JP2021121008A - Thermal treatment device - Google Patents
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- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 title abstract 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 24
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 103
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 100
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 60
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 60
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 50
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 50
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 36
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 14
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
本発明は、半導体ウェハー等の薄板状精密電子基板(以下、単に「基板」と称する)に光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置に関する。 The present invention relates to a heat treatment apparatus that heats a thin plate-shaped precision electronic substrate (hereinafter, simply referred to as “substrate”) such as a semiconductor wafer by irradiating the substrate with light.
半導体デバイスの製造プロセスにおいて、極めて短時間で半導体ウェハーを加熱するフラッシュランプアニール(FLA)が注目されている。フラッシュランプアニールは、キセノンフラッシュランプ(以下、単に「フラッシュランプ」とするときにはキセノンフラッシュランプを意味する)を使用して半導体ウェハーの表面にフラッシュ光を照射することにより、半導体ウェハーの表面のみを極めて短時間(数ミリ秒以下)に昇温させる熱処理技術である。 In the semiconductor device manufacturing process, flash lamp annealing (FLA), which heats a semiconductor wafer in an extremely short time, has attracted attention. Flash lamp annealing uses a xenon flash lamp (hereinafter, simply referred to as "flash lamp" to mean a xenon flash lamp) to irradiate the surface of the semiconductor wafer with flash light, so that only the surface of the semiconductor wafer is extremely exposed. This is a heat treatment technique that raises the temperature in a short time (several milliseconds or less).
キセノンフラッシュランプの放射分光分布は紫外域から近赤外域であり、従来のハロゲンランプよりも波長が短く、シリコンの半導体ウェハーの基礎吸収帯とほぼ一致している。よって、キセノンフラッシュランプから半導体ウェハーにフラッシュ光を照射したときには、透過光が少なく半導体ウェハーを急速に昇温することが可能である。また、数ミリ秒以下の極めて短時間のフラッシュ光照射であれば、半導体ウェハーの表面近傍のみを選択的に昇温できることも判明している。 The radiation spectral distribution of the xenon flash lamp is from the ultraviolet region to the near infrared region, and the wavelength is shorter than that of the conventional halogen lamp, which is almost the same as the basic absorption band of the silicon semiconductor wafer. Therefore, when the semiconductor wafer is irradiated with the flash light from the xenon flash lamp, the transmitted light is small and the temperature of the semiconductor wafer can be rapidly raised. It has also been found that if the flash light is irradiated for an extremely short time of several milliseconds or less, the temperature can be selectively raised only in the vicinity of the surface of the semiconductor wafer.
このようなフラッシュランプアニールは、極短時間の加熱が必要とされる処理、例えば典型的には半導体ウェハーに注入された不純物の活性化に利用される。イオン注入法によって不純物が注入された半導体ウェハーの表面にフラッシュランプからフラッシュ光を照射すれば、当該半導体ウェハーの表面を極短時間だけ活性化温度にまで昇温することができ、不純物を深く拡散させることなく、不純物活性化のみを実行することができるのである。 Such flash lamp annealing is utilized for processes that require heating for a very short time, for example, activation of impurities injected into a semiconductor wafer. By irradiating the surface of a semiconductor wafer into which impurities have been implanted by the ion implantation method with flash light from a flash lamp, the surface of the semiconductor wafer can be raised to the activation temperature for a very short time, and the impurities are deeply diffused. Only impurity activation can be performed without causing it.
このようなキセノンフラッシュランプを使用した熱処理装置においては、複数のフラッシュランプを内蔵するランプハウスをチャンバーの上方に設置する構成が採用されることが多い。チャンバー内にてウェハー割れ等のトラブルが発生したときにはチャンバーのメンテナンスを行わなければならず、その際にはランプハウスを移動させてチャンバーの上方を開放する必要がある。特許文献1には、ヒンジ機構を用いてランプハウスを設置し、そのヒンジ機構を中心としてランプハウスを回動させてチャンバーの上方を開放することが開示されている。 In a heat treatment apparatus using such a xenon flash lamp, a configuration in which a lamp house containing a plurality of flash lamps is installed above the chamber is often adopted. When troubles such as wafer cracking occur in the chamber, maintenance of the chamber must be performed, and in that case, it is necessary to move the lamp house to open the upper part of the chamber. Patent Document 1 discloses that a lamp house is installed by using a hinge mechanism, and the lamp house is rotated around the hinge mechanism to open the upper part of the chamber.
しかしながら、ヒンジ機構を用いてランプハウスを設置する構成では、メンテナンス時に質量約200kgのランプハウスを回動させたときに、その重量の全てがヒンジ機構に作用するため、ヒンジ機構が故障しやすいという問題があった。また、ヒンジ機構が故障すると、作業時の安全性の問題も生じる。さらに、ヒンジ機構を用いた構成では、ヒンジ部が固定されているため、ランプハウスの高さ位置を調節することもできなかった。 However, in the configuration in which the lamp house is installed using the hinge mechanism, when the lamp house having a mass of about 200 kg is rotated during maintenance, all the weight acts on the hinge mechanism, so that the hinge mechanism is likely to break down. There was a problem. In addition, if the hinge mechanism fails, there is a problem of safety during work. Further, in the configuration using the hinge mechanism, since the hinge portion is fixed, the height position of the lamp house cannot be adjusted.
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、容易かつ安全にランプハウスを移動させることができる熱処理装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus capable of easily and safely moving a lamp house.
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、基板に光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置において、基板を収容するチャンバーと、前記基板に光を照射する複数のランプを収納するランプハウスと、前記チャンバーの上方にて前記ランプハウスを昇降させるエアシリンダと、水平方向に沿って設けられ、前記エアシリンダが摺動自在に移動可能なスライドレールと、を備え、前記ランプハウスを上昇させて支持した前記エアシリンダが前記スライドレールに案内されて水平方向に沿って移動されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the invention of claim 1 accommodates a chamber for accommodating a substrate and a plurality of lamps for irradiating the substrate with a heat treatment apparatus for heating the substrate by irradiating the substrate with light. The lamp house is provided with an air cylinder for raising and lowering the lamp house above the chamber, and a slide rail provided along the horizontal direction in which the air cylinder can be slidably moved. The air cylinder is guided by the slide rail and moved along the horizontal direction.
また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係る熱処理装置において、前記チャンバーの上方にて前記エアシリンダが前記ランプハウスを下降させたときに、前記ランプハウスの高さ位置を計測する計測器をさらに備えることを特徴とする。
Further, the invention of
また、請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明に係る熱処理装置において、前記ランプハウスの水平方向に沿った位置を、前記チャンバーの上方の処理位置および前記チャンバーの上方から離間したメンテナンス位置のそれぞれに規制する位置規制部材をさらに備えることを特徴とする。
Further, the invention of
請求項1から請求項3の発明によれば、チャンバーの上方にてランプハウスを昇降させるエアシリンダと、水平方向に沿って設けられ、エアシリンダが摺動自在に移動可能なスライドレールと、を備え、ランプハウスを上昇させて支持したエアシリンダがスライドレールに案内されて水平方向に沿って移動されるため、特定の機構部に負荷が集中することはなく、容易かつ安全にランプハウスを移動させることができる。 According to the inventions of claims 1 to 3, an air cylinder for raising and lowering the lamp house above the chamber and a slide rail provided along the horizontal direction in which the air cylinder can be slidably moved. Since the air cylinder that lifts and supports the lamp house is guided by the slide rail and moved along the horizontal direction, the load does not concentrate on a specific mechanism, and the lamp house can be moved easily and safely. Can be made to.
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明に係る熱処理装置1の内部構成を示す縦断面図である。図1の熱処理装置1は、基板として円板形状の半導体ウェハーWに対してフラッシュ光照射を行うことによってその半導体ウェハーWを加熱するフラッシュランプアニール装置である。処理対象となる半導体ウェハーWのサイズは特に限定されるものではないが、例えばφ300mmやφ450mmである。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。 FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing the internal configuration of the heat treatment apparatus 1 according to the present invention. The heat treatment apparatus 1 of FIG. 1 is a flash lamp annealing apparatus that heats a disk-shaped semiconductor wafer W as a substrate by irradiating the semiconductor wafer W with flash light. The size of the semiconductor wafer W to be processed is not particularly limited, but is, for example, φ300 mm or φ450 mm. In addition, in FIG. 1 and each subsequent drawing, the dimensions and numbers of each part are exaggerated or simplified as necessary for easy understanding.
熱処理装置1は、半導体ウェハーWを収容するチャンバー6と、複数のフラッシュランプFLを内蔵するフラッシュランプハウス5と、複数のハロゲンランプHLを内蔵するハロゲン加熱部4と、を備える。チャンバー6の上側にフラッシュランプハウス5が設けられるとともに、下側にハロゲン加熱部4が設けられている。また、熱処理装置1は、チャンバー6の内部に、半導体ウェハーWを水平姿勢に保持する保持部7と、保持部7と装置外部との間で半導体ウェハーWの受け渡しを行う移載機構10と、を備える。さらに、熱処理装置1は、ハロゲン加熱部4、フラッシュランプハウス5およびチャンバー6に設けられた各動作機構を制御して半導体ウェハーWの熱処理を実行させる制御部3を備える。
The heat treatment apparatus 1 includes a
チャンバー6は、筒状のチャンバー側部61の上下に石英製のチャンバー窓を装着して構成されている。チャンバー側部61は上下が開口された概略筒形状を有しており、上側開口には上側チャンバー窓63が装着されて閉塞され、下側開口には下側チャンバー窓64が装着されて閉塞されている。チャンバー6の天井部を構成する上側チャンバー窓63は、石英により形成された円板形状部材であり、フラッシュランプFLから出射されたフラッシュ光をチャンバー6内に透過する石英窓として機能する。また、チャンバー6の床部を構成する下側チャンバー窓64も、石英により形成された円板形状部材であり、ハロゲンランプHLからの光をチャンバー6内に透過する石英窓として機能する。
The
また、チャンバー側部61の内側の壁面の上部には反射リング68が装着され、下部には反射リング69が装着されている。反射リング68,69は、ともに円環状に形成されている。上側の反射リング68は、チャンバー側部61の上側から嵌め込むことによって装着される。一方、下側の反射リング69は、チャンバー側部61の下側から嵌め込んで図示省略のビスで留めることによって装着される。すなわち、反射リング68,69は、ともに着脱自在にチャンバー側部61に装着されるものである。チャンバー6の内側空間、すなわち上側チャンバー窓63、下側チャンバー窓64、チャンバー側部61および反射リング68,69によって囲まれる空間が熱処理空間65として規定される。
A
チャンバー側部61に反射リング68,69が装着されることによって、チャンバー6の内壁面に凹部62が形成される。すなわち、チャンバー側部61の内壁面のうち反射リング68,69が装着されていない中央部分と、反射リング68の下端面と、反射リング69の上端面とで囲まれた凹部62が形成される。凹部62は、チャンバー6の内壁面に水平方向に沿って円環状に形成され、半導体ウェハーWを保持する保持部7を囲繞する。チャンバー側部61および反射リング68,69は、強度と耐熱性に優れた金属材料(例えば、ステンレススチール)にて形成されている。
By attaching the
また、チャンバー側部61には、チャンバー6に対して半導体ウェハーWの搬入および搬出を行うための搬送開口部(炉口)66が形設されている。搬送開口部66は、ゲートバルブ185によって開閉可能とされている。搬送開口部66は凹部62の外周面に連通接続されている。このため、ゲートバルブ185が搬送開口部66を開放しているときには、搬送開口部66から凹部62を通過して熱処理空間65への半導体ウェハーWの搬入および熱処理空間65からの半導体ウェハーWの搬出を行うことができる。また、ゲートバルブ185が搬送開口部66を閉鎖するとチャンバー6内の熱処理空間65が密閉空間とされる。
Further, the
さらに、チャンバー側部61には、貫通孔61aが穿設されている。チャンバー側部61の外壁面の貫通孔61aが設けられている部位には放射温度計20が取り付けられている。貫通孔61aは、後述するサセプタ74に保持された半導体ウェハーWの下面から放射された赤外光を放射温度計20に導くための円筒状の孔である。貫通孔61aは、その貫通方向の軸がサセプタ74に保持された半導体ウェハーWの主面と交わるように、水平方向に対して傾斜して設けられている。よって、放射温度計20はサセプタ74の斜め下方に設けられることとなる。貫通孔61aの熱処理空間65に臨む側の端部には、放射温度計20が測定可能な波長領域の赤外光を透過させるフッ化バリウム材料からなる透明窓21が装着されている。
Further, a through
また、チャンバー6の内壁上部には熱処理空間65に処理ガスを供給するガス供給孔81が形設されている。ガス供給孔81は、凹部62よりも上側位置に形設されており、反射リング68に設けられていても良い。ガス供給孔81はチャンバー6の側壁内部に円環状に形成された緩衝空間82を介してガス供給管83に連通接続されている。ガス供給管83は処理ガス供給源85に接続されている。また、ガス供給管83の経路途中にはバルブ84が介挿されている。バルブ84が開放されると、処理ガス供給源85から緩衝空間82に処理ガスが送給される。緩衝空間82に流入した処理ガスは、ガス供給孔81よりも流体抵抗の小さい緩衝空間82内を拡がるように流れてガス供給孔81から熱処理空間65内へと供給される。処理ガスとしては、例えば窒素(N2)等の不活性ガス、または、水素(H2)、アンモニア(NH3)等の反応性ガス、或いはそれらを混合した混合ガスを用いることができる(本実施形態では窒素ガス)。
Further, a
一方、チャンバー6の内壁下部には熱処理空間65内の気体を排気するガス排気孔86が形設されている。ガス排気孔86は、凹部62よりも下側位置に形設されており、反射リング69に設けられていても良い。ガス排気孔86はチャンバー6の側壁内部に円環状に形成された緩衝空間87を介してガス排気管88に連通接続されている。ガス排気管88は排気部190に接続されている。また、ガス排気管88の経路途中にはバルブ89が介挿されている。バルブ89が開放されると、熱処理空間65の気体がガス排気孔86から緩衝空間87を経てガス排気管88へと排出される。なお、ガス供給孔81およびガス排気孔86は、チャンバー6の周方向に沿って複数設けられていても良いし、スリット状のものであっても良い。また、処理ガス供給源85および排気部190は、熱処理装置1に設けられた機構であっても良いし、熱処理装置1が設置される工場のユーティリティであっても良い。
On the other hand, a
図2は、保持部7の全体外観を示す斜視図である。保持部7は、基台リング71、連結部72およびサセプタ74を備えて構成される。基台リング71、連結部72およびサセプタ74はいずれも石英にて形成されている。すなわち、保持部7の全体が石英にて形成されている。
FIG. 2 is a perspective view showing the overall appearance of the holding portion 7. The holding portion 7 includes a
基台リング71は円環形状から一部が欠落した円弧形状の石英部材である。この欠落部分は、後述する移載機構10の移載アーム11と基台リング71との干渉を防ぐために設けられている。基台リング71は凹部62の底面に載置されることによって、チャンバー6の壁面に支持されることとなる(図1参照)。基台リング71の上面に、その円環形状の周方向に沿って複数の連結部72(本実施形態では4個)が立設される。連結部72も石英の部材であり、溶接によって基台リング71に固着される。
The
サセプタ74は基台リング71に設けられた4個の連結部72によって支持される。図3は、サセプタ74の平面図である。また、図4は、サセプタ74の断面図である。サセプタ74は、保持プレート75、ガイドリング76および複数の基板支持ピン77を備える。保持プレート75は、石英にて形成された略円形の平板状部材である。保持プレート75の直径は半導体ウェハーWの直径よりも大きい。すなわち、保持プレート75は、半導体ウェハーWよりも大きな平面サイズを有する。
The
保持プレート75の上面周縁部にガイドリング76が設置されている。ガイドリング76は、半導体ウェハーWの直径よりも大きな内径を有する円環形状の部材である。例えば、半導体ウェハーWの直径がφ300mmの場合、ガイドリング76の内径はφ320mmである。ガイドリング76の内周は、保持プレート75から上方に向けて広くなるようなテーパ面とされている。ガイドリング76は、保持プレート75と同様の石英にて形成される。ガイドリング76は、保持プレート75の上面に溶着するようにしても良いし、別途加工したピンなどによって保持プレート75に固定するようにしても良い。或いは、保持プレート75とガイドリング76とを一体の部材として加工するようにしても良い。
A
保持プレート75の上面のうちガイドリング76よりも内側の領域が半導体ウェハーWを保持する平面状の保持面75aとされる。保持プレート75の保持面75aには、複数の基板支持ピン77が立設されている。本実施形態においては、保持面75aの外周円(ガイドリング76の内周円)と同心円の周上に沿って30°毎に計12個の基板支持ピン77が立設されている。12個の基板支持ピン77を配置した円の径(対向する基板支持ピン77間の距離)は半導体ウェハーWの径よりも小さく、半導体ウェハーWの径がφ300mmであればφ270mm〜φ280mm(本実施形態ではφ270mm)である。それぞれの基板支持ピン77は石英にて形成されている。複数の基板支持ピン77は、保持プレート75の上面に溶接によって設けるようにしても良いし、保持プレート75と一体に加工するようにしても良い。
A region of the upper surface of the holding
図2に戻り、基台リング71に立設された4個の連結部72とサセプタ74の保持プレート75の周縁部とが溶接によって固着される。すなわち、サセプタ74と基台リング71とは連結部72によって固定的に連結されている。このような保持部7の基台リング71がチャンバー6の壁面に支持されることによって、保持部7がチャンバー6に装着される。保持部7がチャンバー6に装着された状態においては、サセプタ74の保持プレート75は水平姿勢(法線が鉛直方向と一致する姿勢)となる。すなわち、保持プレート75の保持面75aは水平面となる。
Returning to FIG. 2, the four connecting
チャンバー6に搬入された半導体ウェハーWは、チャンバー6に装着された保持部7のサセプタ74の上に水平姿勢にて載置されて保持される。このとき、半導体ウェハーWは保持プレート75上に立設された12個の基板支持ピン77によって支持されてサセプタ74に保持される。より厳密には、12個の基板支持ピン77の上端部が半導体ウェハーWの下面に接触して当該半導体ウェハーWを支持する。12個の基板支持ピン77の高さ(基板支持ピン77の上端から保持プレート75の保持面75aまでの距離)は均一であるため、12個の基板支持ピン77によって半導体ウェハーWを水平姿勢に支持することができる。
The semiconductor wafer W carried into the
また、半導体ウェハーWは複数の基板支持ピン77によって保持プレート75の保持面75aから所定の間隔を隔てて支持されることとなる。基板支持ピン77の高さよりもガイドリング76の厚さの方が大きい。従って、複数の基板支持ピン77によって支持された半導体ウェハーWの水平方向の位置ずれはガイドリング76によって防止される。
Further, the semiconductor wafer W is supported by a plurality of substrate support pins 77 from the holding
また、図2および図3に示すように、サセプタ74の保持プレート75には、上下に貫通して開口部78が形成されている。開口部78は、放射温度計20が半導体ウェハーWの下面から放射される放射光(赤外光)を受光するために設けられている。すなわち、放射温度計20が開口部78およびチャンバー側部61の貫通孔61aに装着された透明窓21を介して半導体ウェハーWの下面から放射された光を受光して当該半導体ウェハーWの温度を測定する。さらに、サセプタ74の保持プレート75には、後述する移載機構10のリフトピン12が半導体ウェハーWの受け渡しのために貫通する4個の貫通孔79が穿設されている。
Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the holding
図5は、移載機構10の平面図である。また、図6は、移載機構10の側面図である。移載機構10は、2本の移載アーム11を備える。移載アーム11は、概ね円環状の凹部62に沿うような円弧形状とされている。それぞれの移載アーム11には2本のリフトピン12が立設されている。移載アーム11およびリフトピン12は石英にて形成されている。各移載アーム11は水平移動機構13によって回動可能とされている。水平移動機構13は、一対の移載アーム11を保持部7に対して半導体ウェハーWの移載を行う移載動作位置(図5の実線位置)と保持部7に保持された半導体ウェハーWと平面視で重ならない退避位置(図5の二点鎖線位置)との間で水平移動させる。水平移動機構13としては、個別のモータによって各移載アーム11をそれぞれ回動させるものであっても良いし、リンク機構を用いて1個のモータによって一対の移載アーム11を連動させて回動させるものであっても良い。
FIG. 5 is a plan view of the
また、一対の移載アーム11は、昇降機構14によって水平移動機構13とともに昇降移動される。昇降機構14が一対の移載アーム11を移載動作位置にて上昇させると、計4本のリフトピン12がサセプタ74に穿設された貫通孔79(図2,3参照)を通過し、リフトピン12の上端がサセプタ74の上面から突き出る。一方、昇降機構14が一対の移載アーム11を移載動作位置にて下降させてリフトピン12を貫通孔79から抜き取り、水平移動機構13が一対の移載アーム11を開くように移動させると各移載アーム11が退避位置に移動する。一対の移載アーム11の退避位置は、保持部7の基台リング71の直上である。基台リング71は凹部62の底面に載置されているため、移載アーム11の退避位置は凹部62の内側となる。なお、移載機構10の駆動部(水平移動機構13および昇降機構14)が設けられている部位の近傍にも図示省略の排気機構が設けられており、移載機構10の駆動部周辺の雰囲気がチャンバー6の外部に排出されるように構成されている。
Further, the pair of
図1に戻り、チャンバー6の上方に設けられたフラッシュランプハウス5は、筐体51の内側に、複数本(本実施形態では30本)のキセノンフラッシュランプFLからなる光源と、その光源の上方を覆うように設けられたリフレクタ52と、を備えて構成される。また、フラッシュランプハウス5の筐体51の底部にはランプ光放射窓53が装着されている。フラッシュランプハウス5の床部を構成するランプ光放射窓53は、石英により形成された板状の石英窓である。フラッシュランプハウス5がチャンバー6の上方に設置されることにより、ランプ光放射窓53が上側チャンバー窓63と相対向することとなる。フラッシュランプFLはチャンバー6の上方からランプ光放射窓53および上側チャンバー窓63を介して熱処理空間65にフラッシュ光を照射する。
Returning to FIG. 1, the
複数のフラッシュランプFLは、それぞれが長尺の円筒形状を有する棒状ランプであり、それぞれの長手方向が保持部7に保持される半導体ウェハーWの主面に沿って(つまり水平方向に沿って)互いに平行となるように平面状に配列されている。よって、フラッシュランプFLの配列によって形成される平面も水平面である。複数のフラッシュランプFLが配列される領域は半導体ウェハーWの平面サイズよりも大きい。 Each of the plurality of flash lamps FL is a rod-shaped lamp having a long cylindrical shape, and the longitudinal direction thereof is along the main surface of the semiconductor wafer W held by the holding portion 7 (that is, along the horizontal direction). They are arranged in a plane so as to be parallel to each other. Therefore, the plane formed by the arrangement of the flash lamp FL is also a horizontal plane. The region where the plurality of flash lamps FL are arranged is larger than the plane size of the semiconductor wafer W.
キセノンフラッシュランプFLは、その内部にキセノンガスが封入されその両端部にコンデンサーに接続された陽極および陰極が配設された円筒形状のガラス管(放電管)と、該ガラス管の外周面上に付設されたトリガー電極とを備える。キセノンガスは電気的には絶縁体であることから、コンデンサーに電荷が蓄積されていたとしても通常の状態ではガラス管内に電気は流れない。しかしながら、トリガー電極に高電圧を印加して絶縁を破壊した場合には、コンデンサーに蓄えられた電気がガラス管内に瞬時に流れ、そのときのキセノンの原子あるいは分子の励起によって光が放出される。このようなキセノンフラッシュランプFLにおいては、予めコンデンサーに蓄えられていた静電エネルギーが0.1ミリセカンドないし100ミリセカンドという極めて短い光パルスに変換されることから、ハロゲンランプHLの如き連続点灯の光源に比べて極めて強い光を照射し得るという特徴を有する。すなわち、フラッシュランプFLは、1秒未満の極めて短い時間で瞬間的に発光するパルス発光ランプである。なお、フラッシュランプFLの発光時間は、フラッシュランプFLに電力供給を行うランプ電源のコイル定数によって調整することができる。 The xenon flash lamp FL has a cylindrical glass tube (discharge tube) in which xenon gas is sealed inside and an anode and a cathode connected to a condenser are arranged at both ends thereof, and on the outer peripheral surface of the glass tube. It is provided with an attached trigger electrode. Since xenon gas is electrically an insulator, even if electric charges are accumulated in the condenser, electricity does not flow in the glass tube under normal conditions. However, when a high voltage is applied to the trigger electrode to break the insulation, the electricity stored in the capacitor instantly flows into the glass tube, and light is emitted by the excitation of xenon atoms or molecules at that time. In such a xenon flash lamp FL, the electrostatic energy stored in the capacitor in advance is converted into an extremely short optical pulse of 0.1 millisecond to 100 millisecond, so that the halogen lamp HL is continuously lit. It has the feature that it can irradiate extremely strong light compared to a light source. That is, the flash lamp FL is a pulse light emitting lamp that instantaneously emits light in an extremely short time of less than 1 second. The light emission time of the flash lamp FL can be adjusted by the coil constant of the lamp power supply that supplies power to the flash lamp FL.
また、リフレクタ52は、複数のフラッシュランプFLの上方にそれら全体を覆うように設けられている。リフレクタ52の基本的な機能は、複数のフラッシュランプFLから出射されたフラッシュ光を熱処理空間65の側に反射するというものである。リフレクタ52はアルミニウム合金板にて形成されており、その表面(フラッシュランプFLに臨む側の面)はブラスト処理により粗面化加工が施されている。
Further, the
チャンバー6の下方に設けられたハロゲン加熱部4は、筐体41の内側に複数本(本実施形態では40本)のハロゲンランプHLを内蔵している。ハロゲン加熱部4は、複数のハロゲンランプHLによってチャンバー6の下方から下側チャンバー窓64を介して熱処理空間65への光照射を行って半導体ウェハーWを加熱する。
The halogen heating unit 4 provided below the
図7は、複数のハロゲンランプHLの配置を示す平面図である。40本のハロゲンランプHLは上下2段に分けて配置されている。保持部7に近い上段に20本のハロゲンランプHLが配設されるとともに、上段よりも保持部7から遠い下段にも20本のハロゲンランプHLが配設されている。各ハロゲンランプHLは、長尺の円筒形状を有する棒状ランプである。上段、下段ともに20本のハロゲンランプHLは、それぞれの長手方向が保持部7に保持される半導体ウェハーWの主面に沿って(つまり水平方向に沿って)互いに平行となるように配列されている。よって、上段、下段ともにハロゲンランプHLの配列によって形成される平面は水平面である。
FIG. 7 is a plan view showing the arrangement of a plurality of halogen lamps HL. The 40 halogen lamps HL are arranged in two upper and lower stages. Twenty halogen lamps HL are arranged in the upper stage near the holding
また、図7に示すように、上段、下段ともに保持部7に保持される半導体ウェハーWの中央部に対向する領域よりも周縁部に対向する領域におけるハロゲンランプHLの配設密度が高くなっている。すなわち、上下段ともに、ランプ配列の中央部よりも周縁部の方がハロゲンランプHLの配設ピッチが短い。このため、ハロゲン加熱部4からの光照射による加熱時に温度低下が生じやすい半導体ウェハーWの周縁部により多い光量の照射を行うことができる。 Further, as shown in FIG. 7, the arrangement density of the halogen lamp HL in the region facing the peripheral edge portion is higher than the region facing the central portion of the semiconductor wafer W held by the holding portion 7 in both the upper and lower stages. There is. That is, in both the upper and lower stages, the arrangement pitch of the halogen lamp HL is shorter in the peripheral portion than in the central portion of the lamp arrangement. Therefore, it is possible to irradiate a peripheral portion of the semiconductor wafer W, which tends to have a temperature drop during heating by light irradiation from the halogen heating unit 4, with a larger amount of light.
また、上段のハロゲンランプHLからなるランプ群と下段のハロゲンランプHLからなるランプ群とが格子状に交差するように配列されている。すなわち、上段に配置された20本のハロゲンランプHLの長手方向と下段に配置された20本のハロゲンランプHLの長手方向とが互いに直交するように計40本のハロゲンランプHLが配設されている。 Further, the lamp group composed of the halogen lamp HL in the upper stage and the lamp group composed of the halogen lamp HL in the lower stage are arranged so as to intersect in a grid pattern. That is, a total of 40 halogen lamps HL are arranged so that the longitudinal direction of the 20 halogen lamps HL arranged in the upper stage and the longitudinal direction of the 20 halogen lamps HL arranged in the lower stage are orthogonal to each other. There is.
ハロゲンランプHLは、ガラス管内部に配設されたフィラメントに通電することでフィラメントを白熱化させて発光させるフィラメント方式の光源である。ガラス管の内部には、窒素やアルゴン等の不活性ガスにハロゲン元素(ヨウ素、臭素等)を微量導入した気体が封入されている。ハロゲン元素を導入することによって、フィラメントの折損を抑制しつつフィラメントの温度を高温に設定することが可能となる。したがって、ハロゲンランプHLは、通常の白熱電球に比べて寿命が長くかつ強い光を連続的に照射できるという特性を有する。すなわち、ハロゲンランプHLは少なくとも1秒以上連続して発光する連続点灯ランプである。また、ハロゲンランプHLは棒状ランプであるため長寿命であり、ハロゲンランプHLを水平方向に沿わせて配置することにより上方の半導体ウェハーWへの放射効率が優れたものとなる。 The halogen lamp HL is a filament type light source that incandescents the filament and emits light by energizing the filament arranged inside the glass tube. Inside the glass tube, a gas in which a trace amount of a halogen element (iodine, bromine, etc.) is introduced into an inert gas such as nitrogen or argon is sealed. By introducing the halogen element, it becomes possible to set the temperature of the filament to a high temperature while suppressing the breakage of the filament. Therefore, the halogen lamp HL has a characteristic that it has a longer life and can continuously irradiate strong light as compared with a normal incandescent lamp. That is, the halogen lamp HL is a continuously lit lamp that continuously emits light for at least 1 second or longer. Further, since the halogen lamp HL is a rod-shaped lamp, it has a long life, and by arranging the halogen lamp HL along the horizontal direction, the radiation efficiency to the upper semiconductor wafer W becomes excellent.
また、ハロゲン加熱部4の筐体41内にも、2段のハロゲンランプHLの下側にリフレクタ43が設けられている(図1)。リフレクタ43は、複数のハロゲンランプHLから出射された光を熱処理空間65の側に反射する。
Further, a
チャンバー6の上方に設けられたフラッシュランプハウス5は移動可能とされている。図8は、フラッシュランプハウス5の移動機構を示す平面図である。また、図9は、フラッシュランプハウス5の移動機構の側面図である。図8および以降の各図においては、それらの方向関係を明確にするためZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
The
半導体ウェハーWを収容するチャンバー6の外側側方には2本のスライドレール90が延設されている。2本のスライドレール90は、所定の間隔を隔てて互いに平行にX軸方向に沿って設けられている。各スライドレール90は、水平方向に沿って延びる直線状の部材である。
Two slide rails 90 extend to the outer side of the
2本のスライドレール90のそれぞれには1個のエアシリンダ30が摺動自在に設けられている。すなわち、合計2個のエアシリンダ30が設けられている。各エアシリンダ30は、スライドレール90に沿ってX軸方向にスライド移動可能である。図8および図9に示すように、エアシリンダ30がチャンバー6の側方に移動しているときにはフラッシュランプハウス5の下方に位置している。
One
2個のエアシリンダ30のそれぞれは、エア駆動によってピストン31を昇降させる。ピストン31の上端には保持部材32が設けられている。2個のエアシリンダ30がフラッシュランプハウス5の下方に位置しているときにピストン31を上昇させると保持部材32によって当該フラッシュランプハウス5を持ち上げることができる。また、フラッシュランプハウス5を持ち上げている2個のエアシリンダ30がピストン31を下降させると当該フラッシュランプハウス5を下げることができる。
Each of the two
エアシリンダ30によって下降されるフラッシュランプハウス5は、フラッシュランプハウス5の四隅に対応して設けられた支柱59によって支持される。支柱59の上端部には、ダイヤルゲージ58およびネジ調節機構を備えた支持部(図示省略)が設けられている。フラッシュランプハウス5は、直接的にはそれら4個の支持部に支持されることとなる。各支持部はネジ調節機構によってフラッシュランプハウス5の四隅の高さ位置を微調整する。また、フラッシュランプハウス5の四隅の高さ位置は、対応するダイヤルゲージ58によって測定される。なお、フラッシュランプハウス5が支柱59の支持部によって支持されているときには、エアシリンダ30のピストン31の上端に設けられた保持部材32はフラッシュランプハウス5から離間している。
The
ピストン31および保持部材32を上昇させてフラッシュランプハウス5を持ち上げている2個のエアシリンダ30はスライドレール90に沿って移動される。これにより、フラッシュランプハウス5は、チャンバー6の上方の処理位置(図8の実線位置)とチャンバー6の上方から離間したメンテナンス位置(図8の二点鎖線位置)との間で移動される。
The two
また、フラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置を規制する部材として、固定バー92およびインデックスプランジャー94a,94bが設けられている。フラッシュランプハウス5の外方に、スライドレール90と平行に2本の固定バー92が設けられている。2本の固定バー92のそれぞれには、インデックスプランジャー94aおよびインデックスプランジャー94bが1個ずつ取り付けられている。インデックスプランジャー94aはフラッシュランプハウス5の処理位置近傍に設けられ、インデックスプランジャー94bはメンテナンス位置近傍に設けられている。
Further, fixed
フラッシュランプハウス5には係止板55が取り付けられている。係止板55は、フラッシュランプハウス5のY軸方向に沿った両端部に1枚ずつ取り付けられている。各係止板55には鉛直方向に沿って長孔56が形設されている。
A locking
フラッシュランプハウス5が処理位置に位置しているときに、インデックスプランジャー94aを回動させて押し込むとインデックスプランジャー94aの先端が係止板55の長孔56に入り込む。これにより、フラッシュランプハウス5はX軸方向に移動できなくなり、フラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置がチャンバー6の上方の処理位置に規制されることとなる。インデックスプランジャー94aを係止板55の長孔56から引き抜くと、フラッシュランプハウス5はX軸方向に沿って再び移動可能となり、フラッシュランプハウス5の位置規制が解除される。
When the
一方、フラッシュランプハウス5がメンテナンス位置に位置しているときに、インデックスプランジャー94bを回動させて押し込むとインデックスプランジャー94bの先端が係止板55の長孔56に入り込む。これにより、フラッシュランプハウス5はX軸方向に移動できなくなり、フラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置がチャンバー6の上方から離間したメンテナンス位置に規制されることとなる。インデックスプランジャー94bを係止板55の長孔56から引き抜くと、フラッシュランプハウス5はX軸方向に沿って再び移動可能となり、フラッシュランプハウス5の位置規制が解除される。
On the other hand, when the
図1に戻り、制御部3は、熱処理装置1に設けられた上記の種々の動作機構を制御する。制御部3のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部3は、各種演算処理を行う回路であるCPU、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるROM、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるRAMおよび制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスクを備えている。制御部3のCPUが所定の処理プログラムを実行することによって熱処理装置1における処理が進行する。
Returning to FIG. 1, the
上記の構成以外にも熱処理装置1は、半導体ウェハーWの熱処理時にハロゲンランプHLおよびフラッシュランプFLから発生する熱エネルギーによるハロゲン加熱部4、フラッシュランプハウス5およびチャンバー6の過剰な温度上昇を防止するため、様々な冷却用の構造を備えている。例えば、チャンバー6の壁体には水冷管(図示省略)が設けられている。また、ハロゲン加熱部4およびフラッシュランプハウス5は、内部に気体流を形成して排熱する空冷構造とされている。また、上側チャンバー窓63とランプ光放射窓53との間隙にも空気が供給され、フラッシュランプハウス5および上側チャンバー窓63を冷却する。
In addition to the above configuration, the heat treatment apparatus 1 prevents an excessive temperature rise of the halogen heating unit 4, the
次に、熱処理装置1における処理動作について説明する。ここでは、製品となる通常の半導体ウェハー(プロダクトウェハー)Wに対する典型的な熱処理動作について説明した後に、メンテナンス時にフラッシュランプハウス5を移動させる動作について説明する。以下に説明する半導体ウェハーWの処理手順は、制御部3が熱処理装置1の各動作機構を制御することにより進行する。
Next, the processing operation in the heat treatment apparatus 1 will be described. Here, after explaining a typical heat treatment operation for a normal semiconductor wafer (product wafer) W as a product, an operation of moving the
まず、半導体ウェハーWの処理に先立って給気のためのバルブ84が開放されるとともに、排気用のバルブ89が開放されてチャンバー6内に対する給排気が開始される。バルブ84が開放されると、ガス供給孔81から熱処理空間65に窒素ガスが供給される。また、バルブ89が開放されると、ガス排気孔86からチャンバー6内の気体が排気される。これにより、チャンバー6内の熱処理空間65の上部から供給された窒素ガスが下方へと流れ、熱処理空間65の下部から排気される。
First, prior to the processing of the semiconductor wafer W, the
続いて、ゲートバルブ185が開いて搬送開口部66が開放され、装置外部の搬送ロボットにより搬送開口部66を介して処理対象となる半導体ウェハーWがチャンバー6内の熱処理空間65に搬入される。このときには、半導体ウェハーWの搬入にともなって装置外部の雰囲気を巻き込むおそれがあるが、チャンバー6には窒素ガスが供給され続けているため、搬送開口部66から窒素ガスが流出して、そのような外部雰囲気の巻き込みを最小限に抑制することができる。
Subsequently, the
搬送ロボットによって搬入された半導体ウェハーWは保持部7の直上位置まで進出して停止する。そして、移載機構10の一対の移載アーム11が退避位置から移載動作位置に水平移動して上昇することにより、リフトピン12が貫通孔79を通ってサセプタ74の保持プレート75の上面から突き出て半導体ウェハーWを受け取る。このとき、リフトピン12は基板支持ピン77の上端よりも上方にまで上昇する。
The semiconductor wafer W carried in by the transfer robot advances to a position directly above the holding portion 7 and stops. Then, the pair of
半導体ウェハーWがリフトピン12に載置された後、搬送ロボットが熱処理空間65から退出し、ゲートバルブ185によって搬送開口部66が閉鎖される。そして、一対の移載アーム11が下降することにより、半導体ウェハーWは移載機構10から保持部7のサセプタ74に受け渡されて水平姿勢にて下方より保持される。半導体ウェハーWは、保持プレート75上に立設された複数の基板支持ピン77によって支持されてサセプタ74に保持される。また、半導体ウェハーWは、パターン形成のなされた表面を上面として保持部7に保持される。複数の基板支持ピン77によって支持された半導体ウェハーWの裏面(表面とは反対側の主面)と保持プレート75の保持面75aとの間には所定の間隔が形成される。サセプタ74の下方にまで下降した一対の移載アーム11は水平移動機構13によって退避位置、すなわち凹部62の内側に退避する。
After the semiconductor wafer W is placed on the
半導体ウェハーWが石英にて形成された保持部7のサセプタ74によって水平姿勢にて下方より保持された後、ハロゲン加熱部4の40本のハロゲンランプHLが一斉に点灯して予備加熱(アシスト加熱)が開始される。ハロゲンランプHLから出射されたハロゲン光は、石英にて形成された下側チャンバー窓64およびサセプタ74を透過して半導体ウェハーWの下面に照射される。ハロゲンランプHLからの光照射を受けることによって半導体ウェハーWが予備加熱されて温度が上昇する。なお、移載機構10の移載アーム11は凹部62の内側に退避しているため、ハロゲンランプHLによる加熱の障害となることは無い。
After the semiconductor wafer W is held from below in a horizontal position by the
ハロゲンランプHLによる予備加熱を行うときには、半導体ウェハーWの温度が放射温度計20によって測定されている。すなわち、サセプタ74に保持された半導体ウェハーWの下面から開口部78を介して放射された赤外光を透明窓21を通して放射温度計20が受光して昇温中のウェハー温度を測定する。測定された半導体ウェハーWの温度は制御部3に伝達される。制御部3は、ハロゲンランプHLからの光照射によって昇温する半導体ウェハーWの温度が所定の予備加熱温度T1に到達したか否かを監視しつつ、ハロゲンランプHLの出力を制御する。すなわち、制御部3は、放射温度計20による測定値に基づいて、半導体ウェハーWの温度が予備加熱温度T1となるようにハロゲンランプHLの出力をフィードバック制御する。
When preheating with the halogen lamp HL, the temperature of the semiconductor wafer W is measured by the
半導体ウェハーWの温度が予備加熱温度T1に到達した後、制御部3は半導体ウェハーWをその予備加熱温度T1に暫時維持する。具体的には、放射温度計20によって測定される半導体ウェハーWの温度が予備加熱温度T1に到達した時点にて制御部3がハロゲンランプHLの出力を調整し、半導体ウェハーWの温度をほぼ予備加熱温度T1に維持している。
After the temperature of the semiconductor wafer W reaches the preheating temperature T1, the
このようなハロゲンランプHLによる予備加熱を行うことによって、半導体ウェハーWの全体を予備加熱温度T1に均一に昇温している。ハロゲンランプHLによる予備加熱の段階においては、より放熱が生じやすい半導体ウェハーWの周縁部の温度が中央部よりも低下する傾向にあるが、ハロゲン加熱部4におけるハロゲンランプHLの配設密度は、基板Wの中央部に対向する領域よりも周縁部に対向する領域の方が高くなっている。このため、放熱が生じやすい半導体ウェハーWの周縁部に照射される光量が多くなり、予備加熱段階における半導体ウェハーWの面内温度分布を均一なものとすることができる。 By performing preheating with such a halogen lamp HL, the entire semiconductor wafer W is uniformly heated to the preheating temperature T1. At the stage of preheating by the halogen lamp HL, the temperature of the peripheral portion of the semiconductor wafer W, which is more likely to generate heat, tends to be lower than that of the central portion. The region facing the peripheral edge portion is higher than the region facing the central portion of the substrate W. Therefore, the amount of light irradiated to the peripheral portion of the semiconductor wafer W where heat dissipation is likely to occur increases, and the in-plane temperature distribution of the semiconductor wafer W in the preheating step can be made uniform.
半導体ウェハーWの温度が予備加熱温度T1に到達して所定時間が経過した時点でフラッシュランプFLがサセプタ74に保持された半導体ウェハーWの表面にフラッシュ光照射を行う。このとき、フラッシュランプFLから放射されるフラッシュ光の一部は直接にチャンバー6内へと向かい、他の一部は一旦リフレクタ52により反射されてからチャンバー6内へと向かい、これらのフラッシュ光の照射により半導体ウェハーWのフラッシュ加熱が行われる。
When the temperature of the semiconductor wafer W reaches the preheating temperature T1 and a predetermined time elapses, the surface of the semiconductor wafer W held by the
フラッシュ加熱は、フラッシュランプFLからのフラッシュ光(閃光)照射により行われるため、半導体ウェハーWの表面温度を短時間で上昇することができる。すなわち、フラッシュランプFLから照射されるフラッシュ光は、予めコンデンサーに蓄えられていた静電エネルギーが極めて短い光パルスに変換された、照射時間が0.1ミリセカンド以上100ミリセカンド以下程度の極めて短く強い閃光である。そして、フラッシュランプFLからのフラッシュ光照射によりフラッシュ加熱される半導体ウェハーWの表面温度は、瞬間的に1000℃以上の処理温度T2まで上昇した後、急速に下降する。 Since the flash heating is performed by irradiating the flash light (flash) from the flash lamp FL, the surface temperature of the semiconductor wafer W can be raised in a short time. That is, the flash light emitted from the flash lamp FL has an extremely short irradiation time of 0.1 millisecond or more and 100 millisecond or less, in which the electrostatic energy stored in the capacitor in advance is converted into an extremely short optical pulse. It is a strong flash. Then, the surface temperature of the semiconductor wafer W, which is flash-heated by the flash light irradiation from the flash lamp FL, momentarily rises to the processing temperature T2 of 1000 ° C. or higher, and then rapidly falls.
フラッシュ加熱処理が終了した後、所定時間経過後にハロゲンランプHLが消灯する。これにより、半導体ウェハーWが予備加熱温度T1から急速に降温する。降温中の半導体ウェハーWの温度は放射温度計20によって測定され、その測定結果は制御部3に伝達される。制御部3は、放射温度計20の測定結果より半導体ウェハーWの温度が所定温度まで降温したか否かを監視する。そして、半導体ウェハーWの温度が所定以下にまで降温した後、移載機構10の一対の移載アーム11が再び退避位置から移載動作位置に水平移動して上昇することにより、リフトピン12がサセプタ74の上面から突き出て熱処理後の半導体ウェハーWをサセプタ74から受け取る。続いて、ゲートバルブ185により閉鎖されていた搬送開口部66が開放され、リフトピン12上に載置された半導体ウェハーWが装置外部の搬送ロボットによりチャンバー6から搬出され、半導体ウェハーWの加熱処理が完了する。
After the flash heat treatment is completed, the halogen lamp HL is turned off after a lapse of a predetermined time. As a result, the semiconductor wafer W rapidly drops from the preheating temperature T1. The temperature of the semiconductor wafer W during cooling is measured by the
熱処理装置1においては、定期的に或いは不定期にチャンバー6のメンテナンスが行われる。定期的にチャンバー6のメンテナンスを行うのは、一定の処理時間が経過したときまたは一定枚数の半導体ウェハーWを処理したときである。また、不定期にチャンバー6のメンテナンスを行うのは、チャンバー6内にてウェハー割れ等の不具合が生じたときである。いずれの場合であっても、メンテナンスを行う際には、フラッシュランプハウス5を移動させてチャンバー6の上方を開放する必要がある。
In the heat treatment apparatus 1, maintenance of the
熱処理装置1において半導体ウェハーWの処理を行っているときには、図9に示すように、複数のフラッシュランプFLを内蔵するフラッシュランプハウス5が4本の支柱59によって支持されてチャンバー6の上方に設置されている。このときには、2個のエアシリンダ30のピストン31の上端に設けられた保持部材32はフラッシュランプハウス5から離間している。また、2個のインデックスプランジャー94aによってフラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置が規制されている。
When processing the semiconductor wafer W in the heat treatment apparatus 1, as shown in FIG. 9, a
チャンバー6のメンテナンスを行うときには、2個のエアシリンダ30がピストン31を上昇させる。ピストン31が上昇する過程で保持部材32がフラッシュランプハウス5に当接する。そして、その後もエアシリンダ30がピストン31を継続して上昇させることにより、フラッシュランプハウス5がエアシリンダ30に持ち上げられて支柱59から離間する。図10は、フラッシュランプハウス5がエアシリンダ30によって持ち上げられた状態を示す図である。この状態では、フラッシュランプハウス5は2個のエアシリンダ30によって支持されている。
When performing maintenance on the
続いて、2個のインデックスプランジャー94aが係止板55の長孔56から引き抜かれてフラッシュランプハウス5の位置規制が解除される。そして、熱処理装置1の作業者が2個のエアシリンダ30によって支持されたフラッシュランプハウス5をスライドレール90に沿って(+X)の向きに手動にて移動させる。フラッシュランプハウス5の質量は約200kgであるが、フラッシュランプハウス5を支持するエアシリンダ30はスライドレール90に摺動自在に設けられているため、手動でもフラッシュランプハウス5を水平方向に沿ってスライド移動させることが可能である。
Subsequently, the two
水平方向に沿って処理位置からスライド移動されるフラッシュランプハウス5がメンテナンス位置に到達すると、作業者はフラッシュランプハウス5の移動を停止させる。そして、作業者が2個のインデックスプランジャー94bを押し込むことにより、インデックスプランジャー94bの先端が係止板55の長孔56に入り込んでフラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置がメンテナンス位置に規制される。図11は、フラッシュランプハウス5がメンテナンス位置に停止している状態を示す図である。
When the
図11に示すように、フラッシュランプハウス5がメンテナンス位置に移動することにより、チャンバー6の上方が開放される。この状態にてチャンバー6に対して必要なメンテナンス作業が行われる。例えば、半導体ウェハーWの割れが発生した場合には、チャンバー6から上側チャンバー窓63が取り外されて、チャンバー6内の清掃作業が行われる。
As shown in FIG. 11, the upper part of the
チャンバー6のメンテナンス作業が終了した後、2個のインデックスプランジャー94bが係止板55の長孔56から引き抜かれてフラッシュランプハウス5の位置規制が再び解除される。そして、作業者が2個のエアシリンダ30によって支持されたフラッシュランプハウス5をスライドレール90に沿って(−X)の向きに手動にて移動させる。
After the maintenance work of the
水平方向に沿ってメンテナンス位置からスライド移動されるフラッシュランプハウス5が処理位置に到達すると、作業者はフラッシュランプハウス5の移動を停止させる。そして、作業者が2個のインデックスプランジャー94aを押し込むことにより、インデックスプランジャー94aの先端が係止板55の長孔56に入り込んでフラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置が処理位置に規制される(図10)。
When the
続いて、2個のエアシリンダ30がピストン31および保持部材32を下降させる。ピストン31および保持部材32が下降するのにともなって、フラッシュランプハウス5も下降する。フラッシュランプハウス5が下降する過程で、支柱59の上端部に設けられた支持部に当接し、その支持部によってフラッシュランプハウス5が支持される。これにより、フラッシュランプハウス5がチャンバー6の上方に装着されることとなる。フラッシュランプハウス5が当該支持部によって支持された後もピストン31は下降を続けて保持部材32がフラッシュランプハウス5から離間する。
Subsequently, two
上記の支持部によって支持されるフラッシュランプハウス5の四隅の高さ位置は、四隅のそれぞれに対応するダイヤルゲージ58によって測定される。典型的には、4個のダイヤルゲージ58によって測定されるフラッシュランプハウス5の四隅の高さ位置が等しくなるように、つまりフラッシュランプハウス5が水平となるように、当該四隅の高さ位置が調整される。具体的には、各支持部に設けられたネジ調節機構によってフラッシュランプハウス5の四隅の高さ位置を微調整する。なお、当該ネジ調節機構によってフラッシュランプハウス5を意図的に水平面に対して傾斜させるようにしても良い。
The height positions of the four corners of the
本実施形態においては、チャンバー6の上方にてフラッシュランプハウス5を昇降させてその鉛直方向に沿った位置を調整するエアシリンダ30を設けている。また、エアシリンダ30が摺動自在に移動可能なスライドレール90を水平方向に沿って設けており、これによってフラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置も調整される。エアシリンダ30がチャンバー6の上方にてフラッシュランプハウス5を上昇させて支持し、そのエアシリンダ30がスライドレール90に案内されて水平方向に沿って移動することにより、容易かつ安全にフラッシュランプハウス5を移動させてチャンバー6の上方を開放することができる。そして、これにより、フラッシュランプハウス5の移動機構の故障を抑制できるとともに、メンテナンス性も向上させることができる。
In the present embodiment, an
また、本実施形態においては、チャンバー6の上方にてエアシリンダ30がフラッシュランプハウス5を下降させたときに、フラッシュランプハウス5の高さ位置を計測するダイヤルゲージ58を設けている。これにより、フラッシュランプハウス5の水平面に対する姿勢を確認することができる。
Further, in the present embodiment, a
さらに、本実施形態においては、フラッシュランプハウス5の水平方向に沿った位置を、チャンバー6の上方の処理位置およびチャンバー6の上方から離間したメンテナンス位置のそれぞれに規制するインデックスプランジャー94a,94bを設けている。これにより、フラッシュランプハウス5の処理位置およびメンテナンス位置を高い精度にて位置決めすることができる。また、メンテナンス中にフラッシュランプハウス5が水平方向に沿って誤って移動するのを防止することができる。
Further, in the present embodiment, the
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態においては、エアシリンダ30によってフラッシュランプハウス5を昇降させていたが、これに限定されるものではなく、他の昇降駆動機構、例えば油圧シリンダによってフラッシュランプハウス5を昇降させるようにしても良い。或いは、電動モータを使用したアクチュエータによってフラッシュランプハウス5を昇降させるようにしても良い。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be modified in various ways other than those described above as long as the gist of the present invention is not deviated. For example, in the above embodiment, the
また、上記実施形態においては、手動にてエアシリンダ30を水平方向に移動させていたが、これに変えて、電動モータによってエアシリンダ30をスライドレール90に沿って移動させるようにしても良い。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態においては、フラッシュランプハウス5に30本のフラッシュランプFLを備えるようにしていたが、これに限定されるものではなく、フラッシュランプFLの本数は任意の数とすることができる。また、フラッシュランプFLはキセノンフラッシュランプに限定されるものではなく、クリプトンフラッシュランプであっても良い。また、ハロゲン加熱部4に備えるハロゲンランプHLの本数も40本に限定されるものではなく、任意の数とすることができる。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態においては、1秒以上連続して発光する連続点灯ランプとしてフィラメント方式のハロゲンランプHLを用いて半導体ウェハーWの予備加熱を行っていたが、これに限定されるものではなく、ハロゲンランプHLに代えて放電型のアークランプ(例えば、キセノンアークランプ)を連続点灯ランプとして用いて予備加熱を行うようにしても良い。 Further, in the above embodiment, the semiconductor wafer W is preheated by using a filament type halogen lamp HL as a continuous lighting lamp that continuously emits light for 1 second or longer, but the present invention is not limited to this. Instead of the halogen lamp HL, a discharge type arc lamp (for example, a xenon arc lamp) may be used as a continuous lighting lamp to perform preheating.
また、熱処理装置1によって処理対象となる基板は半導体ウェハーに限定されるものではなく、液晶表示装置などのフラットパネルディスプレイに用いるガラス基板や太陽電池用の基板であっても良い。 Further, the substrate to be processed by the heat treatment apparatus 1 is not limited to the semiconductor wafer, and may be a glass substrate used for a flat panel display such as a liquid crystal display device or a substrate for a solar cell.
1 熱処理装置
3 制御部
4 ハロゲン加熱部
5 フラッシュランプハウス
6 チャンバー
7 保持部
10 移載機構
30 エアシリンダ
55 係止板
58 ダイヤルゲージ
65 熱処理空間
74 サセプタ
90 スライドレール
94a,94b インデックスプランジャー
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
1
Claims (3)
基板を収容するチャンバーと、
前記基板に光を照射する複数のランプを収納するランプハウスと、
前記チャンバーの上方にて前記ランプハウスを昇降させるエアシリンダと、
水平方向に沿って設けられ、前記エアシリンダが摺動自在に移動可能なスライドレールと、
を備え、
前記ランプハウスを上昇させて支持した前記エアシリンダが前記スライドレールに案内されて水平方向に沿って移動されることを特徴とする熱処理装置。 A heat treatment apparatus that heats a substrate by irradiating the substrate with light.
The chamber that houses the board and
A lamp house that houses a plurality of lamps that irradiate the substrate with light,
An air cylinder that raises and lowers the lamp house above the chamber,
A slide rail that is provided along the horizontal direction and allows the air cylinder to move slidably.
With
A heat treatment apparatus characterized in that an air cylinder that raises and supports the lamp house is guided by the slide rail and moved along a horizontal direction.
前記チャンバーの上方にて前記エアシリンダが前記ランプハウスを下降させたときに、前記ランプハウスの高さ位置を計測する計測器をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 In the heat treatment apparatus according to claim 1,
A heat treatment apparatus further comprising a measuring instrument for measuring the height position of the lamp house when the air cylinder lowers the lamp house above the chamber.
前記ランプハウスの水平方向に沿った位置を、前記チャンバーの上方の処理位置および前記チャンバーの上方から離間したメンテナンス位置のそれぞれに規制する位置規制部材をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 In the heat treatment apparatus according to claim 1 or 2.
A heat treatment apparatus further comprising a position regulating member that regulates a position along the horizontal direction of the lamp house at a processing position above the chamber and a maintenance position separated from above the chamber.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020014465A JP7433936B2 (en) | 2020-01-31 | 2020-01-31 | heat treatment equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020014465A JP7433936B2 (en) | 2020-01-31 | 2020-01-31 | heat treatment equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021121008A true JP2021121008A (en) | 2021-08-19 |
JP7433936B2 JP7433936B2 (en) | 2024-02-20 |
Family
ID=77270001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020014465A Active JP7433936B2 (en) | 2020-01-31 | 2020-01-31 | heat treatment equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7433936B2 (en) |
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- 2020-01-31 JP JP2020014465A patent/JP7433936B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP7433936B2 (en) | 2024-02-20 |
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