JP2021131711A5 - - Google Patents
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Description
生成部112は、例えばスレーブ装置120と同じ数だけ設けられ、本実施形態では、2個のスレーブ装置121、122をそれぞれ制御対象とする2個の生成部112a、112bが設けられている。生成部112aは、スレーブ装置121を制御対象としており、スレーブ装置121での処理を制御するための指示データを生成する。一方、生成部112bは、スレーブ装置122を制御対象としており、スレーブ装置122での処理を制御するための指示データを生成する。 The generators 112 are provided in the same number as the slave devices 120, for example, and in this embodiment, two generators 112a and 112b are provided for controlling two slave devices 121 and 122, respectively. The generation unit 112 a controls the slave device 121 and generates instruction data for controlling processing in the slave device 121 . On the other hand, the generation unit 112b controls the slave device 122 and generates instruction data for controlling the processing in the slave device 122 .
図5に示す露光装置10において、本発明に係る上記のシステム100を適用する場合、主制御部16がマスタ装置110として構成されうる。また、マスクステージ制御部31、投影制御部32および基板ステージ制御部33がそれぞれスレーブ装置120として構成されうる。第1駆動部21、第2駆動部22および第3駆動部23がそれぞれユニット130として構成されうる。主制御部16、マスクステージ制御部31、投影制御部32および基板ステージ制御部33との間におけるデータの送受信が、フィールドネットワークを介して一定周期ごとに行われることとなる。 When applying the system 100 according to the present invention to the exposure apparatus 10 shown in FIG. Also, the mask stage controller 31 , the projection controller 32 and the substrate stage controller 33 can each be configured as the slave device 120 . The first driving section 21 , the second driving section 22 and the third driving section 23 can each be configured as a unit 130 . Data transmission/reception between the main controller 16, the mask stage controller 31, the projection controller 32, and the substrate stage controller 33 is performed at regular intervals via the field network.
Claims (12)
前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、
フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信部と、
を含み、
前記通信部は、前記生成部がリセットされたことを検知した場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する、ことを特徴とする制御装置。 A control device that controls a slave device as a master device,
a generation unit that generates instruction data for controlling processing in the slave device;
a communication unit that transmits the instruction data generated by the generation unit to the slave device and receives response data from the slave device at regular intervals via a field network;
including
When the communication unit detects that the generation unit has been reset, if response data from the slave device remains in the data frame of the field network, the communication unit discards the response data. Control device.
前記生成部のリセットは、前記シーケンス制御部によって実行される、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の制御装置。 The control device further includes a sequence control unit that controls the sequence of processing in the slave device,
5. The control device according to any one of claims 1 to 4, wherein the resetting of the generator is performed by the sequence controller.
前記マスタ装置は、
前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、
フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信部と、を含み、
前記通信部は、前記生成部がリセットされたことを検知した場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する、ことを特徴とするシステム。 A system including a slave device and a master device that controls the slave device,
The master device
a generation unit that generates instruction data for controlling processing in the slave device;
a communication unit that transmits the instruction data generated by the generation unit to the slave device and receives response data from the slave device at regular intervals via a field network;
When the communication unit detects that the generation unit has been reset, if response data from the slave device remains in the data frame of the field network, the communication unit discards the response data. system.
請求項8に記載のシステムを含み、
前記スレーブ装置は、前記基板にパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構を制御する、ことを特徴とするリソグラフィ装置。 A lithographic apparatus for patterning a substrate, comprising:
comprising the system of claim 8;
A lithographic apparatus, wherein the slave device controls a mechanism that performs at least part of the process of patterning the substrate.
前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、を含み、
加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 forming a pattern on a substrate using a lithographic apparatus according to claim 9;
and processing the substrate on which the pattern is formed in the step,
A method for producing an article, comprising producing an article from the processed substrate.
前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成部により生成する生成工程と、
フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成工程で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信制御工程と、
前記生成部がリセットされた場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する破棄工程と、
を含むことを特徴とする制御方法。 A control method for controlling a slave device by a master device,
a generation step of generating, by a generation unit, instruction data for controlling processing in the slave device;
a communication control step of transmitting the instruction data generated in the generating step to the slave device and receiving response data from the slave device at regular intervals via a field network;
a discarding step of discarding the response data from the slave device if the response data remains in the data frame of the field network when the generator is reset;
A control method comprising:
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