り込む筒状の絞り部を有することが好ましい。 As one aspect of the direct drive motor, it is preferable that the rotating body has a cylindrical drawing portion that enters between the first protruding portion and the second protruding portion from the inner edge.

第1突出部と第2突出部との間の隙間は、絞り部によって狭くなり、軸受のグリースが通過し難くなる。よって、ダイレクトドライブモータの外部にグリースが排出される可能性がさらに低減する。 The gap between the first protruding portion and the second protruding portion is narrowed by the throttle portion, and it becomes difficult for the grease of the bearing to pass through. Therefore, the possibility that grease is discharged to the outside of the direct drive motor is further reduced.

上記のダイレクトドライブモータの一態様として、前記第1ハウジングは、前記第1突出部の内縁から前記軸受と反対方向に延出する小径筒部を備える。前記小径筒部の端面に取り付けられて径方向外側に延び、外縁が前記大径筒部の内周面に近接するカバーを備えることが好ましい。 As one aspect of the direct drive motor, the first housing includes a small-diameter tubular portion extending from the inner edge of the first protruding portion in a direction opposite to the bearing. It is preferable to provide a cover that is attached to the end surface of the small-diameter tubular portion, extends outward in the radial direction, and has an outer edge close to the inner peripheral surface of the large-diameter tubular portion.

センサ基板の外縁と大径筒部との隙間を通過した後であってもカバーと大径筒部との隙間を通過しなければ、外部に排出されない。よって、ダイレクトドライブモータの外部にグリースが排出される可能性がさらに低減する。 Even after passing through the gap between the outer edge of the sensor board and the large-diameter cylinder portion, it is not discharged to the outside unless it passes through the gap between the cover and the large-diameter cylinder portion. Therefore, the possibility that grease is discharged to the outside of the direct drive motor is further reduced.

上記のダイレクトドライブモータの一態様として、前記第1ハウジングは、吸引装置により吸引される吸気孔を有する。前記第1突出部の外周面には、前記吸気孔の開口部が設けられ、前記開口部は、前記第1突出部の外周面に沿って周方向に延在していることが好ましい。 As one aspect of the direct drive motor, the first housing has an intake hole that is sucked by a suction device. It is preferable that an opening of the intake hole is provided on the outer peripheral surface of the first protruding portion, and the opening extends in the circumferential direction along the outer peripheral surface of the first protruding portion.

前記構成によれば、第1突出部と第2突出部との隙間に流入したグリースは、吸気孔を介して吸引装置に吸引される。よって、ダイレクトドライブモータの外部にグリースが排出される可能性がさらに低減する。 According to the above configuration, the grease flowing into the gap between the first protruding portion and the second protruding portion is sucked into the suction device through the intake hole. Therefore, the possibility that grease is discharged to the outside of the direct drive motor is further reduced.

本発明のダイレクトドライブモータによれば、部品点数が増加しない。また、軸受のグリースを外部に排出され難い。 According to the direct drive motor of the present invention, the number of parts does not increase. In addition, it is difficult for the grease of the bearing to be discharged to the outside.

図1は、実施形態1のダイレクトドライブモータの主要構成を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a main configuration of the direct drive motor of the first embodiment. 図2は、図1の第1ハウジング、軸受装置、出力軸、および角度検出装置の近傍を拡大した拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the first housing, the bearing device, the output shaft, and the angle detection device of FIG. 図3は、図2の第1突出部、第2突出部、および角度検出装置の近傍を拡大した拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of the first protrusion, the second protrusion, and the angle detection device of FIG. 図4は、実施形態2のダイレクトドライブモータの主要構成を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a main configuration of the direct drive motor of the second embodiment. 図5は、図4の第1突出部の近傍を拡大した拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the first protruding portion of FIG.

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態(以下、実施形態という)により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments for carrying out the following inventions (hereinafter referred to as embodiments). In addition, the components in the following embodiments include those that can be easily assumed by those skilled in the art, those that are substantially the same, that is, those in a so-called equal range. Further, the components disclosed in the following embodiments can be appropriately combined.

(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係るダイレクトドライブモータの概略を示す断面図である。図2は、図1の第1ハウジング、軸受装置、出力軸、および角度検出装置の近傍を拡大した拡大図である。図3は、図2の第1突出部、第2突出部、および角度検出装置の近傍を拡大した拡大図である。
(First Embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an outline of a direct drive motor according to the first embodiment. FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the first housing, the bearing device, the output shaft, and the angle detection device of FIG. FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of the first protrusion, the second protrusion, and the angle detection device of FIG.

第1実施形態のダイレクトドライブモータ100は、台101に固定される。また、ダイレクトドライブモータ100は、搬送物が積載されるステージ102が取り付けられる。そして、ダイレクトドライブモータ100は、減速機を介することなくステージ102を回転させ、搬送物を搬送する電動機である。 The direct drive motor 100 of the first embodiment is fixed to the base 101. Further, the direct drive motor 100 is equipped with a stage 102 on which a transported object is loaded. The direct drive motor 100 is an electric motor that rotates the stage 102 without going through a speed reducer and conveys the conveyed object.

ダイレクトドライブモータ100は、台101に設置されるハウジング1と、軸受装置20と、出力軸30と、ロータ40と、ステータ41と、カバー50と、角度検出装置60と、を備える。以下、出力軸30の軸Xと平行な方向を軸X方向という。また、軸X方向のうち、ダイレクトドライブモータ100から視てステージ102が配置される方向を第1方向X1といい、ダイレクトドライブモータ100から視て台101が配置される方向を第2方向X2という。 The direct drive motor 100 includes a housing 1 installed on the base 101, a bearing device 20, an output shaft 30, a rotor 40, a stator 41, a cover 50, and an angle detection device 60. Hereinafter, the direction parallel to the axis X of the output shaft 30 is referred to as the axis X direction. Further, among the axis X directions, the direction in which the stage 102 is arranged as viewed from the direct drive motor 100 is referred to as the first direction X1, and the direction in which the platform 101 is arranged as viewed from the direct drive motor 100 is referred to as the second direction X2. ..

ハウジング1は、第1ハウジング2と、第1ハウジング2の外周を囲む第2ハウジング3と、第1ハウジング2と第2ハウジング3の間に配置されたベース部4と、を備える。第1ハウジング2は、軸Xを中心に円筒状となっている。図2に示すように、第1ハウジング2は、軸受装置20に内嵌される内嵌部11と、内嵌部11よりも第1方向X1に配置された第1突出部12と、第1突出部12よりも第1方向X1に配置された小径筒部13と、を有している。内嵌部11の外周面は、軸受装置20が外嵌される第1嵌合面11aとなっている。第1突出部12の外径は、内嵌部11の外径よりも大きい。よって、第1突出部12は、内嵌部11の第1嵌合面11aよりも径方向外側に突出している。第1突出部12は、第2方向X2を向き、第1軸受21の内輪21aに当接する第1当接面12aを有している。小径筒部13の外径は、第1突出部12の外径よりも小さい。よって、小径筒部13の外周面は、第1突出部12よりも径方向内側に窪んでいる。 The housing 1 includes a first housing 2, a second housing 3 surrounding the outer periphery of the first housing 2, and a base portion 4 arranged between the first housing 2 and the second housing 3. The first housing 2 has a cylindrical shape centered on the axis X. As shown in FIG. 2, the first housing 2 includes an inner fitting portion 11 that is internally fitted into the bearing device 20, a first protruding portion 12 that is arranged in the first direction X1 from the inner fitting portion 11, and a first. It has a small-diameter tubular portion 13 arranged in the first direction X1 with respect to the protruding portion 12. The outer peripheral surface of the inner fitting portion 11 is a first fitting surface 11a into which the bearing device 20 is externally fitted. The outer diameter of the first protruding portion 12 is larger than the outer diameter of the inner fitting portion 11. Therefore, the first protruding portion 12 protrudes radially outward from the first fitting surface 11a of the inner fitting portion 11. The first protruding portion 12 has a first contact surface 12a that faces the second direction X2 and comes into contact with the inner ring 21a of the first bearing 21. The outer diameter of the small diameter tubular portion 13 is smaller than the outer diameter of the first protruding portion 12. Therefore, the outer peripheral surface of the small-diameter tubular portion 13 is recessed inward in the radial direction from the first protruding portion 12.

図1に示すように、第2ハウジング3は、円筒状を成し、第1ハウジング2と同軸上に配置されている。第1ハウジング2と第2ハウジング3との間は、ロータ40、ステータ41が収容される環状の収容空間S10となっている。ベース部4は、リング状となっており、収容空間S10の第2方向X2を閉塞している。ベース部4の内縁は、第1ハウジング2に螺合するボルトB1に締め付けられている。ベース部4の外縁は、第2ハウジング3に螺合するボルトB2に締め付けられている。これにより、第1ハウジング2と第2ハウジング3とベース部4とが一体になっている。収容空間S10の第1方向X1は、リング状の閉塞部材5により閉塞されている。閉塞部材5は、第2ハウジング3の第1方向X1の端部にボルトB3に締め付けられている。第2ハウジング3とベース部4と閉塞部材5とには、軸Xと平行な方向に連続して貫通する貫通孔6が設けられている。この貫通孔6には、台101に螺合するボルトB4が挿入されるようになっている。そして、ハウジング1は、このボルトB4に締め付けられて台101に固定される。 As shown in FIG. 1, the second housing 3 has a cylindrical shape and is arranged coaxially with the first housing 2. Between the first housing 2 and the second housing 3, there is an annular accommodation space S10 in which the rotor 40 and the stator 41 are accommodated. The base portion 4 has a ring shape and closes the second direction X2 of the accommodation space S10. The inner edge of the base portion 4 is tightened to a bolt B1 screwed into the first housing 2. The outer edge of the base portion 4 is tightened to a bolt B2 screwed into the second housing 3. As a result, the first housing 2, the second housing 3, and the base portion 4 are integrated. The first direction X1 of the accommodation space S10 is closed by the ring-shaped closing member 5. The closing member 5 is fastened to a bolt B3 at the end of the second housing 3 in the first direction X1. The second housing 3, the base portion 4, and the closing member 5 are provided with through holes 6 that continuously penetrate in a direction parallel to the axis X. A bolt B4 screwed into the base 101 is inserted into the through hole 6. Then, the housing 1 is tightened to the bolt B4 and fixed to the base 101.

軸受装置20は、二列のアンギュラ軸受であり、背面組み合わせされた第1軸受21、第2軸受22を備える。図2に示すように、第1軸受21は、内輪21aと外輪21bとボール21cとを備える。第2軸受22は、内輪22aと外輪22bとボール22cとを備える。よって、第1軸受21と第2軸受22は、グリースの漏出を抑制するシールを備えていない。内輪21a、22aは、内嵌部11の外周面に嵌め込まれている。内輪21a、22aは、第1ハウジング2の第1突出部12とベース部4とに挟持され、ボルトB1による締め付け量を一定にすることで、定位置予圧による予圧が与えられている。なお、第1軸受21を単に軸受と呼ぶ場合がある。また、本開示の軸受装置20は、二列の軸受により構成されているが、単列の軸受により構成されてもよい。 The bearing device 20 is a two-row angular bearing, and includes a first bearing 21 and a second bearing 22 combined on the back surface. As shown in FIG. 2, the first bearing 21 includes an inner ring 21a, an outer ring 21b, and a ball 21c. The second bearing 22 includes an inner ring 22a, an outer ring 22b, and a ball 22c. Therefore, the first bearing 21 and the second bearing 22 do not have a seal for suppressing the leakage of grease. The inner rings 21a and 22a are fitted on the outer peripheral surface of the inner fitting portion 11. The inner rings 21a and 22a are sandwiched between the first protruding portion 12 and the base portion 4 of the first housing 2, and the preload by the fixed position preload is given by keeping the tightening amount by the bolt B1 constant. The first bearing 21 may be simply called a bearing. Further, although the bearing device 20 of the present disclosure is composed of two rows of bearings, it may be composed of a single row of bearings.

図1に示すように、出力軸30は、円筒状の部品である。出力軸30は、第1ハウジング2の外周側に配置されている。図2に示すように、出力軸30は、外輪21b、22bに外嵌された外嵌部31と、外嵌部31の第1方向X1に配置された第2突出部32と、第2突出部32の第1方向X1に配置された大径筒部33と、を備える。外嵌部31の外周面は、軸受装置20が内嵌される第2嵌合面31aとなっている。第2突出部32の内径は、外嵌部31の内径よりも小さい。よって、第2突出部32は、外嵌部31の第2嵌合面31aよりも径方向内側に突出している。第2突出部32は、第2方向X2を向き、第1軸受21の外輪21bに当接する第2当接面32aを有している。また、出力軸30の第2方向X2の端部には、固定部材7がボルトB6により固定されている。第2突出部32の第2当接面32aと固定部材7は、外輪21b、22bを挟持している。よって、出力軸30は、軸Xと平行な方向に移動しないように、軸受装置20に固定されている。 As shown in FIG. 1, the output shaft 30 is a cylindrical component. The output shaft 30 is arranged on the outer peripheral side of the first housing 2. As shown in FIG. 2, the output shaft 30 has an outer fitting portion 31 outerly fitted to the outer rings 21b and 22b, a second protruding portion 32 arranged in the first direction X1 of the outer fitting portion 31, and a second protrusion. A large-diameter tubular portion 33 arranged in the first direction X1 of the portion 32 is provided. The outer peripheral surface of the outer fitting portion 31 is a second fitting surface 31a into which the bearing device 20 is internally fitted. The inner diameter of the second protruding portion 32 is smaller than the inner diameter of the outer fitting portion 31. Therefore, the second protruding portion 32 protrudes radially inward from the second fitting surface 31a of the outer fitting portion 31. The second protruding portion 32 has a second contact surface 32a that faces the second direction X2 and comes into contact with the outer ring 21b of the first bearing 21. Further, a fixing member 7 is fixed to the end of the output shaft 30 in the second direction X2 by a bolt B6. The second contact surface 32a of the second protruding portion 32 and the fixing member 7 sandwich the outer rings 21b and 22b. Therefore, the output shaft 30 is fixed to the bearing device 20 so as not to move in the direction parallel to the shaft X.

大径筒部33の内径は、第2突出部32の内径より大径に形成されている。大径筒部33は、第2突出部32の外縁から第1方向X1に延出している。図1に示すように、大径筒部33の第1方向X1の端部には、ステージ102を締め付けるボルトB5が螺合するようになっている。これにより、出力軸30とステージ102が軸Xを中心に回転する。 The inner diameter of the large-diameter tubular portion 33 is formed to be larger than the inner diameter of the second protruding portion 32. The large-diameter tubular portion 33 extends from the outer edge of the second protruding portion 32 in the first direction X1. As shown in FIG. 1, a bolt B5 for tightening the stage 102 is screwed to the end of the large-diameter tubular portion 33 in the first direction X1. As a result, the output shaft 30 and the stage 102 rotate about the shaft X.

図1に示すように、ロータ40は、出力軸30に嵌め込まれた環状のコアと、コア内に埋設されて周方向に等間隔で配置された複数の永久磁石(不図示)と、を備える。ステータ41は、第2ハウジング3の内周面に沿って周方向に等間隔で配置された複数のコア42と、各コア42に素線が多重に巻回されてなるコイル43と、を備える。コイル43には、電力を供給するための配線(不図示)が接続されている。そして、コイル43に電力が供給されてコイル43から回転磁界が発生すると、ロータ40が駆動し、ステージ102が回転軸AXを中心に回転する。 As shown in FIG. 1, the rotor 40 includes an annular core fitted in the output shaft 30 and a plurality of permanent magnets (not shown) embedded in the core and arranged at equal intervals in the circumferential direction. .. The stator 41 includes a plurality of cores 42 arranged at equal intervals in the circumferential direction along the inner peripheral surface of the second housing 3, and a coil 43 in which strands are multiplely wound around each core 42. .. Wiring (not shown) for supplying electric power is connected to the coil 43. Then, when electric power is supplied to the coil 43 and a rotating magnetic field is generated from the coil 43, the rotor 40 is driven and the stage 102 rotates about the rotation axis AX.

カバー50は、第1ハウジング2に取り付けられて、第1ハウジング2と出力軸30との間を覆う閉塞部材である。カバー50は、中央部に孔部51を有するリング状の部品である。図2に示すように、カバー50は、内縁がボルトに締め付けられて、第1ハウジング2の小径筒部13の端部に固定している。カバー50は、小径筒部13よりも径方向外側に延出している。そして、カバー50の外縁52は、大径筒部33の内周面33aと近接している。 The cover 50 is a closing member that is attached to the first housing 2 and covers between the first housing 2 and the output shaft 30. The cover 50 is a ring-shaped component having a hole 51 in the center. As shown in FIG. 2, the inner edge of the cover 50 is tightened to a bolt and fixed to the end of the small-diameter tubular portion 13 of the first housing 2. The cover 50 extends radially outward from the small diameter tubular portion 13. The outer edge 52 of the cover 50 is close to the inner peripheral surface 33a of the large-diameter tubular portion 33.

図1に示すように、角度検出装置60は、第1ハウジング2の第1突出部12に取り付けられるセンサ基板61と、出力軸30の第2突出部32に取り付けられる回転体62と、を備える。センサ基板61は、磁気センサ63と、磁気センサ63を支持するリング状の第1基板64と、磁気センサ63と接続する配線65と、を備える。磁気センサ63は、磁気の変化を検知し、この磁気の変化に基づいてロータ40の回転角度を検知する。なお、磁気センサは、例えばホール素子、所謂MR(Magneto Resistive)センサとして機能する磁気抵抗効果素子、磁歪線の変位を検知するセンサのいずれかである。配線65は、第1基板64と第1ハウジング2とベース部4とを連続して貫通する貫通孔8と、台101の孔部101aとを通過し、台101よりも第2方向X2に延びている。 As shown in FIG. 1, the angle detection device 60 includes a sensor substrate 61 attached to the first protrusion 12 of the first housing 2 and a rotating body 62 attached to the second protrusion 32 of the output shaft 30. .. The sensor board 61 includes a magnetic sensor 63, a ring-shaped first board 64 that supports the magnetic sensor 63, and a wiring 65 that connects to the magnetic sensor 63. The magnetic sensor 63 detects a change in magnetism and detects the rotation angle of the rotor 40 based on the change in magnetism. The magnetic sensor is, for example, a Hall element, a magnetoresistive element that functions as a so-called MR (Magnet Resistive) sensor, or a sensor that detects the displacement of a magnetostrictive line. The wiring 65 passes through the through hole 8 that continuously penetrates the first substrate 64, the first housing 2, and the base portion 4 and the hole portion 101a of the base 101, and extends in the second direction X2 from the base 101. ing.

回転体62は、リング状の磁気リング66と、磁気リング66を支持する第2基板67と、を備える。磁気リング66は、周方向にN極とS極とが交互に着磁された着磁体である。磁気リング66と磁気センサ63とは、軸X方向に対向して配置されている。このような配置により、磁気センサ63は、磁気リング66のN極とS極との磁気の変化の数をカウントすることで、磁気リング66、すなわち出力軸30(ロータ40)の回転角度を検知する。よって、角度検出装置60は、アキシアル型の磁気センサである。また、第1基板64および第2基板67は、非磁性体の材料で製造され、ステータ41から発生する回転磁界の影響を受けないようになっている。 The rotating body 62 includes a ring-shaped magnetic ring 66 and a second substrate 67 that supports the magnetic ring 66. The magnetic ring 66 is a magnetized body in which north poles and south poles are alternately magnetized in the circumferential direction. The magnetic ring 66 and the magnetic sensor 63 are arranged so as to face each other in the axis X direction. With such an arrangement, the magnetic sensor 63 detects the rotation angle of the magnetic ring 66, that is, the output shaft 30 (rotor 40) by counting the number of magnetic changes between the north and south poles of the magnetic ring 66. do. Therefore, the angle detection device 60 is an axial type magnetic sensor. Further, the first substrate 64 and the second substrate 67 are made of a non-magnetic material and are not affected by the rotating magnetic field generated from the stator 41.

次に、第1ハウジング2と出力軸30と角度検出装置60の詳細について説明する。図3に示すように、第1ハウジング2の第1突出部12の外周面12bと、出力軸30の第2突出部32の内周面32bとは、径方向に対向している。そして、第1突出部12と第2突出部32との間には、軸X方向に延びる隙間S1が設けられている。そして、隙間S1は、第1軸受21における内輪21aと外輪21bとの隙間S0に連続している。よって、第1軸受21の内部にあるグリースは、隙間S0を介して隙間S1に流れる可能性がある。 Next, the details of the first housing 2, the output shaft 30, and the angle detection device 60 will be described. As shown in FIG. 3, the outer peripheral surface 12b of the first protruding portion 12 of the first housing 2 and the inner peripheral surface 32b of the second protruding portion 32 of the output shaft 30 face each other in the radial direction. A gap S1 extending in the axis X direction is provided between the first protruding portion 12 and the second protruding portion 32. The gap S1 is continuous with the gap S0 between the inner ring 21a and the outer ring 21b in the first bearing 21. Therefore, the grease inside the first bearing 21 may flow into the gap S1 through the gap S0.

第2突出部32の内周面32bは、第1軸受21の外輪21bの内周面よりも径方向内側に位置している。言い換えると、第2突出部32は、内輪21aと外輪21bとの間の隙間S0の一部を覆っている。よって、第1軸受21のグリースは、隙間S1の方に流出し難い。 The inner peripheral surface 32b of the second protruding portion 32 is located radially inside the inner peripheral surface of the outer ring 21b of the first bearing 21. In other words, the second protruding portion 32 covers a part of the gap S0 between the inner ring 21a and the outer ring 21b. Therefore, the grease of the first bearing 21 is unlikely to flow out toward the gap S1.

第1突出部12は、第1方向X1を向く第1取付面12cを有している。第2突出部32は、第1方向X1を向く環状の第2取付面32cを有している。第1取付面12cは、第2取付面32cよりも、距離R1の分だけ第1方向X1の方に位置している。 The first protruding portion 12 has a first mounting surface 12c facing the first direction X1. The second protrusion 32 has an annular second mounting surface 32c that faces the first direction X1. The first mounting surface 12c is located in the first direction X1 by the distance R1 with respect to the second mounting surface 32c.

第2取付面32cには、ボルトB7(図1参照)により、第2基板67が固定されている。第2基板67の内縁は、第2取付面32cよりも径方向内側に位置している。そして、第2基板67は、内縁から第2方向X2に延出する絞り部68を有している。絞り部68は、円筒状を成し、第2突出部32の内周面32bに当接している。よって、隙間S1の径方向の幅は、絞り部68によって狭くなっている。このため、隙間S1内に入り込んだグリースは、絞り部68を通過して第1方向X1に流出し難くなっている。なお、本発明において、絞り部68は、第2突出部32の内周面32bに当接するものに限定されない。 The second substrate 67 is fixed to the second mounting surface 32c by bolts B7 (see FIG. 1). The inner edge of the second substrate 67 is located radially inside the second mounting surface 32c. The second substrate 67 has a throttle portion 68 extending from the inner edge in the second direction X2. The drawing portion 68 has a cylindrical shape and is in contact with the inner peripheral surface 32b of the second protruding portion 32. Therefore, the radial width of the gap S1 is narrowed by the throttle portion 68. Therefore, the grease that has entered the gap S1 passes through the throttle portion 68 and is less likely to flow out in the first direction X1. In the present invention, the throttle portion 68 is not limited to the one that abuts on the inner peripheral surface 32b of the second protruding portion 32.

第2基板67の第1方向X1を向く面に、磁気リング66が接着剤で固定されている。磁気リング66は、第2基板67の内縁上に配置されている。磁気リング66の内径は、第2突出部32の内径よりも小さい。よって、磁気リング66の内縁は、第2突出部32よりも径方向内側に突出している。磁気リング66は、第1突出部12の外周面12bに対し径方向に対向している。磁気リング66と第1突出部12の外周面12bは、近接している。よって、磁気リング66と第1突出部12の間をグリースが通過し難い。 A magnetic ring 66 is fixed to the surface of the second substrate 67 facing the first direction X1 with an adhesive. The magnetic ring 66 is arranged on the inner edge of the second substrate 67. The inner diameter of the magnetic ring 66 is smaller than the inner diameter of the second protrusion 32. Therefore, the inner edge of the magnetic ring 66 projects radially inward from the second protruding portion 32. The magnetic ring 66 is radially opposed to the outer peripheral surface 12b of the first protruding portion 12. The magnetic ring 66 and the outer peripheral surface 12b of the first protruding portion 12 are close to each other. Therefore, it is difficult for grease to pass between the magnetic ring 66 and the first protruding portion 12.

第1取付面12cには、ボルトB8(図1参照)により第1基板64が固定されている。第1基板64は、第1突出部12よりも径方向外側に延びている。そして、第1基板64は、第2基板67と軸X方向に対向している。磁気センサ63は、磁気リング66と軸X方向に対向するように第1基板64に取り付けられている。以上から、第1基板64と第2基板との間には、径方向に延びる環状の隙間S2が設けられている。 The first substrate 64 is fixed to the first mounting surface 12c by bolts B8 (see FIG. 1). The first substrate 64 extends radially outward from the first protruding portion 12. The first substrate 64 faces the second substrate 67 in the axis X direction. The magnetic sensor 63 is attached to the first substrate 64 so as to face the magnetic ring 66 in the axis X direction. From the above, an annular gap S2 extending in the radial direction is provided between the first substrate 64 and the second substrate.

また、第1取付面12cと第2取付面32cとの段差(距離R1)は、隙間S2の軸X方向の幅が小さくなるように設計されている。このため、隙間S1から隙間S2に流出したグリースは、隙間S2を通って径方向外側に移動し難くなっている。 Further, the step (distance R1) between the first mounting surface 12c and the second mounting surface 32c is designed so that the width of the gap S2 in the axis X direction becomes smaller. Therefore, the grease flowing out from the gap S1 to the gap S2 is difficult to move outward in the radial direction through the gap S2.

なお、ラジアル型の磁気センサは、センサ基板と回転体とが径方向に対向する。よって、センサ基板と回転体との隙間は、軸X方向に延在する。そして、ラジアル型の磁気センサの隙間は、ラジアル型の磁気センサが占有する軸X方向の長さと同じ長さとなる。一方で、本実施形態の角度検出装置60が占有する軸X方向の長さは、L1となっている。そして、隙間S2の径方向の長さL2は、長さL1よりも長い。つまり、本実施形態の角度検出装置60によれば、グリースが流出する経路(隙間S2)は、角度検出装置60が占有する軸X方向の長さL1よりも長い。よって、隙間S2は、ラジアル型の磁気センサのように軸方向に延在する場合よりも長くなっており、グリースが通過し難くなっている。 In the radial type magnetic sensor, the sensor substrate and the rotating body face each other in the radial direction. Therefore, the gap between the sensor substrate and the rotating body extends in the axis X direction. Then, the gap of the radial type magnetic sensor has the same length as the length in the axis X direction occupied by the radial type magnetic sensor. On the other hand, the length in the axis X direction occupied by the angle detection device 60 of the present embodiment is L1. The radial length L2 of the gap S2 is longer than the length L1. That is, according to the angle detection device 60 of the present embodiment, the path (gap S2) through which the grease flows out is longer than the length L1 in the axis X direction occupied by the angle detection device 60. Therefore, the gap S2 is longer than the case where it extends in the axial direction as in the case of the radial type magnetic sensor, and it is difficult for grease to pass through.

第1基板64の外縁64aと大径筒部33の内周面33aとの間には、隙間S3が設けられている。第1基板64の外縁64aは、大径筒部33の内周面33aに近接している。よって、隙間S3の径方向の幅は非常に狭く、グリースが通過し難くなっている。 A gap S3 is provided between the outer edge 64a of the first substrate 64 and the inner peripheral surface 33a of the large-diameter tubular portion 33. The outer edge 64a of the first substrate 64 is close to the inner peripheral surface 33a of the large-diameter tubular portion 33. Therefore, the radial width of the gap S3 is very narrow, making it difficult for grease to pass through.

カバー50の外縁52は、大径筒部33の内周面33aに近接している。カバー50の外縁52と大径筒部33の内周面33aとの間には、隙間S4(図3参照)が設けられている。隙間S4は、径方向の幅が狭くなっている。よって、グリースは、隙間S4を通過して外部に排出され難い。 The outer edge 52 of the cover 50 is close to the inner peripheral surface 33a of the large-diameter tubular portion 33. A gap S4 (see FIG. 3) is provided between the outer edge 52 of the cover 50 and the inner peripheral surface 33a of the large-diameter tubular portion 33. The gap S4 has a narrow radial width. Therefore, the grease is unlikely to pass through the gap S4 and be discharged to the outside.

以上から、第1軸受21の隙間S0とダイレクトドライブモータ100の外部とを連通する隙間S1、S2、S3、S4は、クランク状の隙間空間を形成しているため、グリースが通過し難く、グリースが排出され難い。さらに、磁気センサ63と磁気リング66との間が近接してラビリンス構造となっているため、グリースが通過し難く、グリースが排出され難い。 From the above, since the gaps S0 of the first bearing 21 and the gaps S1, S2, S3, and S4 communicating with the outside of the direct drive motor 100 form crank-shaped gap spaces, it is difficult for grease to pass through, and grease is difficult to pass through. Is hard to be discharged. Further, since the magnetic sensor 63 and the magnetic ring 66 have a labyrinth structure in close proximity to each other, it is difficult for grease to pass through and it is difficult for grease to be discharged.

以上、実施形態1のダイレクトドライブモータ100は、第1ハウジング2及び第1ハウジング2の外周を囲む第2ハウジング3を有するハウジング1と、内輪21aが第1ハウジング2に外嵌された軸受と、軸受の外輪21bに外嵌された筒状の出力軸30と、出力軸30に外嵌されたロータ40と、第2ハウジング3に内嵌されたステータ41と、出力軸30の回転角度を検出する角度検出装置60と、を備える。第1ハウジング2は、内輪21aが外嵌される第1嵌合面11aと、第1嵌合面11aよりも径方向外側に突出し、内輪21aの端面に当接する第1突出部12と、を有する。出力軸30は、外輪21bが内嵌される第2嵌合面31aと、第2嵌合面31aよりも径方向内側に突出して外輪の端面に当接する第2突出部32と、内径が第2突出部32の内径より大径に形成され、外輪21bと反対方向に延出する大径筒部33と、を有する。第1突出部12は、内輪21aと当接する第1当接面12aと、第1当接面12aと反対側に位置する第1取付面12cを有する。第2突出部32は、外輪21bと当接する第2当接面32aと、第2当接面32aと反対側に位置し、かつ第1取付面12cよりも軸受寄りに位置している第2取付面32cを有する。角度検出装置60は、磁気センサ63を有し、第1取付面12cに取り付けられて第2取付面32cを覆うリング状のセンサ基板61と、永久磁石を有し、第2取付面32cに取り付けられてセンサ基板61と対向するリング状の回転体62と、を有する。センサ基板61の外縁64aは、大径筒部33の内周面33aに近接している。 As described above, the direct drive motor 100 of the first embodiment includes a housing 1 having a second housing 3 surrounding the outer periphery of the first housing 2 and the first housing 2, a bearing in which an inner ring 21a is externally fitted to the first housing 2. Detects the rotation angle of the tubular output shaft 30 outerly fitted to the outer ring 21b of the bearing, the rotor 40 outerly fitted to the output shaft 30, the stator 41 internally fitted to the second housing 3, and the output shaft 30. An angle detection device 60 for housing is provided. The first housing 2 has a first fitting surface 11a on which the inner ring 21a is fitted, and a first protruding portion 12 that protrudes radially outward from the first fitting surface 11a and abuts on the end surface of the inner ring 21a. Have. The output shaft 30 has a second fitting surface 31a into which the outer ring 21b is internally fitted, a second protruding portion 32 that projects radially inward from the second fitting surface 31a and abuts on the end surface of the outer ring, and an inner diameter of the second. 2 It has a large-diameter tubular portion 33 which is formed to have a diameter larger than the inner diameter of the protruding portion 32 and extends in the direction opposite to the outer ring 21b. The first protruding portion 12 has a first contact surface 12a that comes into contact with the inner ring 21a and a first mounting surface 12c that is located on the opposite side of the first contact surface 12a. The second protruding portion 32 is located on the side opposite to the second contact surface 32a that comes into contact with the outer ring 21b and the second contact surface 32a, and is located closer to the bearing than the first mounting surface 12c. It has a mounting surface 32c. The angle detection device 60 has a magnetic sensor 63, a ring-shaped sensor substrate 61 that is attached to the first attachment surface 12c and covers the second attachment surface 32c, and a permanent magnet, and is attached to the second attachment surface 32c. It has a ring-shaped rotating body 62 that faces the sensor substrate 61. The outer edge 64a of the sensor substrate 61 is close to the inner peripheral surface 33a of the large-diameter tubular portion 33.

センサ基板61と回転体62との隙間S2は、径方向に延在し、軸X方向に延在する場合よりも長い。センサ基板61の外縁64sと大径筒部33との隙間S3は小さい。このため、グリースは、隙間S2、S3を通過し難く、ダイレクトドライブモータ100の外部に流出し難い。また、隙間S2、S3は、第1ハウジング2、出力軸30、及び角度検出装置60により作られ、新規の部品を利用していない。よって、部品点数の増加を抑えられる。また、ダイレクトドライブモータ100の軸方向への大型化が回避される。 The gap S2 between the sensor substrate 61 and the rotating body 62 extends in the radial direction and is longer than the case where it extends in the axis X direction. The gap S3 between the outer edge 64s of the sensor substrate 61 and the large diameter tubular portion 33 is small. Therefore, it is difficult for the grease to pass through the gaps S2 and S3, and it is difficult for the grease to flow out to the outside of the direct drive motor 100. Further, the gaps S2 and S3 are made by the first housing 2, the output shaft 30, and the angle detection device 60, and new parts are not used. Therefore, the increase in the number of parts can be suppressed. Further, it is possible to avoid increasing the size of the direct drive motor 100 in the axial direction.

実施形態1のダイレクトドライブモータ100は、第1取付面12cとセンサ基板61との間に介在するリング状の第1スペーサ71と、第2取付面32cと回転体62との間に介在するリング状の第2スペーサ72と、を備える。 The direct drive motor 100 of the first embodiment has a ring-shaped first spacer 71 interposed between the first attachment surface 12c and the sensor substrate 61, and a ring interposed between the second attachment surface 32c and the rotating body 62. A second spacer 72 in the shape of a shape is provided.

実施形態1のダイレクトドライブモータ100の回転体62は、内縁から第1突出部12と第2突出部32との間に入り込む筒状の絞り部68を有する。 The rotating body 62 of the direct drive motor 100 of the first embodiment has a cylindrical throttle portion 68 that enters between the first protruding portion 12 and the second protruding portion 32 from the inner edge.

第1突出部12と第2突出部32との間の隙間S1は、絞り部68によって径方向の幅が狭くなり、グリースが通過し難い。よって、ダイレクトドライブモータ100の外部にグリースが排出される可能性がさらに低減している。 The width of the gap S1 between the first protruding portion 12 and the second protruding portion 32 in the radial direction is narrowed by the drawing portion 68, and it is difficult for grease to pass therethrough. Therefore, the possibility that grease is discharged to the outside of the direct drive motor 100 is further reduced.

実施形態1のダイレクトドライブモータ100の第1ハウジング2は、第1突出部12の内縁から軸受と反対方向に延出する小径筒部13を備える。小径筒部13の端面に取り付けられて径方向外側に延び、外縁52が大径筒部33の内周面に近接するカバー50を備える。 The first housing 2 of the direct drive motor 100 of the first embodiment includes a small-diameter tubular portion 13 extending from the inner edge of the first protruding portion 12 in the direction opposite to the bearing. A cover 50 is provided which is attached to the end surface of the small-diameter tubular portion 13 and extends outward in the radial direction, and the outer edge 52 is close to the inner peripheral surface of the large-diameter tubular portion 33.

センサ基板61の外縁と大径筒部33との隙間S3を通過した後であってもカバー50と大径筒部33との隙間S4を通過しなければ、外部に排出されない。よって、ダイレクトドライブモータ100の外部にグリースが排出される可能性がさらに低減している。 Even after passing through the gap S3 between the outer edge of the sensor substrate 61 and the large-diameter tubular portion 33, the sensor substrate 61 must pass through the gap S4 between the cover 50 and the large-diameter tubular portion 33 before being discharged to the outside. Therefore, the possibility that grease is discharged to the outside of the direct drive motor 100 is further reduced.

(実施形態2)
次に実施形態2に係るダイレクトドライブモータ100Aを図4、図5を参照しながら説明する。図4は、実施形態2のダイレクトドライブモータの主要構成を示す概略断面図である。図5は、図4の第1突出部の近傍を拡大した拡大図である。
(Embodiment 2)
Next, the direct drive motor 100A according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a main configuration of the direct drive motor of the second embodiment. FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the first protruding portion of FIG.

実施形態2のダイレクトドライブモータ100Aは、ハウジング1に吸気孔80が設けられている点で、実施形態1のダイレクトドライブモータ100と相違する。以下、相違点に絞って説明する。 The direct drive motor 100A of the second embodiment is different from the direct drive motor 100 of the first embodiment in that the housing 1 is provided with the intake hole 80. Hereinafter, the differences will be focused on.

吸気孔80は、第1ハウジング2とベース部4とを連続して貫通して成る孔である。吸気孔80は、軸X方向に延びる第1孔部81と、径方向に延びる第2孔部82と、を有している。第1孔部81は、第1ハウジング2と、ベース部4と、を軸方向に貫通している。第1孔部81は、ベース部4の第2方向X2を向く面に吸入口81aが設けられている。そして、吸入口81aには、吸引装置110が連結している。 The intake hole 80 is a hole formed by continuously penetrating the first housing 2 and the base portion 4. The intake hole 80 has a first hole portion 81 extending in the axial X direction and a second hole portion 82 extending in the radial direction. The first hole portion 81 penetrates the first housing 2 and the base portion 4 in the axial direction. The first hole portion 81 is provided with a suction port 81a on the surface of the base portion 4 facing the second direction X2. A suction device 110 is connected to the suction port 81a.

図5に示すように、第2孔部82は、第1ハウジング2の第1突出部12の内部に設けられている。そして、第1突出部12の外周面12bに第2孔部82の開口部83が設けられている。よって、開口部83は、第2突出部32の内周面32bや絞り部68と径方向に対向し、隙間S1と連続している。また、開口部83は、第1突出部12の外周面12bに沿って周方向に延在し、環状となっている。 As shown in FIG. 5, the second hole 82 is provided inside the first protrusion 12 of the first housing 2. An opening 83 of the second hole 82 is provided on the outer peripheral surface 12b of the first protrusion 12. Therefore, the opening 83 faces the inner peripheral surface 32b of the second protruding portion 32 and the throttle portion 68 in the radial direction, and is continuous with the gap S1. Further, the opening 83 extends in the circumferential direction along the outer peripheral surface 12b of the first protruding portion 12, and has an annular shape.

以上、実施形態2のダイレクトドライブモータ100Aにおいて、第1ハウジング2は、吸引装置110により吸引される吸気孔80を有する。第1突出部12の外周面12bには、吸気孔80の開口部83が設けられている。開口部83は、第1突出部12の外周面12bに沿って周方向に延在している。 As described above, in the direct drive motor 100A of the second embodiment, the first housing 2 has an intake hole 80 that is sucked by the suction device 110. An opening 83 of the intake hole 80 is provided on the outer peripheral surface 12b of the first protruding portion 12. The opening 83 extends in the circumferential direction along the outer peripheral surface 12b of the first protruding portion 12.

実施形態2によれば、吸引装置110を駆動させることで、吸気孔80が減圧される。そして、開口部83と連続する隙間S1に流出したグリースは、吸気孔80に吸引され、吸引装置110に吸い込まれる。よって、ダイレクトドライブモータ100の外部にグリースが排出される可能性がさらに低減している。 According to the second embodiment, the intake hole 80 is depressurized by driving the suction device 110. Then, the grease flowing out into the gap S1 continuous with the opening 83 is sucked into the intake hole 80 and sucked into the suction device 110. Therefore, the possibility that grease is discharged to the outside of the direct drive motor 100 is further reduced.

100 ダイレクトドライブモータ
1 ハウジング
2 第1ハウジング
3 第2ハウジング
4 ベース部
11 内嵌部
12 第1突出部
12c 第1取付面
13 小径筒部
20 軸受装置
21 第1軸受(軸受)
22 第2軸受
21a、22a 内輪
21b、22b 外輪
30 出力軸
31 外嵌部
32 第2突出部
32c 第2取付面
33 大径筒部
40 ロータ
41 ステータ
50 カバー
60 角度検出装置
61 センサ基板
62 回転体
63 磁気センサ
64 第1基板
66 磁気リング
67 第2基板
68 絞り部
71 第1スペーサ
72 第2スペーサ
80 吸気孔
81 第1孔部
82 第2孔部
83 開口部
S1、S2、S3、S4 隙間
100 Direct drive motor 1 Housing 2 1st housing 3 2nd housing 4 Base part 11 Inner fitting part 12 1st protruding part 12c 1st mounting surface 13 Small diameter cylinder part 20 Bearing device 21 1st bearing (bearing)
22 2nd bearing 21a, 22a Inner ring 21b, 22b Outer ring 30 Output shaft 31 Outer fitting part 32 2nd protruding part 32c 2nd mounting surface 33 Large diameter cylinder part 40 Rotor 41 stator 50 cover 60 Angle detection device 61 Sensor board 62 Rotating body 63 Magnetic sensor 64 1st board 66 Magnetic ring 67 2nd board 68 Aperture part 71 1st spacer 72 2nd spacer 80 Intake hole 81 1st hole 82 2nd hole 83 Opening S1, S2, S3, S4 Gap

Claims (5)

第1ハウジング及び前記第1ハウジングの外周を囲む第2ハウジングを有するハウジングと、
内輪が前記第1ハウジングに外嵌された軸受と、
前記軸受の外輪に外嵌された筒状の出力軸と、
前記出力軸に外嵌されたロータと、
前記第2ハウジングに内嵌されたステータと、
前記出力軸の回転角度を検出する角度検出装置と、
を備え、
前記第1ハウジングは、
前記内輪が外嵌される第1嵌合面と、
前記第1嵌合面よりも径方向外側に突出し、前記内輪の端面に当接する第1突出部と、
を有し、
前記出力軸は、
前記外輪が内嵌される第2嵌合面と、
前記第2嵌合面よりも径方向内側に突出して前記外輪の端面に当接する第2突出部と、
内径が前記第2突出部の内径より大径に形成され、前記外輪と反対方向に延出する大径筒部と、
を有し、
前記第1突出部は、
前記内輪と当接する第1当接面と、
前記第1当接面と反対側に位置する第1取付面を有し、
前記第2突出部は、
前記外輪と当接する第2当接面と、
前記第2当接面と反対側に位置し、かつ前記第1取付面よりも前記軸受寄りに位置している第2取付面を有し、
前記角度検出装置は、
磁気センサを有し、前記第1取付面に取り付けられて前記第2取付面を覆うリング状のセンサ基板と、
永久磁石を有し、前記第2取付面に取り付けられて前記センサ基板と対向するリング状の回転体と、
を有し、
前記センサ基板の外縁は、前記大径筒部の内周面に近接している
ダイレクトドライブモータ。
A housing having a first housing and a second housing surrounding the outer periphery of the first housing,
A bearing whose inner ring is externally fitted to the first housing,
A cylindrical output shaft fitted to the outer ring of the bearing and
The rotor fitted to the output shaft and
The stator fitted in the second housing and
An angle detection device that detects the rotation angle of the output shaft,
With
The first housing is
The first fitting surface on which the inner ring is externally fitted and
A first projecting portion that projects radially outward from the first fitting surface and abuts on the end surface of the inner ring,
Have,
The output shaft is
The second fitting surface into which the outer ring is internally fitted and
A second protruding portion that projects radially inward from the second fitting surface and abuts on the end surface of the outer ring,
A large-diameter tubular portion having an inner diameter larger than the inner diameter of the second protruding portion and extending in the direction opposite to the outer ring.
Have,
The first protrusion is
The first contact surface that comes into contact with the inner ring,
It has a first mounting surface located on the opposite side of the first contact surface.
The second protrusion is
A second contact surface that comes into contact with the outer ring,
It has a second mounting surface that is located on the opposite side of the second contact surface and is located closer to the bearing than the first mounting surface.
The angle detection device is
A ring-shaped sensor substrate having a magnetic sensor, which is attached to the first mounting surface and covers the second mounting surface,
A ring-shaped rotating body having a permanent magnet and attached to the second mounting surface and facing the sensor substrate.
Have,
A direct drive motor in which the outer edge of the sensor substrate is close to the inner peripheral surface of the large-diameter cylinder portion.
前記第1取付面と前記センサ基板との間に介在するリング状の第1スペーサと、
前記第2取付面と前記回転体との間に介在するリング状の第2スペーサと、
を備える
請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。
A ring-shaped first spacer interposed between the first mounting surface and the sensor substrate,
A ring-shaped second spacer interposed between the second mounting surface and the rotating body,
The direct drive motor according to claim 1.
前記回転体は、内縁から前記第1突出部と前記第2突出部との間に入り込む筒状の絞り部を有する
請求項1又は請求項2に記載のダイレクトドライブモータ。
The direct drive motor according to claim 1 or 2, wherein the rotating body has a cylindrical throttle portion that enters between the first protruding portion and the second protruding portion from the inner edge.
前記第1ハウジングは、前記第1突出部の内縁から前記軸受と反対方向に延出する小径筒部を備え、
前記小径筒部の端面に取り付けられて径方向外側に延び、外縁が前記大径筒部の内周面に近接するカバーを備える
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のダイレクトドライブモータ。
The first housing includes a small-diameter tubular portion extending from the inner edge of the first protruding portion in a direction opposite to the bearing.
The direct drive according to any one of claims 1 to 3, further comprising a cover attached to the end surface of the small-diameter tubular portion, extending outward in the radial direction, and having an outer edge close to the inner peripheral surface of the large-diameter tubular portion. motor.
前記第1ハウジングは、吸引装置により吸引される吸気孔を有し、
前記第1突出部の外周面には、前記吸気孔の開口部が設けられ、
前記開口部は、前記第1突出部の外周面に沿って周方向に延在している
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のダイレクトドライブモータ。
The first housing has an intake hole that is sucked by a suction device.
An opening of the intake hole is provided on the outer peripheral surface of the first protrusion.
The direct drive motor according to any one of claims 1 to 4, wherein the opening extends in the circumferential direction along the outer peripheral surface of the first protruding portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2020012714A1 (en) 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114598110A (en) * 2022-03-18 2022-06-07 苏州天弘激光股份有限公司 DD motor with large aperture and limited rotation

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