JP2021150236A - 集束イオンビーム加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
断面加工は、図12に示すようにして行われる。まず、試料200の表面200aに直交するようにして集束イオンビーム20Aを照射する。そして、集束イオンビーム20Aの照射位置を走査し、試料200の表面200aに直交する(集束イオンビーム20Aの照射方向に平行な)断面200cを掘り下げていく。
但し、断面加工後に断面200cを観察すSEM鏡筒の電子ビーム10Aは、集束イオンビーム20Aと角度を持っているため、断面200cから離れたところは断面近傍のように深く穴掘りする必要はない。そこで、エッチングに掛かる時間を短縮させて作業効率を向上させるため、断面200cの底面から所定の角度θ(例えば54度)で表面200a側に立ち上がるスロープ(傾斜)面状に加工する。従来の技術では、現実的な加工時間を考慮すると、断面のサイズは数十μm、広くても100μm以下である。
そこで、集束イオンビームとして、Gaの金属イオンビームに代えて、プラズマからXeイオンを引き出して集束イオンビームとすることで、Gaイオンビームより大電流でビームを試料に照射できる。
そして、このような大電流の集束イオンビームを、集束モードにより試料に照射して加工する。具体的には、集束モードは、集束レンズと対物レンズの間でビームがクロスしないほぼ平行な軌道とし、集束レンズと対物レンズの間に設置した丸穴のアパーチャでビームの角度広がりを調整して最適なビーム形状とする。このようにして得られるビームをビーム偏向器で走査させることで所望の位置の断面を作製することができる。
転写モードは、アパーチャでマスクされた集束イオンビームを用いるので、集束モードよりは加工後の断面をシャープにすることができるという特徴がある。
そこで、試料の断面を形成するマスクの一辺を、イオンビームの光学軸に合わせた技術が開発されている(特許文献2)。
これにより、試料の断面をシャープに加工することができるとされる。
又、特許文献1の技術の場合、図13に示したように、アパーチャー500でマスクした短冊状のイオンビームを用いて複数回のエッチング作業をそれぞれエッチング時間を変化させて行う必要があり、この点でも作業効率が低くなる。
さらに、無駄にエッチングした部位のスパッタ生成物が断面に付着するので、シャープな断面を得るための仕上げ加工の量が増加することによっても作業効率が低下する。
一方、必要とする試料断面は、試料表面から垂直に彫られた断面と、断面に繋がるスロープを持つ略V字形状である。そこで、上述の電流密度分布のプローブ電流で試料をエッチングすれば、断面と断面に繋がるスロープによる略V字状に近い輪郭で試料がエッチングされるので、断面加工においてイオンビームを無駄なくエッチングに利用できる。さらに、最も深くエッチングが必要な断面の部分にプローブ電流のピークを合わせれば、追加のエッチングをしなくても断面を深くエッチングできる。これらにより、作業効率が向上する。
又、エッチングにより発生したスパッタ生成物は観察対象となる断面に付着するが、不要な領域のエッチングを少なくできるので、断面へのスパッタ生成物の付着を低減し、作業効率をより一層向上させることができる。
このようにすると、上述のプローブ電流分布のうち、中心より略半分がマスクされ、中心より反対側の略半分のみがプローブ電流として作用する。
その結果、上述のように略V字形状の断面の輪郭に近いプローブ電流分布となるので、イオンビームを無駄なくエッチングに利用できる。
又、このように、アパーチャを通ったプローブ電流は、略V字形状の断面の輪郭に近いエッチングを行うので、集束イオンビームを走査せずに、アパーチャを用いて一度に試料の断面加工の形状を作り込むことができ、作業効率がさらに向上する。
さらに、断面は、アパーチャのスリットのうち直線状の一辺でイオンビームをマスクしてエッチングするので、断面にダレ(ステップ)が生じにくく、断面形状を改善させることができる。
転写モードは集束イオンビームの形状がスリットの形状を反映し、スリット形状を転写する投影倍率はアパーチャ、投射レンズ、及び試料のジオメトリによって一意に決まる。従って、試料の断面加工にて断面の長さを変えるには、アパーチャの形状を変える必要がある。しかしながら、例えば現状のスリットより大きな(例えば10%大きい)断面を作りたい場合に、スリット寸法が大きな別のアパーチャや、1つのアパーチャにさらに別のスリットを設けると作業効率や装置スペース上問題がある。
そこで、投射レンズの印加電圧を変えると、投影倍率が変化するので、断面の長さを容易に変更することができる。
なお、投射レンズの印加電圧を変えるとビームが歪むので、スリット形状を正確に転写する目的には難があるが、断面を形成する際にはビームのエッジがまっすぐであれば問題がない。
又、「断面の長さ」とは、試料の表面と断面との交線(稜線)の長さである。
この集束イオンビーム加工装置によれば、試料に矩形状のエッチングを施して、適切な断面を得ることができる。
この集束イオンビーム加工装置によれば、Ga等のイオン源に比べて大電流のイオンビームが得られるので作業効率が向上する。
図1は本発明の実施形態に係る集束イオンビーム加工装置100の全体構成を示すブロック図である。図1において、集束イオンビーム加工装置100は、電子ビーム鏡筒(SEM鏡筒)10と、集束イオンビーム鏡筒(FIB鏡筒)20と、二次電子検出器4、5と、制御手段6と、表示部7と、入力手段8と、試料ステージ50と、を備え、試料ステージ50上に配置した試料200を集束イオンビームにより加工して、SEMにより観察することができる。
なお、図1において、FIB鏡筒20が垂直になるよう配置され、SEM鏡筒10は垂直から所定角度で斜めに配置されているが、これに限られない。
集束イオンビーム加工装置100の各構成部分の一部又は全部は真空室40内に配置され、真空室40内は所定の真空度まで減圧されている。
また制御手段6は、ソフトウェアの指令やオペレータの入力に基づいて試料ステージ50を駆動し、試料200の位置や姿勢を調整して試料200表面への電子ビーム10A、イオンビーム20Aの照射位置や照射角度を調整できるようになっている。
なお、制御手段6には、オペレータの入力指示を取得するキーボード等の入力手段8と、試料の画像等を表示する表示部7とが接続されている。
電子光学系は、例えば、電子ビーム10Aを集束するコンデンサーレンズと、電子ビーム10Aを絞り込む絞りと、電子ビーム10Aの光軸を調整するアライナと、電子ビーム10Aを試料200に対して集束する対物レンズと、試料200上で電子ビーム10Aを走査する偏向器とを備えて構成される。
アライメント25は、イオンビームが対物レンズ28の中心軸を通過するようにビームの軌道を調整する。スティグメータ26、走査電極27は、それぞれ非点収差補正する機能、ビームを試料上で走査する機能を有する。
ブランカ23と走査電極27は偏向器をなす。
なお、図7に示すように、集束モードによりイオンビームを走査することによっても試料の観察、加工ができるように、アパーチャ24は集束モード用の丸穴24hも有する。丸穴24hは、イオンビームの角度広がりを調整するものであり、アパーチャ24を図示しない駆動部にてアパーチャ平面内を移動させることにより所望のスリット24s又は丸穴24hを選択し、転写モードと集束モードとを切り替えできる。
レンズ28を示す。
集束レンズ22は、2つのレンズ22a、22bからなり、これにより、アパーチャ24のスリット24sを通過するプローブ電流を調整することが可能である。プローブ電流を増やすとアパーチャ24を通過するビームの開き角が大きくなるため収差が大きくなり、鋭いビーム形状が得られない事がある。そこで、所望のビーム形状に応じて最適なスリット24sの寸法が設定される。
なお、図3では集束レンズは22a、22bの2段からなるが、これに限らず一段でも構わない。
集束レンズ22及び投射レンズ28は静電レンズからなる。
なお、転写モードを採用する場合、アパーチャ24の投影倍率はアパーチャ24と投射レンズ28と試料200との距離の関係で決まる。
これにより、図3のアパーチャ20から試料200に向かう軌道(太い実線で図示)のように、開口形に成形されたビームが試料上に照射され、アパーチャ形状が試料に転写される。
ここで、転写モードでは、アパーチャ24の開口形状を試料200に投射するため、アパーチャ24のスリット24sを光源として投射レンズ28で試料200に光源を結像する必要がある。したがって、投射レンズ28の印加電圧は幾何的に一意に決まる。
ここで、集束レンズ22に印加する電圧の絶対値を小さくする度合として、ケーラー照明法により、投射レンズ28の主面に集束イオンビーム20Aが合焦するときの集束レンズ22に印加する電圧を100としたとき、集束レンズ22の印加電圧が100未満、80以上に設定される。なお、アパーチャ24は、ケーラー照明法における「視野絞り」に相当する。
又、図5において、軌道LAにおけるプローブ電流は試料200の表面の中心Oから半径方向(面方向外側)に向かい、一様(矩形)である。
一方、軌道LB、LCにおけるプローブ電流は試料200の表面の中心Oが最も強く、半径方向(面方向外側)に向かい低下している。
以上から、集束レンズ22の印加電圧を100未満、80以上に設定した。
つまり、図6に示すように、集束レンズ22の印加電圧が100の軌道LAにおけるプローブ電流は一様(矩形)であるので、この軌道LAのプローブ電流にて試料200をエッチングすると、矩形状を反転させた一様の深さに掘られる。
その結果、断面200cと断面200cに繋がる略V字状に近い輪郭で試料200がエッチングされるので、イオンビームを無駄なくエッチングに利用できる。さらに、最も深くエッチングが必要な断面200cの部分にプローブ電流のピークを合わせれば、追加のエッチングをしなくても断面200cを深くエッチングできる。
これらにより、作業効率が向上する。
又、エッチングにより発生したスパッタ生成物は観察対象となる断面に付着するが、不要な領域のエッチングを少なくできるので、断面へのスパッタ生成物の付着を低減し、作業効率をより一層向上させることができる。
つまり、図8において、イオンビームの軌道LBにおけるプローブ電流は、中心Oで電流密度が大きく、中心から離れるにしたがって漸減する分布であるため、この軌道LBのプローブ電流にて試料200をエッチングすると、電流密度分布を反転させた中心Oが最も深い形状で掘られる。
その結果、断面200cと断面200cに繋がる略V字状の試料200がエッチングされ、これは断面200c及びスロープ200sの輪郭に近いので、イオンビームを無駄なくエッチングに利用できる。
さらに、断面200cは、アパーチャ24のスリット24sのうち直線状の一辺24tでイオンビームをマスクしてエッチングするので、断面にダレ(ステップ)が生じにくく、断面形状を改善させることができる。
アパーチャ24のスリット24sの中心を集束イオンビーム20Aの中心Oに合わせた軌道をLDとし、アパーチャ24の一辺14tを集束イオンビーム20Aの中心Oに合わせた軌道をLEとする。又、アパーチャ24の一辺14tを集束イオンビーム20Aの中心Oよりも内側に合わせた(つまり、集束イオンビーム20Aの中心Oが一辺24tよりもアパーチャ24にマスクされる位置とした)軌道をLFとする。
ここで、軌道LFにおいて、集束イオンビーム20Aの中心Oが一辺24tよりもアパーチャ24にマスクされる幅(距離)をSとする。
これに対し、アパーチャ24の一辺を集束イオンビーム20Aの中心Oと略一致させた軌道LE,LFにおけるプローブ電流は、模式図8で示したように、中心Oから右半分のみの形状となっているとともに、中心Oよりも右半分で半径方向外側に軌道LDよりも広がっている。
これにより、アパーチャ24の一辺24tを集束イオンビーム20Aの中心Oと略一致させることで、断面にダレ(ステップ)が生じにくく、断面形状を改善させるとともに、プローブ電流がスロープ200sの輪郭に近くなって、イオンビームを無駄なくエッチングに利用できることがわかる。
理想的な光学系では、アパーチャ24の一辺24tを集束イオンビーム20Aの中心Oと一致させた軌道LEでは、一辺24tに沿って断面200cの照射部位に直線ビーム形状が得られる。しかし、通常は理想的な条件にはならず、図11に示すように集束イオンビーム20Aの中心Oが一辺24tよりもアパーチャ24にマスクされるように設定する軌道LFの方が、一辺24tに沿った断面200cの照射部位(図11の破線LFのX方向に沿う直線部分)において直線ビーム形状が得られる傾向にある。
そこで、集束イオンビーム20Aの中心Oが一辺24tよりも500μm以下の距離でアパーチャ24にマスクされるよう(つまり、図9の距離S<500μmとなるよう)、アパーチャ24の位置を設定するとよい。
ここで、図12に示すように、試料200の表面200aと断面200cとの交線(稜線)200dの長さは10μm以上1mm以下であると好ましい。この稜線200dの長さを作成するために、アパーチャ24の一辺24tの長さは、アパーチャ24の投影倍率によっても変わるが、通常1μm以上、1mmである。
本発明の集束イオンビーム加工装置は、少なくとも集束イオンビーム鏡筒を備えていればよく、電子ビーム鏡筒は必須の構成ではない。
転写モードは集束イオンビームの形状がスリットの形状を反映し、スリット形状を転写する投影倍率はアパーチャ、投射レンズ、及び試料のジオメトリによって一意に決まる。従って、試料の断面加工にて断面の長さを変えるには、アパーチャの形状を変える必要がある。しかしながら、例えば現状のスリットより大きな(例えば10%大きい)断面を作りたい場合に、スリット寸法が大きな別のアパーチャや、1つのアパーチャにさらに別のスリットを設けると作業効率や装置スペース上問題がある。
そこで、投射レンズの印加電圧を変えると、投影倍率が変化するので、断面の長さを容易に変更することができる。
なお、投射レンズの印加電圧を変えるとビームが歪むので、スリット形状を正確に転写する目的には難があるが、断面を形成する際にはビームのエッジがまっすぐであれば問題がない。
20A 集束イオンビーム
21 イオン源
22 集束レンズ
24 アパーチャ
24s スリットを有する
24t スリットの直線状の一辺
28 投射レンズ
50 試料ステージ
100 集束イオンビーム加工装置
200 試料
200c 試料の断面
S 集束イオンビームの中心が一辺よりもアパーチャにマスクされる距離
Claims (4)
- イオン源と、
試料を保持する試料ステージと、
イオン源から放出されるイオンを集束イオンビームに集束する集束レンズと、
前記集束レンズで集束された前記集束イオンビームの一部をマスクし、前記試料を所望の形状に加工するための少なくとも一辺が直線状のスリットを有するアパーチャと、
前記アパーチャと前記試料台との間のビーム経路に配置され、前記アパーチャを通過した前記集束イオンビームを、該アパーチャを光源として前記試料の所定位置に合焦させる投射レンズと、
を有し、前記試料に対して前記集束イオンビームの照射方向に平行な断面を加工する集束イオンビーム加工装置であって、
ケーラー照明法により、前記投射レンズの主面に前記集束イオンビームが合焦するときの前記集束レンズの印加電圧を100としたとき、前記集束レンズの前記印加電圧が100未満、80以上に設定され、
前記アパーチャの前記一辺を、前記集束イオンビームの中心より前記一辺が0μmより大きく、500μm以下の距離で該集束イオンビームが前記アパーチャにマスクされるよう、前記アパーチャの位置が設定され、
前記投射レンズの印加電圧は前記アパーチャの前記スリットによる像を前記試料表面に合焦させる印加電圧に設定され、
前記集束イオンビームは走査されずに、前記スリットの形状に成形された前記集束イオンビームが前記試料表面に一度に照射され、該スリットの形状が前記試料に転写される転写モードをなすことを特徴とする集束イオンビーム加工装置。 - 前記投射レンズの印加電圧を調整することにより前記集束イオンビームのビームサイズを調整可能である請求項1に記載の集束イオンビーム加工装置。
- 前記アパーチャの前記スリットは矩形状である請求項1又は2に記載の集束イオンビーム加工装置。
- 前記イオン源はプラズマイオン源である請求項1〜3のいずれか一項に記載の集束イオンビーム加工装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020050997A JP7354037B2 (ja) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 集束イオンビーム加工装置 |
KR1020200180981A KR20210118726A (ko) | 2020-03-23 | 2020-12-22 | 집속 이온 빔 가공 장치 |
TW110107644A TW202201458A (zh) | 2020-03-23 | 2021-03-04 | 聚焦離子束加工裝置 |
US17/207,184 US11721517B2 (en) | 2020-03-23 | 2021-03-19 | Focused ion beam processing apparatus |
CN202110302101.4A CN113436952A (zh) | 2020-03-23 | 2021-03-22 | 会聚离子束加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020050997A JP7354037B2 (ja) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 集束イオンビーム加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021150236A true JP2021150236A (ja) | 2021-09-27 |
JP7354037B2 JP7354037B2 (ja) | 2023-10-02 |
Family
ID=77748452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020050997A Active JP7354037B2 (ja) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 集束イオンビーム加工装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11721517B2 (ja) |
JP (1) | JP7354037B2 (ja) |
KR (1) | KR20210118726A (ja) |
CN (1) | CN113436952A (ja) |
TW (1) | TW202201458A (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4137406A1 (de) | 1991-11-14 | 1993-05-19 | Basf Ag | Hybridgarn aus polyamidfasern und verstaerkungsfasern |
JP3531323B2 (ja) | 1995-12-06 | 2004-05-31 | 株式会社日立製作所 | イオンビーム加工方法および装置 |
JP2001189257A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Nikon Corp | 荷電粒子線照明光学系の調整方法 |
US6977386B2 (en) | 2001-01-19 | 2005-12-20 | Fei Company | Angular aperture shaped beam system and method |
DE10136190A1 (de) * | 2001-07-25 | 2003-02-06 | Ceos Gmbh | Schlitzlinsenanordnung für Teilchenstrahlen |
JP2003077814A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Nikon Corp | 荷電粒子線露光装置の結像性能の計測方法及びその計測装置、荷電粒子線露光装置 |
DE102004019835B4 (de) * | 2004-04-23 | 2007-08-02 | Vistec Electron Beam Gmbh | Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem |
JP2006120331A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Jeol Ltd | 集束イオンビーム装置および収差補正集束イオンビーム装置 |
JP4789260B2 (ja) | 2006-08-23 | 2011-10-12 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 荷電粒子ビーム装置及びアパーチャの軸調整方法 |
DE102008064781B3 (de) * | 2007-04-23 | 2016-01-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | lonenstrahlbearbeitungs-/Betrachtungsvorrichtung |
JP5247761B2 (ja) | 2010-05-21 | 2013-07-24 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Fib−sem複合装置 |
US9275817B2 (en) | 2012-04-09 | 2016-03-01 | Frederick Wight Martin | Particle-beam column corrected for both chromatic and spherical aberration |
US20150146179A1 (en) * | 2013-11-25 | 2015-05-28 | Takao Utsumi | Low energy electron beam lithography |
EP3010031B1 (en) * | 2014-10-16 | 2017-03-22 | Fei Company | Charged Particle Microscope with special aperture plate |
DE102019005362A1 (de) * | 2019-07-31 | 2021-02-04 | Carl Zeiss Multisem Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Vielzahl-Teilchenstrahlsystems unter Veränderung der numerischen Apertur, zugehöriges Computerprogrammprodukt und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem |
-
2020
- 2020-03-23 JP JP2020050997A patent/JP7354037B2/ja active Active
- 2020-12-22 KR KR1020200180981A patent/KR20210118726A/ko active Search and Examination
-
2021
- 2021-03-04 TW TW110107644A patent/TW202201458A/zh unknown
- 2021-03-19 US US17/207,184 patent/US11721517B2/en active Active
- 2021-03-22 CN CN202110302101.4A patent/CN113436952A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7354037B2 (ja) | 2023-10-02 |
US11721517B2 (en) | 2023-08-08 |
CN113436952A (zh) | 2021-09-24 |
US20210296080A1 (en) | 2021-09-23 |
TW202201458A (zh) | 2022-01-01 |
KR20210118726A (ko) | 2021-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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