JP2021128085A - 検査装置、検査システム及び検査プログラム - Google Patents
検査装置、検査システム及び検査プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021128085A JP2021128085A JP2020023392A JP2020023392A JP2021128085A JP 2021128085 A JP2021128085 A JP 2021128085A JP 2020023392 A JP2020023392 A JP 2020023392A JP 2020023392 A JP2020023392 A JP 2020023392A JP 2021128085 A JP2021128085 A JP 2021128085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- pattern
- rotating body
- inspection
- comparison
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 90
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8883—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges involving the calculation of gauges, generating models
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2218/00—Aspects of pattern recognition specially adapted for signal processing
- G06F2218/12—Classification; Matching
- G06F2218/16—Classification; Matching by matching signal segments
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V2201/00—Indexing scheme relating to image or video recognition or understanding
- G06V2201/06—Recognition of objects for industrial automation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係る検査システムの構成を模式的に示したブロック図である。
図1に例示するように、検査システム10は、撮像装置20と、回転機構30と、検査装置40と、を含む。
回転体Rには、例えば、ホイール、タイヤ、ファン、モータ、歯車、ベアリング等が含まれる。このような回転体Rの表面には、回転方向に同一のパターンが周期的に2以上設けられている。
画像取得部41は、撮像装置20によって撮像された回転体Rの所定の角度範囲についての画像を取得し、基準画像として記憶部43に記憶させる。
回転体Rの画像は、次のように撮像される。回転機構30に支持された回転体Rが、駆動制御部33による制御に従って駆動部31によって回転される。駆動制御部33は、回転体Rが予め定めた角度だけ回転する毎に、回転体Rの回転位置を示す信号を撮像装置20に出力する。
画像取得部41は、このようにして得られた回転体Rの画像を撮像装置20から取得し、基準画像として記憶部43に記憶させる。
ステップS103では、基準画像と第1比較画像との回転方向の相関を求め(図4参照)、回転体Rの回転方向(角度θ方向)におけるパターンの周期を算出する。
ステップS105では、ステップS104のパターン毎の比較結果に基づいて欠陥を検出し、検査を終了する。
図6は、第2実施形態に係る検査システムによって実施される検査方法の処理の流れを示すフローチャートである。本実施形態に係る検査システムの構成は上記した第1実施形態に係る検査システムと同一であるのでその説明を省略する。
以下、本実施形態に係る検査システムによる処理の流れについて、図6のフローチャートに従って説明する。
次のステップS202では、画像処理部42が、記憶部43に記憶された基準画像を複製して第1比較画像及び第2比較画像を生成し、記憶部43に記憶させる(図7参照)。
図8は、基準画像、第1比較画像、及び、第2比較画像において比較されるパターン同士を示した表である。
上述した検査装置として、汎用又は専用のコンピュータを適用することができる。図9に示すように、検査装置40は、中央演算処理装置(CPU)111と、入力部112と、出力部113と、ROM(Read Only Memory)114と、RAM(Random Access Memory)115と、記憶部116と、通信部117と、バス118とを含む。各部は、バス118により接続される。
Claims (7)
- 検査対象としての回転体であって、回転方向に同一のパターンを少なくとも2以上有する前記回転体について、前記回転方向に沿って所定の角度範囲を撮像した画像を取得する画像取得部と、
前記回転体の前記回転方向のパターンの周期に基づいて、前記画像において一の前記パターンと他の前記パターンとを前記パターン毎に比較することにより前記回転体の欠陥を検出する画像処理部と、
を備えた検査装置。 - 前記画像処理部は、前記画像と前記画像を複製した第1比較画像との前記回転方向の相関に基づいて、前記回転体の前記回転方向における前記パターンの周期を算出する請求項1記載の検査装置。
- 前記画像処理部は、前記画像と前記第1比較画像とを所定周期ずらした位置において前記パターン毎に比較して前記回転体の欠陥を検出する請求項2記載の検査装置。
- 検査対象としての回転体の画像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置に対して前記回転体を相対的に回転させる回転機構と、
前記撮像装置によって撮像された前記画像に基づいて、前記回転体の検査を行う検査装置と、
を備え、
前記撮像装置は、
回転方向に同一のパターンを少なくとも2以上有する前記回転体について、前記回転方向に沿って所定の角度範囲を撮像するセンサを含み、
前記検査装置は、
前記画像を取得する画像取得部と、
前記回転体の回転方向のパターンの周期に基づいて、一の前記パターンと他の前記パターンとを前記パターン毎に比較することにより前記回転体の欠陥を検出する画像処理部と、
を備えた検査システム。 - 前記回転機構が、前記撮像装置を回転させることにより、前記撮像装置と前記回転体をと相対的に回転させる請求項4記載の検査システム。
- 前記撮像装置又は前記回転機構は、前記センサの撮像視野が前記回転体の回転軸を含むように配置される請求項4又は請求項5記載の検査システム。
- 検査対象としての回転体であって、回転方向に同一のパターンを少なくとも2以上有する前記回転体について、前記回転方向に沿って所定の角度範囲を撮像した画像を取得する画像取得ステップと、
前記回転体の回転方向のパターンの周期に基づいて、一の前記パターンと他の前記パターンとを前記パターン毎に比較することにより前記回転体の欠陥を検出する画像処理ステップと、
をコンピュータに実行させる検査プログラム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020023392A JP2021128085A (ja) | 2020-02-14 | 2020-02-14 | 検査装置、検査システム及び検査プログラム |
CN202110147280.9A CN113340917A (zh) | 2020-02-14 | 2021-02-03 | 检查装置、检查系统以及检查程序 |
DE102021201251.5A DE102021201251A1 (de) | 2020-02-14 | 2021-02-10 | Überprüfungsvorrichtung, Überprüfungssystem und Überprüfungsprogramm |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020023392A JP2021128085A (ja) | 2020-02-14 | 2020-02-14 | 検査装置、検査システム及び検査プログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021128085A true JP2021128085A (ja) | 2021-09-02 |
Family
ID=77060973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020023392A Pending JP2021128085A (ja) | 2020-02-14 | 2020-02-14 | 検査装置、検査システム及び検査プログラム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021128085A (ja) |
CN (1) | CN113340917A (ja) |
DE (1) | DE102021201251A1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006084188A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検査装置及び検査システム |
JP2011070602A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Canon Inc | パターン検出装置、その処理方法及びプログラム |
JP2014095579A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Aisin Keikinzoku Co Ltd | 円形状製品の検査装置及び方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004028729A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Dainippon Printing Co Ltd | カードのサインパネル検査方法 |
KR101327857B1 (ko) * | 2007-02-26 | 2013-11-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치의 불량 측정 장치 및 방법 |
EP3317855B1 (en) * | 2015-06-30 | 2020-08-05 | Pirelli Tyre S.p.A. | Method and apparatus for analysing a surface of a tyre |
US10424059B2 (en) * | 2017-09-11 | 2019-09-24 | International Business Machines Corporation | Quality evaluation |
JP2020023392A (ja) | 2018-08-08 | 2020-02-13 | キヤノン株式会社 | モータ制御装置及び画像形成装置 |
-
2020
- 2020-02-14 JP JP2020023392A patent/JP2021128085A/ja active Pending
-
2021
- 2021-02-03 CN CN202110147280.9A patent/CN113340917A/zh active Pending
- 2021-02-10 DE DE102021201251.5A patent/DE102021201251A1/de active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006084188A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検査装置及び検査システム |
JP2011070602A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Canon Inc | パターン検出装置、その処理方法及びプログラム |
JP2014095579A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Aisin Keikinzoku Co Ltd | 円形状製品の検査装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113340917A (zh) | 2021-09-03 |
DE102021201251A1 (de) | 2021-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106415197B (zh) | 修正环形旋转体的表面形状数据的方法和检查环形旋转体的外观的装置 | |
US10366484B2 (en) | Inspection method, inspection apparatus, processing apparatus, and recording medium for detecting defects of a work | |
WO2011070750A1 (ja) | タイヤ形状検査方法、及びタイヤ形状検査装置 | |
JP4647510B2 (ja) | 基板の欠陥検査方法及びプログラム | |
US20150379707A1 (en) | Mask inspection apparatus, mask evaluation method and mask evaluation system | |
US10598481B2 (en) | Crankshaft shape inspection apparatus, system and method | |
US11060856B2 (en) | Misalignment detection device and misalignment detection method | |
JP2005292136A (ja) | 多重解像度検査システム及びその動作方法 | |
US10360684B2 (en) | Method and apparatus for edge determination of a measurement object in optical metrology | |
US9625353B2 (en) | Shape inspection device | |
WO2014175413A1 (ja) | 検査装置 | |
JP3914500B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2015222252A (ja) | 光学素子の表面の偏心及び傾きを測定するための方法及び装置 | |
CN104132612A (zh) | 一种丝杠尺寸参数检测方法与设备 | |
JP5794895B2 (ja) | 円筒形状物の外観検査装置 | |
JP2021128085A (ja) | 検査装置、検査システム及び検査プログラム | |
JP5895733B2 (ja) | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 | |
JP2020046282A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
JP2007315946A (ja) | 3次元形状計測方法及びこれを用いた3次元形状計測装置 | |
KR101659309B1 (ko) | 비전 검사 장치 및 방법 | |
JP5228731B2 (ja) | 画像処理による車両のホイル位置計測装置 | |
JP6267480B2 (ja) | 撮像装置および検査装置 | |
JP2002214155A (ja) | 被検査物の欠陥検査装置 | |
JP7017916B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP4529227B2 (ja) | 平面検査装置および平面検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221026 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20230616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230802 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231201 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231218 |